JP2962236B2 - ペリクル収納容器、ペリクル収納容器の搬送装置及び搬送方法 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 【０００１】 【発明の属する技術分野】本発明は、自動搬送で用いら
れる搬送アームを用いて、搬送するのに最適なペリクル
付フレームを収納するフレームケースに関するものであ
る。 【０００２】 【従来の技術】近年、半導体素子の製造においては、Ｉ
Ｃ等の回路構造は増々微細化、高密度化が進み、回路の
線幅ルールも１μｍ以下になってきた。半導体製造は古
くからゴミ（微小なダスト等）との戦いであるとされて
いる程、製造ラインのクリーン度が要求されている。そ
のため、フォトリソグラフィ工程で使われるフォトマス
ク又はレチクルの保管、管理は極めてやっかいなもので
あった。そこでフォトマスクやレチクルのパターン領域
に異物が付着するのを防止するために、マスクやレチク
ルの表面から一定間隔（５〜７mm程度）のところに光学
的に安定した透明な高分子薄膜（ペリクル）を張設する
手法が採用されてきた。ペリクルはマスクやレチクルの
形状に合わせた円形又は矩形の厚さ５〜７mm程度のフレ
ームの一面に均一に張設され、フレームの反対の面には
粘着性の層が設けられている。このペリクル付フレーム
をレチクルに取り付けるには、人手によってレチクルの
パターン領域とフレーム外形とを合わせた後、フレーム
の粘着層でレチクルに固定していた。 【０００３】 【発明が解決しようとする課題】フレームに設けられた
ペリクルは、粉塵を嫌うため、防塵ケースに載置されて
いる。ペリクルをフォトマスク又はレチクル等のマスク
に貼り付ける時は、上記理由により人の手を介さない装
置内で貼り付けられている。よって、ペリクルを貼り付
ける際には、ペリクルが載置された防塵ケースを所定の
場所まで搬送アーム等で移動させる必要がある。 【０００４】したがって、搬送アームを用いて搬送する
際に、ハンドリングできる防塵ケースが必要となる。本
発明は、搬送アームでハンドリングできる防塵ケースを
提供することを目的とする。 【０００５】 【課題を解決するための手段】したがって、本発明では
以下に述べる手段でもって、上記課題を解決することと
した。なお、「課題を解決するための手段」の説明にお
けるのカッコ内の語句及び番号は、後で述べる発明の実
施の形態で説明する語句および図２のペリクル付フレー
ム用の防塵ケースの構成を示す図での図番と一致してい
る。 【０００６】請求項１の本発明によれば、ペリクルが張
着されるフレーム（１６）を収納するペリクル収納容器
（１４、１５）において、ペリクルが張着されるフレー
ムを載置するトレイ部（１４）と、トレイ部下側のペリ
クル収納容器の外壁に少なくとも一対の突起部（１４
ｂ）を備え、少なくとも一対の突起部は、各々に前記ペ
リクル収納容器を搬送するための搬送手段（５ｂ）と係
合する面を有し、係合する面は、互いにほぼ平行である
ことを特徴とする。この様に収納容器に搬送手段（５
ｂ）と係合するための突起部（１４ｂ）に係合する面を
設けたので、突起部の係合する面と搬送手段とが所定の
位置関係になるように係合されることとなる。請求項２
の本発明によれば、トレイ部（１４）の外形は、矩形形
状で形成されており、係合する面は、トレイ部の外形の
一辺と平行であることを特徴とする。この様にトレイ部
（１４）の一辺と平行するように設けられた突起部（１
４ｂ）の搬送手段（５ｂ）との係合する面は平行するよ
うにしたので、搬送手段とペリクル収納容器とが所定の
位置関係になるように係合される。 【０００７】請求項３の本発明によれば、ペリクルが張
着されるフレーム（１６）を収納し且つ、搬送手段（５
ｂ）と係合するための突起部（１４ｂ）を備えたペリク
ル収納容器（１４、１５）を搬送する搬送装置であっ
て、搬送手段は、前記突起部の所定の面と係合する面を
有することを特徴とする。この様に搬送用の突起部（１
４ｂ）を設けたペリクル収納容器を搬送するための搬送
手段（５ｂ）と係合するようにする搬送装置としたた
め、ペリクル収納容器を安定して搬送することが可能と
なる。請求項４の本発明によれば、搬送手段（５ｂ）
は、互いに対向するアーム部（アーム指２４）と、対向
するアーム部を開閉動作させるアーム駆動部（１８、２
３）とを含む構成であり、該アーム部の開閉動作（矢印
Ｂの方向）によりアーム部の所定の面と前記ペリクル収
納容器に設けられた突起部の所定の面とを係合させるこ
とを特徴とする。この様に、ペリクル収納容器に設けた
搬送用の突起部（１４ｂ）を互いに対向するアーム部
（２４）の間隔を変える開閉動作をさせて、アーム部で
ペリクル収納容器を保持することにより、ペリクル収納
容器を安定させ且つ確実に搬送することが可能となる。
請求項５の本発明によれば、アーム部（２４）は、突起
部の所定の面と係合する面（２０側）と、フレームと係
合する面（２１側）とを備えたことを特徴とする。この
様に、ペリクル収納容器（１４、１５）の搬送とフレー
ム（１６）の搬送とを兼用することが可能であり、アー
ム部を兼用することができるため装置全体がコンパクト
にできる。 【０００８】請求項６の本発明によれば、ペリクルが張
着されるフレーム（１６）を収納し且つ、搬送手段（５
ｂ）と係合するための突起部（１４ｂ）を備えたペリク
ル収納容器（１４、１５）を搬送する搬送方法であっ
て、ペリクル収納容器に設けられた突起部の所定の面と
搬送手段の所定の面とを係合させてペリクル収納容器を
把持することを特徴とする。この様に搬送用の突起部
（１４ｂ）を設けたペリクル収納容器を搬送するための
搬送手段（５ｂ）と係合して搬送するようにしたため、
ペリクル収納容器を安定して搬送することが可能とな
る。請求項７の本発明によれば、搬送手段（５ｂ）は、
２本のアーム（２４）を含む構成であり、ペリクル収納
容器（１４、１５）を把持する動作の際には、該２本の
アームの間隔を変えることによりアームの所定の面とペ
リクル収納容器に設けられた突起部（１４ｂ）の所定の
面とを係合させることを特徴とする。この様に搬送用の
突起部（１４ｂ）を設けたペリクル収納容器を搬送する
ための搬送手段（５ｂ）と係合して搬送するようにした
ため、ペリクル収納容器を安定して搬送することが可能
となる。 【０００９】 【本発明の実施の形態】図１は本発明の実施の形態によ
るペリクル自動貼付け装置の概略的な内部構成を上面よ
りみた図である。本発明の実施の形態の装置には、ペリ
クル貼付け装置本体１とレチクル、又はペリクル付レチ
クルに付着した異物を検査する検査装置本体２とが一体
に設けられている。両装置本体１、２とも内部は適当な
クリーン度が保たれるようにほぼ密閉され、空調され
る。 【００１０】さて、装置本体１の正面側には、ペリクル
付フレームを１個ずつ密閉状態で収納したフレームケー
スの複数をセットするためのケースストック部３と、レ
チクルを１枚ずつ密閉状態で収納した公知のレチクルケ
ースの複数をセットするための基板ストック部４とが設
けられている。この基板ストック部４とレチクルケース
の構成は、例えば特開昭５７−６４９２８号公報に開示
されているものがそのまま採用できる。 【００１１】一方、ケースストック部３にセットされる
フレームケースは、図２のような構造を有し、ペリクル
付フレーム１６を載置するトレイ部１４と、トレイ部１
４を上からふさぐ蓋部１５とで構成される。図２（Ａ）
はトレイ部１４の内側を上面からみたもので、ペリクル
付フレーム１６がケース内部で位置ずれをおこさないよ
うに、４辺の夫々に対応してリブ１４ａが設けられてい
る。このリブ１４ａはケース（トレイ部）外形に対して
所定の位置精度で設けられ、ペリクル付フレーム１６を
取り出すときの搬送アーム等との位置合わせを容易にし
ている。図２（Ｂ）はトレイ部１４上に蓋部１５をして
密閉した場合の断面を示し、リブ１４ａはペリクル付フ
レーム１６の高さ（厚さ）よりも低くなるように定めら
れる。さらにトレイ部１４の下面には、図２（Ｂ）、
（Ｃ）に示すように２本の平行なリブ１４ｂが設けられ
ている。本発明の実施の形態では、２本のリブ１４ｂの
間隔はペリクル付フレーム１６の外形幅よりも大きくな
るように定められている。このリブ１４ｂは、貼付け装
置本体１内にフレームケースを自動搬送するときのハン
ドリングのために設けられている。尚、図２（Ａ）、
（Ｂ）に示すようにケース内のフレーム１６の左右には
所定の空間がとられるが、これはフレーム１６を搬送す
るためのアーム等が進入する際のにげである。 【００１２】図３は自動搬送に適したペリクル付フレー
ム１６の具体的な構造の一例を示したもので、図３
（Ａ）は正面図、図３（Ｂ）は側面図である。ペリクル
付フレーム１６はほぼ矩形の枠部１６ａで構成され、枠
部１６ａの互いに平行な２辺の角部材（４ケ所）には、
図３（Ａ）のように円すい形の凹部１６ｂが設けられて
いる。この４隅の凹部１６ｂは、搬送用のアーム等によ
って挟持する際の位置決め、及びすべり止めの機能を持
たせるためのものである。またペリクル付フレーム１６
のレチクルとの貼付け面には、図３（Ｂ）に示すように
粘着性の接着層３０が形成され、さらに接着層３０を保
護するために、枠部１６ａの外形と同一形状の保護シー
ト材１７が密着されている。この保護シート材１７は、
フレーム１６をレチクルに貼付ける直前に、図３（Ａ）
に示すようにシート材１７の一部の枠１６ａの外形より
も突出させた部分１７ａをつかんではがされる。 【００１３】さて、このようなペリクル付フレーム１６
を収納したフレームケース（１４、１５）は、図１中の
ケースストック部３に、図４に示すように、ほぼ水平状
態で積み重ねるような配置でセットされる。図４はケー
スストック部３を装置本体１の正面側からみた図で、ス
トック部３にはフレームケース（１４、１５）のトレイ
部１４の下面両脇を保持する段部３ａが設けられる。各
フレームケース間には、搬送アーム進入のために所定の
空間ができるように各段部３ａで支えられる。 【００１４】ところで図１において、上記フレームケー
ス（１４、１５）は、スライダー５ａに沿ってｙ方向に
移動する搬送アーム５ｂにより、ケースストック部３か
ら取り出され、組立テーブル９に運ばれる。組立テーブ
ル９は上段テーブルと下段テーブルとの２段構造になっ
ており、図１中の位置ＡからＡ’までの間をｙ方向に直
進移動可能に設けられている。搬送アーム５ｂによって
運ばれたフレームケース（１４、１５）は位置Ａで組立
テーブル９の下段テーブルに載置される。組立テーブル
９が位置Ａ’まで移動すると、フレームケース（１４、
１５）は蓋開閉手段１０の吸着パッド下方に位置する。
蓋開閉手段１０はフレームケース（１４、１５）の蓋部
１５を吸着パッドで真空吸着し、蓋部１５を上方に持ち
上げる。これによりフレームケースが開かれることにな
る。 【００１５】また搬送アーム５ｂの位置Ａとケーススト
ック部３の間の搬送路の途中には、ペリクル付フレーム
１６の保護シート材１７の突出部分１７ａをつかむ機構
１２が設けられる。一方、基板ストック部４には、レチ
クルを収納したケースが装着され、スライダー６ａに沿
ってｙ方向に移動する搬送アーム６ｂにより、ケース内
のレチクルが取り出され、水平状態で装置の奥の方へ運
ばれる。搬送アーム７ｂはスライダー７ａに沿ってｘ方
向に移動し、搬送アーム６ｂとの間でのレチクルの受渡
し位置と位置Ａとの間で往復できるように構成される。 【００１６】従って搬送アーム７ｂは、搬送アーム６ｂ
からレチクルを受け取り、組立テーブル９の上段テーブ
ルまで運ぶことができる。組立テーブル９が位置Ａにあ
るとき、ペリクル付フレーム１６がレチクルに貼付けら
れ、その後組立テーブル９は位置Ａ’をへて位置Ａ’’
に移動する。位置Ａ’’でペリクルフレーム１６の貼ら
れたレチクルの上方（又は下方）には、ペリクルフレー
ム１６とレチクルとを均等に圧着させるための加圧機構
１１が設けられている。加圧機構１１の加圧部材はペリ
クル付フレーム１６の枠部１６ａの上端面（又は下端
面）のみに当接するように設けられている。 【００１７】以上、図１において３つの搬送アーム５
ｂ、６ｂ、７ｂはともに上下方向（Ｚ方向）に移動可能
に設けられている。また搬送アーム６ｂ、７ｂはレチク
ルの周辺を保持するコの字状の簡単なアームでよいが、
搬送アーム５ｂはペリクル付フレーム１６の搬送とフレ
ームケース（１４、１５）の搬送とを兼ねるため特別な
構造になっている。そこで以下に搬送アーム５ｂの詳細
な構造とその他主要部分の詳細な構造を順次説明する。 【００１８】図５は搬送アーム５ｂの構造を示す平面図
であり、アーム部全体はスライダー５ａに沿ってｙ方向
に移動するアーム支持体５０ａに設けられる。そしてア
ーム部全体は、アーム支持体５０ａに固定されたＤＣモ
ータ２２とベルト駆動とにより、ｙ方向に伸びた中心軸
Ｌの回りを矢印Ｃの如く１８０度以上に渡って回転可能
に構成される。２本のＬ字状のアーム指２４は互いに対
向するように設けられ、スライドガイド１９に沿って図
中の矢印Ｂの方向（ｘ方向）に中心軸２に関する対称性
を保って直進移動可能である。２本の平行なアーム指２
４の開閉運動はＤＣモータ２３とカム機構１８とによっ
て行なわれる。両アーム指２４の中心軸２に向う側に
は、ペリクル付フレーム１６の凹部１６ｂに係合する円
すい状の凸部２１が、凹部１６ｂの各位置に対応して形
成されている。さらに両アーム指２４の外側にはフレー
ムケース（１４、１５）の下面のリブ１４ｂと係合し得
るように突出した部材２０が各２ケ所に設けられてい
る。この部材２０によってフレームケースのハンドリン
グを確実なものにする。このように搬送アーム部５ｂ
は、フレームケース（１４、１５）の搬送とフレーム１
６の搬送とを兼用するものであり、さらにアーム指２４
が１８０度以上回転することから、挟持したペリクル付
フレーム１６の接着層３０を下向き又は上向きの任意の
向きにすることができ、ペリクルフレーム１６の片面貼
り、両面貼りのいずれの場合にも対応できる。尚、搬送
アーム５ｂは、アーム支持体５０ａを含めて図５に示し
た全体が上下動する。 【００１９】図６は組立テーブル９の全体的な形状を示
す斜視図であり、レチクルが載置される上段テーブル９
ａ、フレームケース（１４、１５）が載置される下段テ
ーブル９ｂ、及び移動のためのレールに全体を載せるた
めの底部９ｃとが所定の空間をもって上下に配置されて
いる。ただし上段テーブル９ａ、下段テーブル９ｂの中
央部は想像線で示すように切り取られており、搬送アー
ム５ｂ（アーム指２４）が自由に上下動できるようなス
ペースが確保されている。 【００２０】図７は機構12の付近を装置正面側からみた
図であり、搬送アーム５ｂのアーム指２４はペリクル付
フレーム１６を水平に挟持している。この際アーム指２
４の下面はフレーム１６の下面（シート材１７）よりも
上方に位置するように定められている。搬送アーム５ｂ
がｙ方向の所定位置にくると、つかみ機構１２のトグル
回転部１２ａが直立し、回転部１２ａの先端に設けられ
たつかみ部１２ｂが保護シート材１７の突出部１７ａを
上下にはさみ込む。この後、図５に示したＤＣモータ２
２が駆動され、アーム指２４の全体が図７中の矢印Ｂの
ように回転し、保護シート材１７が接着層３０からひき
はがされる。はがされたシート材17は不図示の廃棄箱に
落下される。 【００２１】図８は加圧機構１１の構造の一例を示す斜
視図であり、上下に配置された２枚の加圧プレート１１
ａ、１１ｂは互いに近づく方向と離れる方向とに可動
し、加圧バット部１１ｃがペリクル付レチクルのフレー
ム１６に上下から当接し、レチクルの上下面に仮りに貼
り付けられたフレーム１６を所定の圧力で密着させる。
２枚の加圧プレート１１ａ、１１ｂは、その間の空間
に、上段テーブル９ａに載置されたペリクル付レチクル
が運ばれてくるように配置されている。 【００２２】尚、組立テーブル９を図１中の位置Ａ’’
において上下動するようにすれば、上側の加圧プレート
１１ａは固定にしたままでもよい。ところで図１におい
て、貼付装置本体１の左側には、レチクルのガラス面や
パターン面に付着した異物等の欠陥を光学的に検査する
異物検査装置本体２が接続されている。基板ストック部
４から搬送アーム６ｂでｙ方向に運び出されたレチク
ル、又はフレーム１６の貼付けが終って搬送アーム７ｂ
でｘ方向に運ばれてくるペリクル付レチクルは、装置本
体２のアーム８ｂに受け渡される。アーム８ｂはスライ
ダー８ａに沿ってｘ方向に水平移動し、検査時の副走査
を兼用して行なう。主走査はしーザビームのスポットを
レチクル表面上でｙ方向にスキャンすることで行なわれ
る。尚、本発明の実施の形態では、アーム８ｂと搬送ア
ーム６ｂとの間ではしチクルの受け渡しが可能である
が、アーム８ｂと搬送アーム７ｂとの間では受け渡しが
できない。そのため搬送アーム７ｂで運ばれてくるペリ
クル付レチクルは一度搬送アーム６ｂに受け渡され、そ
の後アーム７ｂに受け渡されるように動作する。またア
ーム８ｂはレチクルを装置本体２内に搬入する動作と検
査時の副走査を兼ねるため、上下動はしないような構成
となっている。 【００２３】次に本装置の全体的な動作を説明する。ま
ず、ペリクル付フレーム１６の製造メーカーからは、図
２に示すように、フレーム１６をフレームケース（１
４、１５）に収納した状態で供給される。オペレータは
その状態のフレームケース（１４、１５）を装置本体１
のケースストック部３に図４のようにセットする。ペリ
クルを貼付けるべきレチクルは、公知のレチクルケース
に収納されたまま、基板ストック部４に装着される。 【００２４】次に、搬送アーム５ｂ（図５）は２本のア
ーム指２４を所定の間隔に調整し、ケースストック部３
内のフレームケース（１４、１５）の下方空間に進入す
る。そして搬送アーム５ｂをわずかに上方に移動させる
と、フレームケース（１４、１５）はストック部３の段
部３ａからアーム指２４の突出部材２０の上に受け渡さ
れる。さらに２本のアーム指２４がわずかに開かれ、突
出部材２０はフレームケース（１４、１５）のトレイ部
１４の下面のリブ１４ｂを内側からつかむ。 【００２５】次に搬送アーム５ｂはフレームケース（１
４、１５）をストック部３から引き出し、位置Ａで待機
している組立テーブル９（図６）の下段テーブル９ｂ上
にフレームケースを受け渡す。下段テーブル９ｂはフレ
ームケースの下面を真空吸着し、ずれないように固定す
る。その後、組立テーブル９は位置Ａ’に移動し、開閉
機構１０の吸着パッドが組立テーブル９の上段テーブル
９ａの下方で、フレームケースの上方の空間に進入す
る。吸着パッドはフレームケースの蓋部１５の上面を真
空吸着し、そのままわずかに上方に持ち上げる。これに
より蓋部１５とトレイ部１４とが分離され、吸着パッド
に蓋部１５を残したまま、組立テーブル９は位置Ａ’か
ら位置Ａに戻る。 【００２６】次に、再び搬送アーム５ｂのアーム指２４
が位置Ａにおいてトレイ部１４上のぺリクル付フレーム
１６を、図７のように挟持し、トレイ部１４からわずか
に持ち上げた後、つかみ機構１２のところまで水平に移
動する。そして、図７に示したようにつかみ部１２ｂに
よってシート材１７の突出部分１７ａをつかみ、アーム
指２４はＤＣモータ２２によって回転する。これにより
保護シート材１７がはがされ、アーム指２４は水平に戻
される。 【００２７】一方、基板ストック部４にセットされたレ
チクルケースからは、搬送アーム６ｂによってレチクル
が取り出される。アーム６ｂ上に真空吸着されたレチク
ルは、検査装置本体２の搬送アーム８ｂに受け渡され、
異物の付着の無有、付着位置、異物の大きさ等が検査さ
れ、検査結果が記憶される。この際、露光に障害となる
異物が発見された場合は、そのレチクルを基板ストック
部４の空のレチクルケースに戻し、洗浄等のメンテナン
スが必要であることをオペレータに知らせ、他のレチク
ルケースから別のレチクルを取り出す。 【００２８】検査の結果問題がないときは、レチクルを
搬送アーム８ｂからアーム６ｂで受渡した後、搬送アー
ム７ｂに受け渡す。アーム７ｂはしチクルを位置Ａまで
運び、組立テーブル９の上段テーブル９ａに受渡す。上
段テーブル９ａはしチクルを真空吸着により固定し、フ
レーム１６を挟持したアーム５ｂは組立テーブル９の上
方空間まで移動する。その後、搬送アーム５ｂは所定量
降下して、ペリクル付フレーム１６の接着層３０をレチ
クル上面に当接させる。 【００２９】このときレチクルに不要な応力を加えない
ように、上段テーブル９ａはしチクルを弾性体（坂バネ
等）を介して保持している。従ってアーム５ｂが降下し
て、フレーム１６がレチクルに当接した後は、レチクル
がわずかに下方に逃げられるような構造となっている。
次に組立テーブル９は位置Ａから位置Ａ’まで移動し、
開閉機構１０の吸着パッドに保持されている蓋部１５
を、空になったトレイ部１４に重ね合わせる。そして再
び組立テーブル９は位置Ａに戻され、搬送アーム５ｂが
空になったフレームケース（１４、１５）の下方空間に
進入され、空のフレームケースを受け取り、ケーススト
ック部３に戻す。 【００３０】次に搬送アーム５ｂはレチクル下面用のペ
リクル付フレーム１６を、別のフレームケース（１４、
１５）から取り出す。このシーケンスは、先の蓋部１５
の開放、シート材１７のはがしと全く同様に行なわれ、
異なる点は、このシーケンスの間、上段テーブル９ａ上
には上面にペリクル付フレーム１６が貼られたレチクル
が載置されていることである。こうして２つ目のフレー
ム１６が搬送アーム５ｂに挟持されたら、アーム指２４
はモータ２２により回転され、フレーム１６の接着層３
０が上方に向くように反転される。その後、このフレー
ム１６は位置Ａにある上段テーブル９ａの下方空間に進
入され、搬送アーム５ｂはわずかに上方にフレーム１６
を上昇させ、接着層３０をレチクル下面に当接させる。
これによりレチクルの上下面の両方にペリクル付フレー
ム１６が貼られたことになる。通常、上下面のフレーム
は、寸法が同じものを上下に重ね合わせるように貼付け
られ、フレームの外形はレチクル外周よりも小さくなる
ように決められている。 【００３１】さて、次に組立テーブル９は位置Ａから位
置Ａ’をへて位置Ａ’’に移動し、加圧機構１１（図
８）により上下面のペリクル付フレーム１６を所定の圧
力で上下に挟み込む。そして、加圧が終ると組立テーブ
ル９は位置Ａ’をへて位置Ａにもどる。このとき位置
Ａ’において、開閉機構１０の吸着パッドに保持されて
いる蓋部１５を、下段テーブル９ｂに載置されているト
レイ部１４の上に重ね合わせるように、吸着パッドを降
下させる。従って、位置Ａに戻った組立テーブル２の上
段テーブル９ａには、ペリクル付フレームの両面貼付け
が完了したレチクルが載置され、下段テーブル９ｂには
空のフレームケース（１４、１５）が載置されている。
こうして下段の空のフレームケース（１４、１５）は搬
送アーム５ｂによりケースストック部３に戻され、上段
のペリクル付レチクルは搬迭アーム７ｂ、搬送アーム６
ｂを介して搬送アーム８ｂに受け渡され、異物の検査が
行なわれる。異物検査は、この場合、上下面のペリクル
を介して行なうことになるので、裸のレチクルの検査の
場合に対して検出感度（特に異物の大きさ）を補正して
おくとよい。 【００３２】また必要に応じて、先に記憶した裸のレチ
クルの検査結果と照合して、適切にペリクル付フレーム
が貼付けられたか否かを判定する。こうして検査の終っ
たペリクル付レチクルは搬送アーム６ｂにより空のレチ
クルケースに戻され、貼付けの良、不良がオペレータに
表示される。以上、本発明の実施の形態ではペリクルの
両面貼付けを説明したが、もちろん片面だけでも同様の
シーケンスで実行できる。 【００３３】本発明の実施の形態で搬送アーム５ｂは、
フレームケース（１４、１５）の搬送、ペリクル付フレ
ーム１６の搬送、フレーム１６のレチクルへの接着動
作、及び保護シート材１７のはがし動作に兼用して使わ
れるため、装置全体が非常にコンパクトになるといった
利点がある。 【００３４】 【発明の効果】以上のように本発明によれば、ペリクル
（防塵膜）付フレームを収納した収納ケースを確実にハ
ンドリングすることが出来る。従って、ペリクルを貼り
付ける際に、適当なクリーン度に保たれたペリクル自動
貼付け装置の所定の位置で、人手によらずに収納ケース
をハンドリングすることができるようになった。

【図面の簡単な説明】 【図１】：本発明の実施の形態による自動ペリクル貼付
装置の全体的な構成を概略的に示す図 【図２】：ペリクル付フレーム用の防塵ケースの構成を
示す図 【図３】：自動搬送に好適なペリクル付フレームの構造
を示す図 【図４】：フレームケースのストック部の構造を示す正
面図 【図５】：フレームケースとペリクル付フレームの搬送
アームの構造を示す図 【図６】：組立テーブルの構造を概略的に示す斜視図 【図７】：ペリクル付フレームの保護シート材をはがす
機構を概略的に示す図 【図８】：加圧機構の概略的な構造を示す斜視図であ
る。 【主要部分の符号の説明】 １…べリクル貼付装置本体、２…異物検査装置本体、３
…フレームケースのストック部、４…レチクルケースの
ストック部、５ｂ、６ｂ、７ｂ、８ｂ…搬送アーム、９
…組立テーブル、１０…開閉機構、１１…加圧機構、１
２…つかみ機構、１４…フレームのトレイ部、１５…蓋
部、１６…ペリクル付フレーム、２４…搬送アーム５ｂ
のアーム指。

Claims (1)

1. (57)【特許請求の範囲】 １．ペリクルが張着されるフレームを収納するペリクル
   収納容器において、前記ペリクルが張着されるフレームを載置するトレイ部
   と、 前記トレイ部下側の 前記ペリクル収納容器の外壁に少な
   くとも一対の突起部と、を有し、前記少なくとも一対の突起部は、各々に、 前記ペリクル
   収納容器を搬送するための搬送手段と係合する面を有
   し、前記係合する面は、互いにほぼ平行である ことを特徴と
   するペリクル収納容器。 ２．前記トレイ部の外形は、ほぼ矩形形状で形成されて
   おり、 前記係合する面は、前記トレイ部の外形の一辺と平行で
   あることを特徴とする請求項１記載のペリクル収納容
   器。 ３．ペリクルが張着されるフレームを収納し且つ、搬送
   手段と係合するための突起部を備えたペリクル収納容器
   を搬送する搬送装置であって、 前記搬送手段は、前記突起部の所定の面と係合する面を
   有することを特徴とするペリクル収納容器の搬送装置。 ４．前記搬送手段は、互いに対向するアーム部と、該対
   向するアーム部を開閉動作をさせるアーム駆動部とを含
   む構成であり、該アーム部の開閉動作により前記アーム
   部の所定の面と前記ペリクル収納容器に設けられた突起
   部の所定の面とを係合させることを特徴とする請求項３
   記載のペリクル収納容器の搬送装置。 ５．前記アーム部は、前記突起部の所定の面と係合する
   面と、前記フレームと係合する面とを備えたことを特徴
   とする請求項４記載の搬送装置。 ６．ペリクルが張着されるフレームを収納し且つ、搬送
   手段と係合するための突起部を備えたペリクル収納容器
   を搬送する搬送方法であって、 前記ペリクル収納容器に設けられた前記突起部の面と前
   記搬送手段の面とを係合させてペリクル収納容器を把持
   することを特徴とする搬送方法。 ７．前記搬送手段は、２本のアーム部を含む構成であ
   り、ペリクル収納容器を把持する動作の際には、該２本
   のアーム部の間隔を変えることにより前記アーム部の所
   定の面と前記ペリクル収納容器に設けられた前記突起部
   の所定の面とを係合させることを特徴とする請求項６記
   載の搬送方法。