JP2019189441A - 物品搬送設備 - Google Patents

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Abstract

【課題】製造コストを抑えながら物品の搬送効率を高めることができる物品搬送設備の実現。【解決手段】第１搬送装置１と第２搬送装置２とを備え、第１搬送装置１は、第１移載装置６と第２移載装置７と昇降体とを備え、第１種物品Ｔの搬送量は、第２種物品Ｔ２の搬送量と第３種物品Ｔ３の搬送量との合計より多く、第２搬送装置２は、第１種物品Ｔ１のみを搬送する第１コンベヤ２１及び第２コンベヤ２２と、第２種物品Ｔ２と第３種物品Ｔ３とのみを搬送する第３コンベヤ２３と、を備え、第１コンベヤ２１と第２コンベヤ２２とを、第１移載装置６による第１種物品Ｔ１の移載と、第２移載装置による第１種物品の移載と、を同時に実行可能な間隔で設け、第１コンベヤ２１と第３コンベヤ２３とを、第１移載装置６による第１種物品Ｔ１の移載と、第２移載装置７による第２種物品Ｔ２及び第３種物品Ｔ３の移載と、を同時に実行可能な間隔で設ける。【選択図】図１

Description

本発明は、第１搬送装置と第２搬送装置とを備えている物品搬送設備に関する。
以下、背景技術について説明する。以下の説明において、かっこ書きの符号又は名称は、先行技術文献における符号又は名称とする。かかる物品搬送設備の従来例が、特開２０１８−０３９６６０号公報（特許文献１）に記載されている。特許文献１の物品搬送設備は、第１搬送装置（第２搬送装置３）と第２搬送装置（第１搬送装置２）とを備えている。第１搬送装置（３）は、第１移載装置（下方移載部３４ａ）と、第２移載装置（上方移載部３４ｂ）と、第１移載装置及び第２移載装置を支持する昇降体（第２昇降体３２）と、を備えている。第１移載装置及び第２移載装置は同様に構成されており、物品を下方から支持するように構成されている。第２搬送装置（２）は、水平方向に沿って物品を搬送するコンベヤとされている。
特許文献１の第１搬送設備は、第１移載装置と第２移載装置とで物品を搬送することで２個の物品を纏めて搬送することができるように構成されており、物品の搬送効率が高められている。
特開２０１８−０３９６６０号公報
しかし、特許文献１の第１搬送装置や第２搬送装置は、１種類の物品を搬送対象としているが、異なる種類の物品を纏めて搬送することが必要とされる場合がある。
例えば、特許文献１の第１搬送装置及び第２搬送装置では、ＦＯＵＰのみを搬送対象の物品としているが、このＦＯＵＰとは種類が異なる、レチクルを収容するレチクル用容器やＥＵＶ用マスクを収容するＥＵＶ用容器を搬送することが必要とされる場合がある。このようにＦＯＵＰとレチクル用容器とＥＵＶ用容器とを搬送する場合、一般的に、レチクル用容器の搬送量とＥＵＶ用容器の搬送量との合計は、ＦＯＵＰの搬送量より少ない。この例のように、異なる種類の物品を搬送する場合において、物品種類ごとの搬送量に偏りがある場合もある。
また、上述の如く、複数種類の物品を搬送対象とした場合、第１移載装置と第２移載装置との双方が複数種類の物品を保持できるように構成すると共に、第２搬送装置に複数のコンベヤを備えて、それら複数のコンベヤの夫々が複数種類の物品を搬送できるように構成することで、物品の搬送効率を高めることが可能となる。しかし、第１搬送装置及び第２搬送装置の全体について、上述の如く複数種類の物品を保持できるように構成すると、物品搬送設備の製造コストが大幅に高くなるという問題がある。
そこで、製造コストの上昇を少なく抑えながら物品の搬送効率を高めることができる物品搬送設備の実現が望まれる。
上記に鑑みた、物品搬送設備の特徴構成は、第１搬送装置と第２搬送装置とを備え、外形寸法が互いに異なる第１種物品と第２種物品と第３種物品とを搬送対象とし、
前記第１搬送装置は、第１移載装置と、上下方向に沿う上下方向視で前記第１移載装置と重なる位置に設置された第２移載装置と、前記第１移載装置及び前記第２移載装置を支持し且つ前記上下方向に沿って移動する昇降体と、を備え、前記第１移載装置は、前記第１種物品、前記第２種物品、及び前記第３種物品のうちの前記第１種物品のみを自己と前記第２搬送装置との間で移載可能に構成され、前記第２移載装置は、前記第１種物品、前記第２種物品、及び前記第３種物品を自己と前記第２搬送装置との間で移載可能に構成され、前記第１種物品の搬送量は、前記第２種物品の搬送量と前記第３種物品の搬送量との合計より多く、前記第２搬送装置は、前記第１種物品、前記第２種物品、及び前記第３種物品のうちの前記第１種物品のみを水平方向に沿って搬送する第１コンベヤ及び第２コンベヤと、前記第１種物品、前記第２種物品、及び前記第３種物品とのうちの前記第２種物品と前記第３種物品とのみを水平方向に沿って搬送する第３コンベヤと、を備え、前記上下方向における前記第１移載装置に対して前記第２移載装置が設置されている側を上下方向特定側として、前記第１コンベヤに対して前記上下方向特定側に、前記第２コンベヤと前記第３コンベヤとが設置され、前記第１コンベヤと前記第２コンベヤとは、前記第１移載装置による自己と前記第１コンベヤとの間の前記第１種物品の移載と、前記第２移載装置による自己と前記第２コンベヤとの間の前記第１種物品の移載と、を同時に実行可能な間隔で設けられ、前記第１コンベヤと前記第３コンベヤとは、前記第１移載装置による自己と前記第１コンベヤとの間の前記第１種物品の移載と、前記第２移載装置による自己と前記第３コンベヤとの間の前記第２種物品及び前記第３種物品の移載と、を同時に実行可能な間隔で設けられている点にある。
この特徴構成によれば、
第１移載装置による自己と第１コンベヤとの間での第１種物品の移載と、第２移載装置による自己と第２コンベヤとの間での第１種物品の移載と、を同時に実行できる。また、第１移載装置による自己と第１コンベヤとの間で第１種物品の移載と、第２移載装置による自己と第３コンベヤとの間での第２種物品又は第３種物品の移載と、を同時に実行できる。
つまり、第２移載装置に、第１種物品と第２種物品と第３種物品との何れの物品を保持する場合でも、第１移載装置による移載と第２移載装置による移載とを同時に実行することができる。そして、搬送量が比較的少ない第２種物品や第３種物品を第２移載装置に保持しない場合は、この第２移載装置に搬送量が比較的多い第１種物品を保持することができるため、物品の搬送効率を高めることができる。また、第１移載装置、第１コンベヤ、及び第２コンベヤは、第１種物品のみを保持又は搬送する構成で良く、３種類の物品を保持又は搬送できる構成とするのを第２移載装置と第３コンベヤだけにできる為、製造コストの上昇を少なく抑えることができる。
従って、この構成によれば、製造コストの上昇を少なく抑えながら物品の搬送効率を高めることができる。
物品搬送設備の正面図 物品搬送装置の側面図 第１保持部が下降位置で且つ第１引退位置にある第１移載装置の側面図 第１保持部が下降位置で且つ第１突出位置にある第１移載装置の側面図 第２保持部が上昇位置で且つ第２引退位置にある第２移載装置の側面図 第２保持部が上昇位置で且つ第２引退位置にある第２移載装置の側面図 第２保持部が上昇位置で且つ第２引退位置にある第２移載装置の側面図 第２保持部が第１種用下降位置で且つ第２突出位置にある第２移載装置の側面図 第２保持部が第２種用下降位置で且つ第２突出位置にある第２移載装置の側面図 第２保持部が第３種用下降位置で且つ第２突出位置にある第２移載装置の側面図 第１コンベヤの平面図 第２コンベヤ及び第３コンベヤの平面図 第２コンベヤ及び第３コンベヤの縦断正面図 制御ブロック図 移載動作の説明図
１．実施形態
物品搬送装置を備えた物品搬送設備の実施形態について図面に基づいて説明する。
図１に示すように、物品搬送設備は、昇降式搬送装置１（物品搬送装置に相当）とコンベヤ式搬送装置２とを備えている。昇降式搬送装置１は、下階Ｄとこの下階Ｄより階層が上の上階Ｕとの間で物品を搬送する。コンベヤ式搬送装置２は、下階Ｄ及び上階Ｕに設置されており、物品を水平方向に沿って搬送する。
昇降式搬送装置１やコンベヤ式搬送装置２は、第１類物品Ｋ１と、当該第１類物品Ｋ１とは種類が異なる第２類物品Ｋ２と、が搬送対象である。第２類物品Ｋ２には、互いに外形寸法が異なる第２種物品Ｔ２と第３種物品Ｔ３とが含まれている。第１類物品Ｋ１は、第２種物品Ｔ２及び第３種物品Ｔ３の双方と外形寸法が異なる第１種物品Ｔ１である。つまり、昇降式搬送装置１やコンベヤ式搬送装置２は、外形寸法が互いに異なる第１種物品Ｔ１と第２種物品Ｔ２と第３種物品Ｔ３とを搬送対象としている。
そして、第１類物品Ｋ１の搬送量は、第２類物品Ｋ２の搬送量より多い。つまり、第１種物品Ｔ１の搬送量は、第２種物品Ｔ２の搬送量と第３種物品Ｔ３の搬送量との合計より多い。本実施形態では、第１種物品Ｔ１に比べて搬送量が少ない第２種物品Ｔ２と第３種物品Ｔ３とをまとめて第２類物品Ｋ２とし、搬送量が多い第１種物品Ｔ１を第１類物品Ｋ１として分類している。
第１種物品Ｔ１は、上部に第１被保持部Ｆ１を備えている。第２種物品Ｔ２は、上部に第２被保持部Ｆ２を備えている。第３種物品Ｔ３は、上部に第３被保持部Ｆ３を備えている。尚、第１被保持部Ｆ１は、第１類物品Ｋ１の上部に備えられた第１類被保持部Ｒ１に相当し、第２被保持部Ｆ２及び第３被保持部Ｆ３は、第２類物品Ｋ２の上部に備えられた第２類被保持部Ｒ２に相当する。
第２種物品Ｔ２は、第３種物品Ｔ３よりも上下方向Ｚの寸法が大きく、第１種物品Ｔ１は、第２種物品Ｔ２及び第３種物品Ｔ３よりも上下方向Ｚの寸法が大きい。そのため、第２移載装置７の第２保持部１６により第２種物品Ｔ２の第２被保持部Ｆ２を保持した場合の第２種物品Ｔ２の下端の高さは、第２移載装置７の第２保持部１６により第３種物品Ｔ３の第３被保持部Ｆ３を保持した場合の第３種物品Ｔ３の下端の高さより低くなる。また、第２移載装置７の第２保持部１６により第１種物品Ｔ１の第１被保持部Ｆ１を保持した場合の第１種物品Ｔ１の下端の高さは、第２移載装置７の第２保持部１６により第２種物品Ｔ２の第２被保持部Ｆ２を保持した場合の第２種物品Ｔ２の下端の高さ、及び、第２移載装置７の第２保持部１６により第３種物品Ｔ３の第３被保持部Ｆ３を保持した場合の第３種物品Ｔ３の下端の高さより低くなる。
本実施形態では、第１種物品Ｔ１は、半導体ウェハを収容するウェハ用容器であり、第２種物品Ｔ２は、ＥＵＶマスクを収容するＥＵＶ用容器であり、第３種物品Ｔ３は、レチクルを収容するレチクル用容器である。具体的には、第１種物品Ｔ１は、ＦＯＵＰ（Front Opening Unified Pod）及びＦＯＳＢ（Front Opening Shipping Box）である。第２種物品Ｔ２は、ＳＥＭＩ規格のＥ１５２に準拠したＥＵＶ用容器である。第３種物品Ｔ３は、ＳＥＭＩ規格のＥ１１１に準拠したレチクル用容器である。第１被保持部Ｆ１、第２被保持部Ｆ２、及び第３被保持部Ｆ３は、各容器の上面部に備えられたフランジ部である。
本実施形態では、昇降式搬送装置１における第２移載装置７の動作に影響を与える部位の外形寸法が異なる場合に「外形寸法が異なる」としている。つまり、第２移載装置７は、容器のフランジ部を保持する構成である為、容器におけるフランジ部の高さが同じ高さにあり、且つ当該フランジ部の形状が同じである場合は、「外形寸法が同じ」としており、容器のフランジ部の高さが異なる、又は当該フランジ部の形状が異なる場合には「外形寸法が異なる」としている。第２移載装置７は、第１種物品Ｔ１と第２種物品Ｔ２と第３種物品Ｔ３とを何れも支持可能だが、第１種物品Ｔ１の底面と第２種物品Ｔ２の底面と第３種物品Ｔ３の底面とが同じ高さに支持されている場合では、これらの物品のフランジ部の高さが異なるため、これらの物品は「外形寸法が異なる」ものであり、第１種物品Ｔ１と第２種物品Ｔ２と第３種物品Ｔ３とでは移載する場合の動作が異なるものとなる。そのため、これら第１種物品Ｔ１と第２種物品Ｔ２と第３種物品Ｔ３とは異なる種類としている。一方、第１種物品Ｔ１として、ＦＯＵＰとＦＯＳＢとがあるが、これらは容器のフランジの高さが同じであってフランジ部の形状も同じであるため、これらは「外形寸法が異なる」ものではなく、外形寸法が同じ物品、つまり、同じ種類の物品としている。なお、本実施形態では、第２種物品Ｔ２と第３種物品Ｔ３とのフランジ部の形状が同じである。つまり本実施形態では、フランジ部の形状が同じである第２種物品Ｔ２と第３種物品Ｔ３とが第２類物品Ｋ２に分類され、これらとフランジ部の形状が異なると共にフランジ部の高さも異なる第１種物品Ｔ１が第１類物品Ｋ１に分類されている。
昇降式搬送装置１は、第１移載装置６と、第１移載装置６より上方で且つ上下方向Ｚに沿う上下方向Ｚ視で第１移載装置６と重なる位置に設置された第２移載装置７と、第１移載装置６及び第２移載装置７を支持し且つ昇降用モータ９（図１３参照）の駆動により上下方向Ｚに沿って移動する昇降体８と、を備えている。上下方向Ｚにおける第１移載装置６に対して第２移載装置７が設置されている側を上下方向特定側とした場合、本実施形態では、上下方向特定側は、上下方向Ｚにおける上側である。
第１移載装置６は、第１類物品Ｋ１（第１種物品Ｔ１）と第２類物品Ｋ２（第２種物品Ｔ２及び第３種物品Ｔ３）とのうちの第１類物品Ｋ１（第１種物品Ｔ１）のみを自己と移載対象箇所３との間で移載可能に構成されている。第２移載装置７は、第１類物品Ｋ１（第１種物品Ｔ１）及び第２類物品Ｋ２（第２種物品Ｔ２及び第３種物品Ｔ３）の双方を自己と移載対象箇所３との間で移載可能に構成されている。
なお、第１移載装置６において、「自己と移載対象箇所３との間で移載可能」とは、第１移載装置６が第１移載装置６から移載対象箇所３に第１類物品Ｋ１を移載することや、第１移載装置６が移載対象箇所３から第１移載装置６に第１類物品Ｋ１を移載することが可能であることを表している。また、第２移載装置７において、「自己と移載対象箇所３との間で移載可能」とは、第２移載装置７が第２移載装置７から移載対象箇所３に第１類物品Ｋ１又は第２類物品Ｋ２を移載することや、第２移載装置７が移載対象箇所３から第２移載装置７に第１類物品Ｋ１又は第２類物品Ｋ２を移載することが可能であることを表している。
図１１及び図１２に示すように、上下方向Ｚ視で、昇降体８の周囲に位置するように移載対象箇所３が備えられている。この移載対象箇所３には、物品を支持する支持体１０や、コンベヤ式搬送装置２の一部が備えられている。第１移載装置６は、自己と支持体１０との間で第１種物品Ｔ１を移載すると共に、自己とコンベヤ式搬送装置２との間で第１種物品Ｔ１を移載する。第２移載装置７は、自己と支持体１０との間で第１種物品Ｔ１、第２種物品Ｔ２、及び第３種物品Ｔ３を移載すると共に、自己とコンベヤ式搬送装置２との間で第１種物品Ｔ１、第２種物品Ｔ２、及び第３種物品Ｔ３を移載する。
図２に示すように、第１移載装置６は、第１類物品Ｋ１（第１種物品Ｔ１）を保持する第１保持部１１と、第１保持部１１を第１引退位置と第１引退位置に対して移載対象箇所３が存在する側に突出させた第１突出位置とに移動させる第１出退機構１２と、第１保持部１１を第１出退機構１２に対して上下方向Ｚに移動させる第１昇降機構１３と、第１出退機構１２を上下方向Ｚに沿う軸心周りに旋回させる第１旋回機構１４と、を備えている。
本実施形態では、第１出退機構１２は、スカラーアームにより構成されている。第１出退機構１２の基部が昇降体８に上下方向Ｚに沿う軸心周りに回転自在に連結されており、第１出退機構１２の先端部に第１昇降機構１３が連結されている。第１出退機構１２は、出退方向Ｘに沿って伸縮することで第１保持部１１を出退方向Ｘに沿って移動させる。第１昇降機構１３は、第１出退機構１２に固定された本体部１３Ａと、本体部１３Ａに昇降可能に支持され且つ第１保持部１１に固定された昇降部１３Ｂと、を備えている。第１昇降機構１３は、昇降部１３Ｂを本体部１３Ａに対して上下方向Ｚに沿って移動させることで第１保持部１１を上下方向Ｚに沿って移動させる。第１保持部１１は、第１類物品Ｋ１の底面を下方から支えることで保持するように構成されている。
図３及び図４に示すように、第１移載装置６は、第１類物品Ｋ１を自己と移載対象箇所３との間で移載する移載動作を行う。第１移載装置６は、移載動作として、昇降体８と移載対象箇所３を結ぶ方向（出退方向Ｘ）に沿って突出及び引退する出退動作と、上下方向Ｚに沿って昇降する昇降動作と、を行うように構成されている。
第１移載装置６の出退動作は、第１出退機構１２により第１保持部１１を第１引退位置から第１突出位置に突出させる第１突出動作や、第１出退機構１２により第１保持部１１を第１突出位置から第１引退位置に引退させる第１引退動作である。また、第１移載装置６の昇降動作は、第１昇降機構１３により第１保持部１１を下降位置から上昇位置に上昇させる第１上昇動作や、第１昇降機構１３により第１保持部１１を上昇位置から下降位置に下降させる第１下降動作である。
第１移載装置６は、自己から移載対象箇所３に第１種物品Ｔ１を移載する場合は、第１種物品Ｔ１を保持している第１保持部１１が上下方向Ｚにおいて上昇位置にあり且つ出退方向Ｘにおいて第１引退位置にある状態から、第１突出動作、第１下降動作、第１引退動作の順で行う。
また、第１移載装置６は、移載対象箇所３から自己に第１種物品Ｔ１を移載する場合は、第１種物品Ｔ１を保持していない第１保持部１１が上下方向Ｚにおいて下降位置にあり且つ出退方向Ｘにおいて第１引退位置にある状態から、第１突出動作、第１上昇動作、第１引退動作の順で行う。
そして、第１移載装置６は、第１出退機構１２を上下方向Ｚに沿う軸心周りに回転させることにより、第１出退機構１２を伸縮させたときの第１保持部１１の出退方向Ｘを変更可能に構成されている。これにより、周囲に並ぶ５つの移載対象箇所３との間で第１種物品Ｔ１を移載することができるようになっている。
第２移載装置７は、第１類物品Ｋ１（第１種物品Ｔ１）と第２類物品Ｋ２（第２種物品Ｔ２及び第３種物品Ｔ３）とのいずれをも保持できる第２保持部１６と、第２保持部１６を第２引退位置と第２引退位置に対して移載対象箇所３が存在する側に突出させた第２突出位置とに移動させる第２出退機構１７と、第２保持部１６を第２出退機構１７に対して上下方向Ｚに移動させる第２昇降機構１８と、第２出退機構１７を上下方向Ｚに沿う軸心周りに旋回させる第２旋回機構１９と、を備えている。
本実施形態では、第２出退機構１７は、スカラーアームにより構成されている。第２出退機構１７の基部が昇降体８に上下方向Ｚに沿う軸心周りに回転自在に連結されており、第２出退機構１７の先端部に第２昇降機構１８が連結されている。第２出退機構１７は、出退方向Ｘに沿って伸縮することで第２保持部１６を出退方向Ｘに沿って移動させる。第２昇降機構１８は、第２出退機構１７に固定された本体部１８Ａと、本体部１８Ａに昇降可能に支持され且つ第２保持部１６に固定された昇降部１８Ｂと、を備えている。第２昇降機構１８は、昇降部１８Ｂを本体部１８Ａに対して上下方向Ｚに沿って移動させることで第２保持部１６を上下方向Ｚに沿って移動させる。第２保持部１６は、第１類物品Ｋ１の上部に備えられた第１類被保持部Ｒ１と、第２類物品Ｋ２の上部に備えられた第２類被保持部Ｒ２とのいずれをも保持できるように構成されている。
第２保持部１６について説明を加える。第２保持部１６は、水平方向に沿って互いに遠近離間移動自在な一対の把持爪１６Ａを備えている。第２保持部１６は、一対の把持爪１６Ａを互いに接近させた接近状態と、一対の把持爪１６Ａを互いに離間させた離間状態と、に切り換え可能に構成されている。離間状態では、一対の把持爪１６Ａの間隔は、第１被保持部Ｆ１、第２被保持部Ｆ２、第３被保持部Ｆ３の幅より広く、接近状態では、一対の把持爪１６Ａは第１被保持部Ｆ１、第２被保持部Ｆ２、第３被保持部Ｆ３の何れの幅よりも狭い。そのため、第２保持部１６は、第１種物品Ｔ１の上部に備えられた第１被保持部Ｆ１と、第２種物品Ｔ２の上部に備えられた第２被保持部Ｆ２と、第３種物品Ｔ３の上部に備えられた第３被保持部Ｆ３との何れも保持できるように構成されている。
第２移載装置７は、第１類物品Ｋ１や第２類物品Ｋ２を自己と移載対象箇所３との間で移載する移載動作を行う。第２移載装置７は、移載動作として、出退動作と昇降動作とに加えて、第１類物品Ｋ１又は第２類物品Ｋ２を保持する保持動作を行うように構成されている。
第２移載装置７の出退動作は、第２出退機構１７により第２保持部１６を第２引退位置から第２突出位置に突出させる第２突出動作や、第２出退機構１７により第２保持部１６を第２突出位置から第２引退位置に引退させる第２引退動作である。また、第２移載装置７の昇降動作は、第２昇降機構１８により第２保持部１６を上昇位置に上昇させる第２上昇動作や、第２昇降機構１８により第２保持部１６を上昇位置から第１種用下降位置に下降させる第１種用下降動作や、第２昇降機構１８により第２保持部１６を上昇位置から第２種用下降位置に下降させる第２種用下降動作や、第２昇降機構１８により第２保持部１６を上昇位置から第３種用下降位置に下降させる第３種用下降動作である。また、第２移載装置７の保持動作は、第２保持部１６を接近状態から離間状態に切り換える離間動作や、第２保持部１６を離間状態から接近状態に切り換える接近動作である。
第２移載装置７は、自己（第１移載装置６）から移載対象箇所３に第１種物品Ｔ１を移載する場合は、第１種物品Ｔ１を保持している第２保持部１６が上下方向Ｚにおいて上昇位置にあり且つ出退方向Ｘにおいて第２引退位置にある状態から、第２突出動作、第１種用下降動作、離間動作、第２上昇動作、第２引退動作の順で行う。
また、第２移載装置７は、移載対象箇所３から自己（第１移載装置６）に第１種物品Ｔ１を移載する場合は、第１種物品Ｔ１、第２種物品Ｔ２、第３種物品Ｔ３の何れをも保持していない第２保持部１６が上下方向Ｚにおいて上昇位置にあり且つ出退方向Ｘにおいて第２引退位置にある状態から、第２突出動作、第１種用下降動作、接近動作、第２上昇動作、第２引退動作の順で行う。
第２移載装置７は、自己（第１移載装置６）から移載対象箇所３に第２種物品Ｔ２を移載する場合は、第２種物品Ｔ２を保持している第２保持部１６が上下方向Ｚにおいて上昇位置にあり且つ出退方向Ｘにおいて第２引退位置にある状態から、第２突出動作、第２種用下降動作、離間動作、第２上昇動作、第２引退動作の順で行う。
また、第２移載装置７は、移載対象箇所３から自己（第１移載装置６）に第２種物品Ｔ２を移載する場合は、第１種物品Ｔ１、第２種物品Ｔ２、第３種物品Ｔ３の何れをも保持していない第２保持部１６が上下方向Ｚにおいて上昇位置にあり且つ出退方向Ｘにおいて第２引退位置にある状態から、第２突出動作、第２種用下降動作、接近動作、第２上昇動作、第２引退動作の順で行う。
第２移載装置７は、自己（第１移載装置６）から移載対象箇所３に第３種物品Ｔ３を移載する場合は、第３種物品Ｔ３を保持している第２保持部１６が上下方向Ｚにおいて上昇位置にあり且つ出退方向Ｘにおいて第２引退位置にある状態から、第２突出動作、第３種用下降動作、離間動作、第２上昇動作、第２引退動作の順で行う。
また、第２移載装置７は、移載対象箇所３から自己（第１移載装置６）に第３種物品Ｔ３を移載する場合は、第１種物品Ｔ１、第２種物品Ｔ２、第３種物品Ｔ３の何れをも保持していない第２保持部１６が上下方向Ｚにおいて上昇位置にあり且つ出退方向Ｘにおいて第２引退位置にある状態から、第２突出動作、第３種用下降動作、接近動作、第２上昇動作、第２引退動作の順で行う。
第１移載装置６は、第１類物品の自己と移載対象箇所との間での移載動作を、第２移載装置７に比べて短時間で実行可能な構成である。
第１移載装置６が、自己から移載対象箇所３に第１種物品Ｔ１を移載する場合に要する時間（第１突出動作、第１下降動作、第１引退動作に要する時間）は、第２移載装置７が、自己から移載対象箇所３に第１種物品Ｔ１を移載する場合に要する時間（第２突出動作、第１種用下降動作、離間動作、第２上昇動作、第２引退動作に要する時間）に比べて短い。
また、第１移載装置６が、移載対象箇所３から自己に第１種物品Ｔ１を移載する場合に要する時間（第１突出動作、第１上昇動作、第１引退動作に要する時間）は、第２移載装置７が、移載対象箇所３から自己に第１種物品Ｔ１を移載する場合に要する時間（第２突出動作、第１種用下降動作、接近動作、第２上昇動作、第２引退動作に要する時間）に比べて短い。
そして、第２移載装置７は、第２出退機構１７を上下方向Ｚに沿う軸心周りに回転させることにより、第２出退機構１７を伸縮させたときの第２保持部１６の出退方向Ｘを変更可能に構成されている。これにより、周囲に並ぶ５つの移載対象箇所３との間で第１種物品Ｔ１や第２種物品Ｔ２や第３種物品Ｔ３を移載することができるようになっている。
コンベヤ式搬送装置２は、第１種物品Ｔ１、第２種物品Ｔ２、及び第３種物品Ｔ３のうちの第１種物品Ｔ１のみを水平方向に沿って搬送する第１コンベヤ２１及び第２コンベヤ２２と、第１種物品Ｔ１、第２種物品Ｔ２、及び第３種物品Ｔ３とのうちの第２種物品Ｔ２と第３種物品Ｔ３とのみを水平方向に沿って搬送する第３コンベヤ２３と、を備えている。第１コンベヤ２１より上方に、第２コンベヤ２２と第３コンベヤ２３とが設置されている。
第１コンベヤ２１として、移載対象箇所３に向けて第１種物品Ｔ１を搬送する搬入用の第１コンベヤ２１と、移載対象箇所３から第１種物品Ｔ１を搬送する搬出用の第１コンベヤ２１と、がある。図１１に示す例では、搬入用の第１コンベヤ２１と搬出用の第１コンベヤ２１とを１組の第１コンベヤ２１として、同じ高さに２組の第１コンベヤ２１が設置されている。
第２コンベヤ２２として、移載対象箇所３に向けて第１種物品Ｔ１を搬送する搬入用の第２コンベヤ２２と、移載対象箇所３から第１種物品Ｔ１を搬送する搬出用の第２コンベヤ２２と、がある。また、第３コンベヤ２３として、移載対象箇所３に向けて第２種物品Ｔ２及び第３種物品Ｔ３を搬送する搬入用の第３コンベヤ２３と、移載対象箇所３から第２種物品Ｔ２及び第３種物品Ｔ３を搬送する搬出用の第３コンベヤ２３と、がある。図１２に示す例では、搬入用の第２コンベヤ２２と搬出用の第２コンベヤ２２とを１組の第２コンベヤ２２とし、搬入用の第３コンベヤ２３と搬出用の第３コンベヤ２３とを１組の第３コンベヤ２３として、同じ高さに１組の第２コンベヤ２２と１組の第３コンベヤ２３とが設置されている。
第２コンベヤ２２と第３コンベヤ２３との設置高さについて説明を加える。本実施形態では、図１３に示すように、第２コンベヤ２２は、当該第２コンベヤ２２が搬送する第１種物品Ｔ１の第１被保持部Ｆ１の高さが、第３コンベヤ２３が搬送する第２種物品Ｔ２の第２被保持部Ｆ２の高さと同じとなるように設置されている。
第１コンベヤ２１と第２コンベヤ２２とは、第１移載装置６による自己と第１コンベヤ２１との間の第１種物品Ｔ１の移載と、第２移載装置７による自己と第２コンベヤ２２との間の第１種物品Ｔ１の移載と、を同時に実行可能な間隔で配置されている。
また、第１コンベヤ２１と第３コンベヤ２３とは、第１移載装置６による自己と第１コンベヤ２１との間の第１種物品Ｔ１の移載と、第２移載装置７による自己と第３コンベヤ２３との間の第２種物品Ｔ２及び第３種物品Ｔ３の移載と、を同時に実行可能な間隔で配置されている。
第２コンベヤ２２は、水平方向に沿って移動して第１類物品Ｋ１（第１種物品Ｔ１）を搬送する第１類用台車２７と、第１類用台車２７の移動経路の一端部に対して設置された第１種用内側支持部２８と、第１類用台車２７の移動経路の他端部に対して設置された第１種用外側支持部（図示せず）と、を備えている。第１種用内側支持部２８は、移載対象箇所３に位置している。
第１種用内側支持部２８に対しては、昇降式搬送装置１によって第１種物品Ｔ１の載せ降しが行われる。また、第１種用外側支持部に対しては、天井近くを走行する物品搬送車４（図１参照）によって第１種物品Ｔ１の載せ降しが行われる。そして、第１類用台車２７により、第１種用内側支持部２８と第１種用外側支持部との間で第１種物品Ｔ１を搬送する。
第３コンベヤ２３は、水平方向に沿って移動して第２類物品Ｋ２（第２種物品Ｔ２及び第３種物品Ｔ３）を搬送する第２類用台車３１と、第２類用台車３１の移動経路の一端部に対して設置された第２種用内側支持部３２及び第３種用内側支持部３３と、第２類用台車３１の移動経路の他端部に対して設置された第２種用外側支持部（図示せず）及び第３種用外側支持部（図示せず）と、を備えている。第２種用内側支持部３２及び第３種用内側支持部３３は、移載対象箇所３に位置している。
第２種用内側支持部３２に対しては、昇降式搬送装置１によって第２種物品Ｔ２の載せ降しが行われ、第３種用内側支持部３３に対しては、昇降式搬送装置１によって第３種物品Ｔ３の載せ降しが行われる。第２種用外側支持部に対しては、物品搬送車４（図１参照）によって第２種物品Ｔ２の載せ降しが行われ、第３種用外側支持部に対しては、物品搬送車４によって第３種物品Ｔ３の載せ降しが行われる。そして、第２類用台車３１により、第２種用内側支持部３２と第２種用外側支持部との間で第２種物品Ｔ２を搬送すると共に、第３種用内側支持部３３と第３種用外側支持部との間で第３種物品Ｔ３を搬送する。
尚、第１コンベヤ２１は、第２コンベヤ２２と同様に構成されているため説明は省略する。
また、図１に示すように、コンベヤ式搬送装置２は、第１種物品Ｔ１、第２種物品Ｔ２、及び第３種物品Ｔ３のうちの第１種物品Ｔ１のみを水平方向に沿って搬送する第４コンベヤ２４と、第１種物品Ｔ１、第２種物品Ｔ２、及び第３種物品Ｔ３とのうちの第２種物品Ｔ２と第３種物品Ｔ３とのみを水平方向に沿って搬送する第５コンベヤ２５と、を備えている。
第４コンベヤ２４及び第５コンベヤ２５は、第１コンベヤ２１、第２コンベヤ２２及び第３コンベヤ２３に対して下方の床面近くに設置されている。この第４コンベヤ２４及び第５コンベヤ２５の一方側の端部は移載対象箇所３に位置している。そして、第４コンベヤ２４の他方側の端部に対して、作業者が第１種物品Ｔ１の載せ降しを行い、第５コンベヤ２５の他方側の端部に対して、作業者が第２種物品Ｔ２又は第３種物品Ｔ３の載せ降しを行う。
図１４に示すように、上位コントローラＨからの指令に基づいて昇降式搬送装置１の動作を制御する第１制御部Ｈ１と、上位コントローラＨからの指令に基づいてコンベヤ式搬送装置２の動作を制御する第２制御部Ｈ２と、を備えている。第１制御部Ｈ１は、第１移載装置６、第２移載装置７、及び昇降体８の動作を制御する制御部に相当する。
第１移載装置６は、第１在荷センサＳ１と上昇センサＳ２と下降センサＳ３とを備えている。第２移載装置７は、第２在荷センサＳ４と第３在荷センサＳ５と第１定位置センサＳ６と第２定位置センサＳ７とを備えている。尚、第２在荷センサＳ４が、第１種物品Ｔ１を検出するための第１センサに相当し、第３在荷センサＳ５が、第２種物品Ｔ２及び第３種物品Ｔ３を検出するための第２センサに相当する。
図３及び図４に示すように、第１在荷センサＳ１は、第１保持部１１に載置されている第１種物品Ｔ１が存在する領域に向けて検出光を投光するように設置されている。第１制御部Ｈ１は、第１在荷センサＳ１の検出情報に基づいて、第１保持部１１が第１種物品Ｔ１を保持しているか否かを判別する。
上昇センサＳ２は、昇降体８が第１コンベヤ２１に対応する高さに位置すると共に、第１保持部１１が上昇位置で且つ第１コンベヤ２１に対応する旋回位置にある状態で、第１コンベヤ２１に設置されている第１被検出体Ａ１に向けて検出光を投光するように設置されている。第１制御部Ｈ１は、上昇センサＳ２の検出情報に基づいて、第１保持部１１が移載対象箇所３に対して適した上昇位置にあるか否かを判別する。尚、第２コンベヤ２２にも第１コンベヤ２１と同様に第１被検出体Ａ１が設置されている。
下降センサＳ３は、昇降体８が第１コンベヤ２１に対応する高さに位置すると共に、第１保持部１１が下降位置で且つ第１コンベヤ２１に対応する旋回位置にある状態で、第１コンベヤ２１に設置されている第１被検出体Ａ１に向けて検出光を投光するように設置されている。第１制御部Ｈ１は、下降センサＳ３の検出情報に基づいて、第１保持部１１が移載対象箇所３に対して適した下降位置にあるか否かを判別する。
図５〜図１０に示すように、第２在荷センサＳ４は、第２移載装置７が保持する第１種物品Ｔ１が存在する高さで且つ第２移載装置７が保持する第２種物品Ｔ２及び第３種物品Ｔ３が存在しない高さに設置されている。そして、第２在荷センサＳ４は、第２保持部１６に保持されている第１種物品Ｔ１が存在する領域で且つ第２保持部１６に保持されている第２種物品Ｔ２や第３種物品Ｔ３が存在しない領域に向けて検出光を投光するように設置されている。第１制御部Ｈ１は、第２在荷センサＳ４の検出情報に基づいて、第２保持部１６が第１種物品Ｔ１を保持しているか否かを判別する。
第３在荷センサＳ５は、第２移載装置７が保持する第２種物品Ｔ２が存在する高さで且つ第２移載装置７が保持する第３種物品Ｔ３が存在する高さに設置されている。そして、第３在荷センサＳ５は、第２保持部１６に保持されている第２種物品Ｔ２が存在する領域で且つ第２保持部１６に保持されている第３種物品Ｔ３が存在する領域に向けて検出光を投光するように設置されている。また、本実施形態では、この第３在荷センサＳ５は、距離センサにより構成されており、第２保持部１６に保持されている物品までの距離を計測するように構成されている。第１制御部Ｈ１は、第３在荷センサＳ５の検出情報に基づいて、第２保持部１６が第２種物品Ｔ２を保持しているか否かを判別すると共に、第２保持部１６が第３種物品Ｔ３を保持しているか否かを判別する。
第１定位置センサＳ６は、昇降体８が第２コンベヤ２２に対応する高さに位置すると共に、第２コンベヤ２２に対応する旋回位置にある状態で、第２コンベヤ２２に設置されている第２被検出体Ａ２に向けて検出光を投光するように設置されている。第１制御部Ｈ１は、第１定位置センサＳ６の検出情報に基づいて、第２保持部１６が第２コンベヤ２２に対して適した位置にあるか否かを判別する。尚、第１コンベヤ２１に対しても第２コンベヤ２２と同様に第２被検出体Ａ２が設置されている。
第２定位置センサＳ７は、昇降体８が第３コンベヤ２３に対応する高さに位置すると共に、第３コンベヤ２３に対応する旋回位置にある状態で、第３コンベヤ２３に設置されている第３被検出体Ａ３に向けて検出光を投光するように設置されている。第１制御部Ｈ１は、第２定位置センサＳ７の検出情報に基づいて、第２保持部１６が第３コンベヤ２３に対して適した位置にあるか否かを判別する。
図１３に示すように、第３コンベヤ２３は、搬送中の物品が第２種物品Ｔ２か第３種物品Ｔ３かを判別する判別装置３５を備えている。判別装置３５は、第４在荷センサＳ８と第５在荷センサＳ９と第２制御部Ｈ２とで構成されている。第４在荷センサＳ８は、第２種用内側支持部３２に載置されている第２種物品Ｔ２が存在する領域に向けて検出光を投光するように設置されている。また、第５在荷センサＳ９は、第３種用内側支持部３３に載置されている第３種物品Ｔ３が存在する領域に向けて検出光を投光するように設置されている。第２制御部Ｈ２は、第４在荷センサＳ８の検出情報及び第５在荷センサＳ９の検出情報に基づいて、第２種用内側支持部３２が第２種物品Ｔ２を支持しているか否かを判別すると共に、第３種用内側支持部３３が第３種物品Ｔ３を支持しているか否かを判別する。
第１制御部Ｈ１は、昇降体８を移載対象箇所３に対応する位置に昇降させる昇降制御と、物品を移載対象箇所３との間で移載する移載制御と、を実行する。第１制御部Ｈ１は、移載制御として、第１コンベヤ２１から第１移載装置６に第１種物品Ｔ１を移載する移載制御、第２コンベヤ２２から第２移載装置７に第１種物品Ｔ１を移載する移載制御、第３コンベヤ２３から第２移載装置７に第２種物品Ｔ２を移載する移載制御、第３コンベヤ２３から第２移載装置７に第３種物品Ｔ３を移載する移載制御、第２コンベヤ２２から第１移載装置６に第１種物品Ｔ１を移載する移載制御、を実行する。更に、第１制御部Ｈ１は、移載制御として、第１移載装置６から第１コンベヤ２１に第１種物品Ｔ１を移載する移載制御、第２移載装置７から第２コンベヤ２２に第１種物品Ｔ１を移載する移載制御、第２移載装置７から第３コンベヤ２３に第２種物品Ｔ２を移載する移載制御、第２移載装置７から第３コンベヤ２３に第３種物品Ｔ３を移載する移載制御、第１移載装置６から第２コンベヤ２２に第１種物品Ｔ１を移載する移載制御、を実行する。
つまり、例えば、第１コンベヤ２１の第１種用内側支持部２８に第１種物品Ｔ１が支持され、第２移載装置７に第２種物品Ｔ２が支持されている場合は、まず、第１制御部Ｈ１は、第１移載装置６が第１コンベヤ２１に対応する位置に移動するように昇降体８を昇降させる昇降制御を実行する。これにより、このように昇降制御を実行することで、第１移載装置６が第１コンベヤ２１に対応する位置に移動し、第２移載装置７が第２コンベヤ２２に対応する位置に移動する。そして、第１制御部Ｈ１は、第１コンベヤ２１から第１移載装置６に第１種物品Ｔ１を移載する移載制御と、第２移載装置７から第３コンベヤ２３に第２種物品Ｔ２を移載する移載制御と、を同時に実行する。
また、例えば、第２コンベヤ２２の第１種用内側支持部２８に第１種物品Ｔ１が支持され、第１コンベヤ２１の第１種用内側支持部２８に第１種物品Ｔ１が支持されておらず、第１移載装置６及び第２移載装置７の双方が物品を保持していない場合は、第２コンベヤ２２の第１種用内側支持部２８に支持された第１種物品Ｔ１のみを移載すればよい。このような場合は、第１移載装置６と第２移載装置７との何れでも第１種物品Ｔ１を移載することができる。つまり、第２コンベヤ２２から第１移載装置６に第１種物品Ｔ１を移載する移載制御と、第２コンベヤ２２から第２移載装置７に第１種物品Ｔ１を移載する移載制御と、の双方を実行可能である。このような場合は、第１制御部Ｈ１は、第１移載装置６が第２コンベヤ２２に対応する位置に移動するように昇降体８を昇降させる昇降制御を実行する。その後、第２コンベヤ２２から第１移載装置６に第１種物品Ｔ１を移載する移載制御を実行する。このように、第２コンベヤ２２から第１移載装置６に第１種物品Ｔ１を移載する移載制御と、第２コンベヤ２２から第２移載装置７に第１種物品Ｔ１を移載する移載制御と、の双方を実行可能な場合、第１制御部Ｈ１は、第２コンベヤ２２から第１移載装置６に第１種物品Ｔ１を移載する移載制御を優先的に実行する。
尚、第１コンベヤ２１から第１移載装置６に第１種物品Ｔ１を移載する移載制御が、第１制御に相当し、第２コンベヤ２２から第２移載装置７に第１種物品Ｔ１を移載する移載制御が、第２制御に相当し、第３コンベヤ２３から第２移載装置７に第２種物品Ｔ２又は第３種物品Ｔ３を移載する移載制御が、第３制御に相当し、第２コンベヤ２２から第１移載装置６に第１種物品Ｔ１を移載する移載制御が、第４制御に相当する。
２．その他の実施形態
次に、物品搬送設備のその他の実施形態について説明する。
（１）上記実施形態では、第１種物品Ｔ１をＦＯＵＰ及びＦＯＳＢとし、第２種物品Ｔ２をＥＵＶ用容器とし、第３種物品Ｔ３をレチクル用容器としたが、第１種物品Ｔ１、第２種物品Ｔ２、及び第３種物品Ｔ３は適宜変更してもよい。例えば、第１種物品Ｔ１を、ＦＯＵＰとＦＯＳＢとうちの何れか一方としてもよく、第２種物品Ｔ２及び第３種物品Ｔ３の少なくとも一方を、レチクル用容器及びＥＵＶ用容器以外の容器としてもよい。また、第１種物品Ｔ１、第２種物品Ｔ２、及び第３種物品Ｔ３は、半導体製造設備で搬送されるこれらの物品には限定されず、例えば、コンテナやパレット等の容器であっても良いし、各種の製品そのものであっても良い。
（２）上記実施形態では、第１種物品Ｔ１をＦＯＵＰ及びＦＯＳＢとし、第２種物品Ｔ２をＥＵＶ容器とし、第３種物品Ｔ３をレチクル容器として、収容物の用途が異なる場合を例として説明した。しかしこれに限定されず、例えば、第１種物品Ｔ１と第２種物品Ｔ２と第３種物品Ｔ３とでサイズが異なる半導体ウェハを収容するようにする等、第１種物品Ｔ１と第２種物品Ｔ２と第３種物品Ｔ３とで、収容物の用途が同じであってもよい。
（３）上記実施形態では、第１制御部Ｈ１は、第２制御と第４制御との双方が実行可能な場合は、第４制御を優先的に実行したが、第２制御を優先的に実行してもよい。
（４）上記実施形態では、第１昇降機構１３が、第１出退機構１２に対して第１保持部１１を上下方向Ｚに沿って移動させる構成である場合を例として説明したが、これに限らず、第１昇降機構１３が、昇降体８に対して第１出退機構１２を上下方向Ｚに沿って移動させることで、第１保持部１１を上下方向Ｚに沿って移動させる構成であってもよい。また、同様に、第２昇降機構１８が、昇降体８に対して第２出退機構１７を上下方向Ｚに沿って移動させることで、第２保持部１６を上下方向Ｚに沿って移動させる構成であってもよい。
（５）上記実施形態では、第１移載装置６に対して上方側に第２移載装置７を設置したが、第１移載装置６に対して下方側に第２移載装置７を設置してもよい。
（６）上記実施形態では、第１移載装置６が、移載動作として出退動作と昇降動作とを行うように構成され、第２移載装置７が、移載動作として出退動作と昇降動作と保持動作とを行うように構成され、第１移載装置６と第２移載装置７とで移載動作が異なる場合を例として説明したが、これに限らず、第１移載装置６と第２移載装置７とで移載動作を同じとしてもよい。例えば、第１移載装置６と第２移載装置７との双方が、移載動作として出退動作と昇降動作とを行うように構成されてもよい。この場合において、例えば、第１出退機構１２と第２出退機構１７とのうちの一方をスカラーアームにて構成し、他方をスライドフォークにて構成するようにしてもよい。この場合において、スカラーアームとスライドフォークの移載動作の相違により、第１移載装置６が、第２移載装置７に比べて移載動作を短時間で実行可能な構成であってもよい。
（７）上記実施形態では、第２移載装置７が、第１種物品Ｔ１を検出するための第２在荷センサＳ４と、第２種物品Ｔ２及び第３種物品Ｔ３を検出するための第３在荷センサＳ５と、を備える構成としたが、第２移載装置７が備えるセンサの位置及び数は適宜変更してもよい。つまり、第１種物品Ｔ１、第２種物品Ｔ２、及び第３種物品Ｔ３が存在する高さにセンサを備えて、１つのセンサにより第１種物品Ｔ１、第２種物品Ｔ２、及び第３種物品Ｔ３を検出する構成としてもよく、第１種物品Ｔ１、第２種物品Ｔ２、第３種物品Ｔ３の夫々に対して個別にセンサを設置して、３つのセンサにより第１種物品Ｔ１、第２種物品Ｔ２、及び第３種物品Ｔ３を検出する構成としてもよい。
（８）なお、上述した各実施形態で開示された構成は、矛盾が生じない限り、他の実施形態で開示された構成と組み合わせて適用することも可能である。その他の構成に関しても、本明細書において開示された実施形態は全ての点で単なる例示に過ぎない。従って、本開示の趣旨を逸脱しない範囲内で、適宜、種々の改変を行うことが可能である。
３．上記実施形態の概要
以下、上記において説明した物品搬送設備の概要について説明する。
物品搬送設備は、第１搬送装置と第２搬送装置とを備え、外形寸法が互いに異なる第１種物品と第２種物品と第３種物品とを搬送対象とし、
前記第１搬送装置は、第１移載装置と、上下方向に沿う上下方向視で前記第１移載装置と重なる位置に設置された第２移載装置と、前記第１移載装置及び前記第２移載装置を支持し且つ前記上下方向に沿って移動する昇降体と、を備え、前記第１移載装置は、前記第１種物品、前記第２種物品、及び前記第３種物品のうちの前記第１種物品のみを自己と前記第２搬送装置との間で移載可能に構成され、前記第２移載装置は、前記第１種物品、前記第２種物品、及び前記第３種物品を自己と前記第２搬送装置との間で移載可能に構成され、前記第１種物品の搬送量は、前記第２種物品の搬送量と前記第３種物品の搬送量との合計より多く、前記第２搬送装置は、前記第１種物品、前記第２種物品、及び前記第３種物品のうちの前記第１種物品のみを水平方向に沿って搬送する第１コンベヤ及び第２コンベヤと、前記第１種物品、前記第２種物品、及び前記第３種物品とのうちの前記第２種物品と前記第３種物品とのみを水平方向に沿って搬送する第３コンベヤと、を備え、前記上下方向における前記第１移載装置に対して前記第２移載装置が設置されている側を上下方向特定側として、前記第１コンベヤに対して前記上下方向特定側に、前記第２コンベヤと前記第３コンベヤとが設置され、前記第１コンベヤと前記第２コンベヤとは、前記第１移載装置による自己と前記第１コンベヤとの間の前記第１種物品の移載と、前記第２移載装置による自己と前記第２コンベヤとの間の前記第１種物品の移載と、を同時に実行可能な間隔で設けられ、前記第１コンベヤと前記第３コンベヤとは、前記第１移載装置による自己と前記第１コンベヤとの間の前記第１種物品の移載と、前記第２移載装置による自己と前記第３コンベヤとの間の前記第２種物品及び前記第３種物品の移載と、を同時に実行可能な間隔で設けられている。
この構成によれば、第１移載装置による自己と第１コンベヤとの間での第１種物品の移載と、第２移載装置による自己と第２コンベヤとの間での第１種物品の移載と、を同時に実行できる。また、第１移載装置による自己と第１コンベヤとの間で第１種物品の移載と、第２移載装置による自己と第３コンベヤとの間での第２種物品又は第３種物品の移載と、を同時に実行できる。
つまり、第２移載装置に、第１種物品と第２種物品と第３種物品との何れの物品を保持する場合でも、第１移載装置による移載と第２移載装置による移載とを同時に実行することができる。そして、搬送量が比較的少ない第２種物品や第３種物品を第２移載装置に保持しない場合は、この第２移載装置に搬送量が比較的多い第１種物品を保持することができるため、物品の搬送効率を高めることができる。また、第１移載装置、第１コンベヤ、及び第２コンベヤは、第１種物品のみを保持又は搬送する構成で良く、３種類の物品を保持又は搬送できる構成とするのを第２移載装置と第３コンベヤだけにできる為、製造コストの上昇を少なく抑えることができる。
従って、この構成によれば、製造コストの上昇を少なく抑えながら物品の搬送効率を高めることができる。
ここで、前記上下方向特定側は、前記上下方向における上側であると好適である。
この構成によれば、第１移載装置に対して上側に第２移載装置が設置される。従って、第１コンベヤに対して上側に、第２コンベヤと第３コンベヤとが設置される。
また、前記第１種物品は、前記第２種物品及び前記第３種物品よりも前記上下方向の寸法が大きく、前記第２移載装置は、前記第１種物品を検出するための第１センサと、前記第２種物品及び前記第３種物品を検出するための第２センサと、を備え、前記第１センサは、前記第２移載装置が保持する前記第１種物品が存在する高さで且つ前記第２移載装置が保持する前記第２種物品及び前記第３種物品が存在しない高さに設置され、前記第２センサは、前記第２移載装置が保持する前記第２種物品が存在する高さで且つ前記第２移載装置が保持する第３種物品が存在する高さに設置されていると好適である。
この構成によれば、第２移載装置が第１種物品を保持している場合には第１センサ及び第２センサが物品を検出する。一方、第２移載装置が第２種物品又は第３種物品を保持している場合には第１センサが物品を検出し、第２センサは物品を検出しない。従って、この構成によれば、第２移載装置が保持している物品が、第１種物品であるか第２種物品又は第３種物品であるかを適切に検出することができる。
また、前記第１移載装置は、前記第１種物品を保持する第１保持部を第１引退位置と前記第１引退位置に対して前記第２搬送装置が存在する側に突出させた第１突出位置とに移動させる第１出退機構と、前記第１保持部を前記第１出退機構に対して前記上下方向に移動させる第１昇降機構と、を備え、前記第２移載装置は、前記第１種物品、前記第２種物品、及び前記第３種物品のいずれをも保持できる第２保持部を第２引退位置と前記第２引退位置に対して前記第２搬送装置が存在する側に突出させた第２突出位置とに移動させる第２出退機構と、前記第２保持部を前記第２出退機構に対して前記上下方向に移動させる第２昇降機構と、を備えていると好適である。
この構成によれば、第１昇降機構は、第１出退機構と第１保持部とのうちの第１保持部のみを昇降させるため、第１出退機構と第１保持部との双方を昇降させる場合に比べて、第１昇降機構により昇降させる対象の重量を軽くできるため、第１昇降機構の小型化や軽量化を図ることができる。同様に、第２昇降機構についても、第２昇降機構により昇降させる対象の重量を軽くできるため、第２昇降機構の小型化や軽量化を図ることができる。
また、前記第３コンベヤは、搬送中の物品が前記第２種物品か前記第３種物品かを判別する判別装置を備えていると好適である。
この構成によれば、第３コンベヤにおいて搬送中の物品が第２種物品か第３種物品かを適切に判別することができる。従って、第３コンベヤにおいて搬送中の物品が第２種物品か第３種物品かに応じて、その後の搬送を適切に行うことが可能となる。
また、前記第１移載装置は、前記第１種物品の底面を下方から支えることで保持するように構成された第１保持部を備え、前記第２移載装置は、前記第１種物品の上部に備えられた第１被保持部、前記第２種物品の上部に備えられた第２被保持部、及び、前記第３種物品の上部に備えられた第３被保持部とのいずれをも保持できるように構成された第２保持部を備えていると好適である。
この構成によれば、第１種物品、第２種物品、及び第３種物品のうちの第１種物品のみを移載する第１移載装置と、第１種物品、第２種物品、及び第３種物品を移載する第２移載装置とを、それぞれ適切に構成することができる。また、この構成によれば、第１移載装置の第１保持部を、第１移載装置に保持されている第１種物品に対して下方に配置し、第２移載装置の第２保持部を、第２移載装置に保持されている第１種物品や第２種物品や第３種物品に対して上方に配置することができる。そのため、上記のように第１移載装置より上方に第２移載装置が配置される場合には、第１保持部と第２保持部とを上下に離して配置でき、これらの間に物品を保持するための空間を形成できる。そのため、第１移載装置に保持されている物品と第２移載装置に保持されている物品との上下方向の間隔を狭くできる。従って、第１移載装置の移載対象箇所と第２移載装置の移載対象箇所との上下方向の間隔も狭くすることができ、移載対象箇所の省スペース化を図り易い。
また、前記第２コンベヤは、当該第２コンベヤが搬送する前記第１種物品の前記第１被保持部の高さが、前記第３コンベヤが搬送する前記第２種物品の前記第２被保持部の高さと同じとなるように設置されていると好適である。
この構成によれば、第２移載装置は、第１種物品Ｔ１と第２種物品Ｔ２とを同じ動作で移載することができる。そのため、第２移載装置の構成を簡略化し易いと共に、第２移載装置の制御構成の簡素化も図り易い。
また、前記第１種物品は、半導体ウェハを収納するウェハ用容器であり、前記第２種物品は、ＥＵＶマスクを収納するＥＵＶ用容器であり、前記第３種物品は、レチクルを収納するレチクル用容器であると好適である。
この構成によれば、半導体製造設備において、一般的に搬送量が比較的多いウェハ用容器と、搬送量が比較的少ないＥＵＶ用容器及びレチクル用容器とを、搬送効率の低下を抑制しながら適切に搬送できる。
また、前記第１移載装置、前記第２移載装置、及び前記昇降体の動作を制御する制御部を更に備え、前記第１移載装置は、前記第１種物品の自己と前記第２搬送装置との間での移載動作を、前記第２移載装置に比べて短時間で実行可能な構成であり、前記制御部は、前記第１コンベヤから前記第１移載装置に前記第１種物品を移載する第１制御と、前記第２コンベヤから前記第２移載装置に前記第１種物品を移載する第２制御と、前記第３コンベヤから前記第２移載装置に前記第２種物品又は前記第３種物品を移載する第３制御と、前記第２コンベヤから前記第１移載装置に前記第１種物品を移載する第４制御と、を実行すると共に、前記第２制御と前記第４制御との双方が実行可能な場合は、前記第４制御を優先的に実行すると好適である。
この構成によれば、第２制御と第４制御との双方が実行可能である場合には、第４制御を優先的に実行することになる。そして、第１移載装置は第２移載装置に比べて移載動作を短時間で実行可能である。そのため、この構成によれば、搬送量が比較的多い第１種物品の搬送をより効率的に行うことができる。
本開示に係る技術は、第１搬送装置と第２搬送装置とを備えた物品搬送設備に利用することができる。
１：昇降式搬送装置（第１搬送装置）
２：コンベヤ式搬送装置（第２搬送装置）
３：移載対象箇所
６：第１移載装置
７：第２移載装置
８：昇降体
１１：第１保持部
１２：第１出退機構
１３：第１昇降機構
１６：第２保持部
１７：第２出退機構
１８：第２昇降機構
２１：第１コンベヤ
２２：第２コンベヤ
２３：第３コンベヤ
Ｆ１：第１被保持部
Ｆ２：第２被保持部
Ｆ３：第３被保持部
Ｈ：制御部
Ｓ４：第２在荷センサ（第１センサ）
Ｓ５：第３在荷センサ（第２センサ）
Ｔ１：第１種物品
Ｔ２：第２種物品
Ｔ３：第３種物品
Ｚ：上下方向

Claims (9)

  1. 第１搬送装置と第２搬送装置とを備え、外形寸法が互いに異なる第１種物品と第２種物品と第３種物品とを搬送対象とする物品搬送設備であって、
    前記第１搬送装置は、
    第１移載装置と、
    上下方向に沿う上下方向視で前記第１移載装置と重なる位置に設置された第２移載装置と、
    前記第１移載装置及び前記第２移載装置を支持し且つ前記上下方向に沿って移動する昇降体と、を備え、
    前記第１移載装置は、前記第１種物品、前記第２種物品、及び前記第３種物品のうちの前記第１種物品のみを自己と前記第２搬送装置との間で移載可能に構成され、
    前記第２移載装置は、前記第１種物品、前記第２種物品、及び前記第３種物品を自己と前記第２搬送装置との間で移載可能に構成され、
    前記第１種物品の搬送量は、前記第２種物品の搬送量と前記第３種物品の搬送量との合計より多く、
    前記第２搬送装置は、前記第１種物品、前記第２種物品、及び前記第３種物品のうちの前記第１種物品のみを水平方向に沿って搬送する第１コンベヤ及び第２コンベヤと、前記第１種物品、前記第２種物品、及び前記第３種物品とのうちの前記第２種物品と前記第３種物品とのみを水平方向に沿って搬送する第３コンベヤと、を備え、
    前記上下方向における前記第１移載装置に対して前記第２移載装置が設置されている側を上下方向特定側として、前記第１コンベヤに対して前記上下方向特定側に、前記第２コンベヤと前記第３コンベヤとが設置され、
    前記第１コンベヤと前記第２コンベヤとは、前記第１移載装置による自己と前記第１コンベヤとの間の前記第１種物品の移載と、前記第２移載装置による自己と前記第２コンベヤとの間の前記第１種物品の移載と、を同時に実行可能な間隔で設けられ、
    前記第１コンベヤと前記第３コンベヤとは、前記第１移載装置による自己と前記第１コンベヤとの間の前記第１種物品の移載と、前記第２移載装置による自己と前記第３コンベヤとの間の前記第２種物品及び前記第３種物品の移載と、を同時に実行可能な間隔で設けられている、物品搬送設備。
  2. 前記上下方向特定側は、前記上下方向における上側である、請求項１に記載の物品搬送設備。
  3. 前記第１種物品は、前記第２種物品及び前記第３種物品よりも前記上下方向の寸法が大きく、
    前記第２移載装置は、前記第１種物品を検出するための第１センサと、前記第２種物品及び前記第３種物品を検出するための第２センサと、を備え、
    前記第１センサは、前記第２移載装置が保持する前記第１種物品が存在する高さで且つ前記第２移載装置が保持する前記第２種物品及び前記第３種物品が存在しない高さに設置され、
    前記第２センサは、前記第２移載装置が保持する前記第２種物品が存在する高さで且つ前記第２移載装置が保持する前記第３種物品が存在する高さに設置されている、請求項１又は２に記載の物品搬送設備。
  4. 前記第１移載装置は、前記第１種物品を保持する第１保持部を第１引退位置と前記第１引退位置に対して前記第２搬送装置が存在する側に突出させた第１突出位置とに移動させる第１出退機構と、前記第１保持部を前記第１出退機構に対して前記上下方向に移動させる第１昇降機構と、を備え、
    前記第２移載装置は、前記第１種物品、前記第２種物品、及び前記第３種物品のいずれをも保持できる第２保持部を第２引退位置と前記第２引退位置に対して前記第２搬送装置が存在する側に突出させた第２突出位置とに移動させる第２出退機構と、前記第２保持部を前記第２出退機構に対して前記上下方向に移動させる第２昇降機構と、を備えている、請求項１から３のいずれか一項に記載の物品搬送設備。
  5. 前記第３コンベヤは、搬送中の物品が前記第２種物品か前記第３種物品かを判別する判別装置を備えている、請求項１から４のいずれか一項に記載の物品搬送設備。
  6. 前記第１移載装置は、前記第１種物品の底面を下方から支えることで保持するように構成された第１保持部を備え、
    前記第２移載装置は、前記第１種物品の上部に備えられた第１被保持部、前記第２種物品の上部に備えられた第２被保持部、及び、前記第３種物品の上部に備えられた第３被保持部とのいずれをも保持できるように構成された第２保持部を備えている、請求項１から５のいずれか一項に記載の物品搬送設備。
  7. 前記第２コンベヤは、当該第２コンベヤが搬送する前記第１種物品の前記第１被保持部の高さが、前記第３コンベヤが搬送する前記第２種物品の前記第２被保持部の高さと同じとなるように設置されている、請求項６に記載の物品搬送設備。
  8. 前記第１種物品は、半導体ウェハを収納するウェハ用容器であり、
    前記第２種物品は、ＥＵＶマスクを収納するＥＵＶ用容器であり、
    前記第３種物品は、レチクルを収納するレチクル用容器である、請求項１から７のいずれか一項に記載の物品搬送設備。
  9. 前記第１移載装置、前記第２移載装置、及び前記昇降体の動作を制御する制御部を更に備え、
    前記第１移載装置は、前記第１種物品の自己と前記第２搬送装置との間での移載動作を、前記第２移載装置に比べて短時間で実行可能な構成であり、
    前記制御部は、前記第１コンベヤから前記第１移載装置に前記第１種物品を移載する第１制御と、前記第２コンベヤから前記第２移載装置に前記第１種物品を移載する第２制御と、前記第３コンベヤから前記第２移載装置に前記第２種物品又は前記第３種物品を移載する第３制御と、前記第２コンベヤから前記第１移載装置に前記第１種物品を移載する第４制御と、を実行すると共に、前記第２制御と前記第４制御との双方が実行可能な場合は、前記第４制御を優先的に実行する、請求項１から８のいずれか１項に記載の物品搬送設備。
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