JP2018077950A - Sample base support - Google Patents

Sample base support Download PDF

Info

Publication number
JP2018077950A
JP2018077950A JP2016217168A JP2016217168A JP2018077950A JP 2018077950 A JP2018077950 A JP 2018077950A JP 2016217168 A JP2016217168 A JP 2016217168A JP 2016217168 A JP2016217168 A JP 2016217168A JP 2018077950 A JP2018077950 A JP 2018077950A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
sample
sample holder
frame
sample stage
support
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2016217168A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP6796455B2 (en
Inventor
節久 川村
Setsuhisa Kawamura
節久 川村
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Jeol Ltd
Original Assignee
Jeol Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Jeol Ltd filed Critical Jeol Ltd
Priority to JP2016217168A priority Critical patent/JP6796455B2/en
Publication of JP2018077950A publication Critical patent/JP2018077950A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP6796455B2 publication Critical patent/JP6796455B2/en
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a sample base support which can prevent damage to a sample base and allows easier operation.SOLUTION: A sample base support 100 is used to support a sample base 2 of a sample holder 1 comprising: the sample base 2 for holding a sample; and a frame 4 to which the sample base 2 is fitted. The sample base support includes: a frame sandwiching part 24 for sandwiching the frame 4; and a protruding part 26, provided on the frame sandwiching part 24, which comes into contact with the sample base 2 when the frame sandwiching part 24 is sandwiching the frame 4.SELECTED DRAWING: Figure 1

Description

本発明は、試料台支持具に関する。   The present invention relates to a sample stage support.

透過電子顕微鏡（ＴＥＭ）や走査透過電子顕微鏡（ＳＴＥＭ）等の電子顕微鏡では、試料ホルダーに試料を装着し、試料が装着された試料ホルダーを電子顕微鏡に挿入して試料を電子顕微鏡の試料室に導入する。   In an electron microscope such as a transmission electron microscope (TEM) or a scanning transmission electron microscope (STEM), a sample is mounted on a sample holder, the sample holder on which the sample is mounted is inserted into the electron microscope, and the sample is placed in the sample chamber of the electron microscope. Introduce.

このような電子顕微鏡用の試料ホルダーとして、互いに直交する二軸まわりに試料を傾斜させることができる二軸傾斜ホルダーが知られている（例えば特許文献１参照）。このような試料ホルダーは、試料を保持する試料台を、試料ホルダーの軸方向に垂直な軸まわりに回転させる傾斜機構を備えている。   As such a sample holder for an electron microscope, a biaxial tilt holder capable of tilting a sample around two axes orthogonal to each other is known (see, for example, Patent Document 1). Such a sample holder includes an inclination mechanism that rotates a sample stage for holding a sample around an axis perpendicular to the axial direction of the sample holder.

特開平１１−２０４０７４号公報JP 11-204074 A

上記のような傾斜機構を備えた試料ホルダーでは、試料台が傾斜可能に支持されているため、試料を交換する際に試料台に力が加わると試料台が壊れてしまうおそれがある。そのため、従来、試料ホルダーに装着された試料を交換する際には、試料台を支持するための試料交換台を用いて、試料台が試料交換台に支持された状態で試料交換が行われていた。   In the sample holder provided with the tilt mechanism as described above, since the sample stage is supported so as to be tilted, the sample stage may be broken if force is applied to the sample stage when exchanging the sample. Therefore, conventionally, when exchanging the sample mounted on the sample holder, the sample is exchanged with the sample stage supported by the sample exchange stage using the sample exchange stage for supporting the sample stage. It was.

図１５は、試料ホルダー１をホルダーケース１０００に載置した様子を模式的に示す斜視図である。図１６は、試料ホルダー１の先端部を模式的に示す斜視図である。図１７は、試料ホルダー１の載置台１００６に試料交換台１０１０を載置した様子を模式的に示す斜視図である。   FIG. 15 is a perspective view schematically showing a state in which the sample holder 1 is placed on the holder case 1000. FIG. 16 is a perspective view schematically showing the tip portion of the sample holder 1. FIG. 17 is a perspective view schematically showing a state in which the sample exchange table 1010 is mounted on the mounting table 1006 of the sample holder 1.

図１５および図１６に示すように、試料ホルダー１は、試料台２と、フレーム４と、シャフト部６と、を含んで構成されている。試料台２は、試料を保持するためのものである。試料は、試料固定プレート３ａと試料台２との間に挟まれている。試料は、試料固定プレート３ａが板バネ３によって押圧されることにより固定される。試料台２は、フレーム４に、シャフト部６の軸方向に垂直な軸まわりに回転可能（傾斜可能）に支持されている。   As shown in FIGS. 15 and 16, the sample holder 1 includes a sample stage 2, a frame 4, and a shaft portion 6. The sample stage 2 is for holding a sample. The sample is sandwiched between the sample fixing plate 3a and the sample table 2. The sample is fixed when the sample fixing plate 3 a is pressed by the leaf spring 3. The sample stage 2 is supported by the frame 4 so as to be rotatable (tiltable) around an axis perpendicular to the axial direction of the shaft portion 6.

ホルダーケース１０００は、試料ホルダー１を支持するためのものである。ホルダーケース１０００は、ベース部１００２と、試料ホルダー支持部１００４と、載置台１００６と、試料交換台１０１０と、を含んで構成されている。   The holder case 1000 is for supporting the sample holder 1. The holder case 1000 includes a base unit 1002, a sample holder support unit 1004, a mounting table 1006, and a sample exchange table 1010.

ホルダーケース１０００において、試料ホルダー１は、試料ホルダー支持部１００４によって支持される。ベース部１００２には、試料交換台１０１０を載置するための載置台１００６が設けられている。   In the holder case 1000, the sample holder 1 is supported by a sample holder support unit 1004. The base unit 1002 is provided with a mounting table 1006 for mounting the sample exchange table 1010.

試料交換台１０１０は、試料ホルダー１において試料の取り付け、取り外しを行う際に用いられる。試料交換台１０１０は、試料ホルダー１において試料の取り付け、取り外し
を行う際には、載置台１００６に載置される。 The sample exchange table 1010 is used when a sample is attached to or detached from the sample holder 1. The sample exchange table 1010 is mounted on the mounting table 1006 when a sample is attached to or detached from the sample holder 1.

試料交換台１０１０には、試料ホルダー１の試料台２を支持するための支持台１０１２が設けられている。支持台１０１２は、高さＨ（図１７参照）が調整可能に構成されている。支持台１０１２の高さＨは、試料ホルダー１が試料ホルダー支持部１００４で支持されている状態において、試料台２の下面に触れる程度の高さにあらかじめ調整されている。   The sample exchange table 1010 is provided with a support table 1012 for supporting the sample table 2 of the sample holder 1. The support base 1012 is configured to be adjustable in height H (see FIG. 17). The height H of the support table 1012 is adjusted in advance to such a height that it touches the lower surface of the sample table 2 in a state where the sample holder 1 is supported by the sample holder support unit 1004.

図１８は、試料交換台１０１０を用いて試料を交換している様子を模式的に示す斜視図である。   FIG. 18 is a perspective view schematically showing a state in which a sample is exchanged using the sample exchange table 1010.

図１８に示すように、試料交換台１０１０が載置台１００６に置かれた状態で（図１７参照）、試料ホルダー１を試料ホルダー支持部１００４に置くと、支持台１０１２が試料台２に当接し、試料台２は支持台１０１２によって支持される。このように、試料台２が支持台１０１２によって支持された状態で、試料ホルダー１の試料台２に試料を取り付けたり試料台２に固定された試料を取り外したりすることで、試料台２の破損を防ぐことができる。   As shown in FIG. 18, when the sample holder 1 is placed on the sample holder support 1004 with the sample exchange table 1010 placed on the placement table 1006 (see FIG. 17), the support table 1012 contacts the sample table 2. The sample table 2 is supported by a support table 1012. In this manner, with the sample stage 2 supported by the support stage 1012, the sample stage 2 is damaged by attaching the sample to the sample stage 2 of the sample holder 1 or removing the sample fixed to the sample stage 2. Can be prevented.

試料ホルダー１は、円柱状の部材であるため、ホルダーケース１０００の試料ホルダー支持部１００４に支持されている状態で、自由に回転できる。しかしながら、試料の取り付け、取り外しを行う際には、試料ホルダー１の試料台２が支持台１０１２の上面に対して平行になるように、試料ホルダー１を試料ホルダー支持部１００４に置く必要がある。そのため、作業者は、常に、試料台２が上を向いた状態で作業を行わなければならず、作業が行いにくいという問題があった。   Since the sample holder 1 is a columnar member, the sample holder 1 can freely rotate while being supported by the sample holder support portion 1004 of the holder case 1000. However, when attaching or detaching the sample, it is necessary to place the sample holder 1 on the sample holder support portion 1004 so that the sample stage 2 of the sample holder 1 is parallel to the upper surface of the support base 1012. For this reason, there is a problem that the operator must always perform the work with the sample table 2 facing upward, and the work is difficult to perform.

本発明は、以上のような問題点に鑑みてなされたものであり、本発明のいくつかの態様に係る目的の１つは、試料台の破損を防ぐことができ、かつ、作業が行いやすい試料台支持具を提供することにある。   The present invention has been made in view of the problems as described above, and one of the objects according to some aspects of the present invention is to prevent the sample stage from being damaged and to be easily operated. The object is to provide a sample stage support.

（１）本発明に係る試料台支持具は、
試料を保持する試料台と、前記試料台が取り付けられているフレームと、を備えた試料ホルダーの前記試料台を支持するための試料台支持具であって、
前記フレームを挟むフレーム挟持部と、
前記フレーム挟持部に設けられ、前記フレーム挟持部が前記フレームを挟んだ状態において前記試料台に当接する突起部と、
を含む。 (1) The sample stage support according to the present invention comprises:
A sample stage support for supporting the sample stage of a sample holder comprising a sample stage for holding a sample, and a frame to which the sample stage is attached,
A frame clamping portion for sandwiching the frame;
A protrusion that is provided on the frame holding portion, and the frame holding portion is in contact with the sample stage in a state where the frame is held between
including.

このような試料台支持具では、フレーム挟持部によって試料ホルダーに固定された状態で、突起部が試料台を支持することができる。そのため、このような試料台支持具では、試料ホルダーの置き方によらず、突起部が試料台を支持することができる。したがって、このような試料台支持具によれば、試料ホルダーを作業が行いやすいように載置して、試料の取り付け、取り外しの作業を行うことができるため、作業が行いやすい。また、このような試料台支持具によれば、突起部が試料台を支持しているため、作業中に試料台が破損することを防ぐことができる。   In such a sample stage support, the protrusion can support the sample stage while being fixed to the sample holder by the frame clamping part. Therefore, in such a sample stage support, the protrusion can support the sample stage regardless of how the sample holder is placed. Therefore, according to such a sample stage support, the sample holder can be placed so that the work can be easily performed, and the work of attaching and removing the sample can be performed. Therefore, the work is easy to perform. Moreover, according to such a sample stand support tool, since the projection supports the sample stand, it is possible to prevent the sample stand from being damaged during the operation.

（２）本発明に係る試料台支持具において、
前記試料ホルダーに装着可能に構成されている第１部材と、
前記フレーム挟持部および前記突起部を含む第２部材と、
を含み、
前記第１部材には、前記第２部材をスライド可能に案内するガイド部が設けられていてもよい。 (2) In the sample stage support according to the present invention,
A first member configured to be attachable to the sample holder;
A second member including the frame clamping portion and the protrusion;
Including
The first member may be provided with a guide portion that guides the second member in a slidable manner.

このような試料台支持具では、第１部材を試料ホルダーに装着することで第１部材が試料ホルダーに対して位置決めされる。また、第２部材がガイド部に案内されることにより、第２部材は第１部材に対して位置決めされる。そのため、このような試料台支持具では、容易に、試料台に対して突起部を位置決めすることができる。   In such a sample stage support, the first member is positioned with respect to the sample holder by mounting the first member on the sample holder. Further, the second member is positioned with respect to the first member by being guided by the guide portion. Therefore, with such a sample stage support, the protrusion can be easily positioned with respect to the sample stage.

（３）本発明に係る試料台支持具において、
前記フレーム挟持部は、
前記フレームを一方側から挟む第１部分と、
前記フレームを他方側から挟む第２部分と、
を有し、
前記第１部材には、前記第１部分および前記第２部分を挟み、前記第１部分と前記第２部分との間の距離が小さくなるように弾性変形させる挟持部が設けられ、
前記突起部は、前記第２部分に設けられ、
前記挟持部が前記第１部分および前記第２部分を弾性変形させることにより、前記第１部分と前記第２部分とが前記フレームを挟み込むとともに、前記突起部が前記試料台に当接してもよい。 (3) In the sample stage support according to the present invention,
The frame holding part is
A first portion sandwiching the frame from one side;
A second portion sandwiching the frame from the other side;
Have
The first member is provided with a sandwiching portion that sandwiches the first portion and the second portion and elastically deforms so that a distance between the first portion and the second portion is small.
The protrusion is provided on the second portion;
The clamping part may elastically deform the first part and the second part, so that the first part and the second part sandwich the frame, and the projection part may abut on the sample stage. .

このような試料台支持具では、第１部分と第２部分とがフレームを挟み込むため、第１部分および第２部分が突起部を試料台に衝突させないためのストッパーとして機能する。したがって、このような試料台支持具では、突起部を試料台に当接させる際に、突起部が試料台に衝突して試料台が破損することを防ぐことができる。   In such a sample stage support, since the first part and the second part sandwich the frame, the first part and the second part function as a stopper for preventing the protrusion from colliding with the sample stage. Therefore, in such a sample stage support, when the projection is brought into contact with the sample stage, the projection can be prevented from colliding with the sample stage and being damaged.

（４）本発明に係る試料台支持具において、
前記ガイド部を用いて前記第２部材を前記第１部材に対してスライドさせることにより、前記第１部分および前記第２部分が前記挟持部に挟まれてもよい。 (4) In the sample stage support according to the present invention,
The first part and the second part may be sandwiched between the clamping parts by sliding the second member with respect to the first member using the guide part.

このような試料台支持具では、突起部を試料台に当接させる際に、突起部が試料台に衝突して試料台が破損することを防ぐことができる。   In such a sample stage support, when the projection is brought into contact with the sample stage, the projection can be prevented from colliding with the sample stage and being damaged.

（５）本発明に係る試料台支持具において、
前記試料ホルダーは、前記フレームが先端部に固定されているシャフト部を備え、
前記第１部材は、前記試料ホルダーが挿入される開口部を有していてもよい。 (5) In the sample stage support according to the present invention,
The sample holder includes a shaft portion in which the frame is fixed to a tip portion,
The first member may have an opening into which the sample holder is inserted.

このような試料台支持具では、シャフト部を備える試料ホルダーの試料台の破損を防ぐことができ、かつ、作業が行いやすい。   In such a sample stage support, damage to the sample stage of the sample holder having the shaft portion can be prevented, and the operation is easy to perform.

（６）本発明に係る試料台支持具において、
前記試料ホルダーが前記開口部に挿入されることにより、前記第１部材が前記試料ホルダーに対して位置決めされてもよい。 (6) In the sample stage support according to the present invention,
The first member may be positioned with respect to the sample holder by inserting the sample holder into the opening.

（７）本発明に係る試料台支持具において、
前記試料ホルダーは、シャフト部に対して着脱可能なカートリッジ式の試料ホルダーであり、
前記第１部材は、前記試料ホルダーを着脱可能に構成された試料ホルダー取付部を有してもよい。 (7) In the sample stage support according to the present invention,
The sample holder is a cartridge type sample holder that can be attached to and detached from the shaft portion,
The first member may have a sample holder mounting portion configured to be detachable from the sample holder.

このような試料台支持具では、カートリッジ式の試料ホルダーの試料台の破損を防ぐこ
とができ、かつ、作業が行いやすい。 With such a sample stage support, damage to the sample stage of the cartridge type sample holder can be prevented, and the operation is easy to perform.

（８）本発明に係る試料台支持具において、
前記試料ホルダーが前記試料ホルダー取付部に装着されることにより、前記第１部材が前記試料ホルダーに対して位置決めされてもよい。 (8) In the sample stage support according to the present invention,
The first member may be positioned with respect to the sample holder by attaching the sample holder to the sample holder mounting portion.

（９）本発明に係る試料台支持具において、
前記試料ホルダーは、透過電子顕微鏡用の試料ホルダーであってもよい。 (9) In the sample stage support according to the present invention,
The sample holder may be a sample holder for a transmission electron microscope.

（１０）本発明に係る試料台支持具において、
前記試料ホルダーは、前記試料台を傾斜可能に支持する軸部材を備えていてもよい。 (10) In the sample stage support according to the present invention,
The sample holder may include a shaft member that supports the sample table so as to be tiltable.

このような試料台支持具では、軸部材によって傾斜可能に支持された試料台の破損を防ぐことができ、かつ、作業が行いやすい。   With such a sample stage support, it is possible to prevent damage to the sample stage supported by the shaft member so as to be inclined, and it is easy to work.

第１実施形態に係る試料台支持具を模式的に示す斜視図。The perspective view which shows typically the sample stand support tool which concerns on 1st Embodiment. 試料ホルダーの先端部を模式的に示す斜視図。The perspective view which shows typically the front-end | tip part of a sample holder. 試料ホルダーを模式的に示す断面図。Sectional drawing which shows a sample holder typically. 試料ホルダー装着部材を模式的に示す正面図。The front view which shows a sample holder mounting member typically. 試料ホルダーに試料ホルダー装着部材が装着された状態を模式的に示す斜視図。The perspective view which shows typically the state by which the sample holder mounting member was mounted | worn with the sample holder. フレーム支持部材を模式的に示す正面図。The front view which shows a flame | frame support member typically. フレーム支持部材が試料ホルダー装着部材に取り付けられた状態を模式的に示す斜視図。The perspective view which shows typically the state in which the flame | frame support member was attached to the sample holder mounting member. フレーム支持部材が試料ホルダー装着部材に取り付けられた状態を模式的に示す正面図。The front view which shows typically the state by which the flame | frame support member was attached to the sample holder mounting member. 突起部が試料台を支持している様子を模式的に示す平面図。The top view which shows typically a mode that a projection part is supporting the sample stand. 突起部が試料台を支持している様子を模式的に示す断面図。Sectional drawing which shows a mode that a projection part is supporting the sample stand. 第２実施形態に係る試料台支持具の構成を模式的に示す斜視図。The perspective view which shows typically the structure of the sample stand support tool which concerns on 2nd Embodiment. 第２実施形態に係る試料台支持部の使用方法を説明するための図。The figure for demonstrating the usage method of the sample stand support part which concerns on 2nd Embodiment. 第２実施形態に係る試料台支持部の使用方法を説明するための図。The figure for demonstrating the usage method of the sample stand support part which concerns on 2nd Embodiment. 第２実施形態に係る試料台支持部の使用方法を説明するための図。The figure for demonstrating the usage method of the sample stand support part which concerns on 2nd Embodiment. 試料ホルダーをホルダーケースに載置した様子を模式的に示す斜視図。The perspective view which shows typically a mode that the sample holder was mounted in the holder case. 試料ホルダーの先端部を模式的に示す斜視図。The perspective view which shows typically the front-end | tip part of a sample holder. 試料ホルダーの載置台に試料交換台を載置した様子を模式的に示す斜視図。The perspective view which shows typically a mode that the sample exchange stand was mounted in the mounting base of a sample holder. 試料交換台を用いて試料を交換している様子を模式的に示す斜視図。The perspective view which shows typically a mode that the sample is replaced | exchanged using the sample replacement stand.

以下、本発明の好適な実施形態について図面を用いて詳細に説明する。なお、以下に説明する実施形態は、特許請求の範囲に記載された本発明の内容を不当に限定するものではない。また、以下で説明される構成の全てが本発明の必須構成要件であるとは限らない。   DESCRIPTION OF EMBODIMENTS Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings. The embodiments described below do not unduly limit the contents of the present invention described in the claims. In addition, not all of the configurations described below are essential constituent requirements of the present invention.

１． 第１実施形態
１．１． 試料台支持具
まず、第１実施形態に係る試料台支持具について図面を参照しながら説明する。図１は、第１実施形態に係る試料台支持具１００を模式的に示す斜視図である。 1. 1. First embodiment 1.1. Sample stand support First, the sample stand support according to the first embodiment will be described with reference to the drawings. FIG. 1 is a perspective view schematically showing a sample stage support 100 according to the first embodiment.

試料台支持具１００は、透過電子顕微鏡用の試料ホルダー１の試料台２を支持するため
のものである。試料台支持具１００は、例えば、試料ホルダー１において試料台２に試料を取り付けたり、試料台２から試料を取り外したりする場合に用いられる。試料台支持具１００は、図１に示すように、試料ホルダー装着部材（第１部材の一例）１０と、フレーム支持部材（第２部材の一例）２０と、を含んで構成されている。 The sample stage support 100 is for supporting the sample stage 2 of the sample holder 1 for a transmission electron microscope. The sample stage support 100 is used, for example, when a sample is attached to the sample stage 2 or removed from the sample stage 2 in the sample holder 1. As shown in FIG. 1, the sample stage support 100 includes a sample holder mounting member (an example of a first member) 10 and a frame support member (an example of a second member) 20.

（１）試料ホルダー
図２は、試料ホルダー１の先端部を模式的に示す斜視図である。なお、図２には、互いに直交する３つの軸として、Ｘ軸、Ｙ軸、Ｚ軸を図示している。なお、Ｘ軸は試料ホルダー１の軸方向であり、Ｚ軸は試料台２の上面に垂直な方向である。 (1) Sample Holder FIG. 2 is a perspective view schematically showing the tip portion of the sample holder 1. In FIG. 2, an X axis, a Y axis, and a Z axis are illustrated as three axes orthogonal to each other. The X axis is the axial direction of the sample holder 1, and the Z axis is the direction perpendicular to the upper surface of the sample stage 2.

試料ホルダー１は、図２に示すように、試料台２と、フレーム４と、シャフト部６と、を含んで構成されている。   As shown in FIG. 2, the sample holder 1 includes a sample table 2, a frame 4, and a shaft portion 6.

試料台２は、試料を保持するためのものである。試料台２は、板状の部材である。試料台２には、試料の径よりも小さい径の貫通孔が形成されている。当該貫通孔は、試料ホルダー１が電子顕微鏡に導入された場合に、電子線を通過させるための孔である。   The sample stage 2 is for holding a sample. The sample stage 2 is a plate-like member. A through hole having a diameter smaller than the diameter of the sample is formed in the sample table 2. The through hole is a hole through which an electron beam passes when the sample holder 1 is introduced into an electron microscope.

試料は、試料固定プレート３ａと試料台２との間に挟まれている。試料は、試料固定プレート３ａが板バネ３によって押圧されることにより固定される。なお、試料の試料台２への固定方法は、これに限定されない。例えば、図示はしないが、試料固定プレートをねじによって試料台に固定することで、試料を試料台２に固定してもよい。   The sample is sandwiched between the sample fixing plate 3a and the sample table 2. The sample is fixed when the sample fixing plate 3 a is pressed by the leaf spring 3. The method for fixing the sample to the sample stage 2 is not limited to this. For example, although not shown, the sample may be fixed to the sample table 2 by fixing the sample fixing plate to the sample table with screws.

フレーム４は、第１側枠部４ａと、第２側枠部４ｂと、前方端枠部４ｃと、を有している。第１側枠部４ａおよび第２側枠部４ｂは、互いに平行にＸ軸に沿って延出している。前方端枠部４ｃは、第１側枠部４ａの先端部と第２側枠部４ｂの先端部とを接続している。第１側枠部４ａと第２側枠部４ｂとの間に試料台２が配置されている。   The frame 4 includes a first side frame portion 4a, a second side frame portion 4b, and a front end frame portion 4c. The first side frame 4a and the second side frame 4b extend along the X axis in parallel with each other. The front end frame 4c connects the tip of the first side frame 4a and the tip of the second side frame 4b. The sample stage 2 is disposed between the first side frame portion 4a and the second side frame portion 4b.

試料台２は、フレーム４に傾斜可能に取り付けられている。試料台２とフレーム４とは、２つのピン５（軸部材の一例）によって接続されている。具体的には、２つのピン５のうちの一方のピン５は、第１側枠部４ａから−Ｙ方向に延出して試料台２に接続されている。また、他方のピン５は、第２側枠部４ｂから＋Ｙ方向に延出して試料台２に接続されている。試料台２は、この２つのピン５を傾斜軸（回転軸）として傾斜可能に支持されている。すなわち、試料台２は、Ｙ軸に平行な軸を傾斜軸（回転軸）として傾斜可能である。   The sample stage 2 is attached to the frame 4 so as to be tiltable. The sample stage 2 and the frame 4 are connected by two pins 5 (an example of a shaft member). Specifically, one of the two pins 5 extends from the first side frame portion 4 a in the −Y direction and is connected to the sample stage 2. The other pin 5 extends from the second side frame portion 4b in the + Y direction and is connected to the sample stage 2. The sample stage 2 is supported so as to be tiltable with the two pins 5 as tilt axes (rotation axes). That is, the sample stage 2 can be tilted with an axis parallel to the Y axis as an tilt axis (rotation axis).

試料台２の厚さは、第１側枠部４ａの厚さおよび第２側枠部４ｂの厚さよりも小さい。試料台２の上面は、第１側枠部４ａの上面および第２側枠部４ｂの上面よりも下に位置し、試料台２の下面は、第１側枠部４ａの下面および第２側枠部４ｂの下面よりも上に位置している。   The thickness of the sample stage 2 is smaller than the thickness of the first side frame portion 4a and the thickness of the second side frame portion 4b. The upper surface of the sample table 2 is located below the upper surface of the first side frame portion 4a and the upper surface of the second side frame portion 4b, and the lower surface of the sample table 2 is the lower surface and the second side of the first side frame portion 4a. It is located above the lower surface of the frame part 4b.

図３は、試料ホルダー１を模式的に示す断面図である。   FIG. 3 is a cross-sectional view schematically showing the sample holder 1.

試料ホルダー１は、図３に示すように、試料台２を傾斜させる傾斜機構８を備えている。傾斜機構８は、試料台２を、ピン５（図２参照）を軸として傾斜させる。   As shown in FIG. 3, the sample holder 1 includes a tilt mechanism 8 that tilts the sample stage 2. The tilt mechanism 8 tilts the sample stage 2 around the pin 5 (see FIG. 2) as an axis.

傾斜機構８は、モーター軸８２と、カップリング８６と、送りねじ８７と、シャフト８８と、ベルクランク８９と、ピン５と、を含んで構成されている。   The tilt mechanism 8 includes a motor shaft 82, a coupling 86, a feed screw 87, a shaft 88, a bell crank 89, and a pin 5.

モーター軸８２は、シャフト部６内に設けられている。モーター軸８２は、カップリング８６を介して、送りねじ８７に接続されている。   The motor shaft 82 is provided in the shaft portion 6. The motor shaft 82 is connected to the feed screw 87 via the coupling 86.

モーター軸８２は、図示しないモーターによって回転が付与される。モーター軸８２には、シャフト部６の内面とモーター軸８２との間を封止するためのＯリング８４が装着されている。   The motor shaft 82 is rotated by a motor (not shown). The motor shaft 82 is provided with an O-ring 84 for sealing between the inner surface of the shaft portion 6 and the motor shaft 82.

カップリング８６は、伸縮可能となっている。カップリング８６は、送りねじ８７の直線的な移動を吸収することができる。   The coupling 86 can be expanded and contracted. The coupling 86 can absorb the linear movement of the feed screw 87.

送りねじ８７は、モーター軸８２によって回転し、軸方向に移動する。送りねじ８７の先端は、シャフト８８に接している。   The feed screw 87 is rotated by the motor shaft 82 and moves in the axial direction. The tip of the feed screw 87 is in contact with the shaft 88.

シャフト８８は、送りねじ８７とベルクランク８９との間に設けられている。シャフト８８は、送りねじ８７が軸方向に移動することにより、当該軸方向に移動する。シャフト８８の端部は、ベルクランク８９の一方のアーム８９ａに接している。   The shaft 88 is provided between the feed screw 87 and the bell crank 89. The shaft 88 moves in the axial direction when the feed screw 87 moves in the axial direction. The end portion of the shaft 88 is in contact with one arm 89 a of the bell crank 89.

ベルクランク８９は、互いに異なる方向に延出するアーム８９ａ，８９ｂを有している。ベルクランク８９は、ピン８９ｃで回転可能に固定されている。シャフト８８が軸方向に移動することで、ベルクランク８９はピン８９ｃを中心として回転する。この回転によって、アーム８９ｂに固定されたピン９０に接触して保持された試料台２が回転（傾斜）する。   The bell crank 89 has arms 89a and 89b extending in different directions. The bell crank 89 is rotatably fixed by a pin 89c. As the shaft 88 moves in the axial direction, the bell crank 89 rotates about the pin 89c. By this rotation, the sample stage 2 held in contact with the pin 90 fixed to the arm 89b rotates (tilts).

（２）試料ホルダー装着部材（第１部材）
図４は、試料ホルダー装着部材１０を模式的に示す正面図である。図５は、試料ホルダー１に試料ホルダー装着部材１０が装着された状態を模式的に示す斜視図である。 (2) Sample holder mounting member (first member)
FIG. 4 is a front view schematically showing the sample holder mounting member 10. FIG. 5 is a perspective view schematically showing a state in which the sample holder mounting member 10 is mounted on the sample holder 1.

試料ホルダー装着部材１０は、試料ホルダー１に装着可能に構成されている。試料ホルダー装着部材１０は、筒状部１２と、ガイド溝１４（ガイド部の一例）と、挟持部１６と、を含んで構成されている。   The sample holder mounting member 10 is configured to be mountable on the sample holder 1. The sample holder mounting member 10 includes a cylindrical part 12, a guide groove 14 (an example of a guide part), and a clamping part 16.

筒状部１２は、円筒状に形成されている。筒状部１２には、筒状部１２を軸方向に貫通する開口部１３が設けられている。開口部１３には、図５に示すように、試料ホルダー１が挿入される。   The cylindrical part 12 is formed in a cylindrical shape. The tubular portion 12 is provided with an opening 13 that penetrates the tubular portion 12 in the axial direction. As shown in FIG. 5, the sample holder 1 is inserted into the opening 13.

開口部１３には、試料ホルダー１が挿入される。開口部１３に試料ホルダー１を挿入することにより、試料ホルダー装着部材１０を試料ホルダー１に装着することができる。開口部１３は、試料ホルダー１が挿入された場合に、試料ホルダー１と試料ホルダー装着部材１０との相対的な位置関係が常に同じになるように形成されている。すなわち、試料ホルダー装着部材１０が試料ホルダー１に装着された場合、試料ホルダー装着部材１０は試料ホルダー１に対して位置決される。例えば、開口部１３は、試料ホルダー１を試料ホルダー１の軸方向（Ｘ方向）から見たときの形状に沿った形状を有している。また、例えば、開口部１３は、所定の位置までしか試料ホルダー１が挿入できないように形成されている。これにより、試料ホルダー装着部材１０が試料ホルダー１に装着された場合に、試料ホルダー装着部材１０が試料ホルダー１に対して位置決めされる。   The sample holder 1 is inserted into the opening 13. The sample holder mounting member 10 can be mounted on the sample holder 1 by inserting the sample holder 1 into the opening 13. The opening 13 is formed so that the relative positional relationship between the sample holder 1 and the sample holder mounting member 10 is always the same when the sample holder 1 is inserted. That is, when the sample holder mounting member 10 is mounted on the sample holder 1, the sample holder mounting member 10 is positioned with respect to the sample holder 1. For example, the opening 13 has a shape along the shape when the sample holder 1 is viewed from the axial direction (X direction) of the sample holder 1. For example, the opening 13 is formed so that the sample holder 1 can be inserted only to a predetermined position. Thereby, when the sample holder mounting member 10 is mounted on the sample holder 1, the sample holder mounting member 10 is positioned with respect to the sample holder 1.

筒状部１２の外周面には、ガイド溝１４が設けられている。ガイド溝１４は、フレーム支持部材２０をスライド可能に案内する。   A guide groove 14 is provided on the outer peripheral surface of the cylindrical portion 12. The guide groove 14 guides the frame support member 20 to be slidable.

ガイド溝１４には、フレーム支持部材２０のレール部２２が嵌合される。ガイド溝１４は、レール部２２を摺動可能に案内する。試料ホルダー装着部材１０が試料ホルダー１に装着された場合、ガイド溝１４は、Ｙ軸に沿って延在する。   The rail portion 22 of the frame support member 20 is fitted into the guide groove 14. The guide groove 14 guides the rail portion 22 so as to be slidable. When the sample holder mounting member 10 is mounted on the sample holder 1, the guide groove 14 extends along the Y axis.

筒状部１２には、挟持部１６が取り付けられている。挟持部１６は、上側ガイド部１６ａと、下側ガイド部１６ｂと、を含んで構成されている。挟持部１６は、上側ガイド部１６ａと下側ガイド部１６ｂとによって、フレーム支持部材２０のフレーム挟持部２４を挟んで弾性変形させる。   A clamping part 16 is attached to the cylindrical part 12. The sandwiching portion 16 includes an upper guide portion 16a and a lower guide portion 16b. The sandwiching portion 16 is elastically deformed by sandwiching the frame sandwiching portion 24 of the frame support member 20 between the upper guide portion 16a and the lower guide portion 16b.

（３）フレーム支持部材（第２部材）
図６は、フレーム支持部材２０を模式的に示す正面図である。図７は、フレーム支持部材２０が試料ホルダー装着部材１０に取り付けられた状態を模式的に示す斜視図である。図８は、フレーム支持部材２０が試料ホルダー装着部材１０に取り付けられた状態を模式的に示す正面図である。 (3) Frame support member (second member)
FIG. 6 is a front view schematically showing the frame support member 20. FIG. 7 is a perspective view schematically showing a state in which the frame support member 20 is attached to the sample holder mounting member 10. FIG. 8 is a front view schematically showing a state in which the frame support member 20 is attached to the sample holder mounting member 10.

フレーム支持部材２０は、試料ホルダー装着部材１０に取り付けられる。フレーム支持部材２０は、試料ホルダー装着部材１０に取り付けられた状態で、試料ホルダー１のフレーム４および試料台２を支持する。フレーム支持部材２０は、レール部２２と、フレーム挟持部２４と、突起部２６と、を含んで構成されている。   The frame support member 20 is attached to the sample holder mounting member 10. The frame support member 20 supports the frame 4 and the sample stage 2 of the sample holder 1 while being attached to the sample holder mounting member 10. The frame support member 20 includes a rail part 22, a frame holding part 24, and a protrusion part 26.

レール部２２は、試料ホルダー装着部材１０のガイド溝１４に摺動可能に嵌合される。レール部２２をガイド溝１４に嵌め合わせて摺動させることで、フレーム支持部材２０が試料ホルダー装着部材１０に対してスライドする（シフトする）。これにより、フレーム支持部材２０を試料ホルダー１に対して位置決めできる。   The rail portion 22 is slidably fitted into the guide groove 14 of the sample holder mounting member 10. The frame support member 20 slides (shifts) with respect to the sample holder mounting member 10 by fitting the rail portion 22 into the guide groove 14 and sliding it. Thereby, the frame support member 20 can be positioned with respect to the sample holder 1.

フレーム挟持部２４は、試料ホルダー１のフレーム４を挟んで、フレーム支持部材２０を試料ホルダー１に固定するための部材である。フレーム挟持部２４は、フレーム４を一方側（図示の例では＋Ｙ方向側）から挟む上爪部（第１部分）２４ａと、フレーム４を他方側（図示の例では−Ｙ方向側）から挟む下爪部（第２部分）２４ｂと、を有している。   The frame clamping unit 24 is a member for fixing the frame support member 20 to the sample holder 1 with the frame 4 of the sample holder 1 interposed therebetween. The frame clamping unit 24 sandwiches the upper claw portion (first portion) 24a that sandwiches the frame 4 from one side (the + Y direction side in the illustrated example) and the frame 4 from the other side (the −Y direction side in the illustrated example). And a lower claw portion (second portion) 24b.

上爪部２４ａおよび下爪部２４ｂは、板状の部材である。上爪部２４ａおよび下爪部２４ｂは、互いに対向して配置されている。上爪部２４ａおよび下爪部２４ｂの材質は、例えば、弾性変形する樹脂である。   The upper claw part 24a and the lower claw part 24b are plate-like members. The upper claw portion 24a and the lower claw portion 24b are disposed to face each other. The material of the upper claw part 24a and the lower claw part 24b is, for example, a resin that is elastically deformed.

上爪部２４ａには、開口部が設けられている。開口部は試料台２を露出させるためのものであり、開口部を介して試料台２に試料を取り付けたり、試料台２から試料を取り外したりすることができる。   The upper claw portion 24a is provided with an opening. The opening is for exposing the sample stage 2, and a sample can be attached to or removed from the sample stage 2 through the opening.

下爪部２４ｂには、突起部２６が設けられている。突起部２６は、下爪部２４ｂの試料台２側を向く面から突出した部分である。突起部２６は、フレーム挟持部２４がフレーム４を挟んだ状態において試料に当接する。突起部２６は、例えば、高さ、すなわち、下爪部２４ｂの試料台２側を向く面からの突出量が調整可能に構成されている。突起部２６は、例えば、下爪部２４ｂを貫通する金属製のねじである。突起部２６は、２つ設けられている。   A protrusion 26 is provided on the lower claw portion 24b. The protruding portion 26 is a portion protruding from the surface of the lower claw portion 24b facing the sample table 2 side. The protrusion 26 contacts the sample in a state where the frame clamping unit 24 sandwiches the frame 4. For example, the protrusion 26 is configured to be adjustable in height, that is, the amount of protrusion from the surface of the lower claw portion 24b facing the sample stage 2 side. The protruding portion 26 is, for example, a metal screw that penetrates the lower claw portion 24b. Two protrusions 26 are provided.

なお、突起部２６は、ねじに限定されず、下爪部２４ｂから突出する部材であればよい。また、突起部２６の材質は、金属に限定されず、樹脂等であってもよい。また、突起部２６の数は特に限定されない。例えば、突起部２６は、１つであってもよいし、３つ以上であってもよい。   In addition, the protrusion part 26 is not limited to a screw, What is necessary is just the member which protrudes from the lower nail | claw part 24b. Further, the material of the protrusion 26 is not limited to metal, and may be resin or the like. Further, the number of the protrusions 26 is not particularly limited. For example, the number of protrusions 26 may be one, or three or more.

図８に示すように、レール部２２をガイド溝１４に嵌め合わせてフレーム支持部材２０を試料ホルダー装着部材１０に対してスライドさせると、上爪部２４ａと下爪部２４ｂとは、試料ホルダー装着部材１０の挟持部１６に挟まれる。これにより、上爪部２４ａおよ
び下爪部２４ｂとは弾性変形し、上爪部２４ａと下爪部２４ｂとの間の距離が小さくなる。具体的には、上爪部２４ａが上側ガイド部１６ａに当接することによって下方向に弾性変形し、下爪部２４ｂが下側ガイド部１６ｂに当接することによって上方向に弾性変形する。この結果、上爪部２４ａと下爪部２４ｂとの間の距離が小さくなる。 As shown in FIG. 8, when the rail portion 22 is fitted into the guide groove 14 and the frame support member 20 is slid with respect to the sample holder mounting member 10, the upper claw portion 24a and the lower claw portion 24b are attached to the sample holder. It is sandwiched between the clamping portions 16 of the member 10. Thereby, the upper claw part 24a and the lower claw part 24b are elastically deformed, and the distance between the upper claw part 24a and the lower claw part 24b is reduced. Specifically, the upper claw portion 24a is elastically deformed downward by contacting the upper guide portion 16a, and the lower claw portion 24b is elastically deformed upward by contacting the lower guide portion 16b. As a result, the distance between the upper claw portion 24a and the lower claw portion 24b is reduced.

フレーム支持部材２０を所定の位置まで（例えばレール部２２の基端部がガイド溝１４に到達するまで）スライドさせることで、上爪部２４ａと下爪部２４ｂがフレーム４（第１側枠部４ａおよび第２側枠部４ｂ）を挟み込むとともに、突起部２６が試料台２に当接する。これにより、試料台２が突起部２６で支持され、試料台２が固定される。   By sliding the frame support member 20 to a predetermined position (for example, until the base end portion of the rail portion 22 reaches the guide groove 14), the upper claw portion 24a and the lower claw portion 24b are moved to the frame 4 (first side frame portion). 4a and the second side frame 4b), and the protrusion 26 abuts on the sample stage 2. Thereby, the sample stage 2 is supported by the projection part 26, and the sample stage 2 is fixed.

下爪部２４ｂの先端部には、薄板部２４１と、薄板部２４１よりも厚い厚板部２４２と、が形成されている。薄板部２４１は、厚板部２４２よりも下爪部２４ｂの先端部側に位置している。上爪部２４ａと下爪部２４ｂとの間の距離は、薄板部２４１に下側ガイド部１６ｂが当接しているときよりも、厚板部２４２に下側ガイド部１６ｂが当接しているときのほうが小さくなる。すなわち、上爪部２４ａと下爪部２４ｂとの間の距離は、２段階で小さくなる。これにより、突起部２６がフレーム４（第２側枠部４ｂ）を通過するまでは、上爪部２４ａと下爪部２４ｂとの間の距離を大きくして突起部２６がフレーム４（第２側枠部４ｂ）に衝突することを防ぐことができる。そして、突起部２６がフレーム４（第２側枠部４ｂ）を通過した後は、上爪部２４ａと下爪部２４ｂとの間の距離を小さくして、突起部２６を試料台２に当接させることができる。   A thin plate portion 241 and a thick plate portion 242 thicker than the thin plate portion 241 are formed at the tip of the lower claw portion 24b. The thin plate portion 241 is located closer to the distal end portion of the lower claw portion 24 b than the thick plate portion 242. The distance between the upper claw portion 24a and the lower claw portion 24b is greater when the lower guide portion 16b is in contact with the thick plate portion 242 than when the lower guide portion 16b is in contact with the thin plate portion 241. Is smaller. That is, the distance between the upper claw part 24a and the lower claw part 24b is reduced in two steps. Thus, until the protrusion 26 passes through the frame 4 (second side frame 4b), the distance between the upper claw portion 24a and the lower claw portion 24b is increased so that the protrusion 26 is in the frame 4 (second Collision with the side frame 4b) can be prevented. After the protruding portion 26 passes through the frame 4 (second side frame portion 4b), the distance between the upper claw portion 24a and the lower claw portion 24b is reduced, so that the protruding portion 26 contacts the sample table 2. Can be touched.

図９は、突起部２６が試料台２を支持している様子を模式的に示す平面図である。図１０は、突起部２６が試料台２を支持している様子を模式的に示す図９のＸ−Ｘ線断面図である。なお、図９および図１０では、上爪部２４ａ、下爪部２４ｂ、突起部２６、フレーム４、および試料台２以外の部材の図示を省略している。   FIG. 9 is a plan view schematically showing how the protrusion 26 supports the sample table 2. FIG. 10 is a cross-sectional view taken along the line XX of FIG. 9 schematically showing how the protrusion 26 supports the sample table 2. 9 and 10, members other than the upper claw portion 24a, the lower claw portion 24b, the protruding portion 26, the frame 4, and the sample table 2 are not shown.

図９および図１０に示すように、試料台２は、２つの突起部２６で支持されている。２つの突起部２６は、図９に示すように平面視において試料台２の回転軸（傾斜軸）Ｌの一方側と他方側にそれぞれ配置されている。これにより、試料台２に力が加わった場合でも、試料台２が傾斜することを防ぐことができ、より確実に試料台２の破損を防ぐことができる。なお、２つの突起部２６の位置は、試料台２を支持することができれば、限定されない。   As shown in FIGS. 9 and 10, the sample stage 2 is supported by two protrusions 26. As shown in FIG. 9, the two protrusions 26 are respectively disposed on one side and the other side of the rotation axis (tilt axis) L of the sample table 2 in plan view. Thereby, even when force is applied to the sample stage 2, it is possible to prevent the sample stage 2 from being inclined, and it is possible to more reliably prevent the sample stage 2 from being damaged. The positions of the two protrusions 26 are not limited as long as the sample stage 2 can be supported.

１．２． 試料台支持具の使用方法
次に、第１実施形態に係る試料台支持具の使用方法について図面を参照しながら説明する。 1.2. Next, a method for using the sample stage support according to the first embodiment will be described with reference to the drawings.

まず、図１に示すように、試料ホルダー装着部材１０およびフレーム支持部材２０を準備する。   First, as shown in FIG. 1, a sample holder mounting member 10 and a frame support member 20 are prepared.

次に、図５に示すように、試料ホルダー装着部材１０の開口部１３に試料ホルダー１を挿入して、試料ホルダー１に試料ホルダー装着部材１０を装着する。これにより、試料ホルダー装着部材１０に対して試料ホルダー１が位置決めされる。   Next, as shown in FIG. 5, the sample holder 1 is inserted into the opening 13 of the sample holder mounting member 10, and the sample holder mounting member 10 is mounted on the sample holder 1. Thereby, the sample holder 1 is positioned with respect to the sample holder mounting member 10.

次に、図７に示すように、試料ホルダー装着部材１０のガイド溝１４にレール部２２を嵌め合わせて、フレーム支持部材２０を試料ホルダー装着部材１０に対してスライドさせる。これにより、フレーム支持部材２０の上爪部２４ａおよび下爪部２４ｂが試料ホルダー装着部材１０の挟持部１６に挟まれて弾性変形し、上爪部２４ａと下爪部２４ｂとの間の距離が小さくなる。   Next, as shown in FIG. 7, the rail portion 22 is fitted into the guide groove 14 of the sample holder mounting member 10, and the frame support member 20 is slid with respect to the sample holder mounting member 10. As a result, the upper claw portion 24a and the lower claw portion 24b of the frame support member 20 are elastically deformed by being sandwiched between the clamping portions 16 of the sample holder mounting member 10, and the distance between the upper claw portion 24a and the lower claw portion 24b is increased. Get smaller.

そして、レール部２２の基端部がガイド溝１４に到達するまで、フレーム支持部材２０を試料ホルダー装着部材１０に対してスライドさせることにより、上爪部２４ａと下爪部２４ｂとがフレーム４を挟み込むとともに、突起部２６が試料台２に当接する。これにより、試料台２が突起部２６によって支持される。   Then, by sliding the frame support member 20 with respect to the sample holder mounting member 10 until the base end portion of the rail portion 22 reaches the guide groove 14, the upper claw portion 24a and the lower claw portion 24b cause the frame 4 to move. At the same time, the protrusion 26 comes into contact with the sample table 2. As a result, the sample stage 2 is supported by the protrusions 26.

この状態で、試料台２に試料を取り付けたり、試料台２から試料を取り外したりすることができる。試料台２は、突起部２６に支持されているため、作業中に試料台２に力が加わることによる試料台２の破損を防ぐことができる。   In this state, the sample can be attached to or removed from the sample stage 2. Since the sample stage 2 is supported by the protrusions 26, it is possible to prevent the sample stage 2 from being damaged due to a force applied to the sample stage 2 during the operation.

試料台支持具１００は、例えば、以下の特徴を有する。   The sample stage support 100 has the following features, for example.

試料台支持具１００は、フレーム４を挟むフレーム挟持部２４と、フレーム挟持部２４に設けられ、フレーム挟持部２４がフレーム４を挟んだ状態において試料台２に当接する突起部２６と、を含む。そのため、試料台支持具１００では、フレーム挟持部２４によって試料ホルダー１に固定された状態で、突起部２６が試料台２を支持することができる。これにより、試料ホルダー１の置き方によらず、突起部２６が試料台２を支持することができる。したがって、試料台支持具１００によれば、試料ホルダー１を作業が行いやすいように載置して、試料の取り付け、取り外しの作業を行うことができるため、作業が行いやすい。   The sample stage support 100 includes a frame clamping unit 24 that sandwiches the frame 4, and a protrusion 26 that is provided in the frame clamping unit 24 and contacts the sample stage 2 when the frame clamping unit 24 sandwiches the frame 4. . Therefore, in the sample stage support 100, the protrusion 26 can support the sample stage 2 while being fixed to the sample holder 1 by the frame clamping part 24. As a result, the projection 26 can support the sample stage 2 regardless of how the sample holder 1 is placed. Therefore, according to the sample stage support 100, the sample holder 1 can be placed so that the work can be easily performed, and the sample can be attached and detached, so that the work is easy to perform.

図１８に示す従来の手法では、試料台が水平になるように試料ホルダーをおいて試料の取り付け、取り外しを行わなければならなかったところ、試料台支持具１００では、試料台２を任意の方向に向けて作業を行うことができる。例えば、試料台支持具１００では、試料台２を作業者側に向けて作業を行うことが可能である。   In the conventional method shown in FIG. 18, the sample holder must be mounted and removed by placing the sample holder so that the sample stage is horizontal. In the sample stage support tool 100, the sample stage 2 is placed in an arbitrary direction. Can work towards. For example, in the sample stage support 100, it is possible to work with the sample stage 2 facing the operator.

また、図１８に示す従来技術では、試料交換台の高さＨを調整しなければならなかったが、試料台支持具１００によれば、そのような調整が不要である。   In the prior art shown in FIG. 18, the height H of the sample exchange table has to be adjusted. However, according to the sample table support tool 100, such adjustment is not necessary.

試料台支持具１００では、試料ホルダー１が装着される試料ホルダー装着部材１０にはフレーム支持部材２０をスライド可能に案内するガイド溝１４が設けられている。そのため、このような試料台支持具１００では、試料ホルダー装着部材１０を試料ホルダー１に装着することで試料ホルダー装着部材１０が試料ホルダー１に対して位置決めされる。また、フレーム支持部材２０がガイド溝１４に案内されることにより、フレーム支持部材２０が試料ホルダー装着部材１０（すなわち試料ホルダー１）に対して位置決めされる。したがって、試料台支持具１００では、容易に、試料台２に対して突起部２６を位置決めすることができる。   In the sample stage support 100, the sample holder mounting member 10 on which the sample holder 1 is mounted is provided with a guide groove 14 for slidably guiding the frame support member 20. Therefore, in such a sample stage support 100, the sample holder mounting member 10 is positioned with respect to the sample holder 1 by mounting the sample holder mounting member 10 on the sample holder 1. Further, the frame support member 20 is guided in the guide groove 14 so that the frame support member 20 is positioned with respect to the sample holder mounting member 10 (that is, the sample holder 1). Therefore, in the sample stage support 100, the protrusion 26 can be easily positioned with respect to the sample stage 2.

試料台支持具１００では、フレーム挟持部２４は上爪部２４ａと下爪部２４ｂとを有し、試料ホルダー装着部材１０には、上爪部２４ａと下爪部２４ｂを挟み、上爪部２４ａと下爪部２４ｂとの間の距離が小さくなるように、弾性変形させる挟持部１６が設けられ、挟持部１６が上爪部２４ａと下爪部２４ｂを弾性変形させることにより、上爪部２４ａと下爪部２４ｂとがフレーム４を挟み込むとともに、突起部２６が試料台２に当接する。試料台支持具１００では、上爪部２４ａと下爪部２４ｂとがフレーム４を挟み込むため、上爪部２４ａおよび下爪部２４ｂが突起部２６を試料台２に衝突させないためのストッパーとして機能する。したがって、試料台支持具１００では、突起部２６を試料台２に当接させる際に、突起部２６が試料台２に衝突して試料台２が破損することを防ぐことができる。   In the sample stage support 100, the frame clamping portion 24 has an upper claw portion 24a and a lower claw portion 24b, and the sample holder mounting member 10 sandwiches the upper claw portion 24a and the lower claw portion 24b, and the upper claw portion 24a. The clamping part 16 that is elastically deformed is provided so that the distance between the upper claw part 24b and the lower claw part 24b is small, and the clamping part 16 elastically deforms the upper claw part 24a and the lower claw part 24b, whereby the upper claw part 24a And the lower claw portion 24 b sandwich the frame 4, and the protrusion 26 abuts the sample table 2. In the sample stage support 100, since the upper claw part 24a and the lower claw part 24b sandwich the frame 4, the upper claw part 24a and the lower claw part 24b function as a stopper for preventing the protrusion 26 from colliding with the sample stage 2. . Therefore, in the sample stage support 100, when the projection part 26 is brought into contact with the sample stage 2, the projection part 26 can be prevented from colliding with the sample stage 2 and being damaged.

試料台支持具１００では、ガイド溝１４を用いてフレーム支持部材２０を試料ホルダー装着部材１０に対してスライドさせることにより、上爪部２４ａおよび下爪部２４ｂが挟
持部１６に挟まれる。そのため、試料台支持具１００では、突起部２６を試料台２に当接させる際に、突起部２６が試料台２に衝突して試料台２が破損することを防ぐことができる。 In the sample stage support 100, the upper claw portion 24 a and the lower claw portion 24 b are sandwiched between the clamping portions 16 by sliding the frame support member 20 with respect to the sample holder mounting member 10 using the guide grooves 14. Therefore, in the sample stage support 100, when the projection part 26 is brought into contact with the sample stage 2, the projection part 26 can be prevented from colliding with the sample stage 2 and being damaged.

２． 第２実施形態
２．１． 試料台支持具
次に、第２実施形態に係る試料台支持具について、図面を参照しながら説明する。図１１は、第２実施形態に係る試料台支持具２００の構成を模式的に示す斜視図である。以下、第２実施形態に係る試料台支持具２００において、上述した第１実施形態に係る試料台支持具１００の構成部材と同様の機能を有する部材については同一の符号を付し、その詳細な説明を省略する。 2. Second Embodiment 2.1. Sample stand support Next, a sample stand support according to a second embodiment will be described with reference to the drawings. FIG. 11 is a perspective view schematically showing the configuration of the sample stage support 200 according to the second embodiment. Hereinafter, in the sample stage support 200 according to the second embodiment, members having the same functions as those of the constituent members of the sample stage support 100 according to the first embodiment described above will be denoted by the same reference numerals, and detailed descriptions thereof will be given. Description is omitted.

上述した第１実施形態に係る試料台支持具１００は、図１に示すように、試料台２と、フレーム４と、シャフト部６と、を含んで構成されている試料ホルダー１の試料台２を支持するためのものであった。   As shown in FIG. 1, the sample stage support 100 according to the first embodiment described above includes the sample stage 2, the frame 4, and the shaft unit 6, and the sample stage 2 of the sample holder 1. It was for supporting.

これに対して、試料台支持具２００は、図１１に示すように、カートリッジ式の試料ホルダー１を支持するためのものである。   On the other hand, the sample stage support 200 is for supporting the cartridge type sample holder 1 as shown in FIG.

（１）試料ホルダー
カートリッジ式の試料ホルダー１は、試料台２と、フレーム４と、を含んで構成されている。カートリッジ式の試料ホルダー１は、シャフト部（図示せず）に対して着脱可能に構成されている。当該シャフト部の先端部に試料ホルダー１を取り付けることよって、第１実施形態に示した試料ホルダー１（図１等参照）と同様の構成にすることができ、同様の機能を有することができる。 (1) Sample Holder The cartridge type sample holder 1 includes a sample stage 2 and a frame 4. The cartridge type sample holder 1 is configured to be detachable from a shaft portion (not shown). By attaching the sample holder 1 to the tip portion of the shaft portion, it is possible to have the same configuration as the sample holder 1 (see FIG. 1 and the like) shown in the first embodiment and to have the same function.

カートリッジ式の試料ホルダー１では、複数の試料ホルダー１を１つのラック（図示せず）に収容することができるため、例えば、複数の試料ホルダー１が収容されたラックを電子顕微鏡内に導入して、効率よく試料の観察、分析等を行うことができる。   Since the cartridge type sample holder 1 can accommodate a plurality of sample holders 1 in one rack (not shown), for example, a rack in which a plurality of sample holders 1 are accommodated is introduced into an electron microscope. The sample can be observed and analyzed efficiently.

（２）試料ホルダー装着部材（第１部材）
試料ホルダー装着部材１０は、ガイド溝１４と、挟持部１６と、本体部２１２と、試料ホルダー取付部２１３と、棒状部材２１６と、を含んで構成されている。 (2) Sample holder mounting member (first member)
The sample holder mounting member 10 includes a guide groove 14, a clamping part 16, a main body part 212, a sample holder attaching part 213, and a rod-like member 216.

本体部２１２は、棒状部材２１６の先端部に設けられている。本体部２１２には、ガイド溝１４と、試料ホルダー取付部２１３と、が設けられている。   The main body 212 is provided at the tip of the rod-shaped member 216. The main body portion 212 is provided with a guide groove 14 and a sample holder mounting portion 213.

試料ホルダー取付部２１３は、試料ホルダー１を着脱可能に構成されている。試料ホルダー１を試料ホルダー取付部２１３に装着することによって、試料ホルダー１が試料ホルダー装着部材１０に対して位置決めされる。   The sample holder attaching portion 213 is configured to be able to attach and detach the sample holder 1. By mounting the sample holder 1 on the sample holder mounting portion 213, the sample holder 1 is positioned with respect to the sample holder mounting member 10.

棒状部材２１６は、本体部２１２を支持している。棒状部材２１６によって、試料ホルダー１に触れることなく、試料ホルダー１を持ち運ぶことができる。   The rod-shaped member 216 supports the main body 212. The rod-shaped member 216 can carry the sample holder 1 without touching the sample holder 1.

（３）フレーム支持部材（第２部材）
試料台支持具２００におけるフレーム支持部材２０の構成は、上述した第１実施形態に係る試料台支持具１００におけるフレーム支持部材２０の構成と同じであり、その説明を省略する。 (3) Frame support member (second member)
The configuration of the frame support member 20 in the sample stage support 200 is the same as the configuration of the frame support member 20 in the sample stage support 100 according to the first embodiment described above, and the description thereof is omitted.

２．２． 試料台支持具の使用方法
次に、第２実施形態に係る試料台支持具の使用方法について図面を参照しながら説明する。図１２〜図１４は、第２実施形態に係る試料台支持具２００の使用方法を説明するための図である。 2.2. Next, a method for using the sample stage support according to the second embodiment will be described with reference to the drawings. 12-14 is a figure for demonstrating the usage method of the sample stand support tool 200 which concerns on 2nd Embodiment.

まず、図１１に示すように、試料ホルダー装着部材１０およびフレーム支持部材２０を準備する。   First, as shown in FIG. 11, a sample holder mounting member 10 and a frame support member 20 are prepared.

次に、図１２に示すように、試料ホルダー１を試料ホルダー装着部材１０の試料ホルダー取付部２１３に取り付けて、試料ホルダー１に試料ホルダー装着部材１０を装着する。これにより、試料ホルダー装着部材１０に対して試料ホルダー１が位置決めされる。   Next, as shown in FIG. 12, the sample holder 1 is attached to the sample holder attaching portion 213 of the sample holder attaching member 10, and the sample holder attaching member 10 is attached to the sample holder 1. Thereby, the sample holder 1 is positioned with respect to the sample holder mounting member 10.

次に、図１２および図１３に示すように、試料ホルダー装着部材１０のガイド溝１４にレール部２２を嵌め合わせて、フレーム支持部材２０を試料ホルダー装着部材１０に対してスライドさせる。これにより、フレーム支持部材２０の上爪部２４ａおよび下爪部２４ｂが試料ホルダー装着部材１０の挟持部１６に挟まれて弾性変形し、上爪部２４ａと下爪部２４ｂとの間の距離が小さくなる。   Next, as shown in FIGS. 12 and 13, the rail portion 22 is fitted into the guide groove 14 of the sample holder mounting member 10, and the frame support member 20 is slid with respect to the sample holder mounting member 10. As a result, the upper claw portion 24a and the lower claw portion 24b of the frame support member 20 are elastically deformed by being sandwiched between the clamping portions 16 of the sample holder mounting member 10, and the distance between the upper claw portion 24a and the lower claw portion 24b is increased. Get smaller.

そして、レール部２２の基端部がガイド溝１４に到達するまで、フレーム支持部材２０を試料ホルダー装着部材１０に対してスライドさせることにより、上爪部２４ａと下爪部２４ｂとがフレーム４を挟み込むとともに、突起部２６が試料台２に当接する。これにより、試料台２が突起部２６によって支持される。   Then, by sliding the frame support member 20 with respect to the sample holder mounting member 10 until the base end portion of the rail portion 22 reaches the guide groove 14, the upper claw portion 24a and the lower claw portion 24b cause the frame 4 to move. At the same time, the protrusion 26 comes into contact with the sample table 2. As a result, the sample stage 2 is supported by the protrusions 26.

次に、図１４に示すように、試料ホルダー装着部材１０およびフレーム支持部材２０が装着された試料ホルダー１を、試料ホルダー支持台２０１に載置する。この状態で、試料台２に試料を取り付けたり、試料台２から試料を取り外したりすることができる。試料台２は、突起部２６に支持されているため、作業中に試料台２に力が加わることによる試料台２の破損を防ぐことができる。   Next, as shown in FIG. 14, the sample holder 1 to which the sample holder mounting member 10 and the frame support member 20 are mounted is placed on the sample holder support base 201. In this state, the sample can be attached to or removed from the sample stage 2. Since the sample stage 2 is supported by the protrusions 26, it is possible to prevent the sample stage 2 from being damaged due to a force applied to the sample stage 2 during the operation.

試料台支持具２００は、例えば、以下の特徴を有する。   The sample stage support 200 has the following features, for example.

試料台支持具２００では、試料ホルダー装着部材１０は試料ホルダー１を着脱可能に構成された試料ホルダー取付部２１３を有する。また、試料台支持具２００では、試料ホルダー１が試料ホルダー取付部２１３に取り付けられることにより、フレーム支持部材２０が試料ホルダー１に対して位置決めされる。そのため、試料台支持具２００では、試料ホルダー１が、カートリッジ式の試料ホルダーである場合でも、上述した第１実施形態に係る試料台支持具１００と同様の作用効果を奏することができる。   In the sample stage support 200, the sample holder mounting member 10 has a sample holder mounting portion 213 configured to be detachable from the sample holder 1. In the sample stage support 200, the frame support member 20 is positioned with respect to the sample holder 1 by attaching the sample holder 1 to the sample holder attaching portion 213. Therefore, in the sample stage support 200, even when the sample holder 1 is a cartridge type sample holder, the same operational effects as those of the sample stage support 100 according to the first embodiment described above can be achieved.

なお、本発明は上述した実施形態に限定されず、本発明の要旨の範囲内で種々の変形実施が可能である。   In addition, this invention is not limited to embodiment mentioned above, A various deformation | transformation implementation is possible within the range of the summary of this invention.

例えば、上述した第１実施形態および第２実施形態では、試料台支持具１００，２００を透過電子顕微鏡用の試料ホルダーに適用した例について説明したが、本発明に係る試料台支持具は、試料台と試料台を支持するフレームとを備えたその他の試料ホルダーに対しても適用可能である。本発明に係る試料台支持具は、例えば、走査透過電子顕微鏡（ＳＴＥＭ）用の試料ホルダー、走査電子顕微鏡（ＳＥＭ）用の試料ホルダー、集束イオンビーム装置（ＦＩＢ装置）用の試料ホルダーにも適用可能である。   For example, in the first embodiment and the second embodiment described above, an example in which the sample stage support 100, 200 is applied to a sample holder for a transmission electron microscope has been described. However, the sample stage support according to the present invention is a sample The present invention can also be applied to other sample holders including a table and a frame that supports the sample table. The sample stage support according to the present invention is also applied to, for example, a sample holder for a scanning transmission electron microscope (STEM), a sample holder for a scanning electron microscope (SEM), and a sample holder for a focused ion beam apparatus (FIB apparatus). Is possible.

また、例えば、上述した第１実施形態および第２実施形態では、試料台支持具１００，２００を試料台２が傾斜可能に支持されている試料ホルダー１に適用した例について説明したが、本発明に係る試料台支持具は、試料台２が傾斜可能に支持されていない試料ホル
ダーに対しても使用可能である。 Further, for example, in the first embodiment and the second embodiment described above, the example in which the sample stage support tools 100 and 200 are applied to the sample holder 1 on which the sample stage 2 is tiltably supported has been described. The sample stage support according to the above can also be used for a sample holder in which the sample stage 2 is not supported to be tiltable.

また、例えば、上述した第１実施形態および第２実施形態では、ガイド溝１４がフレーム支持部材２０をスライド可能に案内するガイド部として機能する例について説明したが、本発明に係る試料台支持具では、フレーム支持部材２０をスライド可能に案内することができればガイド部の構成は特に限定されない。   Further, for example, in the first embodiment and the second embodiment described above, the example in which the guide groove 14 functions as a guide portion that slidably guides the frame support member 20 has been described. However, the sample stage support according to the present invention is described. The configuration of the guide portion is not particularly limited as long as the frame support member 20 can be slidably guided.

なお、上述した実施形態及び変形例は一例であって、これらに限定されるわけではない。例えば各実施形態及び各変形例は、適宜組み合わせることが可能である。   In addition, embodiment mentioned above and a modification are examples, Comprising: It is not necessarily limited to these. For example, each embodiment and each modification can be combined as appropriate.

本発明は、実施の形態で説明した構成と実質的に同一の構成（例えば、機能、方法および結果が同一の構成、あるいは目的及び効果が同一の構成）を含む。また、本発明は、実施の形態で説明した構成の本質的でない部分を置き換えた構成を含む。また、本発明は、実施の形態で説明した構成と同一の作用効果を奏する構成又は同一の目的を達成することができる構成を含む。また、本発明は、実施の形態で説明した構成に公知技術を付加した構成を含む。   The present invention includes configurations that are substantially the same as the configurations described in the embodiments (for example, configurations that have the same functions, methods, and results, or configurations that have the same objects and effects). In addition, the invention includes a configuration in which a non-essential part of the configuration described in the embodiment is replaced. In addition, the present invention includes a configuration that exhibits the same operational effects as the configuration described in the embodiment or a configuration that can achieve the same object. Further, the invention includes a configuration in which a known technique is added to the configuration described in the embodiment.

１…試料ホルダー、２…試料台、３…板バネ、３ａ…試料固定プレート、４…フレーム、４ａ…第１側枠部、４ｂ…第２側枠部、４ｃ…前方端枠部、５…ピン、６…シャフト部、８…傾斜機構、１０…試料ホルダー装着部材、１２…筒状部、１３…開口部、１４…ガイド溝、１６…挟持部、１６ａ…上側ガイド部、１６ｂ…下側ガイド部、２０…フレーム支持部材、２２…レール部、２４…フレーム挟持部、２４ａ…上爪部、２４ｂ…下爪部、２６…突起部、８２…モーター軸、８４…Ｏリング、８６…カップリング、８７…送りねじ、８８…シャフト、８９…ベルクランク、８９ａ…アーム、８９ｂ…アーム、８９ｃ…ピン、９０…ピン、１００…試料台支持具、２００…試料台支持具、２０１…試料ホルダー支持台、２１２…本体部、２１３…試料ホルダー取付部、２１６…棒状部材、２４１…薄板部、２４２…厚板部、１０００…ホルダーケース、１００２…ベース部、１００４…試料ホルダー支持部、１００６…載置台、１０１０…試料交換台、１０１２…支持台 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Sample holder, 2 ... Sample stand, 3 ... Plate spring, 3a ... Sample fixing plate, 4 ... Frame, 4a ... 1st side frame part, 4b ... 2nd side frame part, 4c ... Front end frame part, 5 ... Pins, 6 ... shaft portion, 8 ... tilting mechanism, 10 ... sample holder mounting member, 12 ... cylindrical portion, 13 ... opening portion, 14 ... guide groove, 16 ... clamping portion, 16a ... upper guide portion, 16b ... lower side Guide part, 20 ... Frame support member, 22 ... Rail part, 24 ... Frame clamping part, 24a ... Upper claw part, 24b ... Lower claw part, 26 ... Projection part, 82 ... Motor shaft, 84 ... O-ring, 86 ... Cup Ring, 87 ... Feed screw, 88 ... Shaft, 89 ... Bell crank, 89a ... Arm, 89b ... Arm, 89c ... Pin, 90 ... Pin, 100 ... Sample stage support, 200 ... Sample stage support, 201 ... Sample holder Support base, 212 ... body part, 2 DESCRIPTION OF SYMBOLS 3 ... Sample holder attaching part, 216 ... Bar-shaped member, 241 ... Thin plate part, 242 ... Thick board part, 1000 ... Holder case, 1002 ... Base part, 1004 ... Sample holder support part, 1006 ... Mounting stand, 1010 ... Sample exchange stand 1012 ... Supporting stand

Claims (10)

試料を保持する試料台と、前記試料台が取り付けられているフレームと、を備えた試料ホルダーの前記試料台を支持するための試料台支持具であって、
前記フレームを挟むフレーム挟持部と、
前記フレーム挟持部に設けられ、前記フレーム挟持部が前記フレームを挟んだ状態において前記試料台に当接する突起部と、
を含む、試料台支持具。 A sample stage support for supporting the sample stage of a sample holder comprising a sample stage for holding a sample, and a frame to which the sample stage is attached,
A frame clamping portion for sandwiching the frame;
A protrusion that is provided on the frame holding portion, and the frame holding portion is in contact with the sample base in a state where the frame is held between the frame holding portion,
A sample stage support. 請求項１において、
前記試料ホルダーに装着可能に構成されている第１部材と、
前記フレーム挟持部および前記突起部を含む第２部材と、
を含み、
前記第１部材には、前記第２部材をスライド可能に案内するガイド部が設けられている、試料台支持具。 In claim 1,
A first member configured to be attachable to the sample holder;
A second member including the frame clamping portion and the protrusion;
Including
A sample stage support, wherein the first member is provided with a guide portion that guides the second member in a slidable manner. 請求項２において、
前記フレーム挟持部は、
前記フレームを一方側から挟む第１部分と、
前記フレームを他方側から挟む第２部分と、
を有し、
前記第１部材には、前記第１部分および前記第２部分を挟み、前記第１部分と前記第２部分との間の距離が小さくなるように弾性変形させる挟持部が設けられ、
前記突起部は、前記第２部分に設けられ、
前記挟持部が前記第１部分および前記第２部分を弾性変形させることにより、前記第１部分と前記第２部分とが前記フレームを挟み込むとともに、前記突起部が前記試料台に当接する、試料台支持具。 In claim 2,
The frame holding part is
A first portion sandwiching the frame from one side;
A second portion sandwiching the frame from the other side;
Have
The first member is provided with a sandwiching portion that sandwiches the first portion and the second portion and elastically deforms so that a distance between the first portion and the second portion is small.
The protrusion is provided on the second portion;
A sample stage in which the first part and the second part sandwich the frame while the clamping part elastically deforms the first part and the second part, and the projection part contacts the sample stage. Support tool. 請求項３において、
前記ガイド部を用いて前記第２部材を前記第１部材に対してスライドさせることにより、前記第１部分および前記第２部分が前記挟持部に挟まれる、試料台支持具。 In claim 3,
A sample stage support, wherein the first part and the second part are sandwiched between the holding parts by sliding the second member with respect to the first member using the guide part. 請求項２ないし４のいずれか１項において、
前記試料ホルダーは、前記フレームが先端部に固定されているシャフト部を備え、
前記第１部材は、前記試料ホルダーが挿入される開口部を有している、試料台支持具。 In any one of Claims 2 thru | or 4,
The sample holder includes a shaft portion in which the frame is fixed to a tip portion,
The first table is a sample stage support having an opening into which the sample holder is inserted. 請求項５において、
前記試料ホルダーが前記開口部に挿入されることにより、前記第１部材が前記試料ホルダーに対して位置決めされる、試料台支持具。 In claim 5,
A sample stage support, wherein the first member is positioned with respect to the sample holder by inserting the sample holder into the opening. 請求項２ないし４のいずれか１項において、
前記試料ホルダーは、軸部材に対して着脱可能なカートリッジ式の試料ホルダーであり、
前記第１部材は、前記試料ホルダーを着脱可能に構成された試料ホルダー取付部を有する、試料台支持具。 In any one of Claims 2 thru | or 4,
The sample holder is a cartridge type sample holder that can be attached to and detached from the shaft member,
The first member includes a sample holder mounting portion configured to be detachable from the sample holder. 請求項７において、
前記試料ホルダーが前記試料ホルダー取付部に取り付けられることにより、前記第１部材が前記試料ホルダーに対して位置決めされる、試料台支持具。 In claim 7,
A sample stage support, wherein the first member is positioned with respect to the sample holder by attaching the sample holder to the sample holder attaching portion. 請求項１ないし８のいずれか１項において、
前記試料ホルダーは、透過電子顕微鏡用の試料ホルダーである、試料台支持具。 In any one of Claims 1 thru | or 8,
The sample holder is a sample stage support, which is a sample holder for a transmission electron microscope. 請求項１ないし９のいずれか１項において、
前記試料ホルダーは、前記試料台を傾斜可能に支持する軸部材を備えている、試料台支持具。 In any one of Claims 1 thru | or 9,
The sample holder includes a shaft member that supports the sample table so as to be tiltable.
JP2016217168A 2016-11-07 2016-11-07 Sample stand support Active JP6796455B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2016217168A JP6796455B2 (en) 2016-11-07 2016-11-07 Sample stand support

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2016217168A JP6796455B2 (en) 2016-11-07 2016-11-07 Sample stand support

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2018077950A true JP2018077950A (en) 2018-05-17
JP6796455B2 JP6796455B2 (en) 2020-12-09

Family

ID=62149334

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2016217168A Active JP6796455B2 (en) 2016-11-07 2016-11-07 Sample stand support

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP6796455B2 (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2021057169A (en) * 2019-09-30 2021-04-08 日本電子株式会社 Sample chip workbench and retainer

Citations (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0817381A (en) * 1994-06-29 1996-01-19 Jeol Ltd Sample device of electron microscope
JPH1167131A (en) * 1997-08-08 1999-03-09 Toshiba Microelectron Corp Sample processing folder and sample processing folder system
JPH11185686A (en) * 1997-12-25 1999-07-09 Jeol Ltd Sample holder, sample holding member fitting holder, and sample holding member
JP2001236912A (en) * 2000-02-25 2001-08-31 Jeol Ltd Specimen holder, its transfer member and delivery method
JP2005044700A (en) * 2003-07-24 2005-02-17 Jeol Ltd Sample holder
JP2007214089A (en) * 2006-02-13 2007-08-23 Fujifilm Corp Sample stand for scanning electron microscope, and its angle adjusting method
CN101127293A (en) * 2006-08-15 2008-02-20 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 Sample supporter for scanning electronic microscope
JP2009048801A (en) * 2007-08-15 2009-03-05 Jeol Ltd Sample holder for charged particle beam device and reserve exhaust chamber for charged particle beam device
US8089053B1 (en) * 2009-11-10 2012-01-03 Dudley Finch Dynamically tilting specimen holder for stereo and tomographic imaging in a transmission electron microscope using a combination of micro electro mechanical systems (MEMS) and piezoelectric transducers (PZTs)
CN103700562A (en) * 2013-12-25 2014-04-02 苏州新锐合金工具股份有限公司 Height adjustment type scanning electron microscope sampler holder

Patent Citations (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0817381A (en) * 1994-06-29 1996-01-19 Jeol Ltd Sample device of electron microscope
JPH1167131A (en) * 1997-08-08 1999-03-09 Toshiba Microelectron Corp Sample processing folder and sample processing folder system
JPH11185686A (en) * 1997-12-25 1999-07-09 Jeol Ltd Sample holder, sample holding member fitting holder, and sample holding member
JP2001236912A (en) * 2000-02-25 2001-08-31 Jeol Ltd Specimen holder, its transfer member and delivery method
JP2005044700A (en) * 2003-07-24 2005-02-17 Jeol Ltd Sample holder
JP2007214089A (en) * 2006-02-13 2007-08-23 Fujifilm Corp Sample stand for scanning electron microscope, and its angle adjusting method
CN101127293A (en) * 2006-08-15 2008-02-20 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 Sample supporter for scanning electronic microscope
JP2009048801A (en) * 2007-08-15 2009-03-05 Jeol Ltd Sample holder for charged particle beam device and reserve exhaust chamber for charged particle beam device
US8089053B1 (en) * 2009-11-10 2012-01-03 Dudley Finch Dynamically tilting specimen holder for stereo and tomographic imaging in a transmission electron microscope using a combination of micro electro mechanical systems (MEMS) and piezoelectric transducers (PZTs)
CN103700562A (en) * 2013-12-25 2014-04-02 苏州新锐合金工具股份有限公司 Height adjustment type scanning electron microscope sampler holder

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2021057169A (en) * 2019-09-30 2021-04-08 日本電子株式会社 Sample chip workbench and retainer
JP6995098B2 (en) 2019-09-30 2022-01-14 日本電子株式会社 Sample chip workbench and retainer
US11679489B2 (en) 2019-09-30 2023-06-20 Jeol Ltd. Sample chip worktable and retainer

Also Published As

Publication number Publication date
JP6796455B2 (en) 2020-12-09

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN107449382B (en) Measuring device and supporting mechanism for columnar workpiece
JP2018194658A (en) Projector support base
JP2018200815A (en) Ion milling device and specimen holder
JP2018077966A (en) Cartridge holding device
JP7208195B2 (en) Ion milling device and sample holder
US9925660B2 (en) Method for positioning micro-tool and micro-manipulator device
JP2018077950A (en) Sample base support
JP2017119348A (en) Holder joint
JP2008241859A (en) Stand type magnifier apparatus
JP2018190628A (en) Sample holder unit and sample observation apparatus
CN108106815B (en) Optical fiber clamp for observing and analyzing optical fiber breaking point
WO2018020809A1 (en) Needle attachment instrument and sewing machine
JP2020113181A (en) Positioning jig
JP7562721B2 (en) Specimen holder, specimen holder set, and specimen preparation method
JP6004720B2 (en) Sample holder base
JP2005294181A (en) Bulk sample holder
EP2002927A1 (en) Device for holding and positioning of an object or a workpiece
US11020783B2 (en) Mold holder device and pipe member
EP1843188A1 (en) Stabilizer for in vivo examination
JP5460161B2 (en) Irradiation apparatus or discharge lamp holding method thereof
KR102001203B1 (en) Mount device of Optical element and laser system comprising the same
WO2024004757A1 (en) Unclamping arm and machine tool
JP3744380B2 (en) Screen printing machine and method for supplying material to the screen printing machine
JP4973923B2 (en) Die centering device for punching mechanism
WO2016199302A1 (en) Small-hole electric discharge machining machine

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20190712

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20200622

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20200630

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20200728

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20201110

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20201116

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 6796455

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150