KR102001203B1 - Mount device of Optical element and laser system comprising the same - Google Patents

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Abstract

본 발명은 광학부재 마운트 장치 및 이를 포함하는 레이저 장치에 관한 것으로서, 일 실시예에 따른 광학부재 마운트 장치는 광축을 구비하는 광학부재가 안착되어 지지되는 광학부재 홀더부, 상기 광축과 직교하는 제1 축을 중심으로 상기 광학부재 홀더부를 회전 가능하도록 지지하는 광학홀더 지지부, 상기 광축 및 상기 제1 축과 직교하는 제2 축을 중심으로 상기 광학홀더 지지부를 회전 가능하도록 지지되는 베이스부, 상기 제1 축을 중심으로 회전하는 광학부재 홀더부의 회전 정도를 조정하기 위한 제1 조정부 및 상기 제2 축을 중심으로 회전하는 광학홀더 지지부의 회전 정도를 조정하기 위한 제2 조정부를 포함할 수 있다.The present invention relates to an optical member mounting apparatus and a laser apparatus including the optical member mounting apparatus, and an optical member mounting apparatus according to an embodiment of the present invention includes an optical member holder unit in which an optical member having an optical axis is seated and supported, An optical holder support portion rotatably supporting the optical member holder portion about an axis, a base portion rotatably supported on the optical holder support portion about the optical axis and a second axis orthogonal to the first axis, And a second adjustment unit for adjusting a degree of rotation of the optical holder support unit that rotates about the second axis.

Description

광학부재 마운트 장치 및 이를 포함하는 레이저 장치{Mount device of Optical element and laser system comprising the same}TECHNICAL FIELD The present invention relates to an optical member mounting apparatus and a laser apparatus including the optical member mounting apparatus.

본 발명은 광학부재 마운트 장치 및 이를 포함하는 레이저 장치에 관한 것으로서, 보다 구체적으로 광학부재의 정렬을 위해 회전 각도를 조정할 수 있는 광학부재 마운트 장치 및 이를 포함하는 레이저 장치에 관한 것이다. BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an optical member mounting apparatus and a laser apparatus including the optical member mounting apparatus, and more particularly, to an optical member mounting apparatus and a laser apparatus including the same, capable of adjusting a rotation angle for alignment of optical members.

레이저 장치는 레이저 광원과 이로부터의 레이저 빔을 피가공물에 집중시키는 집광 렌즈계, 그리고 레이저 광원과 집광 렌즈계 사이에 마련되는 미러 및 필터 등을 구비한다. 상술한 광학 부재는 레이저 빔의 경로상에 고정되는 광학부재 마운트 장치에 배치될 수 있으며, 광학부재 마운트 장치는 레이저 빔을 원하는 방향으로 집속, 발산하거나 또는 정밀하게 안내할 수 있도록 정밀하게 회전 각도가 조정될 수 있다. The laser apparatus includes a laser light source, a condenser lens system for focusing the laser beam from the laser light source on the workpiece, and a mirror and a filter provided between the laser light source and the condenser lens system. The above-mentioned optical member can be disposed in an optical member mounting apparatus fixed on the path of the laser beam, and the optical member mounting apparatus can precisely rotate the laser beam in such a way that the laser beam can be focused, diverged, Lt; / RTI >

광학부재 마운트 장치에 대한 회전 각도의 정밀조정은 레이저 빔의 경로와 같은 방향에서 이루어질 수 있으며, 정밀조정 작업 시에 작업 도구 또는 작업자의 신체와 레이저 빔의 간섭이 발생할 수 있다. 작업 도구 또는 작업자의 신체와 레이저 빔의 간섭은 광학부재 마운트 장치의 회전 각도를 조정하는 작업자에게 위해를 가할 수 있으며, 회전 각도 조정 시간이 상대적으로 길게 소요되는 문제점이 있다.Precise adjustment of the rotation angle to the optical member mount can be made in the same direction as the path of the laser beam and interference of the laser beam with the work tool or the worker's body may occur during precision adjustment operation. The interference of the work tool or the worker's body with the laser beam can damage the operator who adjusts the rotation angle of the optical member mounting device, and the rotation angle adjustment time is relatively long.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 광학부재 마운트 장치의 회전 각도 조정이 레이저 빔의 광 경로에서 벗어난 위치에서 수행될 수 있는 광학부재 마운트 장치 및 이를 포함하는 레이저 장치를 제공할 수 있다.According to an embodiment of the present invention, it is possible to provide an optical member mount apparatus and a laser apparatus including the optical member mount apparatus, wherein the rotational angle adjustment of the optical member mount apparatus can be performed at a position deviated from the optical path of the laser beam.

일 실시예에 따른 광학부재 마운트 장치는, 광축을 구비하는 광학부재가 안착되어 지지되는 광학부재 홀더부; 상기 광축과 직교하는 제1 축을 중심으로 상기 광학부재 홀더부를 회전 가능하도록 지지하는 광학홀더 지지부; 상기 광축 및 상기 제1 축과 직교하는 제2 축을 중심으로 상기 광학홀더 지지부를 회전 가능하도록 지지되는 베이스부; 상기 제1 축을 중심으로 회전하는 광학부재 홀더부의 회전 정도를 조정하기 위한 제1 조정부; 및 상기 제2 축을 중심으로 회전하는 광학홀더 지지부의 회전 정도를 조정하기 위한 제2 조정부;를 포함할 수 있다.An optical member mounting apparatus according to an embodiment of the present invention includes an optical member holder portion on which an optical member having an optical axis is seated and supported; An optical holder support portion rotatably supporting the optical member holder portion about a first axis orthogonal to the optical axis; A base portion rotatably supported on the optical holder support portion about the optical axis and a second axis orthogonal to the first axis; A first adjustment unit for adjusting a degree of rotation of the optical member holder unit rotating about the first axis; And a second adjustment unit for adjusting a degree of rotation of the optical holder support unit rotating about the second axis.

상기 제1 조정부는, 상기 제2 축 방향에 대해 소정의 각도를 구비하도록 경사진 테이퍼부를 구비하는 제1 웨지부; 일 단부가 상기 테이퍼부에 접촉하며, 상기 제2 축 방향을 따라 이동 가능하도록 배치되는 제1 조작부;를 포함하며, 상기 제1 조작부의 이동에 따라, 상기 제1 웨지부와 상기 광학부재 홀더부는 상기 제1 축을 중심으로 상기 광학홀더 지지부에 대해 회전하도록 배치될 수 있다.Wherein the first adjustment portion includes: a first wedge portion having a tapered portion inclined at a predetermined angle with respect to the second axial direction; And a first operating portion which is disposed so as to be movable along the second axial direction, the first operating portion being in contact with the tapered portion, and the first wedge portion and the optical member holder portion And may be arranged to rotate about the optical axis holder about the first axis.

상기 광학부재 홀더부는 상기 제2 축 방향을 따라 연장되는 제1 관통홀을 포함하고, 상기 제1 조작부는 상기 제1 관통홀에 배치되어 상기 제2 축 방향을 따라 이동할 수 있다.The optical member holder portion may include a first through hole extending along the second axis direction, and the first operation portion may be disposed in the first through hole and move along the second axis direction.

상기 제1 관통홀의 둘레에는 나사부가 배치되어 있고, 상기 제1 조작부에는 상기 제1 관통홀의 나사부에 대응하는 나사부가 배치될 수 있다.A screw portion may be disposed around the first through hole, and a screw portion corresponding to the screw portion of the first through hole may be disposed in the first operation portion.

상기 제1 웨지부는 상기 테이퍼부에 대향하는 지지면을 포함하고, 일 단부가 상기 지지면에 접촉하며, 상기 광축 방향을 따라 변형 가능하도록 배치되는 제1 탄성부재;를 더 포함하며, 상기 제1 탄성부재의 변형에 따라, 상기 제1 웨지부와 상기 광학부재 홀더부는 상기 제1 축을 중심으로 상기 광학홀더 지지부에 대해 회전할 수 있다.The first wedge portion further includes a first elastic member including a support surface opposed to the tapered portion and one end of the first elastic member being in contact with the support surface and being deformable along the optical axis direction, According to the deformation of the elastic member, the first wedge portion and the optical member holder portion are rotatable with respect to the optical holder support portion about the first axis.

상기 제2 조정부는, 상기 제1 축 방향에 대해 소정의 각도를 구비하도록 경사진 테이퍼부를 구비하는 제2 웨지부; 일 단부가 상기 테이퍼부에 접촉하며, 상기 제1 축 방향을 따라 이동 가능하도록 배치되는 제2 조작부;를 포함하며,상기 제2 조작부의 이동에 따라, 제2 웨지부와 상기 광학홀더 지지부는 상기 제2 축을 중심으로 상기 베이스부에 대해 회전하도록 배치될 수 있다.Wherein the second adjusting portion includes: a second wedge portion having a tapered portion tilted at a predetermined angle with respect to the first axis direction; And a second operating portion which is disposed so as to be movable along the first axis direction, the first wedge portion and the optical holder supporting portion being movable along the first axis, And may be arranged to rotate about the base about a second axis.

상기 베이스부는 상기 제1 축 방향을 따라 연장되는 제2 관통홀을 포함하고, 상기 제2 조작부는 상기 제2 관통홀에 배치되어 상기 제1 축 방향을 따라 이동할 수 있다. The base portion may include a second through hole extending along the first axis direction, and the second operation portion may be disposed on the second through hole to move along the first axis direction.

상기 제2 관통홀의 둘레에는 나사부가 배치되어 있고, 상기 제2 조작부에는 상기 제2 관통홀의 나사부에 대응하는 나사부가 배치될 수 있다.A screw portion may be disposed around the second through hole, and a screw portion corresponding to the screw portion of the second through hole may be disposed in the second operation portion.

상기 제2 웨지부는 상기 테이퍼부에 대향하는 지지면을 포함하고, 일 단부가 상기 지지면에 접촉하며, 상기 광축 방향을 따라 변형 가능하도록 배치되는 제2 탄성부재;를 더 포함하며, 상기 제2 탄성부재의 변형에 따라, 상기 제2 웨지부와 상기 광학홀더 지지부가 상기 제2 축을 중심으로 상기 베이스부에 대해 회전할 수 있다.The second wedge portion further comprises a second elastic member including a support surface opposed to the tapered portion and one end of the second elastic member being in contact with the support surface and being deformable along the optical axis direction, According to the deformation of the elastic member, the second wedge part and the optical holder supporting part can rotate about the second shaft with respect to the base part.

상기 광학 부재는 미러(Mirror), 필터(Filter), 파장판(wave plate), 편광판(polarizer) 또는 윈도우(window) 중의 어느 하나일 수 있다.The optical member may be any one of a mirror, a filter, a wave plate, a polarizer, and a window.

일 실시예에 따른 레이저 장치는 레이저 빔을 발생하는 광원;상기 광원으로부터의 레이저 빔을 피가공체에 집중시키는 렌즈 광학계; 상기 광원과 상기 렌즈 광학계 사이의 광 진행 경로 상에 마련되는 광학부재: 및 상기 광학부재를 고정하는 광학부재 마운트 장치;를 포함하며, 상기 광학부재 마운트 장치:는 광축을 구비하는 광학부재가 안착되어 지지되는 광학부재 홀더부; 상기 광축과 직교하는 제1 축을 중심으로 상기 광학부재 홀더부를 회전 가능하도록 지지하는 광학홀더 지지부; 상기 광축 및 상기 제1 축과 직교하는 제2 축을 중심으로 상기 광학홀더 지지부를 회전 가능하도록 지지되는 베이스부; 상기 제1 축을 중심으로 회전하는 광학부재 홀더부의 회전 정도를 조정하기 위한 제1 조정부; 및 상기 제2 축을 중심으로 회전하는 광학홀더 지지부의 회전 정도를 조정하기 위한 제2 조정부;를 포함할 수 있다.A laser apparatus according to an embodiment of the present invention includes a light source for generating a laser beam, a lens optical system for focusing the laser beam from the light source on a workpiece, An optical member provided on a light path between the light source and the lens optical system; and an optical member mounting apparatus for fixing the optical member, wherein the optical member mounting apparatus includes: An optical member holder portion supported; An optical holder support portion rotatably supporting the optical member holder portion about a first axis orthogonal to the optical axis; A base portion rotatably supported on the optical holder support portion about the optical axis and a second axis orthogonal to the first axis; A first adjustment unit for adjusting a degree of rotation of the optical member holder unit rotating about the first axis; And a second adjustment unit for adjusting a degree of rotation of the optical holder support unit rotating about the second axis.

상기 제1 조정부는, 상기 제2 축 방향에 대해 소정의 각도를 구비하도록 경사진 테이퍼부를 구비하는 제1 웨지부; 일 단부가 상기 테이퍼부에 접촉하며, 상기 제2 축 방향을 따라 이동 가능하도록 배치되는 제1 조작부;를 포함하며, 상기 제1 조작부의 이동에 따라, 상기 제1 웨지부와 상기 광학부재 홀더부는 상기 제1 축을 중심으로 상기 광학홀더 지지부에 대해 회전하도록 배치될 수 있다.Wherein the first adjustment portion includes: a first wedge portion having a tapered portion inclined at a predetermined angle with respect to the second axial direction; And a first operating portion which is disposed so as to be movable along the second axial direction, the first operating portion being in contact with the tapered portion, and the first wedge portion and the optical member holder portion And may be arranged to rotate about the optical axis holder about the first axis.

상기 제1 웨지부는 상기 테이퍼부에 대향하는 지지면을 포함하고, 일 단부가 상기 지지면에 접촉하며, 상기 광축 방향을 따라 변형 가능하도록 배치되는 제1 탄성부재;를 더 포함하며, 상기 제1 탄성부재의 변형에 따라, 상기 제1 웨지부와 상기 광학부재 홀더부는 상기 제1 축을 중심으로 상기 광학홀더 지지부에 대해 회전할 수 있다.The first wedge portion further includes a first elastic member including a support surface opposed to the tapered portion and one end of the first elastic member being in contact with the support surface and being deformable along the optical axis direction, According to the deformation of the elastic member, the first wedge portion and the optical member holder portion are rotatable with respect to the optical holder support portion about the first axis.

상기 제2 조정부는, 상기 제1 축 방향에 대해 소정의 각도를 구비하도록 경사진 테이퍼부를 구비하는 제2 웨지부; 일 단부가 상기 테이퍼부에 접촉하며, 상기 제1 축 방향을 따라 이동 가능하도록 배치되는 제2 조작부;를 포함하며, 상기 제2 조작부의 이동에 따라, 상기 제2 웨지부와 상기 광학홀더 지지부는 상기 제2 축을 중심으로 상기 베이스부에 대해 회전하도록 배치될 수 있다.Wherein the second adjusting portion includes: a second wedge portion having a tapered portion tilted at a predetermined angle with respect to the first axis direction; And a second operating portion which is disposed so as to be movable along the first axis direction, the first operating portion being in contact with the tapered portion, and the second wedge portion and the optical holder supporting portion And may be arranged to rotate about the base about the second axis.

상기 제2 웨지부는 상기 테이퍼부에 대향하는 지지면을 포함하고, 일 단부가 상기 지지면에 접촉하며, 상기 광축 방향을 따라 변형 가능하도록 배치되는 제2 탄성부재;를 더 포함하며, 상기 제2 탄성부재의 변형에 따라, 상기 제2 웨지부와 상기 광학홀더 지지부가 상기 제2 축을 중심으로 상기 베이스부에 대해 회전할 수 있다.The second wedge portion further comprises a second elastic member including a support surface opposed to the tapered portion and one end of the second elastic member being in contact with the support surface and being deformable along the optical axis direction, According to the deformation of the elastic member, the second wedge part and the optical holder supporting part can rotate about the second shaft with respect to the base part.

상기 광학 부재는 미러(Mirror), 필터(Filter), 파장판(wave plate), 편광판(polarizer) 또는 윈도우(window) 중의 어느 하나일 수 있다.The optical member may be any one of a mirror, a filter, a wave plate, a polarizer, and a window.

본 발명의 일 실시예에 의하면, 광학부재가 장착된 광학 마운트 장치의 회전 각도를 정밀하게 조정해야 하는 경우 발생될 수 있는, 작업 도구 또는 작업자의 신체와 레이저 빔의 간섭을 방지함으로써, 광학부재 마운트 장치의 회전 각도를 조정하는 작업자에게 가해질 수 있는 위해를 방지할 수 있다. According to the embodiment of the present invention, it is possible to prevent the laser beam from interfering with the work tool or the worker's body, which may occur when the rotation angle of the optical mount equipped with the optical member is to be precisely adjusted, It is possible to prevent a risk to the operator who adjusts the rotation angle of the apparatus.

또한, 웨지부에 포함된 테이퍼부와 직선 이동하는 조작부의 접촉에 의해 광학부재 마운트 장치의 회전 각도를 조정함으로써 보다 정밀하게 광학부재 마운트 장치의 회전 각도를 조정할 수 있다.Further, the rotation angle of the optical member mounting apparatus can be adjusted more precisely by adjusting the rotation angle of the optical member mounting apparatus by the contact between the tapered portion included in the wedge portion and the operating portion that moves linearly.

도 1은 본 발명의 예시적인 실시예에 따른 레이저 가공장치를 개략적으로 도시한 것이다.
도 2는 일 실시예에 따른 광학부재 마운트 장치의 사시도이다.
도 3은 도 2에 도시된 광학부재 마운트 장치의 분리사시도이다.
도 4a는 일 실시예에 따른 제1 조정부의 평면도이다.
도 4b는 일 실시예에 따른 제2 조정부의 평면도이다.
도 5a는 일 실시예에 따른 제1 조정부의 평면도이다.
도 5b는 일 실시예에 따른 광학부재 마운트 장치의 개략적인 측면도이다.
도 6a는 일 실시예에 따른 제2 조정부의 평면도이다.
도 6b는 일 실시예에 따른 광학부재 마운트 장치의 개략적인 평면도이다.1 schematically shows a laser processing apparatus according to an exemplary embodiment of the present invention.
2 is a perspective view of an optical member mounting apparatus according to an embodiment.
3 is an exploded perspective view of the optical member mounting apparatus shown in FIG.
4A is a top view of a first adjustment according to one embodiment.
4B is a plan view of the second adjustment unit according to one embodiment.
5A is a plan view of a first adjustment according to one embodiment.
5B is a schematic side view of an optical member mounting apparatus according to an embodiment.
6A is a plan view of a second adjustment according to one embodiment.
6B is a schematic plan view of an optical member mounting apparatus according to an embodiment.

본 발명에서 사용되는 용어는 본 발명에서의 기능을 고려하면서 가능한 현재 널리 사용되는 일반적인 용어들을 선택하였으나, 이는 당 분야에 종사하는 기술자의 의도 또는 판례, 새로운 기술의 출현 등에 따라 달라질 수 있다. 또한, 특정한 경우는 출원인이 임의로 선정한 용어도 있으며, 이 경우 해당되는 발명의 설명 부분에서 상세히 그 의미를 기재할 것이다. 따라서 본 발명에서 사용되는 용어는 단순한 용어의 명칭이 아닌, 그 용어가 가지는 의미와 본 발명의 전반에 걸친 내용을 토대로 정의되어야 한다.While the present invention has been described in connection with what is presently considered to be the most practical and preferred embodiment, it is to be understood that the invention is not limited to the disclosed embodiments. Also, in certain cases, there may be a term selected arbitrarily by the applicant, in which case the meaning thereof will be described in detail in the description of the corresponding invention. Therefore, the term used in the present invention should be defined based on the meaning of the term, not on the name of a simple term, but on the entire contents of the present invention.

명세서 전체에서 어떤 부분이 어떤 구성요소를 "포함"한다고 할 때, 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 포함할 수 있음을 의미한다. 아래에서는 첨부한 도면을 참고하여 본 발명의 실시 예에 대하여 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 그러나 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시 예에 한정되지 않는다.When an element is referred to as "including" an element throughout the specification, it is to be understood that the element may include other elements as well, without departing from the spirit or scope of the present invention. Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings so that those skilled in the art can easily carry out the present invention. The present invention may, however, be embodied in many different forms and should not be construed as limited to the embodiments set forth herein.

도 1은 본 발명의 예시적인 실시예에 따른 레이저 가공장치를 개략적으로 도시한 것이다. 1 schematically shows a laser processing apparatus according to an exemplary embodiment of the present invention.

도 1을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 레이저 가공 장치는 레이저 광원(10), 빔 확대기(20), 광 경로 형성부(30), 스캐너(40), 집속 렌즈(50)를 포함할 수 있다. 일 예시에 따른 레이저 광원(10)은 레이저 빔을 출사시킬 수 있으며, 레이저 광원(10)으로부터 출사된 레이저 빔과 상기 레이저 빔을 피가공물로 집중하는 집속 렌즈(50) 사이에 레이저 빔이 진행하는 빔 경로(L)가 형성될 수 있다. 일 예로서, 빔 경로(L)상에는 빔 확대기(20), 광 경로 형성부(30) 및 스캐너(40) 배치될 수 있다. 예를 들어, 빔 확대기(20)는 레이저 광원(10)과 광 경로 형성부(30) 사이의 빔 경로(L) 상에 배치되어 레이저 광원(10)으로부터 출사된 레이저 빔의 크기를 확대시킬 수 있다. 1, a laser processing apparatus according to an embodiment of the present invention includes a laser light source 10, a beam expander 20, a light path forming unit 30, a scanner 40, and a focusing lens 50 can do. The laser light source 10 according to one example can emit a laser beam and is arranged between a laser beam emitted from the laser light source 10 and a focusing lens 50 focusing the laser beam on the workpiece A beam path L may be formed. As an example, the beam expander 20, the light path forming unit 30, and the scanner 40 may be disposed on the beam path L. [ For example, the beam expander 20 may be disposed on the beam path L between the laser light source 10 and the light path forming unit 30 to enlarge the size of the laser beam emitted from the laser light source 10 have.

또한, 일 예시에 따른 광 경로 형성부(30)는 빔 확대기(20) 및 스캐너(40) 사이의 빔 경로(L)상에 배치되는 복수 개의 미러(31, 32, 33, 34, 35)를 포함할 수 있다. 예를 들어 복수 개의 미러(31, 32, 33, 34, 35)는 서로 이격되도록 다양한 위치에 배치될 수 있으며, 상대적 배치 관계에 따라 레이저 빔의 빔 경로(L)를 형성하거나 조정할 수 있다. The optical path forming unit 30 according to one example includes a plurality of mirrors 31, 32, 33, 34, 35 disposed on the beam path L between the beam expander 20 and the scanner 40 . For example, the plurality of mirrors 31, 32, 33, 34, and 35 may be disposed at various positions so as to be spaced from each other, and the beam path L of the laser beam may be formed or adjusted according to a relative arrangement relationship.

또한, 스캐너(40)는 예를 들어 갈바노미터 스캐너(Galvanometer Scanner)일 수 있다. 일 예시에 따른, 스캐너(40)는 X 방향과 Y 방향으로 레이저 빔을 스캔 시키는 X-스캐너(40a)와 Y-스캐너(40b)를 구비할 수 있다. 또한, 스캐너 구동부(41)는 X-스캐너(40a)와 Y-스캐너(40b)를 각각 구동하기 위한 X-스캐너 구동부(41a)와 Y-스캐너 구동부(41b)를 구비할 수 있다. 다만, 본 발명의 일 실시예에서는, 레이저 광원(10)과 집속 렌즈(50) 사이에 빔 경로(L)를 형성하는 광학 부재로서, 빔 확대기(20), 광 경로 형성부(30) 및 스캐너(40)를 개시하고 있으나 본 발명이 이에 제한되는 것은 아니며, 레이저 빔의 빔 경로(L)를 형성할 수 있는 다른 광학부재가 배치되어도 무방하다.In addition, the scanner 40 may be, for example, a galvanometer scanner. According to one example, the scanner 40 may include an X-scanner 40a and a Y-scanner 40b for scanning the laser beam in the X and Y directions. The scanner driving unit 41 may include an X-scanner driving unit 41a and a Y-scanner driving unit 41b for driving the X-scanner 40a and the Y-scanner 40b, respectively. In an embodiment of the present invention, an optical member for forming a beam path L between the laser light source 10 and the focusing lens 50 includes a beam expander 20, a light path forming unit 30, However, the present invention is not limited thereto, and another optical member capable of forming the beam path L of the laser beam may be disposed.

레이저 광원(10)으로부터 출사된 레이저 빔을 목적하는 피가공물의 가공 위치로 집속시키기 위해, 상술한 광학 부재는 빔 경로(L) 상에 고정될 수 있으며, 빔 경로(L)의 조정을 위해 정밀한 각도로 조정될 수도 있다. 빔 경로(L) 상에 광학 부재가 고정되고, 광학 부재에 대한 정밀한 각도 조정이 수행되기 위해, 광학 부재는 광학 부재 마운트 장치(1)에 장착되어 빔 경로(L)상에 배치될 수 있다. 이하에서는, 광학 부재를 안착시켜 빔 경로(L)상에 배치시킬 수 있는 광학부재 마운트 장치(1)에 대해 보다 구체적으로 서술한다.The optical member described above can be fixed on the beam path L and can be fixed to the processing position of the desired workpiece in order to focus the laser beam emitted from the laser light source 10 on the beam path L. [ It may be adjusted at an angle. The optical member can be mounted on the optical member mounting apparatus 1 and disposed on the beam path L so that the optical member is fixed on the beam path L and precise angle adjustment to the optical member is performed. Hereinafter, the optical member mounting apparatus 1 capable of placing the optical member on the beam path L will be described in more detail.

도 2는 일 실시예에 따른 광학부재 마운트 장치의 사시도이다. 도 3은 도 2에 도시된 광학부재 마운트 장치의 분리사시도이다. 도 4a는 일 실시예에 따른 제1 조정부의 평면도이다. 도 4b는 일 실시예에 따른 제2 조정부의 평면도이다.2 is a perspective view of an optical member mounting apparatus according to an embodiment. 3 is an exploded perspective view of the optical member mounting apparatus shown in FIG. 4A is a top view of a first adjustment according to one embodiment. 4B is a plan view of the second adjustment unit according to one embodiment.

도 2 및 도 3을 참조하면, 일 예시에 따른 광학부재 마운트 장치(1)는 광학 부재(M)가 안착되어 지지될 수 있는 광학부재 홀더부(100), 광학부재 홀더부(100)를 일 축 방향을 따라 회전 가능하도록 지지하는 광학홀더 지지부(200), 광학홀더 지지부(200)를 일 축 방향을 따라 회전 가능하도록 지지하는 베이스부(300), 광학부재 홀더부(100)의 회전 정도를 조정하기 위한 제1 조정부(400) 및 광학부재 홀더부(100) 및 광학 홀더 지지부(200)의 회전 정도를 조정하기 위한 제2 조정부(500)를 포함할 수 있다.2 and 3, an optical member mounting apparatus 1 according to an example includes an optical member holder 100, an optical member holder 100, A base part 300 for supporting the optical holder supporting part 200 so as to be rotatable along a single axis direction, a supporting part 200 for supporting the optical holder supporting part 200 so as to be rotatable about the axis of the optical member holder part 100, And a second adjustment unit 500 for adjusting the degree of rotation of the optical member holder unit 100 and the optical holder support unit 200. In this case,

일 실시예에 따른 광학부재 홀더부(100)는 광학 부재(M)를 수납할 수 있는 수납 부재로서, 광학 부재(M)가 배치될 수 있는 중공부(110)가 마련된 링 형상일 수 있다. 다만, 본 개시가 이에 제한되는 것은 아니며, 광학부재 홀더부(100)는 광학 부재(M)가 배치될 수 있는 중공부(110)를 포함하는 임의의 형상으로 마련되어도 무방하다. 또한 일 예로서, 광학부재(M)는 판상 구조를 가지는 것으로 미러(Mirror), 필터(Filter), 파장판(wave plate), 편광판(polarizer) 또는 윈도우(window)등을 포함될 수 있다. 다만, 본 개시가 이에 제한되는 것은 아니며, 광학부재 홀더부(100)에 고정되도록 지지될 수 있는 다른 광학부재가 포함될 수도 있다.The optical member holder unit 100 according to one embodiment may be a ring member having a hollow portion 110 in which the optical member M can be disposed as a housing member capable of housing the optical member M therein. However, the present disclosure is not limited thereto, and the optical member holder portion 100 may be provided in any shape including the hollow portion 110 where the optical member M can be disposed. In addition, as an example, the optical member M has a plate-like structure and may include a mirror, a filter, a wave plate, a polarizer, a window, or the like. However, the present disclosure is not limited thereto, and another optical member that can be supported to be fixed to the optical member holder unit 100 may be included.

또한, 광학부재 홀더부(100)는 광학홀더 지지부(200)에 대해 광학 부재(M)의 광축(Z)과 수직 방향인 제1 축(X)을 중심으로 회전할 수 있도록 광학홀더 지지부(200)에 지지될 수 있다. 이를 위해 광학부재 홀더부(100)의 양 측부에는 제1 축(X) 방향을 따라 연장되는 제1 고정축(120) 및 제2 고정축(130)이 각각 고정되도록 배치될 수 있다.The optical member holder 100 may further include an optical holder supporting part 200 so as to be rotatable about a first axis X perpendicular to the optical axis Z of the optical member M with respect to the optical holder supporting part 200 As shown in FIG. To this end, the first and second fixing shafts 120 and 130, which extend along the first axis X direction, may be fixed to both sides of the optical member holder 100.

광학홀더 지지부(200)는 광학부재 홀더부(100)를 수납할 수 있는 수납 부재이다. 일 실시예에 따른 광학홀더 지지부(200)는 제1축(X) 및 광축(Z)과 수직하는 제2축(Y) 방향을 따라 연장되고, 광학부재 홀더부(100)를 사이에 두고 서로 이격되도록 배치되는 제1 측부 지지부(210) 및 제2 측부 지지부(220)와 제1축(X) 방향을 따라 연장된 하부 지지부(230)를 포함할 수 있다. 또한, 이때, 제1 측부 지지부(210) 및 제2 측부 지지부(220)에는 제1 고정축(120) 및 제 2 고정축(130)이 삽입될 수 있는 제1 삽입부(211) 및 제2 삽입부(221)가 마련될 수 있으며, 이에 따라 광학부재 홀더부(100)는 광학홀더 지지부(200)에 대해 제1 축(X)을 중심으로 회전할 수 있다. 다만, 본 개시가 이에 제한되는 것은 아니며, 광학홀더 지지부(200)는, 광학부재 홀더부(100)가 제1축(X)에 대해 회전 가능하도록 지지될 수 있는 임의의 형상으로 마련되어도 무방하다.The optical holder support part 200 is a housing member capable of housing the optical member holder part 100. [ The optical holder support 200 according to an embodiment is extended along the second axis Y direction perpendicular to the first axis X and the optical axis Z and is fixed to the optical member holder 100 via the optical member holder 100 A first side support part 210 and a second side support part 220 arranged to be spaced apart from each other and a lower support part 230 extending along a first axis X direction. The first side support portion 210 and the second side support portion 220 may have a first insertion portion 211 and a second insertion portion 211 into which the first fixing shaft 120 and the second fixing shaft 130 can be inserted, The optical member holder 100 can be rotated about the first axis X with respect to the optical holder holder 200. [ However, the present disclosure is not limited thereto, and the optical holder support portion 200 may be provided in any shape that can be supported so that the optical member holder portion 100 is rotatable with respect to the first axis X .

또한, 일 실시예에 따른 광학홀더 지지부(200)는, 광학홀더 지지부(200) 및 상기 광학 홀더 지지부(200)에 수납된 광학부재 홀더부(100)가 베이스부(300)에 대해 제2 축(Y)을 중심으로 회전할 수 있도록, 베이스부(300)에 지지될 수 있다. 이를 위해 광학홀더 지지부(200)에 포함된 하부 지지부(230)에는 제2 축(Y) 방향을 따라 연장되는 제3 고정축(240)이 배치될 수 있다.The optical holder holder 200 according to the embodiment is configured such that the optical holder holder 200 and the optical member holder 100 housed in the optical holder holder 200 are fixed to the base portion 300 Can be supported on the base portion 300 so as to be able to rotate about the center axis Y of the base. For this purpose, a third fixing shaft 240 extending along the second axis Y may be disposed on the lower supporting part 230 included in the optical holder supporting part 200.

베이스부(300)는 광학홀더 지지부(200)를 지지할 수 있는 지지부재이다. 일 실시예에 따른, 베이스부(300)는 도 1에 도시된 빔 경로(L)상에 고정되도록 배치됨과 동시에, 광학홀더 지지부(200) 및 광학홀더 지지부(200)에 수납된 광학부재 홀더부(100)를 지지할 수 있다. 이에 따라 광학부재 홀더부(100)에 안착된 광학부재(M)는 도 1에 도시된 빔 경로(L) 상에 고정되도록 배치될 수 있다.The base portion 300 is a supporting member capable of supporting the optical holder supporting portion 200. The base part 300 is arranged to be fixed on the beam path L shown in FIG. 1 and includes an optical holder support part 200 and an optical member holder part 200 housed in the optical holder support part 200, (100). The optical member M seated on the optical member holder portion 100 can be arranged to be fixed on the beam path L shown in Fig.

또한, 이때, 베이스부(300)의 일면에는 제3 고정축(240)이 삽입될 수 있는 제3 삽입부(310)가 마련될 수 있으며, 이에 따라 상술한 바와 같이 광학홀더 지지부(200) 및 상기 광학 홀더 지지부(200)에 수납된 광학부재 홀더부(100)는 베이스부(300)에 대해 제2 축(Y)을 중심으로 회전할 수 있다. 다만, 본 개시가 이에 제한되는 것은 아니며, 베이스부(300)는 광학홀더 지지부(200)가 제2축(Y)에 대해 회전 가능하도록 지지될 수 있는 임의의 형상으로 마련되어도 무방하다.In this case, the third inserting portion 310, into which the third fixing shaft 240 can be inserted, may be provided on one side of the base portion 300. Accordingly, as described above, the optical holder supporting portion 200 and / The optical member holder unit 100 housed in the optical holder support unit 200 can rotate about the second axis Y with respect to the base unit 300. [ However, the present disclosure is not limited thereto, and the base portion 300 may be provided in any shape such that the optical holder support portion 200 can be rotatably supported with respect to the second axis Y. [

일 실시예에 따른 제1 조정부(400)는 광학홀더 지지부(200)에 대해 제1축(X)을 중심으로 회전하는 광학부재 홀더부(100)의 회전 정도를 조정하기 위한 조정부재이다. 일 예로서 제1 조정부(400)는 제1 고정축(120)에 고정되도록 배치되어 광학부재 홀더부(100)에 회전력을 인가하는 제1 웨지부(410), 제1 웨지부(410)에 회전력을 인가할 수 있는 제1 조작부(420) 및 제1 웨지부(410)에 회전력을 인가할 수 있는 제1 탄성 부재(430)를 포함할 수 있다.The first adjustment unit 400 according to an embodiment is an adjustment member for adjusting the degree of rotation of the optical member holder unit 100 that rotates about the first axis X with respect to the optical holder support unit 200. The first adjusting unit 400 includes a first wedge unit 410 arranged to be fixed to the first fixing shaft 120 and applying a rotational force to the optical member holder unit 100, A first operating portion 420 capable of applying a rotational force and a first elastic member 430 capable of applying a rotational force to the first wedge portion 410. [

제1 웨지부(410)는 도 4a에 도시된 바와 같이 제1 고정축(120)을 중심으로 제1 측부 지지부(210)에 대해 회전 가능하도록 배치될 수 있다. 또한, 제1 웨지부(410)는 제2 축(Y) 방향에 대해 시계 방향을 따라 소정의 각도(θ)를 구비하도록 경사진 테이퍼부(411) 및 상기 테이퍼부(411)에 대향하도록 배치되는 지지면(412)을 포함할 수 있다. 제1 웨지부(410)는, 제1 조작부(420)의 제2 축(Y) 방향을 따르는 이동 및 제1 탄성 부재(430)의 복원력에 따라, 제1 측부 지지부(210)에 대해 제1 고정축(120)을 중심으로 시계방향 또는 반시계 방향으로 회전할 수 있다. 이에 따라 제1 고정축(120)에 고정된 광학부재 홀더부(100)에 제1 축(X)을 중심으로 하는 회전력이 인가될 수 있다. The first wedge portion 410 may be disposed to be rotatable with respect to the first side support portion 210 about the first fixed shaft 120 as shown in FIG. 4A. The first wedge portion 410 has a tapered portion 411 and a tapered portion 411 arranged to face the tapered portion 411 so as to have a predetermined angle? The support surface 412 may be formed of a metal. The first wedge portion 410 is moved in the first direction relative to the first side support portion 210 in accordance with the movement along the second axis Y direction of the first operation portion 420 and the restoring force of the first elastic member 430, And can rotate clockwise or counterclockwise about the fixed shaft 120. [ Accordingly, a rotational force about the first axis X can be applied to the optical member holder 100 fixed to the first fixed shaft 120.

제1 조작부(420)는 제1 웨지부(410)에 회전력을 인가할 수 있는 조정부재이다. 일 예로서, 제1 조작부(420)는 도 4a에 도시된 바와 같이 제2축(Y) 방향을 따라 연장되도록 형성될 수 있으며, 제1 측부 지지부(210)에 마련된 제1 관통홀(212)에 삽입되어 제2축(Y) 방향을 따라 이동될 수 있도록 배치될 수 있다. 이때, 제1 관통홀(212)은 광축(Z)과 직교하는 제2축(Y) 방향을 따라 연장될 수 있으며, 이에 따라 조작자는, 광학부재(M)의 광축(Z)과의 간섭에서 벗어난 위치에서, 제2축(Y) 방향을 따르는 제1 조작부(420)의 이동 조작을 수행할 수 있다. 또한, 이때, 제1 관통홀(212)의 둘레에 나사부가 배치될 수 있고, 제1 조작부(420)의 외벽부에 제1 관통홀(212)의 나사부에 대응하는 나사부가 배치될 수 있으며, 이에 따라 조작자는, 제2축(Y) 방향을 따르는 제1 조작부(420)의 이동 거리를 보다 정밀하게 조작할 수 있다. 또한, 제1 조작부(420)의 일 단부는 제1 웨지부(410)의 테이퍼부(411)에 접촉 상태를 유지한 채 지지되도록 배치될 수 있다. 이에 따라, 제1 조작부(420)의 제2축(Y) 방향을 따르는 이동에 의해 제1 웨지부(410)에 회전력이 인가될 수 있다. The first operating portion 420 is an adjusting member capable of applying a rotational force to the first wedge portion 410. 4A, the first operating portion 420 may be formed to extend along the second axis Y. The first operating portion 420 may include a first through hole 212 formed in the first side support portion 210, And can be moved along the second axis Y direction. At this time, the first through hole 212 can extend along the second axis Y direction orthogonal to the optical axis Z, and accordingly, the operator can avoid the interference with the optical axis Z of the optical member M The moving operation of the first operating portion 420 along the second axis Y direction can be performed. At this time, the threaded portion may be disposed around the first through hole 212, and the threaded portion corresponding to the threaded portion of the first through hole 212 may be disposed on the outer wall of the first operation portion 420, Accordingly, the operator can more precisely manipulate the moving distance of the first operating portion 420 along the second axis (Y) direction. One end of the first operating portion 420 may be disposed so as to be held in contact with the tapered portion 411 of the first wedge portion 410. Accordingly, a rotational force can be applied to the first wedge portion 410 by the movement of the first operating portion 420 along the second axis (Y) direction.

제1 탄성부재(430)는 제1 웨지부(410)에 회전력을 인가할 수 있는 조정부재이다. 일 예로서, 제1 탄성부재(430)는 도 4a에 제1 웨지부(410)의 지지면(412)에 접촉 상태를 유지한 채 지지되도록 배치될 수 있다. 이에 따라, 일 실시예에 따른 제1 탄성부재(430)는, 제1 조작부(420)의 제2축(Y) 방향을 따르는 이동에 의해 제1 웨지부(410)에 인가되는 회전력과는 반대 방향으로, 제1 웨지부(410)에 회전력을 인가할 수 있다. 제1 조작부(420)와 제1 탄성부재(430)에 의해 제1 웨지부(410)로 회전력을 인가하는 것과 관련된 구체적인 사항은 도 5a 및 도 5b를 참조하여 후술한다.The first elastic member 430 is an adjusting member capable of applying a rotational force to the first wedge portion 410. As an example, the first elastic member 430 may be arranged to be held in contact with the support surface 412 of the first wedge portion 410 in Fig. 4A. Accordingly, the first elastic member 430 according to an embodiment is configured to rotate in a direction opposite to the rotational force applied to the first wedge portion 410 by the movement along the second axis Y direction of the first operation portion 420 The first wedge portion 410 can be rotated. Details regarding the application of the rotational force to the first wedge portion 410 by the first operating portion 420 and the first elastic member 430 will be described later with reference to FIGS. 5A and 5B.

일 실시예에 따른 제2 조정부(500)는 베이스부(300)에 대해 제2축(Y)을 중심으로 회전하는 광학홀더 지지부(200)의 회전 정도를 조정하기 위한 조정부재이다. 일 예로서 제2 조정부(500)는 제3 고정축(240)에 고정되도록 배치되어 광학홀더 지지부(200)에 회전력을 인가하는 제2 웨지부(510), 제2 웨지부(510)에 회전력을 인가할 수 있는 제2 조작부(520) 및 제2 웨지부(510)에 회전력을 인가할 수 있는 제2 탄성 부재(530)를 포함할 수 있다.The second adjustment unit 500 according to one embodiment is an adjustment member for adjusting the degree of rotation of the optical holder support unit 200 that rotates about the second axis Y with respect to the base unit 300. The second adjusting unit 500 may include a second wedge unit 510 disposed to be fixed to the third fixing shaft 240 and applying a rotational force to the optical holder supporting unit 200, And a second elastic member 530 capable of applying a rotational force to the second wedge portion 510. The second elastic member 530 may include a second elastic member 530,

제2 웨지부(510)는 도 4b에 도시된 바와 같이 제3 고정축(240)을 중심으로 베이스부(300)에 대해 회전 가능하도록 배치될 수 있다. 또한, 제2 웨지부(510)는 제1 축(X) 방향에 대해 시계 방향을 따라 소정의 각도(θ)를 구비하도록 경사진 테이퍼부(511) 및 상기 테이퍼부(511)에 대향하도록 배치되는 지지면(512)을 포함할 수 있다. 제2 웨지부(510)는, 제2 조작부(520)의 제1 축(X) 방향을 따르는 이동 및 제2 탄성 부재(530)의 복원력에 따라, 베이스부(300)에 대해 제3 고정축(240)을 중심으로 시계방향 또는 반시계 방향으로 회전할 수 있다. 이에 따라, 제3 고정축(240)에 고정된 광학홀더 지지부(200)에 제2 축(Y)을 중심으로 하는 회전력이 인가될 수 있다. The second wedge portion 510 may be disposed to be rotatable with respect to the base portion 300 about the third fixed shaft 240 as shown in FIG. 4B. The second wedge portion 510 includes a tapered portion 511 and a tapered portion 511 arranged to face the tapered portion 511 so as to have a predetermined angle? (Not shown). The second wedge part 510 is moved in the direction of the first axis X of the second operating part 520 and the restoring force of the second elastic part 530 by the third wedge part 510 with respect to the base part 300, And can rotate clockwise or counterclockwise about the axis 240. Accordingly, a rotational force about the second axis Y can be applied to the optical holder support unit 200 fixed to the third fixed shaft 240. [

제2 조작부(520)는 제2 웨지부(510)에 회전력을 인가할 수 있는 조정부재이다. 일 예로서, 제2 조작부(520)는 도 4b에 도시된 바와 같이 제1 축(X) 방향을 따라 연장되도록 형성될 수 있으며, 베이스부(300)에 마련된 제2 관통홀(312)에 삽입되어 제1 축(X) 방향을 따라 이동될 수 있도록 배치될 수 있다. 이때, 제2 관통홀(312)은 광축(Z)과 직교하는 제1 축(X) 방향을 따라 연장될 수 있으며, 이에 따라 조작자는, 광학부재(M)의 광축(Z)과의 간섭에서 벗어난 위치에서, 제1 축(X) 방향을 따르는 제2 조작부(520)의 이동 조작을 수행할 수 있다. 또한, 이때, 제2 관통홀(312)의 둘레에 나사부가 배치될 수 있고, 제2 조작부(520)의 외벽부에 제2 관통홀(312)의 나사부에 대응하는 나사부가 배치될 수 있으며, 이에 따라 조작자는, 제1 축(X) 방향을 따르는 제2 조작부(520)의 이동 거리를 보다 정밀하게 조작할 수 있다. 또한, 제2 조작부(520)의 일 단부는 제2 웨지부(510)의 테이퍼부(511)에 접촉 상태를 유지한 채 지지되도록 배치될 수 있다. 이에 따라, 제2 조작부(520)의 제1 축(X) 방향을 따르는 이동에 의해 제2 웨지부(510)에 회전력이 인가될 수 있다. The second operating portion 520 is an adjusting member capable of applying a rotational force to the second wedge portion 510. 4B, the second operating portion 520 may be formed to extend along the first axis X, and may be inserted into the second through hole 312 provided in the base portion 300, And can be moved along the first axis X direction. At this time, the second through-hole 312 may extend along the first axis X direction orthogonal to the optical axis Z, and accordingly, It is possible to perform the moving operation of the second operating portion 520 along the first axis X direction at the position deviated. At this time, the threaded portion may be disposed around the second through hole 312, and the threaded portion corresponding to the threaded portion of the second through hole 312 may be disposed on the outer wall of the second operation portion 520, Thus, the operator can more precisely manipulate the moving distance of the second operating portion 520 along the first axis X direction. In addition, one end of the second operating portion 520 may be disposed so as to be held in contact with the tapered portion 511 of the second wedge portion 510. Accordingly, a rotational force can be applied to the second wedge portion 510 by the movement of the second operating portion 520 along the first axis X direction.

제2 탄성부재(530)는 제2 웨지부(510)에 회전력을 인가할 수 있는 조정부재이다. 일 예로서, 제2 탄성부재(530)는 도 4b에 제2 웨지부(510)의 지지면(512)에 접촉 상태를 유지한 채 지지되도록 배치될 수 있다. 이에 따라, 일 실시예에 따른 제2 탄성부재(530)는, 제2 조작부(520)의 제1 축(X) 방향을 따르는 이동에 의해 제2 웨지부(510)에 인가되는 회전력과는 반대 방향으로, 제2 웨지부(510)에 회전력을 인가할 수 있다. 제2 조작부(520)와 제2 탄성부재(530)에 의해 제2 웨지부(510)로 회전력을 인가하는 것과 관련된 구체적인 사항은 도 6a 및 도 6b를 참조하여 후술한다.The second elastic member 530 is an adjusting member capable of applying a rotational force to the second wedge portion 510. As an example, the second elastic member 530 may be arranged to be held in contact with the support surface 512 of the second wedge portion 510 in FIG. 4B. Accordingly, the second elastic member 530 according to the embodiment has the opposite side to the rotational force applied to the second wedge portion 510 by the movement along the first axis X direction of the second operation portion 520 It is possible to apply a rotational force to the second wedge portion 510. Details regarding the application of the rotational force to the second wedge portion 510 by the second operating portion 520 and the second elastic member 530 will be described later with reference to FIGS. 6A and 6B.

도 5a는 일 실시예에 따른 제1 조정부의 평면도이다. 도 5b는 일 실시예에 따른 광학부재 마운트 장치의 개략적인 측면도이다.5A is a plan view of a first adjustment according to one embodiment. 5B is a schematic side view of an optical member mounting apparatus according to an embodiment.

도 5a 및 도 5b를 참조하면, 일 실시예에 따른 제1 조작부(420)는 조작자에 의해 제2축(Y)방향을 따라 이동될 수 있다. 이때, 조작자는, 광학부재(M)의 광축(Z)과의 간섭에서 벗어난 위치에서, 제2축(Y) 방향을 따르는 제1 조작부(420)의 이동 조작을 수행할 수 있다. 일 예로서, 도 5a 에 도시된 바와 같이 제1 관통홀(212)의 둘레에 나사부가 배치되고, 제1 조작부(420)의 외벽부에 제1 관통홀(212)의 나사부에 대응하는 나사부가 배치되는 경우, 조작자는 제1 조작부(420)에 배치된 나사부를 이용하여 제1 조작부(420)를 제2축(Y)의 제1 방향을 따라 이동시킬 수 있다. 이때, 제1 조작부(420)의 일 단부는 제1 웨지부(410)의 테이퍼부(411)에 접촉되도록 지지될 수 있으므로, 제1 조작부(420)가 제2축(Y)의 제1 방향을 따라 이동되는 경우, 제1 웨지부(410)는 제1 고정축(120)을 중심으로 제1 측부 지지부(210)에 대해 반시계 방향으로 회전될 수 있다. 또한, 이때 제1 탄성부재(430)는 제1 웨지부(410)의 지지면(412)에 접촉되도록 지지될 수 있으므로, 제1 웨지부(410)가 반시계 방향으로 회전하는 경우 제1 탄성 부재(430)는 압축되도록 변형될 수 있다. 5A and 5B, the first operating portion 420 according to one embodiment can be moved along the second axis Y direction by the operator. At this time, the operator can perform the moving operation of the first operating portion 420 along the second axis Y at a position deviated from the interference with the optical axis Z of the optical member M. [ 5A, a threaded portion is disposed around the first through hole 212 and a threaded portion corresponding to the threaded portion of the first through hole 212 is formed in the outer wall of the first operating portion 420 The operator can move the first operating portion 420 along the first direction of the second axis Y by using the screw portion disposed on the first operating portion 420. [ One end of the first operating portion 420 may be held in contact with the tapered portion 411 of the first wedge portion 410 so that the first operating portion 420 is moved in the first direction The first wedge portion 410 may be rotated in a counterclockwise direction with respect to the first side support portion 210 about the first fixed shaft 120. In this case, The first elastic member 430 may be held in contact with the support surface 412 of the first wedge portion 410 so that when the first wedge portion 410 rotates counterclockwise, Member 430 can be deformed to be compressed.

일 실시예에 따라, 제1 조작부(420)의 이동에 의해 제1 웨지부(410)가 제1 고정축(120)을 중심으로 제1 측부 지지부(210)에 대해 반시계 방향으로 회전하는 경우, 제1 고정축(120)에 고정되도록 배치된 광학부재 홀더부(100)에도 회전력이 인가될 수 있다. 일 예로서, 제1 측부 지지부(210)에 대해 제1 고정축(120)이 회전하는 경우, 제1 고정축(120)에 고정되도록 배치된 광학부재 홀더부(100) 또한 회전력을 인가받아 도 5b에 도시된 바와 같이 제1 측부 지지부(210)에 대해 반시계 방향으로 회전될 수 있다.When the first wedge portion 410 is rotated counterclockwise about the first side support portion 210 about the first fixed shaft 120 by the movement of the first operation portion 420 A rotational force may be applied to the optical member holder 100 arranged to be fixed to the first fixed shaft 120. For example, when the first fixing shaft 120 rotates with respect to the first side supporting portion 210, the optical member holder 100, which is arranged to be fixed to the first fixing shaft 120, The first side support portion 210 can be rotated counterclockwise as shown in FIGS.

반면, 조작자는 제1 조작부(420)에 배치된 나사부를 이용하여 제1 조작부(420)를 제2축(Y)의 제1 방향과 반대되는 제2 방향을 따라 이동시킬 수 있다. 이때, 제1 웨지부(410)의 지지면(412)은 제1 탄성 부재(430)에 접촉되도록 지지될 수 있으므로, 제1 조작부(420)가 제2축(Y)의 제2 방향을 따라 이동되는 경우, 제1 탄성 부재(430)에는 인장력에 의한 복원력이 생성될 수 있다. 제1 탄성 부재(430)에 의해 발생된 복원력에 의해, 제1 웨지부(410)는 제1 고정축(120)을 중심으로 제1 측부 지지부(210)에 대해 시계 방향으로 회전될 수 있다. The operator can move the first operating portion 420 along the second direction opposite to the first direction of the second axis Y by using the screw portion disposed on the first operating portion 420. [ Since the support surface 412 of the first wedge portion 410 can be held in contact with the first elastic member 430, the first operation portion 420 can be moved along the second direction of the second axis Y A restoring force due to a tensile force can be generated in the first elastic member 430. [ The first wedge portion 410 can be rotated in the clockwise direction with respect to the first side support portion 210 about the first fixed shaft 120 by the restoring force generated by the first elastic member 430. [

일 실시예에 따라, 제1 탄성부재(430)의 복원력에 의해 제1 웨지부(410)가 제1 고정축(120)을 중심으로 제1 측부 지지부(210)에 대해 시계 방향으로 회전하는 경우, 제1 고정축(120)에 고정되도록 배치된 광학부재 홀더부(100)에도 회전력이 인가될 수 있다. 일 예로서, 제1 측부 지지부(210)에 대해 제1 고정축(120)이 회전하는 경우, 제1 고정축(120)에 고정되도록 배치된 광학부재 홀더부(100) 또한 회전력을 인가받아 제1 측부 지지부(210)에 대해 시계 방향으로 회전될 수 있다. When the first wedge portion 410 is rotated clockwise with respect to the first side support portion 210 about the first fixed shaft 120 by the restoring force of the first elastic member 430 A rotational force may be applied to the optical member holder 100 arranged to be fixed to the first fixed shaft 120. For example, when the first fixing shaft 120 rotates with respect to the first side supporting portion 210, the optical member holder 100, which is disposed to be fixed to the first fixing shaft 120, Can be rotated clockwise with respect to the one side support portion (210).

도 6a는 일 실시예에 따른 제2 조정부의 평면도이다. 도 6b는 일 실시예에 따른 광학부재 마운트 장치의 개략적인 평면도이다.6A is a plan view of a second adjustment according to one embodiment. 6B is a schematic plan view of an optical member mounting apparatus according to an embodiment.

도 6a 및 도 6b를 참조하면, 일 실시예에 따른 제2 조작부(520)는 조작자에 의해 제1축(X)방향을 따라 이동될 수 있다. 이때, 조작자는, 광학부재(M)의 광축(Z)과의 간섭에서 벗어난 위치에서, 제1축(X) 방향을 따르는 제2 조작부(520)의 이동 조작을 수행할 수 있다. 일 예로서, 도 6a 에 도시된 바와 같이, 제2 조작부(520)의 일 단부는 제2 웨지부(510)의 테이퍼부(511)에 접촉되도록 지지될 수 있으므로, 제2 조작부(520)가 제1축(X)의 제1 방향을 따라 이동되는 경우, 제2 웨지부(510)는 제3 고정축(240)을 중심으로 베이스부(300)에 대해 반시계 방향으로 회전될 수 있다. 또한, 이때 제2 탄성부재(530)는 제2 웨지부(510)의 지지면(512)에 접촉되도록 지지될 수 있으므로, 제2 웨지부(510)가 반시계 방향으로 회전하는 경우 제2 탄성 부재(530)는 압축되도록 변형될 수 있다. 6A and 6B, the second operating portion 520 according to one embodiment can be moved along the first axis X direction by the operator. At this time, the operator can perform the moving operation of the second operating portion 520 along the first axis X at a position deviated from the interference with the optical axis Z of the optical member M. [ 6A, one end of the second operating portion 520 can be held in contact with the tapered portion 511 of the second wedge portion 510, so that the second operating portion 520 The second wedge portion 510 may be rotated counterclockwise with respect to the base portion 300 about the third fixed shaft 240 when the first wedge portion 510 is moved along the first direction of the first axis X. [ The second elastic member 530 may be supported to be in contact with the support surface 512 of the second wedge portion 510 so that when the second wedge portion 510 rotates counterclockwise, Member 530 may be deformed to compress.

일 실시예에 따라, 제2 조작부(520)의 이동에 의해 제2 웨지부(510)가 제3 고정축(240)을 중심으로 베이스부(300)에 대해 반시계 방향으로 회전하는 경우, 제3 고정축(240)에 고정되도록 배치된 광학홀더 지지부(200)에도 회전력이 인가될 수 있다. 일 예로서, 베이스부(300)에 대해 제3 고정축(240)이 회전하는 경우, 제3 고정축(240)에 고정되도록 배치된 광학홀더 지지부(200) 또한 회전력을 인가받아 도 6b에 도시된 바와 같이 베이스부(300)에 대해 반시계 방향으로 회전될 수 있다.When the second wedge portion 510 rotates counterclockwise with respect to the base portion 300 about the third fixed shaft 240 by the movement of the second operating portion 520, The rotational force may also be applied to the optical holder support 200 arranged to be fixed to the third fixed shaft 240. The optical holder holder 200 which is arranged to be fixed to the third fixing shaft 240 when the third fixing shaft 240 rotates with respect to the base part 300 may also receive the rotational force to rotate the optical axis And can be rotated counterclockwise with respect to the base portion 300 as shown in FIG.

반면, 조작자는 제2 조작부(520)를 제1축(X)의 제1 방향과 반대되는 제2 방향을 따라 이동시킬 수 있다. 이때, 제2 웨지부(510)의 지지면(512)은 제2 탄성 부재(530)에 접촉되도록 지지될 수 있으므로, 제2 조작부(520)가 제1축(X)의 제2 방향을 따라 이동되는 경우, 제2 탄성 부재(530)에는 인장력에 의한 복원력이 생성될 수 있다. 제2 탄성 부재(530)에 의해 발생된 복원력에 의해, 제2 웨지부(510)는 제3 고정축(240)을 중심으로 베이스부(300)에 대해 시계 방향으로 회전될 수 있다. On the other hand, the operator can move the second operating portion 520 along the second direction opposite to the first direction of the first axis X. [ At this time, since the support surface 512 of the second wedge portion 510 can be held in contact with the second elastic member 530, the second operation portion 520 can be moved along the second direction of the first axis X When moved, the second elastic member 530 can generate a restoring force by a tensile force. The second wedge part 510 can be rotated clockwise with respect to the base part 300 about the third fixed shaft 240 by the restoring force generated by the second elastic member 530. [

일 실시예에 따라, 제2 탄성부재(530)의 복원력에 의해 제2 웨지부(510)가 제3 고정축(240)을 중심으로 베이스부(300)에 대해 시계 방향으로 회전하는 경우, 제3 고정축(240)에 고정되도록 배치된 광학홀더 지지부(200)에도 회전력이 인가될 수 있다. 일 예로서, 베이스부(300)에 대해 제3 고정축(240)이 회전하는 경우, 제3 고정축(240)에 고정되도록 배치된 광학홀더 지지부(200) 또한 회전력을 인가받아 베이스부(300)에 대해 시계 방향으로 회전될 수 있다. When the second wedge portion 510 rotates clockwise with respect to the base portion 300 about the third fixed shaft 240 by the restoring force of the second elastic member 530, The rotational force may also be applied to the optical holder support 200 arranged to be fixed to the third fixed shaft 240. For example, when the third fixing shaft 240 rotates with respect to the base unit 300, the optical holder supporting unit 200, which is arranged to be fixed to the third fixing shaft 240, As shown in Fig.

상술한 바와 같이 조작자에 의해 조작되는 제1 조작부(420) 및 제2 조작부(520)가 광학부재(M)의 광축(Z)과의 간섭에서 벗어난 제1축(X)방향 및 제2축(Y) 방향을 따라 조작 및 이동됨에 따라 작업자의 신체와 레이저 빔의 간섭을 방지할 수 있으며, 이에 따라 광학부재 홀더부(100)에 안착된 광학 부재(M)의 회전 각도를 조정하는 작업자에게 가해질 수 있는 위해를 방지할 수 있다. 또한, 제1 및 제2 웨지부(410, 510)에 포함된 테이퍼부(411, 511)와 직선 이동하는 제1 및 제2 조작부(420, 520)의 접촉에 의해 광학부재 홀더부(100)의 회전 각도를 조정함으로써 보다 정밀하게 광학부재의 회전 각도를 조정할 수 있다.The first operating portion 420 and the second operating portion 520 operated by the operator are moved in the first axis X direction and the second axis X direction which are out of interference with the optical axis Z of the optical member M, Y) direction, it is possible to prevent interference between the body of the worker and the laser beam, and accordingly, to the operator who adjusts the rotation angle of the optical member M mounted on the optical member holder unit 100 Can prevent harm. The optical member holder portion 100 is formed by the contact of the first and second operating portions 420 and 520 that linearly move with the tapered portions 411 and 511 included in the first and second wedge portions 410 and 510, The rotation angle of the optical member can be adjusted more precisely.

전술한 본 발명의 설명은 예시를 위한 것이며, 본 발명이 속하는 기술분야의 통상의 지식을 가진 자는 본 발명의 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 쉽게 변형이 가능하다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다. 예를 들어, 단일형으로 설명되어 있는 각 구성 요소는 분산되어 실시될 수도 있으며, 마찬가지로 분산된 것으로 설명되어 있는 구성 요소들도 결합된 형태로 실시될 수 있다.It will be understood by those skilled in the art that the foregoing description of the present invention is for illustrative purposes only and that those of ordinary skill in the art can readily understand that various changes and modifications may be made without departing from the spirit or essential characteristics of the present invention. will be. It is therefore to be understood that the above-described embodiments are illustrative in all aspects and not restrictive. For example, each component described as a single entity may be distributed and implemented, and components described as being distributed may also be implemented in a combined form.

본 발명의 범위는 상기 상세한 설명보다는 후술하는 특허청구범위에 의하여 나타내어지며, 특허청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 균등 개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.The scope of the present invention is defined by the appended claims rather than the detailed description and all changes or modifications derived from the meaning and scope of the claims and their equivalents are to be construed as being included within the scope of the present invention do.

10: 레이저 광원
20: 빔 확대기
30: 광 경로 형성부
40: 스캐너
50: 집속 렌즈
100: 광학부재 홀더부
120: 제1 고정축
130: 제2 고정축
200: 지지부
240: 제3 고정축
300: 베이스부
400: 제1 조정부
500: 제2 조정부10: Laser light source
20: beam expander
30: Optical path forming part
40: Scanner
50: focusing lens
100: Optical member holder part
120: first fixed shaft
130: second fixed shaft
200:
240: third fixed shaft
300: base portion
400: first adjustment section
500: second adjustment section

Claims (16)

광축을 구비하는 광학부재가 안착되어 지지되는 광학부재 홀더부;
상기 광축과 직교하는 제1 축을 중심으로 상기 광학부재 홀더부를 회전 가능하도록 지지하는 광학홀더 지지부;
상기 광축 및 상기 제1 축과 직교하는 제2 축을 중심으로 상기 광학홀더 지지부를 회전 가능하도록 지지되는 베이스부;
상기 제1 축을 중심으로 회전하는 광학부재 홀더부의 회전 정도를 조정하기 위한 제1 조정부; 및
상기 제2 축을 중심으로 회전하는 광학홀더 지지부의 회전 정도를 조정하기 위한 제2 조정부;를 포함하며,
상기 제1 조정부는,
상기 제2 축 방향에 대해 소정의 각도를 구비하도록 경사진 테이퍼부를 구비하는 제1 웨지부;
일 단부가 상기 테이퍼부에 접촉하며, 상기 제2 축 방향을 따라 이동 가능하도록 배치되는 제1 조작부;를 포함하며,
상기 제1 조작부의 이동에 따라, 상기 제1 웨지부와 상기 광학부재 홀더부는 상기 제1 축을 중심으로 상기 광학홀더 지지부에 대해 회전하도록 배치되는,
광학부재 마운트 장치.
An optical member holder portion in which an optical member having an optical axis is seated and supported;
An optical holder support portion rotatably supporting the optical member holder portion about a first axis orthogonal to the optical axis;
A base portion rotatably supported on the optical holder support portion about the optical axis and a second axis orthogonal to the first axis;
A first adjustment unit for adjusting a degree of rotation of the optical member holder unit rotating about the first axis; And
And a second adjustment unit for adjusting the degree of rotation of the optical holder support unit rotating about the second axis,
The first adjustment unit
A first wedge portion having a tapered portion tapered to have a predetermined angle with respect to the second axial direction;
And a first operating portion which is disposed so that one end thereof contacts the tapered portion and is movable along the second axis direction,
Wherein the first wedge portion and the optical member holder portion are arranged to rotate with respect to the optical holder support portion about the first axis in accordance with the movement of the first operation portion,
Optical member mounting apparatus.
삭제delete 제1 항에 있어서,
상기 광학부재 홀더부는 상기 제2 축 방향을 따라 연장되는 제1 관통홀을 포함하고, 상기 제1 조작부는 상기 제1 관통홀에 배치되어 상기 제2 축 방향을 따라 이동하는
광학부재 마운트 장치.The method according to claim 1,
Wherein the optical member holder portion includes a first through hole extending along the second axis direction and the first operation portion is disposed in the first through hole and moves along the second axis direction
Optical member mounting apparatus. 제3 항에 있어서,
상기 제1 관통홀의 둘레에는 나사부가 배치되어 있고, 상기 제1 조작부에는 상기 제1 관통홀의 나사부에 대응하는 나사부가 배치되는,
광학부재 마운트 장치.The method of claim 3,
Wherein a thread portion is disposed around the first through hole and a thread portion corresponding to the thread portion of the first through hole is disposed in the first operation portion,
Optical member mounting apparatus. 제1 항에 있어서,
상기 제1 웨지부는 상기 테이퍼부에 대향하는 지지면을 포함하고,
일 단부가 상기 지지면에 접촉하며, 상기 광축 방향을 따라 변형 가능하도록 배치되는 제1 탄성부재;를 더 포함하는,
광학부재 마운트 장치.The method according to claim 1,
Wherein the first wedge portion includes a support surface opposite the tapered portion,
Further comprising: a first elastic member having one end contacting the supporting surface and being arranged to be deformable along the optical axis direction;
Optical member mounting apparatus. 제1 항에 있어서,
상기 제2 조정부는,
상기 제1 축 방향에 대해 소정의 각도를 구비하도록 경사진 테이퍼부를 구비하는 제2 웨지부;
일 단부가 상기 테이퍼부에 접촉하며, 상기 제1 축 방향을 따라 이동 가능하도록 배치되는 제2 조작부;를 포함하며,
상기 제2 조작부의 이동에 따라, 제2 웨지부와 상기 광학홀더 지지부는 상기 제2 축을 중심으로 상기 베이스부에 대해 회전하도록 배치되는,
광학부재 마운트 장치.The method according to claim 1,
Wherein the second adjustment unit comprises:
A second wedge portion having a tapered portion tapered to have a predetermined angle with respect to the first axial direction;
And a second operating portion that is disposed so that one end thereof contacts the tapered portion and is movable along the first axis direction,
And the second wedge portion and the optical holder supporting portion are arranged to rotate about the second axis with respect to the base portion in accordance with the movement of the second operating portion,
Optical member mounting apparatus. 제6 항에 있어서,
상기 베이스부는 상기 제1 축 방향을 따라 연장되는 제2 관통홀을 포함하고, 상기 제2 조작부는 상기 제2 관통홀에 배치되어 상기 제1 축 방향을 따라 이동하는
광학부재 마운트 장치.The method according to claim 6,
Wherein the base portion includes a second through hole extending along the first axis direction and the second operation portion is disposed in the second through hole and moves along the first axis direction
Optical member mounting apparatus. 제7 항에 있어서,
상기 제2 관통홀의 둘레에는 나사부가 배치되어 있고, 상기 제2 조작부에는 상기 제2 관통홀의 나사부에 대응하는 나사부가 배치되어 있는,
광학부재 마운트 장치.8. The method of claim 7,
Wherein a thread portion is disposed around the second through hole and a thread portion corresponding to the thread portion of the second through hole is disposed in the second operation portion,
Optical member mounting apparatus. 제6 항에 있어서,
상기 제2 웨지부는 상기 테이퍼부에 대향하는 지지면을 포함하고,
일 단부가 상기 지지면에 접촉하며, 상기 광축 방향을 따라 변형 가능하도록 배치되는 제2 탄성부재;를 더 포함하는,
광학부재 마운트 장치.The method according to claim 6,
The second wedge portion includes a support surface opposite the tapered portion,
And a second resilient member having one end contacting the support surface and being arranged to be deformable along the optical axis direction,
Optical member mounting apparatus. 제1 항에 있어서,
상기 광학 부재는 미러(Mirror), 필터(Filter), 파장판(wave plate), 편광판(polarizer) 또는 윈도우(window) 중의 어느 하나인,
광학부재 마운트 장치.The method according to claim 1,
Wherein the optical member is one of a mirror, a filter, a wave plate, a polarizer or a window,
Optical member mounting apparatus. 레이저 빔을 발생하는 광원;
상기 광원으로부터의 레이저 빔을 피가공체에 집중시키는 렌즈 광학계;
상기 광원과 상기 렌즈 광학계 사이의 광 진행 경로 상에 마련되는 광학부재: 및
상기 광학부재를 고정하는 광학부재 마운트 장치;를 포함하며,
상기 광학부재 마운트 장치:는
광축을 구비하는 광학부재가 안착되어 지지되는 광학부재 홀더부;
상기 광축과 직교하는 제1 축을 중심으로 상기 광학부재 홀더부를 회전 가능하도록 지지하는 광학홀더 지지부;
상기 광축 및 상기 제1 축과 직교하는 제2 축을 중심으로 상기 광학홀더 지지부를 회전 가능하도록 지지되는 베이스부;
상기 제1 축을 중심으로 회전하는 광학부재 홀더부의 회전 정도를 조정하기 위한 제1 조정부; 및
상기 제2 축을 중심으로 회전하는 광학홀더 지지부의 회전 정도를 조정하기 위한 제2 조정부;를 포함하며,
상기 제1 조정부는,
상기 제2 축 방향에 대해 소정의 각도를 구비하도록 경사진 테이퍼부를 구비하는 제1 웨지부;
일 단부가 상기 테이퍼부에 접촉하며, 상기 제2 축 방향을 따라 이동 가능하도록 배치되는 제1 조작부;를 포함하며,
상기 제1 조작부의 이동에 따라, 상기 제1 웨지부와 상기 광학부재 홀더부는 상기 제1 축을 중심으로 상기 광학홀더 지지부에 대해 회전하도록 배치되는,
레이저 장치.A light source for generating a laser beam;
A lens optical system that focuses the laser beam from the light source on the workpiece;
An optical member provided on a light path between the light source and the lens optical system; and
And an optical member mounting apparatus for fixing the optical member,
The optical member mounting apparatus includes:
An optical member holder portion in which an optical member having an optical axis is seated and supported;
An optical holder support portion rotatably supporting the optical member holder portion about a first axis orthogonal to the optical axis;
A base portion rotatably supported on the optical holder support portion about the optical axis and a second axis orthogonal to the first axis;
A first adjustment unit for adjusting a degree of rotation of the optical member holder unit rotating about the first axis; And
And a second adjustment unit for adjusting the degree of rotation of the optical holder support unit rotating about the second axis,
The first adjustment unit
A first wedge portion having a tapered portion tapered to have a predetermined angle with respect to the second axial direction;
And a first operating portion which is disposed so that one end thereof contacts the tapered portion and is movable along the second axis direction,
Wherein the first wedge portion and the optical member holder portion are arranged to rotate with respect to the optical holder support portion about the first axis in accordance with the movement of the first operation portion,
Laser device. 삭제delete 제11 항에 있어서,
상기 제1 웨지부는 상기 테이퍼부에 대향하는 지지면을 포함하고,
일 단부가 상기 지지면에 접촉하며, 상기 광축 방향을 따라 변형 가능하도록 배치되는 제1 탄성부재;를 더 포함하는,
레이저 장치.12. The method of claim 11,
Wherein the first wedge portion includes a support surface opposite the tapered portion,
Further comprising: a first elastic member having one end contacting the supporting surface and being arranged to be deformable along the optical axis direction;
Laser device. 제11 항에 있어서,
상기 제2 조정부는,
상기 제1 축 방향에 대해 소정의 각도를 구비하도록 경사진 테이퍼부를 구비하는 제2 웨지부;
일 단부가 상기 테이퍼부에 접촉하며, 상기 제1 축 방향을 따라 이동 가능하도록 배치되는 제2 조작부;를 포함하며,
상기 제2 조작부의 이동에 따라, 상기 제2 웨지부와 상기 광학홀더 지지부는 상기 제2 축을 중심으로 상기 베이스부에 대해 회전하도록 배치되는,
레이저 장치.12. The method of claim 11,
Wherein the second adjustment unit comprises:
A second wedge portion having a tapered portion tapered to have a predetermined angle with respect to the first axial direction;
And a second operating portion that is disposed so that one end thereof contacts the tapered portion and is movable along the first axis direction,
The second wedge portion and the optical holder support portion are arranged to rotate about the second axis with respect to the base portion in accordance with the movement of the second operation portion,
Laser device. 제14 항에 있어서,
상기 제2 웨지부는 상기 테이퍼부에 대향하는 지지면을 포함하고,
일 단부가 상기 지지면에 접촉하며, 상기 광축 방향을 따라 변형 가능하도록 배치되는 제2 탄성부재;를 더 포함하는,
레이저 장치.15. The method of claim 14,
The second wedge portion includes a support surface opposite the tapered portion,
And a second resilient member having one end contacting the support surface and being arranged to be deformable along the optical axis direction,
Laser device. 제11 항에 있어서,
상기 광학 부재는 미러(Mirror), 필터(Filter), 파장판(wave plate), 편광판(polarizer) 또는 윈도우(window) 중의 어느 하나인,
레이저 장치.12. The method of claim 11,
Wherein the optical member is one of a mirror, a filter, a wave plate, a polarizer or a window,
Laser device.
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