JP2008219272A - Fixed electrode unit and manufacturing method thereof, and electret condenser microphone unit - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、エレクトレットコンデンサマイクロホンユニットの構成部材としてそのユニットケース内に組み込まれる固定極ユニットとその製造方法、及びこの固定極ユニットを備えるエレクトレットコンデンサマイクロホンユニットに係るものであり、詳しくは、マイクロホン部のストレー容量を減少させることで、検出感度を高めることを可能とする技術に関する。 The present invention relates to a fixed pole unit incorporated in a unit case as a constituent member of an electret condenser microphone unit and a manufacturing method thereof, and an electret condenser microphone unit including the fixed pole unit. The present invention relates to a technology that makes it possible to increase detection sensitivity by reducing stray capacity.
コンデンサマイクロホンは、音波により振動する振動板を備えた振動板ユニットと固定極とをスペーサを介して対向配置してなるコンデンサマイクロホンユニットを備える。この振動板ユニットと固定極との間には、スペーサの厚さに対応する隙間が形成されて一種のコンデンサを構成している。このため振動板が音声を受けて振動すると、振動に応じて振動板ユニットと固定極との間の静電容量が変化し、この静電容量の変化が音声信号として出力されるようになっている。したがって、振動板ユニットと固定極とをスペーサを介して積層配置することで、マイクロホン部が構成されている。
このコンデンサマイクロホンの一種に、背極となる固定極にエレクトレット材を用いたエレクトレットコンデンサマイクロホンがある。エレクトレット材とは、半永久的に電荷を蓄える高分子化合物である。
The condenser microphone includes a condenser microphone unit in which a diaphragm unit including a diaphragm that vibrates by sound waves and a fixed pole are disposed to face each other with a spacer interposed therebetween. A gap corresponding to the thickness of the spacer is formed between the diaphragm unit and the fixed pole to form a kind of capacitor. For this reason, when the diaphragm receives sound and vibrates, the capacitance between the diaphragm unit and the fixed pole changes according to the vibration, and this change in capacitance is output as an audio signal. Yes. Therefore, the microphone unit is configured by stacking the diaphragm unit and the fixed pole via the spacer.
One type of condenser microphone is an electret condenser microphone that uses an electret material for a fixed pole serving as a back pole. An electret material is a polymer compound that stores a charge semipermanently.
エレクトレットコンデンサマイクロホンユニットは、たとえば図8に示すような構造をしている。図8は、従来のエレクトレットコンデンサマイクロホンユニットの一例を示す縦断面図である。
図8において、エレクトレットコンデンサマイクロホンユニット(以下「マイクユニット」という)101は、有底の円筒形のユニットケース111内に以下の各部品を収容することにより構成されている。このユニットケース111は、底部に相当する部分が前側となり、マイクロホンにおける音声の入力部となっている。また、この底部にはマイクユニット内部に音声を導き入れるための孔111aが複数形成されている。ユニットケース111内には、この底部に最も近い位置にリング状の振動板保持体112が配置され、さらに、外周縁部が前記振動板保持体112の一端面に固着された振動板113が配置されている。
The electret condenser microphone unit has a structure as shown in FIG. 8, for example. FIG. 8 is a longitudinal sectional view showing an example of a conventional electret condenser microphone unit.
In FIG. 8, an electret condenser microphone unit (hereinafter referred to as “microphone unit”) 101 is configured by housing the following parts in a bottomed
また、前記振動板113に対し、リング状の部材であるスペーサ114の介在のもとに固定極115が対向配置されている。この固定極115は、金属製の円板を基材とし、たとえば前記振動板113との対向面側にエレクトレット材131が貼り付けられて、エレクトレットボードを構成している。また、スペーサ114は厚さが薄い樹脂からなり、振動板113の後端面(図8において下端面)の外周縁部に密着している。
前記ユニットケース111内には、固定極115の後面側に固定極支持体である絶縁スリーブ116が配置されている。絶縁スリーブ116は、たとえば合成樹脂からなり、ユニットケース111内の径方向の寸法を規定して前記固定極115を所定の位置に固定する。絶縁スリーブ116は、これを接着剤によって前記固定極115と接着し、この絶縁スリーブ116と前記固定極115によって形成される平面部に前記エレクトレット材131を貼り付けている。
A fixed
In the
また図8において、絶縁スリーブ116の内周面には、導電材料で構成された導電スリーブ117が内接して配置されている。導電スリーブ117の後端面部は、円板状のプリント基板119上に形成されている回路パターン(不図示)に接触している。このプリント基板119の後端面周縁部には、ユニットケース111の開放端縁部の折り返し部111bが当たっている。この折り返し部111bが、プリント基板119を前方(図8において上方向)に向かって押圧し、折り返し部111bによって生じた押圧力によって、導電スリーブ117が前方(図8において上方)に向かって押されている。また、この押圧力によって、固定極115が押され、さらにスペーサ114を介して振動板保持体112がユニットケース111の底面に押し付けられ、これらの部材のユニットケース111内におけるそれぞれの位置が決められて固定されている。導電スリーブ117は、固定極115とプリント基板119を電気的に接続している。上記プリント回路基板119には、インピーダンス変換器を構成する電界効果型トランジスタ(以下「FET」という)118が配置されている。FET118の端子の一部は、プリント回路基板119の所定の回路パターンに半田付け等によって接続されている。
In FIG. 8, a
ところが、以上説明した構造のマイクユニット101においては、図9に示すように、固定極115の外縁部115aの径(外径)と、振動板支持体112の内縁部112aの径(内径)との間に重なり部xがある。この重なり部xの静電容量がストレー容量となり、マイクロホンとしての感度の低下をもたらす。
したがって、このような構造では、マイクユニットの口径を小さくすると、有効容量のストレー容量に対する比を大きくとることが出来なくなり、損失の多いマイクユニットになってしまう。
However, in the
Therefore, in such a structure, if the aperture of the microphone unit is reduced, the ratio of effective capacity to stray capacity cannot be increased, resulting in a lossy microphone unit.
そこで、ストレー容量(浮遊容量)の発生を防止して検出感度を高めるようにした手段が幾つか提案されている(たとえば、特許文献1及び2参照)。
上記特許文献1及び2に記載の技術は何れも、固定極の外径を振動板支持体の内径以下の寸法にすることによって、ストレー容量を減らして感度を向上させようとするものである。
In view of this, several means have been proposed in which the generation of stray capacitance (floating capacitance) is prevented to increase detection sensitivity (see, for example,
Both of the techniques described in
しかしながら上記特許文献1に記載の技術は、固定極と絶縁スリーブが一体に形成され、前記固定極にエレクトレット材を貼り付けた後に、固定極に開口を開けるものである。したがって、小口径ユニットには適するものの、たとえば約10mm以上の径となる大口径のユニットに適用するには、上記開口の数を多くする必要があるため、固定極のクランプが困難であり加工がし難いものであった。
However, in the technique described in
また、上記特許文献2に記載の技術も、絶縁基板上に固定極に相当する背面電極とエレクトレット層とが形成された構造であり、小口径ユニットには適するものの、大口径のユニットに適用するには加工が困難なものであった。しかも、上記特許文献2に記載のものは、前記絶縁基板によって振動膜と背面電極とを位置決めしたものである。したがって、ユニットケースの折り返し部による押圧力によってそれぞれの部材が位置決めされる構造に容易に適用することが出来るものではない。
すなわち、マイクロホン部においては、振動膜と背面電極との距離を近接させるほど、より感度を高めることが知られている。ところが、絶縁基板上に背面電極が凸状に形成されていると振動膜と背面電極との距離が著しく近くなり過ぎ、振動膜の中央部が大きく撓んで対向する背面電極の中央部に接触し、マイクロホンとしての機能を低下させてしまう虞があった。また、この場合にスペーサの厚さによって振動膜と背面電極との距離を調整するのは困難であり、スペーサの厚さを変えることに伴って静電容量が変化し、感度が低下することや、雑音が多く発生するなどの問題が生ずる虞もあった。
さらに、上記特許文献1においては、絶縁基板上に背面極電極が形成されていることから、背面電極とプリント基板との電気的導通が複雑な構造となる難点もある。
That is, in the microphone unit, it is known that the sensitivity is further increased as the distance between the vibrating membrane and the back electrode is closer. However, if the back electrode is formed in a convex shape on the insulating substrate, the distance between the diaphragm and the back electrode becomes too short, and the center part of the diaphragm is greatly bent and contacts the opposite center part of the back electrode. There is a possibility that the function as a microphone may be deteriorated. In this case, it is difficult to adjust the distance between the diaphragm and the back electrode depending on the thickness of the spacer, and the capacitance changes with the change of the spacer thickness, and the sensitivity decreases. There is also a risk that a lot of noise will occur.
Furthermore, in the above-mentioned
本発明は、上記事情に鑑みてなされたものであり、ユニットケースの折り返し部による押圧力によってそれぞれの部材が位置決めされる構造をしたエレクトレットコンデンサマイクロホンユニットの構成部材としてそのユニットケース内に組み込むことが可能であり、固定極に開ける開口の数が多い大口径ユニットに適用可能な構造を有し、マイクロホン部のストレー容量を減少させることができる固定極ユニットとその製造方法、及びこの固定極ユニットを備えるエレクトレットコンデンサマイクロホンユニットを提供することを目的とする。 The present invention has been made in view of the above circumstances, and can be incorporated into the unit case as a constituent member of an electret condenser microphone unit having a structure in which each member is positioned by the pressing force of the folded portion of the unit case. A fixed pole unit that can be applied to a large-diameter unit that has a large number of openings that can be opened in the fixed pole, can reduce the stray capacity of the microphone section, a manufacturing method thereof, and the fixed pole unit. An object is to provide an electret condenser microphone unit provided.
本発明に係る固定極ユニットは、ユニットケース内に組み込まれ、振動板保持体に張設された振動板と隙間をおいて対向配置され、前記振動板との間でコンデンサを構成する固定極ユニットであって、前記振動板との対向面側にエレクトレット材が貼り付けられた固定極と、この固定極が入り込む開口部を有し、ユニットケース内の径方向の寸法を規定して前記固定極を所定の位置に固定する絶縁環と、この絶縁環の開口部内に入り込んだ前記固定極が、前記絶縁環と同一高さの平面を成すように前記固定極と前記絶縁環とを一体化する固定手段と、を備え、前記固定極は、その外径が前記振動板保持体の内径以下の大きさであることを特徴とする。 The fixed pole unit according to the present invention is incorporated in a unit case, and is disposed to face the diaphragm stretched on the diaphragm holder with a gap, and constitutes a capacitor with the diaphragm. A fixed pole having an electret material pasted on the surface facing the diaphragm, and an opening into which the fixed pole enters, and defining a radial dimension in a unit case to define the fixed pole The fixed pole and the insulating ring are integrated so that the insulating ring for fixing the insulating ring at a predetermined position and the fixed pole entering the opening of the insulating ring form a plane having the same height as the insulating ring. Fixing means, wherein the fixed pole has an outer diameter that is equal to or smaller than an inner diameter of the diaphragm holder.
本発明に係る固定極ユニットの製造方法は、ユニットケース内に組み込まれ、振動板保持体に張設された振動板と隙間をおいて対向配置され、前記振動板との間でコンデンサを構成する、前記振動板との対向面側にエレクトレット材が貼り付けられた固定極と、この固定極が入り込む開口部を有し、ユニットケース内の径方向の寸法を規定して前記固定極を所定の位置に固定する絶縁環と、この絶縁環の開口部内に入り込んだ前記固定極が、前記絶縁環と同一高さの平面を成すように前記固定極と前記絶縁環とを一体化する固定手段と、を備え、前記固定極は、その外径が前記振動板保持体の内径以下の大きさである固定極ユニットの製造方法であって、平坦な基台の上に前記絶縁環を配置する工程A、前記絶縁環の開口部内に、エレクトレット材面を前記基台側に向けて前記固定極を配置する工程B、前記固定極が入り込んだ前記絶縁環の開口部との隙間に、固定手段としてペースト状の接合材料を充填する工程C、前記固定極と前記絶縁環とを押え付けながら、前記ペースト状の接合材料を硬化させて前記固定極と前記絶縁環とを一体化する工程D、を少なくとも順に備えることを特徴とする。 A method of manufacturing a fixed pole unit according to the present invention is built in a unit case, and is disposed to face a diaphragm stretched on a diaphragm holder with a gap therebetween, thereby forming a capacitor with the diaphragm. A fixed pole on which an electret material is bonded to the surface facing the diaphragm, and an opening into which the fixed pole enters. The radial dimension in the unit case is defined to define the fixed pole An insulating ring fixed at a position, and fixing means for integrating the fixed pole and the insulating ring so that the fixed pole entering the opening of the insulating ring forms a plane having the same height as the insulating ring; The fixed pole is a method for manufacturing a fixed pole unit, the outer diameter of which is equal to or smaller than the inner diameter of the diaphragm holder, and the insulating ring is disposed on a flat base. A, an electret in the opening of the insulating ring Step B in which the fixed electrode is arranged with the material surface facing the base side, and Step C in which the gap between the fixed electrode and the opening of the insulating ring is filled with a paste-like bonding material as fixing means The method further comprises at least a step D in which the fixed electrode and the insulating ring are integrated by curing the paste-like bonding material while pressing the fixed electrode and the insulating ring.
本発明の固定極ユニットによれば、固定極の外径が振動板保持体の内径以下の大きさである。ゆえに、ストレー容量を減少させて有効静電容量を安定化させることによりコンデンサマイクロホンの感度向上に有効に寄与させることができる。
また、本発明の固定極ユニットは、絶縁環によって固定極が所定の位置に固定され、固定極と絶縁環とが、同一高さの平面を成すように固定手段によって一体化されている。ゆえに、そのクランプが容易であり、固定極の通気孔の穴数が多い大口径ユニットであっても、固定極上面へのエレクトレット材を貼り付け前後に関わらず容易に開口を形成することができる。しかも、本発明の固定極ユニットは、これをプリント基板と電気的に接続する導電スリーブによって押圧することができるので、固定極とプリント基板との電気的導通も容易である。
したがって、本発明の固定極ユニットによれば、ユニットケースの折り返し部による押圧力によってそれぞれの部材が位置決めされる構造をしたエレクトレットコンデンサマイクロホンユニットの構成部材としてそのユニットケース内に組み込むことが可能であり、固定極の開口の数が多い大口径ユニットに適用可能であり、マイクロホンユニットのストレー容量を減少させることができる。
According to the fixed pole unit of the present invention, the outer diameter of the fixed pole is not larger than the inner diameter of the diaphragm holder. Therefore, by reducing the stray capacitance and stabilizing the effective capacitance, it is possible to effectively contribute to the improvement of the sensitivity of the condenser microphone.
In the fixed pole unit of the present invention, the fixed pole is fixed at a predetermined position by the insulating ring, and the fixed pole and the insulating ring are integrated by the fixing means so as to form a plane having the same height. Therefore, it is easy to clamp, and an opening can be easily formed regardless of before and after the electret material is attached to the upper surface of the fixed pole even in a large-diameter unit having a large number of holes in the fixed pole. . Moreover, since the fixed pole unit of the present invention can be pressed by a conductive sleeve that is electrically connected to the printed board, electrical connection between the fixed pole and the printed board is easy.
Therefore, according to the fixed pole unit of the present invention, it can be incorporated in the unit case as a constituent member of an electret condenser microphone unit having a structure in which each member is positioned by the pressing force of the folded portion of the unit case. It can be applied to a large-diameter unit having a large number of fixed-pole openings, and the stray capacity of the microphone unit can be reduced.
本発明の固定極ユニットの製造方法は、平坦な基台の上に絶縁環を配置すると共に、この絶縁環の開口部内に固定極を配置し、この固定極が入り込んだ絶縁環の開口部との隙間にペースト状の接合材料を充填した後、固定極と絶縁環とを押え付けながら接合材料を硬化させて両者を一体化する。ゆえに、固定極の外径が振動板保持体の内径以下の大きさであり、固定極と絶縁環とが、同一高さの平面を成す固定極ユニットを容易に構成することができる。
したがって、本発明の固定極ユニットの製造方法によって製造された固定極ユニットは、ユニットケースの折り返し部による押圧力によってそれぞれの部材が位置決めされる構造をしたエレクトレットコンデンサマイクロホンユニットの構成部材としてそのユニットケース内に組み込むことが可能であり、固定極に形成される開口の数が多い大口径ユニットに適用するのに適した構造を有し、マイクロホンユニットのストレー容量を減少させることができる。
The method of manufacturing the fixed pole unit according to the present invention includes an insulating ring disposed on a flat base, a fixed pole disposed in the opening of the insulating ring, and an opening of the insulating ring into which the fixed pole is inserted. After the paste-like bonding material is filled in the gap, the bonding material is cured while pressing the fixed electrode and the insulating ring to integrate the two. Therefore, the fixed pole unit in which the outer diameter of the fixed pole is not larger than the inner diameter of the diaphragm holder, and the fixed pole and the insulating ring form a plane with the same height can be easily configured.
Therefore, the fixed pole unit manufactured by the manufacturing method of the fixed pole unit of the present invention has its unit case as a constituent member of the electret condenser microphone unit having a structure in which each member is positioned by the pressing force by the folded portion of the unit case. The microphone unit has a structure suitable for being applied to a large-diameter unit having a large number of openings formed in the fixed pole, and the stray capacity of the microphone unit can be reduced.
以下、本発明の実施例を図面に基づいて詳細に説明する。
本実施形態の固定極ユニットは、エレクトレットコンデンサマイクロホンユニット(以下「マイクユニット」という)の構成部材としてそのユニットケース内に組み込まれ、振動板保持体に張設された振動板と隙間をおいて対向配置され、前記振動板との間でコンデンサを構成するものである。
図1は、本発明に係る固定極ユニットを示す縦断側面図である。また、図2は、固定極ユニットを構成する固定極の構造を説明する、(a)は平面図、(b)は図2(a)中のI−I線に沿う縦断側面図である。さらに、図3は、固定極ユニットを構成する絶縁環の構造を説明する、(a)は平面図、(b)は図3(a)中のII−II線に沿う縦断側面図である。
本実施形態の固定極ユニット10は、図1乃至図3に示すように、固定極15と、絶縁環32と、固定手段30とを備える。
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.
The fixed pole unit of this embodiment is incorporated in the unit case as a constituent member of an electret condenser microphone unit (hereinafter referred to as “microphone unit”), and is opposed to the diaphragm stretched on the diaphragm holder with a gap. The capacitor is disposed between the diaphragm and the diaphragm.
FIG. 1 is a longitudinal side view showing a fixed pole unit according to the present invention. 2A and 2B illustrate the structure of the fixed pole constituting the fixed pole unit. FIG. 2A is a plan view, and FIG. 2B is a longitudinal side view taken along the line II in FIG. 3A and 3B illustrate the structure of the insulating ring constituting the fixed pole unit. FIG. 3A is a plan view, and FIG. 3B is a longitudinal side view taken along line II-II in FIG.
As shown in FIGS. 1 to 3, the fixed
固定極15は、図2に示すように、たとえば金属製の円板を基材とし、前記振動板との対向面側に、エレクトレット材31が貼り付けられてエレクトレットボードを構成している。この固定極15は、たとえばはんだ付けができる真鍮等の金属板をプレスで打ち抜くことで形成できる。一方、エレクトレット材31は、電極板としての固定極15の表面に、たとえば溶着等によって貼り付けられた高分子フィルムにより形成されている。高分子フィルムとしては、たとえば通常FEP(フロロエチレン・プロピレン)を挙げることが出来る。
As shown in FIG. 2, the fixed
また、固定極15には、多数の通気孔10a・・10aが設けられる。この通気孔10aは、予め通気孔が形成された固定極15にエレクトレット材31を貼り付けた後、この通気孔10aを塞いでいるエレクトレット材31をプレスで開口するものとしても良いし、通気孔が形成されていない固定極15にエレクトレット材31を貼り付けた後、プレス加工により固定極15の通気孔10aとエレクトレット材31の開口を同時に形成するものとしても良い。
In addition, the fixed
絶縁環32は、図3に示すように、前記固定極15が入り込む開口部32aを有し、ユニットケース内の径方向の寸法を規定して前記固定極15を所定の位置に固定する。この絶縁環32には、たとえば回路基板用の材料であるPCB(Printed Circuit Board)材を用いることができる。
図3において、絶縁環32の一方の面には、内周域にランド状の第一の導体部33Aが設けられると共に、その他方の面には、内周域にランド状の第三の導体部34Aが設けられている。また、図3において、この絶縁環32の開口部32aを形成する内周壁面には、前記第一の導体部33Aと第二の導体部34Aを接続する金属めっき35が施されている。これにより、金属部材である固定極15と絶縁部材である絶縁環32とを、固定手段30として後述するクリームはんだを用いることで、接合することが可能になる。
また、絶縁環32の一方の面における外周域にランド状の第三の導体部33Bを設けると共に、その他方の面おける外周域にランド状の第四の導体部34Bを設けても良い。これにより、固定極ユニット10の全体的な高さを均一なものとし、対向する振動板との間において精度の高い平面性を確保することができる。なお、これら各導体部33A、33B,34A,34Bとしては、たとえば銅箔を挙げることができ、プリント配線基板(PCB)の製造手法によって上記各導体部を形成することができる。
As shown in FIG. 3, the insulating
In FIG. 3, a land-like
Further, the land-like
固定手段30は、前記絶縁環32の開口部内に入り込んだ前記固定極15と、前記絶縁環22とが同一高さの平面を成すように、固定極15と絶縁環32とを一体化する。この固定手段30として、例えばペースト状の接合材料を用いることができる。より具体的には、絶縁環30の開口部32aと、この開口部32a内に配置された固定極15の外周面との間に生じているリング状の隙間に、ペースト状の接合材料を充填し、この接合材料を硬化させて固定極15と絶縁環32を一体化する。また、この接合材料としては、所謂クリームはんだを挙げることができる。これにより、固定極15と絶縁環32との僅かな隙間であっても容易に充填でき、加熱し、冷却してクリーム半田を硬化させることにより、絶縁環32と固定極15とを確実に接合することが可能になる。
The fixing means 30 integrates the fixed
以上のように構成された固定極ユニットは、ユニットケース内において、図4に示すように、スペーサの介在のもとに、振動板保持体に張設された振動板と重ね合わせられる。絶縁間32とともにユニット化された固定極15は、図4に示すように、その外縁部15aの径(外径)D1が振動板保持体12の内縁部12aの径(内径)D2以下の大きさ(D1<D2)である。これにより、コンデンサマイクロホンユニットとして組み立てられた状態では、固定極15の外縁部15aと振動板支持体12の内縁部12aとの間に重なり部が無くなり、ストレー容量の少ない効率の高いコンデンサマイクロホンユニット乃至はコンデンサマイクロホンを得ることができる。
As shown in FIG. 4, the fixed pole unit configured as described above is overlaid on the diaphragm stretched on the diaphragm holder with the spacer interposed, as shown in FIG. 4. As shown in FIG. 4, the fixed
次に、本発明に係る固定極ユニットの製造方法について説明する。
図5は、本発明に係る固定極ユニットの製造方法の一例を簡略的に示す製造工程図である。
まず、図5(a)に示すように、平坦な基台50の上に絶縁環32を配置する。基台50としては、たとえばガラス板を挙げることができる。
次に、図5(b)に示すように、前記絶縁環32の開口部32a内に、エレクトレット材31形成面を前記基台50側に向けて固定極15を配置する。
引き続き、図5(c)に示すように、固定極15が入り込んだ前記絶縁環32の開口部32aと固定極15の外周面との隙間3aに、固定手段としてペースト状の接合材料30を充填する。この接合材料としては、たとえばクリームはんだを用いる。ここで、図5(c)において点線サークルAで示す部分を、図6に拡大して示す。図6において、接合材料30は、固定極15の外周面と絶縁環32の内周壁面に施した金属めっき35との間に形成された隙間部3aに充填されている。
Next, a method for manufacturing the fixed pole unit according to the present invention will be described.
FIG. 5 is a manufacturing process diagram schematically showing an example of a method for manufacturing a fixed pole unit according to the present invention.
First, as shown in FIG. 5A, the insulating
Next, as shown in FIG. 5B, the fixed
Subsequently, as shown in FIG. 5 (c), the
その後、図5(d)に示すように、前記固定極15と前記絶縁環32とを加圧して押え付けながら、前記クリームはんだを加熱し、冷却することで硬化させ、前記固定極15と前記絶縁環32とをはんだ付けして一体化する。
そして、基台50を外し、プレス加工により固定極15の通気孔10aとエレクトレット材31の開口を同時に形成することで、固定極ユニット10を得ることができる。なお、前述したとおり、予め通気孔10aが形成された固定極15を用い、エレクトレット材31を貼り付けた後、絶縁環32とともにユニット化する前に、またはユニット化後に、上記通気孔10aを塞いでいるエレクトレット材31をプレスで開口するものとしても良い。
Thereafter, as shown in FIG. 5 (d), while pressing and pressing the fixed
And the fixed
以上のように構成された固定極ユニット10は、ユニットケース内に組み込まれ、図7に示すようなマイクユニット1を構成する。
図7は、固定極ユニットを組み込んだマイクユニットを示す縦断側面図である。
図7において、マイクユニット1は、有底の円筒形のユニットケース11内に以下の各部品を収容して構成されている。このユニットケース11は、ユニット内部に音声を導き入れるための複数の孔11aを有している。ユニットケース11内には、リング状の振動板保持体12の一端面に、その外周縁部が固着されることで張設された振動板13が配置されている。
The fixed
FIG. 7 is a longitudinal side view showing a microphone unit incorporating a fixed pole unit.
In FIG. 7, the
また、前記振動板保持体12に対し、リング状の部材であるスペーサ14を介して固定極ユニット10が、エレクトレット材31の形成面が振動板13と対向するように配置されている。前記振動板13と前記固定極ユニット10との間には、スペーサ14の厚さに相当する隙間が形成されており、振動板13と固定極ユニット10で一種のコンデンサを構成している。そして、振動板13が、前記孔11aから導き入れられる音声にしたがって振動するのに伴い、前記コンデンサの静電容量が変化し、静電容量の変化が音声信号として出力されるようになっている。
In addition, the fixed
固定極ユニット10は、ユニットケース11内の径方向の寸法を規定する絶縁スリーブ16によって所定の位置に固定されている。また、絶縁スリーブ16の内周面には、導電材料で構成された導電スリーブ17が内接して配置されている。導電スリーブ17の後端面部は、円板状のプリント基板19上に形成されている回路パターン(不図示)に接触し、プリント基板19の後端面周縁部には、ユニットケース11の開放端縁部の折り返し部11bが当たっている。この折り返し部11bが、プリント基板19を前方(図7において上方向)に向わせる押圧力を生じさせ、これの押圧力によって導電スリーブ17が図7において上方に押されると共に固定極ユニット10が上方に押される。さらに、スペーサ14を介して振動板保持体12がユニットケース11の底面に押し付けられ、これらの部材のユニットケース11内におけるそれぞれの位置が決められ、固定されている。
The fixed
導電スリーブ17は、固定極ユニット10とプリント基板19を電気的に接続している。また、前記プリント基板19には、インピーダンス変換器を構成する電界効果型トランジスタ(以下「FET」という)18が配置されている。このFET18の端子の一部は、プリント基板19の所定の回路パターンにはんだ付け等によって接続されている。
このように固定極ユニット10や振動板13を含む各部材は、ユニットケース11内に組み込まれ、エレクトレットコンデンサマイクロホンのマイクユニット1を構成している。
The
As described above, each member including the fixed
このように本発明に係る固定極ユニットは、固定極の外径が振動板保持体の内径以下の大きさであって、マイクロホン部のストレー容量を減少させることができる。また、固定極と絶縁環とが、同一高さの平面を成す平板状であるので、そのクランプが容易であり、固定極の通気孔の穴数が多い大口径ユニットであっても容易に開口を形成することができる。しかも、図示の実施例にかかる固定極ユニットは、プリント基板と電気的に接続する導電スリーブによって押圧されるものであるので、固定極とプリント基板との電気的導通が容易に成されるものである。 Thus, in the fixed pole unit according to the present invention, the outer diameter of the fixed pole is smaller than the inner diameter of the diaphragm holder, and the stray capacity of the microphone unit can be reduced. In addition, since the fixed pole and the insulating ring are in the form of a flat plate having the same height, it is easy to clamp, and even a large-diameter unit with a large number of holes in the fixed pole can be easily opened. Can be formed. Moreover, the fixed pole unit according to the illustrated embodiment is pressed by a conductive sleeve that is electrically connected to the printed circuit board, so that the electrical connection between the fixed pole and the printed circuit board is easily achieved. is there.
したがって、本発明に係る固定極ユニットを備えることにより、検出感度を高めたエレクトレットコンデンサマイクロホンユニット、及びエレクトレットコンデンサマイクロホンを提供することができる。 Therefore, by providing the fixed pole unit according to the present invention, it is possible to provide an electret condenser microphone unit and an electret condenser microphone with improved detection sensitivity.
1 エレクトレットコンデンサマイクロホンユニット
10 固定極ユニット
11 ユニットケース
12 振動板保持体
13 振動板
14 スペーサ
15 固定極
16 絶縁スリーブ
17 導電スリーブ
18 電界効果型トランジスタ(FET)
19 プリント回路基板
31 エレクトレット材
32 絶縁環
DESCRIPTION OF
19 Printed
Claims (5)
振動板保持体に張設された振動板と隙間をおいて対向配置され、前記振動板との間でコンデンサを構成する固定極ユニットであって、
前記振動板との対向面側にエレクトレット材が貼り付けられた固定極と、
この固定極が入り込む開口部を有し、ユニットケース内の径方向の寸法を規定して前記固定極を所定の位置に固定する絶縁環と、
この絶縁環の開口部内に入り込んだ前記固定極が、前記絶縁環と同一高さの平面を成すように前記固定極と前記絶縁環とを一体化する固定手段と、
を備え、
前記固定極は、その外径が前記振動板保持体の内径以下の大きさである、
ことを特徴とする固定極ユニット。 Built into the unit case,
A fixed pole unit that is disposed opposite to the diaphragm stretched on the diaphragm holder with a gap, and constitutes a capacitor with the diaphragm,
A fixed pole on which an electret material is pasted on the surface facing the diaphragm;
An insulating ring that has an opening into which the fixed pole enters, defines a radial dimension in the unit case, and fixes the fixed pole at a predetermined position;
Fixing means for integrating the fixed pole and the insulating ring so that the fixed pole entering the opening of the insulating ring forms a plane having the same height as the insulating ring;
With
The fixed pole has an outer diameter that is not larger than the inner diameter of the diaphragm holder,
Fixed pole unit characterized by that.
平坦な基台の上に前記絶縁環を配置する工程A、
前記絶縁環の開口部内に、エレクトレット材面を前記基台側に向けて前記固定極を配置する工程B、
前記固定極が入り込んだ前記絶縁環の開口部との隙間に、固定手段としてペースト状の接合材料を充填する工程C、
前記固定極と前記絶縁環とを押え付けながら、前記ペースト状の接合材料を硬化させて前記固定極と前記絶縁環とを一体化する工程D、
を少なくとも順に備えることを特徴とする固定極ユニットの製造方法。 An electret material that is installed in the unit case and is opposed to the diaphragm stretched on the diaphragm holder with a gap therebetween, and forms a capacitor with the diaphragm. A fixed pole to which the fixed pole is attached, an opening into which the fixed pole enters, an insulating ring that regulates the radial dimension in the unit case and fixes the fixed pole in a predetermined position, and the insulating ring A fixing means for integrating the fixed pole and the insulating ring so that the fixed pole entering the opening forms a plane having the same height as the insulating ring, and the fixed pole has an outer diameter Is a method of manufacturing a fixed pole unit having a size equal to or smaller than the inner diameter of the diaphragm holder,
A step A of disposing the insulating ring on a flat base;
In the opening of the insulating ring, the step B of arranging the fixed pole with the electret material surface facing the base side,
A step C of filling a gap between the fixed electrode and the opening of the insulating ring with a paste-like bonding material as a fixing means;
A process D for curing the paste-like bonding material and pressing the fixed electrode and the insulating ring together to integrate the fixed electrode and the insulating ring;
At least in order. The manufacturing method of the fixed-pole unit characterized by the above-mentioned.
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