JP2003314477A - Rotary pump - Google Patents

Rotary pump

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JP2003314477A
JP2003314477A JP2002124565A JP2002124565A JP2003314477A JP 2003314477 A JP2003314477 A JP 2003314477A JP 2002124565 A JP2002124565 A JP 2002124565A JP 2002124565 A JP2002124565 A JP 2002124565A JP 2003314477 A JP2003314477 A JP 2003314477A
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JP
Japan
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rotor
housing
pump
casing
aluminum alloy
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JP2002124565A
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Japanese (ja)
Inventor
Moriharu Sakai
守治 酒井
Shin Sasaki
伸 佐々木
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Advics Co Ltd
Original Assignee
Advics Co Ltd
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Publication date
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To improve durability by eliminating problems of causing wear and seizure of sliding surfaces of a side housing and a rotor in the case of performing side sealing of a rotor by reducing a side clearance without using a sealing member in a rotary pump wherein either one of the rotor and side housing is formed of an aluminum alloy. <P>SOLUTION: The surface of the member formed of an aluminum alloy, out of the rotor 4 and the side housing (a housing 1 and an end frame 2) is provided with an anodized aluminum film 19 sealed with molybdenum disulfide, and the other member is provided with a coating film 18 of tungsten carbide to enhance the close contact properties of surfaces on which side sealing is performed using these films as sliding surfaces. <P>COPYRIGHT: (C)2004,JPO

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】この発明は、ロータ又はサイ
ドハウジングをアルミニウム合金で形成して軽量化を図
ったロータリ式ポンプ、より詳しくは、ドライ運転での
性能確保、簡素化、耐久性向上を可能ならしめたロータ
リ式ポンプに関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a rotary pump in which a rotor or a side housing is made of an aluminum alloy to reduce its weight, and more specifically, it is possible to secure performance in dry operation, simplify it, and improve its durability. This is related to a well-known rotary pump.

【0002】[0002]

【従来の技術】例えば、ロータリ式真空ポンプとして、
バンケル式、スクロール式、ローリングピストン式、ベ
ーン式のものが知られている。
2. Description of the Related Art For example, as a rotary vacuum pump,
Wankle type, scroll type, rolling piston type, and vane type are known.

【0003】これ等のポンプは、両端をサイドハウジン
グで閉じるケーシングと、ケーシング内に偏心配置にし
て収納するロータを有しており、ロータの回転、公転或
いは公転を伴う回転運動でケーシング内面とロータ外周
面との間に形成されるチャンバに体積変化を生じさせて
吸排気を行う。
These pumps have a casing whose both ends are closed by side housings, and a rotor which is housed in an eccentric arrangement in the casing. The inner surface of the casing and the rotor are rotated or revolved or rotationally accompanied by revolution. Intake and exhaust are performed by causing a volume change in a chamber formed between the chamber and the outer peripheral surface.

【0004】このロータリ式ポンプは、軽量化のために
樹脂やアルミニウム製のロータを採用すると、鉄製ケー
シングとの熱膨張差によってロータのサイドクリアラン
ス(サイドケーシングとの間の隙間)が変化する。その
サイドクリアランスが大きくなるとそこからチャンバ内
の気体が洩れてポンプ性能が低下し、逆にサイドクリア
ランスが小さくなると摺動面の摩擦によってロータ回転
が妨げられる。
In this rotary type pump, when a rotor made of resin or aluminum is used for weight reduction, the side clearance (gap between the rotor and side casing) of the rotor changes due to the difference in thermal expansion from the iron casing. When the side clearance becomes large, gas in the chamber leaks from the chamber and pump performance deteriorates. On the contrary, when the side clearance becomes small, the friction of the sliding surface hinders the rotation of the rotor.

【0005】また、熱膨張係数が鉄のケーシングに近い
アルミニウム合金もあるが、これでバンケル式ポンプの
ロータを形成すると、ロータの内側に一体に形成する歯
車が摩耗して実用に耐えないものになる。
Further, there is an aluminum alloy having a thermal expansion coefficient close to that of an iron casing. However, if a rotor of a Wankel pump is formed from this, the gear integrally formed inside the rotor will be worn and cannot be put to practical use. Become.

【0006】その対策として歯車部を異材質で形成して
ロータと結合する方法を採ると、ロータのサイドシール
のための面積を歯車部以外の箇所で確保しなければなら
ず、ロータサイズが大きくなる。また、2部品を製作し
て結合するため製品が高価になる。
As a countermeasure against this, if a method is adopted in which the gear portion is made of a different material and is joined to the rotor, the area for the side seal of the rotor must be secured at a place other than the gear portion, and the rotor size becomes large. Become. In addition, since the two parts are manufactured and combined, the product becomes expensive.

【0007】このため、ロータを鉄系材料で、サイドハ
ウジングをアルミニウム合金でそれぞれ形成することが
検討されている。
Therefore, it is considered to form the rotor with an iron material and the side housing with an aluminum alloy.

【0008】また、一方で、ロータを軽量化すると駆動
力や振動騒音の低減が図れることから、ロータをアルミ
ニウム合金で、サイドハウジングを鉄系材料で各々形成
することも検討されている。
On the other hand, since it is possible to reduce the driving force and the vibration noise by reducing the weight of the rotor, it has been considered to form the rotor with an aluminum alloy and the side housing with an iron material.

【0009】[0009]

【発明が解決しようとする課題】アルミニウムは、摩
耗、溶着が起こり易い金属である。このため、ロータと
サイドハウジングのどちらか一方がアルミニウム合金で
形成されるロータリ式ポンプは、ロータのサイドシール
(サイドハウジングとの間のシール)をサイドクリアラ
ンスを小さくする方法で行うのが難しい。
Aluminum is a metal that is easily worn and welded. Therefore, in a rotary pump in which either the rotor or the side housing is made of an aluminum alloy, it is difficult to perform the side seal of the rotor (seal with the side housing) by a method of reducing the side clearance.

【0010】ロータのサイドシールは、バンケル式ロー
タリエンジンのように、ロータの側面にサイドシール部
材を取付けて行うこともできるが、ポンプはエンジンと
違って高圧縮を伴わないため、サイドクリアランスを小
さくして気体の洩れを減少させる方法で要求性能を確保
することが可能であり、この方法によれば、サイドシー
ル部材を省いて構造を簡素化できる。ところが、サイド
クリアランスを小さくすると、ロータとサイドハウジン
グが密着して摺動面の摩耗、焼付きの問題が起こる。
The side seal of the rotor can be carried out by attaching a side seal member to the side surface of the rotor as in the Wankel type rotary engine. However, unlike the engine, the pump does not involve high compression, so the side clearance is small. The required performance can be ensured by a method of reducing gas leakage, and this method can simplify the structure by omitting the side seal member. However, when the side clearance is reduced, the rotor and the side housing come into close contact with each other, causing problems such as wear and seizure of the sliding surface.

【0011】なお、潤滑剤を使って摺動面を保護する方
法もあるが、この方法は、潤滑剤の供給、封入のための
機構、手段が必要になり、ポンプの構造が複雑化する。
There is also a method of protecting the sliding surface by using a lubricant, but this method requires a mechanism and means for supplying and enclosing the lubricant, which complicates the structure of the pump.

【0012】また、無潤滑摺動剤として一般に多用され
ているフッソ系樹脂を摺動面に被覆すると、樹脂被覆が
早いうちに摩耗してサイドクリアランスが大きくなり、
気体の洩れ量が増加してポンプ性能の確保が難しくな
る。これに加え、樹脂は熱膨張係数が大きく、温度変化
によるサイドクリアランスの変動が起こる。従って、摺
動抵抗の低減を樹脂で行うのは困難である。
Further, if the sliding surface is coated with a fluorine-based resin, which is generally used as a non-lubricating sliding agent, the resin coating wears quickly and the side clearance increases,
The amount of gas leakage increases and it becomes difficult to secure pump performance. In addition to this, the resin has a large coefficient of thermal expansion, and the side clearance fluctuates due to temperature changes. Therefore, it is difficult to reduce the sliding resistance with the resin.

【0013】そこで、この発明は、摺動面の摩耗、焼付
きを抑えてロータのサイドシールをサイドクリアランス
を小さく保つ方法で行えるようにすることを課題として
いる。
Therefore, an object of the present invention is to prevent wear and seizure on the sliding surface so that the side seal of the rotor can be performed by a method of keeping the side clearance small.

【0014】[0014]

【課題を解決するための手段】上記の課題を解決するた
め、この発明においては、ロータとサイドハウジングの
うち、アルミニウム合金で形成される部材の表面に二硫
化モリブデンによる封孔処理がなされたアルマイト皮膜
を、他方の部材の表面にタングステンカーバイド、タン
グステン、アモルファスカーボンの中から選ばれた少な
くとも一種のコーティング膜を各々設け、それ等の膜を
摺動させてロータとサイドハウジング間のシールをサイ
ドクリアランスを小さくする方法で行うようにしたので
ある。
In order to solve the above-mentioned problems, according to the present invention, an alumite in which the surface of a member formed of an aluminum alloy among the rotor and the side housing is sealed with molybdenum disulfide is used. At least one kind of coating film selected from tungsten carbide, tungsten, and amorphous carbon is provided on the surface of the other member, and these films are slid to form a side clearance between the rotor and the side housing. It was done by the method of reducing.

【0015】タングステンカーバイト、タングステン、
アモルファスカーボンの中から選ばれた少なくとも一種
のコーティング膜と、二硫化モリブデンによって封孔さ
れたアルマイト皮膜は、ロータとサイドハウジングの少
なくとも摺動面にあればよい。
Tungsten carbide, tungsten,
At least one type of coating film selected from amorphous carbon and the alumite coating film sealed with molybdenum disulfide need only be present on at least the sliding surface of the rotor and the side housing.

【0016】また、ロータとそれを収納するケーシング
は、同一材質を選ぶなどして線膨張係数をほぼ同一にす
るのがよい。
Further, it is preferable that the rotor and the casing that houses the rotor have substantially the same linear expansion coefficient by selecting the same material.

【0017】なお、この発明を適用するポンプは、真空
ポンプ、圧縮ポンプを問わない。
The pump to which the present invention is applied may be a vacuum pump or a compression pump.

【0018】[0018]

【作用】タングステンカーバイドやタングステン、アモ
ルファスカーボンは耐焼付き性、耐摩耗性を有する。ア
ルマイトも耐摩耗性を有する。また、二硫化モリブデン
による封孔処理を施したアルマイト皮膜は摩擦係数も低
い。発明者は、多種多様に存在する膜の中からこれ等の
膜は相性がよく、組合わせとして最も適していることを
見出した。
Function: Tungsten carbide, tungsten and amorphous carbon have seizure resistance and wear resistance. Alumite also has wear resistance. Further, the coefficient of friction of the alumite coating that has been subjected to the sealing treatment with molybdenum disulfide is low. The inventor has found that among a wide variety of membranes, these membranes have good compatibility and are most suitable as a combination.

【0019】これ等の膜をロータとサイドハウジングに
設けてそれを摺動させると摺動面の摩耗、焼付きが効果
的に防止されるため、サイドクリアランスを小さく保つ
ことができ、ポンプ性能の低下を防ぐことができる。ま
た、潤滑剤やサイドシール部材を使用せずにサイドクリ
アランスを縮小する方法でロータのサイドシールを行え
るようになり、ポンプの構造を簡素化することができ
る。
By providing these membranes on the rotor and the side housing and sliding them, abrasion and seizure of the sliding surface are effectively prevented, so that the side clearance can be kept small and the pump performance can be improved. You can prevent the decline. Further, the rotor side seal can be performed by a method of reducing the side clearance without using a lubricant or a side seal member, and the structure of the pump can be simplified.

【0020】[0020]

【発明の実施の形態】図1及び図2に、この発明の実施
形態を示す。図示のポンプは、バンケル式真空ポンプで
あって、ハウジング1とエンドフレーム2(この2者が
サイドハウジング)間にケーシング3を挟み込み、3者
をボルトBで結合させている。
1 and 2 show an embodiment of the present invention. The illustrated pump is a Wankel type vacuum pump, in which a casing 3 is sandwiched between a housing 1 and an end frame 2 (these two are side housings), and the three are connected by bolts B.

【0021】ケーシング3内には三角形状のロータ4が
収納されており、そのロータ4に設けた内歯車5がハウ
ジング1に固定したピニオン6と噛み合っている。な
お、例示のポンプのロータ4は、鉄系合金で、ハウジン
グ1とエンドフレーム2はアルミニウム合金で各々形成
されている。
A triangular rotor 4 is housed in the casing 3, and an internal gear 5 provided on the rotor 4 meshes with a pinion 6 fixed to the housing 1. The rotor 4 of the illustrated pump is made of iron alloy, and the housing 1 and the end frame 2 are made of aluminum alloy.

【0022】ロータ4の内側には、軸受7を介してハウ
ジング1とエンドフレーム2に支持されるクランクシャ
フト8が通されており、そのクランクシャフトの偏心軸
8aを、内歯車5と同心配置にしてロータ4に組込んだ
軸受9に嵌合させている。
A crankshaft 8 supported by the housing 1 and the end frame 2 is passed through a bearing 7 inside the rotor 4, and the eccentric shaft 8a of the crankshaft is arranged concentrically with the internal gear 5. Are fitted to the bearing 9 incorporated in the rotor 4.

【0023】クランクシャフト8は、モータ10の出力
軸に連結されており、このクランクシャフト8をモータ
10で回転させると、ピニオン6に噛合したロータ4が
回転しながらピニオン6の周りを公転する。11は、ロ
ータ4の偏心運動によって発生する振動を低減する目的
でクランクシャフト8に取付けたウエイトバランサであ
る。
The crankshaft 8 is connected to the output shaft of the motor 10. When the crankshaft 8 is rotated by the motor 10, the rotor 4 meshed with the pinion 6 revolves around the pinion 6 while rotating. Reference numeral 11 denotes a weight balancer attached to the crankshaft 8 for the purpose of reducing the vibration generated by the eccentric movement of the rotor 4.

【0024】ケーシング3の内面は、ロータ4の頂点の
移動軌跡よりも若干大きな双葉形をなし、この内面とロ
ータの各頂点間の外周面との間に形成されるチャンバ1
2がロータ4の公転を伴う回転運動で体積変化を生じて
吸排気が繰り返される。
The inner surface of the casing 3 has a bilobal shape which is slightly larger than the movement trajectory of the apex of the rotor 4, and the chamber 1 formed between the inner surface and the outer peripheral surface between the apexes of the rotor.
The rotational movement of the rotor 4 accompanied by the revolution of the rotor 4 causes a volume change, and intake and exhaust are repeated.

【0025】ハウジング1には、吸気孔13と排気孔1
4が各2個設けられ、圧縮行程に移ったチャンバ12内
の気体は、排気孔14から各排気孔に設けた逆止弁15
を通って排気される。その排気は、図示のポンプにおい
てはモータ10の内部を通り、ドレインパイプ16から
外部に出る。
The housing 1 has an intake hole 13 and an exhaust hole 1
The gas in the chamber 12 which has been provided with two 4 each and has moved to the compression stroke is transferred from the exhaust hole 14 to the check valve 15 provided in each exhaust hole.
Exhausted through. The exhaust gas passes through the inside of the motor 10 in the illustrated pump and goes out through the drain pipe 16.

【0026】ロータ4の各頂点部には、アペックスシー
ル17が径方向スライド自在に組込まれており、そのア
ペックスシール17がロータ回転による遠心力でケーシ
ング3の内面に押しつけられてロータ外周とケーシング
内面間のシールがなされる。
An apex seal 17 is slidably installed in each apex of the rotor 4 in the radial direction, and the apex seal 17 is pressed against the inner surface of the casing 3 by the centrifugal force generated by the rotation of the rotor to form the outer circumference of the rotor and the inner surface of the casing. The seal between them is made.

【0027】また、ロータ4とハウジング1間及びエン
ドフレーム2間のシールは、ロータのサイドクリアラン
スによってなされる。
The seal between the rotor 4 and the housing 1 and between the end frame 2 is made by the side clearance of the rotor.

【0028】ケーシング3の厚みをロータ4の厚みより
も極く僅かに厚くしてロータ4とハウジング1及びエン
ドフレーム2との間にそれぞれロータ回転のためのクリ
アランスCを生じさせ、そのクリアランスCを極力小さ
くしてロータのサイドシールを行うようにしている。
The thickness of the casing 3 is made slightly thicker than the thickness of the rotor 4 so that a clearance C for rotating the rotor is generated between the rotor 4 and the housing 1 and the end frame 2, respectively. The side seal of the rotor is made as small as possible.

【0029】さらに、このようにしてポンプ性能を確保
しようとすると、密着性を高めた摺動面の摩耗、焼付き
の問題が起こるので、その問題の解消策として、ロータ
4の表面に図3に示すタングステンカーバイドのコーテ
ィング膜18を、ハウジング1とエンドフレーム2の表
面に二硫化モリブデンによる封孔処理がなされたアルマ
イト皮膜19を各々設けてそれ等を摺り合わせるように
している。
Further, when trying to secure the pump performance in this way, there arises a problem of abrasion and seizure of the sliding surface having improved adhesion. As a solution to the problem, the surface of the rotor 4 shown in FIG. The tungsten carbide coating film 18 shown in FIG. 1 is provided on the surfaces of the housing 1 and the end frame 2 with an alumite film 19 sealed with molybdenum disulfide, and these are abraded.

【0030】タングステンカーバイドのコーティング膜
18は、PVD法(気相合成法)などで成膜することが
できる。このコーティング膜18と母材(ロータ4)と
の間には、接着性を高めるクロムなどの中間層を介在し
てもよい。また、コーティング膜18は、タングステン
やアモルファスカーボンの膜、タングステンカーバイ
ド、タングステン、アモルファスカーボンのうち任意の
2者や3者が混在した膜に代えてもよい。
The tungsten carbide coating film 18 can be formed by the PVD method (vapor phase synthesis method) or the like. An intermediate layer of chromium or the like which enhances adhesiveness may be interposed between the coating film 18 and the base material (rotor 4). Further, the coating film 18 may be replaced with a film of tungsten or amorphous carbon, or a film in which any two or three of tungsten carbide, tungsten, and amorphous carbon are mixed.

【0031】図4は、アルマイト皮膜19の組織の拡大
図である。母材表面に形成したアルマイト皮膜19は微
細孔を有しており、その微細孔が二硫化モリブデン20
によって封孔されている。二硫化モリブデン20は、テ
トラチオモリブデン酸アンモニウム水溶液の二次電解処
理を行って微細孔内に析出させることができる。
FIG. 4 is an enlarged view of the structure of the alumite film 19. The alumite coating 19 formed on the surface of the base material has fine pores, and the fine pores are molybdenum disulfide 20.
It is sealed by. The molybdenum disulfide 20 can be deposited in the fine pores by performing a secondary electrolysis treatment of an aqueous solution of ammonium tetrathiomolybdate.

【0032】タングステンカーバイドをコーティングし
たロータ4の表層部は極めて高硬度で耐焼付き性、耐摩
耗性を有しているが、相手摺動部材、即ち、ハウジング
1とエンドフレーム2はアルミニウム合金のままでは硬
度が低く、ロータの微小な傾きですらアルミを削る不具
合がある。また、その不具合の回避策としてアルミニウ
ム合金の硬度を高めると摩擦係数が高まり、モータの小
型化面で不利になる。
The surface layer portion of the rotor 4 coated with tungsten carbide has extremely high hardness and has seizure resistance and wear resistance, but the mating sliding members, that is, the housing 1 and the end frame 2 are aluminum alloys. However, the hardness is low, and there is a problem that even a slight inclination of the rotor cuts aluminum. Further, if the hardness of the aluminum alloy is increased as a measure to avoid the problem, the coefficient of friction is increased, which is disadvantageous in terms of downsizing of the motor.

【0033】二硫化モリブデンによって封孔されたアル
マイト皮膜19は、摩擦係数が低く、耐摩耗性にも優れ
ており、これとタングステンカーバイドのコーティング
膜を組合わせることで摺動面の摩耗焼付きの低減をモー
タを小型化して実現できる。コーティング膜18をタン
グステンやアモルファスカーボンで形成したものも、タ
ングステンカーバイドほどではないが同様の効果が得ら
れる。
The alumite coating 19 sealed with molybdenum disulfide has a low coefficient of friction and excellent wear resistance. By combining this with a coating film of tungsten carbide, wear and seizure on the sliding surface can be prevented. Reduction can be realized by downsizing the motor. The coating film 18 formed of tungsten or amorphous carbon can also obtain similar effects, although not to the same degree as tungsten carbide.

【0034】なお、ロータのサイドクリアランスが温度
変化によって大きくなるとサイドシールのシール性能が
低下する。その温度変化によるシール性能の低下を抑え
るために、ロータ4とケーシング3を同一材質とするな
どして両者の線膨張係数をほぼ同一にするのが好まし
い。
If the side clearance of the rotor becomes large due to the temperature change, the sealing performance of the side seal deteriorates. In order to suppress the deterioration of the sealing performance due to the temperature change, it is preferable that the rotor 4 and the casing 3 are made of the same material so that their linear expansion coefficients are substantially the same.

【0035】次に、効果の確認試験結果を示す。ハウジ
ング1とエンドフレーム2(サイドハウジング)をアル
ミニウム合金で、ロータ4を鉄系合金で各々形成した図
1、図2の構造の真空ポンプを用い、表1の膜(表中の
数値は膜厚を表わす)の組合わせで試験を行った。ポン
プの回転数は4200rpmとした。
Next, the results of the effect confirmation test will be shown. A vacuum pump having the structure shown in FIGS. 1 and 2 in which the housing 1 and the end frame 2 (side housing) are made of an aluminum alloy and the rotor 4 is made of an iron-based alloy is used. Is represented). The rotation speed of the pump was 4200 rpm.

【0036】試料1(比較品)のハウジングに設けたア
ルマイトは、二硫化モリブデンによる封孔処理を行って
いない。試料2(比較品)のハウジングにはNiメッキ
を、試料3(発明品)のハウジングには二硫化モリブデ
ンによる封孔処理を行ったアルマイト皮膜を各々設けて
いる。また、ロータには、試料1、2、3ともタングス
テンカーバイド(WC)のコーティング膜を設けた、そ
の試験結果を表1に併せて示す。
The alumite provided in the housing of sample 1 (comparative product) was not subjected to sealing treatment with molybdenum disulfide. The housing of sample 2 (comparative product) is provided with Ni plating, and the housing of sample 3 (invention product) is provided with an alumite coating which has been subjected to a sealing treatment with molybdenum disulfide. In addition, a coating film of tungsten carbide (WC) was provided on the rotors of Samples 1, 2, and 3. The test results are also shown in Table 1.

【0037】摺動特性の良いことで知られるDLC(ダ
イヤモンド・ライク・カーボン)膜とフッソ樹脂膜を設
けたものについても実験したが、DLC膜は母材との密
着性が悪く、剥離が生じた。また、フッソ樹脂膜は摩耗
量が大きかった。
An experiment was also carried out on a film provided with a DLC (diamond-like carbon) film and a fluorine resin film, which are known to have good sliding characteristics, but the DLC film had poor adhesion to the base material and peeling occurred. It was Further, the amount of wear of the fluorine resin film was large.

【0038】[0038]

【表1】 [Table 1]

【0039】なお、実施例は、ロータを鉄系合金、サイ
ドハウジング(ハウジング1とエンドフレーム)をアル
ミニウム合金としたケースについて述べたが、ロータを
アルミニウム合金で、サイドハウジングを鉄系材料で各
々形成し、二硫化モリブデンで封孔されたアルマイト皮
膜をロータに、タングステンカーバイド等のコーティン
グ膜をサイドハウジングにそれぞれ設けても同じ効果が
得られる。
In the embodiment, the rotor is made of iron alloy and the side housing (housing 1 and end frame) is made of aluminum alloy. However, the rotor is made of aluminum alloy and the side housing is made of iron material. The same effect can be obtained by providing the rotor with an alumite film sealed with molybdenum disulfide and the side housing with a coating film of tungsten carbide or the like.

【0040】また、図示のバンケル式真空ポンプは、吸
気孔13を例えば車両の真空ブースタにつなぎ、真空ブ
ースタ内の空気を吸引してブースタ内を負圧にするなど
の用途に利用されるが、この発明の適用範囲は、スクロ
ール式、ローリング式、ベーン式の真空ポンプや各形式
の圧縮ポンプにも及ぶ。
The Wankel type vacuum pump shown in the drawing is used for connecting the intake hole 13 to, for example, a vacuum booster of a vehicle and sucking the air in the vacuum booster to make the inside of the booster a negative pressure. The scope of application of the present invention extends to scroll type, rolling type, vane type vacuum pumps and compression pumps of various types.

【0041】[0041]

【発明の効果】以上述べたように、この発明は、二硫化
モリブデンで封孔したアルマイト皮膜と、タングステン
カーバイド、タングステン、アモルファスカーボンの少
なくとも一種から成るコーティング膜をロータとサイド
ハウジングに対応させて設け、それ等の膜を摺動させて
摺動面の摩耗、焼付きを抑えるようにしたので、ロータ
のサイドシールをサイドクリアランスを小さくする方法
で行って簡素な構造でドライ運転を可能ならしめ、か
つ、ポンプの性能維持と耐久性向上を図ることができ
る。
As described above, according to the present invention, an alumite film sealed with molybdenum disulfide and a coating film made of at least one of tungsten carbide, tungsten and amorphous carbon are provided corresponding to the rotor and the side housing. Since these films are slid to prevent wear and seizure on the sliding surface, the rotor side seal is made by a method with a small side clearance to allow dry operation with a simple structure. In addition, it is possible to maintain the performance of the pump and improve its durability.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】実施形態のポンプの縦断面図FIG. 1 is a vertical sectional view of a pump according to an embodiment.

【図2】図1のII−II線に沿った断面図FIG. 2 is a sectional view taken along line II-II in FIG.

【図3】ロータとサイドハウジングの摺動部を示す拡大
断面図
FIG. 3 is an enlarged sectional view showing a sliding portion between a rotor and a side housing.

【図4】二硫化モリブデンによる封孔処理を行ったアル
マイト皮膜の組織図
[Fig. 4] Structure chart of alumite film subjected to sealing treatment with molybdenum disulfide

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 ハウジング 2 エンドフレーム 3 ケーシング 4 ロータ 5 内歯車 6 ピニオン 7、9 軸受 8 クランクシャフト 10 モータ 12 チャンバ 15 逆止弁 17 アペックスシール 18 タングステンカーバイドのコーティング膜 19 アルマイト皮膜 20 二硫化モリブデン 1 housing 2 end frame 3 casing 4 rotor 5 Internal gear 6 pinion 7, 9 bearing 8 crankshaft 10 motors 12 chambers 15 Check valve 17 Apex Seal 18 Tungsten Carbide Coating Film 19 Anodized film 20 Molybdenum disulfide

Claims (4)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 ケーシングに収納するロータと、ケーシ
ングの両端を塞ぐサイドハウジングとのどちらか一方を
アルミニウム合金で形成し、前記ロータの回転、公転も
しくは公転を伴う回転によりロータとケーシング内面と
の間に形成されるチャンバに体積変化を生じさせて吸排
気を行うロータリ式ポンプにおいて、前記ロータとサイ
ドハウジングのうち、アルミニウム合金で形成される部
材の表面に二硫化モリブデンによる封孔処理がなされた
アルマイト皮膜を、他方の部材の表面にタングステンカ
ーバイド、タングステン、アモルファスカーボンの中か
ら選ばれた少なくとも一種のコーティング膜を各々設け
ることを特徴とするロータリ式ポンプ。
1. A rotor housed in a casing and a side housing that closes both ends of the casing are made of an aluminum alloy, and the rotor and the revolution or revolution of the rotor cause rotation between the rotor and the casing inner surface. In a rotary pump for performing volume change in a chamber formed in a chamber for intake and exhaust, in the rotor and the side housing, a surface of a member formed of an aluminum alloy is sealed with molybdenum disulfide for sealing. A rotary pump, wherein a coating is provided on the surface of the other member, and at least one coating selected from tungsten carbide, tungsten, and amorphous carbon is provided.
【請求項2】 ロータとケーシングの線膨張係数をほぼ
同一にした請求項1記載のロータリ式ポンプ。
2. The rotary pump according to claim 1, wherein the linear expansion coefficient of the rotor is substantially the same as that of the casing.
【請求項3】 請求項1又は2記載の構成を採用したロ
ータリ式真空ポンプ。
3. A rotary vacuum pump adopting the structure according to claim 1.
【請求項4】 請求項1又は2記載の構成を採用したロ
ータリ式圧縮ポンプ。
4. A rotary type compression pump adopting the structure according to claim 1.
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