JP2003230880A - Treatment system for waste liquid of wafer treatment and utilization management system for its regenerated slurry - Google Patents
Treatment system for waste liquid of wafer treatment and utilization management system for its regenerated slurryInfo
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、オイル系・水系等のウエハ処
理廃液の処理システムと、その再生スラリー利用管理システムに関す
る。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a system for processing waste liquids for wafer processing such as oil-based and water-based systems, and a system for managing the use of recycled slurry thereof.
【０００２】[0002]
【従来の技術】従来、この種のオイル系・水系等のウエハ処理
廃液(ウエハ処理廃液とする)の処理方法と、その再生スラリー
利用に関する文献としては、下記に示す文献（1）〜
（3）の発明がある。以下、その概要を説明する。2. Description of the Related Art Heretofore, as a document relating to a method for treating a wafer processing waste liquid (to be referred to as a wafer processing waste liquid) of this type such as an oil-based / water-based liquid, and the use of the reclaimed slurry, the following documents (1) to (1)
There is an invention of (3). The outline will be described below.
【０００３】文献（1）は、特開2000-190223の半導体製
造における研磨廃液再利用方法及び再利用装置がある。
内容は、研磨装置で発生したスラリー廃液は破砕装置に送ら
れる。破砕装置で廃液中の凝集粒子を破砕し、破砕処理
後のスラリー廃液は液質調整装置で、スラリー廃液の比重調整と
ｐＨ調製を行い、スラリー廃液は濃縮膜ユニットに送り、濃縮液
と透過液とに分離する。この濃縮液は濾過された後、濃
縮液タンクに貯留する。透過液は逆洗チャンハ゛に一部貯められ
た後、透過液タンクに貯留される。また濃縮膜ユニットの濃縮
度制御は、熱交換器を介して温度調整し、その後、濃縮
液は再生液として使用され、また透過液は新液調製時の
原液の希釈に使用されることを特徴とする。Reference (1) has a method and apparatus for reusing a polishing waste liquid in semiconductor manufacturing disclosed in Japanese Patent Laid-Open No. 2000-190223.
The content of the slurry waste liquid generated in the polishing device is sent to the crushing device. The crushing device crushes the aggregated particles in the waste liquid, and the slurry waste liquid after the crushing process adjusts the specific gravity of the slurry waste liquid and adjusts the pH with the liquid quality adjusting device, and sends the slurry waste liquid to the concentrating membrane unit, and the concentrate and permeate And separate. The concentrated liquid is filtered and then stored in the concentrated liquid tank. The permeate is partially stored in the backwash chamber and then stored in the permeate tank. In addition, the concentration of the concentrating membrane unit is controlled by adjusting the temperature via a heat exchanger, after which the condensate is used as a regenerant and the permeate is used to dilute the stock solution when preparing a new solution. And
【０００４】文献（2）は、特開平9-225937号の水溶性ス
ラリー廃液の再利用システムである。内容は、水溶性スラリー廃液
の粘度を低下させる工程と、低粘度化した水溶性スラリー廃
液を有効砥粒と浮遊固体及び液体分からなる廃液とに分
級する工程と、浮遊固体分及び液体分からなる廃液から
水溶性クーラント成分を抽出し、浮遊固体分を不要スラッシ゛とし
て廃棄する工程とからなり、分級した有効砥粒と抽出し
た水溶性クーラント成分を再利用可能としたことを特徴とす
る。Document (2) is a reuse system of a water-soluble slurry waste liquid disclosed in JP-A-9-225937. The contents are a step of reducing the viscosity of the water-soluble slurry waste liquid, a step of classifying the low-viscosity water-soluble slurry waste liquid into a waste liquid consisting of effective abrasive grains and suspended solids and liquid components, and a waste liquid composed of suspended solids and liquid components. The process comprises extracting a water-soluble coolant component from the above and discarding suspended solids as unnecessary sludge, and the classified effective abrasive grains and the extracted water-soluble coolant component can be reused.
【０００５】文献（3）は、特開平9-201819号の油性スラリ
ー廃液の再利用システムである。内容は、オイルと砥粒を含有す
る油性スラリー廃液の粘度を水を加えることによって低下さ
せる工程と、低粘度化した油性スラリー廃液を有効砥粒と浮
遊固体及び液体分（オイル＋水）からなる排液とに分級す
る工程と、浮遊固体分及び液体分からなる排液を浮遊固
体分とオイルと水の固液3相に分離し、該浮遊固体分を不要
スラッシ゛として廃棄する工程とからなり、分級した有効砥
粒と分離したオイルと水とを再利用可能としたことを特徴
とする。Document (3) is a system for reusing the oily slurry waste liquid disclosed in JP-A-9-201819. The content consists of a step of reducing the viscosity of the oily slurry waste liquid containing oil and abrasive grains by adding water, and a process of reducing the viscosity of the oily slurry waste liquid by effective abrasive grains, floating solids and liquid components (oil + water). It comprises a step of classifying into an effluent and a step of separating the effluent consisting of a floating solid content and a liquid content into a floating solid content, a solid-liquid three phase of oil and water, and discarding the floating solid content as an unnecessary slush. It is characterized in that the classified effective abrasive grains and the separated oil and water can be reused.
【０００６】[0006]
【発明が解決しようとする課題】文献(1)は、コストの削減
と、資源の有効利用、又は環境破壊を回避できること、
等の特徴を有する。しかし、次のような課題が考えられ
る。
1) 濃縮膜ユニットでは、固液分離の精度が十分でないと思
われること、またフィルターの目詰りの問題が発生するこ
と、等の保守管理に問題を残す。
2) 圧縮手段を備えないので、減容化の面で課題を残し
ていると思われる。Reference (1) discloses that cost reduction, effective use of resources, or avoidance of environmental damage,
And so on. However, the following problems can be considered. 1) In the concentrated membrane unit, the accuracy of solid-liquid separation seems to be insufficient, and the problem of clogging of the filter occurs. 2) It seems that there is still a problem in terms of volume reduction because it does not have a compression means.
【０００７】文献(2)は、前記文献(1)と略同じ特徴を有
する。しかし、次のような課題が考えられる。
1) 遠心分離したクーラント成分を、粘度調整し、その後、
直接再生水溶性クーラントとして利用する構成であり、品質
の面で課題を残していると思われる。
2) 不要スラッシ゛は、一回の遠心分離による作業であり、
再利用できるスラリーの混入等があり、有効利用できていな
いこと、又は環境面で課題を残していると思われる。The reference (2) has substantially the same characteristics as the reference (1). However, the following problems can be considered. 1) Adjust the viscosity of the centrifuged coolant component, then
It is configured to be used as a directly regenerated water-soluble coolant, and it seems that there is a problem in terms of quality. 2) Unnecessary sludge is a single centrifugation operation,
It seems that there is a mixture of reusable slurries, so that they cannot be used effectively, or there is a problem in terms of environment.
【０００８】文献(3)は、前記文献(2)と略同じ特徴を有
する。しかし、次のような課題が考えられる。
1) 遠心分離したオイルを、直接再生オイルとして利用する構
成であり、品質の面で課題を残していると思われる。
2) 不要スラッシ゛は、一回の遠心分離による作業であり、
再利用できるスラリーの混入等があり、有効利用できていな
いこと、又は環境面で課題を残していると思われる。Document (3) has substantially the same characteristics as document (2). However, the following problems can be considered. 1) The centrifugally separated oil is used directly as reclaimed oil, which seems to be a problem in terms of quality. 2) Unnecessary sludge is a single centrifugation operation,
It seems that there is a mixture of reusable slurries, so that they cannot be used effectively, or there is a problem in terms of environment.
【０００９】[0009]
【課題を解決するための手段】請求項1の発明は、ウエハ研
磨液の固液分離精度の向上と、減容化を図ること、品質
の優れた再生スラリーと、回収クーラント液を生成すること、こ
の再生スラリー、又は各種の回収クーラント液を再利用するこ
と、或いは地球環境破壊・温暖化・CO2問題等の回避を
図ること、等を意図する。The invention of claim 1 is to improve the solid-liquid separation accuracy of the wafer polishing liquid and to reduce the volume thereof, and to generate a regenerated slurry of excellent quality and a recovered coolant liquid. It is intended to reuse this reclaimed slurry or various recovered coolant liquids, or to avoid global environmental damage, global warming, CO 2 problems, etc.
【００１０】請求項1は、ウエハ処理廃液を、再生スラリーと、
余剰クーラント液と、廃棄スラッシ゛を含む溶液とに分離処理する
遠心分離機と、この分離された余剰クーラント液を、回収クーラ
ント液と高濃度スラリーとに圧縮分離する気化圧縮機とで構成
し、前記再生スラリー、又は回収クーラント液を再利用する構成
のウエハ処理廃液の処理システムである。According to the first aspect of the present invention, the wafer processing waste liquid is regenerated slurry,
A centrifugal separator for separating and processing an excess coolant liquid and a solution containing waste sludge, and a vaporizing compressor for compressing and separating the separated excess coolant liquid into a recovery coolant liquid and a high-concentration slurry, This is a wafer processing waste liquid processing system configured to reuse recycled slurry or recovered coolant.
【００１１】請求項2の発明は、ウエハ研磨液の固液分離精
度の一層の向上と、極度の減容化を図ること、品質の優
れた再生スラリーと、回収クーラント液とを生成すること、この
再生スラリー、又は回収クーラント液を再利用すること、等を意
図する。According to a second aspect of the present invention, the solid-liquid separation precision of the wafer polishing liquid is further improved, the volume is extremely reduced, and a regenerated slurry of excellent quality and a recovered coolant liquid are generated. It is intended to reuse the regenerated slurry or the recovered coolant liquid.
【００１２】請求項2は、ウエハ処理廃液を、再生スラリーと、
余剰クーラント液と、廃棄スラッシ゛を含む溶液とに分離処理する
遠心分離機と、この分離された余剰クーラント液を、回収クーラ
ント液と高濃度スラリーとに圧縮分離する気化圧縮機と、前記
廃棄スラッシ゛を回収クーラント液と固化スラッシ゛に圧縮分離する分
離乾燥機とで構成し、前記再生スラリー、又は回収クーラント液
を再利用する構成のウエハ処理廃液の処理システムである。According to a second aspect of the present invention, the wafer processing waste liquid is regenerated slurry,
A centrifugal separator that separates and processes excess coolant liquid and a solution containing waste sludge, a vaporization compressor that compresses and separates the separated excess coolant liquid into a recovered coolant liquid and a high-concentration slurry, and the waste sludge. A processing system for a wafer processing waste liquid, which is composed of a recovered coolant liquid and a separator / dryer that compresses and separates into a solidification sludge, and reuses the regenerated slurry or the recovered coolant liquid.
【００１３】請求項3の発明は、ウエハ研磨液の固液分離精
度の向上と、極めて優れた減容化を図ること、品質の優
れた再生スラリーと、回収クーラント液とを生成すること、この
再生スラリー、又は回収クーラント液を再利用すること、等を意
図する。According to a third aspect of the present invention, the accuracy of solid-liquid separation of the wafer polishing liquid is improved, the volume of the liquid is extremely reduced, and a regenerated slurry of high quality and a recovered coolant liquid are generated. It is intended to reuse the recycled slurry or the recovered coolant.
【００１４】請求項3は、ウエハ処理廃液を、再生スラリーと、
余剰クーラント液と、廃棄スラッシ゛を含む溶液とに分離処理する
遠心分離機と、この分離された余剰クーラント液を、回収クーラ
ント液と高濃度スラリーとに圧縮分離する気化圧縮機と、前記
廃棄スラッシ゛を回収クーラント液と固化スラッシ゛に圧縮分離する分
離乾燥機とで構成し、前記再生スラリーをワイヤーソーに再利用
し、回収クーラント液を前記分離乾燥機に再利用し、また分
離乾燥機の回収クーラント液を再生スラリーに混入して再利用す
る構成のウエハ処理廃液の処理システムである。According to a third aspect of the present invention, the wafer processing waste liquid is regenerated slurry,
A centrifugal separator that separates and processes excess coolant liquid and a solution containing waste sludge, a vaporization compressor that compresses and separates the separated excess coolant liquid into a recovered coolant liquid and a high-concentration slurry, and the waste sludge. It is composed of a recovered coolant liquid and a separation dryer that compresses and separates into a solidification slush, the regenerated slurry is reused for a wire saw, the recovered coolant liquid is reused for the separation dryer, and the recovered coolant liquid for the separation dryer is also used. Is a processing system for a wafer processing waste liquid, which is configured to be mixed with recycled slurry for reuse.
【００１５】請求項4の発明は、ウエハ研磨液の固液分離精
度の向上と、減容化を図り、しかも品質の優れた再生スラ
リーと、回収クーラント液とを低価格で生成する管理システムと、
又はこの一連の作業をコンヒ゜ュータシステムにより、簡便かつスムー
ス゛に行うこと、また再利用する再生スラリー、又は回収クーラン
ト液の必要とする量をコンヒ゜ュータを利用して、簡便かつスムース
゛に行うこと、を意図する。According to the invention of claim 4, a management system for improving the solid-liquid separation accuracy of the wafer polishing liquid and reducing the volume thereof, and at the same time, producing the regenerated slurry of high quality and the recovered coolant liquid at a low price. ,
Or, it is intended to perform this series of operations easily and smoothly by a computer system, and to easily and smoothly perform the required amount of regenerated slurry or recovered coolant liquid to be reused by using a computer. .
【００１６】請求項4は、ウエハ処理廃液を、再生スラリー、余
剰クーラント液、及び廃棄スラッシ゛を含む溶液とに分離処理する
遠心分離機と、この分離された余剰クーラント液を、回収クーラ
ント液と高濃度スラリーとに圧縮分離する気化圧縮機とで構成
し、前記再生スラリーと、回収クーラント液とを再利用する構成
のウエハ処理廃液の処理システムであって、この遠心分離機へ
のウエハ処理廃液を、ネットワークシステムを利用してホストコンヒ゜ュータに
入力し、この入力数値に基づいて前記遠心分離機の排出
量を演算処理して、この演算処理の数値が許容範囲内で
あるか否かを、前記ホストコンヒ゜ュータ管理し、この数値が適切
であると判断した過程で、次の処理の進行をホストコンヒ゜ュータ
からの指令でネットワークシステムを利用して指示し、この指示に
基づいて処理した後に、再生スラリーの品質チェックを行い、所
定の品質が確保された場合に、ホストコンヒ゜ュータからの指令で
ネットワークシステムを利用して指示し、前記品質が確保された前
記再生スラリーを、ワイヤーソーに供給する一連のウエハ処理廃液の
処理作業を、ネットワークシステムとホストコンヒ゜ュータとを利用して行う
構成としたウエハ処理廃液の再生スラリー利用管理システムであ
る。According to a fourth aspect of the present invention, a centrifugal separator for separating the wafer processing waste liquid into a recycled slurry, a surplus coolant liquid, and a solution containing a waste sludge, and the separated surplus coolant liquid and a recovered coolant liquid A processing system for a wafer processing waste liquid, which comprises a vaporization compressor for compression separation into a concentrated slurry and reuses the regenerated slurry and a recovered coolant liquid, wherein the wafer processing waste liquid to this centrifuge is , A network computer is used to input to the host computer, the discharge amount of the centrifuge is arithmetically processed based on the input numerical value, and whether the numerical value of this arithmetic processing is within an allowable range is determined by the host. In the process of managing the computer and determining that this value is appropriate, the progress of the next processing is instructed by the host computer by the network system. System, and after processing based on this instruction, the quality of the regenerated slurry is checked, and if the prescribed quality is ensured, the host computer issues an instruction to use the network system to instruct, A management system for utilizing reclaimed slurry of wafer processing waste liquid, in which a network system and a host computer are used to perform a series of wafer processing waste liquid processing operations for supplying the reclaimed slurry whose quality has been secured to a wire saw. is there.
【００１７】[0017]
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を説明
する。BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Embodiments of the present invention will be described below.
【００１８】ワイヤーソーの切断加工、ラッヒ゜ンク゛加工等の加工
処理、又は他の加工機械より使用済のウエハ処理廃液が、
原液タンクに導かれる。この原液タンクのウエハ処理廃液は、第1
の配管を介して遠心分離機に導かれる。このウエハ処理廃
液は、遠心分離機で再生スラリーと、余剰クーラント液と、廃棄ス
ラッシ゛に分離処理する。尚、遠心分離機へのウエハ処理廃液
の投入の状況、量、時間等は、ネットワークシステム(ネットとする)
を利用してホストコンヒ゜ュータ(以下、コンヒ゜ュータとする)に入力す
る。このウエハ処理廃液入力量は、当該コンヒ゜ュータで演算処理
されて、金銭的に精算される。尚、この遠心分離機は、
スクリューの全刃先に超硬チッフ゜を設けた構成であるので、スクリ
ューの刃先の磨耗が少なく、かつ詰りもなく、確実かつスム
ース゛に分離処理が図れる。またこのスクリューに負荷がかかっ
たときは、制御部(フィート゛ハ゛ック、コントローラー、検知機などを
備える)サーホ゛モーターを介して当該スクリューの回転速度をコントロール
し、この遠心分離機及びスクリューの故障を防止する。また
遠心分離機のスクリューの磨耗度及び／又は故障が発生した
場合には、ネットを利用してコンヒ゜ュータに入力する。この磨耗
度は、設定寸法と比較検討されて、効率及び耐久時間等
が、当該コンヒ゜ュータで演算処理されて最高の状態、効率的
な状態等を判断する。この判断管理は、金銭的に精算さ
れて取引が成立する。また遠心分離機の修理、またその
部品の交換等は、コンヒ゜ュータで演算処理し、金銭的に精算
されて取引が成立する。[0018] Cutting processing of a wire saw, processing such as lapping, etc., or used wafer processing waste liquid from other processing machines,
Guided to the stock solution tank. The wafer processing waste liquid in this stock solution tank is
It is led to the centrifuge through the pipe. This wafer processing waste liquid is separated into a recycled slurry, a surplus coolant liquid, and a waste sludge by a centrifugal separator. Note that the status, amount, time, etc. of the wafer processing waste solution input to the centrifuge are network system (Net).
Input to the host computer (hereinafter referred to as the computer) using. This wafer processing waste liquid input amount is calculated by the computer and settled financially. In addition, this centrifuge
Since the cemented carbide chips are provided on all the blade edges of the screw, the blade edge of the screw is less worn and is not clogged, so that the separation process can be performed reliably and smoothly. When a load is applied to this screw, the rotation speed of the screw is controlled via a servomotor of a control unit (which includes a feedback, controller, detector, etc.) to prevent failure of the centrifuge and the screw. If the abrasion and / or failure of the screw of the centrifuge occurs, it is input to the computer using the net. This degree of wear is compared with a set dimension, and the efficiency and the endurance time are calculated by the computer to determine the best state, the efficient state and the like. This judgment management is settled financially and the transaction is completed. In addition, the repair of the centrifuge and the replacement of its parts are processed by a computer and settled financially to complete the transaction.
【００１９】遠心分離機より第2の配管を介して送られ
る再生スラリーは、第3の配管又は品質管理処理を行った後
に、ワイヤーソーに送られて利用される（再利用）。この再生
スラリーの供給量等は、コンヒ゜ュータに入力された後に、演算処
理し、金銭的に精算されて取引が成立する。The regenerated slurry sent from the centrifuge through the second pipe is sent to the wire saw for reuse (reuse) after being subjected to the third pipe or quality control treatment. The supply amount of the regenerated slurry is input to the computer, and then arithmetically processed to be financially settled to complete the transaction.
【００２０】また遠心分離機で生成された余剰クーラント液
は、第4の配管を介して気化圧縮機に送られる。この余
剰クーラント液は、熱交換機に導入されて加温された後、クーラ
ント処理機に導かれて気化圧縮され、遠心分離による比重
分離が行われる。この比重分離を介して蒸気と異物とに
分離し、蒸気は、槽の上方に移行し、また異物は、濃縮
圧縮されて槽の下方に集積される。このクーラント処理機へ
の余剰クーラント液の導入量、又は蒸気の移行、異物の集積
量はコンヒ゜ュータに入力される。また槽内のカ゛スは排気管を利
用して、外気中に拡散する。この蒸発処理されたクーラント
液は、分離機により油水分離される。清澄化された回収
クーラント液は、冷却処理された後に、第5の配管を介して再
生スラリーに導かれる。そして、この余剰クーラント液、回収クーラ
ント液の供給量、熱交換機への蒸気・冷媒の供給、部品の
交換・故障等は、コンヒ゜ュータに入力された後に、演算処理
し、金銭的に精算されて取引が成立する。尚、清澄化さ
れた回収クーラント液は、第6の配管を介して後述する分離乾
燥機に送られて、廃棄スラッシ゛に混合して、この廃棄スラッシ゛
に適度の湿り気を与える。The surplus coolant liquid produced by the centrifugal separator is sent to the vaporizing compressor through the fourth pipe. This surplus coolant liquid is introduced into a heat exchanger and heated, and then introduced into a coolant processor to be vaporized and compressed, and specific gravity separation by centrifugal separation is performed. Steam and foreign matter are separated through this specific gravity separation, the vapor moves to the upper side of the tank, and the foreign matter is concentrated and compressed and accumulated below the tank. The amount of excess coolant liquid introduced into the coolant processor, the amount of vapor transfer, and the amount of foreign matter accumulated are input to the computer. The gas in the tank diffuses into the outside air by using the exhaust pipe. This evaporated coolant liquid is separated into oil and water by a separator. The clarified recovered coolant liquid is cooled and then introduced into the regenerated slurry through the fifth pipe. Then, the supply amount of the surplus coolant liquid, the recovery coolant liquid, the supply of steam / refrigerant to the heat exchanger, the replacement / failure of parts, etc. are input to the computer, and then processed to make a financial settlement. Is established. The clarified recovered coolant liquid is sent to the separation dryer described later through the sixth pipe, is mixed with the waste slush, and gives an appropriate amount of moist air to the waste slush.
【００２１】さらに遠心分離機で生成された廃棄スラッシ゛
は、第7の配管を介して分離乾燥機に送られる。この分
離乾燥機の乾燥容器内において、振動流動と、蒸発拡散
とを介して乾燥分離を図る。この乾燥容器内に集積され
た固化スラッシ゛は、第9の配管を介して廃棄される。また乾
燥容器で生成された回収クーラント液は、第8の配管を介して
再生スラリーに混合して、この再生スラリーに適度の湿り気を与
える。 そして、この廃棄スラッシ゛、回収クーラント液の供給
量、乾燥容器振動用の加振動力、 部品の交換・故障等
は、コンヒ゜ュータに入力された後に、演算処理し、金銭的に
精算されて取引が成立する。Further, the waste slush produced by the centrifugal separator is sent to the separation dryer through the seventh pipe. In the drying container of this separation dryer, dry separation is achieved through vibration flow and evaporation / diffusion. The solidified slush accumulated in the drying container is discarded through the ninth pipe. Further, the recovered coolant liquid generated in the drying container is mixed with the regenerated slurry through the eighth pipe to give the regenerated slurry an appropriate amount of moist air. Then, the waste slush, the supply amount of the recovered coolant, the vibration force for vibrating the drying container, the parts replacement / fault, etc. are input to the computer, and then processed to make a financial settlement to establish the transaction. To do.
【００２２】[0022]
【実施例】本発明のウエハ処理廃液の処理システムに使用する
各機器の一例を説明する。
1） 遠心分離機1は、遠心分離機1(サイクロン分離機、振動
分離機等を含む)を主体として説明する。遠心分離機1
は、固形物排出口2aと分離液排出口2bを備えたケーシンク゛2
と、このケーシンク゛2の内筒200に設けた竹の子形のスクリュー3
と、このスクリュー3の刃先3aに設けた超硬チッフ゜4とこのスクリュー
3を駆動するサーホ゛モーター5と、このサーホ゛モーター5をコントロールする
制御部6と、スクリュー3内に介在するウエハ処理廃液、又は廃液
用の供給管7と、この供給管7の開口7aは、スクリュー3の本体
300との隙間を介して当該スクリュー3に開設した開口8と連通
する。また供給管7はモーター9を介して回転されるが、スクリュ
ー3との間に回転差が設けられている。この遠心分離機1
は、リース物件の対象となる。EXAMPLE An example of each device used in the wafer processing waste liquid processing system of the present invention will be described. 1) The centrifuge 1 will be described mainly with respect to the centrifuge 1 (including a cyclone separator, a vibration separator, etc.). Centrifuge 1
Is a casing 2 equipped with a solid matter discharge port 2a and a separated liquid discharge port 2b.
And a bamboo shoot-shaped screw 3 provided on the inner cylinder 200 of this casing 2
And the carbide tip 4 provided on the cutting edge 3a of this screw 3 and this screw
3, a servomotor 5 for driving the servomotor 3, a control unit 6 for controlling the servomotor 5, a wafer processing waste liquid or a waste liquid supply pipe 7 interposed in the screw 3, and an opening 7a of the supply pipe 7 for the screw. Body of 3
It communicates with the opening 8 opened in the screw 3 through a gap with 300. Further, the supply pipe 7 is rotated via a motor 9, but a rotation difference is provided between the supply pipe 7 and the screw 3. This centrifuge 1
Is the subject of a leased property.
【００２３】2） 気化圧縮機10は、熱交換機11と、こ
の熱交換機11に高温蒸気を供給するホ゛イラー、配管等の蒸
気給排手段12と、余剰クーラント液の圧縮蒸発を図るクーラント処
理機13と、清澄クーラント液生成用の分離機14と、高温クーラント
液冷却用の熱交換機15とで構成される。このクーラント処理
機13は、円筒状の胴体部130と、収斂部131とで構成され
ており、胴体部130の接線方向から高温の余剰クーラント液が
供給される供給管132を有する。133は蒸気排出口で、こ
の蒸気排出口133から余剰蒸気が排気される。134は収斂
部131の下方に設けた封水部で、この封水部134から高温
クーラント液を排出する。また分離機14は、導入口側140に設
けたコーン体141と、このコーン体141の拡開裾部141aと分離機
14の内周面間に形成した隙間142と、コーン体141の拡開裾
部141a近傍に形成したチャンハ゛ー143と、排出口側144とで構
成されており、旋回流と、隙間142を利用して清澄した
回収クーラント液を生成する。この気化圧縮機10は、リース物件
の対象となる。2) The vaporizing compressor 10 includes a heat exchanger 11, a steam supply / discharge means 12 such as a boiler or a pipe for supplying high temperature steam to the heat exchanger 11, and a coolant processor 13 for compressing and vaporizing excess coolant liquid. , A separator 14 for producing a clear coolant liquid, and a heat exchanger 15 for cooling the high temperature coolant liquid. This coolant processing machine 13 is composed of a cylindrical body portion 130 and a converging portion 131, and has a supply pipe 132 to which a high temperature excess coolant liquid is supplied from the tangential direction of the body portion 130. 133 is a steam outlet, and excess steam is exhausted from this steam outlet 133. Reference numeral 134 denotes a water sealing portion provided below the converging portion 131, from which the high temperature coolant liquid is discharged. Further, the separator 14 includes a cone body 141 provided on the inlet side 140, an expansion skirt 141a of the cone body 141, and a separator.
It is composed of a gap 142 formed between the inner peripheral surfaces of 14, a chamber 143 formed near the expansion skirt 141a of the cone body 141, and a discharge port side 144. The swirl flow and the gap 142 are used. To produce a clear recovered coolant. The vaporizing compressor 10 is a target of the leased property.
【００２４】3） 分離乾燥機20は、投入口210、排出口
211、真空吸引用の吸込口212、又は図示しないクーラント液
排出口を備えた乾燥容器21と、この乾燥容器21に設けた
振動を付与する加振手段22と、乾燥容器21の主として廃
棄スラッシ゛の加熱蒸発・分離を図る加熱手段23とで構成さ
れており、この乾燥容器21に導入した廃棄スラッシ゛を真空
下において振動分離し、固化スラッシ゛と清澄した回収クーラント
液を生成する。この分離乾燥機20は、リース物件の対象と
なる。3) Separating and drying machine 20 has an inlet 210 and an outlet.
211, a suction port 212 for vacuum suction, or a drying container 21 equipped with a coolant discharge port (not shown), a vibrating means 22 provided on the drying container 21 for imparting vibration, and mainly a waste slush of the drying container 21. The waste slush introduced into the drying container 21 is vibrated and separated under a vacuum to generate a solidified slush and a clear recovered coolant liquid. This separator / dryer 20 is a target of the leased property.
【００２５】4） ウエハ処理廃液、再生スラリー、廃棄スラッシ
゛、余剰クーラント液、又は固化スラッシ゛、回収クーラント液の量は、
ネット100等の通信回線を介してコンヒ゜ュータ101に入力される。
また各機械の可動率、故障の頻度、仕事時間等は全てネッ
ト100等の通信回線を介してコンヒ゜ュータ101に入力される。ま
た前記量の調整、供給先等の方策もコンヒ゜ュータ101を利用し
て自動管理できるので、効率化、合理化、低コスト化、工
場管理の容易化等が図れる。4) The amount of the wafer processing waste liquid, the reclaimed slurry, the waste sludge, the surplus coolant liquid, the solidification sludge, and the recovered coolant liquid is
It is input to the computer 101 via a communication line such as the net 100.
Further, the mobility, the frequency of failures, the working hours, etc. of each machine are all input to the computer 101 via a communication line such as the net 100. In addition, since the above-mentioned amount adjustment and measures such as the supplier can be automatically managed by using the computer 101, efficiency, rationalization, cost reduction, facilitation of factory management, etc. can be achieved.
【００２６】[0026]
【発明の効果】請求項1の発明は、ウエハ処理廃液を、再生
スラリーと、余剰クーラント液と、廃棄スラッシ゛を含む溶液とに分離
処理する遠心分離機と、分離された余剰クーラント液を、回
収クーラント液と高濃度スラリーとに圧縮分離する気化圧縮機と
で構成し、再生スラリー、又は回収クーラント液を再利用する構
成のウエハ処理廃液の処理システムである。従って、ウエハ研磨液
の固液分離精度の向上と、減容化が図れること、品質の
優れた再生スラリーを生成できること（再生スラリーへの切屑混
入量の低減ができること）、また品質の優れた（純粋
な）回収クーラント液が生成できること、この再生スラリー、又
は回収クーラント液の再利用が図れること、等の特徴があ
る。また回収クーラント液を略100%程度達成できることか
ら、効率的で、合理的な管理が図れること、或いは地球
環境破壊・温暖化・CO 2問題等の回避が図れること、等
の特徴がある。The invention of claim 1 recycles the wafer processing waste liquid.
Separation into slurry, excess coolant, and solution containing waste sludge
The centrifuge to be processed and the separated excess coolant liquid are
A vaporization compressor that compresses and separates the concentrated coolant liquid and the high-concentration slurry
The structure that recycles the recycled slurry or the recovered coolant.
This is a processing system for a waste liquid of wafer processing. Therefore, the wafer polishing liquid
The solid-liquid separation accuracy of the
Able to produce excellent regenerated slurry (chip mixture to regenerated slurry
It is possible to reduce the input amount) and excellent quality (pure)
That the recovered coolant can be generated, this regenerated slurry,
Has the characteristic that the recovered coolant can be reused.
It Is it possible to achieve approximately 100% of the recovered coolant liquid?
, Efficient and rational management, or the earth
Environmental destruction, global warming, CO 2Avoiding problems, etc.
There is a feature of.
【００２７】請求項2の発明は、ウエハ処理廃液を、再生スラ
リーと、余剰クーラント液と、廃棄スラッシ゛を含む溶液とに分離処
理する遠心分離機と、分離された余剰クーラント液を、回収ク
ーラント液と高濃度スラリーとに圧縮分離する気化圧縮機と、廃
棄スラッシ゛を回収クーラント液と固化スラッシ゛に圧縮分離する分離
乾燥機とで構成し、再生スラリー、又は回収クーラント液を再利
用する構成のウエハ処理廃液の処理システムである。従って、ウ
エハ研磨液の固液分離精度の向上と、減容化が図れるこ
と、品質の優れた再生スラリーを生成できること、また品質
の優れた回収クーラント液が生成できること、この再生スラリ
ー、又は回収クーラント液の再利用が図れること、等の特徴が
ある。また固化スラッシ゛の燃料としての再利用が図れる実
益がある。According to the invention of claim 2, the wafer processing waste liquid is separated into a recycled slurry, an excess coolant liquid and a solution containing waste sludge, a centrifuge, and the separated excess coolant liquid is recovered coolant liquid. Processing with a vaporization compressor that compresses and separates waste slurry and high-concentration slurry, and a separation dryer that compresses and separates waste slush into recovered coolant liquid and solidified slush, and reuses recycled slurry or recovered coolant liquid. This is a waste liquid treatment system. Therefore, the solid-liquid separation accuracy of the wafer polishing liquid can be improved, the volume can be reduced, a recycled slurry of excellent quality can be generated, and a recovered coolant liquid of excellent quality can be generated. It is characterized by the ability to reuse the liquid. In addition, there is a real benefit that the solidified slush can be reused as fuel.
【００２８】請求項3の発明は、ウエハ処理廃液を、再生スラ
リーと、余剰クーラント液と、廃棄スラッシ゛を含む溶液とに分離処
理する遠心分離機と、分離された余剰クーラント液を、回収ク
ーラント液と高濃度スラリーとに圧縮分離する気化圧縮機と、廃
棄スラッシ゛を回収クーラント液と固化スラッシ゛に圧縮分離する分離
乾燥機とで構成し、再生スラリーをワイヤーソーに再利用し、回収
クーラント液を分離乾燥機に再利用し、また分離乾燥機の回
収クーラント液を再生スラリーに混入して再利用する構成のウエハ処
理廃液の処理システムである。従って、ウエハ研磨液の固液分
離精度の向上と、極めて優れた減容化が図れること、品
質の優れた再生スラリーを生成できること、また品質の優れ
た回収クーラント液が生成できること、この再生スラリー、又は
回収クーラント液の再利用が図れること、等の特徴がある。
また固化スラッシ゛の燃料としての再利用が図れる実益があ
る。According to the invention of claim 3, a wafer processing waste liquid is separated into a recycled slurry, a surplus coolant liquid, and a solution containing waste sludge, a centrifugal separator, and the separated surplus coolant liquid is collected as a recovery coolant liquid. It consists of a vaporization compressor that compresses and separates into high-concentration slurry, and a separation dryer that compresses and separates waste sludge into collected coolant liquid and solidified sludge, and reuses the recycled slurry in a wire saw to separate the collected coolant liquid. This is a wafer processing waste liquid treatment system configured to be reused in a dryer, and the recycled coolant of the separation dryer is mixed with recycled slurry for reuse. Therefore, it is possible to improve the solid-liquid separation accuracy of the wafer polishing liquid, achieve an extremely excellent volume reduction, generate a high-quality recycled slurry, and also generate a high-quality recovered coolant liquid, the recycled slurry, Alternatively, the recovered coolant liquid can be reused.
In addition, there is a real benefit that the solidified slush can be reused as fuel.
【００２９】請求項4の発明は、ウエハ処理廃液を、再生スラ
リー、余剰クーラント液、及び廃棄スラッシ゛を含む溶液とに分離処
理する遠心分離機と、分離された余剰クーラント液を、回収ク
ーラント液と高濃度スラリーとに圧縮分離する気化圧縮機とで構
成し、再生スラリーと、回収クーラント液とを再利用する構成のウ
エハ処理廃液の処理システムであって、遠心分離機へのウエハ処
理廃液を、ネットワークシステムを利用してホストコンヒ゜ュータに入力し、
入力数値に基づいて遠心分離機の排出量を演算処理し
て、演算処理の数値が許容範囲内であるか否かを、ホストコ
ンヒ゜ュータ管理し、数値が適切であると判断した過程で、次
の処理の進行をホストコンヒ゜ュータからの指令でネットワークシステムを利
用して指示し、指示に基づいて処理した後に、再生スラリー
の品質チェックを行い、所定の品質が確保された場合に、ホス
トコンヒ゜ュータからの指令でネットワークシステムを利用して指示し、品
質が確保された再生スラリーを、ワイヤーソーに供給する一連のウエ
ハ処理廃液の処理作業を、ネットワークシステムとホストコンヒ゜ュータとを
利用して行う構成としたウエハ処理廃液の再生スラリー利用管
理システムである。従って、ウエハ研磨液の固液分離精度の向
上と、減容化が図れ、しかも品質の優れた再生スラリーと、
回収クーラント液とを低価格で生成できる管理システムの提供
と、又はこの一連の作業がコンヒ゜ュータシステムを利用すること
で、簡便かつスムース゛に行えること、また再利用する再生ス
ラリー、又は回収クーラント液の必要とする時に、必要とする量
等をコンヒ゜ュータを利用して、簡便かつスムース゛に行えること、
等の特徴がある。また回収クーラント液を、略100%程度達成
できる効率的で、合理的なシステムを提供できる。さらに地
球環境破壊・温暖化・CO2問題等の回避が図れる特徴が
ある。According to the invention of claim 4, a centrifugal separator for separating the wafer processing waste liquid into a regenerated slurry, a surplus coolant liquid, and a solution containing waste sludge, and the separated surplus coolant liquid as a recovery coolant liquid. A processing system of a wafer processing waste liquid constituted by a vaporization compressor for compression separation into a high-concentration slurry, and a recycled slurry and a recovered coolant liquid, wherein the wafer processing waste liquid to a centrifugal separator is Input to the host computer using the network system,
In the process of calculating the discharge amount of the centrifuge based on the input numerical value and managing the host computer to determine whether the numerical value of the calculation processing is within the allowable range and judging that the numerical value is appropriate, The progress of the processing is instructed by the host computer using the network system, the quality of the regenerated slurry is checked after processing according to the instruction, and when the predetermined quality is secured, the instruction from the host computer is given. The wafer processing is configured to perform a series of wafer processing waste liquid processing operations of supplying a regenerated slurry of which quality is ensured to the wire saw by using the network system and the host computer. This is a system for managing the use of recycled slurry of waste liquid. Therefore, it is possible to improve the solid-liquid separation accuracy of the wafer polishing liquid, reduce the volume, and recycle the slurry with excellent quality.
By providing a management system that can generate recovered coolant liquid at a low price, or by using a computer system, this series of operations can be performed easily and smoothly, and it is necessary to use recycled slurry for reuse or recovered coolant liquid. When using, you can easily and smoothly perform the required amount using a computer.
There are features such as. In addition, it is possible to provide an efficient and rational system that can achieve approximately 100% of the recovered coolant liquid. Furthermore, it has the feature of avoiding global environmental destruction, global warming, and CO2 problems.
【図1】本発明の全体を説明するフローチャート図である。FIG. 1 is a flow chart diagram for explaining the whole of the present invention.
【図2】本発明の全体を説明する概念図である。FIG. 2 is a conceptual diagram illustrating the whole of the present invention.
【図3】遠心分離機の拡大模式図である。FIG. 3 is an enlarged schematic diagram of a centrifuge.
【図4】本発明に使用する気化圧縮機のフローチャート図であ
る。FIG. 4 is a flow chart diagram of a vaporization compressor used in the present invention.
【図5】図4のクーラント処理機の正面図である。5 is a front view of the coolant processor of FIG. 4.
【図6】図4の分離機の断面図である。6 is a cross-sectional view of the separator of FIG.
【図7】図5の正面図である。FIG. 7 is a front view of FIG. 5.
【図8】本発明に使用する分離乾燥機の正面図である。FIG. 8 is a front view of the separation dryer used in the present invention.
【図9】図8の加振手段の底面図である。9 is a bottom view of the vibration means of FIG. 8.
【図10】図8の乾燥容器の断面図である。10 is a cross-sectional view of the drying container of FIG.
【図11】本発明の管理システムを説明するフローチャート図であ
る。FIG. 11 is a flowchart illustrating a management system of the present invention.
1 遠心分離機 2 ケーシンク゛ 2a 排出口 2b 排出口 200 内筒 3 スクリュー 3a 刃先 300 本体 4 超硬チッフ゜ 5 サーホ゛モーター 6 制御部 7 供給管 7a 開口 8 開口 9 モーター 10 気化圧縮機 11 熱交換機 12 蒸気給排手段 13 クーラント処理機 130 胴体部 131 収斂部 132 供給管 133 蒸気排出口 134 封水部 14 分離機 140 導入口側 141 コーン体 141a 拡開裾部 142 隙間 143 チャンハ゛ー 144 排出口側 15 熱交換機 20 分離乾燥機 21 乾燥容器 210 投入口 211 排出口 212 吸込口 22 加振手段 23 加熱手段 100 ネット 101 コンヒ゜ュータ 1 Centrifuge 2 case sync 2a outlet 2b outlet 200 inner cylinder 3 screws 3a cutting edge 300 body 4 Carbide chip 5 servo motor 6 Control unit 7 Supply pipe 7a opening 8 openings 9 motor 10 Evaporative compressor 11 heat exchanger 12 Steam supply / discharge means 13 Coolant processor 130 torso 131 Convergence Department 132 Supply pipe 133 Steam outlet 134 Water Seal 14 Separator 140 Inlet side 141 cone 141a Expansion hem 142 gap 143 Chamber 144 Outlet side 15 heat exchanger 20 Separation dryer 21 drying container 210 Input port 211 Outlet 212 Suction port 22 Excitation means 23 Heating means 100 net 101 computer
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｈ０１Ｌ 21/304 ６２２ Ｈ０１Ｌ 21/304 ６２２Ｅ Ｆターム(参考） 3C047 FF06 FF08 GG14 GG17 4D037 AA13 AB02 AB18 BA28 BB01 BB02 4D057 AA09 AA10 AB01 AC01 AC06 AD01 AD05 AE03 AF05 CA00 CA02 CB01 4D059 AA30 BD11 BD19 BD24 BD40 CA28 CB01 4D076 AA02 AA16 AA22 BA05 BC03 FA20 FA22 FA31 HA06 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of front page (51) Int.Cl. 7 Identification code FI theme code (reference) H01L 21/304 622 H01L 21/304 622E F term (reference) 3C047 FF06 FF08 GG14 GG17 4D037 AA13 AB02 AB18 BA28 BB01 BB02 4D057 AA09 AA10 AB01 AC01 AC06 AD01 AD05 AE03 AF05 CA00 CA02 CB01 4D059 AA30 BD11 BD19 BD24 BD40 CA28 CB01 4D076 AA02 AA16 AA22 BA05 BC03 FA20 FA22 FA31 HA06
Claims (4)
液と、廃棄スラッシ゛を含む溶液とに分離処理する遠心分離
機と、この分離された余剰クーラント液を、回収クーラント液と高
濃度スラリーとに圧縮分離する気化圧縮機とで構成し、前記
再生スラリー、又は回収クーラント液を再利用する構成のウエハ処理
廃液の処理システム。1. A centrifuge for separating a wafer processing waste liquid into a reclaimed slurry, a surplus coolant liquid, and a solution containing waste sludge, and a separated coolant liquid and a high-concentration slurry for the separated surplus coolant liquid. A processing system for a wafer processing waste liquid, which is configured by a vaporizing compressor for compressing and separating into a liquid and a liquid, and reuses the regenerated slurry or the recovered coolant liquid.
液と、廃棄スラッシ゛を含む溶液とに分離処理する遠心分離
機と、この分離された余剰クーラント液を、回収クーラント液と高
濃度スラリーとに圧縮分離する気化圧縮機と、前記廃棄スラッシ
゛を回収クーラント液と固化スラッシ゛に圧縮分離する分離乾燥機
とで構成し、前記再生スラリー、又は回収クーラント液を再利用
する構成のウエハ処理廃液の処理システム。2. A centrifuge for separating the wafer processing waste liquid into a reclaimed slurry, an excess coolant liquid, and a solution containing waste sludge, and a recovered coolant liquid and a high-concentration slurry for the separated excess coolant liquid. Of the wafer processing waste liquid having a structure in which the regenerated slurry or the recovered coolant liquid is reused, which is composed of a vaporization compressor for compressing and separating the waste slurry and a separating / drying device for compressing and separating the waste sludge into a recovered coolant liquid and a solidified sludge. Processing system.
液と、廃棄スラッシ゛を含む溶液とに分離処理する遠心分離
機と、この分離された余剰クーラント液を、回収クーラント液と高
濃度スラリーとに圧縮分離する気化圧縮機と、前記廃棄スラッシ
゛を回収クーラント液と固化スラッシ゛に圧縮分離する分離乾燥機
とで構成し、前記再生スラリーをワイヤーソーに再利用し、回収クー
ラント液を前記分離乾燥機に再利用し、また分離乾燥機の
回収クーラント液を再生スラリーに混入して再利用する構成のウエハ
処理廃液の処理システム。3. A centrifuge for separating a wafer processing waste liquid into a reclaimed slurry, an excess coolant liquid, and a solution containing waste sludge, and a recovered coolant liquid and a high-concentration slurry for the separated excess coolant liquid. It consists of a vaporizing compressor that compresses and separates the waste sludge, and a separation dryer that compresses and separates the waste slush into a recovered coolant liquid and a solidified slush. This is a wafer processing waste liquid processing system that is configured to be reused in a machine and to mix the recovered coolant of the separation dryer with recycled slurry for reuse.
液、及び廃棄スラッシ゛を含む溶液とに分離処理する遠心分
離機と、この分離された余剰クーラント液を、回収クーラント液と
高濃度スラリーとに圧縮分離する気化圧縮機とで構成し、前
記再生スラリーと、回収クーラント液とを再利用する構成のウエハ処
理廃液の処理システムであって、 この遠心分離機へのウエハ処理廃液を、ネットワークシステムを利用
してホストコンヒ゜ュータに入力し、この入力数値に基づいて前記
遠心分離機の排出量を演算処理して、この演算処理の数
値が許容範囲内であるか否かを、前記ホストコンヒ゜ュータ管理
し、この数値が適切であると判断した過程で、次の処理
の進行をホストコンヒ゜ュータからの指令でネットワークシステムを利用して
指示し、この指示に基づいて処理した後に、再生スラリーの
品質チェックを行い、所定の品質が確保された場合に、ホストコ
ンヒ゜ュータからの指令でネットワークシステムを利用して指示し、前記
品質が確保された前記再生スラリーを、ワイヤーソーに供給する一
連のウエハ処理廃液の処理作業を、ネットワークシステムとホストコンヒ゜ュー
タとを利用して行う構成としたウエハ処理廃液の再生スラリー利
用管理システム。4. A centrifuge for separating a wafer processing waste liquid into a recycled slurry, a surplus coolant liquid, and a solution containing a waste sludge, and the separated surplus coolant liquid as a recovered coolant liquid and a high-concentration slurry. A processing system for a wafer processing waste liquid, which comprises a vaporization compressor for compressing and separating into two parts, and reuses the regenerated slurry and the recovered coolant liquid, wherein the wafer processing waste liquid to the centrifuge is a network system. Is input to the host computer, the discharge amount of the centrifuge is calculated based on the input value, and the host computer manages whether or not the calculated value is within the allowable range. , In the process of judging that this value is appropriate, the network system is used by the command from the host computer for the progress of the next processing. The quality of the regenerated slurry is checked after processing based on this instruction, and when the prescribed quality is ensured, an instruction is issued from the host computer using the network system to ensure the aforementioned quality. A system for managing the use of reclaimed slurry of wafer processing waste liquid, comprising a network system and a host computer for performing a series of processing operations for the waste liquid of wafer processing for supplying the reclaimed slurry to a wire saw.
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001375653A JP2003230880A (en) | 2001-12-06 | 2001-12-10 | Treatment system for waste liquid of wafer treatment and utilization management system for its regenerated slurry |
Applications Claiming Priority (3)
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|---|---|
| JP (1) | JP2003230880A (en) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100862704B1 (en) | 2007-02-28 | 2008-10-10 | 세메스 주식회사 | Apparatus and method for treating waste liquid |
| JP2010221337A (en) * | 2009-03-24 | 2010-10-07 | Ngk Insulators Ltd | Method for recycling used grinding fluid |
| CN105198145A (en) * | 2014-06-20 | 2015-12-30 | 中国石油化工股份有限公司 | Recovering and treating device for butanol-octanol condensation maintenance waste liquor and treating technology |
-
2001
- 2001-12-10 JP JP2001375653A patent/JP2003230880A/en active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20070329 |