JP2002075715A - 異方性バルク交換スプリング磁石およびその製造方法 - Google Patents
異方性バルク交換スプリング磁石およびその製造方法Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 高密度で結晶粒が異方性である交換スプリン
グ磁石材料と、このような磁石材料の製造方法を提供す
る。 【解決手段】 希土類元素を含み、水素反応させていな
い合金を粉砕して得られた原料粉末を磁場中配向させな
がら型内で圧縮成形し、この状態で７００℃以上で水素
化および脱水素処理を行ったのち、降温過程で加圧する
ことにより、ソフト相とハード相を備え、ハード相の結
晶方向の磁化容易軸が一方向に揃った異方性バルク交換
スプリング磁石を得る。
グ磁石材料と、このような磁石材料の製造方法を提供す
る。 【解決手段】 希土類元素を含み、水素反応させていな
い合金を粉砕して得られた原料粉末を磁場中配向させな
がら型内で圧縮成形し、この状態で７００℃以上で水素
化および脱水素処理を行ったのち、降温過程で加圧する
ことにより、ソフト相とハード相を備え、ハード相の結
晶方向の磁化容易軸が一方向に揃った異方性バルク交換
スプリング磁石を得る。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、モータ、磁界セン
サ、回転センサ、加速度センサ、トルクセンサなどに好
適に用いられる高出力磁石材料に係わり、とくに異方性
バルク交換スプリング磁石およびこのような磁石の製造
方法に関するものである。
サ、回転センサ、加速度センサ、トルクセンサなどに好
適に用いられる高出力磁石材料に係わり、とくに異方性
バルク交換スプリング磁石およびこのような磁石の製造
方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】永久磁石材料としては、化学的に安定で
定コストなフェライト磁石や、高性能の希土類系磁石が
実用化されている。
定コストなフェライト磁石や、高性能の希土類系磁石が
実用化されている。
【０００３】これらの材料は、磁石化合物としてはほぼ
単一の化合物から構成されているが、近年、高保磁力の
永久磁石材料と、高磁束密度の軟磁性材料を複合化した
交換スプリング磁石が注目を集め、研究が進められてい
る。このような交換スプリング磁石は、高い最大エネル
ギ積が期待されており、理論的には１００ＭＧＯｅ以上
の極めて高い磁石特性が可能とされている。
単一の化合物から構成されているが、近年、高保磁力の
永久磁石材料と、高磁束密度の軟磁性材料を複合化した
交換スプリング磁石が注目を集め、研究が進められてい
る。このような交換スプリング磁石は、高い最大エネル
ギ積が期待されており、理論的には１００ＭＧＯｅ以上
の極めて高い磁石特性が可能とされている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、現在開
発されている交換スプリング磁石は、等方性磁石であ
り、得られる最大エネルギ積も２０ＭＧＯｅ程度の低い
値に留まっている。
発されている交換スプリング磁石は、等方性磁石であ
り、得られる最大エネルギ積も２０ＭＧＯｅ程度の低い
値に留まっている。
【０００５】これは、交換スプリング磁石を構成する結
晶粒の方向が一方向に揃っていないことに起因して、特
性向上がなされないことが最大の原因と考えられ、交換
結合を示すような微細で且つ結晶方向が揃った異方性交
換スプリング磁石を実現するために多くの研究がなされ
ている。
晶粒の方向が一方向に揃っていないことに起因して、特
性向上がなされないことが最大の原因と考えられ、交換
結合を示すような微細で且つ結晶方向が揃った異方性交
換スプリング磁石を実現するために多くの研究がなされ
ている。
【０００６】
【発明の目的】本発明は、従来の交換スプリング磁石に
おける上記課題に着目してなされたものであって、高密
度で結晶粒が異方性である交換スプリング磁石材料と、
このような磁石材料の製造方法を提供することを目的と
している。
おける上記課題に着目してなされたものであって、高密
度で結晶粒が異方性である交換スプリング磁石材料と、
このような磁石材料の製造方法を提供することを目的と
している。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明の請求項１に係わ
る異方性バルク交換スプリング磁石は、ソフト相とハー
ド相を有する交換スプリング磁石であって、ハード相の
結晶方向の磁化容易軸が一方向に揃っている構成とした
ことを特徴としており、異方性バルク交換スプリング磁
石におけるこのような構成を前述した従来の課題を解決
するための手段としている。
る異方性バルク交換スプリング磁石は、ソフト相とハー
ド相を有する交換スプリング磁石であって、ハード相の
結晶方向の磁化容易軸が一方向に揃っている構成とした
ことを特徴としており、異方性バルク交換スプリング磁
石におけるこのような構成を前述した従来の課題を解決
するための手段としている。
【０００８】本発明に係わる異方性バルク交換スプリン
グ磁石実施の一形態として、請求項２に係わる交換スプ
リング磁石においては、結晶粒直径が５０ｎｍ〜５μｍ
の範囲にあるものとすることができ、同じく実施形態と
して、請求項３に係わる交換スプリング磁石において
は、その元素配合比として希土類元素を２〜１３原子
％、Ｂ（ほう素）を１〜２５原子％含んでいるものとす
ることができ、請求項４に係わる交換スプリング磁石に
おいては、添加剤としてＶ、Ｚｒ、Ｇａ、Ｎｂ、Ｃｕか
らなる群から選ばれる１種類以上の元素を合計で０．０
１〜５原子％含んでいるものとすることができる。
グ磁石実施の一形態として、請求項２に係わる交換スプ
リング磁石においては、結晶粒直径が５０ｎｍ〜５μｍ
の範囲にあるものとすることができ、同じく実施形態と
して、請求項３に係わる交換スプリング磁石において
は、その元素配合比として希土類元素を２〜１３原子
％、Ｂ（ほう素）を１〜２５原子％含んでいるものとす
ることができ、請求項４に係わる交換スプリング磁石に
おいては、添加剤としてＶ、Ｚｒ、Ｇａ、Ｎｂ、Ｃｕか
らなる群から選ばれる１種類以上の元素を合計で０．０
１〜５原子％含んでいるものとすることができる。
【０００９】半発明の請求項５に係わる異方性バルク交
換スプリング磁石の製造方法においては、希土類元素を
含み、水素反応させていない合金を粉砕して得られた原
料粉末を磁場中配向させながら型内で圧縮成形し、この
状態で７００℃以上で水素化および脱水素処理を行い、
その後の降温過程で加圧する構成とし、交換スプリング
磁石の製造方法の実施形態として請求項６に係わる製造
方法においては、原料粉末を１０ｋＯｅ以上の磁場中で
配向させるようになすことができ、同じく交換スプリン
グ磁石製造の実施形態として請求項７に係わる製造方法
においては、降温過程において５Ｋ／ｍｉｎ．以上の冷
却速度で降温するようになすことができる。さらに、請
求項８に係わる製造方法においては、降温過程において
型温が４００℃以上の温度範囲のときに、３ｔｏｎ／ｃ
ｍ2以上の加圧力で加圧することができ、請求項９に係
わる製造方法においては、降温過程において外部から磁
場を印加するようになすことができ、請求項１０に係わ
る製造方法においては、そのときの磁場強度を５ｋＯｅ
以上とすることができ、このような異方性バルク交換ス
プリング磁石の製造方法の構成を前述した従来の課題を
解決するための手段としたことを特徴としている。
換スプリング磁石の製造方法においては、希土類元素を
含み、水素反応させていない合金を粉砕して得られた原
料粉末を磁場中配向させながら型内で圧縮成形し、この
状態で７００℃以上で水素化および脱水素処理を行い、
その後の降温過程で加圧する構成とし、交換スプリング
磁石の製造方法の実施形態として請求項６に係わる製造
方法においては、原料粉末を１０ｋＯｅ以上の磁場中で
配向させるようになすことができ、同じく交換スプリン
グ磁石製造の実施形態として請求項７に係わる製造方法
においては、降温過程において５Ｋ／ｍｉｎ．以上の冷
却速度で降温するようになすことができる。さらに、請
求項８に係わる製造方法においては、降温過程において
型温が４００℃以上の温度範囲のときに、３ｔｏｎ／ｃ
ｍ2以上の加圧力で加圧することができ、請求項９に係
わる製造方法においては、降温過程において外部から磁
場を印加するようになすことができ、請求項１０に係わ
る製造方法においては、そのときの磁場強度を５ｋＯｅ
以上とすることができ、このような異方性バルク交換ス
プリング磁石の製造方法の構成を前述した従来の課題を
解決するための手段としたことを特徴としている。
【００１０】さらに、本発明の請求項１１に係わる異方
性バルク交換スプリング磁石の製造装置は、原料粉末を
成形する型と、圧縮機構と、磁場印加機構と、加熱機構
と、水素供給機構と、真空排気機構とを併せ持つ構成と
したことを特徴としており、本発明の請求項１２ないし
請求項１６に係わるモータ、磁界センサ、回転センサ、
加速度センサおよびトルクセンサにおいては、いずれも
本発明に係わる上記異方性バルク交換スプリング磁石を
用いていることを特徴としている。
性バルク交換スプリング磁石の製造装置は、原料粉末を
成形する型と、圧縮機構と、磁場印加機構と、加熱機構
と、水素供給機構と、真空排気機構とを併せ持つ構成と
したことを特徴としており、本発明の請求項１２ないし
請求項１６に係わるモータ、磁界センサ、回転センサ、
加速度センサおよびトルクセンサにおいては、いずれも
本発明に係わる上記異方性バルク交換スプリング磁石を
用いていることを特徴としている。
【００１１】
【発明の実施の形態】本発明に係わる異方性バルク交換
スプリング磁石は、請求項１に記載しているように、ソ
フト相とハード相を有し、ハード相の結晶方向の磁化容
易軸が一方向に揃ったものとなっており、このような磁
石材料は、希土類元素を含み、且つ水素反応させていな
い結晶質合金粉末を磁場中で配向させつつ加圧成形し、
これを７００℃以上の温度で水素吸蔵、および脱水素処
理し、その後の降温過程で加圧することによって得られ
る。
スプリング磁石は、請求項１に記載しているように、ソ
フト相とハード相を有し、ハード相の結晶方向の磁化容
易軸が一方向に揃ったものとなっており、このような磁
石材料は、希土類元素を含み、且つ水素反応させていな
い結晶質合金粉末を磁場中で配向させつつ加圧成形し、
これを７００℃以上の温度で水素吸蔵、および脱水素処
理し、その後の降温過程で加圧することによって得られ
る。
【００１２】このような磁石材料において、ソフト相と
は磁石材料中の組成のうち、周囲の磁界の影響を受けて
磁力を帯びやすい相であり、ハード相とは磁石材料中の
組成のうち、周囲の磁界の影響を受けにくく、自身の磁
力を変化させにくい相であって、磁石性能に影響を及ぼ
すものである。このとき、従来は交換スプリング磁石を
構成する結晶粒の方向が一方向に揃っていないことに起
因して特性向上がなされなかったが、本発明に係わる交
換スプリング磁石においては、この結晶粒をハード相の
磁化容易軸一方向に揃えた磁石材料であることから、こ
れによって出力特性が顕著区向上することになる。さら
にこの結果として本発明に係わる磁石材料においては、
７．７ｇ／ｃｍ3以上という従来得られなかった高密度
磁石材料が得られ、一層の性能向上が実現することにな
る。
は磁石材料中の組成のうち、周囲の磁界の影響を受けて
磁力を帯びやすい相であり、ハード相とは磁石材料中の
組成のうち、周囲の磁界の影響を受けにくく、自身の磁
力を変化させにくい相であって、磁石性能に影響を及ぼ
すものである。このとき、従来は交換スプリング磁石を
構成する結晶粒の方向が一方向に揃っていないことに起
因して特性向上がなされなかったが、本発明に係わる交
換スプリング磁石においては、この結晶粒をハード相の
磁化容易軸一方向に揃えた磁石材料であることから、こ
れによって出力特性が顕著区向上することになる。さら
にこの結果として本発明に係わる磁石材料においては、
７．７ｇ／ｃｍ3以上という従来得られなかった高密度
磁石材料が得られ、一層の性能向上が実現することにな
る。
【００１３】本発明の請求項２に係わる異方性バルク交
換スプリング磁石においては、その結晶粒径が５０ｎｍ
〜５μｍの範囲としたことにより、磁気特性が良好とな
る。すなわち、結晶粒径が５０ｎｍよりも小さいと結晶
粒界が増大して磁束密度が低下してしまい、反対に５μ
ｍを超えると交換結合が弱まって磁石特性が低下してし
まうことになる。
換スプリング磁石においては、その結晶粒径が５０ｎｍ
〜５μｍの範囲としたことにより、磁気特性が良好とな
る。すなわち、結晶粒径が５０ｎｍよりも小さいと結晶
粒界が増大して磁束密度が低下してしまい、反対に５μ
ｍを超えると交換結合が弱まって磁石特性が低下してし
まうことになる。
【００１４】本発明の請求項３に係わる異方性バルク交
換スプリング磁石においては、希土類元素を２〜１３原
子％、Ｂ（ほう素）を１〜２５原子％の範囲で含んでい
ることから、磁気特性が向上する。なお、この範囲外で
はソフト相とハード相の構成比のバランスが崩れ、良好
な磁石特性が得られなくなってしまう。
換スプリング磁石においては、希土類元素を２〜１３原
子％、Ｂ（ほう素）を１〜２５原子％の範囲で含んでい
ることから、磁気特性が向上する。なお、この範囲外で
はソフト相とハード相の構成比のバランスが崩れ、良好
な磁石特性が得られなくなってしまう。
【００１５】また、本発明の請求項４に係わる異方性バ
ルク交換スプリング磁石においては、Ｖ、Ｚｒ、Ｇａ、
Ｎｂ、Ｃｕからなる群から選ばれる１種類以上の元素が
合計で０．０１〜５原子％添加されているので、焼結時
の結晶粒成長が抑えられ、磁石特性が向上することにな
る。このとき、これらの添加量が０．０５原子％に満た
ない場合には、添加剤としての効果が得られず、逆に５
原子％を超えた場合には、非磁性化合物増加による磁気
特性の劣化という不都合が生じる傾向がある。
ルク交換スプリング磁石においては、Ｖ、Ｚｒ、Ｇａ、
Ｎｂ、Ｃｕからなる群から選ばれる１種類以上の元素が
合計で０．０１〜５原子％添加されているので、焼結時
の結晶粒成長が抑えられ、磁石特性が向上することにな
る。このとき、これらの添加量が０．０５原子％に満た
ない場合には、添加剤としての効果が得られず、逆に５
原子％を超えた場合には、非磁性化合物増加による磁気
特性の劣化という不都合が生じる傾向がある。
【００１６】本発明に係わる異方性バルク交換スプリン
グ磁石の製造方法においては、請求項５に記載している
ように、希土類元素を含み、水素反応させていない合金
を粉砕して得られた原料粉末を磁場中配向させながら型
内で圧縮成形し、この状態で７００℃以上で水素化およ
び脱水素処理を行い、その後の降温過程で加圧するよう
にしており、以上の工程によって得られた焼結体は、ハ
ード相とソフト相で構成され、ハード相の磁化容易軸が
一方向に揃い、高密度化された異方性バルク交換スプリ
ング磁石となる。
グ磁石の製造方法においては、請求項５に記載している
ように、希土類元素を含み、水素反応させていない合金
を粉砕して得られた原料粉末を磁場中配向させながら型
内で圧縮成形し、この状態で７００℃以上で水素化およ
び脱水素処理を行い、その後の降温過程で加圧するよう
にしており、以上の工程によって得られた焼結体は、ハ
ード相とソフト相で構成され、ハード相の磁化容易軸が
一方向に揃い、高密度化された異方性バルク交換スプリ
ング磁石となる。
【００１７】このとき、原料粉末としては、例えば上記
のように、希土類元素含有量が２〜１３原子％、Ｂ含有
量が１〜２５原子％に調整された結晶質合金を５μｍ以
下程度の粒径に粉砕して得られた粉末を用いることがで
き、この原料粉末を金型に入れて磁場中配向させ、例え
ば１〜２ｔｏｎ／ｃｍ2程度の圧力で加圧して圧縮成形
体を得る。得られた成形体をこの状態、すなわち金型に
入れたままで、水素フロー中で７００℃以上、例えば７
００〜９００℃で１〜３時間保持して水素化処理を施し
た後、同程度の温度で減圧状態にして脱水素反応させ
る。そして、その後の降温時に、例えば３ｔｏｎ／ｃｍ
2以上の圧力で加圧する。
のように、希土類元素含有量が２〜１３原子％、Ｂ含有
量が１〜２５原子％に調整された結晶質合金を５μｍ以
下程度の粒径に粉砕して得られた粉末を用いることがで
き、この原料粉末を金型に入れて磁場中配向させ、例え
ば１〜２ｔｏｎ／ｃｍ2程度の圧力で加圧して圧縮成形
体を得る。得られた成形体をこの状態、すなわち金型に
入れたままで、水素フロー中で７００℃以上、例えば７
００〜９００℃で１〜３時間保持して水素化処理を施し
た後、同程度の温度で減圧状態にして脱水素反応させ
る。そして、その後の降温時に、例えば３ｔｏｎ／ｃｍ
2以上の圧力で加圧する。
【００１８】粉砕工程は、得られた異方性バルク交換ス
プリング磁石の結晶粒径を５０ｎｍ〜５μmの範囲とす
るために必要であり、例えばハンマーなどの工具やボー
ルミルなどの装置による機械的外力によって粉砕するこ
とができるが、その方法については特に限定されない。
プリング磁石の結晶粒径を５０ｎｍ〜５μmの範囲とす
るために必要であり、例えばハンマーなどの工具やボー
ルミルなどの装置による機械的外力によって粉砕するこ
とができるが、その方法については特に限定されない。
【００１９】次いで、得られた粉末に磁場をかけること
によって、ハード相の結晶中の磁化容易軸が配向磁場方
向に揃うようになり、成形体が異方性を備えることにな
る。このとき、圧縮成形を行うことにより、粉末はある
程度の塊状をなし、次工程での取り扱いが容易になる。
ただし、この段階で得られた結晶質磁石合金成形体は、
保磁力が極めて小さく、永久磁石として使用することが
できない。
によって、ハード相の結晶中の磁化容易軸が配向磁場方
向に揃うようになり、成形体が異方性を備えることにな
る。このとき、圧縮成形を行うことにより、粉末はある
程度の塊状をなし、次工程での取り扱いが容易になる。
ただし、この段階で得られた結晶質磁石合金成形体は、
保磁力が極めて小さく、永久磁石として使用することが
できない。
【００２０】次に、水素フロー中でにおいて７００℃以
上に保持した後、同程度の温度で水素化および脱水素処
理を行うが、この成形体を公知の水素吸蔵、脱水素処理
（ＨＤＤＲ）することによって、配向性を維持したまま
結晶粒を微細化して保磁力が発現され、永久磁石として
の使用に耐えるものとなる。このとき、前記ＨＤＤＲ
（脱水素）処理を７００℃以上で行うことにより、保磁
力と配向性が確保されることになる。そして、ＨＤＤＲ
処理後の降温過程において焼結体を加圧することによっ
て、高密度化された異方性バルク交換スプリング磁石が
実現する。
上に保持した後、同程度の温度で水素化および脱水素処
理を行うが、この成形体を公知の水素吸蔵、脱水素処理
（ＨＤＤＲ）することによって、配向性を維持したまま
結晶粒を微細化して保磁力が発現され、永久磁石として
の使用に耐えるものとなる。このとき、前記ＨＤＤＲ
（脱水素）処理を７００℃以上で行うことにより、保磁
力と配向性が確保されることになる。そして、ＨＤＤＲ
処理後の降温過程において焼結体を加圧することによっ
て、高密度化された異方性バルク交換スプリング磁石が
実現する。
【００２１】これまで、ＨＤＤＲ処理は、保磁力を発現
する磁石粉末を製造するために用いられてきており、一
旦ＨＤＤＲ処理で作製された粉末を磁場中成形して再度
加圧および加熱することによりバルク体を得ることが提
案されているが、この方法では熱処理過程がＨＤＤＲ処
理にバルク作製処理を加えた２工程となって結晶粒径の
増加を招くため、磁石特性が低下してしまい、微細な結
晶粒を維持することがとくに要求される交換スプリング
磁石に対しては、永久磁石としては全く機能しないもの
になってしまっていた。
する磁石粉末を製造するために用いられてきており、一
旦ＨＤＤＲ処理で作製された粉末を磁場中成形して再度
加圧および加熱することによりバルク体を得ることが提
案されているが、この方法では熱処理過程がＨＤＤＲ処
理にバルク作製処理を加えた２工程となって結晶粒径の
増加を招くため、磁石特性が低下してしまい、微細な結
晶粒を維持することがとくに要求される交換スプリング
磁石に対しては、永久磁石としては全く機能しないもの
になってしまっていた。
【００２２】本発明においては、交換スプリング磁石の
微細構造を維持するためＨＤＤＲ処理の降温過程で加圧
することによってこの問題を解消し、高密度化された異
方性バルク磁石を得るようにしている。このとき、降温
過程における加圧処理と同時に外部から改めて磁場を印
加することによって配向性が高められる。
微細構造を維持するためＨＤＤＲ処理の降温過程で加圧
することによってこの問題を解消し、高密度化された異
方性バルク磁石を得るようにしている。このとき、降温
過程における加圧処理と同時に外部から改めて磁場を印
加することによって配向性が高められる。
【００２３】原料粉末を配向させるに際しては、請求項
６に記載しているように、外部磁界を１０ｋＯｅ以上が
望ましい。すなわち、外部磁界が１０ｋＯｅ未満では配
向度が低下して磁石特性の劣化が顕著となる傾向がある
ことによる。
６に記載しているように、外部磁界を１０ｋＯｅ以上が
望ましい。すなわち、外部磁界が１０ｋＯｅ未満では配
向度が低下して磁石特性の劣化が顕著となる傾向がある
ことによる。
【００２４】ＨＤＤＲ処理後の降温過程における降温条
件としては、請求項７に記載しているように、５Ｋ／ｍ
ｉｎ．以上の冷却速度を採用することが望ましい。これ
は、冷却速度が５Ｋ／ｍｉｎ．に満たない場合には、結
晶粒乃成長が顕著となって磁石特性が劣化する傾向があ
ることによる。
件としては、請求項７に記載しているように、５Ｋ／ｍ
ｉｎ．以上の冷却速度を採用することが望ましい。これ
は、冷却速度が５Ｋ／ｍｉｎ．に満たない場合には、結
晶粒乃成長が顕著となって磁石特性が劣化する傾向があ
ることによる。
【００２５】また、ＨＤＤＲ処理後の降温過程における
加圧条件については、請求項８に記載しているように、
型温が４００℃以上の温度範囲にあるときに加圧するこ
とが望ましく、加圧圧力を３ｔｏｎ／ｃｍ2以上とする
ことが望ましい。これは、焼結体の高密度化に望ましい
条件であり、この範囲を外れると高性能磁石が実現でき
ないことがあることによる。
加圧条件については、請求項８に記載しているように、
型温が４００℃以上の温度範囲にあるときに加圧するこ
とが望ましく、加圧圧力を３ｔｏｎ／ｃｍ2以上とする
ことが望ましい。これは、焼結体の高密度化に望ましい
条件であり、この範囲を外れると高性能磁石が実現でき
ないことがあることによる。
【００２６】本発明に係わる異方性バルク交換スプリン
グ磁石の製造方法においては、ＨＤＤＲ処理後の降温過
程において焼結体を加圧することを特徴としているが、
請求項９に記載しているように、加圧と同時に外部磁場
を印加することによって、さらに磁石特性が向上する。
これは、降温時に印加された外部磁場によって成長する
微結晶の成長方向が制御され、結果として得られる磁石
の配向性が向上することによる。降温時の外部磁場の印
加方向は、ＨＤＤＲ処理前に磁場中配向させるために印
加した磁場方向に平行または垂直方向の何れかとした場
合に磁石特性が最も向上する結果が得られる。また、こ
のときの磁場強度としては、請求項１０に記載している
ように、５ｋＯｅ以上の場合に良好な特性が得られるこ
とが確認されている。
グ磁石の製造方法においては、ＨＤＤＲ処理後の降温過
程において焼結体を加圧することを特徴としているが、
請求項９に記載しているように、加圧と同時に外部磁場
を印加することによって、さらに磁石特性が向上する。
これは、降温時に印加された外部磁場によって成長する
微結晶の成長方向が制御され、結果として得られる磁石
の配向性が向上することによる。降温時の外部磁場の印
加方向は、ＨＤＤＲ処理前に磁場中配向させるために印
加した磁場方向に平行または垂直方向の何れかとした場
合に磁石特性が最も向上する結果が得られる。また、こ
のときの磁場強度としては、請求項１０に記載している
ように、５ｋＯｅ以上の場合に良好な特性が得られるこ
とが確認されている。
【００２７】このような製造方法により、本発明に係わ
る異方性バルク交換スプリング磁石を製造するためのそ
うちとしては、請求項１１に記載しているように、原料
粉末を成形するための型と、圧縮機構と、磁場印加機構
と、加熱機構と、水素供給機構と、真空排気機構とを併
せ持った製造装置を使用することができる。
る異方性バルク交換スプリング磁石を製造するためのそ
うちとしては、請求項１１に記載しているように、原料
粉末を成形するための型と、圧縮機構と、磁場印加機構
と、加熱機構と、水素供給機構と、真空排気機構とを併
せ持った製造装置を使用することができる。
【００２８】また、製造された本発明の異方性バルク交
換スプリング磁石は、極めて大きな最大エネルギ積を有
しているので、モータ、磁界センサ、回転センサ、加速
度センサ、トルクセンサ、さらには電気自動車やハイブ
リッド電気自動車の駆動用モータに使用することによっ
て、デバイスの高出力化および小型化、高効率化を実現
することができ、特にエンジンと駆動モータを併せ備え
る必要があるハイブリッド電気自動車の駆動モータに適
用することにより、これまでスペースの確保が困難であ
った場所にも駆動用モータを搭載することができるよう
になり、環境問題を一気に解決できる可能性を有する。
換スプリング磁石は、極めて大きな最大エネルギ積を有
しているので、モータ、磁界センサ、回転センサ、加速
度センサ、トルクセンサ、さらには電気自動車やハイブ
リッド電気自動車の駆動用モータに使用することによっ
て、デバイスの高出力化および小型化、高効率化を実現
することができ、特にエンジンと駆動モータを併せ備え
る必要があるハイブリッド電気自動車の駆動モータに適
用することにより、これまでスペースの確保が困難であ
った場所にも駆動用モータを搭載することができるよう
になり、環境問題を一気に解決できる可能性を有する。
【００２９】
【発明の効果】本発明に係わる異方性バルク交換スプリ
ング磁石は、ソフト相とハード相を有する交換スプリン
グ磁石であって、ハード相の結晶方向の磁化容易軸が一
方向に揃っている構成としたものであるから、出力特性
が向上するという極めて顕著な効果をもたらすものであ
る。
ング磁石は、ソフト相とハード相を有する交換スプリン
グ磁石であって、ハード相の結晶方向の磁化容易軸が一
方向に揃っている構成としたものであるから、出力特性
が向上するという極めて顕著な効果をもたらすものであ
る。
【００３０】本発明の請求項２に係わる異方性バルク交
換スプリング磁石においては、結晶粒直径が５０ｎｍ〜
５μｍの範囲にあるものであるから、磁束密度の低下や
交換結合の劣化を防止して磁気特性を良好なものとする
ことができ、請求項３に係わる異方性バルク交換スプリ
ング磁石においては、希土類元素を２〜１３原子％、Ｂ
を１〜２５原子％含んでいるものであるから、ソフト相
とハード相の構成比のバランスを良好なものとして磁気
特性をさらに向上させることができ、請求項４に係わる
異方性バルク交換スプリング磁石においては、Ｖ、Ｚ
ｒ、Ｇａ、Ｎｂ、Ｃｕからなる群から選ばれる１種類以
上の元素を添加剤として、合計で０．０１〜５原子％含
んでいることから、燒結時の結晶粒成長を制御して磁石
特性を一層向上させることができる。
換スプリング磁石においては、結晶粒直径が５０ｎｍ〜
５μｍの範囲にあるものであるから、磁束密度の低下や
交換結合の劣化を防止して磁気特性を良好なものとする
ことができ、請求項３に係わる異方性バルク交換スプリ
ング磁石においては、希土類元素を２〜１３原子％、Ｂ
を１〜２５原子％含んでいるものであるから、ソフト相
とハード相の構成比のバランスを良好なものとして磁気
特性をさらに向上させることができ、請求項４に係わる
異方性バルク交換スプリング磁石においては、Ｖ、Ｚ
ｒ、Ｇａ、Ｎｂ、Ｃｕからなる群から選ばれる１種類以
上の元素を添加剤として、合計で０．０１〜５原子％含
んでいることから、燒結時の結晶粒成長を制御して磁石
特性を一層向上させることができる。
【００３１】本発明の請求項５に係わる異方性バルク交
換スプリング磁石の製造方法においては、希土類元素を
含み、水素反応させていない合金を粉砕して得られた原
料粉末を磁場中配向させながら型内で圧縮成形し、この
状態で７００℃以上で水素化および脱水素処理を行い、
その後の降温過程で加圧するようにしているので、ソフ
ト相とハード相を有し、ハード相の磁化容易軸が一方向
に揃い、高密度化された異方性バルク交換スプリング磁
石を得ることができる。
換スプリング磁石の製造方法においては、希土類元素を
含み、水素反応させていない合金を粉砕して得られた原
料粉末を磁場中配向させながら型内で圧縮成形し、この
状態で７００℃以上で水素化および脱水素処理を行い、
その後の降温過程で加圧するようにしているので、ソフ
ト相とハード相を有し、ハード相の磁化容易軸が一方向
に揃い、高密度化された異方性バルク交換スプリング磁
石を得ることができる。
【００３２】本発明の請求項６に係わる異方性バルク交
換スプリング磁石の製造方法においては、原料粉末を１
０ｋＯｅ以上の磁場中で配向させるようにしているの
で、配向度を向上させて、目的の異方性磁石を得ること
ができ、請求項７に係わる異方性バルク交換スプリング
磁石の製造方法においては、降温に際して５Ｋ／ｍｉ
ｎ．以上の冷却速度で降温するようにしているので、結
晶粒成長を抑えつつ冷却することができ、請求項８に係
わる交換スプリング磁石の製造方法においては、同じく
降温に際して、型温が４００℃以上の温度範囲のとき
に、３ｔｏｎ／ｃｍ2以上の加圧力で加圧するようにし
ているので、燒結体を高密度化することができ、高性能
磁石を実現することができる。
換スプリング磁石の製造方法においては、原料粉末を１
０ｋＯｅ以上の磁場中で配向させるようにしているの
で、配向度を向上させて、目的の異方性磁石を得ること
ができ、請求項７に係わる異方性バルク交換スプリング
磁石の製造方法においては、降温に際して５Ｋ／ｍｉ
ｎ．以上の冷却速度で降温するようにしているので、結
晶粒成長を抑えつつ冷却することができ、請求項８に係
わる交換スプリング磁石の製造方法においては、同じく
降温に際して、型温が４００℃以上の温度範囲のとき
に、３ｔｏｎ／ｃｍ2以上の加圧力で加圧するようにし
ているので、燒結体を高密度化することができ、高性能
磁石を実現することができる。
【００３３】また、請求項９に係わる異方性バルク交換
スプリング磁石の製造方法においては、同じく降温過程
において外部から磁場を印加するようにしていることか
ら、配向性をさらに高めて、磁石特性を一層向上させル
ことができ、請求項１０に係わる交換スプリング磁石の
製造方法においては、このときの磁場強度を５ｋＯｅ以
上としているので、外部磁場の印加による上記効果をよ
り確実なものとすることができるという効果がもたらさ
れる。
スプリング磁石の製造方法においては、同じく降温過程
において外部から磁場を印加するようにしていることか
ら、配向性をさらに高めて、磁石特性を一層向上させル
ことができ、請求項１０に係わる交換スプリング磁石の
製造方法においては、このときの磁場強度を５ｋＯｅ以
上としているので、外部磁場の印加による上記効果をよ
り確実なものとすることができるという効果がもたらさ
れる。
【００３４】本発明の請求項１１に係わる異方性バルク
交換スプリング磁石の製造装置は、原料粉末を成形する
型と、圧縮機構と、磁場印加機構と、加熱機構と、水素
供給機構と、真空排気機構とを併せ備えたものであるか
ら、上記製造方法に基づいて、本発明に係わる上記異方
性バルク交換スプリング磁石を円滑に製造することがで
きる。
交換スプリング磁石の製造装置は、原料粉末を成形する
型と、圧縮機構と、磁場印加機構と、加熱機構と、水素
供給機構と、真空排気機構とを併せ備えたものであるか
ら、上記製造方法に基づいて、本発明に係わる上記異方
性バルク交換スプリング磁石を円滑に製造することがで
きる。
【００３５】さらに、本発明の請求項１２ないし請求項
１４に係わるモータ、磁界センサ、回転センサ、加速度
センサ、トルクセンサにおいては、いずれも本発明に係
わる上記異方性バルク交換スプリング磁石を適用したも
のであるから、これらデバイスの高出力化、小型化、高
効率化が可能になるという極めて優れた効果がもたらさ
れる。とくに、エンジンと駆動モータを併せ持つ必要が
あるハイブリッド電気自動車の駆動モータに適用すれ
ば、これまでスペースの確保が困難であった場所にも駆
動用モータを搭載することが可能となる。
１４に係わるモータ、磁界センサ、回転センサ、加速度
センサ、トルクセンサにおいては、いずれも本発明に係
わる上記異方性バルク交換スプリング磁石を適用したも
のであるから、これらデバイスの高出力化、小型化、高
効率化が可能になるという極めて優れた効果がもたらさ
れる。とくに、エンジンと駆動モータを併せ持つ必要が
あるハイブリッド電気自動車の駆動モータに適用すれ
ば、これまでスペースの確保が困難であった場所にも駆
動用モータを搭載することが可能となる。
【００３６】
【実施例】以下に、本発明を実施例に基づいてより具体
的に説明する。
的に説明する。
【００３７】実施例１ ＮｄxＦｅ94-xＢ6で表され、ｘを１〜１５まで変化させ
た組成の合金をそれぞれ高周波誘導溶解し、ジェットミ
ルにより４μｍに粉砕して得られた粉末を磁場中プレス
して成形したのち、ＨＤＤＲ処理を行い、その後の降温
過程で加圧および磁場を印加して、異方性バルク交換ス
プリング磁石を作製した。得られたバルク体は、最大２
５ｋＯｅの直流ＢＨトレーサにて磁場中プレス時の磁場
印加方向と、これに垂直な方向における磁化曲線を測定
し、これらの曲線の違いによって異方性の有無を確認し
た。
た組成の合金をそれぞれ高周波誘導溶解し、ジェットミ
ルにより４μｍに粉砕して得られた粉末を磁場中プレス
して成形したのち、ＨＤＤＲ処理を行い、その後の降温
過程で加圧および磁場を印加して、異方性バルク交換ス
プリング磁石を作製した。得られたバルク体は、最大２
５ｋＯｅの直流ＢＨトレーサにて磁場中プレス時の磁場
印加方向と、これに垂直な方向における磁化曲線を測定
し、これらの曲線の違いによって異方性の有無を確認し
た。
【００３８】なお、磁場中プレス時の印加磁場は１５ｋ
Ｏｅとし、ＨＤＤＲ処理は、８５０℃×２時間の水素吸
蔵処理と、８５０℃×１時間の脱水素処理からなるもの
とした。また、降温過程においては、１０ｋＯｅの磁場
中において、５ｔｏｎ／ｃｍ 2で加圧しながら２０Ｋ／
ｍｉｎ．の冷却速度で４００℃まで冷却し、その後加圧
圧力を開放した。
Ｏｅとし、ＨＤＤＲ処理は、８５０℃×２時間の水素吸
蔵処理と、８５０℃×１時間の脱水素処理からなるもの
とした。また、降温過程においては、１０ｋＯｅの磁場
中において、５ｔｏｎ／ｃｍ 2で加圧しながら２０Ｋ／
ｍｉｎ．の冷却速度で４００℃まで冷却し、その後加圧
圧力を開放した。
【００３９】図１は、得られた磁石の最大エネルギ積Ｂ
Ｈｍの相対値とｘ値（Ｎｄ量）、すなわち希土類元素量
の関係を示す異方性バルク交換スプリング磁石ものであ
って、希土類元素量が２〜１３原子％において良好な磁
石特性が得られることが確認された。
Ｈｍの相対値とｘ値（Ｎｄ量）、すなわち希土類元素量
の関係を示す異方性バルク交換スプリング磁石ものであ
って、希土類元素量が２〜１３原子％において良好な磁
石特性が得られることが確認された。
【００４０】実施例２ Ｎｄ9Ｆｅ91-yＢyで表され、ｙを１〜３０まで変化させ
た組成の合金をそれぞれ高周波誘導溶解したのち、上記
実施例１と同じ工程によって異方性バルク交換スプリン
グ磁石を作製した。
た組成の合金をそれぞれ高周波誘導溶解したのち、上記
実施例１と同じ工程によって異方性バルク交換スプリン
グ磁石を作製した。
【００４１】図２は、得られた磁石の最大エネルギ積Ｂ
Ｈｍの相対値とｙ値、すなわちＢ量の関係を示すもので
あって、Ｂ量が１〜２５原子％の範囲において良好な磁
石特性が得られることが確認された。
Ｈｍの相対値とｙ値、すなわちＢ量の関係を示すもので
あって、Ｂ量が１〜２５原子％の範囲において良好な磁
石特性が得られることが確認された。
【００４２】実施例３ 実施例１において良好な磁石特性が確認されたＮｄ9Ｆ
ｅ85Ｂ6の組成を有し、通常のＨＤＤＲ処理を行った粉
末を用いて、これをそれぞれの温度でホットプレスして
得られたバルク体の保持力の相対値を同組成の上記実施
例と比較した。
ｅ85Ｂ6の組成を有し、通常のＨＤＤＲ処理を行った粉
末を用いて、これをそれぞれの温度でホットプレスして
得られたバルク体の保持力の相対値を同組成の上記実施
例と比較した。
【００４３】その結果は図３に示すとおりで、ホットプ
レスによって得られたバルク体は熱処理工程を２回経て
いるために、保持力は低下し、磁石特性が劣化している
ことが確認された。
レスによって得られたバルク体は熱処理工程を２回経て
いるために、保持力は低下し、磁石特性が劣化している
ことが確認された。
【００４４】実施例４ 実施例１において良好な磁石特性が確認されたＮｄ9Ｆ
ｅ85Ｂ6の組成の合金に対して、添加剤として、表１に
示す各種元素をＦｅに置換する形で添加した合金粉末を
用い、実施例１と同じ工程によって異方性バルク交換ス
プリング磁石を作製した。そして得られたバルク磁石の
最大エネルギ積ＢＨｍの相対値を表１に併せて示す。表
１から明らかなように、Ｖ、Ｚｒ、Ｇａ、Ｎｂ、Ｃｕよ
りなる群から選ばれる１種類以上の元素を合計で０．０
１〜５原子％含んだ場合に磁石特性が向上していること
が判明した。
ｅ85Ｂ6の組成の合金に対して、添加剤として、表１に
示す各種元素をＦｅに置換する形で添加した合金粉末を
用い、実施例１と同じ工程によって異方性バルク交換ス
プリング磁石を作製した。そして得られたバルク磁石の
最大エネルギ積ＢＨｍの相対値を表１に併せて示す。表
１から明らかなように、Ｖ、Ｚｒ、Ｇａ、Ｎｂ、Ｃｕよ
りなる群から選ばれる１種類以上の元素を合計で０．０
１〜５原子％含んだ場合に磁石特性が向上していること
が判明した。
【００４５】
【表１】
【００４６】実施例５ Ｎｄ9Ｆｅ84Ｖ1Ｂ6の組成の合金粉末を用いて、実施例
１と同様の工程により異方性バルク交換スプリング磁石
を作製するに際して、降温過程の降温速度のみを変化さ
せた。そして得られたバルク磁石の最大エネルギ積ＢＨ
ｍの相対値と降温速度との関係を図４に示す。図から明
らかなように、降温速度が５Ｋ／ｍｉｎ．以上で温度を
低下させた場合に、良好な磁石特性が得られた。
１と同様の工程により異方性バルク交換スプリング磁石
を作製するに際して、降温過程の降温速度のみを変化さ
せた。そして得られたバルク磁石の最大エネルギ積ＢＨ
ｍの相対値と降温速度との関係を図４に示す。図から明
らかなように、降温速度が５Ｋ／ｍｉｎ．以上で温度を
低下させた場合に、良好な磁石特性が得られた。
【００４７】実施例６ 図５は、Ｎｄ9Ｆｅ83Ｃｕ3Ｂ6の組成の合金粉末を用い
て、実施例１と同様の工程において異方性バルク交換ス
プリング磁石を作製するに際して、降温過程における加
圧圧力と加圧時の温度範囲を変化させた場合の密度変化
を示したものであって、良好な磁石特性を備えた高密度
の磁石は、加圧圧力が５ｔｏｎ／ｃｍ2以上で、かつ加
圧温度範囲が４００℃以上で得られることが確認され
た。
て、実施例１と同様の工程において異方性バルク交換ス
プリング磁石を作製するに際して、降温過程における加
圧圧力と加圧時の温度範囲を変化させた場合の密度変化
を示したものであって、良好な磁石特性を備えた高密度
の磁石は、加圧圧力が５ｔｏｎ／ｃｍ2以上で、かつ加
圧温度範囲が４００℃以上で得られることが確認され
た。
【００４８】実施例７ 図６は、Ｎｄ4Ｆｅ71Ｃｕ5Ｂ20の組成の合金粉末を用い
て、実施例１と同様の工程により異方性バルク交換スプ
リング磁石を作製するに際して、降温過程における外部
磁場強度を変化させた場合の外部磁場強度と得られたバ
ルク磁石の最大エネルギ積ＢＨｍの相対値との関係を示
すものである。なお、外部磁場の印加方向は、粉末を磁
場中プレスによって配向させたときの磁場方向に平行と
した。図から明らかなように、外部磁場強度が５ｋＯｅ
以上のときに磁石特性が向上することが判明した。
て、実施例１と同様の工程により異方性バルク交換スプ
リング磁石を作製するに際して、降温過程における外部
磁場強度を変化させた場合の外部磁場強度と得られたバ
ルク磁石の最大エネルギ積ＢＨｍの相対値との関係を示
すものである。なお、外部磁場の印加方向は、粉末を磁
場中プレスによって配向させたときの磁場方向に平行と
した。図から明らかなように、外部磁場強度が５ｋＯｅ
以上のときに磁石特性が向上することが判明した。
【００４９】実施例８ 図７は、本発明に係わる異方性バルク交換スプリング磁
石１を用いた電気自動車またはハイブリッド電気自動
車、あるいは燃料電池自動車用の駆動用モータの構造を
示すものであって、このようなバルク磁石１は、駆動用
モータの小型化および軽量化、高性能化を可能にし、ク
リーンエネルギー化に大きくする寄与するものである。
なお、図中において記号２，３，４は、それぞれロータ
部、スロット（巻線）、ステータ部を示す。
石１を用いた電気自動車またはハイブリッド電気自動
車、あるいは燃料電池自動車用の駆動用モータの構造を
示すものであって、このようなバルク磁石１は、駆動用
モータの小型化および軽量化、高性能化を可能にし、ク
リーンエネルギー化に大きくする寄与するものである。
なお、図中において記号２，３，４は、それぞれロータ
部、スロット（巻線）、ステータ部を示す。
【図１】ＮｄxＦｅ94-xＢ6の組成を有する異方性バルク
交換スプリング磁石の最大エネルギ積ＢＨｍ（相対値）
と希土類元素量の関係を示すグラフである。
交換スプリング磁石の最大エネルギ積ＢＨｍ（相対値）
と希土類元素量の関係を示すグラフである。
【図２】Ｎｄ9Ｆｅ91-yＢyの組成を有する異方性バルク
交換スプリング磁石の最大エネルギ積ＢＨｍ（相対値）
とＢ量の関係を示すグラフである。
交換スプリング磁石の最大エネルギ積ＢＨｍ（相対値）
とＢ量の関係を示すグラフである。
【図３】Ｎｄ9Ｆｅ85Ｂ6の組成を有しホットプレスによ
って得られた磁石の保磁力（相対値）を本発明に係わる
同組成の異方性バルク交換スプリング磁石と比較して示
すグラフである。
って得られた磁石の保磁力（相対値）を本発明に係わる
同組成の異方性バルク交換スプリング磁石と比較して示
すグラフである。
【図４】Ｎｄ9Ｆｅ84Ｖ1Ｂ6の組成の有する異方性バル
ク交換スプリング磁石の保磁力（相対値）に及ぼす降温
速度の影響を示すグラフである。
ク交換スプリング磁石の保磁力（相対値）に及ぼす降温
速度の影響を示すグラフである。
【図５】Ｎｄ9Ｆｅ83Ｃｕ3Ｂ6の組成の有する異方性バ
ルク交換スプリング磁石の密度に及ぼす降温過程におけ
る加圧圧力と加圧時の温度範囲の影響を示すグラフであ
る。
ルク交換スプリング磁石の密度に及ぼす降温過程におけ
る加圧圧力と加圧時の温度範囲の影響を示すグラフであ
る。
【図６】Ｎｄ4Ｆｅ71Ｃｕ5Ｂ20の組成の有する異方性バ
ルク交換スプリング磁石の最大エネルギ積ＢＨｍ（相対
値）に及ぼす降温過程における印加磁場の影響を示すグ
ラフである。
ルク交換スプリング磁石の最大エネルギ積ＢＨｍ（相対
値）に及ぼす降温過程における印加磁場の影響を示すグ
ラフである。
【図７】本発明に係わる異方性バルク交換スプリング磁
石を用いた自動車の駆動用モータの構造を示す概略図で
ある。
石を用いた自動車の駆動用モータの構造を示す概略図で
ある。
１ 異方性バルク交換スプリング磁石
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｈ０１Ｆ 41/02 Ｃ２２Ｃ 33/02 Ｊ // Ｃ２２Ｃ 33/02 Ｋ Ｈ０１Ｆ 1/04 Ｈ (72)発明者 島 田 宗 勝 神奈川県横浜市神奈川区宝町２番地 日産 自動車株式会社内 Ｆターム(参考） 4K018 AA27 BA18 CA04 DA11 DA33 EA06 KA45 5E040 AA04 CA01 HB06 HB07 HB11 HB19 NN18 5E062 CD04 CE04 CF05 CG03
Claims (16)
- 【請求項１】 ソフト相とハード相を有する交換スプリ
ング磁石であって、ハード相の結晶方向の磁化容易軸が
一方向に揃っていることを特徴とする異方性バルク交換
スプリング磁石。 - 【請求項２】 結晶粒直径が５０ｎｍ〜５μｍの範囲に
あることを特徴とする請求項１記載の異方性バルク交換
スプリング磁石。 - 【請求項３】 元素配合比として希土類元素を２〜１３
原子％、Ｂ（ほう素）を１〜２５原子％含んでいること
を特徴とする請求項１または請求項２記載の異方性バル
ク交換スプリング磁石。 - 【請求項４】 添加剤として、Ｖ、Ｚｒ、Ｇａ、Ｎｂ、
Ｃｕからなる群から選ばれる１種類以上の元素を合計で
０．０１〜５原子％含んでいることを特徴とする請求項
１ないし請求項３のいずれかに記載の異方性バルク交換
スプリング磁石。 - 【請求項５】 希土類元素を含み、水素反応させていな
い合金を粉砕して得られた原料粉末を磁場中配向させな
がら型内で圧縮成形し、この状態で７００℃以上で水素
化および脱水素処理を行い、その後の降温過程で加圧す
ることを特徴とする請求項１ないし請求項４のいずれか
に記載の異方性バルク交換スプリング磁石の製造方法。 - 【請求項６】 原料粉末を１０ｋＯｅ以上の磁場中で配
向させることを特徴とする請求項５記載の異方性バルク
交換スプリング磁石の製造方法。 - 【請求項７】 降温過程において、５Ｋ／ｍｉｎ．以上
の冷却速度で降温することを特徴とする請求項５または
請求項６記載の異方性バルク交換スプリング磁石の製造
方法。 - 【請求項８】 降温過程において、型温が４００℃以上
の温度範囲のときに、３ｔｏｎ／ｃｍ2以上の加圧力で
加圧することを特徴とする請求項５ないし請求項７のい
ずれかに記載の異方性バルク交換スプリング磁石の製造
方法。 - 【請求項９】 降温過程において、外部から磁場を印加
することを特徴とする請求項５ないし請求項８のいずれ
かに記載の異方性バルク交換スプリング磁石の製造方
法。 - 【請求項１０】 磁場強度が５ｋＯｅ以上であることを
特徴とする請求項９記載の異方性バルク交換スプリング
磁石の製造方法。 - 【請求項１１】 原料粉末を成形する型と、圧縮機構
と、磁場印加機構と、加熱機構と、水素供給機構と、真
空排気機構とを併せ持つことを特徴とする請求項１ない
し請求項４のいずれかに記載の異方性バルク交換スプリ
ング磁石の製造装置。 - 【請求項１２】 請求項１ないし請求項４のいずれかに
記載の異方性バルク交換スプリング磁石が用いてあるこ
とを特徴とするモータ。 - 【請求項１３】 請求項１ないし請求項４のいずれかに
記載の異方性バルク交換スプリング磁石が用いてあるこ
とを特徴とする磁界センサ。 - 【請求項１４】 請求項１ないし請求項４のいずれかに
記載の異方性バルク交換スプリング磁石が用いてあるこ
とを特徴とする回転センサ。 - 【請求項１５】 請求項１ないし請求項４のいずれかに
記載の異方性バルク交換スプリング磁石が用いてあるこ
とを特徴とする加速度センサ。 - 【請求項１６】 請求項１ないし請求項４のいずれかに
記載の異方性バルク交換スプリング磁石が用いてあるこ
とを特徴とするトルクセンサ。
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