JP2002014223A - 黄色フィルタ層を有する色フィルタアレイおよびその製造方法 - Google Patents
黄色フィルタ層を有する色フィルタアレイおよびその製造方法Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 露光光に対する良好な透過性を備えて短時間
で形成し得ると共に、良好な耐光性を備えた感光性樹脂
組成物を提供する。 【解決手段】 基体上に黄色フィルタ層を有してなり、
該黄色フィルタ層は波長４００〜５００ｎｍに吸収極大
を有するピリドンアゾ系色素を含有し透過率が波長４５
０ｎｍで５％以下であり波長５３５ｎｍで８０％以上で
あり波長６５０ｎｍで９０％以上であることを特徴とす
る色フィルタアレイ。ポジ型またはネガ型感光性樹脂組
成物をパターンニングして黄色フィルタ層を形成する工
程により形成することができる。この色フィルタアレイ
は、電荷結合素子の前面側に配置されて固体撮像素子に
用いられる。液晶表示素子にも用いられる。
で形成し得ると共に、良好な耐光性を備えた感光性樹脂
組成物を提供する。 【解決手段】 基体上に黄色フィルタ層を有してなり、
該黄色フィルタ層は波長４００〜５００ｎｍに吸収極大
を有するピリドンアゾ系色素を含有し透過率が波長４５
０ｎｍで５％以下であり波長５３５ｎｍで８０％以上で
あり波長６５０ｎｍで９０％以上であることを特徴とす
る色フィルタアレイ。ポジ型またはネガ型感光性樹脂組
成物をパターンニングして黄色フィルタ層を形成する工
程により形成することができる。この色フィルタアレイ
は、電荷結合素子の前面側に配置されて固体撮像素子に
用いられる。液晶表示素子にも用いられる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、固体撮像素子や液
晶表示素子をカラー化するために用いられる色フィルタ
アレイおよびその製造方法に関する。
晶表示素子をカラー化するために用いられる色フィルタ
アレイおよびその製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】固体撮像素子や液晶表示素子をカラー化
するために素子上に形成される色フィルタアレイとし
て、基体（１）上の同一平面に隣接して形成された黄色
フィルタ層（Ｙ）、マゼンタ色フィルタ層（Ｍ）および
シアン色フィルタ層（Ｃ）からなる色フィルタアレイ
（２）が知られている（図１）。かかる色フィルタアレ
イ（２）において各フィルタ層（Ｙ、Ｍ、Ｃ）は帯状の
パターン（図２）や、格子状（モザイク状）のパターン
（図３）で形成されている。
するために素子上に形成される色フィルタアレイとし
て、基体（１）上の同一平面に隣接して形成された黄色
フィルタ層（Ｙ）、マゼンタ色フィルタ層（Ｍ）および
シアン色フィルタ層（Ｃ）からなる色フィルタアレイ
（２）が知られている（図１）。かかる色フィルタアレ
イ（２）において各フィルタ層（Ｙ、Ｍ、Ｃ）は帯状の
パターン（図２）や、格子状（モザイク状）のパターン
（図３）で形成されている。
【０００３】かかる色フィルタアレイの製造方法として
は種々の方法が提案されている。中でも色素を含有する
感光性樹脂組成物を露光し、現像することによってパタ
ーンニングする工程を所要の回数だけ繰返しおこなう、
いわゆるカラーレジスト法は、広く実用化されている方
法である。
は種々の方法が提案されている。中でも色素を含有する
感光性樹脂組成物を露光し、現像することによってパタ
ーンニングする工程を所要の回数だけ繰返しおこなう、
いわゆるカラーレジスト法は、広く実用化されている方
法である。
【０００４】カラーレジスト法に用いられる感光性樹脂
組成物としては、色素として顔料を用いたものが広く普
及している。しかし、顔料は粒状であり、現像液に溶解
しないために現像残渣が生じるという問題があり、微細
なパターンの形成には不向きであった。
組成物としては、色素として顔料を用いたものが広く普
及している。しかし、顔料は粒状であり、現像液に溶解
しないために現像残渣が生じるという問題があり、微細
なパターンの形成には不向きであった。
【０００５】微細なパターンの色フィルタアレイを得る
ことができる感光性樹脂組成物として、色素として染料
を用いた感光性樹脂組成物も知られている。例えば特開
平６−７５３７５号公報には染料を含有するネガ型感光
性樹脂組成物が記載されており、特公平７−１１１４８
５号公報にはポジ型感光性樹脂組成物に用いられる溶剤
に可溶な染料を乾燥重量比で１０〜５０％含有するポジ
型感光性樹脂組成物が記載されている。
ことができる感光性樹脂組成物として、色素として染料
を用いた感光性樹脂組成物も知られている。例えば特開
平６−７５３７５号公報には染料を含有するネガ型感光
性樹脂組成物が記載されており、特公平７−１１１４８
５号公報にはポジ型感光性樹脂組成物に用いられる溶剤
に可溶な染料を乾燥重量比で１０〜５０％含有するポジ
型感光性樹脂組成物が記載されている。
【０００６】ところで、かかる感光性樹脂組成物に用い
られる色素には、色フィルタアレイを製造するために以
下の２つの性能が求められている。 （１）露光光に対する良好な透過性、即ちパターンを作
成するときに用いる露光光に対する透過率が高く、短時
間で露光してパターンを形成し得ること （２）良好な耐光性、即ち通常の使用状態で染料の褪色
による所謂焼付を起こさないこと
られる色素には、色フィルタアレイを製造するために以
下の２つの性能が求められている。 （１）露光光に対する良好な透過性、即ちパターンを作
成するときに用いる露光光に対する透過率が高く、短時
間で露光してパターンを形成し得ること （２）良好な耐光性、即ち通常の使用状態で染料の褪色
による所謂焼付を起こさないこと
【０００７】しかしながら、従来の感光性樹脂組成物に
用いられている染料には、上記の２つの性能を全て満足
するものはなかった。具体的に前述の特公平７−１１１
４８５号公報に記載の色フィルタについて説明すれば、
同公報には黄色フィルタ層に含有される色素としてシー
・アイ・ソルベント・イエロー８８（ピラゾロンアゾ系
色素）が記載されている。しかし、この染料はｉ線、ｇ
線などの可視光線ないし近紫外線の吸収が大きいため露
光に長時間を要する。実際、同公報によれば、該感光性
樹脂組成物を用いて黄色フィルタ層を形成するために要
した露光時間は２０秒である。
用いられている染料には、上記の２つの性能を全て満足
するものはなかった。具体的に前述の特公平７−１１１
４８５号公報に記載の色フィルタについて説明すれば、
同公報には黄色フィルタ層に含有される色素としてシー
・アイ・ソルベント・イエロー８８（ピラゾロンアゾ系
色素）が記載されている。しかし、この染料はｉ線、ｇ
線などの可視光線ないし近紫外線の吸収が大きいため露
光に長時間を要する。実際、同公報によれば、該感光性
樹脂組成物を用いて黄色フィルタ層を形成するために要
した露光時間は２０秒である。
【０００８】かかる問題を解決するには、可視光線ない
し近紫外線の吸収の小さい色素を用いればよいが、従来
の感光性樹脂組成物に用いられているこのような色素で
は一般に耐光性が十分満足できるものであるとは言え
ず、また、感光性樹脂組成物に対する溶解度が小さくて
高濃度で含有させることも困難であり、実用的な黄色フ
ィルタ層を有する色フィルタアレイを製造することは困
難であった。
し近紫外線の吸収の小さい色素を用いればよいが、従来
の感光性樹脂組成物に用いられているこのような色素で
は一般に耐光性が十分満足できるものであるとは言え
ず、また、感光性樹脂組成物に対する溶解度が小さくて
高濃度で含有させることも困難であり、実用的な黄色フ
ィルタ層を有する色フィルタアレイを製造することは困
難であった。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】そこで、本発明者ら
は、露光光に対する良好な透過性を備えて短時間で形成
し得ると共に、良好な耐光性を備えた感光性樹脂組成物
を開発するべく鋭意検討した結果、特定の色素を用いる
ことにより、短い露光時間で形成し得、しかも良好な耐
光性を備えた黄色フィルタ層を得ることができることを
見出し本発明に至った。
は、露光光に対する良好な透過性を備えて短時間で形成
し得ると共に、良好な耐光性を備えた感光性樹脂組成物
を開発するべく鋭意検討した結果、特定の色素を用いる
ことにより、短い露光時間で形成し得、しかも良好な耐
光性を備えた黄色フィルタ層を得ることができることを
見出し本発明に至った。
【００１０】
【課題を解決するための手段】すなわち、本発明は、基
体上に黄色フィルタ層を有してなり、該黄色フィルタ層
は波長４００〜５００ｎｍに吸収極大を有するピリドン
アゾ系色素（以下、「色素（Ｉ）」と称する。）を含有
し透過率が波長４５０ｎｍで５％以下であり波長５３５
ｎｍで８０％以上であり波長６５０ｎｍで９０％以上で
あることを特徴とする色フィルタアレイを提供するもの
である。
体上に黄色フィルタ層を有してなり、該黄色フィルタ層
は波長４００〜５００ｎｍに吸収極大を有するピリドン
アゾ系色素（以下、「色素（Ｉ）」と称する。）を含有
し透過率が波長４５０ｎｍで５％以下であり波長５３５
ｎｍで８０％以上であり波長６５０ｎｍで９０％以上で
あることを特徴とする色フィルタアレイを提供するもの
である。
【００１１】
【発明の実施の形態】本発明の色フィルターにおいて基
体としては、例えばシリコンウエハー、透明な無機ガラ
ス板などが挙げられる。シリコンウエハーは電荷結合素
子が形成されていてもよい。
体としては、例えばシリコンウエハー、透明な無機ガラ
ス板などが挙げられる。シリコンウエハーは電荷結合素
子が形成されていてもよい。
【００１２】本発明の色フィルタアレイはかかる基体の
上に黄色フィルタ層を有している。本発明の感光性樹脂
組成物は、波長４００〜５００ｎｍに吸収極大を有する
色素（Ｉ）を含有するが、ここで色素（Ｉ）としては、
例えば一般式（Ｉ） 〔式中、Ｒ10は炭素数２〜１０のアルキル基を示し、Ｒ
11、Ｒ12、Ｒ14はそれぞれ独立に水素原子、メチル基、
ヒドロキシル基またはシアノ基を示し、Ｒ13は炭素数１
〜４のアルキル基を示す。〕で示される化合物が挙げら
れる。かかる色素（Ｉ）を含有することにより、波長４
５０ｎｍで５％以下であり波長５３５ｎｍで８０％以上
であり波長６５０ｎｍで９０％以上である黄色フィルタ
層とすることができる。
上に黄色フィルタ層を有している。本発明の感光性樹脂
組成物は、波長４００〜５００ｎｍに吸収極大を有する
色素（Ｉ）を含有するが、ここで色素（Ｉ）としては、
例えば一般式（Ｉ） 〔式中、Ｒ10は炭素数２〜１０のアルキル基を示し、Ｒ
11、Ｒ12、Ｒ14はそれぞれ独立に水素原子、メチル基、
ヒドロキシル基またはシアノ基を示し、Ｒ13は炭素数１
〜４のアルキル基を示す。〕で示される化合物が挙げら
れる。かかる色素（Ｉ）を含有することにより、波長４
５０ｎｍで５％以下であり波長５３５ｎｍで８０％以上
であり波長６５０ｎｍで９０％以上である黄色フィルタ
層とすることができる。
【００１３】一般式（Ｉ）で示される化合物において、
置換基Ｒ10で示される炭素数２〜１０のアルキル基とし
てはエチル基、プロピル基、ｎ−ヘキシル基、ｎ−ノニ
ル基、ｎ−デシル基、ｎ−ドデシル基、２−エチルヘキ
シル基、１，３−ジメチルブチル基、１−メチルブチル
基、１，５−ジメチルヘキシル基、１，１，３，３−テ
トラメチルブチル基などが、Ｒ13で示される炭素数１〜
４のアルキル基としてはメチル基、エチル基、プロピル
基、ブチル基などがそれぞれ例示される。
置換基Ｒ10で示される炭素数２〜１０のアルキル基とし
てはエチル基、プロピル基、ｎ−ヘキシル基、ｎ−ノニ
ル基、ｎ−デシル基、ｎ−ドデシル基、２−エチルヘキ
シル基、１，３−ジメチルブチル基、１−メチルブチル
基、１，５−ジメチルヘキシル基、１，１，３，３−テ
トラメチルブチル基などが、Ｒ13で示される炭素数１〜
４のアルキル基としてはメチル基、エチル基、プロピル
基、ブチル基などがそれぞれ例示される。
【００１４】色素（Ｉ）は一般式（Ｉ）で示される化合
物を単独で用いてもよいし、２種以上を組合わせて用い
てもよい。かかる色素（Ｉ）としては、例えばシー・ア
イ・ソルベント・イエロー１６２（C.I.Solvent Yellow
162）などが挙げられる。かかる色素（Ｉ）は、通常ｉ
線、ｇ線の吸収が少なく、波長４００〜５００ｎｍに吸
収極大を有する染料である。
物を単独で用いてもよいし、２種以上を組合わせて用い
てもよい。かかる色素（Ｉ）としては、例えばシー・ア
イ・ソルベント・イエロー１６２（C.I.Solvent Yellow
162）などが挙げられる。かかる色素（Ｉ）は、通常ｉ
線、ｇ線の吸収が少なく、波長４００〜５００ｎｍに吸
収極大を有する染料である。
【００１５】本発明の色フィルタアレイの黄色フィルタ
層は、調色、即ち分光特性の調整などを目的として他の
色素を含有していてもよい。他の色素は１種類でもよい
し２種類以上を組合わせて用いてもよい。本発明の色フ
ィルタアレイの黄色フィルタ層の波長４５０ｎｍで５％
以下であり波長５３５ｎｍで８０％以上であり波長６５
０ｎｍで９０％以上である。
層は、調色、即ち分光特性の調整などを目的として他の
色素を含有していてもよい。他の色素は１種類でもよい
し２種類以上を組合わせて用いてもよい。本発明の色フ
ィルタアレイの黄色フィルタ層の波長４５０ｎｍで５％
以下であり波長５３５ｎｍで８０％以上であり波長６５
０ｎｍで９０％以上である。
【００１６】本発明の色フィルタアレイは、通常のカラ
ーレジスト法により製造することができ、例えば色素を
含有する感光性樹脂組成物をパターンニングして黄色フ
ィルタ層を形成する工程を有する製造方法により製造す
ることができる。ここで、感光性樹脂組成物は色素
（Ｉ）を含有する。
ーレジスト法により製造することができ、例えば色素を
含有する感光性樹脂組成物をパターンニングして黄色フ
ィルタ層を形成する工程を有する製造方法により製造す
ることができる。ここで、感光性樹脂組成物は色素
（Ｉ）を含有する。
【００１７】感光性樹脂組成物は、ポジ型感光性樹脂組
成物であってもよいし、ネガ型感光性樹脂組成物であっ
てもよい。感光性樹脂組成物がポジ型感光性樹脂組成物
である場合、該組成物は、例えば上記色素並びに感光剤
およびアルカリ可溶性樹脂を含有する。
成物であってもよいし、ネガ型感光性樹脂組成物であっ
てもよい。感光性樹脂組成物がポジ型感光性樹脂組成物
である場合、該組成物は、例えば上記色素並びに感光剤
およびアルカリ可溶性樹脂を含有する。
【００１８】感光剤としては、通常の感光性樹脂組成物
に用いられると同様の感光剤を用いることができ、例え
ばフェノール化合物とｏ−ナフトキノンジアジドスルホ
ン酸化合物とのエステルなどを用いることができる。フ
ェノール化合物としては化学式（１０） で示される化合物などが、ｏ−ナフトキノンジアジドス
ルホン酸化合物としてはｏ−ナフトキシノンジアジド−
５−スルホン酸、ｏ−ナフトキシノンジアジド−４−ス
ルホン酸などがそれぞれ例示される。
に用いられると同様の感光剤を用いることができ、例え
ばフェノール化合物とｏ−ナフトキノンジアジドスルホ
ン酸化合物とのエステルなどを用いることができる。フ
ェノール化合物としては化学式（１０） で示される化合物などが、ｏ−ナフトキノンジアジドス
ルホン酸化合物としてはｏ−ナフトキシノンジアジド−
５−スルホン酸、ｏ−ナフトキシノンジアジド−４−ス
ルホン酸などがそれぞれ例示される。
【００１９】アルカリ可溶性樹脂とは、アルカリ性の現
像液に溶解し得る樹脂であり、通常の感光性樹脂組成物
に用いられると同様のアルカリ可溶性樹脂を用いること
ができる。かかるアルカリ可溶性樹脂としては、例えば
ｐ−クレゾールのノボラック樹脂、ｐ−クレゾールとｍ
−クレゾールとのノボラック樹脂、一般式（２０） で示される構造を有するノボラック樹脂などのノボラッ
ク樹脂、ポリビニルフェノール、スチレンとビニルフェ
ノールとの共重合体などが挙げられる。アルカリ可溶性
樹脂としては、ノボラック樹脂が好ましく用いられる。
像液に溶解し得る樹脂であり、通常の感光性樹脂組成物
に用いられると同様のアルカリ可溶性樹脂を用いること
ができる。かかるアルカリ可溶性樹脂としては、例えば
ｐ−クレゾールのノボラック樹脂、ｐ−クレゾールとｍ
−クレゾールとのノボラック樹脂、一般式（２０） で示される構造を有するノボラック樹脂などのノボラッ
ク樹脂、ポリビニルフェノール、スチレンとビニルフェ
ノールとの共重合体などが挙げられる。アルカリ可溶性
樹脂としては、ノボラック樹脂が好ましく用いられる。
【００２０】かかる感光性樹脂組成物における色素、感
光剤およびアルカリ可溶性樹脂の含有量は、色素、感光
剤およびアルカリ可溶性樹脂の合計量１００重量部に対
する色素の含有量が通常１０〜５０重量部であり、感光
剤の含有量が通常１０〜５０重量部であり、アルカリ可
溶性樹脂の含有量が通常３〜５０重量部である。
光剤およびアルカリ可溶性樹脂の含有量は、色素、感光
剤およびアルカリ可溶性樹脂の合計量１００重量部に対
する色素の含有量が通常１０〜５０重量部であり、感光
剤の含有量が通常１０〜５０重量部であり、アルカリ可
溶性樹脂の含有量が通常３〜５０重量部である。
【００２１】ポジ型感光性樹脂組成物は、硬化剤を含有
していてもよい。硬化剤を含有することにより、感光性
樹脂組成物を用いて形成されたパターンの機械的強度を
高めることができる。
していてもよい。硬化剤を含有することにより、感光性
樹脂組成物を用いて形成されたパターンの機械的強度を
高めることができる。
【００２２】硬化剤としては通常、加熱されることによ
り硬化させる加熱硬化剤が用いられる。加熱硬化剤とし
ては、一般式（３０） 〔式中、Ｑ1、Ｑ2、Ｑ3、Ｑ4はそれぞれ独立に水素原
子、炭素数１〜４のヒドロキシアルキル基または炭素数
１〜４のアルコキシル基で置換された炭素数１〜４のア
ルキル基を示し、Ｚはフェニル基または一般式（３１） Ｑ5Ｑ6Ｎ− （３１） （式中、Ｑ5、Ｑ6はそれぞれ独立に水素原子、炭素数１
〜４のヒドロキシアルキル基、炭素数１〜４のアルコキ
シル基で置換された炭素数１〜４のアルキル基を示
す。）で示される置換基を示す。ただし、Ｑ1〜Ｑ6のう
ちの少なくとも１つは炭素数１〜４のヒドロキシアルキ
ル基または炭素数１〜４のアルコキシル基で置換された
炭素数１〜４のアルキル基である。〕で示される化合物
が例示される。かかる化合物において炭素数１〜４のヒ
ドロキシアルキル基としてはヒドロキシメチル基、ヒド
ロキシエチル基、ヒドロキシプロピル基、ヒドロキシブ
チル基などが、炭素数１〜４のアルコキシル基で置換さ
れた炭素数１〜４のアルキル基としてはメトキシメチル
基、メトキシエチル基、エトキシエチル基、プロポキシ
ブチル基がそれぞれ例示される。かかる一般式（３０）
で示される化合物としてはヘキサメトキシメチルメラミ
ンなどが挙げられる。
り硬化させる加熱硬化剤が用いられる。加熱硬化剤とし
ては、一般式（３０） 〔式中、Ｑ1、Ｑ2、Ｑ3、Ｑ4はそれぞれ独立に水素原
子、炭素数１〜４のヒドロキシアルキル基または炭素数
１〜４のアルコキシル基で置換された炭素数１〜４のア
ルキル基を示し、Ｚはフェニル基または一般式（３１） Ｑ5Ｑ6Ｎ− （３１） （式中、Ｑ5、Ｑ6はそれぞれ独立に水素原子、炭素数１
〜４のヒドロキシアルキル基、炭素数１〜４のアルコキ
シル基で置換された炭素数１〜４のアルキル基を示
す。）で示される置換基を示す。ただし、Ｑ1〜Ｑ6のう
ちの少なくとも１つは炭素数１〜４のヒドロキシアルキ
ル基または炭素数１〜４のアルコキシル基で置換された
炭素数１〜４のアルキル基である。〕で示される化合物
が例示される。かかる化合物において炭素数１〜４のヒ
ドロキシアルキル基としてはヒドロキシメチル基、ヒド
ロキシエチル基、ヒドロキシプロピル基、ヒドロキシブ
チル基などが、炭素数１〜４のアルコキシル基で置換さ
れた炭素数１〜４のアルキル基としてはメトキシメチル
基、メトキシエチル基、エトキシエチル基、プロポキシ
ブチル基がそれぞれ例示される。かかる一般式（３０）
で示される化合物としてはヘキサメトキシメチルメラミ
ンなどが挙げられる。
【００２３】また、ポジ型感光性樹脂組成物に用いられ
る硬化剤としては、以下の化学式（３２）〜（３７） で示される化合物も挙げられる。硬化剤を用いる場合、
その含有量は感光剤およびアルカリ可溶性樹脂の合計量
１００重量部に対して通常１０重量部以上３５重量部以
下である。
る硬化剤としては、以下の化学式（３２）〜（３７） で示される化合物も挙げられる。硬化剤を用いる場合、
その含有量は感光剤およびアルカリ可溶性樹脂の合計量
１００重量部に対して通常１０重量部以上３５重量部以
下である。
【００２４】ポジ型感光性樹脂組成物は通常、溶剤によ
って希釈されて用いられる。溶剤は、用いる色素
（Ｉ）、感光剤、アルカリ可溶性樹脂および硬化剤の溶
解度に応じて適宜選択されて用いられるが、例えばメチ
ルセルソルブ、エチルセルソルブ、メチルセルソルブア
セテート、エチルセルソルブアセテート、ジエチレング
リコールジメチルエーテル、エチレングリコールモノイ
ソプロピルエーテル、プロピレングリコールモノメチル
エーテル、Ｎ−メチルピロリドン、γ−ブチロラクト
ン、ジメチルスルホキシド、Ｎ，Ｎ’−ジメチルホルム
アミド、シクロヘキサン、酢酸エチル、酢酸ｎ−ブチ
ル、酢酸プロピレングリコールモノエチルエーテル、酢
酸エチル、ピルビン酸エチル、乳酸エチルなどを用いる
ことができる。これらの溶剤はそれぞれ単独または２種
以上を混合して用いられる。溶剤の使用量は色素、感光
剤、アルカリ可溶性樹脂および硬化剤の合計量１００重
量部に対して通常は１８０〜４００重量部程度である。
って希釈されて用いられる。溶剤は、用いる色素
（Ｉ）、感光剤、アルカリ可溶性樹脂および硬化剤の溶
解度に応じて適宜選択されて用いられるが、例えばメチ
ルセルソルブ、エチルセルソルブ、メチルセルソルブア
セテート、エチルセルソルブアセテート、ジエチレング
リコールジメチルエーテル、エチレングリコールモノイ
ソプロピルエーテル、プロピレングリコールモノメチル
エーテル、Ｎ−メチルピロリドン、γ−ブチロラクト
ン、ジメチルスルホキシド、Ｎ，Ｎ’−ジメチルホルム
アミド、シクロヘキサン、酢酸エチル、酢酸ｎ−ブチ
ル、酢酸プロピレングリコールモノエチルエーテル、酢
酸エチル、ピルビン酸エチル、乳酸エチルなどを用いる
ことができる。これらの溶剤はそれぞれ単独または２種
以上を混合して用いられる。溶剤の使用量は色素、感光
剤、アルカリ可溶性樹脂および硬化剤の合計量１００重
量部に対して通常は１８０〜４００重量部程度である。
【００２５】感光性樹脂組成物がネガ型感光性樹脂組成
物である場合、該組成物は、例えば上記色素並びに光酸
発生剤、硬化剤およびアルカリ可溶性樹脂を含有する。
物である場合、該組成物は、例えば上記色素並びに光酸
発生剤、硬化剤およびアルカリ可溶性樹脂を含有する。
【００２６】光酸発生剤としては通常のネガ型感光性樹
脂組成物に用いられると同様の光酸発生剤を用いること
ができ、一般式（４０） （式中、Ｑ7は炭素数１〜３のアルキル基を示し、Ｑ8は
炭素数１〜３のアルキル基で置換されたフェニル基また
は炭素数１〜３のアルコキシル基で置換されたフェニル
基を示す。）で示される化合物などが例示される。
脂組成物に用いられると同様の光酸発生剤を用いること
ができ、一般式（４０） （式中、Ｑ7は炭素数１〜３のアルキル基を示し、Ｑ8は
炭素数１〜３のアルキル基で置換されたフェニル基また
は炭素数１〜３のアルコキシル基で置換されたフェニル
基を示す。）で示される化合物などが例示される。
【００２７】Ｑ7として示される炭素数１〜３のアルキ
ル基としてはメチル基、エチル基、プロピル基などが例
示される。Ｑ8として示される炭素数１〜３のアルキル
基で置換されたフェニル基としてはｏ−イソプロピルフ
ェニル基などが、炭素数１〜３のアルコキシル基で置換
されたフェニル基としてはｐ−メトキシフェニル基、ｐ
−エトキシフェニル基、ｐ−プロポキシフェニル基など
がそれぞれ例示される。
ル基としてはメチル基、エチル基、プロピル基などが例
示される。Ｑ8として示される炭素数１〜３のアルキル
基で置換されたフェニル基としてはｏ−イソプロピルフ
ェニル基などが、炭素数１〜３のアルコキシル基で置換
されたフェニル基としてはｐ−メトキシフェニル基、ｐ
−エトキシフェニル基、ｐ−プロポキシフェニル基など
がそれぞれ例示される。
【００２８】また、光酸発生剤として、化学式（４１）
〜（４７） で示される化合物を用いることもできる。
〜（４７） で示される化合物を用いることもできる。
【００２９】硬化剤としては通常のネガ型感光性樹脂組
成物に用いられると同様に、加熱さることにより硬化さ
せる加熱硬化剤が用いられ、感光性樹脂組成物がポジ型
感光性樹脂組成物である場合に例示したと同様の加熱硬
化剤を用いることができる。
成物に用いられると同様に、加熱さることにより硬化さ
せる加熱硬化剤が用いられ、感光性樹脂組成物がポジ型
感光性樹脂組成物である場合に例示したと同様の加熱硬
化剤を用いることができる。
【００３０】アルカリ可溶性樹脂としては、通常のネガ
型感光性樹脂組成物に用いられると同様に、ポジ型感光
性樹脂組成物である場合に例示したと同様のアルカリ可
溶性樹脂を用いることができる。
型感光性樹脂組成物に用いられると同様に、ポジ型感光
性樹脂組成物である場合に例示したと同様のアルカリ可
溶性樹脂を用いることができる。
【００３１】かかるネガ型感光性樹脂組成物における色
素、光酸発生剤、硬化剤およびアルカリ可溶性樹脂の含
有量は、色素、光酸発生剤、硬化剤およびアルカリ可溶
性樹脂の合計量１００重量部に対する色素の含有量が通
常１５〜４０重量部程度であり、光酸発生剤の含有量が
通常０．３〜５重量部程度であり、硬化剤の使用量が通
常１０〜２５重量部程度であり、アルカリ可溶性樹脂の
含有量が通常２０〜７５重量部程度である。
素、光酸発生剤、硬化剤およびアルカリ可溶性樹脂の含
有量は、色素、光酸発生剤、硬化剤およびアルカリ可溶
性樹脂の合計量１００重量部に対する色素の含有量が通
常１５〜４０重量部程度であり、光酸発生剤の含有量が
通常０．３〜５重量部程度であり、硬化剤の使用量が通
常１０〜２５重量部程度であり、アルカリ可溶性樹脂の
含有量が通常２０〜７５重量部程度である。
【００３２】ネガ型感光性樹脂組成物は通常、溶剤によ
って希釈されて用いられる。溶剤は、用いる色素
（Ｉ）、感光剤、アルカリ可溶性樹脂および硬化剤の溶
解度に応じて適宜選択されて用いられ、感光性樹脂組成
物がポジ型感光性樹脂組成物である場合において例示し
たと同様の溶剤を用いることができる。溶剤の使用量
は、色素、光酸発生剤、硬化剤およびアルカリ可溶性樹
脂の合計量１００重量部に対して通常は１８０〜４００
重量部程度である。
って希釈されて用いられる。溶剤は、用いる色素
（Ｉ）、感光剤、アルカリ可溶性樹脂および硬化剤の溶
解度に応じて適宜選択されて用いられ、感光性樹脂組成
物がポジ型感光性樹脂組成物である場合において例示し
たと同様の溶剤を用いることができる。溶剤の使用量
は、色素、光酸発生剤、硬化剤およびアルカリ可溶性樹
脂の合計量１００重量部に対して通常は１８０〜４００
重量部程度である。
【００３３】かかる感光性樹脂組成物は、色素として色
素（Ｉ）を用いているので、長期間保管しても析出物が
殆ど発生せず、そのため基材に塗布してもムラが殆ど生
じないので、例えば厚みが０．５〜２μｍ程度で一辺の
長さが２〜２０μｍ程度のパターンのフィルタ層を有す
る色フィルタアレイを得ることができる。
素（Ｉ）を用いているので、長期間保管しても析出物が
殆ど発生せず、そのため基材に塗布してもムラが殆ど生
じないので、例えば厚みが０．５〜２μｍ程度で一辺の
長さが２〜２０μｍ程度のパターンのフィルタ層を有す
る色フィルタアレイを得ることができる。
【００３４】パターンニングするには、例えば基体上に
上記感光性樹脂組成物からなる被膜を設け、該被膜を露
光してのち現像すればよい。基体の上に被膜を設けるに
は、感光性樹脂組成物を希釈した溶液を基体上に塗布す
ればよい。塗布は通常、スピンコート法により行われ
る。塗布後、例えば８０〜１３０℃程度に加熱して溶剤
を揮発させれば、感光性樹脂組成物からなる被膜を得る
ことができる。
上記感光性樹脂組成物からなる被膜を設け、該被膜を露
光してのち現像すればよい。基体の上に被膜を設けるに
は、感光性樹脂組成物を希釈した溶液を基体上に塗布す
ればよい。塗布は通常、スピンコート法により行われ
る。塗布後、例えば８０〜１３０℃程度に加熱して溶剤
を揮発させれば、感光性樹脂組成物からなる被膜を得る
ことができる。
【００３５】次いで、この被膜を露光する。露光には目
的とするパターンに応じたパターンからなるマスクパタ
ーンが用いられ、該マスクパターンを介して光線を照射
すればよい。露光に用いられる光線としては、例えばｇ
線、ｉ線などを用いることができ、ｇ線ステッパー、ｉ
線ステッパーなどの露光機を用いて露光すればよい。用
いた感光性樹脂組成物がネガ型感光性樹脂組成物である
場合には、露光後に加熱する。また、用いた感光性樹脂
組成物がポジ型感光性樹脂組成物である場合には、露光
後に加熱してもよいし、加熱しなくともよい。加熱する
場合の加熱温度は、例えば８０〜１５０℃である。
的とするパターンに応じたパターンからなるマスクパタ
ーンが用いられ、該マスクパターンを介して光線を照射
すればよい。露光に用いられる光線としては、例えばｇ
線、ｉ線などを用いることができ、ｇ線ステッパー、ｉ
線ステッパーなどの露光機を用いて露光すればよい。用
いた感光性樹脂組成物がネガ型感光性樹脂組成物である
場合には、露光後に加熱する。また、用いた感光性樹脂
組成物がポジ型感光性樹脂組成物である場合には、露光
後に加熱してもよいし、加熱しなくともよい。加熱する
場合の加熱温度は、例えば８０〜１５０℃である。
【００３６】露光してのち現像する。現像は通常の感光
性樹脂組成物を用いたと同様に、被膜が設けられた基体
を現像液に浸漬すればよい。現像液としては、通常の感
光性樹脂組成物を用いてパターンを形成する場合と同様
の現像液を用いることができる。現像液から基体を引き
上げ、次いで水洗して現像液を除去することにより、目
的とするパターンで黄色フィルタ層が形成された色フィ
ルタアレイを得ることができる。
性樹脂組成物を用いたと同様に、被膜が設けられた基体
を現像液に浸漬すればよい。現像液としては、通常の感
光性樹脂組成物を用いてパターンを形成する場合と同様
の現像液を用いることができる。現像液から基体を引き
上げ、次いで水洗して現像液を除去することにより、目
的とするパターンで黄色フィルタ層が形成された色フィ
ルタアレイを得ることができる。
【００３７】感光性樹脂組成物がポジ型感光性樹脂組成
物である場合には、次いで紫外線を照射してもよい。紫
外線を照射することにより、残存する感光剤を分解する
ことができる。また、加熱硬化剤を含有する場合には、
水洗後加熱する。加熱により、形成された黄色フィルタ
層の機械的強度を向上することができる。加熱温度は通
常１６０℃以上２２０℃以下程度であり、通常は色素の
分解温度以下である。
物である場合には、次いで紫外線を照射してもよい。紫
外線を照射することにより、残存する感光剤を分解する
ことができる。また、加熱硬化剤を含有する場合には、
水洗後加熱する。加熱により、形成された黄色フィルタ
層の機械的強度を向上することができる。加熱温度は通
常１６０℃以上２２０℃以下程度であり、通常は色素の
分解温度以下である。
【００３８】感光性樹脂組成物がネガ型感光性樹脂組成
物である場合には、水洗後加熱してもよい。加熱するこ
とにより形成された黄色フィルタ層の機械的強度を向上
することができる。加熱温度は通常１６０℃以上２２０
℃以下程度であり、通常は色素の分解温度以下である。
物である場合には、水洗後加熱してもよい。加熱するこ
とにより形成された黄色フィルタ層の機械的強度を向上
することができる。加熱温度は通常１６０℃以上２２０
℃以下程度であり、通常は色素の分解温度以下である。
【００３９】かくして、目的とするパターンで黄色フィ
ルタ層が形成されるが、かかるパターンニング後の黄色
フィルタ層の透過率は波長４５０ｎｍで５％以下であ
り、波長５３５ｎｍで８０％以上であることが好まし
い。
ルタ層が形成されるが、かかるパターンニング後の黄色
フィルタ層の透過率は波長４５０ｎｍで５％以下であ
り、波長５３５ｎｍで８０％以上であることが好まし
い。
【００４０】他の色のフィルタ層、即ちマゼンタ色フィ
ルタ層、シアン色フィルタ層は黄色フィルタ層が形成さ
れた後の基体の同一平面上に通常と同様の方法で形成す
ればよい。感光性樹脂組成物がポジ型感光性樹脂組成物
である場合には、感光性樹脂組成物として硬化剤を含有
するものを用い、現像後に加熱することは、形成された
黄色フィルタ層の強度を向上するので好ましい。また、
他の色のフィルタ層を予め基体上に形成しておいてか
ら、黄色フィルタ層を形成してもよい。
ルタ層、シアン色フィルタ層は黄色フィルタ層が形成さ
れた後の基体の同一平面上に通常と同様の方法で形成す
ればよい。感光性樹脂組成物がポジ型感光性樹脂組成物
である場合には、感光性樹脂組成物として硬化剤を含有
するものを用い、現像後に加熱することは、形成された
黄色フィルタ層の強度を向上するので好ましい。また、
他の色のフィルタ層を予め基体上に形成しておいてか
ら、黄色フィルタ層を形成してもよい。
【００４１】かくして基体上の同一平面に互いに隣接し
て形成された黄色フィルタ層、マゼンタ色フィルタ層お
よびシアン色フィルタ層からなる色フィルタアレイを得
ることができる。
て形成された黄色フィルタ層、マゼンタ色フィルタ層お
よびシアン色フィルタ層からなる色フィルタアレイを得
ることができる。
【００４２】かかる色フィルタアレイは、固体撮像素
子、液晶表示素子などをカラー化することができ、例え
ばこの色フィルタアレイが電荷結合素子の前面側に配置
されてなる固体撮像素子によれば、色再現性に優れたカ
ラー画像を得ることができる。
子、液晶表示素子などをカラー化することができ、例え
ばこの色フィルタアレイが電荷結合素子の前面側に配置
されてなる固体撮像素子によれば、色再現性に優れたカ
ラー画像を得ることができる。
【００４３】
【発明の効果】本発明の色フィルタアレイは分光特性に
優れ、また耐光性にも優れた黄色フィルタ層を有してい
る。また、色素として染料を用いているので、異物が少
なく均質な厚みの黄色フィルタ層を容易に得ることがで
きる。そして、この色フィルタアレイは、液晶表示素子
や、電荷結合素子を用いた固体撮像素子に好適に用いる
ことができる。
優れ、また耐光性にも優れた黄色フィルタ層を有してい
る。また、色素として染料を用いているので、異物が少
なく均質な厚みの黄色フィルタ層を容易に得ることがで
きる。そして、この色フィルタアレイは、液晶表示素子
や、電荷結合素子を用いた固体撮像素子に好適に用いる
ことができる。
【００４４】
【実施例】以下、実施例により本発明をより詳細に説明
するが、本発明はこれら実施例により限定されるもので
はない。
するが、本発明はこれら実施例により限定されるもので
はない。
【００４５】実施例１ 色素（Ｉ）としてシー・アイ・ソルベント・イエロー１
６２（３６重量部）、感光剤として化学式（１０）で示
されるフェノール化合物とｏ−ナフトキノンジアジド−
５−スルホン酸とのエステル（２７重量部）、アルカリ
可溶性樹脂としてｐ−クレゾールのノボラック樹脂（ポ
リスチレン換算の分子量は６０００（１８重量部））、
硬化剤としてヘキサメトキシメチルメラミン（２０重量
部）および溶剤として乳酸エチル（４００重量部）を混
合したのち、孔径０．１μｍのメンブランフィルターで
濾過してポジ型感光性樹脂組成物を得た。
６２（３６重量部）、感光剤として化学式（１０）で示
されるフェノール化合物とｏ−ナフトキノンジアジド−
５−スルホン酸とのエステル（２７重量部）、アルカリ
可溶性樹脂としてｐ−クレゾールのノボラック樹脂（ポ
リスチレン換算の分子量は６０００（１８重量部））、
硬化剤としてヘキサメトキシメチルメラミン（２０重量
部）および溶剤として乳酸エチル（４００重量部）を混
合したのち、孔径０．１μｍのメンブランフィルターで
濾過してポジ型感光性樹脂組成物を得た。
【００４６】このポジ型感光性樹脂組成物を基体（シリ
コンウエハー）上にスピンコート法により塗布し、１０
０℃で１分間加熱し乳酸エチルを揮発させて被膜を形成
した。次いで露光機〔「Ｎｉｋｏｎ ＮＳＲ ｉ７Ａ」
（ニコン(株)製））を用いてマスクパターンを介してｉ
線を照射して露光したのち、現像液〔「ＳＯＰＤ」（住
友化学工業(株)製）、２３℃〕に１分間浸漬して現像し
た。現像後、水洗し、乾燥後、紫外線を照射し、１８０
℃に３分間加熱して、線幅１．０μｍで厚みが０．７μ
ｍの帯状のパターンで形成された黄色フィルタ層を有す
る色フィルタアレイを得た（図４）。
コンウエハー）上にスピンコート法により塗布し、１０
０℃で１分間加熱し乳酸エチルを揮発させて被膜を形成
した。次いで露光機〔「Ｎｉｋｏｎ ＮＳＲ ｉ７Ａ」
（ニコン(株)製））を用いてマスクパターンを介してｉ
線を照射して露光したのち、現像液〔「ＳＯＰＤ」（住
友化学工業(株)製）、２３℃〕に１分間浸漬して現像し
た。現像後、水洗し、乾燥後、紫外線を照射し、１８０
℃に３分間加熱して、線幅１．０μｍで厚みが０．７μ
ｍの帯状のパターンで形成された黄色フィルタ層を有す
る色フィルタアレイを得た（図４）。
【００４７】次いで、マスクパターンを代える以外は上
記と同様に操作して、線幅が２．０μｍで厚みが０．７
μｍのモザイク状のパターンで形成された黄色フィルタ
層を有する色フィルタアレイを得た（図５）。次いで、
基体として透明なガラス板を用い露光することなく現像
する以外は上記と同様に操作して、全面に亙って厚み
０．７μｍで形成された黄色フィルタ層を得た。
記と同様に操作して、線幅が２．０μｍで厚みが０．７
μｍのモザイク状のパターンで形成された黄色フィルタ
層を有する色フィルタアレイを得た（図５）。次いで、
基体として透明なガラス板を用い露光することなく現像
する以外は上記と同様に操作して、全面に亙って厚み
０．７μｍで形成された黄色フィルタ層を得た。
【００４８】実施例２ 色素（Ｉ）としてシー・アイ・ソルベント・イエロー１
６２（１８重量部）および他の色素としてシー・アイ・
ソルベント・イエロー８２（１８重量部）を含む以外は
実施例１と同様に操作して、線幅１．０μｍで厚みが
０．７μｍの帯状のパターンで形成された黄色フィルタ
層を有する色フィルタアレイを得（図４）、線幅が２．
０μｍで厚みが１．１μｍのモザイク状のパターンで形
成された黄色フィルタ層を有する色フィルタアレイを得
（図５）、全面に亙って厚み１．１μｍで形成された黄
色フィルタ層を得た。
６２（１８重量部）および他の色素としてシー・アイ・
ソルベント・イエロー８２（１８重量部）を含む以外は
実施例１と同様に操作して、線幅１．０μｍで厚みが
０．７μｍの帯状のパターンで形成された黄色フィルタ
層を有する色フィルタアレイを得（図４）、線幅が２．
０μｍで厚みが１．１μｍのモザイク状のパターンで形
成された黄色フィルタ層を有する色フィルタアレイを得
（図５）、全面に亙って厚み１．１μｍで形成された黄
色フィルタ層を得た。
【００４９】実施例３ 色素（Ｉ）としてシー・アイ・ソルベント・イエロー１
６２（３６重量部）、酸発生剤として化学式（５０） で示される化合物（０．５重量部）、アルカリ可溶性樹
脂としてｐ−クレゾールのノボラック樹脂（ポリスチレ
ン換算の分子量は５００（４４重量部））、硬化剤とし
てヘキサメトキシメチルメラミン（２０重量部）および
溶剤として乳酸エチル（４００重量部）を混合したの
ち、孔径０．１μｍのメンブランフィルターで濾過して
ネガ型感光性樹脂組成物を得た。
６２（３６重量部）、酸発生剤として化学式（５０） で示される化合物（０．５重量部）、アルカリ可溶性樹
脂としてｐ−クレゾールのノボラック樹脂（ポリスチレ
ン換算の分子量は５００（４４重量部））、硬化剤とし
てヘキサメトキシメチルメラミン（２０重量部）および
溶剤として乳酸エチル（４００重量部）を混合したの
ち、孔径０．１μｍのメンブランフィルターで濾過して
ネガ型感光性樹脂組成物を得た。
【００５０】このネガ型感光性樹脂組成物を基体（シリ
コンウエハー）上にスピンコート法により塗布し、１０
０℃で１分間加熱し乳酸エチルを揮発させて被膜を形成
した。次いで露光機〔「Ｎｉｋｏｎ ＮＳＲ ｉ７Ａ」
（ニコン(株)製））を用いてマスクパターンを介してｉ
線を照射して露光したのち、１２０℃で１分間加熱し、
次いで現像液〔「ＳＯＰＤ」（住友化学工業(株)製）、
２３℃〕に１分間浸漬して現像した。現像後、水洗し、
乾燥後、１８０℃に３分間加熱して、線幅１．０μｍで
厚みが０．７μｍの帯状のパターンで形成された黄色フ
ィルタ層を得た。
コンウエハー）上にスピンコート法により塗布し、１０
０℃で１分間加熱し乳酸エチルを揮発させて被膜を形成
した。次いで露光機〔「Ｎｉｋｏｎ ＮＳＲ ｉ７Ａ」
（ニコン(株)製））を用いてマスクパターンを介してｉ
線を照射して露光したのち、１２０℃で１分間加熱し、
次いで現像液〔「ＳＯＰＤ」（住友化学工業(株)製）、
２３℃〕に１分間浸漬して現像した。現像後、水洗し、
乾燥後、１８０℃に３分間加熱して、線幅１．０μｍで
厚みが０．７μｍの帯状のパターンで形成された黄色フ
ィルタ層を得た。
【００５１】次いで、マスクパターンを代える以外は上
記と同様に操作して、線幅が２．０μｍで厚みが０．７
μｍのモザイク状のパターンで形成された黄色フィルタ
層を有する色フィルタアレイを得た。
記と同様に操作して、線幅が２．０μｍで厚みが０．７
μｍのモザイク状のパターンで形成された黄色フィルタ
層を有する色フィルタアレイを得た。
【００５２】次いで、基体として透明なガラス板を用
い、マスクパターンを用いることなく露光する以外は実
施例１と同様に操作して、全面に亙って厚み０．７μｍ
で形成された黄色フィルタ層を有する色フィルタアレイ
を得た。
い、マスクパターンを用いることなく露光する以外は実
施例１と同様に操作して、全面に亙って厚み０．７μｍ
で形成された黄色フィルタ層を有する色フィルタアレイ
を得た。
【００５３】実施例４ 以下の組成のマゼンタフィルタ層形成用感光性樹脂組成
物、シアンフィルタ層形成用感光性樹脂組成物および青
色フィルタ層形成用感光性樹脂組成物をそれぞれ調整し
た。
物、シアンフィルタ層形成用感光性樹脂組成物および青
色フィルタ層形成用感光性樹脂組成物をそれぞれ調整し
た。
【００５４】 （マゼンタフィルタ層形成用感光性樹脂組成物） ノボラック樹脂 ３６重量部 ｏ−ナフトキノンジアジド−４−スルホン酸エステル ３０重量部 ヘキサメトキシメチルメラミン １７重量部 乳酸エチル ２８０重量部 Ｎ，Ｎ’−ジメチルホルムアミド １２０重量部 化学式（５１）で示される化合物 １８重量部
【００５５】
【００５６】 （シアン色フィルタ層形成用感光性樹脂組成物） ノボラック樹脂 １９重量部 ｏ−ナフトキノンジアジド−４−スルホン酸エステル ４３重量部 ヘキサメトキシメチルメラミン １６重量部 乳酸エチル ２１０重量部 Ｎ，Ｎ’−ジメチルホルムアミド ９０重量部 シー・アイ・ソルベント ブルー６７ ２３重量部
【００５７】 （黄色フィルタ層形成用感光性樹脂組成物） ノボラック樹脂 １８重量部 ｏ−ナフトキノンジアジド−４−スルホン酸エステル ２７重量部 ヘキサメトキシメチルメラミン ２０重量部 乳酸エチル ２８０重量部 Ｎ，Ｎ’−ジメチルホルムアミド １２０重量部 シー・アイ・ソルベント イエロー１６２（色素（Ｉ）） １８重量部 シー・アイ・ソルベント イエロー８２ １８重量部
【００５８】上記で調整した黄色フィルタ形成様感光性
樹脂組成物を電荷結合素子が形成されたシリコンウエハ
ー上にスピンコートして塗布したのち、１００℃のベー
クプレート上で溶剤を揮発させた。
樹脂組成物を電荷結合素子が形成されたシリコンウエハ
ー上にスピンコートして塗布したのち、１００℃のベー
クプレート上で溶剤を揮発させた。
【００５９】次いで、ｉ線ステッパ露光機〔「Ｎｉｋｏ
ｎ ＮＳＲ２２０５ ｉ１２Ｄ」（ニコン(株)製）〕で
レチクルを介して波長３６５ｎｍの紫外線光（６００ｍ
Ｊ／ｃｍ2）を照射した。次いで、現像液（１０００ｃ
ｍ3あたりテトラメチルアンモニウムハイドロオキサイ
ドを３ｇ含有する水溶液）で露光部分を現像、除去した
後、純水で水洗した。次いで、低圧水銀灯を用いて紫外
線（３０００ｍＪ／ｃｍ 2）を前面に亘って照射し、１
８０℃のベークプレート上で１０分間加熱して黄色フィ
ルタ層を形成した。
ｎ ＮＳＲ２２０５ ｉ１２Ｄ」（ニコン(株)製）〕で
レチクルを介して波長３６５ｎｍの紫外線光（６００ｍ
Ｊ／ｃｍ2）を照射した。次いで、現像液（１０００ｃ
ｍ3あたりテトラメチルアンモニウムハイドロオキサイ
ドを３ｇ含有する水溶液）で露光部分を現像、除去した
後、純水で水洗した。次いで、低圧水銀灯を用いて紫外
線（３０００ｍＪ／ｃｍ 2）を前面に亘って照射し、１
８０℃のベークプレート上で１０分間加熱して黄色フィ
ルタ層を形成した。
【００６０】次いで、上記で黄色フィルタ層形成用感光
性樹脂組成物に代えて、上記で調整したマゼンタ色フィ
ルタ層形成用の感光性樹脂組成物を用いる以外は上記と
同様に操作して、マゼンタフィルタ層を形成した。
性樹脂組成物に代えて、上記で調整したマゼンタ色フィ
ルタ層形成用の感光性樹脂組成物を用いる以外は上記と
同様に操作して、マゼンタフィルタ層を形成した。
【００６１】次いで、上記で調整した緑色フィルタ層形
成用の感光性樹脂組成物を用いる以外は上記と同様に操
作して、シアンフィルタ層を形成し、色フィルタアレイ
を得た。
成用の感光性樹脂組成物を用いる以外は上記と同様に操
作して、シアンフィルタ層を形成し、色フィルタアレイ
を得た。
【００６２】この色フィルタアレイの上に通常の方法で
マイクロレンズを形成して、固体撮像素子を得た。この
固体撮像素子の色フィルタアレイにおける黄色フィルタ
層の厚みは０．７μｍであった。この固体撮像素子の色
フィルタアレイは、良好な分光特性を示していた。
マイクロレンズを形成して、固体撮像素子を得た。この
固体撮像素子の色フィルタアレイにおける黄色フィルタ
層の厚みは０．７μｍであった。この固体撮像素子の色
フィルタアレイは、良好な分光特性を示していた。
【００６３】石英ウエハー上に上記と同様にして全面に
亙って黄色フィルタ層（厚み０．７μｍ）を形成した。
亙って黄色フィルタ層（厚み０．７μｍ）を形成した。
【００６４】比較例１ シー・アイ・ソルベント・イエロー１６２に代えて、化
学式（５２） （式中、Ｒ50は化学式（５３） で示される置換基を示す。）で示される化合物（２０重
量部）、化学式（５４） （式中、Ｒ51は化学式（５５） で示される置換基を示す。）で示される化合物（１０重
量部）および化学式（５６） （式中、Ｒ52は化学式（５５）で示される置換基を示
す。）で示される化合物（６重量部）を用いる以外は実
施例１と同様に操作してポジ型感光性樹脂組成物を得、
線幅１．０μｍで厚みが１．１μｍの帯状のパターンで
形成された黄色フィルタ層を有する色フィルタアレイを
得、線幅が２．０μｍで厚みが１．１μｍのモザイク状
のパターンで形成された黄色フィルタ層を有する色フィ
ルタアレイを得、全面に亙って厚み１．１μｍで形成さ
れた黄色フィルタ層を得た。
学式（５２） （式中、Ｒ50は化学式（５３） で示される置換基を示す。）で示される化合物（２０重
量部）、化学式（５４） （式中、Ｒ51は化学式（５５） で示される置換基を示す。）で示される化合物（１０重
量部）および化学式（５６） （式中、Ｒ52は化学式（５５）で示される置換基を示
す。）で示される化合物（６重量部）を用いる以外は実
施例１と同様に操作してポジ型感光性樹脂組成物を得、
線幅１．０μｍで厚みが１．１μｍの帯状のパターンで
形成された黄色フィルタ層を有する色フィルタアレイを
得、線幅が２．０μｍで厚みが１．１μｍのモザイク状
のパターンで形成された黄色フィルタ層を有する色フィ
ルタアレイを得、全面に亙って厚み１．１μｍで形成さ
れた黄色フィルタ層を得た。
【００６５】評価 （１）露光時間 上記各実施例および比較例で１．０μｍのラインを作成
するときに要した露光時間を表１に示す。 （２）分光特性 上記各実施例および比較例で得た全面に亙って形成され
た黄色フィルタ層を有する色フィルタアレイの４５０ｎ
ｍ、５３５ｎｍ、６５０ｎｍの波長における光線透過率
を測定した。その結果を表２に示す。 （３）耐光性 上記各実施例および比較例で得た全面に亙って形成され
た黄色フィルタ層を有する色フィルタアレイの前方に紫
外線カットフィルター〔「ＣＯＬＯＲＥＤ ＯＰＴＩＣ
ＡＬ ＧＬＡＳＳ Ｌ３８」（ホヤ(株)製）〕を配置し
て１００万ルクス・時間の光を照射した。光源として
は、「サンテスタ−ＸＦ−１８０ＣＰＳ」（島津製作所
(株)製）を用いた。光照射後の色フィルタアレイの波長
４５０ｎｍ、５３５ｎｍ、６５０ｎｍにおける光線透過
率を求めた。その結果を表３に示す。
するときに要した露光時間を表１に示す。 （２）分光特性 上記各実施例および比較例で得た全面に亙って形成され
た黄色フィルタ層を有する色フィルタアレイの４５０ｎ
ｍ、５３５ｎｍ、６５０ｎｍの波長における光線透過率
を測定した。その結果を表２に示す。 （３）耐光性 上記各実施例および比較例で得た全面に亙って形成され
た黄色フィルタ層を有する色フィルタアレイの前方に紫
外線カットフィルター〔「ＣＯＬＯＲＥＤ ＯＰＴＩＣ
ＡＬ ＧＬＡＳＳ Ｌ３８」（ホヤ(株)製）〕を配置し
て１００万ルクス・時間の光を照射した。光源として
は、「サンテスタ−ＸＦ−１８０ＣＰＳ」（島津製作所
(株)製）を用いた。光照射後の色フィルタアレイの波長
４５０ｎｍ、５３５ｎｍ、６５０ｎｍにおける光線透過
率を求めた。その結果を表３に示す。
【００６６】
【表１】
【００６７】
【表２】
【００６８】
【表３】
【図１】基体上の同一平面上に黄色フィルタ層、マゼン
タフィルタ層およびシアンフィルタ層が設けられた色フ
ィルタアレイの断面を示す模式図である。
タフィルタ層およびシアンフィルタ層が設けられた色フ
ィルタアレイの断面を示す模式図である。
【図２】帯状のパターンで黄色フィルタ層、マゼンタフ
ィルタ層およびシアンフィルタ層が設けられた色フィル
タアレイの平面模式図である。
ィルタ層およびシアンフィルタ層が設けられた色フィル
タアレイの平面模式図である。
【図３】モザイク状のパターンで黄色フィルタ層、マゼ
ンタフィルタ層およびシアンフィルタ層が設けられた色
フィルタアレイの平面模式図である。
ンタフィルタ層およびシアンフィルタ層が設けられた色
フィルタアレイの平面模式図である。
【図４】実施例１で得た色フィルタアレイの平面模式図
である。
である。
【図５】実施例１で得た色フィルタアレイの平面模式図
である。
である。
１：基体 ２：色フィルタアレイ Ｙ：黄色フィルタ層 Ｍ：マゼンタフィルタ層 Ｃ：シアンフィルタ層
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 植田 裕治 大阪府大阪市此花区春日出中３丁目１番98 号 住友化学工業株式会社内 (72)発明者 円道 博毅 東京都品川区北品川６丁目７番35号 ソニ ー株式会社内 (72)発明者 内田 好則 東京都品川区北品川６丁目７番35号 ソニ ー株式会社内 (72)発明者 狭山 征博 鹿児島県国分市野口北５番１号 ソニー国 分株式会社内 Ｆターム(参考） 2H025 AA11 AB13 AB20 AC01 AD01 AD03 BC13 BC31 BE01 BJ00 CB42 CC11 CC17 2H048 BA02 BA47 BA48 BB02 BB42 BB47 CA04 CA14 CA19 4J002 BC121 CD061 EJ068 EL097 EQ037 EU008 EU138 EU188 EU238 EV259 FD096 FD148 FD207 FD209
Claims (6)
- 【請求項１】基体上に黄色フィルタ層を有してなり、該
黄色フィルタ層は波長４００〜５００ｎｍに吸収極大を
有するピリドンアゾ系色素を含有し透過率が波長４５０
ｎｍで５％以下であり波長５３５ｎｍで８０％以上であ
り波長６５０ｎｍで９０％以上であることを特徴とする
色フィルタアレイ。 - 【請求項２】色素を含有する感光性樹脂組成物をパター
ンニングして黄色フィルタ層を形成する工程を有し、感
光性樹脂組成物が波長４００〜５００ｎｍに吸収極大を
有するピリドンアゾ系色素を含有し、パターンニング後
の黄色フィルタ層の透過率が透過率が波長４５０ｎｍで
５％以下であり波長５３５ｎｍで８０％以上であり波長
６５０ｎｍで９０％以上であることを特徴とする色フィ
ルタアレイの製造方法。 - 【請求項３】色素として波長４００〜５００ｎｍに吸収
極大を有するピリドンアゾ系色素を含有することを特徴
とする感光性樹脂組成物。 - 【請求項４】感光剤およびアルカリ可溶性樹脂を含有
し、色素、感光剤およびアルカリ可溶性樹脂の合計量１
００重量部に対する色素の含有量が１０〜５０重量部で
あり、感光剤の含有量が１０〜５０重量部であり、アル
カリ可溶性樹脂の含有量が３〜５０重量部である請求項
３に記載の感光性樹脂組成物。 - 【請求項５】硬化剤を含有しその含有量が色素、感光剤
およびアルカリ可溶性樹脂の合計量１００重量部に対し
て３５重量部以下である請求項４に記載の感光性樹脂組
成物。 - 【請求項６】光酸発生剤、硬化剤およびアルカリ可溶性
樹脂を含有し、色素、光酸発生剤、硬化剤およびアルカ
リ可溶性樹脂の合計量１００重量部に対する色素の含有
量が１５〜４０重量部であり、光酸発生剤の含有量が
０．３〜５重量部であり、硬化剤の使用量が１０〜２５
重量部であり、アルカリ可溶性樹脂の含有量が２０〜７
５重量部である請求項３に記載の感光性樹脂組成物。
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