JP2002014222A - 青色フィルタ層を有する色フィルタアレイおよびその製造方法 - Google Patents
青色フィルタ層を有する色フィルタアレイおよびその製造方法Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 良好な分光特性および良好な耐光性を備えた
青色フィルタ層を有する色フィルタアレイを提供する。 【解決手段】 基体上に青色フィルタ層を有してなり、
該青色フィルタ層は波長５５０〜６５０ｎｍに吸収極大
を有するトリアリルメタン系色素を含有し、透過率が波
長４５０ｎｍで７０％以上であり波長６５０ｎｍで５％
以下であることを特徴とする色フィルタアレイ。青色フ
ィルタ層は波長６００〜７００ｎｍに吸収極大を有する
銅フタロシアニン系色素を含有していてもよく、さらに
波長５００〜６００ｎｍに吸収極大を有するキサンテン
系色素を含有していてもよい。ポジ型またはネガ型感光
性樹脂組成物をパターンニングして青色フィルタ層を形
成する工程により形成することができる。この色フィル
タアレイは、電荷結合素子の前面側に配置されて固体撮
像素子に用いられる。液晶表示素子にも用いられる。
青色フィルタ層を有する色フィルタアレイを提供する。 【解決手段】 基体上に青色フィルタ層を有してなり、
該青色フィルタ層は波長５５０〜６５０ｎｍに吸収極大
を有するトリアリルメタン系色素を含有し、透過率が波
長４５０ｎｍで７０％以上であり波長６５０ｎｍで５％
以下であることを特徴とする色フィルタアレイ。青色フ
ィルタ層は波長６００〜７００ｎｍに吸収極大を有する
銅フタロシアニン系色素を含有していてもよく、さらに
波長５００〜６００ｎｍに吸収極大を有するキサンテン
系色素を含有していてもよい。ポジ型またはネガ型感光
性樹脂組成物をパターンニングして青色フィルタ層を形
成する工程により形成することができる。この色フィル
タアレイは、電荷結合素子の前面側に配置されて固体撮
像素子に用いられる。液晶表示素子にも用いられる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、固体撮像素子や液
晶表示素子をカラー化するために用いられる色フィルタ
アレイおよびその製造方法に関する。
晶表示素子をカラー化するために用いられる色フィルタ
アレイおよびその製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】固体撮像素子や液晶表示素子をカラー化
するために素子上に形成される色フィルタアレイとし
て、基体（１）上の同一平面に隣接して形成された赤色
フィルタ層（Ｒ）、緑色フィルタ層（Ｇ）および青色フ
ィルタ層（Ｂ）からなる色フィルタアレイ（２）が知ら
れている（図１）。かかる色フィルタアレイ（２）にお
いて各フィルタ層（Ｒ、Ｇ、Ｂ）は帯状のパターン（図
２）や、格子状（モザイク状）のパターン（図３）で形
成されている。
するために素子上に形成される色フィルタアレイとし
て、基体（１）上の同一平面に隣接して形成された赤色
フィルタ層（Ｒ）、緑色フィルタ層（Ｇ）および青色フ
ィルタ層（Ｂ）からなる色フィルタアレイ（２）が知ら
れている（図１）。かかる色フィルタアレイ（２）にお
いて各フィルタ層（Ｒ、Ｇ、Ｂ）は帯状のパターン（図
２）や、格子状（モザイク状）のパターン（図３）で形
成されている。
【０００３】かかる色フィルタアレイの製造方法として
は種々の方法が提案されている。中でも色素を含有する
感光性樹脂組成物を露光し、現像することによってパタ
ーンニングする工程を所要の回数だけ繰返しおこなう、
いわゆるカラーレジスト法は、広く実用化されている方
法である。
は種々の方法が提案されている。中でも色素を含有する
感光性樹脂組成物を露光し、現像することによってパタ
ーンニングする工程を所要の回数だけ繰返しおこなう、
いわゆるカラーレジスト法は、広く実用化されている方
法である。
【０００４】微細なパターンの色フィルタアレイを得る
ことができる感光性樹脂組成物として、色素として染料
を用いた感光性樹脂組成物も知られている。
ことができる感光性樹脂組成物として、色素として染料
を用いた感光性樹脂組成物も知られている。
【０００５】ところで、かかる感光性樹脂組成物に用い
られる色素には、色フィルタアレイを製造するために、
以下の２つの性能が求められている。 （１）良好な分光特性、即ち所定の可視波長範囲におい
て十分な吸収を示し、それ以外の可視波長範囲において
は不要な吸収がないこと、（２）良好な耐光性、即ち通
常の使用状態で染料の褪色による所謂焼付を起こさない
こと
られる色素には、色フィルタアレイを製造するために、
以下の２つの性能が求められている。 （１）良好な分光特性、即ち所定の可視波長範囲におい
て十分な吸収を示し、それ以外の可視波長範囲において
は不要な吸収がないこと、（２）良好な耐光性、即ち通
常の使用状態で染料の褪色による所謂焼付を起こさない
こと
【０００６】しかしながら、青色フィルタ層の形成に用
いられる従来の感光性樹脂組成物に用いられる染料とし
て、上記２つの性能を十分に満足するものは知られてい
なかった。
いられる従来の感光性樹脂組成物に用いられる染料とし
て、上記２つの性能を十分に満足するものは知られてい
なかった。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】そこで、本発明者ら
は、良好な分光特性および良好な耐光性を備えた青色フ
ィルタ層を有する色フィルタアレイを開発するべく鋭意
検討した結果、特定の色素を用いることにより、良好な
分光特性を満足する青色フィルタ層を得ることができる
ことを見出し、本発明に至った。
は、良好な分光特性および良好な耐光性を備えた青色フ
ィルタ層を有する色フィルタアレイを開発するべく鋭意
検討した結果、特定の色素を用いることにより、良好な
分光特性を満足する青色フィルタ層を得ることができる
ことを見出し、本発明に至った。
【０００８】
【課題を解決するための手段】すなわち、本発明は、基
体上に青色フィルタ層を有してなり、該青色フィルタ層
は波長５５０〜６５０ｎｍに吸収極大を有するトリアリ
ルメタン系色素（以下、「色素（Ｉ）」と称する。）を
含有し、透過率が波長４５０ｎｍで７０％以上であり波
長６５０ｎｍで５％以下であることを特徴とする色フィ
ルタアレイを提供するものである。
体上に青色フィルタ層を有してなり、該青色フィルタ層
は波長５５０〜６５０ｎｍに吸収極大を有するトリアリ
ルメタン系色素（以下、「色素（Ｉ）」と称する。）を
含有し、透過率が波長４５０ｎｍで７０％以上であり波
長６５０ｎｍで５％以下であることを特徴とする色フィ
ルタアレイを提供するものである。
【０００９】
【発明の実施の形態】本発明の色フィルターにおいて基
体としては、例えばシリコンウエハー、透明な無機ガラ
ス板などが挙げられる。シリコンウエハーは電荷結合素
子が形成されていてもよい。
体としては、例えばシリコンウエハー、透明な無機ガラ
ス板などが挙げられる。シリコンウエハーは電荷結合素
子が形成されていてもよい。
【００１０】本発明の色フィルタアレイはかかる基体の
上に青色フィルタ層を有している。青色フィルタ層は、
波長５５０〜６５０ｎｍに吸収極大を有する色素（Ｉ）
を含有するが、ここで色素（Ｉ）としては、例えば一般
式（Ｉ） 〔式中、Ｒ10、Ｒ11はそれぞれ独立に水素原子または炭
素数１〜３のアルキル基を示し、Ｒ12は水素原子または
スルホン酸基を示し、Ｒ13は水素原子、スルホン酸基、
カルボン酸基、炭素数１〜３のアルキル基、炭素数１〜
３のアルコキシル基または一般式（１） −ＮＲ14Ｒ15 （１） （式中、Ｒ14、Ｒ15はそれぞれ独立に水素原子、フェニ
ル基、炭素数１〜３のアルキル基または炭素数１〜３の
アルコキシル基がｐ位に置換したフェニル基を示す。）
で示される置換基を示す。〕で示される化合物またはそ
の塩が挙げられる。
上に青色フィルタ層を有している。青色フィルタ層は、
波長５５０〜６５０ｎｍに吸収極大を有する色素（Ｉ）
を含有するが、ここで色素（Ｉ）としては、例えば一般
式（Ｉ） 〔式中、Ｒ10、Ｒ11はそれぞれ独立に水素原子または炭
素数１〜３のアルキル基を示し、Ｒ12は水素原子または
スルホン酸基を示し、Ｒ13は水素原子、スルホン酸基、
カルボン酸基、炭素数１〜３のアルキル基、炭素数１〜
３のアルコキシル基または一般式（１） −ＮＲ14Ｒ15 （１） （式中、Ｒ14、Ｒ15はそれぞれ独立に水素原子、フェニ
ル基、炭素数１〜３のアルキル基または炭素数１〜３の
アルコキシル基がｐ位に置換したフェニル基を示す。）
で示される置換基を示す。〕で示される化合物またはそ
の塩が挙げられる。
【００１１】一般式（Ｉ）で示される化合物において、
置換基Ｒ10、Ｒ11、Ｒ13、Ｒ14、Ｒ 15における炭素数１
〜３のアルキル基としてはメチル基、エチル基、プロピ
ル基などが、Ｒ13における炭素数１〜３のアルコキシル
基としてはメトキシ基、エトキシ基、プロポキシ基など
が、Ｒ14、Ｒ15における炭素数１〜３のアルコキシル基
がｐ位に置換したフェニル基としてはｐ−メトキシフェ
ニル基、ｐ−エトキシフェニル基、ｐ−プロポキシフェ
ニル基などがそれぞれ例示される。色素（Ｉ）は、一般
式（Ｉ）で示される化合物であってもよいし、一般式
（Ｉ）で示される化合物の塩であってもよい。かかる塩
としては、例えばナトリウム、カリウムなどのアルカリ
金属との金属塩、トリエチルアミン、２−エチルヘキシ
ルアミン、１−アミノ−３−フェニルブタンなどのアミ
ンとのアミン塩などがが挙げられる。かかる塩は、−Ｓ
Ｏ3 -残基で塩を形成していてもよいし、置換基Ｒ12にお
けるスルホン酸基で塩を形成していてもよい。
置換基Ｒ10、Ｒ11、Ｒ13、Ｒ14、Ｒ 15における炭素数１
〜３のアルキル基としてはメチル基、エチル基、プロピ
ル基などが、Ｒ13における炭素数１〜３のアルコキシル
基としてはメトキシ基、エトキシ基、プロポキシ基など
が、Ｒ14、Ｒ15における炭素数１〜３のアルコキシル基
がｐ位に置換したフェニル基としてはｐ−メトキシフェ
ニル基、ｐ−エトキシフェニル基、ｐ−プロポキシフェ
ニル基などがそれぞれ例示される。色素（Ｉ）は、一般
式（Ｉ）で示される化合物であってもよいし、一般式
（Ｉ）で示される化合物の塩であってもよい。かかる塩
としては、例えばナトリウム、カリウムなどのアルカリ
金属との金属塩、トリエチルアミン、２−エチルヘキシ
ルアミン、１−アミノ−３−フェニルブタンなどのアミ
ンとのアミン塩などがが挙げられる。かかる塩は、−Ｓ
Ｏ3 -残基で塩を形成していてもよいし、置換基Ｒ12にお
けるスルホン酸基で塩を形成していてもよい。
【００１２】かかる色素（Ｉ）としては、例えばシー・
アイ・アシッド・ブルー７（C.I.Acid Blue 7）、シー
・アイ・アシッド・ブルー８３（C.I.Acid Blue 83）、
シー・アイ・アシッド・ブルー９０（C.I.Acid Blue 9
0）、シー・アイ・ソルベント・ブルー３８（C.I.Solve
nt Blue 38）、シー・アイ・アシッド・バイオレット１
７（C.I.Acid Violet 17）、シー・アイ・アシッド・バ
イオレット４９（C.I.Acid Violet 49）、シー・アイ・
アシッド・グリーン３（C.I.Acid Green 3）などが挙げ
られ、これらの色素（Ｉ）は波長５５０〜６５０ｎｍに
吸収極大を有する染料であり、それぞれ単独または２種
以上を混合して用いられる。
アイ・アシッド・ブルー７（C.I.Acid Blue 7）、シー
・アイ・アシッド・ブルー８３（C.I.Acid Blue 83）、
シー・アイ・アシッド・ブルー９０（C.I.Acid Blue 9
0）、シー・アイ・ソルベント・ブルー３８（C.I.Solve
nt Blue 38）、シー・アイ・アシッド・バイオレット１
７（C.I.Acid Violet 17）、シー・アイ・アシッド・バ
イオレット４９（C.I.Acid Violet 49）、シー・アイ・
アシッド・グリーン３（C.I.Acid Green 3）などが挙げ
られ、これらの色素（Ｉ）は波長５５０〜６５０ｎｍに
吸収極大を有する染料であり、それぞれ単独または２種
以上を混合して用いられる。
【００１３】色素（Ｉ）は感光性樹脂組成物に高濃度で
溶解するので、厚みが小さくとも十分な分光特性を有す
る青色フィルタ層とすることができる。青色フィルタ層
における色素（Ｉ）の含有量は、青色フィルタ層の透過
率が波長４５０ｎｍで７０％以上となりは長６５０ｎｍ
で５％以下となるように調整される。
溶解するので、厚みが小さくとも十分な分光特性を有す
る青色フィルタ層とすることができる。青色フィルタ層
における色素（Ｉ）の含有量は、青色フィルタ層の透過
率が波長４５０ｎｍで７０％以上となりは長６５０ｎｍ
で５％以下となるように調整される。
【００１４】青色フィルタ層は、耐光性の向上や、調
色、即ち分光特性の調整などを目的として他の色素を含
有していてもよく、例えば波長６００〜７００ｎｍに吸
収極大を有する銅フタロシアニン系色素（以下、「色素
（II）」と称する。）を含有していてもよい。色素（I
I）としては、例えば一般式（II） 〔式中、Ｒ20、Ｒ21、Ｒ22、Ｒ23はそれぞれ独立にスル
ホン酸基、スルホンアミド基または一般式（２） Ｒ24ＨＮ−ＳＯ2− （２） ｛式中、Ｒ24は炭素数２〜２０のアルキル基、アルキル
鎖の炭素数が２〜１２のシクロヘキシルアルキル基、ア
ルキル鎖の炭素数が１〜４のアルキルシクロヘキシル
基、炭素数２〜１２のアルコキシル基で置換された炭素
数２〜１２のアルキル基、一般式（２−１） Ｒ25−ＣＯ−Ｏ−Ｒ26− （２−１） （式中、Ｒ25は炭素数２〜１２のアルキル基を示し、Ｒ
26は炭素数２〜１２のアルキレン基を示す。）で示され
るアルキルカルボキシルアルキル基、一般式（２−２） Ｒ27−Ｏ−ＣＯ−Ｒ28− （２−２） （式中、Ｒ27は炭素数２〜１２のアルキル基を示し、Ｒ
28は炭素数２〜１２のアルキレン基を示す。）で示され
るアルキルオキシカルボニルアルキル基、炭素数１〜２
０のアルキル基で置換されたフェニル基またはフェニル
基で置換された炭素数１〜２０のアルキル基を示す。｝
で示されるスルファモイル基を示す。ｉ、ｊ、ｋ、ｍは
それぞれ独立に０〜２の整数を示す。ただし、ｉ＋ｊ＋
ｋ＋ｍ≦４である。〕で示される化合物またはその塩が
挙げられる。かかる色素（II）を含有することにより、
青色フィルタ層の耐光性、即ち通常の使用状態で染料の
褪色による所謂焼付きを起こさない性能を向上すること
ができる。
色、即ち分光特性の調整などを目的として他の色素を含
有していてもよく、例えば波長６００〜７００ｎｍに吸
収極大を有する銅フタロシアニン系色素（以下、「色素
（II）」と称する。）を含有していてもよい。色素（I
I）としては、例えば一般式（II） 〔式中、Ｒ20、Ｒ21、Ｒ22、Ｒ23はそれぞれ独立にスル
ホン酸基、スルホンアミド基または一般式（２） Ｒ24ＨＮ−ＳＯ2− （２） ｛式中、Ｒ24は炭素数２〜２０のアルキル基、アルキル
鎖の炭素数が２〜１２のシクロヘキシルアルキル基、ア
ルキル鎖の炭素数が１〜４のアルキルシクロヘキシル
基、炭素数２〜１２のアルコキシル基で置換された炭素
数２〜１２のアルキル基、一般式（２−１） Ｒ25−ＣＯ−Ｏ−Ｒ26− （２−１） （式中、Ｒ25は炭素数２〜１２のアルキル基を示し、Ｒ
26は炭素数２〜１２のアルキレン基を示す。）で示され
るアルキルカルボキシルアルキル基、一般式（２−２） Ｒ27−Ｏ−ＣＯ−Ｒ28− （２−２） （式中、Ｒ27は炭素数２〜１２のアルキル基を示し、Ｒ
28は炭素数２〜１２のアルキレン基を示す。）で示され
るアルキルオキシカルボニルアルキル基、炭素数１〜２
０のアルキル基で置換されたフェニル基またはフェニル
基で置換された炭素数１〜２０のアルキル基を示す。｝
で示されるスルファモイル基を示す。ｉ、ｊ、ｋ、ｍは
それぞれ独立に０〜２の整数を示す。ただし、ｉ＋ｊ＋
ｋ＋ｍ≦４である。〕で示される化合物またはその塩が
挙げられる。かかる色素（II）を含有することにより、
青色フィルタ層の耐光性、即ち通常の使用状態で染料の
褪色による所謂焼付きを起こさない性能を向上すること
ができる。
【００１５】一般式（II）で示される化合物における置
換基Ｒ24として示される炭素数２〜２０のアルキル基と
してはエチル基、プロピル基、ｎ−ヘキシル基、ｎ−ノ
ニル基、ｎ−デシル基、ｎ−ドデシル基、２−エチルヘ
キシル基、１，３−ジメチルブチル基、１−メチルブチ
ル基、１，５−ジメチルヘキシル基、１，１，３，３−
テトラメチルブチル基などが、アルキル鎖の炭素数が２
〜１２のシクロヘキシルアルキル基としてはシクロヘキ
シルエチル基、３−シクロヘキシルプロピル基、８−シ
クロヘキシルオクチル基などが、アルキル鎖の炭素数が
１〜４のアルキルシクロヘキシル基としては２−エチル
シクロヘキシル基、２−プロピルシクロヘキシル基、２
−（ｎ−ブチル）シクロヘキシル基などが、炭素数２〜
１２のアルコキシル基で置換された炭素数２〜１２のア
ルキル基としては３−エトキシ−ｎ−プロピル基、プロ
ポキシプロピル基、４−プロポキシ−ｎ−ブチル基、３
−メチル−ｎ−ヘキシルオキシエチル基、３−（２−エ
チルヘキシルオキシ）プロピル基などが、炭素数１〜２
０のアルキル基で置換されたフェニル基としてはｏ−イ
ソプロピルフェニル基などが、フェニル基で置換された
炭素数１〜２０のアルキル基としてはＤＬ−１−フェニ
ルエチル基、ベンジル基、３−フェニル−ｎ−ブチル基
などがそれぞれ挙げられる。
換基Ｒ24として示される炭素数２〜２０のアルキル基と
してはエチル基、プロピル基、ｎ−ヘキシル基、ｎ−ノ
ニル基、ｎ−デシル基、ｎ−ドデシル基、２−エチルヘ
キシル基、１，３−ジメチルブチル基、１−メチルブチ
ル基、１，５−ジメチルヘキシル基、１，１，３，３−
テトラメチルブチル基などが、アルキル鎖の炭素数が２
〜１２のシクロヘキシルアルキル基としてはシクロヘキ
シルエチル基、３−シクロヘキシルプロピル基、８−シ
クロヘキシルオクチル基などが、アルキル鎖の炭素数が
１〜４のアルキルシクロヘキシル基としては２−エチル
シクロヘキシル基、２−プロピルシクロヘキシル基、２
−（ｎ−ブチル）シクロヘキシル基などが、炭素数２〜
１２のアルコキシル基で置換された炭素数２〜１２のア
ルキル基としては３−エトキシ−ｎ−プロピル基、プロ
ポキシプロピル基、４−プロポキシ−ｎ−ブチル基、３
−メチル−ｎ−ヘキシルオキシエチル基、３−（２−エ
チルヘキシルオキシ）プロピル基などが、炭素数１〜２
０のアルキル基で置換されたフェニル基としてはｏ−イ
ソプロピルフェニル基などが、フェニル基で置換された
炭素数１〜２０のアルキル基としてはＤＬ−１−フェニ
ルエチル基、ベンジル基、３−フェニル−ｎ−ブチル基
などがそれぞれ挙げられる。
【００１６】一般式（２−１）における置換基Ｒ25およ
び一般式（２−２）における置換基Ｒ27として示される
炭素数２〜１２のアルキル基としてはエチル基、プロピ
ル基、ｎ−ヘキシル基、ｎ−ノニル基、ｎ−デシル基、
ｎ−ドデシル基、２−エチルヘキシル基、１，３−ジメ
チルブチル基、１−メチルブチル基、１，５−ジメチル
ヘキシル基、１，１，３，３−テトラメチルブチル基な
どが、Ｒ26、Ｒ28として示される炭素数２〜１２のアル
キレン基としてはジメチレン基、トリメチレン基、テト
ラメチレン基、ペンタメチレン基、ヘキサメチレン基な
どがそれぞれ例示される。
び一般式（２−２）における置換基Ｒ27として示される
炭素数２〜１２のアルキル基としてはエチル基、プロピ
ル基、ｎ−ヘキシル基、ｎ−ノニル基、ｎ−デシル基、
ｎ−ドデシル基、２−エチルヘキシル基、１，３−ジメ
チルブチル基、１−メチルブチル基、１，５−ジメチル
ヘキシル基、１，１，３，３−テトラメチルブチル基な
どが、Ｒ26、Ｒ28として示される炭素数２〜１２のアル
キレン基としてはジメチレン基、トリメチレン基、テト
ラメチレン基、ペンタメチレン基、ヘキサメチレン基な
どがそれぞれ例示される。
【００１７】色素（II）は、一般式（II）で示される化
合物であってもよいし、一般式（II）で示される化合物
の塩であってもよい。かかる塩としては、例えばナトリ
ウム、カリウムなどのアルカリ金属との金属塩、トリメ
チルアミン、２−エチルヘキシルアミン、１−アミノ−
３−フェニルブタンなどのアミンとのアミン塩などがが
挙げられる。かかる塩は、置換基Ｒ20、Ｒ21、Ｒ22、Ｒ
23がスルホン酸基でる場合には、該スルホン酸基で塩を
形成している。
合物であってもよいし、一般式（II）で示される化合物
の塩であってもよい。かかる塩としては、例えばナトリ
ウム、カリウムなどのアルカリ金属との金属塩、トリメ
チルアミン、２−エチルヘキシルアミン、１−アミノ−
３−フェニルブタンなどのアミンとのアミン塩などがが
挙げられる。かかる塩は、置換基Ｒ20、Ｒ21、Ｒ22、Ｒ
23がスルホン酸基でる場合には、該スルホン酸基で塩を
形成している。
【００１８】かかる色素（II）としては、例えばシー・
アイ・ソルベント・ブルー２５（C.I.Solvent Blue 2
5）、シー・アイ・ソルベント・ブルー５５（C.I.Solve
nt Blue 55）、シー・アイ・ソルベント・ブルー６７
（C.I.Solvent Blue 67）、シー・アイ・アシッド・ブ
ルー２４９（C.I.Acid Blue 249）、シー・アイ・ダイ
レクト・ブルー８６（C.I.Direct Blue 86）などが挙げ
られ、これらの色素は波長６００〜７００ｎｍに吸収極
大を有する染料であり、それぞれ単独または２種以上を
混合して用いられる。
アイ・ソルベント・ブルー２５（C.I.Solvent Blue 2
5）、シー・アイ・ソルベント・ブルー５５（C.I.Solve
nt Blue 55）、シー・アイ・ソルベント・ブルー６７
（C.I.Solvent Blue 67）、シー・アイ・アシッド・ブ
ルー２４９（C.I.Acid Blue 249）、シー・アイ・ダイ
レクト・ブルー８６（C.I.Direct Blue 86）などが挙げ
られ、これらの色素は波長６００〜７００ｎｍに吸収極
大を有する染料であり、それぞれ単独または２種以上を
混合して用いられる。
【００１９】色素（II）を用いる場合、青色フィルタ層
における色素（II）の含有量は青色フィルタ層の透過率
が波長４５０ｎｍで７０％以上となり波長６５０ｎｍで
５％以下となるように調整され、例えば色素（Ｉ）の含
有量および色素（II）の含有量の合計量１００重量部あ
たり色素（Ｉ）の含有量を通常３０〜７０重量部、好ま
しくは４０〜６０重量部とすればよく、色素（II）の含
有量は通常７０〜３０重量部、好ましくは６０〜４０重
量部となる。色素（Ｉ）の含有量が３０重量部未満であ
ると青色の光に対する分光特性が不十分となる傾向にあ
り、７０重量部を超えると耐光性の向上が不十分となる
傾向にある。
における色素（II）の含有量は青色フィルタ層の透過率
が波長４５０ｎｍで７０％以上となり波長６５０ｎｍで
５％以下となるように調整され、例えば色素（Ｉ）の含
有量および色素（II）の含有量の合計量１００重量部あ
たり色素（Ｉ）の含有量を通常３０〜７０重量部、好ま
しくは４０〜６０重量部とすればよく、色素（II）の含
有量は通常７０〜３０重量部、好ましくは６０〜４０重
量部となる。色素（Ｉ）の含有量が３０重量部未満であ
ると青色の光に対する分光特性が不十分となる傾向にあ
り、７０重量部を超えると耐光性の向上が不十分となる
傾向にある。
【００２０】青色フィルタ層は、波長５００〜６００ｎ
ｍに吸収極大を有するキサンテン系色素（以下、「色素
（III）」と称する。）を含有していてもよい。色素（I
II）としては、例えば一般式（III） 〔式中、Ｒ30、Ｒ31、Ｒ32、Ｒ33はそれぞれ独立に水素
原子または炭素数１〜３のアルキル基を示し、Ｒ34、Ｒ
35、Ｒ36はそれぞれ独立にスルホン酸基若しくはその
塩、スルホンアミド基または一般式（３） Ｒ37ＨＮ−ＳＯ2− （３） （式中、Ｒ37は炭素数２〜２０のアルキル基、アルキル
鎖の炭素数が２〜１２のシクロヘキシルアルキル基、ア
ルキル鎖の炭素数が１〜４のアルキルシクロヘキシル
基、炭素数２〜１２のアルコキシル基で置換された炭素
数２〜１２のアルキル基、一般式（３−１） Ｒ380−ＣＯ−Ｏ−Ｒ381− （３−１） （式中、Ｒ380は炭素数２〜１２のアルキル基を示し、
Ｒ381は炭素数２〜１２のアルキレン基を示す。）で示
されるアルキルカルボキシルアルキル基または一般式
（３−２） Ｒ390−Ｏ−ＣＯ−Ｒ391− （３−２） （式中、Ｒ390は炭素数２〜１２のアルキル基を示し、
Ｒ391は炭素数２〜１２のアルキレン基を示す。）で示
されるアルキルオキシカルボニルアルキル基、炭素数１
〜２０のアルキル基で置換されたフェニル基またはフェ
ニル基で置換された炭素数１〜２０のアルキル基を示
す。）で示されるスルファモイル基を示す。〕で示され
る化合物が挙げられる。かかる色素（III）を含有する
ことにより、青色フィルタ層の分光特性を調整し得て、
透過率を波長５３５ｎｍで１５％以下とすることができ
る。
ｍに吸収極大を有するキサンテン系色素（以下、「色素
（III）」と称する。）を含有していてもよい。色素（I
II）としては、例えば一般式（III） 〔式中、Ｒ30、Ｒ31、Ｒ32、Ｒ33はそれぞれ独立に水素
原子または炭素数１〜３のアルキル基を示し、Ｒ34、Ｒ
35、Ｒ36はそれぞれ独立にスルホン酸基若しくはその
塩、スルホンアミド基または一般式（３） Ｒ37ＨＮ−ＳＯ2− （３） （式中、Ｒ37は炭素数２〜２０のアルキル基、アルキル
鎖の炭素数が２〜１２のシクロヘキシルアルキル基、ア
ルキル鎖の炭素数が１〜４のアルキルシクロヘキシル
基、炭素数２〜１２のアルコキシル基で置換された炭素
数２〜１２のアルキル基、一般式（３−１） Ｒ380−ＣＯ−Ｏ−Ｒ381− （３−１） （式中、Ｒ380は炭素数２〜１２のアルキル基を示し、
Ｒ381は炭素数２〜１２のアルキレン基を示す。）で示
されるアルキルカルボキシルアルキル基または一般式
（３−２） Ｒ390−Ｏ−ＣＯ−Ｒ391− （３−２） （式中、Ｒ390は炭素数２〜１２のアルキル基を示し、
Ｒ391は炭素数２〜１２のアルキレン基を示す。）で示
されるアルキルオキシカルボニルアルキル基、炭素数１
〜２０のアルキル基で置換されたフェニル基またはフェ
ニル基で置換された炭素数１〜２０のアルキル基を示
す。）で示されるスルファモイル基を示す。〕で示され
る化合物が挙げられる。かかる色素（III）を含有する
ことにより、青色フィルタ層の分光特性を調整し得て、
透過率を波長５３５ｎｍで１５％以下とすることができ
る。
【００２１】一般式（III）で示される化合物におい
て、置換基Ｒ30、Ｒ31、Ｒ32、Ｒ33における炭素数１〜
３のアルキル基としてはメチル基、エチル基、プロピル
基などが例示される。置換基Ｒ37における炭素数２〜２
０のアルキル基、アルキル鎖の炭素数が２〜１２のシク
ロヘキシルアルキル基、アルキル鎖の炭素数が１〜４の
アルキルシクロヘキシル基、炭素数２〜１２のアルコキ
シル基で置換された炭素数２〜１２のアルキル基、炭素
数１〜２０のアルキル基で置換されたフェニル基または
フェニル基で置換された炭素数１〜２０のアルキル基と
しては置換基Ｒ24において例示したと同様の置換基がそ
れぞれ例示される。置換基Ｒ380、Ｒ390における炭素数
２〜１２のアルキル基としては置換基Ｒ25、Ｒ27におい
て例示したと同様の置換基が例示される。置換基
Ｒ381、Ｒ391における炭素数２〜１２のアルキレン基と
しては、置換基Ｒ26、Ｒ28において例示したと同様の置
換基が例示される。
て、置換基Ｒ30、Ｒ31、Ｒ32、Ｒ33における炭素数１〜
３のアルキル基としてはメチル基、エチル基、プロピル
基などが例示される。置換基Ｒ37における炭素数２〜２
０のアルキル基、アルキル鎖の炭素数が２〜１２のシク
ロヘキシルアルキル基、アルキル鎖の炭素数が１〜４の
アルキルシクロヘキシル基、炭素数２〜１２のアルコキ
シル基で置換された炭素数２〜１２のアルキル基、炭素
数１〜２０のアルキル基で置換されたフェニル基または
フェニル基で置換された炭素数１〜２０のアルキル基と
しては置換基Ｒ24において例示したと同様の置換基がそ
れぞれ例示される。置換基Ｒ380、Ｒ390における炭素数
２〜１２のアルキル基としては置換基Ｒ25、Ｒ27におい
て例示したと同様の置換基が例示される。置換基
Ｒ381、Ｒ391における炭素数２〜１２のアルキレン基と
しては、置換基Ｒ26、Ｒ28において例示したと同様の置
換基が例示される。
【００２２】かかる色素（III）としては、例えばシー
・アイ・アシッド・レッド２８９(C.I.Acid Red 289）
などが挙げられ、かかる色素（III）は波長５００〜６
００ｎｍに吸収極大を有する染料である。色素（III）
は、一般式（III）で示される化合物の１種を用いても
よいし、２種以上を混合して用いてもよい。
・アイ・アシッド・レッド２８９(C.I.Acid Red 289）
などが挙げられ、かかる色素（III）は波長５００〜６
００ｎｍに吸収極大を有する染料である。色素（III）
は、一般式（III）で示される化合物の１種を用いても
よいし、２種以上を混合して用いてもよい。
【００２３】色素（III）を用いる場合、その青色フィ
ルタ層における含有量は、例えば青色フィルタ層の透過
率が波長５３５ｎｍで１５％以下となるように調整すれ
ばよく、具体的には色素（Ｉ）の含有量および色素（I
I）の含有量の合計量１００重量部あたり通常７０重量
部以下、好ましくは１５重量部以上５０重量部以下であ
る。１５重量部未満であると色素（III）を含有しても
分光特性の向上が不十分となって透過率が波長５３５ｎ
ｍで１５％以下とはなり難い傾向にある。
ルタ層における含有量は、例えば青色フィルタ層の透過
率が波長５３５ｎｍで１５％以下となるように調整すれ
ばよく、具体的には色素（Ｉ）の含有量および色素（I
I）の含有量の合計量１００重量部あたり通常７０重量
部以下、好ましくは１５重量部以上５０重量部以下であ
る。１５重量部未満であると色素（III）を含有しても
分光特性の向上が不十分となって透過率が波長５３５ｎ
ｍで１５％以下とはなり難い傾向にある。
【００２４】本発明の色フィルタアレイは、通常のカラ
ーレジスト法により製造することができ、例えば色素を
含有する感光性樹脂組成物をパターンニングして青色フ
ィルタ層を形成する工程を有する製造方法により製造す
ることができる。ここで、感光性樹脂組成物は色素
（Ｉ）を含有し、かかる感光性樹脂組成物における色素
（Ｉ）の含有量は目的とする青色フィルタ層におけると
同様である。目的とする青色フィルタ層が他の色素、例
えば色素（II）、色素（III）を含有する場合には、色
素（II）、色素（III）を含有する感光性樹脂組成物を
用いればよく、かかる感光性樹脂組成物における色素
（II）、色素（III）の含有量は目的とする青色フィル
タ層におけると同様である。パターンニング後の青色フ
ィルタ層の透過率は波長４５０ｎｍで７０％以上であり
波長６５０ｎｍで５％以下である。
ーレジスト法により製造することができ、例えば色素を
含有する感光性樹脂組成物をパターンニングして青色フ
ィルタ層を形成する工程を有する製造方法により製造す
ることができる。ここで、感光性樹脂組成物は色素
（Ｉ）を含有し、かかる感光性樹脂組成物における色素
（Ｉ）の含有量は目的とする青色フィルタ層におけると
同様である。目的とする青色フィルタ層が他の色素、例
えば色素（II）、色素（III）を含有する場合には、色
素（II）、色素（III）を含有する感光性樹脂組成物を
用いればよく、かかる感光性樹脂組成物における色素
（II）、色素（III）の含有量は目的とする青色フィル
タ層におけると同様である。パターンニング後の青色フ
ィルタ層の透過率は波長４５０ｎｍで７０％以上であり
波長６５０ｎｍで５％以下である。
【００２５】感光性樹脂組成物は、ポジ型感光性樹脂組
成物であってもよいし、ネガ型感光性樹脂組成物であっ
てもよい。
成物であってもよいし、ネガ型感光性樹脂組成物であっ
てもよい。
【００２６】感光性樹脂組成物がポジ型感光性樹脂組成
物である場合、該組成物は、例えば上記色素並びに感光
剤およびアルカリ可溶性樹脂を含有する。感光剤として
は、通常の感光性樹脂組成物に用いられると同様の感光
剤を用いることができ、例えばフェノール化合物とｏ−
ナフトキノンジアジドスルホン酸化合物とのエステルな
どを用いることができる。フェノール化合物としては化
学式（１０） で示される化合物などが、ｏ−ナフトキノンジアジドス
ルホン酸化合物としてはｏ−ナフトキシノンジアジド−
５−スルホン酸、ｏ−ナフトキシノンジアジド−４−ス
ルホン酸などがそれぞれ例示される。
物である場合、該組成物は、例えば上記色素並びに感光
剤およびアルカリ可溶性樹脂を含有する。感光剤として
は、通常の感光性樹脂組成物に用いられると同様の感光
剤を用いることができ、例えばフェノール化合物とｏ−
ナフトキノンジアジドスルホン酸化合物とのエステルな
どを用いることができる。フェノール化合物としては化
学式（１０） で示される化合物などが、ｏ−ナフトキノンジアジドス
ルホン酸化合物としてはｏ−ナフトキシノンジアジド−
５−スルホン酸、ｏ−ナフトキシノンジアジド−４−ス
ルホン酸などがそれぞれ例示される。
【００２７】アルカリ可溶性樹脂とは、アルカリ性の現
像液に溶解し得る樹脂であり、通常の感光性樹脂組成物
に用いられると同様のアルカリ可溶性樹脂を用いること
ができる。かかるアルカリ可溶性樹脂としては、例えば
ｐ−クレゾールのノボラック樹脂、ｐ−クレゾールとｍ
−クレゾールとのノボラック樹脂、一般式（２０） で示される構造を有するノボラック樹脂などのノボラッ
ク樹脂、ポリビニルフェノール、スチレンとビニルフェ
ノールとの共重合体などが挙げられる。アルカリ可溶性
樹脂としては、ノボラック樹脂が好ましく用いられる。
像液に溶解し得る樹脂であり、通常の感光性樹脂組成物
に用いられると同様のアルカリ可溶性樹脂を用いること
ができる。かかるアルカリ可溶性樹脂としては、例えば
ｐ−クレゾールのノボラック樹脂、ｐ−クレゾールとｍ
−クレゾールとのノボラック樹脂、一般式（２０） で示される構造を有するノボラック樹脂などのノボラッ
ク樹脂、ポリビニルフェノール、スチレンとビニルフェ
ノールとの共重合体などが挙げられる。アルカリ可溶性
樹脂としては、ノボラック樹脂が好ましく用いられる。
【００２８】かかる感光性樹脂組成物における色素、感
光剤およびアルカリ可溶性樹脂の含有量は、色素、感光
剤およびアルカリ可溶性樹脂の合計量１００重量部に対
する色素の含有量が通常１０〜５０重量部であり、感光
剤の含有量が通常１０〜５０重量部であり、アルカリ可
溶性樹脂の含有量が通常３〜８０重量部である。
光剤およびアルカリ可溶性樹脂の含有量は、色素、感光
剤およびアルカリ可溶性樹脂の合計量１００重量部に対
する色素の含有量が通常１０〜５０重量部であり、感光
剤の含有量が通常１０〜５０重量部であり、アルカリ可
溶性樹脂の含有量が通常３〜８０重量部である。
【００２９】ポジ型感光性樹脂組成物は、硬化剤を含有
していてもよい。硬化剤を含有することにより、感光性
樹脂組成物を用いて形成されたパターンの機械的強度を
高めることができる。硬化剤としては通常、加熱される
ことにより硬化させる加熱硬化剤が用いられる。加熱硬
化剤としては、一般式（３０） 〔式中、Ｑ1、Ｑ2、Ｑ3、Ｑ4はそれぞれ独立に水素原
子、炭素数１〜４のヒドロキシアルキル基または炭素数
１〜４のアルコキシル基で置換された炭素数１〜４のア
ルキル基を示し、Ｚはフェニル基または一般式（３１） Ｑ5Ｑ6Ｎ− （３１） （式中、Ｑ5、Ｑ6はそれぞれ独立に水素原子、炭素数１
〜４のヒドロキシアルキル基、炭素数１〜４のアルコキ
シル基で置換された炭素数１〜４のアルキル基を示
す。）で示される置換基を示す。ただし、Ｑ1〜Ｑ6のう
ちの少なくとも１つは炭素数１〜４のヒドロキシアルキ
ル基または炭素数１〜４のアルコキシル基で置換された
炭素数１〜４のアルキル基である。〕で示される化合物
が例示される。かかる化合物において炭素数１〜４のヒ
ドロキシアルキル基としてはヒドロキシメチル基、ヒド
ロキシエチル基、ヒドロキシプロピル基、ヒドロキシブ
チル基などが、炭素数１〜４のアルコキシル基で置換さ
れた炭素数１〜４のアルキル基としてはメトキシメチル
基、メトキシエチル基、エトキシエチル基、プロポキシ
ブチル基がそれぞれ例示される。
していてもよい。硬化剤を含有することにより、感光性
樹脂組成物を用いて形成されたパターンの機械的強度を
高めることができる。硬化剤としては通常、加熱される
ことにより硬化させる加熱硬化剤が用いられる。加熱硬
化剤としては、一般式（３０） 〔式中、Ｑ1、Ｑ2、Ｑ3、Ｑ4はそれぞれ独立に水素原
子、炭素数１〜４のヒドロキシアルキル基または炭素数
１〜４のアルコキシル基で置換された炭素数１〜４のア
ルキル基を示し、Ｚはフェニル基または一般式（３１） Ｑ5Ｑ6Ｎ− （３１） （式中、Ｑ5、Ｑ6はそれぞれ独立に水素原子、炭素数１
〜４のヒドロキシアルキル基、炭素数１〜４のアルコキ
シル基で置換された炭素数１〜４のアルキル基を示
す。）で示される置換基を示す。ただし、Ｑ1〜Ｑ6のう
ちの少なくとも１つは炭素数１〜４のヒドロキシアルキ
ル基または炭素数１〜４のアルコキシル基で置換された
炭素数１〜４のアルキル基である。〕で示される化合物
が例示される。かかる化合物において炭素数１〜４のヒ
ドロキシアルキル基としてはヒドロキシメチル基、ヒド
ロキシエチル基、ヒドロキシプロピル基、ヒドロキシブ
チル基などが、炭素数１〜４のアルコキシル基で置換さ
れた炭素数１〜４のアルキル基としてはメトキシメチル
基、メトキシエチル基、エトキシエチル基、プロポキシ
ブチル基がそれぞれ例示される。
【００３０】かかる一般式（３０）で示される化合物と
してはヘキサメトキシメチルメラミンなどが挙げられ
る。また、ポジ型感光性樹脂組成物に用いられる硬化剤
としては、以下の化学式（３２）〜（３７） で示される化合物も挙げられる。
してはヘキサメトキシメチルメラミンなどが挙げられ
る。また、ポジ型感光性樹脂組成物に用いられる硬化剤
としては、以下の化学式（３２）〜（３７） で示される化合物も挙げられる。
【００３１】硬化剤を用いる場合、その含有量は色素、
感光剤およびアルカリ可溶性樹脂の合計量１００重量部
に対して通常１０重量部以上３５重量部以下である。
感光剤およびアルカリ可溶性樹脂の合計量１００重量部
に対して通常１０重量部以上３５重量部以下である。
【００３２】ポジ型感光性樹脂組成物は通常、溶剤によ
って希釈されて用いられる。溶剤は、用いる色素
（Ｉ）、色素（II）、色素（III）、感光剤、アルカリ
可溶性樹脂および硬化剤の溶解度、中でも色素（Ｉ）、
色素（II）、色素（III）の溶解度に応じて適宜選択さ
れて用いられるが、例えばメチルセルソルブ、エチルセ
ルソルブ、メチルセルソルブアセテート、エチルセルソ
ルブアセテート、ジエチレングリコールジメチルエーテ
ル、エチレングリコールモノイソプロピルエーテル、プ
ロピレングリコールモノメチルエーテル、Ｎ−メチルピ
ロリドン、γ−ブチロラクトン、ジメチルスルホキシ
ド、Ｎ，Ｎ’−ジメチルホルムアミド、シクロヘキサ
ン、酢酸エチル、酢酸ｎ−ブチル、酢酸プロピレングリ
コールモノエチルエーテル、酢酸エチル、ピルビン酸エ
チル、乳酸エチルなどを用いることができる。これらの
溶剤はそれぞれ単独または２種以上を混合して用いられ
る。溶剤の使用量は色素、感光剤、アルカリ可溶性樹脂
および硬化剤の合計量１００重量部に対して通常は１８
０〜４００重量部程度である。
って希釈されて用いられる。溶剤は、用いる色素
（Ｉ）、色素（II）、色素（III）、感光剤、アルカリ
可溶性樹脂および硬化剤の溶解度、中でも色素（Ｉ）、
色素（II）、色素（III）の溶解度に応じて適宜選択さ
れて用いられるが、例えばメチルセルソルブ、エチルセ
ルソルブ、メチルセルソルブアセテート、エチルセルソ
ルブアセテート、ジエチレングリコールジメチルエーテ
ル、エチレングリコールモノイソプロピルエーテル、プ
ロピレングリコールモノメチルエーテル、Ｎ−メチルピ
ロリドン、γ−ブチロラクトン、ジメチルスルホキシ
ド、Ｎ，Ｎ’−ジメチルホルムアミド、シクロヘキサ
ン、酢酸エチル、酢酸ｎ−ブチル、酢酸プロピレングリ
コールモノエチルエーテル、酢酸エチル、ピルビン酸エ
チル、乳酸エチルなどを用いることができる。これらの
溶剤はそれぞれ単独または２種以上を混合して用いられ
る。溶剤の使用量は色素、感光剤、アルカリ可溶性樹脂
および硬化剤の合計量１００重量部に対して通常は１８
０〜４００重量部程度である。
【００３３】感光性樹脂組成物がネガ型感光性樹脂組成
物である場合、該組成物は、例えば上記色素並びに光酸
発生剤、硬化剤およびアルカリ可溶性樹脂を含有する。
物である場合、該組成物は、例えば上記色素並びに光酸
発生剤、硬化剤およびアルカリ可溶性樹脂を含有する。
【００３４】光酸発生剤としては通常のネガ型感光性樹
脂組成物に用いられると同様の光酸発生剤を用いること
ができ、一般式（４０） （式中、Ｑ7は炭素数１〜３のアルキル基を示し、Ｑ8は
炭素数１〜３のアルキル基で置換されたフェニル基また
は炭素数１〜３のアルコキシル基で置換されたフェニル
基を示す。）で示される化合物などが例示される。
脂組成物に用いられると同様の光酸発生剤を用いること
ができ、一般式（４０） （式中、Ｑ7は炭素数１〜３のアルキル基を示し、Ｑ8は
炭素数１〜３のアルキル基で置換されたフェニル基また
は炭素数１〜３のアルコキシル基で置換されたフェニル
基を示す。）で示される化合物などが例示される。
【００３５】Ｑ7として示される炭素数１〜３のアルキ
ル基としてはメチル基、エチル基、プロピル基などが例
示される。Ｑ8として示される炭素数１〜３のアルキル
基で置換されたフェニル基としてはｏ−イソプロピルフ
ェニル基などが、炭素数１〜３のアルコキシル基で置換
されたフェニル基としてはｐ−メトキシフェニル基、ｐ
−エトキシフェニル基、ｐ−プロポキシフェニル基など
がそれぞれ例示される。
ル基としてはメチル基、エチル基、プロピル基などが例
示される。Ｑ8として示される炭素数１〜３のアルキル
基で置換されたフェニル基としてはｏ−イソプロピルフ
ェニル基などが、炭素数１〜３のアルコキシル基で置換
されたフェニル基としてはｐ−メトキシフェニル基、ｐ
−エトキシフェニル基、ｐ−プロポキシフェニル基など
がそれぞれ例示される。
【００３６】また、光酸発生剤として、化学式（４１）
〜（４７） で示される化合物を用いることもできる。
〜（４７） で示される化合物を用いることもできる。
【００３７】硬化剤としては通常のネガ型感光性樹脂組
成物に用いられると同様に、加熱さることにより硬化さ
せる加熱硬化剤が用いられ、感光性樹脂組成物がポジ型
感光性樹脂組成物である場合に例示したと同様の加熱硬
化剤を用いることができる。
成物に用いられると同様に、加熱さることにより硬化さ
せる加熱硬化剤が用いられ、感光性樹脂組成物がポジ型
感光性樹脂組成物である場合に例示したと同様の加熱硬
化剤を用いることができる。
【００３８】アルカリ可溶性樹脂としては、通常のネガ
型感光性樹脂組成物に用いられると同様に、ポジ型感光
性樹脂組成物である場合に例示したと同様のアルカリ可
溶性樹脂を用いることができる。
型感光性樹脂組成物に用いられると同様に、ポジ型感光
性樹脂組成物である場合に例示したと同様のアルカリ可
溶性樹脂を用いることができる。
【００３９】かかるネガ型感光性樹脂組成物における光
酸発生剤、硬化剤およびアルカリ可溶性樹脂の含有量
は、色素、光酸発生剤、硬化剤およびアルカリ可溶性樹
脂の合計量１００重量部に対する色素の含有量が通常１
５〜４０重量部程度であり、光酸発生剤の含有量が通常
０．３〜５重量部程度であり、硬化剤の使用量が通常１
０〜２５重量部程度であり、アルカリ可溶性樹脂の含有
量が通常２０〜７５重量部程度である。
酸発生剤、硬化剤およびアルカリ可溶性樹脂の含有量
は、色素、光酸発生剤、硬化剤およびアルカリ可溶性樹
脂の合計量１００重量部に対する色素の含有量が通常１
５〜４０重量部程度であり、光酸発生剤の含有量が通常
０．３〜５重量部程度であり、硬化剤の使用量が通常１
０〜２５重量部程度であり、アルカリ可溶性樹脂の含有
量が通常２０〜７５重量部程度である。
【００４０】ネガ型感光性樹脂組成物は通常、溶剤によ
って希釈されて用いられる。溶剤は、用いる色素
（Ｉ）、色素（II）、色素（III）、感光剤、アルカリ
可溶性樹脂および硬化剤の溶解度、中でも色素（Ｉ）、
色素（II）、色素（III）の溶解度に応じて適宜選択さ
れて用いられ、感光性樹脂組成物がポジ型感光性樹脂組
成物である場合において例示したと同様の溶剤を用いる
ことができる。溶剤の使用量は、色素、光酸発生剤、硬
化剤およびアルカリ可溶性樹脂の合計量１００重量部に
対して通常は１８０〜４００重量部程度である。
って希釈されて用いられる。溶剤は、用いる色素
（Ｉ）、色素（II）、色素（III）、感光剤、アルカリ
可溶性樹脂および硬化剤の溶解度、中でも色素（Ｉ）、
色素（II）、色素（III）の溶解度に応じて適宜選択さ
れて用いられ、感光性樹脂組成物がポジ型感光性樹脂組
成物である場合において例示したと同様の溶剤を用いる
ことができる。溶剤の使用量は、色素、光酸発生剤、硬
化剤およびアルカリ可溶性樹脂の合計量１００重量部に
対して通常は１８０〜４００重量部程度である。
【００４１】かかる感光性樹脂組成物は、色素として色
素（Ｉ）を用いているので、長期間保管しても析出物が
殆ど発生せず、そのため基材に塗布してもムラが殆ど生
じないので、例えば厚みが０．５〜２μｍ程度で一般の
長さが２〜２０μｍ程度のパターンの青色フィルタ層を
有する色フィルタアレイを得ることができる。パターン
ニングするには、例えば基体上に上記感光性樹脂組成物
からなる被膜を設け、該被膜を露光してのち現像すれば
よい。
素（Ｉ）を用いているので、長期間保管しても析出物が
殆ど発生せず、そのため基材に塗布してもムラが殆ど生
じないので、例えば厚みが０．５〜２μｍ程度で一般の
長さが２〜２０μｍ程度のパターンの青色フィルタ層を
有する色フィルタアレイを得ることができる。パターン
ニングするには、例えば基体上に上記感光性樹脂組成物
からなる被膜を設け、該被膜を露光してのち現像すれば
よい。
【００４２】基体の上に被膜を設けるには、感光性樹脂
組成物を希釈した溶液を基体上に塗布すればよい。塗布
は通常、スピンコート法により行われる。塗布後、例え
ば８０〜１３０℃程度に加熱して溶剤を揮発させれば、
感光性樹脂組成物からなる被膜を得ることができる。
組成物を希釈した溶液を基体上に塗布すればよい。塗布
は通常、スピンコート法により行われる。塗布後、例え
ば８０〜１３０℃程度に加熱して溶剤を揮発させれば、
感光性樹脂組成物からなる被膜を得ることができる。
【００４３】次いで、この被膜を露光する。露光には目
的とするパターンに応じたパターンからなるマスクパタ
ーンが用いられ、該マスクパターンを介して光線を照射
すればよい。露光に用いられる光線としては、例えばｇ
線、ｉ線などを用いることができ、ｇ線ステッパー、ｉ
線ステッパーなどの露光機を用いて露光すればよい。用
いた感光性樹脂組成物がネガ型感光性樹脂組成物である
場合には、露光後に加熱する。また、用いた感光性樹脂
組成物がポジ型感光性樹脂組成物である場合には、露光
後に加熱してもよいし、加熱しなくともよい。加熱する
場合の加熱温度は、例えば８０〜１５０℃である。
的とするパターンに応じたパターンからなるマスクパタ
ーンが用いられ、該マスクパターンを介して光線を照射
すればよい。露光に用いられる光線としては、例えばｇ
線、ｉ線などを用いることができ、ｇ線ステッパー、ｉ
線ステッパーなどの露光機を用いて露光すればよい。用
いた感光性樹脂組成物がネガ型感光性樹脂組成物である
場合には、露光後に加熱する。また、用いた感光性樹脂
組成物がポジ型感光性樹脂組成物である場合には、露光
後に加熱してもよいし、加熱しなくともよい。加熱する
場合の加熱温度は、例えば８０〜１５０℃である。
【００４４】露光してのち現像する。現像は通常の感光
性樹脂組成物を用いたと同様に、被膜が設けられた基体
を現像液に浸漬すればよい。現像液としては、通常の感
光性樹脂組成物を用いてパターンを形成する場合と同様
の現像液を用いることができる。現像液から基体を引き
上げ、次いで水洗して現像液を除去することにより、目
的とするパターンで青色フィルタ層が形成された色フィ
ルタアレイを得ることができる。
性樹脂組成物を用いたと同様に、被膜が設けられた基体
を現像液に浸漬すればよい。現像液としては、通常の感
光性樹脂組成物を用いてパターンを形成する場合と同様
の現像液を用いることができる。現像液から基体を引き
上げ、次いで水洗して現像液を除去することにより、目
的とするパターンで青色フィルタ層が形成された色フィ
ルタアレイを得ることができる。
【００４５】感光性樹脂組成物がポジ型感光性樹脂組成
物である場合には、次いで紫外線を照射してもよい。紫
外線を照射することにより、残存する感光剤を分解し
て、残存する感光剤に起因する着色を防止することがで
きる。また、加熱硬化剤を含有する場合には、水洗後加
熱する。加熱により、形成された緑色フィルタ層の機械
的強度を向上することができる。加熱温度は通常１６０
℃以上２２０℃以下程度であり、通常は色素の分解温度
以下である。
物である場合には、次いで紫外線を照射してもよい。紫
外線を照射することにより、残存する感光剤を分解し
て、残存する感光剤に起因する着色を防止することがで
きる。また、加熱硬化剤を含有する場合には、水洗後加
熱する。加熱により、形成された緑色フィルタ層の機械
的強度を向上することができる。加熱温度は通常１６０
℃以上２２０℃以下程度であり、通常は色素の分解温度
以下である。
【００４６】感光性樹脂組成物がネガ型感光性樹脂組成
物である場合には、水洗後加熱してもよい。加熱するこ
とにより形成された青色フィルタ層の機械的強度を向上
することができる。加熱温度は通常１６０℃以上２２０
℃以下程度であり、通常は色素の分解温度以下である。
物である場合には、水洗後加熱してもよい。加熱するこ
とにより形成された青色フィルタ層の機械的強度を向上
することができる。加熱温度は通常１６０℃以上２２０
℃以下程度であり、通常は色素の分解温度以下である。
【００４７】かくして目的とするパターンで青色フィル
タ層が形成されるが、他の色のフィルタ層、即ち赤色フ
ィルタ層、緑色フィルタ層は青色フィルタ層が形成され
た後の基体の同一平面上に通常と同様の方法で形成すれ
ばよい。感光性樹脂組成物がポジ型感光性樹脂組成物で
ある場合には、感光性樹脂組成物として硬化剤を含有す
るものを用い、現像後に加熱することは、形成された青
色フィルタ層の強度を向上するので好ましい。また、他
の色のフィルタ層を予め基体上に形成しておいてから、
青色フィルタ層を形成してもよい。
タ層が形成されるが、他の色のフィルタ層、即ち赤色フ
ィルタ層、緑色フィルタ層は青色フィルタ層が形成され
た後の基体の同一平面上に通常と同様の方法で形成すれ
ばよい。感光性樹脂組成物がポジ型感光性樹脂組成物で
ある場合には、感光性樹脂組成物として硬化剤を含有す
るものを用い、現像後に加熱することは、形成された青
色フィルタ層の強度を向上するので好ましい。また、他
の色のフィルタ層を予め基体上に形成しておいてから、
青色フィルタ層を形成してもよい。
【００４８】かくして基体上の同一平面に互いに隣接し
て形成された赤色フィルタ層、緑色フィルタ層および青
色フィルタ層からなる色フィルタアレイを得ることがで
きる。かかる色フィルタアレイは、固体撮像素子、液晶
表示素子などをカラー化することができ、例えばこの色
フィルタアレイが電荷結合素子の前面側に配置されてな
る固体撮像素子によれば、色再現性、特に青色の色再現
性に優れたカラー画像を得ることができる。
て形成された赤色フィルタ層、緑色フィルタ層および青
色フィルタ層からなる色フィルタアレイを得ることがで
きる。かかる色フィルタアレイは、固体撮像素子、液晶
表示素子などをカラー化することができ、例えばこの色
フィルタアレイが電荷結合素子の前面側に配置されてな
る固体撮像素子によれば、色再現性、特に青色の色再現
性に優れたカラー画像を得ることができる。
【００４９】
【発明の効果】本発明の色フィルタアレイは、青色の光
に対する分光特性に優れ、耐光性にも優れた青色フィル
タ層を有している。また、色素として染料を用いている
ので、その製造に用いる感光性樹脂組成物に析出物が発
生しにくく、保存安定性に優れており、異物が少なく均
質な厚みの青色フィルタ層を容易に得ることができる。
そして、この色フィルタアレイは、液晶表示素子や、電
荷結合素子を用いた固体撮像素子に好適に用いることが
できる。
に対する分光特性に優れ、耐光性にも優れた青色フィル
タ層を有している。また、色素として染料を用いている
ので、その製造に用いる感光性樹脂組成物に析出物が発
生しにくく、保存安定性に優れており、異物が少なく均
質な厚みの青色フィルタ層を容易に得ることができる。
そして、この色フィルタアレイは、液晶表示素子や、電
荷結合素子を用いた固体撮像素子に好適に用いることが
できる。
【００５０】
【実施例】以下、実施例により本発明をより詳細に説明
するが、本発明はこれら実施例に限定されるものではな
い。
するが、本発明はこれら実施例に限定されるものではな
い。
【００５１】実施例１ 色素（Ｉ）としてシー・アイ・アシッド・ブルー８３
（２０重量部）、色素（II）としてシー・アイ・ソルベ
ント・ブルー６７（１０重量部）、感光剤として化学式
（１０）で示されるフェノール化合物とｏ−ナフトキノ
ンジアジド−５−スルホン酸とのエステル（３０重量
部）、アルカリ可溶性樹脂としてｐ−クレゾールのノボ
ラック樹脂（ポリスチレン換算の分子量は５０００）３
０重量部、硬化剤としてヘキサメトキシメチルメラミン
（１５重量部）および溶剤として乳酸エチル（３００重
量部）を混合したのち、孔径０．１μｍのメンブランフ
ィルターで濾過してポジ型感光性樹脂組成物を得た。
（２０重量部）、色素（II）としてシー・アイ・ソルベ
ント・ブルー６７（１０重量部）、感光剤として化学式
（１０）で示されるフェノール化合物とｏ−ナフトキノ
ンジアジド−５−スルホン酸とのエステル（３０重量
部）、アルカリ可溶性樹脂としてｐ−クレゾールのノボ
ラック樹脂（ポリスチレン換算の分子量は５０００）３
０重量部、硬化剤としてヘキサメトキシメチルメラミン
（１５重量部）および溶剤として乳酸エチル（３００重
量部）を混合したのち、孔径０．１μｍのメンブランフ
ィルターで濾過してポジ型感光性樹脂組成物を得た。
【００５２】このポジ型感光性樹脂組成物を基体（シリ
コンウエハー）上にスピンコート法により塗布し、１０
０℃で１分間加熱し乳酸エチルを揮発させて被膜を形成
した。次いで露光機〔「Ｎｉｋｏｎ ＮＳＲ ｉ７Ａ」
（ニコン(株)製））を用いてマスクパターンを介してｉ
線を照射して露光したのち、現像液〔「ＳＯＰＤ」（住
友化学工業(株)製）、２３℃〕に１分間浸漬して現像し
た。現像後、水洗し、乾燥後、紫外線を照射し、１８０
℃に３分間加熱して、線幅１．０μｍで厚みが１．５μ
ｍの帯状のパターンで形成された青色フィルタ層を有す
る色フィルタアレイを得た（図４）。
コンウエハー）上にスピンコート法により塗布し、１０
０℃で１分間加熱し乳酸エチルを揮発させて被膜を形成
した。次いで露光機〔「Ｎｉｋｏｎ ＮＳＲ ｉ７Ａ」
（ニコン(株)製））を用いてマスクパターンを介してｉ
線を照射して露光したのち、現像液〔「ＳＯＰＤ」（住
友化学工業(株)製）、２３℃〕に１分間浸漬して現像し
た。現像後、水洗し、乾燥後、紫外線を照射し、１８０
℃に３分間加熱して、線幅１．０μｍで厚みが１．５μ
ｍの帯状のパターンで形成された青色フィルタ層を有す
る色フィルタアレイを得た（図４）。
【００５３】次いで、マスクパターンを代える以外は上
記と同様に操作して、線幅が２．０μｍで厚みが１．５
μｍのモザイク状のパターンで形成された青色フィルタ
層を有する色フィルタアレイを得た（図５）。
記と同様に操作して、線幅が２．０μｍで厚みが１．５
μｍのモザイク状のパターンで形成された青色フィルタ
層を有する色フィルタアレイを得た（図５）。
【００５４】次いで、基体として透明なガラス板を用い
露光および現像をすることなく乾燥し、紫外線を照射す
る以外は上記と同様に操作して、全面に亙って厚み１．
５μｍで形成された青色フィルタ層を得た。
露光および現像をすることなく乾燥し、紫外線を照射す
る以外は上記と同様に操作して、全面に亙って厚み１．
５μｍで形成された青色フィルタ層を得た。
【００５５】実施例２ 色素（Ｉ）としてシー・アイ・アシッド・ブルー８３に
代えてシー・アイ・アシッド・ブルー９０（２０重量
部）を用い、色素（III）として化学式（５２） で示される化合物（３重量部）を用いる以外は実施例１
と同様に操作して、ポジ型感光性樹脂組成物を得、線幅
１．０μｍで厚みが１．５μｍの帯状のパターンで形成
された青色フィルタ層を有する色フィルタアレイを得、
線幅が２．０μｍで厚みが１．５μｍのモザイク状のパ
ターンで形成された青色フィルタ層を有する色フィルタ
アレイを得、全面に亙って厚み１．５μｍで形成された
青色フィルタ層を得た。
代えてシー・アイ・アシッド・ブルー９０（２０重量
部）を用い、色素（III）として化学式（５２） で示される化合物（３重量部）を用いる以外は実施例１
と同様に操作して、ポジ型感光性樹脂組成物を得、線幅
１．０μｍで厚みが１．５μｍの帯状のパターンで形成
された青色フィルタ層を有する色フィルタアレイを得、
線幅が２．０μｍで厚みが１．５μｍのモザイク状のパ
ターンで形成された青色フィルタ層を有する色フィルタ
アレイを得、全面に亙って厚み１．５μｍで形成された
青色フィルタ層を得た。
【００５６】実施例３ 感光剤に代えて酸発生剤として化学式（５１） で示される化合物２重量部を用いる以外は実施例１と同
様に操作してネガ型感光性樹脂組成物を得た。
様に操作してネガ型感光性樹脂組成物を得た。
【００５７】このネガ型感光性樹脂組成物を基体（シリ
コンウエハー）上にスピンコート法により塗布し、１０
０℃で１分間加熱し乳酸エチルを揮発させて被膜を形成
した。次いで露光機〔「Ｎｉｋｏｎ ＮＳＲ ｉ７Ａ」
（ニコン(株)製））を用いてマスクパターンを介してｉ
線を照射して露光したのち、１２０℃で１分間加熱し、
次いで現像液〔「ＳＯＰＤ」（住友化学工業(株)製）、
２３℃〕に１分間浸漬して現像した。現像後、水洗し、
乾燥後、１８０℃に３分間加熱して、線幅１．０μｍで
厚みが１．５μｍの帯状のパターンで形成された青色フ
ィルタ層を有する色フィルタアレイを得た。
コンウエハー）上にスピンコート法により塗布し、１０
０℃で１分間加熱し乳酸エチルを揮発させて被膜を形成
した。次いで露光機〔「Ｎｉｋｏｎ ＮＳＲ ｉ７Ａ」
（ニコン(株)製））を用いてマスクパターンを介してｉ
線を照射して露光したのち、１２０℃で１分間加熱し、
次いで現像液〔「ＳＯＰＤ」（住友化学工業(株)製）、
２３℃〕に１分間浸漬して現像した。現像後、水洗し、
乾燥後、１８０℃に３分間加熱して、線幅１．０μｍで
厚みが１．５μｍの帯状のパターンで形成された青色フ
ィルタ層を有する色フィルタアレイを得た。
【００５８】次いで、マスクパターンを代える以外は実
施例１と同様に操作して、線幅が２．０μｍで厚みが
１．５μｍのモザイク状のパターンで形成された青色フ
ィルタ層を有する色フィルタアレイを得た。
施例１と同様に操作して、線幅が２．０μｍで厚みが
１．５μｍのモザイク状のパターンで形成された青色フ
ィルタ層を有する色フィルタアレイを得た。
【００５９】次いで、基体として透明なガラス板を用
い、マスクパターンを用いることなく露光する以外は実
施例１と同様に操作して、全面に亙って厚み１．５μｍ
で形成された青色フィルタ層を得た。
い、マスクパターンを用いることなく露光する以外は実
施例１と同様に操作して、全面に亙って厚み１．５μｍ
で形成された青色フィルタ層を得た。
【００６０】実施例４ 色素（II）を用いることなく、色素（Ｉ）の使用量を５
０重量部とする以外は実施例１と同様に操作してポジ型
感光性樹脂組成物を得、線幅１．０μｍで厚みが１．５
μｍの帯状のパターンで形成された青色フィルタ層を有
する色フィルタアレイを得、線幅が２．０μｍで厚みが
１．５μｍのモザイク状のパターンで形成された青色フ
ィルタ層を有する色フィルタアレイを得、全面に亙って
厚み１．５μｍで形成された青色フィルタ層を得た。
０重量部とする以外は実施例１と同様に操作してポジ型
感光性樹脂組成物を得、線幅１．０μｍで厚みが１．５
μｍの帯状のパターンで形成された青色フィルタ層を有
する色フィルタアレイを得、線幅が２．０μｍで厚みが
１．５μｍのモザイク状のパターンで形成された青色フ
ィルタ層を有する色フィルタアレイを得、全面に亙って
厚み１．５μｍで形成された青色フィルタ層を得た。
【００６１】実施例５ 以下の組成の緑色フィルタ層形成用感光性樹脂組成物、
赤色フィルタ層形成用感光性樹脂組成物および青色フィ
ルタ層形成用感光性樹脂組成物をそれぞれ調整した。
赤色フィルタ層形成用感光性樹脂組成物および青色フィ
ルタ層形成用感光性樹脂組成物をそれぞれ調整した。
【００６２】 （赤色フィルタ層形成用感光性樹脂組成物） ノボラック樹脂 ５重量部 ｏ−ナフトキノンジアジド−４−スルホン酸エステル ８重量部 ヘキサメトキシメチルメラミン ２重量部 乳酸エチル ５０重量部 Ｎ，Ｎ’−ジメチルホルムアミド ２５重量部 化学式（５２）で示される化合物 ２重量部 シー・アイ・ソルベント オレンジ５６ ２重量部 シー・アイ・ソルベント イエロー８２ ２重量部 シー・アイ・ソルベント イエロー１６２ ２重量部
【００６３】 （青色フィルタ層形成用感光性樹脂組成物） ノボラック樹脂 ５重量部 ｏ−ナフトキノンジアジド−４−スルホン酸エステル ８重量部 ヘキサメトキシメチルメラミン ２重量部 乳酸エチル ５０重量部 Ｎ，Ｎ’−ジメチルホルムアミド ２５重量部 一般式（５２）で示される化合物 ３重量部 シー・アイ・ソルベント ブルー２５ ３重量部 シー・アイ・アシッド ブルー９０ ２重量部
【００６４】 （緑色フィルタ層形成用感光性樹脂組成物） ノボラック樹脂 ５重量部 ｏ−ナフトキノンジアジド−４−スルホン酸エステル ８重量部 ヘキサメトキシメチルメラミン ２重量部 乳酸エチル ５０重量部 Ｎ，Ｎ’−ジメチルホルムアミド ２５重量部 シー・アイ・ソルベント ブルー２５ （色素（Ｉ）） ４重量部 シー・アイ・ソルベント イエロー８２ （色素（III）） ２重量部 シー・アイ・ソルベント イエロー１６２（色素（II）） ２重量部
【００６５】平坦化膜（３）、ポリシリコン電極
（４）、センサー（５）、Ｖレジスター（６）、遮光膜
（７）、パッシベーション膜（８）からなる電荷結合素
子が形成されたシリコンウエハー上に上記で調整した赤
色フィルタ形成様感光性樹脂組成物をスピンコートして
塗布したのち、１００℃のベークプレート上で溶剤を揮
発させた。
（４）、センサー（５）、Ｖレジスター（６）、遮光膜
（７）、パッシベーション膜（８）からなる電荷結合素
子が形成されたシリコンウエハー上に上記で調整した赤
色フィルタ形成様感光性樹脂組成物をスピンコートして
塗布したのち、１００℃のベークプレート上で溶剤を揮
発させた。
【００６６】次いで、ｉ線ステッパ露光機〔「Ｎｉｋｏ
ｎ ＮＳＲ２２０５ ｉ１２Ｄ」（ニコン(株)製）〕で
レチクルを介して波長３６５ｎｍの紫外線光（２０００
ｍＪ／ｃｍ2）を照射した。次いで、現像液（１０００
ｃｍ3あたりテトラメチルアンモニウムハイドロオキサ
イドを３ｇ含有する水溶液）で露光部分を現像、除去し
た後、純水で水洗した。次いで、低圧水銀灯を用いて紫
外線（３０００ｍＪ／ｃｍ2）を前面に亘って照射し、
１８０℃のベークプレート上で１０分間加熱して赤色フ
ィルタ層を形成した（図６（ａ））。
ｎ ＮＳＲ２２０５ ｉ１２Ｄ」（ニコン(株)製）〕で
レチクルを介して波長３６５ｎｍの紫外線光（２０００
ｍＪ／ｃｍ2）を照射した。次いで、現像液（１０００
ｃｍ3あたりテトラメチルアンモニウムハイドロオキサ
イドを３ｇ含有する水溶液）で露光部分を現像、除去し
た後、純水で水洗した。次いで、低圧水銀灯を用いて紫
外線（３０００ｍＪ／ｃｍ2）を前面に亘って照射し、
１８０℃のベークプレート上で１０分間加熱して赤色フ
ィルタ層を形成した（図６（ａ））。
【００６７】次いで、上記で赤色フィルタ層形成用感光
性樹脂組成物に代えて、上記で調整した青色フィルタ層
形成用の感光性樹脂組成物を用いる以外は上記と同様に
操作して、青色フィルタ層を形成した（図６（ｂ））。
性樹脂組成物に代えて、上記で調整した青色フィルタ層
形成用の感光性樹脂組成物を用いる以外は上記と同様に
操作して、青色フィルタ層を形成した（図６（ｂ））。
【００６８】次いで、上記で調整した緑色フィルタ層形
成用の感光性樹脂組成物を用いる以外は上記と同様に操
作して、緑色フィルタ層を形成し、色フィルタアレイを
得た（図６（ｃ）、（ｄ））。
成用の感光性樹脂組成物を用いる以外は上記と同様に操
作して、緑色フィルタ層を形成し、色フィルタアレイを
得た（図６（ｃ）、（ｄ））。
【００６９】この色フィルタアレイの上に通常の方法で
マイクロレンズを形成して、固体撮像素子を得た。この
固体撮像素子の色フィルタアレイにおける青色フィルタ
層の厚みは１．７μｍであった。この固体撮像素子の色
フィルタアレイは、良好な分光特性を示していた（図６
（ｅ））。
マイクロレンズを形成して、固体撮像素子を得た。この
固体撮像素子の色フィルタアレイにおける青色フィルタ
層の厚みは１．７μｍであった。この固体撮像素子の色
フィルタアレイは、良好な分光特性を示していた（図６
（ｅ））。
【００７０】石英ウエハー上に上記と同様にして全面に
亙って青色フィルタ層（厚み１．７μｍ）を形成した。
亙って青色フィルタ層（厚み１．７μｍ）を形成した。
【００７１】評価 （１）選択性能 上記各実施例および比較例で得た全面に亙って形成され
た青色フィルタ層を有する色フィルタアレイの４５０ｎ
ｍ、５４０ｎｍ、６５０ｎｍの波長における光線透過率
を測定した。その結果を表１に示す。 （２）耐光性 上記各実施例および比較例で得た色フィルタアレイの前
方に紫外線カットフィルター〔「ＣＯＬＯＲＥＤ ＯＰ
ＴＩＣＡＬ ＧＬＡＳＳ Ｌ３８」（ホヤ(株)製）〕を
配置して１００万ルクス・時間の光を照射した。光源と
しては、「サンテスタ−ＸＦ−１８０ＣＰＳ」（島津製
作所(株)製）を用いた。光照射後の色フィルタアレイの
波長４５０ｎｍ、５４０ｎｍ、６５０ｎｍにおける光線
透過率を求めた。その結果を表２に示す。
た青色フィルタ層を有する色フィルタアレイの４５０ｎ
ｍ、５４０ｎｍ、６５０ｎｍの波長における光線透過率
を測定した。その結果を表１に示す。 （２）耐光性 上記各実施例および比較例で得た色フィルタアレイの前
方に紫外線カットフィルター〔「ＣＯＬＯＲＥＤ ＯＰ
ＴＩＣＡＬ ＧＬＡＳＳ Ｌ３８」（ホヤ(株)製）〕を
配置して１００万ルクス・時間の光を照射した。光源と
しては、「サンテスタ−ＸＦ−１８０ＣＰＳ」（島津製
作所(株)製）を用いた。光照射後の色フィルタアレイの
波長４５０ｎｍ、５４０ｎｍ、６５０ｎｍにおける光線
透過率を求めた。その結果を表２に示す。
【００７２】
【表１】
【００７３】
【表２】
【図１】基体上の同一平面上に赤色フィルタ層、緑色フ
ィルタ層および青色フィルタ層が設けられた色フィルタ
アレイの断面を示す模式図である。
ィルタ層および青色フィルタ層が設けられた色フィルタ
アレイの断面を示す模式図である。
【図２】帯状のパターンで赤色フィルタ層、緑色フィル
タ層および青色フィルタ層が設けられた色フィルタアレ
イの平面模式図である。
タ層および青色フィルタ層が設けられた色フィルタアレ
イの平面模式図である。
【図３】モザイク状のパターンで赤色フィルタ層、緑色
フィルタ層および青色フィルタ層が設けられた色フィル
タアレイの平面模式図である。
フィルタ層および青色フィルタ層が設けられた色フィル
タアレイの平面模式図である。
【図４】実施例１で得た色フィルタアレイの平面模式図
である。
である。
【図５】実施例１で得た色フィルタアレイの平面模式図
である。
である。
【図６】実施例５の工程を示す模式図である。
１：基体 ２：色フィルタアレイ ３：平坦化膜 ４：ポリシリコン電極 ５：センサー ６：Ｖレジスター ７：遮光膜 ８：パッシベーション膜 ９：マイクロレンズ Ｒ：赤色フィルタ層 Ｇ：緑色フィルタ層 Ｂ：青色フィルタ層
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 植田 裕治 大阪府大阪市此花区春日出中３丁目１番98 号 住友化学工業株式会社内 (72)発明者 円道 博毅 東京都品川区北品川６丁目７番35号 ソニ ー株式会社内 (72)発明者 名取 太知 東京都品川区北品川６丁目７番35号 ソニ ー株式会社内 (72)発明者 神脇 豊美 鹿児島県国分市野口北５番１号 ソニー国 分株式会社内 Ｆターム(参考） 2H025 AB13 AC01 AD01 AD03 CB52 CC11 CC20 FA03 FA17 2H048 BA02 BA16 BA17 BA29 BB02 BB22 BB42 BB46 4H056 BA02 BB05 BC01 BD01 BF28F BF29F FA05 5C094 AA08 AA31 AA43 BA43 CA19 CA24 DA13 ED03 FB01 FB15 GB10 JA01 JA08 JA11
Claims (14)
- 【請求項１】基体上に青色フィルタ層を有してなり、該
青色フィルタ層は波長５５０〜６５０ｎｍに吸収極大を
有するトリアリルメタン系色素を含有し、透過率が波長
４５０ｎｍで７０％以上であり波長６５０ｎｍで５％以
下であることを特徴とする色フィルタアレイ。 - 【請求項２】青色フィルタ層が波長６００〜７００ｎｍ
に吸収極大を有する銅フタロシアニン系色素を含有する
請求項１に記載の色フィルタアレイ。 - 【請求項３】青色フィルタ層が波長５００〜６００ｎｍ
に吸収極大を有するキサンテン系色素を含有し、透過率
が波長５３５ｎｍで１５％以下である請求項２に記載の
色フィルタアレイ。 - 【請求項４】色素を含有する感光性樹脂組成物をパター
ンニングして青色フィルタ層を形成する工程を有し、感
光性樹脂組成物が波長５５０〜６５０ｎｍに吸収極大を
有するトリアリルメタン系色素を含有し、パターンニン
グ後の青色フィルタ層の透過率が波長４５０ｎｍで７０
％以上であり波長６５０ｎｍで５％以下であることを特
徴とする色フィルタアレイの製造方法。 - 【請求項５】感光性樹脂組成物が波長６００〜７００ｎ
ｍに吸収極大を有する銅フタロシアニン系色素を含有す
る請求項４に記載の製造方法。 - 【請求項６】感光性樹脂組成物が波長５００〜６００ｎ
ｍに吸収極大を有するキサンテン系色素を含有し、パタ
ーンニング後の青色フィルタ層の透過率が波長５３５ｎ
ｍで１５％以下である請求項５に記載の製造方法。 - 【請求項７】波長５５０〜６５０ｎｍに吸収極大を有す
るトリアリルメタン系色素を含有することを特徴とする
感光性樹脂組成物。 - 【請求項８】波長６００〜７００ｎｍに吸収極大を有す
る銅フタロシアニン系色素を含有する請求項７に記載の
感光性樹脂組成物。 - 【請求項９】トリアリルメタン系色素の含有量および銅
フタロシアニン系色素の含有量の合計量１００重量部あ
たりのトリアリルメタン系色素の含有量が３０〜７０重
量部である請求項８に記載の感光性樹脂組成物。 - 【請求項１０】波長５００〜６００ｎｍに吸収極大を有
するキサンテン系色素を含有する請求項８に記載の感光
性樹脂組成物。 - 【請求項１１】トリアリルメタン系色素の含有量および
銅フタロシアニン系色素の含有量の合計量１００重量部
あたりのトリアリルメタン系色素の含有量が３０〜７０
重量部でありキサンテン系色素の含有量が７０重量部以
下である請求項１０に記載の感光性樹脂組成物。 - 【請求項１２】感光剤およびアルカリ可溶性樹脂を含有
し、色素、感光剤およびアルカリ可溶性樹脂の合計量１
００重量部に対する色素の含有量が１０〜５０重量部で
あり、感光剤の含有量が１０〜５０重量部であり、アル
カリ可溶性樹脂の含有量が３〜８０重量部である請求項
７、請求項９または請求項１１に記載の感光性樹脂組成
物。 - 【請求項１３】硬化剤を含有しその含有量が色素、感光
剤およびアルカリ可溶性樹脂の合計量１００重量部に対
して１０重量部以上３５重量部以下である請求項１２に
記載の感光性樹脂組成物。 - 【請求項１４】光酸発生剤、硬化剤およびアルカリ可溶
性樹脂を含有し、色素、光酸発生剤、硬化剤およびアル
カリ可溶性樹脂の合計量１００重量部に対する色素の含
有量が１５〜４０重量部であり、光酸発生剤の含有量が
０．３〜５重量部であり、硬化剤の含有量が１０〜２５
重量部であり、アルカリ可溶性樹脂の含有量が２０〜７
５重量部である請求項７、請求項９または請求項１１に
記載の感光性樹脂組成物。
Priority Applications (6)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000198915A JP2002014222A (ja) | 2000-06-30 | 2000-06-30 | 青色フィルタ層を有する色フィルタアレイおよびその製造方法 |
| EP01114862A EP1168047A1 (en) | 2000-06-30 | 2001-06-28 | A color filter array having a blue filter layer |
| US09/893,772 US6770405B2 (en) | 2000-06-30 | 2001-06-29 | Color filter array having a blue filter layer |
| KR1020010038200A KR100780824B1 (ko) | 2000-06-30 | 2001-06-29 | 블루 필터층을 가진 컬러 필터 어레이 |
| TW090116042A TW539896B (en) | 2000-06-30 | 2001-06-29 | A color filter array having a blue filter layer |
| US10/839,216 US7153619B2 (en) | 2000-06-30 | 2004-05-06 | Color filter array having a blue filter layer |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000198915A JP2002014222A (ja) | 2000-06-30 | 2000-06-30 | 青色フィルタ層を有する色フィルタアレイおよびその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002014222A true JP2002014222A (ja) | 2002-01-18 |
Family
ID=18697010
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000198915A Pending JP2002014222A (ja) | 2000-06-30 | 2000-06-30 | 青色フィルタ層を有する色フィルタアレイおよびその製造方法 |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| US (2) | US6770405B2 (ja) |
| EP (1) | EP1168047A1 (ja) |
| JP (1) | JP2002014222A (ja) |
| KR (1) | KR100780824B1 (ja) |
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| JP2014012814A (ja) * | 2012-06-07 | 2014-01-23 | Jsr Corp | 着色組成物、カラーフィルタ及び表示素子 |
| WO2014087900A1 (ja) | 2012-12-03 | 2014-06-12 | 富士フイルム株式会社 | 固体撮像素子用保持基板及びその製造方法、固体撮像装置 |
| WO2014087901A1 (ja) | 2012-12-03 | 2014-06-12 | 富士フイルム株式会社 | Ｉｒカットフィルタ及びその製造方法、固体撮像装置、遮光膜の形成方法 |
| US9334399B2 (en) | 2012-12-12 | 2016-05-10 | Cheil Industries Inc. | Photosensitive resin composition and black spacer using the same |
| US9535190B2 (en) | 2014-01-09 | 2017-01-03 | Samsung Sdi Co., Ltd. | Photosensitive resin composition and color filter using the same |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| TW539896B (en) | 2003-07-01 |
| US20040202946A1 (en) | 2004-10-14 |
| KR100780824B1 (ko) | 2007-11-29 |
| KR20020002317A (ko) | 2002-01-09 |
| US20020042008A1 (en) | 2002-04-11 |
| US6770405B2 (en) | 2004-08-03 |
| EP1168047A1 (en) | 2002-01-02 |
| US7153619B2 (en) | 2006-12-26 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20050307 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
| A521 | Request for written amendment filed |
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|
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|
| A02 | Decision of refusal |
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