(54) ОПТИЧЕСКИЙ ВИБРОМЕТР Изобретемте относитс к измеритеп ; ной технике и использоватьс дл измерени вибраций деталей машин бесконтактнь1ми средствами. Наиболее близким к изобретению потехнической сущности вл етс оптический виброметр, содержащий интерферометр Майкельсона, генератор, вибратор, с которым св зано подвижное зеркало интерферометра, входом подключенный к приемнику интерферометра, усилитель и регистраторЩ. Недостатком известного виброметра вл етс недостаточна точность из-за . низкой помехоустойчивости щирокочаототного выходного сигнала. Цель изобретени - повышение точности измерений . Поставленна цель достигаетс тем, что вибратор снабжен нуль индикатором, соединенным с приемником интерферомет ра, включенными между усилителем и ре гистратором и последовательно св занны ми между собой линией задержки, акустическим излучателем и кюветой с 5прутой средой, установленной -между светоделителем и референтным зеркалом интерферометра , и акустическим приемн ком , а регул тор начальной разности фаз интерферометра выполнен в виде оптически прозрачной кюветы со сжатым воздухом. На чертеже схематически изображен птический виброметр. Оптический. виброметр содержит интерферометр Майкельсона (не показан)7 генератор 1, вибратор 2, с которым св зано подвижное зеркало 3 интерферометр ра, 4 интерферометра, входом подключенный к нему усилитель 5 в регистратор 6. Нуль-индикатор 7 соединен с приемником 4 интерферометра. Между усипителол 5 и регистратором 6 вклкь чены последовательно CBsiaaHmje между собой рни 8 задержки,, акустический элучатепь 9, кювета lO с упругой средой , установленна между светоделителем 11 и референтным зеркалом 12 TIH терферрметра и акустический приемник 1 Регул тор начальной разности фаз интерферометра выполнен в виде оптически про ачной кюветы 14 со сжатым воздухом . Виброметр работает следуклцим образом . Излучение лазера 15 интерферсметре направл етс светоделителем 11 на ре- ферентное зеркало 12 через кювету 1О |и на подвижное зеркало 3 интерферсмет ра через оптически гфозрачную кювету 1 С генератора 1 подаютс колебани на вибратор 2, с которым св зано п6движ ное зеркало 3 интерферометра. Отраженные от зеркал 3 и 12 лучи интерферируют аа фотоприемншсе 4. Электрический сигнал с фотощ1иемника 4 пропорционален изменению оптического пути между зеркалами 3 и 12. В первом случае опткчео кий путь тсзмен етс за счет колебаний зеркала 3, а во втором - за счет измерени показател преломлени в кювете 10 с упругой средой, например с дистилированной водой. Предварительно регул тором начальной разности фаз интерферометра устанавливают разность фаз, соответствующую линейному участку выходной функцииинтерферометра . Коэффициент усилени усилител 5 беретс таким, чтобы при заданной ш рине кюветы 1О за счет изменени показател и зеломлени ухфугой среды в ней Обеспечить кшшенсацию изменений oi тического пути за счет изменени рассто ВИЯ между подвижным зеркалом 3 инте1 ферометра и светоделителем 11. Компенсаци сигнала контролируетс нульиндикатором 7. При включении генератора 1 зеркало 3 интерферометра вибрирует, мен длину оптического пути между зеркалом 3 и светоделителем 11. На выходе приемника 4 интерферометра по вл етс сигнал, который пройд усилитель 5, попадает на акустический излучатель 9, представл км щий собой многослойный пьезокерами ческий преобразователь. Излучатель 9 создает колебани в упругой жидкости кюветы Ю, за счет которых щзоисходит изменение оптического пути между референтным зеркалом 12 и светоделителем 11 интерферометра относительно оптического пути между подвижным зеркалом и светоделителем 11. Указанное изменение контролируетс нуль-индикатором 7. Акустический сигнал с излучател 9, пропорциональный величине вибрации зеркала 3, пройд упругую среду в кювете 10, улавливаетс акустическим приемником 13, сигнал с которого анализируетс по форме амплитуды и частоте регистратором 6. При высоких частотах вибрации (до нескольких килогерц) начинают сказыватьс инерционность электроакустической системы обратной св зи между усилителем 5 и регистратором 6. В этом случае регулировкой линии 8 аадержки задерживают электрический сигнал с усилител 5 на акустический излучатель 9 на величину, при которой фазы процессов, взмен юигах оптический путь в обеих плечах интерферометра, совпадают . Использование изобретени обеспечивает повышение точности измерений и расширение амплитудного и частотного диапазонов измерений, что дает возможность повысить качество измерени . Фор м у л а из обр е т е н и Оптический, виброметр, содержащий инт ферометр Майкельсона. генератор, вибратор, с которым св зано подвижное зеркало интерфермлетра, входом подклн. ченнь1Й к йриемнику интерферометра, уси„ j j регистратор, отличающийс , тем, что, с целью повышени точности измерений он снабжен нуль-индикатором, соединенным с приемником интерферометра, включенными между усилителем и регист ратором и последовательно .св занными между собой линией задержки акустическим излучателем и кюветой с упругой средой, установленной между светоделителем н референтным зеркалом интерферометра , и акустическим приемником, а регул тор начальной разности фаз интерферометра выполнен в виде оптически прозрачной кюветы со сжатым воздухом. Источники информахгаи, прин тые во вшманне при экспертизе 1. Авторское свидетельство СССР № 230434, кл. G,01 Н 9/00 , 1967. (прототип)..(54) OPTICAL VIBROMETER The invention relates to measuring; technology and used to measure the vibrations of machine parts with non-contact means. The closest to the invention of the technical entity is an optical vibrometer containing a Michelson interferometer, a generator, a vibrator with which a movable mirror of the interferometer is connected, an input connected to the receiver of the interferometer, an amplifier and a recorder. A disadvantage of the known vibrometer is the lack of accuracy due to. low noise immunity of the frequency output signal. The purpose of the invention is to improve the measurement accuracy. The goal is achieved by the fact that the vibrator is equipped with a zero indicator connected to an interferometer receiver, connected between an amplifier and a recorder and connected successively to each other by a delay line, an acoustic emitter and a cell with a 5-way medium, installed between the beam splitter and the reference interferometer mirror, and an acoustic receiver, and the regulator of the initial phase difference of the interferometer is made in the form of an optically transparent cell with compressed air. The drawing schematically shows a bird vibrometer. Optic. The vibrometer contains a Michelson interferometer (not shown) 7 a generator 1, a vibrator 2 with which a movable mirror 3 interferometer pa is connected, 4 interferometers, the amplifier 5 connected to it is connected to the recorder 6. The null indicator 7 is connected to the interferometer receiver 4. Between usitelolol 5 and recorder 6 there are successively connected CBsiaaHmje between each other with a delay of 8, acoustic elucterpe 9, cuvette lO with an elastic medium, installed between the beam splitter 11 and the reference mirror 12 TIH of the terferrmeter, and acoustic receiver 1 The interferometer's initial phase difference controller is made optically about akachnoy cuvette 14 with compressed air. The vibrometer works in the following way. The laser radiation 15 of the interferometer is guided by the beam splitter 11 to the reference mirror 12 through the cuvette 1O | and to the movable mirror 3 of the interferometer through the optically transparent cuvette 1C of the generator 1 is oscillated to the vibrator 2, which is connected to the biasing mirror 3 of the interferometer. Reflected from mirrors 3 and 12, the rays interfere with aa photodetector 4. The electrical signal from photo detector 4 is proportional to the change in the optical path between mirrors 3 and 12. In the first case, the optic path is changed by mirror 3, and in the second by measuring the refractive index in a cuvette 10 with an elastic medium, for example, with distilled water. Preliminary by adjusting the initial phase difference of the interferometer, set the phase difference corresponding to the linear portion of the output function of the interferometer. The gain of amplifier 5 is taken so that for a given cell width of 1O due to a change in the index and greening of the media in it, ensure that the optical path changes due to a change in the distance between the moving mirror 3 of the ferometer and the beam splitter 11. The signal compensation is controlled by the null indicator 7 When the generator 1 is turned on, the mirror 3 of the interferometer vibrates, changing the optical path between the mirror 3 and the beam splitter 11. At the output of the receiver 4 of the interferometer, a signal appears that passes The driver 5 enters an acoustic emitter 9, which is a multilayer piezoceramic transducer. The emitter 9 creates oscillations in the elastic fluid of the cell Y, due to which a change in the optical path between the reference mirror 12 and the interferometer beam splitter 11 relative to the optical path between the movable mirror and the beam splitter 11 occurs. The change is controlled by a zero indicator 7. The acoustic signal from the emitter 9 is proportional The magnitude of the vibration of the mirror 3, after passing the elastic medium in the cuvette 10, is picked up by the acoustic receiver 13, the signal from which is analyzed by the shape of the amplitude and frequency by the recorder 6. At high frequencies of vibration (up to several kilohertz), the inertia of the electroacoustic feedback system between amplifier 5 and recorder 6 begins to affect. In this case, adjusting the aerial line 8 delays the electrical signal from amplifier 5 to the acoustic emitter 9 by the amount at which the phases of the processes change. The optical path in both arms of the interferometer coincides. The use of the invention provides an increase in measurement accuracy and an extension of the amplitude and frequency ranges of measurements, which makes it possible to improve the quality of measurement. The shape of the pattern is Optical, a vibrometer containing an int Michelson's ferometer. a generator, a vibrator, with which a movable mirror of the interfertmeter is connected, the input is a sub-switch. An interferometer sensor, a jj recorder, characterized in that, in order to improve measurement accuracy, it is equipped with a null indicator connected to the interferometer receiver, connected between the amplifier and the recorder, and an acoustic emitter connected in series with a delay line and a cuvette with an elastic medium installed between the beam splitter and the reference mirror of the interferometer and the acoustic receiver, and the regulator of the initial phase difference of the interferometer is made in the form of an optically transparent compressed air cuvettes. Sources of information taken in vsmanne during examination 1. USSR Author's Certificate No. 230434, cl. G, 01 N 9/00, 1967. (prototype) ..