SE467976B - Anordning foer elektroplaetering, vid framstaellning av matriser foer tillverkning av t ex cd-skivor samt foerfarande foer tillverkning av matriser medelst anordningen - Google Patents

Anordning foer elektroplaetering, vid framstaellning av matriser foer tillverkning av t ex cd-skivor samt foerfarande foer tillverkning av matriser medelst anordningen

Info

Publication number
SE467976B
SE467976B SE9100507A SE9100507A SE467976B SE 467976 B SE467976 B SE 467976B SE 9100507 A SE9100507 A SE 9100507A SE 9100507 A SE9100507 A SE 9100507A SE 467976 B SE467976 B SE 467976B
Authority
SE
Sweden
Prior art keywords
anode
container
electrolyte
nickel
matrix
Prior art date
Application number
SE9100507A
Other languages
English (en)
Other versions
SE9100507L (sv
SE9100507D0 (sv
Inventor
M Aa Haallberg
Original Assignee
Dcm Innovation Ab
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Dcm Innovation Ab filed Critical Dcm Innovation Ab
Priority to SE9100507A priority Critical patent/SE467976B/sv
Publication of SE9100507D0 publication Critical patent/SE9100507D0/sv
Priority to EP92850030A priority patent/EP0500513B1/en
Priority to DE69210650T priority patent/DE69210650T2/de
Priority to US07/838,556 priority patent/US5244563A/en
Publication of SE9100507L publication Critical patent/SE9100507L/sv
Publication of SE467976B publication Critical patent/SE467976B/sv
Priority to US08/084,543 priority patent/US5427674A/en

Links

Classifications

    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C25ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PROCESSES; APPARATUS THEREFOR
    • C25DPROCESSES FOR THE ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PRODUCTION OF COATINGS; ELECTROFORMING; APPARATUS THEREFOR
    • C25D1/00Electroforming
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C25ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PROCESSES; APPARATUS THEREFOR
    • C25DPROCESSES FOR THE ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PRODUCTION OF COATINGS; ELECTROFORMING; APPARATUS THEREFOR
    • C25D5/00Electroplating characterised by the process; Pretreatment or after-treatment of workpieces
    • C25D5/08Electroplating with moving electrolyte e.g. jet electroplating
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C25ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PROCESSES; APPARATUS THEREFOR
    • C25DPROCESSES FOR THE ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PRODUCTION OF COATINGS; ELECTROFORMING; APPARATUS THEREFOR
    • C25D5/00Electroplating characterised by the process; Pretreatment or after-treatment of workpieces
    • C25D5/60Electroplating characterised by the structure or texture of the layers
    • C25D5/605Surface topography of the layers, e.g. rough, dendritic or nodular layers
    • C25D5/611Smooth layers
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C25ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PROCESSES; APPARATUS THEREFOR
    • C25DPROCESSES FOR THE ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PRODUCTION OF COATINGS; ELECTROFORMING; APPARATUS THEREFOR
    • C25D5/00Electroplating characterised by the process; Pretreatment or after-treatment of workpieces
    • C25D5/60Electroplating characterised by the structure or texture of the layers
    • C25D5/615Microstructure of the layers, e.g. mixed structure
    • C25D5/619Amorphous layers

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Electrochemistry (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • Electroplating Methods And Accessories (AREA)
  • Manufacturing Optical Record Carriers (AREA)

Description

oo 4.67 976 2 styrkor, som överförs, lätt förorsakar kontaktproblem. Katod- ytan lutar dessutom mer eller mindre nedåt och kvarstannande vätgasbubblor vid katodytan ger upphov till gropar i denna, s k "pittings". Katodytan är betydligt större än den sedan utstan- sade matrisen varför strömförbrukningen blir högre än den egentligen skulle behöva vara. Utloppet för elektrolyt från den kända pläteringsbehållaren utgöres av ett enkelt bräddavlopp, vilket gör att alla föroreningar, som härrör från det förbrukade anodmaterialet stannar kvar i behållaren och negativt påverkar kvaliteten hos den framställda matrisen.
Syftet med uppfinningen är därför att åstadkomma en anord- ning för elektroplätering, särskilt vid framställning av metall- matriser för tillverkning av plana alster av plast, såsom kom- paktskivor, medelst vilken metallmatriser kan framställas snab- bare och med betydligt bättre kvalitet.
Detta syfte uppnås enligt uppfinningen genom att behålla- ren har en omkretsvägg med en mot pläteringsytan i huvudsak svarande invändig kontur och area, vilken pläteringsyta utgör behållarens ena ändvägg och anligger tätt mot omkretsväggens kant, medan behållaren i sin motsatta ände är tillsluten av en andra med elektrolytutlopp försedd ändvägg, vilken tätt anlig- ger mot den motsatta kanten av omkretsväggen och intill vilken anoden är belägen.
Tack vare att behållarens omkretsvägg har en tvärsektions- area som i huvudsak är lika stor som pläteringsytans area och avgränsar denna, kan strömöverföringen koncentreras likformigt över hela pläteringsytan och inga läckströmmar kan uppkomma vid dennas omkretskant. Pläteringsytans avgränsning medelst behål- larens omkretsvägg medför också att koncentrationsvariationer hos elektrolyten kan undvikas genom elektrolytinpumpningen i behållaren, vilket även ger den fördelen att eventuella förore- ningar, som frigörs ur anodmaterialet, tvångsvis bortförs ur pläteringsutrymmet.
Anordningen enligt uppfinningen kräver också en betydligt mindre mängd elektrolyt av storleksordningen 50-70 liter, vil- ket är en fördel både ur ekonomisk och utrymmessynpunkt och även ur uppvärmningssynpunkt. Eftersom behållaren är helt slu- in 467 976 3 ten kan nämligen pläteringen genomföras vid högre temperatur än tidigare, utan att stora avdunstningsproblem uppstår.
Anordningen enligt uppfinningen är också särskilt Väl lämpad för genomförande av pläteringen genom ett nytt förenklat förfarande. Det för detta förfarande, vid vilket ett nickel- skikt skall utfällas på en i anordningen införd, redan fram- ställd nickelmatris, utmärkande är därvid att nickelmatrisen, d v s katoden, en kort tidsperiod kopplas som anod för åstadkom- mande av ett som släppskikt verkande oxidskikt innan utfäll- ningen påbörjas.
Uppfinningen beskrivs närmare nedan under hänvisning till bifogade ritning, på vilken fig 1 är en. delvis genomskuren perspektivvy av en anordning enligt uppfinningen och fig 2 är en central längdsektion genom anordningen i fig 1.
På ritningen visas en behållare 1 för elektroplätering, vilken innefattar en omkretsvägg 2 och ändväggar 3, 4, vilka avgränsar ett med elektrolyt fyllbart pläteringsutrymme. En anod 5 är anordnad vid den ena, i fig 2 övre ändväggen 3, och en katod vid den andra ändväggen 4, som uppbär en pläteringsyta 7. Den visade behållaren 1 är särskilt avsedd för framställning av metallmatriser, främst av nickel, för tillverkning av plana alster av plast såsom kompaktskivor. Den yta 7, som skall pläteras, utgörs därvid av antingen ett metalliserat. infor- mationsförsett polymerskikt på en bärande glasskiva 17 eller ett skivformigt nickelskikt med ett avtryck av ett sådant vid efterföljande framställning av moder- och/eller pressmatriser.
Då glasskivan och matriserna har cirkulär form, har om- kretsväggen 2 i detta fall motsvarande cirkulärcylindrisk form, men om ytor med annan omkretsform skall pläteras ges omkrets- väggen 2 motsvarande kontur, åtminstone invändigt.
Medan den ena (övre) ändväggen 3 företrädesvis hålls stationär på lämpligt, icke närmare visat sätt tillsammans med omkretsväggen 2, är den andra ändväggen 4 axiellt rörlig mot och från denna, företrädesvis medelst någon känd mekanism såsom en kolv-cylinderenhet 22. I tillbakadraget (öppet) läge av den sistnämnda placeras sålunda en glasskiva 17 med ett metalliserat informationsförsett polymerskikt på ändväggen 4, som sedan med 467 976 4 hjälp av enheten 22 anpressas tätt mot kanten av omkretsväggen 2 under mellanläggande av dels den ringformiga tilledaren 6 och dels en pläteringsytan 7 omgivande kontaktring 16 tillsammans med erforderliga ringformiga tätningsorgan 14.
Vid den på ritningen visade utföringsformen av anordningen utgörs anoden 5 av en lämpligen av titan framställd korg inne- hållande metalliskt nickel i form av kulor. Korgen är med en övre utåtriktad omkretsfläns fastspänd mellan omkretsväggen 2 och den övre ändväggen 3 och hänger ned i behållaren 1 med sin plana botten, vilken är försedd med ett flertal hål 20, på noga bestämt avstånd från pläteringsytan 7 och fullständigt parallell med denna. Detta avstånd uppgår vid detta utföringsexempel till 30 mm. Korgflänsen är liksom den ringformiga tilledaren 6 för- sedd med elektriska anslutningstungor 5a respektive 6a för anslutning till någon lämplig, känd men icke visad strömkälla.
Omkretsväggen 2 är i sin nedre del utformad ihålig till bildande av en elektrolytfördelningskanal 11 med ett antal radiellt inåtriktade och runt omkretsen jämnt fördelade hål 13 för åstadkommande av en strömning av elektrolyt från katoden och i riktning mot anoden 5. Fördelningskanalen ll står via en. anslutning 12 i förbindelse med en tillförselledning 19 från en icke visad cirkulationspump. Den övre väggen 3 är i sin tur försedd. med en företrädesvis central utloppsöppning 10, som via en ledning 18 är förbunden med en icke visad elektrolyt- behållare, till vilken cirkulationspumpen är ansluten. Arean av öppningen 10 är därvid med fördel så avpassad till den samman- lagda arean av inloppshålen 13 och pumptrycket, att ett lämp- ligt övertryck kan upprätthållas inuti behållaren 1 under plä- teringsförloppet. Härigenom kan samtidigt tillförsäkras att den på ändväggen 4 kælägna fader- eller modermatrisen hålls absolut plan, så att den utfällda matrisen också. blir' helt plan. Vidare kan filter anordnas vid både in- och utloppet till behållaren Jq så att vätskan i förrådstanken och systemet i övrigt hålls fri från föroreningar.
Vid en annan, icke visad. utföringsform av' uppfinningen används en annan typ av anod, nämligen en dimensionsstabil skivformig anod, en s k DSA, av exempelvis platinabelagt titan, -'I i 467 976 5 vilken kan vara försedd med ett flertal hål. Då denna anod används är anordningar placerade vid förrådstanken för ersät- tande av ur elektrolyten utfällt nickel. Detta kan ske genom tillsättning av t ex nickelhydroxid. När man använder den dimensionsstabila anoden kan avståndet mellan katoden och anoden minskas ännu mer till t ex 5 mm, varvid högre strömtäthet kan utnyttjas och därmed snabbare utfällníng av nickel uppnås.
Det åtgår också betydligt mindre elektrisk effekt vid kortare anod- katodavstånd. Lämpligen är då elektrolytutloppet 10 anordnat i omkretsväggen 2.
Av det ovanstående framgår att den på ritningen visade utföringsformen av anordningen är avsedd att användas med plä- teringsytan 7 i horisontellt läge, medan den andra icke visade utföringsformen kan användas med pläteringsytan 7 även vertikal, vilket i vissa fall kan medföra praktiska fördelar.
Anordningen enligt uppfinningen är som nämnts särskilt väl lämpad att användas i samband med ett förenklat pläterings- förfarande, som här skall beskrivas. Därvid placeras inled- ningsvis en glasskiva 17, som uppbär ett informationsförsett metalliserat vanligen (försilvrat) polymerskikt, på ändväggen 4 i dennas tillbakadragna öppna läge, vilken sedan stängs på tidigare nämnt sätt, varefter elektrolyt inmatas i pläteringsut- rymmet och strömtillförseln påbörjas för genomförande av en första plätering eller utfällníng av ett nickelskikt på polymer- skiktet. Sedan detta nickelskikt erhållit erforderlig tjocklek avbryts pläteringen och glasskivan med nickelskiktet avlägsnas ur behållaren 1. Nickelskiktet som nu utgör en s k fadermatris för fortsatt tillverkning, avdrages därefter från polymerskíktet och dess informationsförsedda sida avpolymeriseras och tvättas med exempelvis aceton, samt sköljs med avjoniserat vatten.
Fadermatrisen är sedan klar för att i sin tur placeras på ändväggen 4 och införas i pläteringsutrymmet. för utfällníng därpå av en ytterligare "omvänd"7matris, en s k modermatris.
Den erforderliga passivering av fadermatrisen före denna ytter- ligare plätering sker härvid icke såsom tidigare genom behand- ling med kromatföreningar utan genom att enligt uppfinningen katoden en kort tidsperiod först kopplas såsom anod, varigenom

Claims (5)

467 976 6 uppkommer ett tunt oxidskikt, vilket fungerar som släppskikt inför den efterföljande pläteringen. Katoden omkopplas sedan och utfällningen av modermatrisen genomförs. Efter avlägsnande ur behållaren och avskiljande från fadermatrisen kan denna modermatris sedan direkt återplaceras på ändväggen 4 och användas för utfällning av en eller flera s k pressmatriser på likartat sätt. Med anordningen enligt uppfinningen kan man drastiskt minska tillverkningstiden för pressmatrisen, och man slipper utnyttja miljöovänliga kromatbad för passivering av matriserna, vilket sker med känd teknik. Detta är mycket fördelaktigt efter- som kromater är giftig och kräver mycket stränga hanterings- föreskrifter. De med uppfinningen framställda metallmatriserna har stor ytjämnhet också på sin baksida och behöver därför sällan underkastas någon mekanisk efterbearbetning. Anordningen enligt uppfinningen kan användas vid framställ- ning av alla former av optiska informationsbärare av kompakt- skivetyp, såsom CD, CD-DA, CD-ROM, CD-V, CD-I, "Laser Disc", men även vid framställning av vinylskivor, hologram mm. P a t e n t k r a v
1. Anordning för elektroplätering, särskilt vid framställning av metallmatriser för tillverkning av plana alster av plast, såsom kompaktskivor, och innefattande en behållare (1) för en elektrolyt, en anod (5) och en katod i form av en skivformig pläteringsyta (7), varjämte i'omrâdet mellan anoden och katoden är anordnade i omkretsled fördelade radiella hål (13) för upp- rättande av en strömning av elektrolyt från katoden mot anoden, k ä n n e t e c k n a d a v att behållaren (1) har en omkrets- vägg (2) med en mot pläteringsytan (7) i huvudsak svarande in- vändig kontur och area, vilken pläteringsyta (7) utgör behål- larens (1) ena ändvägg (4) och anligger tätt mot omkretsväggens (2) kant, medan behållaren (1) i sin motsatta ände är tillslu- ten av en andra ändvägg (3), vilken tätt anligger mot den mot- satta kanten av omkretsväggen (2) och intill vilken anoden (5) är belägen. -Ho I: 467 976 7
2. Anordning enligt patentkravet 1 försedd med en anod av nickel, k ä n n e t e c k n a d a v att anoden (5) utgörs av en med plan botten försedd korg med nickelkulor, varvid pläte- ringsytan (7) är horisontellt orienterad och parallell med korgbotten, varvid den andra ändväggen (3) är försedd med elektrolytutlopp (10).
3. Anordning enligt patentkravet 1, k ä n n e t e c k n a d a v att anoden (5) är en dimensionsstabil skivanod, en s k DSA, och av anordningar för ersättande av ur elektrolyten utfällt nickel, varvid elektrolytutlopp (10) lämpligen är anordnade i omkretsväggen (2) .
4. Anordning enligt något av patentkraven 1-3, k ä n n e- t e c k n a d a v att elektrolyten står under övertryck i behållaren (1).
5. Förfarande för elektroplätering, särskilt vid framställning av metallmatriser för tillverkning av plana alster av plast, såsom kompaktskivor, med utnyttjande av en anordning enligt något av patentkraven 1-4, vid vilket förfarande ett nickelskikt skall utfällas på en i anordningen införd, redan framställd nickelmatris, k ä n n e t e c k n a t a v att nickelmatrisen, d v s katoden, en kort tidsperiod kopplas som anod för åstad- kommande av ett som släppskikt verkande oxidskikt innan utfäll- ningen påbörjas.
SE9100507A 1991-02-20 1991-02-20 Anordning foer elektroplaetering, vid framstaellning av matriser foer tillverkning av t ex cd-skivor samt foerfarande foer tillverkning av matriser medelst anordningen SE467976B (sv)

Priority Applications (5)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SE9100507A SE467976B (sv) 1991-02-20 1991-02-20 Anordning foer elektroplaetering, vid framstaellning av matriser foer tillverkning av t ex cd-skivor samt foerfarande foer tillverkning av matriser medelst anordningen
EP92850030A EP0500513B1 (en) 1991-02-20 1992-02-12 Apparatus and method for electroplating
DE69210650T DE69210650T2 (de) 1991-02-20 1992-02-12 Vorrichtung und Verfahren zum Elektroplattieren
US07/838,556 US5244563A (en) 1991-02-20 1992-02-19 Apparatus and method for electroplating
US08/084,543 US5427674A (en) 1991-02-20 1993-06-28 Apparatus and method for electroplating

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SE9100507A SE467976B (sv) 1991-02-20 1991-02-20 Anordning foer elektroplaetering, vid framstaellning av matriser foer tillverkning av t ex cd-skivor samt foerfarande foer tillverkning av matriser medelst anordningen

Publications (3)

Publication Number Publication Date
SE9100507D0 SE9100507D0 (sv) 1991-02-20
SE9100507L SE9100507L (sv) 1992-08-21
SE467976B true SE467976B (sv) 1992-10-12

Family

ID=20381949

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SE9100507A SE467976B (sv) 1991-02-20 1991-02-20 Anordning foer elektroplaetering, vid framstaellning av matriser foer tillverkning av t ex cd-skivor samt foerfarande foer tillverkning av matriser medelst anordningen

Country Status (4)

Country Link
US (2) US5244563A (sv)
EP (1) EP0500513B1 (sv)
DE (1) DE69210650T2 (sv)
SE (1) SE467976B (sv)

Families Citing this family (25)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
SE467976B (sv) * 1991-02-20 1992-10-12 Dcm Innovation Ab Anordning foer elektroplaetering, vid framstaellning av matriser foer tillverkning av t ex cd-skivor samt foerfarande foer tillverkning av matriser medelst anordningen
US5807469A (en) * 1995-09-27 1998-09-15 Intel Corporation Flexible continuous cathode contact circuit for electrolytic plating of C4, tab microbumps, and ultra large scale interconnects
DE19602182C2 (de) * 1996-01-23 1998-08-13 Technotrans Gmbh Verfahren und Vorrichtung zur thermischen Prozessteuerung bei der elektrolytischen Beschichtung von Werkzeugen für die Herstellung von CD-Datenträgern
US6174425B1 (en) 1997-05-14 2001-01-16 Motorola, Inc. Process for depositing a layer of material over a substrate
US6001235A (en) * 1997-06-23 1999-12-14 International Business Machines Corporation Rotary plater with radially distributed plating solution
US6187164B1 (en) 1997-09-30 2001-02-13 Symyx Technologies, Inc. Method for creating and testing a combinatorial array employing individually addressable electrodes
US6818110B1 (en) 1997-09-30 2004-11-16 Symyx Technologies, Inc. Combinatorial electrochemical deposition and testing system
US6080288A (en) * 1998-05-29 2000-06-27 Schwartz; Vladimir System for forming nickel stampers utilized in optical disc production
US6228232B1 (en) 1998-07-09 2001-05-08 Semitool, Inc. Reactor vessel having improved cup anode and conductor assembly
US6231743B1 (en) 2000-01-03 2001-05-15 Motorola, Inc. Method for forming a semiconductor device
SE0001367L (sv) * 2000-04-13 2001-10-14 Obducat Ab Apparat och förfarande för elektrokemisk bearbetning av substrat
SE0001368L (sv) * 2000-04-13 2001-10-14 Obducat Ab Apparat och förfarande för elektrokemisk bearbetning av substrat
US6610189B2 (en) * 2001-01-03 2003-08-26 Applied Materials, Inc. Method and associated apparatus to mechanically enhance the deposition of a metal film within a feature
WO2003018874A2 (en) * 2001-08-31 2003-03-06 Semitool, Inc. Apparatus and methods for electrochemical processing of microelectronic workpieces
US7118658B2 (en) * 2002-05-21 2006-10-10 Semitool, Inc. Electroplating reactor
US20040055873A1 (en) * 2002-09-24 2004-03-25 Digital Matrix Corporation Apparatus and method for improved electroforming
US20070125652A1 (en) * 2005-12-02 2007-06-07 Buckley Paul W Electroform, methods of making electroforms, and products made from electroforms
US9455139B2 (en) 2009-06-17 2016-09-27 Novellus Systems, Inc. Methods and apparatus for wetting pretreatment for through resist metal plating
US8962085B2 (en) 2009-06-17 2015-02-24 Novellus Systems, Inc. Wetting pretreatment for enhanced damascene metal filling
US9677188B2 (en) 2009-06-17 2017-06-13 Novellus Systems, Inc. Electrofill vacuum plating cell
EP2593587B1 (en) * 2010-07-15 2016-09-07 Luxembourg Institute of Science and Technology (LIST) Filling of a printing chamber and a chuck therefore
KR102113883B1 (ko) * 2012-03-13 2020-05-22 노벨러스 시스템즈, 인코포레이티드 관통 레지스트 금속 도금을 위한 웨팅 전처리의 방법들 및 장치
US9613833B2 (en) 2013-02-20 2017-04-04 Novellus Systems, Inc. Methods and apparatus for wetting pretreatment for through resist metal plating
US9435049B2 (en) 2013-11-20 2016-09-06 Lam Research Corporation Alkaline pretreatment for electroplating
US9617648B2 (en) 2015-03-04 2017-04-11 Lam Research Corporation Pretreatment of nickel and cobalt liners for electrodeposition of copper into through silicon vias

Family Cites Families (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US1771680A (en) * 1927-03-29 1930-07-29 Ishisaka Sansaku Apparatus for electroplating
DE2011305A1 (de) * 1970-03-10 1971-10-14 Deutsche Grammophon Gmbh Verfahren zur Vorbehandlung von mit Nickeloberflächen versehenen Galvanos, insbesondere Schallplattengalvanos
JPS5524141Y2 (sv) * 1976-10-16 1980-06-09
DE3067925D1 (en) * 1979-06-01 1984-06-28 Emi Ltd High-speed plating arrangement and stamper plate formed using such an arrangement
JPS57126998A (en) * 1981-01-28 1982-08-06 Mishima Kosan Co Ltd Plating apparatus
EP0076569B1 (en) * 1981-10-01 1986-08-27 EMI Limited Electroplating arrangements
US4534831A (en) * 1982-09-27 1985-08-13 Inoue-Japax Research Incorporated Method of and apparatus for forming a 3D article
NL8300916A (nl) * 1983-03-14 1984-10-01 Philips Nv Werkwijze voor het galvanisch neerslaan van een homogeen dikke metaallaag, aldus verkregen metaallaag en toepassing van de aldus verkregen metaallaag, inrichting voor het uitvoeren van de werkwijze en verkregen matrijs.
US4750981A (en) * 1986-09-30 1988-06-14 The Boeing Company Apparatus for electroplating limited surfaces on a workpiece
DE3736240A1 (de) * 1987-10-27 1989-05-11 Flachglas Ag Vorrichtung zur galvanischen verstaerkung einer leiterspur auf einer glasscheibe
US4964958A (en) * 1988-10-14 1990-10-23 Philips & Du Pont Optical Company Method of producing a metal matrix
SE467976B (sv) * 1991-02-20 1992-10-12 Dcm Innovation Ab Anordning foer elektroplaetering, vid framstaellning av matriser foer tillverkning av t ex cd-skivor samt foerfarande foer tillverkning av matriser medelst anordningen

Also Published As

Publication number Publication date
DE69210650D1 (de) 1996-06-20
SE9100507L (sv) 1992-08-21
US5427674A (en) 1995-06-27
DE69210650T2 (de) 1996-09-19
EP0500513A1 (en) 1992-08-26
SE9100507D0 (sv) 1991-02-20
EP0500513B1 (en) 1996-05-15
US5244563A (en) 1993-09-14

Similar Documents

Publication Publication Date Title
SE467976B (sv) Anordning foer elektroplaetering, vid framstaellning av matriser foer tillverkning av t ex cd-skivor samt foerfarande foer tillverkning av matriser medelst anordningen
EP0076569A1 (en) Electroplating arrangements
US8172989B2 (en) Prevention of substrate edge plating in a fountain plating process
JPH10152798A (ja) 電気めっきセルおよびこのセルを用いためっき方法
US2549678A (en) Method of and apparatus for electroforming metal articles
KR101587819B1 (ko) 전기화학적 프로세서용 컨택 링
US3954568A (en) Electroforming an endless flexible seamless xerographic belt
DE112014002200T5 (de) Elektrobearbeitungssystem für ein mikroelektronisches Substrat
US4539079A (en) Method and apparatus for electroforming a stamper for producing a high-density information recording carrier
US4341613A (en) Apparatus for electroforming
KR20210009285A (ko) 반도체 프로세싱에서의 유체 회수
US4385978A (en) Cathode head
US4507180A (en) Method of electrodepositing a homogeneously thick metal layer, metal layer thus obtained and the use of the metal layer thus obtained, device for carrying out the method and resulting matrix
GB1409667A (en) Producing an electrolytic coating
US2751345A (en) Electroplating rack
AT402944B (de) Magnetron-zerstäubervorrichtung
CN111630210A (zh) 电镀组合机构
US1744792A (en) Electroplating apparatus
US2438885A (en) Apparatus for electroplating rings and discs
GB2065168A (en) Tact with a metal or metalised cathode plate used in produelectroplating arrangement for establishing electrical conction of a disc record matrix
CN218131549U (zh) 高分子聚合物膜生产用制水系统
US3723695A (en) Edm electrode
JPH08100288A (ja) 金属メッシュ箔の製造法
WO2019204512A1 (en) Seal apparatus for an electroplating system
CN221727084U (zh) 半导体处理治具

Legal Events

Date Code Title Description
NAL Patent in force

Ref document number: 9100507-4

Format of ref document f/p: F

NUG Patent has lapsed