SE467976B - Anordning foer elektroplaetering, vid framstaellning av matriser foer tillverkning av t ex cd-skivor samt foerfarande foer tillverkning av matriser medelst anordningen - Google Patents
Anordning foer elektroplaetering, vid framstaellning av matriser foer tillverkning av t ex cd-skivor samt foerfarande foer tillverkning av matriser medelst anordningenInfo
- Publication number
- SE467976B SE467976B SE9100507A SE9100507A SE467976B SE 467976 B SE467976 B SE 467976B SE 9100507 A SE9100507 A SE 9100507A SE 9100507 A SE9100507 A SE 9100507A SE 467976 B SE467976 B SE 467976B
- Authority
- SE
- Sweden
- Prior art keywords
- anode
- container
- electrolyte
- nickel
- matrix
- Prior art date
Links
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C25—ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PROCESSES; APPARATUS THEREFOR
- C25D—PROCESSES FOR THE ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PRODUCTION OF COATINGS; ELECTROFORMING; APPARATUS THEREFOR
- C25D1/00—Electroforming
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C25—ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PROCESSES; APPARATUS THEREFOR
- C25D—PROCESSES FOR THE ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PRODUCTION OF COATINGS; ELECTROFORMING; APPARATUS THEREFOR
- C25D5/00—Electroplating characterised by the process; Pretreatment or after-treatment of workpieces
- C25D5/08—Electroplating with moving electrolyte e.g. jet electroplating
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C25—ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PROCESSES; APPARATUS THEREFOR
- C25D—PROCESSES FOR THE ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PRODUCTION OF COATINGS; ELECTROFORMING; APPARATUS THEREFOR
- C25D5/00—Electroplating characterised by the process; Pretreatment or after-treatment of workpieces
- C25D5/60—Electroplating characterised by the structure or texture of the layers
- C25D5/605—Surface topography of the layers, e.g. rough, dendritic or nodular layers
- C25D5/611—Smooth layers
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C25—ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PROCESSES; APPARATUS THEREFOR
- C25D—PROCESSES FOR THE ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PRODUCTION OF COATINGS; ELECTROFORMING; APPARATUS THEREFOR
- C25D5/00—Electroplating characterised by the process; Pretreatment or after-treatment of workpieces
- C25D5/60—Electroplating characterised by the structure or texture of the layers
- C25D5/615—Microstructure of the layers, e.g. mixed structure
- C25D5/619—Amorphous layers
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Electrochemistry (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- Electroplating Methods And Accessories (AREA)
- Manufacturing Optical Record Carriers (AREA)
Description
oo 4.67 976 2 styrkor, som överförs, lätt förorsakar kontaktproblem. Katod- ytan lutar dessutom mer eller mindre nedåt och kvarstannande vätgasbubblor vid katodytan ger upphov till gropar i denna, s k "pittings". Katodytan är betydligt större än den sedan utstan- sade matrisen varför strömförbrukningen blir högre än den egentligen skulle behöva vara. Utloppet för elektrolyt från den kända pläteringsbehållaren utgöres av ett enkelt bräddavlopp, vilket gör att alla föroreningar, som härrör från det förbrukade anodmaterialet stannar kvar i behållaren och negativt påverkar kvaliteten hos den framställda matrisen.
Syftet med uppfinningen är därför att åstadkomma en anord- ning för elektroplätering, särskilt vid framställning av metall- matriser för tillverkning av plana alster av plast, såsom kom- paktskivor, medelst vilken metallmatriser kan framställas snab- bare och med betydligt bättre kvalitet.
Detta syfte uppnås enligt uppfinningen genom att behålla- ren har en omkretsvägg med en mot pläteringsytan i huvudsak svarande invändig kontur och area, vilken pläteringsyta utgör behållarens ena ändvägg och anligger tätt mot omkretsväggens kant, medan behållaren i sin motsatta ände är tillsluten av en andra med elektrolytutlopp försedd ändvägg, vilken tätt anlig- ger mot den motsatta kanten av omkretsväggen och intill vilken anoden är belägen.
Tack vare att behållarens omkretsvägg har en tvärsektions- area som i huvudsak är lika stor som pläteringsytans area och avgränsar denna, kan strömöverföringen koncentreras likformigt över hela pläteringsytan och inga läckströmmar kan uppkomma vid dennas omkretskant. Pläteringsytans avgränsning medelst behål- larens omkretsvägg medför också att koncentrationsvariationer hos elektrolyten kan undvikas genom elektrolytinpumpningen i behållaren, vilket även ger den fördelen att eventuella förore- ningar, som frigörs ur anodmaterialet, tvångsvis bortförs ur pläteringsutrymmet.
Anordningen enligt uppfinningen kräver också en betydligt mindre mängd elektrolyt av storleksordningen 50-70 liter, vil- ket är en fördel både ur ekonomisk och utrymmessynpunkt och även ur uppvärmningssynpunkt. Eftersom behållaren är helt slu- in 467 976 3 ten kan nämligen pläteringen genomföras vid högre temperatur än tidigare, utan att stora avdunstningsproblem uppstår.
Anordningen enligt uppfinningen är också särskilt Väl lämpad för genomförande av pläteringen genom ett nytt förenklat förfarande. Det för detta förfarande, vid vilket ett nickel- skikt skall utfällas på en i anordningen införd, redan fram- ställd nickelmatris, utmärkande är därvid att nickelmatrisen, d v s katoden, en kort tidsperiod kopplas som anod för åstadkom- mande av ett som släppskikt verkande oxidskikt innan utfäll- ningen påbörjas.
Uppfinningen beskrivs närmare nedan under hänvisning till bifogade ritning, på vilken fig 1 är en. delvis genomskuren perspektivvy av en anordning enligt uppfinningen och fig 2 är en central längdsektion genom anordningen i fig 1.
På ritningen visas en behållare 1 för elektroplätering, vilken innefattar en omkretsvägg 2 och ändväggar 3, 4, vilka avgränsar ett med elektrolyt fyllbart pläteringsutrymme. En anod 5 är anordnad vid den ena, i fig 2 övre ändväggen 3, och en katod vid den andra ändväggen 4, som uppbär en pläteringsyta 7. Den visade behållaren 1 är särskilt avsedd för framställning av metallmatriser, främst av nickel, för tillverkning av plana alster av plast såsom kompaktskivor. Den yta 7, som skall pläteras, utgörs därvid av antingen ett metalliserat. infor- mationsförsett polymerskikt på en bärande glasskiva 17 eller ett skivformigt nickelskikt med ett avtryck av ett sådant vid efterföljande framställning av moder- och/eller pressmatriser.
Då glasskivan och matriserna har cirkulär form, har om- kretsväggen 2 i detta fall motsvarande cirkulärcylindrisk form, men om ytor med annan omkretsform skall pläteras ges omkrets- väggen 2 motsvarande kontur, åtminstone invändigt.
Medan den ena (övre) ändväggen 3 företrädesvis hålls stationär på lämpligt, icke närmare visat sätt tillsammans med omkretsväggen 2, är den andra ändväggen 4 axiellt rörlig mot och från denna, företrädesvis medelst någon känd mekanism såsom en kolv-cylinderenhet 22. I tillbakadraget (öppet) läge av den sistnämnda placeras sålunda en glasskiva 17 med ett metalliserat informationsförsett polymerskikt på ändväggen 4, som sedan med 467 976 4 hjälp av enheten 22 anpressas tätt mot kanten av omkretsväggen 2 under mellanläggande av dels den ringformiga tilledaren 6 och dels en pläteringsytan 7 omgivande kontaktring 16 tillsammans med erforderliga ringformiga tätningsorgan 14.
Vid den på ritningen visade utföringsformen av anordningen utgörs anoden 5 av en lämpligen av titan framställd korg inne- hållande metalliskt nickel i form av kulor. Korgen är med en övre utåtriktad omkretsfläns fastspänd mellan omkretsväggen 2 och den övre ändväggen 3 och hänger ned i behållaren 1 med sin plana botten, vilken är försedd med ett flertal hål 20, på noga bestämt avstånd från pläteringsytan 7 och fullständigt parallell med denna. Detta avstånd uppgår vid detta utföringsexempel till 30 mm. Korgflänsen är liksom den ringformiga tilledaren 6 för- sedd med elektriska anslutningstungor 5a respektive 6a för anslutning till någon lämplig, känd men icke visad strömkälla.
Omkretsväggen 2 är i sin nedre del utformad ihålig till bildande av en elektrolytfördelningskanal 11 med ett antal radiellt inåtriktade och runt omkretsen jämnt fördelade hål 13 för åstadkommande av en strömning av elektrolyt från katoden och i riktning mot anoden 5. Fördelningskanalen ll står via en. anslutning 12 i förbindelse med en tillförselledning 19 från en icke visad cirkulationspump. Den övre väggen 3 är i sin tur försedd. med en företrädesvis central utloppsöppning 10, som via en ledning 18 är förbunden med en icke visad elektrolyt- behållare, till vilken cirkulationspumpen är ansluten. Arean av öppningen 10 är därvid med fördel så avpassad till den samman- lagda arean av inloppshålen 13 och pumptrycket, att ett lämp- ligt övertryck kan upprätthållas inuti behållaren 1 under plä- teringsförloppet. Härigenom kan samtidigt tillförsäkras att den på ändväggen 4 kælägna fader- eller modermatrisen hålls absolut plan, så att den utfällda matrisen också. blir' helt plan. Vidare kan filter anordnas vid både in- och utloppet till behållaren Jq så att vätskan i förrådstanken och systemet i övrigt hålls fri från föroreningar.
Vid en annan, icke visad. utföringsform av' uppfinningen används en annan typ av anod, nämligen en dimensionsstabil skivformig anod, en s k DSA, av exempelvis platinabelagt titan, -'I i 467 976 5 vilken kan vara försedd med ett flertal hål. Då denna anod används är anordningar placerade vid förrådstanken för ersät- tande av ur elektrolyten utfällt nickel. Detta kan ske genom tillsättning av t ex nickelhydroxid. När man använder den dimensionsstabila anoden kan avståndet mellan katoden och anoden minskas ännu mer till t ex 5 mm, varvid högre strömtäthet kan utnyttjas och därmed snabbare utfällníng av nickel uppnås.
Det åtgår också betydligt mindre elektrisk effekt vid kortare anod- katodavstånd. Lämpligen är då elektrolytutloppet 10 anordnat i omkretsväggen 2.
Av det ovanstående framgår att den på ritningen visade utföringsformen av anordningen är avsedd att användas med plä- teringsytan 7 i horisontellt läge, medan den andra icke visade utföringsformen kan användas med pläteringsytan 7 även vertikal, vilket i vissa fall kan medföra praktiska fördelar.
Anordningen enligt uppfinningen är som nämnts särskilt väl lämpad att användas i samband med ett förenklat pläterings- förfarande, som här skall beskrivas. Därvid placeras inled- ningsvis en glasskiva 17, som uppbär ett informationsförsett metalliserat vanligen (försilvrat) polymerskikt, på ändväggen 4 i dennas tillbakadragna öppna läge, vilken sedan stängs på tidigare nämnt sätt, varefter elektrolyt inmatas i pläteringsut- rymmet och strömtillförseln påbörjas för genomförande av en första plätering eller utfällníng av ett nickelskikt på polymer- skiktet. Sedan detta nickelskikt erhållit erforderlig tjocklek avbryts pläteringen och glasskivan med nickelskiktet avlägsnas ur behållaren 1. Nickelskiktet som nu utgör en s k fadermatris för fortsatt tillverkning, avdrages därefter från polymerskíktet och dess informationsförsedda sida avpolymeriseras och tvättas med exempelvis aceton, samt sköljs med avjoniserat vatten.
Fadermatrisen är sedan klar för att i sin tur placeras på ändväggen 4 och införas i pläteringsutrymmet. för utfällníng därpå av en ytterligare "omvänd"7matris, en s k modermatris.
Den erforderliga passivering av fadermatrisen före denna ytter- ligare plätering sker härvid icke såsom tidigare genom behand- ling med kromatföreningar utan genom att enligt uppfinningen katoden en kort tidsperiod först kopplas såsom anod, varigenom
Claims (5)
1. Anordning för elektroplätering, särskilt vid framställning av metallmatriser för tillverkning av plana alster av plast, såsom kompaktskivor, och innefattande en behållare (1) för en elektrolyt, en anod (5) och en katod i form av en skivformig pläteringsyta (7), varjämte i'omrâdet mellan anoden och katoden är anordnade i omkretsled fördelade radiella hål (13) för upp- rättande av en strömning av elektrolyt från katoden mot anoden, k ä n n e t e c k n a d a v att behållaren (1) har en omkrets- vägg (2) med en mot pläteringsytan (7) i huvudsak svarande in- vändig kontur och area, vilken pläteringsyta (7) utgör behål- larens (1) ena ändvägg (4) och anligger tätt mot omkretsväggens (2) kant, medan behållaren (1) i sin motsatta ände är tillslu- ten av en andra ändvägg (3), vilken tätt anligger mot den mot- satta kanten av omkretsväggen (2) och intill vilken anoden (5) är belägen. -Ho I: 467 976 7
2. Anordning enligt patentkravet 1 försedd med en anod av nickel, k ä n n e t e c k n a d a v att anoden (5) utgörs av en med plan botten försedd korg med nickelkulor, varvid pläte- ringsytan (7) är horisontellt orienterad och parallell med korgbotten, varvid den andra ändväggen (3) är försedd med elektrolytutlopp (10).
3. Anordning enligt patentkravet 1, k ä n n e t e c k n a d a v att anoden (5) är en dimensionsstabil skivanod, en s k DSA, och av anordningar för ersättande av ur elektrolyten utfällt nickel, varvid elektrolytutlopp (10) lämpligen är anordnade i omkretsväggen (2) .
4. Anordning enligt något av patentkraven 1-3, k ä n n e- t e c k n a d a v att elektrolyten står under övertryck i behållaren (1).
5. Förfarande för elektroplätering, särskilt vid framställning av metallmatriser för tillverkning av plana alster av plast, såsom kompaktskivor, med utnyttjande av en anordning enligt något av patentkraven 1-4, vid vilket förfarande ett nickelskikt skall utfällas på en i anordningen införd, redan framställd nickelmatris, k ä n n e t e c k n a t a v att nickelmatrisen, d v s katoden, en kort tidsperiod kopplas som anod för åstad- kommande av ett som släppskikt verkande oxidskikt innan utfäll- ningen påbörjas.
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SE9100507A SE467976B (sv) | 1991-02-20 | 1991-02-20 | Anordning foer elektroplaetering, vid framstaellning av matriser foer tillverkning av t ex cd-skivor samt foerfarande foer tillverkning av matriser medelst anordningen |
EP92850030A EP0500513B1 (en) | 1991-02-20 | 1992-02-12 | Apparatus and method for electroplating |
DE69210650T DE69210650T2 (de) | 1991-02-20 | 1992-02-12 | Vorrichtung und Verfahren zum Elektroplattieren |
US07/838,556 US5244563A (en) | 1991-02-20 | 1992-02-19 | Apparatus and method for electroplating |
US08/084,543 US5427674A (en) | 1991-02-20 | 1993-06-28 | Apparatus and method for electroplating |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SE9100507A SE467976B (sv) | 1991-02-20 | 1991-02-20 | Anordning foer elektroplaetering, vid framstaellning av matriser foer tillverkning av t ex cd-skivor samt foerfarande foer tillverkning av matriser medelst anordningen |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
SE9100507D0 SE9100507D0 (sv) | 1991-02-20 |
SE9100507L SE9100507L (sv) | 1992-08-21 |
SE467976B true SE467976B (sv) | 1992-10-12 |
Family
ID=20381949
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
SE9100507A SE467976B (sv) | 1991-02-20 | 1991-02-20 | Anordning foer elektroplaetering, vid framstaellning av matriser foer tillverkning av t ex cd-skivor samt foerfarande foer tillverkning av matriser medelst anordningen |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US5244563A (sv) |
EP (1) | EP0500513B1 (sv) |
DE (1) | DE69210650T2 (sv) |
SE (1) | SE467976B (sv) |
Families Citing this family (25)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
SE467976B (sv) * | 1991-02-20 | 1992-10-12 | Dcm Innovation Ab | Anordning foer elektroplaetering, vid framstaellning av matriser foer tillverkning av t ex cd-skivor samt foerfarande foer tillverkning av matriser medelst anordningen |
US5807469A (en) * | 1995-09-27 | 1998-09-15 | Intel Corporation | Flexible continuous cathode contact circuit for electrolytic plating of C4, tab microbumps, and ultra large scale interconnects |
DE19602182C2 (de) * | 1996-01-23 | 1998-08-13 | Technotrans Gmbh | Verfahren und Vorrichtung zur thermischen Prozessteuerung bei der elektrolytischen Beschichtung von Werkzeugen für die Herstellung von CD-Datenträgern |
US6174425B1 (en) | 1997-05-14 | 2001-01-16 | Motorola, Inc. | Process for depositing a layer of material over a substrate |
US6001235A (en) * | 1997-06-23 | 1999-12-14 | International Business Machines Corporation | Rotary plater with radially distributed plating solution |
US6187164B1 (en) | 1997-09-30 | 2001-02-13 | Symyx Technologies, Inc. | Method for creating and testing a combinatorial array employing individually addressable electrodes |
US6818110B1 (en) | 1997-09-30 | 2004-11-16 | Symyx Technologies, Inc. | Combinatorial electrochemical deposition and testing system |
US6080288A (en) * | 1998-05-29 | 2000-06-27 | Schwartz; Vladimir | System for forming nickel stampers utilized in optical disc production |
US6228232B1 (en) | 1998-07-09 | 2001-05-08 | Semitool, Inc. | Reactor vessel having improved cup anode and conductor assembly |
US6231743B1 (en) | 2000-01-03 | 2001-05-15 | Motorola, Inc. | Method for forming a semiconductor device |
SE0001367L (sv) * | 2000-04-13 | 2001-10-14 | Obducat Ab | Apparat och förfarande för elektrokemisk bearbetning av substrat |
SE0001368L (sv) * | 2000-04-13 | 2001-10-14 | Obducat Ab | Apparat och förfarande för elektrokemisk bearbetning av substrat |
US6610189B2 (en) * | 2001-01-03 | 2003-08-26 | Applied Materials, Inc. | Method and associated apparatus to mechanically enhance the deposition of a metal film within a feature |
WO2003018874A2 (en) * | 2001-08-31 | 2003-03-06 | Semitool, Inc. | Apparatus and methods for electrochemical processing of microelectronic workpieces |
US7118658B2 (en) * | 2002-05-21 | 2006-10-10 | Semitool, Inc. | Electroplating reactor |
US20040055873A1 (en) * | 2002-09-24 | 2004-03-25 | Digital Matrix Corporation | Apparatus and method for improved electroforming |
US20070125652A1 (en) * | 2005-12-02 | 2007-06-07 | Buckley Paul W | Electroform, methods of making electroforms, and products made from electroforms |
US9455139B2 (en) | 2009-06-17 | 2016-09-27 | Novellus Systems, Inc. | Methods and apparatus for wetting pretreatment for through resist metal plating |
US8962085B2 (en) | 2009-06-17 | 2015-02-24 | Novellus Systems, Inc. | Wetting pretreatment for enhanced damascene metal filling |
US9677188B2 (en) | 2009-06-17 | 2017-06-13 | Novellus Systems, Inc. | Electrofill vacuum plating cell |
EP2593587B1 (en) * | 2010-07-15 | 2016-09-07 | Luxembourg Institute of Science and Technology (LIST) | Filling of a printing chamber and a chuck therefore |
KR102113883B1 (ko) * | 2012-03-13 | 2020-05-22 | 노벨러스 시스템즈, 인코포레이티드 | 관통 레지스트 금속 도금을 위한 웨팅 전처리의 방법들 및 장치 |
US9613833B2 (en) | 2013-02-20 | 2017-04-04 | Novellus Systems, Inc. | Methods and apparatus for wetting pretreatment for through resist metal plating |
US9435049B2 (en) | 2013-11-20 | 2016-09-06 | Lam Research Corporation | Alkaline pretreatment for electroplating |
US9617648B2 (en) | 2015-03-04 | 2017-04-11 | Lam Research Corporation | Pretreatment of nickel and cobalt liners for electrodeposition of copper into through silicon vias |
Family Cites Families (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US1771680A (en) * | 1927-03-29 | 1930-07-29 | Ishisaka Sansaku | Apparatus for electroplating |
DE2011305A1 (de) * | 1970-03-10 | 1971-10-14 | Deutsche Grammophon Gmbh | Verfahren zur Vorbehandlung von mit Nickeloberflächen versehenen Galvanos, insbesondere Schallplattengalvanos |
JPS5524141Y2 (sv) * | 1976-10-16 | 1980-06-09 | ||
DE3067925D1 (en) * | 1979-06-01 | 1984-06-28 | Emi Ltd | High-speed plating arrangement and stamper plate formed using such an arrangement |
JPS57126998A (en) * | 1981-01-28 | 1982-08-06 | Mishima Kosan Co Ltd | Plating apparatus |
EP0076569B1 (en) * | 1981-10-01 | 1986-08-27 | EMI Limited | Electroplating arrangements |
US4534831A (en) * | 1982-09-27 | 1985-08-13 | Inoue-Japax Research Incorporated | Method of and apparatus for forming a 3D article |
NL8300916A (nl) * | 1983-03-14 | 1984-10-01 | Philips Nv | Werkwijze voor het galvanisch neerslaan van een homogeen dikke metaallaag, aldus verkregen metaallaag en toepassing van de aldus verkregen metaallaag, inrichting voor het uitvoeren van de werkwijze en verkregen matrijs. |
US4750981A (en) * | 1986-09-30 | 1988-06-14 | The Boeing Company | Apparatus for electroplating limited surfaces on a workpiece |
DE3736240A1 (de) * | 1987-10-27 | 1989-05-11 | Flachglas Ag | Vorrichtung zur galvanischen verstaerkung einer leiterspur auf einer glasscheibe |
US4964958A (en) * | 1988-10-14 | 1990-10-23 | Philips & Du Pont Optical Company | Method of producing a metal matrix |
SE467976B (sv) * | 1991-02-20 | 1992-10-12 | Dcm Innovation Ab | Anordning foer elektroplaetering, vid framstaellning av matriser foer tillverkning av t ex cd-skivor samt foerfarande foer tillverkning av matriser medelst anordningen |
-
1991
- 1991-02-20 SE SE9100507A patent/SE467976B/sv not_active IP Right Cessation
-
1992
- 1992-02-12 EP EP92850030A patent/EP0500513B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1992-02-12 DE DE69210650T patent/DE69210650T2/de not_active Expired - Fee Related
- 1992-02-19 US US07/838,556 patent/US5244563A/en not_active Expired - Lifetime
-
1993
- 1993-06-28 US US08/084,543 patent/US5427674A/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE69210650D1 (de) | 1996-06-20 |
SE9100507L (sv) | 1992-08-21 |
US5427674A (en) | 1995-06-27 |
DE69210650T2 (de) | 1996-09-19 |
EP0500513A1 (en) | 1992-08-26 |
SE9100507D0 (sv) | 1991-02-20 |
EP0500513B1 (en) | 1996-05-15 |
US5244563A (en) | 1993-09-14 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
SE467976B (sv) | Anordning foer elektroplaetering, vid framstaellning av matriser foer tillverkning av t ex cd-skivor samt foerfarande foer tillverkning av matriser medelst anordningen | |
EP0076569A1 (en) | Electroplating arrangements | |
US8172989B2 (en) | Prevention of substrate edge plating in a fountain plating process | |
JPH10152798A (ja) | 電気めっきセルおよびこのセルを用いためっき方法 | |
US2549678A (en) | Method of and apparatus for electroforming metal articles | |
KR101587819B1 (ko) | 전기화학적 프로세서용 컨택 링 | |
US3954568A (en) | Electroforming an endless flexible seamless xerographic belt | |
DE112014002200T5 (de) | Elektrobearbeitungssystem für ein mikroelektronisches Substrat | |
US4539079A (en) | Method and apparatus for electroforming a stamper for producing a high-density information recording carrier | |
US4341613A (en) | Apparatus for electroforming | |
KR20210009285A (ko) | 반도체 프로세싱에서의 유체 회수 | |
US4385978A (en) | Cathode head | |
US4507180A (en) | Method of electrodepositing a homogeneously thick metal layer, metal layer thus obtained and the use of the metal layer thus obtained, device for carrying out the method and resulting matrix | |
GB1409667A (en) | Producing an electrolytic coating | |
US2751345A (en) | Electroplating rack | |
AT402944B (de) | Magnetron-zerstäubervorrichtung | |
CN111630210A (zh) | 电镀组合机构 | |
US1744792A (en) | Electroplating apparatus | |
US2438885A (en) | Apparatus for electroplating rings and discs | |
GB2065168A (en) | Tact with a metal or metalised cathode plate used in produelectroplating arrangement for establishing electrical conction of a disc record matrix | |
CN218131549U (zh) | 高分子聚合物膜生产用制水系统 | |
US3723695A (en) | Edm electrode | |
JPH08100288A (ja) | 金属メッシュ箔の製造法 | |
WO2019204512A1 (en) | Seal apparatus for an electroplating system | |
CN221727084U (zh) | 半导体处理治具 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
NAL | Patent in force |
Ref document number: 9100507-4 Format of ref document f/p: F |
|
NUG | Patent has lapsed |