RU2475567C1 - Plant for obtaining nanostructured coatings from material with shape memory effect on cylindrical surface of parts - Google Patents
Plant for obtaining nanostructured coatings from material with shape memory effect on cylindrical surface of parts Download PDFInfo
- Publication number
- RU2475567C1 RU2475567C1 RU2011125217/02A RU2011125217A RU2475567C1 RU 2475567 C1 RU2475567 C1 RU 2475567C1 RU 2011125217/02 A RU2011125217/02 A RU 2011125217/02A RU 2011125217 A RU2011125217 A RU 2011125217A RU 2475567 C1 RU2475567 C1 RU 2475567C1
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- gas
- pyrometer
- vacuum chamber
- plasma torch
- shape memory
- Prior art date
Links
Images
Landscapes
- Coating By Spraying Or Casting (AREA)
- Nozzles (AREA)
Abstract
Description
Изобретение относится к области машиностроения и металлургии, в частности к комбинированным способам получения покрытий и может быть использовано в частности для получения покрытий на деталях.The invention relates to the field of engineering and metallurgy, in particular to combined methods for producing coatings and can be used in particular to obtain coatings on parts.
В настоящее время существуют следующие установки, для получения покрытий.Currently, there are the following installations for producing coatings.
Известна установка для напыления покрытий, характеризующаяся тем, что содержит вакуумную камеру, распылители мишеней-катодов с анодными блоками, устройства для эвакуации и регулирования подачи газа, приспособление, на котором крепят держатели, и устройство для вращения приспособления. Держатели для подложек вращаются в одном направлении, а приспособление вращается в другом направлении. Распылители мишеней-катодов расположены таким образом, что их осевые линии образуют угол не более 90° и смещены по высоте друг относительно друга. Внутренняя поверхность камеры снабжена ложными стенками. Держатели подложек выполнены в виде призм. Каждая грань призм прозрачна не менее чем на 75%. Подложки и анодные блоки распылителей гальванически связаны между собой и с положительным электродом. Мишени-катоды и ложные стенки гальванически связаны с отрицательным электродом. Между приспособлением для крепления держателей и устройством для его вращения установлен экран, гальванически изолированный от камеры. Устройство формирует упрочненные покрытия во всей поверхности подложек, включая и тыльную сторону (патент №2214477).A known installation for spraying coatings, characterized in that it contains a vacuum chamber, target cathode sprays with anode blocks, devices for evacuating and regulating the gas supply, a device on which the holders are mounted, and a device for rotating the device. The substrate holders rotate in one direction, and the fixture rotates in the other direction. The nebulizers of the cathode targets are arranged in such a way that their axial lines form an angle of no more than 90 ° and are offset in height relative to each other. The inner surface of the chamber is provided with false walls. The substrate holders are made in the form of prisms. Each prism face is not less than 75% transparent. The substrates and anode blocks of the nebulizers are galvanically connected to each other and to the positive electrode. Target cathodes and false walls are galvanically connected to the negative electrode. Between the device for mounting the holders and the device for its rotation, a screen is installed, galvanically isolated from the camera. The device forms hardened coatings in the entire surface of the substrates, including the back side (patent No. 2214477).
Недостатком этой установки является невозможность получения объемных покрытий (толщиной более 100 мкм), сложность получения покрытий нужного для ЭПФ химического состава, следовательно, небольшая величина обратимой деформации менее 3%.The disadvantage of this installation is the impossibility of obtaining bulk coatings (with a thickness of more than 100 μm), the difficulty of obtaining coatings of the chemical composition required for EPF, and therefore, a small amount of reversible deformation is less than 3%.
Также известна установка для комплексной ионно-плазменной обработки и нанесения покрытий, содержащая цилиндрическую вакуумную камеру с загрузочной дверью, оснащенную фланцевыми соединениями для установки технологических модулей, вакуум-провода, вакуумных насосов и вакуумных вводов, поворотное приспособление для размещения обрабатываемых изделий, технологические модули, систему подачи газов, откачную систему, источники питания и блок управления, источники ускоренных ионов металлов и газов, протяженный вакуумно-дуговой генератор металлической плазмы, протяженный дуальный магнетрон, протяженный генератор газовой плазмы, причем вакуумная камера выполнена из немагнитной нержавеющей стали размерами: диаметр от 900 мм до 1000 мм, высота от 1300 мм до 1400 мм, а поворотное приспособление для размещения обрабатываемых изделий выполнено с возможностью размещения длинномерных изделий (патент №97730). Недостатком этой установки является невозможность получения объемных покрытий (толщиной более 10 мкм). Сложность получения покрытий нужного для ЭПФ химического состава.Also known is an installation for complex ion-plasma treatment and coating, containing a cylindrical vacuum chamber with a loading door, equipped with flange connections for installing process modules, vacuum wires, vacuum pumps and vacuum inlets, a rotary device for placing processed products, technological modules, system gas supply, pumping system, power supplies and control unit, sources of accelerated metal and gas ions, extended vacuum-arc generator me allic plasma, an extended dual magnetron, an extended gas plasma generator, the vacuum chamber being made of non-magnetic stainless steel with dimensions: diameter from 900 mm to 1000 mm, height from 1300 mm to 1400 mm, and a rotary device for accommodating workpieces made with the possibility of placing lengthy products (patent No. 97730). The disadvantage of this installation is the inability to obtain bulk coatings (with a thickness of more than 10 microns). Difficulty in obtaining coatings of the chemical composition required for EPF.
Наиболее близкой является установка для получения наноструктурированных покрытий деталей с цилиндрической поверхностью с эффектом памяти формы, содержащая механизмы закрепления и вращения деталей, продольного перемещения плазмотрона, расположенного на раме, подачи порошкового материала с эффектом памяти формы, управляющее устройство, связанное с механизмами подачи порошкового материала, перемещения плазмотрона и пирометром для измерения температуры детали перед фронтом плазменной дуги, приспособление для поверхностно-пластического деформирования поверхности деталей для получения наноструктурированного слоя, установленным на механизме продольного перемещения плазмотрона, второй пирометр, установленный в зоне поверхностно-пластического деформирования и связанный с управляющим устройством, понижающий трансформатор, соединенный с приспособлением для поверхностно-пластического деформирования для дополнительного нагрева поверхности детали и устройства для охлаждения поверхности детали связанного с устройством перемещения плазмотрона, причем плазмотрон установлен на механизме продольного перемещения под углом 46-50° к поверхности детали. Приспособление для поверхностно-пластического деформирования содержит 3 ролика для обжатия поверхности деталей. Устройство для охлаждения поверхности детали выполнено в виде двух емкостей, заполненных жидким азотом, расположенным по краям обрабатываемой детали (патент №2402628). В результате напыления устраняются недостатки аналогов, увеличивается толщина слоя покрытия.The closest is a facility for producing nanostructured coatings of parts with a cylindrical surface with a shape memory effect, containing mechanisms for fixing and rotating parts, longitudinal movement of a plasma torch located on the frame, supply of powder material with a shape memory effect, a control device associated with powder material supply mechanisms, displacements of the plasma torch and pyrometer for measuring the temperature of the part in front of the front of the plasma arc, a device for surface plastic deformation of the surface of the parts to obtain a nanostructured layer mounted on the mechanism of longitudinal movement of the plasma torch, a second pyrometer installed in the zone of surface plastic deformation and connected to the control device, a step-down transformer connected to a device for surface plastic deformation for additional heating of the surface of the part and device for cooling the surface of the part associated with the device for moving the plasma torch, and the plasma torch mounted on the mechanism of longitudinal movement at an angle of 46-50 ° to the surface of the part. The device for surface plastic deformation contains 3 rollers for compressing the surface of the parts. A device for cooling the surface of the part is made in the form of two containers filled with liquid nitrogen located at the edges of the workpiece (patent No. 2402628). As a result of spraying, the disadvantages of analogues are eliminated, the thickness of the coating layer increases.
Недостатком этой установки является невозможность получения качественных покрытий без содержания избыточных (интерметаллидных) фаз, вследствие низкая степень восстановления формы, небольшая прочность сцепления покрытия с подложкой.The disadvantage of this installation is the impossibility of obtaining high-quality coatings without the content of excess (intermetallic) phases, due to the low degree of shape recovery, low adhesion of the coating to the substrate.
Задачей изобретения является получение на поверхности деталей наноструктурированного покрытия с эффектом памяти формы.The objective of the invention is to obtain on the surface of parts of a nanostructured coating with a shape memory effect.
Техническим результатом является повышение функциональных свойств и надежности покрытий деталей, таких как величина обратимой деформации, прочность сцепления покрытия с подложкой.The technical result is to increase the functional properties and reliability of the coatings of parts, such as the magnitude of the reversible deformation, the adhesion of the coating to the substrate.
Поставленная задача решается предложенной установкой для получения наноструктурированных покрытий из материала с эффектом памяти формы на цилиндрической поверхности деталей, содержащая раму с размещенными на ней механизмом закрепления детали с патроном и задней бабкой, механизмом вращения детали, и плазмотроном с механизмом его продольного перемещения, механизм подачи порошкового материала с эффектом памяти формы, первый пирометр для измерения температуры детали перед фронтом плазменной дуги, управляющее устройство, связанное с механизмами подачи порошкового материала и продольного перемещения плазмотрона и первым пирометром, приспособление для поверхностно-пластического деформирования детали для формирования наноструктурированного слоя, установленное на механизме продольного перемещения плазмотрона, второй пирометр, установленный в зоне поверхностно-пластического деформирования и связанный с управляющим устройством, соединенный с приспособлением для поверхностно-пластического деформирования детали, понижающий трансформатор, обеспечивающий дополнительный нагрев поверхности детали, и устройство для охлаждения поверхности детали, связанное с устройством продольного перемещения плазмотрона, при этом плазмотрон установлен на механизме продольного перемещения под углом 46-50° к поверхности детали. Установка, дополнительно содержит вакуумную камеру, соединенную с вакуумным насосом, газопламенную горелку для газопламенного напыления и технологический модуль для ионной очистки обрабатываемой детали с источником питания, при этом вакуумная камера установлена на раме, газопламенная горелка размещена на механизме продольного перемещена плазмотрона и установлена под углом 45° или 90° к поверхности детали, «плюс» источника питания технологического модуля ионной очистки соединен с корпусом вакуумной камеры, а его «минус» соединен с задней бабкой механизма закрепления детали. Вакуумная камера выполнена с водяной рубашкой охлаждения.The problem is solved by the proposed installation for producing nanostructured coatings from a material with a shape memory effect on the cylindrical surface of parts, containing a frame with a part fixing mechanism with a cartridge and tailstock, a part rotation mechanism, and a plasma torch with its longitudinal movement mechanism, a powder feeding mechanism material with a shape memory effect, the first pyrometer for measuring the temperature of a part in front of the plasma arc front, a control device connected with by means of powder material supply and longitudinal movement of the plasma torch and the first pyrometer, a device for surface-plastic deformation of the part to form a nanostructured layer mounted on the mechanism of longitudinal movement of the plasma torch, a second pyrometer installed in the surface-plastic deformation zone and connected to the control device, connected to the device for surface-plastic deformation of the part, a step-down transformer, providing complementary heating the surface of the part, and a device for cooling the surface of the part associated with the device of longitudinal movement of the plasma torch, while the plasma torch is mounted on the mechanism of longitudinal movement at an angle of 46-50 ° to the surface of the part. The installation further comprises a vacuum chamber connected to a vacuum pump, a gas flame burner for flame spraying and a process module for ion cleaning of the workpiece with a power source, while the vacuum chamber is mounted on the frame, the gas flame burner is placed on a longitudinal plasma torch mechanism and is installed at an angle of 45 ° or 90 ° to the surface of the part, the “plus” of the power supply of the ion cleaning process module is connected to the body of the vacuum chamber, and its “minus” is connected to the back her grandma mechanism for securing the part. The vacuum chamber is made with a water jacket cooling.
Повышение функциональных свойств и надежности покрытий с ЭПФ обеспечивается за счет получения наноструктурного состояния покрытия при использовании газопламенного и плазменного напыления с последующим поверхностно-пластическим деформированием (ППД). За счет использования технологического модуля производится ионная очистка обрабатываемой детали, способствующая увеличению прочности сцепления покрытий с ЭПФ с подложкой. При использовании вакуумной камеры (вакуума) совместно с плазменным и газопламенным напылением формируются качественные покрытия без содержания оксидных включений (фаз), приводящих к снижению ЭПФ, соответственно и функциональных свойств.An increase in the functional properties and reliability of coatings with EPF is ensured by obtaining the nanostructured state of the coating using gas-flame and plasma spraying followed by surface plastic deformation (PPD). Due to the use of the technological module, ion cleaning of the workpiece is performed, which contributes to an increase in the adhesion strength of coatings with EPF to the substrate. When using a vacuum chamber (vacuum) together with plasma and gas-flame spraying, high-quality coatings are formed without the content of oxide inclusions (phases), which lead to a decrease in the EPF and, accordingly, functional properties.
На фиг.1 представлена установка для получения наноструктурированных покрытий из материала с эффектом памяти формы на цилиндрической поверхности деталей.Figure 1 shows the installation for producing nanostructured coatings from a material with a shape memory effect on the cylindrical surface of parts.
Установка состоит из следующих конструктивных элементов: блока управления 1, источника питания 2, понижающего трансформатора 3, патрона 4 для закрепления детали 16 с цилиндрической поверхностью, трехроликового приспособления 5 для поверхностно-пластического деформирования полученного покрытия с получением наноструктурированного слоя с эффектом памяти формы, плазматрона 6, устройства для перемещения 7 плазматрона, устройства 8 для охлаждения цилиндрической детали, выполненного в виде двух емкостей, заполненных жидким азотом, порошкового дозатора 9, пирометров 10 для измерения температуры, плазмообразующих газов 11, задней бабки 12, электродвигателя 13, шкивов 14 для передачи крутящего момента от электродвигателя 13 на патрон 4, рамы 15 и упрочняемой цилиндрической детали 16, вакуумной камеры 17, газопламенной горелки для высокоскоростного газопламенного напыления 18, вакуумного насоса 19, технологического модуля 20 для ионной очистки поверхностей деталей 16, смотровых окон 21.The installation consists of the following structural elements: a control unit 1, a
Установка работает следующим образом:Installation works as follows:
Упрочняемая цилиндрическая деталь 16 устанавливается в патроне 4 и в задней бабке 12, закрепленных на раме 15. С помощью вакуумного насоса 19 производится откачка вакуумной камеры 17 до давления 6,5·10-3-6,8·10-3 Па. Далее осуществляется заполнение вакуумной камеры аргоном до давления 0,07÷0,6 Па, при помощи технологического модуля 20 производится ионная очистка упрочняемой цилиндрической детали 16. Посредством электродвигателя 13 шкивов 14 системе придается вращательное движение. При помощи источника питания 2 и блока управления 1 производится включение устройства для перемещения плазматрона 6 и поджиг плазменной и высокоскоростной газопламенной дуги, также происходит включение порошкового дозатора 9 для подачи порошка с эффектом памяти формы в плазменную и газопламенную струю. Измерение температуры упрочняемой детали перед фронтом плазменной дуги и в зоне поверхностно-пластического деформирования производится пирометрами 10. На устройстве для перемещения 7 плазматрона 6 и газопламенной горелки 18 закреплено трехроликовое приспособление 5 для поверхностно-пластического деформирования покрытия с эффектом памяти формы сразу после плазменного и высокоскоростного газопламенного напыления. Напыление покрытия производится плазмотроном 6 и газопламенной горелкой 18, расположенным под углом 45, 90°. На устройстве для перемещения 7 плазматрона 6 и газопламенной горелки 18 устанавливается приспособление 8 для подачи жидкого азота с целью охлаждения детали с покрытием с эффектом памяти формы в случае отрицательного интервала температур мартенситного превращения при поверхностно-пластическом деформировании трехроликовым приспособлением. Поверхностно-пластическое деформирование трехроликовым приспособлением сразу же после высокоскоростного газопламенного и плазменного напыления осуществляется в два этапа, на первом этапе оно производится в интервале температур 900-1100°С, на втором в интервале температур мартенситных превращений (Ms-Mf). В случае охлаждения детали с покрытием с эффектом памяти формы после плазменного напыления до температуры менее 750°С дополнительно имеется понижающий трансформатор 3 для разогрева детали до данной температуры.The hardened
Пример 1.Example 1
Упрочняемая цилиндрическая деталь 16 из стали 45 устанавливается в патроне 4 и в задней бабке 12, закрепленных на раме 15. С помощью вакуумного насоса 19 производится откачка вакуумной камеры 17 до давления 6,5·10-3 Па. Далее осуществляется заполнение вакуумной камеры аргоном до давления 0,15 Па, при помощи технологического модуля 20 производится ионная очистка упрочняемой цилиндрической детали 16. Посредством электродвигателя 13 шкивов 14 системе придается вращательное движение. При помощи источника питания 2 и блока управления 1 производится включение устройства для перемещения плазматрона 6 и поджиг плазменной и высокоскоростной газопламенной дуги, также происходит включение порошкового дозатора 9 для подачи порошка ПН55Т45 с эффектом памяти формы в плазменную и газопламенную струю. Измерение температуры упрочняемой детали перед фронтом плазменной дуги и в зоне поверхностно-пластического деформирования производится пирометрами 10. На устройстве для перемещения 7 плазматрона 6 и газопламенной горелки 18 закреплено трехроликовое приспособление 5 для поверхностно-пластического деформирования покрытия Ni49,8Ti50,2 с эффектом памяти формы сразу после плазменного и высокоскоростного газопламенного напыления. Напыление покрытия производится плазмотроном 6 и газопламенной горелкой 18, расположенным под углом 90°. На устройстве для перемещения 7 плазматрона 6 и газопламенной горелки 18 устанавливается приспособление 8 для подачи жидкого азота с целью охлаждения детали с покрытием с эффектом памяти формы в случае отрицательного интервала температур мартенситного превращения при поверхностно-пластическом деформировании трехроликовым приспособлением. Поверхностно-пластическое деформирование трехроликовым приспособлением сразу же после высокоскоростного газопламенного и плазменного напыления осуществляется в два этапа, на первом этапе оно производится при температуре 900°С, на втором в интервале температур мартенситных превращений (Ms-Mf). В случае охлаждения детали с покрытием с эффектом памяти формы после плазменного напыления до температуры менее 750°С дополнительно имеется понижающий трансформатор 3 для разогрева детали до данной температуры.The hardened
При получении покрытий на установке, взятой в качестве прототипа: величина обратимой деформации для сплава TiNi составила 5,7%, прочность сцепления TiNi покрытия с подложкой 59,7 МПа; на предложенной установке: величина обратимой деформации для сплава TiNi составила 7,13%, прочность сцепления TiNi покрытия с подложкой 93,5 МПа.Upon receipt of coatings on the installation, taken as a prototype: the magnitude of the reversible deformation for the TiNi alloy was 5.7%, the adhesion strength of the TiNi coating with the substrate 59.7 MPa; on the proposed installation: the magnitude of the reversible deformation for the TiNi alloy was 7.13%, the adhesion strength of the TiNi coating to the substrate was 93.5 MPa.
Пример 2.Example 2
Упрочняемая цилиндрическая деталь 16 устанавливается в патроне 4 и в задней бабке 12, закрепленных на раме 15. С помощью вакуумного насоса 19 производится откачка вакуумной камеры 17 до давления 6,8·10-3 Па. Далее осуществляется заполнение вакуумной камеры аргоном до давления 0,3 Па, при помощи технологического модуля 20 производится ионная очистка упрочняемой цилиндрической детали 16. Посредством электродвигателя 13 шкивов 14 системе придается вращательное движение. При помощи источника питания 2 и блока управления 1 производится включение устройства для перемещения плазматрона 6 и поджиг плазменной и высокоскоростной газопламенной дуги, также происходит включение порошкового дозатора 9 для подачи порошка ПН80Ю20 с эффектом памяти формы в плазменную и газопламенную струю. Измерение температуры упрочняемой детали перед фронтом плазменной дуги и в зоне поверхностно-пластического деформирования производится пирометрами 10. На устройстве для перемещения 7 плазматрона 6 и газопламенной горелки 18 закреплено трехроликовое приспособление 5 для поверхностно-пластического деформирования покрытия с эффектом памяти формы сразу после плазменного и высокоскоростного газопламенного напыления. Напыление покрытия производится плазмотроном 6 и газопламенной горелкой 18, расположенным под углом 45°. На устройстве для перемещения 7 плазматрона 6 и газопламенной горелки 18 устанавливается приспособление 8 для подачи жидкого азота с целью охлаждения детали с покрытием с эффектом памяти формы в случае отрицательного интервала температур мартенситного превращения при поверхностно-пластическом деформировании трехроликовым приспособлением. Поверхностно-пластическое деформирование трехроликовым приспособлением сразу же после высокоскоростного газопламенного и плазменного напыления осуществляется в два этапа, на первом этапе оно производится в интервале температур 1000°С, на втором в интервале температур мартенситных превращений (Ms-Mf). В случае охлаждения детали с покрытием с эффектом памяти формы после плазменного напыления до температуры менее 750°С дополнительно имеется понижающий трансформатор 3 для разогрева детали до данной температуры.The hardened
При получении покрытий на установке, взятой в качестве прототипа: величина обратимой деформации для сплава TiNi составила 5,8%, прочность сцепления TiNi покрытия с подложкой 58 МПа; на предложенной установке: величина обратимой деформации для сплава TiNi составила 7,2%, прочность сцепления TiNi покрытия с подложкой 95 МПа.Upon receipt of coatings on the installation, taken as a prototype: the magnitude of the reversible deformation for the TiNi alloy was 5.8%, the adhesion strength of the TiNi coating with the substrate 58 MPa; on the proposed installation: the reversible strain for the TiNi alloy was 7.2%, the adhesion strength of the TiNi coating to the substrate was 95 MPa.
В результате работы установки получается наноструктурированное покрытие с эффектом памяти формы, с повышенной надежностью и функциональными свойствами.As a result of the installation, a nanostructured coating with a shape memory effect is obtained, with increased reliability and functional properties.
Claims (2)
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
RU2011125217/02A RU2475567C1 (en) | 2011-06-17 | 2011-06-17 | Plant for obtaining nanostructured coatings from material with shape memory effect on cylindrical surface of parts |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
RU2011125217/02A RU2475567C1 (en) | 2011-06-17 | 2011-06-17 | Plant for obtaining nanostructured coatings from material with shape memory effect on cylindrical surface of parts |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
RU2011125217A RU2011125217A (en) | 2012-12-27 |
RU2475567C1 true RU2475567C1 (en) | 2013-02-20 |
Family
ID=49121001
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
RU2011125217/02A RU2475567C1 (en) | 2011-06-17 | 2011-06-17 | Plant for obtaining nanostructured coatings from material with shape memory effect on cylindrical surface of parts |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
RU (1) | RU2475567C1 (en) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
RU2563910C1 (en) * | 2014-07-01 | 2015-09-27 | Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Кубанский государственный технологический университет" (ФГБОУ ВПО "КубГТУ") | Vacuum process unit for making nanostructured coats with shape memory effect on part surface |
RU2569871C1 (en) * | 2014-07-01 | 2015-11-27 | Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Кубанский государственный технологический университет" (ФГБОУ ВПО "КубГТУ") | Device to form nanostructured coatings with shape memory effect on surface of hollow parts |
RU2625694C2 (en) * | 2015-10-05 | 2017-07-18 | Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Кубанский государственный технологический университет" (ФГБОУ ВПО "КубГТУ") | Installation for producing multilayer nanostructured composite coating with shape memory effect on steel cylindrical part surface |
RU2718785C1 (en) * | 2019-11-20 | 2020-04-14 | Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Кубанский государственный технологический университет" (ФГБОУ ВО "КубГТУ") | Apparatus for producing nanostructured composite multifunctional coatings from material with shape memory effect on part surface |
RU2823632C1 (en) * | 2023-11-20 | 2024-07-25 | Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт металлургии и материаловедения им. А.А. Байкова Российской академии наук (ИМЕТ РАН) | Method for gas-thermal sputtering of coatings on body of revolution with spherical surface |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN107761037A (en) * | 2017-12-07 | 2018-03-06 | 徐工集团工程机械有限公司 | The tailstock and spray equipment of spray equipment |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH03100157A (en) * | 1989-09-13 | 1991-04-25 | Brother Ind Ltd | Production of shape memory alloy |
RU2214477C2 (en) * | 2001-07-18 | 2003-10-20 | Дочернее государственное предприятие "Институт ядерной физики" Национального ядерного центра Республики Казахстан | Installation for coating deposition |
EP1006211B1 (en) * | 1998-12-02 | 2004-12-08 | Sulzer Metco AG | Method and apparatus for plasma treatment of substrates |
RU97730U1 (en) * | 2009-01-11 | 2010-09-20 | Общество с ограниченной ответственностью Научно-производственное предприятие "Уралавиаспецтехнология" | INSTALLATION FOR INTEGRATED ION-PLASMA TREATMENT AND COATING |
RU2402628C1 (en) * | 2009-03-23 | 2010-10-27 | Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Кубанский государственный технологический университет" (ГОУВПО "КубГТУ") | Device for production of nano-structured coating of parts with cylinder surface and shape memory effect |
-
2011
- 2011-06-17 RU RU2011125217/02A patent/RU2475567C1/en not_active IP Right Cessation
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH03100157A (en) * | 1989-09-13 | 1991-04-25 | Brother Ind Ltd | Production of shape memory alloy |
EP1006211B1 (en) * | 1998-12-02 | 2004-12-08 | Sulzer Metco AG | Method and apparatus for plasma treatment of substrates |
RU2214477C2 (en) * | 2001-07-18 | 2003-10-20 | Дочернее государственное предприятие "Институт ядерной физики" Национального ядерного центра Республики Казахстан | Installation for coating deposition |
RU97730U1 (en) * | 2009-01-11 | 2010-09-20 | Общество с ограниченной ответственностью Научно-производственное предприятие "Уралавиаспецтехнология" | INSTALLATION FOR INTEGRATED ION-PLASMA TREATMENT AND COATING |
RU2402628C1 (en) * | 2009-03-23 | 2010-10-27 | Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Кубанский государственный технологический университет" (ГОУВПО "КубГТУ") | Device for production of nano-structured coating of parts with cylinder surface and shape memory effect |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
RU2563910C1 (en) * | 2014-07-01 | 2015-09-27 | Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Кубанский государственный технологический университет" (ФГБОУ ВПО "КубГТУ") | Vacuum process unit for making nanostructured coats with shape memory effect on part surface |
RU2569871C1 (en) * | 2014-07-01 | 2015-11-27 | Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Кубанский государственный технологический университет" (ФГБОУ ВПО "КубГТУ") | Device to form nanostructured coatings with shape memory effect on surface of hollow parts |
RU2625694C2 (en) * | 2015-10-05 | 2017-07-18 | Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Кубанский государственный технологический университет" (ФГБОУ ВПО "КубГТУ") | Installation for producing multilayer nanostructured composite coating with shape memory effect on steel cylindrical part surface |
RU2718785C1 (en) * | 2019-11-20 | 2020-04-14 | Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Кубанский государственный технологический университет" (ФГБОУ ВО "КубГТУ") | Apparatus for producing nanostructured composite multifunctional coatings from material with shape memory effect on part surface |
RU2823632C1 (en) * | 2023-11-20 | 2024-07-25 | Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт металлургии и материаловедения им. А.А. Байкова Российской академии наук (ИМЕТ РАН) | Method for gas-thermal sputtering of coatings on body of revolution with spherical surface |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
RU2011125217A (en) | 2012-12-27 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
RU2475567C1 (en) | Plant for obtaining nanostructured coatings from material with shape memory effect on cylindrical surface of parts | |
US8388753B2 (en) | Coating apparatus | |
US20170204511A1 (en) | Method of sputtering and sputter system | |
US20060076231A1 (en) | Method for magnetron sputter deposition | |
JPH0791654B2 (en) | Thin film formation method | |
RU2425173C2 (en) | Installation for combined ion-plasma treatment | |
TWI432593B (en) | End-block and sputtering installation | |
CN100392147C (en) | Pair target twin magnetic controlled sputtering ion plating deposition device | |
RU2402628C1 (en) | Device for production of nano-structured coating of parts with cylinder surface and shape memory effect | |
KR20200129615A (en) | Plastic vacuum deposition coating system capable of coating with uniform thickness | |
CN101302606A (en) | Magnesium alloy surface strengthening method and apparatus | |
RU2496913C2 (en) | Unit for ion-ray and plasma processing | |
CN110965034B (en) | High-entropy alloy target material preparation device | |
RU2625694C2 (en) | Installation for producing multilayer nanostructured composite coating with shape memory effect on steel cylindrical part surface | |
EP3095126B1 (en) | Endblock for rotatable target with electrical connection between collector and rotor at pressure less than atmospheric pressure | |
RU2693229C1 (en) | Apparatus for applying ion-plasma coatings on blisk blades | |
CN110527966B (en) | Horizontal magnetron sputtering equipment for long pipe coating | |
RU2661162C1 (en) | Installation for ion-plasma modification and coating the mono-wheels with blades | |
CN107779826B (en) | Arc ion plating film device | |
RU2672969C1 (en) | Apparatus for obtaining nanostructured coatings from materials with shape memory effect on surfaces of details | |
CN109852931A (en) | The film plating process of vacuum coating equipment and composite coating | |
CN208791745U (en) | Equipment for coated substrates | |
Yakovin et al. | Integral cluster set-up for complex compound composites syntesis | |
CN103119193A (en) | Device and method for vacuum coating | |
RU2404285C1 (en) | Installation for applying coatings in vacuum |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
MM4A | The patent is invalid due to non-payment of fees |
Effective date: 20180618 |