KR20130068373A - Fixing apparatus for flexible thin film substrate - Google Patents

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Abstract

PURPOSE: A flexible membrane substrate holding apparatus is provided to conduct a process to transfer per one page by cutting flexible membrane substrate in a specific size and form. CONSTITUTION: The lower surface edge of flexible membrane substrate (10) is settled in the lower fixing plate (100). The upper fixing plate (200) pressurizes top surface edge of flexible membrane substrate by detachably combining to the lower fixing plate. Top and bottom surface of the flexible membrane substrate are exposed to outside through opening parts (110,210) of the top and bottom fixing plate.

Description

플렉시블 박막 기판 고정장치{FIXING APPARATUS FOR FLEXIBLE THIN FILM SUBSTRATE}Flexible thin film substrate fixing device {FIXING APPARATUS FOR FLEXIBLE THIN FILM SUBSTRATE}

본 발명은 플렉시블 박막 기판 고정장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 플렉시블 박막 기판을 특정 사이즈 및 형태로 절단하여 1매씩 이송시킬 수 있으며, 공정진행을 위한 플렉시블 박막 기판의 고정작업을 간편하고 신속하게 이루어질 수 있도록 하는 플렉시블 박막 기판 고정장치에 관한 것이다.The present invention relates to a flexible thin film substrate fixing device, and more particularly, to cut a flexible thin film substrate in a specific size and shape and transfer the sheet one by one, and to easily and quickly fix the flexible thin film substrate for the process progress. The present invention relates to a flexible thin film substrate fixing device.

플렉시블 디스플레이(Flexible Display)는 두께가 얇은 필름 형태의 플렉시블 박막 기판(Flexible Thin Film Substrate)을 사용하는 장치로서, 유리 기판을 사용하는 기존의 유리 액정표시소자에 비하여 더 얇고 더 가볍고 외곽 디자인이 자유로우며 깨지지 않을 뿐 아니라 유연한 성질을 가지는 대표적인 차세대 디스플레이 중의 하나이다.Flexible display is a device that uses a thin film type flexible thin film substrate, which is thinner, lighter and freer than the conventional glass liquid crystal display device using a glass substrate. It is one of the representative next-generation displays that is not broken and flexible.

이와 같은 플렉시블 디스플레이에 사용되는 플렉시블 박막 기판은 전술된 바와 같은 얇은 필름 형태를 갖기 때문에, 세정공정이나 식각공정과 같은 제조 공정이 진행될 때 베이스 플레이트(Base Plate) 위에 고정된다. 이때 베이스 플레이트에 플렉시블 박막 기판을 고정하는 방법으로 베이스 플레이트에 플렉시블 박막 기판을 올려놓고 작업자가 4면 모서리 부분을 테이프로 고정시키는 방법이 주로 사용되고 있다.Since the flexible thin film substrate used in such a flexible display has a thin film form as described above, it is fixed on a base plate when a manufacturing process such as a cleaning process or an etching process is performed. In this case, a method of fixing a flexible thin film substrate on a base plate is mainly used by placing a flexible thin film substrate on a base plate and fixing a four-side edge part by a tape.

하지만, 상기와 같이 플렉시블 박막 기판을 수작업에 의해 테이프로 고정할 경우 기판 표면이 이물질에 의해 오염될 위험이 있으며, 또한 플렉시블 박막 기판을 베이스 플레이트에 고정시키는 작업 및 공정이 완료된 후 베이스 플레이트에서 플렉시블 박막 기판을 분리시키기 위해 테이프를 제거하는 작업 모두 수작업에 의해 이루어지기 때문에 기판을 베이스 플레이트에 고정/분리시키는 작업이 번거로울 뿐만 아니라 전체 공정을 지연시키는 문제점이 있었다.However, when the flexible thin film substrate is manually fixed to the tape as described above, there is a risk that the surface of the substrate is contaminated by foreign substances, and after the operation and the process of fixing the flexible thin film substrate to the base plate are completed, the flexible thin film on the base plate is completed. Since the operation of removing the tape to separate the substrate is performed by hand, not only the trouble of fixing / separating the substrate to the base plate but also delaying the entire process has been a problem.

상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 본 발명은 중앙 부분에 개방부가 형성되어 플렉시블 박막 기판의 하면 가장자리 둘레가 안착되는 하부 고정 플레이트; 그리고, 상기 하부 고정 플레이트에 탈착 가능하게 결합되어 플렉시블 박막 기판의 상면 가장자리 둘레를 가압하며, 중앙 부분에 상기 하부 고정 플레이트의 개방부와 연통되는 개방부가 형성되는 상부 고정 플레이트를 포함하여 이루어지는 플렉시블 박막 기판 고정장치를 제공한다.In order to solve the above problems, the present invention includes a lower fixing plate formed with an opening in the center portion is seated around the bottom edge of the flexible thin film substrate; And an upper fixing plate detachably coupled to the lower fixing plate to press an upper circumference of the upper edge of the flexible thin film substrate, and having an opening formed at a central portion thereof in communication with the opening of the lower fixing plate. Provide a fixture.

여기서, 상기 하부 고정 플레이트의 상면 가장자리 둘레에는 다수개의 제1 자석이 일정한 간격으로 설치되며, 상기 상부 고정 플레이트의 하면 가장자리 둘레에는 상기 제1 자석에 결합되는 극성이 다른 다수개의 제2 자석이 일정한 간격으로 설치된다. Here, a plurality of first magnets are installed at regular intervals around the upper edge of the lower fixing plate, and a plurality of second magnets having different polarities coupled to the first magnets are fixed at intervals around the lower edge of the upper fixing plate. Is installed.

그리고, 상기 하부 고정 플레이트의 상면 가장자리 둘레에는 다수개의 정렬 핀이 돌출형성되며, 상기 플렉시블 박막 기판과 상부 고정 플레이트의 둘레 가장자리에는 상기 정렬 핀이 삽입되는 다수개의 제1, 2관통홀이 각각 형성된다.In addition, a plurality of alignment pins protrude around the top edge of the lower fixing plate, and a plurality of first and second through holes into which the alignment pins are inserted are formed at the peripheral edges of the flexible thin film substrate and the upper fixing plate, respectively. .

또한, 상기 상부 고정 플레이트의 상면 가장자리 둘레에는 유체 안내판이 일정 간격을 두고 돌출 형성되어 플렉시블 박막 기판의 상면에 분사된 유체가 외부로 빠져나갈 수 있는 유로를 형성한다.In addition, a fluid guide plate protrudes at a predetermined interval around the upper edge of the upper fixing plate to form a flow path through which the fluid sprayed on the upper surface of the flexible thin film substrate may escape.

또한, 상기 상부 고정 플레이트의 하면에는 플렉시블 박막 기판의 상면에 분사된 유체를 외부로 배출시키기 위한 다수개의 배수홈이 형성될 수 있다.In addition, a plurality of drain grooves may be formed on a lower surface of the upper fixing plate to discharge the fluid sprayed on the upper surface of the flexible thin film substrate to the outside.

본 발명에 따른 플렉시블 박막 기판 고정장치는 플렉시블 박막 기판을 특정 사이즈 및 형태로 절단하여 1매씩 이송시키며 필요한 공정을 진행시킬 수 있으므로 테스트용 시제품 및 소량 다품종 생산에 필요한 플렉시블 박막 기판의 제조비용을 저감시킬 수 있다.The flexible thin film substrate fixing device according to the present invention can cut the flexible thin film substrate to a specific size and shape, transfer the sheet one by one, and proceed the required process, thereby reducing the manufacturing cost of the flexible thin film substrate required for the production of test prototypes and small quantities. Can be.

또한, 본 발명에 따른 플렉시블 박막 기판 고장장치는 공정진행을 위한 플렉시블 박막 기판의 고정작업 및 공정이 완료된 후 반송을 위한 분리작업이 간편하고 신속하게 이루어질 수 있도록 하므로 공정에 소요되는 시간을 최소화시킨다.In addition, the flexible thin film substrate failure apparatus according to the present invention minimizes the time required for the process because the fixing operation of the flexible thin film substrate for the process progress and the separation operation for conveying after the process is completed can be made easily and quickly.

도 1은 본 발명에 따른 플렉시블 박막 기판 고정장치의 전체적인 구조를 나타내는 사시도이다.
도 2는 본 발명에 따른 상부 고정 플레이트의 구조를 좀더 상세히 나타내는 사시도이다.
도 3은 플렉시블 박막 기판에 분사된 유체가 유체 안내판들에 의해 형성되는 유로를 따라 외부로 배출되는 모습을 나타내는 도면이다.
도 4는 상부 고정 플레이트의 하면에 형성된 배수홈을 통해 유체가 배출되는 모습을 나타내는 도면이다.1 is a perspective view showing the overall structure of a flexible thin film substrate fixing apparatus according to the present invention.
Figure 2 is a perspective view showing in more detail the structure of the upper fixing plate according to the present invention.
3 is a view illustrating a state in which the fluid injected to the flexible thin film substrate is discharged to the outside along the flow path formed by the fluid guide plates.
4 is a view showing a state in which the fluid is discharged through the drain groove formed in the lower surface of the upper fixing plate.

이하, 상기 목적이 구체적으로 실현될 수 있는 본 발명의 바람직한 실시예가 첨부된 도면을 참조하여 설명된다. 본 실시예를 설명함에 있어서, 동일 구성에 대해서는 동일 명칭 및 동일 부호가 사용되며 이에 따른 부가적인 설명은 하기에서 생략된다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention in which the above objects can be specifically realized will be described with reference to the accompanying drawings. In describing the present embodiment, the same designations and the same reference numerals are used for the same components, and additional description thereof will be omitted in the following.

도 1은 본 발명에 따른 플렉시블 박막 기판 고정장치의 전체적인 구조를 나타내는 사시도이다.1 is a perspective view showing the overall structure of a flexible thin film substrate fixing apparatus according to the present invention.

도 1에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 플렉시블 박막 기판 고정장치는 플렉시블 박막 기판(10)을 사이에 두고 상호 결합되어 플렉시블 박막 기판(10)을 고정시키는 하부 고정 플레이트(100)와, 상부 고정 플레이트(200)를 포함하여 이루어진다.As shown in FIG. 1, the flexible thin film substrate fixing device according to the present invention includes a lower fixing plate 100 and an upper fixing portion which are coupled to each other with the flexible thin film substrate 10 therebetween to fix the flexible thin film substrate 10. It consists of a plate 200.

상기 하부 고정 플레이트(100)는 중앙 부분에 개방부(110)가 형성되어 플렉시블 박막 기판(10)이 이송되어 안착되면, 플렉시블 박막 기판(10)의 하면 가장자리 둘레를 지지한다. 즉, 작업자 또는 로봇 암(Robot Arm) 등에 의해 플렉시블 박막 기판(10)이 하부 고정 플레이트(100)에 로딩되면 플렉시블 박막 기판(10)의 하면 가장자리 둘레가 하부 고정 플레이트(100)의 상면에 안착된다.When the open part 110 is formed at the center of the lower fixing plate 100 and the flexible thin film substrate 10 is transported and seated, the lower fixing plate 100 supports the lower edge of the lower surface of the flexible thin film substrate 10. That is, when the flexible thin film substrate 10 is loaded on the lower fixing plate 100 by an operator or a robot arm, the lower edge of the lower surface of the flexible thin film substrate 10 is seated on the upper surface of the lower fixing plate 100. .

상기 상부 고정 플레이트(200)는 상기 하부 고정 플레이트(100)에 결합되어 플렉시블 박막 기판(10)의 상면 가장자리 둘레를 가압한다. 따라서 상부 고정 플레이트(200)가 하부 고정 플레이트(100)에 결합되면 플렉시블 박막 기판(10)은 가장자리 둘레 상하면이 상부 고정 플레이트(200) 및 하부 고정플레이 사이에 끼여 고정된다.The upper fixing plate 200 is coupled to the lower fixing plate 100 to press the periphery of the upper edge of the flexible thin film substrate 10. Therefore, when the upper fixing plate 200 is coupled to the lower fixing plate 100, the flexible thin film substrate 10 is fixed between the upper and lower peripheral edges between the upper fixing plate 200 and the lower fixing play.

이러한 상부 고정 플레이트(200) 역시 중앙 부분에 하부 고정 플레이트(100)와 같은 개방부(210)가 형성된다. 따라서 상하부 고정 플레이트(100, 200)가 결합되어 상하부 고정 플레이트(100, 200) 사이에 플렉시블 박막 기판(10)이 위치한다고 하더라도 플렉시블 박막 기판(10)은 가장자리 둘레부위를 제외한 중앙부 상하면이 외부로 노출된 상태가 된다.The upper fixing plate 200 also has an opening 210, such as the lower fixing plate 100, in the center portion. Therefore, even if the flexible thin film substrate 10 is positioned between the upper and lower fixing plates 100 and 200 so that the flexible thin film substrate 10 is positioned between the upper and lower fixing plates 100 and 200, the upper and lower surfaces of the flexible thin film substrate 10 except for the edge circumference are exposed to the outside. It becomes a state.

이와 같이 플렉시블 박막 기판(10)이 상하면이 노출된 상태로 상하부 고정 플레이트(100, 200)에 의해 고정되면, 세정공정 또는 식각공정이 진행될 때 노즐 등을 이용해 플렉시블 박막 기판(10) 상하면에 동시에 세정액 또는 식각액을 분사하여 해당 공정이 보다 신속하게 진행되도록 할 수 있다.As described above, when the flexible thin film substrate 10 is fixed by the upper and lower fixing plates 100 and 200 while the upper and lower surfaces are exposed, the cleaning liquid is simultaneously applied to the upper and lower surfaces of the flexible thin film substrate 10 by using a nozzle or the like during the cleaning process or the etching process. Alternatively, the etchant may be sprayed to allow the process to proceed more quickly.

즉, 상기와 같은 상하부 고정 플레이트(100, 200)를 이용해 플렉시블 박막 기판(10)을 고정시키면, 플렉시블 박막 기판(10)의 상하면은 개방부(110, 210)를 통해 외부에 노출되므로 기판의 상측 및 하측에 각각 노즐을 설치하여 동시에 세정액 또는 식각액을 플렉시블 박막 기판(10)의 양면에 분사할 수 있어 기판 양면에 대한 세정공정 또는 식각공정에 소요되는 시간을 단축시킬 수 있다.That is, when the flexible thin film substrate 10 is fixed using the upper and lower fixing plates 100 and 200 as described above, the upper and lower surfaces of the flexible thin film substrate 10 are exposed to the outside through the openings 110 and 210, and thus the upper side of the substrate. And by installing nozzles on the lower side, at the same time, the cleaning liquid or etching liquid can be sprayed on both sides of the flexible thin film substrate 10 can reduce the time required for the cleaning process or etching process for both sides of the substrate.

한편, 상기 상부 고정 플레이트(200)는 하부 고정 플레이트(100)에 착탈 가능하게 결합되며, 이를 위해 상기 하부 고정 플레이트(100)의 상면 가장자리 둘레에는 다수개의 제1 자석(120)이 일정한 간격으로 설치되며, 상기 상부 고정 플레이트(200)의 하면 가장자리 둘레에는 상기 제1 자석(120)에 결합되는 극성이 다른 다수개의 제2 자석(220)이 일정한 간격으로 설치된다.On the other hand, the upper fixing plate 200 is detachably coupled to the lower fixing plate 100, for this purpose a plurality of first magnets 120 are installed around the top edge of the lower fixing plate 100 at regular intervals A plurality of second magnets 220 having different polarities coupled to the first magnets 120 are installed at regular intervals around the bottom edge of the upper fixing plate 200.

따라서 상부 고정 플레이트(200)를 하부 고정 플레이트(100)에 밀착시키면 상기 제1, 2 자석(120, 220)이 서로 끌어당겨 상부 고정 플레이트(200)가 하부 고정 플레이트(100)에 자연스럽게 결합된다. 이와 같이 자석에 의해 상하부 고정 플레이트(100)의 결합이 이루어지면 플렉시블 박막 기판(10)에 대한 세정공정 등이 완료된 후 플렉시블 박막 기판(10)을 상하부 고정 플레이트(100)에서 손쉽게 분리시킬 수 있다. Therefore, when the upper fixing plate 200 is in close contact with the lower fixing plate 100, the first and second magnets 120 and 220 are attracted to each other so that the upper fixing plate 200 is naturally coupled to the lower fixing plate 100. When the upper and lower fixing plates 100 are coupled as described above, the flexible thin film substrate 10 may be easily separated from the upper and lower fixing plates 100 after the cleaning process for the flexible thin film substrate 10 is completed.

또한, 상기 하부 고정 플레이트(100)의 상면 가장자리 둘레에는 다수개의 정렬 핀(130)이 돌출형성되며, 상기 플렉시블 박막 기판(10)과 상부 고정 플레이트(200)의 둘레 가장자리에는 상기 정렬 핀(130)이 삽입되는 다수개의 제1, 2관통홀(11, 230)이 각각 형성된다.In addition, a plurality of alignment pins 130 protrude around the top edge of the lower fixing plate 100, and the alignment pins 130 are formed at the peripheral edges of the flexible thin film substrate 10 and the upper fixing plate 200. A plurality of first and second through holes 11 and 230 to be inserted are formed, respectively.

상기 정렬 핀(130)은 플렉시블 박막 기판(10)의 고정위치를 결정하는 역할을 함과 동시에 플렉시블 박막 기판(10)에 형성된 제1 관통홀(11)을 통과하여 상부 고정 플레이트(200)에 형성된 2 관통홀(230)에 삽입되어 플렉시블 박막 기판(10)의 중앙부가 처지거나 공정진행 과정에서 플렉시블 박막 기판(10)이 상하부 고정 플레이트(100) 사이에서 이탈하는 것을 방지하는 역할을 한다.The alignment pin 130 determines the fixing position of the flexible thin film substrate 10 and passes through the first through hole 11 formed in the flexible thin film substrate 10 to form the upper fixing plate 200. 2 inserted into the through hole 230 to prevent the flexible thin film substrate 10 from sagging or the process of the flexible thin film substrate 10 is separated from the upper and lower fixing plate 100 during the process.

상술한 바와 같이 상하부 고정 플레이트(100, 200)에 의해 플렉시블 박막 기판(10)의 가장자리 둘레가 고정된다고 할지라도 두께가 5~200㎛로 매우 얇은 플렉시블 박막 기판(10)은 중앙 부분이 쉽게 처지게 되며 특히, 세정액 또는 식각액 등이 플렉시블 박막 기판(10)에 분사되면 플렉시블 박막 기판(10)은 유체의 무게 등에 의해 처질뿐만 아니라 상하부 고정 플레이트(100, 200) 사이에서 이탈할 위험이 있다.Although the periphery of the edge of the flexible thin film substrate 10 is fixed by the upper and lower fixing plates 100 and 200 as described above, the flexible thin film substrate 10 having a thickness of 5 to 200 μm may be easily sag in the center part. In particular, when a cleaning liquid or an etchant is sprayed onto the flexible thin film substrate 10, the flexible thin film substrate 10 may not only be drooped by the weight of the fluid, but also may be separated from the upper and lower fixing plates 100 and 200.

따라서 상기와 같이 정렬 핀(130)을 이용해 플렉시블 박막 기판(10)의 가장자리 둘레를 확실히 잡아줌으로써 플렉시블 박막 기판(10)이 상하부 고정 플레이트(100) 사이에서 견고하게 고정된 상태를 유지하도록 한다.Therefore, the flexible thin film substrate 10 is firmly fixed between the upper and lower fixing plates 100 by holding the circumference of the flexible thin film substrate 10 firmly using the alignment pin 130 as described above.

도 2는 본 발명에 따른 상부 고정 플레이트의 구조를 좀더 상세히 나타내는 사시도이다.Figure 2 is a perspective view showing in more detail the structure of the upper fixing plate according to the present invention.

한편, 도 2에 도시된 바와 같이, 상기 상부 고정 플레이트(200)의 상면 가장자리 둘레에는 다수개의 유체 안내판(240)이 일정 간격을 두고 돌출 형성된다. 이와 같이 다수개의 유체 안내판(240)이 상부 고정 플레이트(200)의 상면에 일정 간격을 두고 돌출 형성되면 유체 안내판(240)들 사이에는 세정공정 또는 식각공정이 진행될 때 플렉시블 박막 기판(10)의 상면에 분사되는 유체를 외부로 배출시키는 유로가 형성된다. Meanwhile, as illustrated in FIG. 2, a plurality of fluid guide plates 240 protrude from the upper edge of the upper fixing plate 200 at regular intervals. As described above, when the plurality of fluid guide plates 240 protrude from the upper surface of the upper fixing plate 200 at a predetermined interval, the upper surface of the flexible thin film substrate 10 when the cleaning process or the etching process is performed between the fluid guide plates 240. A flow path for discharging the fluid injected into the outside to the outside is formed.

도 3은 플렉시블 박막 기판에 분사된 유체가 유체 안내판들에 의해 형성된 유로를 따라 외부로 배출되는 모습을 나타내는 도면이다.3 is a view illustrating a state in which the fluid injected to the flexible thin film substrate is discharged to the outside along the flow path formed by the fluid guide plates.

즉, 세정공정 또는 식각공정 등이 진행되는 과정에서 플렉시블 박막 기판(10)의 상면에 세정액 또는 식각액과 같은 유체가 분사되면, 분사된 유체는 도 3의 화살표로 나타낸 바와 같이 유체 안내판(240)들 사이에 형성된 유로를 따라 외부로 자연스럽게 배출된다.That is, when a fluid such as a cleaning liquid or an etching liquid is injected onto the upper surface of the flexible thin film substrate 10 during a cleaning process or an etching process, the injected fluid is fluid guide plates 240 as indicated by the arrows of FIG. 3. Naturally discharged to the outside along the flow path formed between.

이와 같이 유체 안내판(240)들에 의해 형성되는 유로를 통해 세정액 또는 식각액과 같은 유체가 외부로 배출되면 플렉시블 박막 기판(10) 상면에 유체가 고여 플렉시블 박막 기판(10)이 유체의 하중에 의해 처지는 현상이 사전에 방지될 수 있다.As such, when a fluid such as a cleaning liquid or an etchant is discharged to the outside through a flow path formed by the fluid guide plates 240, the fluid accumulates on the upper surface of the flexible thin film substrate 10 and the flexible thin film substrate 10 sags due to the load of the fluid. The phenomenon can be prevented in advance.

도 4는 상부 고정 플레이트의 하면에 형성된 배수홈을 통해 유체가 배출되는 모습을 나타내는 도면이다.4 is a view showing a state in which the fluid is discharged through the drain groove formed in the lower surface of the upper fixing plate.

한편, 플렉시블 박막 기판(10)의 상면에 분사되는 유체가 보다 신속하게 외부로 배출될 수 있도록 도 4에 도시된 바와 같이, 상부 고정 플레이트(200)의 하면에는 다수개의 배수홈(250)이 형성됨이 바람직하다.Meanwhile, as illustrated in FIG. 4, a plurality of drainage grooves 250 are formed on the lower surface of the upper fixing plate 200 so that the fluid sprayed on the upper surface of the flexible thin film substrate 10 may be discharged to the outside more quickly. This is preferred.

상기 배수홈(250)은 플렉시블 박막 기판(10) 상면과 동일 높이에 형성되므로 플렉시블 박막 기판(10) 상면에 분사된 유체는 즉시 배수홈(250)을 통해 배출될 수 있게 된다. Since the drain groove 250 is formed at the same height as the upper surface of the flexible thin film substrate 10, the fluid injected on the upper surface of the flexible thin film substrate 10 may be immediately discharged through the drain groove 250.

따라서 노즐 등에 의해 플렉시블 박막 기판(10)의 표면에 분사되는 유체는 먼저 상기 배수홈(250)을 통해 외부로 신속하게 배출되며, 유체의 분사량이 증가하여 배수홈(250)을 통해 미쳐 배출되지 못하는 유체는 상술한 유체 안내판(240)들에 의해 형성되는 유로를 통해 외부로 배출되므로 플렉시블 박막 기판(10)의 상면에 분사되는 유체가 보다 신속하게 외부로 배출될 수 있게 된다.Therefore, the fluid injected onto the surface of the flexible thin film substrate 10 by a nozzle or the like is quickly discharged to the outside through the drain groove 250 first, and the injection amount of the fluid increases so that the fluid cannot be discharged through the drain groove 250. Since the fluid is discharged to the outside through the flow path formed by the fluid guide plate 240 described above, the fluid injected on the upper surface of the flexible thin film substrate 10 can be discharged to the outside more quickly.

이상에서 상세히 설명된 본 발명은 그 범위가 전술된 바에 한하지 않고, 당해 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 변경 또는 치환할 수 있는 것이 본 발명의 범위에 해당함은 물론이고, 그 균등물 또한 본 발명의 범위에 포함된다.It will be apparent to those skilled in the art that various modifications and variations can be made in the present invention without departing from the spirit or scope of the inventions. And are also included in the scope of the present invention.

10: 플렉시블 박막 기판 11: 제1 관통홀
100: 하부 고정 플레이트 110, 210: 개방부
120: 제1 자석 130: 정렬 핀
200: 상부 고정 플레이트 220: 제2 자석
230: 제2 관통홀 240: 유체 안내판
250: 배수홈10: flexible thin film substrate 11: first through hole
100: lower fixing plate 110, 210: opening
120: first magnet 130: alignment pin
200: upper fixing plate 220: second magnet
230: second through hole 240: fluid guide plate
250: drain groove

Claims (5)

중앙 부분에 개방부가 형성되어 플렉시블 박막 기판의 하면 가장자리 둘레가 안착되는 하부 고정 플레이트; 그리고,
상기 하부 고정 플레이트에 탈착 가능하게 결합되어 플렉시블 박막 기판의 상면 가장자리 둘레를 가압하며, 중앙 부분에 상기 하부 고정 플레이트의 개방부와 연통되는 개방부가 형성되는 상부 고정 플레이트를 포함하여 이루어지는 플렉시블 박막 기판 고정장치.A lower fixing plate having an opening formed at a central portion thereof, the lower fixing plate being seated around a lower edge of the flexible thin film substrate; And,
A flexible thin film substrate fixing apparatus including an upper fixing plate detachably coupled to the lower fixing plate to press an edge around an upper surface edge of the flexible thin film substrate, and an opening portion formed at a central portion thereof in communication with the opening of the lower fixing plate. . 제1 항에 있어서,
상기 하부 고정 플레이트의 상면 가장자리 둘레에는 다수개의 제1 자석이 일정한 간격으로 설치되며, 상기 상부 고정 플레이트의 하면 가장자리 둘레에는 상기 제1 자석에 결합되는 극성이 다른 다수개의 제2 자석이 일정한 간격으로 설치되는 것을 특징으로 하는 플렉시블 박막 기판 고정장치.The method according to claim 1,
A plurality of first magnets are installed at regular intervals around the upper edge of the lower fixing plate, and a plurality of second magnets having different polarities coupled to the first magnets are installed at regular intervals around the lower edge of the upper fixing plate. Flexible thin film substrate holding apparatus characterized in that. 제1 항에 있어서,
상기 하부 고정 플레이트의 상면 가장자리 둘레에는 다수개의 정렬 핀이 돌출형성되며, 상기 플렉시블 박막 기판과 상부 고정 플레이트의 둘레 가장자리에는 상기 정렬 핀이 삽입되는 다수개의 제1, 2관통홀이 각각 형성되는 것을 특징으로 하는 플렉시블 박막 기판 고정장치. The method according to claim 1,
A plurality of alignment pins protrude around the top edge of the lower fixing plate, and a plurality of first and second through holes into which the alignment pin is inserted are formed at the peripheral edges of the flexible thin film substrate and the upper fixing plate, respectively. Flexible thin film substrate holding device. 제1 항에 있어서,
상기 상부 고정 플레이트의 상면 가장자리 둘레에는 유체 안내판이 일정 간격을 두고 돌출 형성되어 플렉시블 박막 기판의 상면에 분사된 유체가 외부로 빠져나갈 수 있는 유로를 형성하는 것을 특징으로 하는 플렉시블 박막 기판 고정장치. The method according to claim 1,
And a fluid guide plate protruding at a predetermined interval around the upper edge of the upper fixing plate to form a flow path through which the fluid sprayed on the upper surface of the flexible thin film substrate can escape to the outside. 제1 항 또는 제4 항에 있어서,
상기 상부 고정 플레이트의 하면에는 플렉시블 박막 기판의 상면에 분사된 유체를 외부로 배출시키기 위한 다수개의 배수홈이 형성되는 것을 특징으로 하는 플렉시블 박막 기판 고정장치.The method according to claim 1 or 4,
The lower surface of the upper fixing plate is a flexible thin film substrate fixing device characterized in that a plurality of drain grooves for discharging the fluid injected on the upper surface of the flexible thin film substrate to the outside.
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