KR20110125906A - Reticle inspection method and the apparatus - Google Patents

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Abstract

PURPOSE: A reticle inspecting apparatus is provided to increase test reliability by controlling the generation of a similarity defect when checking the defect of a reticle in which reflexibility is high. CONSTITUTION: A first illuminating means(33) and a second illuminating means(34) are respectively located in one side of a reticle(10). The reticle comprises a quartz glass plate(11) in which a circuit pattern is formed in the bottom surface. A frame forms a circumference wall in order to equip the circuit pattern. A thin film(14) which protects the circuit pattern is located in the lower part of the quartz glass plate. A first camera(35) and a second camera(36) take a photograph of the upper side and lower-side of the reticle. An image processing means(40) inspects a defect by editing and displaying the image which is recorded.

Description

레티클 검사방법 및 그 장치{Reticle inspection method and the apparatus}Reticle inspection method and the apparatus

본 발명은 레티클 검사방법 및 그 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 반사율이 높은 레티클의 결함 검사시에 유사결함의 발생을 억제하여 검사 신뢰도를 대폭적으로 증대시킬 수 있는 레티클 검사방법 및 그 장치에 관한 것이다.
The present invention relates to a reticle inspection method and apparatus, and more particularly, to a reticle inspection method and apparatus that can significantly increase inspection reliability by suppressing the occurrence of pseudo defects during defect inspection of a high reflectance reticle will be.

일반적으로 레티클(Reticle)은 웨이퍼에 회로패턴을 형성하기 위한 원판을 일컫는 것이나, 이에 더하여 원판에 형성된 회로패턴을 보호하기 위해 부착되는 박막필름(Pellicle)과 이 박막필름을 부착하기 위해 상기 원판에 결합된 프레임을 포함하는 것을 통칭하기도 한다.Generally, a reticle refers to a disc for forming a circuit pattern on a wafer, in addition to a thin film attached to protect a circuit pattern formed on the disc and bonded to the disc for attaching the thin film. It may also be referred to collectively as including a frame.

본 발명에서의 레티클이라 함은 회로패턴이 형성된 원판 및 이 원판에 결합되는 프레임과 박막필름을 포함하는 유니트 형태로 하며, 이러한 레티클과 종래의 레티클 검사방법 및 장치의 일례를 도시된 도면에 의해 설명하면 다음과 같다.The reticle in the present invention is in the form of a unit including a disk with a circuit pattern formed thereon, a frame and a thin film bonded to the disk, and an example of such a reticle and a conventional reticle inspection method and apparatus will be described with reference to the drawings. Is as follows.

도 1에 도시된 바와 같이, 레티클(10)은 소정의 두께를 갖는 투광 및 투명 재질로 구비되어 저면에 소정의 형상으로 회로패턴(12)이 형성된 석영글래스판(11)과, 상기 회로패턴(12)을 내장하도록 둘레벽을 형성하는 프레임(13)과, 이 프레임(13)의 저면에 부착되어 상기 회로패턴(12)을 밀폐시키는 박막필름(14)을 포함하며, 상기 프레임(13)의 일측에는 상기 박막필름(14)에 의해 밀폐되는 공간의 공기를 배출하도록 필터가 구비된 벤트홀(15)이 형성되고, 상기 프레임(13)은 상기 석영글래스판(11)의 둘레를 따라 약간의 여유공간을 형성하도록 상기 석영글래스판(11)의 저면 둘레의 단부로부터 내재된 상태로 위치되게 된다.As shown in FIG. 1, the reticle 10 is formed of a transparent and transparent material having a predetermined thickness, and a quartz glass plate 11 having a circuit pattern 12 formed in a predetermined shape on a bottom thereof, and the circuit pattern ( 12 includes a frame 13 forming a circumferential wall so as to be embedded therein, and a thin film 14 attached to the bottom of the frame 13 to seal the circuit pattern 12. A vent hole 15 having a filter is formed at one side to discharge air in a space enclosed by the thin film 14, and the frame 13 is slightly along the circumference of the quartz glass plate 11. It is positioned in an embedded state from the end around the bottom of the quartz glass plate 11 to form a clearance.

이러한 레티클(10)을 검사하기 위한 종래의 검사방법 및 장치는 도 2에 도시된 바와 같이, 레티클(10)의 표면에 빛을 조사하여 흠집이나 이물질 또는 스크래치와 같은 결함에 의해 산란된 빛을 이용하여 레티클 표면을 촬영하게 되고, 이 촬영된 영상을 처리하여 결함을 검사하도록 되어 있으며, 이를 위한 장치는 레티클(10)의 상부에서 소정의 입사각도로 빛을 조사하도록 된 레이저광원을 이용한 조명수단(21)이 구비되고, 이 조명수단(21)의 조사지점의 수직 상방에 위치되어 상기 레티클(10)의 표면을 촬영하는 카메라(22)가 구비되며, 이 카메라(22)에 의해 촬영된 영상을 편집 및 디스플레이하도록 된 영상처리수단을 포함하여 이루어져 있다.Conventional inspection method and apparatus for inspecting the reticle 10, as shown in Figure 2, by irradiating light on the surface of the reticle 10 by using light scattered by a defect such as scratches, foreign matter or scratches The surface of the reticle is photographed, and the photographed surface is processed to inspect defects. The apparatus for this purpose is an illumination unit using a laser light source configured to irradiate light at a predetermined incident angle from an upper portion of the reticle 10. And a camera 22 positioned vertically above the irradiation point of the luminaire 21 to photograph the surface of the reticle 10, and edits the image photographed by the camera 22. And image processing means for displaying.

하지만, 이와 같은 종래의 레티클 검사방법 및 장치에 의하면, 상기 카메라(22)는 조명수단(21)에 의해 조사된 빛이 상기 레티클(10)에 의해 반사되는 위치에서 반사광을 수광하도록 구비되는 것이 아니라 결함에 의한 산란광만을 수광하여 촬영이 이루어지도록 된 것이어서, 상기 카메라(22)에 도달하는 빛이 약하기 때문에 고감도의 카메라(22)를 사용하여야 하는 단점이 있는 것일 뿐만 아니라 그에 따른 비용이 상승되는 단점이 있는 것이다.However, according to the conventional reticle inspection method and apparatus, the camera 22 is not provided to receive the reflected light at the position where the light irradiated by the luminaire 21 is reflected by the reticle 10. Since only the scattered light due to a defect is to be photographed to be taken, since the light reaching the camera 22 is weak, there is a disadvantage that the use of the high-sensitivity camera 22, as well as the disadvantage that the cost is increased accordingly It is.

또한 종래의 검사방법에 의하면, 상기 카메라(22)에 도달하는 빛이 약함에 따라 암실 조건에서 검사가 진행되는 것이 통상적이며, 이에 따라 암실 조건을 형성하기 위한 구성을 갖추어야 하는 제작상의 불편함이 따르는 것이다.In addition, according to the conventional inspection method, it is common that the inspection proceeds in the dark room conditions as the light reaching the camera 22 is weak, according to the manufacturing inconvenience that must have a configuration for forming the dark room conditions accordingly will be.

또한 종래에는 암실 조건에서 카메라(22)에 의해 촬영할 때에, 결함에 의한 산란광 이외의 다른 외부광의 영향에도 민감한 것으로, 석영글래스판(11)의 경우 상기 조명수단(21)에 의해 조사된 빛이 표면에서 전부 반사되는 것이 아니라 빛의 상당부분은 석영글래스판(11)의 내부로 투과 및 굴절되어 난반사를 일으킬 뿐만 아니라 상기 석영글래스판(11)의 저면에 형성된 회로패턴(12)에 조사될 수 있으며, 이에 의해 회로패턴(12)에 의해 발생되는 산란광에 의한 이미지(또는 그에 따른 음영)이 상기 카메라(22)에 의해 촬영될 확률이 매우 높은 것이다.In addition, conventionally, when photographing by the camera 22 in the dark room conditions, it is also sensitive to the influence of external light other than scattered light due to defects, in the case of the quartz glass plate 11 the light irradiated by the lighting means 21 is the surface A large portion of the light is not reflected at all but is transmitted and refracted into the quartz glass plate 11 to cause diffuse reflection, and may be irradiated to the circuit pattern 12 formed on the bottom surface of the quartz glass plate 11. As a result, the probability of the image (or shadow) generated by the scattered light generated by the circuit pattern 12 being captured by the camera 22 is very high.

이와 같이 실제로는 결함이 아님에도 불구하고 실제 결함과 동일하게 촬영되는 것을 유사결함(Pseudo defect)이라 하며, 종래의 검사방법에 의하면, 이러한 유사결함이 빈번하게 발생될 뿐만 아니라 이러한 유사결함을 구분해 내는 데에 어려움이 따를 뿐만 아니라 검사의 신뢰성이 떨어지는 문제점이 있는 것이다.
Like this, even though it is not a defect, it is called a pseudo defect, which is taken as the actual defect, and according to a conventional inspection method, such a similar defect is frequently generated, and the similar defect is classified. Not only is it difficult to produce, but there is a problem that the reliability of the test is low.

본 발명은 전술한 바와 같은 문제점을 해결하기 위한 것으로, 본 발명은 반사율이 높은 레티클의 결함 검사시에 유사 결함의 발생을 억제하여 검사 신뢰도를 대폭적으로 증대시킬 수 있으며, 또한 광원의 교환에 따르는 유지보수 상의 번거로움을 해소함과 동시에 제작에 소요되는 비용을 절감할 수 있는 레티클 검사방법 및 그 장치를 제공하는 것이다.
The present invention is to solve the problems described above, the present invention can significantly increase the inspection reliability by suppressing the occurrence of similar defects during defect inspection of the reticle having a high reflectance, and also maintained by replacement of the light source It is to provide a reticle inspection method and apparatus that can reduce the cost of manufacturing while at the same time to eliminate the hassle of maintenance.

본 발명의 특징에 따르면, 일정 두께를 갖는 판형상으로 구비되어 저면에 회로패턴(12)이 형성된 석영글래스판(11)과, 상기 회로패턴(12)을 내장하도록 둘레벽을 형성하는 프레임(13)과, 이 프레임(13)의 저면에 부착되어 상기 회로패턴(12)을 밀폐시키는 박막필름(14)을 포함하여 이루어진 레티클(10) 상의 흠집이나 스크래치 또는 이물질을 포함하는 결함을 검사하는 방법에 있어서;According to a feature of the present invention, a quartz glass plate 11 having a plate shape having a predetermined thickness and having a circuit pattern 12 formed on a bottom thereof, and a frame 13 forming a circumferential wall to embed the circuit pattern 12 therein. And a defect including scratches, scratches or foreign matter on the reticle 10 including the thin film 14 attached to the bottom of the frame 13 to seal the circuit pattern 12. In;

상기 레티클(10)을 수평방향으로 이동시키면서 상기 석영글래스판(11)과 박막필름(14)의 표면에 일정한 경사각도로 빛을 입사시키도록 제1 및 제2 조명수단33,34)이 구비되고, 이 제1 및 제2 조명수단(33,34)은 각각 입사광이 상기 석영글래스판(11)과 박막필름(14)의 진행방향에 대해 직교하는 방향으로 연장 형성되도록 구비되어 상기 석영글래스판(11)과 박막필름(14)의 표면을 선형적으로 스캔하고;First and second lighting means 33 and 34 are provided to inject light at a predetermined inclination angle to the surfaces of the quartz glass plate 11 and the thin film 14 while moving the reticle 10 in a horizontal direction. The first and second lighting means 33 and 34 are provided such that incident light extends in a direction orthogonal to the traveling directions of the quartz glass plate 11 and the thin film 14, respectively. ) And linearly scan the surface of the thin film 14;

상기 각 조명수단(33,34)에 의한 입사광이 상기 석영글래스판(11)과 박막필름(14)의 표면에서 반사되는 경로상에 위치된 제1 및 제2 카메라(35,36)에 의해 상기 석영글래스판(11)과 박막필름(14)의 상부 표면 또는 저면을 촬영하되, 상기 제1 카메라(35)는 상기 제1 조명수단(33)에 의한 입사광이 상기 석영글래스판(11)의 내부로 투과되어 굴절 또는 난반사된 빛을 배제하여 상기 석영글래스판(11)의 표면에서 반사된 표면반사광을 수광하여 촬영이 이루어지며;The first and second cameras 35 and 36 are positioned on a path in which incident light by the respective lighting means 33 and 34 is reflected from the surfaces of the quartz glass plate 11 and the thin film 14. The upper surface or the bottom surface of the quartz glass plate 11 and the thin film film 14 is photographed, and the first camera 35 receives incident light from the first lighting means 33 inside the quartz glass plate 11. Photographing is performed by receiving surface reflection light reflected from the surface of the quartz glass plate 11 by excluding light refracted or diffusely reflected by the light;

상기 각 카메라(35,36)에 의해 촬영된 영상을 편집 또는 디스플레이하도록 연결된 영상처리수단(40)에 의해 결함을 검사하도록 된 것을 특징으로 하는 레티클 검사방법이 제공된다.
A reticle inspection method is provided for inspecting a defect by an image processing means 40 connected to edit or display an image photographed by each of the cameras 35 and 36.

본 발명의 다른 특징에 따르면, 상기 각 조명수단(33,34)은 LED램프(50)와 이 LED램프(50)에 연결되어 빛을 선형적으로 조사시키도록 된 평행광조사수단(51)을 포함하여 이루어지며;According to another feature of the invention, each of the lighting means (33, 34) is connected to the LED lamp 50 and the LED lamp 50, the parallel light irradiation means 51 to irradiate light linearly Including;

상기 조명수단(33,34)은 상기 평행광조사수단(51)에 의해 상기 LED램프(50)의 빛을 상기 레티클(10)의 진행방향에 대한 직교방향으로 라인 배열시켜 직선적으로 조사되도록 된 것을 특징으로 하는 레티클 검사방법이 제공된다.
The lighting means (33, 34) is arranged so that the light of the LED lamp 50 by the parallel light irradiation means 51 in a line arrangement in a direction perpendicular to the traveling direction of the reticle 10 to be irradiated linearly Characterized by a reticle inspection method is provided.

본 발명의 또 다른 특징에 따르면, 일정 두께를 갖는 판형상으로 구비되어 저면에 회로패턴(12)이 형성된 석영글래스판(11)과, 상기 회로패턴(12)을 내장하도록 둘레벽을 형성하는 프레임(13)과, 이 프레임(13)의 저면에 부착되어 상기 회로패턴(12)을 밀폐시키는 박막필름(14)을 포함하여 이루어진 레티클(10) 상의 흠집이나 스크래치 또는 이물질을 포함하는 결함을 검사하는 장치에 있어서;According to another feature of the present invention, a quartz glass plate 11 having a plate shape having a predetermined thickness and having a circuit pattern 12 formed on a bottom thereof, and a frame forming a circumferential wall to embed the circuit pattern 12 therein. (13) and defects including scratches, scratches or foreign matter on the reticle 10 made of a thin film 14 attached to the bottom of the frame 13 to seal the circuit pattern 12 is inspected. In an apparatus;

상기 레티클(10)이 수평방향으로 이동 가능하도록 결합되는 가동다이(32)가 구비된 본체와;A main body provided with a movable die 32 to which the reticle 10 is movable in a horizontal direction;

상기 레티클(10)의 상부와 하부 일측에 각각 위치되어 상기 석영글래스판(11)의 상측 표면과 상기 박막필름(14)의 저면에 일정한 경사각도로 빛을 입사시킴과 동시에 이 입사광이 상기 석영글래스판(11)의 진행방향에 대해 직교하는 방향으로 연장 형성되어 빛을 선형적으로 조사하도록 된 제1 및 제2 조명수단(33,34)과;Located on one side of the top and bottom of the reticle 10, respectively, the incident light is incident on the upper surface of the quartz glass plate 11 and the bottom surface of the thin film 14 at a predetermined inclination angle and the incident light is the quartz glass plate. First and second lighting means (33, 34) extending in a direction perpendicular to the traveling direction of (11) to linearly irradiate light;

상기 레티클(10)의 상부와 하부 타측에 상기 각 조명수단(33,34)에 의한 입사광이 상기 석영글래스판(11)과 박막필름(14)의 표면에서 반사되는 경로상에 위치되어 상기 석영글래스판(11)의 상부 표면과 박막필름(14)의 저면을 촬영하도록 된 제1 및 제2 카메라(35,36)와;On the other side of the upper and lower portions of the reticle 10, incident light by the respective illumination means 33 and 34 is positioned on a path reflected from the surfaces of the quartz glass plate 11 and the thin film 14, and thus the quartz glass. First and second cameras 35 and 36 configured to photograph an upper surface of the plate 11 and a bottom surface of the thin film 14;

상기 각 카메라(35,36)에 의해 촬영된 영상을 편집 또는 디스플레이하여 결함을 검사하도록 연결된 영상처리수단(40)을 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 레티클 검사장치가 제공된다.
Reticle inspection apparatus is provided, comprising an image processing means 40 connected to edit or display the images taken by the cameras (35, 36) to check for defects.

본 발명의 또 다른 특징에 따르면, 상기 각 조명수단(33,34)은 LED램프(50)와 이 LED램프(50)에 연결되어 빛을 선형적으로 조사시키도록 된 평행광조사수단(51)을 포함하여 이루어지며;According to another feature of the invention, the respective lighting means (33, 34) is connected to the LED lamp 50 and the LED lamp 50, the parallel light irradiation means 51 to linearly irradiate light It is made, including;

상기 평행광조사수단(51)은 상기 LED램프(50)의 전방에 위치되어 빛을 전달하도록 연장 형성되되, 다수의 광섬유가 직선상으로 배열된 광섬유체(52)와, 이 광섬유체(52)의 전방에 위치되어 상기 LED램프(50)에 의한 빛을 상기 레티클(10)의 진행방향에 대한 직교방향으로 라인 배열시키는 평행광 배열가이드(53)와, 이 평행광 배열가이드(53)에 의해 배열된 빛을 수집하여 직선적으로 조사되도록 된 집속렌즈(54)로 이루어지는 것을 특징으로 하는 레티클 검사장치가 제공된다.
The parallel light irradiating means 51 is positioned in front of the LED lamp 50 and extends to transmit light, and the optical fiber body 52 in which a plurality of optical fibers are arranged in a straight line, and the optical fiber body 52 A parallel light array guide 53 which is positioned in front of the light and arranges the light by the LED lamp 50 in a direction orthogonal to the traveling direction of the reticle 10, and by the parallel light array guide 53 There is provided a reticle inspection device comprising a focusing lens (54) arranged to collect light arranged linearly.

이상에서와 같은 본 발명에 의하면, 조명수단(33,34)에 의해 조사된 빛이 석영글래스판(11)에 의해 반사되는 각도에 위치되어 표면반사광을 수광하여 촬영하도록 된 카메라(35,36)가 구비됨으로써, 상기 카메라(35,36)로 유입되는 빛의 양이 충분하여 종래와 같은 고감도의 카메라(22)를 사용할 필요가 없을 뿐만 아니라 그에 따른 제작비용을 절감할 수 있는 장점이 있다.According to the present invention as described above, the camera (35, 36) is positioned at an angle reflected by the light emitting means (33, 34) is reflected by the quartz glass plate 11 to receive and reflect the surface reflection light Since the amount of light flowing into the cameras 35 and 36 is sufficient, there is no need to use the high-sensitivity camera 22 as in the related art, and there is an advantage of reducing the manufacturing cost accordingly.

또한 카메라(35,36)로 유입되는 빛의 양이 충분함에 따라, 종래와 같은 암실 조건에서 검사를 진행할 필요가 없을 뿐만 아니라 그에 따른 제작상의 불편함을 해소할 수 있는 장점이 있다.In addition, as the amount of light flowing into the camera (35, 36) is sufficient, not only does not need to proceed the inspection in the dark room conditions as in the prior art, there is an advantage that can eliminate the inconvenience in manufacturing accordingly.

또한 본 발명의 카메라(35)는 석영글래스판(11)의 내부로 투과되어 굴절 또는 난반사되는 빛을 최대한 배제한 상태에서 표면반사광을 수광하도록 위치됨으로써, 종래처럼 석영글래스판(11)의 내부에서 굴절 또는 난반사된 빛에 의한 유사결함의 발생을 저감시킬 수 있을 뿐만 아니라 카메라(35,36)로 유입되는 광량을 충분히 수광하여 촬영이 이루어짐에 따라 종래처럼 조명수단(33,34)에 의해 조사되는 빛의 일부가 석영글래스판(11)을 투과하여 발생되는 난반사나 석영글래스판(11)의 저면에 형성된 회로패턴(12)에 조사됨으로 인해 발생되는 산란광(또는 그 산란광에 의한 회로패턴(12)의 음영) 등과 같은 외부광의 영향을 거의 받지 않게 되므로, 이에 의해 유사결함의 발생 및 결함 검사작업 상의 번거로움을 줄임과 동시에 검사의 신뢰성을 대폭적으로 증대시킬 수 있는 장점이 있다. In addition, the camera 35 of the present invention is positioned to receive the surface reflection light in the state of excluding light refracted or diffusely reflected to the inside of the quartz glass plate 11 as much as possible, thereby refracting the inside of the quartz glass plate 11 as in the prior art. Alternatively, the light irradiated by the luminaires 33 and 34 can be reduced as well as the occurrence of pseudo defects due to the diffusely reflected light as well as the amount of light flowing into the cameras 35 and 36 is sufficiently taken. Part of the scattered light (or the circuit pattern 12 due to the scattered light) generated by diffuse reflection or irradiation of the circuit pattern 12 formed on the bottom surface of the quartz glass plate 11 generated by passing through the quartz glass plate 11. Since it is hardly influenced by external light such as shadows, it greatly reduces the occurrence of pseudo defects and the trouble of defect inspection, and greatly increases the reliability of inspection. There is an advantage that can kill.

또한 본 발명의 조명수단(33,34)은 LED램프(50)로 구비되어 종래의 레이저광원에 비해 유지관리가 용이할 뿐만 아니라 교체에 따른 번거로움을 줄일 수 있으며, 또한 교체 및 제작에 소요되는 비용을 대폭적으로 절감할 수 있는 장점이 있다.In addition, the lighting means (33, 34) of the present invention is provided with an LED lamp 50, not only easy to maintain compared to the conventional laser light source, but also to reduce the cumbersome due to replacement, and also required for replacement and manufacturing There is an advantage that can significantly reduce the cost.

또한 상기 조명수단(33,34)은 LED램프(50)에 의한 빛을 선형적으로 조사하도록 평행광조사수단(51)이 구비됨으로써, 레티클(10)의 검사시에 상기 석영글래스판(11) 또는 박막필름(14)을 선형적으로 스캔하여 검사시간을 대폭적으로 줄일 수 있는 장점이 있다.
In addition, the lighting means (33, 34) is provided with parallel light irradiation means 51 to linearly irradiate the light by the LED lamp 50, the quartz glass plate 11 during the inspection of the reticle (10) Alternatively, the thin film 14 may be linearly scanned to significantly reduce the inspection time.

도 1은 일반적인 레티클의 일례를 도시한 단면도
도 2은 종래의 검사장치의 일례를 도시한 구성도
도 3은 본 발명의 일실시예에 따른 검사장치를 도시한 구성도
도 4는 본 발명의 일실시예에 따른 구성의 일부를 도시한 구성도
도 5는 본 발명의 다른 실시예에 따른 검사장치를 도시한 구성도1 is a cross-sectional view showing an example of a general reticle
2 is a configuration diagram showing an example of a conventional inspection device;
3 is a block diagram showing an inspection apparatus according to an embodiment of the present invention
4 is a block diagram showing a part of the configuration according to an embodiment of the present invention
5 is a block diagram showing an inspection apparatus according to another embodiment of the present invention

상술한 본 발명의 목적, 특징들 및 장점은 다음의 상세한 설명을 통하여 보다 분명해질 것이다. 이하, 첨부된 도면에 의거하여 설명하면 다음과 같다.The objects, features and advantages of the present invention described above will become more apparent from the following detailed description. Hereinafter, described with reference to the accompanying drawings as follows.

도 3 내지 도 5는 본 발명의 다양한 실시예에 따른 검사장치와 방법을 도시한 것이다. 도 3에 도시된 바와 같이, 본 발명은 본체 상에 가동다이(32)가 구비되어 레티클(10)이 수평방향으로 이동 가능하도록 결합되고, 상기 본체 상에는 상기 레티클(10)의 상부와 하부 일측에 각각 위치되어 빛을 조사하도록 된 제1 조명수단(33)과 제2 조명수단(34)이 구비되며, 또한 상기 레티클(10)의 상부와 하부 타측에 위치되어 상기 레티클(10)의 상면과 하면을 촬영하는 제1 카메라(35)와 제2 카메라(36)가 구비되며, 이 본체의 일측에는 상기 각 카메라(35,36)에 연결되어 촬영된 영상을 편집 및 디스플레이하여 결함을 검사하도록 영상처리수단(40)이 구비되어 있다. 3 to 5 illustrate an inspection apparatus and a method according to various embodiments of the present disclosure. As shown in Figure 3, the present invention is provided with a movable die 32 on the main body is coupled so that the reticle 10 is movable in the horizontal direction, on the upper and lower sides of the reticle 10 on the main body First and second lighting means 33 and the second lighting means 34 positioned to irradiate light are provided, respectively, and are located on the other side of the upper and lower portions of the reticle 10 and the upper and lower surfaces of the reticle 10. A first camera 35 and a second camera 36 for photographing the camera are provided, and one side of the main body is connected to the cameras 35 and 36 to edit and display the captured images to check for defects. Means 40 are provided.

여기에서, 상기 레티클(10)은 도 1에 도시된 것처럼, 일정 두께를 갖는 판형상으로 구비되어 저면에 회로패턴(12)이 형성된 투광 및 투명 재질의 석영글래스판(11)이 구비되고, 이 석영글래스판(11)의 하부에는 상기 회로패턴(12)을 보호하도록 프레임(13)에 의해 결합된 박막필름(14)을 포함하여 이루어져 있다.Here, the reticle 10 is provided in a plate shape having a predetermined thickness, as shown in Figure 1 is provided with a transparent and transparent quartz glass plate 11 formed with a circuit pattern 12 on the bottom, The lower portion of the quartz glass plate 11 includes a thin film 14 bonded by the frame 13 to protect the circuit pattern 12.

또한 상기 본체 상에 구비되는 가동다이(32)는 통상적인 것을 사용할 수 있으므로 구체적으로 도시되지 않은 것이나, 그 일례에 따른 구성은 상기 레티클(10)의 가장자리를 클램핑할 수 있는 클램프가 구비될 수 있으며, 또한 상기 본체의 일측에 구비되는 모터와 같은 구동수단에 의해 본체 상에 구비된 가이드레일을 따라 전후로 이동되도록 구비될 수 있는 것이다.In addition, since the movable die 32 provided on the main body may be a conventional one, it is not specifically illustrated, but the configuration according to the example may be provided with a clamp capable of clamping the edge of the reticle 10. In addition, it may be provided to be moved back and forth along the guide rail provided on the main body by a driving means such as a motor provided on one side of the main body.

이와 같은 본 발명에 대한 보다 상세한 구성과 그에 의한 검사방법을 설명하면 다음과 같다. 상기 석영글래스판(11)과 박막필름(14) 상의 흠집이나 스크래치 또는 이물질과 같은 결함을 검사하기 위해 상기 레티클(10)을 수평방향으로 이동시키면서 상기 조명수단(33,34)에 의해 빛을 조사하여 이를 카메라(35,36)에 의해 촬영하게 되는데, 이때에 상기 제1 조명수단(33)과 제2 조명수단(34)은 상기 석영글래스판(11)과 박막필름(14)의 표면에 일정한 경사각도로 빛을 입사시키도록 구비되고, 상기 제1 카메라(35)와 제2 카메라(36)는 각각 상기 제1 조명수단(33)과 제2 조명수단(34)에 대응된 타측에서 상기 석영글래스판(11)과 박막필름(14)의 표면에서 반사된 표면반사광을 수광하도록 구비된다.Such a detailed configuration of the present invention and the inspection method thereof will be described below. Irradiating light by the lighting means 33 and 34 while moving the reticle 10 in a horizontal direction to check for defects such as scratches, scratches or foreign matter on the quartz glass plate 11 and the thin film 14. This is taken by the camera (35, 36), wherein the first luminaire 33 and the second luminaire 34 is constant on the surface of the quartz glass plate 11 and the thin film 14 The first camera 35 and the second camera 36 are provided to inject light at an inclination angle, and the quartz glass is provided at the other side corresponding to the first lighting unit 33 and the second lighting unit 34, respectively. It is provided to receive the surface reflection light reflected from the surface of the plate 11 and the thin film 14.

보다 상세하게는, 상기 각 조명수단(33,34)은 빛을 조사할 때에, 그 입사광이 상기 석영글래스판(11)과 박막필름(14)의 진행방향에 대해 직교하는 방향으로 연장 형성되어 상기 석영글래스판(11)과 박막필름(14)의 표면을 선형적으로 스캔하도록 구비되고, 상기 카메라(35,36)는 상기 조명수단(33,34)에 의한 입사광이 반사되는 경로상에서 표면반사광을 수광하여 상기 조명수단(33,34)에 의한 빛이 조사되는 석영글래스판(11)과 박막필름(14)의 표면을 촬영하게 된다.In more detail, each of the lighting means (33, 34) is irradiated with light, the incident light is formed extending in a direction orthogonal to the traveling direction of the quartz glass plate 11 and the thin film film 14 It is provided to linearly scan the surface of the quartz glass plate 11 and the thin film 14, the camera 35, 36 is a surface reflection light on the path of the incident light reflected by the illumination means (33, 34) The surface of the quartz glass plate 11 and the thin film 14 to which light is received and irradiated by the lighting means 33 and 34 is photographed.

이때에 상기 석영글래스판(11)과 박막필름(14) 상에 결함이 있는 경우에는 상기 조명수단(33,34)에 의한 입사광이 결함에 의해 산란되면서 광량이 주위에 비해 줄어들게 되어 검은색 점과 같은 형태로 나타나게 되며, 이러한 결함은 상기 카메라(35,36)에 의해 촬영되는 영상이 컴퓨터와 같은 영상처리수단(40)에 전송되어 육안으로 검사가 이루어지게 된다. 상기 영상처리수단(40)은 상기 카메라(35,36)에 의해 촬영된 영상을 전송받을 수 있도록 연결된 컴퓨터와 이 컴퓨터에 내장되어 편집 및 디스플레이 가능한 프로그램을 포함할 수 있으며, 이에 의해 화면상에 디스플레이되는 영상으로 레티클(10) 상의 결함을 검사할 수 있게 된다.At this time, if there is a defect on the quartz glass plate 11 and the thin film 14, the incident light by the lighting means (33, 34) is scattered by the defect and the amount of light is reduced compared to the surroundings and black dots and The defects appear in the same form, and the images captured by the cameras 35 and 36 are transmitted to the image processing means 40 such as a computer and visually inspected. The image processing means 40 may include a computer connected to receive an image captured by the cameras 35 and 36 and a program embedded in the computer and capable of editing and displaying the image, thereby displaying on the screen. The image may be inspected for defects on the reticle 10.

이러한 검사방법에 있어서, 본 발명은 상기 제1 카메라(35)에 의해 상기 석영글래스판(11)의 표면을 촬영할 때에, 상기 제1 조명수단(33)에 의한 입사광이 상기 석영글래스판(11)의 내부로 투과되어 굴절됨과 동시에 상기 석영글래스판(11)의 저면에 형성된 회로패턴(12) 등에 의해 난반사된 빛이 상기 제1 카메라(35)에 의해 수광되는 것을 배제하도록 위치되는 것이 바람직하며, 이에 의해 상기 회로패턴(12)에 의해 발생되는 산란광에 의한 이미지(또는 그 산란광에 따른 회로패턴(12)의 음영) 등이 상기 제1 카메라(35)에 촬영되는 것을 줄여 그로 인해 유사결함의 발생을 최소화할 수 있게 된다.In this inspection method, when the surface of the quartz glass plate 11 is photographed by the first camera 35, the incident light by the first lighting means 33 is transmitted to the quartz glass plate 11. It is preferable to be positioned to exclude the light that is transmitted and refracted into the inside of the quartz glass plate and diffusely reflected by the circuit pattern 12 formed on the bottom surface of the quartz glass plate 11. As a result, an image (or a shadow of the circuit pattern 12 according to the scattered light) generated by the scattered light and the like are reduced to be captured by the first camera 35, thereby causing similar defects. Can be minimized.

여기에서, 상기 제1 카메라(35)에 의해 전술된 바와 같은 상기 석영글래스판(11)의 내부에서 굴절 또는 난반사된 빛을 배제한 경우에도 극소량의 굴절광 또는 난반사광은 상기 제1 카메라(35)로 수광될 수 있는데, 본 발명에서는 상기 석영글래스판(11)의 표면에서 반사되는 표면반사광을 주광원으로 하여 결함의 이미지를 촬영하게 되므로, 전술된 바와 같이 상기 석영글래스판(11)의 내부로 투과된 굴절광 또는 난반사광의 광량은 상기 표면반사광의 광량에 비해 무시할 수 있을 정도로 미약해서 그에 의한 유사결함이 발생될 가능성은 매우 낮은 것이다. Here, even when the refracted or diffusely reflected light is excluded from the inside of the quartz glass plate 11 as described above by the first camera 35, a very small amount of refracted or diffusely reflected light is generated by the first camera 35. In the present invention, since the image of the defect is photographed using the surface reflection light reflected from the surface of the quartz glass plate 11 as the main light source, the quartz glass plate 11 is moved into the quartz glass plate 11 as described above. The amount of transmitted refracted or diffused light is negligible compared to that of the surface reflected light, so the likelihood of similar defects is very low.

한편, 도 4에 도시된 바와 같이, 본 발명의 조명수단(33,34)은 LED램프(50)를 광원으로 사용하여 이 LED램프(50)의 빛을 선형적으로 조사시키도록 평행광조사수단(51)이 구비되는데, 이 평행광조사수단(51)에 의해 상기 레티클(10)의 진행방향에 대해 직교방향으로 광원을 라인 배열시켜 상기 석영글래스판(11)과 박막필름(14)을 선형적으로 스캔하게 된다. 여기에서 상기 LED램프(50)는 화이트 LED를 사용하여 백색광을 조사하도록 구비되는 것이 바람직하나, 특별히 이에 한정되는 것은 아니며, 상기 평행광조사수단(51)은 상기 LED램프(50)의 전방에 위치되어 빛을 전달하도록 연장 형성된 광섬유 케이블(52a)과 이 광섬유 케이블(52a)의 단부에 구비되어 다수의 광섬유 선단을 직선상으로 배열시키는 가이드패널(52b)로 이루어진 광섬유체(52)와, 이 광섬유체(52)의 전방에 위치되어 상기 LED램프(50)에 의한 빛을 라인 배열시키는 평행광 배열가이드(53)와, 이 평행광 배열가이드(53)에 의해 배열된 빛을 수집하여 직선적으로 조사시키는 집속렌즈(54)로 이루어지게 되며, 이러한 가이드패널(52b)과 평행광 배열가이드(53) 그리고 집속렌즈(54)는 하나의 케이스(55)에 내장된 상태로 구비될 수 있는 것이다.On the other hand, as shown in Figure 4, the lighting means (33, 34) of the present invention is a parallel light irradiation means to irradiate the light of the LED lamp 50 linearly using the LED lamp 50 as a light source A light source is arranged in a line orthogonal to the traveling direction of the reticle 10 by the parallel light irradiating means 51 to linearly form the quartz glass plate 11 and the thin film film 14. Will be scanned. The LED lamp 50 is preferably provided to irradiate white light using a white LED, but is not particularly limited thereto, the parallel light irradiation means 51 is located in front of the LED lamp 50. And an optical fiber body 52 formed of an optical fiber cable 52a formed to extend to transmit light, and a guide panel 52b provided at an end of the optical fiber cable 52a to arrange a plurality of optical fiber ends in a straight line, and the optical fiber Parallel light arraying guide 53 positioned in front of the sieve 52 for arranging light by the LED lamp 50, and the light arranged by the parallel light arraying guide 53 is collected and irradiated linearly. It is made of a focusing lens 54, the guide panel 52b, the parallel light array guide 53 and the focusing lens 54 may be provided in a state built in one case (55).

이러한 본 발명의 조명수단(33,34)에 의하면, 종래의 레이저광원 대신에 LED램프(50)를 광원으로 사용하게 되어 교체에 따른 유지보수 작업상의 번거로움을 줄임과 동시에 제작에 소요되는 비용을 대폭적으로 절감할 수 있으며, 또한 상기 평행광조사수단(51)이 구비됨으로 인해 상기 LED램프(50)에 의한 빛의 확산을 최대한 방지하여 조사지점을 최대한 하이라이트시킬 수 있을 뿐만 아니라 그에 의해 상기 카메라(35,36)에 의한 촬영이미지의 선명도를 높여 검사효과를 증대시킬 수 있게 된다.According to the lighting means 33 and 34 of the present invention, instead of the conventional laser light source, the LED lamp 50 is used as a light source, thereby reducing the cost of maintenance work due to replacement and at the same time reducing the cost required for manufacturing. In addition, the parallel light irradiation means 51 may be greatly reduced, thereby preventing the light from being diffused by the LED lamp 50 as much as possible, thereby highlighting the irradiation point as much as possible and thereby the camera ( It is possible to increase the inspection effect by increasing the sharpness of the captured image by the 35,36).

또한 도 5에 도시된 바와 같이, 본 발명은 상기 조명수단(33,34)에 의해 상기 레티클(10) 상에 빛을 입사시키거나 상기 카메라(35,36)에 의해 반사광을 수광할 때에, 입사광 또는 반사광의 조사각도를 변경할 수 있도록 다수의 프리즘(37)을 사용할 수 있으며, 이러한 경우에는 상기 조명수단(33,34) 또는 카메라(35,36)의 설치위치를 다양하게 변경 가능하여 제작상의 편리함을 제공할 수 있게 된다.
In addition, as shown in Figure 5, the present invention, when the incident light incident on the reticle 10 by the lighting means (33, 34) or receiving the reflected light by the camera (35, 36), incident light Alternatively, a plurality of prisms 37 may be used to change the irradiation angle of the reflected light, and in this case, various installation positions of the lighting means 33 or 34 or the cameras 35 and 36 may be changed in various ways. It can be provided.

이상에서 설명한 본 발명은 전술한 실시예 및 첨부된 도면에 의해 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 여러 가지 치환, 변형 및 변경이 가능함은 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명백할 것이다. The present invention described above is not limited to the above-described embodiment and the accompanying drawings, and various substitutions, modifications, and changes are possible within the scope without departing from the technical spirit of the present invention. It will be evident to those who have knowledge of.

Claims (4)

일정 두께를 갖는 판형상으로 구비되어 저면에 회로패턴(12)이 형성된 석영글래스판(11)과, 상기 회로패턴(12)을 내장하도록 둘레벽을 형성하는 프레임(13)과, 이 프레임(13)의 저면에 부착되어 상기 회로패턴(12)을 밀폐시키는 박막필름(14)을 포함하여 이루어진 레티클(10) 상의 흠집이나 스크래치 또는 이물질을 포함하는 결함을 검사하는 방법에 있어서;
상기 레티클(10)을 수평방향으로 이동시키면서 상기 석영글래스판(11)과 박막필름(14)의 표면에 일정한 경사각도로 빛을 입사시키도록 제1 및 제2 조명수단33,34)이 구비되고, 이 제1 및 제2 조명수단(33,34)은 각각 입사광이 상기 석영글래스판(11)과 박막필름(14)의 진행방향에 대해 직교하는 방향으로 연장 형성되도록 구비되어 상기 석영글래스판(11)과 박막필름(14)의 표면을 선형적으로 스캔하고;
상기 각 조명수단(33,34)에 의한 입사광이 상기 석영글래스판(11)과 박막필름(14)의 표면에서 반사되는 경로상에 위치된 제1 및 제2 카메라(35,36)에 의해 상기 석영글래스판(11)과 박막필름(14)의 상부 표면 또는 저면을 촬영하되, 상기 제1 카메라(35)는 상기 제1 조명수단(33)에 의한 입사광이 상기 석영글래스판(11)의 내부로 투과되어 굴절 또는 난반사된 빛을 배제하여 상기 석영글래스판(11)의 표면에서 반사된 표면반사광을 수광하여 촬영이 이루어지며;
상기 각 카메라(35,36)에 의해 촬영된 영상을 편집 또는 디스플레이하도록 연결된 영상처리수단(40)에 의해 결함을 검사하도록 된 것을 특징으로 하는 레티클 검사방법.
A quartz glass plate 11 having a plate shape having a predetermined thickness and having a circuit pattern 12 formed on a bottom thereof, a frame 13 forming a circumferential wall to embed the circuit pattern 12 therein, and the frame 13 In the method for inspecting defects including scratches, scratches or foreign matter on the reticle (10) comprising a thin film (14) attached to the bottom of the) to seal the circuit pattern (12);
First and second lighting means 33 and 34 are provided to inject light at a predetermined inclination angle to the surfaces of the quartz glass plate 11 and the thin film 14 while moving the reticle 10 in a horizontal direction. The first and second lighting means 33 and 34 are provided such that incident light extends in a direction orthogonal to the traveling directions of the quartz glass plate 11 and the thin film 14, respectively. ) And linearly scan the surface of the thin film 14;
The first and second cameras 35 and 36 are positioned on a path in which incident light by the respective lighting means 33 and 34 is reflected from the surfaces of the quartz glass plate 11 and the thin film 14. The upper surface or the bottom surface of the quartz glass plate 11 and the thin film film 14 is photographed, and the first camera 35 receives incident light from the first lighting means 33 inside the quartz glass plate 11. Photographing is performed by receiving surface reflection light reflected from the surface of the quartz glass plate 11 by excluding light refracted or diffusely reflected by the light;
Recticle inspection method characterized in that the defect inspection by the image processing means (40) connected to edit or display the image taken by each camera (35, 36).
제1항에 있어서, 상기 각 조명수단(33,34)은 LED램프(50)와 이 LED램프(50)에 연결되어 빛을 선형적으로 조사시키도록 된 평행광조사수단(51)을 포함하여 이루어지며;
상기 조명수단(33,34)은 상기 평행광조사수단(51)에 의해 상기 LED램프(50)의 빛을 상기 레티클(10)의 진행방향에 대한 직교방향으로 라인 배열시켜 직선적으로 조사되도록 된 것을 특징으로 하는 레티클 검사방법.
2. The lighting device (33) according to claim 1, wherein each of the lighting means (33, 34) comprises an LED lamp (50) and parallel light irradiation means (51) connected to the LED lamp (50) to linearly irradiate light. Done;
The lighting means (33, 34) is arranged so that the light of the LED lamp 50 by the parallel light irradiation means 51 in a line arrangement in a direction perpendicular to the traveling direction of the reticle 10 to be irradiated linearly Reticle inspection method characterized in that.
일정 두께를 갖는 판형상으로 구비되어 저면에 회로패턴(12)이 형성된 석영글래스판(11)과, 상기 회로패턴(12)을 내장하도록 둘레벽을 형성하는 프레임(13)과, 이 프레임(13)의 저면에 부착되어 상기 회로패턴(12)을 밀폐시키는 박막필름(14)을 포함하여 이루어진 레티클(10) 상의 흠집이나 스크래치 또는 이물질을 포함하는 결함을 검사하는 장치에 있어서;
상기 레티클(10)이 수평방향으로 이동 가능하도록 결합되는 가동다이(32)가 구비된 본체와;
상기 레티클(10)의 상부와 하부 일측에 각각 위치되어 상기 석영글래스판(11)의 상측 표면과 상기 박막필름(14)의 저면에 일정한 경사각도로 빛을 입사시킴과 동시에 이 입사광이 상기 석영글래스판(11)의 진행방향에 대해 직교하는 방향으로 연장 형성되어 빛을 선형적으로 조사하도록 된 제1 및 제2 조명수단(33,34)과;
상기 레티클(10)의 상부와 하부 타측에 상기 각 조명수단(33,34)에 의한 입사광이 상기 석영글래스판(11)과 박막필름(14)의 표면에서 반사되는 경로상에 위치되어 상기 석영글래스판(11)의 상부 표면과 박막필름(14)의 저면을 촬영하도록 된 제1 및 제2 카메라(35,36)와;
상기 각 카메라(35,36)에 의해 촬영된 영상을 편집 또는 디스플레이하여 결함을 검사하도록 연결된 영상처리수단(40)을 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 레티클 검사장치.
A quartz glass plate 11 having a plate shape having a predetermined thickness and having a circuit pattern 12 formed on a bottom thereof, a frame 13 forming a circumferential wall to embed the circuit pattern 12 therein, and the frame 13 Apparatus for inspecting defects including scratches, scratches or foreign matter on the reticle (10) made of a thin film (14) attached to the bottom surface of the) to seal the circuit pattern (12);
A main body provided with a movable die 32 to which the reticle 10 is movable in a horizontal direction;
Located on one side of the top and bottom of the reticle 10, respectively, the incident light is incident on the upper surface of the quartz glass plate 11 and the bottom surface of the thin film 14 at a predetermined inclination angle and the incident light is the quartz glass plate. First and second lighting means (33, 34) extending in a direction perpendicular to the traveling direction of (11) to linearly irradiate light;
On the other side of the upper and lower portions of the reticle 10, incident light by the respective illumination means 33 and 34 is positioned on a path reflected from the surfaces of the quartz glass plate 11 and the thin film 14, and thus the quartz glass. First and second cameras 35 and 36 configured to photograph an upper surface of the plate 11 and a bottom surface of the thin film 14;
And image processing means (40) connected to edit or display images captured by the cameras (35, 36) to check for defects.
제3항에 있어서, 상기 각 조명수단(33,34)은 LED램프(50)와 이 LED램프(50)에 연결되어 빛을 선형적으로 조사시키도록 된 평행광조사수단(51)을 포함하여 이루어지며;
상기 평행광조사수단(51)은 상기 LED램프(50)의 전방에 위치되어 빛을 전달하도록 연장 형성되되, 다수의 광섬유가 직선상으로 배열된 광섬유체(52)와, 이 광섬유체(52)의 전방에 위치되어 상기 LED램프(50)에 의한 빛을 상기 레티클(10)의 진행방향에 대한 직교방향으로 라인 배열시키는 평행광 배열가이드(53)와, 이 평행광 배열가이드(53)에 의해 배열된 빛을 수집하여 직선적으로 조사되도록 된 집속렌즈(54)로 이루어지는 것을 특징으로 하는 레티클 검사장치. 4. The lighting device (33) according to claim 3, wherein each of the lighting means (33, 34) includes an LED lamp (50) and parallel light irradiation means (51) connected to the LED lamp (50) to linearly irradiate light. Done;
The parallel light irradiating means 51 is positioned in front of the LED lamp 50 and extends to transmit light, and the optical fiber body 52 in which a plurality of optical fibers are arranged in a straight line, and the optical fiber body 52 A parallel light array guide 53 which is positioned in front of the light and arranges the light by the LED lamp 50 in a direction orthogonal to the traveling direction of the reticle 10, and by the parallel light array guide 53 Reticle inspection device, characterized in that consisting of a focusing lens 54 to collect the arranged light to be irradiated linearly.
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