KR20040062135A - Cassette for receiving substrate - Google Patents
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Abstract
Description
본 발명은 기판 수납용 카세트에 관한 것으로, 보다 상세하게는 횡전계(in plane switching : IPS) 방식을 적용한 박형 액정 표시패널의 이물에 의한 러빙 불량을 감소시키기에 적당하도록 한 기판 수납용 카세트에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a cassette for storing a substrate, and more particularly, to a cassette for storing a substrate, which is suitable for reducing rubbing defects caused by foreign substances in a thin liquid crystal display panel using an in plane switching (IPS) method. will be.
최근 들어, 휴대폰, 개인정보단말기(personal digital assistants : PDA) 및 노트북 컴퓨터와 같은 각종 휴대용 전자기기에 대한 수요가 폭발적으로 증가됨에 따라 그 모니터로 적용할 수 있는 경박단소 특성을 갖는 평판 표시장치(flat panel display)에 대한 수요가 증대되고 있다. 이러한 평판 표시장치로는 액정 표시장치(liquid crystal display : LCD), 플라즈마 디스플레이 패널(plasma display panel : PDP), 전계 방출 표시장치(field emission display : FED), 전계발광 표시장치(electro luminenscence display : ELD) 등이 활발히 연구되고 있지만, 양산성, 구동수단의 용이성 및 고화질 구현 등의 장점을 갖는 액정 표시장치가 현재 집중적으로 개발되고 있다.Recently, as the demand for various portable electronic devices such as mobile phones, personal digital assistants (PDAs), and notebook computers has exploded, the flat-panel display device having a light and small size that can be applied to the monitor can be used. The demand for panel displays is increasing. Such flat panel displays include liquid crystal displays (LCDs), plasma display panels (PDPs), field emission displays (FEDs), and electroluminescent displays (ELDs). ) Is actively studied, but liquid crystal display devices having advantages such as mass production, ease of driving means, and high definition are currently being intensively developed.
상기 액정 표시장치는 액정분자의 배열에 따라 다양한 표시모드가 존재하지만, 현재에는 흑백표시가 용이하고 응답속도가 빠르며 구동전압이 낮다는 장점 때문에 주로 트위스트 네마틱(twisted nematic : TN) 모드의 액정 표시장치가 사용되고 있다. 이러한 트위스트 네마틱 모드의 액정 표시장치에서는 기판과 수평하게 배향된 액정분자가 전압이 인가될 때 기판과 거의 수직으로 배향된다. 따라서, 액정분자의 굴절율 이방성(refractive anisotropy)에 의해 전압의 인가시 시야각이 좁아지는 문제가 있었다.The liquid crystal display has various display modes according to the arrangement of liquid crystal molecules, but at present, the liquid crystal display of the twisted nematic (TN) mode is mainly used because of the advantages of easy black and white display, fast response speed, and low driving voltage. The device is in use. In the liquid crystal display of the twisted nematic mode, the liquid crystal molecules oriented horizontally with the substrate are almost perpendicular to the substrate when a voltage is applied. Therefore, there is a problem that the viewing angle is narrowed upon application of voltage due to the refractive anisotropy of the liquid crystal molecules.
상기 시야각 문제를 해결하기 위하여 광시야각 특성(wide viewing angle characteristic)을 갖는 각종 모드의 액정 표시장치가 제안되고 있으며, 그중에서 횡전계 방식의 액정 표시장치가 실제 양산에 적용되어 제품화되고 있다. 상기 횡전계 방식의 액정 표시장치는 화소내에 한쌍의 전극이 구비되어 기판과 실질적으로 평행한 횡전계를 형성함으로써, 액정분자를 평면상으로 배향시키는 것이다.In order to solve the viewing angle problem, a liquid crystal display device having various modes having a wide viewing angle characteristic has been proposed, and a transverse electric field type liquid crystal display device has been applied to actual mass production. In the transverse electric field type liquid crystal display device, a pair of electrodes are provided in a pixel to form a transverse electric field substantially parallel to the substrate, thereby aligning the liquid crystal molecules in a plane.
도1은 종래 횡전계 방식 액정 표시장치의 평면 구성을 보인 예시도이다.1 is an exemplary view showing a planar configuration of a conventional transverse electric field type liquid crystal display device.
도1을 참조하면, 액정 표시패널(1)은 일정하게 이격되어 횡으로 배열되는 복수의 게이트 라인(3)들과 일정하게 이격되어 종으로 배열되는 복수의 데이터 라인(4)이 교차하고, 그 게이트 라인(3)들 및 데이터 라인(4)들이 교차하여 정의되는 사각형 영역 내에 화소들이 개별적으로 구비되어 매트릭스 형태로 배열된다.Referring to FIG. 1, the liquid crystal display panel 1 intersects a plurality of gate lines 3 that are regularly spaced apart and are horizontally arranged, and a plurality of data lines 4 that are vertically spaced apart and vertically intersect. The pixels are individually arranged in a rectangular region defined by the intersection of the gate lines 3 and the data lines 4, and arranged in a matrix form.
상기 게이트 라인(3)과 데이터 라인(4)의 교차부에는 박막 트랜지스터(10)가 구비된다. 상기 박막 트랜지스터(10)는 게이트 라인(3)으로부터 주사신호가 인가되는 게이트전극(11)과, 상기 게이트전극(11) 위에 형성되어 주사신호가 인가됨에 따라 활성화되어 채널층을 형성하는 반도체층(12)과, 상기 반도체층(12) 위에 형성되어 데이터 라인(4)을 통해 화상신호가 인가되는 소스전극(13) 및 드레인전극(14)으로 구성되어 외부로부터 화소에 인가되는 화상신호를 스위칭한다.The thin film transistor 10 is provided at the intersection of the gate line 3 and the data line 4. The thin film transistor 10 includes a gate electrode 11 to which a scan signal is applied from the gate line 3, and a semiconductor layer formed on the gate electrode 11 and activated as a scan signal is applied to form a channel layer ( 12 and a source electrode 13 and a drain electrode 14 formed on the semiconductor layer 12 to which an image signal is applied through the data line 4 to switch an image signal applied to a pixel from the outside. .
상기 화소에는 데이터 라인(4)과 실질적으로 평행하게 배열된 복수의 공통전극(5)과 화소전극(7)이 배치되어 있다. 또한, 화소의 중간에는 상기 공통전극(5)과 접속되는 공통라인(16)이 게이트 라인(3)과 평행하게 배치되며, 상기 공통라인(16) 위에는 화소전극(7)과 접속되는 화소전극라인(18)이 배치되어 상기 공통라인(16)과 오버랩되어 있다. 상기 공통라인(16)과 화소전극라인(18)의 오버랩에 의해 축적용량(storage capacitance)이 형성된다.In the pixel, a plurality of common electrodes 5 and pixel electrodes 7 arranged substantially parallel to the data line 4 are disposed. In addition, a common line 16 connected to the common electrode 5 is disposed parallel to the gate line 3 in the middle of the pixel, and a pixel electrode line connected to the pixel electrode 7 is disposed on the common line 16. 18 is disposed and overlaps with the common line 16. A storage capacitance is formed by the overlap of the common line 16 and the pixel electrode line 18.
상기와 같이 구성된 횡전계 방식 액정 표시장치에서 액정분자는 공통전극(5) 및 화소전극(7)과 실질적으로 평행하게 배향되어 있다.In the transverse electric field type liquid crystal display device configured as described above, the liquid crystal molecules are aligned substantially in parallel with the common electrode 5 and the pixel electrode 7.
상기 박막 트랜지스터(10)가 작동하여 화소전극(7)에 신호가 인가되면, 공통전극(5)과 화소전극(7) 사이에는 액정 표시패널(1)과 실질적으로 평행한 횡전계가 발생하게 된다. 액정분자는 상기 횡전계를 따라 동일 평면상에서 회전하게 되므로, 액정분자의 굴절율 이방성에 의한 계조반전을 방지할 수 있게 된다.When the thin film transistor 10 is operated and a signal is applied to the pixel electrode 7, a transverse electric field substantially parallel to the liquid crystal display panel 1 is generated between the common electrode 5 and the pixel electrode 7. . Since the liquid crystal molecules rotate on the same plane along the transverse electric field, gray level inversion due to the refractive anisotropy of the liquid crystal molecules can be prevented.
도2는 상기 도1의 I-I' 절단선에 따른 액정 표시패널의 단면구성을 보인 예시도이다.FIG. 2 is an exemplary view illustrating a cross-sectional structure of the liquid crystal display panel according to the II ′ cutting line of FIG. 1.
도2를 참조하면, 제1기판(20)의 상면에 게이트전극(11)이 패터닝되며, 그 게이트전극(11)을 포함한 제1기판(20)의 전면에 게이트절연층(22)이 형성된다.Referring to FIG. 2, the gate electrode 11 is patterned on the upper surface of the first substrate 20, and the gate insulating layer 22 is formed on the entire surface of the first substrate 20 including the gate electrode 11. .
상기 게이트절연층(22)의 상면에 반도체층(12)이 형성되고, 그 반도체층(12)의 상면에 소스전극(13) 및 드레인전극(14)이 패터닝된다. 상기 제1기판(20)의 전면에 보호층(passivation layer, 24)이 형성된다.The semiconductor layer 12 is formed on the top surface of the gate insulating layer 22, and the source electrode 13 and the drain electrode 14 are patterned on the top surface of the semiconductor layer 12. A passivation layer 24 is formed on the entire surface of the first substrate 20.
또한, 상기 제1기판(20) 위에는 복수의 공통전극(5)이 패터닝되고, 게이트절연층(22) 위에는 화소전극(7) 및 데이터 라인(4)이 패터닝되어 상기 공통전극(5)과 화소전극(7) 사이에 횡전계가 발생한다.In addition, a plurality of common electrodes 5 are patterned on the first substrate 20, and a pixel electrode 7 and a data line 4 are patterned on the gate insulating layer 22 to form the common electrode 5 and the pixel. A transverse electric field is generated between the electrodes 7.
한편, 제2기판(30)에는 블랙 매트릭스(32)와 컬러필터층(34)이 형성되어 있다. 상기 블랙매트릭스(32)는 액정분자가 동작하지 않는 영역으로 광이 누설되는 것을 방지하기 위한 것으로, 통상 박막 트랜지스터(10) 영역 및 화소와 화소의 경계(즉, 게이트라인 및 데이터라인 영역)를 따라 형성된다. 상기 컬러필터층(34)은 적(Red), 녹(Green), 청(Blue) 색상층으로 구성되어 액정분자를 통해 투과한 빛의 컬러를 구현한다. 상기 제1기판(20) 및 제2기판(30)이 이격된 공간에는 액정층(40)이 형성된다.On the other hand, a black matrix 32 and a color filter layer 34 are formed on the second substrate 30. The black matrix 32 is to prevent light leakage into an area where liquid crystal molecules do not operate. The black matrix 32 is generally formed along the thin film transistor 10 area and the boundary between the pixel and the pixel (ie, the gate line and the data line area). Is formed. The color filter layer 34 is composed of red, green, and blue color layers to implement the color of light transmitted through the liquid crystal molecules. The liquid crystal layer 40 is formed in a space where the first substrate 20 and the second substrate 30 are spaced apart from each other.
상기한 횡전계 방식 액정 표시장치에서는 공통전극(3)과 화소전극(5)에 의해 액정 표시패널(1)과 평행한 횡전계가 발생하게 되며, 액정분자는 상기 횡전계를 따라 동일 평면상에서 회전하게 된다. 따라서, 액정분자의 굴절율 이방성에 의한 계조반전을 방지할 수 있게 되며, 그 결과 시야각을 향상시킬 수 있게 된다.In the transverse electric field type liquid crystal display device, a transverse electric field parallel to the liquid crystal display panel 1 is generated by the common electrode 3 and the pixel electrode 5, and the liquid crystal molecules rotate on the same plane along the transverse electric field. Done. Therefore, the gray scale inversion due to the refractive anisotropy of the liquid crystal molecules can be prevented, and as a result, the viewing angle can be improved.
그러나, 상기와 같은 횡전계 방식 액정 표시장치에서는 액정 표시패널(1)과 수직한(즉, 제1기판(20)에서 제2기판(30)으로의 방향) 전계가 형성될 경우에 액정층(40)의 횡전계에 영향을 미치게 되어 액정층(40)의 액정분자가 동일 평면상에서 회전하지 않게 되므로, 액정 표시장치의 화상이 열화되고, 나아가 액정 표시패널의 불량을 발생시킨다.However, in the above-described horizontal electric field type liquid crystal display device, when an electric field is formed perpendicular to the liquid crystal display panel 1 (that is, the direction from the first substrate 20 to the second substrate 30), the liquid crystal layer ( Since it affects the transverse electric field of 40), since the liquid crystal molecules of the liquid crystal layer 40 do not rotate on the same plane, the image of the liquid crystal display device deteriorates, and furthermore, the defect of the liquid crystal display panel is caused.
상기 액정 표시패널(1)과 수직한 전계는 상기 제2기판(30)의 배면(즉, 제1기판(20)과 대향하지 않는 면)에 인가되는 정전기에 의해 형성된다는 사실이 알려져있으며, 이와같은 정전기는 액정 표시패널(1)이 제품화된 후, 인체의 접촉이나 기타 이물의 접촉에 의해 발생한다.It is known that the electric field perpendicular to the liquid crystal display panel 1 is formed by static electricity applied to the rear surface of the second substrate 30 (that is, the surface not facing the first substrate 20). The same static electricity is generated by the contact of the human body or other foreign matter after the liquid crystal display panel 1 is commercialized.
상기한 바와같은 제2기판(30)의 정전기를 제거하기 위해, 횡전계 방식 액정 표시장치에서는 도2에 도시된 바와 같이 제2기판(30)의 배면에 투명한 도전물질로 예를 들어 ITO(Indium Tin Oxide)와 같은 도전층(56)을 형성하였다. 도면에는 도시하지 않았지만, 상기 도전층(56)은 접지(ground)되어 제2기판(30)에 인가되는 정전기를 제거할 수 있게 된다.In order to remove the static electricity of the second substrate 30 as described above, in the transverse electric field type liquid crystal display device, as shown in FIG. 2, a transparent conductive material is formed on the back surface of the second substrate 30, for example, indium tin oxide (ITO). A conductive layer 56 such as Tin Oxide) was formed. Although not shown in the figure, the conductive layer 56 is grounded to remove static electricity applied to the second substrate 30.
따라서, 횡전계 방식 액정 표시패널의 컬러필터 기판을 제작하기 위해서는 먼저, 투명한 절연재질의 제2기판(30)의 배면에 도전층(56)을 형성한 다음 상기 제2기판(30)을 반전(overturning)시켜 블랙매트릭스(32)와 컬러필터층(34)을 순차적으로 형성하여야 한다.Therefore, in order to fabricate the color filter substrate of the transverse electric field type liquid crystal display panel, first, the conductive layer 56 is formed on the rear surface of the second substrate 30 of transparent insulating material, and then the second substrate 30 is inverted ( The black matrix 32 and the color filter layer 34 must be sequentially formed by overturning.
즉, 제2기판(30)의 배면에 도전층(56)을 형성한 다음 제2기판(30)을 카세트에 수납하여 후속 공정이 진행될 장비로 이송한다.That is, the conductive layer 56 is formed on the rear surface of the second substrate 30, and then the second substrate 30 is stored in a cassette and transferred to the equipment to be subjected to the subsequent process.
그리고, 상기 카세트에 수납된 제2기판(30)을 추출하여 반전시킨 다음 블랙매트릭스(32)와 컬러필터층(34)을 순차적으로 형성한다.Then, the second substrate 30 stored in the cassette is extracted and inverted, and the black matrix 32 and the color filter layer 34 are sequentially formed.
상기 컬러필터층(34)의 상면에는 배향막을 형성한 다음 러빙을 실시하여 액정분자들의 초기 배향방향을 결정한다.An alignment layer is formed on the upper surface of the color filter layer 34 and then rubbed to determine the initial alignment direction of the liquid crystal molecules.
도3을 참조하면, 로봇 암(robot arm, 101)을 통해 배면에 도전층(56)이 형성된 제2기판(30)을 수납하여 후속 공정이 진행될 장비로 이송하는 카세트(100)가 도시되어 있다.Referring to FIG. 3, there is shown a cassette 100 for receiving a second substrate 30 having a conductive layer 56 formed on its rear surface through a robot arm 101 and transferring the same to a device to be subjected to a subsequent process. .
도4는 상기 카세트(100)의 평면 구성을 보인 예시도이고, 도5는 도4의 II-II' 절단선에 따른 단면 구성을 보인 예시도이며, 도6은 도4의 III-III' 절단선에 따른 단면 구성을 보인 예시도이다.Figure 4 is an exemplary view showing a planar configuration of the cassette 100, Figure 5 is an exemplary view showing a cross-sectional configuration according to the cutting line II-II 'of Figure 4, Figure 6 is a cut III-III' of FIG. It is an example figure which showed the cross-sectional structure along a line.
도4 내지 도6을 참조하면, 상기 카세트(100)에는 카세트(100)에 투입되는 제2기판(30)의 장변에 대응하여 카세트(100)의 양측면에 구비된 세로축 지지대(110A∼110F)들과; 상기 카세트(100)에 제2기판(30)이 투입되는 투입구의 상대면에 구비된 세로축 지지대(110G,110H)들과; 상기 카세트(100)의 양측면에 구비된 세로축 지지대(110A∼110F)들에 삽입 결합되어 상기 제2기판(30)의 장변 가장자리를 지지하는 슬롯(120A∼120F)들이 구비되며, 상기 카세트(100)의 일측면에 구비된 세로축 지지대(110A∼110C)들은 타측면에 구비된 세로축 지지대(110D∼110F)들과 서로 대향하는 위치에 구비된다.4 to 6, the vertical supporters 110A to 110F provided on both side surfaces of the cassette 100 correspond to the long sides of the second substrate 30 to be inserted into the cassette 100. and; Vertical axis supports (110G, 110H) provided on the mating surface of the input hole into which the second substrate (30) is inserted into the cassette (100); Slots 120A to 120F are inserted into and coupled to the longitudinal supporters 110A to 110F provided on both sides of the cassette 100 to support the long edges of the second substrate 30, and the cassette 100 is provided. The vertical axis supports 110A to 110C provided on one side of the are provided at positions facing each other with the vertical axis supports 110D to 110F provided on the other side.
이때, 상기 카세트(100)를 동일한 면적을 갖는 제1∼제4영역(100A∼100D)으로 분할할 경우에 카세트(100)의 제1,제3영역(100A,100C)에 구비된 세로축 지지대(110A,110D)들은 그 제1,제3영역(100A,100C)의 수직 중심선(V2)으로부터 상기 카세트(100)의 수직 중심선(V1) 방향으로 편향되어 형성된다.At this time, when dividing the cassette 100 into the first to fourth regions 100A to 100D having the same area, the vertical axis supports provided in the first and third regions 100A and 100C of the cassette 100 ( The 110A and 110D are formed to be deflected from the vertical centerline V2 of the first and third regions 100A and 100C in the direction of the vertical centerline V1 of the cassette 100.
그리고, 상기 카세트(100)의 제2,제4영역(100B,100D)에 구비된 세로축 지지대(110B,110C,110E,110F)들 중에 일부 세로축 지지대(110B,110E)들은 카세트(100)의 수직 중심선(V1)을 기준으로 상기 카세트(100)의 제1,제3영역(100A,100C)에 구비된 세로축 지지대(110A,110D)들과 대응하는 위치에 형성되며, 나머지 세로축 지지대(110C,110F)들은 상기 카세트(100)에 제2기판(30)이 투입되는 투입구의 상대면과 인접하는 위치에 형성된다.In addition, some of the vertical axis supports 110B and 110E of the second and fourth regions 100B and 100D of the cassette 100 are perpendicular to the cassette 100. It is formed at a position corresponding to the vertical axis supports 110A and 110D provided in the first and third regions 100A and 100C of the cassette 100 with respect to the center line V1, and the remaining vertical axis supports 110C and 110F. ) Are formed at positions adjacent to the mating surface of the inlet through which the second substrate 30 is inserted into the cassette 100.
그리고, 상기 카세트(100)에 제2기판(30)이 투입되는 투입구의 상대면에 구비된 세로축 지지대(110G,110H)들은 상기 카세트(100)의 수평 중심선(S1)을 기준으로 일정한 이격거리를 갖고 대응되는 위치에 구비된다.In addition, the vertical supporters 110G and 110H provided on the mating surface of the input hole into which the second substrate 30 is inserted into the cassette 100 have a constant separation distance based on the horizontal center line S1 of the cassette 100. It is provided in the corresponding position.
도7은 상기한 바와같은 카세트(100)에 제2기판(30)이 수납된 평면구성을 보인 예시도이다.7 is an exemplary view showing a planar configuration in which the second substrate 30 is accommodated in the cassette 100 as described above.
상기 카세트(100)는 전술한 바와같이 구성되어 양측면의 세로축 지지대(110A∼110F)들에 구비된 복수의 슬롯(120A∼120F)들을 통해 제2기판(30)의 장변 가장자리를 지지한다.The cassette 100 is configured as described above to support the long side edge of the second substrate 30 through a plurality of slots 120A to 120F provided in the longitudinal supporters 110A to 110F on both sides.
상기 제2기판(30)에는 제1∼제4화상 표시부(30A∼30D)들이 동시에 형성되어 있다. 이때, 제2기판(30)에 제1∼제4화상 표시부(30A∼30D)들을 동시에 형성하는 이유는 액정 표시장치의 제작에 있어서, 대면적 모기판에 복수의 액정 표시패널들을 동시에 형성한 다음 개별적인 단위 액정 표시패널로 절단함으로써, 재료비를 절감하고, 제조시간을 단축시켜 수율을 향상시키기 위한 것이다.First to fourth image display portions 30A to 30D are formed on the second substrate 30 at the same time. In this case, the reason why the first to fourth image display parts 30A to 30D are simultaneously formed on the second substrate 30 is that in the manufacture of the liquid crystal display device, a plurality of liquid crystal display panels are simultaneously formed on a large area mother substrate. By cutting into individual unit liquid crystal display panels, material costs are reduced, manufacturing time is shortened, and yield is improved.
최근 들어, 액정 표시장치를 보다 박형화하기 위해 기판이 점차 박형화되어 감에 따라 상기 카세트(100)에 제2기판(30)을 수납할 경우에 중력의 영향으로 제2기판(30)의 중심이 지면으로 휘어지는 현상이 발생되고 있다.In recent years, as the substrate becomes thinner in order to make the liquid crystal display thinner, when the second substrate 30 is accommodated in the cassette 100, the center of the second substrate 30 becomes ground due to the effect of gravity. The phenomenon of bending is occurring.
즉, 도8a 내지 도8d의 예시도를 참조하면, 제2기판(30)의 두께가 점차 감소되는 경우에 제2기판(30)의 휘어지는 양이 도시되어 있다.That is, referring to the exemplary diagrams of FIGS. 8A to 8D, the bending amount of the second substrate 30 is shown when the thickness of the second substrate 30 is gradually reduced.
상기 제2기판(30)의 두께가 0.7t(0.7mm) 일 경우에는 카세트(100)의 세로축지지대(110A,110D)들에 구비된 슬롯(120A,120D)들에 지지되는 제2기판(30)의 중심은 지면으로 21mm 휘어지며, 0.63t(0.63mm) 일 경우에는 25mm, 0.6t(0.6mm) 일 경우에는 31mm, 0.5t(0.5mm) 일 경우에는 40mm 이상 휘어짐에 따라 제2기판(30)의 두께가 0.5t(0.5mm) 일 경우에는 카세트(100)에 수납할 수 없게 된다.When the thickness of the second substrate 30 is 0.7t (0.7mm), the second substrate 30 supported by the slots 120A and 120D provided in the vertical axis supports 110A and 110D of the cassette 100 is provided. ) Is centered on the ground by 21mm, 25mm for 0.63t (0.63mm), 31mm for 0.6t (0.6mm), and 40mm or more for 0.5t (0.5mm). If the thickness of 30) is 0.5t (0.5mm), it cannot be stored in the cassette 100.
따라서, 종래에는 제2기판(30)의 두께가 0.5t(0.5mm) 일 경우에 제2기판(30)을 카세트(100)에 수납하기 위하여 카세트(100)의 세로축 지지대(110A,110D)들에 구비된 슬롯(120A,120D)들의 돌출되는 길이를 증가시켰다.Therefore, in the related art, when the thickness of the second substrate 30 is 0.5t (0.5 mm), the longitudinal supporters 110A and 110D of the cassette 100 are accommodated to accommodate the second substrate 30 in the cassette 100. Protruding length of the slots (120A, 120D) provided in the increased.
그런데, 상기 슬롯(120A,120D)들과 접촉되는 제2기판(30)의 표면에는 이물이 흡착될 수 있으며, 상기한 바와같이 슬롯(120A,120D)들의 돌출되는 길이가 증가될 경우에는 제2기판(30) 상에 형성되는 제1∼제4화상 표시부(30A∼30D)들과 인접하여 또는 제1∼제4화상 표시부(30A∼30D)들 내부에 이물이 흡착될 수 있다.However, foreign matter may be adsorbed on the surface of the second substrate 30 in contact with the slots 120A and 120D, and as described above, when the protruding length of the slots 120A and 120D is increased, Foreign matter may be adsorbed adjacent to the first to fourth image display portions 30A to 30D formed on the substrate 30 or inside the first to fourth image display portions 30A to 30D.
전술한 바와같이 상기 슬롯(120A,120D)들에 지지되는 제2기판(30)의 표면에는 후속하는 공정에서 블랙매트릭스(32)와 컬러필터층(34)이 형성되고, 그 컬러필터층(34)의 상면에 배향막을 형성한 다음 러빙을 실시하여 액정분자들의 초기 배향방향을 결정한다.As described above, the black matrix 32 and the color filter layer 34 are formed on the surface of the second substrate 30 supported by the slots 120A and 120D in a subsequent process, and the color filter layer 34 After forming the alignment layer on the upper surface and rubbing is performed to determine the initial alignment direction of the liquid crystal molecules.
따라서, 상기 제2기판(30)의 러빙 방향이 일측 장변에서 타측 장변으로 진행될 경우에는 제2기판(30)의 제1∼제4화상 표시부(30A∼30D)들과 인접하여 또는 제1∼제4화상 표시부(30A∼30D)들 내부에 흡착된 이물로 인해 제1∼제4화상 표시부(30A∼30D)들에 러빙 방향을 따라 세로선 불량이 발생될 수 있다.Therefore, when the rubbing direction of the second substrate 30 progresses from one long side to the other long side, the second substrate 30 is adjacent to the first to fourth image display units 30A to 30D of the second substrate 30 or the first to first agents. Foreign matter adsorbed inside the four image display units 30A to 30D may cause vertical line defects in the first to fourth image display units 30A to 30D along the rubbing direction.
상기한 바와같이 제1∼제4화상 표시부(30A∼30D)들에 세로선 불량이 발생될경우에는 액정 표시패널의 화질을 저하시킬 뿐만 아니라 심지어 액정 표시패널이 불량 판정되어 폐기됨에 따라 재료비를 상승시키고, 수율을 저하시키는 문제점이 있었다.As described above, when vertical line defects occur in the first to fourth image display units 30A to 30D, not only the image quality of the liquid crystal display panel is deteriorated but also the material cost is increased as the liquid crystal display panel is judged defective and discarded. There was a problem of lowering the yield.
본 발명은 상기한 바와같은 종래의 문제점을 해결하기 위하여 창안한 것으로, 본 발명의 목적은 횡전계 방식을 적용한 박형 액정 표시패널의 이물에 의한 러빙 불량을 감소시킬 수 있는 기판 수납용 카세트를 제공하는데 있다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the conventional problems as described above, and an object of the present invention is to provide a cassette for storing a substrate which can reduce rubbing defects caused by foreign substances in a thin liquid crystal display panel using a transverse electric field system. have.
도1은 종래 횡전계 방식 액정 표시장치의 평면 구성을 보인 예시도.1 is an exemplary view showing a planar configuration of a conventional transverse electric field type liquid crystal display device.
도2는 도1의 I-I' 절단선에 따른 액정 표시패널의 단면구성을 보인 예시도.FIG. 2 is an exemplary view illustrating a cross-sectional structure of a liquid crystal display panel taken along the line II ′ of FIG. 1.
도3은 기판을 수납하여 후속 공정이 진행될 장비로 이송하는 카세트의 외형을 보인 예시도.Figure 3 is an exemplary view showing the appearance of a cassette to accommodate the substrate and transfer to the equipment to be processed subsequent processes.
도4는 도3에 있어서, 종래 카세트의 평면 구성을 보인 예시도.Figure 4 is an exemplary view showing a planar configuration of a conventional cassette in Figure 3;
도5는 도4의 II-II' 절단선에 따른 단면 구성을 보인 예시도.5 is an exemplary view showing a cross-sectional configuration according to the II-II 'cutting line of FIG.
도6은 도4의 III-III' 절단선에 따른 단면 구성을 보인 예시도.Figure 6 is an exemplary view showing a cross-sectional configuration along the cut line III-III 'of FIG.
도7은 도4의 카세트에 기판이 수납된 평면 구성을 보인 예시도.7 is an exemplary view showing a planar structure in which a substrate is accommodated in the cassette of FIG.
도8a 내지 도8d는 카세트에 수납된 기판의 두께 감소에 따른 휘어지는 양을 보인 예시도.8A to 8D are exemplary views showing the amount of warpage according to the decrease in the thickness of the substrate housed in the cassette.
도9는 본 발명에 의한 기판 수납용 카세트의 평면 구성을 보인 예시도.Figure 9 is an exemplary view showing a planar configuration of a cassette for substrate storage according to the present invention.
도10은 도9의 IV-IV' 절단선에 따른 단면 구성을 보인 예시도.Figure 10 is an exemplary view showing a cross-sectional configuration along the IV-IV 'cutting line of Figure 9;
도11은 도9의 V-V' 절단선에 따른 단면 구성을 보인 예시도.11 is an exemplary view showing a cross-sectional configuration along the line V-V 'of FIG.
도12는 도9의 카세트에 기판이 수납된 평면 구성을 보인 예시도.Figure 12 is an exemplary view showing a planar structure in which a substrate is accommodated in the cassette of Figure 9;
***도면의 주요부분에 대한 부호의 설명****** Explanation of symbols for main parts of drawing ***
200:카세트 201:프레임200: cassette 201: frame
210A∼210F:제1∼제6세로축 지지대 220A∼220F:제1∼제6슬롯210A-210F: 1st-6th longitudinal supporters 220A-220F: 1st-6th slots
230:기판230: substrate
상기 본 발명의 목적을 달성하기 위한 기판 수납용 카세트는 개방된 정면, 기판의 장변에 대응되는 양측면 및 기판의 일측 단변에 대응되는 배면이 구비된 프레임과; 상기 프레임의 배면에 일정 간격 이격되어 기판의 일측 단변을 지지하는 제1,제2슬롯들과; 상기 프레임의 정면과 인접하는 양측면에 구비되어 기판의 장변을 지지하는 제3,제4슬롯들과; 상기 프레임의 양측면에 구비되어 기판의 장변을 지지하되, 기판 상에 형성된 화상 표시부들의 경계면에 접촉되는 제5,제6슬롯들을 구비하여 구성되는 것을 특징으로 한다.The cassette for storing the substrate for achieving the object of the present invention comprises a frame having an open front, both sides corresponding to the long side of the substrate and the back side corresponding to one side of the substrate; First and second slots spaced apart from the rear surface of the frame to support one short side of the substrate; Third and fourth slots provided at both sides adjacent to the front of the frame to support the long sides of the substrate; It is provided on both sides of the frame to support the long side of the substrate, it characterized in that it comprises a fifth and sixth slot in contact with the boundary surface of the image display portion formed on the substrate.
상기한 바와같은 본 발명에 의한 기판 수납용 카세트를 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명하면 다음과 같다.Referring to the accompanying drawings, the substrate storage cassette according to the present invention as described above in detail as follows.
도9는 본 발명에 의한 기판 수납용 카세트의 평면 구성을 보인 예시도이고, 도10은 도9의 IV-IV' 절단선에 따른 단면 구성을 보인 예시도이며, 도11은 도9의 V-V' 절단선에 따른 단면 구성을 보인 예시도이다.9 is an exemplary view showing a planar configuration of a cassette for storing a substrate according to the present invention, FIG. 10 is an exemplary view showing a cross-sectional configuration along the line IV-IV ′ of FIG. 9, and FIG. 11 is a VV ′ of FIG. 9. It is an example figure which showed the cross-sectional structure along a cutting line.
도9 내지 도11을 참조하면, 카세트(200)는 정면이 개방되어 기판(230)이 출입되고, 기판(230)의 장변에 대응되는 양측면 및 기판(230)의 일측 단변에 대응되는 배면이 구비된 프레임(201)과; 상기 프레임(201)의 배면에 일정 간격이 이격된 제1,제2세로축 지지대(210A,210B)들과; 상기 프레임(201)의 정면과 인접하는 양측면에 구비된 제3,제4세로축 지지대(210C,210D)들과; 상기 프레임(201)의 양측면 중심에 각각 구비된 제5,제6세로축 지지대(210E,210F)들과; 상기 제1,제2세로축 지지대(210A,210B)들에 각각 삽입 결합되어 수납된 기판(230)의 일측 단변을 지지하는 제1,제2슬롯(220A,220B)들과; 상기 제3,제4세로축 지지대(210C,210D)들에 각각 삽입 결합되어 수납된 기판(230)의 양측 장변을 지지하는 제3,제4슬롯(220C,220D)들과; 상기 제5,제6세로축 지지대(210E,210F)들에 각각 삽입 결합되어 수납된 기판(230)의 양측 장변을 지지하되, 기판(230) 상에 형성된 화상 표시부(도시되지 않음)들의 경계면에 접촉되는 제5,제6슬롯(220E,220F)들로 구성된다.9 to 11, the cassette 200 has an open front face, and the substrate 230 enters and exits, and both sides corresponding to the long side of the substrate 230 and a back side corresponding to one short side of the substrate 230 are provided. A frame 201; First and second vertical shaft supports 210A and 210B spaced apart from each other by a rear surface of the frame 201; Third and fourth longitudinal axis supports 210C and 210D provided at both sides adjacent to the front of the frame 201; Fifth and sixth longitudinal axis supports 210E and 210F provided at centers of both sides of the frame 201; First and second slots 220A and 220B supporting one short side of the substrate 230 inserted and coupled to the first and second vertical axis supports 210A and 210B, respectively; Third and fourth slots 220C and 220D supporting both long sides of the substrate 230 inserted and coupled to the third and fourth vertical axis supports 210C and 210D, respectively; Both sides of the substrate 230 are inserted into and coupled to the fifth and sixth longitudinal supporters 210E and 210F, respectively, and contact the boundary surfaces of the image display parts (not shown) formed on the substrate 230. Consisting of the fifth and sixth slots 220E and 220F.
도12는 상기한 바와같은 카세트(200)에 기판(230)이 수납된 평면구성을 보인 예시도이다.12 is an exemplary view showing a planar structure in which the substrate 230 is accommodated in the cassette 200 as described above.
상기 카세트(200)는 전술한 바와같이 구성되어 프레임(201) 배면의 제1,제2세로축 지지대(210A,210B)들에 구비된 제1,제2슬롯(220A,220C)들을 통해 기판(230)의 일측 단변을 지지하며, 프레임(201) 양측면의 제3 내지 제6세로축 지지대(210C∼210F)들에 구비된 제3 내지 제6슬롯(220C∼220F)들을 통해 기판(230)의 장변 가장자리를 지지한다.The cassette 200 is configured as described above, the substrate 230 through the first and second slots 220A and 220C provided in the first and second vertical shaft supports 210A and 210B on the rear of the frame 201. And a long side edge of the substrate 230 through the third to sixth slots 220C to 220F provided on the third to sixth longitudinal supporters 210C to 210F on both sides of the frame 201. Support.
상기 기판(230)은 전술한 횡전계 방식 액정 표시패널의 컬러필터 기판이 적용된다.The substrate 230 is a color filter substrate of the above-described transverse electric field type liquid crystal display panel is applied.
상기 횡전계 방식 액정 표시패널은 전술한 바와같이 박막 트랜지스터 어레이 기판에 형성되는 공통전극과 화소전극 사이의 횡전계에 의해 액정분자들이 회전하며, 컬러필터 기판에는 블랙매트릭스와 컬러필터층이 형성된다.As described above, in the transverse electric field type liquid crystal display panel, liquid crystal molecules are rotated by a transverse electric field between a common electrode and a pixel electrode formed on the thin film transistor array substrate, and a black matrix and a color filter layer are formed on the color filter substrate.
상기 횡전계 방식 액정 표시장치는 컬러필터 기판의 배면(즉, 박막 트랜지스터 어레이 기판과 대향하지 않은 면)에 정전기가 인가될 경우에 수직한 전계가 형성되어 상기 공통전극과 화소전극 사이에 형성되는 횡전계에 영향을 끼치게 되어 액정 표시장치의 화상이 열화되고, 나아가 액정 표시패널의 불량을 발생시킨다.In the transverse electric field type liquid crystal display, a vertical electric field is formed when static electricity is applied to the rear surface of the color filter substrate (that is, the surface not facing the thin film transistor array substrate) and is formed between the common electrode and the pixel electrode. It affects an electric field and deteriorates the image of a liquid crystal display device, and also produces the defect of a liquid crystal display panel.
따라서, 상기 컬러필터 기판의 배면에 투명한 도전물질로 예를 들어, ITO(Indium Tin Oxide) 또는 IZO(Indium Zinc Oxide)와 같은 정전기 제거용 도전층을 형성하고, 그 도전층을 접지시켜 컬러필터 기판의 배면에 인가되는 정전기를 제거하였다.Accordingly, a conductive layer for removing static electricity such as, for example, indium tin oxide (ITO) or indium zinc oxide (IZO) is formed of a transparent conductive material on the back of the color filter substrate, and the conductive layer is grounded to ground the color filter substrate. The static electricity applied to the back of the was removed.
상기한 바와같은 횡전계 방식 액정 표시패널의 컬러필터 기판을 제작하기 위해서는 먼저, 투명한 절연재질의 기판 배면에 정전기 제거용 도전층을 형성한 다음 기판을 카세트에 수납하여 후속 공정이 진행될 장비로 이송하고, 카세트에 수납된 기판을 추출하여 반전(overturning)시킨 다음 블랙매트릭스와 컬러필터층을 순차적으로 형성한다.In order to manufacture the color filter substrate of the transverse electric field type liquid crystal display panel as described above, first, a conductive layer for removing static electricity is formed on the back surface of the transparent insulating material, and then the substrate is stored in a cassette and transferred to the equipment to be subjected to the subsequent process. The substrate stored in the cassette is extracted and inverted, and the black matrix and the color filter layer are sequentially formed.
상기 컬러필터층의 상면에는 배향막을 형성한 다음 러빙을 실시하여 액정분자들의 초기 배향방향을 결정한다.An alignment layer is formed on the upper surface of the color filter layer and then rubbed to determine the initial alignment direction of the liquid crystal molecules.
따라서, 상기 도12에 도시된 기판(230)은 상면에 정전기 제거용 도전층(도면상에 도시되지 않음)이 형성된 상태로 카세트(200)에 수납되어 후속 공정이 진행될 장비로 이송된다.Accordingly, the substrate 230 shown in FIG. 12 is accommodated in the cassette 200 in a state where a conductive layer for removing static electricity (not shown in the figure) is formed on the upper surface thereof, and then transferred to the equipment to be subjected to the subsequent process.
또한, 상기 기판(230)에는 제1∼제4화상 표시부(230A∼230D)들이 동시에 형성되어 있다. 이때, 기판(230)에 제1∼제4화상 표시부(230A∼230D)들을 동시에 형성하는 이유는 액정 표시장치의 제작에 있어서, 대면적 모기판에 복수의 액정 표시패널들을 동시에 형성한 다음 개별적인 단위 액정 표시패널로 절단함으로써, 재료비를 절감하고, 제조시간을 단축시켜 수율을 향상시키기 위한 것이다.In addition, first to fourth image display parts 230A to 230D are simultaneously formed on the substrate 230. In this case, the reason why the first to fourth image display units 230A to 230D are simultaneously formed on the substrate 230 is that in the manufacture of the liquid crystal display device, a plurality of liquid crystal display panels are simultaneously formed on a large area mother substrate and then separated into individual units. By cutting into a liquid crystal display panel, material cost is reduced, manufacturing time is shortened, and a yield is improved.
상기 프레임(201)의 양측면에 구비된 제5,제6세로축 지지대(210E,210F)들과 삽입 결합되는 제5,제6슬롯(220E,220F)들은 상기 제1,제2화상 표시부(230A,230B) 및 제3,제4화상 표시부(230C,230D)들의 경계 영역에 접촉되어 기판(230)의 장변을 지지한다.The fifth and sixth slots 220E and 220F, which are inserted into and coupled to the fifth and sixth longitudinal axis supports 210E and 210F provided on both sides of the frame 201, are provided with the first and second image display units 230A, 230B) and the long side of the substrate 230 are contacted with the boundary regions of the third and fourth image display units 230C and 230D.
상기 기판(230)에는 복수의 화상 표시부들이 제작될 수 있으나, 상기 프레임(201)의 양측면에 구비된 제5,제6세로축 지지대(210E,210F)들과 삽입 결합되는 제5,제6슬롯(220E,220F)들에 의해 복수의 화상 표시부들의 경계 영역이 접촉되도록 하는 것이 바람직하다.A plurality of image display units may be manufactured on the substrate 230, but fifth and sixth slots may be inserted into and coupled to the fifth and sixth longitudinal supporters 210E and 210F provided at both sides of the frame 201. It is preferable to make the boundary regions of the plurality of image display portions contact by the 220E and 220F.
최근 들어, 액정 표시장치를 보다 박형화하기 위해 기판이 점차 박형화되어 감에 따라 카세트에 수납된 기판이 중력의 영향으로 휘어지는 현상이 점차 심화되고 있으며, 전술한 도8a 내지 도8d에 도시된 바와같이 기판의 두께가 0.5t(0.5mm) 일 경우에 기판이 중력의 영향으로 40mm 이상 휘어짐에 따라 카세트에 수납할 수 없게 된다.In recent years, as the substrate becomes thinner in order to make the liquid crystal display thinner, a phenomenon in which the substrate housed in the cassette is bent under the influence of gravity is gradually intensified. As shown in FIG. 8A to FIG. When the thickness of the substrate is 0.5t (0.5mm), the substrate is bent by 40 mm or more due to the influence of gravity, so that it cannot be stored in the cassette.
따라서, 종래에는 도7에 도시한 바와같이 0.5t(0.5mm) 의 두께를 갖는 제2기판(30)을 카세트(100)에 수납하기 위하여 카세트(100)의 세로축 지지대(110A,110D)들에 구비된 슬롯(120A,120D)들의 돌출되는 길이를 증가시켰다.Therefore, in order to accommodate the second substrate 30 having a thickness of 0.5 t (0.5 mm) in the cassette 100, the vertical supporters 110A and 110D of the cassette 100 are conventionally used as shown in FIG. The protruding length of the provided slots 120A and 120D has been increased.
그런데, 상기 슬롯(120A,120D)들과 접촉되는 제2기판(30)의 표면에는 이물이 흡착될 수 있으며, 슬롯(120A,120D)들의 돌출 길이가 증가될 경우에는 제2기판(30) 상에 형성되는 제1∼제4화상 표시부(30A∼30D)들과 인접하여 또는 제1∼제4화상 표시부(30A∼30D)들 내부에 이물이 흡착될 수 있다.However, foreign matter may be adsorbed on the surface of the second substrate 30 in contact with the slots 120A and 120D, and when the protruding length of the slots 120A and 120D is increased, the second substrate 30 may be formed on the second substrate 30. The foreign matter may be adsorbed adjacent to the first to fourth image display portions 30A to 30D formed in or in the first to fourth image display portions 30A to 30D.
상기 슬롯(120A,120D)들에 지지되는 제2기판(30)의 표면에는 후속하는 공정에서 블랙매트릭스(32)와 컬러필터층(34)이 형성되고, 그 컬러필터층(34)의 상면에 배향막을 형성한 다음 러빙을 실시하여 액정분자들의 초기 배향방향을 결정한다.On the surface of the second substrate 30 supported by the slots 120A and 120D, a black matrix 32 and a color filter layer 34 are formed in a subsequent process, and an alignment layer is formed on the upper surface of the color filter layer 34. After forming, rubbing is performed to determine the initial alignment direction of the liquid crystal molecules.
따라서, 종래에는 상기 제2기판(30)의 러빙 방향이 일측 장변에서 타측 장변으로 진행될 경우에는 제2기판(30)의 제1∼제4화상 표시부(30A∼30D)들과 인접하여 또는 제1∼제4화상 표시부(30A∼30D)들 내부에 흡착된 이물로 인해 제1∼제4화상 표시부(30A∼30D)들에 러빙 방향을 따라 세로선 불량이 발생될 수 있다.Therefore, in the related art, when the rubbing direction of the second substrate 30 progresses from one long side to the other long side, the second substrate 30 is adjacent to the first to fourth image display units 30A to 30D of the second substrate 30 or the first side. Defects adsorbed inside the fourth image display units 30A to 30D may cause vertical line defects in the first to fourth image display units 30A to 30D along the rubbing direction.
그러나, 본 발명에 의한 기판 수납용 카세트는 도12에 도시한 바와같이 프레임(201)의 배면에 구비된 제1,제2세로축 지지대(210A,210B)들과 삽입 결합되는 제1,제2슬롯(220A,220B)들이 기판(230)의 일측 단변을 지지함에 따라 기판(230)이 중력의 영향으로 휘어지는 현상을 완화한다.However, the substrate storage cassette according to the present invention, as shown in Figure 12, the first and second slots that are inserted and coupled to the first and second vertical axis support (210A, 210B) provided on the back of the frame 201 As the 220A and 220B support one short side of the substrate 230, the phenomenon in which the substrate 230 is bent under the influence of gravity is alleviated.
그리고, 상기 프레임(201)의 정면과 인접하여 양측면에 구비된 제3,제4세로축 지지대(210C,210D)들과 삽입 결합되는 제3,제4슬롯(220C,220D)들의 돌출 길이를증가시킬 경우에도 종래와 같이 러빙 방향을 따라 세로선 불량이 발생되는 것을 방지할 수 있게 된다.In addition, the protruding lengths of the third and fourth slots 220C and 220D inserted into and coupled to the third and fourth vertical axis supports 210C and 210D provided at both sides adjacent to the front of the frame 201 may be increased. In this case, as in the prior art, it is possible to prevent the occurrence of a vertical line defect along the rubbing direction.
즉, 상기 제3,제4슬롯(220C,220D)들은 기판(230)에 형성된 제1,제3화상 표시부(230A,230C)들과 이격되는 일측 외곽(즉, 기판(230)의 더미영역)에서 기판(230)을 지지하므로, 그 제3,제4슬롯(220C,220D)들과 접촉되는 기판(230)의 표면에 이물이 흡착되고, 기판(230)의 일측 장변에서 타측 장변으로 러빙이 진행되는 경우에도 기판(230)의 더미영역을 따라 세로선 불량이 발생할 뿐, 상기 제1,제3화상 표시부(230A,230C)에는 세로선 불량이 발생되지 않는다.That is, the third and fourth slots 220C and 220D may be disposed at one outer side of the first and third image display units 230A and 230C formed on the substrate 230 (ie, a dummy region of the substrate 230). In order to support the substrate 230, foreign matter is adsorbed on the surface of the substrate 230 in contact with the third and fourth slots 220C and 220D, and rubbing is performed from one long side to the other long side of the substrate 230. Even in the case where the vertical line defects occur along the dummy region of the substrate 230, the vertical line defects do not occur in the first and third image display units 230A and 230C.
또한, 상기 프레임(201)의 양측면 중심에 각각 구비된 제5,제6세로축 지지대(210E,210F)들과 삽입 결합되는 제5,제6슬롯(220E,220F)들의 돌출 길이를 증가시킬 경우에도 제3,제4슬롯(220C,220D)들과 마찬가지로 러빙 방향을 따라 세로선 불량이 발생되는 것을 방지할 수 있게 된다.In addition, even when the protrusion lengths of the fifth and sixth slots 220E and 220F that are inserted into and coupled to the fifth and sixth longitudinal supporters 210E and 210F respectively provided at the centers of both sides of the frame 201 are increased. Similar to the third and fourth slots 220C and 220D, a vertical line defect may be prevented from occurring along the rubbing direction.
즉, 상기 제5,제6슬롯(220E,220F)들은 기판(230)에 형성된 제1,제2화상 표시부(230A,230B) 및 제3,제4화상 표시부(230C,230D)들이 서로 이격되는 경계 영역에서 기판(230)의 장변을 지지하므로, 그 제5,제6슬롯(220E,220F)들과 접촉되는 기판(230)의 표면에 이물이 흡착되고, 기판(230)의 일측 장변에서 타측 장변으로 러빙이 진행되는 경우에도 제1,제2화상 표시부(230A,230B) 및 제3,제4화상 표시부(230C,230D)들이 서로 이격되는 경계 영역을 따라 세로선 불량이 발생할 뿐, 제1∼제4화상 표시부(230A∼230D)에는 세로선 불량이 발생되지 않는다.That is, the fifth and sixth slots 220E and 220F may be spaced apart from each other by the first and second image display units 230A and 230B and the third and fourth image display units 230C and 230D formed on the substrate 230. Since the long side of the substrate 230 is supported in the boundary region, foreign matter is adsorbed to the surface of the substrate 230 in contact with the fifth and sixth slots 220E and 220F, and the other side of the long side of one side of the substrate 230. Even when rubbing is performed on the long side, vertical line defects occur along the boundary area where the first and second image display units 230A and 230B and the third and fourth image display units 230C and 230D are spaced apart from each other. Vertical line defects do not occur in the fourth image display units 230A to 230D.
따라서, 상기 프레임(201) 양측면의 제3∼제6세로축 지지대(210C∼210F)들에구비된 제3∼제6슬롯(220C∼220F)들의 돌출 길이는 기판(230)을 카세트(200) 내부로 이송하는 로봇 암(도면상에 도시되지 않음)과 간섭되지 않는 범위 내에서 충분히 증가될 수 있다.Accordingly, the protruding lengths of the third to sixth slots 220C to 220F provided on the third to sixth vertical axis supports 210C to 210F on both sides of the frame 201 may allow the substrate 230 to be inserted into the cassette 200. It can be increased sufficiently within the range of not interfering with the robot arm (not shown in the figure) for transferring to the robot arm.
예를 들어, 880×680mm 의 기판(230)이 수납되는 카세트(200)의 폭이 690mm 이고, 상기 기판(230)을 카세트(200) 내부로 이송하는 로봇 암의 폭이 500mm 라고 가정하면, 상기 프레임(201) 양측면의 제3∼제6세로축 지지대(210C∼210F)들에 구비된 제3∼제6슬롯(220C∼220F)들의 돌출 길이는 80∼90mm 정도까지 증가시킬 수 있게 된다.For example, assuming that the width of the cassette 200 in which the substrate 230 of 880 × 680 mm is accommodated is 690 mm, and the width of the robot arm that transfers the substrate 230 into the cassette 200 is 500 mm, the The protruding lengths of the third to sixth slots 220C to 220F provided on the third to sixth longitudinal supporters 210C to 210F on both sides of the frame 201 may be increased to about 80 to 90 mm.
상술한 바와같이 본 발명에 의한 기판 수납용 카세트는 카세트의 양측면에 구비되어 기판의 장변 가장자리를 지지하는 슬롯들의 돌출 길이를 기판 이송용 로봇 암과 간섭되지 않는 범위 내에서 충분히 증가시킬 경우에도 기판의 화상 표시부들 내부에 세로선 불량이 발생하는 것을 방지할 수 있게 되므로, 기판이 중력의 영향으로 지면으로 휘어지는 현상을 억제할 수 있게 된다.As described above, the cassette for storing a substrate according to the present invention is provided on both sides of the cassette, even when the protrusion length of the slots supporting the long edges of the substrate is sufficiently increased within the range not to interfere with the robot arm for transferring the substrate. Since it is possible to prevent the occurrence of vertical line defects in the image display portions, it is possible to suppress the phenomenon that the substrate is bent to the ground under the influence of gravity.
따라서, 박형 기판에 대응하여 공정을 진행시킬 수 있는 효과가 있다.Therefore, there is an effect that the process can be advanced in response to the thin substrate.
또한, 세로선 불량을 방지함에 따라 액정 표시패널의 화질을 향상시킬 수 있는 효과가 있으며, 액정 표시패널의 불량요인을 저감시켜 재료비를 절감하고, 수율을 향상시킬 수 있는 효과가 있다.In addition, there is an effect to improve the image quality of the liquid crystal display panel by preventing the vertical line defects, it is possible to reduce the defect factors of the liquid crystal display panel to reduce the material cost, improve the yield.
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-
2002
- 2002-12-31 KR KR1020020088462A patent/KR20040062135A/en not_active Application Discontinuation
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