KR20030074332A - 초음파 탐사장치 - Google Patents

초음파 탐사장치 Download PDF

Info

Publication number
KR20030074332A
KR20030074332A KR10-2003-0014680A KR20030014680A KR20030074332A KR 20030074332 A KR20030074332 A KR 20030074332A KR 20030014680 A KR20030014680 A KR 20030014680A KR 20030074332 A KR20030074332 A KR 20030074332A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
data
scanning
memory
digital waveform
monitoring signal
Prior art date
Application number
KR10-2003-0014680A
Other languages
English (en)
Other versions
KR100530452B1 (ko
Inventor
야마모토노보루
다케우치겐
가와카미나오야
헤바루도시유키
이시지마마고토
미야타도루
Original Assignee
히다치 겡키 파인테크 가부시키가이샤
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 히다치 겡키 파인테크 가부시키가이샤 filed Critical 히다치 겡키 파인테크 가부시키가이샤
Publication of KR20030074332A publication Critical patent/KR20030074332A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR100530452B1 publication Critical patent/KR100530452B1/ko

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N29/00—Investigating or analysing materials by the use of ultrasonic, sonic or infrasonic waves; Visualisation of the interior of objects by transmitting ultrasonic or sonic waves through the object
    • G01N29/44—Processing the detected response signal, e.g. electronic circuits specially adapted therefor
    • G01N29/4454—Signal recognition, e.g. specific values or portions, signal events, signatures
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N29/00—Investigating or analysing materials by the use of ultrasonic, sonic or infrasonic waves; Visualisation of the interior of objects by transmitting ultrasonic or sonic waves through the object
    • G01N29/04—Analysing solids
    • G01N29/11—Analysing solids by measuring attenuation of acoustic waves
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N29/00—Investigating or analysing materials by the use of ultrasonic, sonic or infrasonic waves; Visualisation of the interior of objects by transmitting ultrasonic or sonic waves through the object
    • G01N29/22—Details, e.g. general constructional or apparatus details
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N29/00—Investigating or analysing materials by the use of ultrasonic, sonic or infrasonic waves; Visualisation of the interior of objects by transmitting ultrasonic or sonic waves through the object
    • G01N29/22—Details, e.g. general constructional or apparatus details
    • G01N29/225—Supports, positioning or alignment in moving situation
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N29/00—Investigating or analysing materials by the use of ultrasonic, sonic or infrasonic waves; Visualisation of the interior of objects by transmitting ultrasonic or sonic waves through the object
    • G01N29/22—Details, e.g. general constructional or apparatus details
    • G01N29/26—Arrangements for orientation or scanning by relative movement of the head and the sensor
    • G01N29/265—Arrangements for orientation or scanning by relative movement of the head and the sensor by moving the sensor relative to a stationary material
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N29/00—Investigating or analysing materials by the use of ultrasonic, sonic or infrasonic waves; Visualisation of the interior of objects by transmitting ultrasonic or sonic waves through the object
    • G01N29/34—Generating the ultrasonic, sonic or infrasonic waves, e.g. electronic circuits specially adapted therefor
    • G01N29/341—Generating the ultrasonic, sonic or infrasonic waves, e.g. electronic circuits specially adapted therefor with time characteristics
    • G01N29/343—Generating the ultrasonic, sonic or infrasonic waves, e.g. electronic circuits specially adapted therefor with time characteristics pulse waves, e.g. particular sequence of pulses, bursts
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N2291/00—Indexing codes associated with group G01N29/00
    • G01N2291/04—Wave modes and trajectories
    • G01N2291/044—Internal reflections (echoes), e.g. on walls or defects

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Acoustics & Sound (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Signal Processing (AREA)
  • Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Ultrasonic Waves (AREA)

Abstract

본 발명에 의한 초음파탐사장치는 시료의 계면정보를 디지털파형 데이터로서 취득하는 장치이다. 임의로 「단위의 측정범위」가 설정된다. 초음파 탐사장치는 제 1 그룹에 속하는 단위 측정범위 또는 제 2 그룹에 속하는 단위 측정범위의 주사상태인 것을 나타내는 주사상태 감시신호에 의하여 제어되는 적어도 2개의 데이터메모리(133, 134)와, 상기 주사상태 감시신호를 적어도 2개의 데이터메모리에 대하여 출력하는 컴퍼레이터 레지스터·메모리제어회로(151)를 구비한다. 주사상태 감시신호에 의하여 2개의 데이터메모리의 동작상태를 디지털파형 데이터의 기록과, 디지털파형 데이터의 판독 및 전송을 교대로 행하도록 제어한다. 디지털식 초음파 탐사 또한 임의의 주사로 특정방향의 주사시의 데이터샘플링에 영향을 미치지 않는 고속 데이터전송방식이 실현된다. 대량 데이터의 전송에 의한 스캐너주사시의 정지시간을 O으로 하고, 고속의 평면주사가 행하여진다.

Description

초음파 탐사장치{ULTRASONIC INSPECTION APPARATUS}
본 발명은 초음파 탐사장치에 관한 것으로, 특히 스캐너에 의한 주사동작에서의 정지시간을 대량 데이터전송을 이용하여 O으로 하는 디지털식 초음파 탐사장치에 관한 것이다.
도 3을 참조하여 종래의 일반적인 아날로그식 초음파 탐사장치를 설명한다. 시료, 즉 피검체(101)는 수조(102)의 물 속에 놓여져 있다. 수조(102)는 측정 스테이지(103)의 위에 설치되어 있다. 수조(102)의 위쪽에 스캐너(104)가 설치되어 있다. 스캐너(104)는 측정 스테이지(103)에 설치되어 있다. 스캐너(104)는 X축 스캐너(105)와 Y축 스캐너(106)와 Z축 스캐너(107)로 구성된다. Z축 스캐너(107)는 하부에 초음파 프로브(108)를 구비한다. 초음파 프로브(108)의 선단은 아래쪽에 있는 시료(101)를 향하고 있다. 스캐너(104)의 주사동작에 관한 축으로서 정의되는 X축과 Y축과 Z축은 서로 직교하고 있다. X축 스캐너(105)와 Y축 스캐너(106)와 Z축 스캐너(107)의 각 동작은 모터 제어기(109)에 의하여 제어된다. 모터 제어기(109)의 제어에 의거하여 스캐너(104)는 X축과 Y축과 Z축의 각각에 대하여 독립하여 주사를 행한다. 스캐너(104)에서의 3개의 축에 관한 각 모터는 인코더(110)를 가진다. X축, Y축, Z축에 대한 각 인코더(110)는 미리 설정된 분해능으로, X축과 Y축과 Z축의 각 위치 좌표를 나타내는 트리거신호를 출력한다.
펄서/리시버회로(111)는 초음파 프로브(108)에 구동용 펄스신호를 송신하고, 또한 초음파 프로브(108)로부터의 반사 에코신호를 수신한다. 아날로그 피크검출부 (detector)(112)는 게이트회로를 통하여 수신한 반사 에코신호로부터 소망계면에 관한 반사 에코신호를 추출하고, 또한 그 피크값을 유지한다. A/D 변환회로(113)는 인코더(110)로부터 출력되는 트리거신호에 연관시키면서 반사 에코신호의 아날로그의 피크값을 디지털값으로 변환한다. 컴퓨터(114)는 CPU(115), 키보드(116), 메인 메모리(117)로 구성된다. 컴퓨터(114)는 모터 제어기(109)를 제어한다. 또 컴퓨터 (114)는 반사 에코신호의 디지털의 피크값을 데이터 버스(118)를 통하여 메인 메모리(117)에 저장하고, 그리고 다시 평면좌표를 따라모니터(119) 위에 피크상을 표시한다. 메인 메모리(17)에 저장된 데이터는 각종 데이타처리에 사용된다. 아울러 펄서/리시버회로(111)는 마찬가지로 또 오실로스코프(120)와 접속되어 있다.
도 3에 나타낸 초음파 탐사장치에서는 X축 스캐너(105)와 Y축 스캐너(106)가 평면주사를 행하는 한편, 초음파 프로브(108)는 펄서/리시버회로(111)로부터 주어지는 구동신호에 의거하여 시료(101)를 향하여 초음파 펄스를 송신한다. 초음파 프로브(108)는 그후 시료(101)로부터 되돌아오는 반사 에코신호를 수신한다. 이 수신된 반사 에코신호를 사용하여 아날로그 피크검출부(112)는 소망 계면부근의 반사 에코신호의 피크값을 유지한다. A/D 변환회로(113)는 인코더(110)로부터 출력되는 위치 트리거신호를 사용하여 데이터 샘플링처리를 행한다. 다음에 컴퓨터(114)는 데이터전송을 거쳐 얻어진 신호에 의거하여 화상을 모니터(119)에 표시한다. 이와 같이 하여 시료(101)내의 소망 계면의 영상이 만들어진다.
X축 스캐너(105)와 Y축 스캐너(106)에 의한 X축 및 Y축에 의한 평면주사에 대해서는 각각 도 2a, 도 2b에 나타내는 2개의 방법이 있다.
도 2a에 나타내는 측정방법은 A/D 변환회로(113)가 왕복주사 중에 인코더 (110)로부터 출력되는 위치 트리거신호에 사용하여 데이터샘플링을 행하는 단계와, 컴퓨터(114)가 얻어진 계면 에코신호의 화상을 모니터(119)에 표시하는 단계를 포함한다. 이와 같이 하여 시료(101)의 소망 계면의 영상이 모니터(119)상에 얻어진다. 이 측정방법은 Y축 스캐너(106)에 의한 Y축 방향의 피드주사가 완료하고, 또한 X축 스캐너(105)에 의한 X축 방향의 복로(復路)주사가 개시하기 전에 A/D 변환회로 (113)로부터 컴퓨터(114)에의 데이터전송을 완료하고, A/D 변환회로(113)가 복로주사시에 데이터 샘플링을 행할 수 있는 것을 요구한다.
도 2b에 나타내는 측정방법은 A/D 변환회로(113)가 X축 방향에 관하여 항상 동일방향의 주사 중에 인코더(110)로부터 출력되는 위치 트리거신호를 사용하여 데이터 샘플링을 행하는 단계, 컴퓨터(114)가 얻어진 계면 에코신호에 의한 화상을 모니터(119)에 표시하는 단계를 포함한다. 이와 같이 하여 시료(101)의 소망 계면의 영상이 모니터(119)상에 얻어진다. 이 측정방법은 Y축 스캐너(106)에 의한 Y축 방향의 피드주사와 X축 스캐너(105)에 의한 X축 방향의 리턴주사가 동시에 행하는 것이 가능하게 되고, 다음 X축의 왕로(往路)주사가 개시되기 전에 A/D 변환회로(113)로부터 컴퓨터(114)에의 데이터전송을 완료하고, A/D 변환회로(113)가 다음 왕로주사시에 데이터 샘플링을 할 수 있는 것을 요구한다.
도 2a의 주사방법에 있어서의 X축 방향의 왕복주사의 횟수는, 도 2b의 주사방법에 있어서의 상기 횟수에 비하여 1/2 이기 때문에, 일반적으로 도 2a에서의 주사시간은 도 2b에서의 주사시간보다도 짧은 것이 알려져 있다.
상기에 설명한 바와 같이, 도 3에 나타낸 아날로그식 초음파 탐사장치는 시료 (101)의 소망 계면의 반사 에코신호의 피크값을 추출하고, 해당 피크값의 영상을 만들 수 있다. 그러나 해당 초음파 탐사장치는 복수 계면의 반사 에코신호의 피크값을 동시에 취득하려고 할 때, 복수의 아날로그 피크검출부를 필요로 한다. 또한 해당 초음파 탐사장치가 복수의 아날로그 피크검출부를 가질 때에는 복수의 검출부사이의 회로특성의 분균일, 각 에코를 확실하게 분리하는 검출 게이트기술의문제가 생긴다.
상기한 문제를 해결하기 위하여 디지털식 초음파 탐사장치가 제안되고 있다. 이 디지털식 초음파 탐사장치는 반사 에코신호를 고속의 A/D 변환기를 사용하여 디지털 데이터로 변환하고, 소망위치의 반사 에코신호에 대한 게이팅이나 피크검출을 디지털적으로 행하여 복수 계면의 정보를 순간에 얻는다는 특성을 가지고 있다.
도 1은 본 발명에 관한 초음파 탐사장치의 대표적 실시형태를 나타내는 블록구성도,
도 2a는 X축 스캐너 및 Y축 스캐너의 2차원 주사와 그 때의 각 디지털파형 데이터의 샘플링위치를 나타내고, 또한 왕복주사의 경우를 나타내는 모의도,
도 2b는 X축 스캐너 및 Y축 스캐너의 2차원 주사와 그 때의 각 디지털파형 데이터의 샘플링위치를 나타내고, 또한 한쪽 방향 주사의 경우를 나타내는 모의도,
도 3은 종래의 아날로그식 초음파 탐사장치의 블록 구성도,
도 4는 종래의 디지털식 초음파 탐사장치의 블록 구성도이다.
도 4는 디지털식 초음파 탐사장치의 일례를 나타낸다. 도 4에 있어서 상기한 아날로그식 초음파 탐사장치와 공통하는 동일한 구성부분에는 설명의 편의상, 동일한 부호가 붙여져 있다. 디지털식 초음파 탐사장치는 아날로그식 초음파 탐사장치의 아날로그 피크검출부(112) 대신에 컴퓨터(114) 내부의 메모리에 피크검출 프로그램(121)을 가지고 있다. 또 A/D 변환회로(113) 대신에 A/D 변환부(122)가 구비되어 있다. A/D 변환부(122)는 A/D 변환회로(122a)와 메모리(122b)로 구성된다.
도 4에 나타낸 디지털식 초음파 탐사장치에서 A/D 변환부(122)는 인코더 (110)로부터 출력되는 위치 트리거신호별로 시료(101)에서의 표면으로부터 바닥면까지의 사이에서 수백 내지 수천 포인트의 파형 데이터를 샘플링한다. 샘플링된 다수의 파형 데이터는 메모리(122b)에 저장된다. 컴퓨터(114)는 메인 메모리(117)에 저장되어 있는 파형 데이터에 대하여 피크검출 프로그램(121)에 의하여 파형의 게이팅이나 소망 계면의 피크값 검출을 행하여 소망 계면의 반사 에코신호의 디지털 피크값을 모니터(119)에 표시한다. 이에 의하여 시료(101)내의 계면의 영상이 만들어진다. 디지털식 초음파 탐사장치에서도 마찬가지로 상기한 도 2a, 도 2b의 2개의 평면주사에 의한 측정방법이 행하여진다.
상기한 바와 같이 아날로그식과 디지털식의 어느 초음파 탐사장치에 있어서, 인코더(110)로부터 출력되는 위치 트리거의 신호에 의거하여 얻어지는 하나하나의 샘플링 데이터는 도 2a, 도 2b에 나타내는 바와 같이 배열된다. 특히 아날로그식 초음파 탐사장치에서는 샘플링위치의 배열에 대응한 위치(X1-1, X1-2, …, Xm-n)에 각각의 해당 위치의 게이트내의 피크검출값, 즉 디지털 피크값이 샘플링된다. 디지털 피크값은 예를 들면 1 바이트의 피크값 데이터이다.
한편 디지털식 초음파 탐사장치에서는 프로그램을 사용하여 피크검출을 행하기 위하여 상기 샘플링위치의 배열에 대응한 위치(X1-1, X1-2, …, Xm-n)에 각각의 해당 위치의 파형의 디지털 데이터, 예를 들면 수백 내지 수천 포인트(예를 들면 단위 : 바이트)의 파형 데이터가 샘플링된다. 이 때문에 디지털식 초음파 탐사장치에서 채취되는 데이터의 수는 아날로그식 초음파 탐사장치에서 채취되는 데이터수의 수백 내지 수천배가 된다. 따라서 디지털식 초음파 탐사장치를 구성할 때에는 특히 도 2a의 경우에 Y축 방향의 피드주사와 X축 방향의 복로주사가 개시되기 전에 A/D 변환부(122)의 메모리(122b)로부터 컴퓨터(114)에의 데이터전송을 완료하고, A/D 변환부 (122)가 복로주사시에 데이터 샘플링을 가능하게 하여 두는 것이 필요하다. 따라서 디지털식 초음파 탐사장치에 있어서, 고속의 데이터 전송방식의 기술이 필수이다.
상기에서는 초음파 탐사장치에 의한 평면주사에서의 문제가 설명되었다. 그러나 문제가 되는 주사는 평면주사에 한정되지 않는다. 초음파 탐사장치에 의한 나선형상의 회전주사 또는 경사(傾斜) 주사 등에 있어서도 상기한 문제는 마찬가지로 생긴다.
본 발명의 목적은 디지털식이고, 예를 들면 왕복식 평면주사에 있어서 주사시의 데이터 샘플링에 영향을 미치지 않는 고속의 데이터 전송방식이 실현되어 대량 데이터를 전송할 수 있고, 그에 의하여 스캐너주사시의 정지시간(데드타임)이 O이 되어, 고속의 주사에 의한 측정이 가능한 초음파 탐사장치를 제공하는 것에 있다.
본 발명에 관한 초음파 탐사장치는 상기의 목적을 달성하기 위하여 이하와 같이 구성된다.
제 1 초음파 탐사장치 : 적어도 2축의 스캐너에 의하여 초음파 프로브로 시료를 주사하면서 초음파 프로브로부터 시료를 향하여 초음파를 송신하고, 또한 시료로부터 되돌아오는 반사 에코신호를 수신한다. 스캐너의 인코더로부터 출력되는 샘플링 위치 트리거별로 A/D 변환부에서 수신한 파형을 디지털파형 데이터로 변환한다. A/D 변환부로부터 출력되는 디지털파형 데이터는 펌퓨터에 전송되어 각종 처리가 행하여진다. 해당 초음파 탐사장치는 다시 미리 주사동작에 대응한 단위 측정범위를 정하고, 복수의 단위 측정범위를 연속하여 주사할 때에 단위 측정범위의 전환마다 변화하는 주사상태 감시신호에 의하여 동작상태가 제어되는 적어도 2개의 데이터 메모리와, 상기 인코더에서의 검출값에 의거하는 트리거신호를 입력하여 단위 측정범위의 전환별로 주사상태 감시신호를 변화시킴과 동시에 이 주사상태 감시신호를 적어도 2개의 데이터 메모리에 대하여 출력하는 메모리제어부를 구비한다. 이상의 구성에 있어서 메모리제어부는 주사상태 감시신호에 의거하여 적어도 2개의 데이터 메모리의 동작상태를 제어하여 A/D 변환부로부터 데이터 메모리에의 디지털파형 데이터의 기록과, 컴퓨터에 의한 데이터 메모리로부터의 디지털파형 데이터의 판독 및 컴퓨터의 메모리에의 전송을 교대로 행하도록 제어를 행한다.
제 2 초음파 탐사장치는, 상기한 제 1 구성에 있어서 바람직하게는 메모리제어부는 단위 측정범위를 주사할 때의 샘플링 위치 좌표에 대응한 인코더로부터 결정되는 위치 트리거의 수를 계수하는 카운터와, 카운터의 계수값과 설정된 단위 측정범위내의 위치 트리거의 수를 비교하여 그 비교 결과가 일치할 때마다 주사상태 감시신호를 변화시키기 위한 신호를 출력하는 컴퍼레이터 레지스터와, 이 컴퍼레이터 레지스터로부터 주어지는 신호에 의거하여 적어도 2개의 데이터 메모리의 동작상태를 제어하는 주사상태 감시신호를 출력하는 메모리제어회로를 구비한다.
제 3 초음파 탐사장치는 상기한 구성에 있어서, 바람직하게는 적어도 2개의 데이터 메모리는 제 1 데이터 메모리와 제 2 데이터 메모리로 이루어지고, 메모리제어부는 제 1 상태와 제 2 상태의 주사상태 감시신호를 출력한다. 주사상태 감시 신호가 제 1 상태에 있을 때, 제 1 데이터 메모리는 기록 가능하게 되고, 또한 제 2 데이터 메모리는 판독 가능하게 되어 A/D 변환부에 의하여 샘플링된 디지털파형 데이터는 연속적으로 제 1 데이터 메모리에 기록되고, 동시에 컴퓨터에 의하여 제2 데이터 메모리로부터 연속적으로 디지털파형 데이터가 판독된다. 주사상태 감시신호가 제 2 상태에 있을 때, 제 1 데이터 메모리는 판독 가능하게 되고, 또한 제 2 데이터 메모리는 기록 가능하게 되어 A/D 변환부에 의하여 샘플링된 디지털파형 데이터는 연속적으로 제 2 데이터 메모리에 기록되고, 동시에 컴퓨터에 의하여 제 1 데이터 메모리로부터 연속적으로 디지털파형 데이터가 판독된다.
제 4 초음파 탐사장치는 상기한 구성에 있어서, 바람직하게는 주사상태 감시신호가 제 1 상태로부터 제 2 상태로 변화한 것에 의하여 기록 가능하게 된 제 2 데이터 메모리는 주사상태 감시신호가 제 1 상태일 때에 기록 가능하게 되어 있던 제 1 데이터 메모리내의 최종 디지털파형 데이터의 다음 디지털파형 데이터로부터 연속하여 데이터기록을 행하고, 제 1 데이터 메모리와 제 2 데이터 메모리 사이의 저장 데이터의 연속성을 유지한다.
제 5 초음파 탐사장치는, 상기의 각 구성에 있어서 바람직하게는 컴퓨터는 적어도 2개의 데이터 메모리로부터 판독된 디지털파형 데이터를 컴퓨터의 메모리상의샘플링 위치 대응의 어드레스번지에 배열하는 수단을 구비한다. 이 수단에 의하여 데이터 메모리로부터 컴퓨터의 메모리상의 어드레스번지에의 데이터전송은 DMA 전송에 의하여 연속적으로 행하여진다.
본 발명에 의한 초음파 탐사장치의 구성에서는 측정으로 얻은 파형 데이터는 디지털방식으로 처리된다. 피검체인 시료로부터 되돌아오는 반사 에코는 초음파 프로브로 수신되어 전기적인 아날로그신호로 변환된다. 해당 아날로그신호는 스캐너의 인코더로부터 출력되는 샘플링 위치 대응의 위치 트리거별로 고속 A/D 변환부를 사용하여 수신신호의 예를 들면 시료 표면으로부터 바닥면까지의 사이의 파형을 수백 내지 수천 포인트의 디지털파형 데이터로 변환(디지타이즈)된다.
본 발명에 관한 디지털식 초음파 탐사장치에서는 변환된 디지털파형 데이터는 데이터 메모리부분에 일시적으로 저장되고, 그후에 컴퓨터의 메모리에 전송되어 기억된다. 데이터 메모리부분은 적어도 2개의 데이터 메모리로 구성된다. 측정주사에서는 수백 내지 수천 포인트의 대량의 디지털파형 데이터를 작성하여 기억하기 때문에 주사동작에 대응한 단위 측정범위를 정하고, 메모리제어부에 의한 전환동작에 의거하여 파형 데이터를 기억하는 데이터 메모리를 선택하여 일시적으로 기억한다. 이에 의하여 측정주사, A/D 변환부에 의한 파형 데이터의 샘플링 및 컴퓨터에 의한 데이터 메모리로부터 컴퓨터측 메모리에의 디지털파형 데이터의 전송동작은 정지하는 일 없이 연속하여 행할 수 있다. 따라서 데이터 전송의 손실시간을 없애는 것이 가능하게 된다.
본 발명에 관한 초음파 탐사장치에서의 시료 주사가 대표적인 XY 평면에 관한 평면주사인 경우에는 X축 스캐너와 Y축 스캐너에 의한 2차원 주사가 행하여진다. 2차원 주사 중에 있어서, A/D 변환부에 의한 파형 데이터의 샘플링 및 컴퓨터에 의한 데이터 메모리로부터 컴퓨터측 메모리에의 디지털파형 데이터의 전송동작은 정지하는 일 없이 연속하여 행할 수 있다. 이 경우에는 제 1 라인째의 X축 스캐너에 의한 X축 방향의 주사동작과 그 후의 Y축 스캐너에 의한 Y축 방향의 이송동작이 완료한 후에 제 1 라인째의 디지털 파형 데이터의 전송의 종료를 기다리지 않고, 제 2 라인째의 X축 방향의 주사 및 그 후의 Y축 방향의 피드가 가능하게 되어데이터 전송의 손실시간을 없앨 수 있다.
XY 평면에 관한 평면주사의 경우에는 상기한 「단위의 측정범위」는, 예를 들면 X축 방향의 1 라인분이다. 이 경우에는 홀수번의 1 라인 주사분이 홀수번의 측정범위가 되고, 짝수번의 1 라인 주사분이 짝수번의 측정범위가 된다. 주사상태 감시신호에서의 2개의 신호상태의 변화는 홀수번의 측정범위로부터 짝수번의 측정범위로부터의 변화 또는 짝수번의 측정범위로부터 홀수번의 측정범위로부터의 변화에 따라서 생기게 된다.
이하에 본 발명의 적합한 실시형태를 첨부 도면에 의거하여 설명한다. 도 1과 도 2a를 참조하여 본 발명의 대표적 실시형태를 설명한다. 본 실시형태는 디지털식 초음파 탐사장치의 구성을 나타낸다. 이 장치에서는 X축 스캐너 및 Y축 스캐너는 왕복식의 2차원 주사, 즉 평면주사를 행한다. 즉, 이 실시예는 X축과 Y축으로 정의되는 평면(XY 평면)을 주사하여 측정하는 예에 대하여 설명한다. 도 1에 나타낸 요소에 대하여 상기한 도 3 및 도 4에서 설명한 요소와 동일한 요소에는 동일한 부호를 붙이고 있다.
도 1을 참조하여 구성을 설명한다. 시료(101)는 수조(1O2)내의 수중에 놓여진다. 수조(102)에 대하여 스캐너(104)가 배치된다. 수조(102)는 측정 스테이지 (대좌)(103) 위에 놓여진다. 스캐너(104)는 측정 스테이지(103)에 설치된다. 스캐너(104)는 X축 방향의 주사를 행하는 X축 스캐너(105)와, Y축 방향의 주사를 행하는 Y축 스캐너(106)와, Z축 방향의 이동을 행하는 Z축 스캐너(107)로 구성된다. Z축 스캐너(107)의 하부에 초음파 프로브(초음파 센서)(108)가 설치되어 있다. 초음파 프로브(108)의 선단은 시료(101)를 향하고 있다. 스캐너(104)에 의한 주사축인 X축과 Y축과 Z축의 3축은 서로 직교하고 있다. 스캐너(104)의 X축 스캐너(105)와 Y축 스캐너(106)와 Z축 스캐너(107)의 각 동작은 모터 제어기(109)에 의하여 제어된다. 모터 제어기(109)에 의하여 3축에 대하여 독립된 직교 주사가 행하여진다. 3축의 각각의 모터에는 인코더(110)가 부설되어 있다. X, Y, Z의 각 축에 관한 인코더 (110)에 의하여 상기 3축의 개개의 위치 좌표에 대응한 위치 트리거의 신호가 출력된다. 이 인코더(110)에 대하여 카운터(131)가 설치된다. 펄서/리시버회로(111)는 초음파 프로브(108)에의 초음파 펄스용 구동신호의 송신과 초음파 프로브(108)로부터의 반사 에코신호의 수신을 행한다. 수신된 반사 에코신호는 A/D 변환부(132)에 입력된다. A/D 변환부(132)는 A/D 변환회로(132a)와 메모리(132b)로 구성된다. A/D 변환부(132)의 메모리(132b)에 대하여 다시 적어도 2개의 데이터 메모리(133, 134)가 부설되어 있다. 데이터 메모리의 수는 바람직하게는 2개이나, 2개로 한정되는 것은 아니다. 데이터 메모리(133, 134)에는 샘플링되고, 또한 디지털화된 파형 데이터가 저장된다. 데이터 메모리(133, 134)의 기억용량은 뒤에서 설명하는 바와 같은 단위가 되는 측정범위(뒤에서 설명하는 바와 같은 예를 들면 X축 방향의 1주사 라인분의 측정범위)에 따라 결정된다.
컴퓨터(140)는 CPU(141), 키보드(142), 메인 메모리(143)를 구비한다. 컴퓨터(140)에는 모니터(144)가 부설된다. 또한 컴퓨터(140)는 컴퍼레이터 레지스터·메모리제어회로(151)를 구비한다. 컴퍼레이터 레지스터·메모리제어회로(151)는 카운터(131)로부터의 출력신호(계수값에 관한 신호)를 입력하여 데이터메모리(133, 134)에 대하여 출력되는 주사상태 감시신호에 의거하여 해당 데이터 메모리(133, 134)의 동작상태를 제어한다. 저장 데이터의 CPU(141)에의 전송을 제어한다. 컴퓨터(140)에서 그 내부 메모리는 피크검출 프로그램을 구비한다. 피크검출 프로그램은 CPU(141)에서 실행되고, 그에 의하여 피크검출부를 형성한다. 컴퓨터(140)는 모터 제어기(109), 카운터(131), 컴퍼레이터 레지스터·메모리제어회로(151)의 각 동작을 제어한다. 컴퓨터(140)로부터 컴퍼레이터 레지스터·메모리제어회로(151)에 대해서는 미리 설정된 단위의 측정범위내의 위치 트리거의 수에 관한 데이터가 주어진다. 또 상기 카운터(131)는 단위의 측정범위를 주사할 때의 샘플링 위치 좌표에 대응한 상기 인코더(110)로부터 결정되는 위치 트리거의 수를 계수한다.
컴퍼레이터 레지스터·메모리제어회로(151)는 카운터(131)의 계수값과, 설정된 단위의 측정범위내의 위치 트리거의 수를 비교한다. 컴퍼레이터 레지스터·메모리제어회로(151)는 양자의 비교결과가 일치할 때마다 상기 주사상태 감시신호를 2개의 데이터 메모리(133, 134)에 대하여 출력한다. 주사상태 감시신호는 일례로서는 1 주사 라인의 예를 들면 1배(일반적으로 정수배)를 「단위의 측정범위」로 하고, 복수의 측정범위를 연속하여 주사할 때에 홀수번의 측정범위(일반적으로는 제 1 그룹에 속하는 측정범위) 또는 짝수번의 측정범위(일반적으로는 제 2 그룹에 속하는 측정범위)의 주사상태인 것을 나타내는 신호이다.
컴퍼레이터 레지스터·메모리제어회로(151)는 더욱 상세하게는 컴퍼레이터 레지스터(151a)와 메모리제어회로(151b)로 구성된다. 컴퍼레이터 레지스터(151a)는 카운터(131)의 계수값과, 설정된 단위의 측정범위내의 위치 트리거의 수를 비교하여 그 비교결과가 일치할 때에 메모리제어회로(151b)에 대하여 일치신호를 제공한다. 메모리제어회로(151b)는 컴퍼레이터 레지스터(151A)로부터의 일치신호에 의거하여, 2개의 데이터 메모리(133, 134)의 동작상태를 고려하여 2개의 데이터 메모리(133, 134)의 동작상태를 결정하는 주사상태 감시신호를 데이터 메모리(133, 134)에 대하여 출력한다. 주사상태 감시신호에 의하여 2개의 데이터 메모리(133, 134)의 동작상태가 전환된다. 상기한 카운터, 컴퍼레이터 레지스터, 메모리제어회로에 의하여 데이터 메모리(133, 134)의 동작상태를 제어하는 메모리제어수단이 구성된다.
다음에 상기 구성을 가지는 디지털식 초음파 탐사장치의 동작시의 시퀀스를 설명한다. 이 실시형태에서는 상기한 「단위의 측정범위」는 일례로서 X축 방향의 1 주사 라인분으로 한다.
초음파 프로브(108)는 시료(101)의 내부 계면(시료 내부의 XY 평면)을 향하여 펄스형상의 초음파를 송신하고, 또한 시료(101)로부터의 반사 에코를 수신하면서 X축 방향의 주사에 따라 X1-1로부터 X1-n까지 이동한다(왼쪽으로부터 오른쪽으로의 주사). 그 사이에 인코더(110)는 미리 설정된 샘플링 위치(X1-1, X1-2,X1-3,…, X1-n)의 각각에 있어서 위치 트리거신호를 출력한다. 이 위치 트리거별로 A/D 변환부(1 32)는 예를 들면 시료 표면으로부터 바닥면까지의 사이의 파형 데이터[예를 들면 1000포인트(단위 : 바이트)의 데이터]를 샘플링한다. 이 결과 X1-1로부터 X1-n(n = 위치 트리거의 수, 예를 들면 n = 1000)까지의 1 라인 주사가 종료한 시점의 샘플링된 파형 데이터의 총데이터 점수는 파형 데이터수 ×n = 1OOO × 1OOO = 1 메가바이트가 된다. 이것은 아날로그식 초음파 탐사장치가 동일한 조건으로 상기 샘플링 위치에서 피크값 검출로 얻은 피크값을 샘플링하였을 때의 데이터수보다 1000배나 많다.
상기한 1라인의 주사 및 파형 데이터의 샘플링과 연동하여 컴퍼레이터 레지스터·메모리제어회로(151)는 제 1 라인째의 파형 데이터를 측정 중이므로, 주사상태 감시신호로서, 데이터 메모리(133)에 라이트 이네이블의 신호를 출력하여 A/D 변환부(132)로부터의 디지털파형 데이터의 기록을 허가하고, 동시에 데이터 메모리 (134)에 리드 이네이블의 신호를 출력하여 컴퓨터(140)로부터의 데이터 판독 및 메인 메모리(143)에의 전송을 허가한다. A/D 변환부(132)는 변환한 디지털파형 데이터를 연속하여 데이터 메모리(133)에 기록한다. 이때 제 1 라인째를 측정 중이기 때문에 데이터 메모리(134)에는 원하는 파형 데이터가 저장되어 있지 않으므로 컴퓨터(140)는 데이터 메모리(134)로부터의 디지털파형 데이터의 판독을 행하지 않는다.
다음에 스캐너부(104)의 Y축 스캐너(106)에 의하여 X1-1와 X1-2사이의 거리에 상당하는 피치(Y1)만큼의 피드동작의 종료를 기다리고 나서, X축 스캐너(1O5)는 X1-n으로부터 X1-1의 방향을 향하여 X2-n,X2-(n-1),X2-(n-2), …,X2-1의 샘플링 위치를 통과하면서 리턴 주사를 행한다(오른쪽에서 왼쪽으로의 주사).
이때 컴퍼레이터 레지스터·메모리제어회로(151)는 Y축 스캐너(106)가 피치 (Y1)의 이송주사 개시의 시점으로부터 X축 방향의 제 2 라인째의 파형 데이터를 측정 중인 것으로 하여, 주사상태 감시신호로서는 데이터 메모리(134)에 라이트 이네이블의 신호를 출력하여 A/D 변환부(132)로부터의 디지털파형 데이터의 기록을 허가하고, 동시에 데이터 메모리(133)에 리드 이네이블의 신호를 출력하여 컴퓨터(140)에 의한 데이터 판독 및 메인 메모리(143)에의 데이터 전송을 허가한다. A/D 변환부(132)는 X2-n,X2-(n-1),X2-(n-2), …,X2-1의 순서로 통과한 샘플링 위치에서 채취한 제 2 라인째의 파형 데이터를 연속하여 데이터 메모리(134)에 기록하고, 동시에 컴퓨터(140)는 데이터 메모리(133)로부터 제 1 라인째의 디지털파형 데이터를 연속하여 판독한다. 데이터 전송의 고속화를 위하여 컴퓨터(140)는 메인 메모리(143)상의 어드레스번지에 DMA 전송(DIRECT MEMORY ACCESS TRANSFER)에 의하여 디지털파형 데이터를 배열하는 기능부를 가진다.
다음에 Y축 스캐너(106)에 의한 피치(Y2)의 피드가 완료한 후, X축 스캐너 (105)는 제 3 라인째에서 다시 상기한 X1-1로부터 X1-n의 방향(왼쪽으로부터 오른쪽으로의 주사)과 마찬가지로 X3-1,X3-2, …,X3-n의 샘플링 위치를 통과하면서 주사를 행한다. 컴퍼레이터 레지스터·메모리제어회로(151)는 Y축 스캐너(106)가 피치(Y2)의 피드주사 개시의 시점으로부터 제 3 라인째의 파형 데이터를 측정 중인 것으로 하여 주사상태 감시신호로서는 데이터 메모리(133)에 기록 가능한 신호를 출력하여A/D 변환부(132)로부터의 데이터 기록을 허가하고, 동시에 데이터 메모리(134)에 판독 가능한 신호를 출력하여 컴퓨터(140)에 의한 데이터 판독을 허가한다. A/D 변환부 (132)는 X3-1,X3-2,…,X3-n의 순서로 통과한 샘플링 위치에서 채취한 제 3 라인째의 디지털파형 데이터를 다시 연속적으로 데이터 메모리(133)에 기록하고, 동시에 컴퓨터(140)는 데이터 메모리(134)로부터 제 2 라인째의 파형 데이터를 연속적으로 판독하여 컴퓨터(140)의 메인 메모리(143)상의 제 2 라인째의 어드레스번지에 DMA 전송으로 디지털파형 데이터를 배열한다.
이상과 같이 본 실시형태에 관한 디지털식 초음파 탐사장치는 X축, Y축의 홀수라인과 짝수라인의 각각의 주사와 연동하여 데이터 메모리(133, 134)는 교대로 리드/라이트가 가능하게 되어, 측정 중에 디지털파형 데이터의 도입에 의한 X축 스캐너(105) 및 Y축 스캐너(106)의 정지는 없다. 이와 같이 하여 중단하는 일 없이 연속적으로 디지털파형 데이터의 기록과 판독을 행할 수 있어, 최종 라인인 Xm-1,Xm-2,Xm-3, …,Xm-n의 디지털파형 데이터가 컴퓨터(140)의 메인 메모리(143)상의 제 n 라인째의 어드레스번지에 배열 완료까지 상기 시퀀스가 반복되어 디지털파형 데이터의 전송에 관하여 고속의 데이터 전송이 실현된다.
상기 실시형태에 의한 디지털파형 데이터의 보존 및 전송은 도 2b에 의한 주사방법에도 적용할 수 있다. 데이터 메모리(133, 134)의 기억용량은 단위의 측정범위에서 결정되는 디지털파형 데이터량에 의존하여 결정된다. 또 단위의 측정범위는 각 1주사 라인에 한정할 필요는 없고, 디지털파형 데이터의 취득에 따른 해당데이터의 보존 및 컴퓨터의 메인 메모리에의 전송을 행함에 있어서 주사동작을 정지시키는 일 없이 측정을 행할 수 있는 것이면, 임의로 설정할 수 있다.
상기 실시형태에서는 CPU(141)가 피크검출 프로그램을 실행하고 있으나, 피크검출를 행하는 처리를 다른 CPU나 DSP에 처리시켜 CPU(141)의 부담을 경감하도록 할 수도 있다.
또한 상기 실시형태에서는 파형 데이터를 샘플링하는 위치 트리거의 수를 카운트하여 주사상태 감시신호를 전환하여 메모리를 제어하고 있으나, 예를 들면 Y축방향의 스캔에 연동한 트리거와 같이 상기 위치 트리거와는 다른 트리거신호를 사용하여도 좋다.
상기한 실시형태에서는 XY 평면에 관한 평면주사의 예를 설명하였으나, 주사는 평면주사에 한정되지 않는다. 나선형상의 회전주사나, 3차원에 있어서의 경사 주사 등에도 본 발명을 적용할 수 있다. 또한 평면주사이더라도 XZ 평면이나 YZ 평면에 있어서의 주사에도 본 발명을 적용할 수 있다. 또 「단위의 측정범위」에 대해서는 주사라인별로가 아니라, 미리 주사동작에 대응시킴으로써 임의로 설정할 수 있다.
본 발명은 측정으로 얻어지는 파형 데이터의 처리가 디지털방식인 초음파 탐사장치에서 예를 들면 X축 스캐너나 Y축 스캐너 등과 같은 적어도 2축의 스캐너에 의거하는 주사 중에 A/D 변환부에 의하여 샘플링한 디지털파형 데이터의 데이터 메모리에의 기록 및 컴퓨터에 의한 디지털파형 데이터를 판독 및 컴퓨터의 메인 메모리에의 데이터전송을 적어도 2개의 데이터 메모리를 이용하여 전환하면서 행한다. 따라서 제 1 단위의 측정범위의 제 1 스캐너의 주사, 그 후의 다른 방향의 피드, 그리고 제 2 단위의 측정범위의 제 1 스캐너의 주사와 그 후 다른 방향의 피드의 반복을 중단하는 일 없이 연속적으로 행할 수 있다. 또 디지털파형 데이터의 전송의 종료를 기다리지 않고 다음으로부터 다음으로 주사를 계속할 수 있어 스캐너에 의한 대기시간을 없애어 고속의 초음파 탐사를 행할 수 있다.
본 개시는 2002년 3월 11일에 출원된 일본국 특허출원 제2002-65909호에 포함되는 주제에 관한 것으로, 그 개시내용은 명확하게 그 전체를 참조함으로써 여기에 포함되어 있다.

Claims (5)

  1. 적어도 2축의 스캐너에 의하여 초음파 프로브로 시료를 주사하면서 상기 초음파 프로브로부터 상기 시료를 향하여 초음파를 송신하고, 또한 상기 시료로부터 되돌아오는 반사 에코를 수신하여 상기 스캐너의 인코더로부터 출력되는 샘플링 위치 트리거별로 A/D 변환수단으로 수신한 파형을 디지털파형 데이터로 변환하고,
    상기 A/D 변환수단으로부터 상기 디지털파형 데이터를 컴퓨터에 전송하여 각종 처리를 행하는 초음파 탐사장치이고, 또한
    미리 주사동작에 대응한 단위 측정범위를 정하고, 복수의 상기 단위 측정범위를 연속하여 주사할 때에 상기 단위 측정범위의 전환때마다 변화하는 주사상태 감시신호에 의하여 동작상태가 제어되는 적어도 2개의 데이터 메모리와,
    상기 인코더에서의 검출값에 의거하는 트리거신호를 입력하여 상기 단위 측정범위의 전환때마다 상기 주사상태 감시신호를 변화시켜 이 주사상태 감시신호를 상기 적어도 2개의 데이터 메모리에 대하여 출력하는 메모리제어수단으로 구성되고,
    상기에서 상기 메모리제어수단은 상기 주사상태 감시신호에 의거하여 상기 적어도 2개의 데이터 메모리의 동작상태를 제어하여 상기 A/D 변환수단으로부터 상기 데이터 메모리에의 상기 디지털파형 데이터의 기록과, 상기 컴퓨터에 의한 상기 데이터 메모리로부터의 상기 디지털파형 데이터의 판독 및 상기 컴퓨터의 메모리에의 전송을 교대로 행하도록 제어하는 것을 특징으로 하는 초음파 탐사장치.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 메모리제어수단은, 상기 단위 측정범위를 주사할 때의 샘플링 위치 좌표에 대응한 상기 인코더로부터 결정되는 상기 위치 트리거의 수를 계수하는 카운터와, 상기 카운터의 계수값과 설정된 상기 단위 측정범위내의 위치 트리거의 수를 비교하여 그 비교결과가 일치할 때마다 상기 주사상태 감시신호를 변화시키기 위한 신호를 출력하는 컴퍼레이터 레지스터와, 상기 컴퍼레이터 레지스터로부터 주어지는 상기 신호에 의거하여 상기 적어도 2개의 데이터 메모리의 동작상태를 제어하는 상기 주사상태 감시신호를 출력하는 메모리제어회로를 구비하는 것을 특징으로 하는 초음파 탐사장치.
  3. 제 1항 또는 제 2항에 있어서,
    상기 적어도 2개의 데이터 메모리는 제 1 데이터 메모리와 제 2 데이터 메모리로 이루어지고, 상기 메모리제어수단은 제 1 상태와 제 2 상태의 상기 주사상태 감시신호를 출력하고, 상기 주사상태 감시신호가 제 1 상태에 있을 때, 상기 제 1 데이터 메모리는 기록 가능하게 되고, 또한 상기 제 2 데이터 메모리는 판독 가능하게 되고, 상기 A/D 변환수단에 의하여 샘플링된 디지털파형 데이터는 연속적으로 상기 제 1 데이터 메모리에 기록되고, 동시에 상기 컴퓨터에 의하여 상기 제 2 데이터메모리로부터 연속적으로 디지털파형 데이터가 판독되고,
    상기 주사상태 감시신호가 제 2 상태에 있을 때, 상기 제 1 데이터 메모리는판독 가능하게 되고, 또한 상기 제 2 데이터 메모리는 기록 가능하게 되고, 상기 A/D 변환수단에 의하여 샘플링된 디지털파형 데이터는 연속적으로 상기 제 2 데이터 메모리에 기록되고, 동시에 상기 컴퓨터에 의하여 상기 제 1 데이터 메모리로부터 연속적으로 디지털파형 데이터가 판독되는 것을 특징으로 하는 초음파 탐사장치.
  4. 제 3항에 있어서,
    상기 주사상태 감시신호가 제 1 상태로부터 제 2 상태로 변화한 것에 의하여 기록 가능하게 된 상기 제 2 데이터 메모리는, 상기 주사상태 감시신호가 제 1 상태일 때에 기록 가능하게 되어 있던 상기 제 1 데이터 메모리내의 최종 디지털파형 데이터의 다음 디지털파형 데이터로부터 연속하여 데이터기록을 행하고, 상기 제 1 데이터메모리와 상기 제 2 데이터메모리 사이의 입력 데이터의 연속성을 유지하도록 한 것을 특징으로 하는 초음파 탐사장치.
  5. 제 1항 내지 제 4항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 컴퓨터는 상기 적어도 2개의 데이터 메모리로부터 판독한 상기 디지털파형 데이터를 상기 컴퓨터의 메모리상의 샘플링 위치 대응의 어드레스번지에 배열하는 수단을 구비하고, 상기 데이터 메모리로부터 상기 컴퓨터의 메모리상의 어드레스번지에의 데이터전송은 DMA전송에 의하여 연속적으로 행하여지는 것을 특징으로 하는 초음파 탐사장치.
KR10-2003-0014680A 2002-03-11 2003-03-10 초음파 탐사장치 KR100530452B1 (ko)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2002065909A JP2003262624A (ja) 2002-03-11 2002-03-11 超音波探査装置
JPJP-P-2002-00065909 2002-03-11

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20030074332A true KR20030074332A (ko) 2003-09-19
KR100530452B1 KR100530452B1 (ko) 2005-11-22

Family

ID=27784978

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR10-2003-0014680A KR100530452B1 (ko) 2002-03-11 2003-03-10 초음파 탐사장치

Country Status (3)

Country Link
US (1) US6698291B2 (ko)
JP (1) JP2003262624A (ko)
KR (1) KR100530452B1 (ko)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20180031818A (ko) * 2013-10-02 2018-03-28 야마하 파인 테크 가부시키가이샤 밀봉 팩 제품의 검사 장치 및 검사 방법

Families Citing this family (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7003684B2 (en) * 2002-03-27 2006-02-21 Via Technologies, Inc. Memory control chip, control method and control circuit
US7415882B2 (en) * 2005-12-19 2008-08-26 The Boeing Company Methods and systems for inspection of composite assemblies
US7921575B2 (en) * 2007-12-27 2011-04-12 General Electric Company Method and system for integrating ultrasound inspection (UT) with a coordinate measuring machine (CMM)
WO2012117088A1 (de) * 2011-03-03 2012-09-07 Institut für Akustomikroskopie Dr. Krämer GmbH Vorrichtung zur zerstörungsfreien inspektion des inneren von bauteilen
US8770029B2 (en) * 2011-10-04 2014-07-08 General Electric Company Method and apparatus for ultrasonic testing
CN102357036A (zh) * 2011-11-01 2012-02-22 东南大学 差频超声纵向力磁声电效应检测与成像系统的测试台
US9739517B2 (en) 2015-08-21 2017-08-22 Haier Us Appliance Solutions, Inc. Controlling the operation of a dispenser system
EP3798629B1 (en) * 2019-09-24 2024-10-23 Kabushiki Kaisha Toshiba Processing system, processing method, and storage medium
US11170495B2 (en) * 2019-10-21 2021-11-09 The Boeing Company Scanning apparatus and method of scanning
KR102301420B1 (ko) * 2020-11-25 2021-09-10 부경대학교 산학협력단 초음파 스캔 영상 정보 생성 장치 및 방법

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4398540A (en) * 1979-11-05 1983-08-16 Tokyo Shibaura Denki Kabushiki Kaisha Compound mode ultrasound diagnosis apparatus
US4959998A (en) * 1986-04-11 1990-10-02 Kabushiki Kaisha Toshiba Ultrasonic imaging apparatus
US5337289A (en) * 1993-07-16 1994-08-09 The United States Of America As Represented By The Department Of Energy Phased-array ultrasonic surface contour mapping system and method for solids hoppers and the like
JP2000285016A (ja) * 1999-03-30 2000-10-13 Sanyo Electric Co Ltd メモリ制御回路

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20180031818A (ko) * 2013-10-02 2018-03-28 야마하 파인 테크 가부시키가이샤 밀봉 팩 제품의 검사 장치 및 검사 방법

Also Published As

Publication number Publication date
KR100530452B1 (ko) 2005-11-22
US6698291B2 (en) 2004-03-02
JP2003262624A (ja) 2003-09-19
US20030167849A1 (en) 2003-09-11

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR100530452B1 (ko) 초음파 탐사장치
US5533401A (en) Multizone ultrasonic inspection method and apparatus
US4803638A (en) Ultrasonic signal processing system including a flaw gate
US3981184A (en) Ultrasonic diagnostic inspection systems
JP6538568B2 (ja) 超音波アレイを使用した全行列取得のための合成データ収集方法
CA2640462A1 (en) System and method for ultrasonic testing
KR0171606B1 (ko) 초음파 영상검사장치
US5750895A (en) Method and apparatus for dual amplitude dual time-of-flight ultrasonic imaging
US4205554A (en) Supersonic fault detection apparatus
JP3514553B2 (ja) 超音波診断装置
CN2927050Y (zh) 超声相控阵检测仪器
Morita et al. Proposal of an ultrasonic sensor array with flexible and scalable organization
JP2624749B2 (ja) 超音波探傷装置
CN112213394A (zh) 一种复合材料的综合检测方法及系统
Waszak et al. Three-dimensional ultrasonic imaging employing a time-domain synthetic aperture focusing technique
JP2002360566A (ja) 超音波診断装置
JP2512463B2 (ja) 超音波探触子の音場特性測定装置
JP2625465B2 (ja) 超音波探傷装置
JPS6080761A (ja) 超音波診断装置
Tarpara et al. Ultrasonic camera: a matrix-based real-time ultrasonic imaging system for immersion applications
JP2953075B2 (ja) 探針で試料近傍を走査して得たデータを画像表示する顕微鏡及びその像測定法
SU1705734A1 (ru) Сканирующий акустический микроскоп
RU2022364C1 (ru) Цифроаналоговая система для регистрации и обработки информации
JP3040051B2 (ja) 超音波映像検査装置
Gong et al. Ultrasonic Imaging System Based on Virtual Instrument

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
LAPS Lapse due to unpaid annual fee