KR102618825B1 - Air lock device and control system for prevent gas leaking in bays - Google Patents

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Abstract

베이 내 가스 누출 방지를 위한 에어락 제어 시스템이 제공된다. 에어락 제어 시스템은, 제1 베이 및 제2 베이 사이에서 웨이퍼가 수납된 캐리어를 이송하는 이송체, 제1 베이 및 제2 베이를 연결하며 이송체가 주행하는 주행로, 제1 베이 및 제2 베이를 연결하며 주행로를 둘러싸면서 주행로를 따라 배치되는 에어락부, 에어락부 내의 공기를 배기하는 배기부, 에어락부와 제1 베이를 연결하는 제1 입구를 개폐하는 제1 문, 에어락부와 제2 베이를 연결하는 제2 입구를 개폐하는 제2 문, 제1 베이에 위치한 제1 압력 감지 센서, 제2 베이에 위치한 제2 압력 감지 센서, 에어락부 내에 위치한 제3 압력 감지 센서, 제1 베이에 위치한 제1 동작 감지 센서, 및 제1 압력 감지 센서, 제2 압력 감지 센서, 제3 압력 감지 센서 및 제1 동작 감지 센서를 통해 압력 및 동작을 감지하여, 제1 문, 제2 문 및 배기부를 제어하는 에어락 제어 장치를 포함한다.An airlock control system is provided to prevent gas leakage within the bay. The airlock control system includes a transporter that transports a carrier containing wafers between the first bay and the second bay, a travel path that connects the first bay and the second bay and along which the transporter travels, and the first bay and the second bay. an airlock unit arranged along the travel route and surrounding the travel route, an exhaust unit that exhausts the air in the airlock unit, a first door that opens and closes the first entrance connecting the airlock unit and the first bay, the airlock unit and the first bay. A second door that opens and closes the second entrance connecting the two bays, a first pressure sensor located in the first bay, a second pressure sensor located in the second bay, a third pressure sensor located in the airlock, and the first bay By detecting pressure and motion through a first motion detection sensor, and a first pressure detection sensor, a second pressure detection sensor, a third pressure detection sensor, and a first motion detection sensor, the first door, the second door, and the exhaust It includes an airlock control device that controls the unit.

Description

베이 내 가스 누출 방지를 위한 에어락 장치 및 제어 시스템{Air lock device and control system for prevent gas leaking in bays}Air lock device and control system for prevent gas leaking in bays}

본 발명은 베이 내의 가스 누출 방지를 위한 에어락 장치 및 제어 시스템에 관한 것이다.The present invention relates to an airlock device and control system for preventing gas leakage in a bay.

반도체, 예를 들어, 플래시 메모리를 제조하는 공정에는 비소(As)를 사용하는 공정이 포함되어 있어 안전 사고 예방을 위해 기류의 완벽한 차단이 필요하다.The process of manufacturing semiconductors, for example, flash memory, includes a process using arsenic (As), so complete blocking of airflow is necessary to prevent safety accidents.

가스 누출을 막기 위한 기존의 기술은 차폐막을 이용하여 베이(bay)를 닫혀진 공간으로 만드는 것이다. 하지만, 웨이퍼가 수납된 이송체가 이동하는 레일이 설치된 경우, 이송체는 레일을 통하여 베이들 사이를 이동할 수 있다. 레일과 이송체는 베이를 통과하므로 오픈된 영역이 생길 수밖에 없고, 베이를 밀폐된 공간으로 만들 수 없다.The existing technology to prevent gas leaks is to use a shield to make the bay a closed space. However, when a rail along which a transfer body containing wafers moves is installed, the transfer body can move between bays through the rail. Since the rail and conveyor pass through the bay, an open area is bound to be created, and the bay cannot be made into an enclosed space.

따라서, 베이와 베이 사이를 연결하는 레일과 이송체가 존재하면서도 가스의 누출을 방지할 수 있는 기술이 필요하다.Therefore, there is a need for a technology that can prevent gas leakage while the rails and conveyors connecting the bays exist.

본 발명이 해결하고자 하는 기술적 과제는 베이의 가스 누출을 방지하는 에어락 제어 시스템을 제공하는 것이다.The technical problem to be solved by the present invention is to provide an airlock control system that prevents gas leakage in the bay.

본 발명이 해결하고자 하는 다른 기술적 과제는 베이의 가스 누출을 방지하는 에어락 장치를 제공하는 것이다.Another technical problem to be solved by the present invention is to provide an airlock device that prevents gas leakage in the bay.

본 발명의 기술적 과제들은 이상에서 언급한 기술적 과제로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 기술적 과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.The technical problems of the present invention are not limited to the technical problems mentioned above, and other technical problems not mentioned will be clearly understood by those skilled in the art from the description below.

상기 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명의 몇몇 실시예에 따른 에어락 제어 시스템은, 제1 베이 및 제2 베이 사이에서 웨이퍼가 수납된 캐리어를 이송하는 이송체, 제1 베이 및 제2 베이를 연결하며 이송체가 주행하는 주행로, 제1 베이 및 제2 베이를 연결하며 주행로를 둘러싸면서 주행로를 따라 배치되는 에어락부, 에어락부 내의 공기를 배기하는 배기부, 에어락부와 제1 베이를 연결하는 제1 입구를 개폐하는 제1 문, 에어락부와 제2 베이를 연결하는 제2 입구를 개폐하는 제2 문, 제1 베이에 위치한 제1 압력 감지 센서, 제2 베이에 위치한 제2 압력 감지 센서, 에어락부 내에 위치한 제3 압력 감지 센서, 제1 베이에 위치한 제1 동작 감지 센서, 및 제1 압력 감지 센서, 제2 압력 감지 센서, 제3 압력 감지 센서 및 제1 동작 감지 센서를 통해 압력 및 동작을 감지하여, 제1 문, 제2 문 및 배기부를 제어하는 에어락 제어 장치를 포함한다.An airlock control system according to some embodiments of the present invention for achieving the above technical problem includes a transporter for transporting a carrier containing a wafer between the first bay and the second bay, and connecting the first bay and the second bay. It connects the travel path along which the transport vehicle travels, the first bay and the second bay, and surrounds the travel path and is arranged along the travel path. An exhaust part that exhausts the air in the airlock portion connects the airlock portion and the first bay. A first door that opens and closes the first entrance, a second door that opens and closes the second entrance connecting the airlock and the second bay, a first pressure sensor located in the first bay, and a second pressure sensor located in the second bay. pressure through a sensor, a third pressure sensor located in the airlock unit, a first motion sensor located in the first bay, and a first pressure sensor, a second pressure sensor, a third pressure sensor, and a first motion sensor. and an airlock control device that detects motion and controls the first door, the second door, and the exhaust unit.

상기 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명의 몇몇 실시예에 따른 에어락 장치는 제1 베이 및 상기 제2 베이 사이에서 웨이퍼가 수납된 캐리어를 이송하는 이송체, 제1 베이 및 제2 베이를 연결하며 이송체가 주행하는 주행로, 제1 베이 및 제2 베이를 연결하며 주행로를 둘러싸면서 주행로를 따라 배치되는 에어락부, 및 에어락부 내의 공기를 배기하는 배기부를 포함하고, 배기부는 에어락부 내의 압력을 제1 베이 및 제2 베이의 압력보다 낮게 하도록 구성된다.An airlock device according to some embodiments of the present invention for achieving the above technical problem includes a transporter for transporting a carrier containing a wafer between the first bay and the second bay, and connecting the first bay and the second bay. It includes a travel path along which the transport body travels, an airlock portion connecting the first bay and the second bay, surrounding the travel path, and disposed along the travel path, and an exhaust portion that exhausts air in the airlock portion, and the exhaust portion pressures the airlock portion in the airlock portion. It is configured to be lower than the pressure of the first bay and the second bay.

기타 실시예들의 구체적인 사항들은 상세한 설명 및 도면들에 포함되어 있다.Specific details of other embodiments are included in the detailed description and drawings.

도 1은 에어락 제어 시스템에 대한 블록도이다.
도 2는 몇몇 실시예에 따른 에어락 장치의 측면도이다.
도 3은 몇몇 실시예에 따른 에어락 장치의 사시도이다.
도 4는 몇몇 실시예에 따른 에어락 제어 시스템의 흐름도이다.
도 5는 몇몇 실시예에 따른 에어락 장치의 측면도이다.
도 6는 몇몇 실시예에 따른 에어락 장치의 사시도이다.
도 7는 몇몇 실시예에 따른 에어락 장치의 측면도이다.
도 8은 몇몇 실시예에 따른 에어락 장치의 측면도이다.1 is a block diagram of an airlock control system.
Figure 2 is a side view of an airlock device according to some embodiments.
3 is a perspective view of an airlock device according to some embodiments.
4 is a flow diagram of an airlock control system according to some embodiments.
Figure 5 is a side view of an airlock device according to some embodiments.
Figure 6 is a perspective view of an airlock device according to some embodiments.
7 is a side view of an airlock device according to some embodiments.
Figure 8 is a side view of an airlock device according to some embodiments.

이하 첨부된 도면을 참조하여, 본 발명의 기술적 사상에 따른 실시예들에 대해 설명한다.Hereinafter, with reference to the attached drawings, embodiments according to the technical idea of the present invention will be described.

도 1은 에어락 제어 시스템에 대한 블록도이다. 도 2는 몇몇 실시예에 따른 에어락 장치의 측면도이다. 도 3은 몇몇 실시예에 따른 에어락 장치의 사시도이다. 도 4는 몇몇 실시예에 따른 에어락 제어 시스템의 흐름도이다.1 is a block diagram of an airlock control system. Figure 2 is a side view of an airlock device according to some embodiments. 3 is a perspective view of an airlock device according to some embodiments. 4 is a flow diagram of an airlock control system according to some embodiments.

도 1 내지 도 4를 참조하면, 몇몇 실시예에 따른 에어락 제어 시스템(102)은 에어락 장치(100) 및 에어락 제어 장치(101)를 포함할 수 있다.1 to 4, an airlock control system 102 according to some embodiments may include an airlock device 100 and an airlock control device 101.

예를 들어, 에어락 제어 장치(101)는 에어락 장치(100)의 제1 압력 감지 센서(152), 제2 압력 감지 센서(154) 및 제3 압력 감지 센서(156)를 통해 제1 베이(192)의 압력, 제2 베이(194)의 압력 및 에어락부(156) 내의 압력을 감지할 수 있다. 예를 들어, 에어락 제어 장치(101)는 에어락 장치(100)의 제1 동작 감지 센서(170)를 통해 이송체(110)의 동작을 감지할 수 있다.For example, the airlock control device 101 detects the first bay through the first pressure sensor 152, the second pressure sensor 154, and the third pressure sensor 156 of the airlock device 100. The pressure of 192, the pressure of the second bay 194, and the pressure within the airlock unit 156 can be sensed. For example, the airlock control device 101 may detect the motion of the transport body 110 through the first motion detection sensor 170 of the airlock device 100.

에어락 제어 장치(101)는 에어락 장치(100)를 제어(control)할 수 있다. 예를 들어, 에어락 제어 장치(101)는 제1 문(162), 제2 문(164) 및 제1 배기부(140)를 제어할 수 있다.The airlock control device 101 can control the airlock device 100. For example, the airlock control device 101 may control the first door 162, the second door 164, and the first exhaust unit 140.

도 2를 참조하면, 에어락 장치(100)는 이송체(110), 주행로(120), 에어락부(130), 제1 배기부(140), 제1 압력 감지 센서(152), 제2 압력 감지 센서(154), 제3 압력 감지 센서(156), 제1 문(162), 제2 문(164) 및 제1 동작 감지 센서(170)를 포함할 수 있다.Referring to FIG. 2, the airlock device 100 includes a transport body 110, a travel path 120, an airlock unit 130, a first exhaust unit 140, a first pressure sensor 152, and a second It may include a pressure sensor 154, a third pressure sensor 156, a first door 162, a second door 164, and a first motion sensor 170.

제1 베이(192)는 예를 들어 Fab 내에 위치하는 구분된 베이 영역일 수 있다. 제2 베이(194)는 예를 들어 Fab 내에 위치하는 구분된 베이 영역일 수 있다. 제1 베이(192)와 제2 베이(194)는 차폐막(190)에 의하여 서로 구분될 수 있으나, 본 발명의 실시예는 이에 제한되지 않고 제1 베이(192) 및 제2 베이(194)는 서로 이격되어 있을 수 있다. 차폐막(190)은 제1 베이(192)와 제2 베이(194) 사이에 위치하여 기류를 막을 수 있다.The first bay 192 may be, for example, a separate bay area located within a Fab. The second bay 194 may be, for example, a separate bay area located within a Fab. The first bay 192 and the second bay 194 may be distinguished from each other by a shielding film 190, but the embodiment of the present invention is not limited thereto, and the first bay 192 and the second bay 194 are They may be spaced apart from each other. The shielding film 190 may be located between the first bay 192 and the second bay 194 to block airflow.

주행로(120)는 제1 베이(192)와 제2 베이(194)를 서로 연결할 수 있다. 예를 들어, 주행로(120)는 제1 베이(192)와 제2 베이(194)의 천장에 부착될 수 있다. 주행로(120)는 제1 베이(192)와 제2 베이(194)를 통과하여 배치될 수 있다. 즉, 주행로(120)는 차폐막(190)을 통과하여 배치될 수 있다. 주행로(120)는 예를 들어 OHT(Overhead Hoist Transfer) 레일일 수 있으나, 본 발명의 실시예는 이에 제한되지 않는다.The travel path 120 may connect the first bay 192 and the second bay 194 to each other. For example, the travel path 120 may be attached to the ceilings of the first bay 192 and the second bay 194. The travel path 120 may be arranged to pass through the first bay 192 and the second bay 194. That is, the travel path 120 may be disposed to pass through the shielding film 190. The travel path 120 may be, for example, an Overhead Hoist Transfer (OHT) rail, but embodiments of the present invention are not limited thereto.

이송체(110)는 주행로(120)를 주행할 수 있다. 이송체(110)는 제1 베이(192)와 제2 베이(194)를 주행로(120)를 통하여 이동할 수 있다. 이송체(110)는 제1 베이(192)와 제2 베이(194) 사이를 이동할 수 있다. 예를 들어, 이송체(110)는 웨이퍼가 수납된 캐리어를 이송할 수 있으나, 본 발명의 실시예는 이에 제한되지 않는다.The transport body 110 may travel along the travel path 120 . The transport body 110 can move between the first bay 192 and the second bay 194 through the travel path 120. The transport body 110 can move between the first bay 192 and the second bay 194. For example, the transfer member 110 may transfer a carrier containing a wafer, but embodiments of the present invention are not limited thereto.

에어락부(130)는 제1 베이(192)와 제2 베이(194)를 서로 연결할 수 있다. 에어락부(130)는 주행로(120)를 둘러싸면서 주행로(120)를 따라 배치될 수 있다. 에어락부(130)는 예를 들어 도 3과 같이 내부가 비어 있는 직육면체 형태일 수 있으나, 본 발명의 실시예는 이에 제한되지 않는다. 에어락부(130)는 차폐막(190)을 통과하여 배치될 수 있다. 에어락부(130)는 제1 베이(192) 방향으로 제1 입구(132)를 가질 수 있다. 에어락부(130)는 제2 베이(194) 방향으로 제2 입구(134)를 가질 수 있다. 에어락부(130)는 제1 입구(132) 및 제2 입구(134)만을 통하여 이송체(110)를 통과시킬 수 있다. 에어락부(130)는 제1 입구(132) 및 제2 입구(134)만을 통하여 기류를 통과시킬 수 있다.The airlock unit 130 may connect the first bay 192 and the second bay 194 to each other. The airlock unit 130 may be arranged along the travel path 120 while surrounding the travel path 120 . For example, the airlock unit 130 may be in the form of a rectangular parallelepiped with an empty interior as shown in FIG. 3, but the embodiment of the present invention is not limited thereto. The airlock portion 130 may be disposed through the shielding film 190. The airlock unit 130 may have a first entrance 132 in the direction of the first bay 192. The airlock unit 130 may have a second entrance 134 in the direction of the second bay 194. The airlock unit 130 can allow the transport body 110 to pass through only the first inlet 132 and the second inlet 134. The airlock unit 130 can pass airflow only through the first inlet 132 and the second inlet 134.

제1 배기부(140)는 에어락부(130)와 연결될 수 있다. 도 3을 참고하면, 제1 배기부(140)는 배기구(141), 배기 통로(143) 및 배기 펌프(145)를 포함할 수 있다. 배기구(141)는 에어락부(130) 내에 위치할 수 있다. 즉, 배기구(141)는 제1 입구(132) 및 제2 입구(134) 사이의 에어락부(130) 내부의 벽면에 위치할 수 있다. 배기 통로(143)는 배기구(141)와 배기 펌프(145)를 연결할 수 있다. 배기 펌프(145)는 배기 통로(143)를 통하여 들어온 공기를 배기할 수 있다. 즉, 에어락부(130) 내의 공기를 배기할 수 있다. 상술한 것과 달리, 제1 배기구(140)는 팬(fan)을 이용하여 에어락부(130) 내의 공기를 배기할 수 있다.The first exhaust unit 140 may be connected to the airlock unit 130. Referring to FIG. 3 , the first exhaust unit 140 may include an exhaust port 141, an exhaust passage 143, and an exhaust pump 145. The exhaust port 141 may be located within the airlock portion 130. That is, the exhaust port 141 may be located on the wall inside the airlock portion 130 between the first inlet 132 and the second inlet 134. The exhaust passage 143 may connect the exhaust port 141 and the exhaust pump 145. The exhaust pump 145 can exhaust air introduced through the exhaust passage 143. That is, the air within the airlock unit 130 can be exhausted. Unlike what was described above, the first exhaust port 140 can exhaust air within the airlock unit 130 using a fan.

제1 압력 감지 센서(152)는 제1 베이(192)에 위치할 수 있다. 도 2에서는 제1 입구(132) 근처에 위치한 것으로 도시되었으나, 본 발명의 실시예는 이에 제한되지 않는다. 제1 압력 감지 센서(152)는 제1 베이(192)의 압력을 감지할 수 있다.The first pressure sensor 152 may be located in the first bay 192. In FIG. 2, it is shown as being located near the first inlet 132, but the embodiment of the present invention is not limited thereto. The first pressure sensor 152 may detect the pressure of the first bay 192.

제2 압력 감지 센서(154)는 제2 베이(194)에 위치할 수 있다. 도 2에서는 제2 입구(134) 근처에 위치한 것으로 도시되었으나, 본 발명의 실시예는 이에 제한되지 않는다. 제2 압력 감지 센서(154)는 제2 베이(194)의 압력을 감지할 수 있다.The second pressure sensor 154 may be located in the second bay 194. In FIG. 2, it is shown as being located near the second inlet 134, but the embodiment of the present invention is not limited thereto. The second pressure sensor 154 may detect the pressure of the second bay 194.

제3 압력 감지 센서(156)는 에어락부(130) 내에 위치할 수 있다. 도 2에서는 에어락부(130) 내부의 하부에 위치한 것으로 도시되었으나, 본 발명의 실시예는 이에 제한되지 않는다. 제3 압력 감지 센서(156)는 에어락부(130) 내의 압력을 감지할 수 있다.The third pressure sensor 156 may be located within the airlock unit 130. In FIG. 2, it is shown as being located at the bottom inside the airlock unit 130, but the embodiment of the present invention is not limited thereto. The third pressure detection sensor 156 can detect the pressure within the airlock unit 130.

제1 동작 감지 센서(170)는 제1 베이(192)에 위치할 수 있다. 예를 들어, 제1 동작 감지 센서(170)는 제1 입구(132)의 상부에 위치할 수 있다. 제1 동작 감지 센서(170)는 이송체(110)가 제1 입구(132)로 접근하는 것을 감지할 수 있다. 도 2 및 도 3에서, 제1 동작 감지 센서(170)는 제1 입구(132)에만 위치하는 것으로 도시되어 있으나, 실시예는 이에 제한되지 않으며, 제2 입구(134)에도 위치하여 이송체(110)를 감지할 수 있다.The first motion detection sensor 170 may be located in the first bay 192. For example, the first motion detection sensor 170 may be located above the first entrance 132. The first motion detection sensor 170 may detect that the transport body 110 approaches the first entrance 132. 2 and 3, the first motion detection sensor 170 is shown as being located only at the first inlet 132, but the embodiment is not limited thereto, and is also located at the second inlet 134 to detect the transporter ( 110) can be detected.

제1 문(162)은 제1 베이(192)와 에어락부(130)를 연결하는 제1 입구(132)에 위치할 수 있다. 제1 문(162)은 제1 입구(132)를 개폐할 수 있다. 제1 문(162)이 열린 경우, 에어락부(130) 내로 이송체(110) 또는 기류가 들어올 수 있다. 제1 문(162)이 닫힌 경우, 에어락부(130) 내로 이송체(110) 또는 기류가 들어올 수 없다. 즉, 제1 문(162)이 닫힌 경우 제1 베이(192)의 기류는 제2 베이(194)로 이동할 수 없다.The first door 162 may be located at the first entrance 132 connecting the first bay 192 and the airlock unit 130. The first door 162 can open and close the first entrance 132. When the first door 162 is opened, the transport body 110 or airflow may enter the airlock unit 130. When the first door 162 is closed, the transport body 110 or airflow cannot enter the airlock unit 130. That is, when the first door 162 is closed, the airflow in the first bay 192 cannot move to the second bay 194.

제2 문(164)은 제2 베이(194)와 에어락부(130)를 연결하는 제2 입구(134)에 위치할 수 있다. 제2 문(164)은 제2 입구(134)를 개폐할 수 있다. 제2 문(164)이 열린 경우, 에어락부(130) 내로 이송체(110) 또는 기류가 들어오거나 나갈 수 있다. 제2 문(164)이 닫힌 경우, 에어락부(130) 내로 이송체(110) 또는 기류가 들어올 수 없다. 즉, 제2 문(164)이 닫힌 경우 제2 베이(194)의 기류는 제1 베이(192)로 이동할 수 없다.The second door 164 may be located at the second entrance 134 connecting the second bay 194 and the airlock unit 130. The second door 164 can open and close the second entrance 134. When the second door 164 is opened, the transport body 110 or airflow may enter or exit the airlock unit 130. When the second door 164 is closed, the transport body 110 or airflow cannot enter the airlock unit 130. That is, when the second door 164 is closed, the airflow in the second bay 194 cannot move to the first bay 192.

제1 문(162) 및 제2 문(164)은 동시에 열리지 않을 수 있다. 예를 들어, 제1 문(162)만 열리고, 제2 문(164)은 닫힌 경우에는 제1 베이(192)와 제2 베이(194) 사이의 기류는 서로 이동할 수 없다. 제2 문(164)만 열리고, 제1 문(162)은 닫힌 경우에는 제1 베이(192)와 제2 베이(194) 사이의 기류는 서로 이동할 수 없다. 제1 문(162)과 제2 문(164)이 닫힌 경우에는 제1 베이(192)와 제2 베이(194) 사이의 기류는 서로 이동할 수 없다. The first door 162 and the second door 164 may not be opened at the same time. For example, when only the first door 162 is open and the second door 164 is closed, airflows between the first bay 192 and the second bay 194 cannot move to each other. When only the second door 164 is open and the first door 162 is closed, airflows between the first bay 192 and the second bay 194 cannot move to each other. When the first door 162 and the second door 164 are closed, airflows between the first bay 192 and the second bay 194 cannot move to each other.

도 2 내지 도 4를 참조하여, 에어락 제어 장치(101)가 에어락 장치(100)를 제어하는 에어락 제어 시스템(102)에 대하여 설명한다.With reference to FIGS. 2 to 4 , the airlock control system 102 in which the airlock control device 101 controls the airlock device 100 will be described.

제1 동작 감지 센서(170)는 제1 베이(192)에 위치하여 주행로(120)를 따라 에어락부(130)으로 접근하는 이송체(110)를 감지할 수 있다. 에어락 제어 장치(101)는 제1 동작 감지 센서(170)를 통해 제1 입구(132)에 이송체(110)가 위치하는지 판단할 수 있다(S181). 제1 입구(132)에 이송체(110)가 위치하지 않는 경우(No), 에어락 제어 장치(101)는 다시 제1 동작 감지 센서(170)를 통해 제1 입구(132)에 이송체(110)가 위치하는지 판단할 수 있다(S181). The first motion detection sensor 170 is located in the first bay 192 and can detect the transport body 110 approaching the airlock unit 130 along the travel path 120. The airlock control device 101 may determine whether the transport body 110 is located at the first entrance 132 through the first motion detection sensor 170 (S181). If the transport body 110 is not located at the first entrance 132 (No), the airlock control device 101 again sends the transport body (110) to the first entrance 132 through the first motion detection sensor 170. 110) can be determined whether it is located (S181).

제1 입구(132)에 이송체(110)가 위치하는 경우(Yes), 에어락 제어 장치(101)는 제3 압력 감지 센서(156)를 이용하여 측정한 에어락부(130) 내 압력이, 제1 압력 감지 센서(152)를 이용하여 측정한 제1 베이(192)의 압력 이상인지 판단할 수 있다(S182).When the transport body 110 is located at the first entrance 132 (Yes), the airlock control device 101 determines the pressure within the airlock unit 130 measured using the third pressure detection sensor 156, It can be determined whether the pressure in the first bay 192 measured using the first pressure sensor 152 is higher (S182).

에어락부(130) 내 압력이 제1 베이(192)의 압력 이상인 경우(Yes)(S182), 에어락 제어 장치(101)는 제1 배기부(140)를 작동시켜 에어락부(130) 내의 압력이 제1 베이(192)의 압력보다 낮아지도록 할 수 있다(S183). 그 결과, 에어락부(130) 내 압력이 제1 베이(192)의 압력 미만이 되면, 제1 문(162)이 열리고, 이송체(110) 진입 후에 제1 문(162)이 닫힐 수 있다(S184).If the pressure within the airlock unit 130 is higher than the pressure of the first bay 192 (Yes) (S182), the airlock control device 101 operates the first exhaust unit 140 to increase the pressure within the airlock unit 130. It can be made lower than the pressure of the first bay 192 (S183). As a result, when the pressure within the airlock unit 130 becomes less than the pressure of the first bay 192, the first door 162 is opened, and the first door 162 can be closed after entering the transport body 110 ( S184).

에어락부(130) 내 압력이 제1 베이(192)의 압력 미만인 경우(No)(S182), 제1 문(162)이 열리고, 이송체(110) 진입 후에 제1 문(162)이 닫힐 수 있다(S184). If the pressure within the air lock unit 130 is less than the pressure of the first bay 192 (No) (S182), the first door 162 may be opened, and the first door 162 may be closed after entering the transport body 110. There is (S184).

에어락부(130) 내에 이송체(110)가 진입한 경우, 에어락 제어 장치(101)는 제3 압력 감지 센서(156)를 이용하여 측정한 에어락부(130) 내 압력이, 제2 압력 감지 센서(154)를 이용하여 측정한 제2 베이(194)의 압력 이상인지 판단할 수 있다(S185).When the transport body 110 enters the airlock unit 130, the airlock control device 101 detects the second pressure as the pressure inside the airlock unit 130 measured using the third pressure detection sensor 156. It can be determined whether the pressure of the second bay 194 measured using the sensor 154 is higher (S185).

에어락부(130) 내 압력이 제2 베이(194)의 압력 이상인 경우(Yes)(S185), 에어락 제어 장치(101)는 제1 배기부(140)를 작동시켜 에어락부(130) 내의 압력이 제2 베이(194)의 압력보다 낮아지도록 할 수 있다(S186). 그 결과, 에어락부(130) 내 압력이 제2 베이(194)의 압력 미만이 되면, 제2 문(164)이 열리고, 이송체(110)가 나간 후에, 제2 문(164)이 닫힐 수 있다(S187).If the pressure within the airlock unit 130 is higher than the pressure of the second bay 194 (Yes) (S185), the airlock control device 101 operates the first exhaust unit 140 to increase the pressure within the airlock unit 130. It can be lowered than the pressure of the second bay 194 (S186). As a result, when the pressure within the airlock unit 130 becomes less than the pressure of the second bay 194, the second door 164 may be opened, and after the transport body 110 exits, the second door 164 may be closed. There is (S187).

에어락부(130) 내 압력이 제2 베이(194)의 압력 미만인 경우(No)(S185), 제2 문(164)이 열리고, 이송체(110)가 나간 후에, 제2 문(164)이 닫힐 수 있다(S187). If the pressure within the air lock unit 130 is less than the pressure of the second bay 194 (No) (S185), the second door 164 is opened, and after the transport body 110 exits, the second door 164 is opened. Can be closed (S187).

제1 입구(132)와 제2 입구(134)는 동시에 열리지 않으므로, 제1 베이(192) 및 제2 베이(194)를 연결하는 에어락부(130)는 언제나 적어도 하나의 입구는 닫혀 있어 기류를 차단할 수 있다.Since the first inlet 132 and the second inlet 134 are not opened at the same time, at least one inlet of the airlock portion 130 connecting the first bay 192 and the second bay 194 is always closed to prevent airflow. You can block it.

이송체(110)가 진입하는 경우, 에어락 제어 장치(101)는 제1 압력 감지 센서(152), 제3 압력 감지 센서(156) 및 제1 배기부(140)를 이용하여 에어락부(130) 내의 압력을 제1 베이(192)의 압력보다 낮게 유지할 수 있다. 이에 따라서, 에어락부(130) 내의 기류가 제1 베이(192)로 유출되지 않을 수 있다. 또한, 제1 베이(192)의 기류는 제1 배기부(140)를 통하여 배기될 수 있다.When the transporter 110 enters, the airlock control device 101 uses the first pressure detection sensor 152, the third pressure detection sensor 156, and the first exhaust unit 140 to form the airlock unit 130. ) can be maintained lower than the pressure in the first bay 192. Accordingly, the airflow within the airlock unit 130 may not flow out into the first bay 192. Additionally, the airflow in the first bay 192 may be exhausted through the first exhaust unit 140.

이송체(110)가 에어락부(130)를 나가는 경우, 에어락 제어 장치(101)는 제2 압력 감지 센서(154), 제3 압력 감지 센서(156) 및 제1 배기부(140)를 이용하여 에어락부(130) 내의 압력을 제2 베이(194)의 압력보다 낮게 유지할 수 있다. 이에 따라서, 에어락부(130) 내의 기류가 제2 베이(194)로 유출되지 않을 수 있다. 또한, 제2 베이(194)의 기류는 제1 배기부(140)를 통하여 배기될 수 있다.When the transport body 110 leaves the airlock unit 130, the airlock control device 101 uses the second pressure detection sensor 154, the third pressure detection sensor 156, and the first exhaust unit 140. Thus, the pressure within the airlock unit 130 can be maintained lower than the pressure of the second bay 194. Accordingly, the airflow within the airlock unit 130 may not leak into the second bay 194. Additionally, the airflow in the second bay 194 may be exhausted through the first exhaust unit 140.

이하, 도 5 내지 도 6을 참조하여 몇몇 실시예에 따른 에어락 장치를 설명한다. 도 2 내지 4와 중복되는 설명은 생략하고 차이점을 중심으로 설명한다.Hereinafter, an airlock device according to some embodiments will be described with reference to FIGS. 5 and 6. Descriptions overlapping with FIGS. 2 to 4 will be omitted and description will focus on differences.

도 5는 몇몇 실시예에 따른 에어락 장치의 측면도이다. 도 6는 몇몇 실시예에 따른 에어락 장치의 사시도이다.Figure 5 is a side view of an airlock device according to some embodiments. Figure 6 is a perspective view of an airlock device according to some embodiments.

도 5 내지 도 6을 참조하면, 에어락 장치(200)는 이송체(210), 주행로(220), 에어락부(230), 제1 배기부(240), 제1 압력 감지 센서(252), 제2 압력 감지 센서(254) 및 제3 압력 감지 센서(256)를 포함할 수 있다.Referring to FIGS. 5 and 6, the airlock device 200 includes a transport body 210, a travel path 220, an airlock unit 230, a first exhaust unit 240, and a first pressure detection sensor 252. , may include a second pressure sensor 254 and a third pressure sensor 256.

도 2 내지 도 4의 실시예 중 에어락 장치(100)와 달리, 에어락 장치(200)는 제1 문(162) 및 제2 문(164)이 배치되지 않을 수 있다.Unlike the airlock device 100 in the embodiments of FIGS. 2 to 4 , the first door 162 and the second door 164 may not be disposed in the airlock device 200.

이송체(210)는 제1 베이(292) 및 제2 베이(294) 사이에서 주행로(220)를 주행하여 이동할 수 있다. 이송체(210)는 제1 베이(292) 및 제2 베이(294) 사이에서 에어락부(230)를 통과하여 주행할 수 있다.The transport body 210 may move by traveling on the travel path 220 between the first bay 292 and the second bay 294. The transport body 210 may travel between the first bay 292 and the second bay 294 through the airlock unit 230.

제1 배기부(240)는 에어락부(230)와 연결될 수 있다. 제1 배기부(240)의 배기구(241)는 에어락부(230) 내에 위치할 수 있다. 즉, 배기구(241)는 제1 입구(232) 및 제2 입구(234) 사이의 에어락부(230) 내부의 벽면에 위치할 수 있다.The first exhaust unit 240 may be connected to the airlock unit 230. The exhaust port 241 of the first exhaust unit 240 may be located within the airlock unit 230. That is, the exhaust port 241 may be located on the wall inside the airlock portion 230 between the first inlet 232 and the second inlet 234.

제1 배기부(240)는 에어락부(230) 내의 압력을 제1 베이(292) 및 제2 베이(294)의 압력보다 낮게 유지할 수 있다. 즉, 제1 배기부(240)는 에어락부(230) 내의 압력을 언제나 음압으로 유지하게 할 수 있다. The first exhaust unit 240 may maintain the pressure within the airlock unit 230 lower than the pressure of the first bay 292 and the second bay 294. That is, the first exhaust unit 240 can always maintain the pressure within the airlock unit 230 at negative pressure.

제1 배기부(240)는 제3 압력 감지 센서(256)에 의해 측정된 에어락부(230) 내의 압력을 제1 압력 감지 센서(252)에 의해 측정된 제1 베이(292)의 압력보다 낮게 유지할 수 있다. 제1 배기부(240)는 제3 압력 감지 센서(256)에 의해 측정된 에어락부(230) 내의 압력을 제2 압력 감지 센서(254)에 의해 측정된 제2 베이(294)의 압력보다 낮게 유지할 수 있다. The first exhaust unit 240 lowers the pressure in the airlock unit 230 measured by the third pressure detection sensor 256 to a lower level than the pressure in the first bay 292 measured by the first pressure detection sensor 252. It can be maintained. The first exhaust unit 240 lowers the pressure in the airlock unit 230 measured by the third pressure detection sensor 256 to a lower level than the pressure in the second bay 294 measured by the second pressure detection sensor 254. It can be maintained.

제1 배기부(240)의 작동으로 인해, 제1 베이(292)의 기류는 제2 베이(294)로 이동하지 못할 수 있다. 제1 배기부(240)의 작동으로 인해, 제2 베이(294)의 기류는 제1 베이(292)로 이동하지 못할 수 있다. 즉, 제1 베이(292)와 제2 베이(294) 사이의 기류는 서로 이동하지 못할 수 있다.Due to the operation of the first exhaust unit 240, the airflow in the first bay 292 may not move to the second bay 294. Due to the operation of the first exhaust unit 240, the airflow in the second bay 294 may not move to the first bay 292. That is, airflows between the first bay 292 and the second bay 294 may not move toward each other.

이하, 도 7을 참조하여 몇몇 실시예에 따른 에어락 장치를 설명한다. 도 5 및 도 6과 중복되는 설명은 생략하고 차이점을 중심으로 설명한다.Hereinafter, an airlock device according to some embodiments will be described with reference to FIG. 7. Descriptions that overlap with those of FIGS. 5 and 6 will be omitted and the description will focus on the differences.

도 7은 몇몇 실시예에 따른 에어락 장치의 측면도이다.Figure 7 is a side view of an airlock device according to some embodiments.

도 7을 참조하면, 에어락 장치(200)는 에어락부(230)를 따라서 배치된 제1 배기부(240), 제2 배기부(240a), 제3 배기부(240b), 제4 배기부(240c), 제5 배기부(240d), 제6 배기부(240e), 제7 배기부(240f) 및 제8 배기부(240g)를 포함할 수 있다. 제1 배기부(240), 제2 배기부(240a), 제3 배기부(240b), 제4 배기부(240c), 제5 배기부(240d), 제6 배기부(240e), 제7 배기부(240f) 및 제8 배기부(240g)는 제1 입구(232)로부터 제2 입구(234)까지 에어락부(230)를 따라서 에어락부(230)에 부착되어 배치될 수 있다. 도 7에서는 8 개의 배기부가 도시되어 있으나, 본 발명의 실시예는 이에 제한되지 않고, 복수 개의 배기부를 포함할 수 있다.Referring to FIG. 7, the airlock device 200 includes a first exhaust unit 240, a second exhaust unit 240a, a third exhaust unit 240b, and a fourth exhaust unit disposed along the airlock unit 230. It may include (240c), a fifth exhaust unit (240d), a sixth exhaust unit (240e), a seventh exhaust unit (240f), and an eighth exhaust unit (240g). First exhaust unit 240, second exhaust unit 240a, third exhaust unit 240b, fourth exhaust unit 240c, fifth exhaust unit 240d, sixth exhaust unit 240e, seventh exhaust unit 240 The exhaust unit 240f and the eighth exhaust unit 240g may be disposed attached to the airlock unit 230 along the airlock unit 230 from the first inlet 232 to the second inlet 234. Although eight exhaust units are shown in FIG. 7, the embodiment of the present invention is not limited thereto and may include a plurality of exhaust units.

복수 개의 배기부가 에어락부(230)를 따라서 배치되면, 제1 베이(292)의 기류가 제2 베이(294)로 누출되지 않을 수 있다. 또한, 제2 베이(294)의 기류가 제1 베이(292)로 누출되지 않을 수 있다.If a plurality of exhaust units are disposed along the airlock unit 230, airflow from the first bay 292 may not leak into the second bay 294. Additionally, airflow from the second bay 294 may not leak into the first bay 292.

복수 개의 배기부가 에어락부(230)를 따라서 배치되면, 이송체(210)가 에어락부(230)를 통과하는데 지연 시간이 발생하지 않을 수 있다. 즉, 이송체(210)가 원활하게 에어락부(230)를 통과하여 생산성 병목 현상을 방지할 수 있다.If a plurality of exhaust units are disposed along the airlock unit 230, there may be no delay in the transfer body 210 passing through the airlock unit 230. In other words, the transport body 210 can smoothly pass through the airlock unit 230 to prevent a productivity bottleneck.

이하, 도 8을 참조하여 몇몇 실시예에 따른 에어락 장치를 설명한다. 도 5 및 도 6과 중복되는 설명은 생략하고 차이점을 중심으로 설명한다.Hereinafter, an airlock device according to some embodiments will be described with reference to FIG. 8. Descriptions that overlap with those of FIGS. 5 and 6 will be omitted and the description will focus on the differences.

도 8은 몇몇 실시예에 따른 에어락 장치의 측면도이다.Figure 8 is a side view of an airlock device according to some embodiments.

도 8을 참조하면, 에어락 장치(200)는 에어락부(230)에 배치된 제1 배기부(240) 및 제9 배기부(240h)를 포함할 수 있다.Referring to FIG. 8, the airlock device 200 may include a first exhaust unit 240 and a ninth exhaust unit 240h disposed in the airlock unit 230.

제9 배기부(240h)는 에어락부(230)의 제1 상부(236)에 배치될 수 있다. 하지만, 본 발명의 실시예는 이에 제한되지 않으며, 제9 배기부(240h)는 에어락부(230)를 둘러싸면서 복수 개가 배치될 수 있다.The ninth exhaust unit 240h may be disposed in the first upper part 236 of the airlock unit 230. However, the embodiment of the present invention is not limited to this, and a plurality of ninth exhaust units 240h may be arranged surrounding the airlock unit 230.

복수 개의 배기부가 에어락부(230)를 둘러싸면서 배치되면, 이송체(210)가 에어락부(230)를 통과하는데 지연 시간이 발생하지 않을 수 있다. 즉, 이송체(210)가 원활하게 에어락부(230)를 통과하여 생산성 병목 현상을 방지할 수 있다. 또한, 에어락부(230)가 연장될 필요가 없어, 공간을 절약할 수 있다.If a plurality of exhaust units are disposed surrounding the airlock unit 230, there may not be a delay time for the transport body 210 to pass through the airlock unit 230. In other words, the transport body 210 can smoothly pass through the airlock unit 230 to prevent a productivity bottleneck. Additionally, the airlock portion 230 does not need to be extended, thereby saving space.

이상 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들을 설명하였으나, 본 발명은 상기 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 제조될 수 있으며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명의 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다.Although embodiments of the present invention have been described above with reference to the attached drawings, the present invention is not limited to the above embodiments and can be manufactured in various different forms, and can be manufactured in various different forms by those skilled in the art. It will be understood by those who understand that the present invention can be implemented in other specific forms without changing its technical spirit or essential features. Therefore, the embodiments described above should be understood in all respects as illustrative and not restrictive.

100: 에어락 장치 101: 에어락 제어 장치
102: 에어락 제어 시스템 130: 에어락부
140: 제1 배기부 192: 제1 베이
194: 제2 베이 200: 에어락 장치100: airlock device 101: airlock control device
102: Airlock control system 130: Airlock unit
140: first exhaust unit 192: first bay
194: second bay 200: airlock device

Claims (10)

제1 베이 및 제2 베이 사이에서, 웨이퍼가 수납된 캐리어를 이송하는 이송체;
상기 제1 베이 및 상기 제2 베이를 연결하며, 상기 이송체가 주행하는 주행로;
상기 제1 베이 및 상기 제2 베이를 연결하며, 상기 주행로를 둘러싸면서 상기 주행로를 따라 배치되는 에어락부;
상기 에어락부 내의 공기를 배기하는 배기부;
상기 에어락부와 상기 제1 베이를 연결하는 제1 입구를 개폐하는 제1 문;
상기 에어락부와 상기 제2 베이를 연결하는 제2 입구를 개폐하는 제2 문;
상기 제1 베이에 위치한 제1 압력 감지 센서;
상기 제2 베이에 위치한 제2 압력 감지 센서;
상기 에어락부 내에 위치한 제3 압력 감지 센서;
상기 제1 베이에 위치한 제1 동작 감지 센서; 및
상기 제1 압력 감지 센서, 상기 제2 압력 감지 센서, 상기 제3 압력 감지 센서 및 상기 제1 동작 감지 센서를 통해 압력 및 동작을 감지하여, 상기 제1 문, 상기 제2 문 및 상기 배기부를 제어하는 에어락 제어 장치를 포함하는 에어락(Air lock) 제어 시스템.A transfer member that transfers a carrier containing a wafer between the first bay and the second bay;
a travel path connecting the first bay and the second bay, along which the transport vehicle travels;
an airlock unit connecting the first bay and the second bay, surrounding the travel path, and disposed along the travel path;
an exhaust unit that exhausts air within the airlock unit;
a first door that opens and closes a first entrance connecting the airlock unit and the first bay;
a second door opening and closing a second entrance connecting the airlock unit and the second bay;
a first pressure sensor located in the first bay;
a second pressure sensor located in the second bay;
A third pressure sensor located within the airlock unit;
a first motion detection sensor located in the first bay; and
Detect pressure and motion through the first pressure sensor, the second pressure sensor, the third pressure sensor, and the first motion sensor to control the first door, the second door, and the exhaust unit. An air lock control system including an air lock control device that operates. 제 1항에 있어서,
상기 제1 문 및 상기 제2 문은 동시에 열리지 않는 에어락 제어 시스템.According to clause 1,
An airlock control system in which the first door and the second door are not opened at the same time. 제 1항에 있어서,
상기 제1 동작 감지 센서에 의하여 상기 이송체가 감지되는 경우,
상기 제3 압력 감지 센서에 의해 측정된 압력이 상기 제1 압력 감지 센서에 의해 측정된 압력보다 낮은 경우, 상기 제1 문이 열리고,
상기 제3 압력 감지 센서에 의해 측정된 압력이 상기 제1 압력 감지 센서에 의해 측정된 압력 이상인 경우, 제1 배기부가 작동하여 상기 제3 압력 감지 센서에 의해 측정된 압력이 상기 제1 압력 감지 센서에 의해 측정된 압력보다 낮아진 후에 상기 제1 문이 열리는 에어락 제어 시스템.According to clause 1,
When the transport object is detected by the first motion detection sensor,
When the pressure measured by the third pressure sensor is lower than the pressure measured by the first pressure sensor, the first door is opened,
When the pressure measured by the third pressure sensor is greater than the pressure measured by the first pressure sensor, the first exhaust unit operates so that the pressure measured by the third pressure sensor increases with the pressure measured by the first pressure sensor. An airlock control system in which the first door opens after the pressure measured by . 제 3항에 있어서,
상기 제3 압력 감지 센서에 의해 측정된 압력이 상기 제2 압력 감지 센서에 의해 측정된 압력보다 낮은 경우, 상기 제2 문이 열리고,
상기 제3 압력 감지 센서에 의해 측정된 압력이 상기 제2 압력 감지 센서에 의해 측정된 압력 이상인 경우, 제1 배기부가 작동하여 상기 제3 압력 감지 센서에 의해 측정된 압력이 상기 제2 압력 감지 센서에 의해 측정된 압력보다 낮아진 후에 상기 제2 문이 열리는 에어락 제어 시스템.According to clause 3,
When the pressure measured by the third pressure sensor is lower than the pressure measured by the second pressure sensor, the second door is opened,
When the pressure measured by the third pressure sensor is greater than the pressure measured by the second pressure sensor, the first exhaust unit operates so that the pressure measured by the third pressure sensor is increased by the second pressure sensor. An airlock control system in which the second door opens after the pressure measured by . 제1 베이 및 제2 베이 사이에서, 웨이퍼가 수납된 캐리어를 이송하는 이송체;
상기 제1 베이 및 상기 제2 베이를 연결하며, 상기 이송체가 주행하는 주행로;
상기 제1 베이 및 상기 제2 베이를 연결하며, 상기 주행로를 둘러싸면서 상기 주행로를 따라 배치되는 에어락부; 및
상기 에어락부 내의 공기를 배기하는 배기부를 포함하고,
상기 배기부는, 상기 에어락부 내의 압력을 상기 제1 베이 및 상기 제2 베이의 압력보다 낮게 하도록 구성된 에어락 장치.A transfer member that transfers a carrier containing a wafer between the first bay and the second bay;
a travel path connecting the first bay and the second bay, along which the transport vehicle travels;
an airlock unit connecting the first bay and the second bay, surrounding the travel path, and disposed along the travel path; and
It includes an exhaust unit that exhausts air within the airlock unit,
The exhaust unit is configured to lower the pressure within the airlock unit than the pressure of the first bay and the second bay. 제 5항에 있어서,
상기 배기부는 배기구, 배기 통로 및 배기 펌프를 포함하고, 배기구는 상기 에어락부 내에 위치하는 에어락 장치.According to clause 5,
An airlock device wherein the exhaust unit includes an exhaust port, an exhaust passage, and an exhaust pump, and the exhaust port is located within the airlock unit. 제 6항에 있어서,
상기 배기구는 상기 주행로를 따라 상기 에어락부에 복수 개가 위치하는 에어락 장치.According to clause 6,
An airlock device in which a plurality of exhaust ports are located in the airlock unit along the travel path. 제 6항에 있어서,
상기 배기구는 상기 주행로를 둘러싸면서 상기 에어락부에 복수 개가 위치하는 에어락 장치.According to clause 6,
An airlock device in which a plurality of exhaust ports are located in the airlock portion while surrounding the travel path. 제 5항에 있어서,
상기 제1 베이에 위치한 제1 압력 감지 센서 및 상기 제2 베이에 위치한 제2 압력 감지 센서 및 상기 에어락부 내에 위치한 제3 압력 감지 센서를 더 포함하는 에어락 장치.According to clause 5,
An airlock device further comprising a first pressure sensor located in the first bay, a second pressure sensor located in the second bay, and a third pressure sensor located in the airlock unit. 제 9항에 있어서,
상기 배기부는, 상기 제3 압력 감지 센서에서 측정한 압력을 상기 제1 압력 감지 센서 및 상기 제2 압력 감지 센서에서 측정한 압력보다 낮게 하도록 구성된 에어락 장치.
According to clause 9,
The exhaust unit is configured to lower the pressure measured by the third pressure sensor than the pressure measured by the first pressure sensor and the second pressure sensor.
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