KR102054001B1 - Thin film transistor array panel, liquid crystal display, method to repair thereof, coror filter array panel and method of fabrication thereof - Google Patents
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Abstract
본 발명에 따른 액정 표시 장치는 제1 절연 기판, 상기 제1 절연 기판 위에 위치하는 복수의 색필터, 상기 색필터 위에 위치하는 공통 전극,상기 제1 절연 기판과 마주하는 제2 절연 기판, 상기 제2 절연 기판 위에 위치하는 게이트선 및 유지 전극선, 상기 게이트선과 교차하는 데이터선, 상기 게이트선 및 데이터선과 연결되어 있는 박막 트랜지스터, 상기 박막 트랜지스터와 연결되어 있는 화소 전극을 포함하고, 상기 색필터는 상기 색필터가 제거된 오목부를 가지고, 상기 오목부는 상기 유지 전극선과 상기 데이터선이 교차하는 교차지점에 위치한다. The liquid crystal display according to the present invention includes a first insulating substrate, a plurality of color filters positioned on the first insulating substrate, a common electrode positioned on the color filters, a second insulating substrate facing the first insulating substrate, and the first insulating substrate. A gate line and a storage electrode line on the insulating substrate, a data line intersecting the gate line, a thin film transistor connected to the gate line and the data line, and a pixel electrode connected to the thin film transistor, wherein the color filter includes: The concave portion from which the color filter has been removed has a concave portion, and the concave portion is positioned at an intersection point where the storage electrode line and the data line cross each other.
Description
본 발명은 박막 트랜지스터 표시판, 액정 표시 장치, 이들의 수리 방법, 색필터 표시판 및 그의 제조 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a thin film transistor array panel, a liquid crystal display device, a repair method thereof, a color filter display panel, and a manufacturing method thereof.
액정 표시 장치(LCD: Liquid Crystal Display)는 현재 가장 널리 사용되고 있는 평판 표시 장치 중 하나로서, 전극이 형성되어 있는 두 장의 기판과 그 사이에 삽입되어 있는 액정층으로 이루어져 전극에 신호를 인가하여 액정층의 액정 분자들을 재배열시킴으로써 투과되는 빛의 양을 조절하는 표시 장치이다.Liquid crystal display (LCD) is one of the most widely used flat panel display devices. It consists of two substrates on which electrodes are formed and a liquid crystal layer interposed therebetween and applies a signal to the electrode to apply a signal to the liquid crystal layer. A display device for controlling the amount of light transmitted by rearranging the liquid crystal molecules.
액정 표시 장치를 이루는 두 기판 중 하나인, 박막 트랜지스터(Thin Film Transistor, TFT) 기판은 액정 표시 장치나 유기 발광 표시 장치(OLED: Organic Light Emitting Diode) 등에서 각 화소를 독립적으로 구동하기 위한 회로 기판으로써 사용된다.One of the two substrates constituting the liquid crystal display device, a thin film transistor (TFT) substrate is a circuit board for independently driving each pixel in a liquid crystal display or an organic light emitting diode (OLED). Used.
박막 트랜지스터 기판에는 게이트 신호를 전송하는 게이트선과 데이터 신호를 전송하는 데이터선이 서로 교차하여 형성되고, 게이트선 및 데이터선과 연결되어 있는 박막 트랜지스터, 박막 트랜지스터와 연결되어 있는 화소 전극 등으로 이루어져 있다.The thin film transistor substrate includes a gate line for transmitting a gate signal and a data line for transmitting a data signal, and is formed of a thin film transistor connected to the gate line and the data line, a pixel electrode connected to the thin film transistor, and the like.
이러한 액정 표시 장치의 배선이 단선되거나 단락되는 경우 해당 화소는 불량 화소가 되어 수리(repair) 공정을 진행할 필요가 있다. 수리된 화소 및 그 주변 화소는 정상 화소와 비교하여 휘도가 더 낮거나 더 높은 등의 문제점이 발생한다. When the wiring of the liquid crystal display device is disconnected or short-circuited, the corresponding pixel becomes a bad pixel and needs to be repaired. The repaired pixel and its surrounding pixels have problems such as lower or higher luminance than normal pixels.
따라서 불량이 발생한 화소를 수리하는 공정을 필요로 하며, 특히 데이터선의 단선으로 인해 화소의 불량이 발생하는 경우, 데이터선을 수리하기 위해서 수 회의 레이저 절단 및 레이저 단락 공정을 거치게 되는데 레이저 공정이 증가할수록 수리 시간이 증가하는 문제점이 있다. Therefore, a process of repairing a defective pixel is required. In particular, when a pixel defect occurs due to disconnection of a data line, several laser cutting and laser shorting processes are performed to repair the data line. There is a problem that the repair time increases.
그리고 레이저 공정으로 인해서 불순물(particle)이 발생할 수 있는데 이러한 불순물은 도전체로부터 떨어져 나온 것이므로 공통 전극과 화소 전극 또는 공통 전극과 데이터선을 단락시켜 화질 불량을 유발하는 문제점이 있다.In addition, impurities may be generated due to the laser process. Since the impurities are separated from the conductors, there is a problem in that image quality is poor by shorting the common electrode and the pixel electrode or the common electrode and the data line.
따라서 본 발명이 해결하고자 하는 과제는 상기한 수리 공정을 간소화하고 레이저 공정으로 인해서 발생하는 불순물로 인한 단락 등을 최소화할 수 있는 박막 트랜지스터 표시판, 액정 표시 장치 및 수리 방법을 제공하는 것이다.Accordingly, an object of the present invention is to provide a thin film transistor array panel, a liquid crystal display, and a repair method capable of simplifying the repair process and minimizing a short circuit caused by impurities generated by the laser process.
상기와 같은 목적에 따른 박막 트랜지스터 표시판은 절연 기판, 절연 기판 위에 위치하는 게이트선 및 유지 전극, 게이트선 및 유지 전극선과 교차하는 데이터선, 게이트선 및 데이터선과 연결되어 있는 박막 트랜지스터, 박막 트랜지스터와 연결되어 있는 화소 전극을 포함하고, 유지 전극은 상기 게이트선과 나란한 제1 유지 전극, 제1 유지 전극으로부터 상기 데이터선과 나란하게 뻗어 있으며 상기 데이터선을 중심으로 양쪽에 위치하는 한 쌍의 제2 유지 전극, 데이터선을 가로지르며 한 쌍의 상기 제2 유지 전극을 연결하는 연결부, 게이트선을 가로 지르며 이웃하는 화소에 위치하는 상기 제2 유지 전극을 연결하는 연결 다리를 포함한다.The thin film transistor array panel according to the above object is connected to an insulating substrate, a gate line and a sustain electrode on the insulation substrate, a data line intersecting the gate line and the sustain electrode line, a thin film transistor connected to the gate line and the data line, and a thin film transistor A storage electrode comprising: a first storage electrode parallel to the gate line, a pair of second storage electrodes extending from the first storage electrode in parallel with the data line and positioned on both sides of the data line; And a connecting portion connecting the pair of the second storage electrodes across the data line and connecting the second storage electrodes positioned on the neighboring pixels across the gate line.
상기 제2 유지 전극은 제1 유지 전극과 연결되어 있는 고정단과 상기 제1 유지 전극과 연결되지 않은 자유단을 포함할 수 있다.The second storage electrode may include a fixed end connected to the first storage electrode and a free end not connected to the first storage electrode.
상기 제2 유지 전극은 상기 고정단과 상기 자유단 사이에 위치하는 제1 굽은 부분, 선형부 및 제2 굽은 부분을 포함할 수 있다.The second storage electrode may include a first bent portion, a linear portion, and a second bent portion positioned between the fixed end and the free end.
상기 연결부는 상기 제1 굽은 부분 및 상기 제2 굽은 부분으로부터 상기 데이터선을 향해서 뻗은 사선부를 포함할 수 있다.The connection part may include an oblique part extending toward the data line from the first bent part and the second bent part.
상기 제2 유지 전극은 상기 데이터선을 중심으로 왼쪽에 위치하는 좌측 제2 유지 전극과 오른쪽에 위치하는 우측 제2 유지 전극을 포함하고, 좌측 제2 유지 전극과 우측 제2 유지 전극은 상기 데이터선을 중심으로 반전 대칭을 이룰 수 있다.The second storage electrode may include a left second storage electrode positioned at a left side and a right second storage electrode positioned at a right side of the data line, and a left second storage electrode and a right second storage electrode may have the data line. Inverted symmetry can be achieved around.
상기 연결 다리는 이웃하는 두 화소의 상기 고정단과 상기 자유단을 연결할 수 있다.The connection bridge may connect the fixed end and the free end of two neighboring pixels.
상기 연결 다리는 상기 화소 전극과 동일한 층에 동일한 물질로 형성되어 있을 수 있다.The connection bridge may be formed of the same material on the same layer as the pixel electrode.
상기 데이터선을 중심으로 양쪽에 위치하는 두 화소의 상기 화소 전극 및 박막 트랜지스터는 상기 데이터선을 중심으로 반전 대칭 또는 거울상 대칭을 이룰 수 있다.The pixel electrode and the thin film transistor of two pixels positioned at both sides of the data line may be inverted symmetrically or mirror-symmetrically about the data line.
상기한 다른 과제를 달성하기 위한 박막 트랜지스터 표시판은 좌측 제2 유지 전극은 연결부와 분리되어 있으며, 데이터선과 연결부가 중첩하는 부분은 단락되어 있으며, 연결 다리와 제2 굽은 부분은 분리되어 있으며, 우측 제2 유지 전극으로부터 데이터선에 전달되는 신호를 인가받는 화소 전극을 더 포함할 수 있다.According to another aspect of the present invention, a thin film transistor array panel includes a left second sustain electrode separated from a connection part, a portion overlapping the data line and the connection part are short-circuited, and a connection leg and a second bent part are separated from each other. The pixel electrode may further include a pixel electrode configured to receive a signal transferred from the sustain electrode to the data line.
상기한 다른 과제를 달성하기 위한 박막 트랜지스터 표시판을 수리하는 방법에서 연결부는 이웃하는 두 게이트선과 각각 인접하게 위치하는 제1 연결부 및 제2 연결부를 포함하고, 레이저를 이용하여 상기 좌측 제2 유지 전극과 제1 연결부 사이, 좌측 제2 유지 전극과 제2 연결부 사이, 연결 다리와 제2 굽은 부분 사이를 절단하는 단계, 레이저를 이용하여 데이터선과 제1 연결부 및 제2 연결부가 중첩하는 부분을 단락하는 단계를 포함한다.In a method of repairing a thin film transistor array panel for achieving the above-mentioned another problem, a connection part includes a first connection part and a second connection part positioned adjacent to two adjacent gate lines, respectively, Cutting between the first connection portion, between the left second sustain electrode and the second connection portion, between the connection leg and the second bent portion, and shorting a portion where the data line and the first connection portion and the second connection portion overlap by using a laser. It includes.
상기한 다른 과제를 달성하기 위한 액정 표시 장치는 제1 절연 기판, 제1 절연 기판 위에 위치하는 복수의 색필터, 색필터 위에 위치하는 공통 전극, 제1 절연 기판과 마주하는 제2 절연 기판, 제2 절연 기판 위에 위치하는 게이트선 및 유지 전극선, 게이트선과 교차하는 데이터선, 게이트선 및 데이터선과 연결되어 있는 박막 트랜지스터, 박막 트랜지스터와 연결되어 있는 화소 전극을 포함하고, 색필터는 상기 색필터가 제거된 오목부를 가지고, 오목부는 상기 유지 전극선과 상기 데이터선이 교차하는 교차지점에 위치한다.According to another aspect of the present invention, a liquid crystal display device includes a first insulating substrate, a plurality of color filters positioned on the first insulating substrate, a common electrode positioned on the color filter, a second insulating substrate facing the first insulating substrate, and a first insulating substrate. A gate line and a storage electrode line disposed on the insulating substrate, a data line crossing the gate line, a thin film transistor connected to the gate line and the data line, and a pixel electrode connected to the thin film transistor, wherein the color filter is removed from the color filter. The concave portion is formed, and the concave portion is positioned at an intersection point where the storage electrode line and the data line cross each other.
이웃하는 두 화소의 상기 오목부는 서로 마주할 수 있다.The recesses of two neighboring pixels may face each other.
상기 유지 전극선은 상기 유지 전극선으로부터 상기 데이터선을 따라 뻗어 나가는 제1 유지 전극및 제2 유지 전극을 포함하고, 제1 유지 전극 및 제2 유지 전극은 상기 데이터선을 중심으로 반대편에 위치한다.The storage electrode line includes a first storage electrode and a second storage electrode extending along the data line from the storage electrode line, and the first storage electrode and the second storage electrode are positioned opposite to the data line.
상기 제1 절연 기판은 표시부 및 구동부, 표시부 밖에 위치하는 복수의 제1 더미 색필터 및 제2 더미 색필터를 더 포함하고, 제1 더미 색필터 및 제2 더미 색필터는 상기 표시부를 중심으로 반대편에 위치할 수 있다.The first insulating substrate may further include a display unit, a driver, and a plurality of first dummy color filters and a second dummy color filter positioned outside the display unit, and the first dummy color filter and the second dummy color filter may be opposite to each other. It can be located at
상기 색필터는 서로 다른 색을 나타내는 제1 내지 제3 색필터를 포함하고, 제1 더미 색필터는 상기 제1 색필터와 동일한 색을 나타내고, 제2 더미 색필터는 각각 상기 제2 색필터 및 상기 제3 색필터와 동일한 색을 나타내는 제1 소 더미 색필터와 제2 소 더미 색필터를 더 포함할 수 있다.The color filter includes first to third color filters representing different colors, a first dummy color filter representing the same color as the first color filter, and a second dummy color filter respectively representing the second color filter and The display apparatus may further include a first small dummy color filter and a second small dummy color filter representing the same color as the third color filter.
상기 제1 더미 색필터는 상기 표시부에 위치하며 상기 제1 더미 색필터와 가장 인접한 제1 색필터의 오목부와 마주하는 오목부를 포함하고, 제1 소 더미 색필터 및 상기 제2 소 더미 색필터는 상기 제1 더미 색필터와 오목부가 마주하는 오목부를 각각 포함할 수 있다.The first dummy color filter includes a recess located in the display unit and facing a recess of the first color filter closest to the first dummy color filter, and the first small dummy color filter and the second small dummy color filter. Each of the first dummy color filter and the recess may include a recess facing each other.
상기 제1 더미 색필터는 상기 제1 색필터와 동일한 폭으로 형성되고, 제1 소 더미 색필터는 상기 제2 색필터와 동일한 폭으로 형성되고, 제2 소 더미 색필터는 상기 제3 색필터와 동일한 폭으로 형성될 수 있다.The first dummy color filter is formed with the same width as the first color filter, the first small dummy color filter is formed with the same width as the second color filter, and the second small dummy color filter is the third color filter. It may be formed to the same width as.
상기 제1 소 더미 색필터와 상기 제2 소더미 색필터는 상기 제1 색필터의 폭만큼 떨어져 위치할 수 있다.The first small dummy color filter and the second dummy color filter may be spaced apart by the width of the first color filter.
상기 제1 더미 색필터는 상기 표시부로부터 상기 제2 색필터 또는 제3 색필터의 폭만큼 떨어져 위치할 수 있다.The first dummy color filter may be spaced apart from the display by the width of the second color filter or the third color filter.
상기 제1 색필터는 녹색 색필터이고, 제2 색필터는 적색 색필터이고, 제3 색필터는 청색 색필터이고, 제1 소 더미 색필터는 상기 제2 소 더미 색필터보다 상기 표시부와 인접하게 위치할 수 있다.The first color filter is a green color filter, the second color filter is a red color filter, the third color filter is a blue color filter, and the first small dummy color filter is closer to the display unit than the second small dummy color filter. Can be located.
상기 색필터는 서로 다른 색을 나타내는 제1 내지 제3 색필터를 포함하고, 제1 더미 색필터는 상기 제2 색필터와 동일한 색을 나타내고, 제2 더미 색필터는 각각 상기 제1 색필터 및 상기 제3 색필터와 동일한 색을 나타내는 제1 소 더미 색필터와 제2 소 더미 색필터를 더 포함한다.The color filter may include first to third color filters representing different colors, the first dummy color filter representing the same color as the second color filter, and the second dummy color filter respectively representing the first color filter and the first color filter. And a first small dummy color filter and a second small dummy color filter representing the same color as the third color filter.
상기 제1 더미 색필터는 상기 표시부에 위치하며 상기 제1 더미 색필터와 가장 인접한 제1 색필터의 오목부와 같은 위치에 형성된 오목부를 포함하고, 제1 소 더미 색필터 및 상기 제2 소 더미 색필터의 오목부는 같은 방향의 위치에 형성되어 있을 수 있다.The first dummy color filter includes a recess formed in the same position as the recess of the first color filter adjacent to the first dummy color filter and positioned in the display unit, and includes a first small dummy color filter and a second small dummy. The concave portion of the color filter may be formed at a position in the same direction.
상기 제1 더미 색필터는 상기 제2 색필터와 동일한 폭으로 형성되고, 제1 소 더미 색필터는 상기 제1 색필터와 동일한 폭으로 형성되고, 제2 소 더미 색필터는 상기 제3 색필터와 동일한 폭으로 형성되어 있을 수 있다.The first dummy color filter is formed with the same width as the second color filter, the first small dummy color filter is formed with the same width as the first color filter, and the second small dummy color filter is the third color filter. It may be formed to the same width as.
상기 제1 소 더미 색필터와 상기 제2 소더미 색필터는 상기 제2 색필터의 폭만큼 떨어져 위치할 수 있다.The first small dummy color filter and the second heap pile color filter may be spaced apart from each other by the width of the second color filter.
상기 제1 더미 색필터는 상기 표시부로부터 상기 제1 색필터 또는 제3 색필터의 폭만큼 떨어져 위치할 수 있다.The first dummy color filter may be spaced apart from the display unit by the width of the first color filter or the third color filter.
상기 제1 색필터는 적색 색필터이고, 제2 색필터는 녹색 색필터이고, 제3 색필터는 청색 색필터이고, 제1 소 더미 색필터는 상기 제2 소 더미 색필터보다 상기 표시부와 인접하게 위치할 수 있다.The first color filter is a red color filter, the second color filter is a green color filter, the third color filter is a blue color filter, and the first small dummy color filter is closer to the display unit than the second small dummy color filter. Can be located.
상기한 다른 과제를 달성하기 위한 색필터의 제조 방법은 N×M행렬을 이루는 복수의 화소 영역을 포함하는 절연 기판 위에 안료를 포함하는 제1 감광막을 형성하는 제1 단계, 제1 감광막 위에 광마스크를 정렬한 후 노광 및 현상하여 제1 색필터를 형성하는 제2 단계, 절연 기판 위에 상기 제1 감광막과 다른 안료를 포함하는 제2 감광막을 형성하는 제3 단계, 제2 감광막 위에 광마스크를 2열만큼 수평 이동하여 정렬하는 제4 단계, 광마스크를 통해서 상기 제2 감광막을 노광 및 현상하여 제2 색필터를 형성하는 제5 단계를 포함하고, 광마스크는 상기 화소 영역과 대응하고, 오목부를 가지는 제1 투과 영역과 제2 투과 영역을 포함하고, 제1 투과 영역과 상기 제2 투과 영역은 거울상 대칭을 이루며, 제2 단계에서, 상기 제2 투과 영역은 제2 열과 대응하고, 제4 단계에서, 상기 제1 투과 영역은 제1 열과 대응한다.According to another aspect of the present invention, there is provided a method of manufacturing a color filter, in which a first photosensitive layer including a pigment is formed on an insulating substrate including a plurality of pixel regions forming an N × M matrix, and a photomask is formed on the first photosensitive layer. After aligning and exposing and developing a second color filter to form a first color filter, a third step of forming a second photosensitive film comprising a pigment different from the first photosensitive film on an insulating substrate, a photomask on the second
상기 제4단계에서, 제4단계에서의 광마스크 제1 투과 영역이, 상기 제2단계에서의 광마스크 제2 투과 영역과 대응하는 열의 좌측 열에 정렬될 수 있다.
상기 제4단계에서, 제4단계에서의 광마스크 제1 투과 영역의 오목부가, 제2 단계에서의 광마스크 제2 투과 영역에 형성된 제1 색필터의 오목부와 마주하도록 배치될 수 있다.In the fourth step, the photomask first transmission region in the fourth step may be aligned with the left column of the column corresponding to the photomask second transmission region in the second step.
In the fourth step, the concave portion of the photomask first transmission region in the fourth step may be disposed to face the concave portion of the first color filter formed in the photomask second transmission region in the second step.
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상기 복수의 화소 영역은 영상을 표시하는 표시부를 이루고, 상기 제2 단계에서 상기 제1 색필터를 형성하는 단계에서 상기 표시부 밖에 위치하는 제1 더미 색필터가 동시에 형성될 수 있다. The plurality of pixel regions may form a display unit for displaying an image, and in the forming of the first color filter in the second step, a first dummy color filter positioned outside the display unit may be simultaneously formed.
상기 제2단계에서, 제1 투과 영역은 상기 표시부 밖에 상기 제1 더미 색필터와 대응할 수 있다.In the second step, the first transmission region may correspond to the first dummy color filter outside the display unit.
상기 제5단계에서, M-2열에 상기 제1 투과 영역이 대응하도록 상기 광마스크를 배치할 수 있다.In the fifth step, the optical mask may be disposed so that the first transmission region corresponds to the column M-2.
상기 제2 색필터는 적색 색필터일 수 있고, 제1 색필터는 녹색 색필터일 수 있다.
상기 절연 기판 위에 청색 안료를 포함하는 제3 감광막을 형성하는 제 6단계, 제3 감광막 위에 광마스크를 정렬한 후 노광 및 현상하여 제3 색필터를 형성하는 제7 단계를 더 포함하고,상기 제7 단계에서 정렬되는 광마스크는 상기 제1 색필터 및 상기 제2 색필터와 중첩하지 않도록 정렬될 수 있다.
상기 제5 단계에서 상기 제2 색필터를 형성하는 단계에서, 상기 표시부 밖에 위치하는 제2 더미 색필터가 동시에 형성될 수 있다.
상기 제7 단계에서 상기 제3 색필터를 형성하는 단계에서, 상기 표시부 밖에 위치하는 제3 더미 색필터가 동시에 형성되고, 상기 제2 더미 색필터는 상기 제3 더미 색필터 보다 상기 표시부에 더 인접하게 위치할 수 있다. The second color filter may be a red color filter, and the first color filter may be a green color filter.
And a sixth step of forming a third photoresist film including a blue pigment on the insulating substrate, and a seventh step of forming a third color filter by exposing and developing the photomask on the third photoresist film, followed by exposure and development. The photomasks aligned in step 7 may be aligned so as not to overlap the first color filter and the second color filter.
In the forming of the second color filter in the fifth step, a second dummy color filter positioned outside the display unit may be simultaneously formed.
In the forming of the third color filter in the seventh step, a third dummy color filter positioned outside the display unit is simultaneously formed, and the second dummy color filter is closer to the display unit than the third dummy color filter. Can be located.
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상기한 바와 같이 연결부를 형성하면 레이저의 절단 횟수를 줄일 수 있어 수리 시간을 감소시킬 수 있다. As described above, when the connection portion is formed, the number of cutting of the laser may be reduced, thereby reducing the repair time.
또한, 레이저 단락된 부분의 색필터를 제거함으로써 불순물로 인한 공통 전극과 화소 전극의 단락 등을 방지할 수 있어 전위가 왜곡되거나 하는 현상을 최소화할 수 있다.In addition, by removing the color filter of the laser short-circuit portion, it is possible to prevent the short circuit between the common electrode and the pixel electrode due to impurities, thereby minimizing the phenomenon that the potential is distorted.
도 1은 본 발명의 한 실시예에 따른 액정 표시 장치의 한 화소를 나타낸 배치도이다.
도 2는 도 1의 II-II선을 따라 잘라 도시한 단면도이다.
도 3은 도 1의 화소에서 유지 전극만을 도시한 배치도이다.
도 4는 본 발명의 한 실시예에 따른 색필터의 배치를 나타낸 배치도이다.
도 5 및 도 6은 본 발명의 한 실시예에 따를 박막 트랜지스터 표시판의 배치도로, 도 1의 화소를 포함한다.
도 7은 단선된 데이터선을 수리하는 방법을 설명하기 위한 배치도이다.
도 8 및 도 10은 본 발명의 한 실시예에 따른 색필터를 형성하는 방법을 순서대로 도시한 배치도이다.
도 9는 본 발명의 한 실시예에 따른 광마스크의 평면도이다.
도 11은 본 발명의 한 실시예에 따른 광마스크의 평면도이다.
도 12 내지 도 14는 본 발명의 한 실시예에 따른 색필터를 형성하는 방법을 순서대로 도시한 배치도이다.1 is a layout view illustrating one pixel of a liquid crystal display according to an exemplary embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a cross-sectional view taken along the line II-II of FIG. 1.
3 is a layout view illustrating only a sustain electrode in the pixel of FIG. 1.
4 is a layout view illustrating an arrangement of a color filter according to an exemplary embodiment of the present invention.
5 and 6 are layout views of a thin film transistor array panel according to an exemplary embodiment of the present invention, and include the pixel of FIG. 1.
7 is a layout view illustrating a method of repairing a disconnected data line.
8 and 10 are layout views sequentially illustrating a method of forming a color filter according to an embodiment of the present invention.
9 is a plan view of an optical mask according to an embodiment of the present invention.
11 is a plan view of an optical mask according to an embodiment of the present invention.
12 to 14 are layout views sequentially illustrating a method of forming a color filter according to an embodiment of the present invention.
이하에서 첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 실시예에 대하여 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 그러나 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings so that those skilled in the art may easily implement the present invention. As those skilled in the art would realize, the described embodiments may be modified in various different ways, all without departing from the spirit or scope of the present invention.
도면에서 여러 층 및 영역을 명확하게 표현하기 위하여 두께를 확대하여 나타내었다. 명세서 전체를 통하여 유사한 부분에 대해서는 동일한 도면 부호를 붙였다. 층, 막, 영역, 판 등의 부분이 다른 부분의 "상부에" 있다고 할 때, 이는 다른 부분의 "바로 상부에" 있는 경우 뿐만 아니라 그 중간에 또 다른 부분이 있는 경우도 포함한다. 반대로 어떤 부분이 다른 부분 "바로 상부에" 있다고 할 때에는 중간에 다른 부분이 없는 것을 뜻한다.In the drawings, the thickness of layers, films, panels, regions, etc., are exaggerated for clarity. Like parts are designated by like reference numerals throughout the specification. When a portion of a layer, film, region, plate, etc. is said to be "on top" of another portion, this includes not only being "just above" another portion, but also having another portion in the middle. On the contrary, when a part is "just above" another part, there is no other part in the middle.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 제1 실시예에 따른 액정 표시 장치에 대해 상세히 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, a liquid crystal display according to a first exemplary embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
도 1은 본 발명의 한 실시예에 따른 액정 표시 장치의 한 화소를 나타낸 배치도이고, 도 2는 도 1의 II-II선을 따라 잘라 도시한 단면도이고, 도 3은 도 1의 화소에서 유지 전극만을 도시한 배치도이다.FIG. 1 is a layout view illustrating one pixel of a liquid crystal display according to an exemplary embodiment of the present invention, FIG. 2 is a cross-sectional view taken along line II-II of FIG. 1, and FIG. 3 is a storage electrode of the pixel of FIG. 1. A layout showing the bay.
도 1 및 도 2를 참조하면, 본 발명의 한 실시예에 따른 액정 표시 장치는 서로 마주보는 박막 트랜지스터 표시판(100)과 공통 전극 표시판(200), 그 사이에 형성되어 있는 액정층(도시하지 않음)으로 이루어져 있다.1 and 2, a liquid crystal display according to an exemplary embodiment of the present invention includes a thin film
먼저 박막 트랜지스터 표시판(100)에 대해서 설명한다First, the thin film
박막 트랜지스터 표시판(100)은 투명한 절연 기판(110) 위에 게이트선(121), 유지 전극(133a, 133b, 133c)을 포함하는 복수의 게이트 도전체가 형성되어 있다. In the thin film
게이트선(121)은 주로 가로 방향으로 뻗어 있으며 게이트 신호를 전달한다. 게이트선(121)은 게이트선(121)으로부터 돌출한 게이트 전극(124)을 포함한다. 게이트선(121)은 게이트 전극(124)과 별도로 돌출된 돌출부(2)를 포함한다. 돌출부(2)는 후술하는 드레인 전극과 중첩하여 유지 용량을 형성할 수 있다.The gate line 121 mainly extends in the horizontal direction and transmits a gate signal. The gate line 121 includes a
유지 전극은 제1 유지 전극(133a), 제2 유지 전극(133b), 제3 유지 전극(133c) 및 한 쌍의 연결부(33)를 포함한다. The storage electrode includes a
유지 전극은 별도의 도면 부호를 부여하진 않았으나, 설명을 용이하게 하기 위해서 제1 유지 전극(133a), 제2 유지 전극(133b), 제3 유지 전극(133c) 및 연결부(33)을 모두 포함할 경우 이들의 도면 부호를 포함하여 유지 전극(133a, 133b, 133c, 33)이라 할 수 있다. The storage electrode is not provided with a separate reference numeral, but for ease of explanation, the storage electrode may include all of the
도1 및 도 3을 참조하여 유지 전극에 대해서 좀 더 구체적으로 설명하면, 제1 유지 전극(133a)은 게이트선(121)과 같은 방향으로 뻗어 있으며, 제1 유지 전극(133a)의 양단은 각각 제2 유지 전극(133b) 및 제3 유지 전극(133c)의 일단과 연결되어 있다. 1 and 3, the
제2 유지 전극(133b)은 일정한 간격을 두고 떨어져 위치하며 연결부(33)에 의해서 연결되어 있는 좌측 제2 유지 전극(133ba)과 우측 제2 유지 전극(133bb)을 포함한다. 좌측 제2 유지 전극(133ba)과 우측 제2 유지 전극(133bb)은 반전 대칭을 이루며, 각각의 양단 중 일단은 제1 유지 전극(133a)과 연결되어 있으며, 나머지 일단은 제1 유지 전극(133a)과 연결되지 않는다. 설명을 용이하게 하기 위해서 제1 유지 전극(133a)과 연결된 일단을 고정단이라 하고, 연결되지 않은 일단을 자유단이라 한다.The
제2 유지 전극(133b)의 좌측 제2 유지 전극(133ba)과 우측 제2 유지 전극(133bb)은 각각 고정단과 자유단 사이에 위치하며 제1 굽은 부분(G1), 선형부(G2) 및 제2 굽은 부분(G3)을 포함한다.The left second sustain electrode 133ba and the right second sustain electrode 133bb of the second sustain
연결부(33)는 각각 좌측 제2 유지 전극(133ba)의 제1 굽은 부분(G1) 및 제2 굽은 부분(G3)으로부터 데이터선(171)을 향해서 뻗은 제1 사선부(S1)와 우측 제2 유지 전극(133bb)의 제1 굽은 부분(G1) 및 제2 굽은 부분(G2)으로부터 데이터선(171)을 향해서 뻗은 제2 사선부(S2)를 포함한다. The connecting
한 쌍의 연결부(33)는 이웃하는 두 게이트선에 각각 인접하게 위치하는 제1 연결부와 제2 연결부를 포함한다.The pair of connecting
제1 사선부(S1)와 제2 사선부(S2)는 데이터선(171)에 대해서 비스듬하게 기울어져 있으며, 제1 사선부(S1)와 제2 사선부(S2)를 포함하는 연결부(33)는 ∧ 또는 ∨ 모양을 이룬다. The first diagonal portion S1 and the second diagonal portion S2 are inclined obliquely with respect to the
다시 도 1 및 도 2를 참조하면, 게이트 도전체 위에는 게이트 절연막(gate insulating layer)(140)이 형성되어 있다. Referring back to FIGS. 1 and 2, a
게이트 절연막(140) 위에는 비정질 규소 또는 결정질 규소 등으로 만들어질 수 있는 복수의 선형 반도체(도시하지 않음)가 형성되어 있다. 선형 반도체는 주로 세로 방향으로 뻗어 있으며 게이트 전극(124)을 향하여 뻗으며 서로 연결되어 있는 반도체(154)를 포함한다. A plurality of linear semiconductors (not shown) may be formed on the
반도체(154) 위에는 한 쌍의 저항성 접촉 부재(ohmic contact)(163, 165)가 위치한다.A pair of
저항성 접촉 부재(163, 165)는 인 따위의 n형 불순물이 고농도로 도핑되어 있는 n+수소화 비정질 규소 따위의 물질로 만들어지거나 실리사이드(silicide)로 만들어질 수 있다.The
저항성 접촉 부재(163, 165) 및 게이트 절연막(140) 위에는 복수의 데이터선(data line)(171)과 복수의 드레인 전극(drain electrode)(175)을 포함하는 데이터 도전체가 형성되어 있다. A data conductor including a plurality of
데이터선(171)은 데이터 신호를 전달하며 주로 세로 방향으로 뻗어 게이트선(121)과 교차할 수 있다. 각 데이터선(171)은 게이트 전극(124)을 향하여 뻗어 있는 소스 전극(souce electrode)(173)을 포함한다. The
드레인 전극(175)은 가로 방향으로 뻗어 있으며 소스 전극(173)과 마주하는 막대형 부분과 막대형 부분으로부터 돌출된 확장부를 포함한다. The
소스 전극(173)은 ⊂형 또는 ⊃형으로 구부러져 있으며 드레인 전극(175)의 막대형 부분의 일단을 둘러싸고 있다. The
게이트 전극(124), 반도체(154), 소스 전극(173) 및 드레인 전극(175)은 박막 트랜지스터(Q)를 이루며, 박막 트랜지스터의 채널(channel)은 소스 전극(173)과 드레인 전극(175) 사이의 반도체(154)에 형성된다.The
도시하지 않았으나, 선형 반도체는 데이터선(171)을 따라 그 하부에 위치한다. 박막 트랜지스터를 형성하는 공정에 따라서 선형 반도체는 형성하지 않고 게이트 전극(124), 드레인 전극(175) 및 소스 전극(173)과 중첩하는 섬형을 가지도록 형성할 수도 있다.Although not shown, the linear semiconductor is positioned below the
데이터 도전체 위에는 유기 절연물로 만들어진 보호막(180)이 형성되어 있다. 보호막(180)에는 드레인 전극(175)의 확장부를 드러내는 제1 접촉 구멍(185), 제2 유지 전극(133b)의 고정단과 자유단을 각각 드러내는 제2 접촉 구멍(183) 및 제3 접촉 구멍(184)이 형성되어 있다.A passivation layer 180 made of an organic insulator is formed on the data conductor. The passivation layer 180 may include a
보호막(180) 위에는 ITO(indium tin oxide) 또는 IZO(indium zinc oxide) 등의 투명한 도전 물질이나 알루미늄, 은, 크롬 또는 그 합금 등의 반사성 금속으로 만들어질 수 있는 복수의 화소 전극(pixel electrode)(191), 연결 다리(83)가 형성되어 있다.A plurality of pixel electrodes on the passivation layer 180 may be made of a transparent conductive material such as indium tin oxide (ITO) or indium zinc oxide (IZO), or a reflective metal such as aluminum, silver, chromium, or an alloy thereof. 191, a connecting
화소 전극(191)은 제1 접촉 구멍(185)을 통해서 드레인 전극(175)과 연결되어 있으며, 드레인 전극(175)을 통해서 데이터 신호를 전달 받는다.The
화소 전극(191)은 대략 사각형으로 형성되어 있으며, 세로 경계선은 유지 전극 중 세로로 형성되어 있는 제2 유지 전극(133b) 및 제3 유지 전극(133c) 위에 위치할 수 있다.The
연결 다리(83)는 게이트선(121)을 가로 지르며, 제2 접촉 구멍(183) 및 제3 접촉 구멍(184)을 통해서 게이트선(121)을 중심으로 반대편에 위치하는 두 화소 영역에 위치하는 제2 유지 전극(133b)을 연결한다. The connecting
화소 전극(191) 위에는 배향막(11)이 형성되어 있으며, 배향막(11)은 수평 배향막 일 수 있다.An alignment layer 11 is formed on the
다음, 공통 전극 표시판(200)에 대해서 설명한다. Next, the common
공통 전극 표시판(200)은 투명한 절연 기판(210) 위에 차광 부재(220)가 형성되어 있다. 차광 부재(220)는 빛샘을 방지하기 위한 것으로, 게이트선(121), 데이터선(171), 박막 트랜지스터(Q) 및 유지 전극(133a, 133b, 133c)의 상부에 대응하여 형성한다.The
차광 부재(220) 위에는 색필터(230)가 형성되어 있다. 색필터(230)는 액정 표시 장치의 색을 구현하기 위한 것으로, 예를 들면 적색, 녹색, 청색의 삼원색이 반복하여 배치될 수 있다. 색필터(230)는 데이터선(171)을 따라 길게 형성될 수 있다.The
도 1 및 도 4를 참조하여 색필터(230)에 대해서 좀 더 구체적으로 설명한다.The
도 4는 본 발명의 한 실시예에 따른 색필터의 배치를 나타낸 배치도이다.4 is a layout view illustrating an arrangement of a color filter according to an exemplary embodiment of the present invention.
도 1 및 도 4를 참조하면, 색필터(230)는 색필터(230)의 평면 패턴으로 볼 때 화소 영역과 대응하는 부분의 오른쪽 또는 왼쪽에 오목한 오목부(C)를 포함한다. 1 and 4, the
색필터 표시판(200) 전체에서 동일한 색을 표시하는 색필터((230)는 왼쪽 및 오른쪽의 오목부가 교대로 배치된다. In the
즉, 도 4를 참조할 때, 첫번째 적색 색필터가 오른쪽에 오목부를 가진다면, 두번째 적색 색필터는 왼쪽에 오목부를 가진다. That is, referring to FIG. 4, if the first red color filter has a recess on the right side, the second red color filter has a recess on the left side.
오목부(C)는 데이터선(171)과 연결부(33)가 교차하는 지점을 노출하도록 배치된다. 이때 이웃하는 두 색필터(230)의 오목부(C)는 마주하도록 배치되며 두 오목부(C)가 이루는 경계선 내에 데이터선(171)과 연결부(33)가 교차하는 지점이 위치하도록 한다.The recess C is disposed to expose a point where the
한편, 본 발명의 한 실시예에 따른 액정 표시 장치(10)는 도 4에서와 같이 영상을 표시하는 표시부(D1)와 표시부(D1)의 박막 트랜지스터를 제어하기 위한 구동 회로로 이루어지는 구동부(D2)를 포함한다. Meanwhile, the liquid crystal display device 10 according to an exemplary embodiment of the present invention includes a driving unit D2 including a display unit D1 displaying an image and a driving circuit for controlling the thin film transistors of the display unit D1 as shown in FIG. 4. It includes.
도 4를 참조할 때, 본 발명의 한 실시예에 따른 구동부(D2)에는 더미 색필터(23)가 형성되어 있다. Referring to FIG. 4, a dummy color filter 23 is formed in the driving unit D2 according to an exemplary embodiment of the present invention.
더미 색필터(23)는 제1 더미 색필터(23a) 및 제2 더미 색필터(23b)를 포함하고, 제1 더미 색필터(23a) 및 제2 더미 색필터(23b)는 표시부(D1) 밖의 구동부(D2)에 위치한다. 이때, 제1 더미 색필터(23a) 및 제2 더미 색필터(23b)는 표시부(D1)를 중심으로 반대편에 위치한다.The dummy color filter 23 includes a first
본 발명의 한 실시예에서는 표시부(D1)를 중심으로 양쪽에 구동부(D2)가 위치하는 것을 예로 들었으나, 구동부(D2)는 표시부(D1)의 왼쪽 또는 오른쪽과 같이 어느 한 곳에만 배치될 수 있다. 따라서 제1 더미 색필터(23a) 또는 제2 더미 색필터(23b) 아래에 구동부가 위치하지 않을 수 있다.In an exemplary embodiment of the present invention, the driving unit D2 is positioned on both sides of the display unit D1, but the driving unit D2 may be disposed only at one side such as the left side or the right side of the display unit D1. . Therefore, the driving unit may not be located under the first
본 발명의 한 실시예에 따른 색필터(230)는 서로 다른 세가지 색을 표시할 수 있으며, 각각 제1 색필터(230a), 제2 색필터(230b) 및 제3 색필터(230c)라 할 때 제1 더미 색필터(23a)는 제1 색필터(230a)와 동일한 색일 수 있다. The
그리고 제2 더미 색필터(23b)는 제1 소 더미 색필터(23ba)와 제2 소더미 색필터(23bb)를 포함할 수 있으며, 제1 소 더미 색필터(23ba)와 제2 소 더미 색필터(23bb)는 각각 제2 색필터(230b) 및 제3 색필터(230c)와 동일한 색일 수 있다.The second dummy color filter 23b may include a first small dummy color filter 23ba and a second small pile color filter 23bb, and the first small dummy color filter 23ba and the second small dummy color. The filter 23bb may be the same color as the
본 발명의 실시예에서는 표시에 적색, 녹색, 청색 색필터가 형성되므로, 제1 색필터(230a)는 표시부에 형성되는 적색, 녹색, 청색 색필터 중 어느 하나와 동일한 색이고, 제2 색필터(230b)는 제1 색필터(230a)를 제외한 두 가지 색 중에 하나와 동일한 색이고, 제3 색필터(230c)는 제1 색필터(230a) 및 제2 색필터(230b)를 제외한 나머지 하나의 색과 동일한 색이다. 예를 들어, 제1 색필터(230a)는 녹색 색필터, 제2 색필터(230b)는 적색 색필터, 제3 색필터(230c)는 청색 색필터일 수 있다.In the exemplary embodiment of the present invention, since the red, green, and blue color filters are formed on the display, the
제1 더미 색필터(23a)는 제1 색필터(230a)와 동일한 폭으로 형성되어 있고, 제1 소 더미 색필터(23ba)는 제2 색필터(230b)와 동일한 폭으로 형성되어 있고, 제2 소 더미 색필터(23bb)는 제3 색필터(230c)와 동일한 폭으로 형성될 수 있다.The first
이때, 제1 소 더미 색필터(23ba)와 제2 소 더미 색필터(23bb)는 제1 색필터(230a)의 폭만큼 떨어져 위치하고, 제1 더미 색필터(23a)는 표시부(D1)로부터 제2 색필터(230b) 또는 제3 색필터(230c)의 폭만큼 떨어져 위치한다. 색필터(230)의 폭은 게이트선(121)과 나란한 방향의 길이이다.In this case, the first small dummy color filter 23ba and the second small dummy color filter 23bb are positioned apart from each other by the width of the
한편, 이웃하는 두 화소의 색필터(230)의 가장자리는 도 2에서와 같이 중첩하게 형성할 수 있으나, 도 1의 오목부(C)가 형성된 가장자리에서와 같이 중첩하지 않을 수도 있으므로 필요에 따라서 선택적으로 형성한다.Meanwhile, the edges of the
다시 도 1 및 도 2를 참조하면, 색필터(230) 위에는 기판을 평탄하게 하기 위해서 유기 물질 등으로 이루어지는 덮개막(250)이 형성되어 있다. 1 and 2, an
덮개막(250) 위에는 공통 전극(270)이 형성되어 있다. 공통 전극(270)은 화소 전극과 같은 투명한 도전 물질로 형성될 수 있으며, 기판 전면에 형성되어 있다.The
공통 전극(270)에는 일정한 전압이 인가되면 화소 전극(191)과 마주보고 화소 전극(191)에 인가되는 전압에 따라서 액정층에 전기장을 생성하여 액정 분자들의 배향을 결정하고 입사광의 편광을 제어함으로써 영상을 표시한다.When a constant voltage is applied to the
공통 전극(270) 위에는 배향막(21)이 형성되어 있으며, 배향막(21)은 수평 배향막 일 수 있다.An
본 발명의 한 실시예에 따른 박막 트랜지스터 표시판은 데이터선의 수를 감소시키기 위해서, 한 개의 데이터선을 이용하여 두 화소의 데이터 신호를 전달할 수 있다. In order to reduce the number of data lines, the thin film transistor array panel according to an exemplary embodiment may transmit data signals of two pixels using one data line.
이에 대해서 도 5 및 도 6을 참조하여 구체적으로 설명한다. This will be described in detail with reference to FIGS. 5 and 6.
도 5 및 도 6은 본 발명의 한 실시예에 따를 박막 트랜지스터 표시판의 배치도로, 도 1의 화소를 포함한다.5 and 6 are layout views of a thin film transistor array panel according to an exemplary embodiment of the present invention, and include the pixel of FIG. 1.
도 1과 동일한 부분에 대해서는 동일한 부호를 사용하였으며, 설명을 용이하게 하기 위해서 설명의 순서 또는 형성되는 위치에 따라서 도 1의 도면 부호 뒤에 a, b, c와 같은 알파벳을 추가하여 구분하였다.The same reference numerals are used for the same parts as in FIG. 1, and for ease of explanation, alphabets such as a, b, and c are added after the reference numerals of FIG.
도 5에 도시한 바와 같이, 상부 방향으로 돌출한 제1 게이트 전극(124a)을 가지는 제1 게이트선(121a)과 하부 방향으로 돌출한 제2 게이트 전극(124a)을 가지는 제2 게이트선(121b)이 형성되어 있다. As shown in FIG. 5, the
제1 게이트 전극(124a) 및 제2 게이트 전극(124b)은 제3 유지 전극(133c)의 연장선 상에 위치한다. The
데이터선(171)은 데이터선 수를 감소시키기 위해서 두 개의 화소 영역 마다 한 개씩 형성되어 있으며, 소스 전극(173)은 데이터선(171)을 중심으로 반대방향으로 뻗어 있다. In order to reduce the number of data lines, one
연결부(33)는 데이터선(171)을 가로 질러 좌측 제2 유지 전극(133ba)과 우측 제2 유지 전극(133bb)을 연결한다.The
제3 유지 전극(133c)은 이웃하는 두 데이터선(171) 사이의 거리를 이등분하는 지점에 위치하고 있으며, 이웃하는 두 화소 전극(191)의 세로변과 모두 중첩하고 있다. The third sustain
제1 유지 전극(133a)은 열이 바뀔 때 마다 좌측 제2 유지 전극(133ba)의 고정단과 우측 제2 유지 전극(133bb)의 고정단에 교대로 연결되어 있다. 따라서 제1 유지 전극, 제2 유지 전극 및 제3 유지 전극으로 이루어지는 유지 전극(133a, 133b, 133c)은 대략 구형파 모양을 형성한다. The first sustain
한편, 유지 전극은 가로 방향으로는 제1 유지 전극(133a) 및 연결부(33)에 의해서 이웃하는 두 화소의 유지 전극이 전기적으로 연결되어 있으며, 세로 방향으로는 연결 다리(83)에 의해서 이웃하는 두 화소의 유지 전극이 전기적으로 연결된다. 따라서 기판 전체의 유지 전극(133a, 133b, 133c)은 균일한 유지 전압을 유지한다.Meanwhile, the storage electrode is electrically connected to the storage electrodes of two neighboring pixels by the
한편, 도 6에서와 같이 화소 전극과 데이터선을 연결하면, 2도트 반전 구동을 얻을 수 있다. 즉, 이웃하는 두 데이터선(171) 사이에 위치하는 두 화소는 동일한 극성을 나타내고, 데이터선(191)을 중심으로 반대편에 위치하는 두 화소는 반대 극성을 나타내고, 제1 및 제2 게이트선(121a, 121b)을 중심으로 반대편에 위치하는 두 화소는 반대 극성을 나타낸다. 박막 트랜지스터는 도시하지 않았으나, 데이터선(171)으로부터 양쪽으로 뻗어 소스 전극(173)을 통해서, 화소 전극(191)과 데이터선(171)의 연결 관계를 알 수 있으며, 화소 전극(191)은 소스 전극(173)과 중첩하는 제1 게이트선(121a) 또는 제2 게이트선(121b)로부터 게이트 신호를 전달 받는다.Meanwhile, as shown in FIG. 6, when the pixel electrode and the data line are connected, 2-dot inversion driving can be obtained. That is, two pixels positioned between two neighboring
이때, 데이터선을 중심으로 양쪽에 위치하는 두 화소의 화소 전극 및 박막 트랜지스터의 평면 패턴 또는 연결 관계는 데이터선을 중심으로 반전 대칭 또는 거울상 대칭을 이룰 수 있다.In this case, the planar pattern or the connection relationship between the pixel electrode and the thin film transistor of the two pixels positioned at both sides of the data line may be inverted symmetry or mirror image symmetry with respect to the data line.
그럼 이상의 액정 표시 장치의 데이터선이 단선될 때, 단선된 데이터선을 수리하는 방법에 대해서 도 7을 참조하여 구체적으로 설명한다. Then, when the data line of the liquid crystal display is disconnected, a method of repairing the disconnected data line will be described in detail with reference to FIG. 7.
도 7은 단선된 데이터선을 수리하는 방법을 설명하기 위한 도면으로, 도 1과 동일하므로 구체적인 설명은 생략한다.FIG. 7 is a diagram for describing a method of repairing a disconnected data line, which is the same as FIG.
도 7에 도시한 바와 같이, 데이터선(171)은 데이터선(171)의 일부분(A)이 단선되어 있다.As shown in FIG. 7, a portion A of the
이처럼 데이터선(171)이 단선되면, 데이터선(171)과 연결부(33)이 중첩하는 부분(B)을 레이저를 이용하여 단락시킨다. 그리고 연결부(33)와 연결되어 있는 제2 유지 전극의 좌측 제2 유지 전극(133ba) 또는 우측 제2 유지 전극(133bb) 중 어느 하나를 절단(C)한다. When the
설명을 용이하게 하기 위해서 본 발명의 실시예에서는 좌측 제2 유지 전극(133ba)을 절단하기로 한다. 그리고 연결 다리(83)와 제2 굽은 부분(G3) 사이를 절단(C)한다. In order to facilitate the description, the left second sustain electrode 133ba is cut in the embodiment of the present invention. And cut | disconnects C between the
이상의 설명에서와 같이 레이저를 이용하여 연결부(33)와 데이터선(171)이 중첩하는 부분을 단락시키고, 연결부(33)와 좌측 제2 유지 전극(133ba)이 연결된 부분과 연결 다리(83)와 제2 굽은 다리(G3) 사이를 절단시키면 도 7의 데이터 신호(점선)는 우측 제2 유지 전극(133bb)을 통해서 전달된다.As described above, a portion where the
반대로, 우측 제2 유지 전극(133bb)를 절단하면 좌측 제2 유지 전극(133ba)을 통해서 데이터 신호가 전달된다.On the contrary, when the right second sustain electrode 133bb is cut, the data signal is transmitted through the left second sustain electrode 133ba.
이처럼 본 발명의 한 실시예에서와 같이 연결부(33)를 형성하면, 레이저를 이용하여 절단하는 부분이 3개로 종래보다 레이저 조사 횟수를 감소시킬 수 있다.As such, when the
또한, 본 발명의 실시예에서는 레이저를 이용하여 단락시키는 부분(B)에는 색필터(230)가 제거되어 있다. 레이저를 이용한 단락 또는 단선을 시킬 때 파티클 등이 발생될 수 있는데, 이는 공통 전극과 화소 전극을 단락시킬 수 있으며, 이는 레이저를 이용하여 단락되는 부분에서 주로 발생할 수 있다. 따라서 본 발명의 한 실시예에서와 같이 색필터를 제거하면 공통 전극과 화소 전극 사이의 간격이 크기 때문에 파티클로 인해서 공통 전극과 화소 전극이 단락되는 것을 방지할 수 있다.In addition, in the embodiment of the present invention, the
한편, 본 발명의 한 실시예에 따른 색필터 표시판을 형성하는 방법에 대해서 구체적으로 설명한다.Meanwhile, a method of forming a color filter display panel according to an exemplary embodiment of the present invention will be described in detail.
도 8 및 도 10은 본 발명의 한 실시예에 따른 색필터를 형성하는 방법을 순서대로 도시한 배치도이고, 도 9는 본 발명의 한 실시예에 따른 광마스크의 평면도이다.8 and 10 are layout views sequentially showing a method of forming a color filter according to an embodiment of the present invention, Figure 9 is a plan view of an optical mask according to an embodiment of the present invention.
도 8 및 도 10과 도 4를 참조하여 본 발명의 한 실시예에 따라서 색필터 표시판의 색필터를 형성하는 방법에 대해서 설명한다.A method of forming a color filter of a color filter display panel according to an exemplary embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 8, 10, and 4.
먼저, 도 8에 도시한 바와 같이 기판(110) 위에 안료를 포함하는 제1 감광막(도시하지 않음)을 도포한 후 광마스크를 이용하여 노광 및 현상하여 제1 색필터(230a)를 형성한다. 이때, 안료는 녹색일 수 있고, 기판(110) 위에는 차광 부재가 형성되어 있다.First, as shown in FIG. 8, a first photosensitive film (not shown) including a pigment is coated on the
이때, 제1 색필터(230a)와 함께 표시부(D1) 밖에 제1 더미 색필터(23a)가 형성된다.In this case, the first
광마스크(MP)는 도 9에 도시한 바와 같이 화소 영역과 대응하는 부분의 일부분이 오목한 오목부(C)를 가지는 제1 투과부(T1) 및 제2 투과부(T2)를 포함한다.As shown in FIG. 9, the photomask MP includes a first transmission part T1 and a second transmission part T2 having a recessed portion C in which a part of the portion corresponding to the pixel area is concave.
제1 투과부(T1) 및 제2 투과부(T2)의 오목부는 마주하도록 배치되어 있으며, 제1 투과부(T1)과 제2 투과부(T2)는 색필터(230) 폭의 2배만큼 떨어져 있다.The recesses of the first transmission part T1 and the second transmission part T2 are disposed to face each other, and the first transmission part T1 and the second transmission part T2 are separated by twice the width of the
다음 도 10에 도시한 바와 같이, 기판 위에 제1 색필터(230a)와 다른 안료를 포함하는 제2 감광막(도시하지 않음)을 도포한 후 광마스크(MP)로 노광 및 현상하여 제2 색필터(230b)를 형성한다. 제2 감광막은 적색 안료를 포함할 수 있다.Next, as shown in FIG. 10, a second photosensitive film (not shown) including a
이때, 광마스크(MP)는 도 10에서와 같이 수평 이동하여 제1 색필터(230a)의 오목부(C)와 제2 색필터(230b)의 오목부(C)가 마주할 수 있도록 광마스크(MP)를 배치한다.At this time, the optical mask MP is horizontally moved as shown in FIG. 10 so that the concave portion C of the
다음 도 4에 도시한 바와 같이, 기판(110) 위에 제1 색필터(230a) 및 제2 색필터(230b)와 다른 안료를 포함하는 제3 감광막(도시하지 않음)을 도포한 후 광마스크로 노광 및 현상하여 제3 색필터(230c)를 형성한다. 제3 감광막은 청색 안료를 포함할 수 있다.Next, as shown in FIG. 4, a third photosensitive film (not shown) including a pigment different from the
이때, 광마스크는 도 4에서와 같이 수평 이동하여 형성하며 제2 색필터(230b)의 오목부와 제3 색필터(230a)의 오목부가 마주하도록 광마스크를 배치한다.In this case, the photomask is formed to move horizontally as shown in FIG. 4, and the photomask is disposed such that the concave portion of the
이상의 실시예와 달리, 도 11의 광마스크를 이용하여 색필터를 형성할 수 있다. 도 11은 본 발명의 한 실시예에 따른 광마스크의 평면도이다.Unlike the above embodiment, the color filter may be formed using the photomask of FIG. 11. 11 is a plan view of an optical mask according to an embodiment of the present invention.
도 11의 광마스크는 도 9의 광마스크와 달리 제1 투과부(T1)와 제2 투과부(T2)의 오목부가 마주하지 않는다.Unlike the photomask of FIG. 9, the photomask of FIG. 11 does not face concave portions of the first transmission part T1 and the second transmission part T2.
도 12 내지 도 14를 참조하여, 도 12의 광마스크를 이용하여 색필터를 형성하는 방법에 대해서 구체적으로 설명한다.12 to 14, a method of forming a color filter using the photomask of FIG. 12 will be described in detail.
도 12 내지 도 14는 본 발명의 한 실시예에 따른 색필터를 형성하는 방법을 순서대로 도시한 배치도이다.12 to 14 are layout views sequentially illustrating a method of forming a color filter according to an embodiment of the present invention.
먼저, 도 12에 도시한 바와 같이, 기판(110) 위에 안료를 포함하는 제1 감광막(도시하지 않음)을 도포한 후 광마스크를 이용하여 노광 및 현상하여 제1 색필터(230a)를 형성한다. 이때, 안료는 적색일 수 있고, 기판(110) 위에는 차광 부재가 형성되어 있다. 이때, 제1 소 더미 색필터(23ba)가 함께 형성된다.First, as illustrated in FIG. 12, a first photosensitive film (not shown) including a pigment is coated on the
광마스크(MP)는 도 11에 도시한 바와 같이 화소 영역과 대응하는 부분의 일부분이 오목한 오목부(C)를 가지는 제1 투과부(T1) 및 제2 투과부(T2)를 포함한다.As shown in FIG. 11, the photomask MP includes a first transmission part T1 and a second transmission part T2 having a recessed part C in which a part of the portion corresponding to the pixel area is concave.
제1 투과부(T1) 및 제2 투과부(T2)의 오목부는 마주하지 않도록 배치되어 있으며, 제1 투과부(T1)과 제2 투과부(T2)는 색필터(230) 폭의 2배만큼 떨어져 있다.The recesses of the first transmission part T1 and the second transmission part T2 are disposed not to face each other, and the first transmission part T1 and the second transmission part T2 are separated by twice the width of the
다음 도 13에 도시한 바와 같이, 기판 위에 제1 색필터(230a)와 다른 안료를 포함하는 제2 감광막(도시하지 않음)을 도포한 후 광마스크(MP)로 노광 및 현상하여 제2 색필터(230B)를 형성한다. 제2 감광막은 청색 안료를 포함한다.Next, as shown in FIG. 13, a second photosensitive film (not shown) including a
광마스크(MP)는 도 13에서와 같이 수평 이동하여 제1 색필터(230a)의 오목부(C)와 제2 색필터(230b)의 오목부(C)가 반대방향에 오도록 광마스크를 배치한다.The photomask MP is horizontally moved as shown in FIG. 13 to arrange the photomask such that the recess C of the
이때, 제2 소 더미 색필터(23bb)가 형성된다.At this time, the second small dummy color filter 23bb is formed.
다음 도 14에 도시한 바와 같이, 기판(110) 위에 제1 색필터(230a) 및 제2 색필터(230b)와 다른 안료를 포함하는 제3 감광막(도시하지 않음)을 도포한 후 광마스크로 노광 및 현상하여 제3 색필터(230c)를 형성한다. 제3 감광막는 녹색 안료를 포함한다. 광마스크는 수평 이동하여 형성하며 제2 색필터(230b)의 오목부와 제3 색필터(230c)의 오목부가 마주하도록 광마스크를 배치한다.Next, as shown in FIG. 14, a third photosensitive film (not shown) including a pigment different from the
이때, 제1 더미 색필터(23a)도 함께 형성된다.At this time, the first
이상에서 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 상세하게 설명하였지만 본 발명의 권리범위는 이에 한정되는 것은 아니고 다음의 청구범위에서 정의하고 있는 본 발명의 기본 개념을 이용한 당업자의 여러 변형 및 개량 형태 또한 본 발명의 권리범위에 속하는 것이다.Although the preferred embodiments of the present invention have been described in detail above, the scope of the present invention is not limited thereto, and various modifications and improvements of those skilled in the art using the basic concepts of the present invention defined in the following claims are also provided. It belongs to the scope of rights.
11. 21: 배향막 33: 연결부
83: 연결 다리 100 : 박막 트랜지스터 표시판
110 : 제1 기판 121 : 게이트선
121a: 제1 게이트선 121b: 제2 게이트선
124 : 게이트 전극 124a: 제1 게이트 전극
124b: 제2 게이트 전극 133a: 제1 유지 전극
133b: 제2 유지 전극 133c: 제3 유지 전극
133ba: 좌측 제2 유지 전극 133bb: 우측 제2 유지 전극
154: 반도체 163, 165: 저항성 접촉 부재
171 : 데이터선 171a: 제1 데이터선
171b: 제2 데이터선 173 : 소스 전극
173a : 제1 소스 전극 173b : 제2 소스 전극
175 : 드레인 전극 175a : 제1 드레인 전극
175b: 제2 드레인 전극 183 : 제2 접촉 구멍
184 : 제3 접촉 구멍 185 : 제1 접촉 구멍
191 : 화소 전극
200 : 공통 전극 표시판 210 : 제2 절연 기판
220 : 차광 부재 230 : 색필터
230a: 제1 색필터 230b: 제2 색필터
230c: 제3 색필터 250: 덮개막
270 : 공통 전극 11. 21: alignment layer 33: connection portion
83: connection bridge 100: thin film transistor array panel
110: first substrate 121: gate line
121a:
124:
124b:
133b: second sustain
133ba: left second sustain electrode 133bb: right second sustain electrode
154:
171:
171b: second data line 173: source electrode
173a:
175:
175b: second drain electrode 183: second contact hole
184: third contact hole 185: first contact hole
191: pixel electrode
200: common electrode display panel 210: second insulating substrate
220: light blocking member 230: color filter
230a:
230c: third color filter 250: overcoat
270 common electrode
Claims (27)
상기 제1 절연 기판 위에 위치하는 복수의 색필터,
상기 색필터 위에 위치하는 공통 전극,
상기 제1 절연 기판과 마주하는 제2 절연 기판,
상기 제2 절연 기판 위에 위치하는 게이트선 및 유지 전극선,
상기 게이트선과 교차하는 데이터선,
상기 게이트선 및 데이터선과 연결되어 있는 박막 트랜지스터,
상기 박막 트랜지스터와 연결되어 있는 화소 전극
을 포함하고,
상기 색필터는 상기 색필터가 제거된 오목부를 가지고,
상기 오목부는 상기 유지 전극선과 상기 데이터선이 교차하는 교차지점에 위치하고,
이웃하는 두 화소의 상기 오목부는 서로 마주하는 액정 표시 장치.
First insulating substrate,
A plurality of color filters positioned on the first insulating substrate,
A common electrode on the color filter,
A second insulating substrate facing the first insulating substrate,
A gate line and a storage electrode line positioned on the second insulating substrate;
A data line intersecting the gate line,
A thin film transistor connected to the gate line and the data line,
A pixel electrode connected to the thin film transistor
Including,
The color filter has a recess in which the color filter is removed,
The recess is located at the intersection of the storage electrode line and the data line,
The concave portions of two neighboring pixels face each other.
상기 유지 전극선은 상기 유지 전극선으로부터 상기 데이터선을 따라 뻗어 나가는 제1 유지 전극 및 제2 유지 전극을 포함하고,
상기 제1 유지 전극 및 제2 유지 전극은 상기 데이터선을 중심으로 반대편에 위치하는 액정 표시 장치.
In claim 1,
The storage electrode line includes a first storage electrode and a second storage electrode extending along the data line from the storage electrode line;
The first storage electrode and the second storage electrode are on opposite sides of the data line.
상기 제1 절연 기판은 표시부 및 구동부,
상기 표시부 밖에 위치하는 복수의 제1 더미 색필터 및 제2 더미 색필터
를 더 포함하고,
상기 제1 더미 색필터 및 제2 더미 색필터는 상기 표시부를 중심으로 반대편에 위치하는 액정 표시 장치.
In claim 1,
The first insulating substrate may include a display unit and a driver;
A plurality of first and second dummy color filters positioned outside the display unit
More,
The first dummy color filter and the second dummy color filter are positioned opposite to each other with respect to the display unit.
상기 색필터는 서로 다른 색을 나타내는 제1 내지 제3 색필터를 포함하고,
상기 제1 더미 색필터는 상기 제1 색필터와 동일한 색을 나타내고,
상기 제2 더미 색필터는 각각 상기 제2 색필터 및 상기 제3 색필터와 동일한 색을 나타내는 제1 소 더미 색필터와 제2 소 더미 색필터를 더 포함하는 액정 표시 장치.
In claim 4,
The color filter includes first to third color filters representing different colors,
The first dummy color filter represents the same color as the first color filter,
And the second dummy color filter further comprises a first small dummy color filter and a second small dummy color filter each representing the same color as the second color filter and the third color filter.
상기 제1 더미 색필터는 상기 표시부에 위치하며 상기 제1 더미 색필터와 가장 인접한 제1 색필터의 오목부와 마주하는 오목부를 포함하고,
상기 제1 소 더미 색필터 및 상기 제2 소 더미 색필터는 상기 제1 더미 색필터와 오목부가 마주하는 오목부를 각각 포함하는 액정 표시 장치.
In claim 5,
The first dummy color filter includes a recess located in the display unit and facing a recess of the first color filter closest to the first dummy color filter.
And the first small dummy color filter and the second small dummy color filter respectively include recesses facing the first dummy color filter and the recesses.
상기 제1 더미 색필터는 상기 제1 색필터와 동일한 폭으로 형성되고,
상기 제1 소 더미 색필터는 상기 제2 색필터와 동일한 폭으로 형성되고,
상기 제2 소 더미 색필터는 상기 제3 색필터와 동일한 폭으로 형성되어 있는 액정 표시 장치.
In claim 5,
The first dummy color filter is formed to have the same width as the first color filter,
The first small dummy color filter is formed to have the same width as the second color filter.
And the second small dummy color filter has the same width as that of the third color filter.
상기 제1 소 더미 색필터와 상기 제2 소더미 색필터는 상기 제1 색필터의 폭만큼 떨어져 위치하는 액정 표시 장치.
In claim 7,
And the first small dummy color filter and the second small pile color filter are spaced apart by the width of the first color filter.
상기 제1 더미 색필터는 상기 표시부로부터 상기 제2 색필터 또는 제3 색필터의 폭만큼 떨어져 위치하는 액정 표시 장치.
In claim 7,
And the first dummy color filter is spaced apart from the display by the width of the second color filter or the third color filter.
상기 제1 색필터는 녹색 색필터이고,
상기 제2 색필터는 적색 색필터이고,
상기 제3 색필터는 청색 색필터이고,
상기 제1 소 더미 색필터는 상기 제2 소 더미 색필터보다 상기 표시부와 인접하게 위치하는 액정 표시 장치.
In claim 5,
The first color filter is a green color filter,
The second color filter is a red color filter,
The third color filter is a blue color filter,
And the first small dummy color filter is positioned closer to the display unit than the second small dummy color filter.
상기 색필터는 서로 다른 색을 나타내는 제1 내지 제3 색필터를 포함하고,
상기 제1 더미 색필터는 상기 제2 색필터와 동일한 색을 나타내고,
상기 제2 더미 색필터는 각각 상기 제1 색필터 및 상기 제3 색필터와 동일한 색을 나타내는 제1 소 더미 색필터와 제2 소 더미 색필터를 더 포함하는 액정 표시 장치.
In claim 4,
The color filter includes first to third color filters representing different colors,
The first dummy color filter represents the same color as the second color filter,
And the second dummy color filter further comprises a first small dummy color filter and a second small dummy color filter each having the same color as the first color filter and the third color filter.
상기 제1 더미 색필터는 상기 표시부에 위치하며 상기 제1 더미 색필터와 가장 인접한 제1 색필터의 오목부와 같은 위치에 형성된 오목부를 포함하고,
상기 제1 소 더미 색필터 및 상기 제2 소 더미 색필터의 오목부는 같은 방향의 위치에 형성되어 있는 액정 표시 장치.
In claim 11,
The first dummy color filter may include a recess formed at the same position as the recess of the first color filter positioned adjacent to the first dummy color filter.
The recess of the first small dummy color filter and the second small dummy color filter is formed at a position in the same direction.
상기 제1 더미 색필터는 상기 제2 색필터와 동일한 폭으로 형성되고,
상기 제1 소 더미 색필터는 상기 제1 색필터와 동일한 폭으로 형성되고,
상기 제2 소 더미 색필터는 상기 제3 색필터와 동일한 폭으로 형성되어 있는 액정 표시 장치.
In claim 11,
The first dummy color filter is formed to have the same width as the second color filter.
The first small dummy color filter is formed to have the same width as the first color filter.
And the second small dummy color filter has the same width as that of the third color filter.
상기 제1 소 더미 색필터와 상기 제2 소더미 색필터는 상기 제2 색필터의 폭만큼 떨어져 위치하는 액정 표시 장치.
In claim 13,
And the first small dummy color filter and the second small pile color filter are spaced apart from each other by the width of the second color filter.
상기 제1 더미 색필터는 상기 표시부로부터 상기 제1 색필터 또는 제3 색필터의 폭만큼 떨어져 위치하는 액정 표시 장치.
In claim 13,
And the first dummy color filter is spaced apart from the display by the width of the first color filter or the third color filter.
상기 제1 색필터는 적색 색필터이고,
상기 제2 색필터는 녹색 색필터이고,
상기 제3 색필터는 청색 색필터이고,
상기 제1 소 더미 색필터는 상기 제2 소 더미 색필터보다 상기 표시부와 인접하게 위치하는 액정 표시 장치.
In claim 11,
The first color filter is a red color filter,
The second color filter is a green color filter,
The third color filter is a blue color filter,
And the first small dummy color filter is positioned closer to the display unit than the second small dummy color filter.
상기 제1 감광막 위에 광마스크를 정렬한 후 노광 및 현상하여 제1 색필터를 형성하는 제2 단계,
상기 절연 기판 위에 상기 제1 감광막과 다른 안료를 포함하는 제2 감광막을 형성하는 제3 단계,
상기 제2 감광막 위에 광마스크를 2열만큼 수평 이동하여 정렬하는 제4 단계,
상기 광마스크를 통해서 상기 제2 감광막을 노광 및 현상하여 제2 색필터를 형성하는 제5 단계,
를 포함하고,
상기 광마스크는 상기 화소 영역과 대응하고, 오목부를 가지는 제1 투과 영역과 제2 투과 영역을 포함하고,
상기 제1 투과 영역과 상기 제2 투과 영역은 거울상 대칭을 이루며,
상기 제2 단계에서, 상기 제2 투과 영역은 제2 열과 대응하고,
상기 제4 단계에서, 상기 제1 투과 영역은 제1 열과 대응하는 색필터의 제조 방법.
A first step of forming a first photoresist film containing a pigment on an insulating substrate including a plurality of pixel regions forming an N × M matrix,
A second step of forming a first color filter by aligning a photomask on the first photoresist film and then exposing and developing the photomask;
A third step of forming a second photoresist film on the insulating substrate, the second photoresist film comprising a pigment different from the first photoresist film,
A fourth step of horizontally aligning the photomasks by two columns on the second photoresist film,
A fifth step of forming a second color filter by exposing and developing the second photosensitive film through the photomask;
Including,
The photomask corresponding to the pixel region, and including a first transmission region and a second transmission region having a concave portion,
The first transmission region and the second transmission region are in mirror image symmetry,
In the second step, the second transmission region corresponds to a second row,
The method of claim 4, wherein the first transmission region corresponds to a first column.
상기 제4단계에서의 광마스크 제1 투과 영역이, 상기 제2단계에서의 광마스크 제2 투과 영역과 대응하는 열의 좌측 열에 정렬되는 색필터의 제조 방법.
The method of claim 17,
And the photomask first transmission region in the fourth step is aligned with the left column of the column corresponding to the photomask second transmission region in the second step.
상기 제4단계에서,
제4단계에서의 광마스크 제1 투과 영역의 오목부가, 제2 단계에서의 광마스크 제2 투과 영역에 형성된 제1 색필터의 오목부와 마주하도록 배치하는 색필터의 제조 방법.
The method of claim 17,
In the fourth step,
The manufacturing method of the color filter arrange | positioned so that the recessed part of the optical mask 1st transmission area | region in a 4th step may face the recessed part of the 1st color filter formed in the photomask second transmission area | region of a 2nd step.
상기 복수의 화소 영역은 영상을 표시하는 표시부를 이루고,
상기 제2 단계에서 상기 제1 색필터를 형성하는 단계에서 상기 표시부 밖에 위치하는 제1 더미 색필터가 동시에 형성되는 색필터의 제조 방법.
The method of claim 17,
The plurality of pixel areas form a display unit for displaying an image.
And a first dummy color filter positioned outside the display unit at the step of forming the first color filter in the second step.
상기 제2단계에서,
상기 제1 투과 영역은 상기 표시부 밖에 상기 제1 더미 색필터와 대응하는 색필터의 제조 방법.
The method of claim 20,
In the second step,
And the first transmission region corresponds to the first dummy color filter outside the display unit.
상기 제5단계에서,
M-2열에 상기 제1 투과 영역이 대응하도록 상기 광마스크를 배치하는 색필터의 제조 방법.
The method of claim 21,
In the fifth step,
A method of manufacturing a color filter, wherein the optical mask is arranged such that the first transmission region corresponds to column M-2.
상기 제2 색필터는 적색 색필터인 색필터의 제조 방법.
The method of claim 22,
And the second color filter is a red color filter.
상기 제1 색필터는 녹색 색필터인 색필터의 제조 방법.
The method of claim 23,
And the first color filter is a green color filter.
상기 절연 기판 위에 청색 안료를 포함하는 제3 감광막을 형성하는 제 6단계,
상기 제3 감광막 위에 광마스크를 정렬한 후 노광 및 현상하여 제3 색필터를 형성하는 제7 단계를 더 포함하고,
상기 제7 단계에서 정렬되는 광마스크는 상기 제1 색필터 및 상기 제2 색필터와 중첩하지 않도록 정렬되는 색필터의 제조 방법.
The method of claim 24,
A sixth step of forming a third photosensitive film including a blue pigment on the insulating substrate,
And a seventh step of forming a third color filter by aligning the photomask on the third photoresist film, and then exposing and developing the photomask.
And the photomask aligned in the seventh step is arranged so as not to overlap the first color filter and the second color filter.
상기 제 5단계에서 상기 제2 색필터를 형성하는 단계에서, 상기 표시부 밖에 위치하는 제2 더미 색필터가 동시에 형성되는 색필터의 제조 방법.
The method of claim 25,
And in the forming of the second color filter in the fifth step, a second dummy color filter positioned outside the display unit is simultaneously formed.
상기 제7 단계에서 상기 제3 색필터를 형성하는 단계에서, 상기 표시부 밖에 위치하는 제3 더미 색필터가 동시에 형성되고,
상기 제2 더미 색필터는 상기 제3 더미 색필터 보다 상기 표시부에 더 인접하게 위치하는 색필터의 제조 방법.The method of claim 26,
In the forming of the third color filter in the seventh step, a third dummy color filter positioned outside the display unit is simultaneously formed.
And the second dummy color filter is located closer to the display portion than the third dummy color filter.
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