KR101941488B1 - Shower head unit and Apparatus for treating substrate with the unit - Google Patents

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Abstract

본 발명은 기판을 가스 처리하는 장치를 제공한다. 공정 가스를 토출하는 샤워 헤드 유닛은 하부 플레이트, 상기 하부 플레이트에 위에 적층되며, 가스를 분배하는 상부 플레이트, 그리고 상기 하부 플레이트 및 상기 상부 플레이트 간에 틈을 실링하는 실링 부재를 포함하되, 상기 실링 부재는 서로 밀착되는 상기 하부 플레이트의 하부 밀착면 및 상기 상부 플레이트의 상부 밀착면 사이에 위치되되, 상기 하부 밀착면 및 상기 상부 밀착면 중 적어도 하나는 수직한 상하 방향과 상이한 방향을 향한다. 이로 인해 실링 부재가 서로 마주하는 플레이트들이 가압하는 힘에 의해 손상되는 것을 방지할 수 있다.The present invention provides an apparatus for gas treating a substrate. A showerhead unit for discharging a process gas includes a lower plate, an upper plate stacked on the lower plate and distributing a gas, and a sealing member sealing a gap between the lower plate and the upper plate, At least one of the lower close contact surface and the upper close contact surface faces a direction different from a vertical direction. This makes it possible to prevent the plates facing the sealing members from being damaged by the pressing force.

Description

샤워 헤드 유닛 및 이를 가지는 기판 처리 장치{Shower head unit and Apparatus for treating substrate with the unit}[0001] The present invention relates to a shower head unit and a substrate processing apparatus having the shower head unit.

본 발명은 기판을 가스 처리하는 장치에 관한 것이다.The present invention relates to an apparatus for gas treating a substrate.

반도체 소자를 제조하는 공정에 있어서 사진, 식각, 박막 증착, 이온주입, 그리고 세정 등 다양한 공정들이 수행된다. 이러한 공정들 중 식각, 박막 증착, 그리고 세정 공정에는 플라즈마를 이용한 기판 처리 장치가 사용된다.In the process of manufacturing a semiconductor device, various processes such as photolithography, etching, thin film deposition, ion implantation, and cleaning are performed. Among these processes, a substrate processing apparatus using plasma is used for etching, thin film deposition, and cleaning processes.

일반적으로 플라즈마 처리 공정은 챔버 내에 공정 가스를 공급하고, 그 공정 가스로부터 발생된 플라즈마를 이용하여 기판을 처리한다. 이러한 공정 가스는 샤워 헤드를 통해 공급된다. Generally, a plasma processing process supplies a process gas into a chamber, and processes the substrate using plasma generated from the process gas. This process gas is supplied through the showerhead.

일반적으로, 샤워 헤드 유닛은 복수 개의 플레이트들이 상하 방향으로 적층되는 구조로 제공된다. 서로 인접한 플레이트들의 사이 공간에는 실링 부재가 제공되며, 실링 부재는 그 사이 공간을 실링한다. Generally, the showerhead unit is provided with a structure in which a plurality of plates are stacked in the vertical direction. A sealing member is provided in the space between the adjacent plates, and the sealing member seals the space therebetween.

도 1은 일반적인 샤워 헤드 유닛을 보여주는 단면도이다. 도 1을 참조하면, 실링 부재는 상하 방향으로 마주보는 각 플레이트의 밀착면 사이에 위치된다. 그러나 실링 부재의 형상은 샤워 헤드 유닛 내에 제공되는 히터에 의해 변형될 수 있다. 또한 서로 마주하는 플레이트들이 가압하는 힘에 의해 일부 영역은 수축되고 다른 영역은 팽창될 수 있다.1 is a sectional view showing a general shower head unit. Referring to Fig. 1, the sealing member is positioned between the contact surfaces of the facing plates facing up and down. However, the shape of the sealing member can be deformed by the heater provided in the shower head unit. Also, the pressing forces of the facing plates can cause some regions to contract and the other regions to expand.

이에 따라 각 플레이트 간에 틈이 벌어지고, 공정 가스는 샤워 헤드 유닛의 비정상 영역에서 누출되며 이는 공정 불량을 발생시킨다.As a result, a gap is created between each plate, and the process gas leaks out of the abnormal region of the shower head unit, which causes a process failure.

한국 특허 공개 번호 1999-0010957Korean Patent Publication No. 1999-0010957

본 발명은 샤워 헤드 유닛의 가스 토출 영역이 아닌 비정상 영역에서 가스가 누출되는 것을 방지할 수 있는 장치를 제공하고자 한다.The present invention seeks to provide an apparatus capable of preventing gas from leaking out of an abnormal region other than the gas discharge region of the shower head unit.

또한 본 발명은 각 플레이트 간에 틈을 실링하는 실링 부재가 손상되는 것을 방지할 수 있는 장치를 제공하고자 한다.Another object of the present invention is to provide a device for preventing a sealing member sealing a gap between plates from being damaged.

본 발명의 실시예는 기판을 가스 처리하는 장치를 제공한다. 공정 가스를 토출하는 샤워 헤드 유닛은 하부 플레이트, 상기 하부 플레이트에 위에 적층되며, 가스를 분배하는 상부 플레이트, 그리고 상기 하부 플레이트 및 상기 상부 플레이트 간에 틈을 실링하는 실링 부재를 포함하되, 상기 실링 부재는 서로 밀착되는 상기 하부 플레이트의 하부 밀착면 및 상기 상부 플레이트의 상부 밀착면 사이에 위치되되, 상기 하부 밀착면 및 상기 상부 밀착면 중 적어도 하나는 수직한 상하 방향과 상이한 방향을 향한다. An embodiment of the present invention provides an apparatus for gas treating a substrate. A showerhead unit for discharging a process gas includes a lower plate, an upper plate stacked on the lower plate and distributing a gas, and a sealing member sealing a gap between the lower plate and the upper plate, At least one of the lower close contact surface and the upper close contact surface faces a direction different from a vertical direction.

상기 하부 밀착면 및 상기 상부 밀착면 중 하나에는 상기 실링 부재가 삽입되는 실링홈이 형성될 수 있다. 상기 하부 플레이트의 상면 및 상기 상부 플레이트의 저면 중 하나에는 결합홈이 형성되고, 다른 하나에는 상기 결합홈에 삽입 가능한 결합 돌기를 가지되, 상기 실링 부재는 상기 결합홈 내에 위치될 수 있다. 상기 결합홈은 바닥면 및 이로부터 연장되며 서로 마주보는 양면에 의해 형성되고, 상기 실링홈은 상기 양면 또는 상기 돌기의 측면에 형성될 수 있다. 상기 하부 밀착면 및 상기 상부 밀착면 중 하나는 수직 방향을 향하는 제1수직면 및 상기 제1수직면으로부터 수직한 방향으로 연장되는 제1수평면을 포함하고, 상기 하부 밀착면 및 상기 상부 밀착면 중 다른 하나는 상기 제1수직면과 마주보는 제2수직면, 상기 제1수평면과 마주보는 제2수평면, 그리고 상기 제2수직면 및 상기 제2수평면 각각으로부터 연장되는 경사면을 포함하되, 상기 실링 부재는 상기 경사면과 마주보도록 위치될 수 있다. And a sealing groove into which the sealing member is inserted may be formed in one of the lower close contact face and the upper close contact face. A coupling groove may be formed in one of the upper surface of the lower plate and the lower surface of the upper plate and the coupling groove may be inserted into the coupling groove in the other of the coupling plate and the sealing member may be located in the coupling groove. The coupling groove may be formed by a bottom surface and two opposite surfaces extending from the bottom surface, and the sealing groove may be formed on both sides or the side surface of the projection. Wherein one of the lower close contact surface and the upper close contact surface includes a first vertical surface oriented in a vertical direction and a first horizontal surface extending in a direction perpendicular to the first vertical surface, and the other of the lower close contact surface and the upper close contact surface Includes a second vertical surface facing the first vertical surface, a second horizontal surface facing the first horizontal surface, and an inclined surface extending from each of the second vertical surface and the second horizontal surface, As shown in FIG.

또한 기판 처리 장치는 내부에 처리 공간을 가지는 챔버, 상기 처리 공간에서 기판을 지지하는 기판 지지 유닛, 상기 처리 공간에 공정 가스를 공급하는 샤워 헤드 유닛, 그리고 상기 처리 공간에 공급되는 공정 가스를 여기시키는 플라즈마 소스를 포함하되, 상기 샤워 헤드 유닛은 공정 가스를 가열하는 히팅 플레이트, 상기 히팅 플레이트에 위에 적층되며, 공정 가스를 분배하는 분배 플레이트, 그리고 상기 히팅 플레이트 및 상기 분배 플레이트 간에 틈을 실링하는 실링 부재를 포함하되, 상기 실링 부재는 서로 밀착되는 상기 히팅 플레이트의 하부 밀착면 및 상기 분배 플레이트의 상부 밀착면 사이에 위치되되, 상기 하부 밀착면 및 상기 상부 밀착면 중 적어도 하나는 수직한 상하 방향과 상이한 방향을 향한다. The substrate processing apparatus further includes a chamber having a processing space therein, a substrate supporting unit for supporting the substrate in the processing space, a showerhead unit for supplying a processing gas to the processing space, A showerhead unit comprising a heating plate for heating the process gas, a distribution plate stacked on the heating plate for distributing the process gas, and a sealing member for sealing the gap between the heating plate and the distribution plate, Wherein the sealing member is positioned between a lower contact surface of the heating plate and an upper contact surface of the distribution plate which are in close contact with each other and at least one of the lower contact surface and the upper contact surface is different from a vertical direction Direction.

상기 하부 밀착면 및 상기 상부 밀착면 중 하나에는 상기 실링 부재가 삽입되는 실링홈이 형성될 수 있다. 상기 히팅 플레이트의 상면 및 상기 분배 플레이트의 저면 중 하나에는 결합홈이 형성되고, 다른 하나에는 상기 결합홈에 삽입 가능한 결합 돌기를 가지되, 상기 실링 부재는 상기 결합홈 내에 위치될 수 있다. 상기 결합홈은 바닥면 및 이로부터 연장되며 서로 마주보는 양면에 의해 형성되고, 상기 실링홈은 상기 양면 또는 상기 돌기의 측면에 형성될 수 있다.And a sealing groove into which the sealing member is inserted may be formed in one of the lower close contact face and the upper close contact face. One of the upper surface of the heating plate and the lower surface of the distribution plate has a coupling groove and the other has a coupling protrusion that can be inserted into the coupling groove. The sealing member can be positioned in the coupling groove. The coupling groove may be formed by a bottom surface and two opposite surfaces extending from the bottom surface, and the sealing groove may be formed on both sides or the side surface of the projection.

본 발명의 실시예에 의하면, 실링 부재는 각 플레이트 중 수직한 상하 방향과 상이한 방향을 향하는 밀착면과 마주보도록 위치된다. 이로 인해 실링 부재가 서로 마주하는 플레이트들이 가압하는 힘에 의해 손상되는 것을 방지할 수 있다.According to the embodiment of the present invention, the sealing member is positioned so as to face the close face facing the direction different from the vertical direction of each plate. This makes it possible to prevent the plates facing the sealing members from being damaged by the pressing force.

도 1은 일반적인 샤워 헤드 유닛을 보여주는 단면도이다.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 기판 처리 장치를 보여주는 단면도이다.
도 3은 도 2의 배플을 보여주는 평면도이다.
도 4는 도 2의 가스 공급 유닛의 샤워 헤드 유닛을 개략적으로 보여주는 절단 사시도이다.
도 5는 도 4의 절단면을 확대해 보여주는 단면도이다.
도 6은 도 4의 히팅 플레이트를 보여주는 평면도이다.
도 7은 도 6의 히팅 플레이트와 분배 플레이트의 밀착면을 보여주는 단면도이다.
도 8은 도 5의 다른 실시예를 보여주는 단면도이다.
도 9는 도 5의 또 다른 실시예를 보여주는 단면도이다.1 is a sectional view showing a general shower head unit.
2 is a sectional view showing a substrate processing apparatus according to an embodiment of the present invention.
3 is a plan view showing the baffle of FIG. 2;
Fig. 4 is a cutaway perspective view schematically showing the shower head unit of the gas supply unit of Fig. 2; Fig.
5 is an enlarged cross-sectional view of FIG. 4;
FIG. 6 is a plan view showing the heating plate of FIG. 4;
FIG. 7 is a cross-sectional view showing the contact surface of the heating plate and the distribution plate of FIG. 6;
8 is a cross-sectional view showing another embodiment of Fig.
9 is a cross-sectional view showing another embodiment of Fig.

본 발명의 실시예는 여러 가지 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 아래에서 서술하는 실시예로 인해 한정되어지는 것으로 해석되어서는 안된다. 본 실시예는 당업계에서 평균적인 지식을 가진 자에게 본 발명을 보다 완전하게 설명하기 위해서 제공되는 것이다. 따라서 도면에서의 구성 요소의 형상 등은 보다 명확한 설명을 강조하기 위해서 과장된 것이다.The embodiments of the present invention can be modified into various forms and the scope of the present invention should not be interpreted as being limited by the embodiments described below. The present embodiments are provided to enable those skilled in the art to more fully understand the present invention. Accordingly, the shapes of the components and the like in the drawings are exaggerated in order to emphasize a clearer description.

본 실시예에서는 챔버 내에서 플라즈마를 이용하여 기판을 식각 처리하는 기판 처리 장치를 일 예로 설명한다. 그러나 본 발명은 이에 한정되지 않고, 샤워 헤드 유닛으로부터 토출되는 가스를 이용하여 기판을 처리하는 장치라면 다양한 공정에 적용 가능하다. In this embodiment, a substrate processing apparatus for etching a substrate by using a plasma in a chamber will be described as an example. However, the present invention is not limited to this and can be applied to various processes as long as it is an apparatus for processing a substrate by using a gas discharged from a showerhead unit.

이하, 도 2 내지 도 8을 참조하여 본 발명을 설명한다.Hereinafter, the present invention will be described with reference to Figs. 2 to 8. Fig.

도 2는 본 발명의 실시예에 따른 기판처리장치를 보여주는 단면도이다. 도 2를 참조하면, 기판 처리 장치(10)는 챔버(100), 기판 지지 유닛(200), 플라즈마 소스(400), 배플(500), 그리고 가스 공급 유닛(600)을 포함한다.2 is a sectional view showing a substrate processing apparatus according to an embodiment of the present invention. 2, the substrate processing apparatus 10 includes a chamber 100, a substrate support unit 200, a plasma source 400, a baffle 500, and a gas supply unit 600.

챔버(100)은 내부에 기판(W)이 처리되는 처리 공간을 제공한다. 챔버(100)는 원형의 통 형상으로 제공된다. 챔버(100)은 금속 재질로 제공된다. 예컨대, 챔버(100)는 알루미늄 재질로 제공될 수 있다. 챔버(100)의 일측벽에는 개구(130)가 형성된다. 개구(130)는 기판(W)이 반출입 가능한 출입구(130)로 제공된다. 출입구(130)는 도어(140)에 의해 개폐 가능하다. 챔버(100)의 바닥면에는 배기홀(150)이 형성된다. 배기홀(150)은 배기 라인을 통해 감압 부재(160)에 연결된다. 감압부재(160)는 배기 라인을 통해 배기홀(150)로 진공압을 제공한다. 공정 진행 중에 발생되는 부산물 및 챔버(100) 내에 머무르는 플라즈마는 진공압에 의해 챔버(100)의 외부로 배출된다. The chamber 100 provides a processing space in which the substrate W is processed. The chamber 100 is provided in a circular cylindrical shape. The chamber 100 is made of a metal material. For example, the chamber 100 may be provided with an aluminum material. An opening 130 is formed in one side wall of the chamber 100. The opening 130 is provided to an entrance 130 through which the substrate W can be loaded and unloaded. The door 130 is openable and closable by a door 140. An exhaust hole 150 is formed in the bottom surface of the chamber 100. The exhaust hole 150 is connected to the pressure reducing member 160 through the exhaust line. The pressure-reducing member 160 provides vacuum pressure to the exhaust hole 150 through the exhaust line. The by-products generated during the process and the plasma remaining in the chamber 100 are discharged to the outside of the chamber 100 by the vacuum pressure.

기판 지지 유닛(200)은 처리 공간에서 기판(W)을 지지한다. 기판 지지 유닛(200)은 정전기력을 이용하여 기판(W)을 지지하는 정전척(200)으로 제공될 수 있다. 선택적으로 기판 지지 유닛(200)은 기계적 클램핑과 같은 다양한 방식으로 기판(W)을 지지할 수 있다.The substrate supporting unit 200 supports the substrate W in the processing space. The substrate support unit 200 may be provided with an electrostatic chuck 200 that supports the substrate W using electrostatic force. Optionally, the substrate support unit 200 can support the substrate W in a variety of ways, such as mechanical clamping.

정전척(200)은 유전판(210), 포커스링(250), 그리고 베이스(230)를 포함한다. 유전판(210)의 상면에는 기판(W)이 직접 놓인다. 유전판(210)은 원판 형상으로 제공된다. 유전판(210)은 기판(W)보다 작은 반경을 가질 수 있다. 유전판(210)의 내부에는 내부 전극(212)이 설치된다. 내부 전극(212)에는 전원(미도시)이 연결되고, 전원(미도시)으로부터 전력을 인가받는다. 내부 전극(212)은 인가된 전력(미도시)으로부터 기판(W)이 유전판(210)에 흡착되도록 정전기력을 제공한다. 유전판(210)의 내부에는 기판(W)을 가열하는 히터(214)가 설치된다. 히터(214)는 내부 전극(212)의 아래에 위치될 수 있다. 히터(214)는 나선 형상의 코일로 제공될 수 있다. 예컨대, 유전판(210)은 세라믹 재질로 제공될 수 있다. The electrostatic chuck 200 includes a dielectric plate 210, a focus ring 250, and a base 230. The substrate W is directly placed on the upper surface of the dielectric plate 210. The dielectric plate 210 is provided in a disc shape. The dielectric plate 210 may have a smaller radius than the substrate W. [ An internal electrode 212 is provided inside the dielectric plate 210. A power source (not shown) is connected to the internal electrode 212, and receives power from a power source (not shown). The internal electrode 212 provides an electrostatic force such that the substrate W is attracted to the dielectric plate 210 from the applied electric power (not shown). Inside the dielectric plate 210, a heater 214 for heating the substrate W is provided. The heater 214 may be located under the internal electrode 212. The heater 214 may be provided as a helical coil. For example, the dielectric plate 210 may be provided in a ceramic material.

베이스(230)는 유전판(210)을 지지한다. 베이스(230)는 유전판(210)의 아래에 위치되며, 유전판(210)과 고정결합된다. 베이스(230)의 상면은 그 중앙영역이 가장자리영역에 비해 높도록 단차진 형상을 가진다. 베이스(230)는 그 상면의 중앙영역이 유전판(210)의 저면에 대응하는 면적을 가진다. 베이스(230)의 내부에는 냉각유로(232)가 형성된다. 냉각유로(232)는 냉각유체가 순환하는 통로로 제공된다. 냉각유로(232)는 베이스(230)의 내부에서 나선 형상으로 제공될 수 있다. 베이스에는 외부에 위치된 고주파 전원(234)과 연결된다. 고주파 전원(234)은 베이스(230)에 전력을 인가한다. 베이스(230)에 인가된 전력은 챔버(100) 내에 발생된 플라즈마가 베이스(230)를 향해 이동되도록 안내한다. 베이스(230)는 금속 재질로 제공될 수 있다.The base 230 supports the dielectric plate 210. The base 230 is positioned below the dielectric plate 210 and is fixedly coupled to the dielectric plate 210. The upper surface of the base 230 has a stepped shape such that its central region is higher than the edge region. The central portion of the upper surface of the base 230 has an area corresponding to the bottom surface of the dielectric plate 210. A cooling passage 232 is formed in the base 230. The cooling channel 232 is provided as a passage through which the cooling fluid circulates. The cooling channel 232 may be provided in a spiral shape inside the base 230. And is connected to a high-frequency power supply 234 located outside the base. The high frequency power supply 234 applies power to the base 230. The power applied to the base 230 guides the plasma generated in the chamber 100 to be moved toward the base 230. The base 230 may be made of a metal material.

포커스링(250)은 플라즈마를 기판(W)으로 집중시킨다. 포커스링(250)은 내측링(252) 및 외측링(254)을 포함한다. 내측링(252)은 유전판(210)을 감싸는 환형의 링 형상으로 제공된다. 내측링(252)을 베이스(230)의 가장자리영역에 위치된다. 내측링(252)의 상면은 유전판(210)의 상면과 동일한 높이를 가지도록 제공된다. 내측링(252)의 상면 내측부는 기판(W)의 저면 가장자리영역을 지지한다. 예컨대, 내측링(252)은 도전성 재질로 제공될 수 있다. 외측링(254)은 내측링(252)을 감싸는 환형의 링 형상으로 제공된다. 외측링(254)은 베이스(230)의 가장자리영역에서 내측링(252)과 인접하게 위치된다. 외측링(254)의 상면은 내측링(252)의 상면에 비해 그 높이가 높게 제공된다. 외측링(254)은 절연 물질로 제공될 수 있다.The focus ring 250 focuses the plasma onto the substrate W. [ The focus ring 250 includes an inner ring 252 and an outer ring 254. The inner ring 252 is provided in an annular ring shape surrounding the dielectric plate 210. The inner ring 252 is located in the edge region of the base 230. [ The upper surface of the inner ring 252 is provided so as to have the same height as the upper surface of the dielectric plate 210. The inner surface of the upper surface of the inner ring 252 supports the bottom edge region of the substrate W. [ For example, the inner ring 252 may be provided with a conductive material. The outer ring 254 is provided in an annular ring shape surrounding the inner ring 252. The outer ring 254 is positioned adjacent to the inner ring 252 in the edge region of the base 230. The upper surface of the outer ring 254 is provided with a higher height than the upper surface of the inner ring 252. The outer ring 254 may be provided with an insulating material.

플라즈마 소스(400)는 챔버(100) 내에 공정 가스를 플라즈마 상태로 여기시킨다. 일 예에 의하면, 플라즈마 소스(400)로는 용량 결합형 플라즈마(CCP: Capacitively coupled plasma)가 사용될 수 있다. 플라즈마 소스(400)는 챔버(100) 내부에서 상부 전극 및 하부 전극(미도시)을 포함할 수 있다. 상부 전극(420) 및 하부 전극은 챔버(100)의 내부에서 서로 평행하게 상하로 배치될 수 있다. 양 전극 중 어느 하나의 전극은 고주파 전력을 인가하고, 다른 전극은 접지될 수 있다. 양 전극 간의 공간에는 전자기장이 형성되고, 이 공간에 공급되는 공정 가스는 플라즈마 상태로 여기될 수 있다. 일 예에 의하면, 상부 전극(420)은 샤워 헤드 유닛(650)에 제공되고, 하부 전극은 베이스의 내부에 제공될 수 있다. 하부 전극에는 고주파 전력이 인가되고, 상부 전극(420)은 접지될 수 있다. 이와 달리, 상부 전극과 하부 전극에 모두 고주파 전력이 인가될 수 있다. 이로 인해 상부 전극(420)과 하부 전극 사이에 전자기장이 발생된다. 발생된 전자기장은 챔버(100) 내부로 제공된 공정 가스를 플라즈마 상태로 여기 시킨다.The plasma source 400 excites the process gas into the plasma state within the chamber 100. According to an example, a capacitively coupled plasma (CCP) may be used as the plasma source 400. The plasma source 400 may include an upper electrode and a lower electrode (not shown) within the chamber 100. The upper electrode 420 and the lower electrode may be arranged vertically in parallel with each other in the chamber 100. Either one of the electrodes can apply high-frequency power and the other electrode can be grounded. An electromagnetic field is formed in a space between both electrodes, and a process gas supplied to this space can be excited into a plasma state. According to one example, the upper electrode 420 may be provided in the shower head unit 650, and the lower electrode may be provided in the interior of the base. High-frequency power may be applied to the lower electrode, and the upper electrode 420 may be grounded. Alternatively, high-frequency power may be applied to both the upper electrode and the lower electrode. As a result, an electromagnetic field is generated between the upper electrode 420 and the lower electrode. The generated electromagnetic field excites the process gas provided inside the chamber 100 into a plasma state.

배플(500)은 처리 공간에서 플라즈마를 영역 별로 균일하게 배기시킨다. 도 3는 도 2의 배플을 보여주는 평면도이다. 도 3을 참조하면, 배플(500)은 처리공간에서 챔버(100)의 내측벽과 기판 지지 유닛(400)의 사이에 위치된다. 배플(500)은 환형의 링 형상으로 제공된다. 배플(500)에는 복수의 관통홀들(502)이 형성된다. 관통홀들(502)은 상하방향을 향하도록 제공된다. 관통홀들(502)은 배플(500)의 원주방향을 따라 배열된다. 관통홀들(502)은 슬릿 형상을 가지며, 배플(500)의 반경방향을 향하는 길이 방향을 가진다.The baffle 500 uniformly evacuates the plasma in the processing space. 3 is a top view showing the baffle of FIG. Referring to FIG. 3, the baffle 500 is positioned between the inner wall of the chamber 100 and the substrate support unit 400 in the process space. The baffle 500 is provided in an annular ring shape. A plurality of through holes 502 are formed in the baffle 500. The through holes 502 are provided so as to face up and down. The through holes 502 are arranged along the circumferential direction of the baffle 500. The through holes 502 have a slit shape and have a longitudinal direction toward the radial direction of the baffle 500.

가스 공급 유닛(600)은 처리 공간에 공정 가스를 공급한다. 가스 공급 유닛(600)은 가스 유입 포트(610), 가스 공급 라인(630), 그리고 샤워 헤드 유닛(650)을 포함한다. 가스 유입 포트(610)는 챔버(100)의 상부벽에 설치된다. 가스 유입 포트(610)는 기판 지지 유닛(200)과 대향되게 위치된다. 일 예에 의하면, 가스 유입 포트(610)는 챔버(100) 상부벽의 중심에 설치될 수 있다. 가스 공급 라인은 가스 유입 포트(610)에 공정 가스를 공급한다. 가스 공급 라인(630)에는 밸브가 설치되어 그 내부 통로를 개폐하거나, 내부 통로에 흐르는 가스의 유량을 조절할 수 있다. 예컨대, 공정 가스는 식각 가스일 수 있다. The gas supply unit 600 supplies the process gas to the process space. The gas supply unit 600 includes a gas inlet port 610, a gas supply line 630, and a shower head unit 650. The gas inlet port 610 is installed in the upper wall of the chamber 100. The gas inlet port 610 is positioned opposite the substrate support unit 200. According to one example, the gas inlet port 610 may be installed at the center of the upper wall of the chamber 100. The gas supply line supplies the process gas to the gas inlet port 610. A valve is provided in the gas supply line 630 to open and close the internal passage or to control the flow rate of the gas flowing in the internal passage. For example, the process gas may be an etch gas.

샤워 헤드 유닛(650)은 가스 유입 포트(610)에 유입된 공정 가스를 처리 공간으로 토출한다. 샤워 헤드 유닛(650)은 기판 지지 유닛(200)의 위에 위치된다. 샤워 헤드 유닛(650)은 유전판(210)과 마주보도록 위치된다. 도 4는 도 2의 가스 공급 유닛의 샤워 헤드 유닛을 개략적으로 보여주는 절단 사시도이고, 도 5는 도 4의 절단면을 확대해 보여주는 단면도이다. 도 4 및 도 5를 참조하면, 샤워 헤드 유닛(650)은 샤워 플레이트(710), 히팅 플레이트(730), 분배 플레이트(770), 그리고 실링 부재(800)를 포함한다. 샤워 플레이트(710), 히팅 플레이트(730), 분배 플레이트(770)는 아래에서 위 방향을 향해 순차적으로 위치된다. 샤워 플레이트(710), 히팅 플레이트(730), 분배 플레이트(770) 각각은 적층되게 위치된다.The showerhead unit 650 discharges the process gas introduced into the gas inlet port 610 to the process space. The showerhead unit 650 is positioned above the substrate support unit 200. The showerhead unit 650 is positioned to face the dielectric plate 210. FIG. 4 is a cut-away perspective view schematically showing a shower head unit of the gas supply unit of FIG. 2, and FIG. 5 is a cross-sectional view showing an enlarged sectional view of FIG. 4 and 5, the showerhead unit 650 includes a shower plate 710, a heating plate 730, a distribution plate 770, and a sealing member 800. The shower plate 710, the heating plate 730, and the distribution plate 770 are sequentially positioned from below in the upward direction. Each of the shower plate 710, the heating plate 730, and the distribution plate 770 is positioned to be stacked.

샤워 플레이트(710)는 판 형상을 가진다. 예컨대, 샤워 플레이트(710)는 원판 형상을 가질 수 있다. 샤워 플레이트(710)는 그 저면이 처리 공간에 노출된다. 샤워 플레이트(710)에는 복수의 토출홀들(712)이 형성된다. 각각의 토출홀(712)은 상하 방향을 향하도록 형성된다. 공정 가스는 토출홀들(712)을 통해 처리 공간으로 공급된다.The shower plate 710 has a plate shape. For example, the shower plate 710 may have a disk shape. The bottom surface of the shower plate 710 is exposed to the processing space. A plurality of discharge holes 712 are formed in the shower plate 710. Each of the discharge holes 712 is formed so as to face upward and downward. The process gas is supplied to the process space through the discharge holes 712.

히팅 플레이트(730)는 공정 가스를 가열한다. 히팅 플레이트(730)는 분배 플레이트(770)의 아래에 위치되는 하부 플레이트(730)로 제공된다. 히팅 플레이트(730)는 하부 판(740) 및 히터(750)를 포함한다. 하부 판(740)은 바디(742) 및 돌기(746)를 가진다. 바디(742)는 판 형상으로 제공된다. 예컨대, 바디(742)는 원판 형상을 가질 수 있다. 바디(742)는 영역 별 상단 및 하단이 서로 상이한 높이를 가지도록 제공된다. 바디(742)의 가장자리 영역은 중앙 영역에 비해 상단 및 하단 각각이 높게 위치된다. 바디(742)에는 복수의 하부홀들(744)이 형성된다. 바디(742)는 샤워 플레이트(710)의 상면에 접촉되게 위치된다. 하부홀들(744)은 토출홀들(712)과 일대일 대응되는 개수로 제공된다. 바디(742)는 하부홀들(744) 및 토출홀들(712)이 상하 방향으로 일치하도록 위치된다. 하부홀들(744)은 아래로 갈수록 폭이 작아지도록 단차지게 제공된다. 따라서 측부에서 바라볼 때 하부홀(744) 및 토출홀(712)은 바디(742)의 상단에서 샤워 플레이트(710)의 하단까지 연장된 홀로 제공된다. The heating plate 730 heats the process gas. The heating plate 730 is provided to a lower plate 730 located below the distribution plate 770. The heating plate 730 includes a lower plate 740 and a heater 750. The lower plate 740 has a body 742 and a projection 746. The body 742 is provided in a plate shape. For example, the body 742 may have a disk shape. The body 742 is provided such that the top and bottom of each region have different heights. The edge regions of the body 742 are positioned higher than the central region, respectively. A plurality of lower holes 744 are formed in the body 742. The body 742 is placed in contact with the upper surface of the shower plate 710. The lower holes 744 are provided in a number corresponding one-to-one with the discharge holes 712. The body 742 is positioned such that the lower holes 744 and the discharge holes 712 coincide with each other in the vertical direction. The lower holes 744 are provided so as to be stepped so that their width becomes smaller as they go down. The lower hole 744 and the discharge hole 712 are provided as holes extending from the upper end of the body 742 to the lower end of the shower plate 710 as viewed from the side.

돌기(746)는 복수 개로 제공되며, 각각이 바디(742)로부터 위로 돌출되게 연장된다. 도 6을 참조하면, 상부에서 바라볼 때 돌기(746)는 바디(742)에서 하부홀(744)이 형성된 영역을 벗어난 영역에 위치된다. 돌기(746)는 환형의 링 형상을 가지도록 제공된다. 돌기(746)는 복수 개로 제공된다. 각각은 서로 상이한 직경을 가지며, 그 중심이 일치되게 제공될 수 있다. 돌기(746)의 상면은 평편하게 제공된다. The protrusions 746 are provided in a plurality, and each protrudes upward from the body 742. [ Referring to FIG. 6, the projection 746 is located in an area outside the region where the lower hole 744 is formed in the body 742, as viewed from above. The projection 746 is provided to have an annular ring shape. The projections 746 are provided in plural. Each having a different diameter from each other, and their centers can be provided in unison. The upper surface of the projection 746 is provided flat.

히터(750)는 바디(742)의 내부에 위치된다. 예컨대, 히터(750)는 열선일 수 있다. 히터(750)는 나선 형상의 코일로 제공될 수 있다.The heater 750 is located inside the body 742. For example, the heater 750 may be a hot wire. The heater 750 may be provided as a helical coil.

분배 플레이트(770)는 유입 포트(610)에 유입된 공정 가스를 히팅 플레이트(730)의 각 영역으로 분배하여 공급한다. 분배 플레이트(770)는 히팅 플레이트(730)의 위에 위치되는 상부 플레이트(770)로 제공된다. 분배 플레이트(770)는 상부 판(780) 및 냉각 부재(790)를 포함한다. 상부 판(780)은 하부 판(740)의 위에 적층되게 위치된다. 상부 판(780)은 원형의 판 형상을 가진다. 상부 판(780)의 가장자리 영역은 하단이 이와 다른 영역에 비해 높게 제공된다. 즉 상부 판(780)의 가장자리 영역은 단차지게 제공된다. 상부 판의 저면에는 복수의 결합홈(782)이 형성된다. 각 결합홈(782)에는 돌기(746)가 삽입 가능하다. 상부 판(780)과 하부 판(740)은 결합홈(782)에 돌기(746)가 삽입되어 서로 밀착되게 적층되는 구조를 가진다. 상부 판(780)의 위에는 상부 전극(420)이 적층되게 위치된다.The distribution plate 770 distributes the process gas introduced into the inlet port 610 to each area of the heating plate 730 and supplies it. A distribution plate 770 is provided to the top plate 770 located above the heating plate 730. The distribution plate 770 includes a top plate 780 and a cooling member 790. The top plate 780 is positioned over the bottom plate 740 in a stacked manner. The top plate 780 has a circular plate shape. The edge region of the top plate 780 is provided at a lower level than the other regions. That is, the edge region of the top plate 780 is provided stepwise. A plurality of coupling grooves 782 are formed on the bottom surface of the top plate. The projections 746 can be inserted into the respective coupling grooves 782. The upper plate 780 and the lower plate 740 have a structure in which the protrusions 746 are inserted into the coupling grooves 782 and are closely contacted with each other. An upper electrode 420 is stacked on the upper plate 780.

선택적으로 결합홈(782)은 히팅 플레이트(730)에 제공되고, 돌기(746)는 분배 플레이트(770)에 제공될 수 있다.Optionally, the engagement groove 782 may be provided in the heating plate 730 and the projection 746 may be provided in the distribution plate 770.

냉각 부재(790)는 상부 판(780)의 내부에 제공된다. 냉각 부재(790)는 상부 판(780)의 내부에 형성된 냉각 유로(790)로 제공된다. 냉각 유로(790)는 냉각수 또는 냉각 유체가 흐르는 통로로 제공된다. 냉각수 또는 냉각 유체는 히팅 플레이트(730) 및 샤워 플레이트(710)가 한계 온도 이상으로 가열되는 것을 방지한다. The cooling member 790 is provided inside the top plate 780. The cooling member 790 is provided in the cooling passage 790 formed inside the top plate 780. The cooling passage 790 is provided as a passage through which cooling water or cooling fluid flows. The cooling water or cooling fluid prevents the heating plate 730 and the shower plate 710 from being heated above the critical temperature.

실링 부재(800) 서로 인접하게 위치되는 2 개의 플레이트 간에 틈을 실링한다. 일 예에 의하면, 실링 부재(800)는 히팅 플레이트(730)와 분배 플레이트(770) 간에 틈을 실링할 수 있다. 실링 부재(800)는 서로 밀착되는 히팅 플레이트(730)와 분배 플레이트(770) 사이에 위치된다. 실링 부재(800)는 분배 플레이트(770)에 형성되는 실링홈(810)에 삽입된다. 실링홈(810)은 복수 개로 제공되며, 실링홈(810)이 형성되는 영역에 따라 제1실링홈(810a) 및 제2실링홈(810b)으로 구분한다. 일 예에 의하면, 실링 부재(800)는 오링(O-Ring)일 수 있다.The sealing member 800 seals the gap between two plates positioned adjacent to each other. According to one example, the sealing member 800 can seal the gap between the heating plate 730 and the distribution plate 770. The sealing member 800 is positioned between the heating plate 730 and the distribution plate 770 that are in close contact with each other. The sealing member 800 is inserted into the sealing groove 810 formed in the distribution plate 770. A plurality of the sealing grooves 810 are provided and are divided into a first sealing groove 810a and a second sealing groove 810b according to a region where the sealing groove 810 is formed. According to one example, the sealing member 800 may be an O-ring.

실링 부재(800)에 설명하기 앞서, 분배 플레이트(770)와 히팅 플레이트(730) 간에 밀착되는 면을 보다 상세히 설명한다. 다음은 분배 플레이트(770)에 밀착되는 히팅 플레이트(730)의 상면을 하부 밀착면으로, 그리고 히팅 플레이트(730)에 밀착되는 분배 플레이의 저면을 상부 밀착면으로 칭한다. Before describing the sealing member 800, the surface that is brought into close contact between the distribution plate 770 and the heating plate 730 will be described in more detail. Hereinafter, the upper surface of the heating plate 730 which is in close contact with the distribution plate 770 is referred to as a lower close contact surface, and the lower surface of the distribution play which is in contact with the heating plate 730 is referred to as an upper close contact surface.

도 7은 도 6의 히팅 플레이트와 분배 플레이트의 밀착면을 보여주는 단면도이다. 도 7을 참조하면, 하부 밀착면은 하부 중앙 수평면(732), 하부 수직면(734), 그리고 하부 에지 수평면(736)을 포함한다. 하부 중앙 수평면(732)은 원형으로 제공된다. 하부 중앙 수평면(732)에는 복수의 돌기들(746)이 돌출된다. 하부 수직면(734)은 하부 중앙 수평면(732)의 측단으로부터 수직한 위로 연장된다. 하부 에지 수평면(736)은 하부 수직면(734)의 상단으로부터 수직한 반경 방향으로 연장된다.FIG. 7 is a cross-sectional view showing the contact surface of the heating plate and the distribution plate of FIG. 6; Referring to FIG. 7, the lower contact surface includes a lower central horizontal surface 732, a lower vertical surface 734, and a lower edge horizontal surface 736. The lower central horizontal plane 732 is provided in a circular shape. A plurality of protrusions 746 protrude from the lower central horizontal plane 732. The lower vertical plane 734 extends vertically up from the side of the lower central horizontal plane 732. The lower edge horizontal surface 736 extends perpendicularly from the upper end of the lower vertical surface 734.

상부 밀착면에는 상부 중앙 수평면(772), 상부 수직면(774), 그리고 상부 에지 수평면(776)을 포함한다. 상부 중앙 수평면(772)은 원형으로 제공된다. 상부 중앙 수평면(772)은 하부 중앙 수평면(732)과 동일한 직경을 가진다. 상부 중앙 수평면(772)과 하부 중앙 수평면(732)은 서로 마주보도록 위치된다. 상부 중앙 수평면(772)에는 복수의 결합홈(782)들 형성된다. 상부 수직면(774)은 상부 중앙 수평면(772)의 측단으로부터 수직한 위로 연장된다. 상부 수직면(774)과 하부 수직면(734)은 서로 마주보는 위치에 제공된다. 상부 에지 수평면(776)은 상부 수직면(774)의 상단으로부터 수직한 반경 방향으로 연장된다. 상부 에지 수평면(776)과 하부 에지 수평면(736)은 서로 마주보는 위치에 제공된다.The upper contact surface includes an upper central horizontal surface 772, an upper vertical surface 774, and an upper edge horizontal surface 776. The upper central horizontal plane 772 is provided in a circular shape. The upper central horizontal plane 772 has the same diameter as the lower central horizontal plane 732. The upper central horizontal plane 772 and the lower central horizontal plane 732 are positioned to face each other. A plurality of coupling grooves 782 are formed in the upper central horizontal surface 772. The upper vertical plane 774 extends vertically up from the side of the upper central horizontal plane 772. The upper vertical surface 774 and the lower vertical surface 734 are provided at positions facing each other. The upper edge horizontal plane 776 extends perpendicularly from the upper end of the upper vertical plane 774. The upper edge horizontal plane 776 and the lower edge horizontal plane 736 are provided at positions facing each other.

결합홈(782)은 상부 중앙 수평면(772)에 형성된다. 결합홈(782)은 바닥면 및 이로부터 연장되며 서로 마주보는 양면에 의해 형성된다. 결합홈(782)을 형성하는 양면 중 하나에는 제1실링홈(810a)이 형성된다. 즉 제1실링홈(810a)은 수직한 상하 방향과 상이한 방향을 향하도록 제공된다. 제1실링홈(810a)은 수평 방향을 향하도록 제공될 수 있다. 제1실링홈(810a)에는 실링 부재(800)가 삽입되게 위치되어 상부 중앙 수평면(772)과 하부 중앙 수평면(732) 간에 틈을 실링한다. An engaging groove 782 is formed in the upper central horizontal surface 772. The engaging groove 782 is formed by a bottom surface and both sides extending from it and facing each other. A first sealing groove 810a is formed on one of both surfaces forming the engaging groove 782. [ That is, the first sealing groove 810a is provided so as to face a direction different from the vertical up and down direction. The first sealing groove 810a may be provided to face in the horizontal direction. A sealing member 800 is positioned in the first sealing groove 810a to seal the gap between the upper central horizontal surface 772 and the lower central horizontal surface 732.

선택적으로 제1실링홈(810a)은 결합홈(782)에 삽입되는 돌기(746)의 측면에 형성될 수 있다.Alternatively, the first sealing groove 810a may be formed on a side surface of the protrusion 746 inserted into the engaging groove 782. [

또한 상부 수직면(774)에는 제2실링홈(810b)이 형성된다. 제2실링홈(810b)은 수평 방향을 향하도록 제공될 수 있다. 제2실링홈(810b)에는 실링 부재(800)가 삽입되게 위치되어 상부 수직면(774)과 하부 수직면(734) 간에 틈을 실링한다.A second sealing groove 810b is formed on the upper vertical surface 774. And the second sealing groove 810b may be provided to face in the horizontal direction. A sealing member 800 is positioned in the second sealing groove 810b to seal the gap between the upper vertical surface 774 and the lower vertical surface 734.

상술한 실시예에는 실링 부재(800)가 실링홈(810)에 삽입되게 위치되는 것으로 설명하였다. 그러나 도 8과 같이 실링 부재(800)는 하부 중앙 수평면(732)과 하부 수직면(734)이 만나는 모서리에 인접하게 위치될 수 있다. 상부 밀착면은 상부 중앙 수평면(772)과 상부 수직면(774)을 연장하는 경사면(773)을 더 가질 수 있다. 경사면(773)은 히팅 플레이트(730)의 모서리에 대향되게 제공될 수 있다.In the above-described embodiment, it is described that the sealing member 800 is positioned to be inserted into the sealing groove 810. However, as shown in FIG. 8, the sealing member 800 may be positioned adjacent the edge where the lower central horizontal surface 732 and the lower vertical surface 734 meet. The upper contact surface may further have an upper central horizontal surface 772 and an inclined surface 773 extending the upper vertical surface 774. The inclined surface 773 may be provided so as to face the edge of the heating plate 730.

또한 도 9와 같이 결합홈(782)은 돌기(746)에 비해 큰 폭을 가지도록 제공될 수 있다. 결합홈(782)에는 돌기(746)가 삽입되고, 잉여 공간에는 실링 부재(800)가 위치될 수 있다. 결합홈(782)에는 실링 부재(800)가 낙하되는 것을 방지하기 위해 결합홈(782)을 형성하는 측면으로 돌출되어 실링 부재(800)를 지지하는 지지부(786)가 더 제공될 수 있다.9, the engaging groove 782 may be provided to have a larger width than the protrusion 746. [ The projection 746 is inserted into the coupling groove 782, and the sealing member 800 can be positioned in the excess space. The engaging groove 782 may further be provided with a supporting portion 786 protruding to the side forming the engaging groove 782 to support the sealing member 800 to prevent the sealing member 800 from falling.

650: 샤워 헤드 유닛 710: 샤워 플레이트
730: 히팅 플레이트 770: 분배 플레이트
782: 결합홈 746: 돌기
800: 실링 부재650: Shower head unit 710: Shower plate
730: Heating plate 770: Dispensing plate
782: coupling groove 746: projection
800: sealing member

Claims (9)

공정 가스를 토출하는 샤워 헤드 유닛에 있어서,
복수의 토출홀들이 형성되는 판 형상으로 제공되고 저면이 처리 공간에 노출되며 공정 가스가 상기 토출홀들을 통해 상기 처리 공간으로 공급되는 샤워 플레이트와;
상기 샤워 플레이트의 상부에 적층되고, 복수의 하부홀들이 형성되는 판 형상으로 제공되며, 공정 가스를 가열하는 히터를 포함하는 히팅 플레이트와;
상기 히팅 플레이트의 상부에 적층되는 판 형상으로 제공되고, 유입 포트를 통해 유입된 공정 가스를 상기 히팅 플레이트의 각 영역으로 분배하여 공급하는 분배 플레이트와; 그리고
상기 히팅 플레이트와 상기 분배 플레이트 사이의 틈을 실링하는 실링 부재를 포함하고,
상기 히팅 플레이트는 상부에서 바라보았을 때 링 형상인 돌기를 포함하되, 상기 돌기는 반경이 서로 다른 복수 개를 포함하고,
상기 분배 플레이트는 저면에 상기 복수의 돌기들이 각각 삽입되는 복수의 결합홈들이 형성되고,
상기 하부홀들은 인접하는 상기 돌기들의 사이, 상기 돌기의 외측, 및 상기 돌기의 내측 중 어느 하나 이상에 원주 방향으로 복수 개가 형성되고,
상기 토출홀들은 상기 하부홀들에 대응되게 위치되며,
상기 결합홈은 바닥면 및 서로 마주보는 양면을 포함하고, 상기 양면 중 어느 하나 이상에는 실링홈이 형성되고,
상기 실링홈은 상하 방향과 상이한 방향으로 제공되고,
상기 실링 부재는,
상기 실링홈에 수용되는 링 형상으로 제공되는 제1실링 부재를 포함하는 샤워 헤드 유닛.A showerhead unit for discharging a process gas,
A shower plate provided in the shape of a plate in which a plurality of discharge holes are formed, a bottom surface exposed to the processing space, and a process gas supplied to the processing space through the discharge holes;
A heating plate stacked on the shower plate and provided in a plate shape in which a plurality of lower holes are formed, the heater plate including a heater for heating the process gas;
A distribution plate provided in the form of a plate stacked on the heating plate and distributing the process gas introduced through the inlet port to each region of the heating plate; And
And a sealing member sealing a gap between the heating plate and the distribution plate,
Wherein the heating plate includes a ring-shaped projection when viewed from above, the projection including a plurality of radii different from each other,
A plurality of coupling grooves into which the plurality of projections are inserted are formed on a bottom surface of the distribution plate,
A plurality of the lower holes are formed in a circumferential direction in at least one of the adjacent projections, the outer side of the projections, and the inner side of the projections,
Wherein the discharge holes are positioned corresponding to the lower holes,
Wherein the engaging groove includes a bottom surface and both opposite surfaces facing each other, a sealing groove is formed in at least one of the both surfaces,
The sealing groove is provided in a direction different from the vertical direction,
Wherein the sealing member comprises:
And a first sealing member provided in a ring shape received in the sealing groove. 제1항에 있어서,
상기 실링 부재는,
서로 밀착되는 상기 히팅 플레이트의 하부 밀착면과 상기 분배 플레이트의 상부 밀착면 사이, 그리고 상기 제1실링 부재의 외측에 위치되는 제2실링 부재를 더 포함하되,
상기 하부 밀착면 및 상기 상부 밀착면 중 하나는 수직 방향을 향하는 제1수직면 및 상기 제1수직면으로부터 수직한 방향으로 연장되는 제1수평면을 포함하고,
상기 하부 밀착면 및 상기 상부 밀착면 중 다른 하나는 상기 제1수직면과 마주보는 제2수직면, 상기 제1수평면과 마주보는 제2수평면, 그리고 상기 제2수직면 및 상기 제2수평면 각각으로부터 연장되는 경사면을 포함하되,
상기 제2실링 부재는 상기 경사면과 마주보도록 위치되는 샤워 헤드 유닛.The method according to claim 1,
Wherein the sealing member comprises:
Further comprising a second sealing member positioned between the lower close contact surface of the heating plate and the upper close contact surface of the distribution plate that are in close contact with each other and outside the first sealing member,
Wherein one of the lower contact surface and the upper contact surface includes a first vertical surface oriented in a vertical direction and a first horizontal surface extending in a direction perpendicular to the first vertical surface,
Wherein the other one of the lower close contact surface and the upper close contact surface has a second vertical surface facing the first vertical surface, a second horizontal surface facing the first horizontal surface, and a second horizontal surface opposed to the inclined surface ≪ / RTI >
And the second sealing member is positioned to face the inclined surface. 공정 가스를 토출하는 샤워 헤드 유닛에 있어서,
하부 플레이트와;
상기 하부 플레이트에 위에 적층되며, 가스를 분배하는 상부 플레이트와;
상기 하부 플레이트 및 상기 상부 플레이트 간에 틈을 실링하는 실링 부재를 포함하되,
상기 실링 부재는 서로 밀착되는 상기 하부 플레이트의 하부 밀착면 및 상기 상부 플레이트의 상부 밀착면 사이에 위치되되,
상기 하부 밀착면 및 상기 상부 밀착면 중 하나는 수직 방향을 향하는 제1수직면 및 상기 제1수직면으로부터 수직한 방향으로 연장되는 제1수평면을 포함하고,
상기 하부 밀착면 및 상기 상부 밀착면 중 다른 하나는 상기 제1수직면과 마주보는 제2수직면, 상기 제1수평면과 마주보는 제2수평면, 그리고 상기 제2수직면 및 상기 제2수평면 각각으로부터 연장되는 경사면을 포함하되,
상기 실링 부재는 상기 경사면과 마주보도록 위치되는 샤워 헤드 유닛.A showerhead unit for discharging a process gas,
A lower plate;
An upper plate stacked on the lower plate and distributing gas;
And a sealing member sealing a gap between the lower plate and the upper plate,
Wherein the sealing member is positioned between a lower close contact surface of the lower plate and an upper close contact surface of the upper plate,
Wherein one of the lower contact surface and the upper contact surface includes a first vertical surface oriented in a vertical direction and a first horizontal surface extending in a direction perpendicular to the first vertical surface,
Wherein the other one of the lower close contact surface and the upper close contact surface has a second vertical surface facing the first vertical surface, a second horizontal surface facing the first horizontal surface, and a second horizontal surface opposed to the inclined surface ≪ / RTI >
And the sealing member is positioned to face the inclined surface. 삭제delete 삭제delete 내부에 처리 공간을 가지는 챔버와;
상기 처리 공간에서 기판을 지지하는 기판 지지 유닛과;
상기 처리 공간에 공정 가스를 공급하는 샤워 헤드 유닛과;
상기 처리 공간에 공급되는 공정 가스를 여기시키는 플라즈마 소스를 포함하되,
상기 샤워 헤드 유닛은,
복수의 토출홀들이 형성되는 판 형상으로 제공되고 저면이 상기 처리 공간에 노출되며 공정 가스가 상기 토출홀들을 통해 상기 처리 공간으로 공급되는 샤워 플레이트와;
상기 샤워 플레이트의 상부에 적층되고, 복수의 하부홀들이 형성되는 판 형상으로 제공되며, 공정 가스를 가열하는 히터를 포함하는 히팅 플레이트와;
상기 히팅 플레이트의 상부에 적층되는 판 형상으로 제공되고, 유입 포트를 통해 유입된 공정 가스를 상기 히팅 플레이트의 각 영역으로 분배하여 공급하는 분배 플레이트와; 그리고
상기 히팅 플레이트와 상기 분배 플레이트 사이의 틈을 실링하는 실링 부재를 포함하고,
상기 히팅 플레이트는 상부에서 바라보았을 때 링 형상인 돌기를 포함하되, 상기 돌기는 반경이 서로 다른 복수 개를 포함하고,
상기 분배 플레이트는 저면에 상기 복수의 돌기들이 각각 삽입되는 복수의 결합홈들이 형성되고,
상기 하부홀들은 인접하는 상기 돌기들의 사이, 상기 돌기의 외측, 및 상기 돌기의 내측 중 어느 하나 이상에 원주 방향으로 복수 개가 형성되고,
상기 토출홀들은 상기 하부홀들에 대응되게 위치되며,
상기 결합홈은 바닥면 및 서로 마주보는 양면을 포함하고, 상기 양면 중 어느 하나 이상에는 실링홈이 형성되고,
상기 실링홈은 상하 방향과 상이한 방향으로 제공되고,
상기 실링 부재는 상기 실링홈에 수용되는 링 형상으로 제공되는 기판 처리 장치.

A chamber having a processing space therein;
A substrate supporting unit for supporting the substrate in the processing space;
A showerhead unit for supplying a processing gas to the processing space;
And a plasma source for exciting a process gas supplied to the process space,
The shower head unit includes:
A shower plate provided in a plate shape in which a plurality of discharge holes are formed, a bottom surface exposed to the processing space, and a process gas supplied to the processing space through the discharge holes;
A heating plate stacked on the shower plate and provided in a plate shape in which a plurality of lower holes are formed, the heater plate including a heater for heating the process gas;
A distribution plate provided in the form of a plate stacked on the heating plate and distributing the process gas introduced through the inlet port to each region of the heating plate; And
And a sealing member sealing a gap between the heating plate and the distribution plate,
Wherein the heating plate includes a ring-shaped projection when viewed from above, the projection including a plurality of radii different from each other,
A plurality of coupling grooves into which the plurality of projections are inserted are formed on a bottom surface of the distribution plate,
A plurality of the lower holes are formed in a circumferential direction in at least one of the adjacent projections, the outer side of the projections, and the inner side of the projections,
Wherein the discharge holes are positioned corresponding to the lower holes,
Wherein the engaging groove includes a bottom surface and both opposite surfaces facing each other, a sealing groove is formed in at least one of the both surfaces,
The sealing groove is provided in a direction different from the vertical direction,
Wherein the sealing member is provided in a ring shape accommodated in the sealing groove.

삭제delete 삭제delete 삭제delete
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