KR101662911B1 - Wire Space Transformer - Google Patents
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Abstract
본 발명은 와이어 공간변형기에 관한 것으로서; 일단에는 와이어 프로브 전극이 형성되며, 타단은 회로기판에 전기적으로 연결되며, 외부에는 절연성 피복이 입혀진 복수의 전도성 와이어와; 플레이트의 표면 일측에 홈이 형성되고, 그 홈에는 상기 전도성 와이어가 삽입되는 복수의 와이어 홀이 형성되어 있는 와이어 플레이트와; 상기 와이어 홀에 삽입된 상기 전도성 와이어를 와이어 플레이트에 고정하는 고정 접착제와; 상기 와이어 홀에 삽입된 상기 전도성 와이어의 단면에 금속을 1층 이상 도금하여 형성되며, 상기 와이어 플레이트의 홈이 형성된 표면의 반대편 표면으로 노출되어 있으며, 표면에 프로브가 접촉되는 와이어 프로브 전극과; 표면에 프로브가 접촉되며, 프로브가 접촉되는 표면의 아래에는 상기 전도성 와이어의 단면이 없으며, 표면이 전도성 물질로 이루어졌으며, 상기 와이어 플레이트의 홈이 형성된 표면의 반대편 표면에 노출되어 있으며, 연장된 일측이 회로기판과 전기적으로 연결되는 와이어리스 프로브 전극을 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 와이어 공간변형기 제공한다.
본 발명의 기술에 따르면, 와이어 공간변형기에서 와이어의 숫자가 줄어들고, 와이어의 굵기를 늘릴 수 있다. 이는 공간변형기의 전기저항의 감소와 허용전류 증가에 따른 신호 전달 특성의 향상으로 이어진다. 또한 와이어 공간변형기의 제작이 쉬워지며, 신뢰성도 증가한다. The present invention relates to a wire space transformer, A plurality of conductive wires having a wire probe electrode formed at one end thereof, electrically connected to the circuit board at the other end thereof, and an outer surface covered with an insulating coating; A groove formed on one surface of the plate, and a plurality of wire holes into which the conductive wire is inserted are formed in the groove; A fixing adhesive for fixing the conductive wire inserted into the wire hole to the wire plate; A wire probe electrode formed by plating at least one metal on an end face of the conductive wire inserted into the wire hole and exposed to a surface opposite to a surface of the wire plate on which the groove is formed, the probe contacting the surface; And the surface of the conductive wire is made of a conductive material and is exposed on the surface opposite to the grooved surface of the wire plate, And a wire probe electrode electrically connected to the circuit board.
According to the technique of the present invention, the number of wires in the wire space transformer can be reduced and the thickness of the wire can be increased. This leads to a reduction in the electrical resistance of the transducer and an improvement in the signal transmission characteristics as the allowable current increases. Also, the fabrication of the wire space transducer is facilitated, and the reliability is also increased.
Description
본 발명은 반도체 직접회로를 비롯한 전자소자의 전기적 특성검사 등에 사용되는 와이어 공간변형기(wire space transformer)에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 와이어들 간의 전기적 연결(connection)을 만들어서 전기적 신호가 더욱 안정되고 확실하게 전달될 수 있도록 고안된 와이어 공간변형기의 구조에 관한 것이다. 이를 위하여 프로브가 접촉하는 와이어 프로브 전극 중 일부를 와이어리스 프로브 전극으로 대체하여 와이어의 개수를 줄이는 구조를 제시한다.
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a wire space transformer used for testing electrical characteristics of electronic devices including semiconductor integrated circuits, and more particularly, to a method and apparatus for making electrical connections between wires, To a structure of a wire space transducer designed to be transmitted to the wire. For this purpose, a structure is proposed in which the number of wires is reduced by replacing some of the wire probe electrodes to which the probes contact with wireless probe electrodes.
공간변형기는 전극의 배열(array)이나 피치(pitch)가 서로 다른 전자소자 또는 회로기판 등을 전기적으로 연결하는 역할을 한다. 와이어 공간변형기는 넓은 플레이트를 이용하여 형성되며, 한 쪽 표면에는 프로브 등이 접촉되는 전극이 배열되어 있으며, 반대편 표면으로는 와이어가 연결되어서 각각의 전극을 외부의 회로기판에 연결시키게 된다. The spatial transformer serves to electrically connect electronic elements or circuit boards having different arrays or pitches of electrodes. The wire space deformer is formed by using a wide plate. Electrodes for contacting probes or the like are arranged on one surface, and wires are connected to the opposite surface to connect the respective electrodes to an external circuit board.
반도체 직접회로, 반도체 패키지 등의 전자 소자의 품질을 검사하기 위해서 전기적 신호를 전자소자에 직접 전달하는 프로브를 사용하게 된다. 전자소자에 형성된 전극은 좁은 지역에 밀집되어 형성되므로 다수의 프로브가 밀집되어 시험체와 접촉하게 되는데, 이렇게 밀집된 프로브로부터 받은 신호를 회로기판으로 연결하기 위해서는 물리적으로 공간을 확대하는 기능을 가진 것이 공간변형기이다.In order to inspect the quality of an electronic device such as a semiconductor integrated circuit or a semiconductor package, a probe for directly transmitting an electrical signal to the electronic device is used. Since the electrodes formed in the electronic device are formed in a dense region, the plurality of probes are densely contacted with the test body. In order to connect the signal received from the probe to the circuit board, to be.
도1은 종래의 기술이 적용된 와이어 공간변형기의 단면도 및 확대된 프로브 전극의 평면도이다. 일단에는 프로브 전극(140)이 형성되며, 타단은 회로기판에 전기적으로 연결되며, 외부에는 절연성 피복(111)이 입혀진 복수의 전도성 와이어(110)와; 플레이트 표면의 일측에 홈(121)이 형성되고, 그 홈에는 상기 전도성 와이어가 삽입되는 와이어 홀(122)이 형성되어 있으며, 절연성 물질로 구성되는 와이어 플레이트(120)와; 상기 와이어 홀에 삽입된 상기 전도성 와이어가 와이어 홀에 삽입된 상태로 고정될 수 있도록, 상기 와이어 플레이트의 홈이 형성된 부분으로 돌출된 상기 전도성 와이어를 와이어 플레이트에 고정하는 절연성 고정 접착제(130)와; 상기 와이어 홀에 삽입된 상기 전도성 와이어의 단면에 금속을 1층 이상 도금하여 형성되며, 상기 와이어 플레이트의 홈이 형성된 표면의 반대편 표면에 노출되며, 프로브와 접촉되는 프로브 전극(140)을 구비하고 있다. 1 is a cross-sectional view of a wire space transducer to which a conventional technique is applied and a plan view of an enlarged probe electrode. A plurality of
와이어 플레이트와 와이어의 피복, 그리고 접착제는 절연체로 구성되어, 밀집된 와이어 간, 또는 와이어 프로브 전극 간의 합선(short)을 방지하며, 누설전류(leakage current)를 억제한다. 와이어 홀에 삽입된 와이어의 단면에는 니켈(Ni), 구리(Cu), 금(Au) 등의 금속층을 차례로 도금하여 프로브 전극을 형성하게 된다. The coating of the wire plate and the wire, and the adhesive is composed of an insulator, which prevents a short between the dense wires or the wire probe electrode, and suppresses the leakage current. A metal layer such as nickel (Ni), copper (Cu), or gold (Au) is sequentially plated on the end face of the wire inserted into the wire hole to form a probe electrode.
반도체 기술의 진보와 함께, 시험체인 전자소자들에 형성되는 전극이 더욱 밀집되며, 전극은 작아지고, 전극간의 거리도 좁아지고 있다. 따라서 시험체를 검사하는데 사용되는 공간변형기에 형성되는 프로브 전극 간의 거리도 좁아지고 있다. 프로브 전극 간의 거리가 좁아짐에 따라서 더욱 가늘어진 와이어를 사용해야만 하며, 와이어가 삽입되는 와이어 홀도 작아지게 된다. 가늘어진 와이어는 전기저항이 높아지고, 허용전류값은 낮아져서 검사신호에 왜곡이 발생할 수 있으며, 끊어지기도 쉬운 문제점이 있다. 가는 와이어는 취급이 어려워 조립공정이 어려워지며, 크기가 작은 와이어 홀을 밀집되게 형성하는 드릴링 공정도 매우 어려워지는 문제점도 발생한다.
Along with the advancement of semiconductor technology, the electrodes formed on the electronic components of the test chain become more dense, the electrodes become smaller, and the distance between the electrodes becomes narrower. Therefore, the distance between the probe electrodes formed in the space deflector used for inspecting the test object is narrowed. As the distance between the probe electrodes narrows, a thinner wire must be used, and the wire hole into which the wire is inserted also becomes smaller. The tapered wire has a high electrical resistance and a low allowable current value, which may cause distortion in the inspection signal and may be easily broken. The fine wire is difficult to handle and the assembling process becomes difficult, and a drilling process for forming wire holes with a small size is also difficult.
본 발명에서는 제작이 용이하고, 신호 전달특성도 더 향상된 와이어 공간변형기의 구조를 제시한다. 동일한 면적의 와이어 플레이트를 관통하는 와이어 숫자를 줄임으로써, 와이어의 굵기를 굵게 할 수 있다. 이는 곧바로 공간변형기의 전기저항의 감소와 허용전류 증가에 따른 신호 전달 특성의 향상으로 이어질 수 있다.
In the present invention, a structure of a wire space transformer which is easy to manufacture and further improves signal transmission characteristics is presented. By reducing the number of wires passing through a wire plate having the same area, the thickness of the wire can be made thick. This can lead directly to the reduction of the electrical resistance of the space transducer and the improvement of the signal transfer characteristics as the allowable current increases.
상기 문제점을 해결하기 위해서 본 발명에서는 와이어의 단면에 형성되는 와이어 프로브 전극들 중 일부를 와이어리스(wireless) 프로브 전극으로 대체한다. 와이어 공간변형기에는 전달되는 신호가 동일한 프로브 전극들이 있는데, 동일한 신호가 전달되는 프로브 전극들을 전기적으로 연결하면 회로기판으로 연결되는 와이어의 숫자를 줄일 수 있다. 와이어 숫자를 줄이면, 더 굵은 와이어를 쓸 수 있으며, 와이어 간의 거리도 더 넓힐 수 있어서 공간변형기의 제작도 쉽고, 성능도 더 향상된다.In order to solve the above problems, some of the wire probe electrodes formed on the end face of the wire are replaced with wireless probe electrodes. In the wire space deformer, there are the same probe electrodes to which signals are transmitted. If the probe electrodes to which the same signal is transmitted are electrically connected, the number of wires connected to the circuit board can be reduced. Reducing the number of wires makes it possible to use wider wires and widen the distance between the wires, making the transducer easier to fabricate and improve performance.
본 발명의 와이어 공간변형기는; 일단에는 와이어 프로브 전극이 형성되며, 타단은 회로기판에 전기적으로 연결되며, 외부에는 절연성 피복이 입혀진 복수의 전도성 와이어와; 플레이트의 표면 일측에 홈이 형성되고, 그 홈에는 상기 전도성 와이어가 삽입되는 복수의 와이어 홀이 형성되어 있는 와이어 플레이트와; 상기 와이어 홀에 삽입된 상기 전도성 와이어가 와이어 홀에 삽입된 상태로 고정될 수 있도록, 상기 와이어 플레이트의 홈이 형성된 부분으로 돌출된 상기 전도성 와이어를 와이어 플레이트에 고정하는 고정 접착제와; 상기 와이어 홀에 삽입된 상기 전도성 와이어의 단면에 금속을 1층 이상 도금하여 형성되며, 상기 와이어 플레이트의 홈이 형성된 표면의 반대편 표면으로 노출되어 있으며, 표면에 프로브가 접촉되는 와이어 프로브 전극과; 표면에 프로브가 접촉되며, 프로브가 접촉되는 표면의 아래에는 상기 전도성 와이어의 단면이 없으며, 표면이 전도성 물질로 이루어졌으며, 상기 와이어 플레이트의 홈이 형성된 표면의 반대편 표면에 노출되어 있으며, 연장된 일측이 회로기판과 전기적으로 연결되는 와이어리스 프로브 전극을 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 와이어 공간변형기를 제공한다.
The wire space transformer of the present invention comprises: A plurality of conductive wires having a wire probe electrode formed at one end thereof, electrically connected to the circuit board at the other end thereof, and an outer surface covered with an insulating coating; A groove formed on one surface of the plate, and a plurality of wire holes into which the conductive wire is inserted are formed in the groove; A fixing adhesive for fixing the conductive wire protruded to the groove-formed portion of the wire plate to the wire plate so that the conductive wire inserted into the wire hole can be fixed in a state of being inserted into the wire hole; A wire probe electrode formed by plating at least one metal on an end face of the conductive wire inserted into the wire hole and exposed to a surface opposite to a surface of the wire plate on which the groove is formed, the probe contacting the surface; And the surface of the conductive wire is made of a conductive material and is exposed on the surface opposite to the grooved surface of the wire plate, And a wire probe electrode electrically connected to the circuit board.
본 발명의 기술에 따르면, 와이어 공간변형기에서 회로기판으로 연결되는 와이어의 숫자를 줄일 수 있다. 종래의 기술에서는 모든 프로브 전극에 한 개씩의 와이어가 연결되어야만 하므로 프로브 전극의 개수와 동일한 와이어가 필요했다. 하지만 본 발명에서는 와이어리스 프로브 전극이 있으므로 프로브 전극의 개수보다 와이어의 숫자를 더 줄일 수 있다. 와이어 플레이트에서 동일한 면적을 관통해야하는 와이어 숫자가 줄어듦으로 인해서, 더 굵은 와이어를 사용할 수 있게 된다. 이는 곧바로 공간변형기의 전기저항의 감소와 허용전류 증가에 따른 신호 전달 특성의 향상으로 이어진다. According to the technique of the present invention, the number of wires connected from the wire space transformer to the circuit board can be reduced. In the conventional technique, since one wire must be connected to every probe electrode, a wire equal to the number of probe electrodes was required. However, in the present invention, since there is a wireless probe electrode, the number of wires can be further reduced than the number of probe electrodes. By reducing the number of wires that must penetrate the same area in the wire plate, a thicker wire can be used. This leads directly to the reduction of the electrical resistance of the transducer and the improvement of the signal transmission characteristics as the allowable current increases.
와이어 프로브 전극의 크기는 와이어의 단면적에 의해서 결정됨으로, 굵은 와이어에서는 와이어 프로브 전극이 더 커지고, 프로브의 접촉특성이 향상된다. 와이어리스 프로브 전극의 크기는 와이어 단면적에 제한받지 않고 크게 형성할 수 있으므로 와이어 프로브 전극보다 프로브의 접촉특성을 향상시킬 수 있다. Since the size of the wire probe electrode is determined by the cross-sectional area of the wire, the wire probe electrode becomes larger in the thick wire, and the contact property of the probe is improved. Since the size of the wireless probe electrode can be formed large without being limited by the cross-sectional area of the wire, the contact property of the probe can be improved more than that of the wire probe electrode.
와이어 숫자를 줄임으로 인해서, 와이어 홀의 크기도 커지며, 와이어 홀의 숫자를 줄일 수 있고, 와이어 홀 간의 벽 두께도 더 두껍게 할 수 있다. 이로 인해서 와이어 플레이트의 가공은 훨씬 쉬워지고, 조립에서의 불량률도 낮아질 수 있다. 와이어가 굵어지면 물리적인 강성도 증가하므로, 와이어 인서트 등의 조립 공정도 쉬워지며, 와이어의 내구성도 더 높아진다. 굵어진 와이어에서는 전도성 와이어 두께와 함께 절연성 피복의 두께도 더 늘일 수 있는데, 이는 절연성 확보와 누설전류 저감에도 유리하다.
By reducing the number of wires, the size of the wire hole can be increased, the number of wire holes can be reduced, and the wall thickness between wire holes can be made thicker. This makes the machining of the wire plate much easier, and the failure rate in assembly can also be lowered. If the wire is thick, the physical stiffness is also increased, so that the assembling process of the wire insert and the like becomes easy, and the durability of the wire becomes higher. In thickened wires, the thickness of the conductive wire can be increased along with the thickness of the conductive wire, which is advantageous in securing insulation and reducing leakage current.
도1은 종래의 기술이 적용된 예로서, 와이어 공간변형기의 단면도 및 확대된 프로브 전극의 평면도,
도2는 본 발명의 기술이 적용된 하나의 예로서, 와이어리스 프로브 전극이 형성되어 있는 와이어 공간변형기의 평면도 및 단면도,
도3은 본 발명의 기술이 적용된 하나의 예로서, 카운터 보어 가공으로 전극 연장부가 패터닝되어 있는 와이어 공간변형기의 단면도 및 확대된 프로브 전극의 평면도,
도4는 본 발명의 기술이 적용된 하나의 예로서, 외부 연결선이 형성되어 있는 와이어 공간변형기의 단면도 및 확대된 프로브 전극의 평면도,
도5는 본 발명의 기술이 적용된 하나의 예로서, 와이어 플레이트가 도체로 구성된 와이어 공간변형기의 단면도 및 확대된 프로브 전극의 평면도,
도6는 본 발명의 기술이 적용된 하나의 예로서, 비전극(non-electrode) 와이어로 외부 연결선이 형성되어 있는 와이어 공간변형기의 단면도 및 확대된 프로브 전극의 평면도,
도7은 본 발명의 기술이 적용된 하나의 예로서, 전도성 접착제가 적용된 와이어 공간변형기의 단면도 및 확대된 프로브 전극의 평면도이다.1 is a cross-sectional view of a wire space transducer and a top view of an enlarged probe electrode,
FIG. 2 is a plan view and a cross-sectional view of a wire space transformer in which a wireless probe electrode is formed, as an example to which the technology of the present invention is applied;
3 is a cross-sectional view of a wire space transformer in which electrode extension portions are patterned by counter bore machining and a top view of an enlarged probe electrode,
4 is a cross-sectional view of a wire space transformer in which an external connection line is formed and a top view of an enlarged probe electrode,
5 is a cross-sectional view of a wire space transformer in which a wire plate is made of a conductor and a top view of an enlarged probe electrode,
FIG. 6 is a cross-sectional view of a wire space transformer in which an external connection line is formed by a non-electrode wire and a top view of an enlarged probe electrode,
Fig. 7 is a cross-sectional view of a wire space transducer to which a conductive adhesive is applied and a plan view of an enlarged probe electrode, as an example to which the technique of the present invention is applied.
이하 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부된 도면들을 참조하여 상세히 설명한다. 우선 각 도면의 구성요소들에 참조부호를 부가함에 있어서, 동일한 구성요소들에 대해서는 비록 다른 도면상에 표시되더라도 가능한 한 동일한 부호를 가지도록 하고 있음에 유의해야 한다. 또한 본 발명을 설명함에 있어, 관련된 공지 구성 또는 기능에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명은 생략한다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. In the drawings, the same reference numerals are used to designate the same or similar components throughout the drawings. In the following description of the present invention, a detailed description of known functions and configurations incorporated herein will be omitted when it may make the subject matter of the present invention rather unclear.
도2는 본 발명의 기술이 적용된 하나의 예로서, 와이어리스 프로브 전극이 형성되어 있는 와이어 공간변형기의 단면도 및 확대된 프로브 전극의 평면도이다. 종래의 기술이 적용된 도1의 공간변형기와 비교해 보면, 와이어 프로브 전극(140) 1개가 와이어리스 프로브 전극(150)으로 대체되었다. 와이어리스 프로브 전극은 전극 연장부(151)을 통하여 동일한 신호를 전달하는 프로브 전극과 연결된다. 도2를 비롯하여 본 발명의 그림에서는 프로브 전극(150)을 전극 연장부(151)과 구분하여 표시하였으나, 실질적으로는 서로가 연속적으로 연결됨으로 프로브 전극과 전극 연장부의 경계가 구분되지 않는다. 2 is a cross-sectional view of a wire space transformer in which a wireless probe electrode is formed, and a plan view of an enlarged probe electrode, as an example to which the technique of the present invention is applied. Compared with the spatial deflector of FIG. 1 to which the conventional technique is applied, one
와이어 플레이트의 표면에 노출되는 전도성 와이어(110)의 단면에 구리(Cu), 니켈(Ni), 금(Au)등의 금속층을 차례로 도금하여 와이어 프로브 전극을 형성하며, 이들 도금층은 전극의 내구성 및 내부식성을 높이고, 접촉 저항을 낮추는 역할을 한다. A wire probe electrode is formed by sequentially plating a metal layer of copper (Cu), nickel (Ni), gold (Au) or the like on the end face of the
도금으로 와이어 프로브 전극을 형성할 때, 와이어리스 프로브 전극과 전극 연장부도 동시에 형성할 수 있다. 와이어리스 프로브 전극과 전극 연장부는 절연성의 와이어 플레이트 표면에 형성되므로, 상기 금속층 도금 전에 타이타늄(Ti) 등을 증착해서 금속 도금층의 씨드(seed)층을 형성하는 것이 바람직하다.When the wire probe electrode is formed by plating, the wireless probe electrode and the electrode extension portion can be formed at the same time. Since the wireless probe electrode and the electrode extension are formed on the surface of the insulative wire plate, it is preferable that a seed layer of the metal plating layer is formed by depositing titanium (Ti) or the like before plating the metal layer.
와이어 프로브 전극들 중에서 동일한 신호를 전달하는 프로브 전극을 서로 연결하고, 서로 연결된 와이어 프로브 전극은 적어도 1개 이상의 도선으로 외부의 회로기판과 연결해야 한다. 동일한 신호를 전달하는 복수의 전극으로 대표적인 것이 접지(ground) 전극이다. 그리고 경우에 따라서 동일한 전원(power)을 전달하는 전극도 복수개가 있을 수 있다. 하나의 공간변형기 내에 동일한 신호를 전달하는 전극이 복수개의 그룹으로 있을 수도 있다. 서로 연결된 와이어 프로브 전극이 많아지는 만큼 전도성 와이어를 줄일 수 있다. The probe electrodes for transmitting the same signal among the wire probe electrodes are connected to each other and the wire probe electrodes connected to each other must be connected to the external circuit board by at least one wire. A typical example of a plurality of electrodes that transmit the same signal is a ground electrode. There may be a plurality of electrodes for transmitting the same power depending on the case. The electrodes that transmit the same signal in one spatial transducer may be in a plurality of groups. As the number of wire probe electrodes connected to each other increases, the number of conductive wires can be reduced.
도3은 본 발명의 기술이 적용된 하나의 예로서, 카운터보어(counter bore) 가공으로 전극 연장부가 패터닝(patterning) 되어 있는 와이어 공간변형기의 평면도 및 단면도이다. 카운터보어(122) 가공으로 와이어 홀(121) 주변의 도금 씨드층(seed layer)를 제거함으로써, 와이어 프로브 전극과 주변의 전극 연장부와의 거리를 확보하였다. 와이어 홀 주변에 원형으로 전극 연장부가 패터닝되어 있으며, 이 부분으로는 와이어 플레이트(120)이 노출되어 있다. FIG. 3 is a plan view and a cross-sectional view of a wire space transformer in which an electrode extension is patterned by counter bore machining as one example to which the technique of the present invention is applied. The plating layer around the
프로브 전극 간에 발생하기 쉬운 합선(short)을 제거하고, 누설전류(leakage current)를 줄이기 위해서는 와이어리스 프로브 전극의 전극 연장부를 패터닝할 필요가 있는데, 카운터보어(counter bore) 또는 카운터싱크(counter sink)와 같은 기계적 가공방법이 매우 효율적이다. 또한 이러한 기계적 가공에 있어서 전체 면적에 전극 연장부를 형성하고 일부를 제거하는 방법보다는, 전극 연장부가 필요하지 않는 부분에는 전극 연장부가 처음부터 도금되지 않도록 하는 방법이 더 바람직하다. It is necessary to pattern the electrode extension part of the wireless probe electrode in order to eliminate a short which is likely to occur between the probe electrodes and to reduce the leakage current. It is also possible to use a counter bore or a counter sink The same mechanical processing method is very efficient. It is more preferable that the electrode extension portion is not plated from the beginning in the portion where the electrode extension portion is not needed, rather than the electrode extension portion is formed in the whole area and the portion is removed.
도4는 본 발명의 기술이 적용된 하나의 예로서, 외부 연결선이 형성되어 있는 와이어 공간변형기의 단면도 및 확대된 프로브 전극의 평면도이다. 와이어리스 프로브 전극(150) 두 개와 전극 연장부(151)가 모두 하나로 연결되어 있으며, 전극 연장부는 도금층을 통하여 와이어 플레이트의 측면까지 연결되어 있다. 그리고 전극 연장부와 외부의 회로기판은 외부 연결선(160)에 의해 전기적으로 연결된다. 와이어가 줄어든 만큼 더 굵은 전도성 와이어를 쓸 수 있으며, 와이어의 절연성 피복도 더 두껍게 형성할 수 있다. 그림에서 와이어 프로브 전극은 절연성 피복에 의해서 전극 연장부와 절연되어 있다. FIG. 4 is a cross-sectional view of a wire space transformer in which an external connection line is formed and a plan view of an enlarged probe electrode, as an example to which the technique of the present invention is applied. The two
도5는 본 발명의 기술이 적용된 하나의 예로서, 와이어 플레이트가 도체로 구성된 와이어 공간변형기의 단면도 및 확대된 프로브 전극의 평면도이다. 도체로 이루어진 와이어 플레이트(125)의 일측이 와이어리스 프로브 전극(150)이 된다. 와이어 플레이트가 전극 연장부로서의 역할도 하게 됨으로, 외부 연결선(160)은 와이어 플레이트의 표면에 연결된다. 서로 연결되는 와이어리스 프로브 전극이 접지 전극인 경우에 와이어 플레이트 전체가 전자파 (electromagnetic wave) 차폐(shield) 역할을 하게 되어, 노이즈 방지에 매우 효과가 있는 구조이다.5 is a cross-sectional view of a wire space transformer in which a wire plate is made of a conductor and a plan view of an enlarged probe electrode, as an example to which the technique of the present invention is applied. One side of the
도6는 본 발명의 기술이 적용된 하나의 예로서, 비전극(non-electrode) 와이어로 외부 연결선이 형성되어 있는 와이어 공간변형기의 단면도 및 확대된 프로브 전극의 평면도이다. 와이어리스 프로브 전극(150)이 전극 연장부(151)를 통하여 비전극 와이어(112)와 연결된다. 비전극 와이어(112)의 단면에 형성된 도금층에는 프로브가 접촉하지 않으며, 비전극 와이어는 전극 연장부와 외부의 회로기판을 연결하는 외부 연결선의 역할만 하게 된다. 외부 연결선을 형성하기 위한 별도의 공정없이, 기존의 와이어 프로브 전극 형성공정을 활용하여 외부 연결선을 형성할 수 있는 장점이 있는 구조이다. 비전극 와이어는 와이어 프로브 전극이 밀집된 곳에서 떨어진 위치에 형성하는 것이 바람직하다. 와이어리스 프로브 전극을 도입함으로 인해서 굵은 와이어를 쓸 수 있으며, 와이어 외부에 피복된 절연체의 두께도 두껍게 할 수가 있다. 그림에서 와이어 홀 주변에 원형으로 전극 연장부가 패터닝되어 있으며, 이 부분으로는 와이어 플레이트(120)가 노출되어 있다.FIG. 6 is a cross-sectional view of a wire space transformer in which an external connection line is formed by a non-electrode wire and a plan view of an enlarged probe electrode, as an example to which the technique of the present invention is applied. The
도7은 본 발명의 기술이 적용된 하나의 예로서, 전도성 접착제가 적용된 와이어 공간변형기의 단면도 및 확대된 프로브 전극의 평면도이다. 전기적으로 독립된 와이어 프로브 전극(140)에 연결된 전도성 와이어(110)는 절연성 피복(111)이 있으나, 서로 연결된 와이어 프로브 전극(113)은 절연성 피복이 없으며 전도성의 고정 접착제를 통하여 서로 연결된다. 동일한 신호를 전달하는 프로브 전극을 연결함에 있어서, 연결 방법으로 전도성 접착제를 활용하는 구조이다. 서로 전기적으로 연결된 전도성 와이어(113)들 중 하나 이상이 외부의 회로기판과 연결되면 되므로 외부로 연결되는 와이어 숫자를 줄일 수 있다. 또한, 접착제를 통하여 서로 연결되는 와이어는 절연성 코팅 피복이 없는 만큼 더욱 굵은 와이어를 사용할 수 있으므로 제작이 용이하며, 낮은 전기저항과 높은 허용전류를 얻을 수 있다. Fig. 7 is a cross-sectional view of a wire space transducer to which a conductive adhesive is applied and a plan view of an enlarged probe electrode, as an example to which the technique of the present invention is applied. The
서로 연결된 전도성 와이어를 모두 외부의 회로기판에 연결하는 것도 가능하다. 이러한 경우에도 피복 두께 만큼 더 굵은 와이어를 쓸 수 있는 장점이 있으며, 제작이나 사용 중에 하나의 와이어가 끊어지더라도 공간변형기가 정상적으로 작동하는 장점이 있다. It is also possible to connect all the conductive wires connected to each other to an external circuit board. Even in such a case, it is advantageous to use a thicker wire as much as the thickness of the coating, and it is advantageous that the space changer operates normally even if one wire is broken during manufacture or use.
전도성 접착제에는 전도성 충진제로서 금(Au), 은(Ag), 구리(Cu), 카본(C), 그레파이트(graphite) 등이 들어가서 전도성을 가진다. 전도성 접착제만으로 와이어를 고정할 수도 있으나, 접착 성능이 뛰어난 비전도성 접착제를 추가로 이용하여 와이어를 고정하는 것이 접착 신뢰성 향상에 도움된다.
The conductive adhesive contains conductive fillers such as gold (Au), silver (Ag), copper (Cu), carbon (C), and graphite. Although the wire can be fixed only by a conductive adhesive, fixing the wire by using a nonconductive adhesive having excellent adhesion performance helps improve adhesion reliability.
110 : 전도성 와이어
111 : 절연성 피복
112 : 비전극 와이어
120 : 와이어 플레이트
121 : 홈
122 : 와이어 홀
125 : 전도성 와이어 플레이트
130 : 고정 접착제
131 : 전도성 접착제
140 : 와이어 프로브 전극
150 : 와이어리스 프로브 전극
151 : 전극 연장부
160 : 외부 연결선110: conductive wire
111: Insulation cloth
112: Non-conducting wire
120: wire plate
121: Home
122: wire hole
125: Conductive wire plate
130: Fixed adhesive
131: Conductive adhesive
140: wire probe electrode
150: Wireless probe electrode
151: Electrode extension
160: External connection
Claims (7)
A plurality of conductive wires having a wire probe electrode formed at one end thereof, electrically connected to the circuit board at the other end thereof, and an outer surface covered with an insulating coating; A wire plate having a groove formed on one surface of the plate and having a wire hole into which the conductive wire is inserted; A fixing adhesive for fixing the conductive wire protruded to the groove-formed portion of the wire plate to the wire plate so that the conductive wire inserted into the wire hole can be fixed in a state of being inserted into the wire hole; A wire probe electrode formed by plating at least one metal on an end face of the conductive wire inserted into the wire hole and exposed to a surface opposite to a surface of the wire plate on which the groove is formed, the probe contacting the surface; And the surface of the conductive wire is made of a conductive material and is exposed on the surface opposite to the grooved surface of the wire plate, And a wire probe electrode electrically connected to the circuit board.
상기 와이어 홀 중 적어도 하나 이상의 와이어 홀에 카운터보어(counter bore) 또는 카운터싱크(counter sink) 가공이 되어 있는 것을 특징으로 하는 와이어 공간변형기.
The method according to claim 1,
Wherein a counter bore or a counter sink is formed in at least one of the wire holes.
상기 전도성 와이어가 아닌 별도의 외부 연결선을 통하여, 상기 와이어리스 프로브 전극을 회로기판에 전기적으로 연결하는 것을 특징으로 하는 와이어 공간변형기.
The method according to claim 1,
Wherein the wireless probe electrode is electrically connected to the circuit board through a separate external connection line other than the conductive wire.
상기 와이어리스 프로브 전극 중 적어도 하나 이상이 접지(ground) 전극 또는 전원(power) 단자에 연결되는 것을 특징으로 하는 와이어 공간변형기.
The method according to claim 1,
And at least one of the wireless probe electrodes is connected to a ground electrode or a power terminal.
상기 복수의 전도성 와이어 중 적어도 하나 이상에 있어서, 전도성 와이어의 피복 일부 또는 전부가 제거 되어 있으며, 상기 피복이 제거된 부분에 접착된 전도성 접착제를 통하여 다른 전도성 와이어와 전기적으로 연결되는 것을 특징으로 하는 와이어 공간변형기.
A plurality of conductive wires having a wire probe electrode formed at one end thereof, electrically connected to the circuit board at the other end thereof, and an outer surface covered with an insulating coating; An insulating wire plate having a groove formed on one surface of the plate and having a plurality of wire holes into which the conductive wire is inserted; A fixing adhesive for fixing the conductive wire protruded to the groove-formed portion of the wire plate to the wire plate so that the conductive wire inserted into the wire hole can be fixed in a state of being inserted into the wire hole; And a wire probe electrode formed on the end surface of the conductive wire inserted into the wire hole, the wire probe electrode being formed by plating one or more metal on the end face of the conductive wire and exposed to the opposite surface of the groove formed surface of the wire plate, ;
Wherein at least one of the plurality of conductive wires is electrically connected to the other conductive wire through a conductive adhesive bonded to the removed portion of the conductive wire after part or all of the conductive wire is removed. Space transformer.
상기 전도성 접착제를 통하여 서로 전기적으로 연결된 전도성 와이어 중 적어도 하나 이상에 있어서, 전도성 와이어가 직접 회로기판으로 연결되지 않고, 다른 전도성 와이어를 통해서 회로기판에 연결되는 것을 특징으로 하는 와이어 공간변형기.
6. The method of claim 5,
Wherein at least one of the conductive wires electrically connected to each other through the conductive adhesive is not connected to the circuit board directly but is connected to the circuit board through another conductive wire.
상기 전기적으로 서로 연결된 와이어 프로브 전극 중 적어도 하나 이상이, 접지(ground) 전극 또는 전원(power) 단자에 연결되는 것을 특징으로 하는 와이어 공간변형기. 6. The method of claim 5,
Wherein at least one of the electrically connected wire probe electrodes is connected to a ground electrode or a power terminal.
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