KR101212573B1 - A Filter Backwashing Filtering System and A Filtering Method thereof - Google Patents

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아쿠아스 포스 가부시키가이샤
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Abstract

본 발명은 연속운전이 가능한 여과장치에 관한 것으로서, 유입관이 연결되는 제1영역과 제1배출관이 연결되고 필터가 설치되는 제2영역으로 구획된 하우징; 상기 제1영역과 소통하는 제1개방면, 상기 제2영역과 소통하는 필터면, 제2배출관과 연결되는 제2개방면을 갖는 2개 이상의 필터들; 및 상기 제2개방면들 또는 상기 제2개방면들과 연결된 배관들에 각각 설치되는 역세척용 밸브들을 포함하는 것을 특징으로 한다.The present invention relates to a filtration apparatus capable of continuous operation, comprising: a housing partitioned into a first region in which an inlet pipe is connected and a second region in which a first discharge pipe is connected and a filter is installed; Two or more filters having a first open surface in communication with the first region, a filter surface in communication with the second region, and a second open surface connected with a second discharge pipe; And backwash valves installed on the second open surfaces or pipes connected to the second open surfaces, respectively.

Description

연속운전이 가능한 여과장치 및 이를 이용한 역세척 방법{A Filter Backwashing Filtering System and A Filtering Method thereof}Filtration device capable of continuous operation and backwashing method using the same {A Filter Backwashing Filtering System and A Filtering Method}

본 발명은 반도체 및 LCD제조공정에서 입자의 여과를 수행하는 여과장치 및 여과방법에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 역세척을 위해 장치를 정지시키거나 또는 복수의 여과장치를 구비할 필요가 없는 연속운전이 가능한 여과장치 및 이를 이용한 역세척 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a filtration device and a filtration method for performing particle filtration in a semiconductor and LCD manufacturing process, and more particularly, continuous operation that does not need to stop the device or provide a plurality of filtration device for backwashing. The present invention relates to a possible filtering device and a backwashing method using the same.

일반적으로 여과장치는 하나 이상의 필터를 구비하며, 필터는 여과대상물에 포함된 이물질을 걸러내는 구실을 한다. 따라서 일정기간 동안 사용된 필터의 표면에는 다수의 이물질이 부착되어 본래의 여과기능을 상실하게 되므로, 일정기간 사용된 필터는 새로운 필터로 교체되거나 또는 여과장치에서 분리되어 세척된 후 재사용된다.Generally, the filtration apparatus includes one or more filters, and the filter serves to filter out foreign substances contained in the filtering object. Therefore, since a large number of foreign substances are attached to the surface of the filter used for a certain period of time and lose its original filtration function, the filter used for a certain period of time is replaced with a new filter or separated from the filtration apparatus, washed, and reused.

그러나 필터를 새것으로 교체할 경우에는 필터의 폐기에 따른 환경오염의 문제가 발생하고, 필터를 분리하여 세척한 후 재사용하는 경우에는 필터의 교체작업동안 여과장치를 정지시켜야 하므로 여과장치 및 전체적인 장치의 가동율이 떨어진다.However, if the filter is replaced with a new one, there is a problem of environmental pollution due to the disposal of the filter, and if the filter is removed, washed and reused, the filtration device must be stopped during the filter replacement operation. The utilization rate drops.

이러한 문제점을 해소하고자, 도 1에 도시된 바와 같이 2개 이상의 여과장치를 구비한 역세척 방법이 개발되었다.In order to solve this problem, a backwashing method having two or more filtration devices has been developed as shown in FIG. 1.

도 1에 도시된 종래의 여과장치(300)는 2개 이상의 여과기들(310, 312)을 구비한다. 각각의 여과기(310, 312)는 내부에 필터(320)를 구비한다. 그리고 각각의 여과기(310, 312)는 여과대상물이 유입되는 제1유입관(302), 여과대상물이 여과되어 배출되는 제1배출관(304), 필터(320)에 여과된 이물질을 세척하기 위한 초순수를 공급하는 제2유입관(306), 및 필터(320)에 여과된 이물질을 배출하는 제2배출관(308)과 연결되어 있다. 각각의 관들(302, 304, 306, 308)에는 밸브가 설치된다.The conventional filtration apparatus 300 shown in FIG. 1 has two or more filters 310 and 312. Each filter 310, 312 has a filter 320 therein. Each of the filters 310 and 312 is a first inlet pipe 302 into which the filtration object is introduced, a first discharge pipe 304 through which the filtration object is filtered out, and ultrapure water for washing the foreign substances filtered by the filter 320. It is connected to the second inlet pipe 306 for supplying the second, and the second discharge pipe 308 for discharging the foreign matter filtered in the filter 320. Each of the tubes 302, 304, 306, 308 is equipped with a valve.

이와 같이 구성된 여과장치(300)는 여과기들(310, 312)을 순차적으로 또는 임의의 순서로 역세척하며, 여과작업을 멈춤없이 수행한다. 즉, 종래의 여과장치(300)는 일정주기에 따른 자동제어 또는 필요에 따라 수동제어로 여과기들(310, 312) 중 어느 하나의 제1유입관(302)과 제1배출관(304)의 밸브를 폐쇄함과 동시에 제2유입관(306)과 제2배출관(308)의 밸브를 개방하여, 필터(320)에 여과된 이물질을 세척한다. 여기서, 세척수는 여과대상물이 필터(320)를 통과하는 방향과 반대방향으로 통과하므로, 필터(320)에 여과된 이물질을 용이하게 씻어낼 수 있다.The filtration device 300 configured as described above backwashes the filters 310 and 312 sequentially or in any order, and performs the filtration without stopping. That is, the conventional filter 300 is a valve of the first inlet pipe 302 and the first discharge pipe 304 of any one of the filters 310, 312 by automatic control according to a predetermined period or manual control as needed. At the same time, the valve of the second inlet pipe 306 and the second discharge pipe 308 is opened, and the foreign matter filtered by the filter 320 is washed. Here, since the washing water passes in a direction opposite to the direction in which the filtration object passes through the filter 320, the washing water may easily wash away the foreign matter filtered by the filter 320.

따라서 역세척을 이용한 종래 여과장치(300)는 여과장치를 멈추지 않고도 여과작업 또는 여과공정을 수행할 수 있고, 필터(320)를 교체없이 계속적으로 사용할 수 있었다.Therefore, the conventional filtration device 300 using the backwash can perform the filtration or filtration process without stopping the filtration device, it was possible to continue to use the filter 320 without replacement.

그러나 위와 같은 구조의 여과장치는 반드시 복수의 독립된 여과기를 구비해야 하고, 또한, 복수의 여과기 중 적어도 하나를 필요시 정지시켜야 하므로, 여과장치의 전체적인 설비비용(또는 투자비용)이 높을 뿐만 아니라, 여과장치의 운전비용이 상대적으로 높은 단점이 있다.However, the filtration device of the above structure must be provided with a plurality of independent filters, and at least one of the plurality of filters should be stopped if necessary, so that the overall equipment cost (or investment cost) of the filtration device is not only high, but also filtration. The disadvantage is that the operating cost of the device is relatively high.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해소하기 위한 것으로서, 독립된 여과기를 복수형태로 설치하지 않고도 필터의 역세척을 용이하게 할 수 있는 연속운전이 가능한 여과장치 및 이를 이용한 역세척 방법을 제공하는데 그 목적이 있다.The present invention is to solve the above problems, to provide a filtration device and a backwashing method using a continuous operation capable of facilitating the backwashing of the filter without having to install a plurality of independent filters in the form and its purpose. have.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 한 실시예에 따르면, 유입관이 연결되는 제1영역과 제1배출관이 연결되고 필터가 설치되는 제2영역으로 구획된 하우징; 상기 제1영역과 소통하는 제1개방면, 상기 제2영역과 소통하는 필터면, 제2배출관과 연결되는 제2개방면을 갖는 2개 이상의 필터들; 및 상기 제2개방면들 또는 상기 제2개방면들과 연결된 배관들에 각각 설치되는 역세척용 밸브들을 포함하는 연속운전이 가능한 여과장치가 제공된다.According to an embodiment of the present invention for achieving the above object, a housing partitioned into a first region to which the inlet pipe is connected and a second region to which the first discharge pipe is connected and the filter is installed; Two or more filters having a first open surface in communication with the first region, a filter surface in communication with the second region, and a second open surface connected with a second discharge pipe; And it is provided with a filtration device capable of continuous operation including valves for backwashing are respectively installed on the second open surfaces or pipes connected to the second open surfaces.

바람직하게는, 상기 역세척용 밸브들의 개폐를 자동으로 제어하는 제어장치가 더 설치되고, 각각의 상기 필터들을 통한 여과흐름을 판단할 수 있도록 유량센서들 또는 유속센서들이 각각 설치되며, 상기 제어장치는 상기 유량센서들 또는 유속센서들로부터 측정된 값이 기 설정된 값보다 작으면, 해당 필터에 이물질이 많이 부착되어 있는 것으로 판단하고, 해당 필터와 연결된 역세척용 밸브를 개방시키는 것이 좋다.Preferably, a control device for automatically controlling opening and closing of the backwash valves is further installed, and flow rate sensors or flow rate sensors are respectively installed to determine the filtration flow through the respective filters. When the value measured from the flow rate sensors or flow rate sensors is smaller than a predetermined value, it is determined that a lot of foreign matter is attached to the filter, it is preferable to open the backwash valve connected to the filter.

더욱 바람직하게는, 상기 필터는 적층방향으로 돌출된 다수의 돌기들을 갖는 환형 필터부재가 적층되어 이루어진 것이 좋다.More preferably, the filter is formed by laminating an annular filter member having a plurality of protrusions protruding in the stacking direction.

더욱 바람직하게는, 상기 필터부재의 둘레면에는 상하방향으로 적층되는 필터부재들 간의 위치 정렬을 위한 하나 이상의 끼움 홈이 형성되고, 상기 필터는 상기 홈에 끼워지는 고정 봉을 더 구비하는 것이 좋다.More preferably, one or more fitting grooves are formed on the circumferential surface of the filter member for aligning positions of the filter members stacked in the vertical direction, and the filter further includes a fixing rod fitted into the groove.

본 발명의 다른 실시 예에 따르면, 전술된 여과장치를 이용한 역세척 방법으로서, 상기 유입관과 상기 제1배출관을 개방한 상태에서, 상기 역세척용 밸브들 중 하나를 선택적으로 개방하여, 해당 역세척용 밸브의 필터에 부착된 이물질을 제2배출관을 통해 배출시키는 역세척 방법이 제공된다.According to another embodiment of the present invention, as the backwashing method using the above-described filtration device, in the state in which the inlet pipe and the first discharge pipe are opened, one of the backwash valves is selectively opened, A backwashing method is provided for discharging foreign matter attached to a filter of a washing valve through a second discharge pipe.

본 발명은 하나의 여과기만을 구비한 상태에서도 필터의 역세척이 가능하므로, 별도의 여과기를 설치할 필요가 없다. 따라서 본 발명에 따르면, 여과장치의 설치비용을 낮출 수 있고, 협소한 공간에도 역세척이 가능한 여과장치를 설치할 수 있으며, 여과장치의 구성에 필요한 각종 배관들을 간소화시킬 수 있다.In the present invention, since the filter can be backwashed even when only one filter is provided, there is no need to install a separate filter. Therefore, according to the present invention, it is possible to lower the installation cost of the filtration device, to install a filtration device capable of backwashing in a narrow space, and to simplify the various pipes required for the configuration of the filtration device.

또한, 본 발명은 구조가 간단한 필터를 제공하므로, 역세척용 필터를 제작하는데 필요한 제작비용을 절감할 수 있다.In addition, since the present invention provides a filter having a simple structure, it is possible to reduce the manufacturing cost required for manufacturing the backwash filter.

도 1은 역세척을 위한 종래 여과장치의 구성을 개략적으로 나타낸 구성도이고,
도 2는 본 발명의 제1실시 예에 따른 여과장치의 구성을 나타낸 구성도이고,
도 3은 도 2에 도시된 여과장치에 장착된 필터를 나타낸 사시도이고,
도 4는 도 3에 도시된 필터의 일부 구성(필터부재)을 나타낸 사시도이고,
도 5는 도 4에 도시된 필터부재의 적층구조를 설명하기 위한 부분 단면도이고,
도 6은 도 2에 도시된 여과장치의 작동원리를 설명하기 위한 사용상태도이고,
도 7은 본 발명의 제2실시 예에 따른 여과장치의 구성을 나타낸 구성도이다.1 is a schematic view showing the configuration of a conventional filtration apparatus for backwashing,
2 is a block diagram showing the configuration of a filtration device according to a first embodiment of the present invention,
3 is a perspective view showing a filter mounted on the filtration device shown in FIG.
4 is a perspective view showing a part configuration (filter member) of the filter shown in FIG.
FIG. 5 is a partial cross-sectional view for describing the laminated structure of the filter member shown in FIG. 4.
6 is a state diagram used for explaining the operation principle of the filtration device shown in FIG.
7 is a configuration diagram showing the configuration of a filtration device according to a second embodiment of the present invention.

이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부된 예시도면에 의거하여 상세히 설명한다.DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

아래에서 본 발명을 설명함에 있어서, 본 발명의 구성요소를 지칭하는 용어들은 각각의 구성요소들의 기능을 고려하여 명명된 것이므로, 본 발명의 기술적 구성요소를 한정하는 의미로 이해되어서는 안 될 것이다.In the following description of the present invention, terms that refer to the components of the present invention are named in consideration of the function of each component, it should not be understood as a meaning limiting the technical components of the present invention.

도 2는 본 발명의 제1실시 예에 따른 여과장치의 구성을 나타낸 구성도이고, 도 3은 도 2에 도시된 여과장치에 장착된 필터를 나타낸 사시도이고, 도 4는 도 3에 도시된 필터의 일부 구성(필터부재)을 나타낸 사시도이고, 도 5는 도 4에 도시된 필터부재의 적층구조를 설명하기 위한 부분 단면도이고, 도 6은 도 2에 도시된 여과장치의 작동원리를 설명하기 위한 사용상태도이고, 도 7은 본 발명의 제2실시 예에 따른 여과장치의 구성을 나타낸 구성도이다.2 is a block diagram showing the configuration of a filtration device according to a first embodiment of the present invention, Figure 3 is a perspective view showing a filter mounted on the filtration device shown in Figure 2, Figure 4 is a filter shown in Figure 3 Is a perspective view showing a part of the configuration (filter member), Figure 5 is a partial cross-sectional view for explaining the laminated structure of the filter member shown in Figure 4, Figure 6 is for explaining the operation principle of the filtration device shown in Figure 2 Figure 7 is a state of use, and Figure 7 is a block diagram showing the configuration of a filtration device according to a second embodiment of the present invention.

(제1실시 예)(Embodiment 1)

본 발명에 따른 여과장치(100)는 도 2에 도시된 바와 같이 하우징(10), 2개 이상의 필터(20), 역세척용 밸브(40)를 포함한다.Filtration device 100 according to the present invention includes a housing 10, two or more filters 20, a backwash valve 40 as shown in FIG.

하우징(10)은 대체로 원통 형태로서, 여과대상물이 유입되는 입구(16)와 여과된 여과대상물이 배출되는 출구(18)를 갖는다. 하우징의 입구(16)에는 여과대상물의 공급탱크와 연결된 유입관(60)이 설치되고, 하우징의 출구(18)에는 여과된 여과대상물이 배출되는 제1배출관(62)이 연결된다. 제1배출관(62)는 여과된 여과대상물이 저장되는 탱크나 또는 여과된 여과대상물이 사용될 제조라인에 연결된다. The housing 10 is generally cylindrical in shape and has an inlet 16 through which the filtration object flows in and an outlet 18 through which the filtered filtration object is discharged. An inlet tube 60 connected to the supply tank of the filtering object is installed at the inlet 16 of the housing, and a first discharge pipe 62 through which the filtered object is discharged is connected to the outlet 18 of the housing. The first discharge pipe 62 is connected to a tank in which the filtered object is stored or to a production line in which the filtered object is to be used.

하우징(10)의 내부에는 여과대상물을 여과할 수 있는 2개 이상의 필터(20)가 설치되고, 이들 필터들(20)와 별도의 칸막이를 경계로 제1영역(12)과 제2영역(14)으로 구획된다. 즉, 제1영역(12)은 입구(16)를 통해 유입된 여과대상물이 필터(20)를 통과하기 전까지 체류 또는 저장되어 있는 공간이고, 제2영역(14)은 필터(20)를 통과한 여과대상물이 출구(18)를 통해 배출되기 전까지 체류 또는 저장되어 있는 공간이다. 정리하면, 하우징(10)의 내부는 필터들(20)을 기준으로 제1영역(12)과 제2영역(14)으로 나누어지며, 하우징(10)의 입구(16)를 통해 유입된 여과대상물은 제1영역(12)을 통해 필터들(20)를 통과한 후 제2영역(14)을 지나 출구(18)로 배출된다.Two or more filters 20 capable of filtering an object to be filtered are installed in the housing 10, and the first region 12 and the second region 14 are separated from the filters 20 and a separate partition. It is divided into That is, the first region 12 is a space where the filtered object introduced through the inlet 16 stays or is stored until passing through the filter 20, and the second region 14 passes through the filter 20. It is a space that stays or is stored until the filtered object is discharged through the outlet 18. In summary, the interior of the housing 10 is divided into the first region 12 and the second region 14 based on the filters 20, and the filtering object introduced through the inlet 16 of the housing 10. After passing through the filters 20 through the first region 12 is passed through the second region 14 to the outlet 18.

한편, 하우징(10)의 하부에는 하우징(10)의 내부에 설치된 필터들(20)의 수와 동일한 개수의 출구(19)가 더 형성된다. 출구(19)에는 제2배출관(64)이 설치되고, 제2배출관(64)에는 (역세척용) 밸브들(40)이 각각 설치된다. 밸브들(40)은, 여과장치(100)의 일반적인 작동상태에서는, 하우징(10)에 저장된 여과대상물이 평상 시 도면부호 19의 출구들로 배출되지 않도록 폐쇄된 상태로 유지되고, 필터들(20)의 역세척이 필요한 경우에는, 역세척이 필요한 필터(20)와 소통하는 출구(19)로 유체가 배출될 수 있도록 선택적으로 개방된다. 참고로, 제2배출관(64)은 필터(20)에 걸러진 이물질들을 분리하기 위해 별도의 보조탱크(도시되지 않음)와 연결되거나 또는 배출된 여과대상물이 다시 여과장치(100)로 공급될 수 있도록 유입관(60)과 연결될 수 있다.Meanwhile, the same number of outlets 19 as the number of filters 20 installed inside the housing 10 is further formed in the lower portion of the housing 10. The outlet 19 is provided with a second discharge pipe 64, and the second discharge pipe 64 is provided with valves 40 (for back washing), respectively. The valves 40 are kept closed so that the filtration object stored in the housing 10 is not normally discharged to the outlets 19 at the normal operation of the filtration device 100, and the filters 20 If backwashing is required, the fluid is selectively opened to allow fluid to exit to the outlet 19 in communication with the filter 20 requiring backwashing. For reference, the second discharge pipe 64 is connected to a separate auxiliary tank (not shown) to separate the foreign substances filtered by the filter 20 or discharged filtration object to be supplied to the filtration device 100 again. It may be connected to the inlet pipe (60).

필터(20)는 하우징(10)의 내부에 병렬형태로 설치되며, 하우징(10)에 저장된 또는 하우징(10)으로 공급되는 여과대상물을 여과하는 구실을 한다. 필터(20)는 도 3 ~ 도 5에 도시된 바와 같이 윗면(청구범위 제1항에 기재된 제1개방면에 해당한다)과 아랫면(청구범위 제1항에 기재된 제2개방면)이 개방된 원통형태를 갖는다. 여기서, 윗면은 제1영역(12)과 소통하고, 아랫면은 도면부호 19의 출구과 소통한다.The filter 20 is installed in parallel in the housing 10, and serves as a filter for filtering the filtration object stored in the housing 10 or supplied to the housing 10. As shown in Figs. 3 to 5, the filter 20 has an upper surface (corresponding to the first open side described in claim 1) and a lower side (second open side stated in claim 1) open. It has a cylindrical shape. Here, the upper surface communicates with the first region 12, and the lower surface communicates with the exit 19.

필터(20)는 도 4에 도시된 다수의 필터부재들(202)이 높이방향(또는 두께방향)으로 차곡차곡 적층된 형태이다. 필터부재(202)는 대체로 환형 형태이며, 둘레방향을 따라 교번하여 형성된 다수의 돌기(204)와 홈(206)을 갖는다. 그리고 필터부재(202)의 측면에는 다수의 고정 홈(208)이 형성된다.The filter 20 is formed by stacking a plurality of filter members 202 shown in FIG. 4 in the height direction (or thickness direction). The filter member 202 is generally annular and has a plurality of protrusions 204 and grooves 206 formed alternately along the circumferential direction. And a plurality of fixing grooves 208 is formed on the side of the filter member 202.

필터(20)는 한 쌍의 고정부재들(22)과 다수의 고정 봉(24)을 갖는다. 한 쌍의 고정부재들(22)은 필터부재들(202)이 적층되어 이루어진 원통몸체의 최상부와 최하부에 각각 결합되며, 고정 봉(24)와 결합되기 위한 별도의 나사체결공 또는 관통공을 갖는다. 그리고 고정 봉(24)은 필터부재들(202)의 고정 홈(208)에 끼워진 상태에서 최상부 및 최하부의 고정부재들(22)과 단단히 결합한다. The filter 20 has a pair of fixing members 22 and a plurality of fixing rods 24. The pair of fixing members 22 are respectively coupled to the uppermost and lowermost portions of the cylindrical body in which the filter members 202 are stacked, and have a separate screwing or through hole for engaging with the fixing rod 24. . In addition, the fixing rod 24 is firmly coupled to the upper and lower fixing members 22 in a state of being fitted into the fixing grooves 208 of the filter members 202.

따라서 다수의 필터부재들(202)이 적층되어 이루어진 필터(20)는 이들 고정부재들(22)과 고정 봉들(24)에 의해 하나의 몸체로 단단히 결속되며, 필터(20)의 내측 또는 외측을 통해 유입되는 유체(즉, 여과대상물)는 필터부재들(202)의 적층에 의해 형성되는 홈들(206, 도 5 참조)을 통해 유입된 방향과 반대측으로 여과된다.Therefore, the filter 20 formed by stacking the plurality of filter members 202 is firmly bound to one body by the fixing members 22 and the fixing rods 24, and the inside or the outside of the filter 20 is fixed. The fluid flowing through (ie, the filtering object) is filtered in the opposite direction to the flowing direction through the grooves 206 (see FIG. 5) formed by the stacking of the filter members 202.

다음에서는 위와 같이 구성된 본 발명의 여과장치(100)의 작동상태를 도 6을 토대로 간단히 설명하겠다.Next, the operating state of the filtration device 100 of the present invention configured as described above will be briefly described based on FIG.

본 발명의 여과장치(100)는 일반적인 여과작동 시 역세척용 밸브들(40)을 모두 폐쇄한다. 그러면 하우징(10)의 입구(16)로 유입된 여과대상물은 필터들(20)를 통해 출구(18)로만 배출되므로, 여과대상물의 여과만이 수행된다. 즉, 유입관(60)을 통해 유입된 여과대상물은 필터들(20)을 통과해야만 하우징(10)의 제1영역(12)에서 제2영역(14)으로 이동할 수 있으므로, 역세척용 밸브들(40)이 폐쇄된 상태에서는 여과대상물의 여과가 계속적으로 이루어진다(도 6의 실선 화살표 참조).The filtration device 100 of the present invention closes all the backwash valves 40 during the normal filtration operation. Then, the filtration object introduced into the inlet 16 of the housing 10 is discharged only to the outlet 18 through the filters 20, so that only filtration of the filtration object is performed. That is, the filtering object introduced through the inlet pipe 60 may move from the first region 12 to the second region 14 of the housing 10 only through the filters 20, so that the backwash valves may be used. In the state in which 40 is closed, filtration of the filtration object is continued (see the solid arrow in FIG. 6).

위와 같은 상태에서, 필터들(20) 중 어느 하나에 이물질이 많이 부착되어 정상적인 여과작업을 수행하지 못하면(여과상태는 제2배출관(64)의 배출압이나 유입관(60)의 유입압력을 통해 확인할 수 있다), 역세척용 밸브들(40) 중 적어도 하나(바람직하게는 역세척 대상의 필터(20)와 연결된 밸브(40))를 개방한다. In the above state, if a large amount of foreign matter is attached to any one of the filters 20 to perform a normal filtration (filtration state through the discharge pressure of the second discharge pipe 64 or the inlet pressure of the inlet pipe 60) At least one of the backwash valves 40 (preferably, the valve 40 connected to the backwashing filter 20) is opened.

그러면 도 6의 점선 화살표로 표시한 바와 같이, 하우징(10)의 내부에서 개방된 밸브(도 6에서 맨 왼쪽 밸브(40))를 통해 제2배출관(64)으로 빠져나가려는 유체(즉, 여과대상물)의 흐름이 발생한다. 유체의 흐름은 제1영역(12)에서 출구(19)로 바로 이동하는 유동뿐만 아니라, 제2영역(14)에서 필터(20)를 통과하여 출구(19)로 이동하는 유동도 발생한다(즉 역세척이 가능한 유동이 발생한). 후자의 유동은 필터(20)에 부착된 이물질을 필터(20)의 내부로 밀어내는 구실을 하므로, 필터(20)에 부착된 이물질들이 자연스럽게 도면부호 19의 출구를 통해 제2배출관(64)로 배출된다. 한편, 위 상태는 제1배출관(62)로의 유동이 가능한 상태이므로, 필터(20)의 역세척과 동시에 여과대상물의 여과는 계속적으로 이루어진다.Then, as indicated by the dashed arrow in FIG. 6, the fluid (ie, filtration) to exit to the second discharge pipe 64 through the valve (leftmost valve 40 in FIG. 6) opened inside the housing 10. Object flow) occurs. The flow of fluid not only flows directly from the first zone 12 to the outlet 19, but also from the second zone 14 through the filter 20 to the outlet 19 (ie Backwashable flow). Since the latter flow serves to push the foreign matter attached to the filter 20 into the filter 20, the foreign matter attached to the filter 20 naturally passes through the outlet of the reference numeral 19 to the second discharge pipe 64. Discharged. On the other hand, the above state is a state capable of flowing to the first discharge pipe 62, the back of the filter 20 and at the same time the filtration of the filtration object is made continuously.

위와 같은 역세척은 밸브(40)를 개방하게 되면, 제2영역(14)의 압력이 제2배출관(64)쪽보다 높아지므로, 제2영역(14)의 여과대상물이 필터(20)를 통해 제2배출관(64)으로 이동하려는 경향이 발생하기 때문에 가능하다. 그러나 제1배출관(62) 측의 압력도 제2영역(14)보다 낮은 상태이므로, 제2영역(14)의 여과대상물(즉, 여과된 여과대상물)은 제2배출관(64)쪽으로만 이동하는 것이 아니라 제1배출관(62)쪽으로도 이동한다.In the above backwashing, when the valve 40 is opened, the pressure of the second region 14 is higher than that of the second discharge pipe 64, so that the filtration object of the second region 14 passes through the filter 20. This is possible because the tendency to move to the second discharge pipe 64 occurs. However, since the pressure on the side of the first discharge pipe 62 is also lower than that of the second area 14, the filtration object (that is, the filtered filtration object) of the second area 14 moves only toward the second discharge pipe 64. It also moves toward the first discharge pipe 62.

따라서 본 발명에 따르면, 필터(20)의 역세척을 수행하면서 여과대상물의 여과를 동시에 수행할 수 있으므로, 복수의 여과장치를 설치할 필요가 없으며, 역세척을 위해 여과장치를 정지시킬 필요도 없다.Therefore, according to the present invention, since the filtration of the filtration object can be performed simultaneously while performing the back washing of the filter 20, there is no need to install a plurality of filtration devices, and there is no need to stop the filtration device for back washing.

(제2실시 예)(Second Embodiment)

본 발명의 제2실시 예는 제어장치(50)와 유량센서(또는 유속센서, 52)를 더 구비한 점에 있어서 제1실시 예와 차이점을 갖는다. 참고로, 제1실시 예와 동일한 구성요소들은 동일한 도면부호를 사용하며, 이들 구성요소들에 대한 상세한 설명은 생략한다.The second embodiment of the present invention differs from the first embodiment in that it further includes a control device 50 and a flow rate sensor (or flow rate sensor 52). For reference, the same components as those of the first embodiment have the same reference numerals, and detailed descriptions of these components will be omitted.

본 실시 예의 여과장치(100)는 제어장치(50)와 다수의 유량센서(52)를 더 구비한다. 제어장치(50)는 하우징(10) 또는 밸브(40)와 유량센서(52)의 제어가 가능한 임의의 장소에 설치된다. 제어장치(50)는 유량센서(52)로부터의 유량정보를 수신하고, 이를 토대로 밸브(40)의 개폐작동을 제어한다.The filtration device 100 of the present embodiment further includes a control device 50 and a plurality of flow sensors 52. The control apparatus 50 is installed in the housing 10 or any place which can control the valve 40 and the flow sensor 52. The controller 50 receives flow rate information from the flow rate sensor 52, and controls the opening and closing operation of the valve 40 based on the flow rate information.

유량센서(52)는 필터(20)의 내부에 각각 설치되며, 필터(20) 내부의 유동상태를 측정하여 제어장치(50)로 송신한다. 참고로, 필터(20)에 이물질이 많이 부착되어 있지 않은 경우에는, 필터(20)를 통해 제1영역에서 제2영역으로 이동하는 유동이 활발히 일어나므로, 유량센서(52)의 측정값이 상대적으로 높을 것이다. 반면, 필터(20)에 이물질이 많이 부착된 경우에는, 필터(20)를 통해 제1영역에서 제2영역으로 이동하는 유동이 거의 일어나지 않을 것이므로, 유량센서(52)의 측정값이 상대적으로 낮을 것이다.The flow rate sensor 52 is installed inside the filter 20, respectively, and measures the flow state inside the filter 20 and transmits it to the control device 50. For reference, when a large amount of foreign matter is not attached to the filter 20, since the flow moving from the first region to the second region through the filter 20 occurs actively, the measured value of the flow sensor 52 is relatively Will be as high. On the other hand, when a large amount of foreign matter is attached to the filter 20, since the flow moving from the first region to the second region through the filter 20 will hardly occur, the measured value of the flow sensor 52 is relatively low. will be.

본 실시 예는 이러한 점을 이용하여, 밸브(40)의 개폐를 자동으로 제어한다. 즉, 제어장치(50)는 필터들(20)의 내부에 각각 설치된 유량센서(52)로부터 측정값을 수시로 수신한 뒤, 이들 측정값이 누적된 평균값 또는 기 설정된 설정값보다 작은 경우, 해당 유량센서(52) 또는 해당 필터(20)와 관련된 밸브(40)를 개폐한다. 그러면 해당 필터(20)의 역세척이 이루어지고, 필터(20)의 부착된 이물질은 제2배출관(64)을 통해 배출된다. 참고로, 제어장치(50)는 일정시간이 경과하면, 개방했던 밸브(40)를 다시 폐쇄시킨다.This embodiment uses this point to automatically control the opening and closing of the valve 40. That is, the controller 50 frequently receives the measured values from the flow sensors 52 respectively installed inside the filters 20, and when these measured values are smaller than the accumulated average value or the preset set value, the corresponding flow rate Opening and closing the valve 40 associated with the sensor 52 or the corresponding filter 20. Then, the back washing of the filter 20 is performed, and the foreign matter attached to the filter 20 is discharged through the second discharge pipe 64. For reference, the control device 50 closes the valve 40 which has been opened again after a predetermined time elapses.

위와 같이 구성된 본 실시 예는 밸브(40)의 개방에 의한 필터(20)의 역세척이 자동으로 이루어지므로, 여과장치(100)의 여과효율을 극대화시킬 수 있고 필터(20)이 기능도 향상시킬 수 있다.
In the present embodiment configured as described above, since the backwashing of the filter 20 is automatically performed by the opening of the valve 40, the filtration efficiency of the filtration device 100 may be maximized and the filter 20 may also improve the function. Can be.

이상에서 설명한 본 발명은 LCD 제조공정이나 반도체 제조공정 등과 같이 특정 물질을 지속적으로 여과하여 사용해야 하는 분야에 사용될 수 있으며, 이러한 분야에 적용되어 제조라인의 공정효율을 높일 수 있다.The present invention described above can be used in the field of continuous filtering and using a specific material, such as LCD manufacturing process or semiconductor manufacturing process, it can be applied to such a field to increase the process efficiency of the manufacturing line.

한편, 본 발명은 이상에서 설명되는 실시예에만 한정되는 것은 아니며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이하의 특허청구범위에 기재된 본 발명의 기술적 사상의 요지를 벗어나지 않는 범위에서 얼마든지 다양하게 변경하여 실시할 수 있을 것이다.On the other hand, the present invention is not limited only to the embodiments described above, and those skilled in the art to which the present invention pertains without departing from the spirit of the technical idea of the present invention described in the claims below. Any number of changes can be made.

100 여과장치 10 하우징
12 제1영역 14 제2영역
16 입구 18 출구
20 필터 22 고정부재
24 고정 봉 202 필터부재
204 돌기 206 홈
208 고정 홈 40 (역세척용) 밸브
50 제어장치 52 유량센서 또는 유속센서
60 유입관 62 제1배출관
64 제2배출관100 Filter 10 Housing
12 First Zone 14 Second Zone
16 entrance 18 exit
20 Filter 22 Fixture
24 Fixing rod 202 Filter element
204 turning 206 groove
208 fixed groove 40 (for backwash) valve
50 Controls 52 Flow Sensor or Flow Sensor
60 Inlet pipe 62 First outlet pipe
64 2nd discharge pipe

Claims (5)

여과대상물이 제공되고 밸브에 의해 개폐 가능한 유입관;
상기 유입관과 연통되는 제1영역과, 상기 제1영역과 별도의 격벽에 의해 구획되는 제2영역을 구비하고, 여과된 상기 여과대상물이 배출되는 제1배출관이 연결된 하우징;
상기 하우징 내부에 설치되며 상기 제1영역에 각각 소통하는 상부의 제1개방면, 상기 제2영역과 소통하는 필터면, 걸러진 이물질이 배출되는 제2배출관과 각각 연결되는 하부의 제2개방면을 갖는 복수의 필터들; 및
상기 제2개방면들과 연결된 배관들에 각각 설치되는 역세척용 밸브들을 포함하는 연속운전이 가능한 여과장치.An inlet pipe provided with a filtering object and openable by a valve;
A housing having a first area communicating with the inflow pipe and a second area partitioned by a partition wall separate from the first area, and having a first discharge pipe through which the filtered object is discharged;
A first open surface of the upper portion installed inside the housing and communicating with the first region, a filter surface communicating with the second region, and a second open surface of the lower portion respectively connected to a second discharge pipe through which filtered foreign matter is discharged; Having a plurality of filters; And
Filtration device capable of continuous operation including back-wash valves that are respectively installed in the pipes connected to the second open surfaces. 청구항 1에 있어서,
상기 역세척용 밸브들의 개폐를 자동으로 제어하는 제어장치가 더 설치되고,
각각의 상기 필터들을 통한 여과흐름을 판단할 수 있도록 유량센서들 또는 유속센서들이 각각 설치되며,
상기 제어장치는 상기 유량센서들 또는 유속센서들로부터 측정된 값이 기 설정된 값보다 작으면, 해당 필터에 이물질이 많이 부착되어 있는 것으로 판단하고, 해당 필터와 연결된 역세척용 밸브를 개방시키는 것을 특징으로 하는 연속운전이 가능한 여과장치.The method according to claim 1,
A control device for automatically controlling the opening and closing of the backwash valves is further installed,
Flow rate sensors or flow rate sensors are respectively installed to determine the filtration flow through each of the filters,
If the value measured from the flow rate sensors or flow rate sensors is less than a predetermined value, the control device determines that a large amount of foreign matter is attached to the filter, and opens the backwash valve connected to the filter. Filtration device capable of continuous operation. 청구항 2에 있어서,
상기 필터는 적층방향으로 돌출된 다수의 돌기들을 갖는 환형 필터부재가 적층되어 이루어진 것을 특징으로 하는 연속운전이 가능한 여과장치.The method according to claim 2,
The filter is a filter device capable of continuous operation, characterized in that the annular filter member having a plurality of protrusions protruding in the stacking direction is stacked. 청구항 3에 있어서,
상기 필터부재의 둘레면에는 상하방향으로 적층되는 필터부재들 간의 위치 정렬을 위한 하나 이상의 끼움 홈이 형성되고,
상기 필터는 상기 홈에 끼워지는 고정 봉을 더 구비하는 것을 특징으로 하는 연속운전이 가능한 여과장치.The method according to claim 3,
One or more fitting grooves are formed on the circumferential surface of the filter member for aligning positions of the filter members stacked in the vertical direction.
The filter is a filter device capable of continuous operation, characterized in that it further comprises a fixed rod fitted into the groove. 청구항 1 내지 청구항 4 중 어느 한 항에 기재된 여과장치를 이용한 역세척 방법으로서,
상기 유입관과 상기 제1배출관을 개방한 상태에서, 상기 역세척용 밸브들 중 하나를 선택적으로 개방하여, 해당 역세척용 밸브의 필터에 부착된 이물질을 제2배출관을 통해 배출시키는 역세척 방법.As a backwashing method using the filtration apparatus of any one of Claims 1-4,
In the state in which the inlet pipe and the first discharge pipe are opened, one of the backwash valves is selectively opened to discharge foreign matter attached to the filter of the backwash valve through the second discharge pipe. .
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