KR101086484B1 - Liquid Crystal Display Panel and Method of Fabricating the same - Google Patents

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Abstract

본 발명은 액정표시패널 및 그 제조방법에 관한 것으로, 기판 상에 형성되어 셀영역을 구획하는 블랙 매트릭스와; 상기 블랙 매트릭스에 의해 구획된 셀영역에 형성된 컬러필터와; 상기 컬러필터 위에 형성되고 네거티브 포토레지스트를 포함한 배향막과; 상기 배향막 상에 형성되고 포지티브 포토레지스트를 포함한 스페이서를 구비한다. The present invention relates to a liquid crystal display panel and a method of manufacturing the same, comprising: a black matrix formed on a substrate to partition a cell region; A color filter formed in the cell region partitioned by the black matrix; An alignment layer formed on the color filter and including a negative photoresist; And a spacer formed on the alignment layer and including a positive photoresist.

Description

액정표시패널 및 그 제조방법{Liquid Crystal Display Panel and Method of Fabricating the same}Liquid Crystal Display Panel and Method of Fabricating the same

도 1는 종래 액정표시패널을 나타내는 단면도이다. 1 is a cross-sectional view showing a conventional liquid crystal display panel.

도 2a 내지 도 2f는 종래의 액정표시패널의 상부 어레이 기판의 제조방법을 단계적으로 나타내는 단면도이다.2A through 2F are cross-sectional views illustrating a method of manufacturing an upper array substrate of a conventional liquid crystal display panel.

도 3은 종래 배향막 제조장치를 나타내는 도면이다.3 is a view showing a conventional alignment film production apparatus.

도 4는 본 발명의 실시예에 따른 액정표시패널을 나타내는 도면이다.4 is a diagram illustrating a liquid crystal display panel according to an exemplary embodiment of the present invention.

도 5a 내지 도 5j는 액정표시패널의 상부 어레이 기판의 제조방법을 단계적으로 나타내는 단면도이다.
5A through 5J are cross-sectional views illustrating a method of manufacturing an upper array substrate of a liquid crystal display panel.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>         <Explanation of symbols for the main parts of the drawings>

2,102 : 상부기판 4,104 : 블랙 매트릭스2,102: upper substrate 4,104: black matrix

18,118 : 공통전극 32,132 : 하부기판18,118: common electrode 32,132: lower substrate

6,106 : 컬러필터 7,107 : 평탄화층 6,106: color filter 7,107: planarization layer

13, 113 : 컬럼 스페이서 108 : 상부 배향막
170 : 네거티브 포토레지스트 172 : 포지티브 포토레지스트
13, 113: column spacer 108: upper alignment layer
170: negative photoresist 172: positive photoresist

본 발명은 액정표시패널에 관한 것으로, 특히 공정을 단순화하여 시간을 절약함과 아울러 생산량을 향상시킬 수 있는 액정표시패널 및 그 제조방법에 관한 것이다. BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a liquid crystal display panel, and more particularly, to a liquid crystal display panel and a method of manufacturing the same, which can simplify the process, save time, and improve production.

통상적으로, 액정표시장치(Liquid Crystal Display; LCD)는 비디오신호에 따라 액정셀들의 광투과율을 조절함으로써 액정셀들이 매트릭스 형태로 배열되어진 액정표시패널에 비디오신호에 해당하는 화상을 표시하게 된다. 이를 위하여, 액정표시장치는 액정셀들이 액티브 매트릭스(Active Matrix) 형태로 배열된 액정표시패널과, 액정표시패널을 구동하기 위한 구동회로들을 포함하게 된다. In general, a liquid crystal display (LCD) displays an image corresponding to a video signal on a liquid crystal display panel in which liquid crystal cells are arranged in a matrix form by adjusting light transmittance of liquid crystal cells according to a video signal. To this end, the liquid crystal display device includes a liquid crystal display panel in which liquid crystal cells are arranged in an active matrix form, and driving circuits for driving the liquid crystal display panel.

이러한 액정표시장치는 액정을 구동시키는 전계방향에 따라 수직방향 전계를 용하는 TN(Twisted Nematic)모드와 IPS(In plan Switch)모드로 대별된다.Such liquid crystal displays are roughly classified into twisted nematic (TN) mode and in plan switch (IPS) mode using a vertical electric field according to the electric field driving the liquid crystal.

TN모드는 상부기판에 대항하게 배치된 화소전극과 공통전극간의 수직전계에 의해 액정을 구동하는 모드로 개구율이 큰 장점을 가지는 반면에 시야각이 좁은 단점을 가진다. IPS모드는 하부기판 상에 나란하게 배치된 화소전극, 공통전극 간의 수평전계에 의해 액정을 구동하는 모드로 시야각이 큰 장점이 있는 반면에 개구율이 작은 단점이 있다. The TN mode is a mode in which a liquid crystal is driven by a vertical electric field between a pixel electrode and a common electrode disposed to face the upper substrate. The TN mode has a large aperture ratio and a narrow viewing angle. The IPS mode is a mode in which a liquid crystal is driven by a horizontal electric field between a pixel electrode and a common electrode arranged side by side on a lower substrate, and has a large viewing angle, but a small aperture ratio.

도 1은 종래 IPS모드의 액정표시패널을 나타내는 단면도이다. 1 is a cross-sectional view showing a liquid crystal display panel of a conventional IPS mode.

도 1을 참조하면, IPS모드의 액정표시패널은 이면에 정전기 등을 방지하기 위한 투명전극층(3) 있는 상부기판(2) 상에 순차적으로 형성된 블랙 매트릭스(4), 컬러필터(6), 평탄화층(7), 스페이서(13), 상부 배향막(8)으로 구성되는 상부 어레이 기판(또는 컬러필터 어레이 기판)과, 하부기판(32)상에 형성된 박막 트랜지스터(이하"TFT" 라고 한다), 공통전극(18), 화소전극(16) 및 하부 배향막(38)으로 구성되는 하부 어레이 기판(또는 박막 트랜지스터 어레이 기판)과, 상부 어레이 기판 및 하부 어레이 기판 사이의 내부공간에 주입되는 액정(도시되지 않음)을 구비한다. Referring to FIG. 1, the liquid crystal display panel of the IPS mode has a black matrix 4, a color filter 6, and a planarization sequentially formed on an upper substrate 2 having a transparent electrode layer 3 thereon to prevent static electricity and the like on the back side. An upper array substrate (or color filter array substrate) composed of a layer 7, a spacer 13, and an upper alignment layer 8, and a thin film transistor (hereinafter referred to as "TFT") formed on the lower substrate 32 in common. Liquid crystal (not shown) injected into the inner space between the lower array substrate (or thin film transistor array substrate) composed of the electrode 18, the pixel electrode 16 and the lower alignment layer 38, and the upper array substrate and the lower array substrate. ).

상부 어레이 기판에 있어서, 블랙 매트릭스(4)는 하부기판(2)의 TFT 영역과 도시하지 않은 게이트라인들 및 데이터라인들 영역과 중첩되게 형성되며 컬러필터(6)가 형성될 셀영역을 구획한다. 블랙 매트릭스(4)는 빛샘을 방지함과 아울러 외부광을 흡수하여 콘트라스트를 높이는 역할을 한다. 컬러필터(6)는 상기 블랙 매트릭스(4)에 의해 분리된 셀영역에 형성된다. 이 컬러필터(6)는 R,G,B 별로 형성되어 R, G, B 색상을 구현한다. 평탄화층(7)은 컬러필터를 덮도록 형성되어 상부기판(2)을 평탄화한다. 컬럼 스페이서(13)는 상부기판(2)과 하부기판(32) 사이에 셀 갭을 유지하는 역할을 한다. In the upper array substrate, the black matrix 4 is formed to overlap the TFT region of the lower substrate 2 with the gate line and data line regions (not shown) and partitions the cell region where the color filter 6 is to be formed. . The black matrix 4 prevents light leakage and absorbs external light to increase contrast. The color filter 6 is formed in the cell region separated by the black matrix 4. The color filter 6 is formed for each of R, G, and B to implement R, G, and B colors. The planarization layer 7 is formed to cover the color filter to planarize the upper substrate 2. The column spacer 13 maintains a cell gap between the upper substrate 2 and the lower substrate 32.

하부 어레이 기판에 있어서, TFT는 게이트라인(도시하지 않음)과 함께 하부기판(32)위에 형성되는 게이트전극(9)과, 이 게이트전극(9)과 게이트 절연막(44)을 사이에 두고 중첩되는 반도체층(14,47)과, 반도체층(14,47)을 사이에 두고 데이터라인(도시하지 않음)과 함께 형성되는 소스/드레인전극(40,42)을 구비한다. 이러한 TFT는 게이트라인으로 부터의 스캔신호에 응답하여 데이터라인으로부터 화소신호를 화소전극(16)에 공급한다. 화소전극(16)은 광투과율이 높은 투명전도성 물질로 보호막(50)을 사이에 두고 TFT의 드레인 전극(42)과 접촉된다. 공통전극(18)은 화소전극(16)과 교번되도록 스트라입형태로 형성된다. 공통전극(18)은 액정구동시 기준이 되는 공통전압을 공급한다. 이 공통전압과 화소전극(16)에 공급되는 화소전압과의 수평전계에 의해 액정은 수평방향을 기준으로 회전하게 된다. In the lower array substrate, the TFT overlaps the gate electrode 9 formed on the lower substrate 32 with the gate line (not shown), and the gate electrode 9 and the gate insulating film 44 interposed therebetween. The semiconductor layers 14 and 47 and the source / drain electrodes 40 and 42 formed together with the data lines (not shown) with the semiconductor layers 14 and 47 interposed therebetween. This TFT supplies a pixel signal from the data line to the pixel electrode 16 in response to a scan signal from the gate line. The pixel electrode 16 is a transparent conductive material having a high light transmittance and is in contact with the drain electrode 42 of the TFT with the protective film 50 therebetween. The common electrode 18 is formed in a stripe shape so as to alternate with the pixel electrode 16. The common electrode 18 supplies a common voltage which is a reference when driving the liquid crystal. The liquid crystal rotates with respect to the horizontal direction by the horizontal electric field between the common voltage and the pixel voltage supplied to the pixel electrode 16.

액정배향을 위한 상/하부 배향막(8,38)은 폴리이미드 등과 같은 배향물질을 도포한 후 러빙공정을 수행함으로써 형성된다. The upper and lower alignment layers 8 and 38 for liquid crystal alignment are formed by applying an alignment material such as polyimide and then performing a rubbing process.

한편, TN(Twisted Nematic)모드 액정표시패널은 공통전극(18)이 상부어레이기판의 컬러필터(6) 상에 형성되며 평탄화층(7)이 제거될 수고, 필요에 따라 구비될 수 도 있다. Meanwhile, in the twisted nematic (TN) mode liquid crystal display panel, the common electrode 18 is formed on the color filter 6 of the upper array substrate, and the planarization layer 7 may be removed.

도 2a 내지 도 2f는 종래 액정표시패널의 상부 어레이 기판의 제조방법을 단계적으로 나타내는 단면도이다. 도 2a 내지 도 2f에 도시한 상부 어레이 기판은 TN(Twisted Nematic)모드 및 IPS(In plan Switch)모드 중 어느 하나이다.2A through 2F are cross-sectional views illustrating a method of manufacturing an upper array substrate of a conventional liquid crystal display panel. The upper array substrate illustrated in FIGS. 2A to 2F is one of a twisted nematic (TN) mode and an in plan switch (IPS) mode.

먼저, 스퍼터링 등의 증착방법에 의해 상부기판(2)의 배면에 투명도전층(3)이 형성된다. 이어서, 상부기판(2)의 전면에 불투명 수지가 도포된 후 제1 마스크를 이용한 포토리쏘그래피 공정과 식각공정에 의해 패터닝됨으로써 도 2a에 도시된 바와 같이 블랙 매트릭스(4)가 형성된다. 여기서, 블랙 매트릭스(4) 물질로 크롬(Cr) 등이 이용될 수 있다. First, the transparent conductive layer 3 is formed on the back surface of the upper substrate 2 by a deposition method such as sputtering. Subsequently, after the opaque resin is applied to the entire surface of the upper substrate 2, the black matrix 4 is formed as shown in FIG. 2A by patterning the photolithography process and the etching process using the first mask. Here, chromium (Cr) or the like may be used as the black matrix 4 material.

블랙 매트릭스(4)가 형성된 상부기판(2) 상에 적색수지가 증착된 후 제2 마스크를 이용한 포토리쏘그래피 공정과 식각공정에 의해 적색수지(R)가 패터닝됨으 로써 도 2b에 도시된 바와 같이 적색 컬러필터(R)가 형성된다. After the red resin is deposited on the upper substrate 2 on which the black matrix 4 is formed, the red resin R is patterned by a photolithography process and an etching process using a second mask, as shown in FIG. 2B. The red color filter R is formed.

적색 컬러필터(R)가 형성된 상부기판(2)상에 녹색수지가 증착된 후 제3 마스크를 이용한 포토리쏘그래피 공정과 식각공정에 의해 녹색수지가 패터닝됨으로써 도 2c에 도시된 바와 같이 녹색 컬러필터(G)가 형성된다. 녹색 컬러필터(G)가 형성된 상부기판(2)상에 청색수지가 증착된 후 제4 마스크를 이용한 포토리쏘그래피 공정과 식각공정에 의해 청색수지가 패터닝됨으로써 도 2d에 도시된 바와 같이 청색 컬러필터(B)가 형성됨으로써 적, 녹, 청색 컬러필터(6)가 형성된다. After the green resin is deposited on the upper substrate 2 on which the red color filter R is formed, the green resin is patterned by a photolithography process and an etching process using a third mask, thereby displaying the green color filter as shown in FIG. 2C. (G) is formed. After the blue resin is deposited on the upper substrate 2 on which the green color filter G is formed, the blue resin is patterned by a photolithography process and an etching process using a fourth mask, thereby as shown in FIG. 2D. By forming (B), the red, green and blue color filters 6 are formed.

적, 녹, 청색 컬러필터(6)가 형성된 상부기판(2)상에 유기물질이 전면 증착됨으로써 도 2e에 도시된 바와 같이 평탄화층(7)이 형성한다. 평탄화층(7)은 불투명 수지로 형성된 블랙 매트릭스(2)에 의해 발생되는 단차로 인한 전경(Disclination)현상을 방지하게 된다. 여기서, TN(Twisted Nematic)모드 액정표시패널에서는 평탄화층(7)이 형성되지 않을 수 도 있고, 컬러필터(6) 상에 공통전극(18)이 형성될 수 도 있다. The organic material is entirely deposited on the upper substrate 2 on which the red, green, and blue color filters 6 are formed, thereby forming the planarization layer 7 as shown in FIG. 2E. The planarization layer 7 prevents the phenomenon of disclination due to the step generated by the black matrix 2 formed of the opaque resin. Here, in the twisted nematic (TN) mode liquid crystal display panel, the planarization layer 7 may not be formed, or the common electrode 18 may be formed on the color filter 6.

평탄화층(7)이 형성된 상부기판(2)상에 스페이서 물질이 증착된 후 제5 마스크를 이용한 포토리쏘그래피 공정 등에 의해 스페이서 물질이 패터닝됨으로써 도 2f에 도시된 바와 같이 컬럼 스페이서(13)가 형성된다. After the spacer material is deposited on the upper substrate 2 on which the planarization layer 7 is formed, the spacer material is patterned by a photolithography process using a fifth mask or the like, thereby forming the column spacers 13 as shown in FIG. 2F. do.

이후, 도 3에 도시된 바와 같은 제조장치를 이용하여 배향막을 형성한다.Thereafter, an alignment layer is formed using a manufacturing apparatus as shown in FIG. 3.

도 3에 도시된 제조장치는 폴리이미드 등의 배향물질이 도포되는 공급롤러(58)와, 공급롤러(58)의 표면에 도포되는 배향물질을 담기 위한 수지판(60)이 부착된 인쇄롤러(64)와, 인쇄롤러(64)의 아래쪽으로 로딩되는 기판(2)을 구비한다. The manufacturing apparatus shown in FIG. 3 is a printing roller with a supply roller 58 to which an alignment material such as polyimide is applied, and a resin plate 60 to contain an alignment material to be applied to the surface of the supply roller 58 ( 64 and a substrate 2 loaded below the printing roller 64.                         

공급롤러(58)에는 상측에 설치된 디스펜서(60)로부터 배향 물질이 떨어지게 된다. 이러한 공급롤러(58)의 표면에는 블레이드(Blade)(66)가 설치되어 배향물질이 수지판(66) 상에 균일하게 도포된다. 인쇄롤러(64)는 회전력에 의해 회전하면서 부착된 수지판(66)에 공급롤러(48)에 도포된 배향물질을 전사하여 기판(2) 상에 인쇄함으로써 기판(2) 상에 배향막이 형성된다. 이후, 러빙포를 이용한 러빙공정이 실시됨으로써 배향막의 표면이 러빙된다. In the supply roller 58, the alignment material is separated from the dispenser 60 disposed above. A blade 66 is installed on the surface of the feed roller 58 so that the alignment material is uniformly applied onto the resin plate 66. The printing roller 64 forms an alignment film on the substrate 2 by transferring the alignment material applied to the supply roller 48 onto the resin plate 66 attached thereto while being rotated by the rotational force and printing the printed material onto the substrate 2. . Thereafter, the rubbing process using the rubbing cloth is performed to rub the surface of the alignment film.

한편, 종래의 배향막은 컬러필터(6), 평탄화층(7) 등이 형성된 후 도 3에 도시된 별도의 배향막 제조장치를 이용하여 형성되게 됨으로써 배향막 인쇄시 공정상의 한계에 의해 소량의 이물이 잔류하게 되어 양호하게 배향막이 형성되지 않는 문제가 빈번히 발생된다. 또한, 별도의 배향막 제조장치를 이용하여 배향막을 형성함으로써 제조장치의 마련, 제조장치로의 이동 등 공정시간이 길어지는 등 제조공정이 복잡해지고 생산량이 저하되는 문제가 발생한다.
On the other hand, the conventional alignment film is formed by using a separate alignment film manufacturing apparatus shown in Figure 3 after the color filter 6, the planarization layer 7 and the like is formed, a small amount of foreign matter remaining due to the process limitations in the alignment film printing The problem is frequently caused that the alignment film is not formed satisfactorily. In addition, by forming the alignment film using a separate alignment film production apparatus, the manufacturing process becomes complicated, such as the length of the process time such as the preparation of the manufacturing apparatus, the movement to the manufacturing apparatus, and the like.

본 발명은 공정을 단순화하여 시간을 절약함과 아울러 생산량을 향상시킬 수 있는 액정표시패널 및 그 제조방법을 제공한다. The present invention provides a liquid crystal display panel and a method of manufacturing the same, which can simplify the process, save time, and improve production.

본 발명은 별도의 제조장치 없이 배향막을 형성함으로써 배향불량을 방지할 수 있는 액정표시패널 및 그 제조방법을 제공한다. The present invention provides a liquid crystal display panel and a method for manufacturing the same, which can prevent misalignment by forming an alignment layer without a separate manufacturing apparatus.

본 발명의 액정표시패널은 기판 상에 형성되어 셀영역을 구획하는 블랙 매트릭스와; 상기 블랙 매트릭스에 의해 구획된 셀영역에 형성된 컬러필터와; 상기 컬러필터 위에 형성되고 네거티브 포토레지스트를 포함한 배향막과; 상기 배향막 상에 형성되고 포지티브 포토레지스트를 포함한 스페이서를 구비한다.
상기 액정표시패널은 상기 컬러필터와 상기 배향막 사이에 형성되는 평탄화층을 더 구비한다.
상기 액정표시패널은 상기 컬러필터 상에 형성됨과 아울러 상기 기판과 대향하는 제2 기판 상에 형성되는 화소전극과 수직전계를 이루는 공통전극을 더 구비한다.
상기 액정표시패널의 제조방법은 기판 상에 셀영역을 구획하는 블랙 매트릭스를 형성하는 단계와; 상기 블랙 매트릭스에 의해 구획된 셀영역에 컬러필터를 형성하는 단계와; 네거티브 포토레지스트 물질을 상기 상기 컬러필터 위에 형성하고 상기 네거티브 포토레지스트 물질을 노광하여 배향막을 형성하는 단계와; 상기 배향막 상에 포지티브 포토레지스트 물질을 형성하고 상기 포지티브 포토레지스트 물질을 노광 및 현상하여 스페이서를 형성하는 단계를 포함한다.
상기 포지티브 포토레지스트 물질의 현상 공정에서 상기 포지티브 포토레지스트의 노광 부분이 제거되는 반면에, 상기 포지티브 포토레지스트의 노광 부분 이외의 부분과 노광된 네거티브 포토레지스트가 잔류한다.
A liquid crystal display panel according to the present invention comprises: a black matrix formed on a substrate to define a cell region; A color filter formed in the cell region partitioned by the black matrix; An alignment layer formed on the color filter and including a negative photoresist; And a spacer formed on the alignment layer and including a positive photoresist.
The liquid crystal display panel further includes a planarization layer formed between the color filter and the alignment layer.
The liquid crystal display panel further includes a common electrode formed on the color filter and forming a vertical electric field with a pixel electrode formed on a second substrate facing the substrate.
The manufacturing method of the liquid crystal display panel comprises the steps of forming a black matrix partitioning a cell region on a substrate; Forming a color filter in a cell region partitioned by the black matrix; Forming a negative photoresist material on the color filter and exposing the negative photoresist material to form an alignment film; Forming a spacer by forming a positive photoresist material on the alignment layer and exposing and developing the positive photoresist material.
The exposed portion of the positive photoresist is removed in the developing process of the positive photoresist material, while portions other than the exposed portion of the positive photoresist and the exposed negative photoresist remain.

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상기 목적 외에 본 발명의 다른 목적 및 특징들은 첨부도면을 참조한 실시예에 대한 설명을 통하여 명백하게 드러나게 될 것이다. Other objects and features of the present invention in addition to the above objects will become apparent from the description of the embodiments with reference to the accompanying drawings.

이하, 도 4 내지 도 5j을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예에 대하여 설명하기로 한다. Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described with reference to FIGS. 4 to 5J.

도 4는 본 발명의 실시예에 따른 액정표시패널을 나타내는 단면도이다. 특히, 도 4는 IPS모드의 액정표시패널을 나타내는 단면도이다. 4 is a cross-sectional view illustrating a liquid crystal display panel according to an exemplary embodiment of the present invention. In particular, FIG. 4 is a cross-sectional view showing a liquid crystal display panel in the IPS mode.

도 4을 참조하면, 액정표시패널은 이면에 정전기 등을 방지하기 위한 투명전극층(103) 있는 상부기판(102)(TN모드의 경우에는 투명전극층(103)을 구비하지 않을 수 있다.)상에 순차적으로 형성된 블랙 매트릭스(104), 컬러필터(106), 평탄화층(107), 스페이서(113), 상부 배향막(108)으로 구성되는 상부어레이 기판(또는 컬 러필터 어레이 기판)과, 하부기판(132)상에 형성된 박막 트랜지스터(이하"TFT" 라고 한다), 공통전극(118), 화소전극(116) 및 하부 배향막(138)으로 구성되는 하부어레이 기판(또는 박막 트랜지스터 어레이 기판)과, 상부어레이 기판 및 하부 어레이 기판 사이의 내부공간에 주입되는 액정을 구비한다. Referring to FIG. 4, the liquid crystal display panel may be provided on the upper substrate 102 (the transparent electrode layer 103 in the case of the TN mode) having the transparent electrode layer 103 to prevent static electricity or the like on the rear surface thereof. An upper array substrate (or color filter array substrate) composed of a black matrix 104, a color filter 106, a planarization layer 107, a spacer 113, and an upper alignment layer 108 formed sequentially, and a lower substrate ( A lower array substrate (or thin film transistor array substrate) formed of a thin film transistor (hereinafter referred to as "TFT"), a common electrode 118, a pixel electrode 116, and a lower alignment layer 138 formed on the 132, and an upper array The liquid crystal is injected into an internal space between the substrate and the lower array substrate.

상부 어레이 기판에 있어서, 블랙 매트릭스(104)는 하부기판(102)의 TFT 영역과 도시하지 않은 게이트라인들 및 데이터라인들 영역과 중첩되게 형성되며 컬러필터(106)가 형성될 셀영역을 구획한다. 블랙 매트릭스(104)는 빛샘을 방지함과 아울러 외부광을 흡수하여 콘트라스트를 높이는 역할을 한다. 컬러필터(106)는 상기 블랙 매트릭스(104)에 의해 분리된 셀영역에 형성된다. 이 컬러필터(106)는 R,G,B 별로 형성되어 R, G, B 색상을 구현한다. 평탄화층(107)은 컬러필터를 덮도록 형성되어 상부기판(102)을 평탄화한다. 컬럼 스페이서(113)는 포지티브(Positive) 포토레지스트로 형성되어 상부기판(102)과 하부기판(132) 사이에 셀 갭을 유지하는 역할을 한다. In the upper array substrate, the black matrix 104 is formed to overlap the TFT region of the lower substrate 102 and the gate line and data line regions (not shown) and partitions a cell region in which the color filter 106 is to be formed. . The black matrix 104 prevents light leakage and absorbs external light to increase contrast. The color filter 106 is formed in the cell region separated by the black matrix 104. The color filter 106 is formed for each of R, G, and B to implement R, G, and B colors. The planarization layer 107 is formed to cover the color filter to planarize the upper substrate 102. The column spacer 113 is formed of a positive photoresist to maintain a cell gap between the upper substrate 102 and the lower substrate 132.

하부 어레이 기판에 있어서, TFT는 게이트라인과 함께 하부기판(132) 위에 형성되는 게이트전극(109)과, 이 게이트전극(109)과 게이트 절연막(144)을 사이에 두고 중첩되는 반도체층(114,147)과, 반도체층(114,147)을 사이에 두고 데이터라인과 함께 형성되는 소스/드레인전극(140,142)을 구비한다. 이러한 TFT는 게이트라인으로 부터의 스캔신호에 응답하여 데이터라인으로부터 화소신호를 화소전극(116)에 공급한다. 화소전극(116)은 광투과율이 높은 투명전도성 물질로 보호막(150)을 사이에 두고 TFT의 드레인 전극(142)과 접촉된다. 공통전극(118)은 화소전극(116)과 교번되도록 스트라입형태로 형성된다. 공통전극(118)은 액정구동시 기준이 되는 공통전압을 공급한다. 이 공통전압과 화소전극(116)에 공급되는 화소전압과의 수평전계에 의해 액정은 수평방향을 기준으로 회전하게 된다. In the lower array substrate, the TFTs include gate electrodes 109 formed on the lower substrate 132 together with gate lines, and semiconductor layers 114 and 147 overlapping the gate electrodes 109 and the gate insulating layer 144 therebetween. And source / drain electrodes 140 and 142 formed together with the data lines with the semiconductor layers 114 and 147 interposed therebetween. The TFT supplies a pixel signal from the data line to the pixel electrode 116 in response to a scan signal from the gate line. The pixel electrode 116 is a transparent conductive material having a high light transmittance and contacts the drain electrode 142 of the TFT with the passivation layer 150 therebetween. The common electrode 118 is formed in a stripe shape so as to alternate with the pixel electrode 116. The common electrode 118 supplies a common voltage which is a reference when driving the liquid crystal. The liquid crystal rotates with respect to the horizontal direction by the horizontal electric field between the common voltage and the pixel voltage supplied to the pixel electrode 116.

액정배향을 위한 상/하부 배향막(108,138)은 폴리이미드 등과 같은 배향물질을 도포한 후 러빙공정을 수행함으로써 형성된다. 여기서, 상부 배향막(108)은 네거티브(Negative) 포토레지스트로 형성된다. 네거티브 포토레지스트는 노광공정에서 노광된 영역에 대응되는 분자들이 굳어지게 됨으로써 현상공정이 실시되면 노광된 영역을 제외한 포토레지스트가 제거된다. 이와는 달리, 포지티브(Positive) 포토레지스트는 노광된 영역이 현상공정에서 제거된다.The upper and lower alignment layers 108 and 138 for liquid crystal alignment are formed by applying an alignment material such as polyimide and then performing a rubbing process. Here, the upper alignment layer 108 is formed of a negative photoresist. In the negative photoresist, the molecules corresponding to the exposed regions are hardened in the exposure process, and when the developing process is performed, the photoresist except the exposed regions is removed. In contrast, in positive photoresist, the exposed areas are removed in the developing process.

한편, TN(Twisted Nematic)모드 액정표시패널은 공통전극(118)이 상부어레이기판의 컬러필터(106) 상에 형성되며, 평탄화층(107)이 제거될 수 도 있고 필요에 따라 구비할 수 도 있다. Meanwhile, in the twisted nematic (TN) mode liquid crystal display panel, the common electrode 118 is formed on the color filter 106 of the upper array substrate, and the planarization layer 107 may be removed or may be provided as necessary. have.

이러한, 본 발명에 따른 액정표시패널에서는 폴리이미드 등의 물질이 아닌 네거티브 포토레지스트를 이용하여 상부배향막(108)이 형성된다. 따라서, 도 3에 도시된 별도의 제조장치를 이용한 인쇄공정없이 포토레지스트 도포 및 노광공정에 의해 배향막을 형성할 수 있게 된다. 그 결과, 공정이 단순화됨으로써 공정시간이 단축되고 생산량이 향상된다. In the liquid crystal display panel according to the present invention, the upper alignment layer 108 is formed using a negative photoresist rather than a material such as polyimide. Therefore, it is possible to form the alignment layer by the photoresist coating and exposure process without the printing process using the separate manufacturing apparatus shown in FIG. As a result, the process is simplified, so that the process time is shortened and the yield is improved.

또한, 별도의 제조장치를 이용하지 않게 됨으로써 종래의 배향막 인쇄시 이물 등이 발생되는 등 배향불량문제가 방지된다. In addition, by not using a separate manufacturing apparatus, a problem of misalignment, such as foreign matter, is generated during printing of a conventional alignment film.

도 5a 내지 도 5f는 종래 액정표시패널의 상부 어레이 기판의 제조방법을 단 계적으로 나타내는 단면도이다. 도 5a 내지 도 5f에 도시한 상부 어레이 기판은 TN(Twisted Nematic)모드 및 IPS(In plan Switch)모드 중 어느 하나이다. 5A through 5F are cross-sectional views sequentially illustrating a method of manufacturing an upper array substrate of a conventional liquid crystal display panel. The upper array substrate illustrated in FIGS. 5A to 5F is one of a twisted nematic (TN) mode and an in plan switch (IPS) mode.

먼저, 스퍼터링 등의 증착방법에 의해 상부기판(102)의 배면에 투명도전층(103)이 형성된다. 여기서, TN(Twisted Nematic)모드 액정표시패널에서는 투명도전층(103)이 형성되지 않을 수 있다. First, the transparent conductive layer 103 is formed on the back surface of the upper substrate 102 by a deposition method such as sputtering. Here, the transparent conductive layer 103 may not be formed in the twisted nematic (TN) mode liquid crystal display panel.

이어서, 상부기판(2)의 전면에 불투명 수지가 도포된 후 제1 마스크를 이용한 포토리쏘그래피 공정과 식각공정에 의해 패터닝됨으로써 도 5a에 도시된 바와 같이 셀영역을 구획하는 블랙 매트릭스(104)가 형성된다. 여기서, 블랙 매트릭스(104) 물질로 크롬(Cr) 등이 이용될 수 있다. Subsequently, after the opaque resin is applied to the entire surface of the upper substrate 2, the black matrix 104 partitioning the cell region as shown in FIG. 5A is patterned by a photolithography process and an etching process using a first mask. Is formed. Here, chromium (Cr) or the like may be used as the black matrix 104 material.

블랙 매트릭스(104)가 형성된 상부기판(102) 상에 적색수지가 증착된 후 제2 마스크를 이용한 포토리쏘그래피 공정과 식각공정에 의해 적색수지(R)가 패터닝됨으로써 도 5b에 도시된 바와 같이 적색 컬러필터(R)가 형성된다. After the red resin is deposited on the upper substrate 102 on which the black matrix 104 is formed, the red resin R is patterned by a photolithography process and an etching process using a second mask, thereby providing red color as shown in FIG. 5B. The color filter R is formed.

적색 컬러필터(R)가 형성된 상부기판(102)상에 녹색수지가 증착된 후 제3 마스크를 이용한 포토리쏘그래피 공정과 식각공정에 의해 녹색수지가 패터닝됨으로써 도 5c에 도시된 바와 같이 녹색 컬러필터(G)가 형성된다. 녹색 컬러필터(G)가 형성된 상부기판(102)상에 청색수지가 증착된 후 제4 마스크를 이용한 포토리쏘그래피 공정과 식각공정에 의해 청색수지가 패터닝됨으로써 도 5d에 도시된 바와 같이 청색 컬러필터(B)가 형성됨으로써 적, 녹, 청색 컬러필터(106)가 형성된다. After the green resin is deposited on the upper substrate 102 on which the red color filter R is formed, the green resin is patterned by a photolithography process and an etching process using a third mask, thereby displaying the green color filter as shown in FIG. 5C. (G) is formed. After the blue resin is deposited on the upper substrate 102 on which the green color filter G is formed, the blue resin is patterned by a photolithography process and an etching process using a fourth mask, as shown in FIG. 5D. By forming (B), the red, green, and blue color filters 106 are formed.

적, 녹, 청색 컬러필터(106)가 형성된 상부기판(102)상에 유기물질이 전면 증착됨으로써 도 5e에 도시된 바와 같이 평탄화층(107)이 형성한다. 평탄화층(107) 은 불투명 수지로 형성된 블랙 매트릭스(102)에 의해 발생되는 단차로 인한 전경(Disclination)현상을 방지(컬러필터 및 블랙 매트릭스가 형성된 기판을 평탄화시킨다.)하게 된다. 여기서, TN(Twisted Nematic)모드 액정표시패널에서는 평탄화층(107)이 형성되지 않을 수 도 있고, 컬러필터(106) 상에 공통전극(118)이 형성될 수 도 있다. An organic material is entirely deposited on the upper substrate 102 on which the red, green, and blue color filters 106 are formed, so that the planarization layer 107 is formed as shown in FIG. 5E. The planarization layer 107 prevents the phenomenon of disclination due to the step generated by the black matrix 102 formed of the opaque resin (planarizes the substrate on which the color filter and the black matrix are formed). The flattening layer 107 may not be formed in the twisted nematic (TN) mode liquid crystal display panel, or the common electrode 118 may be formed on the color filter 106.

평탄화층(107)이 형성된 상부기판(102) 상에 도 5f에 도시된 바와 같이 네거티브 포토레지스트(170)가 도포된다. 이후 도 5g에 도시된 바와 같이 네거티브 포토레지스트(170)에 노광공정이 실시됨으로써 네거티브 포토레지스트(170)가 노광됨과 아울러 그의 표면의 균일성이 향상된다. A negative photoresist 170 is applied to the upper substrate 102 on which the planarization layer 107 is formed, as shown in FIG. 5F. Since the exposure process is performed on the negative photoresist 170 as shown in FIG. 5G, the negative photoresist 170 is exposed and the uniformity of the surface thereof is improved.

이어서, 네거티브 포토레지스트(170)가 형성된 기판(102) 상에 도 5h에 도시된 바와 같이 포지티브 포토레지스트(172)가 도포된다. 이후, 포지티브 포토레지스트(172)의 원하는 영역을 노출시키는 마스크를 이용하여 노광공정이 실시된다. 이후, 현상공정이 실시됨으로써 노광된 영역의 포지티브 포토레지스트(172)가 제거됨으로써 도 5i에 도시된 바와 같이 포지티브 포토레지스트 물질로 이루어진 컬럼 스페이서(113)가 형성된다. 한편, 포지티브 포토레지스트(172)가 현상되는 경우 네거티브 포토레지스트(170)는 제거되지 않게 된다. Subsequently, a positive photoresist 172 is applied to the substrate 102 on which the negative photoresist 170 is formed, as shown in FIG. 5H. Thereafter, an exposure process is performed using a mask that exposes a desired area of the positive photoresist 172. Thereafter, the development process is performed to remove the positive photoresist 172 in the exposed region, thereby forming the column spacer 113 made of the positive photoresist material as shown in FIG. 5I. On the other hand, when the positive photoresist 172 is developed, the negative photoresist 170 is not removed.

이후, 러빙포등을 이용한 러빙공정이 실시됨으로써 도 5j에 도시된 바와 같이 네거티브 포토레지스트(170)로 이루어진 배향막이 러빙된다. Thereafter, a rubbing process using a rubbing cloth or the like is performed to rub the alignment film made of the negative photoresist 170 as illustrated in FIG. 5J.

상술한 바와 같이, 본 발명의 실시예에 따른 액정표시패널 및 그 제조방법은 폴리이미드 등의 물질이 아닌 네거티브 포토레지스트를 이용하여 상부배향막이 형성된다. 따라서, 별도의 배향막 인쇄장치를 이용한 인쇄공정없이 포토레지스트 도포 및 노광공정에 의해 배향막을 형성할 수 있게 된다. 그 결과, 공정이 단순화됨으로써 공정시간이 단축되고 생산량이 향상된다.  As described above, in the liquid crystal display panel according to the exemplary embodiment of the present invention and the manufacturing method thereof, an upper alignment layer is formed using a negative photoresist, not a material such as polyimide. Therefore, the alignment film can be formed by a photoresist coating and exposure process without a printing process using a separate alignment film printing apparatus. As a result, the process is simplified, so that the process time is shortened and the yield is improved.

더 나아가, 별도의 제조장치를 이용하지 않게 됨으로써 종래의 배향막 인쇄시 빈번히 발생되었던 배향불량문제가 방지된다. Furthermore, by not using a separate manufacturing apparatus, the problem of misalignment, which is frequently generated in conventional alignment film printing, is prevented.

이상 설명한 내용을 통해 당업자라면 본 발명의 기술사상을 일탈하지 아니하는 범위에서 다양한 변경 및 수정이 가능함을 알 수 있을 것이다. 따라서, 본 발명의 기술적 범위는 명세서의 상세한 설명에 기재된 내용으로 한정되는 것이 아니라 특허 청구의 범위에 의해 정하여져야만 할 것이다.Those skilled in the art will appreciate that various changes and modifications can be made without departing from the technical spirit of the present invention. Therefore, the technical scope of the present invention should not be limited to the contents described in the detailed description of the specification but should be defined by the claims.

Claims (9)

기판 상에 형성되어 셀영역을 구획하는 블랙 매트릭스와; A black matrix formed on the substrate and partitioning the cell region; 상기 블랙 매트릭스에 의해 구획된 셀영역에 형성된 컬러필터와; A color filter formed in the cell region partitioned by the black matrix; 상기 컬러필터 위에 형성되고 네거티브 포토레지스트를 포함한 배향막과;An alignment layer formed on the color filter and including a negative photoresist; 상기 배향막 상에 형성되고 포지티브 포토레지스트를 포함한 스페이서를 구비하는 것을 특징으로 하는 액정표시패널. And a spacer formed on the alignment layer and including a positive photoresist. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 컬러필터를 덮는 평탄화층을 더 구비하는 것을 특징으로 하는 액정표시패널.And a planarization layer covering the color filter. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 컬러필터 상에 형성됨과 아울러 상기 기판과 대향하는 제2 기판 상에 형성되는 화소전극과 수직전계를 이루는 공통전극을 더 구비하는 것을 특징으로 하는 액정표시패널.And a common electrode formed on the color filter and forming a vertical electric field with a pixel electrode formed on a second substrate facing the substrate. 기판 상에 셀영역을 구획하는 블랙 매트릭스를 형성하는 단계와; Forming a black matrix partitioning the cell region on the substrate; 상기 블랙 매트릭스에 의해 구획된 셀영역에 컬러필터를 형성하는 단계와; Forming a color filter in a cell region partitioned by the black matrix; 네거티브 포토레지스트 물질을 상기 상기 컬러필터 위에 형성하고 상기 네거티브 포토레지스트 물질을 노광하여 배향막을 형성하는 단계와; Forming a negative photoresist material on the color filter and exposing the negative photoresist material to form an alignment film; 상기 배향막 상에 포지티브 포토레지스트 물질을 형성하고 상기 포지티브 포토레지스트 물질을 노광 및 현상하여 스페이서를 형성하는 단계를 포함하고, Forming a spacer by forming a positive photoresist material on the alignment layer and exposing and developing the positive photoresist material; 상기 포지티브 포토레지스트 물질의 현상 공정에서 상기 포지티브 포토레지스트의 노광 부분이 제거되는 반면에, 상기 포지티브 포토레지스트의 노광 부분 이외의 부분과 노광된 네거티브 포토레지스트가 잔류하는 것을 특징으로 하는 액정표시패널의 제조방법. While the exposed portion of the positive photoresist is removed in the developing process of the positive photoresist material, a portion other than the exposed portion of the positive photoresist and the exposed negative photoresist remain. Way. 제 4 항에 있어서, The method of claim 4, wherein 상기 배향막을 러빙하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 액정표시패널의 제조방법. And rubbing the alignment layer. 삭제delete 삭제delete 제 4 항에 있어서,The method of claim 4, wherein 상기 컬러필터를 덮는 평탄화층을 형성하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 액정표시패널의 제조방법.And forming a planarization layer covering the color filter. 제 4 항에 있어서,The method of claim 4, wherein 상기 컬러필터 상에 형성됨과 아울러 상기 기판과 대향하는 제2 기판 상에 형성되는 화소전극과 수직전계를 이루는 공통전극을 형성하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 액정표시패널의 제조방법. And forming a common electrode formed on the color filter and forming a vertical electric field with a pixel electrode formed on a second substrate facing the substrate.
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