KR100795309B1 - Method for preparing conductive ball using carbon nano tube - Google Patents
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Abstract
Description
도 1은 본 발명의 제조방법에 따라 형성된 도전성 볼의 각 층들을 도식적으로 나타낸 그림이다:1 is a diagrammatic representation of each layer of conductive balls formed in accordance with the manufacturing method of the present invention:
(A) : 술폰화 과정에 의해 음이온으로 표면 개질된 중합체 비드(A): Polymer beads surface-modified with anions by sulfonation
(B) : 양이온 전해질액에 의해 적층된 양이온층:(B): cation layer laminated by cationic electrolyte solution:
(C) : 음이온 전해액에 의해 적층된 음이온층: (C): Anion layer laminated by anion electrolyte solution:
(D) : 개질된 탄소나노튜브(CNT)층(D) modified carbon nanotube (CNT) layer
도 2는 본 발명의 제조방법에 따라 형성된 탄소나노튜브가 코팅된 도전성 볼의 SEM 사진을 나타낸 것이다((a)15,000 배율; (b) 100,000 배율).Figure 2 shows a SEM picture of the conductive ball coated with carbon nanotubes formed according to the manufacturing method of the present invention ((a) 15,000 magnification; (b) 100,000 magnification).
본 발명은 주로 전자기기의 패키징 공정 접속재료로서 사용되는 이방성 도전필름의 구성요소인 도전성 볼을 제조하는 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a method for producing a conductive ball which is a component of an anisotropic conductive film mainly used as a packaging material connecting material of an electronic device.
일반적으로 전자 패키징(Packaging) 기술은 반도체 소자에서부터 최종제품까지의 모든 단계를 포함하는 매우 광범위하고 다양한 시스템 제조 기술이며, 최종 전자 제품의 성능, 크기, 가격, 신뢰성 등을 결정하는 매우 중요한 기술이다.In general, electronic packaging technology is a very wide variety of system fabrication techniques including all stages from semiconductor devices to final products, and is a very important technique for determining performance, size, price, reliability, etc. of final electronic products.
최근 전자 패키징에서는 회로의 미세 간극화와 접속 밀도의 증가에 따라 많은 수의 좁은 간격을 가진 전극을 한 번에 접속시킬 필요성이 증가하고 있다. 이에 따라 액정디스플레이(LCD)의 패키징에서는 다중 접속회로라인(FPC; Flexible Printed Circuit)과 글래스 디스플레이(glass display)와의 기계적, 전기적 접속용으로 전도성 접착제가 이용되고 있으며, 그 중에서도 특히 이방성 도전 필름 (Anisotropic Conductive Film)이 주로 사용되고 있다.In recent years, in electronic packaging, the necessity of connecting a large number of narrow-gap electrodes at one time has increased as the circuits have finer gaps and increase in connection density. Accordingly, in the packaging of liquid crystal displays (LCDs), conductive adhesives are used for mechanical and electrical connection between a flexible printed circuit (FPC) and a glass display, and in particular, anisotropic conductive films (Anisotropic) Conductive Film) is mainly used.
상기의 전도성 접착제는 크게 이방성 도전 필름, 등방성 도전 접착제 (Isotropic Conductive Adhesive) 등의 제품형태가 있으며, 기본적으로 니켈(Ni), 니켈/폴리머(Ni/Polymer), 은(Ag) 등의 도전성 입자와 열경화성, 열가소성의 절연성 수지(insulating resin)로 구성되어 있다.The conductive adhesive is largely in the form of anisotropic conductive film, isotropic conductive adhesive (Isotropic Conductive Adhesive), etc., and basically conductive particles such as nickel (Ni), nickel / polymer (Ni), silver (Ag) It is composed of thermosetting and thermoplastic insulating resin.
상기 이방성 도전 필름은 도전입자와 절연성 접착제로 구성되어 있는데, 전기적 전도 역할을 하는 도전입자로서는 초기에 카본파이버를 사용하였고, 그 후 솔더볼(solder ball)이 쓰였으며, 그 뒤를 이어 니켈볼이나 은볼이 현재까지 사용되고 있다.The anisotropic conductive film is composed of a conductive particle and an insulating adhesive, and as the conductive particles that play an electrically conductive role, carbon fibers were initially used, and then solder balls were used, followed by nickel balls or silver balls. It is used until now.
상기 이방성 도전 필름의 도전입자로서 은이 사용되고 있는 이유는 가격이 적당하고, 전기전도도가 높으며, 화학안정성이 좋아 도전입자로 사용하기 용이한 점이 많으나, 전기적 이온 이동의 문제를 수반하고 있다. 또한 니켈은 저렴한 가격과 비교적 좋은 전기전도도를 가지고는 있으나, 고온 다습한 상태에 노출될 경우, 표면에서 부식 또는 산화가 되는 등의 문제가 있다. 이러한 문제점을 해결하 기 위해 표면에 금을 코팅하여 전도입자의 특성을 향상시키기도 한다. 그러나 상술한 금이 코팅된 니켈입자는 디비닐벤젠(divinylbenzene) 형태의 폴리스티렌(polystyrene)볼에 니켈을 코팅하고 그 외면에 다시 금을 코팅한 형태로 발전되었으나, 이와 같이 제조할 경우에는 도전입자의 탄성력이 너무 높아져서 이방성 도전 필름용 도전성 볼로서의 특성에 좋지 않은 영향을 끼치게 되는 문제가 있다.The reason why silver is used as the conductive particles of the anisotropic conductive film is that it is easy to use as conductive particles due to its low price, high electrical conductivity and good chemical stability, but it is accompanied with the problem of electrical ion migration. In addition, nickel has a low price and relatively good electrical conductivity, but when exposed to high temperature and high humidity, there is a problem such as corrosion or oxidation on the surface. In order to solve this problem, the surface is coated with gold to improve the properties of the conductive particles. However, the above-described gold-coated nickel particles have been developed in the form of coating nickel on a polystyrene ball of divinylbenzene type and coating gold on the outer surface thereof. There is a problem that the elastic force becomes too high to adversely affect the properties of the conductive balls for anisotropic conductive films.
통상적으로 도전성 볼은 Pd, Ni, Au의 순서로 도금된 플라스틱 비이드가 본체부 또는 수지부내에 분산 배치되어 있어, 전기적 접속을 행해주는 역할을 한다. 특히 도전성 볼에 가장 중요하게 고려되어지는 특성으로는 접속저항, 신뢰성, 공정성 등이 있는데 지금까지의 연구과정을 통하여 이러한 특성들은 많은 향상을 이룰 수가 있었으나, 공정상 가열 및 가압하여 서로 다른 두 부분을 서로 접착시켜 접촉된 부분 내에 도전부를 형성시키는 과정 중에 중합체 비드(polymer bead)와 금속층의 모듈러스 차이로 인해 금속층의 균열이 발생되어 전도성이 떨어지는 문제점이 발생되고 있다. In general, conductive balls are plated with plastic beads plated in the order of Pd, Ni, and Au, and dispersed in the main body part or the resin part, and serve to make electrical connections. In particular, the most important characteristics of conductive balls are connection resistance, reliability, and fairness. Through the research process up to now, these characteristics can be improved. During the process of forming the conductive portion in the contact portion by adhering to each other, cracking of the metal layer occurs due to the difference in the modulus of the polymer bead and the metal layer, resulting in poor conductivity.
본 발명의 목적은 상술된 종래 문제점을 해결하기 위한 것으로 표면전도성이 개선된 탄소나노튜브로 코팅된 전도성 볼을 제조하는 방법을 제공하기 위한 것이다.SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a method of manufacturing a conductive ball coated with carbon nanotubes having improved surface conductivity as a solution to the above-mentioned conventional problems.
또한, 본 발명의 목적은 본 발명의 제조방법에 의해 제조된 표면전도성이 개선된 도전성 볼을 제공하기 위한 것이다.It is also an object of the present invention to provide a conductive ball with improved surface conductivity produced by the production method of the present invention.
상기 목적을 달성하기 위해, 본 발명은 탄소나노튜브로 코팅된 도전성 볼을 제조하는 방법을 제공한다.In order to achieve the above object, the present invention provides a method for producing a conductive ball coated with carbon nanotubes.
보다 구체적으로, 본 발명은,More specifically, the present invention,
중합체 비드(bead) 표면을 직접 술폰화(direct sulfonation)시켜 중합체 비드의 표면을 술폰기로 개질시키는 단계(단계 1);Direct sulfonation of the polymer bead surface to modify the surface of the polymer bead with a sulfone group (step 1);
개질된 중합체 비드와, 양이온 전해액 및 용매의 혼합물을 혼합시켜 개질된 중합체 비드의 표면에 양이온을 적층시키는 단계(단계 2);Mixing the modified polymer beads with a mixture of a cationic electrolyte and a solvent to deposit cations on the surface of the modified polymer beads (step 2);
양이온이 적층된 중합체 비드와, 음이온 전해액 및 용매의 혼합물을 혼합시켜 양이온 적층된 중합체 비드의 표면에 음이온을 적층시키는 단계(단계 3);Mixing the cation-laminated polymer beads with a mixture of anionic electrolyte solution and a solvent to deposit anion on the surface of the cation-laminated polymer beads (step 3);
원하는 층을 형성하기 위하여 단계 2 및 단계 3으로 이루어진 반복적 자기집합 단층막(self assembled monolayer)을 통하여 음이온/양이온 층을 교대로 결합시켜 중합체 비드의 표면에 최종 양이온으로 적층된 다층막을 형성시키는 단계(단계 4); 및 Alternately combining anion / cationic layers through a self assembled monolayer consisting of steps 2 and 3 to form a desired layer to form a multilayer film laminated with final cations on the surface of the polymer beads ( Step 4); And
단계 4에서 얻어진 개질된 중합체 비드를, 용매에 분산되어 있는 표면 개질된 탄소나노튜브와 혼합시켜 탄소나노튜브가 코팅된 중합체 비드를 형성시키는 단계(단계 5)를 포함하여 도전성 볼을 제조하는 방법을 제공한다.Mixing the modified polymer beads obtained in step 4 with surface modified carbon nanotubes dispersed in a solvent to form carbon nanotube coated polymer beads (step 5). to provide.
이하에서는 각 단계에 대해 보다 상세히 기술한다.Hereinafter, each step will be described in more detail.
단계 1에서는 표면이 술폰기로 개질된 중합체 비드를 제조한다.Step 1 produces polymer beads whose surface is modified with sulfone groups.
표면이 술폰기로 개질된 중합체 비드는 비드 형태의 중합체 표면에 직접 술폰화 과정을 통하여 형성된다. 보다 구체적으로, 표면 개질된 중합체 비드는, 중 합체 비드를 용매 중에서 1 내지 24 시간 동안 반응 시킨 후 원심분리하므로써 얻어진다. 이때, 사용가능한 용매로는 클로로술폰산, 술폰산, 아세틱 술파이드를 포함하며, 바람직하게는 클로로술폰산을 포함한다. 본 발명에서 사용가능한 비드 형태의 중합체는 당업계에서 사용가능한 모든 중합체를 포함할 수 있으며, 그 크기 또한 통상적으로 사용가능한 모든 크기로 변형가능하다. 바람직하게는, 중합체 비드로 분산중합을 통해 단일 공정으로 수 마이크로크기를 갖는 폴리스티렌 비드를 포함할 수 있다.Polymer beads whose surface has been modified with sulfone groups are formed through the sulfonation process directly on the polymer surface in the form of beads. More specifically, the surface modified polymer beads are obtained by reacting the polymer beads in a solvent for 1 to 24 hours and then centrifuging. At this time, usable solvents include chlorosulfonic acid, sulfonic acid, acetic sulfide, preferably chlorosulfonic acid. The polymers in the form of beads usable in the present invention may include all polymers usable in the art, and their sizes are also conventionally deformable to all available sizes. Preferably, the polymer beads may include polystyrene beads having several micro sizes in a single process through dispersion polymerization.
단계 2에서는 표면 개질된 중합체 비드 상에 양이온을 적층시킨다.In step 2, cations are deposited on the surface modified polymer beads.
보다 구체적으로, 단계 1에서 특정 pH하에서 제조된 표면이 술폰기로 개질된 중합체 비드를 양이온 전해액과 용매의 혼합물과 혼합시켜 표면에 형성된 술폰기와 양이온 전해액으로부터 양이온의 이온결합을 유도한다. 사용가능한 양이온 전해액은 말단기가 양이온인 화합물을 발생시킬 수 있는 것으로, 보다 바람직하게는 말단기가 아민기(NH3+)인 화합물을 발생시킬 수 있는 것이며, 일예로 폴리(디알릴디메틸암모늄 클로라이드), 아크릴아미드, 폴리(에틸렌아민), 폴리(알릴아민 히드로클로라이드),폴리 (메틸-비닐피리디윰), 폴리(부탄닐비올로겐),폴리(비닐벤젠닐트리메틸암모늄클로라이드) 등을 포함한다. 또한, 사용가능한 용매로는 C1 내지 C6의 직쇄 또는 측쇄형의 알코올로서, 바람직하게는 에탄올, 메탄올, 이소프로판올을 포함한다. 특히, 본 단계에서는, 용매에 염기성 용액 등과 혼합하여 pH을 7.5 내지 11 범위로 조정하여 술폰기로 개질된 표면과 양이온의 결합을 더욱 원활하고 강하게 흡착시켜 개질된 표면에 양이온의 적층을 보다 용이하게 할 수 있다. 이 때 개질된 표면에 충분히 결합될 수 있도록 10 분 내지 24시간 동안 반응을 해주는데, 이는 사용되는 양이온 전해액의 종류와 혼합되는 용매의 pH에 따라서도 달라질 수 있다.More specifically, the surface prepared under a specific pH in step 1 is mixed with a sulfone group-modified polymer beads with a mixture of a cationic electrolyte and a solvent to induce ionic bonds of cations from the sulfone groups and cationic electrolyte formed on the surface. The cationic electrolyte that can be used is capable of generating a compound having a terminal group as a cation, more preferably a compound having a terminal group with an amine group (NH 3+ ), for example poly (diallyldimethylammonium chloride), Acrylamide, poly (ethyleneamine), poly (allylamine hydrochloride), poly (methyl-vinylpyridinium), poly (butanylbiologen), poly (vinylbenzeneyltrimethylammonium chloride) and the like. In addition, usable solvents are C 1 to C 6 linear or branched alcohols, preferably ethanol, methanol, isopropanol. Particularly, in this step, the pH is adjusted to a range of 7.5 to 11 by mixing with a basic solution or the like in a solvent to more smoothly and strongly adsorb the bond between the sulfone group-modified surface and the cation to facilitate stacking of cations on the modified surface. Can be. At this time, the reaction is carried out for 10 minutes to 24 hours to be sufficiently bonded to the modified surface, which may vary depending on the type of cationic electrolyte used and the pH of the solvent to be mixed.
이후, 과량투입된 양이온 전해액을 제거하고 세척하는데, 일예로 원심분리를 이용하여 분리해낸 후 증류수로 수차례 세척한다.Then, the excess charged cationic electrolyte is removed and washed, for example, separated by centrifugation and washed several times with distilled water.
단계 3에서는 양이온이 적층된 중합체 비드의 표면 상에 음이온을 적층시킨다. In step 3, anions are deposited on the surface of the polymer beads on which cations are deposited.
보다 구체적으로, 단계 2에서 형성된 중합체 비드를 용매와 함께 음이온 전해액과 혼합시켜 표면에 이미 형성된 양이온과 음이온 전해액으로부터 음이온의 이온결합을 유도한다. 사용가능한 음이온 전해액은 말단기가 음이온인 화합물을 발생시킬 수 있는 것으로, 보다 바람직하게는 말단기가 COOH-, OH-, SO3-인 화합물을 발생시킬 수 있는 것이며, 일예로 폴리(아크릴산), 폴리(나트륨 스티렌)등을 포함한다. 또한, 사용가능한 용매로는 C1 내지 C6의 직쇄 또는 측쇄형의 알코올로서, 바람직하게는 에탄올, 메탄올, 이소프로판올을 포함한다. 특히, 본 단계에서는, 용매에 염산, 황산등과 혼합하여 pH을 1.0 내지 7.5 범위로 조정하여 상기 단계 2에서 수득된 양이온으로 개질된 표면과 음이온의 이온결합을 더욱 원활하고 강하게 흡착시켜 개질된 표면에 음이온의 적층을 보다 용이하게 할 수 있다. 이 때 이온이 개질된 표면에 충분히 흡착 될 수 있도록 10 분 내지 24시간 동안 반응을 해주 는데, 이는 사용되는 음이온 전해액의 종류와 혼합되는 용매의 pH에 따라서도 달라질 수 있다. More specifically, the polymer beads formed in step 2 are mixed with an anionic electrolyte with a solvent to induce ionic bonds of anions from cations and anionic electrolytes already formed on the surface. Used herein capable of generating an anionic electrolyte is a compound capable of anionic terminal groups, groups and more preferably the terminal COOH -, OH - will capable of generating a compound, SO 3-, poly (acrylic acid), poly As an example ( Sodium styrene) and the like. In addition, usable solvents are C 1 to C 6 linear or branched alcohols, preferably ethanol, methanol, isopropanol. In particular, in this step, the pH is adjusted to the range of 1.0 to 7.5 by mixing with a hydrochloric acid, sulfuric acid, etc. in a solvent to more smoothly and strongly adsorb the ionic bond of the cation-modified surface and the anion obtained in the step 2 to the modified surface Lamination of anions can be made easier. At this time, the reaction is carried out for 10 minutes to 24 hours to be sufficiently adsorbed on the modified surface, which may vary depending on the type of the anion electrolyte used and the pH of the solvent mixed.
단계 4에서는 반복적 자기집합 단층막(self-assembled monolayer)을 통하여 최종 양이온으로 적층된 다층막을 형성시킨다.In step 4, a multilayer film laminated with final cations is formed through a self-assembled monolayer.
자기집합 단층막은 단계 2의 양이온 및 단계 3의 음이온으로 이루어진 단층막으로서, 이는 이온성을 띠고 있어 양이온과 음이온간의 반복적 자기집합을 형성시킬 수 있다. 이를 통하여 단계 2 및 단계 3의 방법을 반복하므로써, 양이온/음이온 층을 교대로 결합시킨다. 구체적인 방법은 상기 단계 2 및 3에 기술된 바와 동일하다. 이때, 다층막의 수는 3층에서 20층까지 적층을 할 수 있으며 이때의 두께는 0.1 내지 1000 nm까지를 포함한다. 단층으로 적층을 할 경우 이온층의 결손층이 발생하여 두께의 균일성을 확보 할 수 없는 반면, 다층으로 적층할 경우 음이온막과 양이온 막의 교대로 적층되는 중간에 중성층이 형성되어 각 막의 결합력을 강하게 한다. 이러한 현상은 단층막을 형성시킬 경우 중성층의 결여로 인해 최종 카본나노튜브 적층 시 문제점이 발생될 수 있다.The self-assembled monolayer membrane is a monolayer membrane composed of the cation of step 2 and the anion of step 3, which is ionic and can form repetitive self-assembly between cations and anions. This repeats the method of steps 2 and 3, whereby the cation / anion layers are combined alternately. The specific method is the same as described in steps 2 and 3 above. At this time, the number of multilayer films can be laminated from three layers to 20 layers, and the thickness at this time includes 0.1 to 1000 nm. In the case of lamination in a single layer, the uniformity of the thickness cannot be secured due to the formation of a missing layer of the ion layer, whereas in the case of lamination in the multilayer, a neutral layer is formed in the middle of alternating anion membrane and cationic membrane to strengthen the bonding strength of each membrane. do. This phenomenon may cause problems when the final carbon nanotubes are laminated due to the lack of a neutral layer when forming a single layer film.
이렇게 얻어진 다층막의 표면은 최종 양이온, 바람직하게는 아민기(NH3+)로 형성되도록 한다.The surface of the multilayer film thus obtained is made to form a final cation, preferably an amine group (NH 3+ ).
단계 5에서는 다층막의 표면을 갖는 중합체 비드에 탄소나노튜브로 코팅시킨다.In step 5, the polymer beads having the surface of the multilayer film are coated with carbon nanotubes.
보다 구체적으로, 단계 4에서 얻어진 다층막이 형성되고 최종 양이온 표면을 갖는 중합체 비드를 용매에 분산된 표면 개질된 탄소나노튜브와 혼합시켜 탄소나노튜브로 코팅된 중합체 비드를 형성시킨다. More specifically, the multilayer film obtained in step 4 is formed and the polymer beads having the final cationic surface are mixed with the surface modified carbon nanotubes dispersed in the solvent to form the carbon nanotube coated polymer beads.
탄소나노튜브는 직접적으로 다층막 표면에 코팅시킬 수 없어, 이의 표면 및/또는 말단을 카르복실기 또는 부틸기로 개질시킨다. 본 발명에서 사용가능한 탄소나노튜브는 멀티, 싱글 등 특별히 제한되지 않으며, 시판되는 제품을 구입하여 사용하거나 통상적인 방법에 의해 제조하여 사용할 수 있다. 카르복실기로 개질시키기 위한 방법으로는 당업계에 통상적으로 사용할 수 있는 모든 방법을 사용할 수 있으며, 일예로는 탄소나노튜브를 300 내지 500℃ 이상에서 소결하여 유기물과 무기물을 제거한 후 강산(바람직하게는 질산과 황산의 혼합용액) 용액을 이용하여 20 내지 26 시간, 바람직하게는 24 시간 동안 초음파 처리한 후, 증류수로 희석시키고 원심분리하는 방법을 사용할 수 있다.The carbon nanotubes cannot be directly coated on the surface of the multilayer film, so that the surface and / or the ends thereof are modified with a carboxyl group or a butyl group. Carbon nanotubes that can be used in the present invention is not particularly limited, such as multi, single, and can be used by purchasing a commercially available product or by using a conventional method. As a method for modifying the carboxyl group, any method commonly used in the art may be used, and for example, carbon nanotubes are sintered at 300 to 500 ° C. or higher to remove organic and inorganic materials, and then strong acid (preferably nitric acid). After a sonication for 20 to 26 hours, preferably 24 hours using a solution of a sulfuric acid and a solution of sulfuric acid, a method of diluting with distilled water and centrifugation may be used.
이렇게 형성된 카르복실기로 개질된 탄소나노튜브는 용매 중에 분산시켜 사용한다. 사용가능한 용매로는 증류수, 이소프로필 알코올, 에탄올, 메탄올, 부틸알콜, 클로로포름, 디에틸에테르, 헥산, 시클로헥산, 프로필렌글리콜 모노메틸에테르아세테이트, 시클로테트라하이드로퓨란, 메틸에틸케톤 등으로부터 선택된 용매를 단독 또는 혼합하여 사용할 수 있다.The carboxyl group-modified carbon nanotubes thus formed are dispersed and used in a solvent. Solvents that can be used include distilled water, isopropyl alcohol, ethanol, methanol, butyl alcohol, chloroform, diethyl ether, hexane, cyclohexane, propylene glycol monomethyl ether acetate, cyclotetrahydrofuran, methyl ethyl ketone, and the like. Or it can mix and use.
본 발명의 의해 제조된 도전성 볼은 전기전도성이 우수한 탄소나노튜브를 표면에 코팅시킴으로써, 도전성 볼의 전기전도성을 향상시킬 수 있어 미세패턴 응용에 유리하며, 또한 자기집합 단층막에 의해 이온결합된 다층막으로 형성시키므로써, 중합체와 금속간의 특성차이로 인해 발생되는 도전막의 균열을 방지할 수 있으 며, 제조 공정 또한 단순화할 수 있다.The conductive balls produced by the present invention can improve the electrical conductivity of the conductive balls by coating carbon nanotubes having excellent electrical conductivity on the surface, which is advantageous for micropattern applications, and is a multilayer film ion-bonded by a self-assembled monolayer film. By forming it, it is possible to prevent the crack of the conductive film caused by the characteristic difference between the polymer and the metal, and to simplify the manufacturing process.
본 발명의 의해 제조된 도전성 볼은 전기전도성이 우수한 탄소나노튜브를 표면에 코팅시킴으로써, 도전성 볼의 전기전도성을 향상시킬 수 있어 미세패턴 응용에 유리하며, 또한 자기집합 단층막에 의해 이온결합된 다층막으로 형성시키므로써, 중합체와 금속간의 특성차이로 인해 발생되는 도전막의 균열을 방지할 수 있으며, 제조 공정 또한 단순화할 수 있다.The conductive balls produced by the present invention can improve the electrical conductivity of the conductive balls by coating carbon nanotubes having excellent electrical conductivity on the surface, which is advantageous for micropattern applications, and is a multilayer film ion-bonded by a self-assembled monolayer film. By forming it, it is possible to prevent the crack of the conductive film caused by the characteristic difference between the polymer and the metal, it is possible to simplify the manufacturing process.
이하, 본 발명을 하기 실시예에 의거하여 더욱 상세히 설명한다. 하기 실시예는 본 발명을 예시하고자 하는 것으로, 본 발명을 제한하고자 하는 것은 아니다. 본 발명에 개시된 모든 문헌은 참조로서 통합된다.Hereinafter, the present invention will be described in more detail based on the following examples. The following examples are intended to illustrate the invention and are not intended to limit the invention. All documents disclosed in the present invention are incorporated by reference.
<실시예><Example>
실시예 1: 본 발명의 도전성 볼의 제조Example 1 Preparation of Conductive Balls of the Present Invention
먼저, 중합체 비드는 하기와 같이 제조하였다.First, the polymer beads were prepared as follows.
중합체 제조방법은 크게 분산중합, 유화중합, 현탁중합으로 제조 할 수 있다. 현탁중합의 경우 균일한 크기의 중합체 비드를 제조할 수 없으며, 유화중합의 경우 매우 균일한 크기의 비드를 만들 수 있으나 수 마이크로크기의 비드를 제조에 있어서는 여러 가지 단계적 방법을 통해서 제조되어진다. 따라서 본 실험에서는 분산중합을 통해 단일 공정으로 수 마이크로크기를 갖는 균일한 중합체 비드를 제조하였다. Polymer production method can be largely prepared by dispersion polymerization, emulsion polymerization, suspension polymerization. In the case of suspension polymerization, polymer beads of uniform size cannot be prepared. In the case of emulsion polymerization, beads of very uniform size can be made, but several micro-sized beads are prepared through various stepwise methods. Therefore, in this experiment, uniform polymer beads having several micro sizes were prepared in a single process through dispersion polymerization.
중합체 비드로는 폴리메틸메타크릴레이트, 폴리스티렌 등의 중합체를 만들 수 있으나 본 실험에서는 폴리스티렌의 중합체 비드를 합성하였다. 에탄올, 이소 프로필알코올, 증류수, 톨루엔, 메탄올 등 용매에 개시제(벤조일페록사이트, AIBN), 분산제(폴리비닐피롤리돈, 폴리비닐아세테이트, 히드록시프로필-셀룰로즈 부틸 아크릴레이트), 스티렌 단량체, 디비닐벤젠을 일정한 비율로 개별적으로 혼합하여 녹인 후 반응온도 50 내지 70℃에서 12 내지 24 시간 동안 반응시켰다. 이렇게 제조된 폴리스티렌 비드는 500 nm 내지 10 ㎛의 균일한 크기를 갖았다. 이렇게 얻어진 폴리스티렌 비드를 수차례 에탄올, 메탄올, 증류수로 세척하고, 원심분리기, 동결건조기를 이용하여 건조시켜 폴리스티렌 비드를 수득하였다.As the polymer beads, polymers such as polymethylmethacrylate and polystyrene may be made, but in this experiment, polymer beads of polystyrene were synthesized. Initiator (benzoyl peroxite, AIBN), dispersant (polyvinylpyrrolidone, polyvinylacetate, hydroxypropyl-cellulose butyl acrylate), styrene monomer, divinyl in a solvent such as ethanol, isopropyl alcohol, distilled water, toluene, methanol Benzene was separately mixed and dissolved in a constant ratio and reacted at a reaction temperature of 50 to 70 ° C. for 12 to 24 hours. The polystyrene beads thus prepared had a uniform size of 500 nm to 10 μm. The polystyrene beads thus obtained were washed several times with ethanol, methanol and distilled water, and dried using a centrifuge and a lyophilizer to obtain polystyrene beads.
단계 1: 술폰화 단계Step 1: sulfonation step
세 개의 반응조에 각각 클로로술폰산, 술폰산, 아세틱 술파이드 용액을 첨가한 후 각각의 반응조에 폴리스티렌 비드를 첨가하고, 10 내지 150 rpm의 교반속도로 반응시켰다. 이때의 반응온도를 0 내지 90℃로 유지하였다. 5시간 동안 반응시킨 후 에탄올, 메탄올, 증류수로 중화시켜 비드의 표면을 술폰기로 개질시킨 폴리스티렌 비드를 수득하였다. After adding chlorosulfonic acid, sulfonic acid, and acetic sulfide solution to each of the three reactors, polystyrene beads were added to each reactor and reacted at a stirring speed of 10 to 150 rpm. The reaction temperature at this time was kept at 0-90 degreeC. After reacting for 5 hours, the mixture was neutralized with ethanol, methanol, and distilled water to obtain polystyrene beads in which the surface of the beads was modified with sulfone groups.
아세틱 술파이드 용액과 및 술폰산을 이용하여 술폰화시킨 경우, 폴리스티렌 비드의 변형을 관찰되었으며, 클로로슬폰산을 이용한 경우, 폴리스티렌 비드의 모양이 변하지 않고 술폰화가 성공적으로 되었음을 확인할 수 있었다.In case of sulfonation using an acetic sulfide solution and sulfonic acid, deformation of polystyrene beads was observed, and in the case of using chlorosulfonic acid, it was confirmed that sulfonation was successful without changing the shape of polystyrene beads.
단계 2 내지 4 : 양이온 및 음이온 적층 단계Steps 2 to 4: cation and anion deposition step
반응조에 표면 개질된 폴리스티렌 비드를 0.5M NaCl 수용액에 분산시키고 양이온전해액인 폴리(디알릴디메틸암모늄 클로라이드, 0.05M)과 음이온 전해액 폴리(나트륨 스티렌, 0.05M) 첨가하여 24시간 동안 교대로 함침시켰다. 양이온 적층 시 수산화나트륨용액을 이용하여 pH를 7.5 내지 11로 조정을 하고 반응온도를 20 내지 75℃로 유지시켜 표면에 양이온전해액을 적층시켰다. 또한, 음이온 적층시 황산, 염산으로 pH를 1.0 내지 7.5로 조정하여 음이온전해액을 적층시켰으며 이때 반응온도는 20내지 75℃로 조정하여 24 시간동안 함침시켰다. The surface-modified polystyrene beads in the reactor were dispersed in 0.5M NaCl aqueous solution, and impregnated for 24 hours by adding poly (diallyldimethylammonium chloride, 0.05M) and anionic electrolyte poly (sodium styrene, 0.05M) as a cationic electrolyte. When the cation was laminated, the pH was adjusted to 7.5 to 11 using sodium hydroxide solution and the reaction temperature was maintained at 20 to 75 ° C. to stack the cation electrolyte on the surface. In addition, the anion electrolyte solution was laminated by adjusting the pH to 1.0 to 7.5 with sulfuric acid and hydrochloric acid when anion was deposited, and the reaction temperature was adjusted to 20 to 75 ° C. and impregnated for 24 hours.
탄소나노튜브 개질 및 분산 공정Carbon Nanotube Modification and Dispersion Process
- 카르복실기로 표면 개질된 탄소나노튜브 제조-Preparation of carbon nanotubes surface-modified with carboxyl groups
탄소나노튜브를 소결로에 넣고 300 내지 500℃ 이상에서 소결하여 유기물과 무기물을 제거하였다. 얻어진 탄소나노튜브를 질산(HNO3):황산(H2SO4)용액의 비율을 3:1로 하여 24시간 동안 초음파 처리를 한 후 증류수로 수차례 세척한 후 0.2 ㎛ 필터를 이용하여 탄소나노튜브를 수득하였다. 증류수와 에탄올이 80:20의 비율로 혼합된 용액(70ml)에 1 내지 2.5 중량% 탄소나노튜브를 초음파기기를 이용하여 24시간 동안 분산시켰다.Carbon nanotubes were put in a sintering furnace and sintered at 300 to 500 ° C. or higher to remove organics and inorganics. The obtained carbon nanotubes were sonicated for 24 hours with the ratio of nitric acid (HNO 3 ): sulfuric acid (H 2 SO 4 ) solution 3: 1 and washed several times with distilled water, followed by carbon nanoparticles using a 0.2 μm filter. A tube was obtained. 1 to 2.5% by weight carbon nanotubes were dispersed in a solution (70 ml) of distilled water and ethanol at a ratio of 80:20 for 24 hours using an ultrasonic apparatus.
- 부틸기로 표면개질된 탄소나노튜브 제조-Carbon nanotubes surface-modified with butyl group
부틸기의 개질방법으로는 MWNT (Multi-Wall Nanotube) 20mg을 DMF(30ml)에 녹이고 3시간동안 초음파기로 분산시켰다. 이에 요오도-부탄(Iodo-butane;4mmol)과 벤조일 퍼옥사이드(benzoyl peroxide; 1.6mmol)를 첨가하고 아르곤 분위기 하에서 75℃ 24시간 동안 반응시켰다. 반응이 마친 물질을 100ml DMF에 넣고 희석시킨후 여과하고, 동일한 양의 DMF에 넣고 20분 동안 초음파처리하였다. 상기 과정을 2회 반복한 후 아세톤과 메탄올을 이용하여 세척하고, 80℃의 진공오븐에서 12시간 동안 건조하여 부틸기로 표면개질된 탄소나노튜브를 수득하였다. 증류수와 에탄올이 80:20의 비율로 혼합된 용액(70ml)에 1 내지 2.5 중량% 탄소나노튜브를 초음파기기를 이용하여 24시간 동안 분산시켰다.As a method of modifying the butyl group, 20 mg of MWNT (Multi-Wall Nanotube) was dissolved in DMF (30 ml) and dispersed in an ultrasonic wave for 3 hours. Iodo-butane (4 mmol) and benzoyl peroxide (1.6 mmol) were added thereto and reacted at 75 ° C. for 24 hours under argon atmosphere. After completion of the reaction, the reaction mixture was diluted with 100 ml of DMF, filtered, and placed in the same amount of DMF and sonicated for 20 minutes. After repeating the process twice, and washed with acetone and methanol, and dried for 12 hours in a vacuum oven at 80 ℃ to obtain a carbon nanotube surface-modified butyl group. 1 to 2.5% by weight carbon nanotubes were dispersed in a solution (70 ml) of distilled water and ethanol at a ratio of 80:20 for 24 hours using an ultrasonic apparatus.
단계 5 : 탄소나노튜브 적층 단계Step 5: stacking carbon nanotubes
음이온/양이온층이 적층된 폴리스티렌 비드(1g)를 표면개질된 탄소나노튜브가 분산된 용매에 첨가한 후 10 rpm의 교반속도로 24시간 동안 적층을 수행하였다.Polystyrene beads (1 g) having an anion / cationic layer laminated thereon were added to a solvent in which surface-modified carbon nanotubes were dispersed, and then lamination was performed at a stirring speed of 10 rpm for 24 hours.
실험예 1: 본 발명의 도전성 볼의 형태 확인Experimental Example 1: Confirmation of the shape of the conductive ball of the present invention
전계방출주사전자현미경(Field emission Scanning electron microscope; SEM, JEOL. JSM 890)을 통해 제조된 도전성 비드의 형태를 확인하였다. The shape of the conductive beads prepared through a field emission scanning electron microscope (SEM, JEOL. JSM 890) was confirmed.
결과는 도 2에 나타내었다. 도 2에서 알 수 있는 바와 같이, 최종양이온 막으로 형성된 폴리스티렌 비드에 탄소나노튜브들이 잘 결합되어 있으며, 표면에 적층된 탄소나노튜브들은 서로 잘 결합되어 있어 탄소나노튜브막을 형성하고 있는 것을 확인할 수 있었다.The results are shown in FIG. As can be seen in Figure 2, the carbon nanotubes are well bonded to the polystyrene beads formed as the final cation film, the carbon nanotubes laminated on the surface were well bonded to each other to form a carbon nanotube film was confirmed that .
이상에서 살펴본 바와 같이, 본 발명의 의해 제조된 도전성 볼은 전기전도성이 우수한 탄소나노튜브를 표면에 코팅시킴으로써, 도전성 볼의 전기전도성을 향상시킬 수 있어 미세패턴 응용에 유리하며, 또한 자기집합 단층막에 의해 이온결합된 다층막으로 형성시키므로써, 중합체와 금속간의 특성차이로 인해 발생되는 도전막의 균열을 방지할 수 있으며, 제조 공정 또한 단순화할 수 있다.As described above, the conductive balls manufactured by the present invention can improve the electrical conductivity of the conductive balls by coating carbon nanotubes having excellent electrical conductivity on the surface, which is advantageous for the application of fine patterns, and also a self-assembled monolayer film. By forming the multi-layer film ion-bonded by, it is possible to prevent the crack of the conductive film caused by the characteristic difference between the polymer and the metal, and to simplify the manufacturing process.
이상에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 본 기술분 야의 숙련된 당업자라면 하기의 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.Although the above has been described with reference to a preferred embodiment of the present invention, those skilled in the art will be variously modified and changed without departing from the spirit and scope of the invention described in the claims below I can understand that you can.
Claims (12)
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Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101325127B1 (en) | 2011-11-09 | 2013-11-06 | 한국기초과학지원연구원 | Method for producing photonic crystal solution and photonic crystal film using thereof |
KR20180005976A (en) * | 2016-07-07 | 2018-01-17 | 주식회사 엘지화학 | Conductive Particles, Point Electrodes comprising the Conductive Particles, and Method for Preparing the Same |
WO2021153972A1 (en) * | 2020-01-30 | 2021-08-05 | 주식회사 엘지화학 | Hollow particles, preparation method therefor, and heat-radiating fluid composition comprising same |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006040546A (en) | 2004-07-22 | 2006-02-09 | Sanyo Chem Ind Ltd | Conductive particulate |
US20060113511A1 (en) | 2004-11-26 | 2006-06-01 | Hon Hai Precision Industry Co., Ltd. | Anisotropic conductive film |
-
2006
- 2006-11-16 KR KR1020060113223A patent/KR100795309B1/en not_active IP Right Cessation
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006040546A (en) | 2004-07-22 | 2006-02-09 | Sanyo Chem Ind Ltd | Conductive particulate |
US20060113511A1 (en) | 2004-11-26 | 2006-06-01 | Hon Hai Precision Industry Co., Ltd. | Anisotropic conductive film |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101325127B1 (en) | 2011-11-09 | 2013-11-06 | 한국기초과학지원연구원 | Method for producing photonic crystal solution and photonic crystal film using thereof |
KR20180005976A (en) * | 2016-07-07 | 2018-01-17 | 주식회사 엘지화학 | Conductive Particles, Point Electrodes comprising the Conductive Particles, and Method for Preparing the Same |
KR102024263B1 (en) * | 2016-07-07 | 2019-09-23 | 주식회사 엘지화학 | Conductive Particles, Point Electrodes comprising the Conductive Particles, and Method for Preparing the Same |
WO2021153972A1 (en) * | 2020-01-30 | 2021-08-05 | 주식회사 엘지화학 | Hollow particles, preparation method therefor, and heat-radiating fluid composition comprising same |
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