KR100731768B1 - Donor substrate and method of fabricating oled using the same - Google Patents

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KR100731768B1
KR100731768B1 KR1020060062695A KR20060062695A KR100731768B1 KR 100731768 B1 KR100731768 B1 KR 100731768B1 KR 1020060062695 A KR1020060062695 A KR 1020060062695A KR 20060062695 A KR20060062695 A KR 20060062695A KR 100731768 B1 KR100731768 B1 KR 100731768B1
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권영길
이선희
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삼성에스디아이 주식회사
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Abstract

A donor substrate and a method for manufacturing an organic electro luminescent device using the same are provided to improve the contrast of the organic electro luminescent device and a transfer efficiency. A donor substrate(80) includes a base film(50), a light-to-heat conversion layer(55), a buffer layer(65), a self-assembled monolayer(70), and a transfer layer(75). The light-to-heat conversion layer(55) is located on the base film(50). The buffer layer(65) is located on the light-to-heat conversion layer(55). The self-assembled monolayer(70) is located on the buffer layer(65). The transfer layer(75) is located on the self-assembled monolayer(70). The self-assembled monolayer(70) is made of an organic molecule having an alcohol ligand. The organic molecule having the alcohol ligand is biphenyl-4-ol or p-terphenyl-4-ol. The buffer layer(65) is made of a hydrogenated silicon.

Description

도너 기판 및 그를 이용한 유기전계발광소자의 제조방법{Donor substrate and method of fabricating OLED using the same}Donor substrate and method of fabricating an organic light emitting device using the same

도 1a 및 도 1b는 LITI에 의한 일반적인 유기막의 전사과정에 있어서 전사 메카니즘을 설명하기 위한 단면도들이다.1A and 1B are cross-sectional views for describing a transfer mechanism in a process of transferring a general organic film by LITI.

도 2a는 본 발명의 실시예에 따른 도너 기판 및 그의 제조방법을 설명하기 위한 단면도이다.2A is a cross-sectional view illustrating a donor substrate and a method of manufacturing the same according to an embodiment of the present invention.

도 2b는 자기조립 단분자막의 개략적인 구성을 나타내는 도면이다. 2B is a view showing a schematic configuration of a self-assembled monolayer.

도 3은 본 발명의 실시예에 따른 유기전계발광소자의 제조방법을 설명하기 위한 단면도이다.3 is a cross-sectional view illustrating a method of manufacturing an organic light emitting display device according to an embodiment of the present invention.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>         <Explanation of symbols for the main parts of the drawings>

S1, 80. 도너 기판 S1a, 50. 기재 필름S 1 , 80. Donor substrate S 1a , 50. Base film

S1b, 55. 광-열 변환층 S1c, 75, 75a. 전사층S 1b , 55. Light-to-heat conversion layer S 1c , 75, 75a. Warrior Layer

S2, 100. 소자 기판 60. 중간층S 2 , 100. Device substrate 60. Interlayer

65. 버퍼층 70, 70a. 자기조립 단분자막65. Buffer layers 70, 70a. Self-assembled monolayer

71. 작용기 72. 알킬기71. Functional Group 72. Alkyl Group

90. 유기막 패턴 95. 레이저90. Organic film pattern 95. Laser

100. 소자 기판 110. 하부 전극100. Element substrate 110. Lower electrode

본 발명은 도너 기판 및 그를 이용한 유기전계발광소자의 제조방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 레이저 열전사법으로 전사층을 소자 기판 상으로 전사할 때, 상기 전사층의 묻어남이나 뜯김 등의 문제를 해결하기 위하여 자기조립 단분자막(SAMs; Self-Assembled Monolayers)을 도너 기판의 표면에 형성하고 상기 자기조립 단분자막 상에 전사층을 형성하여 줌으로써, 유기막인 전사층과 소자 기판과의 결합을 강하게 하여 막의 안정성을 뛰어나게 하며, 또한, 전사층이 쉽게 전사될 수 있도록 표면이 개질된 도너 기판 및 그를 이용한 유기전계발광소자의 제조방법에 관한 것이다.The present invention relates to a donor substrate and a method of manufacturing an organic light emitting device using the same, and more particularly, when transferring the transfer layer onto the device substrate by laser thermal transfer method, such problems as burying or tearing of the transfer layer. In order to solve this problem, self-assembled monolayers (SAMs) are formed on the surface of a donor substrate and a transfer layer is formed on the self-assembled monolayer, thereby strengthening the bond between the transfer layer, which is an organic layer, and the element substrate. The present invention relates to a donor substrate whose surface is modified so as to have excellent stability and to which the transfer layer can be easily transferred, and a method of manufacturing an organic light emitting device using the same.

일반적으로 유기전계발광소자는 애노드 전극과 캐소드 전극 그리고 상기 애노드 전극과 캐소드 전극 사이에 개재된 유기막들을 포함한다. 상기 유기막들은 적어도 발광층을 포함하며, 상기 발광층 외에도 정공주입층, 정공수송층, 전자수송층, 전자주입층을 더욱 포함할 수 있다. 이러한 유기전계발광소자는 유기막, 특히, 상기 발광층을 이루는 물질에 따라서 고분자 유기전계발광소자와 저분자 유기전계발광소자로 나뉘어진다.In general, an organic light emitting display device includes an anode electrode and a cathode electrode, and organic layers interposed between the anode electrode and the cathode electrode. The organic layers may include at least a light emitting layer, and may further include a hole injection layer, a hole transport layer, an electron transport layer, and an electron injection layer in addition to the light emitting layer. The organic electroluminescent device is divided into a high molecular organic electroluminescent device and a low molecular organic electroluminescent device according to an organic film, in particular, the light emitting layer.

이러한 유기전계발광소자에 있어서, 풀칼라 유기전계발광소자를 구현하기 위해서는 상기 발광층을 패터닝해야 하는데, 상기 발광층을 패터닝하기 위한 방법으로는 저분자 유기전계발광소자의 경우 미세 패턴 마스크(fine metal mask)를 사용하는 방법이 있고, 고분자 유기전계발광소자의 경우 잉크-젯 프린팅(ink-jet printing) 또는 레이저 열전사법(Laser Induced Thermal Imaging; 이하, LITI라 한다)이 있다. 이 중에서 상기 LITI는 상기 유기막을 미세하게 패터닝할 수 있는 장점이 있을 뿐만 아니라, 상기 잉크-젯 프린팅이 습식공정인데 반하여 이는 건식공정이라는 장점이 있다.In the organic light emitting diode, in order to implement a full-color organic light emitting diode, the light emitting layer needs to be patterned. As a method for patterning the light emitting layer, a fine metal mask may be used in the case of a low molecular organic light emitting diode. There is a method used, and in the case of a polymer organic electroluminescent device, there is ink-jet printing or laser induced thermal imaging (hereinafter referred to as LITI). Among these, LITI has the advantage of finely patterning the organic layer, and the ink-jet printing is a wet process, whereas it has a dry process.

이러한 LITI에 의한 고분자 유기막의 패턴 형성방법은 적어도 광원, 유기전계발광소자 기판 즉, 소자 기판 그리고 도너 기판을 필요로 하는데, 상기 도너 기판은 기재 필름, 광-열 변환층 및 유기막으로 이루어진 전사층 등으로 구성된다. 상기 소자 기판 상에 도너 기판에 형성되어 있는 유기막을 패터닝하는 것은 상기 광원에서 나온 빛이 상기 도너 기판의 광-열 변환층에 흡수되어 열에너지로 변환되고, 상기 열에너지에 의해 상기 전사층을 이루는 유기막이 상기 소자 기판 상으로 전사되면서 수행된다. 이는 한국특허출원 제1998-051844호 및 미국 특허 제5,998,085호, 6,214,520호 및 6,114,088호에 게시되어 있다.The method of forming a pattern of the polymer organic film by LITI requires at least a light source, an organic light emitting device substrate, that is, an element substrate and a donor substrate, and the donor substrate includes a transfer film composed of a base film, a photo-thermal conversion layer, and an organic film. And the like. Patterning the organic film formed on the donor substrate on the device substrate is that the light emitted from the light source is absorbed by the light-heat conversion layer of the donor substrate is converted into thermal energy, the organic film forming the transfer layer by the thermal energy It is performed while being transferred onto the device substrate. It is published in Korean Patent Application Nos. 1998-051844 and 5,998,085, 6,214,520 and 6,114,088.

도 1a 및 도 1b는 LITI에 의한 일반적인 유기막의 전사과정에 있어서 전사 메카니즘을 설명하기 위한 단면도들이다.1A and 1B are cross-sectional views for describing a transfer mechanism in a process of transferring a general organic film by LITI.

도 1a를 참고하면, 도너 기판(S1)은 기재 필름(S1a)과 광-열 변환층(S1b) 및 전사층(S1c)으로 구성되어 있고, 상기 도너 기판(S1)에는 유기막이 형성된 전사층(S1c)이 상기 광-열 변환층(S1b)과 제 1 접착력(adhesion; Wbc)에 의해 부착되어 있다. 상기 도너 기판(S1) 하부에는 소자 기판(S2)이 위치한다.Referring to FIG. 1A, the donor substrate S 1 is composed of a base film S 1a , a light-to-heat conversion layer S 1b , and a transfer layer S 1c , and the donor substrate S 1 is organic. The film-formed transfer layer S 1c is attached to the light-to-heat conversion layer S 1b by a first adhesion W bc . An element substrate S 2 is positioned below the donor substrate S 1 .

도 1b를 참고하면, 상기 기재 필름(S1a) 상의 제 2 영역(R2)을 제외한 제 1 영역(R1)에 레이저에 의한 빛이 조사된다. 상기 기재 필름(S1a)을 통과한 빛은 상기 광-열 변환층(S1b)에서 열로 변환되고, 상기 열은 상기 제 1 영역(R1)의 제 1 접착력(adhesion; Wbc)에 변화를 유발하여 상기 전사층(S1c)을 상기 소자 기판(S2)으로 전사시킨다. 이러한 전사과정에서 상기 유기막의 전사특성을 좌우하는 인자는 상기 제 2 영역(R2)의 도너 기판(S1)의 광-열 변환층(S1b)과 상기 유기막 사이의 제 1 접착력(adhesion; Wbc), 상기 유기막 내의 점착력(cohesion; Wcc) 및 상기 유기막과 상기 소자 기판(S2)과의 제 2 접착력(adhesion; W12)이다. 특히, 상기 제 1 접착력(Wbc)이 작은 경우는 상기 유기막(S1c)이 상기 도너 기판(S1)으로부터 너무 쉽게 떨어져 나와, 상기 레이저에 의해 빛이 조사되지 않은 제 2 영역(R2)의 유기막(S2), 즉, 전사되지 않아야 할 부분의 유기막까지 전사되어 유기전계발광소자의 불량을 야기하는 문제점이 있었다. 이는 상기 유기막이 저분자 물질을 포함하는 경우에 있어 더욱 그러하다.Referring to FIG. 1B, light by a laser is irradiated to the first region R 1 excluding the second region R 2 on the base film S 1a . Light passing through the base film S 1a is converted into heat in the light-to-heat conversion layer S 1b , and the heat is changed in a first adhesion force W bc of the first region R 1 . Is induced to transfer the transfer layer S 1c to the device substrate S 2 . In this transfer process, a factor that determines the transfer characteristic of the organic layer is a first adhesion force between the light-to-heat conversion layer S 1b of the donor substrate S 1 of the second region R 2 and the organic layer. W bc , cohesion in the organic film W cc , and a second adhesion force W 12 between the organic film and the device substrate S 2 . In particular, when the first adhesive force W bc is small, the organic layer S 1c is easily separated from the donor substrate S 1 , and thus the second region R 2 in which light is not irradiated by the laser. ) Is transferred to the organic film (S 2 ), that is, the organic film of the portion that should not be transferred, causing a problem of the organic light emitting device. This is even more the case when the organic film includes a low molecular material.

본 발명은 상기한 종래기술의 문제점을 해결하기 위한 것으로, LITI로 유기막을 소자 기판 상으로 전사할 때 유발될 수 있는 유기막의 묻어남이나 뜯김 등의 문제를 해결하고 유긱전계발광소자의 콘트라스트(contrast)를 향상시킬 수 있으며, 또한, 전사효율을 향상시킬 수 있는 도너 기판 및 그를 이용한 유기전계발광소자의 제조 방법을 제공하는데 목적이 있다.The present invention is to solve the above-mentioned problems of the prior art, solves the problems such as burying or tearing of the organic film that can be caused when the organic film is transferred onto the device substrate with LITI and contrast of the eugene electroluminescent device It is an object of the present invention to provide a donor substrate and a method of manufacturing an organic light emitting display device using the same, which can improve the efficiency of the transfer and improve the transfer efficiency.

상기 기술적 과제를 해결하기 위하여 본 발명은, 기재 필름(base film); 상기 기재 필름 상에 위치한 광-열 변환층(LTHC); 상기 광-열 변환층 상에 위치한 버퍼층; 상기 버퍼층 상에 위치한 자기조립 단분자막; 및 상기 자기조립 단분자막 상에 위치한 전사층(transfer layer)을 포함하는 것을 특징으로 하는 도너 기판에 의해 달성된다.In order to solve the above technical problem, the present invention, a base film (base film); A light-to-heat conversion layer (LTHC) positioned on the base film; A buffer layer on the light-to-heat conversion layer; A self-assembled monolayer on the buffer layer; And a transfer layer positioned on the self-assembled monomolecular film.

또한, 상기한 기술적 과제를 해결하기 위하여 본 발명은, 기재 필름(base film)을 준비하고; 상기 기재 필름 상에 광-열 변환층(LTHC)을 형성하며; 상기 광-열 변환층 상에 버퍼층을 형성하고; 상기 버퍼층 상에 자기조립 단분자막을 형성하며; 상기 자기조립 단분자막 상에 전사층(transfer layer)을 형성하는 것을 포함하는 것을 특징으로 하는 도너 기판의 제조 방법에 의해서도 달성된다.In addition, in order to solve the above technical problem, the present invention is to prepare a base film (base film); Forming a light-to-heat conversion layer (LTHC) on the base film; Forming a buffer layer on the light-to-heat conversion layer; Forming a self-assembled monolayer on the buffer layer; It is also achieved by a method for producing a donor substrate, comprising forming a transfer layer on the self-assembled monolayer.

또한, 상기한 기술적 과제를 해결하기 위하여 본 발명은, 하부 전극이 형성 된 소자 기판을 제공하고; 상기 소자 기판으로부터 이격되어 위치하고, 기재 필름, 상기 기재 필름 상에 광-열 변환층, 버퍼층, 알코올 리간드를 가진 유기분자로 형성된 자기조립 단분자막 및 전사층을 차례로 적층하여 제조한 도너 기판을 상기 전사층이 상기 소자 기판을 향하도록 배치하며; 상기 도너 기판의 소정 영역에 레이저를 조사하여 상기 알코올 리간드를 가진 유기분자로 형성된 자기조립 단분자막 및 전사층을 상기 하부 전극 상으로 전사하여 상기 하부 전극 상에 유기막 패턴을 형성하는 것을 포함하는 유기전계발광소의 제조 방법에 의해서도 달성된다.In addition, to solve the above technical problem, the present invention provides a device substrate with a lower electrode formed; The transfer layer is a donor substrate, which is spaced apart from the device substrate, and is formed by sequentially stacking a base film, a light-to-heat conversion layer, a buffer layer, a self-assembled monomolecular film formed of organic molecules having an alcohol ligand, and a transfer layer on the base film. Arranged to face the device substrate; Irradiating a laser to a predetermined region of the donor substrate to transfer a self-assembled monolayer and a transfer layer formed of organic molecules having an alcohol ligand onto the lower electrode to form an organic layer pattern on the lower electrode. It is also achieved by a manufacturing method of a light emitting element.

본 발명의 상기 목적과 기술적 구성 및 그에 따른 작용 효과에 관한 자세한 사항은 본 발명의 바람직한 실시예를 도시하고 있는 도면을 참조한, 이하 상세한 설명에 의해 보다 명확하게 이해될 것이다. 그러나, 본 발명은 여기서 설명되어 지는 실시예에 한정되지 않고 다른 형태로 구체화될 수도 있다. 오히려 여기서 소개되는 실시예는 개시된 내용이 철저하고 완전해질 수 있도록, 그리고 당업자에게 본 발명의 사상이 충분히 전달될 수 있도록 하기 위해 제공되어 지는 것이다. 도면들에 있어서, 층이 다른 층 또는 기판 "상"에 있다고 언급되어 지는 경우에 그것은 다른 층 또는 기판 상에 직접 형성될 수 있거나 또는 그들 사이에 제3의 층이 개재될 수도 있다. 본 발명의 바람직한 실시예를 도시하고 있는 도면은 명확한 설명을 위해 과장되게 도시될 수도 있고, 명세서 전체에 걸쳐서 동일한 참조 번호들은 동일한 구성 요소를 나타낸다. DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION The above object and technical configuration of the present invention and the details of the effects thereof will be more clearly understood by the following detailed description, with reference to the drawings showing preferred embodiments of the present invention. However, the present invention is not limited to the embodiments described herein but may be embodied in other forms. Rather, the embodiments introduced herein are provided so that the disclosure may be made thorough and complete, and to fully convey the spirit of the present invention to those skilled in the art. In the figures, where a layer is said to be "on" another layer or substrate, it may be formed directly on the other layer or substrate, or a third layer may be interposed therebetween. BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS The drawings depicting preferred embodiments of the invention may be exaggerated for clarity, and like reference numerals refer to like elements throughout.

(실시예)(Example)

이하, 본 발명을 보다 구체적으로 설명하기 위하여 본 발명에 따른 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 보다 상세하게 설명한다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings in order to describe the present invention in more detail.

도 2a는 본 발명의 실시예에 따른 도너 기판 및 그의 제조방법을 설명하기 위한 단면도이다.2A is a cross-sectional view illustrating a donor substrate and a method of manufacturing the same according to an embodiment of the present invention.

도 2a를 참고하면, 기재 필름(50)을 제공하고, 상기 기재 필름(50) 상에 광-열 변환층(Light-To-Heat Conversion layer; LTHC, 55)을 형성한다.Referring to FIG. 2A, a base film 50 is provided and a light-to-heat conversion layer (LTHC) 55 is formed on the base film 50.

상기 기재 필름(50)은 투명성 고분자로 이루어져 있는데, 이러한 고분자로는 폴레에틸렌 테레프탈레이트와 같은 폴리에스테르, 폴리아크릴, 폴리에폭시, 폴리에틸렌, 폴리스티렌 등을 사용한다. 그 중에서 폴리에틸렌 테레프탈레이트 필름을 주로 사용한다. 상기 기재 필름(50)은 지지 필름으로서의 광학적 성질과 기계적 안정성을 가져야 한다. 상기 기재 필름(50)의 두께는 10 내지 500 ㎛인 것이 바람직하다.The base film 50 is made of a transparent polymer, and such polymers include polyesters such as polyethylene terephthalate, polyacryl, polyepoxy, polyethylene, polystyrene, and the like. Among them, polyethylene terephthalate film is mainly used. The base film 50 should have optical properties and mechanical stability as a support film. It is preferable that the thickness of the said base film 50 is 10-500 micrometers.

상기 광-열 변환층(55)은 적외선-가시광선 영역의 빛을 흡수하여 상기 빛의 일부를 열로 변환시키는 층으로, 광학 밀도(optical density)를 가져야 하고 광흡수성 물질을 포함한다. 상기 광-열 변환층(55)에는 예를 들어, 알루미늄 산화물 또는 알루미늄 황화물을 상기 광흡수성 물질로 포함하는 금속막, 카본 블랙, 흑연이나, 적외선 염료를 상기 광흡수성 물질로 포함하는 고분자 유기막이 있다. 이때, 상기 금속막의 경우는 진공 증착법, 전자빔 증착법 또는 스퍼터링을 이용하여 100 내지 5,000Å 두께로 형성하는 것이 바람직하며, 상기 유기막의 경우는 일반적인 필름코팅 방법인 롤코팅(roll coating), 그라비아(gravure), 압출(extrusion), 스 핀(spin) 및 나이프(knife) 코팅 방법을 이용하여 0.1 내지 10㎛ 두께로 형성하는 것이 바람직하다.The light-to-heat conversion layer 55 absorbs light in the infrared-visible light region and converts a part of the light into heat. The light-to-heat conversion layer 55 has an optical density and includes a light absorbing material. The light-to-heat conversion layer 55 includes, for example, a metal film including aluminum oxide or aluminum sulfide as the light absorbing material, carbon black, graphite, or a polymer organic film including infrared dye as the light absorbing material. . In this case, the metal film is preferably formed to a thickness of 100 to 5,000Å by vacuum deposition, electron beam deposition, or sputtering, and in the case of the organic film, roll coating and gravure are common film coating methods. It is preferable to form to a thickness of 0.1 to 10㎛ using extrusion, spin and knife coating method.

이어서, 상기 광-열 변환층(55) 상에 중간층(interlayer; 60)을 형성할 수도 있다. 상기 중간층(60)은 상기 광-열 변환층(55)에 포함된 상기 광흡수성 물질, 예를 들어, 카본 블랙이 후속하는 공정에서 형성되는 전사층(75)을 오염시키는 것을 방지하는 역할을 한다. 상기 중간층(60)은 아크릴 수지(acrylic resin) 또는 알키드 수지(alkyd resin)로 형성할 수 있다. 상기 중간층(60)의 형성은 용매 코팅 등의 일반적인 코팅과정과 자외선 경화과정 등의 경화과정을 거쳐 수행된다. Subsequently, an interlayer 60 may be formed on the light-to-heat conversion layer 55. The intermediate layer 60 serves to prevent the light absorbing material, for example, carbon black, included in the light-to-heat conversion layer 55 from contaminating the transfer layer 75 formed in a subsequent process. . The intermediate layer 60 may be formed of an acrylic resin or an alkyd resin. The formation of the intermediate layer 60 is performed through a general coating process such as solvent coating and a curing process such as ultraviolet curing.

이어서, 상기 광-열 변환층(55) 상에, 또는, 중간층(60)이 형성된 경우는 상기 중간층(60) 상에 버퍼층(65)을 증착한다. 상기 버퍼층(65)은 전사물질, 즉, 전사층(75)에 형성된 유기막 등의 손상을 방지하고, 상기 전사층(75)과 상기 도너 기판(80)의 접착력을 효과적으로 조절하기 위해 형성된다. 상기 버퍼층(65)은 폴리머, 금속, 금속 산화물 등의 유기 또는 무기물로 형성할 수 있는데, 금속막인 경우에는 진공 증착법, 전자빔 증착법 또는 스퍼터링을 이용하여 형성하며, 유기막인 경우에는 일반적인 필름코팅 방법인 압출(extrusion), 스핀(spin) 및 나이프(knife) 코팅 방법을 이용하여 형성한다. 상기 버퍼층(65)으로는 수소화된 실리콘(hydrogenated silicon;Si-H), 실리콘(Si) 또는 산화철(FexOy) 등을 이용할 수 있는데, 바람직하게는 수소화된 실리콘(hydrogenated silicon;Si-H)을 증착하여 상기 광-열 변환층(55) 상에, 또는, 중간층(60)을 형성한 경우에는 상기 중간층(60) 상 에 형성한다. 상기 버퍼층(65)은 하기의 공정에서 형성되는 자기조립 단분자막(70)의 작용기 부분이 공유 결합되는 부분으로서 상기 도너 기판(80)에 형성되어 있는 광-열 변환층(55), 또는, 중간층(60)이 형성된 경우에는 상기 중간층(60)과의 접착력 및 유기전계발광소자의 콘트라스트(contrast)를 개선시키기 위하여 형성한다. Subsequently, when the intermediate layer 60 is formed on the light-to-heat conversion layer 55, the buffer layer 65 is deposited on the intermediate layer 60. The buffer layer 65 is formed to prevent damage to a transfer material, that is, an organic film formed on the transfer layer 75, and to effectively control the adhesion between the transfer layer 75 and the donor substrate 80. The buffer layer 65 may be formed of an organic or inorganic material such as a polymer, a metal, a metal oxide, and the like, in the case of a metal film, using a vacuum deposition method, an electron beam deposition method, or a sputtering method, and in the case of an organic film, a general film coating method. It is formed using phosphorus extrusion, spin and knife coating methods. The buffer layer 65 may be hydrogenated silicon (Si-H), silicon (Si) or iron oxide (Fe x O y ), and the like, preferably hydrogenated silicon (Si-H). ) Is formed on the light-to-heat conversion layer 55, or on the intermediate layer 60, if the intermediate layer 60 is formed. The buffer layer 65 is a portion in which the functional group portion of the self-assembled monolayer 70 formed in the following process is covalently bonded to the light-to-heat conversion layer 55 formed on the donor substrate 80, or an intermediate layer ( If 60 is formed, it is formed to improve the adhesion to the intermediate layer 60 and the contrast of the organic light emitting device.

이어서, 상기 버퍼층(65) 상에 자기조립 단분자막(self-assembled monolayers)(70)을 형성한다. 상기 자기조립 단분자막(70)은 상기 버퍼층(65)과 공유 결합하여 상기 버퍼층(65)의 표면에 규칙적으로 정렬되는 유기 분자 막으로, 도 2b에 도시된 바와 같이 구성되어 있다.Subsequently, self-assembled monolayers 70 are formed on the buffer layer 65. The self-assembled monolayer 70 is an organic molecular film that is covalently bonded to the buffer layer 65 and regularly aligned on the surface of the buffer layer 65, and is configured as shown in FIG. 2B.

도 2b는 자기조립 단분자막의 개략적인 구성을 나타내는 도면이다. 2B is a view showing a schematic configuration of a self-assembled monolayer.

도 2b를 참조하면, 상기 자기조립 단분자막(70)은 상기 버퍼층(65)과 공유 결합하는 머리 부분의 작용기(71)와, 규칙적인 분자 막 형성을 가능하게 하는 몸통 부분의 긴 알킬기(72)로 이루어진다. 즉, 상기 자기조립 단분자막(70)은 긴 알킬기(72)와, 상기 알킬기(72)의 일단에 위치하여 버퍼층(65)과 공유 결합하는 작용기(71)로 구성되어 있어, 상기 버퍼층(65)의 표면에서 분자들끼리 2 차원적으로 정렬하는 자기조립(self-assembly) 현상을 나타내며 버퍼층(65)의 표면에 일정하게 정렬한 단분자막(monolayer)을 형성한다.Referring to FIG. 2B, the self-assembled monolayer 70 is composed of a functional group 71 in the head covalently bonded to the buffer layer 65 and a long alkyl group 72 in the body part to enable regular molecular film formation. Is done. That is, the self-assembled monolayer 70 is composed of a long alkyl group 72 and a functional group 71 covalently bonded to the buffer layer 65 at one end of the alkyl group 72, so that the buffer layer 65 The molecules exhibit a self-assembly of two-dimensionally aligned molecules on the surface and form a monolayer uniformly aligned on the surface of the buffer layer 65.

이러한 자기조립 단분자막(70)을 형성하는 분자들은 작용기(71)를 통하여 버퍼층(65) 표면에 흡착·공유 결합하게 되고, 알킬기(72)들은 서로 소수성 인력(hydrophobic interaction)에 의해 2 차원적으로 정렬하여 자기조립 단분자막(70)을 형성한다. 상기 자기조립 현상을 일으키는 자기조립 단분자막(70)의 형성 물질들로는 지방산 등의 계면 활성제 분자, 알킬트리할로실란류, 알킬알콕사이드류 등의 유기 규소 분자, 알킬티올류 등의 유기황 분자, 알킬포스페이트 등의 유기 인산 분자 등을 들 수 있다. 본 발명에서는 상기 자기조립 단분자막(70)으로 알코올 리간드를 포함하는 유기분자를 사용할 수 있는데, 바람직하게는 바이페닐-4-올(biphenyl-4-ol; BPOH) 또는 p-터페닐-4-ol(p-terphenyl-4-ol)을 사용할 수 있다. 상기와 같은 방법으로 단분자막을 제조하는 경우에는 막 형성 과정을 분자 수준에서 조절할 수 있으며, 상기 자기조립 단분자막(70)을 형성하는 분자의 작용기(73)를 선택적으로 다양하게 변화시킬 수 있고, 또한, 그 조절도 가능하며, 상기 버퍼층(65) 표면과의 결합도 강하여 막의 안정성이 뛰어나고, 원하는 경우 쉽게 제거할 수도 있으며, 유기전계발광소자의 콘트라스트(contrast)도 높일 수 있다.The molecules forming the self-assembled monolayer 70 are adsorbed and covalently bonded to the surface of the buffer layer 65 through the functional group 71, and the alkyl groups 72 are two-dimensionally aligned with each other by hydrophobic interaction. To form the self-assembled monolayer 70. Materials for forming the self-assembled monolayer 70 that cause the self-assembly may include surfactant molecules such as fatty acids, organic silicon molecules such as alkyltrihalosilanes and alkyl alkoxides, organic sulfur molecules such as alkylthiols, and alkyl phosphates. Organic phosphoric acid molecules, such as these, etc. are mentioned. In the present invention, an organic molecule including an alcohol ligand may be used as the self-assembled monolayer 70. Preferably, biphenyl-4-ol (biphenyl-4-ol; BPOH) or p-terphenyl-4-ol is used. (p-terphenyl-4-ol) can be used. When the monomolecular film is manufactured by the above method, the film forming process can be controlled at the molecular level, and the functional groups 73 of the molecules forming the self-assembled monomolecular film 70 can be selectively changed in various ways. It is also possible to adjust it, and the bonding with the surface of the buffer layer 65 is also strong, excellent film stability, can be easily removed if desired, and can also increase the contrast (contrast) of the organic light emitting device.

본 발명에서의 버퍼층(65)과 자기조립 단분자막(70)의 반응 메카니즘(mechanism)을 살펴보면 다음과 같다.The reaction mechanism of the buffer layer 65 and the self-assembled monolayer 70 in the present invention will be described as follows.

버퍼층(65)으로 사용되는 수소화된 실리콘(Si-H)과 자기조립 단분자막(70)으로 사용되는 알코올 리간드를 가진 유기분자인 바이페닐-4-올(biphenyl-4-ol; BPOH) 또는 p-터페닐-4-ol(p-terphenyl-4-ol; TPOH)가 상호작용, 즉, 공유결합 함으로써, 상기 버퍼층(65)의 실리콘 상에 알코올 리간드를 가진 유기분자 중 수소가 제거된 부분이 상기 버퍼층(65)으로 형성된 실리콘(Si)과 공유결합을 이루게 된다. 상기 버퍼층(65)과 자기조립 단분자막(70) 사이의 공유결합은 하기의 공정에서와 같이 유기전계발광소자를 형성할 때, 레이저에 의해 노광 영역에서 발생하는 열에 의해 선택적으로 상기 공유결합이 끊어지게 되며 상기 자기조립 단분자막(70)을 포 함한 전사층(75)이 유기전계발광소자 상으로 전사된다. Biphenyl-4-ol (BPOH) or p-, an organic molecule having hydrogenated silicon (Si-H) used as the buffer layer 65 and an alcohol ligand used as the self-assembled monolayer 70 By terphenyl-4-ol (p-terphenyl-4-ol; TPOH) interaction, that is, by covalent bonding, the hydrogen-removed portion of the organic molecules having an alcohol ligand on the silicon of the buffer layer 65 Covalent bonds with silicon (Si) formed of the buffer layer (65). Covalent bonding between the buffer layer 65 and the self-assembled monolayer 70 is such that the covalent bond is selectively broken by heat generated in the exposure area by a laser when forming the organic light emitting device as in the following process. The transfer layer 75 including the self-assembled monolayer 70 is transferred onto the organic light emitting diode.

상기 자기조립 단분자막(70)을 도너 기판(80)의 버퍼층(65)에 형성하는 방법은 상기 자기 조립하는 물질인 알코올 리간드를 가진 유기분자 등의 희석액 중에서 피복하거나, 상기 물질을 함유하는 기체 상에 노출시켜 필름을 형성함으로써 제조된다.The method of forming the self-assembled monolayer 70 on the buffer layer 65 of the donor substrate 80 may be coated in a diluent solution such as an organic molecule having an alcohol ligand, which is the self-assembling substance, or on a gas containing the substance. By exposing to form a film.

이어서, 상기 자기조립 단분자막(70) 상에 전사층(75)을 형성한다.Subsequently, a transfer layer 75 is formed on the self-assembled monolayer 70.

상기 전사층(75)은 발광층, 정공주입층, 정공수송층, 전자주입층, 전자수송층 등의 유기막으로 이루어진 군에서 선택되는 하나의 단층막 또는 하나 이상의 다층막으로 형성할 수 있다. 바람직하게는 상기 유기막들은 각각 저분자 물질을 포함하는 유기막들이다. 상기 저분자 물질을 포함하는 유기막은 일반적으로 접착력이 양호하지 않은데, 상기 버퍼층(65)과 자기조립 단분자막(70)의 도입으로 인해 전사특성이 개선된다. 또한, 상기 저분자 물질 중에는 열적 안정성이 낮은 경우가 있어 상기 저분자 물질을 포함하는 전사층(75)의 경우, LITI에 의한 전사 과정에서 상기 광-열 변환층(55)에서 발생되는 열에 의해 상기 전사층(75)이 손상되는 현상이 있을 수 있으나, 상기 버퍼층(65)은 상기 열을 조절할 수 있으므로 이러한 열손상도 방지할 수 있다.The transfer layer 75 may be formed of one single layer film or one or more multilayer films selected from the group consisting of organic films such as a light emitting layer, a hole injection layer, a hole transport layer, an electron injection layer, and an electron transport layer. Preferably, the organic layers are organic layers each including a low molecular material. The organic layer including the low molecular material is generally not good adhesion, the transfer characteristics are improved due to the introduction of the buffer layer 65 and the self-assembled monolayer 70. In addition, the low molecular weight material may have low thermal stability. In the case of the transfer layer 75 including the low molecular material, the transfer layer may be formed by heat generated in the light-to-heat conversion layer 55 during the transfer process by LITI. The 75 may be damaged, but the buffer layer 65 may control the heat, thereby preventing such heat damage.

상기 발광층, 정공주입층, 정공수송층, 전자주입층, 전자수송층 등의 유기막들은 일반적으로 사용되는 재료이면 모두 가능하다. The organic layers such as the light emitting layer, the hole injection layer, the hole transport layer, the electron injection layer, the electron transport layer may be used as long as they are generally used materials.

바람직하게는 상기 발광층으로는 적색발광재료인 Alq3(호스트)/DCJTB(형광도펀트), Alq3(호스트)/DCM(형광도펀트) 또는 CBP(호스트)/PtOEP(인광 유기금속 착 체) 등의 저분자 물질과 PFO계 고분자, PPV계 고분자 등의 고분자물질을 사용할 수 있으며, 녹색발광재료인 Alq3, Alq3(호스트)/C545t(도펀트) 또는 CBP(호스트)/IrPPy(인광 유기금속 착체) 등의 저분자 물질과 PFO계 고분자, PPV계 고분자 등의 고분자물질을 사용할 수 있다. 또한, 청색발광재료인 DPVBi, 스피로-DPVBi, 스피로-6P, 디스틸벤제(DSB) 또는 디스티릴아릴렌(DSA) 등의 저분자 물질과 PFO계 고분자, PPV계 고분자 등의 고분자물질을 사용할 수 있다. Preferably, the light emitting layer is a low molecular material such as Alq3 (host) / DCJTB (fluorescent dopant), Alq3 (host) / DCM (fluorescent dopant) or CBP (host) / PtOEP (phosphorescent organometallic complex) which is a red light emitting material. High molecular weight materials such as Alq3, Alq3 (host) / C545t (dopant) or CBP (host) / IrPPy (phosphorescent organometallic complex), which are green light emitting materials. Polymeric materials such as PFO-based polymers and PPV-based polymers can be used. In addition, low molecular weight materials such as DPVBi, Spiro-DPVBi, Spiro-6P, distilbene (DSB) or distyrylarylene (DSA), which are blue light emitting materials, and polymer materials such as PFO polymer and PPV polymer may be used. .

상기 정공주입층으로는 CuPc, TNATA, TCTA 또는 TDAPB와 같은 저분자와 PANI, PEDOT와 같은 고분자물질을 사용할 수 있으며, 정공수송층으로는 아릴아민계 저분자, 히드라존계 저분자, 스틸벤계 저분자, 스타버스트계 저분자로 NPB, TPD, s-TAD 또는 MTADATA 등의 저분자와 카바졸계 고분자, 아릴아민계 고분자, 페릴렌계 및 피롤계 고분자로 PVK와 같은 고분자물질을 사용할 수 있다. The hole injection layer may be a low molecule such as CuPc, TNATA, TCTA or TDAPB and a polymer such as PANI, PEDOT, and the hole transport layer may be an arylamine low molecule, hydrazone low molecule, stilbene low molecule, starburst low molecule. Low molecular weight such as NPB, TPD, s-TAD or MTADATA and carbazole-based polymers, arylamine-based polymers, perylene-based and pyrrole-based polymers may be used as a polymer such as PVK.

상기 전자수송층으로는 PBD, TAZ, 스피로(spiro)-PBD와 같은 고분자와 Alq3, BAlq, SAlq와 같은 저분자 물질을 사용할 수 있다. 또한, 상기 전자주입층으로는 Alq3, 갈륨 혼합물(Ga complex), PBD와 같은 저분자 물질이나 옥사디아졸계 고분자 물질을 사용할 수 있다.The electron transport layer may be a polymer such as PBD, TAZ, spiro (spiro) -PBD and a low molecular material such as Alq3, BAlq, SAlq. In addition, as the electron injection layer, a low molecular material such as Alq 3, a gallium mixture (Ga complex), PBD, or an oxadiazole-based polymer material may be used.

상기 전사층(75)의 형성은 일반적인 코팅 방법인 압출, 스핀, 나이프 코팅 방법, 진공 증착법 또는 CVD 등의 방법을 이용하여 100 내지 50,000Å 두께로 코팅한다. Formation of the transfer layer 75 is coated to a thickness of 100 to 50,000 kPa using a general coating method such as extrusion, spin, knife coating method, vacuum deposition method or CVD.

도 3은 본 발명의 실시예에 따른 유기전계발광소자의 제조방법을 설명하기 위한 단면도이다.3 is a cross-sectional view illustrating a method of manufacturing an organic light emitting display device according to an embodiment of the present invention.

도 3을 참고하면, 하부 전극(110)이 형성된 소자 기판(100)을 제공한다. 한편, 기재 필름(50) 상에 광-열 변환층(55), 수소화된 실리콘 등으로 형성된 버퍼층(65), 자기조립 단분자막(70) 및 전사층(75)을 차례로 적층하여 도너 기판(80)을 제조한다. 상기 버퍼층(65)을 적층하기 전에 상기 광-열 변환층(55) 상에는 중간층(60)이 더욱 적층될 수 있다. 상기 도너 기판(80)의 제조방법은 상기 실시예에 개시된 바와 같다.Referring to FIG. 3, the device substrate 100 having the lower electrode 110 is provided. Meanwhile, the donor substrate 80 is formed by sequentially laminating the light-to-heat conversion layer 55, the buffer layer 65 formed of hydrogenated silicon, and the like, and the self-assembled monolayer 70 and the transfer layer 75 on the base film 50. To prepare. Before stacking the buffer layer 65, an intermediate layer 60 may be further stacked on the light-to-heat conversion layer 55. The method of manufacturing the donor substrate 80 is as described in the above embodiment.

이어서, 상기 도너 기판(80)을 상기 소자 기판(100)으로부터 일정 간격 이격된 위치에 상기 도너 기판(80) 상에 형성된 전사층(75)이 상기 소자 기판(100)을 향하도록 배치하고, 상기 도너 기판(80)의 소정 영역에 레이저(95)를 조사하여 상기 자기조립 단분자막(70a) 및 전사층(75a)을 상기 하부 전극(110) 상으로 전사함으로써, 상기 하부 전극(110) 상에 자기조립 단분자막(70a) 및 전사층(75a)으로 이루어진 유기막 패턴(90)을 형성한다.Subsequently, the donor substrate 80 is disposed at a position spaced apart from the device substrate 100 so that the transfer layer 75 formed on the donor substrate 80 faces the device substrate 100. The laser 95 is irradiated to a predetermined region of the donor substrate 80 to transfer the self-assembled monolayer 70a and the transfer layer 75a onto the lower electrode 110, thereby forming a magnetic layer on the lower electrode 110. An organic film pattern 90 composed of the assembled monomolecular film 70a and the transfer layer 75a is formed.

상기 유기막 패턴(90)을 구성하는 전사층(75a)은 발광층, 정공주입층, 정공수송층, 전자수송층, 전자주입층 등의 유기막들로 이루어진 군에서 선택되는 1종의 단층막 또는 2종 이상의 다층막으로 형성될 수 있다. 상기 유기막들은 각각 저분자물질로 이루어진 것이 바람직하다. 한편, 상기 유기막에 대한 예시는 상기 실시예에 기술된 바와 같다.The transfer layer 75a constituting the organic layer pattern 90 is a single layer film or two kinds selected from the group consisting of organic films such as a light emitting layer, a hole injection layer, a hole transport layer, an electron transport layer, and an electron injection layer. It can be formed from the above multilayer film. Preferably, the organic layers are made of low molecular weight materials. On the other hand, examples of the organic film are as described in the above embodiment.

상기 하부 전극(110)은 애노드 전극이고, 상기 도너 기판(80)을 사용하여 상기 하부 전극(110) 상에 유기막 패턴(90) 즉, 발광층을 형성하는 경우, 상기 발광 층을 형성하기 전에 상기 하부 전극(110) 상에 정공주입층 및/또는 정공수송층을 스핀코팅 또는 진공증착을 사용하여 형성할 수 있다. 이어서, 상기 발광층 상에 전자수송층 및/또는 전자주입층을 LITI, 진공증착 또는 스핀코팅을 사용하여 형성할 수 있다. 이어서, 상기 전자수송층 및/또는 전자주입층 상에 캐소드 전극인 상부 전극(도시하지 않음)을 형성함으로써 유기전계발광소자를 완성한다.The lower electrode 110 is an anode, and when the organic layer pattern 90, that is, the light emitting layer is formed on the lower electrode 110 by using the donor substrate 80, before forming the light emitting layer, The hole injection layer and / or the hole transport layer may be formed on the lower electrode 110 by spin coating or vacuum deposition. Subsequently, an electron transport layer and / or an electron injection layer may be formed on the light emitting layer by using LITI, vacuum deposition, or spin coating. Subsequently, an organic light emitting device is completed by forming an upper electrode (not shown) which is a cathode electrode on the electron transport layer and / or the electron injection layer.

상술한 바와 같이 본 발명에 따르면, LITI로 유기막을 소자 기판 상으로 전사할 때 유발될 수 있는 유기막의 묻어남이나 뜯김 등의 문제를 해결하고 유기전계발광소자의 콘트라스트(contrast)를 높일 수 있으며 전사효율을 향상시킬 수 있고, 또한, 패턴 불량이 없는 양호한 패턴을 형성할 수 있다. As described above, according to the present invention, it is possible to solve problems such as burying or tearing of the organic film, which may be caused when the organic film is transferred onto the device substrate with LITI, and to increase the contrast of the organic light emitting device and to transfer the organic film. It is possible to improve the efficiency and to form a good pattern without a pattern defect.

Claims (13)

기재 필름;Base film; 상기 기재 필름 상에 위치한 광-열 변환층;A light-to-heat conversion layer on the base film; 상기 광-열 변환층 상에 위치한 버퍼층;A buffer layer on the light-to-heat conversion layer; 상기 버퍼층 상에 위치한 자기조립 단분자막; 및A self-assembled monolayer on the buffer layer; And 상기 자기조립 단분자막 상에 위치한 전사층을 포함하는 것을 특징으로 하는 도너 기판.And a transfer layer on the self-assembled monolayer. 제 1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 자기조립 단분자막은 알코올 리간드를 가진 유기분자로 형성하는 것을 특징으로 하는 도너 기판.The donor substrate, characterized in that the self-assembled monolayer is formed of an organic molecule having an alcohol ligand. 제 2항에 있어서,The method of claim 2, 상기 알코올 리간드를 가진 유기분자는 바이페닐-4-올(biphenyl-4-ol) 또는 p-터페닐-4-ol(p-terphenyl-4-ol)인 것을 특징으로 하는 도너 기판.The donor substrate, characterized in that the organic molecule having an alcohol ligand is biphenyl-4-ol (biphenyl-4-ol) or p-terphenyl-4-ol (p-terphenyl-4-ol). 제 1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 버퍼층은 수소화된 실리콘(hydrogenated silicon; Si-H)으로 형성하는 것을 특징으로 하는 도너 기판.The donor substrate, characterized in that the buffer layer is formed of hydrogenated silicon (Si-H). 제 1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 전사층은 저분자 물질을 포함하는 유기막들인 것을 특징으로 하는 도너 기판.The transfer layer is a donor substrate, characterized in that the organic film containing a low molecular material. 제 1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 광-열 변환층과 상기 버퍼층 사이에 개재된 중간층을 더욱 포함하는 것을 특징으로 하는 도너 기판.A donor substrate, further comprising an intermediate layer interposed between the light-to-heat conversion layer and the buffer layer. 제 6항에 있어서,The method of claim 6, 상기 중간층은 아크릴 수지(acrylic resin) 또는 알키드 수지(alkyd resin)로 형성하는 것을 특징으로 하는 도너 기판.A donor substrate, wherein the intermediate layer is formed of an acrylic resin or an alkyd resin. 기재 필름을 준비하고;Preparing a base film; 상기 기재 필름 상에 광-열 변환층을 형성하며;Forming a light-to-heat conversion layer on the base film; 상기 광-열 변환층 상에 버퍼층을 형성하고;Forming a buffer layer on the light-to-heat conversion layer; 상기 버퍼층 상에 자기조립 단분자막을 형성하며; Forming a self-assembled monolayer on the buffer layer; 상기 자기조립 단분자막 상에 전사층을 형성하는 것을 포함하는 것을 특징으로 하는 도너 기판의 제조 방법.And forming a transfer layer on the self-assembled monomolecular film. 제 8항에 있어서,The method of claim 8, 상기 자기조립 단분자막은 알코올 리간드를 가진 유기분자로 형성하는 것을 특징으로 하는 도너 기판의 제조 방법.The self-assembled monomolecular film is a method of manufacturing a donor substrate, characterized in that formed with an organic molecule having an alcohol ligand. 제 9항에 있어서,The method of claim 9, 상기 알코올 리간드를 가진 유기분자는 바이페닐-4-올(biphenyl-4-ol) 또는 p-터페닐-4-ol(p-terphenyl-4-ol)로 형성하는 것을 특징으로 하는 도너 기판의 제조방법.Preparation of a donor substrate, characterized in that the organic molecules having the alcohol ligand is formed of biphenyl-4-ol (biphenyl-4-ol) or p-terphenyl-4-ol (p-terphenyl-4-ol) Way. 제 8항에 있어서,The method of claim 8, 상기 버퍼층은 수소화된 실리콘(hydrogenated silicon;Si-H)으로 형성하는 것을 특징으로 하는 도너 기판의 제조 방법.The buffer layer is a method of manufacturing a donor substrate, characterized in that formed with hydrogenated silicon (Si-H). 제 8항에 있어서,The method of claim 8, 상기 버퍼층은 증착법을 이용하여 형성하는 것을 특징으로 하는 도너 기판의 제조 방법.The buffer layer is a method of manufacturing a donor substrate, characterized in that formed by the deposition method. 하부 전극이 형성된 소자 기판을 제공하고;Providing a device substrate on which a lower electrode is formed; 상기 소자 기판으로부터 이격되어 위치하고, 기재 필름, 상기 기재 필름 상에 광-열 변환층, 버퍼층, 알코올 리간드를 가진 유기분자로 형성된 자기조립 단분자막 및 전사층을 차례로 적층하여 제조한 도너 기판을 상기 전사층이 상기 소자 기판을 향하도록 배치하며;The transfer layer is a donor substrate, which is spaced apart from the device substrate, and is formed by sequentially stacking a base film, a light-to-heat conversion layer, a buffer layer, a self-assembled monomolecular film formed of organic molecules having an alcohol ligand, and a transfer layer on the base film. Arranged to face the device substrate; 상기 도너 기판의 소정 영역에 레이저를 조사하여 상기 알코올 리간드를 가진 유기분자로 형성된 자기조립 단분자막 및 전사층을 상기 하부 전극 상으로 전사하여 상기 하부 전극 상에 유기막 패턴을 형성하는 것을 포함하는 유기전계발광소의 제조 방법.Irradiating a laser to a predetermined region of the donor substrate to transfer a self-assembled monolayer and a transfer layer formed of organic molecules having an alcohol ligand onto the lower electrode to form an organic layer pattern on the lower electrode. Method for producing a light source.
KR1020060062695A 2006-07-04 2006-07-04 Donor substrate and method of fabricating oled using the same KR100731768B1 (en)

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일본공개공보 특개2002-280174
한국공개공보 10-2005-63534

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