KR100716809B1 - A PCB using the ACF and manufacturing method thereof - Google Patents

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Abstract

본 발명은 이방전도성필름으로 형성된 코어층에서 비아홀 대응 부분을 가열가압하여 비아홀을 형성하지 않고도 층간 전기적 연결을 구현하여 단위면적당 회로의 밀집도를 크게 향상시킴은 물론, 내부 비아홀로 인해 유발하는 신호 지연을 대폭 감소시킴으로써 인쇄회로기판의 전기적 성능을 향상시킨 이방전도성필름을 이용한 인쇄회로기판 및 그 제조방법에 관한 것이다.The present invention implements electrical connection between layers without forming via holes by heating and pressing a via hole corresponding portion in a core layer formed of an anisotropic conductive film, thereby greatly improving the density of circuits per unit area, as well as reducing signal delay caused by internal via holes. The present invention relates to a printed circuit board using an anisotropic conductive film which greatly improves electrical performance of a printed circuit board, and a method of manufacturing the same.

이방전도성필름, 인쇄회로기판, 동박층, 도금층, 레지스트 패턴 Anisotropic conductive film, printed circuit board, copper foil layer, plating layer, resist pattern

Description

이방전도성필름을 이용한 인쇄회로기판 및 그 제조방법{A PCB using the ACF and manufacturing method thereof}A printed circuit board using an anisotropic conductive film and a method for manufacturing the same {A PCB using the ACF and manufacturing method}

도 1a 내지 1l은 종래의 빌드-업 방식으로 형성된 다층 인쇄회로기판의 제조방법을 도시한 공정도이다.1A to 1L are process diagrams illustrating a method of manufacturing a multilayer printed circuit board formed by a conventional build-up method.

도 2는 종래의 빌드-업 방식으로 형성된 다층 인쇄회로기판에 있어서 내부 비아홀의 사시도이다.2 is a perspective view of an inner via hole in a multilayer printed circuit board formed by a conventional build-up method.

도 3은 본 발명에 따른 이방전도성필름을 이용한 인쇄회로기판의 단면도이다.3 is a cross-sectional view of a printed circuit board using an anisotropic conductive film according to the present invention.

도 4a 내지 4h는 본 발명의 제1실시예에 따른 이방전도성필름을 이용한 양층 인쇄회로기판의 제조방법을 도시한 공정도이다.4A to 4H are process charts illustrating a method of manufacturing a two-layer printed circuit board using an anisotropic conductive film according to a first embodiment of the present invention.

도 5a 내지 5j는 본 발명의 제2실시예에 따른 이방전도성필름을 이용한 다층 인쇄회로기판의 제조방법을 도시한 공정도이다.5A to 5J are process charts illustrating a method of manufacturing a multilayer printed circuit board using an anisotropic conductive film according to a second embodiment of the present invention.

도 6a 내지 6j는 본 발명의 제3실시예에 따른 이방전도성필름을 이용한 다층 인쇄회로기판의 제조방법을 도시한 공정도이다.6A to 6J are process diagrams illustrating a method of manufacturing a multilayer printed circuit board using an anisotropic conductive film according to a third embodiment of the present invention.

* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 * Explanation of symbols on the main parts of the drawings

110, 210, 260, 310 : 이방전도성필름 120, 220, 270, 320 : 동박층110, 210, 260, 310: Anisotropic conductive film 120, 220, 270, 320: Copper foil layer

130 : 에칭 레지스트 패턴 140, 230, 330 : 내층 회로패턴130: etching resist pattern 140, 230, 330: inner circuit pattern

150, 390 : 레지스트 패턴 160, 340 : 연결선 패턴150, 390: resist pattern 160, 340: connecting line pattern

170, 300, 410: 솔더레지스트 패턴 240 : 제1 연결선 패턴170, 300, and 410: solder resist pattern 240: first connection line pattern

250, 350 : 베이스 기판 280, 400 : 외층 회로패턴250, 350: base substrate 280, 400: outer circuit pattern

290 : 제2 연결선 패턴 360 : 절연층290: second connection line pattern 360: insulating layer

370 : 블라인드 비아홀 380 : 시드층370: blind via hole 380: seed layer

본 발명은 인쇄회로기판 및 그 제조방법에 관한 것이다.The present invention relates to a printed circuit board and a method of manufacturing the same.

보다 구체적으로는, 이방전도성필름에 비아홀 대응 부분을 가열가압하여 비아홀을 형성하지 않고도 층간 전기적 연결이 가능한 이방정전도필름을 이용한 인쇄회로기판 및 그 제조방법에 관한 것이다. More specifically, the present invention relates to a printed circuit board using an anisotropic conductive film capable of electrically connecting layers without forming via holes by heating and pressing a corresponding portion of the via hole in the anisotropic conductive film, and a method of manufacturing the same.

전자제품이 소형화, 박판화, 고밀도화, 팩키지(package)화 및 개인휴대화로 경박 단소화되는 추세에 따라 다층 인쇄회로기판 역시 미세패턴(fine pattern)화, 소형화 및 팩키지화가 동시에 진행되고 있다. 이에 다층 인쇄회로기판의 미세패턴 형성, 신뢰성 및 설계밀도를 높이기 위해 원자재의 변경과 함께 회로의 층구성을 복합화하는 구조로 변화하는 추세이고, 부품 역시 DIP(Dual In-Line Package) 타입에서 SMT(Surface Mount Technology) 타입으로 변경되면서 그 실장밀도 역시 높아지고 있는 추세이다. 또한 전자기기의 휴대화와 더불어 고기능화, 인터넷, 동영 상, 고용량의 데이터 송수신 등으로 인쇄회로기판의 설계가 복잡해지고 고난이도의 기술을 요하게 된다.As electronic products become smaller and thinner, thinner, denser, more compact, and smaller in size, more and more, multilayer printed circuit boards are also undergoing fine patterns, miniaturization, and packaging. Accordingly, in order to increase the micropattern formation, reliability, and design density of multilayer printed circuit boards, there is a tendency to change the structure of the multilayer structure of the circuit together with the change of raw materials, and the parts are also SMT (Dual In-Line Package) type. As the surface mount technology type is changed, the mounting density is also increasing. In addition to the portableization of electronic devices, the design of printed circuit boards is complicated and requires high-level technology due to high functionalization, the Internet, video, and transmission and reception of high-capacity data.

인쇄회로기판에는 절연기판의 한쪽 면에만 배선을 형성한 단면 PCB, 양쪽 면에 배선을 형성한 양면 PCB 및 다층으로 배선한 MLB(다층 인쇄회로기판;Multi Layered Board)가 있다. 과거에는 부품 소자들이 단순하고 회로 패턴도 간단하여 단면 PCB를 사용하였으나, 최근에는 회로의 복잡도 증가하고 고밀도 및 소형화 회로에 대한 요구가 증가하여 대부분 양면 PCB 또는 MLB를 사용하는 것이 일반적이다. The printed circuit board includes a single-sided PCB in which wiring is formed only on one side of the insulated substrate, a double-sided PCB in which wiring is formed on both sides, and an MLB (Multi Layered Board) that is wired in multiple layers. In the past, single-sided PCBs were used because of simple components and simple circuit patterns. However, in recent years, due to increased complexity of circuits and increased demand for high-density and miniaturized circuits, it is common to use double-sided PCBs or MLBs.

MLB는 배선 영역을 확대하기 위해 배선이 가능한 층을 추가로 형성한 것이다. 구체적으로, MLB는 내층과 외층으로 구분되며 내층의 재료로서 박판코어(Thin Core; T/C)를 사용하고, 외층과 내층을 프리프레그로 접착한 구조의 4층 MLB(내층 2층, 외층 2층)가 기본이다. 즉, 다층 인쇄회로기판은 최소 4층 이상이다. 회로의 복잡도 증가에 따라 6층,8층,10층 이상으로 구성되기도 한다. The MLB is an additional wiring layer formed to enlarge the wiring area. Specifically, the MLB is divided into an inner layer and an outer layer, and a four-layer MLB (two inner layers, two outer layers) having a thin core (T / C) as a material of the inner layer, and a prepreg bonded to the outer layer and the inner layer. Floor). That is, the multilayer printed circuit board has at least four layers. As the complexity of the circuit increases, it may be composed of six, eight, and ten or more layers.

이하, 도 1을 참조하여 종래의 빌드업 방식에 의하여 형성되는 다층 인쇄회로기판의 제조공정을 상세하게 설명한다.Hereinafter, a manufacturing process of a multilayer printed circuit board formed by a conventional build-up method will be described in detail with reference to FIG. 1.

여기서, 빌드업 방식이란 회로패턴이 형성되는 내층을 형성하고, 그 위에 추가적으로 외층들을 한층씩 쌓아나가는 방식의 제조방법을 말한다.Here, the build-up method refers to a manufacturing method of forming an inner layer where a circuit pattern is formed, and additionally stacking outer layers one by one.

먼저, 도 1a에 도시된 바와 같이, 절연층(13)을 개재하여 양면에 박막의 동박(12)이 형성된 동박적층원판(CCL;Copper Clad Laminate)(11)을 제공한다.First, as shown in FIG. 1A, a copper clad laminate (CCL; Copper Clad Laminate) 11 having a thin copper foil 12 formed on both surfaces thereof is provided through an insulating layer 13.

여기서, 동박적층원판(11)은 일반적으로 인쇄회로기판이 제조되는 원판으로 절연층에 얇게 구리를 입힌 얇은 적층판으로서, 그 용도에 따라 유리/에폭시 동박적층판, 내열수지 동박적층판, 종이/페놀 동박적층판, 고주파용 동박적층판, 플렉시블 동박적층판(폴리이미드 필름) 및 복합 동박적층판 등 여러 가지가 있으나, 양면 PCB 및 다층 PCB 제작에는 주로 유리/에폭시 동박 적층판이 사용된다.Here, the copper clad laminate 11 is a thin plate coated with a thin copper layer on an insulating layer, which is generally a printed circuit board, and is made of glass / epoxy copper clad laminate, heat-resistant resin copper clad laminate, and paper / phenol copper clad laminate according to its use. There are many kinds of high frequency copper clad laminates, flexible copper clad laminates (polyimide films) and composite copper clad laminates, but glass / epoxy copper clad laminates are mainly used for double-sided PCBs and multilayer PCBs.

이후, 도1b에 도시된 바와 같이, 상기 동박적층원판(11)에 드릴링 가공에 의해 내부 비아홀(14)을 형성한다.Thereafter, as illustrated in FIG. 1B, an inner via hole 14 is formed in the copper clad laminate 11 by drilling.

여기서, 내부 비아홀(14)은 동박적층원판(11) 상·하부를 전기적으로 연결시키게 된다. Here, the inner via hole 14 electrically connects the upper and lower portions of the copper-clad laminate 11.

상술한 바와 같이, 동박적층원판(11)에 내부 비아홀(14)을 형성한 후, 도1c에 도시된 바와 같이, 상기 동박층 및 비아홀에 대한 무전해 동도금 및 전해 동도금을 수행하여 동도금층(15)을 형성한다.As described above, after forming the inner via hole 14 in the copper-clad laminate 11, as shown in Figure 1c, the electroplated copper plating and electrolytic copper plating for the copper foil layer and the via hole to perform a copper plating layer (15) ).

비아홀(14)에 형성된 동도금층(15)은 층간 전기가 흐르도록 해주고, 동박층에 형성된 동도금층(15)은 동박층과 함께 내부 회로패턴을 형성하게 된다.The copper plating layer 15 formed in the via hole 14 allows interlayer electricity to flow, and the copper plating layer 15 formed in the copper foil layer forms an internal circuit pattern together with the copper foil layer.

여기서, 무전해 동도금을 먼저 행하고 그 다음 전해 동도금을 행하는 이유는 절연층 위에서는 전기가 필요한 전해 동도금을 실시할 수 없기 때문이다. 즉, 전해 동도금에 필요한 도전성 막을 형성시켜주기 위해서 그 전처리로서 얇게 무전해 동도금을 한다. 무전해 동도금은 처리가 어렵고 경제적이지 못한 단점이 있기 때문에, 회로 패턴의 도전성 부분은 전해 동도금으로 형성하는 것이 바람직하다.Here, electroless copper plating is performed first and then electrolytic copper plating is performed because electrolytic copper plating that requires electricity cannot be performed on the insulating layer. That is, in order to form the electroconductive film required for electrolytic copper plating, electroless copper plating is thinly performed as the pretreatment. Since electroless copper plating has a disadvantage in that it is difficult to process and economical, it is preferable to form the conductive portion of the circuit pattern by electrolytic copper plating.

상술한 바와 같이 무전해 및 전해 동도금을 수행한 후, 도 1d에 도시된 바와 같이, 비아홀(14)의 내벽에 형성된 무전해 및 전해 동도금층(15)을 보호하기 위해 상기 비아홀의 내부 영역에 매립용 잉크(16)를 충진한다. After the electroless and electrolytic copper plating is performed as described above, as shown in FIG. 1D, the electroless and electrolytic copper plating layer 15 formed on the inner wall of the via hole 14 is embedded in the inner region of the via hole to protect the electroless and electrolytic copper plating layer 15. The ink 16 is filled.

여기서, 매립용 잉크(16)는 일반적으로 절연성 잉크재질의 페이스트가 사용되나, 인쇄회로기판의 사용 목적에 따라 도전성 페이스트도 사용될 수 있다. 도전성 페이스트는 주성분이 Cu, Ag, Au, Sn, Pb 등의 금속을 단독 또는 합금 형식으로 유기 접착제와 함께 혼합한 것이다. Here, the embedding ink 16 is generally used as an insulating ink paste, but a conductive paste may also be used depending on the purpose of the printed circuit board. The conductive paste is obtained by mixing a metal such as Cu, Ag, Au, Sn, Pb as a main component alone or in an alloy form with an organic adhesive.

이때, 매립용 잉크 충진 대신 필 도금을 수행하여 비아홀을 매립할 수 있다. In this case, the via hole may be filled by performing peel plating instead of filling the filling ink.

이후, 도 1e에 도시된 바와 같이, 내층 회로의 회로 패턴 형성을 위한 에칭 레지스트 패턴(17)을 형성한다. Thereafter, as shown in FIG. 1E, an etching resist pattern 17 for forming a circuit pattern of the inner layer circuit is formed.

에칭 레지스트 패턴(17)을 형성하기 위해서는 마스크에 인쇄된 회로 패턴을 기판 상에 전사하여야 한다. 전사하는 방법에는 여러 가지 방법이 있으나, 가장 흔히 사용되는 방법으로는 감광성의 드라이 필름을 사용하여 자외선에 의해 마스크에 인쇄된 회로 패턴을 드라이 필름으로 전사하는 방식이다. 최근에는 드라이 필름 대신에 LPR(Liquid Photo Resist)을 사용하기도 한다.In order to form the etching resist pattern 17, the circuit pattern printed on the mask must be transferred onto the substrate. There are various methods for transferring, but the most commonly used method is a method of transferring a circuit pattern printed on a mask by ultraviolet light to a dry film using a photosensitive dry film. Recently, LPR (Liquid Photo Resist) is used instead of dry film.

회로 패턴이 전사된 드라이 필름 또는 LPR은 에칭 레지스트(17)로서 역할을 하게 되고, 기판을 에칭액에 담궈 주면, 도1f에 도시된 바와 같이, 에칭 레지스트 패턴(17)이 형성되지 않은 영역의 동박층(15)이 제거되어 내층 회로 패턴을 형성하게 된다.The dry film or LPR to which the circuit pattern is transferred serves as the etching resist 17, and when the substrate is immersed in the etching solution, as shown in FIG. 1F, the copper foil layer in the region where the etching resist pattern 17 is not formed. (15) is removed to form an inner layer circuit pattern.

상술한 바와 같이 회로패턴을 형성한 후, 도1g에 도시된 바와 같이, 기판의 양면에 절연층(18) 또는 RCC(Resin Coated Copper)을 사용하여 적층한다.After forming the circuit pattern as described above, as shown in Figure 1g, by using an insulating layer 18 or Resin Coated Copper (RCC) on both sides of the substrate.

본 발명서에는 절연층을 사용하여 형성하는 방법에 대하여 설명한다. In this invention, the method to form using an insulating layer is demonstrated.

이후, 도1h에 도시된 바와 같이, 내층과 외층간의 접기 접속 역할을 하는 블라인드 비아홀(19)을 가공한다. Thereafter, as shown in FIG. 1H, the blind via hole 19 serving as a folding connection between the inner layer and the outer layer is processed.

이때, 블라인드 비아홀(19)은 기계적 드릴링을 사용할 수도 있으나, 관통홀을 가공할 때보다 정밀한 가공을 요하므로 YAG(Yttrium Aluminum Garnet)레이저나 CO2 레이저를 이용하는 것이 바람직하다. YAG 레이저는 동박층 및 절연층 모두를 가공할 수 있는 레이저이고, CO2 레이저는 절연층만 가공할 수 있는 레이저이다.In this case, the blind via hole 19 may use mechanical drilling, but it is preferable to use YAG (Yttrium Aluminum Garnet) laser or CO2 laser because it requires more precise processing than when processing the through hole. The YAG laser is a laser capable of processing both a copper foil layer and an insulating layer, and the CO2 laser is a laser capable of processing only an insulating layer.

상술한 바와 같이 블라인드 비아홀(19)을 가공한 후, 도 1i에 도시된 바와 같이 무전해 도금으로 시드층(20)을 형성한다.After the blind via hole 19 is processed as described above, the seed layer 20 is formed by electroless plating as shown in FIG. 1I.

여기서, 고밀도의 미세 회로패턴을 형성하기 위해서는 시드층(20)을 구성하는 무전해 도금층의 두께를 낮게 형성한다.Here, in order to form a high-density fine circuit pattern, the thickness of the electroless plating layer constituting the seed layer 20 is low.

이후 도 1j에 도시된 바와 같이, 시드층(20) 상에 사진식각공정을 이용하여 레지스트 패턴(21)을 형성한다. Thereafter, as shown in FIG. 1J, the resist pattern 21 is formed on the seed layer 20 using a photolithography process.

상술한 바와 같이 레지스트 패턴(21)을 형성한 후, 도 1k에 도시된 바와 같이 동도금을 수행하고, 레지스트 패턴(21)을 박리한 후 오픈된 시드층(20)을 제거하여 외층 회로패턴(22)을 형성한다.After the resist pattern 21 is formed as described above, copper plating is performed as shown in FIG. 1K, the resist pattern 21 is peeled off, and the open seed layer 20 is removed to remove the outer circuit pattern 22. ).

이후, 도 1l에 도시된 바와 같이, 솔더레지스트를 도포하고 건조한 후 마스크를 밀착하고 노광 및 현상을 행하여 솔더레지스트 패턴(23)을 원판 상·하부에 형성함으로써 빌드-업 방식의 다층 인쇄회로기판을 완성한다. Thereafter, as shown in FIG. 1L, the solder resist is coated and dried, the mask is closely adhered, the exposure and development are performed, and the solder resist pattern 23 is formed on the upper and lower portions of the original board to form a build-up multilayer printed circuit board. Complete

상술한 바와 같은 동박적층원판(CCL)에 드릴링 가공으로 비아홀을 형성한 후 상·하면에 빌드-업 층을 형성하는 인쇄회로기판의 제조방법에 있어서는, 내부 비 아홀의 피치(pitch)를 줄이는데 한계가 있어, 내부 비아홀의 수가 제한적인 문제점이 있었다.In the method of manufacturing a printed circuit board in which a via-hole is formed in the above-described copper clad laminate (CCL) by drilling, and a build-up layer is formed on the upper and lower surfaces, there is a limit to reducing the pitch of the internal via hole. There was a problem that the number of internal via holes is limited.

또한, 상술한 바와 같은 인쇄회로기판의 제조방법에 있어서는, 도 2에 도시된 바와 같이 내부 비아홀(14)의 연결 길이가 동박적층원판 두께만큼 길고, 단면적이 도우넛 형상으로 되어 있어 층간 전기적 연결이 길어지고 신뢰성이 떨어지는 문제점이 있었다.In addition, in the method of manufacturing a printed circuit board as described above, as shown in FIG. 2, the connection length of the inner via hole 14 is as long as the thickness of the copper-clad laminate, and the cross-sectional area is a donut shape, so that the electrical connection between layers is long. There was a problem of losing reliability.

또한, 상술한 바와 같은 인쇄회로기판의 제조방법에 있어서는, 내부 비아홀의 스택 비아(Stack via) 구현을 위하여 비아홀 내부를 도전성 매립용 잉크로 충진하거나, 캡(Cap) 도금 형성과 같은 부가적인 공정이 요구되어 인쇄회로기판의 제조 공정이 복잡해지고 비용이 증가하는 문제점이 있었다. In addition, in the method of manufacturing a printed circuit board as described above, in order to implement a stack via of the inner via hole, an additional process such as filling the via hole with conductive filling ink or forming a cap plating is performed. There has been a problem that the manufacturing process of the printed circuit board is complicated and the cost is increased.

본 발명은 상술한 바와 같은 문제를 해결하기 위하여, 비아홀 및 회로패턴의 파인 피치를 구현하고 비아홀 수에 제한 받지 않는 이방전도성필름을 이용한 인쇄회로기판 및 그 제조방법을 제공하는데 있다.The present invention provides a printed circuit board using an anisotropic conductive film that implements fine pitch of via holes and circuit patterns and is not limited to the number of via holes in order to solve the problems as described above, and a method of manufacturing the same.

본 발명에 따른 이방전도성필름을 이용한 인쇄회로기판은 내부 비아홀 대응 부분에서 수직방향으로 전기적 도통이 되는 이방전도성필름층, 상기 이방전도성필름층 상에 형성되고 상기 내부 비아홀 대응 부분에 의해 층간 전기적 도통이 되는 회로층, 및 상기 회로층 상에서 내부 비아홀 대응 부분에 형성된 도금층을 포함하는 것을 특징으로 한다.The printed circuit board using the anisotropic conductive film according to the present invention is an anisotropic conductive film layer which is electrically conductive in a vertical direction at an inner via hole corresponding portion, and is formed on the anisotropic conductive film layer and interlayer electrical conduction is formed by the inner via hole corresponding portion. And a plating layer formed on an inner via hole corresponding portion on the circuit layer.

또한, 본 발명에 따른 이방전도성필름을 이용한 양층 인쇄회로기판 제조방법은 상·하부에 동박층이 형성된 이방전도성필름에 사진식각공정을 이용하여 회로패턴을 형성하는 제1단계, 상기 회로패턴 상에 비아홀 대응 부분에 따른 레지스트 패턴을 형성하는 제2단계, 상기 레지스트 패턴 사이에 형성된 함몰부에 동도금을 수행한 후 레지스트 패턴을 제거하여 돌출된 도금층을 형성하는 제3단계, 및 상기 돌출된 도금층을 가열가압하여 이에 대응하는 이방전도성필름 부분을 수직으로 전기적 도통시키는 제4단계를 포함한 것을 특징으로 한다.In addition, a method of manufacturing a two-layer printed circuit board using an anisotropic conductive film according to the present invention is a first step of forming a circuit pattern using a photolithography process on an anisotropic conductive film having a copper foil layer formed on top and bottom, on the circuit pattern A second step of forming a resist pattern according to a corresponding portion of the via hole, a third step of forming a protruding plating layer by removing the resist pattern after copper plating the recesses formed between the resist patterns, and heating the protruding plating layer And a fourth step of vertically electrically conducting an anisotropic conductive film portion corresponding thereto by pressing.

또한, 본 발명에 따른 이방전도성필름을 이용한 다층 인쇄회로기판은 상·하부에 동박층이 형성된 제1 이방전도성필름에 사진식각공정을 이용하여 내층 회로패턴을 형성하는 제1단계, 상기 내층 회로패턴 상에 내부 비아홀 대응 부분에 따른 레지스트 패턴을 형성하는 제2단계, 상기 레지스트 패턴 사이에 형성된 함몰부에 동도금을 수행한 후 레지스트 패턴을 박리하여 돌출된 도금층을 형성하는 제3단계, 상기 돌출된 도금층을 가열가압하여 이에 대응하는 이방전도성필름 부분을 수직으로 도통시켜 베이스 기판을 완성하는 제4단계, 상기 베이스 기판 상·하부에 제2 이방전도성필름을 적층하고 제2 이방전도성필름 상에 동박층을 적층하여 사진식각공정으로 외층 회로패턴을 형성하는 제5단계, 상기 외층 회로패턴 상에 블라인드 비아홀 대응 부분에 따른 도금층을 사진식각공정으로 형성하는 제6단계, 상기 형성된 도금층을 가열가압하여 이에 대응하는 제2 이방전도성필름 부분을 수직으로 도 통시키는 제7단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.In addition, in the multilayer printed circuit board using the anisotropic conductive film according to the present invention, a first step of forming an inner circuit pattern using a photolithography process on a first anisotropic conductive film having copper foil layers formed on upper and lower portions thereof, and the inner circuit pattern A second step of forming a resist pattern according to an inner via hole corresponding portion on the third step; a third step of forming a protruding plating layer by peeling the resist pattern after copper plating is performed on the depressions formed between the resist patterns, and the protruding plating layer The fourth step of completing a base substrate by vertically conducting a portion of the anisotropic conductive film corresponding thereto by heating and pressing the second substrate, and laminating a second anisotropic conductive film on the upper and lower portions of the base substrate, and forming a copper foil layer on the second anisotropic conductive film. Stacking and forming an outer circuit pattern by a photolithography process, and forming a blind via hole on the outer circuit pattern. That is heated to a sixth step, the formed plating layer to form a plated layer with another photolithography process pressure comprises a seventh step of FIG barrel 2 as an anisotropic conductive film portion perpendicular to corresponding features.

또한, 본 발명에 따른 이방전도성필름을 이용한 다층 인쇄회로기판 제조방법은 상·하부에 동박층이 형성된 이방전도성필름에 사진식각공정을 이용하여 내층 회로패턴을 형성하는 제1단계, 상기 내층 회로패턴 상에 비아홀 대응 부분에 따른 레지스트 패턴을 형성하는 제2단계, 상기 레지스트 패턴 사이에 형성된 함몰부에 동도금을 수행한 후 레지스트 패턴을 제거하여 돌출된 도금층을 형성하는 제3단계, 상기 돌출된 도금층을 가열가압하여 이에 대응하는 이방전도성필름 부분을 수직으로 도통시켜 베이스 기판을 완성하는 제4단계, 상기 베이스 기판 상·하부에 절연층을 적층하고 블라인드 비아홀을 형성하는 제5단계, 및 상기 절연층 상에 시드층을 형성하고 세미-어디티브(Semi-additive) 방식으로 외층 회로패턴을 형성하는 제6단계를 포함하는 것을 특징으로 한다. In addition, in the method of manufacturing a multilayer printed circuit board using the anisotropic conductive film according to the present invention, a first step of forming an inner circuit pattern using a photolithography process on an anisotropic conductive film having copper foil layers formed on upper and lower portions thereof, and the inner circuit pattern A second step of forming a resist pattern according to a corresponding portion of the via hole on the second hole; a third step of forming a protruding plating layer by removing the resist pattern after copper plating the recesses formed between the resist patterns; A fourth step of completing a base substrate by vertically conducting a portion of the anisotropic conductive film corresponding thereto by heating and pressing, a fifth step of stacking an insulating layer on upper and lower portions of the base substrate and forming a blind via hole, and on the insulating layer Forming a seed layer thereon and forming an outer circuit pattern in a semi-additive manner. And a gong.

이하, 첨부도면을 참조하여 본 발명에 따른 이방전도성필름을 이용한 인쇄회로기판 및 그 제조방법에 대하여 상세하게 설명한다.Hereinafter, a printed circuit board using the anisotropic conductive film according to the present invention and a manufacturing method thereof will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

먼저, 도 3을 참조하여 본 발명에 따른 이방전도성필름을 이용한 인쇄회로기판의 구성을 설명한다.First, a configuration of a printed circuit board using an anisotropic conductive film according to the present invention will be described with reference to FIG. 3.

본 발명에 따른 이방전도성필름을 이용한 인쇄회로기판은 이방전도성필름층(110), 회로층(140), 및 도금층(160)으로 구성되어 있다. The printed circuit board using the anisotropic conductive film according to the present invention is composed of an anisotropic conductive film layer 110, a circuit layer 140, and a plating layer 160.

이방전도성필름층(110)은 이방전도성필름으로 형성되어 비아홀 없이 부분 가열가압에 의해 수직으로 전기적 도통이 되는 구간을 포함하고 있다. The anisotropic conductive film layer 110 is formed of an anisotropic conductive film and includes a section in which electrical conduction is performed vertically by partial heating pressure without via holes.

이방전도성필름은 절연 접착 필름 내에 도전성 입자가 분산되어 있는 구조이 며, 가열가압을 받으면 전극 방향으로만 통전이 되고 전극과 전극 사이에서는 절연 기능을 갖는 이방성의 전기전도도 특성을 갖는다. The anisotropic conductive film has a structure in which conductive particles are dispersed in an insulating adhesive film, and when heated and pressurized, the anisotropic conductive film is energized only in the direction of the electrode and has an anisotropic electrical conductivity having an insulating function between the electrode and the electrode.

또한, 이방전도성필름은 이방성의 전기전도도 특성에 따라 TV나 컴퓨터에 사용되는 액정표시장치(LCD)용 구동 회로칩과 LCD 패널을 연결하는 실장기술에 주로 사용되고 있다. In addition, anisotropic conductive films are mainly used in mounting technology for connecting LCD panels and driving circuit chips for LCDs used in TVs and computers according to anisotropic electrical conductivity characteristics.

회로층(140)은 이방전도성필름층(110) 상·하부에 동박으로 형성되어 도금층과 접한 부분이 가압으로 인해 이방전도성필름층(110) 쪽으로 일정정도 눌려져 있다. The circuit layer 140 is formed of copper foil on the upper and lower portions of the anisotropic conductive film layer 110, and the portion in contact with the plating layer is pressed toward the anisotropic conductive film layer 110 by pressing.

도금층(160)은 회로층(140) 상의 비아홀 패턴에 동박으로 형성되고 가압으로 인해 회로층(140) 쪽으로 일정정도 눌려져 있다.The plating layer 160 is formed of copper foil in the via hole pattern on the circuit layer 140, and is pressed toward the circuit layer 140 by pressing.

도 4를 참조하여 본 발명의 제1실시예에 따른 이방전도성필름을 이용한 양층 인쇄회로기판의 제조방법을 설명한다.A method of manufacturing a two-layer printed circuit board using an anisotropic conductive film according to a first embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. 4.

먼저, 도 4a에 도시된 바와 같이 이방전도성필름(Anisotropic Conductive Film)(110)을 제공한다.First, as shown in FIG. 4A, an anisotropic conductive film 110 is provided.

이방전도성필름(110)은 절연 접착 필름 내에 도전성 입자가 분산되어 있는 구조이며, 가열가압을 받으면 전극 방향으로만 통전이 되고 전극과 전극 사이에서는 절연 기능을 갖는 이방성의 전기전도도 특성을 갖는다.  The anisotropic conductive film 110 has a structure in which conductive particles are dispersed in the insulating adhesive film, and when heated and pressurized, the anisotropic conductive film 110 is energized only in the direction of the electrode and has an anisotropic electrical conductivity having an insulating function between the electrode and the electrode.

도전성 입자는 기본적으로 니켈(Ni), 금/폴리머(Au/polymaer), 은(Ag) 등으로 이루어져있고, 절연물질은 열경화성, 열가소성의 절연수지(insulating resin)로 구성되어 있다. The conductive particles basically consist of nickel (Ni), gold / polymer (Au / polymaer), silver (Ag) and the like, and the insulating material is composed of a thermosetting and thermoplastic insulating resin.

또한, 이방전도성필름(110)은 이방성의 전기전도도 특성에 따라 TV나 컴퓨터에 사용되는 액정표시장치(LCD)용 구동 회로칩과 LCD 패널을 연결하는 실장기술에 주로 사용되고 있다. In addition, the anisotropic conductive film 110 is mainly used in a mounting technology for connecting an LCD panel and a driving circuit chip for a liquid crystal display (LCD) used in a TV or a computer according to anisotropic electrical conductivity characteristics.

이후, 도 4b에 도시된 바와 같이, 이방전도성필름(110) 상·하부에 동박층(120)을 개재한다.Thereafter, as shown in FIG. 4B, the copper foil layer 120 is interposed between upper and lower portions of the anisotropic conductive film 110.

동박층(120)은 후술되는 회로패턴을 형성하기 위한 것으로, 얇은 동박을 접착하여 형성한다.The copper foil layer 120 is for forming the circuit pattern mentioned later, and is formed by adhering a thin copper foil.

이때, 동박층(120) 대신 석출반응을 이용하여 이방전도성필름(110)에 무전해 동도금을 행한후, 전기분해에 의한 전해 동도금을 수행하여 도금층을 이용할 수 있다. In this case, after the electroless copper plating is performed on the anisotropic conductive film 110 using a precipitation reaction instead of the copper foil layer 120, electrolytic copper plating may be performed by electrolysis to use a plating layer.

무전해 동도금과 전해 동도금을 함께 수행하는 이유는 무전해 동도금만으로는 두께가 얇고 물성이 떨어져 그대로 사용할 수 없을 뿐만 아니라, 전해 동도금에 필요한 도전성 막을 무전해 동도금막이 형성시켜주기 때문이다.The reason why electroless copper plating and electrolytic copper plating are performed together is that electroless copper plating alone cannot be used as it is because of its thin thickness and physical properties, and the electroless copper plating film forms a conductive film required for electrolytic copper plating.

상술한 바와 같이, 이방전도성필름(110) 상·하부에 동박층(120)을 개재한 후, 도 4c에 도시된 바와 같이 회로패턴 형성을 위한 에칭 레지스트 패턴(130)을 형성한다.As described above, after the copper foil layer 120 is interposed between the upper and lower portions of the anisotropic conductive film 110, an etching resist pattern 130 for forming a circuit pattern is formed as shown in FIG. 4C.

여기서, 에칭 레지스트 패턴(130)을 형성하기 위해서는 마스크에 인쇄된 회로패턴을 기판 상에 전사하여야 한다. 전사하는 방법에는 여러 가지 방법이 있으나, 가장 흔히 사용되는 방법으로는 감광성의 드라이 필름을 사용하여 자외선에 의해 마스크에 인쇄된 회로패턴을 드라이 필름으로 전사하는 방식이다.Here, in order to form the etching resist pattern 130, the circuit pattern printed on the mask must be transferred onto the substrate. There are various methods for transferring, but the most commonly used method is a method of transferring a circuit pattern printed on a mask by ultraviolet light to a dry film using a photosensitive dry film.

이후, 도 4d에 도시된 바와 같이 동박 에칭을 수행하고 에칭 레지스트 패턴(130)을 제거하여 회로패턴을 형성한다.Thereafter, as shown in FIG. 4D, copper foil etching is performed and the etching resist pattern 130 is removed to form a circuit pattern.

즉, 회로패턴이 전사된 드라이 필름은 에칭 레지스트로서 역할을 하게 되어, 동박에 대한 에칭 처리를 수행하는 경우 에칭 레지스트 패턴(103)이 형성되지 않은 영역의 동박층(120)이 제거되어 소정 형상의 회로패턴(140)을 제공하게 된다.That is, the dry film to which the circuit pattern is transferred serves as an etching resist. When the etching process is performed on the copper foil, the copper foil layer 120 in the region where the etching resist pattern 103 is not formed is removed to have a predetermined shape. The circuit pattern 140 is provided.

상술한 바와 같이, 회로패턴을 형성한 후, 도 4e에 도시된 바와 같이 연결선 패턴을 위한 레지스트 패턴(150)을 형성한다.As described above, after the circuit pattern is formed, the resist pattern 150 for the connection line pattern is formed as shown in FIG. 4E.

여기서, 레지스트 패턴(150)을 형성하기 위해서는 마스크에 인쇄된 연결선 패턴을 제외한 부분을 기판 상에 전사하여야 한다. 전사하는 방법에는 여러 가지 방법이 있으나, 가장 흔히 사용되는 방법으로는 감광성의 드라이 필름을 사용하여 자외선에 의해 마스크에 인쇄된 부분을 드라이 필름으로 전사하는 방식이다.Here, in order to form the resist pattern 150, portions except for the connection line pattern printed on the mask must be transferred onto the substrate. There are various methods of transferring, but the most commonly used method is a method of transferring a portion printed on a mask by ultraviolet light to a dry film using a photosensitive dry film.

이후, 도 4f에 도시된 바와 같이 레지스트 패턴(150) 사이에 전해 동도금을 수행하고 레지스트 패턴(150)을 제거하여 연결선 패턴(160)을 완성한다.Thereafter, as shown in FIG. 4F, electrolytic copper plating is performed between the resist patterns 150, and the resist pattern 150 is removed to complete the connecting line pattern 160.

즉, 연결선 패턴(160)을 제외한 부분이 인쇄된 드라이 필름이 레지스트 패턴(150) 역할을 하게 되어, 레지스트 패턴(150) 사이에 전해 동도금을 수행하고 드라이 필름을 제거하면 소정 형상의 연결선 패턴(160)이 형성된다. That is, the dry film, except for the connecting line pattern 160, is printed to serve as the resist pattern 150. When the electrolytic copper plating is performed between the resist patterns 150 and the dry film is removed, the connecting line pattern 160 having a predetermined shape is formed. ) Is formed.

여기서, 연결선 패턴(160)은 양층 회로패턴 사이를 전기적으로 연결할 선의 패턴으로 종래의 이방전도성필름층에 형성된 비아홀 위치와 동일하다. Here, the connection line pattern 160 is a pattern of a line electrically connected between both circuit patterns and is the same as the via hole position formed in the conventional anisotropic conductive film layer.

상술한 바와 같이, 연결선 패턴(160)을 완성한 후, 도 4g에 도시된 바와 같이 연결선 패턴(160)을 가열가압한다.As described above, after completing the connecting line pattern 160, the connecting line pattern 160 is heated and pressurized as shown in FIG. 4G.

소정의 열을 가하면, 이방전도성필름(110)은 반경화상태가 되고, 소정의 압력을 가하면, 연결선 패턴(160)이 회로패턴(140)을 가압하고 가압된 회로패턴(140)이 다시 이방전도성필름(110)을 가압하여 가압된 이방전도성필름(110)의 밀도가 높아져 도전성 입자들에 의해 수직으로 전기적 도통이 이루어진다. When the predetermined heat is applied, the anisotropic conductive film 110 is in a semi-cured state. When a predetermined pressure is applied, the connection line pattern 160 presses the circuit pattern 140 and the pressurized circuit pattern 140 is again anisotropically conductive. The density of the pressurized anisotropic conductive film 110 is increased by pressing the film 110, and electrical conduction is vertically performed by the conductive particles.

이때, 이방전도성필름(110) 내의 전기적 도통이 생긴 부분은 양면의 회로패턴(140)을 전기적으로 연결시키는 연결선이 된다.At this time, a portion in which electrical conduction occurs in the anisotropic conductive film 110 becomes a connection line for electrically connecting the circuit patterns 140 on both sides.

이후, 도 4h에 도시된 바와 같이 솔더 레지스트 패턴(170)을 형성하고 무전해 니켈/금도금을 이용한 표면처리를 행하여 이방전도성필름을 이용한 양층 인쇄회로기판을 완성하게 된다.Thereafter, as shown in FIG. 4H, the solder resist pattern 170 is formed and surface treatment is performed using electroless nickel / gold plating to complete a two-layer printed circuit board using an anisotropic conductive film.

솔더 레지스트 패턴(170)은 전자부품을 기판 상에 실장할 때, 배선간의 단락, 오접속의 문제 등에 따른 불량을 방지하고 회로패턴을 보호하며, 표면처리는 노출된 회로패턴의 동박부위가 산화되는 것을 방지하고 실장되는 부품의 납땜성을 향상시키며, 좋은 전도성을 부여한다.The solder resist pattern 170 protects the circuit pattern and prevents defects due to short circuits between wirings and problems of incorrect connection when mounting an electronic component on a substrate. To prevent soldering and to improve the solderability of components to be mounted, and to impart good conductivity.

여기서, 솔더 레지스트 패턴(170)은 솔더 레지스트를 도포하고 솔더 레지스트 패턴이 출력된 마스크를 밀착하여 노광 및 현상을 행하여 형성된다.Here, the solder resist pattern 170 is formed by applying a solder resist and exposing and developing a mask in which the solder resist pattern is output.

솔더 레지스트용의 레지스트 잉크는 PSR(Photo imageable Solder Resist Ink)로 녹색이 많으며, 솔더의 용해온도에서도 충분히 견디는 내열성 수지로 만들어진다.The resist ink for solder resist is PSR (Photo imageable Solder Resist Ink), which is green and is made of heat-resistant resin that can withstand the melting temperature of solder.

도 5를 참조하여 본 발명의 제2실시예에 따른 이방전도성필름을 이용한 다층 인쇄회로기판의 제조방법에 대하여 설명한다.A method of manufacturing a multilayer printed circuit board using an anisotropic conductive film according to a second embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. 5.

먼저, 도 5a에 도시된 바와 같이 제1 이방전도성필름(210)에 제1 동박층(220)을 개재하여 제공한다.First, as shown in FIG. 5A, a first copper foil layer 220 is provided to the first anisotropic conductive film 210.

이방전도성필름(210)은 절연 접착 필름 내에 도전성 입자가 분산되어 있는 구조이며, 가열가압을 받으면 전극 방향으로만 통전이 되고 전극과 전극 사이에서는 절연 기능을 갖는 이방성의 전기전도도 특성을 갖는다.  The anisotropic conductive film 210 has a structure in which conductive particles are dispersed in an insulating adhesive film, and when heated under pressure, the anisotropic conductive film 210 is energized only in an electrode direction and has an anisotropic electrical conductivity characteristic having an insulating function between the electrode and the electrode.

도전성 입자는 기본적으로 니켈(Ni), 금/폴리머(Au/polymaer), 은(Ag) 등으로 이루어져있고, 절연물질은 열경화성, 열가소성의 절연수지(insulating resin)로 구성되어 있다. The conductive particles basically consist of nickel (Ni), gold / polymer (Au / polymaer), silver (Ag) and the like, and the insulating material is composed of a thermosetting and thermoplastic insulating resin.

제1 동박층(220)은 후술되는 회로패턴을 형성하기 위한 것으로, 얇은 동박을 접착하여 형성한다.The 1st copper foil layer 220 is for forming the circuit pattern mentioned later, and is formed by adhering a thin copper foil.

이때, 제1 동박층(220) 대신 석출반응을 이용하여 이방전도성필름(210)에 무전해 동도금을 행한후, 전기분해에 의한 전해 동도금을 수행하여 도금층을 이용할 수 있다. In this case, after the electroless copper plating is performed on the anisotropic conductive film 210 by using the precipitation reaction instead of the first copper foil layer 220, the plating layer may be used by performing electrolytic copper plating by electrolysis.

이후, 도 5b에 도시된 바와 같이 에칭 레지스트 패턴을 형성하고 에칭 처리를 수행한 후 에칭 레지스트 패턴을 제거함으로써 내층 회로패턴(230)을 완성한다. Thereafter, as illustrated in FIG. 5B, an inner layer circuit pattern 230 is completed by forming an etching resist pattern, performing an etching process, and then removing the etching resist pattern.

여기서, 에칭 레지스트 패턴을 형성하기 위해서는 마스크에 인쇄된 내층 회로패턴(230)을 기판 상에 전사하여야 한다. 전사하는 방법에는 여러 가지 방법이 있으나, 가장 흔히 사용되는 방법으로는 감광성의 드라이 필름을 사용하여 자외선에 의해 마스크에 인쇄된 내층 회로패턴을 드라이 필름으로 전사하는 방식이다.Here, in order to form the etching resist pattern, the inner circuit pattern 230 printed on the mask must be transferred onto the substrate. There are various methods of transferring, but the most commonly used method is a method of transferring an inner circuit pattern printed on a mask by ultraviolet light to a dry film using a photosensitive dry film.

즉, 내층 회로패턴(230)이 전사된 드라이 필름은 에칭 레지스트로서 역할을 하게 되어, 동박에 대한 에칭 처리를 수행하는 경우 에칭 레지스트 패턴이 형성되지 않은 영역의 동박층(220)이 제거되어 소정 형상의 내층 회로패턴(230)을 완성하게 된다.That is, the dry film to which the inner circuit pattern 230 is transferred serves as an etching resist. When the etching process is performed on the copper foil, the copper foil layer 220 in the region where the etching resist pattern is not formed is removed to have a predetermined shape. The inner circuit pattern 230 is completed.

상술한 바와 같이, 내층 회로패턴(230)을 완성한 후, 도 5c에 도시된 바와 같이 내층 회로패턴(230) 상에 레지스트 패턴을 형성하고 동도금을 수행한 후 레지스트 패턴을 제거함으로써 제1 연결선 패턴(240)을 형성한다. As described above, after completing the inner circuit pattern 230, as shown in FIG. 5C, a resist pattern is formed on the inner circuit pattern 230, copper plating is performed, and the resist pattern is removed to remove the first connection line pattern ( 240).

여기서, 레지스트 패턴을 형성하기 위해서는 마스크에 인쇄된 연결선 패턴을 제외한 부분을 기판 상에 전사하여야 한다. 전사하는 방법에는 여러 가지 방법이 있으나, 가장 흔히 사용되는 방법으로는 감광성의 드라이 필름을 사용하여 자외선에 의해 마스크에 인쇄된 부분을 드라이 필름으로 전사하는 방식이다.Here, in order to form a resist pattern, portions other than the connection line pattern printed on the mask must be transferred onto the substrate. There are various methods of transferring, but the most commonly used method is a method of transferring a portion printed on a mask by ultraviolet light to a dry film using a photosensitive dry film.

즉, 제1 연결선 패턴(240)을 제외한 부분이 인쇄된 드라이 필름은 레지스트 패턴 역할을 하게 되어, 레지스트 패턴 사이에 전해 동도금을 수행하고 드라이 필름을 제거하면 소정 형상의 제1 연결선 패턴(240)이 형성된다. That is, the dry film in which the portion except the first connection line pattern 240 is printed serves as a resist pattern. When the electrolytic copper plating is performed between the resist patterns and the dry film is removed, the first connection line pattern 240 having a predetermined shape is formed. Is formed.

여기서, 제1 연결선 패턴(240)은 내층 회로패턴(230) 사이를 전기적으로 연결할 선의 패턴으로 종래의 이방전도성필름층에 형성된 비아홀 위치와 동일하다. Here, the first connection line pattern 240 is a pattern of a line electrically connected between the inner circuit patterns 230 and is the same as the via hole position formed in the conventional anisotropic conductive film layer.

이후, 도 5d에 도시된 바와 같이 제1 연결선 패턴(240)을 가열가압하여 내층 회로패턴(230) 간의 전기적 도통이 되는 베이스 기판(250)을 완성한다.Subsequently, as illustrated in FIG. 5D, the first connection line pattern 240 is heated and pressurized to complete the base substrate 250 that is electrically connected between the inner circuit patterns 230.

소정의 열을 가하면, 제1 이방전도성필름(210)은 반경화상태가 되고, 소정의 압력을 가하면, 제1 연결선 패턴(240)이 내층 회로패턴(230)을 가압하고 가압된 내층 회로패턴(230)이 다시 제1 이방전도성필름(210)을 가압하여 가압된 제1 이방전 도성필름(210)의 밀도가 높아져 도전성 입자들에 의해 수직으로 전기적 도통이 이루어진다. When a predetermined heat is applied, the first anisotropic conductive film 210 is in a semi-cured state, and when a predetermined pressure is applied, the first connection line pattern 240 presses the inner circuit pattern 230 and presses the pressed inner layer circuit pattern ( 230 again pressurizes the first anisotropic conductive film 210 so that the density of the pressurized first anisotropic conductive film 210 is increased so that electrical conduction is vertically conducted by the conductive particles.

이때, 제1 이방전도성필름(210) 내의 전기적 도통이 생긴 부분은 내층 회로패턴(230)을 전기적으로 연결시키는 연결선이 된다.In this case, a portion in which electrical conduction occurs in the first anisotropic conductive film 210 becomes a connection line for electrically connecting the inner circuit pattern 230.

상술한 바와 같이 베이스 기판(250)을 완성한 후, 도 5e에 도시된 바와 같이, 베이스 기판(250) 상·하면에 제2 이방전도성필름(260)을 적층한다.After the base substrate 250 is completed as described above, as illustrated in FIG. 5E, the second anisotropic conductive film 260 is stacked on the upper and lower surfaces of the base substrate 250.

제2 이방전도성필름(260)은 이후 가열가압 공정에 의해 수직 방향으로는 층간 전기적 도통을 이루게 해주면서 수평방향으로 절연상태가 유지되어 층간 절연을 시켜준다. The second anisotropic conductive film 260 is then electrically insulated in the vertical direction by the heating and pressing process while maintaining the insulating state in the horizontal direction to insulate the interlayer.

이후, 도 5f에 도시된 바와 같이 제2 이방전도성필름(260) 상에 제2 동박층(270)을 적층한다.Thereafter, as illustrated in FIG. 5F, the second copper foil layer 270 is stacked on the second anisotropic conductive film 260.

이때, 제2 동박층(270) 대신 석출반응을 이용하여 제2 이방전도성필름(260)에 무전해 동도금을 행한후, 전기분해에 의한 전해 동도금을 수행하여 도금층을 이용할 수 있다. In this case, after the electroless copper plating is performed on the second anisotropic conductive film 260 by using the precipitation reaction instead of the second copper foil layer 270, electrolytic copper plating may be performed by electrolysis to use the plating layer.

상술한 바와 같이, 제2 동박층(270)을 적층한 후 도 5g에 도시된 바와 같이 에칭 레지스트 패턴을 이용한 사진 식각 공정으로 외층 회로패턴(280)을 형성한다.As described above, after the second copper foil layer 270 is stacked, an outer circuit pattern 280 is formed by a photolithography process using an etching resist pattern as illustrated in FIG. 5G.

이후, 도 5h에 도시된 바와 같이 외층 회로패턴(280) 상에 레지스트 패턴을 형성하고 동도금을 수행한 후 레지스트 패턴을 제거함으로써 제2 연결선 패턴(290)을 형성한다. Subsequently, as shown in FIG. 5H, the second interconnection line pattern 290 is formed by forming a resist pattern on the outer circuit pattern 280, performing copper plating, and removing the resist pattern.

여기서, 제2 연결선 패턴(290)은 외층 회로패턴(280)과 내층 회로패턴(230) 을 전기적으로 연결할 선의 패턴으로 종래의 절연층에 형성된 블라인드 비아홀 위치와 동일하다. Here, the second connection line pattern 290 is a pattern of a line electrically connecting the outer circuit pattern 280 and the inner layer circuit pattern 230 to be the same as the position of the blind via hole formed in the conventional insulating layer.

상술한 바와 같이, 제2 연결선 패턴(290)을 완성한 후, 도 5i에 도시된 바와 같이 제2 연결선 패턴(290)을 가열가압한다.As described above, after completing the second connection line pattern 290, the second connection line pattern 290 is heated and pressurized as shown in FIG. 5I.

소정의 열을 가하면, 제2 이방전도성필름(260)은 반경화상태가 되고, 소정의 압력을 가하면, 제2 연결선 패턴(290)이 외층 회로패턴(280)을 가압하고 가압된 외층 회로패턴(280)이 다시 제2 이방전도성필름(280)을 가압하여, 가압된 이방전도성필름(280)의 밀도가 높아져 도전성 입자들에 의해 외층 회로패턴(280)과 내층 회로패턴(230) 사이에 수직으로 전기적 도통이 이루어진다. When a predetermined heat is applied, the second anisotropic conductive film 260 is in a semi-cured state, and when a predetermined pressure is applied, the second connection line pattern 290 presses the outer circuit pattern 280 and presses the pressed outer circuit pattern ( 280 again presses the second anisotropic conductive film 280, so that the density of the pressurized anisotropic conductive film 280 is increased so that the conductive particles are perpendicularly formed between the outer layer circuit pattern 280 and the inner layer circuit pattern 230 by the conductive particles. Electrical conduction is made.

이후, 도 5j에 도시된 바와 같이 솔더 레지스트 패턴(300)을 형성하고 무전해 니켈/금도금을 이용한 표면처리를 행하여 이방전도성필름을 이용한 다층 인쇄회로기판을 완성하게 된다.Subsequently, as shown in FIG. 5J, the solder resist pattern 300 is formed and surface treatment is performed using electroless nickel / gold plating to complete a multilayer printed circuit board using an anisotropic conductive film.

솔더 레지스트 패턴(300)은 전자부품을 기판 상에 실장할 때, 배선간의 단락, 오접속의 문제 등에 따른 불량을 방지하고 회로패턴을 보호하며, 표면처리는 노출된 회로패턴의 동박부위가 산화되는 것을 방지하고 실장되는 부품의 납땜성을 향상시키며, 좋은 전도성을 부여한다.The solder resist pattern 300 protects the circuit pattern and prevents defects due to short circuits between wirings and problems of misconnection when the electronic component is mounted on a substrate. To prevent soldering and to improve the solderability of components to be mounted, and to impart good conductivity.

여기서, 솔더 레지스트 패턴(300)은 솔더 레지스트를 도포하고 솔더 레지스트 패턴이 출력된 마스크를 밀착하여 노광 및 현상을 행하여 형성된다.Here, the solder resist pattern 300 is formed by applying a solder resist and exposing and developing a mask in which the solder resist pattern is output.

이때, 기판 상부에는 솔더 레지스트 패턴(300)을 형성하지 않고 제2 연결선 패턴(290)을 소정의 높이만큼 형성하여 플립칩 범프로 사용가능하다. In this case, the second connection line pattern 290 may be formed by a predetermined height without forming the solder resist pattern 300 on the substrate, and thus may be used as a flip chip bump.

도 6을 참조하여 본 발명의 제3실시예에 따른 이방전도성필름을 이용한 다층 인쇄회로기판의 제조방법에 대하여 설명한다.A method of manufacturing a multilayer printed circuit board using an anisotropic conductive film according to a third embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. 6.

먼저, 도 6a에 도시된 바와 같이 이방전도성필름(310)에 동박층(320)을 개재하여 제공한다.First, as shown in FIG. 6A, an anisotropic conductive film 310 is provided through a copper foil layer 320.

이방전도성필름(310)은 절연 접착 필름 내에 도전성 입자가 분산되어 있는 구조이며, 가열가압을 받으면 전극 방향으로만 통전이 되고 전극과 전극 사이에서는 절연 기능을 갖는 이방성의 전기전도도 특성을 갖는다.  The anisotropic conductive film 310 is a structure in which conductive particles are dispersed in an insulating adhesive film, and when heated and pressurized, the anisotropic conductive film 310 is energized only in an electrode direction and has an anisotropic electrical conductivity having an insulating function between the electrode and the electrode.

도전성 입자는 기본적으로 니켈(Ni), 금/폴리머(Au/polymaer), 은(Ag) 등으로 이루어져있고, 절연물질은 열경화성, 열가소성의 절연수지(insulating resin)로 구성되어 있다. The conductive particles basically consist of nickel (Ni), gold / polymer (Au / polymaer), silver (Ag) and the like, and the insulating material is composed of a thermosetting and thermoplastic insulating resin.

동박층(320)은 후술되는 회로패턴을 형성하기 위한 것으로, 얇은 동박을 접착하여 형성한다.The copper foil layer 320 is for forming the circuit pattern mentioned later, and is formed by adhering a thin copper foil.

이때, 동박층(320) 대신 석출반응을 이용하여 이방전도성필름(310)에 무전해 동도금을 행한후, 전기분해에 의한 전해 동도금을 수행하여 도금층을 이용할 수 있다. In this case, after the electroless copper plating is performed on the anisotropic conductive film 310 by using the precipitation reaction instead of the copper foil layer 320, the plating layer may be used by performing electrolytic copper plating by electrolysis.

이후, 도 6b에 도시된 바와 같이 사진 식각 공정을 이용하여 내층 회로패턴(330)을 완성한다. Thereafter, as illustrated in FIG. 6B, the inner circuit pattern 330 is completed using a photolithography process.

상술한 바와 같이, 내층 회로패턴(330)을 완성한 후, 도 6c에 도시된 바와 같이 내층 회로패턴(330) 상에 레지스트 패턴을 형성하고 동도금을 수행한 후 레지스트 패턴을 제거함으로써 연결선 패턴(340)을 형성한다. As described above, after completing the inner circuit pattern 330, as shown in FIG. 6C, the resist pattern is formed on the inner circuit pattern 330, copper plating is performed, and then the resist pattern is removed to remove the resist pattern. To form.

즉, 연결선 패턴(340)을 제외한 부분이 인쇄된 레지스트 패턴 사이에 전해 동도금을 수행하고 레지스트 패턴을 제거하면 소정 형상의 연결선 패턴(340)이 형성된다. That is, when electrolytic copper plating is performed between the resist patterns except for the connection line pattern 340 and the resist pattern is removed, the connection line pattern 340 having a predetermined shape is formed.

이후, 도 6d에 도시된 바와 같이 연결선 패턴(340)을 가열가압하여 내층 회로패턴(330) 간의 전기적 도통이 되는 베이스 기판(350)을 완성한다.Subsequently, as illustrated in FIG. 6D, the connection line pattern 340 is heated and pressurized to complete the base substrate 350 that is electrically connected between the inner circuit patterns 330.

소정의 열을 가하면, 이방전도성필름(310)은 반경화상태가 되고, 소정의 압력을 가하면, 연결선 패턴(340)이 내층 회로패턴(330)을 가압하고 가압된 내층 회로패턴(330)이 다시 이방전도성필름(310)을 가압하여 가압된 이방전도성필름(310)의 밀도가 높아져 도전성 입자들에 의해 수직으로 전기적 도통이 이루어진다. When the predetermined heat is applied, the anisotropic conductive film 310 is in a semi-cured state, and when a predetermined pressure is applied, the connection line pattern 340 presses the inner layer circuit pattern 330 and the pressurized inner layer circuit pattern 330 again. The density of the pressurized anisotropic conductive film 310 is increased by pressing the anisotropic conductive film 310, so that electrical conduction is vertically performed by the conductive particles.

이때, 이방전도성필름(310) 내의 전기적 도통이 생긴 부분은 내층 회로패턴(330)을 전기적으로 연결시키는 연결선이 된다.In this case, a portion where electrical conduction occurs in the anisotropic conductive film 310 becomes a connection line for electrically connecting the inner circuit pattern 330.

상술한 바와 같이, 베이스 기판(350)을 완성한 후, 도 6e에 도시된 바와 같이 베이스 기판(350) 양면에 절연층(360)을 적층한다. As described above, after the base substrate 350 is completed, the insulating layer 360 is laminated on both surfaces of the base substrate 350 as shown in FIG. 6E.

여기서, 절연층(360)은 필름형태의 절연자재로, 회로층 간의 절연체 역할을 수행한다.Here, the insulating layer 360 is an insulating material in the form of a film, and serves as an insulator between the circuit layers.

이후, 도 6f에 도시된 바와 같이, 내층과 외층간의 전기 접속 역할을 하는 블라인드 비아홀(370)을 가공한다. Thereafter, as illustrated in FIG. 6F, the blind via hole 370 serving as an electrical connection between the inner layer and the outer layer is processed.

이때, 블라인드 비아홀(370)은 기계적 드릴링을 사용할 수도 있으나, 관통홀을 가공할 때보다 정밀한 가공을 요하므로 YAG(Yttrium Aluminum Garnet)레이저나 CO2 레이저를 이용하는 것이 바람직하다. YAG 레이저는 동박층 및 절연층 모두를 가공할 수 있는 레이저이고, CO2 레이저는 절연층만 가공할 수 있는 레이저이다.In this case, although the blind via hole 370 may use mechanical drilling, it is preferable to use YAG (Yttrium Aluminum Garnet) laser or CO2 laser because it requires more precise processing than when processing the through hole. The YAG laser is a laser capable of processing both a copper foil layer and an insulating layer, and the CO2 laser is a laser capable of processing only an insulating layer.

상술한 바와 같이 블라인드 비아홀(370)을 가공한 후, 도 6g에 도시된 바와 같이 절연층(360)에 대한 무전해 동도금을 수행하여 외층 회로패턴을 형성하기 위한 시드층(380)을 형성한다. After processing the blind via hole 370 as described above, as shown in FIG. 6G, electroless copper plating is performed on the insulating layer 360 to form a seed layer 380 for forming an outer circuit pattern.

이때, 시드층(380)을 형성하는 금속이 구리(Cu)에만 한정되는 것은 아니고, 구리와 상이한 금속 및 금속 산화물, 보다 구체적으로는 Ni, Sn 또는 SnO 등을 이용하여도 형성될 수 있다. In this case, the metal forming the seed layer 380 is not limited to copper (Cu), but may be formed using a metal and a metal oxide different from copper, more specifically, Ni, Sn, SnO, or the like.

이후, 도 6h에 도시된 바와 같이, 외층 회로패턴이 형성을 위한 레지스트 패턴(390)을 형성한다.Thereafter, as shown in FIG. 6H, the outer circuit pattern forms a resist pattern 390 for forming.

여기서, 레지스트 패턴(390)을 형성하기 위해서는 마스크에 인쇄된 연결선 패턴을 제외한 부분을 기판 상에 전사하여야 한다. 전사하는 방법에는 여러 가지 방법이 있으나, 가장 흔히 사용되는 방법으로는 감광성의 드라이 필름을 사용하여 자외선에 의해 마스크에 인쇄된 부분을 드라이 필름으로 전사하는 방식이다.Here, in order to form the resist pattern 390, portions except for the connection line pattern printed on the mask must be transferred onto the substrate. There are various methods of transferring, but the most commonly used method is a method of transferring a portion printed on a mask by ultraviolet light to a dry film using a photosensitive dry film.

상술한 바와 같이 레지스트 패턴(390)을 형성한 후, 도 6i에 도시된 바와 같이 전해 동도금을 수행하고 레지스트 패턴(390)을 제거한 후 오픈된 시드층(380)을 에칭 처리함으로써 외층 회로패턴(400)을 완성한다. After forming the resist pattern 390 as described above, as shown in FIG. 6I, an electrolytic copper plating is performed, the resist pattern 390 is removed, and the open seed layer 380 is etched to thereby etch the outer layer circuit pattern 400. To complete).

이후, 도 6i에 도시된 바와 같이 외층 회로패턴(400)을 보호하고 배선간의 단락 및 오접속의 문제를 방지하는 솔더 레지스트 패턴(410)을 형성하고 무전해 니켈/금도금을 이용한 표면처리를 행하여 이방전도성필름을 이용한 다층 인쇄회로기판을 완성하게 된다.Thereafter, as shown in FIG. 6I, a solder resist pattern 410 is formed to protect the outer circuit pattern 400 and to prevent short circuits and misconnections between the wirings, and to perform surface treatment using electroless nickel / gold plating. The multilayer printed circuit board using the conductive film is completed.

상기한 바와 같이, 본 발명에 따른 이방전도성필름을 이용한 인쇄회로기판 및 그 제조방법에 따르면, 비아홀을 형성하지 않고 이방전도성필름의 특성을 이용하여 층간 전기적 도통을 구현함으로써 단위면적당 회로의 밀집도를 크게 향상시킴은 물론, 내층 비아홀로 인해 유발하는 신호 지연을 대폭 감소시킴으로써 인쇄회로기판의 전기적 성능을 향상시킨다.As described above, according to the printed circuit board and the manufacturing method using the anisotropic conductive film according to the present invention, the density of the circuit per unit area is greatly increased by realizing the electrical conduction between layers using the characteristics of the anisotropic conductive film without forming via holes. In addition to significantly improving the electrical performance of the printed circuit board, the signal delay caused by the inner layer via hole is greatly reduced.

여기서, 상술한 본 발명에서는 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경할 수 있음을 이해할 수 있을 것이다. Herein, the present invention described above has been described with reference to preferred embodiments, but those skilled in the art can variously modify the present invention without departing from the spirit and scope of the present invention as set forth in the claims below. It will be appreciated that this can be changed.

Claims (15)

내부 비아홀 대응 부분에서 수직방향으로 전기적 도통이 되는 이방전도성필름층;An anisotropic conductive film layer that is electrically conductive in a vertical direction at a corresponding portion of the inner via hole; 상기 이방전도성필름층 상에 형성되고 상기 내부 비아홀 대응 부분에 의해 층간 전기적 도통이 되는 회로층; 및A circuit layer formed on the anisotropic conductive film layer and being electrically connected between layers by the corresponding portion of the inner via hole; And 상기 회로층 상에서 내부 비아홀 대응 부분에 형성된 도금층Plating layer formed in the corresponding portion of the inner via hole on the circuit layer 을 포함하는 것을 특징으로 하는 이방전도성필름을 이용한 인쇄회로기판.Printed circuit board using an anisotropic conductive film comprising a. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 이방전도성필름층은 비아홀 대응 부분에 따라 상기 회로층이 일정 정도 깊이로 침입된 것을 특징으로 하는 이방전도성필름을 이용한 인쇄회로기판.The anisotropic conductive film layer is a printed circuit board using an anisotropic conductive film, characterized in that the circuit layer penetrates to a predetermined depth according to the corresponding portion of the via hole. 상·하부에 동박층이 형성된 이방전도성필름에 사진식각공정을 이용하여 회로패턴을 형성하는 제1단계;A first step of forming a circuit pattern on the anisotropic conductive film having copper foil layers formed on upper and lower portions thereof by using a photolithography process; 상기 회로패턴 상에 비아홀 대응 부분에 따른 레지스트 패턴을 형성하는 제2단계;A second step of forming a resist pattern corresponding to a via hole corresponding portion on the circuit pattern; 상기 레지스트 패턴 사이에 형성된 함몰부에 동도금을 수행한 후 레지스트 패턴을 제거하여 돌출된 도금층을 형성하는 제3단계; 및A third step of forming a protruding plating layer by removing the resist pattern after copper plating is performed on the depressions formed between the resist patterns; And 상기 돌출된 도금층을 가열가압하여 이에 대응하는 이방전도성필름 부분을 수직으로 전기적 도통시키는 제4단계;A fourth step of heating and pressing the protruding plating layer to vertically electrically conduct the corresponding anisotropic conductive film portion; 를 포함하는 것을 특징으로 하는 이방전도성필름을 이용한 인쇄회로기판 제조방법.Printed circuit board manufacturing method using an anisotropic conductive film comprising a. 제3항에 있어서,The method of claim 3, 상기 돌출된 도금층 상에 솔더 레지스트를 패턴을 형성하는 제5단계A fifth step of forming a solder resist pattern on the protruding plating layer 를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 이방전도성필름을 이용한 인쇄회로기판 제조방법.Printed circuit board manufacturing method using an anisotropic conductive film, characterized in that it further comprises. 제3항에 있어서,The method of claim 3, 제1단계의 사진식각공정을 이용하여 회로패턴을 형성하는 방법은The method of forming a circuit pattern using the photolithography process of the first step is 상기 동박층상에 자외선에 의해 경화 처리되는 드라이필름(D/F)을 피복시키는 제1-1단계;Step 1-1 to coat the dry film (D / F) cured by ultraviolet light on the copper foil layer; 상기 드라이 필름 상에 소정의 회로패턴이 형성된 마스크를 정합시키는 제1-2단계;First to second steps of matching a mask having a predetermined circuit pattern on the dry film; 상기 마스크를 통한 자외선 조사를 수행하여 드라이 필름에 대한 경화처리를 수행하는 제1-3단계;Steps 1 to 3 performing a curing treatment on the dry film by performing ultraviolet irradiation through the mask; 상기 자외선 조사에 의해 미경화 처리된 드라이 필름을 제거함으로써 오픈된 동박층을 에칭 처리하는 제1-4단계; 및 A first to fourth step of etching the opened copper foil layer by removing the dry film uncured by the ultraviolet irradiation; And 상기 에칭 처리되지 않은 동박층에 피복된 드라이 필름을 제거하여 소정의 회로패턴을 형성하는 제1-5단계Steps 1-5 to form a predetermined circuit pattern by removing the dry film coated on the non-etched copper foil layer 를 포함하는 것을 특징으로 하는 이방전도성필름을 이용한 인쇄회로기판 제조방법.Printed circuit board manufacturing method using an anisotropic conductive film comprising a. 상·하부에 동박층이 형성된 제1 이방전도성필름에 사진식각공정을 이용하여 내층 회로패턴을 형성하는 제1단계;A first step of forming an inner circuit pattern on the first anisotropic conductive film having a copper foil layer formed on upper and lower portions by using a photolithography process; 상기 내층 회로패턴 상에 내부 비아홀 대응 부분에 따른 레지스트 패턴을 형성하는 제2단계;Forming a resist pattern corresponding to an inner via hole corresponding portion on the inner circuit pattern; 상기 레지스트 패턴 사이에 형성된 함몰부에 동도금을 수행한 후 레지스트 패턴을 박리하여 돌출된 도금층을 형성하는 제3단계; Performing a copper plating process on the recesses formed between the resist patterns, and then peeling the resist pattern to form a protruding plating layer; 상기 돌출된 도금층을 가열가압하여 이에 대응하는 이방전도성필름 부분을 수직으로 도통시켜 베이스 기판을 완성하는 제4단계;A fourth step of heating and pressing the protruding plating layer to vertically conduct a portion of the anisotropic conductive film corresponding thereto to complete the base substrate; 상기 베이스 기판 상·하부에 제2 이방전도성필름을 적층하고 제2 이방전도성필름 상에 동박층을 적층하여 사진식각공정으로 외층 회로패턴을 형성하는 제5단계;A fifth step of forming an outer layer circuit pattern by a photolithography process by laminating a second anisotropic conductive film on and under the base substrate and laminating a copper foil layer on the second anisotropic conductive film; 상기 외층 회로패턴 상에 블라인드 비아홀 대응 부분에 따른 도금층을 사진식각공정으로 형성하는 제6단계; Forming a plating layer corresponding to a blind via hole corresponding portion on the outer circuit pattern by a photolithography process; 상기 형성된 도금층을 가열가압하여 이에 대응하는 제2 이방전도성필름 부분을 수직으로 도통시키는 제7단계;A seventh step of heating and pressing the formed plating layer to vertically conduct a second anisotropic conductive film portion corresponding thereto; 를 포함하는 것을 특징으로 하는 이방전도성필름을 이용한 다층 인쇄회로기 판 제조방법.Multi-layer printed circuit board manufacturing method using an anisotropic conductive film comprising a. 제6항에 있어서,The method of claim 6, 상기 돌출된 도금층 상에 솔더 레지스트를 패턴을 형성하는 제8단계An eighth step of forming a solder resist pattern on the protruding plating layer; 를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 이방전도성필름을 이용한 다층 인쇄회로기판 제조방법.Multi-layer printed circuit board manufacturing method using an anisotropic conductive film, characterized in that it further comprises. 제6항에 있어서,The method of claim 6, 제1단계의 사진식각공정을 이용하여 내층 회로패턴을 형성하는 방법은The method of forming the inner circuit pattern using the photolithography process of the first step is 상기 동박층상에 자외선에 의해 경화 처리되는 드라이필름(D/F)을 피복시키는 제1-1단계;Step 1-1 to coat the dry film (D / F) cured by ultraviolet light on the copper foil layer; 상기 드라이 필름 상에 소정의 내층 회로패턴이 형성된 마스크를 정합시키는 제1-2단계;First to second steps of matching a mask having a predetermined inner layer circuit pattern formed on the dry film; 상기 마스크를 통한 자외선 조사를 수행하여 드라이 필름에 대한 경화처리를 수행하는 제1-3단계;Steps 1 to 3 performing a curing treatment on the dry film by performing ultraviolet irradiation through the mask; 상기 자외선 조사에 의해 미경화 처리된 드라이 필름을 제거함으로써 오픈된 동박층을 에칭 처리하는 제1-4단계; 및 A first to fourth step of etching the opened copper foil layer by removing the dry film uncured by the ultraviolet irradiation; And 상기 에칭 처리되지 않은 동박층에 피복된 드라이 필름을 제거하여 소정의 내층 회로패턴을 형성하는 제1-5단계Steps 1 to 5 to form a predetermined inner layer circuit pattern by removing the dry film coated on the non-etched copper foil layer 를 포함하는 것을 특징으로 하는 이방전도성필름을 이용한 다층 인쇄회로기 판 제조방법.Multi-layer printed circuit board manufacturing method using an anisotropic conductive film comprising a. 제6항에 있어서,The method of claim 6, 제5단계의 사진식각공정을 이용하여 외층 회로패턴을 형성하는 방법은The method of forming the outer circuit pattern using the photolithography process of the fifth step 상기 동박층상에 자외선에 의해 경화 처리되는 드라이필름(D/F)을 피복시키는 제5-1단계;Step 5-1 of coating a dry film (D / F) to be cured by ultraviolet light on the copper foil layer; 상기 드라이 필름 상에 소정의 회로패턴이 형성된 마스크를 정합시키는 제5-2단계;Step 5-2 of matching the mask on which the predetermined circuit pattern is formed on the dry film; 상기 마스크를 통한 자외선 조사를 수행하여 드라이 필름에 대한 경화처리를 수행하는 제5-3단계;Step 5-3 of performing a curing treatment on the dry film by performing ultraviolet irradiation through the mask; 상기 자외선 조사에 의해 미경화 처리된 드라이 필름을 제거함으로써 오픈된 동박층을 에칭 처리하는 제5-4단계; 및 A fifth step of etching the copper foil layer opened by removing the uncured dry film by the ultraviolet irradiation; And 상기 에칭 처리되지 않은 동박층에 피복된 드라이 필름을 제거하여 소정의 외층 회로패턴을 형성하는 제5-5단계Steps 5-5 to form a predetermined outer layer circuit pattern by removing the dry film coated on the non-etched copper foil layer 를 포함하는 것을 특징으로 하는 이방전도성필름을 이용한 다층 인쇄회로기판 제조방법.Multi-layer printed circuit board manufacturing method using an anisotropic conductive film comprising a. 제6항에 있어서,The method of claim 6, 제6단계의 도금층을 형성하는 방법은The method of forming the plating layer of the sixth step 상기 외층 회로패턴 상에 블라인드 비아홀 패턴에 따른 레지스트 패턴을 형 성하는 제6-1단계; 및A step 6-1 of forming a resist pattern according to a blind via hole pattern on the outer circuit pattern; And 상기 레지스트 패턴 사이에 형성된 함몰부에 동도금을 수행한 후 레지스트 패턴을 박리하여 돌출된 도금층을 형성하는 제6-2단계Step 6-2 of forming a protruding plating layer by peeling the resist pattern after copper plating is performed on the depressions formed between the resist patterns. 를 포함하는 것을 특징으로 하는 이방전도성필름을 이용한 다층 인쇄회로기판의 제조방법.Method of manufacturing a multilayer printed circuit board using an anisotropic conductive film comprising a. 상·하부에 동박층이 형성된 이방전도성필름에 사진식각공정을 이용하여 내층 회로패턴을 형성하는 제1단계;A first step of forming an inner circuit pattern using a photolithography process on an anisotropic conductive film having copper foil layers formed on upper and lower portions thereof; 상기 내층 회로패턴 상에 비아홀 대응 부분에 따른 레지스트 패턴을 형성하는 제2단계;Forming a resist pattern corresponding to a via hole corresponding portion on the inner circuit pattern; 상기 레지스트 패턴 사이에 형성된 함몰부에 동도금을 수행한 후 레지스트 패턴을 제거하여 돌출된 도금층을 형성하는 제3단계; A third step of forming a protruding plating layer by removing the resist pattern after copper plating is performed on the depressions formed between the resist patterns; 상기 돌출된 도금층을 가열가압하여 이에 대응하는 이방전도성필름 부분을 수직으로 도통시켜 베이스 기판을 완성하는 제4단계; A fourth step of heating and pressing the protruding plating layer to vertically conduct a portion of the anisotropic conductive film corresponding thereto to complete the base substrate; 상기 베이스 기판 상·하부에 절연층을 적층하고 블라인드 비아홀을 형성하는 제5단계; 및Stacking an insulating layer on upper and lower portions of the base substrate and forming a blind via hole; And 상기 절연층 상에 시드층을 형성하고 세미-어디티브(Semi-additive) 방식으로 외층 회로패턴을 형성하는 제6단계 A sixth step of forming a seed layer on the insulating layer and forming an outer circuit pattern in a semi-additive manner; 를 포함하는 것을 특징으로 하는 이방전도성필름을 이용한 다층 인쇄회로기판의 제조방법.Method of manufacturing a multilayer printed circuit board using an anisotropic conductive film comprising a. 제11항에 있어서,The method of claim 11, 상기 외층 회로패턴 상에 솔더 레지스트를 패턴을 형성하는 제7단계A seventh step of forming a solder resist pattern on the outer circuit pattern 를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 이방전도성필름을 이용한 다층 인쇄회로기판 제조방법.Multi-layer printed circuit board manufacturing method using an anisotropic conductive film, characterized in that it further comprises. 제11항에 있어서,The method of claim 11, 제1단계의 사진식각공정을 이용하여 내층 회로패턴을 형성하는 방법은The method of forming the inner circuit pattern using the photolithography process of the first step is 상기 동박층상에 자외선에 의해 경화 처리되는 드라이필름(D/F)을 피복시키는 제1-1단계;Step 1-1 to coat the dry film (D / F) cured by ultraviolet light on the copper foil layer; 상기 드라이 필름 상에 소정의 내층 회로패턴이 형성된 마스크를 정합시키는 제1-2단계;First to second steps of matching a mask having a predetermined inner layer circuit pattern formed on the dry film; 상기 마스크를 통한 자외선 조사를 수행하여 드라이 필름에 대한 경화처리를 수행하는 제1-3단계;Steps 1 to 3 performing a curing treatment on the dry film by performing ultraviolet irradiation through the mask; 상기 자외선 조사에 의해 미경화 처리된 드라이 필름을 제거함으로써 오픈된 동박층을 에칭 처리하는 제1-4단계; 및 A first to fourth step of etching the opened copper foil layer by removing the dry film uncured by the ultraviolet irradiation; And 상기 에칭 처리되지 않은 동박층에 피복된 드라이 필름을 제거하여 소정의 내층 회로패턴을 형성하는 제1-5단계Steps 1 to 5 to form a predetermined inner layer circuit pattern by removing the dry film coated on the non-etched copper foil layer 를 포함하는 것을 특징으로 하는 이방전도성필름을 이용한 다층 인쇄회로기판 제조방법.Multi-layer printed circuit board manufacturing method using an anisotropic conductive film comprising a. 제11항에 있어서, The method of claim 11, 제6단계의 세미-어디티브(Semi-additive) 방식으로 외층 회로패턴을 형성하는 방법은 The method of forming the outer circuit pattern in the semi-additive method of the sixth step 상기 시드층상에 자외선 조사에 의해 경화 처리되는 드라이필름(D/F)을 피복시키는 제6-1단계;Step 6-1 coating the dry film (D / F) cured by ultraviolet irradiation on the seed layer; 상기 드라이 필름 상에 소정의 회로패턴이 형성된 마스크를 정합시키는 제6-2단계;Step 6-2 of matching the mask on which the predetermined circuit pattern is formed on the dry film; 상기 마스크를 통한 자외선 조사를 수행하여 드라이 필름에 대한 경화처리를 수행하는 제6-3단계;Step 6-3 to perform a curing treatment for the dry film by performing ultraviolet irradiation through the mask; 상기 자외선 조사에 의해 미경화 처리된 드라이 필름을 제거하여 상기 시드층을 오픈 시키는 제6-4단계;A step 6-4 of removing the uncured dry film by the ultraviolet irradiation to open the seed layer; 상기 오픈된 시드층에 대한 전해 동도금을 수행하여 도금층을 형성하는 제6-5단계;A step 6-5 of performing electrolytic copper plating on the open seed layer to form a plating layer; 상기 도금층이 형성된 영역 이외에 존재하는 드라이 필름을 제거하여 소정의 외층 회로패턴을 형성하는 제6-6단계; 및 A sixth to sixth step of forming a predetermined outer layer circuit pattern by removing the dry film existing outside the region where the plating layer is formed; And 상기 외층 회로패턴이 형성되지 않은 오픈된 영역에 존재하는 시드층을 에칭 처리하여 제거하는 제6-7단계Steps 6-7 of etching to remove the seed layer existing in the open region where the outer circuit pattern is not formed. 를 포함하는 것을 특징으로 하는 이방전도성필름을 이용한 다층 인쇄회로기판 제조방법.Multi-layer printed circuit board manufacturing method using an anisotropic conductive film comprising a. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 도금층은 상기 회로층 쪽으로 일정 정도 눌려져 있는 것을 특징으로 하는 이방성전도필름을 이용한 인쇄회로기판.The plating layer is a printed circuit board using an anisotropic conductive film, characterized in that pressed to the circuit layer to some extent.
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