KR100659533B1 - Organic electro luminescence display and method of manufacturing thereof - Google Patents
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- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 11
- 238000005401 electroluminescence Methods 0.000 title description 3
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 claims abstract description 70
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 55
- 238000002161 passivation Methods 0.000 claims abstract description 51
- 229920001600 hydrophobic polymer Polymers 0.000 claims abstract description 48
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 claims abstract description 30
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims abstract description 19
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims abstract description 18
- 229920000052 poly(p-xylylene) Polymers 0.000 claims abstract description 12
- 229920001903 high density polyethylene Polymers 0.000 claims abstract description 8
- 239000004700 high-density polyethylene Substances 0.000 claims abstract description 8
- 239000010410 layer Substances 0.000 claims description 69
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 44
- 239000011247 coating layer Substances 0.000 claims description 24
- -1 polyethylene Polymers 0.000 claims description 18
- 239000000178 monomer Substances 0.000 claims description 11
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 claims description 9
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 claims description 9
- 230000002209 hydrophobic effect Effects 0.000 claims description 7
- 239000005023 polychlorotrifluoroethylene (PCTFE) polymer Substances 0.000 claims description 6
- 229920001343 polytetrafluoroethylene Polymers 0.000 claims description 6
- 239000004810 polytetrafluoroethylene Substances 0.000 claims description 6
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 claims description 6
- 239000004698 Polyethylene Substances 0.000 claims description 5
- 229920000573 polyethylene Polymers 0.000 claims description 5
- 239000004743 Polypropylene Substances 0.000 claims description 4
- 229920002396 Polyurea Polymers 0.000 claims description 4
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 claims description 4
- 229920000728 polyester Polymers 0.000 claims description 4
- 229920001155 polypropylene Polymers 0.000 claims description 4
- 238000001771 vacuum deposition Methods 0.000 claims description 4
- YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N Fluorine atom Chemical compound [F] YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 239000004793 Polystyrene Substances 0.000 claims description 3
- 238000007598 dipping method Methods 0.000 claims description 3
- 229910052731 fluorine Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 239000011737 fluorine Substances 0.000 claims description 3
- 238000004518 low pressure chemical vapour deposition Methods 0.000 claims description 3
- 229920002223 polystyrene Polymers 0.000 claims description 3
- 238000007639 printing Methods 0.000 claims description 3
- 238000005507 spraying Methods 0.000 claims description 3
- 239000010408 film Substances 0.000 abstract description 15
- 238000007789 sealing Methods 0.000 abstract description 6
- 239000010409 thin film Substances 0.000 abstract description 6
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 5
- 239000012535 impurity Substances 0.000 abstract description 5
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 abstract description 5
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 abstract description 5
- 238000005538 encapsulation Methods 0.000 description 11
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 5
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 5
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 4
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 2
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- QVQLCTNNEUAWMS-UHFFFAOYSA-N barium oxide Chemical compound [Ba]=O QVQLCTNNEUAWMS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 2
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 2
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 2
- 239000012044 organic layer Substances 0.000 description 2
- 238000005240 physical vapour deposition Methods 0.000 description 2
- 229920002493 poly(chlorotrifluoroethylene) Polymers 0.000 description 2
- 229920002620 polyvinyl fluoride Polymers 0.000 description 2
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 2
- OOLUVSIJOMLOCB-UHFFFAOYSA-N 1633-22-3 Chemical compound C1CC(C=C2)=CC=C2CCC2=CC=C1C=C2 OOLUVSIJOMLOCB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 1
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N acrylic acid group Chemical group C(C=C)(=O)O NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 1
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000001505 atmospheric-pressure chemical vapour deposition Methods 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 description 1
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 1
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 1
- 238000006731 degradation reaction Methods 0.000 description 1
- 238000004925 denaturation Methods 0.000 description 1
- 230000036425 denaturation Effects 0.000 description 1
- 150000004985 diamines Chemical class 0.000 description 1
- 125000006159 dianhydride group Chemical group 0.000 description 1
- 239000000539 dimer Substances 0.000 description 1
- 238000000469 dry deposition Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000010292 electrical insulation Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 1
- 238000007737 ion beam deposition Methods 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 1
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 1
- 230000000704 physical effect Effects 0.000 description 1
- 229920003023 plastic Polymers 0.000 description 1
- 239000004033 plastic Substances 0.000 description 1
- 238000006116 polymerization reaction Methods 0.000 description 1
- 229920001296 polysiloxane Polymers 0.000 description 1
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 1
- 238000005215 recombination Methods 0.000 description 1
- 230000006798 recombination Effects 0.000 description 1
- 239000002990 reinforced plastic Substances 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 238000004904 shortening Methods 0.000 description 1
- 238000004528 spin coating Methods 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 229920001169 thermoplastic Polymers 0.000 description 1
- 229910052723 transition metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000003624 transition metals Chemical class 0.000 description 1
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
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-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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- H10K50/00—Organic light-emitting devices
- H10K50/80—Constructional details
- H10K50/84—Passivation; Containers; Encapsulations
- H10K50/842—Containers
- H10K50/8426—Peripheral sealing arrangements, e.g. adhesives, sealants
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- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K50/00—Organic light-emitting devices
- H10K50/80—Constructional details
- H10K50/84—Passivation; Containers; Encapsulations
- H10K50/844—Encapsulations
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- H—ELECTRICITY
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Abstract
본 발명은 유기 전계 발광 표시 장치 및 이의 제조방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 기판과, 상기 기판 상에 형성된 화소부를 구비한 유기 전계 발광 소자와, 상기 기판 및 유기 전계 발광 소자를 봉지하기 위해 상기 기판 및 유기 전계 발광 소자의 외부에 형성된 소수성 고분자 패시배이션층 및 절연 고분자 코팅막층을 구비하는 유기 전계 발광 표시 장치에 관한 것이다. 특히, 상기 소수성 고분자 패시배이션층을 파릴렌 또는 고밀도폴리에틸렌을 이용하여 기상 증착법에 의해 형성하여 소자내 존재하는 핀-홀 또는 크랙 등에서도 균일한 박막으로 얻을 수 있다. 또한, 본 발명의 유기 전계 발광 표시 장치는 소수성 고분자 패시배이션층 및 절연 고분자 코팅막층의 2중 실링을 통해 외부로부터의 유입되는 불순물, 산소 또는 수분의 침투를 효과적으로 방지하여 수명이 증가된다.The present invention relates to an organic light emitting display device and a method of manufacturing the same, and more particularly, to an organic electroluminescent device having a substrate, a pixel portion formed on the substrate, and to seal the substrate and the organic electroluminescent device. The present invention relates to an organic light emitting display device including a hydrophobic polymer passivation layer and an insulating polymer coating film layer formed on an outside of a substrate and an organic light emitting device. In particular, the hydrophobic polymer passivation layer may be formed by vapor deposition using parylene or high density polyethylene to obtain a uniform thin film even in pin-holes or cracks present in the device. In addition, the organic light emitting display device of the present invention can effectively prevent the ingress of impurities, oxygen or moisture introduced from the outside through the double sealing of the hydrophobic polymer passivation layer and the insulating polymer coating film layer to increase the lifespan.
소수성 고분자 패시배이션층, 파릴렌, 기상 증착Hydrophobic Polymer Passivation Layer, Parylene, Vapor Deposition
Description
도 1 및 도 2는 종래의 유기 전계 발광 표시 장치를 나타내는 도면, 1 and 2 illustrate a conventional organic light emitting display device;
도 3 및 도 4는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 유기 전계 발광 표시 장치를 나타내는 도면,3 and 4 illustrate an organic light emitting display device according to a first embodiment of the present invention;
도 5 및 도 6은 본 발명의 제 2 실시예에 따른 유기 전계 발광 표시 장치를 나타내는 도면.5 and 6 illustrate an organic light emitting display device according to a second embodiment of the present invention.
(도면의 주요 부위에 대한 부호의 설명)(Explanation of symbols for main parts of drawing)
10, 100, 200 : 기판 20, 120, 220 : 유기 전계 발광 소자10, 100, 200:
30 : 봉지용 기판 40 : 접착제30: sealing substrate 40: adhesive
140, 240 : 고분자 패시배이션층140, 240: polymer passivation layer
160, 260 ; 절연 고분자 코팅막층160, 260; Insulation polymer coating film layer
본 발명은 기판 상에 형성된 화소부를 구비한 유기 전계 발광 소자와, 상기 기판 및 유기 전계 발광 소자를 봉지하기 위해 상기 기판 및 유기 전계 발광 소자 의 외부에 형성된 소수성 고분자 패시배이션층 및 절연 고분자 코팅막층을 구비하는 유기 전계 발광 표시 장치 및 이의 제조방법에 관한 것이다.The present invention provides an organic electroluminescent device having a pixel portion formed on a substrate, a hydrophobic polymer passivation layer and an insulating polymer coating film layer formed outside the substrate and the organic electroluminescent device to encapsulate the substrate and the organic electroluminescent device. The present invention relates to an organic light emitting display device and a method of manufacturing the same.
유기 전계 발광 표시 장치(Organic Electro Luminescence Display Devices, OELD)는 유기물(저분자 또는 고분자) 박막에 음극과 양극을 통하여 주입된 전자와 정공이 재결합하여 여기자를 형성하고 여기자로부터 에너지에 의해 특정한 파장의 빛을 자체 발광하는 현상을 이용한 디스플레이를 말한다. 상기 유기 전계 발광 표시 장치는 전자와 정공의 재결합을 통해 가능한 최고의 발광효율을 구현할 수 있는 적층형 구조를 가지고 있다.Organic Electro Luminescence Display Devices (OELD) is an organic (low molecular or polymer) thin film of electrons and holes injected through a cathode and an anode to recombine to form excitons and to emit light of a specific wavelength by energy from the excitons. It refers to a display using a phenomenon that emits light. The organic light emitting display device has a stacked structure that can realize the highest luminous efficiency possible through recombination of electrons and holes.
이하 첨부된 도면을 참조하여, 종래 기술을 설명한다.Hereinafter, a conventional technology will be described with reference to the accompanying drawings.
도 1은 종래의 유기 전계 발광 표시 장치를 나타내는 도면이며, 도 2는 상기 도 1의 Ⅰ-Ⅰ' 라인을 따르는 도면이다.1 is a view illustrating a conventional organic light emitting display device, and FIG. 2 is a view along the line II ′ of FIG. 1.
도 1 및 도 2를 참조하면, 상기 유기 전계 발광 표시 장치는 기판(10) 상에 화소부를 구비하는 유기 전계 발광 소자(20)를 형성한다. 상기 유기 전계 발광 소자(20)는 상기 기판 상에 제 1 전극층이 형성되고, 상기 제 1 전극층 상부에 유기막층을 증착하고, 상기 유기막층 상부에 제 2 전극층을 구비함으로써 적층형 구조를 갖는다.1 and 2, the organic electroluminescent display device forms an organic
다음으로, 상기 기판(10) 상에 형성된 유기 전계 발광 소자(20)가 수분 등의 외부 환경에 의해서 그 성능의 저하 및 수명의 단축 등이 발생하는 것을 방지하기 위하여 봉지수단 등으로 봉지한다. 상기 도 1 및 도 2에 도시한 바와 같이, 유기 전계 발광 표시 장치는 봉지용 절연 기판(30) 또는 캡(Cap)을 이용하여 상기 기판 과 압착 밀착한 후 접촉하는 면에 접착제(40)를 주입하여 체결되는 구조를 갖는다.Next, the organic
이때 사용되는 봉지용 절연 기판은 금속 캔(metal can), 바륨 산화물(Barium Oxide), 스테인레스 합금, SiO2(유리), Y2O3, MgF2 및 InO3 등의 유리 기판 및 FRP(Fiberglass-Reinforced Plastics), PVF(폴리비닐플로라이드), 폴리에스테르 또는 아크릴 등으로 이루어지는 플라스틱 기판을 사용할 수 있다 그러나, 이러한 방법을 통해 봉지 접합부의 접착제를 이용하더라도, 상기 접착제의 자체 투습도, 및 계면 특성 등에 의해 기판 상에 도포된 접착제의 일부가 들뜨거나 혹은 접착제의 도포 폭이 작아지는 등의 접착불량이 발생한다. 또한, 적용되는 접착제의 두께 차이에 의해서 경화불량이 발생함으로써 접착제 불량부위로 수분의 투습이 발생하여 유기 전계 발광 표시 장치가 열화되는 문제점이 있었다.The insulating substrate for encapsulation used here is a glass substrate such as metal can, barium oxide, stainless alloy, SiO 2 (glass), Y 2 O 3 , MgF 2 and InO 3 , and FRP (Fiberglass- Plastic substrates made of Reinforced Plastics, PVF (polyvinyl fluoride), polyester, or acrylic may be used. A poor adhesion, such as a part of the adhesive applied on the substrate is lifted or the coating width of the adhesive is small. In addition, there is a problem that the organic electroluminescence display deteriorates due to moisture permeation occurs due to poor curing due to the difference in thickness of the adhesive applied.
상기한 봉지용 기판 또는 캡 이외에 통상적으로 사용되는 봉지수단은 상기 유기 전계 발광 소자를 코팅(encapsulation)하여 코팅막을 형성하는 방식을 따른다. 미합중국특허 제 5,952,778호('Encapsulated organic light emitting device')에 따르면, 유기 전계 발광 소자의 캐소드 전극 상에 수분이나 산소에 상대적으로 덜 민감한 금속, 예를 들면 Al 또는 전이 금속 등을 음극 전극과 같은 마스크를 이용하여 진공 상태에서 연속적으로 증착하고, 다시 이온빔 증착법(Ion Beam Deposition) 등의 건식 증착법에 의해 실리콘 산화막(Silicon Oxide) 또는 실리콘 질화막(Silicon Nitride) 등의 무기 절연막을 형성하고, 상기 무기절연막 상에 폴리실옥세인(Polysiloxane), 폴리테트라플루에틸렌(Polytetrafluethtylene) 등의 소수성(Hydrophobic) 폴리머를 형성하여 유기 전계 발광 소자를 코팅 또는 인캡슐(Encaplsulation) 시키는 방법이 개시되어 있다.The encapsulation means commonly used in addition to the encapsulation substrate or cap follows a method of forming a coating film by encapsulating the organic electroluminescent device. According to U.S. Patent No. 5,952,778 ('Encapsulated organic light emitting device'), a metal, such as Al or a transition metal, which is relatively less sensitive to moisture or oxygen on the cathode electrode of the organic electroluminescent device, such as a cathode electrode, is masked. Continuously deposit in a vacuum state, and again form an inorganic insulating film such as silicon oxide or silicon nitride by dry deposition such as ion beam deposition. Disclosed is a method of coating or encapsulating an organic electroluminescent device by forming a hydrophobic polymer such as polysiloxane and polytetrafluethtylene.
또한, 이와 유사하게 일본 공개특허공보 제(평)5-182759호 및 일본 공개특허공보 제(평)7-282975호에서도 유기 전계 발광 소자를 봉지하기 위해 이중 구조의 봉지층을 제안하고 있으며, 제 1 봉지층으로서 실리콘 산화막 및 실리콘 질화막을 스퍼터링법 또는 증착법으로 형성하고, 제 2 봉지층으로서 방습성을 갖는 광경화성 수지층 또는 열가소성 고분자층을 형성하는 방법이 기재되어 있다.Similarly, JP-A-5-182759 and JP-A-7-282975 also propose a double-layered encapsulation layer to encapsulate an organic electroluminescent device. A method of forming a silicon oxide film and a silicon nitride film as a first sealing layer by a sputtering method or a vapor deposition method, and forming a photocurable resin layer or a thermoplastic polymer layer having moisture resistance as a second sealing layer is described.
이러한 코팅막을 이용한 봉지 방법은 유기 전계 발광 소자의 핀-홀 또는 크랙 부분까지도 코팅이 가능하여 상기 봉지용 기판 또는 캡을 사용하는 것에 비하여 밀봉 효과가 우수한 특징이 있으나, 상기 봉지용 기판 또는 캡에 비해 안정성 및 견고성이 떨어진다는 문제점이 있다.The encapsulation method using such a coating film is capable of coating even the pin-hole or crack portion of the organic light emitting device, and thus has an excellent sealing effect as compared to using the encapsulation substrate or cap, but compared to the encapsulation substrate or cap. There is a problem that the stability and robustness is poor.
상기한 문제점을 해결하기 위한, 본 발명의 목적은 외부로부터의 불순물 유입을 효과적으로 차단할 수 있는 유기 전계 발광 표시 장치 및 이의 제조방법을 제공하는 것이다.SUMMARY OF THE INVENTION In order to solve the above problems, an object of the present invention is to provide an organic light emitting display device and a method of manufacturing the same that can effectively block the introduction of impurities from the outside.
또한, 본 발명의 또다른 목적은 수명이 증가된 유기 전계 발광 표시 장치 및 이의 제조방법을 제공하는 것이다.In addition, another object of the present invention is to provide an organic light emitting display device having an increased lifetime and a method of manufacturing the same.
또한, 본 발명의 또다른 목적은 유기 전계 발광 소자의 전면 또는 외부 전체가 소수성 고분자 패시배이션층 및 절연 고분자 코팅막층을 구비하여 2중 실링된 유기 전계 발광 표시 장치 및 이의 제조방법을 제공하는 것이다.Further, another object of the present invention is to provide a double-sealed organic electroluminescent display device and a method of manufacturing the same, in which the entire surface or the whole of the organic electroluminescent device is provided with a hydrophobic polymer passivation layer and an insulating polymer coating film layer. .
상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명은:The present invention for achieving the above object is:
기판과, 상기 기판 상에 형성된 화소부를 구비한 유기 전계 발광 소자와, 상기 기판 및 유기 전계 발광 소자의 외부 전체에 걸쳐 형성된 소수성 고분자 패시배이션층 및 상기 소수성 고분자 패시배이션층 내부 또는 외부에 절연 고분자 코팅막층을 구비하는 유기 전계 발광 표시 장치를 제공한다.An organic electroluminescent device having a substrate, a pixel portion formed on the substrate, an insulating layer inside or outside the hydrophobic polymer passivation layer and the hydrophobic polymer passivation layer formed over the entire exterior of the substrate and the organic electroluminescent device An organic light emitting display device having a polymer coating layer is provided.
상기 소수성 고분자 패시배이션층은 파릴렌, 고밀도 폴리에틸렌 및 폴리이미드로 이루어진 군에서 선택된 것을 기상 증착법에 의해 상기 유기 전계 발광 소자의 외부 전체를 감싸도록 형성하는 것을 특징으로 한다.The hydrophobic polymer passivation layer is characterized in that formed from the group consisting of parylene, high density polyethylene and polyimide to surround the entire outside of the organic electroluminescent device by vapor deposition.
이하, 첨부한 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명한다. 각 도면들에 있어서, 층 및 영역의 길이, 두께 등은 편의를 위하여 과장되어 표현될 수도 있다. 본 명세서 전체에 걸쳐서 동일한 참조번호들은 동일한 구성요소들을 나타낸다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. In the drawings, the lengths, thicknesses, and the like of layers and regions may be exaggerated for convenience. Like numbers refer to like elements throughout.
도 3은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 유기 전계 발광 표시 장치를 설명하기 위한 평면도이고, 도 4는 도 3의 Ⅱ-Ⅱ' 라인을 따른 단면도이다.3 is a plan view illustrating an organic light emitting display device according to a first exemplary embodiment of the present invention, and FIG. 4 is a cross-sectional view taken along the line II-II ′ of FIG. 3.
도 3 및 도 4를 참조하면, 제 1 실시예에 따른 유기 전계 발광 표시 장치는 기판과, 상기 기판(100) 상에 형성된 화소부를 구비한 유기 전계 발광 소자(120)와, 상기 기판(100) 및 유기 전계 발광 소자(120)의 외부 전체가 감싸지도록 형성된 소수성 고분자 패시배이션층(140)과; 상기 소수성 고분자 패시배이션층(140) 상에 형성된 절연 고분자 코팅막층(160);을 포함한다.3 and 4, the organic light emitting display device according to the first embodiment includes an organic
구체적으로, 상기한 구조를 가지는 유기 전계 발광 표시 장치의 제조방법을 살펴보면, 먼저, 절연 기판(100) 상에 화소부가 구비된 유기 전계 발광 소자(120)를 형성한다. 상기 유기 전계 발광 소자(120)는 애노드 전극, 유기 전계 발광층, 캐소드 전극이 포함된 적층 구조로 이루어진다.Specifically, referring to the method of manufacturing the organic light emitting display device having the above structure, first, the organic
다음으로, 상기 유기 전계 발광 소자(120)가 형성된 기판(100)을 소수성 모노머 또는 고분자를 기상 증착하여 소수성 고분자 패시배이션층(hydrophobic polymer passivation layer, 140)을 형성한다. 이때, 상기 패시배이션층(140)은 상기 기판(100) 및 유기 전계 발광 소자(120)의 전면 또는 외부 전체를 감싸도록 형성한다.Next, a hydrophobic
상기 소수성 모노머는 기상 증착과 동시에 중합이 진행되어 소수성 고분자 패시배이션층(140)을 형성할 수 있으며, 파릴렌 모노머(parylene monomer), 파릴렌 다이머 (parylene dimer), 폴리에틸렌 모노머(polyethylene monomer), 디언하이드라이드(dianhydrides) 및 디아민(diamines)을 포함하는 폴리이미드 모노머(Polyimide monomer) 중에서 선택된다. 상기 소수성 고분자로는 고밀도폴리에틸렌(high density polyethylene, HDPE) 및 폴리이미드(polyimide) 중에서 선택하여 사용한다. 이러한 소수성 모노머 또는 고분자로 형성된 소수성 고분자 패시배이션층(140)은 고분자 표면이 소수성을 나타냄에 따라 탁월한 내화학성, 내수성 및 내습성을 나타내고, 낮은 유전상수를 가짐에 따라 우수한 전기 절연 특성을 나타낸다.The hydrophobic monomer may be polymerized at the same time as vapor deposition to form a hydrophobic
본 발명에서 사용되는 기상 증착법은 통상적인 화학 기상 증착법(CVD) 또는 물리적 기상 증착법이 사용될 수 있다. 일예로 화학 기상 증착법으로 상압 CVD, 저압 CVD, 플라즈마 보강 기상 증착(PECVD), 광자보강 기상증착(PHCVD) 등이 사용될 수 있으며, 물리적 기상 증착법으로는 스퍼터링 또는 진공증착법이 사용될 수 있다. 이러한 기상 증착법의 압력 및 온도 등에 대한 개별적인 조건은 공지된 조건을 따르며, 사용되는 소수성 모노머 및 고분자의 종류에 따라 적절히 변화시킬 수 있다.As the vapor deposition method used in the present invention, conventional chemical vapor deposition (CVD) or physical vapor deposition may be used. For example, as a chemical vapor deposition method, atmospheric pressure CVD, low pressure CVD, plasma enhanced vapor deposition (PECVD), photon enhanced vapor deposition (PHCVD), and the like may be used, and physical vapor deposition may be used as sputtering or vacuum deposition. Individual conditions for the pressure and temperature of the vapor deposition method, etc., follow known conditions, and may be appropriately changed depending on the type of hydrophobic monomer and polymer used.
일예로, 파릴렌을 이용하여 소수성 고분자 패시배이션층(140)을 형성하는 경우, 증착기에서 다이머(Dimer)상태의 파릴렌을 대략 150℃의 온도로 가열하여 모노머 상태의 파릴렌을 형성한 후 680℃의 온도로 가열하여 모노머 상태의 파릴렌을 유기 전계 발광 소자가 형성된 패널 전체에 분사하여 대기의 온도와 0.1 Torr의 압력으로 경화시켜 증착함으로써 소수성 고분자 패시배이션층(140)을 형성한다.For example, when the hydrophobic
또한, 고밀도 폴리에틸렌을 이용하여 소수성 고분자 패시배이션층(140)을 형성하는 경우, 증착기에서 1∼5 A/s의 속도로(0.1 Torr의 압력) 상기 유기 전계 발광 소자가 형성된 패널 전체에 분사하여 원하는 정도의 두께를 갖도록 증착함으로써 소수성 고분자 패시배이션층(140)을 형성한다.In addition, when the hydrophobic
이와 같이 소수성 고분자 패시배이션층(140)을 형성하기 위해 사용하는 기상증착법은 상기 층을 형성하고자 하는 유기 전계 발광 소자(120)의 형상에 관계없이 균일한 두께의 코팅막을 형성할 수 있으며, 미세 핀-홀(pin-hole) 및 크랙(crack) 등에도 균일하게 코팅이 가능한 특징이 있다. 특히, 파릴렌의 경우 전기 및 기계적으로 우수한 특징을 나타내고 수분과 부식 가스 등의 투과율이 매우 낮으며 균일 한 박막 형성이 가능하다.As described above, the vapor deposition method used to form the hydrophobic
또한, 상기 소수성 고분자 패시배이션층(140)을 형성하기 위해 기상 증착법을 사용함으로써 소수성 모노머 또는 고분자를 이용하여 중합과 동시에 상기 기판 및 유기 전계 발광 소자 전체를 감싸는 패시배이션층을 형성할 수 있다. 이러한 기상 증착법은 종래 절연 고분자 코팅막층(160) 형성시 주로 사용되는 용액 코팅 방법에서 발생하는 캐소드 메탈 부식 및 상기 메탈 내 존재하는 핀-홀 내로 용액이 침투하여 유기막층이 손상되는 문제점을 해결할 수 있다.In addition, by using a vapor deposition method to form the hydrophobic
다음으로, 상기 소수성 고분자 패시배이션층(140) 외부에 절연 고분자로 코팅하여 코팅막층(160)을 형성하여 유기 전계 발광 표시 장치를 완성한다. 상기 절연 고분자는 이 분야에서 사용되는 통상적인 것으로, 폴리우레아계 고분자(polyurea), 폴리에틸렌계 고분자(polyethylenes), 폴리프로필렌계 고분자(polypropylenes), 폴리스타이렌계 고분자(polystylenes), 폴리이미드계 고분자(polyimides), 폴리에스테르계 고분자(polyesters), 아크릴계 고분자(acryloc polymer) 또는 폴리테트라플루오로에틸렌(polytetrafluoroethylene, PTFE), 폴리클로로트리플루오로에틸렌(polychloro-trifluoroethylene, PCFE), 폴리비닐리덴플로라이드(polyvilylidenefluoride) 등의 불소계 고분자가 사용될 수 있다.Next, a
상기 고분자 절연 코팅막층(160)은 상기에서 선택된 1 종의 절연 고분자를 용액상태로 제조한 후 스핀 코팅, 스프레이 코팅, 프린팅 및 디핑 등의 습식 방법 또는 스퍼터링 및 진공 증착 등의 건식 방법에 의해 형성된다. 이와 같은 고분자 절연 코팅막층(160)은 상기 기상 증착에 의해 형성된 소수성 고분자 패시배이션층(140)과 물성을 달리하게 된다.The polymer insulating
이와 같이, 기판 및 유기 전계 발광 소자 상부에 소수성 고분자 패시배이션층(140) 및 절연 고분자 코팅막층(160)을 구비하게 되면, 외부로부터 유입되는 불순물, 산소 및 수분을 효과적으로 방지할 수 있다.As such, when the hydrophobic
도 5는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 유기 전계 발광 표시 장치를 설명하기 위한 평면도이고, 도 6은 도 2의 Ⅲ-Ⅲ' 라인을 따른 단면도이다.5 is a plan view illustrating an organic light emitting display device according to a second exemplary embodiment of the present invention, and FIG. 6 is a cross-sectional view taken along the line III-III ′ of FIG. 2.
도 5 및 도 6을 참조하면, 본 발명의 제 2 실시예에 따른 유기 전계 발광 표시 장치는 기판(200)과, 상기 기판(200) 상에 형성된 화소부를 구비한 유기 전계 발광 소자(226)와, 상기 기판(200) 및 유기 전계 발광 소자(220) 상에 형성된 절연 고분자 코팅막층(260); 및 상기 기판(200) 및 절연 고분자 코팅막층(260)의 외부 전체를 감싸도록 형성된 소수성 고분자 패시배이션층(240);을 포함한다.5 and 6, an organic light emitting display device according to a second exemplary embodiment of the present invention includes an organic electroluminescent element 226 having a
상기 제 2 실시예에 따른 유기 전계 발광 표시 장치는 상기 제 1 실시예와 유사하며, 다만 소수성 고분자 패시배이션층(240)과 절연 고분자 코팅막층(260)이 순서를 달리하여 형성되며, 이때 도입되는 물질 및 방법 등은 상기 제 1 실시예를 따른다. The organic light emitting display device according to the second embodiment is similar to the first embodiment, except that the hydrophobic
구체적으로, 상기 도 5 및 도 6을 참조하면, 기판(200) 상에 화소부가 구비된 유기 전계 발광 소자(220)를 형성한다.Specifically, referring to FIGS. 5 and 6, the organic
다음으로, 상기 기판 및 유기 전계 발광 소자(220)의 전면 또는 외부 전체를 감싸도록 절연 고분자로 코팅하여 절연 고분자 코팅막층(260)을 형성한다.Next, the insulating
다음으로, 상기 절연 고분자 코팅막층(260)에 소수성 모노머 또는 고분자를 기상 증착법에 의해 소수성 고분자 패시배이션층(240)을 형성한다. 이때 형성되는 소수성 고분자 패시배이션층(240)은 상기 기판(200)의 전면에 형성하며, 바람직하기로 봉지 효율을 높이기 위하여 외부 전체를 감싸도록 형성하여 유기 전계 발광 표시 장치를 완성한다.Next, a hydrophobic
상기 제 1 실시예 및 제 2 실시예를 통하여 얻어진 본 발명의 유기 전계 발광 표시 장치는, 기판 상에 화소부가 구비된 유기 전계 발광 소자를 소수성 고분자 패시배이션층 및 절연 고분자 코팅층으로 2중 봉지함으로써 봉지 효율을 극대화 할 수 있다. 그 결과, 외부로부터 유입되는 불순물, 산소 또는 수분 등을 완벽히 차단할 수 있어 화소부 내의 유기막층의 산화 또는 변성을 억제하여 유기 전계 발광 표시 장치의 신뢰도가 증가할 뿐더러 수명이 증가되는 효과를 얻을 수 있다.The organic electroluminescent display device of the present invention obtained through the first and second embodiments comprises encapsulating an organic electroluminescent device having a pixel portion on a substrate with a hydrophobic polymer passivation layer and an insulating polymer coating layer. The efficiency of encapsulation can be maximized. As a result, impurities, oxygen, or moisture introduced from the outside can be completely blocked, thereby suppressing oxidation or denaturation of the organic layer in the pixel portion, thereby increasing the reliability of the organic light emitting display device and increasing the lifespan. .
본 발명에서 제시되는 기상 증착법에 의한 고분자 패시배이션층 및 절연 고분자 코팅막층의 도입은 박막트랜지스터를 포함하지 않는 패시브 매트릭스형(Passive Matrix Type) 유기 전계 발광 표시 장치 및 상기 박막트랜지스터를 일체로 구비한 액티브 매트릭스형(Active Matrix Type) 유기 전계 발광 표시 장치에도 적합하게 적용할 수 있다.Introduction of the polymer passivation layer and the insulating polymer coating layer by the vapor deposition method presented in the present invention is to provide a passive matrix type organic electroluminescent display device which does not include a thin film transistor and the thin film transistor integrally. The present invention can also be suitably applied to an active matrix type organic light emitting display device.
상기한 바와 같이 본 발명에 따르면, 유기 전계 발광 표시 장치 봉지시 소수성을 나타내는 소수성 고분자 패시배이션층 및 절연 고분자 코팅막층을 구비함으로써 봉지 효율을 극대화할 수 있다.As described above, according to the present invention, encapsulation efficiency may be maximized by including a hydrophobic polymer passivation layer and an insulating polymer coating layer that exhibit hydrophobicity when encapsulating an organic light emitting display device.
또한, 상기 고분자 패시배이션층을 형성하기 위해 기상증착법을 적용함으로 써 균일한 두께의 박막을 형성할 수 있으며, 미세 핀-홀 및 크랙 등에도 균일하게 코팅이 가능한 특징이 있다.In addition, by applying the vapor deposition method to form the polymer passivation layer can be formed a thin film of a uniform thickness, there is a feature that can be uniformly coated on fine pin-holes and cracks.
이때 형성되는 소수성 고분자 패시배이션층 및 절연 고분자 코팅막층은 기판 및 유기 전계 발광 소자의 전면 또는 외부를 감싸도록 형성하여 외부로부터 유입되는 불순물, 산소 및 수분을 효과적으로 차단하여 결과적으로 유기 전계 발광 표시 장치의 수명을 증가시킨다.In this case, the hydrophobic polymer passivation layer and the insulating polymer coating layer formed are formed to surround the front surface or the outside of the substrate and the organic electroluminescent device to effectively block impurities, oxygen, and moisture introduced from the outside, and as a result, the organic light emitting display device Increases its lifespan.
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.Although the above has been described with reference to a preferred embodiment of the present invention, those skilled in the art will be able to variously modify and change the present invention without departing from the spirit and scope of the invention as set forth in the claims below. It will be appreciated.
Claims (21)
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020030087792A KR100659533B1 (en) | 2003-11-29 | 2003-11-29 | Organic electro luminescence display and method of manufacturing thereof |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020030087792A KR100659533B1 (en) | 2003-11-29 | 2003-11-29 | Organic electro luminescence display and method of manufacturing thereof |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR20050052304A KR20050052304A (en) | 2005-06-02 |
KR100659533B1 true KR100659533B1 (en) | 2006-12-19 |
Family
ID=37248379
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020030087792A KR100659533B1 (en) | 2003-11-29 | 2003-11-29 | Organic electro luminescence display and method of manufacturing thereof |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
KR (1) | KR100659533B1 (en) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US10256430B2 (en) | 2016-02-01 | 2019-04-09 | Samsung Display Co., Ltd. | Organic light emitting diode display and method for manufacturing organic light emitting diode display |
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---|---|---|---|---|
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KR100879207B1 (en) * | 2005-12-30 | 2009-01-16 | 주식회사 엘지화학 | Flexible display apparatus and method for manufacturing the same |
KR101255537B1 (en) | 2010-11-26 | 2013-04-16 | 삼성디스플레이 주식회사 | Flat display device and the manufacturing method thereof |
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-
2003
- 2003-11-29 KR KR1020030087792A patent/KR100659533B1/en active IP Right Grant
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한국공개특허공보 특1999-0031394호 |
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Publication number | Publication date |
---|---|
KR20050052304A (en) | 2005-06-02 |
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