KR100435209B1 - Semiconductor chip package loading/unloading apparatus with socket pressing plate - Google Patents

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Abstract

PURPOSE: A semiconductor chip package loading/unloading apparatus is provided to prolong the lifetime of a burn-in socket and to reduce the process time of chip package loading/unloading by using a socket pressing plate with a plurality of guide holes corresponding to burn-in sockets. CONSTITUTION: A plurality of burn-in sockets(120) are installed on a burn-in board(130). Each burn-in socket includes a recess on the top. An X-Y table(160) capable of moving to X and Y directions is used for loading the burn-in board. A socket pressing plate(250) with a plurality of guide holes(253) corresponding to each recess of the sockets is installed over the X-Y table to press simultaneously the sockets. A plurality of driving tools(140a,140b) are used for loading and unloading semiconductor chips to and from sockets.

Description

소켓 누름판이 설치된 반도체 칩 패키지의 로딩/언로딩 장치Loading / unloading device for semiconductor chip package with socket press plate

본 발명은 반도체 칩 패키지의 로딩/언로딩 장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 번인 보드 상의 번인 소켓에 반도체 칩 패키지를 로딩/언로딩하기 위해서 복수개의 번인 소켓을 동시에 개방할 수 있는 소켓 누름판이 설치된 반도체 칩 패키지의 로딩/언로딩 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a loading / unloading device for a semiconductor chip package, and more particularly, a socket pressing plate capable of simultaneously opening a plurality of burn-in sockets for loading / unloading a semiconductor chip package into a burn-in socket on a burn-in board. A loading / unloading device for a semiconductor chip package.

일반적으로 반도체 칩 패키지는 제조된 후에 제품의 신뢰성을 확인하기 위하여 각종 신뢰성 테스트를 실시하게 된다. 신뢰성 테스트는 반도체 칩의 모든 입출력 단자를 테스트 신호 발생 회로와 연결하여 정상적인 동작 및 단선 여부를 테스트하는 전기적 특성 테스트와, 반도체 칩 패키지의 전원 입력 단자 등 몇몇 입출력 단자들을 테스트 신호 발생 회로와 연결하여 정상 동작 조건보다 높은 온도, 전압 및 전류 등으로 스트레스를 인가하여 반도체 칩의 수명 및 결함 발생 여부를 체크하는 번인 테스트(Burn-In Test)가 있다.In general, after the semiconductor chip package is manufactured, various reliability tests are performed to confirm the reliability of the product. Reliability test is conducted by connecting all the input and output terminals of the semiconductor chip with the test signal generator to test the normal operation and disconnection, and by connecting several input and output terminals such as the power input terminal of the semiconductor chip package with the test signal generator. There is a burn-in test that checks the lifespan and defects of semiconductor chips by applying stress at temperatures, voltages, and currents higher than operating conditions.

제조 공정이 완료된 반도체 칩 패키지는 통상적으로 번인 보드(Burn-In Board)의 번인 소켓(Burn-In Socket)에 삽입된 상태에서 번인 장치에 투입되어 번인 테스트 공정이 진행된다.The semiconductor chip package in which the manufacturing process is completed is generally put into a burn-in apparatus in a state of being inserted into a burn-in socket of a burn-in board, and a burn-in test process is performed.

이때, 복수개의 반도체 칩 패키지를 동시에 번인 테스트하기 위하여 번인 보드의 번인 소켓에 번인 테스트 전의 반도체 칩 패키지를 로딩(Loading)하거나, 테스트 완료된 반도체 칩 패키지를 번인 보드의 번인 소켓에서 테스트 결과에 따라서 언로딩(Unloading)하여 분류하는 공정을 거치게 된다. 이와 같이 번인 보드 상의 번인 소켓에서 반도체 칩 패키지를 로딩/언로딩하기 위한 장치로서 구동툴을 구비한 반도체 칩 패키지의 로딩/언로딩 장치가 사용된다.At this time, in order to burn-in a plurality of semiconductor chip packages at the same time, the semiconductor chip package before the burn-in test is loaded into the burn-in socket of the burn-in board, or the loaded semiconductor chip package is unloaded from the burn-in socket of the burn-in board according to the test result. (Unloading) to sort through. As such, a device for loading / unloading a semiconductor chip package having a driving tool is used as a device for loading / unloading a semiconductor chip package from a burn-in socket on a burn-in board.

이하 도면을 참조하여 종래 기술에 따른 반도체 칩 패키지의 로딩/언로딩 장치에 관하여 설명하겠다.Hereinafter, a loading / unloading apparatus of a semiconductor chip package according to the related art will be described with reference to the accompanying drawings.

도 1은 종래 기술에 따른 반도체 칩 패키지 로딩/언로딩 장치를 나타내는 개략도이다.1 is a schematic view showing a semiconductor chip package loading / unloading apparatus according to the prior art.

도 1을 참조하여 종래 기술에 따른 로딩/언로딩 장치를 설명하면, 로딩/언로딩 장치(100)는 공급용 트레이(70), XY 테이블(60), 번인 보드(30), 수납용 트레이(80), 분류부(90), 구동툴(40)을 포함한다.Referring to FIG. 1, a loading / unloading device according to the related art will be described. The loading / unloading device 100 may include a supply tray 70, an XY table 60, a burn-in board 30, and a storage tray ( 80), the sorting unit 90, the drive tool 40.

번인 보드(30)는 메인 보드(31) 상부면에 복수개의 번인 소켓(20)이 삽입 설치되어 있으며, 번인 소켓의 소켓 리드(도 2의 29)는 메인 보드(31)에 형성된 회로 패턴(33)에 의해 서로 전기적으로 연결된 구조를 갖는다. 그리고, 메인 보드(31)의 일측에 회로 패턴(33)과 연결된 전기적 연결부(35; Connector)가 형성되어 있다.Burn-in board 30 is a plurality of burn-in socket 20 is inserted into the upper surface of the main board 31, the socket lead (29 in Figure 2) of the burn-in socket is a circuit pattern 33 formed on the main board 31 ) Has a structure electrically connected to each other. In addition, an electrical connection part 35 (Connector) connected to the circuit pattern 33 is formed at one side of the main board 31.

XY 테이블(60) 상에 위치한 번인 보드(30)로 반도체 칩 패키지를 로딩/언로딩하기 위하여 반도체 칩 패키지를 흡착할 수 있는 흡착부(도 2의 45)를 갖는 구동툴(40)에 의해 번인 소켓(20)에 반도체 칩 패키지(10a)를 로딩하거나, 번인 완료된 반도체 칩 패키지(10b)를 분리하게 된다.Burn-in by drive tool 40 having adsorption portion (45 in FIG. 2) capable of adsorbing the semiconductor chip package for loading / unloading the semiconductor chip package onto burn-in board 30 located on XY table 60. The semiconductor chip package 10a is loaded into the socket 20 or the burned-in semiconductor chip package 10b is separated.

여기서, 반도체 칩 패키지(10a)를 번인 보드(30)로 로딩하는 구동툴을 삽입툴(40a)이라 하고, 번인 보드(30)에서 반도체 칩 패키지(10b)를 언로딩하는 구동툴을 제거툴(40a)이라 하자. 그리고, 공급용 트레이(70)에 수납된 번인 테스트 전의 반도체 칩 패키지를 제 1 반도체 칩 패키지(10a)라 하고, 번인 테스트가 완료된 반도체 칩 패키지를 제 2 반도체 칩 패키지(10b)라 하자.Here, the driving tool for loading the semiconductor chip package 10a into the burn-in board 30 is called an insertion tool 40a, and the driving tool for unloading the semiconductor chip package 10b from the burn-in board 30 is removed. Let's say 40a). The semiconductor chip package before the burn-in test stored in the supply tray 70 is referred to as a first semiconductor chip package 10a, and the semiconductor chip package where the burn-in test is completed is referred to as a second semiconductor chip package 10b.

도 1의 번인 보드(30)에 설치된 번인 소켓(20)에 제 1 반도체 칩 패키지(110a)가 수납되는 상태를 도 2를 참조하여 좀더 상세하게 설명하면, 삽입툴(40a)은 제 1 반도체 칩 패키지(10a)를 흡착하는 흡착부(45)와, 흡착부(45) 양측에 소켓 몸체의 상부 몸체(21)를 가압할 수 있는 가압부(43)으로 이루어져 있다. 물론, 제거툴(도 1의 40b)의 구조도 동일하다.A state in which the first semiconductor chip package 110a is accommodated in the burn-in socket 20 installed in the burn-in board 30 of FIG. 1 will be described in more detail with reference to FIG. 2. The adsorption part 45 which adsorb | sucks the package 10a, and the press part 43 which can press the upper body 21 of a socket body to both sides of the adsorption part 45 are comprised. Of course, the structure of the removal tool (40b of FIG. 1) is also the same.

제 1 반도체 칩 패키지(10a)를 번인 소켓(20)에 로딩하는 공정을 설명하면, 제 2 반도체 칩 패키지(도 1의 10b)가 언로딩된 이후에 제 1 반도체 칩 패키지(10a)를 흡착한 삽입툴의 가압부(43)가 소켓 몸체의 상부 몸체(21)를 가압하게되면, 상부 몸체(21)와 일측이 연결된 소켓 리드(29)가 하부 몸체(23)의 상부면에 대하여 이탈하여 벌어지게 된다. 이 때, 제 1 반도체 칩 패키지(10a)를 흡착한 흡착부(45)가 제 1 반도체 칩 패키지(10a)를 하부 몸체(23)의 상부면에 놓게 된다. 그리고나서 삽입툴(40a)의 가압부(43)는 번인 소켓(20) 상부로 상승하게 되면 상부 몸체(21)가 소켓 리드(29)의 탄성력에 의해 원래의 위치로 돌아가면서 소켓 리드(29)가 제 1 반도체 칩 패키지의 리드(12)와 기계적으로 접촉에 의해 접속하게 된다.Referring to the process of loading the first semiconductor chip package 10a into the burn-in socket 20, the first semiconductor chip package 10a is sucked after the second semiconductor chip package 10b of FIG. 1 is unloaded. When the pressing portion 43 of the insertion tool presses the upper body 21 of the socket body, the socket lead 29 connected to one side of the upper body 21 is separated from the upper surface of the lower body 23 to open. You lose. At this time, the adsorption part 45 which adsorbs the first semiconductor chip package 10a places the first semiconductor chip package 10a on the upper surface of the lower body 23. Then, when the pressing portion 43 of the insertion tool 40a is raised above the burn-in socket 20, the upper body 21 returns to its original position by the elastic force of the socket lead 29, and the socket lead 29 Is mechanically connected to the lead 12 of the first semiconductor chip package.

그리고, 제 2 반도체 칩 패키지(도 1의 10b)를 번인 소켓(20)에서 분리하는 공정은 삽입하는 공정의 반대 공정으로 제거툴(40b)이 수행하게 된다. 이때, 반도체 칩 패키지를 로딩/언로딩하는 공정은 동시에 수행되지만, 번인 보드(30)상에서 관찰하면, 제 2 반도체 칩 패키지(10b)가 언로딩된 이후에 제 1 반도체 칩 패키지(10a)가 제 2 반도체 칩 패키지(10b)의 언로딩된 번인 소켓(20)에 로딩된다.In addition, the removing tool 40b may perform the process of separating the second semiconductor chip package 10b of FIG. 1 from the burn-in socket 20 in the opposite process to the inserting process. At this time, the process of loading / unloading the semiconductor chip package is performed at the same time, but when observed on the burn-in board 30, the first semiconductor chip package 10a is first loaded after the second semiconductor chip package 10b is unloaded. 2 is loaded into the unloaded burn-in socket 20 of the semiconductor chip package 10b.

이와 같은 구조를 갖는 반도체 칩 패키지 로딩/언로딩 장치(100)는 제거툴(40b)의 한번의 동작에 의해 제 2 반도체 칩 패키지(10b)를 번인 소켓(20)에 언로딩하게 되고, 삽입툴(40a)의 한번의 동작에 의해 제 1 반도체 칩 패키지(10a)를 번인 소켓(20)에 로딩하게 된다.The semiconductor chip package loading / unloading device 100 having such a structure unloads the second semiconductor chip package 10b into the burn-in socket 20 by one operation of the removal tool 40b. By one operation of the 40a, the first semiconductor chip package 10a is loaded into the burn-in socket 20.

따라서, 번인 소켓의 상부 몸체(21)를 가압하는 시간과 흡착부(45)를 이용하여 반도체 칩 패키지(10)를 로딩/언로딩하는 시간을 정확히 맞추어야 한다. 그리고, 반도체 칩 패키지(10)의 로딩/언로딩하는 시간을 정확히 맞추기 위해서는 번인 소켓(20)의 종류와 번인 소켓(20)의 사용 정도에 따른 공정 시간의 조정이 필요하지만, 공정 시간의 조정이 용이하지 않다.Therefore, the time for pressing the upper body 21 of the burn-in socket and the time for loading / unloading the semiconductor chip package 10 by using the adsorption part 45 must be accurately matched. In order to accurately match the loading / unloading time of the semiconductor chip package 10, it is necessary to adjust the process time according to the type of the burn-in socket 20 and the degree of use of the burn-in socket 20. Not easy

그리고, 번인 소켓(20)의 교체 주기는 반도체 칩 패키지의 로딩/언로딩에 따른 로딩툴(40)의 가압 횟수와 밀접한 관계가 있기 때문에, 번인 소켓(20)의 가압 횟수가 작을수록 번인 소켓(20)의 교체 주기는 연장된다고 볼 수 있다.In addition, since the replacement cycle of the burn-in socket 20 is closely related to the number of times of pressing of the loading tool 40 according to the loading / unloading of the semiconductor chip package, the smaller the number of times of pressing of the burn-in socket 20 is, the more burn-in socket ( The replacement cycle of 20 may be extended.

그러나, 하나의 번인 소켓(20)에 반도체 칩 패키지(10)를 로딩/언로딩하기 위하여 로딩툴(40)의 가압부가 2번 번인 소켓(20)에 힘을 가하기 때문에 번인 소켓(20)의 교체 주기는 한 번 가압에 의해 반도체 칩 패키지(10)를 로딩/언로딩하는 것에 비교하여 교체 주기가 긴 것은 당연하다.However, in order to load / unload the semiconductor chip package 10 into one burn-in socket 20, the press-in of the loading tool 40 exerts a force on the second burn-in socket 20, so that the replacement of the burn-in socket 20 is performed. Naturally, the replacement cycle is longer compared to loading / unloading the semiconductor chip package 10 by pressing once.

그리고, 로딩툴(40)의 구동 단계가 번인 소켓(20)을 가압하는 단계, 반도체 칩 패키지(10)의 로딩/언로딩하는 단계가 각각의 번인 소켓(20)에서 독립적으로 수행되기 때문에 공정 시간이 긴 단점이 있다.The driving time of the loading tool 40 is to pressurize the burn-in socket 20 and to load / unload the semiconductor chip package 10 to be independently performed at each burn-in socket 20. This has a long disadvantage.

따라서, 본 발명의 목적은 번인 소켓의 교체 주기를 연장할 수 있는 동시에 복수개의 번인 소켓을 동시에 가압할 수 있는 소켓 누름판이 설치된 반도체 칩 패키지의 로딩/언로딩 장치를 제공한다.Accordingly, an object of the present invention is to provide a loading / unloading device of a semiconductor chip package provided with a socket pressing plate capable of extending the replacement period of a burn-in socket and simultaneously pressing a plurality of burn-in sockets.

본 발명의 다른 목적은 번인 보드의 번인 소켓에 반도체 칩 패키지를 로딩/언로딩하는 공정 시간을 단축할 수 있는 소켓 누름판이 설치된 반도체 칩 패키지의 로딩/언로딩 장치를 제공한다.Another object of the present invention is to provide a loading / unloading apparatus for a semiconductor chip package provided with a socket press plate, which can shorten a process time for loading / unloading a semiconductor chip package into a burn-in socket of a burn-in board.

도 1은 종래 기술에 따른 반도체 칩 패키지의 로딩/언로딩 장치를 나타내는 개략도,1 is a schematic view showing a loading / unloading device of a semiconductor chip package according to the prior art;

도 2는 도 1의 번인 보드에 설치된 번인 소켓에 반도체 칩 패키지가 수납되는 상태를 나타내는 단면도,2 is a cross-sectional view illustrating a state in which a semiconductor chip package is accommodated in a burn-in socket installed on the burn-in board of FIG. 1;

도 3은 본 발명의 실시예에 따른 소켓 누름판이 설치된 반도체 칩 패키지 로딩/언로딩 장치를 나타내는 개략도,3 is a schematic diagram illustrating a semiconductor chip package loading / unloading device having a socket pressing plate according to an embodiment of the present invention;

도 4는 도 3의 번인 보드에 설치된 번인 소켓이 소켓 누름판에 눌려 개방되는 상태를 나타내는 단면도,4 is a cross-sectional view illustrating a state in which the burn-in socket installed on the burn-in board of FIG. 3 is pressed and opened by the socket pressing plate;

도 5는 도 4에서 개방된 번인 소켓에서 제 2 반도체 칩 패키지가 언로딩되는 상태를 나타내는 단면도,FIG. 5 is a cross-sectional view illustrating a state in which the second semiconductor chip package is unloaded in the burn-in socket opened in FIG. 4;

도 6은 도 5의 제 2 반도체 칩 패키지가 제거된 번인 소켓에 제 1 반도체 칩 패키지가 수납되는 상태를 나태는 단면도,6 is a cross-sectional view illustrating a state in which a first semiconductor chip package is accommodated in a burn-in socket in which the second semiconductor chip package of FIG. 5 is removed;

도 7은 제 1 반도체 칩 패키지의 수납이 완료된 이후에 소켓 누름판이 상승된 상태를 나타내는 단면도,FIG. 7 is a cross-sectional view illustrating a state in which a socket pressing plate is raised after storage of a first semiconductor chip package is completed; FIG.

도 8은 본 발명의 다른 실시예에 따른 소켓 누름판이 설치된 반도체 칩 패키지 로딩/언로딩 장치를 나태는 개략도이다.8 is a schematic diagram illustrating a semiconductor chip package loading / unloading device having a socket pressing plate according to another embodiment of the present invention.

※ 도면의 주요 부분에 대한 설명 ※※ Description of the main parts of the drawings ※

110 : 반도체 칩 패키지 120 : 번인 소켓110: semiconductor chip package 120: burn-in socket

130 : 번인 보드 140 : 구동툴130: burn-in board 140: drive tool

150, 250 : 소켓 누름판 153, 253 : 가이드 구멍150, 250: socket press plate 153, 253: guide hole

160 : XY 테이블 170 : 공급용 트레이160: XY table 170: supply tray

180 : 수납용 트레이 190 : 분류부180: storage tray 190: classification unit

200, 300 : 반도체 칩 패키지 로딩/언로딩 장치200, 300: semiconductor chip package loading / unloading device

상기 목적을 달성하기 위하여, XY 테이블에 이송된 번인 보드의 번인 소켓 중에서 일 행의 번인 소켓에 각기 대응하는 가이드 구멍이 형성된 소켓 누름판을 번인 보드 상부에 설치하거나, 모든 번인 소켓에 대응하는 가이드 구멍이 형성된 소켓 누름판을 번인 보드 상부에 설치하여, 번인 보드 상의 번인 소켓을 일 행 또는 모두를 개방한 상태에서 번인 소켓에 반도체 칩 패키지를 로딩/언로딩하는 반도체 칩 패키지의 로딩/언로딩 장치를 제공한다. 여기서, 반도체 칩 패키지는 로딩/언로딩될 때 소켓 누름판의 가이드 구멍을 통과하게 된다. 따라서, 가이드 구멍은 소켓의 이삽입 구멍의 크기보다는 적어도 크게 형성되어 있다.In order to achieve the above object, among the burn-in sockets of the burn-in board transferred to the XY table, a socket pressing plate having a guide hole corresponding to one row of burn-in sockets is installed on the burn-in board, or the guide holes corresponding to all burn-in sockets are provided. Provided is a device for loading / unloading a semiconductor chip package by installing the formed socket press plate on the burn-in board, and loading / unloading the semiconductor chip package into the burn-in socket with one or all of the burn-in sockets on the burn-in board open. . Here, the semiconductor chip package passes through the guide hole of the socket press plate when loaded / unloaded. Therefore, the guide hole is formed at least larger than the size of the insertion hole of the socket.

이하, 첨부 도면을 참조하여 본 발명을 보다 상세하게 설명하고자 한다.Hereinafter, the present invention will be described in more detail with reference to the accompanying drawings.

도 3은 본 발명의 실시예에 따른 소켓 누름판이 설치된 반도체 칩 패키지 로딩/언로딩 장치에 있어서, 번인 보드에 반도체 칩 패키지가 수납되는 상태를 나타내는 개략도이다.3 is a schematic diagram illustrating a state in which a semiconductor chip package is accommodated in a burn-in board in a semiconductor chip package loading / unloading apparatus having a socket pressing plate according to an exemplary embodiment of the present invention.

도 3을 참조하여 본 발명의 실시예에 따른 반도체 칩 패키지의 로딩/언로딩 장치에 대하여 설명하면, 로딩/언로딩 장치(200)는 공급용 트레이(170), XY 테이블(160), 번인 보드(130), 수납용 트레이(180), 분류부(190), 구동툴(140), 소켓 누름판(150)을 포함한다.Referring to Figure 3 with reference to the loading / unloading device of the semiconductor chip package according to an embodiment of the present invention, the loading / unloading device 200 is a supply tray 170, XY table 160, burn-in board 130, a storage tray 180, a sorting unit 190, a driving tool 140, and a socket pressing plate 150.

로딩/언로딩 장치(200)의 구성요소의 설치 관계를 설명하면, XY 테이블(160) 상에는 번인 테스트가 완료된 제 2 반도체 칩 패키지(110b)가 삽입된 번인 보드(130)가 탑재되며, XY 테이블(160)의 일측에 제 1 반도체 칩 패키지(110a)가 수납된 공급용 트레이(170)가 공급되고, XY 테이블(160)의 다른 일측에 제 2 반도체 칩 패키지(110c)가 수납될 수납용 트레이(180)가 공급된다. 그리고, 공급용 트레이(170)에서 번인 소켓(120)으로 제 1 반도체 칩 패키지(110a)를 로딩하기 위한 삽입툴(140a)이 공급용 트레이(170)와 번인 보드(130) 사이의 상부에 설치되며, 번인 소켓(120)에서 제 2 반도체 칩 패키지(110b)를 언로딩하기 위한 제거툴(140b)이 수납용 트레이(180)와 번인 보드(130) 사이의 상부에 설치된다. 그리고, 수납용 트레이(180)가 공급되는 부분에 근접하게 불량인 제 2 반도체 칩 패키지(110d)가 로딩되는 분류부(190)가 설치된다.The installation relationship of the components of the loading / unloading device 200 will be described. On the XY table 160, the burn-in board 130 into which the second semiconductor chip package 110b having completed the burn-in test is inserted is mounted, and the XY table is mounted. The supply tray 170 in which the first semiconductor chip package 110a is stored is supplied to one side of the 160, and the storage tray in which the second semiconductor chip package 110c is accommodated in the other side of the XY table 160. 180 is supplied. In addition, an insertion tool 140a for loading the first semiconductor chip package 110a from the supply tray 170 to the burn-in socket 120 is installed at an upper portion between the supply tray 170 and the burn-in board 130. The removal tool 140b for unloading the second semiconductor chip package 110b from the burn-in socket 120 is installed at an upper portion between the storage tray 180 and the burn-in board 130. In addition, a sorting unit 190 in which a defective second semiconductor chip package 110d is loaded is provided near a portion where the storage tray 180 is supplied.

번인 보드(130)는 메인 보드(131) 상부면에 복수개의 번인 소켓(120)이 소정의 간격을 두고 행과 렬을 맞추어 설치되어 있으며, 메인 보드(131)에는 번인 소켓(120)을 각기 전기적으로 연결하는 회로 패턴(133)이 형성되어 있다. 번인 소켓의 소켓 리드(129)는 메인 보드(131)에 형성된 회로 패턴(133)에 의해 서로 전기적으로 연결된 구조를 갖는다. 그리고, 메인 보드 일측에는 회로 패턴(133)과 연결된 전기적 연결부(135)가 형성되어 있다. 여기서, 번인 보드의 연결부(135)는 번인 장치(도시 안됨)와 연결되는 부분으로써, 번인 장치에서 반도체 칩 패키지를 테스트하기 위해서 보내는 테스트 신호를 번인 소켓에 로딩된 반도체 칩 패키지에 회로 패턴을 통하여 전달하며, 전달된 테스트 신호에 대한 출력 신호를 회로 패턴를 통하여 다시 번인 장치로 보내는 역할을 한다.The burn-in board 130 has a plurality of burn-in sockets 120 arranged on the upper surface of the main board 131 in rows and rows at predetermined intervals, and the burn-in sockets 120 are electrically connected to the main board 131. A circuit pattern 133 is formed to connect with each other. The socket lead 129 of the burn-in socket has a structure electrically connected to each other by a circuit pattern 133 formed on the main board 131. In addition, an electrical connection unit 135 connected to the circuit pattern 133 is formed at one side of the main board. Here, the connection part 135 of the burn-in board is connected to a burn-in device (not shown), and transmits a test signal sent from the burn-in device to test the semiconductor chip package through a circuit pattern to the semiconductor chip package loaded in the burn-in socket. And it sends the output signal for the transmitted test signal to the burn-in device again through the circuit pattern.

번인 보드(130)에 설치된 번인 소켓(120)을 도 4를 참조하여 설명하면, 번인 소켓(120)은 반도체 칩 패키지의 이삽입 구멍(124)이 형성된 상부 몸체(121)와, 상부 몸체(121)에 대하여 이격되어 설치되며, 반도체 칩 패키지가 탑재되는 상부면을 갖는 하부 몸체(123)로 된 소켓 몸체와, 소켓 몸체 내부에 설치된 소켓 리드(129)를 포함한다.When the burn-in socket 120 installed on the burn-in board 130 is described with reference to FIG. 4, the burn-in socket 120 includes an upper body 121 and an upper body 121 in which the insertion hole 124 of the semiconductor chip package is formed. It is installed spaced apart from the), and includes a socket body of the lower body 123 having an upper surface on which the semiconductor chip package is mounted, and a socket lead 129 installed inside the socket body.

소켓 리드(129)는 하부 몸체(123)의 하부면에 대하여 돌출되어 번인 보드(130)에 삽입 설치되는 전기적 연결부(129b)와, 그 전기적 연결부와(129b) 일체로 형성된 탄성부(129d)와, 그 탄성부(129d)와 일체로 형성되어 있으며, 하부 몸체(123)의 상부면의 가장 자리 부분에 접한 리드 접속부(129c) 및 전기적 연결부(129b)와 리드 접속부(129c)와 일체로 형성되어 있으며, 상부 몸체(121)의 하부면에 삽입·고정되어 있는 고정부(129a)를 갖는다.The socket lead 129 protrudes with respect to the lower surface of the lower body 123 and includes an electrical connection part 129b inserted into the burn-in board 130 and an elastic part 129d integrally formed with the electrical connection part 129b. It is formed integrally with the elastic portion 129d, and is integrally formed with the lead connecting portion 129c and the electrical connecting portion 129b and the lead connecting portion 129c in contact with the edge portion of the upper surface of the lower body 123. It has a fixing portion (129a) that is inserted and fixed to the lower surface of the upper body 121.

번인 소켓(120)이 설치된 번인 보드(130)는 XY 테이블(160) 상에 탑재되며, XY 테이블(160)은 X축 또는 Y축으로의 평면적인 운동에 의해 XY 테이블(160) 상에 탑재된 번인 보드의 번인 소켓(120)에 반도체 칩 패키지(110)를 로딩/언로딩 할 수 있도록 보조하는 장치이다.The burn-in board 130 in which the burn-in socket 120 is installed is mounted on the XY table 160, and the XY table 160 is mounted on the XY table 160 by a planar motion in the X-axis or the Y-axis. A device that assists in loading / unloading the semiconductor chip package 110 into the burn-in socket 120 of the burn-in board.

소켓 누름판(150)은 번인 보드의 번인 소켓(120) 상부에 설치되며, 번인 소켓(120)의 상부 몸체의 이삽입 구멍(124)에 대응되게 가이드 구멍(153)이 형성된 구조를 갖고 있으며, 도 3에 도시된 바와 같이 소켓 누름판(150)은 번인 보드(130) 상에 설치된 번인 소켓(120) 일 행에 대응하는 가이드 구멍(153)이 형성되어 있다. 그리고, 가이드 구멍(153)은 적어도 번인 소켓의 이삽입 구멍(124)의 크기보다는 크게 형성된다.The socket press plate 150 is installed above the burn-in socket 120 of the burn-in board, and has a structure in which a guide hole 153 is formed to correspond to the insertion hole 124 of the upper body of the burn-in socket 120. As shown in FIG. 3, the socket pressing plate 150 has guide holes 153 corresponding to one row of the burn-in socket 120 installed on the burn-in board 130. And, the guide hole 153 is formed at least larger than the size of the insertion hole 124 of the burn-in socket.

여기서, 도 8에 도시된 본 발명의 다른 실시예에 따른 로딩/언로딩 장치(300)의 소켓 누름판(250)은 번인 보드(130) 상에 설치된 번인 소켓(120) 전체에 각기 대응하는 가이드 구멍(253)이 형성되어 있으며, 나머지 구조는 도 3에 도시된 구조와 동일하다. 물론, 소켓 누름판의 가이드 구멍(253) 또한 적어도 번인 소켓(120)의 이삽입 구멍의 크기보다는 크게 형성된다.Here, the socket pressing plate 250 of the loading / unloading device 300 according to another embodiment of the present invention illustrated in FIG. 8 has guide holes corresponding to the entire burn-in socket 120 installed on the burn-in board 130. 253 is formed, and the rest of the structure is the same as that shown in FIG. Of course, the guide hole 253 of the socket press plate is also formed larger than the size of the insertion hole of the burn-in socket 120 at least.

한편, 도 3과 도 8에 도시된 소켓 누름판(150, 250)의 구동 방식이 다르다. 즉, 도 8의 소켓 누름판(250)은 XY 테이블(160)의 이동에 따른 번인 보드(130)의 이동과 동일하게 이동하는 것이 바람직하다.Meanwhile, driving methods of the socket press plates 150 and 250 illustrated in FIGS. 3 and 8 are different. That is, it is preferable that the socket pressing plate 250 of FIG. 8 moves in the same manner as the movement of the burn-in board 130 according to the movement of the XY table 160.

하지만, 도 3의 소켓 누름판(150)은 번인 소켓(120) 일 행에 대응되게 가이드 구멍(153)이 형성되어 있기 때문에, 도 8과 같이 번인 보드(130)의 이동과 동일하게 소켓 누름판(150)이 이동한다면, 소켓 누름판(150)이 설치되지 않은 번인 소켓(120)에는 반도체 칩 패키지(110)를 로딩/언로딩할 수 없다. 따라서, 소켓 누름판(150)은 번인 보드(130)가 X축 방향으로 이동할 때는 번인 보드(130)와 동일하게 이동하며, 번인 보드(130)가 Y축으로 이동할 때는 현재의 위치에 고정되는 구조를 갖는다. 물론, 번인 보드(130)의 Y축의 이동 거리는 다음 번인 소켓(120)의 행이 소켓 누름판(150)에 대응되는 이동 거리를 가져야 하며, 번인 보드(130)의 이동은 XY 테이블(160)의 구동에 의해 이루어진다.However, since the socket pressing plate 150 of FIG. 3 has guide holes 153 formed to correspond to the row of the burn-in socket 120, the socket pressing plate 150 is the same as the movement of the burn-in board 130 as shown in FIG. 8. ), The semiconductor chip package 110 may not be loaded / unloaded into the burn-in socket 120 in which the socket pressing plate 150 is not installed. Therefore, the socket presser plate 150 moves in the same manner as the burn-in board 130 when the burn-in board 130 moves in the X-axis direction, and the burn-in board 130 moves in the Y-axis structure. Have Of course, the movement distance of the Y-axis of the burn-in board 130 should have a movement distance in which the row of the next-in socket 120 corresponds to the socket press plate 150, and the movement of the burn-in board 130 drives the XY table 160. Is made by.

본 발명에 따른 소켓 누름판이 번인 보드 상의 한행 또는 전체 번인 소켓의 상부 몸체를 가압하여 소켓 리드를 하부 몸체의 상부면에서 이탈 할 수 있도록 하기 때문에, 구동툴(140)은 별도의 가압부가 필요없으며, 반도체 칩 패키지를 흡착할 수 있는 흡착부(145)만 설치되어 있다.Since the socket pressing plate according to the present invention pressurizes the upper body of the single row or the whole burn-in socket on the burn-in board so that the socket lead can be separated from the upper surface of the lower body, the driving tool 140 does not need a separate pressing part. Only the adsorption part 145 which can adsorb | suck a semiconductor chip package is provided.

여기서, 도 4 내지 도 7를 참조하여 본 발명에 따른 반도체 칩 패키지의 로딩/언로딩 장치(100)를 이용한 반도체 칩 패키지(110)의 로딩/언로딩 공정을 설명하겠다.Here, the loading / unloading process of the semiconductor chip package 110 using the loading / unloading apparatus 100 of the semiconductor chip package according to the present invention will be described with reference to FIGS. 4 to 7.

도 4를 참조하면, 번인 테스트 공정이 완료된 제 2 반도체 칩 패키지(110b)가 수납된 번인 보드(130)가 XY 테이블(160)에 이송된 상태에서, 번인 보드(130) 상부에 설치된 소켓 누름판(150)이 복수개의 번인 소켓(120)의 상부 몸체(121)를 동시에 아랫방향으로 가압하게 되면 번인 소켓(120)의 상부 몸체(121)는 아래로 내려가게 된다. 그때, 상부 몸체(121)와 하부면을 통하여 삽입·고정된 소켓 리드의 고정부(129a)가 아래로 내려가면서 탄성부(129d)의 수축에 의해 리드 접속부(129c)가 하부 몸체(123) 상에 안착된 제 2 반도체 칩 패키지(110b)의 리드(112)에서 이탈되어 제 2 반도체 칩 패키지(110b)를 이삽입 구멍(124)을 통하여 언로딩할 수 있도록 하부 몸체(123)의 상부면이 노출된다. 이때, 도 5에 도시된 바와 같이 번인 소켓(120)에 안착된 제 2 반도체 칩 패키지(110b)는 제거툴(140b)에 의해 언로딩되어 수납용 트레이(도 3의 180)로 로딩된다. 여기서, 제거툴(140b)에 의해 언로딩된 제 2 반도체 칩 패키지(110b)가 양품(도 3의 110c)인 경우에는 수납용 트레이(180)로 로딩되지만, 불량품(110d)인 경우에는 분류부(190)로 로딩된다.Referring to FIG. 4, in a state where the burn-in board 130 in which the second semiconductor chip package 110b having the burn-in test process is completed is transferred to the XY table 160, the socket pressing plate installed on the burn-in board 130 ( When the upper body 121 of the plurality of burn-in sockets 120 simultaneously presses downward, the upper body 121 of the burn-in sockets 120 is lowered. At this time, as the fixing portion 129a of the socket lead inserted and fixed through the upper body 121 and the lower surface is lowered, the lead connecting portion 129c is formed on the lower body 123 by contraction of the elastic portion 129d. The upper surface of the lower body 123 is detached from the lead 112 of the second semiconductor chip package 110b seated in and to unload the second semiconductor chip package 110b through the insertion hole 124. Exposed. At this time, as shown in FIG. 5, the second semiconductor chip package 110b mounted on the burn-in socket 120 is unloaded by the removal tool 140b and loaded into the storage tray (180 of FIG. 3). Here, when the second semiconductor chip package 110b unloaded by the removal tool 140b is a good product (110c in FIG. 3), the second semiconductor chip package 110b is loaded into the storage tray 180, but in the case of a defective product 110d, the classification unit. Loaded to 190.

다음 단계로 도 6에 도시된 바와 같이 제 2 반도체 칩 패키지(110b)가 제거된 그 번인 소켓(120)에 공급용 트레이(도 3의 170)에서 흡착한 제 1 반도체 칩 패키지(110a)를 삽입툴(140a)이 흡착하여 번인 소켓의 이삽입 구멍(124)에 정렬시킨 상태에서 삽입 툴(140a)이 하강하여 제 1 반도체 칩 패키지(110a)를 번인 소켓의 하부 몸체(123) 상부면에 로딩하게 된다. 그리고, 도 4 내지 도 6에 도시된 바와 같은 공정이 다른 번인 소켓(120)에서도 반복적으로 진행되어 반도체 칩 패키지(110)의 로딩/언로딩 공정이 완료된 이후에 도 7에 도시된 바와 같이 소켓 누름판(150)이 상승하여 번인 소켓의 상부 몸체(121)가 수축된 소켓 리드의 탄성부(129d)의 탄성력에 의해 원래의 위치로 상승하여 상부 몸체(121) 상부면에 안착된 제 1 반도체 칩 패키지의 리드(112)와 소켓 리드의 리드 접속부(129c)가 동시에 기계적인 접촉에 의해 접속된다.Next, as shown in FIG. 6, the first semiconductor chip package 110a adsorbed by the supply tray (170 of FIG. 3) is inserted into the burn-in socket 120 in which the second semiconductor chip package 110b is removed. The insertion tool 140a is lowered while the tool 140a is attracted and aligned with the tooth insertion hole 124 of the burn-in socket, thereby loading the first semiconductor chip package 110a on the upper surface of the lower body 123 of the burn-in socket. Done. In addition, as shown in FIG. 7, the process as shown in FIGS. 4 to 6 is repeatedly performed in the other burn-in socket 120 to complete the loading / unloading process of the semiconductor chip package 110. The first semiconductor chip package, in which the upper body 121 of the burn-in socket rises and rises to its original position by the elastic force of the elastic portion 129d of the contracted socket lead, is seated on the upper surface of the upper body 121. The lead 112 and the lead connecting portion 129c of the socket lead are simultaneously connected by mechanical contact.

종래에는 하나의 번인 소켓에서 반도체 칩 패키지의 로딩 공정 또는 언로딩 공정이 진행되었지만, 전술된 반도체 칩 패키지(140)를 로딩/언로딩하는 공정은 번인 보드(130) 상의 번인 소켓(120) 한 행 단위로 진행되며, 도 8의 경우는 번인 보드(130) 단위로 반도체 칩 패키지(110)의 로딩/언로딩 공정이 진행된다.Conventionally, the loading or unloading process of the semiconductor chip package has been performed in one burn-in socket. However, the above-described process of loading / unloading the semiconductor chip package 140 is performed by a row of burn-in sockets 120 on the burn-in board 130. In the case of FIG. 8, the loading / unloading process of the semiconductor chip package 110 is performed in the burn-in board 130.

따라서, 본 발명의 의한 구조를 따르면 번인 보드 상의 복수개의 번인 소켓이 소켓 누름판에 의해 동시에 눌려 소켓 리드가 개방된 상태에서 반도체 칩 패키지의 로딩/언로딩 공정이 동시에 진행되기 때문에, 한번의 가압에 의해 반도체 칩 패키지의 로딩/언로딩 공정이 동시에 진행되어 번인 소켓의 수명이 연장되며 동시에 반도체 칩 패키지의 로딩/언로딩 공정의 시간이 단축되는 이점(利點)이 있다.Therefore, according to the structure of the present invention, since the plurality of burn-in sockets on the burn-in board are simultaneously pressed by the socket holding plate and the loading / unloading process of the semiconductor chip package proceeds simultaneously with the socket lead opened, The loading / unloading process of the semiconductor chip package is simultaneously performed to extend the life of the burn-in socket, and at the same time, the loading / unloading process of the semiconductor chip package is shortened.

Claims (6)

회로 패턴이 형성된 기판 몸체 및 상기 기판 몸체 상부면에 소정의 간격을 두고 행과 열을 맞추어 설치되며, 상부면에 반도체 칩 패키지가 이삽입될 수 있는 이삽입 구멍이 형성된 번인 소켓이 설치된 번인 보드와;A burn-in board having a burn-in socket in which a circuit pattern is formed and a row-column is arranged in rows and columns at predetermined intervals on the upper surface of the substrate body, and a tooth-inserting hole is formed in the upper surface to which the semiconductor chip package is inserted ; 상기 번인 보드가 탑재되며, 상기 번인 소켓에 반도체 칩 패키지를 수납하기 위하여 X-Y축 방향으로 운동성을 제공하는 XY 테이블과;An XY table on which the burn-in board is mounted, the XY table providing mobility in an X-Y axis direction for accommodating a semiconductor chip package in the burn-in socket; 상기 XY 테이블 상부에 설치되며, 상기 번인 소켓의 이삽입 구멍에 대응되게 가이드 구멍이 형성되어 있으며, 복수개의 상기 번인 소켓의 상부면을 동시에 가압하여 상기 번인 소켓에 반도체 칩 패키지가 로딩/언로딩할 수 있도록 개방시키는 소켓 누름판; 및A guide hole is formed on the XY table to correspond to the insertion hole of the burn-in socket. The semiconductor chip package may be loaded / unloaded on the burn-in socket by simultaneously pressing the upper surfaces of the plurality of burn-in sockets. A socket presser plate for opening; And 상기 소켓 누름판이 상기 번인 소켓을 누른 상태에서 상기 번인 소켓으로 반도체 칩 패키지를 로딩/언로딩하는 구동툴;을 포함하는 반도체 칩 패키지 로딩/언로딩 장치.And a driving tool for loading / unloading a semiconductor chip package into the burn-in socket while the socket press plate presses the burn-in socket. 제 1항에 있어서, 상기 가이드 구멍의 크기는 적어도 상기 소켓의 이삽입 구멍이 상기 가이드 구멍을 통하여 노출될 수 있는 크기를 갖는 것을 특징으로 하는 반도체 칩 패키지 로딩/언로딩 장치.The semiconductor chip package loading / unloading apparatus of claim 1, wherein the guide hole has a size at least such that the insertion hole of the socket is exposed through the guide hole. 제 1항에 있어서, 상기 소켓 누름판은 상기 번인 보드상의 일렬의 번인 소켓에 대응되게 가이드 구멍이 형성된 것을 특징으로 하는 반도체 칩 패키지 로딩/언로딩 장치.The semiconductor chip package loading / unloading apparatus of claim 1, wherein the socket press plate is formed with a guide hole corresponding to a row of burn-in sockets on the burn-in board. 제 1항에 있어서, 상기 구동툴은 반도체 칩 패키지를 상기 번인 소켓에서 언로딩하는 제거 툴과, 상기 반도체 칩 패키지가 언로딩된 상기 번인 소켓에 반도체 칩 패키지를 로딩하는 삽입 툴을 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 칩 패키지의 로딩/언로딩 장치.The apparatus of claim 1, wherein the driving tool comprises a removal tool for unloading a semiconductor chip package from the burn-in socket, and an insertion tool for loading a semiconductor chip package into the burn-in socket in which the semiconductor chip package is unloaded. A device for loading / unloading a semiconductor chip package. 제 1항에 있어서, 상기 구동툴은 상기 번인 보드의 번인 소켓에 수납된 반도체 칩 패키지를 언로딩하는 제거툴과; 상기 번인 보드의 번인 소켓에 반도체 칩 패키지를 로딩하는 삽입툴을 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 칩 패키지의 로딩/언로딩 장치.The apparatus of claim 1, wherein the driving tool comprises: a removal tool for unloading the semiconductor chip package received in the burn-in socket of the burn-in board; And a insertion tool for loading the semiconductor chip package into the burn-in socket of the burn-in board. 제 1항, 제 4항 또는 제 5항의 어느 한 항에 있어서, 상기 구동툴은 반도체 칩 패키지를 흡착할 수 있는 흡착부를 갖는 것을 특징으로 하는 반도체 칩 패키지의 로딩/언로딩 장치.6. The device for loading / unloading a semiconductor chip package according to any one of claims 1, 4, and 5, wherein the driving tool has an adsorption portion capable of absorbing the semiconductor chip package.
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