KR100385644B1 - 마스크를 이용한 배선전극용 박막형성 공정 및 레이저가공 공정을 갖는 터치패널 제조방법 - Google Patents

Abstract

본 발명에서는 터치패널의 배선전극을 박막으로 형성하되 비용절감 및 공정의 단순화, 특성 향상을 위해 투명도전막과 배선전극용 박막을 형성한 후 레이저 스크라이빙(laser- scribing) 방법을 통해 상기 투명 도전막과 배선전극용 박막을 원하는 패턴으로 동시 또는 개별적으로 식각하는 터치패널 제조방법을 제시하였다.

또한 본 발명은 상기 레이저 스크라이빙 방법에 의한 식각외에 터치패널의 특성을 향상시키기 위해 투명도전막상에 배선전극용 박막을 형성할 때 배선전극용 박막재료 및 박막구조와 마스크를 이용하여 배선전극용 박막을 형성하기 위한 방법 및 마스크 구조를 제시하였다.

Description

마스크를 이용한 배선전극용 박막형성 공정 및 레이저 가공 공정을 갖는 터치패널 제조방법 {Method for making of touch panels with a laser scribing process and a process for forming terminal electrodes by using a mask}

본 발명은 터치패널의 제조방법에 관한 것으로서, 특히 투명 도전막과 배선전극용 금속 박막을 특정 마스크 및 마스크 지지용 지그를 이용하여 일정 부위만 박막으로 형성한후 레이저 스크라이빙 방법에 의해 동시 또는 개별적으로 식각하여 이루어지는 터치패널의 제조방법에 관한 것이다.

터치패널은 크게 매트릭스 스위치(Matrix Switch) 방식과 아나로그 방식으로 구별된다. 매트릭스 스위치 방식으로는 광센서 매트릭스 방식과 도전 필름 방식과 용량변화 방식과 금속세선 매립 방식으로 나뉘우며, 아나로그 방식은 도전 필름 방식과 압력센서 방식과 표면파 반사 방식과 금속세선 매립 방식으로 나뉘어진다.

본 발명은 상기 언급한 모든 방식의 터치패널에 적용 가능하지만 편의를 위해 아나로그 방식중 도전필름 방식을 예로하여 설명하고자 한다.

도 1 은 일반적인 도전필름 방식 터치패널의 구조도이다.

도 2 는 종래 도전필름 방식 터치패널의 제작 공정도를 나타낸 것으로서, 먼저 유리나 플라스틱 기판상에 투명 도전막을 형성한다. 상기 투명 도전막은 ITO(Indium Tin Oxide) 또는 SnO₂또는 이들을 포함한 화합물로서 이루어진다.

투명 도전막이 형성되면 전극 배선을 위해 필요 없는 부분의 투명 도전막을 사진 식각 공정을 사용하여 제거한다. 상기 사진 식각 공정에 의한 제거 공정은 감광제 도포, 건조, 노광, 식각, 감광제 제거등 다수개의 과정을 거쳐 행하게 되는데 공정수 증가에 따른 비용증가 및 화학약품 사용에 의한 환경문제가 심각할 수 밖에 없었다. 상기 사진 식각 공정이 끝나면 후막 인쇄법으로 상기 투명도전막의 주위에배선용 전극을 형성하는데 후막인쇄의 특성상 7 내지 10 ㎛ 정도의 높은 두께와 미세패턴 형성의 한계가 있고 또한 형성된 배선전극의 밀착력이 낮아 환경변화에 따른 특성열화 가능성이 높아지는등 여러 가지 문제를 안고 있다.

본 발명에서는 이와 같은 당업자의 희망사항을 해결할 수 있는 방법을 제시함으로서 터치패널 분야에 획기적인 발전을 가져올 수 있었다.

다음 공정으로 후막 인쇄법이나 포토 공정을 사용하여 도트 스페이서를 형성한다. 그 후 마지막으로 상판과의 물리적 결합을 위하여 배선용 전극의 외부 단자 접속부를 제외한 배선용 전극상에 양면 테이프를 부착함으로서 하판이 완성된다.

상판은 PET 필름위에 투명 도전막을 형성한 후 그 위에 후막 인쇄법을 사용하여 전극을 형성함으로서 완성되며, 상기 완성된 상판과 하판을 상기 양면 테이프를 통해 서로 결합하여 저항막 방식 터치패널을 완성한다.

이때 상기 양면테이프를 관통하는 홀을 통해 하판의 배선전극중 일부와 상판의 전극간에 도전성 페이스트등을 이용하여 전기적 연결을 해준다.

이상에서 살펴본 바와 같이 종래 방식에 의한 터치패널 제조방법은 후막 인쇄방법에 의해 배선전극을 형성함으로서 패널의 특성이 불균일 할 수 밖에 없었고, 이를 해결하기 위해 배선전극 형성을 박막공정으로 하고자 하여도 공정수 증가에 따른 비용문제 때문에 박막화 할 수도 없는 기술적 한계에 도달한 상태이다.

따라서 본 발명에서는 상기와 같은 종래기술의 문제점을 근원적으로 해결할수 있는 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.

좀 더 구체적으로는 패널의 특성을 향상시키기 위해 배선전극을 박막으로 형성하되 비용절감 및 공정의 단순화를 목적으로 투명도전막과 배선전극용 박막을 형성한 후 레이저 스크라이빙(laser- scribing) 방법을 통해 상기 투명 도전막과 전극용 박막을 원하는 패턴으로 동시 또는 개별적으로 식각하는 방법을 제시하였다.

본 발명의 다른 목적은 레이저 스크라이빙 방법을 이용한 식각방법의 제시 이외에 보다 간단한 공정으로 터치패널의 특성을 향상시키기 위해 투명 도전막상에 배선전극용 박막을 형성할 때 특정 구조를 갖는 마스크 및 상기 마스크를 사용하여 배선전극용 박막을 형성하기 위한 지그를 함께 제공하는 것이다.

본 발명의 또 다른 목적은 상기와 같은 본 발명만의 특징을 가장 잘 발휘할 수 있는 배선전극용 물질도 함께 제공 하는 것이다.

도 1 은 일반적인 터치패널의 구조도.

도 2 는 종래기술에 의한 터치패널의 제작 공정도.

도 3 은 본 발명에 의한 터치패널의 제작 공정도.

도 4 는 본 발명의 레이저 스크라이빙 방법에 의해 형성된 전극 패턴의 일 실시예.

도 5 는 본 발명에 의한 마스크 구조의 일 실시예.

도 6 의 (a) 는 본 발명에 의한 마스크를 사용하여 단일 터치패널의 배선전극용 박막을 형성하기 위한 지그 장치.

도 6 의 (b) 는 본 발명에 의한 마스크를 사용하여 다수의 터치패널의 배선전극용 박막을 형성하기 위한 지그 장치.

본 발명은 터치 패널의 제조 방법에 관한 것으로서,

기판의 일면상에 투명 도전 박막을 전면 형성하는 단계;

상기 형성된 투명 도전 박막상의 소정 부위에 배선전극용 금속 박막을 형성하는 단계; 및

상기 형성된 투명 도전 박막과 배선전극용 금속 박막상에 레이저를 주사하여 소정의 패턴을 갖도록 상기 투명 도전 박막과 배선금속 박막을 동시에 또는 개별적으로 식각하는 레이저 스크라이빙 단계를 포함하여 이루어진다.

본 발명에 의한 터치 패널의 제조 방법은 상기와 같이 투명 도전 박막과 배선금속 박막을 동시에 식각하는 것도 가능하지만 개별적으로 레이저 식각하는 것도 가능하다. 이와 같은 개별적 식각방법은,

기판의 일면상에 투명 도전 박막을 형성하는 단계;

상기 투명 도전 박막을 소정 패턴을 갖도록 레이저 스크라이빙 방법으로 식각하여 패터닝하는 단계;

상기 패터닝된 투명 도전 박막상의 소정 부위에 배선전극용 금속 박막을 형성하는 단계;

상기 배선전극용 금속박막을 소정 패턴을 갖도록 레이저 스크라이빙 방법으로 식각하여 패터닝하는 단계를 포함하여 이루어진다.

이 때 상기 배선전극용 금속 박막을 형성하는 단계는 소정 패턴을 갖는 마스크를 사용하여 형성하는 것을 특징으로 하며, 상기 배선전극용 금속 박막을 형성하는 구체적 단계는,

소정 패턴을 갖는 마스크를 상기 투명 도전박막상에 밀착하여 마스크 지지용 지그내에 결합시키는 단계와;

상기 마스크 반대쪽 기판상 일면상에 상기 마스크가 들뜨는 것을 방지하기 위한 자석을 형성하여 상기 마스크 지지용 지그내에 결합시키는 단계;

상기 마스크면을 통해 상기 배선전극용 금속물질을 증착하는 단계로 이루어지는 것을 특징으로 한다.

상기 마스크는 자석에 붙는 재료로 이루어지는 것이 바람직하며, 5 mm 이하의 얇은 두께를 갖는 것이 바람직하며, 보다 바람직하게는 밀착성이 좋도록 유연성을 가지며 상기 마스크가 0.1 내지 2 mm 이하의 두께를 갖는 것이 좋다.

상기 배선전극용 물질은 알루미늄(Al), 구리(Cu), 니켈(Ni), 크롬(Cr), 은(Ag), 금(Au)으로 구성되는 그룹중 하나의 물질을 선택하여 이루어지는 단층물질 이거나 또는 상기 그룹의 물질을 포함한 적어도 2개 이상의 물질이 선택되어 적층으로 이루어지는 복층물질 이거나 또는 상기 그룹의 물질을 포함한 적어도 2개 이상의 물질로 이루어진 합금물질인 것이 바람직하며, 보다 바람직한 배선전극용 물질은 기판상에 크롬 박막이 형성되며 그 위에 알루미늄이 형성되고 그 알루미늄 박막 상에 니켈이 형성된 3층 구조를 갖거나, 또는 알루미늄과 은의 합금이거나, 또는 구리와 은의 합금이거나, 또는 니켈 단층으로 이루어지는 것이 좋다.

상기 마스크는 단위 터치패널의 투명 도전박막의 중앙 부위(표시부)를 가리기 위한 하나 이상의 중앙 마스크와, 상기 중앙 마스크들 사이 또는 상기 중앙 마스크의 외부 가장자리를 따라 배선용 전극 박막이 형성되는 폭 만큼 이격되며 마스크 지지용 지그상에 올려놓아 지지될 수 있을 정도의 폭을 가진 지그 결합부와, 상기 중앙 마스크와 상기 지그 결합부를 소정 폭을 가지고 기계적으로 연결하는 적어도 하나 이상의 마스크 얼라인 및 고정용 브리지를 포함하여 구성되는 것이 바람직하며, 이 때는 상기 배선전극용 금속박막이 상기 단위 터치패널의 투명 도전 박막의 중앙부위를 제외한 가장자리 부위에만 연속 또는 비연속인 환 형태로 형성된다.

본 발명에 의한 또 다른 마스크는 투명 도전 박막상의 적어도 두 가장자리 부분에 배선전극용 금속박막이 증착될 수 있는 구조를 갖는 것도 가능하다.

본 발명에 의한 터치패널 제조방법은 상기 레이저 스크라이빙 단계 이후에 터치패널의 상판 또는 하판상에 소정 높이 돌출된 도트 스페이서를 형성하는 단계와;

터치패널의 상판 또는 하판상에 형성된 배선전극중 외부 단자 접속부를 제외한 나머지 배선전극상에 상판 및 하판을 물리적으로 접합시키기 위한 양면 테이프를 부착하는 단계;

상기 양면 테이프를 관통하는 홀을 형성하여 상기 관통홀을 통해 도전성 페이스트를 삽입하여 상판 및 하판에 형성된 배선전극간을 전기적으로 연결하는 단계를 추가로 포함함으로서 완성된 터치패널을 제조할 수 있다.

이하 도면을 참조하여 본 발명을 상세히 설명하고자 한다.

도 3 은 본 발명에 의한 터치패널의 제작 공정도이며, 도 4 는 본 발명의 레이저 스크라이빙 방법에 의해 형성된 전극패턴의 일 실시예이다. 또한 도 5 는 본 발명에 의한 마스크 구조의 일 실시예를 나타내었으며, 도 6(a) 는 본 발명에 의한 마스크를 사용하여 단일 터치패널의 배선전극용 박막을 형성하기 위한 지그 장치를 나타내었고, 도 6(b) 는 본 발명에 의한 마스크를 사용하여 다수의 터치패널의 배선전극용 박막을 형성하기 위한 지그 장치를 나타내었다.

먼저 도 3 을 통해 하판 제작공정을 설명하면, 유리와 같은 기판상에 ITO 또는 SnO₂또는 이들을 포함한 화합물로 이루어지는 투명 도전박막을 전면 형성한 후(공정 a), 본 발명의 특징중 하나인 소정의 마스크를 사용하여 상기 투명 도전박막의 특정 부위에 배선전극용 박막을 형성한다(공정 b). 도 3 에서는 일 실시예로서투명 도전박막의 가장자리 부분에 배선전극용 박막을 형성한 것을 예로 하였다.

다음으로 레이저 스크라이빙 방법에 의해 소정의 배선전극 패턴을 갖도록 투명 도전박막 및 배선전극용 박막을 동시에 식각하여 패터닝한다.(공정 c)

상기 (공정 c) 를 좀 더 자세히 설명하면 도 4 와 같다.

도 4 는 하부기판의 배선 전극을 가장자리에 환 형태로 형성한 일 실시예를 나타낸 것으로서, 본 발명에 의한 마스크 및 마스크 지그를 사용하여 투명도전박막상의 단위 터치패널 동작 부위의 가장자리에 하판 배선전극용 박막을 형성한 후, 투명도전박막과 배선전극 박막을 레이저 스크라이빙 방법을 통해 동시에 식각하여 제거한다.

본 발명에 의한 마스크의 구조는 배선전극의 형태에 따라 가변될 수 있으며, 중요한 것은 자석에 붙는 재료로 이루어진 것을 특징으로 한다.

또한 상기 마스크는 기판과의 밀착성을 좋게 하기위해 마스크 자체가 유연성을 갖도록 두께가 얇은 것이 좋다. 좀 더 구체적으로는 5 mm 이하의 두께를 갖는 것이 바람직하며, 보다 바람직하게는 0.1 내지 2 mm 의 두께를 갖는 것이 바람직하다.

도 5 는 본 발명에 의한 마스크 구조의 일 실시예로서, 하부기판의 배선전극을 가장자리에 환형태로 형성하기 위한 마스크 구조이다.

도 5 에 개시된 것과 같이 상기 마스크는 단위 터치패널의 투명 도전박막의 중앙 부위(표시부)를 가리기 위한 중앙 마스크와, 상기 중앙 마스크의 외부 가장자리를 따라 배선용 전극 박막이 형성되는 폭 만큼 상기 중앙 마스크와 이격되며 마스크 지지용 지그상에 올려놓아 지지될 수 있을 정도의 폭을 가진 지그 결합부와, 상기 중앙 마스크와 상기 지그 결합부를 소정 폭을 가지고 연결하는 적어도 하나 이상의 마스크 얼라인 및 고정용 브리지를 포함하여 구성된다.

마스크의 구조는 상기 언급한 한 개의 마스크 지그와 한 개의 중앙 마스크와 한 개 이상의 마스크 얼라인 및 고정용 브리지로 구성되는 것과 터치패널용 배선막을 동시에 여러장 제조하기 위해 한 개의 마스크 지그 내에 여러개의 중앙 마스크가 배선막 형성 부위만큼 이격되며 배치되도록 한 개 이상의 마스크 얼라인 및 고정용 브리지로 구성될 수 있다.

상기와 같이 구성되는 마스크를 이용하여 스텝 커버리지가 우수한 상태로 배선점극박막을 형성하기 위해서는 본 발명에 의한 마스크 지지용 지그가 필수적이다.

도 6 에 본 발명에 의한 마스크 지지용 지그 장치를 개시하였다. 특히 도 6(a) 는 본 발명에 의한 마스크를 사용하여 단일 터치패널의 배선전극용 박막을 형성하기 위한 지그 장치를 나타내었고, 도 6(b) 는 본 발명에 의한 마스크를 사용하여 다수의 터치패널의 배선전극용 박막을 형성하기 위한 지그 장치를 나타내었다.

도 6(a) 에서는 한 개의 마스크 지그와 한 개의 중앙 마스크와 한 개 이상의 마스크 얼라인 및 고정용 브리지로 구성되는 지그장치를 나타내었고, 도 6(b) 에서는 터치패널용 배선막을 동시에 여러장 제조하기 위해 한 개의 마스크 지그 내에 여러 개의 중앙 마스크가 배선막 형성 부위만큼 이격되며 배치되도록 한 개 이상의 마스크 얼라인 및 고정용 브리지로 구성된 지그장치를 개시하였다.

본 발명에 의한 마스크 지지용 지그는 투명도전박막이 형성된 기판과 상기 기판상에 상기 마스크가 접합되도록 장착한 후 상기 마스크의 지그 결합부가 지그의 지지용 턱에 의해 지지될 수 있도록 장착되는 구조를 가지고 있다.

또한 상기 기판중 투명도전박막이 형성된 면의 반대 대칭면상에 자석이 장착된 구조를 갖는다. 상기 자석은 마스크의 중앙 부위가 들뜨는 것을 방지하는 역할을 함으로서 증착시 스텝 커버리지를 향상 시키게 된다.

상기와 같이 지그내에 투명도전박막과 마스크가 배치된 기판을 장착한 후 도면에 나타낸 것과 같은 방향으로 배선전극용 금속을 증착하여 배선전극용 박막을 형성한다.

상기와 같은 방법은 상판 제작시에도 그대로 적용된다. 일 실시예로서 도 4에 나타낸 것과 같이 일자형 마스크를 사용하여 배선용 전극을 형성한후 소정의 패턴을 갖도록 투명도전막과 배선전극박막을 동시에 식각하여 제거한다.

단, 상판의 배선전극으로부터 직접 리드선을 빼내고자 할 때는 상기 언급한 것과 같이 레이저 스크라이빙 방법을 통해 투명도전막과 배선전극박막을 동시에 식각하여 제거하는 것이 바람직하며, 상판의 배선전극으로부터 직접 리드선을 빼내지 않을 경우는 상기와 같은 방법으로 레이저 스크라이빙 할 필요없이 상판용 마스크의 패턴을 조절하여 배선전극용 박막을 직접 형성할 수 있다.

상기와 같은 일련의 공정을 통해 배선전극을 형성한 후 도트 스페이서(dot spacer)를 표시부에 형성한 다음(도 3 의 공정 d), 외부 단자 접속부를 제외한 배선전극상에 양면 테이프를 부착한다(도 3 의 공정 e).

한편 상판의 제작 공정을 간단히 설명하면 도 3 의 공정 (f)와 (g)와 같다.

최종적으로 상판 및 하판을 물리적으로 연결하는 양면테이프를 관통하는 다수개의 구멍을 구비한후 상기 관통 구멍내에 도전성 페이스트를 채워넣어 하판 배선전극중 일부와 상판 배선전극간을 전기적으로 연결한다.

이상 본 발명에 의한 터치패널의 제작 방법에 대해 기술하였다. 또한 본 발명에서는 여러 실험을 거듭한 결과 본 발명에 적합한 배선전극용 물질을 얻을 수 있었다. 상기 배선전극용 물질의 기본 요건은 다음과 같다.

첫째, 투명 도전박막과의 밀착력이 우수해야 하며,

둘째, 터치패널의 선형왜곡이 없을 정도의 전기전도성이 우수해야 하며,

셋째, 리드선과의 접착력이 우수해야 하며, 환경에 대한 저항성, 특히 내부식성이 우수해야 한다.

본 발명에서는 상기 기본요건을 만족하는 배선전극용 물질의 실시예로서 다음과 같은 재료를 통해 실험한 결과 좋은 결과를 얻을 수 있었다.

즉, 배선전극용 물질은 알루미늄(Al), 구리(Cu), 니켈(Ni), 크롬(Cr), 은(Ag), 금(Au)으로 구성되는 그룹을 포함하는 하나의 물질을 선택하여 이루어지는 단층물질 이거나 또는 상기 그룹을 포함하는 적어도 2개 이상의 물질이 선택되어 적층으로 이루어지는 복층물질 이거나 또는 상기 그룹중 적어도 2개 이상의 물질로 이루어진 합금물질이 가능하다. 특히 우수한 배선전극용 물질로는 기판 상에 크롬 박막이 형성되고 그 위에 알루미늄이 형성되며 상기 알루미늄상에 니켈이 형성된 3층 구조를 갖거나, 또는 알루미늄과 은의 합금이거나, 또는 구리와 은의 합금이거나, 또는 니켈 단층이다.

상기 언급한 바와 같이 본 발명은 당업자가 해결할 수 없던 기술적 한계를 극복한 발명으로서, 터치패널의 고품질화, 저가격화에 획기적인 개선을 달성하였다.

상기 본 발명만의 효과를 보다 상세히 기술하면 다음과 같다.

첫째, 종래 기술로는 투명도전막을 형성한후 전극을 형성하기 위해서는 소정부위의 투명 도전막을 식각한 후 전극을 형성해야 했다. 그러나 본 발명은 투명 도전막과 금속 박막을 적층 형성한 후 레이저를 사용하여 동시에 상기 두 박막을 식각하므로 공정 수를 대폭적으로 줄일 수 있다. 무엇보다도 본 발명을 사용하는 경우 투명 도전막과 금속 박막을 동시에 식각할 수 있다는 것이 가장 큰 장점이며, 공정수 감소에 따른 비용 절감효과가 매우 크다.

둘째, 본 발명에서는 투명 도전막과 금속 전극막을 모두 박막 형성 하고 별도의 패터닝 공정이 필요없는등 많은 공정수를 줄임으로서 제조 비용의 큰 절감을 기대할 수 있다. 이와 같은 박막형성은 단순히 비용 절감 효과만 있는 것이 아니라 소자의 품질 자체가 향상되는 가장 중요한 효과가 있다.

셋째, 공정 자체가 종래기술에 비해 매우 간단하여 양산시 매우 유리하다.

넷째, 박막 공정을 통해 전극이 형성되고, 미세 패턴이 가능한 laser 스크라이빙을 통해 좁은 면적에도 배선 전극을 형성할 수 있어 동일한 크기의 화면 크기에서 유효 사용면적을 최대화할 수 있다.

다섯째, 배선전극을 박막화하여 패널 소자의 수명이 길어진다.

여섯째, 화학약품을 사용하는 공정이 없어 투명도전막의 내구성을 향상시킴으로서 소자 신뢰성을 향상시킬 수 있다. 또한 화학약품을 사용하지 않음으로서 환경친화성이 높다.

일곱째, 박막공정과 후막공정을 병행한 기존의 방법으로 제작한 패널에 비해 낮은 단차를 가지고 제작할 수 있어 필기감이 뛰어나고 외관품질이 우수하다.

Claims (12)

1. 터치 패널의 제조 방법에 있어서,

   기판의 일면상에 투명 도전 박막을 전면 형성하는 단계;

   상기 형성된 투명 도전 박막상의 소정 부위에 배선전극용 금속 박막을 형성하는 단계; 및

   상기 형성된 투명 도전 박막과 배선전극용 금속 박막상에 레이저를 주사하여 소정의 패턴을 갖도록 상기 투명 도전 박막과 배선금속 박막을 동시에 식각하는 레이저 스크라이빙 단계를 포함하여 이루어지는, 터치패널 제조방법.
2. 터치 패널의 제조 방법에 있어서,

   기판의 일면상에 투명 도전 박막을 형성하는 단계;

   상기 투명 도전 박막을 소정 패턴을 갖도록 레이저 스크라이빙 방법으로 식각하여 패터닝하는 단계;

   상기 패터닝된 투명 도전 박막상의 소정 부위에 배선전극용 금속 박막을 형성하는 단계;

   상기 배선전극용 금속박막을 소정 패턴을 갖도록 레이저 스크라이빙 방법으로 식각하여 패터닝하는 단계를 포함하여 이루어지는, 터치패널 제조방법.
3. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 배선전극용 금속 박막을 형성하는 단계는 소정 패턴을 갖는 마스크를 사용하여 형성하는 것을 특징으로 하는, 터치패널 제조방법.
4. 제 3 항에 있어서, 상기 배선전극용 금속 박막을 형성하는 단계는,

   자석에 붙는 재료로 이루어지며 소정 패턴을 갖는 마스크를 상기 투명 도전박막상에 밀착하여 마스크 지지용 지그내에 결합시키는 단계와;

   상기 마스크 반대쪽 기판상 일면상에 상기 마스크가 들뜨는 것을 방지하기 위한 자석을 형성하여 상기 마스크 지지용 지그내에 결합시키는 단계;

   상기 마스크면을 통해 상기 배선전극용 금속물질을 증착하는 단계로 이루어지는 것을 특징으로 하는, 터치패널 제조방법.
5. 제 4 항에 있어서, 상기 마스크는 5 mm 이하의 얇은 두께를 갖는 것을 특징으로 하는, 터치패널 제조방법.
6. 제 5 항에 있어서, 상기 마스크는 밀착성이 좋도록 유연성을 가지며, 그 0.1 내지 2 mm 이하의 두께를 갖는 것을 특징으로 하는, 터치패널 제조방법.
7. 제 4 항내지 제 6 항중 어느 한 항에 있어서, 상기 배선전극용 물질은 알루미늄(Al), 구리(Cu), 니켈(Ni), 크롬(Cr), 은(Ag), 금(Au)으로 구성되는 그룹중 하나의 물질을 선택하여 이루어지는 단층물질 이거나 또는 상기 그룹을 포함한 적어도 2개 이상의 물질이 선택되어 적층으로 이루어지는 복층물질 이거나 또는 상기 그룹을 포함한 적어도 2개 이상의 물질로 이루어진 합금물질인 것을 특징으로 하는, 터치패널 제조방법.
8. 제 7 항에 있어서, 상기 배선전극용 물질은 기판 상에 크롬 박막이 형성되고 그 위에 알루미늄이 형성되며 그 알루미늄 상에 니켈이 형성된 3층 구조를 갖거나, 또는 알루미늄과 은의 합금이거나, 또는 구리와 은의 합금이거나, 또는 니켈 단층인 것을 특징으로 하는, 터치패널 제조방법.
9. 제 8 항에 있어서, 상기 마스크는 단위 터치패널의 투명 도전박막의 중앙 부위(표시부)를 가리기 위한 중앙 마스크와, 상기 중앙 마스크의 외부 가장자리를 따라 배선용 전극 박막이 형성되는 폭 만큼 상기 중앙 마스크와 이격되며 마스크 지지용 지그상에 올려놓아 지지될 수 있을 정도의 폭을 가진 지그 결합부와, 상기 중앙 마스크와 상기 지그 결합부를 소정 폭을 가지고 연결하는 적어도 하나 이상의 마스크 얼라인 및 고정용 브리지를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는, 터치패널 제조방법.
10. 제 8 항에 있어서 여러개의 터치패널의 배선 박막을 동시에 형성하기 위해 지그 결합부와 하나 이상의 다수의 중앙 마스크를 배선 전극 형성에 필요한 폭 만큼을 이격시켜 지그 결합부와 결합되는 하나 이상의 마스크 얼라인 및 고정용 브리지를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 터치패널 제조 방법.
11. 제 9 항 또는 제 10 항에 있어서, 상기 배선전극용 금속박막은 단위 터치패널의 상기 투명 도전 박막의 중앙부위를 제외한 가장자리 부위에만 연속 또는 비연속된 환 형태로 형성하는 것을 특징으로 하는, 터치패널 제조방법.
12. 제 8 항에 있어서, 상기 마스크는 투명 도전 박막상의 적어도 두 가장자리 부분에 배선전극용 금속박막이 증착될 수 있는 구조를 갖는 것을 특징으로 하는, 터치패널 제조방법.