KR0135922B1 - Liquid crystal projector and liquid crystal display device using micro lens plate - Google Patents
Liquid crystal projector and liquid crystal display device using micro lens plateInfo
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Abstract
액정 표시 소자의 대향기판(9)과 투명기관(1)과의 사이에는 액정층(6)이 봉입되어 있다. 대향기판(9)은 투명기판(1)과, 이 기판상에 형성된 마이크로렌즈(2)와, 접착층(3)과, 커버유리(4)로 이루어지며, 커버유리(4) 상에는 배향막이나 투명전극등이 형성되어 있다. 상기 마이크로렌즈(2) 및 접착층(3)을 형성하는 수지는 배향막 등을 형성하기 위한 열처리 공정에 견딜 수 있는 내열온도 150℃ 이상의 것이며, 또한 마이크로렌즈(2)의 개구수를 0.1 이상으로 하고자 양 수지의 굴절률차 △n0.1 을 채우는 것이 선택되어 있다.The liquid crystal layer 6 is enclosed between the opposing substrate 9 of the liquid crystal display element and the transparent organ 1. The counter substrate 9 is composed of a transparent substrate 1, a microlens 2 formed on the substrate, an adhesive layer 3, and a cover glass 4, and on the cover glass 4, an alignment film or a transparent electrode. Etc. are formed. The resin for forming the microlens 2 and the adhesive layer 3 has a heat resistance temperature of 150 ° C. or higher that can withstand the heat treatment process for forming the alignment film or the like, and the numerical aperture of the microlens 2 is 0.1 or more. Refractive Index Difference Δn of Resin Filling 0.1 is selected.
이로써, 열처리공정에 있어서의 수지의 변질이나 마이크로렌즈(2)의 박리등을 방지하여 고품위, 고신뢰성의 화면이 밝은 액정 표시 소자가 얻어진다.Thereby, the deterioration of resin in the heat treatment process, the peeling of the microlens 2, etc. are prevented, and the liquid crystal display element with a bright screen of high quality and high reliability is obtained.
Description
제1도는 본 발명의 일실시예를 나타낸 것이며, 액정 표시 소자의 구조를 설명하기 위한 단면도.1 is a cross-sectional view for explaining the structure of a liquid crystal display device showing an embodiment of the present invention.
제2도는 2P 법에서 사용되는 스탬퍼의 제조 프로세스를 설명하기 위한 설명도.2 is an explanatory diagram for illustrating a manufacturing process of a stamper used in the 2P method.
제3도는 스탬퍼를 사용한 마이크로렌즈 어레이의 제조 프로세스를 설명하기 위한 설명도.3 is an explanatory diagram for explaining a manufacturing process of a microlens array using a stamper.
제4도는 상기 액정 표시 소자에 구비된 마이크로렌즈 기판에 있어서의 반구상(구면) 마이크로렌즈를 설명하기 위한 요부단면도.FIG. 4 is a cross-sectional view of a main portion for explaining a hemispherical (spherical) microlens in a microlens substrate provided in the liquid crystal display element. FIG.
제5도는 상기 액정 표시 소자를 사용한 액정 프로젝터 장치의 요부구성을 도시한 설명도.5 is an explanatory diagram showing a main configuration of a liquid crystal projector device using the liquid crystal display element.
제6도는 상기 액정 표시 소자를 사용한 액정 프로젝터 장치의 전체구성을 도시한 설명도.6 is an explanatory diagram showing an overall configuration of a liquid crystal projector device using the liquid crystal display element.
*도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명** Description of the symbols for the main parts of the drawings *
1 : 투명기판(제 1 의 투명기판), 2 : 마이크로렌즈,1: transparent substrate (first transparent substrate), 2: microlens,
2' : 렌즈부분, 3 : 접착층(접착제),2 ': lens portion, 3: adhesive layer (adhesive),
4 : 커버유리(제 2 의 투명기판), 5 : 실재,4: cover glass (second transparent substrate), 5: real,
6 : 액정층, 7 : 투명기판,6: liquid crystal layer, 7: transparent substrate,
9 : 액정 표지 소자의 대향기판, 10 : 액정 표시 소자,9: counter substrate of liquid crystal display element, 10: liquid crystal display element,
11 : 기판, 12 : 전자빔 레지스트,11 substrate, 12 electron beam resist,
13 : 마이크로렌즈 어레이 원반, 14 : 스탬퍼,13: microlens array disk, 14: stamper,
15 : 투명기판, 16 : 자외선 감광성 수지,15: transparent substrate, 16: ultraviolet photosensitive resin,
17 : 백색광원, 18 : UV-IR필터,17: white light source, 18: UV-IR filter,
19a : 다이클로익 미러, 19b : 다이클로익 미러,19a: dichroic mirror, 19b: dichroic mirror,
20a : 반사경, 20b : 반사경,20a: reflector, 20b: reflector,
21a : 액정 표시 소자, 21b : 액정 표시 소자,21a: liquid crystal display element, 21b: liquid crystal display element,
21c : 액정 표시소자, 23a : 다이클로익 미러,21c: liquid crystal display element, 23a: dichroic mirror,
23b : 다이클로익 미러, 24 : 투영렌즈,23b: dichroic mirror, 24: projection lens,
25 : 광학계, 26 : 액정 표시 소자 구동회로,25 optical system, 26 liquid crystal display element driving circuit,
28 : 스크린.28: screen.
본 발명은 마이크로렌즈가 형성된 마이크로렌즈 기판, 그것을 사용한 고정세한 액정 표시 소자, 및 그 액정 표시 소자를 사용한 액정 프로젝터 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a microlens substrate on which microlenses are formed, a high definition liquid crystal display element using the same, and a liquid crystal projector device using the liquid crystal display element.
본 명세서에서 마이크로렌즈란 수밀리정도 이하의 크기를 갖는 미소한 렌즈를 의미하며, 그와 같은 미소한 렌즈가 1 차원 또는 2 차원적으로 배열된 마이크로렌즈 어레이, 및 복수 배치된 렌티큘러 렌즈를 포함하는 것으로 한다.In the present specification, the microlens refers to a microlens having a size of about several millimeters or less, and includes a microlens array in which such microlenses are arranged in one or two dimensions, and a plurality of lenticular lenses arranged in a plurality. Shall be.
액정표시 소자는 직시형뿐만 아니라 투사형 텔레비전 등의 투영형 표시 소자로서도 수요가 높아지고 있다. 액정 표시 소자를 투영형으로서 사용할 경우, 종래의 회소수로 확대율을 높이면 화면의 거친 것이 눈에 띤다. 높은 확대율에서도 정세한 화소를 얻기 위해서는 회소수를 증가시키는 것이 필요해진다. 그런데, 액정 표시 소자의 회소수를 증가시키면 특히 액티브 매트릭스형의 액정 표시 소자에서는 회소이외의 부분이 차지하는 면적이 상대적으로 커져서 이들 부분을 덮는 블랙 매트릭스의 면적이 증대한다. 블랙 매트릭스의 면적이 증대하면, 표시에 기여하는 회소 개구부의 면적이 감소하고, 표시 소자의 개구율이 저하되어 버린다. 개구율의 저하가 생기면 화면이 어두워져서 화상품위를 저하시키게 된다.The liquid crystal display element is increasing not only as a direct view type but also as a projection display element such as a projection television. When the liquid crystal display element is used as the projection type, roughness of the screen is noticeable when the magnification is increased by the conventional fractional number. It is necessary to increase the number of pixels in order to obtain fine pixels even at high magnification. However, when the number of times of the liquid crystal display element is increased, the area occupied by the portions other than the element in the active matrix type liquid crystal display element is relatively large, so that the area of the black matrix covering these portions is increased. When the area of the black matrix increases, the area of the recovery openings that contribute to display decreases, and the aperture ratio of the display element decreases. When the aperture ratio is lowered, the screen is darkened to deteriorate the image quality.
이와같은 회소수의 증대에 의한 개구율의 저하를 방지하기 위해, 액정표시 소자의 한쪽면에 마이크로렌즈를 형성하는 것이 제안되어 있다(특개소 60-165621 ∼ 165624호 공보, 특개소 60 - 262131호 공보참조). 각 회소에 대응하는 복수의 마이크로렌즈를 설치하는 것으로, 종래에는 블랙 매트릭스에 의해 차광되어 있던 빛을 회소내에 집광할 수 있게 된다.In order to prevent the fall of the aperture ratio by the increase of such a small number, it is proposed to form a microlens on one side of a liquid crystal display element (JP-A-60-165621-165624, JP-A-60-262131). Reference). By providing a plurality of microlenses corresponding to each element, it is possible to condense light, which has conventionally been shielded by the black matrix, in the element.
상기 용도 이외에도 마이크로렌즈는 레이저 디스크, 콤팩트 디스크, 광자기 디스크 등의 광픽업의 집광수단 또는 수광소자와의 결합을 위한 집광수단, CCD등의 고체 촬상 소자 또는 팩시밀리에 사용되는 1 차원 이미지 센서의 감도를 높이기 위해 입사광을 광진 변환영역에 집광시키는 집광수단 또는 결상수단 (특개소 54-17620호 공보, 특개소 57-9180호 공보 참조), 액정 프린터나 LED 프린터에 있어서 인지해야할 상을 감광체에 결상시키는 결상수단(특개소 63-44624호 공보 참조), 광정보 처리용 필터등으로서 사용되고 있다. 이처럼 마이크로렌즈는 광학장치에 있어서 각종 광학소자 또는 광학부품 등과 조합하여 사용된다. 마이크로렌즈의 제조방법으로서 이온교환법(Appl optics, 21(6)P. 1052(1982), Electron Lett., 17P,452(1981), 팽윤법(스즈키 외 플라스틱 마이크로렌즈의 새로운 제작법 제 24 회 미소광학연구회), 열수하법(Zoran D. Popovic et al. Appl. optics. 27 P. 1281 (1988)), 기계가공법 등을 들 수 있다.In addition to the above applications, the microlenses are used for condensing means for optical pickup such as laser disks, compact discs, magneto-optical disks, condensing means for coupling with light receiving elements, solid-state imaging devices such as CCDs, or sensitivity of one-dimensional image sensors used in facsimile. Condensing means or imaging means for condensing incident light in a light-generating conversion region (see Japanese Patent Application Laid-Open Nos. 54-17620 and 57-180), to form an image to be recognized in a liquid crystal printer or an LED printer. It is used as an imaging means (see Japanese Patent Application Laid-Open No. 63-44624), a filter for processing optical information, and the like. As described above, the microlenses are used in combination with various optical elements or optical components in optical devices. Ion-exchange method (Appl optics, 21 (6) P. 1052 (1982), Electron Lett., 17P, 452 (1981), swelling method (new manufacturing method of plastic microlens including Suzuki et al. Study group), thermal hydrolysis (Zoran D. Popovic et al. Appl. Optics. 27 P. 1281 (1988)), and machining.
이온교환법으로는 굴절률 분포형의 마이크로렌즈가 얻어지고, 그 이외의 방법으로는 반구상 또는 회전방물상(비구면)의 굴절면을 갖는 마이크로렌즈가 얻어진다. 반구형상의 마이크로렌즈의 경우에는 이것을 마스터(원반)로 하고, 이 마스터를 사용하여 성형함으로써 마이크로렌즈의 양산이 가능해진다.(2P 법, 특개평 5-134103호 공보 참조). 이들 마이크로렌즈를 결정 표시 소자에 붙임으로써 액정 표시 소자의 실효 개구율이 향상되고, 밝은 표시화면이 얻어지게 된다. 그리고 상기 실효 개구율이란 컬러 필터나 편광판을 제외한 액정 표시 소자의 투과율을 말한다.By ion exchange, a microlens having a refractive index distribution type is obtained, and a microlens having a hemispherical or rotating object (aspherical) refractive surface is obtained by other methods. In the case of a hemispherical microlens, this is used as a master (disk), and molding using this master makes mass production of microlenses possible (see 2P method, Japanese Patent Laid-Open No. 5-134103). By attaching these microlenses to the crystal display element, the effective aperture ratio of the liquid crystal display element is improved and a bright display screen is obtained. In addition, the said effective aperture ratio means the transmittance | permeability of the liquid crystal display element except a color filter and a polarizing plate.
그런데, 회소의 피치가 수십 ㎛ 정도의 고정세한 표시를 하는 투사형 텔레비젼용의 액정 표시 소자에서는 표시 소자의 개구부 면적이 다시 감소되고, 실효 개구율의 향상에는 한계가 나온다. 왜냐하면 실효 개구율은 마이크로렌즈의 집광 스포트의 크기와 회소 개구부의 면적의 대소관계로 결정되기 때문이다.By the way, in the liquid crystal display element for projection type television which shows high-definition display of the pitch of several tens of micrometers, the opening area of a display element is reduced again and there exists a limit to the improvement of an effective aperture ratio. This is because the effective aperture ratio is determined by the magnitude relationship between the size of the condensation spot of the microlens and the area of the recovery aperture.
집광 스포트의 직경 D 는 입사하는 빛의 발산도(반정각)를 θ, 마이크로렌즈의 초점거리를 f 로 하면, D = 2·f·tan θ ····① 으로 된다. 집광 스포트의 면적이 회소 개구부의 면적보다도 커지면, 회소 개구부에 들어가지 않는 빛이 표시에 기여하지 않게 되어, 실효 개구율의 향상효과가 감소한다.The diameter D of the condensing spot is D = 2 · f · tan θ ·· ① when the divergence degree (half-degree angle) of incident light is θ and the focal length of the microlens is f. When the area of the condensing spot is larger than the area of the recovery opening, light that does not enter the recovery opening does not contribute to display, and the effect of improving the effective aperture ratio is reduced.
집광효과를 높이기 위해서는 입사광의 발산도 θ 를 작게하는 일, 및 마이크로렌즈의 초점거리 f 를 짧게하는 것이 고려된다. 이 가운데 입사광의 발산도 θ 는 사용하는 광원의 발광영역이 작고, 광원에서 액정 표시 소자까지의 거리가 클수록 작아지는 것이지만 현상의 광원 기술레벨로 장수명성과 표시에 필요한 밝기를 확보하기 위해, 수도 이하로 하는 것은 곤란하다. 따라서, 마이크로렌즈의 초점거리 f 를 짧게하는 동시에 마이크로렌즈의 초점이 액정 표시 소자의 회소 개구부 근방에 위치하게끔 접근시킬 필요가 있다.In order to enhance the condensing effect, it is considered to reduce the divergence degree θ of incident light and to shorten the focal length f of the microlens. Among these, the divergence degree θ of incident light is smaller as the light emitting area of the light source used is smaller and the distance from the light source to the liquid crystal display element is smaller. However, in order to secure long life and the brightness required for display at the light source technology level of development, It is difficult to do. Therefore, it is necessary to shorten the focal length f of the microlens and to approach the focal point of the microlens so as to be located near the recovery opening of the liquid crystal display element.
현재의 액정 표시 소자의 제조기술에서는 회소피치 50 ㎛, 회소 개구부의 일변이 30 ㎛ 정도의 소자가 제작되고 있다. 이 사이즈의 액정 표시 소자에 있어서, 조명광의 발산도 θ 를 5。로 했을 경우, 집광 스포트의 직경 D 가 30 ㎛Ø로 되기 위해서는 상기 ① 의 식에서 초점거리 f 는 170 ㎛ 이하로 하지 않으면 안된다. 마이크로렌즈의 집광량은 그 면적에 비례하므로 마이크로렌즈를 회소피치와 같은 피치로 틈새 없이 깐 상태, 즉 마이크로렌즈의 직경이 회소피치 P 와 같은 때에 최대로 되고, 이 때의 마이크로렌즈의 개구수 N.A = p/(2·f) = 0.147 로 된다. 이 예에 나타낸 바와 같이, 회소피치 P 가 수십 ㎛ 정도의 고정세한 액정 표시 소자에서는 마이크로렌즈의 집광 스포트를 작게 하기 위한 개구수의 값은 최소한 0.1 이상으로 하는 것이 바람직하다.In the current manufacturing technology of the liquid crystal display device, a device having a pitch of 50 µm and a side of the recovery opening of about 30 µm is manufactured. In the liquid crystal display element of this size, when the divergence degree θ of the illumination light is 5 °, the focal length f must be 170 μm or less in the above formula in order for the diameter D of the condensing spot to be 30 μmØ. Since the light condensing amount of the microlens is proportional to its area, it is maximized when the microlens is covered at the same pitch as the pitch pitch, that is, when the diameter of the microlens is equal to the pitch pitch P, and the numerical aperture NA of the microlens at this time is = p / (2f) = 0.147. As shown in this example, in a high-definition liquid crystal display device having a repetitive pitch P of several tens of micrometers, it is preferable that the value of the numerical aperture for reducing the condensing spot of the microlenses is at least 0.1 or more.
그런데, 상술한 마이크로렌즈에서는 공기중의 초점거리 170 ㎛ 에 대응한 두께 250 ㎛ 정도(유리의 굴절률을 곱해서 구해진 값)의 유리를 사이에 끼고, 초점이 액정 표시 소자의 회소 개구부에 위치하게끔 설정하지 않으면 안된다.By the way, in the above-described microlenses, a glass having a thickness of about 250 μm (the value obtained by multiplying the refractive index of glass) corresponding to a focal length of 170 μm in air is sandwiched between the glasses, and the focal point is set so as to be located in the recovery opening of the liquid crystal display element. You must.
이와 같은 구성을 실현하기 위해서는 두께 250 ㎛ 의 유리기판을 한쪽의 기판으로서 액정 표시 소자를 작성하고, 그후 마이크로렌즈를 붙이는 방법도 생각되지만, 이 방법에서는 두께 250 ㎛ 이라고 하는 매우 얇은 유리기판의 취급이 어려워 양산에는 적합치 않다. 그래서 이것에 대체되는 마이크로렌즈의 단초점화 기술이 특개평 3-248125호 공보에 개시되어 있다.In order to realize such a configuration, a liquid crystal display device may be prepared using a glass substrate having a thickness of 250 µm as one substrate, and then a microlens may be attached thereafter. However, in this method, the handling of a very thin glass substrate having a thickness of 250 µm is considered. It is difficult and not suitable for mass production. Therefore, a technique for short focusing of a microlens replaced with this is disclosed in Japanese Patent Laid-Open No. 3-248125.
이 방법에서는 마이크로렌즈 표면에 초점거리에 대응한 두께의 커버유리 또는 필름을 접착하고, 마이크로렌즈를 액정 표시 소자의 한쪽의 기판중에 만들게끔 되어 있다. 또한 특개평 3-233417호 공보에 의하면, 2P 법을 사용하여 렌즈형상 부분을 감광성 수지로 렌즈 기판상에 형성하고, 이와 상이한 굴절률의 접착제로 마이크로렌즈와 같은 열팽창률의 커버유리를 접착하는 것으로 양산성과 밀착성을 높이는 방법이 개시되어 있다.In this method, a cover glass or film having a thickness corresponding to the focal length is adhered to the surface of the microlens, and the microlens is made in one substrate of the liquid crystal display element. Further, according to Japanese Patent Laid-Open No. 3-233417, a 2P method is used to form a lens-shaped portion on a lens substrate with a photosensitive resin, and mass production by adhering a cover glass having a thermal expansion coefficient such as microlenses with an adhesive of a different refractive index. Disclosed is a method of improving performance and adhesion.
그러나, 이와같이 해서 마이크로렌즈를 미리 액정 표시 소자를 구성하는 기판에 만들어 넣는 기술에서는 매우 얇은 유리기판을 취급할 필요가 없어지는 반면, 커버유리를 붙여서 마이크로렌즈를 만들어 넣은 다음, 기판상(즉, 커버유리상)에 투명전극, 배향막, 필요에 따라 블랙 매트릭스등을 형성하지 않으면 안되므로, 마이크로렌즈 재료나 접착제가 변질되어 투명도가 저하되거나, 렌즈자신이 유리 등에서 박리된다고 하는 다른 문제가 생기고 있고, 반드시 양산성이 향상되어 있다고는 하기 어렵다. 즉, 종래 유리기판상에 투명전극, 배향막, 블랙 매트릭스 등을 형성하는 공정에서는 모두 150℃ 이상, 일반적으로는 200℃ 전후의 고온하에서의 처리가 행해지고 있다. 그리고 이와 같은 열처리공정도, 한쌍의 기판을 붙인 다음(즉, 열처리공정을 거친 다음)에, 한쪽 기판에 마이크로렌즈를 붙이는 경우에는 문제가 없었지만, 상기와 같은 마이크로렌즈를 기판에 만들어 넣은 다음에, 열처리공정을 거치면 마이크로렌즈 재료나 접착제에 내열성이 고려되어 있지 않기 때문에 상기한 바와 같은 변질이나 박리등의 결함을 초래하게 된다. 그리고, 이와 같은 문제를 회피하기 위해, 투명전극, 배향막, 블랙 매트릭스 등의 형성시의 가열온도를 낮추는 것도 고려되지만 그렇게 하면 막의 부착력의 저하, 액정의 비향력의 저하등을 초래하며, 나아가서는 액면표시 소자 및 그것을 사용한 액정 프로젝터 장치 등의 각 장치의 신뢰성의 저하나 표시품위의 열화등의 폐해가 생기게 되므로, 이 방법을 채용할 수는 없다.However, in the technique in which the microlenses are made in advance on the substrate constituting the liquid crystal display element in this way, it is not necessary to handle very thin glass substrates, but the microlenses are made by attaching the cover glass and then on the substrate (that is, the cover). Since a transparent electrode, an alignment film, or a black matrix must be formed on the glass, if necessary, microlens materials and adhesives are deteriorated, resulting in a decrease in transparency or other problems that the lens itself is peeled off from glass. It is hard to say that this is improved. That is, in the process of forming a transparent electrode, an alignment film, a black matrix, or the like on a conventional glass substrate, all of the processes are performed at a high temperature of 150 ° C or higher, and generally around 200 ° C. In this heat treatment step, a pair of substrates were attached (i.e., after the heat treatment process), but there was no problem in attaching the microlenses to one substrate. When the heat treatment step is performed, the heat resistance is not considered in the microlens material or the adhesive, which causes defects such as deterioration and peeling as described above. In order to avoid such a problem, it is also considered to lower the heating temperature at the time of forming the transparent electrode, the alignment film, the black matrix or the like, but this causes a decrease in the adhesion of the film and a decrease in the non-direction of the liquid crystal. Since the deterioration of the reliability of each display device, such as a display element and the liquid crystal projector device using the same, deterioration of a display quality, etc. will arise, this method cannot be employ | adopted.
본 발명은 상기 과정을 감안하여 이루어진 것으로서 그 목적은 내열성에 뛰어나고 초점거리가 짧은 마이크로렌즈를 갖는 마이크로렌즈 기판을 형성하는데 있고, 나아가서는 이 마이크로렌즈 기판을 사용하는 것으로, 고품위. 고신뢰성으로 화면이 밝은 액정소자표시, 고성능의 액정 프로젝터 장치를 제공하는데 있다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above process, and its object is to form a microlens substrate having microlenses excellent in heat resistance and a short focal length, and furthermore, by using this microlens substrate, high quality. The present invention provides a liquid crystal display and a high performance liquid crystal projector device having a bright screen with high reliability.
본 발명의 청구항 1 기재의 마이크로렌즈 기판은 상기 과제를 해결하기 위해 제 1 의 투명기판상에 형성된 마이크로렌즈 어레이 또는 렌트큘러 렌즈와 제 2 의 투명기판이 접착제에 의해 붙여져 있으며, 또한 상기 마이크로렌즈 어레이 또는 렌티큘러 렌즈와 접착제의 각각이 150℃ 이상의 내열성을 갖는 재료로 이루어지는 것을 특징으로 하고 있다.In the microlens substrate according to claim 1 of the present invention, a microlens array or lenticular lens formed on a first transparent substrate and a second transparent substrate are pasted with an adhesive to solve the above problems. Or each of the lenticular lens and the adhesive is made of a material having heat resistance of 150 ° C or higher.
본 발명의 청구항 3 기재의 마이크로렌즈 기판은 상기 과제를 해결하기 위해 상기 청구항 1 기재의 마이크로렌즈 기판에 있어서, 상기 마이크로렌즈 어레이 또는 렌티큘러 렌즈의 개구수가 0.1 이상임을 특징으로 하고 있다.The microlens substrate according to claim 3 of the present invention is characterized in that the numerical aperture of the microlens array or lenticular lens is 0.1 or more in the microlens substrate according to claim 1 to solve the above problems.
본 발명의 청구항 4 기재의 마이크로렌즈 기판은 상기 과제를 해결하기 위해 상기 청구항 1 기재의 마이크로렌즈 기판에 있어서, 상기 마이크로렌즈 어레이 또는 렌티큘러 렌즈와 접착제와의 굴절률차 △n 이 0.1 이상임을 특징으로 하고 있다.In the microlens substrate according to claim 4 of the present invention, in order to solve the above problems, in the microlens substrate according to claim 1, the refractive index difference Δn between the microlens array or the lenticular lens and the adhesive is 0.1 or more. have.
본 발명의 청구항 6 기재의 액정 표시 소자는 상기 과제를 해결하기 위해 상기 청구항 1, 3 또는 4 기재의 마이크로렌즈 기판이 대향기판으로 되는 동시에 이 대향기판상에 투명전극, 배향막, 및 필요에 따라 블랙 매트릭스가 형성되고, 액티브매트릭스 기판과 붙여져서 이루어지는 것을 특징으로 하고 있다. 본 발명의 청구항 11 기재의 액정프로젝터장치는 상기 과제를 해결하기 위해, 상기 청구항 6 기재의 액정 표시 소자가 사용되고 있는 것을 특징으로 하고 있다. 상기의 청구항 1 기재의 구성에 의하면, 마이크로렌즈 어레이 또는 렌티큘러 렌즈(이하, 작용란에서는 총칭해서 마이크로렌즈라고 함)와 접착제의 각각이 150℃ 이상의 내열성을 갖는 재료로 이루어지므로 내열성에 뛰어난 마이크로렌즈 기판으로 되어, 고열하에서의 여러가지 가공의 실시가 가능해진다. 더구나 이 마이크로렌즈 기판은 제 1 의 투명기판상에 형성된 마이크로렌즈(예를 들면 내열성 수지)에 제 2 의 투명기판(예를 들면 커버유리)이 접착제에 의해 붙여진 구성이므로, 기판내부에 마이크로렌즈가 만들어 넣어진 상태로 되고, 별체로 이루어진 마이크로렌즈를 후공정에서 소정의 기판에 붙여서 형성하는 것에 비해 마이크로렌즈의 초점거리를 짧게 할 수 있다. 이 결과, 내열성에 뛰어나고 고열하에서의 여러가지 가공이 실시가능한 초점거리가 짧은 마이크로렌즈 기판을 얻을 수 있게 된다.In the liquid crystal display device according to claim 6 of the present invention, in order to solve the above problems, the microlens substrate of claim 1, 3 or 4 becomes an opposing substrate, and a transparent electrode, an alignment film, and, if necessary, black on the opposing substrate. The matrix is formed, and is formed by being attached to an active matrix substrate. The liquid crystal projector device according to claim 11 of the present invention is characterized in that the liquid crystal display device according to claim 6 is used to solve the above problems. According to the structure of claim 1, the microlens array or the lenticular lens (hereinafter referred to collectively as microlenses) and the adhesive are each made of a material having a heat resistance of 150 ° C. or higher, thereby providing a microlens substrate excellent in heat resistance. Thus, various processing can be performed under high heat. In addition, the microlens substrate has a structure in which a second transparent substrate (for example, cover glass) is attached to the microlens (for example, heat-resistant resin) formed on the first transparent substrate by an adhesive. The focal length of the microlenses can be shortened as compared with forming the formed microlenses by attaching them to a predetermined substrate in a later step. As a result, it is possible to obtain a microlens substrate having a short focal length that is excellent in heat resistance and can be subjected to various processing under high heat.
따라서 예를 들어 청구항 4 기재의 구성처럼 상기 마이크로렌즈 기판을 대향기판으로 하고, 이 위에 투명전극, 배향막 및 필요에 따라 블랙 매트릭스 등을 형성하고, 액티프 매트릭스 기판과 서로 붙이는 것으로 제작한 액정표시 소자는 투명전극이나 배향막, 블랙 매트릭스 등을 형성하는 150℃ 이상의 열처리공정을 거쳤음에도 불구하고, 접착제나 마이크로렌즈 재료가 변질하여 투명도가 저하하거나 마이크로렌즈가 제 2 투명기판에서 박리하는 일은 없으며, 종래와 같은 제조공정으로 고품위. 고신뢰성으로 화면이 밝은 액정 표시 소자를 얻을 수 있다.Thus, for example, a liquid crystal display device fabricated by using the microlens substrate as an opposing substrate as in the configuration of claim 4, forming a transparent electrode, an alignment film, a black matrix, etc., if necessary, and attaching the active matrix substrate to each other. In spite of the heat treatment process of 150 ° C. or higher forming a transparent electrode, an alignment film, a black matrix, or the like, the adhesive or the microlens material is not deteriorated and the transparency is not degraded or the microlens is peeled off the second transparent substrate. High quality with the same manufacturing process. It is possible to obtain a liquid crystal display device having a bright screen with high reliability.
상기 청구항 3 의 구성에 의하면 상기 마이크로렌즈 기판에 있어서의 마이크로렌즈의 개구수가 0.1 이상이므로, 종래기술의 항에서 상술한 「마이크로렌즈의 집광스포트를 작게하기 위해서는 일반적으로 렌즈의 개구수를 크게하는 것이 좋으며, 그 값을 최소한 0.1 이상으로 하는 것이 바람직하다」라고 하는 조건을 본 마이크로렌즈 기판은 채울 수 있는 것으로 되며, 따라서 예를 들어 청구항 6 기재의 구성처럼, 이 마이크로렌즈 기판을 사용하여 제작한 액정 표시 소자는 회소피치가 수십 ㎛ 정도의 고정세한 액정 표시 소자로 된다.According to the configuration of claim 3, since the numerical aperture of the microlens in the microlens substrate is 0.1 or more, it is generally necessary to increase the numerical aperture of the lens in order to reduce the condensing spot of the microlens as described above in the prior art. It is preferable that the value is at least 0.1 or higher ”, and the microlens substrate can be filled. Therefore, for example, the liquid crystal produced using the microlens substrate as in the configuration of claim 6 The display element is a high-definition liquid crystal display element whose elementary pitch is about several tens of micrometers.
상기 청구항 4 의 구성에 의하면 상기 마이크로렌즈 기판에 있어서의 마이크로렌즈와 접착제와의 굴절률차 △n 이 0.1 이상이므로, 이것에 있어서도 상술한 「마이크로렌즈의 집광 스포트를 작게 하기 위해서는 일반적으로 렌즈의 개구수를 크게하는 편이 좋으며, 그 값을 최소한 0.1 이상으로 하는 것이 바람직하다」라고 하는 조건을 채울 수 있는 것으로 된다. 즉, 마이크로렌즈의 반경을 R, 초점거리를 f, 마이크로렌즈와 접착제와의 굴절률차를 △n 으로 하면 렌즈의 개구수는 근사적으로 R/f로 표시되므로, R/f0.1 조건으로 된다. 한편 기하광학에서 이들 3 개의 변수사이에는 R = 4n·f 의 관계가 성립한다. 따라서 상술한 「···」내의 조건은 △n0.1 로 다시 기록될 수 있게 된다. 따라서 예를 들어 청구항 6 기재의 구성처럼 이 마이크로렌즈 기판을 사용하여 제작한 액정 표시 소자는 회소피치가 수십 ㎛ 정도의 고정세한 액정 표시 소자로 된다.According to the structure of Claim 4, since the refractive index difference (DELTA) n between a microlens and an adhesive agent in the said microlens board | substrate is 0.1 or more, in this also, in order to make small the condensing spot of a microlens mentioned above, the numerical aperture of a lens is generally It is better to increase the value, and the value thereof is preferably at least 0.1. &Quot;" That is, if the radius of the microlens is R, the focal length is f, and the refractive index difference between the microlens and the adhesive is Δn, the numerical aperture of the lens is approximately expressed as R / f, so R / f It becomes 0.1 condition. On the other hand, in geometric optics, the relationship of R = 4n · f holds between these three variables. Therefore, the condition in "..." mentioned above is Δn It can be written back to 0.1. Therefore, for example, the liquid crystal display element manufactured using this microlens board | substrate like the structure of Claim 6 turns into a high-definition liquid crystal display element of about tens of micrometers with a pitch pitch.
상기 청구항 11 의 구성에 의하면 상기 청구항 1 기재의 마이크로렌즈 기판을 사용하여 구성된 액정 표시 소자를 사용하여 액정 프로젝터 장치를 구성하므로, 고품위·고신뢰성이며 투영화상이 밝은 액정 프로젝터 장치를 얻을 수 있게 된다. 또 상기 청구항 3 또는 4 기재의 마이크로렌즈 기판을 사용하여 구성된 액정 표시 소자를 사용하여 액정 프로젝터 장치를 구성하므로, 고품위·고신뢰성이며 투영화상이 밝고 고정세한 액정 프로젝터 장치를 얻을 수 있게 된다.According to the structure of claim 11, the liquid crystal projector device is constructed by using the liquid crystal display element constructed by using the microlens substrate according to claim 1, whereby a liquid crystal projector device of high quality, high reliability and a bright projection image can be obtained. Further, since the liquid crystal projector device is constructed by using the liquid crystal display element constructed using the microlens substrate according to claim 3 or 4, it is possible to obtain a liquid crystal projector device of high quality, high reliability, and bright and high definition projection image.
외국출원용 클레임 16 의 구성에 의하면 또한 투영렌즈의 개구수가 상기 마이크로렌즈 어레이 또는 렌티큘러 렌즈의 개구수보다 크므로, 투영렌즈에 있어서의 빛의 손실을 확실히 저감시킬 수 있고, 스트린상에서 매우 밝은 투영화상이 표시되게 된다.According to the structure of the foreign application claim 16, since the numerical aperture of the projection lens is larger than the numerical aperture of the microlens array or the lenticular lens, the loss of light in the projection lens can be reliably reduced, and the projection is very bright on the screen. The image is displayed.
[실시예]EXAMPLE
본 발명의 일실시예에 대해 제 1 도 내지 제 2 도에 의거하여 설명하면 다음과 같다. 그리고 본 실시예에 있어서는 본 발명의 마이크로렌즈 기판을 액정 표시 소자의 대향기판으로서 사용한 것을 예시해서 설명하지만 본 발명의 마이크로렌즈 기판은 본 실시예에 한정되는 것은 아니며, 앞서의 종래예의 항에서 나타낸 것처럼, 여러가지 분야에서 활용할 수 있음은 물론이다.An embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 1 to 2 as follows. In the present embodiment, the microlens substrate of the present invention is used as an opposing substrate of the liquid crystal display device. The microlens substrate of the present invention is not limited to the present embodiment. Of course, it can be used in various fields.
본 실시예에 의한 액정 표시 소자는 액티브래트릭스형의 액정 표시 소자이며, 제 1 도에 도시한 것처럼 석영유리로 이루어진 투명기판(7)을 가지고 있다. 이 투명기판 위에는 도시생략의 회소전극, 스위칭소자, 버스배선 등이 형성되어 있다. 투명기판(7)과 이 기판에 대향하는 대향기판(즉, 본 발명의 마이크로렌즈 기판인) (9)과의 사이에는 액정층(6)이 실재(5)에 의해 봉입되어 있다.The liquid crystal display element according to the present embodiment is an active matrix liquid crystal display element, and has a transparent substrate 7 made of quartz glass as shown in FIG. On this transparent substrate, an illustration electrode, a switching element, a bus wiring, etc., not shown are formed. The liquid crystal layer 6 is enclosed by the actual material 5 between the transparent substrate 7 and the opposing substrate (that is, the microlens substrate of the present invention) 9 facing the substrate.
상기 대향기판(9)은 석영유리로 이루어진 투명기판(제 1 의 투명기판) (1)과, 마이크로렌즈(2)와 접착제로 이루어진 접착층(3)과, 석영유리로 이루어진 커버유리(제 2 의 투명기판)(4)으로 구성되어 있다. 상기 마이크로렌즈(2)는 상기 투명기판(7)상의 각 회소전극에 대응해서 설치된 복수의 렌즈부분(2)을 갖는 이른바 마이크로렌즈 어레이이다. 그리고 본 실시예에서는 상기 마이크로렌즈(2)의 렌즈부분(2)는 반구상(구면)의 철렌즈형상을 가지며, 상술한 2P 법에 의해 제작되는 것이다. 2P 법에서는 먼저 스탬퍼라고 불리우는 마이크로렌즈 어레이의 금형을 제작하고, 이 스탬퍼로 마이크로렌즈 어레이를 대량으로 복제한다. 그 프로세서에 대해 제 2 도 및 제 3 도에 의거하여 다음에 간결히 기술한다.The counter substrate 9 comprises a transparent substrate (first transparent substrate) 1 made of quartz glass, an adhesive layer 3 made of a microlens 2 and an adhesive, and a cover glass made of quartz glass (second Transparent substrate) 4. The microlens 2 is a so-called microlens array having a plurality of lens portions 2 provided in correspondence with the respective sweep electrodes on the transparent substrate 7. In the present embodiment, the lens portion 2 of the microlens 2 has a hemispherical (spherical) iron lens shape and is manufactured by the above-described 2P method. In the 2P method, a mold of a microlens array called a stamper is first manufactured, and the stamper makes a large quantity of microlens array copies. The following briefly describes the processor based on FIGS. 2 and 3.
먼저 스탬퍼의 제조 프로세서를 제 2 도에 의거하여 설명한다.First, the manufacturing process of a stamper is demonstrated based on FIG.
(a) 기판 (11)을 준비하고, 그 위에 전자빔 레지스트(12)를 도포한다.(a) The board | substrate 11 is prepared and the electron beam resist 12 is apply | coated on it.
(b) 전자빔 노광에 의해 패턴화된 전자빔 레지스트(12)를 연화시켜 철렌즈 형상으로 하고, 마이크로렌즈 어레이 원반(13)을 제작한다.(b) The electron beam resist 12 patterned by electron beam exposure is softened to an iron lens shape, and a microlens array master 13 is produced.
(c) 다음에 전주법에 의해 니켈등의 스탬퍼 재료를 원반(13)위에 퇴적하고, 니켈. 스탬퍼(14)를 제작한다.(c) Next, a stamper material such as nickel is deposited on the master 13 by the electroforming method. The stamper 14 is produced.
(d) 스탬퍼(14)와 원반(13)을 분리한다. 스탬퍼(14)는 철형의 마이크로렌즈어레이에 대응하여 요형의 형상을 갖는다. 이것이 마이크로렌즈어레이의 금형으로 된다.(d) The stamper 14 and the disk 13 are separated. The stamper 14 has a concave shape corresponding to the convex micro lens array. This is the mold of the microlens array.
다음에 상기 스탬퍼(14)를 사용한 마이크로렌즈 어레이의 제조 프로세스를 제 3 도에 의거하여 설명한다.Next, a manufacturing process of the microlens array using the stamper 14 will be described with reference to FIG.
(a) 투명기판(15)을 준비하고, 스탬퍼(14)에 자외선 감광성 수지(이른바 UV 경화수지)(16)를 주입한다.(a) A transparent substrate 15 is prepared, and an ultraviolet photosensitive resin (so-called UV curable resin) 16 is injected into the stamper 14.
(b) 다음에 주입된 자외선 감광선 수지(16)를 스탬퍼(14)와 투명기판(15)과의 사이에 끼워서 눌러 렌즈면 전체에 확대시킨다.(b) Next, the injected ultraviolet photosensitive resin 16 is sandwiched between the stamper 14 and the transparent substrate 15 and pressed to enlarge the entire lens surface.
(c) 투명기판(15)을 투과한 자외선에 의해 자외선 감광성 수지(16)를 경화한다.(c) The ultraviolet photosensitive resin 16 is cured by ultraviolet rays transmitted through the transparent substrate 15.
(d) 경화후, 스탬퍼(14)에서 투명기판(15)을 자외선 감광성 수지(16)와 함께 박리한다. 이 박리한 것이 마이크로렌즈 어레이로서 제품으로 된다.(d) After curing, the transparent substrate 15 is peeled off together with the ultraviolet photosensitive resin 16 by the stamper 14. This peeled thing becomes a product as a microlens array.
상기 커버유리(4)의 액정층(6)측의 면에는 도시 생략의 투명전극, 배향막, 블랙 매트릭스 등이 형성되어 있다. 이들은 모두 마이크로렌즈(2)와 커버유리(4)가 붙여지고, 마이크로렌즈 기판으로서 형성된 다음에, 150℃ 이상의 고온조건화로 형성된다. 그래서 마이크로렌즈(2)와 접착층(3)에는 150℃ 이상에서도 열분해나 변형이 생기지 않고, 또 투명도가 저하하지 않는다는 등의 내열성이 필요하다.On the surface of the cover glass 4 on the side of the liquid crystal layer 6, a transparent electrode, an alignment film, a black matrix and the like not shown are formed. They are all attached to the microlens 2 and the cover glass 4, formed as a microlens substrate, and then formed at a high temperature condition of 150 캜 or higher. Therefore, the microlens 2 and the adhesive layer 3 need heat resistance such that pyrolysis or deformation does not occur even at 150 ° C or higher, and transparency does not decrease.
한편, 상기 투명기판(1)상에 형성된 마이크로렌즈(2)에 있어서의 렌즈부분(2)의 요부확대도를 제 4 도에 도시한다. 도면중 n1, n2, n3(=1)은 각기 마이크로렌즈(2), 접착층(3), 공기의 굴절률이며, 수지의 굴절률차 △n 은 △n = n1 - n2 ··· ② 로 정의된다. 또 R 은 반구형상의 렌즈부분(2')의 곡률반경(즉, 렌즈구경의 절반의 길이), f 는 렌즈부분(2')의 공기중에 있어서의 초점거리이다. 상술한 바와 같이, 집광 스포트직경을 작게 하기 위해서는 △n0.1 이 되게끔 수지의 굴절률을 선택하지 않으면 안된다.On the other hand, FIG. 4 shows an enlarged view of the main portion of the lens portion 2 in the microlens 2 formed on the transparent substrate 1. In the figure, n1, n2, n3 (= 1) are the refractive indices of the microlenses 2, the adhesive layer 3, and the air, respectively, and the refractive index difference Δn of the resin is defined as Δn = n1-n2. R is the radius of curvature of the hemispherical lens portion 2 '(i.e., half the length of the lens diameter), and f is the focal length in the air of the lens portion 2'. As described above, in order to reduce the condensing spot diameter, Δn The refractive index of the resin must be selected to be 0.1.
이상 2 가지 조건을 만족하기 위해 본 실시예에서는 마이크로렌즈(2)를 형성하는 수지로서, 다이킨 고교사제의 감광성 수지 UV-4000(굴절률 n = 1.567)을 접착층(3)을 형성하는 접착제용 수지로서 동사제의 감광성 수지 UV-1000(굴절룰 n = 1.453)을 사용했다.In order to satisfy the above two conditions, in this embodiment, the resin for forming the microlens 2, the adhesive resin for forming the adhesive layer 3, the photosensitive resin UV-4000 (refractive index n = 1.567) made by Daikin Co., Ltd. As the photosensitive resin UV-1000 (refractive rule n = 1.453) made by the company was used.
이들 재료는 모두 열분해온도가 150℃ 이상이며, 150℃ 이상의 고온하에서 투명전극이나 블랙 매트릭스의 증착을 해도 열분해나 변색이 생기지 않았다.All of these materials had a thermal decomposition temperature of 150 ° C. or higher, and no thermal decomposition or discoloration occurred even when the transparent electrode or the black matrix was deposited at a high temperature of 150 ° C. or higher.
또 상기 ② 의 식에서 △n = 0.114 라고 하는 값이 얻어지고, 이 값을 근거로 하여 본 실시예의 구성으로 회소피치가 29 ㎛ x 24 ㎛ 인 액정표시 소자에 대응하는 마이크로렌즈(2)의 설계를 했다. 그 결과, 곡률반경이 18.8 ㎛ 의 구면의 렌즈부분(2')에서는 공기중의 초점거리 f 가 165 ㎛ 으로 되었다.In addition, a value Δn = 0.114 is obtained from the above equation, and on the basis of this value, the design of the microlens 2 corresponding to the liquid crystal display element having a recovery pitch of 29 μm × 24 μm is obtained according to the configuration of the present embodiment. did. As a result, in the spherical lens portion 2 'having a radius of curvature of 18.8 mu m, the focal length f in air was 165 mu m.
석영의 굴절률이 1.46이므로 커버유리(4)의 두께는 240 ㎛ 으로 된다. 즉 이 마이크로렌즈(2)에 의해 액정 표시 소자의 실효 개구율을 향상시킬 수 있었다.Since the refractive index of quartz is 1.46, the thickness of the cover glass 4 is 240 micrometers. That is, the effective aperture ratio of the liquid crystal display element could be improved by this microlens 2.
이처럼 본 실시예의 액정 표시 소자에 있어서는 내열성을 구비한 수지를 재료로 하는 마이크로렌즈(2) 및 접착층(3)을 갖는 마이크로렌즈 기판이 액정 표시 소자의 대향기판(9)으로서 사용되고 있으므로, 이 대향기판(9)상에 배향막이나, 투명전극, 블랙 매트릭스 등을 형성하는 열처리공정을 거쳤다고 하더라도, 재료가 분해하거나 변질되는 일이 없다. 따라서 종래와 같은 제조공정으로(제조조건) 액정 표시 소자를 제조할 수 있게 되는 동시에, 마이크로렌즈(2)의 신뢰성 향상도 도모할 수 있고, 나아가서는 액정 표시 소자의 신뢰성의 향상을 도모할 수 있다.As described above, in the liquid crystal display element of this embodiment, the microlens substrate having the resin having heat resistance and the microlens substrate having the adhesive layer 3 are used as the counter substrate 9 of the liquid crystal display element. Even if the heat treatment process of forming an alignment film, a transparent electrode, a black matrix, etc. on (9) is performed, a material does not decompose or deteriorate. Therefore, the liquid crystal display element can be manufactured by the manufacturing process similar to the conventional one (manufacturing conditions), and the reliability of the microlens 2 can be improved, and also the reliability of the liquid crystal display element can be aimed at. .
또, 개구수가 큰 마이크로렌즈(2)가 이와는 다른 굴절률을 갖는 접착층(3)을 통해 장착되어 있으므로, 렌즈부분(2')과 접착층(3)이 접한 상태에서도 렌즈효과가 발휘되고, 이 때문에 마이크로렌즈(2)의 초점거리를 짧은 것으로 하고, 집광력을 높일 수 있다. 그 결과, 고품위, 고신뢰성으로 화면이 밝은 액정표시 소자를 얻을 수 있다.In addition, since the microlens 2 having a large numerical aperture 2 is mounted through the adhesive layer 3 having a different refractive index, the lens effect is exerted even when the lens portion 2 'and the adhesive layer 3 are in contact with each other. The focal length of the lens 2 is made short, and the condensing power can be increased. As a result, a liquid crystal display device having a bright screen with high quality and high reliability can be obtained.
또, 본 실시예에 사용한 내열성수지 이외에 150℃ 이상의 내열성을 갖는 재료로서 마이크로렌즈(2)의 형성수지에는 다이닛폰잉크사제의 감광성 수지 RC-8766(굴절률 n = 1.534), 아테르사제의 감광성 수지 MO1(굴절률 n = 1.52), UT20(굴절률 n = 1.51), HO2(굴절률 n = 1.63), HV2(굴절률 n = 1.63)가, 접착층(3)의 형성수지에는 다이닛폰 잉크사제 감광성 수지 HNA-101(굴절률 n = 1.37), 다이킨 고교사제의 감광수지 UV-2000(굴절률 n = 1.4777), UV-3000(굴절률 n = 1.498) 등이 사용된다.In addition to the heat resistant resin used in the present embodiment, the resin for forming the microlens 2 as a material having heat resistance of 150 ° C. or higher is photosensitive resin RC-8766 (refractive index n = 1.534) manufactured by Dainippon Ink and Co., Ltd. (Refractive index n = 1.52), UT20 (refractive index n = 1.51), HO2 (refractive index n = 1.63), HV2 (refractive index n = 1.63), and the resin of the adhesive layer 3 was formed by the photosensitive resin HNA-101 (manufactured by Dainippon Ink Corporation). Refractive index n = 1.37), photoresist UV-2000 (refractive index n = 1.4777) manufactured by Daikin Industries Co., Ltd., UV-3000 (refractive index n = 1.498), and the like.
그리고, 본 실시예에 있어서는 투명기판(1), 커버유리(4), 투명기판(7)은 모두 같은 재질의 것을 사용했다. 이것은 열팽창률의 차로 인해 마이크로렌즈(2)나 각 기판이 박리하는 것을 방지하기 위해서이다. 또, 생산성의 관점에서, 마이크로렌즈(2)와 접착층(3)의 형성수지로서는 열경화성수지 보다도 자외선 감광성 수지를 사용하는 것이 바람직하다. 또한 본 발명의 다른 실시예로서 상기 실시예의 액정 표시 소자를 사용하여 액정 프로젝터 장치를 제작했다. 이 경우, 실효개구율이 높은 액정 표시 소자를 사용한 것으로 정세한 화상을 얻을 수 있고, 고품위의 것을 실현할 수 있었다.In this embodiment, the transparent substrate 1, the cover glass 4, and the transparent substrate 7 are all made of the same material. This is to prevent the microlens 2 or each substrate from peeling off due to the difference in thermal expansion coefficient. From the viewpoint of productivity, it is preferable to use an ultraviolet photosensitive resin as the resin for forming the microlens 2 and the adhesive layer 3 rather than the thermosetting resin. Moreover, as another Example of this invention, the liquid crystal projector device was produced using the liquid crystal display element of the said Example. In this case, the fine image was obtained by using the liquid crystal display element with a high effective aperture ratio, and the high quality thing was realizable.
다음에 상기 실시예 1 의 마이크로렌즈 기판을 사용한 액정 표시 소자를 사용한 액정 프로젝터에 대해 제 5 도를 참조하면서 상세히 설명한다. 이 액정 프로젝터는 제 5 도에 도시한 광학계(25)를 가지고 있다. 이 광학계(25)에 의하면 메탈 할라이드 램프 등의 백색광원(17)의 조사광은 UV-IR 필터(18)를 통해 다이클로익 미러(19a, 19b)에 인도된다. 다이클로익 미러(19a, 19b)에서는 입사광이 적색, 녹색 및 청색의 3 원색으로 분리된다.Next, the liquid crystal projector using the liquid crystal display element using the microlens substrate of Example 1 will be described in detail with reference to FIG. This liquid crystal projector has the optical system 25 shown in FIG. According to this optical system 25, the irradiation light of white light source 17, such as a metal halide lamp, is guided to the dichroic mirrors 19a and 19b through the UV-IR filter 18. As shown in FIG. In the dichroic mirrors 19a and 19b, incident light is separated into three primary colors of red, green and blue.
예를 들면 다이클로익 미러(19a)에서는 청색 광만이 반사하고, 다이클로익 미러(19b)에서는 녹색광만이 반사한다고 하자. 이 경우 다이클로익 미러(19a)에 의해 분리된 청색광은 반사경(20a)을 통해 액정 표시 소자(21a)로 인도된다. 다이클로익 미러(19a)를 투과한 녹색광과 적색광은 다이클로익 미러(19b)에 입사한다. 다이클로익 미러(19b)에서는 녹색광만이 반사되어 액정표시 소자(21b)에 인도되는 한편, 적색광은 투과해서 액정표시 소자(21c)로 인도된다. 상기 액정 표시 소자(21a ∼21c)는 상기 실시예 1 에서 설명한 마이크로렌즈 기판을 구비하고 있고, 액정 프로젝터에 입력되는 영상신호에 의거하여 각 원색화상을 표시한다. 액정 표시 소자(21a)를 투과한 청색광은 필드렌즈(22a)를 통해 다이클로익 미러(22a)에 입사한다. 액정 표시 소자(21b)를 투과한 녹색광은 필드렌즈(22b)를 통해 다이클로익 미러(23a)에 입사한다. 액정 표시 소자(21c)를 투과한 적색광은 필드렌즈(22c) 및 반사경(20b)을 통해 다이클로익 미러(23b)에 입사한다. 다이클로익 미러(23a.23b)에서는 액정 표시 소자(21a ∼21c)를 각기 투과한 원색광이 합성된 다음, 투영렌즈(24)에 인도되어, 후술하는 스크린상에 상기 영상이 확대투영된다.For example, it is assumed that only blue light is reflected by the dichroic mirror 19a, and only green light is reflected by the dichroic mirror 19b. In this case, the blue light separated by the dichroic mirror 19a is guided to the liquid crystal display element 21a through the reflecting mirror 20a. Green light and red light transmitted through the dichroic mirror 19a are incident on the dichroic mirror 19b. In the dichroic mirror 19b, only green light is reflected and guided to the liquid crystal display element 21b, while red light is transmitted to the liquid crystal display element 21c. The liquid crystal display elements 21a to 21c include the microlens substrates described in the first embodiment, and display respective primary colors based on the video signal input to the liquid crystal projector. Blue light transmitted through the liquid crystal display element 21a is incident on the dichroic mirror 22a through the field lens 22a. Green light transmitted through the liquid crystal display element 21b is incident on the dichroic mirror 23a through the field lens 22b. The red light transmitted through the liquid crystal display element 21c is incident on the dichroic mirror 23b through the field lens 22c and the reflecting mirror 20b. In the dichroic mirrors 23a and 23b, primary colors of light that respectively pass through the liquid crystal display elements 21a to 21c are synthesized, and then guided to the projection lens 24, and the image is magnified and projected on a screen which will be described later.
상기 액정 프로젝터에서는 액정 표시 소자의 화소 사이즈의 축소화(고정세화)에 따라서 초점거리가 짧은 마이크로렌즈가 각 화소에 대응하여 장착되어 있으므로, 종래의 고정세한 액정 표시 소자에 있어서 블랙매트릭스로 가로 막혔던 빛이 상기 마이크로렌즈에 의해 낭비됨이 없이 화소개구부에 집광되어 밝은 표시화면을 얻을 수 있다.In the liquid crystal projector, microlenses having a short focal length are mounted corresponding to each pixel in accordance with the reduction (fixing size) of the pixel size of the liquid crystal display element, so that the light blocked by the black matrix in the conventional high definition liquid crystal display element A light display screen can be obtained by condensing on the pixel openings without wasted by the microlenses.
마이크로렌즈로 집광된 빛은 스포트를 형성한 다음, 그 화소의 개구수로 결정되는 각도(발산각)로 화소개구부에서 발산하면서 투영렌즈(24)에 도달한다. 이 발산광을 투영렌즈(24)가 저손실로 집광하기 위해서는 투영렌즈(24)의 초점거리 f 는 짧고, 또한 투영렌즈(24)의 구경 D 는 큰 것이 바람직하다. 구체적으로는 투영렌즈(24)의 개구수인 D/2f 라고 하는 값이, 마이크로렌즈의 개구수보다도 큰 것이 바람직하다. 따라서 상술한 마이크로렌즈의 개구수에 대한 조건에 의거하여 개구수가 0.1 이상의 투영렌즈(24)를 사용하면, 투영렌즈(24)에 있어서의 빛의 손실을 저감시킬 수 있고, 스크린상에 매우 밝은 투영화상이 표시되게 된다.The light condensed by the microlenses forms a spot and then reaches the projection lens 24 while diverging from the pixel opening at an angle determined by the numerical aperture of the pixel. In order for the projection lens 24 to condense this divergent light with low loss, it is preferable that the focal length f of the projection lens 24 is short and the aperture D of the projection lens 24 is large. Specifically, the value of D / 2f, which is the numerical aperture of the projection lens 24, is preferably larger than the numerical aperture of the microlens. Therefore, using the projection lens 24 having a numerical aperture of 0.1 or more based on the conditions for the numerical aperture of the microlenses described above, the loss of light in the projection lens 24 can be reduced, and the projection is very bright on the screen. The image is displayed.
그리고, 상기 설명에서는 다이클로익 미러(19a)에서는 청색광만이 반사하고, 다이클로익 미러(19b)에서는 녹색광만이 반사하는 경우에 대해 설명했지만, 본 발명은 이것에 한정되는 것은 아니며, 백색광원(17)의 조사광이 적색, 녹색 및 청색의 3 원색으로 분리되면 된다.In the above description, the case where only the blue light is reflected by the dichroic mirror 19a and only the green light is reflected by the dichroic mirror 19b has been described. However, the present invention is not limited thereto. The irradiation light of (17) may be separated into three primary colors of red, green, and blue.
제 6도는 액정 프로젝터의 전체 구성을 나타낸 블록도이다. 이 액정 프로젝터(30)는 상기 광학계(25)와, 액정표시 소자구동회로(26)와, 영상신호 입력단자(27)와, 스트린(28)을 구비하고 있다.6 is a block diagram showing the overall configuration of a liquid crystal projector. The liquid crystal projector 30 includes the optical system 25, the liquid crystal display element driving circuit 26, the video signal input terminal 27, and the screen 28.
액정 표시 소자구동회로(26)는 영상신호입력단자(26)에서 입력된 영상신호를 받아 이것을 3 원색의 구동신호로 변환하고, 액정 표시 소자(21a ∼21c)의 구동신호로서 출력한다.The liquid crystal display element driver circuit 26 receives the video signal input from the video signal input terminal 26, converts it into a drive signal of three primary colors, and outputs it as a drive signal of the liquid crystal display elements 21a to 21c.
스크린(28)은 빛을 확산투과하는 재질로 이루어지며, 광학계(25)의 투영렌즈(24)에 의해 투영된 영상을 스크린(28)에 대해 광학계(25)와는 반대측, 즉 액정 프로젝터(30)의 외부에서 볼 수 있다.The screen 28 is made of a material that transmits light, and the image projected by the projection lens 24 of the optical system 25 is opposite to the optical system 25 with respect to the screen 28, that is, the liquid crystal projector 30. It can be seen from the outside.
그리고 스크린은 이 실시예처럼 액정 프로젝터의 일부로서 구성되어 있는 경우에 한정되지 않고, 액정 프로젝터의 외부에 설치할 수도 있다. 이 경우는 스크린을 빛을 확산반사하는 재질로 함으로써, 스크린에 대해 액정 프로젝터가 놓이는 것과 같은 쪽에서 영상을 볼 수 있다.The screen is not limited to the case where the screen is configured as part of the liquid crystal projector as in this embodiment, but may be provided outside the liquid crystal projector. In this case, the screen is made of a material that diffuses and reflects light, so that the image can be viewed from the same side where the liquid crystal projector is placed on the screen.
본 발명의 청구항 1 기재의 마이크로렌즈 기판은 이상과 같이, 제 1 의 투명기판상에 형성된 마이크로렌즈 어레이 또는 렌티큘러 렌즈(이하, 본 발명의 효과란에 있어서는 총칭해서 마이크로렌즈라고 함)와 제 2 의 투명기판이 접착제에 의해 붙여져서 이루어지며, 또한 상기 마이크로렌즈와 접착제의 각각이 150℃ 이상의 내열성을 갖는 재료로 이루어진 구성이다.The microlens substrate according to claim 1 of the present invention includes a microlens array or a lenticular lens (hereinafter, collectively referred to as a microlens in the effect column of the present invention) and a second lens formed on the first transparent substrate. A transparent substrate is attached by an adhesive, and each of the microlenses and the adhesive is made of a material having heat resistance of 150 ° C or higher.
그래서 내열성에 뛰어난 마이크로렌즈 기판으로 되고, 고열하에서의 여러가지 가공의 실시가 가능하고, 예를 들어 마이크로렌즈가 미리 형성되어 있는 기판을 액정 표시 소자를 구성하는 한쪽의 기판으로서 사용하고, 액정 표시 소자의 제조공정에서 마이크로렌즈가 고온으로 가열되는 일이 있어도 마이크로렌즈 재료나 접착제가 분해하거나 변질되는 염려가 없고, 종래와 같은 제조조건으로 액정 표시 소자를 제작할 수 있다고 하는 효과를 거둔다.Therefore, it becomes a microlens board | substrate excellent in heat resistance, and can implement various processes under high heat | fever, For example, using the board | substrate with which the microlens is previously formed as one board | substrate which comprises a liquid crystal display element, manufacture of a liquid crystal display element Even if the microlens is heated to a high temperature in the process, there is no fear that the microlens material or the adhesive is decomposed or deteriorated, and the liquid crystal display element can be manufactured under the same manufacturing conditions as before.
더구나 이 마이크로렌즈 기판은 제 1 의 투명기판상에 형성된 마이크로렌즈(예를 들면 내열수지성)에 제 2 의 투명기판(예를 들면 커버유리)이 접착제에 의해 붙여진 구성이므로, 별체로 이루어진 마이크로렌즈를 후공정에서 소정의 기판에 붙여서 형성하는 것에 비해 마이크로렌즈의 초점거리를 짧게할 수 있다고 하는 효과를 아울러 거둔다.In addition, the microlens substrate is formed by attaching a second transparent substrate (for example, cover glass) to the microlens (for example, heat resistant resin) formed on the first transparent substrate by an adhesive. In addition, the focal length of the microlenses can be shortened as compared with forming the paste on a predetermined substrate in a later step.
본 발명의 청구항 3 기재의 마이크로렌즈 기판은 이상과 같이 상기 청구항 1 기재의 마이크로렌즈 기판에 있어서 상기 마이크로렌즈의 개구수가 0.1 이상인 구성이다.As described above, the microlens substrate according to claim 3 of the present invention has a configuration in which the numerical aperture of the microlens is 0.1 or more in the microlens substrate according to the first aspect.
본 발명의 청구항 4 기재의 마이크로렌즈 기판은 이상과 같이 상기 청구항 1 기재의 마이크로렌즈 기판에 있어서, 상기 마이크로렌즈와 접착제와의 굴절률차 △n 이 0.1 이상인 구성이다. 그래서, 「마이크로렌즈의 집광스포트를 작게하기 위해서는 일반적으로 렌즈의 개구수를 크게 하는 것이 좋으며, 그 값을 최소한 0.1 이상으로 하는 것이 바람직하다」고 하는 조건을 채울수 있는 마이크로렌즈 기판으로 되고, 따라서 이 마이크로렌즈 기판을 사용하는 것으로 회소피치가 수십 ㎛ 정도의 고정세한 액정 표시 소자를 제작할 수 있다고 하는 효과를 거둔다.As described above, the microlens substrate according to claim 4 of the present invention has a structure in which the refractive index difference Δn between the microlens and the adhesive is 0.1 or more in the microlens substrate according to the first aspect. Therefore, it becomes a microlens substrate which can satisfy the condition that "in order to reduce the condensation spot of a microlens, it is generally desirable to enlarge the numerical aperture of a lens, and to set it at least 0.1 or more." By using a microlens substrate, it is possible to produce a high-definition liquid crystal display device having a pixel pitch of several tens of micrometers.
본 발명의 청구항 6 기재의 액정 표시 소자는 이상과 같이 상기 청구항 1, 3 또는 4 기재의 마이크로렌즈 기판이 대향기판으로 되는 동시에, 이 대향기판상에 투명전극, 배향막, 및 필요에 따라 블랙 매트릭스가 형성되고, 액티브매트릭스 기판과 붙여져서 이루어진 구성이다. 또, 상기 마이크로렌즈 기판은 내열성을 가지므로 상기 대향기판상에 투명전극, 배향막 및 필요에 따라 블랙 매트릭스를 형성할때 충분한 가열을 행할 수 이다. 그래서 고품위, 고신뢰성으로 화면이 밝은 액정 표시 소자를 실현할 수 있다고 하는 효과를 거둔다.In the liquid crystal display device according to claim 6 of the present invention, the microlens substrate of claim 1, 3, or 4 as described above becomes an opposing substrate, and a transparent electrode, an alignment film, and, if necessary, a black matrix are provided on the opposing substrate. It is formed and attached to an active matrix substrate. In addition, since the microlens substrate has heat resistance, sufficient heating can be performed when forming a transparent electrode, an alignment film and, if necessary, a black matrix on the counter substrate. Therefore, the effect that a liquid crystal display element with a bright screen is achieved by high quality and high reliability is achieved.
본 발명의 청구항 11 기재의 액정 프로젝터 장치는 이상과 같이 상기 청구항 6 기재의 액정 표시 소자가 사용되고 있는 구성이다.The liquid crystal projector device according to claim 11 of the present invention is a configuration in which the liquid crystal display element according to claim 6 is used as described above.
그래서, 고품위·고신뢰성이며 투영화상이 밝은 액정 프로젝터 장치를 실현할 수 있다고 하는 효과를 거둔다.Therefore, the effect that a liquid crystal projector device of high quality and high reliability and a bright projection image can be realized is achieved.
본 발명의 외국출원용 클레임 16 기재의 액정 프로젝터 장치는 청구항 6 기재의 액정 표시 소자가 사용되고, 이 액정 표시 소자의 투과광을 집광하여 스트린상에 투영하는 투영렌즈를 구비하며, 이 투영렌즈의 개구수가 상기 마이크로렌즈 또는 렌티큘러 렌즈의 개구수보다도 큰 구성이다.The liquid crystal projector device according to the foreign application claim 16 of the present invention uses the liquid crystal display device according to claim 6, and includes a projection lens for condensing the transmitted light of the liquid crystal display device and projecting it on a screen, and the numerical aperture of the projection lens It is larger than the numerical aperture of the said microlens or a lenticular lens.
그래서, 실효 개구율이 높은 액정 표시 소자를 사용한 것으로 정세한 화상을 얻을 수 있다. 또한, 투영렌즈의 개구수가 상기 마이크로렌즈 어레이 또는 렌티큘러 렌즈의 개구수보다도 크므로, 투영렌즈에 있어서의 빛의 손실을 확실히 저감시킬 수 있고, 스크린상에서 매우 밝은 투영화상을 표시할 수 있다고 하는 효과를 아울러 거둔다.Therefore, a fine image can be obtained by using the liquid crystal display element with a high effective aperture ratio. In addition, since the numerical aperture of the projection lens is larger than the numerical aperture of the microlens array or the lenticular lens, it is possible to reliably reduce the loss of light in the projection lens and to display an extremely bright projection image on the screen. Reap also
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Families Citing this family (11)
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KR100464291B1 (en) * | 1997-04-01 | 2005-05-13 | 삼성전자주식회사 | Polymer dispersed liquid crystal panel and image projection apparatus using the same and manufacturing method thereof |
JP4213897B2 (en) * | 2001-08-07 | 2009-01-21 | 株式会社日立製作所 | Method of manufacturing transfer pattern of microlens array |
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100739750B1 (en) * | 2005-11-04 | 2007-07-13 | 삼성전자주식회사 | Print head and image forming apparatus employing the same |
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