JPS62234113A - Time-division optical adjusting method - Google Patents

Time-division optical adjusting method

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JPS62234113A
JPS62234113A JP7846586A JP7846586A JPS62234113A JP S62234113 A JPS62234113 A JP S62234113A JP 7846586 A JP7846586 A JP 7846586A JP 7846586 A JP7846586 A JP 7846586A JP S62234113 A JPS62234113 A JP S62234113A
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sample
laser
laser beam
time
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JP7846586A
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Keiko Kasuya
粕谷 敬宏
Mikiro Tsukagoshi
塚越 幹郎
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RIKEN Institute of Physical and Chemical Research
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RIKEN Institute of Physical and Chemical Research
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Abstract

PURPOSE:To obtain a clear image by time-dividedly changing a distance between an objective optical system to be shared by the 1st and 2nd optical systems and a sample. CONSTITUTION:The distance between the objective optical system to be shared by the 1st optical system and the 2nd optical system for projecting a laser beam under an optimum condition and the sample is time-dividedly changed. Consequently, the focal position of the 1st optical system can be set up on a certain depth position in a certain period and the focal position of the 2nd optical system can be set up on a certain depth position in another period. In addition, light beams having different wavelengths each other can be focused on the same position by using the two focal positions.

Description

【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野) 本発明は、光学装置の焦点位置の調整方法に関する。[Detailed description of the invention] (Industrial application field) The present invention relates to a method for adjusting the focal position of an optical device.

(従来の技術) レーザーパルスを生細胞に投射し、これによって生細胞
の一部を改変して周囲の異物例えばDNAフラグメント
を取り込むようにした「生細胞内への物質移入法(特開
昭60−83584号)」が本出願人によって提案され
、このための具体的な装置として「生細胞レーザー穿孔
装置(特開昭60−83583号)」が同様にして提案
された。
(Prior art) A method for transferring substances into living cells (Japanese Unexamined Patent Application Publication No. 1989-1999) involves projecting a laser pulse onto a living cell and thereby modifying a part of the living cell to take in surrounding foreign substances such as DNA fragments. -83584)'' was proposed by the present applicant, and as a specific device for this purpose, the ``Live Cell Laser Perforation Apparatus (Japanese Unexamined Patent Publication No. 60-83583)'' was similarly proposed.

この装置はモニターTVを備えており、生細胞の位置を
確認しつつレーザーパルスを投射できるように構成され
ている。この場合モニターに最高の光学調整とレーザー
光の照射に最高の焦点調整位置とが一致していると、レ
ーザーパルスの投射深さ位置での状態がモニターされて
好都合であると考えられる。
This device is equipped with a monitor TV and is configured to project laser pulses while confirming the location of living cells. In this case, it is considered advantageous if the highest optical adjustment and the highest focus adjustment position for laser beam irradiation match on the monitor, since the state at the laser pulse projection depth position can be monitored.

(発明が解決しようとする問題点) しかしながら、鮮明な像が得られるのは生細胞表面にピ
ントが合っている場合であり、しかもモニター光学系と
レーザーパルス投射光学系の対物光学系は共通使用され
ているので、レーザー投射位置として好適な細胞内部位
置にピントが合わされると、像が不鮮明になってモニタ
ー観測が満足に行うことができなくなるという問題があ
ることが分かった。
(Problem to be solved by the invention) However, a clear image can only be obtained when the surface of living cells is in focus, and the objective optical system of the monitor optical system and the laser pulse projection optical system are commonly used. It has been found that there is a problem in that when the laser is focused on a position inside the cell that is suitable for the laser projection position, the image becomes unclear and it becomes impossible to carry out satisfactory monitoring observations.

(問題点を解決するための手段) 上述した問題点は試料の鮮明な映像を得るための第1の
光学系とレーザーを最適条件で照射させるための第2の
光学系とによって共有される対物光学系を用いながらも
、これと試料との間の距離を時分割的に変更するところ
の本願発明の時分割調整方法を用いることにより解決さ
れる。
(Means for solving the problem) The problem mentioned above is that the objective shared by the first optical system for obtaining a clear image of the sample and the second optical system for irradiating the laser under optimal conditions. This problem can be solved by using the time-division adjustment method of the present invention, which uses an optical system but changes the distance between it and the sample in a time-division manner.

本明細凹において「対物光学系」とは、試料物体に最も
近接する光学系のことを意味し、撮像系の対物レンズだ
けでなく、光投射系の集光レンズを含むものとする。
In this specification, the term "objective optical system" refers to the optical system closest to the sample object, and includes not only the objective lens of the imaging system but also the condensing lens of the light projection system.

対物光学系と試料との間の距離は、対物光学系を、ある
いは試料を移動することことにより変更される。
The distance between the objective optical system and the sample is changed by moving the objective optical system or the sample.

(作用) 本発明においては、第1の光学系と第2の光学系の試料
に対する焦点深さ位置が時分割的に試料の所望位置に設
定される。
(Function) In the present invention, the focal depth positions of the first optical system and the second optical system with respect to the sample are set to desired positions on the sample in a time-sharing manner.

(発明の効果) 本発明によると、ある期間第1の光学系の焦点位置を試
料のある深さ位置に設定し、他の期間第2の光学系の焦
点位置を試料の別のある深さ位置に設定できる。また、
この二つの焦点位置設定を利用して互いに異なった波長
の光を試料の同一箇所に結ぶことができる。従って、例
えば、上述された生細胞穿孔装置においては、細胞観察
時に、顕微鏡の対物レンズの位置を、最も鮮明なモニタ
ー像が得られるように調整しておき、生細胞にレーザー
パルスを投射する際のみにレーザーパルスが試料の所望
の深さ位置に投射されるように対物レンズを好適な位置
に移動することができる。
(Effects of the Invention) According to the present invention, the focal position of the first optical system is set at a certain depth of the sample for a certain period, and the focal position of the second optical system is set at another certain depth of the sample for another period. Can be set to any position. Also,
Using these two focal position settings, it is possible to focus lights of different wavelengths onto the same location on the sample. Therefore, for example, in the above-mentioned living cell perforation device, the position of the objective lens of the microscope is adjusted to obtain the clearest monitor image during cell observation, and when projecting a laser pulse onto the living cells, The objective lens can only be moved to a suitable position so that the laser pulse is projected to the desired depth position of the sample.

(実施例) 以下、本発明の実施例を図面を参照しつつ詳細に説明す
る。
(Example) Hereinafter, an example of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.

第1図は、本発明の第1実施例の概略図であり、レーザ
ー穿孔装置の一例を示している。第2図は本例における
信号のタイミング図である。レーザー穿孔装置本体1は
、試料2の像を拡大してTVカメラ3まで導く顕微鏡の
働き及びレーザー発振器4から放射されたレーザー光5
を集光して試料2に投射する集光装置の二つの機能を果
たす。レーザー光5の焦点及び逼像面の焦点位置は対物
レンズ1aの上下動によって変化するが、この上下動は
対物レンズ1aと装置本体lの鏡筒1bとの間に設けら
れた電歪素子6の歪変形によって行われる。レーザー光
5の投射タイミングはマスター信号発生器7から発生さ
れるマスター信号によって制御される。このマスター信
号は、一旦遅延トリガー回路8に人力されて、所定時間
(電歪素子が変形に要する時間)遅延された後レーザー
光発射指示信号として、レーザー発振器4に入力される
。マスター信号は、また電歪素子駆動装置9に入力して
、電歪素子6の駆動を制御する電歪素子駆動電圧を発生
する。従って、レーザー投射時には、対物レンズ1aを
、レーザー光5が試料2の所梁の好適な位置に焦点を結
ぶように位置せしめ、それ以外の場合は、対物レンズ1
aを、モニター観測に適した位置に位置せしめることが
できる。
FIG. 1 is a schematic diagram of a first embodiment of the present invention, showing an example of a laser drilling device. FIG. 2 is a timing diagram of signals in this example. The laser drilling device main body 1 functions as a microscope that magnifies an image of a sample 2 and guides it to a TV camera 3, and a laser beam 5 emitted from a laser oscillator 4.
It performs the two functions of a light condensing device that condenses light and projects it onto the sample 2. The focal point of the laser beam 5 and the focal position of the image plane change due to the vertical movement of the objective lens 1a. This is done by strain deformation. The projection timing of the laser beam 5 is controlled by a master signal generated from a master signal generator 7. This master signal is once manually input to the delay trigger circuit 8, delayed for a predetermined time (the time required for the electrostrictive element to deform), and then inputted to the laser oscillator 4 as a laser beam emission instruction signal. The master signal is also input to the electrostrictive element driving device 9 to generate an electrostrictive element driving voltage for controlling the driving of the electrostrictive element 6. Therefore, during laser projection, the objective lens 1a is positioned so that the laser beam 5 is focused on a suitable position on the beam of the sample 2; otherwise, the objective lens 1a
a can be positioned at a position suitable for monitor observation.

具体的には、電歪素子に電圧を印加しない状態で、モニ
ター像が全体として最も鮮明に映し出されるように対物
レンズlaを調整し、次に、レーザー光投射しようとし
ている対称物(例えば、細胞核)のみが鮮明に映し出さ
れるように、電歪素子に印加する電圧をあらかじめ設定
しておき、しかるのち、レーザー光投射時に、この設定
された値の電圧が電歪素子に印加されるようにすればよ
い。対物レンズlaがモニター観測に適する位置以外に
位置する場合は、TVカメラ3を介してモニターテレビ
10に映し出される映像が不鮮明になるので、マスター
信号発生器7からの信号とタイミングを合わせて、シャ
ッター11の開閉をシャッター駆動回路12によって制
御するようにすると好ましい。このように構成された装
置において、試料2を移動ステージ13によって移動し
つつ、マスター信号発生器7から所定の間隔でパルス信
号を発生すると、試料2の所定の深さ位置に繰り返し連
続的にレーザー光が投射されるとともに、鮮明なモニタ
ー像を連続して観察することができる。
Specifically, with no voltage applied to the electrostrictive element, the objective lens la is adjusted so that the monitor image as a whole is displayed most clearly, and then the target object (for example, a cell nucleus) is ) is projected clearly, the voltage applied to the electrostrictive element is set in advance, and then the voltage of this set value is applied to the electrostrictive element when laser light is projected. Bye. If the objective lens la is located at a position other than the one suitable for monitor observation, the image projected on the monitor television 10 via the TV camera 3 will be unclear, so the shutter must be It is preferable that the opening and closing of the shutter 11 be controlled by the shutter drive circuit 12. In the apparatus configured in this way, when the master signal generator 7 generates pulse signals at predetermined intervals while the sample 2 is moved by the moving stage 13, the laser beam is repeatedly and continuously placed at a predetermined depth position on the sample 2. Light is projected and a clear monitor image can be continuously observed.

試料像採取を妨げるためには、シャッター11を使用す
る他に、試料の照明をOFFにするにするようにしても
よい。シャッターとしては、電磁島区動の機械式シャッ
ターでもよく、またフィルターやポラライザーを利用し
た光学式シャッターでもよい。
In order to prevent sample image collection, in addition to using the shutter 11, the illumination of the sample may be turned off. The shutter may be a mechanical shutter with electromagnetic island movement, or an optical shutter using a filter or polarizer.

第3図は、本発明の第2実施例の概略図であり、第1実
施例と同様なレーザー穿孔装置の一例である。第4図は
本例おける信号のタイミング図である。本実施例におい
ては、ライトペン15の指示位置にレーザー光が投射さ
れるように構成されている。モニターTVIOにライト
ペン15の指示を行うと、ライトペン15から出力され
るパルス信号に基づいて位置制御信号発生器16は、そ
の指示位置を算出するとともに、この算出された値に基
づいて制御信号を発生する。ガルバノメーターミラー等
からなるビーム偏向装置17は、この制御を受けた偏向
装置駆動手段18によって駆動され、レーザー光5がラ
イトペン15の指示による指示位置に投射されるように
なる。ビーム偏向装置17は、この制御信号を受けてガ
ルバノメーターミラー等を駆動して、レーザー光5がラ
イトペン15の指示位置に投射さるよにする。ライトペ
ン15からのパルス信号は時間制御信号発生器19にも
同時に入力される0時間制御信号発生器19はTVカメ
ラ3の走査周期毎に発生されるパルス信号を所望の間隔
の時間制御信号に変換する。
FIG. 3 is a schematic diagram of a second embodiment of the present invention, and is an example of a laser drilling device similar to the first embodiment. FIG. 4 is a timing chart of signals in this example. In this embodiment, the laser beam is projected onto the position indicated by the light pen 15. When the monitor TVIO is instructed to use the light pen 15, the position control signal generator 16 calculates the indicated position based on the pulse signal output from the light pen 15, and also generates a control signal based on the calculated value. occurs. The beam deflection device 17 consisting of a galvanometer mirror or the like is driven by the deflection device driving means 18 under this control, so that the laser beam 5 is projected onto the position specified by the light pen 15. The beam deflector 17 receives this control signal and drives a galvanometer mirror, etc., so that the laser beam 5 is projected onto the position indicated by the light pen 15. The pulse signal from the light pen 15 is simultaneously input to the time control signal generator 19.The zero time control signal generator 19 converts the pulse signal generated every scanning period of the TV camera 3 into a time control signal at a desired interval. Convert.

この時間制御信号は第1実施例と同様にして、電歪素子
6の駆動装置9に入力して、電歪素子6の駆動を制御す
る電歪素子駆動電圧を発生する。また、時間制御信号は
、顕微鏡本体lとレーザー発振器4との間に設けられた
レーザー光路シャッター14の開閉を制御する。第4図
に示されるように、レーザー光路シャッター14は過渡
期間を除いた電歪素子6の電圧印加期間中開放されて、
その期間(パルス状)レーザー光5が連続的に試料に投
射される。穿孔を行うレーザー光の焦点は、第1実施例
の場合と同様に、予め定められている電圧値が、レーザ
ー光5投射時に電歪素子6に加わるようにして設定して
もよい。しかしながら、このように常に所定の焦点面上
にレーザー光5が投射されると、必ずしも試料の好適な
位置にレーザー光5が投射されるとは限らない。本実施
例においては、レーザー光5の焦点深さ位置は、ライト
ペン15によって指示された物体に自動的に設定される
。特開昭60−83583号明細書に記載されるように
、参照用レーザー光21が常時試料に投射されている。
This time control signal is input to the driving device 9 for the electrostrictive element 6 to generate an electrostrictive element driving voltage for controlling the driving of the electrostrictive element 6 in the same manner as in the first embodiment. Further, the time control signal controls opening and closing of a laser beam path shutter 14 provided between the microscope main body l and the laser oscillator 4. As shown in FIG. 4, the laser beam path shutter 14 is opened during the voltage application period of the electrostrictive element 6, excluding the transient period.
During that period, the (pulsed) laser light 5 is continuously projected onto the sample. The focus of the laser beam that performs perforation may be set so that a predetermined voltage value is applied to the electrostrictive element 6 when the laser beam 5 is projected, as in the first embodiment. However, when the laser beam 5 is always projected onto a predetermined focal plane in this way, the laser beam 5 is not necessarily projected onto a suitable position on the sample. In this embodiment, the focal depth position of the laser beam 5 is automatically set to the object indicated by the light pen 15. As described in Japanese Patent Application Laid-Open No. 60-83583, a reference laser beam 21 is constantly projected onto the sample.

この投射によって試料2から反射された光は半透鏡22
によって顕微鏡本体1から取り出される。取り出された
光は、レンズ23.24虹彩絞り15を通した後、光電
変換素子26によりピックアップされる。オシレーター
17からは所定周期の振動電圧が常時発生されており、
スイッチ28が閉じられている間この振動電圧が電歪素
子6に印加される。位相敏感検出器29は光電変換23
26の出力とオシレーター27の出力との位相差を電圧
値として出力する。電歪素子6に印加される電圧Vと、
即ち焦点面の位置と、光電変換器の出力■との関係は第
5図に示す通りであり、位相敏感検出器の出力■°は電
歪素子に印加される電圧の対して第6図のようになる。
The light reflected from the sample 2 by this projection is transmitted to the semi-transparent mirror 22.
It is taken out from the microscope body 1 by. The extracted light passes through the lenses 23, 24 and the iris diaphragm 15, and is then picked up by the photoelectric conversion element 26. Oscillator 17 constantly generates an oscillating voltage with a predetermined period.
This oscillating voltage is applied to the electrostrictive element 6 while the switch 28 is closed. The phase sensitive detector 29 is a photoelectric converter 23
The phase difference between the output of oscillator 26 and the output of oscillator 27 is output as a voltage value. A voltage V applied to the electrostrictive element 6,
That is, the relationship between the position of the focal plane and the output of the photoelectric converter is as shown in Figure 5, and the output of the phase sensitive detector is as shown in Figure 6 with respect to the voltage applied to the electrostrictive element. It becomes like this.

従って、ライトペン15の(2次元的)指示位置に対し
て、反射鏡が最大になる深さ位置にレーザー投射光学系
の焦点面が設定され、穿孔用レーザー光5が試料2に投
射される。過渡期間を含む電歪素子6の駆動期間中に、
不適正画面がモニターTV上に映し出されることを防ぐ
ために、TVカメラ3とモニターTVIOとの間に設け
られたゲートスイッチ20の開閉を時間制御信号に基づ
いて行うようにすると良い。なお、ゲートスイッチ20
が閉しられる直前の画像を、ゲートスイッチ20の閉塞
時にモニターTVIOに映しだされるようにするとさら
に好ましい。本実施例の様に構成されていると、生細胞
の位置を的確に把握しつつ、生細胞の中心付近にレーザ
ー光を投射できるので、特開昭60−83584号公報
に記載される生細胞内への物質移入法に極めて好ましい
ものと考えられる。なお、本実施例の様に、レーザー光
それ自体を遮断することによってレーザー光の投射が制
御されるので、レーザー光としてパルス状のもの、連続
状のものいずれも使用できる。
Therefore, with respect to the (two-dimensional) indicated position of the light pen 15, the focal plane of the laser projection optical system is set at the depth position where the reflecting mirror is at its maximum, and the drilling laser beam 5 is projected onto the sample 2. . During the driving period of the electrostrictive element 6 including the transient period,
In order to prevent inappropriate screens from being displayed on the monitor TV, it is preferable to open and close the gate switch 20 provided between the TV camera 3 and the monitor TVIO based on a time control signal. In addition, the gate switch 20
It is further preferable that an image immediately before the gate switch 20 is closed be displayed on the monitor TVIO when the gate switch 20 is closed. With the configuration of this embodiment, the laser beam can be projected near the center of the living cell while accurately grasping the position of the living cell. It is considered to be an extremely preferable method for material transfer into the interior of the body. Note that, as in this embodiment, since the projection of the laser beam is controlled by blocking the laser beam itself, either pulsed or continuous laser beams can be used.

第7図は本発明の第3実施例の概略図であり、前記各実
施例と同様なレーザー穿孔装置の一例である。本実施例
も第2実施例と同様にライトペンの指示位置にレーザー
光が投射されるが、ライトペンの押圧力に従ってレーザ
ー光5の試料2に対する焦点深さ位置が変化されるよう
に構成されている。本実施例において使用されるライト
ペンは第8図に示されるように、ライトペン本体15a
の先端部分の空洞15b前後に移動可能に設けられた感
光部15cを有しており、この導光部15cを通してモ
ニターTVIOからの光が光検出器15dまで導かれる
。この導光部15cの後方には圧力検出素子15eが設
けられている。この圧力検出素子15eは導光部15e
とバネ15dとに挟まれ、ライトペン本体15aと導光
部15cとの間に加えられた圧力に応じた電圧値を対抗
面間に発生する。即ち、ライトペン15でモニターTV
IOを指示した際のモニターTVIOへ(7)押圧力に
対応する値の信号が、電子ビーム走査時における螢光発
光の検出信号とともに発せられる。
FIG. 7 is a schematic diagram of a third embodiment of the present invention, and is an example of a laser drilling device similar to each of the embodiments described above. In this embodiment as well, the laser beam is projected at the position indicated by the light pen, as in the second embodiment, but the focal depth position of the laser beam 5 with respect to the sample 2 is changed according to the pressing force of the light pen. ing. As shown in FIG. 8, the light pen used in this embodiment has a light pen main body 15a.
It has a photosensitive section 15c that is movably provided in the front and back of the cavity 15b at the tip of the monitor, and light from the monitor TVIO is guided to the photodetector 15d through this light guiding section 15c. A pressure detection element 15e is provided behind the light guide section 15c. This pressure detection element 15e is a light guide portion 15e.
and a spring 15d, and generates a voltage value between opposing surfaces in accordance with the pressure applied between the light pen main body 15a and the light guide portion 15c. That is, monitor TV with light pen 15.
(7) A signal with a value corresponding to the pressing force is emitted to the monitor TVIO when IO is instructed, together with a detection signal of fluorescence emission during electron beam scanning.

押圧力に対応するライトペン15から発せられた電圧信
号は焦点深さ位置側′a信号発生器30に送られる。こ
の焦点深さ位置制御信号発生器30からの信号は電歪素
子駆動装置9から発生される電歪素子駆動電圧を制御す
る。従って、ライトペン15のモニターTVIOへの押
圧力に応じた、試料2に対する焦点深さ位置にレーザー
光ウェストが形成される。
A voltage signal emitted from the light pen 15 corresponding to the pressing force is sent to the focal depth position 'a signal generator 30. The signal from the focal depth position control signal generator 30 controls the electrostrictive element driving voltage generated from the electrostrictive element driving device 9. Therefore, a laser beam waist is formed at a focal depth position with respect to the sample 2 corresponding to the pressing force of the light pen 15 on the monitor TVIO.

本実施例においては、「メスの深さ」に対応する「レー
ザー焦点の深さ」の制御を加えて、3次元のコントロー
ルが可能となり、加工精度を飛躍的に上げることができ
る。細胞内部の特定の器官、例えば、細胞核に、特定の
深さで照準したレーザー照射や、生体膜の内面に照準し
た穿孔等、高精度の細胞手術が可能となる。
In this embodiment, by adding control of the "depth of the laser focus" corresponding to the "depth of the scalpel", three-dimensional control becomes possible, and processing accuracy can be dramatically improved. High-precision cell surgery becomes possible, such as laser irradiation aimed at a specific organ inside a cell, such as the cell nucleus, at a specific depth, or drilling aimed at the inner surface of a biological membrane.

第9図は本発明の第4実施例の概略図である。FIG. 9 is a schematic diagram of a fourth embodiment of the present invention.

完全に同一の光学系を使用しても、波長が異なると異な
る深さ位置に焦点が結ばれることはよく知られている。
It is well known that even if completely identical optical systems are used, different wavelengths will be focused at different depth positions.

このような場合に本発明を使用すると、波長が異なって
も試料の同一箇所に光を集光することができる。レーザ
ー発振器31.32.33からは互いに異なる波長のレ
ーザー光34.35.36が放射されるが、試料2へは
シャッター37.38.39によって、一種類のレーザ
ー光のみが投射されている。シャッター37.38.3
9の開閉は切換スイッチ40によって制御される。この
切換スイッチは同時に電歪素子駆動装置9から発生され
る駆動電圧を、投射されるレーザー光の波長に応じて変
化し、試料2に対する焦点深さ位置をレーザー光波長に
よって変動しないようにする。
If the present invention is used in such a case, light can be focused on the same spot on the sample even if the wavelengths are different. Although laser beams 34, 35, and 36 having different wavelengths are emitted from the laser oscillators 31, 32, and 33, only one type of laser beam is projected onto the sample 2 by shutters 37, 38, and 39. Shutter 37.38.3
The opening and closing of 9 is controlled by a changeover switch 40. This changeover switch simultaneously changes the driving voltage generated from the electrostrictive element driving device 9 according to the wavelength of the projected laser beam, so that the focal depth position with respect to the sample 2 does not vary depending on the laser beam wavelength.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

第1図は本発明の第1実施例の概略図、第2図は第1実
施例における信号のタイミング図、 第3図は本発明の第2実施例の概略図、第4図は第2実
施例における信号のタイミング図、 第5図は電歪素子に印加される電圧と、光電変換器の出
力との関係を示す図、 第6図は位相敏感検出器の出力と、電歪素子に印加され
る電圧との関係を示す図、 第7図は本発明の第3実施例の概略図、第8図は第3実
施例で使用されるライトペンの一実施例の断面図、 第9図は本発明の第4実施例の概略図。 ■・・・・・・nHk鏡本体、1a・・・・・・対物レ
ンズlb・・・・・・鏡筒、2・・・・・・試料、3・
・・・・・TVカメラ4.31,32.33・・・・・
・レーザー発振器5.34,35.36・・・・・・レ
ーザー光6・・・・・・電歪素子、7・・・・・・マス
ター信号発生器8・・・・・・遅延トリガー回路 9・・・・・・電歪素子駆動装置、10・・・・・・モ
ニターTV11・・・・・・シャッター 12・・・・・・シャッター駆動回路 13・・・・・・移動ステージ 14.37.38.39・・・・・・レーザー光路シャ
ッター、15・・・・・・ライトペン 16・・・・・・位置制御信号発生器 17・・・・・・ビーム偏向器 18・・・・・・偏向装置制御手段 19・・・・・・時間制御信号発生器 20・・・・・・ゲートスイッチ 21・・・・・・参照用レーザー光 26・・・・・・光電変換器、27・・・・・・オシレ
ータ29・・・・・・位相敏感検出器 30・・・・・・焦点深さ位置制御信号発生器40・・
・・・・切換スイッチ。 第1図 第5図 劾 銅6図
FIG. 1 is a schematic diagram of the first embodiment of the present invention, FIG. 2 is a signal timing diagram in the first embodiment, FIG. 3 is a schematic diagram of the second embodiment of the present invention, and FIG. 4 is a schematic diagram of the second embodiment of the present invention. Figure 5 is a diagram showing the relationship between the voltage applied to the electrostrictive element and the output of the photoelectric converter; Figure 6 is a diagram showing the relationship between the output of the phase sensitive detector and the output of the electrostrictive element. 7 is a schematic diagram of the third embodiment of the present invention; FIG. 8 is a sectional view of an embodiment of the light pen used in the third embodiment; FIG. 9 The figure is a schematic diagram of a fourth embodiment of the present invention. ■... nHk mirror body, 1a... Objective lens lb... Lens barrel, 2... Sample, 3.
...TV camera 4.31, 32.33...
・Laser oscillator 5.34, 35.36... Laser light 6... Electrostrictive element, 7... Master signal generator 8... Delay trigger circuit 9... Electrostrictive element drive device, 10... Monitor TV 11... Shutter 12... Shutter drive circuit 13... Movement stage 14. 37.38.39... Laser optical path shutter, 15... Light pen 16... Position control signal generator 17... Beam deflector 18... ... Deflection device control means 19 ... Time control signal generator 20 ... Gate switch 21 ... Reference laser beam 26 ... Photoelectric converter, 27... Oscillator 29... Phase sensitive detector 30... Focal depth position control signal generator 40...
...Choice switch. Fig. 1 Fig. 5 Gai bronze Fig. 6

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 第1の光学系と第2の光学系とによって共有される対物
光学系と試料との間の距離が時分割的に変更されること
を特徴とする時分割光学調整方法。
A time-division optical adjustment method, characterized in that a distance between an objective optical system shared by a first optical system and a second optical system and a sample is changed in a time-division manner.
JP61078465A 1986-04-04 1986-04-04 Time-sharing optical adjustment method for live cell laser perforator Expired - Lifetime JPH0697303B2 (en)

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Citations (3)

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JPS5536812U (en) * 1978-08-30 1980-03-10
JPS5632116A (en) * 1979-08-23 1981-04-01 Toshiba Corp Specimen observing device
JPS6083583A (en) * 1983-10-13 1985-05-11 Rikagaku Kenkyusho Perforation apparatus of live cell with laser

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