JPS61243963A - Semiconductor laser device - Google Patents
Semiconductor laser deviceInfo
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- JPS61243963A JPS61243963A JP60086178A JP8617885A JPS61243963A JP S61243963 A JPS61243963 A JP S61243963A JP 60086178 A JP60086178 A JP 60086178A JP 8617885 A JP8617885 A JP 8617885A JP S61243963 A JPS61243963 A JP S61243963A
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
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Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、ビームによる照射と入射ビームの検出とを行
い、特に光学ヘッドに用いて有用な半導体レーザ装置に
関するものである。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Field of Industrial Application] The present invention relates to a semiconductor laser device that performs beam irradiation and detection of an incident beam, and is particularly useful for use in an optical head.
本発明は、上記の様な半導体レーザ装置において、半導
体レーザの出射面に対して光検出器を傾斜させた状態で
これらの半導体レーザと光検出器とを一体とし、しかも
ビームスプリフタの機能を有する薄膜を光検出器の表面
に形成することによって、小型、低コストであり信頼性
も高く適用機器のコストも低減させることができる様に
したものである。In the semiconductor laser device as described above, the present invention integrates the semiconductor laser and the photodetector in a state where the photodetector is tilted with respect to the emission surface of the semiconductor laser, and also functions as a beam splitter. By forming a thin film containing the photodetector on the surface of the photodetector, it is possible to make the photodetector compact, low cost, highly reliable, and reduce the cost of the applied equipment.
光学式記録再生装置等で用いられている光学ヘッドは、
光学記録媒体をビームで照射してこの光学記録媒体から
の変調されたビームを検出することによって、情報の記
録や再生を行・う。Optical heads used in optical recording and reproducing devices, etc.
Information is recorded and reproduced by irradiating an optical recording medium with a beam and detecting the modulated beam from the optical recording medium.
そして光学ヘッドには、通常は半導体レーザ装置が用い
られている。第5図は、半導体レーザ装置の一従来例が
用いられている光学ヘッドを示している。A semiconductor laser device is usually used in the optical head. FIG. 5 shows an optical head in which a conventional example of a semiconductor laser device is used.
この光学ヘッド1では、半導体レーザ2から射出されビ
ームスプリッタ3で反射されたビーム4は、対物レンズ
5を透過して光学記録媒体6へ入射する。In this optical head 1, a beam 4 emitted from a semiconductor laser 2 and reflected by a beam splitter 3 passes through an objective lens 5 and enters an optical recording medium 6.
光学記録媒体6で反射され対物レンズ5とビームスプリ
ンタ3とを透過したビーム4は、光検出器7へ入射する
。The beam 4 reflected by the optical recording medium 6 and transmitted through the objective lens 5 and the beam splinter 3 is incident on the photodetector 7.
つまりこの光学ヘッド1では、半導体レーザ2、ビーム
スプリッタ3及び光検出器7の3つの光学部品が、半導
体レーザ装置8を構成している。That is, in this optical head 1, three optical components, the semiconductor laser 2, the beam splitter 3, and the photodetector 7, constitute the semiconductor laser device 8.
ところがこの様な半導体レーザ装置8では、上記3つの
光学部品が互いに離間しており、光学ヘッド1の組立て
時に、これら3つの光学部品相互の位置調整が必要であ
る。従って、半導体レーザ装W8は大型でコストも高く
、光学ヘッド1もコストが高い。However, in such a semiconductor laser device 8, the three optical components are separated from each other, and when assembling the optical head 1, it is necessary to adjust the positions of these three optical components. Therefore, the semiconductor laser device W8 is large and expensive, and the optical head 1 is also expensive.
本発明により半導体レーザ装置21は、基板24に固定
されている半導体レーザ26と、この半導体レーザ26
の出射面に対して傾斜する様に前記基板24に固定され
ている光検出器32と、この光検出器32の表面に形成
されており入射ビーム4のうち所定のビーム4を反射さ
せ残りのビーム4を透過させる薄膜33とを夫々具備し
、前記半導体レーザ26の前記出射面から射出されて前
記薄膜33で反射されるビーム4を照射ビームとして用
いると共に、前記薄膜33へ入射してこの薄膜33を透
過するビーム4を前記光検出器32で検出する様にして
いる。According to the present invention, a semiconductor laser device 21 includes a semiconductor laser 26 fixed to a substrate 24, and a semiconductor laser 26 fixed to a substrate 24.
A photodetector 32 is fixed to the substrate 24 so as to be inclined with respect to the output surface of the photodetector 32. The beams 4 emitted from the emission surface of the semiconductor laser 26 and reflected by the thin films 33 are used as irradiation beams, and the beams 4 that are incident on the thin films 33 are used as irradiation beams. The beam 4 passing through the photodetector 33 is detected by the photodetector 32.
本発明による半導体レーザ装置21では、ビーム4の照
射と入射ビーム4の検出とが一体の光学部品で行われる
。In the semiconductor laser device 21 according to the present invention, irradiation of the beam 4 and detection of the incident beam 4 are performed by an integrated optical component.
また、半導体レーザ21の出射面に対して光検出器32
が傾斜しているので、この光検出器32の表面に形成さ
れている薄膜33がビームスプリッタの機能を有してい
る。Also, a photodetector 32 is connected to the emission surface of the semiconductor laser 21.
Since the photodetector 32 is inclined, the thin film 33 formed on the surface of the photodetector 32 has the function of a beam splitter.
また、半導体レーザ21の出射面に対して光検出器32
が傾斜しているので、この光検出器32の表面に形成さ
れている薄膜33で反射されたビーム4が、直接には半
導体レーザ21へ戻らない。Also, a photodetector 32 is connected to the emission surface of the semiconductor laser 21.
Since the photodetector 32 is tilted, the beam 4 reflected by the thin film 33 formed on the surface of the photodetector 32 does not directly return to the semiconductor laser 21 .
以下、本発明の一実施例を第1図〜第4図を参照しなが
ら説明する。Hereinafter, one embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 1 to 4.
第1図に示す様に、本実施例の半導体レーザ装置21で
は、リード22を有するステム23上に基板24が固定
されており、この基板24上にシリコン基板25が固定
されている。このシリコン基板25には、レーザダイオ
ードチップ26が載置されると共に、レーザ出力モニタ
用の光検出器であるPINダイオード27が形成されて
いる。As shown in FIG. 1, in the semiconductor laser device 21 of this embodiment, a substrate 24 is fixed on a stem 23 having leads 22, and a silicon substrate 25 is fixed on this substrate 24. A laser diode chip 26 is mounted on this silicon substrate 25, and a PIN diode 27, which is a photodetector for monitoring laser output, is formed.
また基板24上には、レーザダイオードチップ26の出
射面に対して傾斜する様にシリコン基板31が固定され
ている。このシリコン基板31には、信号検出用の光検
出器であるPINダイオード32が形成されると共に、
光の透過率と反射率とが夫々50%である薄膜33が表
面に形成されている。Further, a silicon substrate 31 is fixed on the substrate 24 so as to be inclined with respect to the emission surface of the laser diode chip 26. A PIN diode 32, which is a photodetector for signal detection, is formed on this silicon substrate 31, and
A thin film 33 having a light transmittance and a reflectance of 50% is formed on the surface.
なお、基板24がシリコン基板である媒体は、エツチン
グによって傾斜角54.7°の傾斜面を形成することが
でき、また基板24が金属基板である場合は、加工によ
って傾斜角45°の傾斜面を形成することができる。従
って、これらの傾斜面にシリコン基板31を固定すれば
よい。Note that in a medium in which the substrate 24 is a silicon substrate, an inclined surface with an inclination angle of 54.7° can be formed by etching, and if the substrate 24 is a metal substrate, an inclined surface with an inclination angle of 45° can be formed by processing. can be formed. Therefore, the silicon substrate 31 may be fixed to these inclined surfaces.
そして、ステム23上には窓ガラス34を有するキャッ
プ35が取り付けられており、上述の光学系がハーメチ
ックシールされている。なお、レーザダイオードチップ
26及びPINダイオード27.32とり一ド22とは
、ワイヤ(図示せず)によって接続されている。A cap 35 having a window glass 34 is mounted on the stem 23, and the above-mentioned optical system is hermetically sealed. Note that the laser diode chip 26 and the PIN diodes 27 and 32 are connected to each other by wires (not shown).
第2図は、以上の様な半導体レーザ装置21を用いた光
学ヘッドを示している。この光学ヘッド36では、レー
ザダイオードチップ26から射出され薄膜33で反射さ
れたビーム4は、窓ガラス34及び対物レンズ5を透過
して光学記録媒体6へ入射する。FIG. 2 shows an optical head using the semiconductor laser device 21 as described above. In this optical head 36, the beam 4 emitted from the laser diode chip 26 and reflected by the thin film 33 passes through the window glass 34 and the objective lens 5 and enters the optical recording medium 6.
光学記録媒体6で反射され対物レンズ5、窓ガラス34
及び薄膜33を透過したビーム4は、PINダイオード
32へ入射する。It is reflected by the optical recording medium 6 and passes through the objective lens 5 and the window glass 34.
The beam 4 transmitted through the thin film 33 is incident on the PIN diode 32.
従って、第3図に示す様な回路を用いれば、加算器41
、減算器42及び位相比較器43から、夫々再生信号、
フォーカス誤差信号及びトラッキング誤差信号を得るこ
とができる。Therefore, if a circuit as shown in FIG. 3 is used, the adder 41
, the reproduction signal from the subtracter 42 and the phase comparator 43, respectively.
A focus error signal and a tracking error signal can be obtained.
ところで、PINダイオード32へ入射するビームとし
ては、光学記録媒体6で変調されて戻って来たビーム4
の他に、レーザダイオードチップ26から射出されて直
ちに薄膜33を透過したビーム4もある。By the way, the beam that enters the PIN diode 32 is the beam 4 that has been modulated by the optical recording medium 6 and returned.
In addition, there is also a beam 4 that is emitted from the laser diode chip 26 and immediately passes through the thin film 33.
第4図は、この様にレーザダイオードチップ26からP
INダイオード32へ直接に入射するビーム4の信号量
を電気的に差し引くための方法の一例である電流−電圧
変換器を用いる方法を示している。FIG. 4 shows the laser diode chip 26 to P
A method using a current-voltage converter is shown, which is an example of a method for electrically subtracting the signal amount of the beam 4 directly incident on the IN diode 32.
直接入射による光電流を11とし、戻りビームによる光
電流を■2とすると、PINダイオード32からはIl
+12の光電流が得られる。このために、出力電性v2
は
VZ = (It +1g) ・R+ +
V+ ’ −=−(II +12−−) ・
R+となる。If the photocurrent due to direct incidence is 11 and the photocurrent due to the return beam is 2, then Il from the PIN diode 32
A photocurrent of +12 is obtained. For this purpose, the output voltage v2
is VZ = (It +1g) ・R+ +
V+ ' -=-(II +12--) ・
It becomes R+.
ところで、光電流!、は直流成分のみである。By the way, photocurrent! , is only the DC component.
従って、Rz=V+/It となる様に設定すると、V
Z = Iz R+ となって光電流■、の影響が除
去される。なおコイルしは、光電流1tの高周波の信号
成分が抵抗R2側へ分流するのを防止するためのもので
ある。Therefore, by setting Rz=V+/It, V
Z = Iz R+, and the influence of photocurrent ■ is removed. Note that the coil is for preventing the high frequency signal component of the photocurrent 1t from being shunted to the resistor R2 side.
また、レーザダイオードチップ26からPINダイオー
ド32への直、稜入射を防止するためには、薄膜33を
半透過型で°はなく偏光型の薄膜とし、且つ第2図に仮
想線で示す様に半導体レーザ装置21と対物レンズ5と
の間に174波長板44を配置してもよい。In addition, in order to prevent direct or edge incidence from the laser diode chip 26 to the PIN diode 32, the thin film 33 should be a semi-transmissive type, not a polarizing type thin film, and as shown by the imaginary line in FIG. A 174 wavelength plate 44 may be arranged between the semiconductor laser device 21 and the objective lens 5.
この様にすると、レーザダイオードチップ26からS偏
光で射出されたビーム4は、薄膜33で全反射され、1
74波長板44を透過して円偏光となる。光学記録媒体
6で変調された戻りのビーム4は、174波長板44を
透過して、p偏光となり、薄膜33を全透過する。In this way, the beam 4 emitted from the laser diode chip 26 as S-polarized light is totally reflected by the thin film 33, and 1
The light passes through the 74-wavelength plate 44 and becomes circularly polarized light. The returning beam 4 modulated by the optical recording medium 6 passes through the 174-wavelength plate 44, becomes p-polarized light, and completely passes through the thin film 33.
一方、本実施例の半導体レーザ装置21では、PINダ
イオード27がレーザダイオ−トチ・ノブ26のバック
モニタとして使用されている。従って、PINダイオー
ド27からの出力に基づいて、レーザダイオードチップ
26の出力を調整することができる。On the other hand, in the semiconductor laser device 21 of this embodiment, the PIN diode 27 is used as a back monitor for the laser diode switch knob 26. Therefore, the output of the laser diode chip 26 can be adjusted based on the output from the PIN diode 27.
なお、基板24をシリコン基板とすれば、この基板24
とシリコン基板25とを一体にすることができ、更にシ
リコン基板31をも一体にすることができる。Note that if the substrate 24 is a silicon substrate, this substrate 24
and the silicon substrate 25 can be integrated, and furthermore, the silicon substrate 31 can also be integrated.
〔発明の効果〕
本発明による半導体レーザ装置は、一体の光学部品であ
るので、適用機器への組み込み時に各部品間の位置調整
が不要であり、適用機器のコストを低減させることがで
きる。[Effects of the Invention] Since the semiconductor laser device according to the present invention is an integrated optical component, there is no need to adjust the position of each component when incorporating it into the applicable equipment, and the cost of the applicable equipment can be reduced.
また、光検出器の表面に形成されている薄膜がビームス
プリフタの機能を有しているので、本発明による半導体
レーザ装置は小型で且つ低コストである。Furthermore, since the thin film formed on the surface of the photodetector has the function of a beam splitter, the semiconductor laser device according to the present invention is small and low in cost.
また、半導体レーザから射出されたビームが直接には半
導体レーザへ戻らないので、本発明による半導体レーザ
装置はノイズの発生が少なく、信頼性が高い。Furthermore, since the beam emitted from the semiconductor laser does not directly return to the semiconductor laser, the semiconductor laser device according to the present invention generates less noise and is highly reliable.
第1図〜第4図は本発明の一実施例を示しており、第1
図は側断面図、第2図は一実施例を適用した光学ヘッド
の側面図、第3図は第2図に示した光学ヘッドの回路系
を示すブロック図、第4図は一実施例に用いられている
電流−電圧変換器の回路図である。
第5図は本発明の一従来例を適用した光学ヘッドの側面
図である。
なお図面に用いた符号において、
4−−−−−−−−−−−−−ビーム
21−・−−−一一−−−−−−−−半導体レーザ装置
24・−・・−・−・−・・・・−基板26・・・−・
−一−−−・・・・レーザダイオードチップ32−−−
−−−−−−・−・・・−・−PINダイオード33−
・−・−−−−−−一−・・・−薄膜である。Figures 1 to 4 show one embodiment of the present invention.
The figure is a side sectional view, Figure 2 is a side view of an optical head to which one embodiment is applied, Figure 3 is a block diagram showing the circuit system of the optical head shown in Figure 2, and Figure 4 is a side view of an optical head to which one embodiment is applied. FIG. 2 is a circuit diagram of the current-voltage converter used. FIG. 5 is a side view of an optical head to which a conventional example of the present invention is applied. In addition, in the symbols used in the drawings, 4----------Beam 21-.・−・・−Substrate 26・・・−・
−1−−−・Laser diode chip 32−−−
−−−−−−・−・−・−PIN diode 33−
・−・−−−−−−−−−− Thin film.
Claims (1)
板に固定されている光検出器と、 この光検出器の表面に形成されており入射ビームのうち
所定のビームを反射させ残りのビームを透過させる薄膜
とを夫々具備し、 前記半導体レーザの前記出射面から射出されて前記薄膜
で反射されるビームを照射ビームとして用いると共に、 前記薄膜へ入射してこの薄膜を透過するビームを前記光
検出器で検出する様にした半導体レーザ装置。[Scope of Claims] A semiconductor laser fixed to a substrate; a photodetector fixed to the substrate so as to be inclined with respect to the emission surface of the semiconductor laser; and a photodetector formed on the surface of the photodetector. and a thin film that reflects a predetermined beam of the incident beam and transmits the remaining beam, and uses the beam emitted from the emission surface of the semiconductor laser and reflected by the thin film as the irradiation beam, A semiconductor laser device, wherein a beam incident on the thin film and transmitted through the thin film is detected by the photodetector.
Priority Applications (8)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP60086178A JPS61243963A (en) | 1985-04-22 | 1985-04-22 | Semiconductor laser device |
CA000506609A CA1258906A (en) | 1985-04-22 | 1986-04-14 | Semiconductor laser apparatus for optical head |
US06/853,210 US4733067A (en) | 1985-04-22 | 1986-04-17 | Semiconductor laser apparatus for optical head |
AT86302954T ATE82438T1 (en) | 1985-04-22 | 1986-04-18 | SEMICONDUCTOR LASER DEVICE FOR OPTICAL HEAD. |
DE8686302954T DE3687078T2 (en) | 1985-04-22 | 1986-04-18 | SEMICONDUCTOR LASER DEVICE FOR OPTICAL HEAD. |
EP86302954A EP0199565B1 (en) | 1985-04-22 | 1986-04-18 | Semiconductor laser apparatus for optical heads |
AU56427/86A AU584188B2 (en) | 1985-04-22 | 1986-04-21 | Semiconductor laser apparatus for optical head |
KR1019860003059A KR860008632A (en) | 1985-04-22 | 1986-04-21 | Semiconductor laser device |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP60086178A JPS61243963A (en) | 1985-04-22 | 1985-04-22 | Semiconductor laser device |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS61243963A true JPS61243963A (en) | 1986-10-30 |
Family
ID=13879505
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP60086178A Pending JPS61243963A (en) | 1985-04-22 | 1985-04-22 | Semiconductor laser device |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS61243963A (en) |
KR (1) | KR860008632A (en) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04206047A (en) * | 1990-11-30 | 1992-07-28 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Optical head |
EP0664585A1 (en) * | 1993-12-22 | 1995-07-26 | Siemens Aktiengesellschaft | Transmitter and receiver module for bi-directional optical communication |
-
1985
- 1985-04-22 JP JP60086178A patent/JPS61243963A/en active Pending
-
1986
- 1986-04-21 KR KR1019860003059A patent/KR860008632A/en not_active Application Discontinuation
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JPH04206047A (en) * | 1990-11-30 | 1992-07-28 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Optical head |
EP0664585A1 (en) * | 1993-12-22 | 1995-07-26 | Siemens Aktiengesellschaft | Transmitter and receiver module for bi-directional optical communication |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR860008632A (en) | 1986-11-17 |
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