JPS61186265A - Silicon nitride sintered body and manufacture - Google Patents

Silicon nitride sintered body and manufacture

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JPS61186265A
JPS61186265A JP60025945A JP2594585A JPS61186265A JP S61186265 A JPS61186265 A JP S61186265A JP 60025945 A JP60025945 A JP 60025945A JP 2594585 A JP2594585 A JP 2594585A JP S61186265 A JPS61186265 A JP S61186265A
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JP
Japan
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silicon nitride
powder
phase
weight
sintered body
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Application number
JP60025945A
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Japanese (ja)
Inventor
土田 二朗
宏 山口
北村 耕二
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Kubota Corp
Original Assignee
Kubota Corp
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
(57) [Summary] This bulletin contains application data before electronic filing, so abstract data is not recorded.

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、高温強度にすぐれた窒化けい素焼結体および
その製造方法に関する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Field of Industrial Application] The present invention relates to a silicon nitride sintered body having excellent high-temperature strength and a method for manufacturing the same.

〔従来技術〕[Prior art]

窒化けい素セラミックは、耐熱性、耐熱衝撃性、耐摩耗
性、および化学的安定性等のすぐれた緒特性を兼備して
いる材料であり、各種構造用部品への応用が期待されて
いる。
Silicon nitride ceramic is a material that has excellent properties such as heat resistance, thermal shock resistance, abrasion resistance, and chemical stability, and is expected to be applied to various structural parts.

窒化けい素(Si3N、)は、共有結合性が強く、難焼
結性であるので、緻密な焼結体を得るには、焼結を促進
させるための助剤を配合しなければならない。これまで
にも、その焼結助剤について多くの研究がなされており
、例えばマグネシア(MgO)、アルミナ(A7!2 
o3) 、スピネル(MgAl2O3)、希土類酸化物
(Y2O2、La20.、等)等の酸化物系化合物が、
窒化けい素の焼結に非常にすくれた効果を示すことが知
られ、広く賞月されている。
Silicon nitride (Si3N) has strong covalent bonds and is difficult to sinter, so in order to obtain a dense sintered body, an auxiliary agent must be added to promote sintering. Until now, much research has been done on the sintering aids, such as magnesia (MgO) and alumina (A7!2).
o3), spinel (MgAl2O3), rare earth oxides (Y2O2, La20., etc.),
It is known to be extremely effective in sintering silicon nitride, and has been widely praised.

これらの酸化物系助剤が添加されていると、窒化けい素
の粒界に生成する酸化物の非晶質相(ガラス相)により
焼結が促進され、それによって十分に焼結し、緻密化し
た焼結体を得ることができる。
When these oxide-based auxiliary agents are added, sintering is promoted by the amorphous phase (glass phase) of the oxide that is generated at the grain boundaries of silicon nitride, resulting in sufficient sintering and dense formation. A hardened sintered body can be obtained.

〔解決しようとする問題点〕[Problem to be solved]

上記のように酸化物系焼結助剤を使用することにより、
緻密な焼結体を得ることができるが、この焼結体は、常
温においてすぐれた緒特性を示すものの、高温域(約8
00℃以上)においてはその緒特性が著しく低下する。
By using an oxide sintering aid as mentioned above,
A dense sintered body can be obtained, but although this sintered body exhibits excellent properties at room temperature, it cannot be used in a high temperature range (approximately 8
(00° C. or higher), its initial characteristics deteriorate significantly.

例えば、その曲げ強さをみると、常温では約14kg 
f 712前後である場合において、1200℃では、
約30 kg f / mu ”前後と、常温時の40
%程度のレベルに激減する。
For example, its bending strength is approximately 14 kg at room temperature.
When f is around 712, at 1200℃,
Approximately 30 kg f/mu” and 40 at room temperature
% level.

この高温強度の低下は、焼結体内の粒界相(非晶質相)
が軟化することに因るものであり、高温強度を改善する
には、粒界の耐熱性を高めることが必要である。
This decrease in high-temperature strength is caused by the grain boundary phase (amorphous phase) within the sintered body.
This is due to the softening of the grain boundaries, and in order to improve the high-temperature strength, it is necessary to increase the heat resistance of the grain boundaries.

粒界の耐熱性は、粒界相を結晶化することにより高める
ことができるが、酸化物系焼結助剤は一般に焼結後の冷
却過程において非晶質化してしまう。この非晶質相を結
晶化させる方法として、焼結後、あらためて熱処理を施
して結晶化させる方法が考えられる。しかし、本発明者
等の実験によると、この方法では、高温強度の低下を防
止することはできても、常温での強度が2〜3割程度低
下してしまうという欠点がある。
The heat resistance of grain boundaries can be improved by crystallizing the grain boundary phase, but oxide sintering aids generally become amorphous during the cooling process after sintering. A conceivable method for crystallizing this amorphous phase is to perform heat treatment again after sintering to crystallize it. However, according to experiments conducted by the present inventors, although this method can prevent a decrease in high-temperature strength, it has the disadvantage that the strength at room temperature decreases by about 20 to 30%.

窒化けい素焼結体の各種構造用部品としての用途拡大・
多様化を図るには、常温特性を損なわずに、高温域、特
に800℃以上での緒特性を改善することが必要である
Expanding the use of silicon nitride sintered bodies as various structural parts
In order to achieve diversification, it is necessary to improve the properties in the high temperature range, especially at 800° C. or higher, without impairing the properties at room temperature.

〔技術的手段および作用〕[Technical means and effects]

本発明は、焼結助剤の成分組成の工夫により、窒化けい
素焼結体の粒界相として、非晶質相と結晶相との混在相
を形成することによって、常温特性を損なうことなく、
高温域での緒特性を改善したものである。
In the present invention, by devising the composition of the sintering aid, a mixed phase of an amorphous phase and a crystalline phase is formed as the grain boundary phase of the silicon nitride sintered body, without impairing the room temperature characteristics.
It has improved characteristics in high temperature range.

本発明の窒化けい素焼結体は、粒界相が、酸化物系非晶
質相と、Si−W系、Si’−Co系または、Si−C
o−W系結晶相の1種または2種以上との混在相からな
る点に特徴を有する。
In the silicon nitride sintered body of the present invention, the grain boundary phase is an oxide-based amorphous phase and a Si-W-based, Si'-Co-based, or Si-C
It is characterized in that it consists of a mixed phase with one or more o-W crystal phases.

かかる粒界相を有する本発明の焼結体は、十分に緻密化
しており、高い相対密度を有し、常温特性にすぐれてい
ると同時に、後記実施例にも示されるように、800℃
をこえる温度域における強度の低下も少なく、従来材を
凌ぐ高温特性を示す。
The sintered body of the present invention having such a grain boundary phase is sufficiently densified, has a high relative density, and has excellent room temperature characteristics, and at the same time, as shown in the examples below, it can be heated to 800°C.
It exhibits high-temperature properties superior to conventional materials, with little loss of strength in temperature ranges exceeding

本発明方法によれば、上記粒界を有する窒化けい素焼結
体は、窒化けい素粉末に、焼結助剤として、酸化物系化
合物とともに、タングステン炭化物とコハル) (Co
)とを複合的に配合した粉末混合物を出発原料として使
用することにより製造される。
According to the method of the present invention, the silicon nitride sintered body having the grain boundaries is produced by adding tungsten carbide and cohal to silicon nitride powder together with an oxide compound as a sintering aid.
) as a starting material.

窒化けい素粉末にタングステン炭化物とコバルト粉末と
を添加することにより生成する粒界の結晶相は、Si−
W系、Si−Co系および、Si−W−Co系に大別さ
れ、Si−W系としては、Si3W5や5LzW等、S
i−Co系としては、SiCo2等、Si−W−Co系
としては、CoWSi等がそれぞれ挙げられる。もっと
も、生成する結晶相は、焼結温度によって異なり、比較
的低い焼結温度においては、主としてSi3W5やSi
Co□等の結晶相が生成し易く、焼結温度が高くなるに
伴ってSi3WやSiWCo等が生成してくる。しかし
、いずれの結晶相であっても、高温特性改善効果は同じ
であり、高温域における強度の著しい低下を防止するこ
とができる。
The grain boundary crystal phase produced by adding tungsten carbide and cobalt powder to silicon nitride powder is Si-
It is broadly classified into W-based, Si-Co-based, and Si-W-Co-based.
Examples of the i-Co type include SiCo2, and examples of the Si-W-Co type include CoWSi. However, the crystal phase that is formed varies depending on the sintering temperature, and at relatively low sintering temperatures, it is mainly Si3W5 and Si3W5.
Crystal phases such as Co□ are easily generated, and as the sintering temperature increases, Si3W, SiWCo, etc. are generated. However, regardless of the crystal phase, the effect of improving high-temperature properties is the same, and it is possible to prevent a significant decrease in strength in the high-temperature range.

出発原料でる粉末混合物に占めるタングステン炭化物粉
末およびコバルト粉末の配合量は、得られる焼結体の粒
界における結晶相の占める割合にほぼ比例する。
The amount of tungsten carbide powder and cobalt powder in the starting material powder mixture is approximately proportional to the proportion of the crystal phase in the grain boundaries of the resulting sintered body.

タングステン炭化物の配合量は0.5〜10重量%の範
囲が好ましい。これは、0.5重量%に満たないと、粒
界の結晶相の比率が少なく、高温特性の改善効果が不足
するからであり、また10重量%を越えると、焼結後も
その粒子が未反応のまま焼結体内に欠陥として残存し、
機械的性質を損なう原因となるからである。なお、タン
グステン炭化物としては3WCまたはW2Cのいずれか
一方、または両者の混合物を任意に使用してよく、両者
を使用する場合はその合計量が0.5〜10重量%であ
ればよい。
The amount of tungsten carbide blended is preferably in the range of 0.5 to 10% by weight. This is because if it is less than 0.5% by weight, the proportion of crystalline phase at grain boundaries will be small and the effect of improving high-temperature properties will be insufficient, and if it exceeds 10% by weight, the particles will remain even after sintering. It remains unreacted as a defect in the sintered body,
This is because it causes damage to mechanical properties. As the tungsten carbide, either 3WC or W2C, or a mixture of both may be used as desired, and when both are used, the total amount thereof may be 0.5 to 10% by weight.

コバルト粉末の配合量は0.1〜5重量%が適当である
。これは、0.1重量%に満たないと添加効果が不足し
、また5重量%を越えると、タングステン炭化物の場合
と同様に、未反応物質として残存し、焼結体製品の破壊
の原因となるからである。
The appropriate amount of cobalt powder is 0.1 to 5% by weight. If the amount is less than 0.1% by weight, the added effect will be insufficient, and if it exceeds 5% by weight, it will remain as an unreacted substance and cause destruction of the sintered product, as in the case of tungsten carbide. Because it will be.

特に、上記の範囲内で、タングステン炭化物量に対する
比(コバルト/タングステン炭化物)が1/2〜115
となるように配合した場合により大きな効果が得られる
ことが判明している。
In particular, within the above range, the ratio to the amount of tungsten carbide (cobalt/tungsten carbide) is 1/2 to 115.
It has been found that a greater effect can be obtained when blended so that the following is achieved.

酸化物系化合物は焼結促進のために上記タングステン炭
化物およびコバルト粉末と共に配合される。この酸化物
系化合物は特に限定されるものではなく、例えばマグネ
シア(MgO)、アルミナ(A Ilz 03 ) 、
ジルコニア(ZrO2)、スピネル(MgA7!z o
a ) 、およびイツトリア(yz o、) 、ランタ
ニア(T−a 203 )等の希土類酸化物等から選ば
れる1種、または2種以上の酸化物を適宜使用すること
ができる。その配合量(2種以上を併用する場合は合計
量)は1〜20重量%の範囲が適当である。これは、1
%未満では焼結促進効果が不足し、緻密化が不十分とな
り、一方20重量%を越えると、粒界の非晶質相の増加
により高温強度が低下するからである。
The oxide compound is blended with the tungsten carbide and cobalt powder to promote sintering. This oxide compound is not particularly limited, and includes, for example, magnesia (MgO), alumina (A Ilz 03 ),
Zirconia (ZrO2), spinel (MgA7!zo
One or more oxides selected from rare earth oxides such as a), yttria (yzo, ), lanthania (T-a203), etc. can be used as appropriate. The blending amount (total amount when two or more types are used together) is suitably in the range of 1 to 20% by weight. This is 1
If it is less than 20% by weight, the sintering promotion effect will be insufficient and densification will be insufficient, while if it exceeds 20% by weight, the high temperature strength will decrease due to an increase in the amorphous phase at the grain boundaries.

本発明の焼結体製造方法におけるその他の製造条件には
特別の制限はなく、出発原料粉末混合物の混練調製、成
形体の成形および焼結等は一般的手法を用い、通常の条
件に従って行えばよい。例えば、出発原料は、窒化けい
素粉床と焼結助剤とを上記規定の割合で混合し、必要に
応じ成形助剤として適当なバインダ(メチルセルロース
、アクリル酸メチルエステル等の希釈液)を適量(例え
ば1〜10重量%)加えて十分に混練した混練物、また
はこれをスプーレドライヤ法等で適当な粒径(例えば3
0〜100 μm)に造粒した造粒物として調製される
There are no particular restrictions on other manufacturing conditions in the method for manufacturing a sintered body of the present invention, and kneading and preparation of the starting material powder mixture, molding and sintering of the compact, etc. can be carried out using general methods and under normal conditions. good. For example, the starting material is a mixture of a silicon nitride powder bed and a sintering aid in the ratio specified above, and if necessary, an appropriate amount of a suitable binder (a diluted solution of methyl cellulose, acrylic acid methyl ester, etc.) as a forming aid. (e.g. 1 to 10% by weight) and sufficiently kneaded, or the kneaded material is mixed with an appropriate particle size (e.g. 3% by weight) using a spooled dryer method or the like.
0 to 100 μm).

また、出発原料の成形・焼結は、常圧焼結法や加圧焼結
法等により行われる。常圧焼結法による場合には、出発
原料粉末混合物を、適当な成形法(ラバープレス、−軸
成形等)により所要の形状に加圧成形した成形体を窒素
ガス雰囲気(例えば1〜10気圧)下、適当な温度(通
常、約1650〜1900′c)に所定時間保持するこ
とにより達成される。また、加圧焼結法によれば、出発
原料粉末混合物またはその成形体を、例えば黒鉛モール
ド内に装填し、所定の加圧力(例えば150〜500k
gf7 c+J )下、適当な温度(約1650〜18
00’c )で所定時間保持することにより達成される
。加圧焼結法としては、その地熱間静水圧焼結法等を適
用することもできる。
Further, the forming and sintering of the starting material is performed by a pressureless sintering method, a pressure sintering method, or the like. In the case of the pressureless sintering method, the starting material powder mixture is pressure-molded into the desired shape by an appropriate molding method (rubber press, -shaft molding, etc.), and the molded body is placed in a nitrogen gas atmosphere (for example, 1 to 10 atm). ) and maintained at an appropriate temperature (usually about 1650 to 1900'C) for a predetermined period of time. In addition, according to the pressure sintering method, the starting material powder mixture or its compact is loaded into, for example, a graphite mold, and a predetermined pressure (for example, 150 to 500 k) is applied.
gf7c+J) at an appropriate temperature (approximately 1650~18
00'c) for a predetermined period of time. As the pressure sintering method, geothermal isostatic sintering method or the like can also be applied.

〔実施例〕〔Example〕

実施例1 窒化けい素粉床(α化率90%以上)90重量%、焼結
助剤として、スピネル粉末4重量%、ジルコニア粉末4
重量%、タングステン炭化物(WC)粉末1.5重量%
、およびコバルト粉末0.5重量%からなる混合粉末(
各粉末とも平均粒径1μm以下)をボールミルにて24
時間湿式混練したのち、スプーレドライヤにて乾燥し、
造粒物(粒径70〜100μm)を得る。これを−軸金
属プレス(加圧力200 kg f / cJ )で成
形後、ラバープレス成形法(加圧力2000kg f 
/ cJ )により、60mmφX10mm’の円盤状
成形体に成形し、ついで窒素雰囲気(1気圧)下、17
00℃に2時間保持して焼結を完了する。
Example 1 Silicon nitride powder bed (gelatinization rate of 90% or more) 90% by weight, sintering aids: spinel powder 4% by weight, zirconia powder 4%
wt%, tungsten carbide (WC) powder 1.5 wt%
, and a mixed powder consisting of 0.5% by weight of cobalt powder (
Each powder has an average particle size of 1 μm or less) in a ball mill for 24 hours.
After wet kneading for an hour, it is dried in a spooled dryer.
Granules (particle size 70 to 100 μm) are obtained. This was formed using a -shaft metal press (pressure force 200 kg f/cJ), and then rubber press molding method (press force 2000 kg f/cJ).
/ cJ) to form a disk-shaped compact of 60 mmφ x 10 mm', and then under nitrogen atmosphere (1 atm) at
The temperature was maintained at 00° C. for 2 hours to complete the sintering.

実施例2 窒化けい素粉床(α化率90%以上)88重量%、スピ
ネル粉末4重量%、ジルコニア4重量%、タングステン
炭化物(WC)粉末3重量%、コバルト粉末1重量%か
らなる粉末混合物を用い、実施例1と同一の条件で混練
、成形および焼結を行った。
Example 2 Powder mixture consisting of 88% by weight of silicon nitride powder bed (gelatinization rate of 90% or more), 4% by weight of spinel powder, 4% by weight of zirconia, 3% by weight of tungsten carbide (WC) powder, and 1% by weight of cobalt powder. Kneading, molding and sintering were carried out under the same conditions as in Example 1.

〔比較例〕[Comparative example]

スピネル5重量%、ジルコニア5重量%からなる粉末混
合物を用い、実施例1と同一の条件で混練、成形および
焼結を行った。  ・ 几較炎↓ 窒化けい素粉末(α化率90%以上)90重量%、スピ
ネル4重量%、ジルコニア4重量%、タングステン炭化
物(WC)2重量%からなる粉末混合物を用い、実施例
1と同一の混練、成形および焼結を行った。
Using a powder mixture consisting of 5% by weight of spinel and 5% by weight of zirconia, kneading, molding and sintering were performed under the same conditions as in Example 1.・ Comparison flame ↓ Using a powder mixture consisting of 90% by weight of silicon nitride powder (gelatinization rate of 90% or more), 4% by weight of spinel, 4% by weight of zirconia, and 2% by weight of tungsten carbide (WC), The same kneading, shaping and sintering were carried out.

上記実施例および比較例により得られた焼結体の室温お
よび高温における曲げ強さく三点曲げ法による)を第1
表に示す。
The bending strength at room temperature and high temperature of the sintered bodies obtained in the above Examples and Comparative Examples (by three-point bending method) was
Shown in the table.

z 第1表に示すように、従来法により得られた焼結体(比
較例1)では、800°Cで曲げ強度の低下がみられ、
1000℃では常温時の約40%に低下し、1200℃
では更に大幅に低下している。これに対し、本発明例の
焼結体にあっては、800 ’Cでの強度低下はなく、
1000’cにおいても常温時の70%以上の強度を有
し、更に1200℃においてすら、常温時の50%以上
の強度を保持している。なお、焼結助剤の一部としてタ
ングステン炭化物を使用した比較例2では、比較例1に
比し、やや高温強度が改善されてけいるが、1000℃
以上での強度低下が大きく、本発明例にはとうていおよ
ばない。
z As shown in Table 1, the sintered body obtained by the conventional method (Comparative Example 1) showed a decrease in bending strength at 800°C,
At 1000℃, it decreases to about 40% of normal temperature, and at 1200℃
It has declined even more significantly. On the other hand, in the sintered body of the example of the present invention, there was no decrease in strength at 800'C,
Even at 1000'C, it has a strength that is 70% or more of that at room temperature, and even at 1200'C, it maintains a strength that is 50% or more of that at room temperature. In Comparative Example 2, in which tungsten carbide was used as part of the sintering aid, the high temperature strength was slightly improved compared to Comparative Example 1;
The strength decreases significantly in the above cases, and is not at all comparable to the examples of the present invention.

上記実施例1で得られた焼結体のX線回折結果を第1図
に示す。窒化けい素粉界に、β−3i、N4のほか3W
s S i3、S it W、S 1WCo等の結晶相
の混在が認られる。
The X-ray diffraction results of the sintered body obtained in Example 1 are shown in FIG. In addition to β-3i, N4, and 3W in the silicon nitride powder world,
A mixture of crystal phases such as s S i3, S it W, and S 1WCo is observed.

〔発明の効果〕〔Effect of the invention〕

本発明によれば、粒界が非晶質相のみからなる従来の窒
化けい素焼結体と異なり、非晶質相と結晶相との混在相
からなる粒界を有する窒化けい素焼結体が得られる。
According to the present invention, a silicon nitride sintered body having grain boundaries consisting of a mixed phase of an amorphous phase and a crystalline phase can be obtained, unlike a conventional silicon nitride sintered body whose grain boundaries are composed only of an amorphous phase. It will be done.

本発明により得られる窒化けい素焼結体は、常温特性が
良好なことはもとより、粒界の耐熱性が高いので、高温
域においても強度の低下が少なく、すぐれた高温特性を
有している。従って、高温用機械部品、例えばエンジン
部品や炉材部品等として好適であり、従来の窒化けい素
焼結体にまさる耐久性・安定性を保証することができる
The silicon nitride sintered body obtained by the present invention not only has good properties at room temperature, but also has high grain boundary heat resistance, so there is little decrease in strength even in a high temperature range, and it has excellent high temperature properties. Therefore, it is suitable for high-temperature mechanical parts, such as engine parts and furnace material parts, and can guarantee durability and stability superior to conventional silicon nitride sintered bodies.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

第1図は本発明により得られた窒化けい素焼結体のX線
回折図である。
FIG. 1 is an X-ray diffraction diagram of a silicon nitride sintered body obtained according to the present invention.

Claims (4)

【特許請求の範囲】[Claims] (1)窒化けい素粒界相が、酸化物系非晶質相と、Si
−W系、Si−Co系またはSi−W−Co系結晶相の
1種または2種以上との混合相からなることを特徴とす
る窒化けい素焼結体。
(1) The silicon nitride grain boundary phase is separated from the oxide-based amorphous phase by Si
- A silicon nitride sintered body comprising a mixed phase with one or more of W-based, Si-Co-based, or Si-W-Co-based crystal phases.
(2)Si−W系結晶相がSi_2Wおよび/またはS
i_3W_5であり、Si−Co系結晶相がCoSi_
2であり、Si−W−Co系結晶相がCoWSiである
上記第(1)項に記載の窒化けい素焼結体。
(2) Si-W crystal phase is Si_2W and/or S
i_3W_5, and the Si-Co crystal phase is CoSi_
2, and the silicon nitride sintered body according to item (1) above, wherein the Si-W-Co crystal phase is CoWSi.
(3)窒化けい素粉末に、焼結助剤として、酸化物系化
合物とともに、タングステン炭化物粉末およびコバルト
粉末を配合した粉末混合物を出発原料として使用するこ
とを特徴とする、酸化物系非晶質相と、Si−W系、S
i−Co系またはSi−W−Co系結晶相の1種または
2種以上との混合相からなる粒界相を有する窒化けい素
焼体の製造方法。
(3) An oxide-based amorphous material characterized by using as a starting material a powder mixture of silicon nitride powder, tungsten carbide powder, and cobalt powder as well as an oxide-based compound as a sintering aid. phase, Si-W system, S
A method for manufacturing a silicon nitride biscuit having a grain boundary phase consisting of a mixed phase with one or more of i-Co or Si-W-Co crystal phases.
(4)出発原料である粉末混合物における焼結助剤の配
合量が、タングステン炭化物粉末は5〜10重量%、コ
バルト粉末は0.1〜5重量%であり、酸化物系化合物
粉末は1〜20重量%である上記第(3)項に記載の窒
化けい素焼結体の製造方法。
(4) The blending amount of the sintering aid in the starting material powder mixture is 5 to 10% by weight for tungsten carbide powder, 0.1 to 5% by weight for cobalt powder, and 1 to 1% by weight for oxide compound powder. The method for producing a silicon nitride sintered body according to item (3) above, wherein the content is 20% by weight.
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