JPS60262304A - 液晶表示装置 - Google Patents

液晶表示装置

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JPS60262304A
JPS60262304A JP11550284A JP11550284A JPS60262304A JP S60262304 A JPS60262304 A JP S60262304A JP 11550284 A JP11550284 A JP 11550284A JP 11550284 A JP11550284 A JP 11550284A JP S60262304 A JPS60262304 A JP S60262304A
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JP
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film
coating
nickel
metal coating
plating
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JP11550284A
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哲郎 橋本
雅夫 大河原
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AGC Inc
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Asahi Glass Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は導電体に係り、とくに透明導電膜上の所要部分
に金属被膜を形成した導電体に関する0 酸化イノジウムや酸化スズ等を主成分とする透明導電膜
が、液晶やエレクトロクロミイ等の表示素子の電極や、
太陽電池の電極等として広く用いられている。この透明
導電膜上に半田付けを行ったりソケット類の接続端子と
して用いる際の、強度の補強や抵抗値の外戚等の目的で
、該透明導電膜上の所要部分に金属被膜を形成すること
がしばし、ば行われる。
この余端被膜の形成方法として、Ni陽イオンの原料と
して硫酸ニッケル又は塩化ニッケルを含み、次亜リン酸
塩を還元剤として含むメッキ液にて無電解メッキ法によ
り透明電極上にN1−Pメッキ被膜を施す方法が一般に
行われている。しかるに、次亜リン酸塩によるN4− 
pメッキ被膜は、内部応力が太きいため膜厚2500^
近傍に透明導電膜との密着強度のピークが存在し1、そ
れ以上膜′厚を厚くすると密着強度が急11□ に低下
するという欠点を有していた。このため、内部応力を少
くする目的でメッキ液にサッカリン等の添加剤を加える
方法も行われているが、この方法ではメッキ後のNi 
−Pメッキ被膜の経時変化が起り信頼性に乏しいという
欠点があった。また、密着強度を保つためにN1−Pメ
ッキ被膜の膜厚t zsooX程度に保つと、メッキ被
膜の膜厚が薄いため、半田付けを施す際に透明導電膜が
溶融するいわゆる「半田喰れ」現象により該メッキ被膜
の膜厚が減少し5、ついにはメッキ被膜が消失してしま
う場合がある。このためメッキ被膜の膜厚はある程度以
上の厚さを確保しなけれはならない。更に、N1−Pメ
ッキ被膜は半田に対する濡れ性も悪く半田付の作業能率
が悪いという欠点も有していた。
一方、還元剤として水素化ホウ素ナトリウムを含むメッ
キ液を用い、無電解メッキ法で透明導電膜上にN1−B
メッキ被膜を形成する方法も用いられている。N1−B
メッキ被膜は、N1−Pメッキ被膜に比べ内部応力が1
73ないし1/4と低く、抵抗値も約172であり、ま
た、高温でアニーリング処理を施して本良好な半田濡れ
性を示すという利点を有している。しかるに(透明褥’
F[膜上にN1−Bメッキ被膜を単層で)形成した場合
に[、N1−Pメッキ被膜に比して透明導1!膜との間
に十分な密着強度が得られないため、上述の利点にもか
かわらず実用化されにくかった。
本発明は、この様な透明導電膜上の所要部分に金属被膜
を形成した従来の導電体の欠点を解消するためになされ
たものである。即ち、本発明は、半田喰れ現象に対して
も十分な耐性を有し、透明導電膜に対する密着強度も強
く、抵抗値が小く、半田濡れ性の良い金属被膜を透明導
電膜上の所要部分に形成した導電体を提供することを目
的とする。
本発明は、N1−B金属被膜の上記の利点と、N1−B
金属被膜はN1−B金属被膜に対して良好な密着性を示
すという特性金利用したものであり、酸化インジウムま
たは酸化スズのいずれか一方あるいは双方ケ主成分とす
る透明導電膜上の所要部分に、Ni元素にP元素が融合
1、膜状となったN1−B金属被膜を形成し7、該Ni
 −P金属被膜上に、N1元素にホウ素元素が融合し膜
状となったN1−B金属被膜を形成してなることを特徴
とする導電体である。
本発明の導電体音さらに詳しく説明する。
i明導電膜としては酸化インジウムまたは酸化スズを主
成分とする公知の物質を用い、−例トシては、インシュ
ウムチンオキサイドを用いる0 透明導電膜上にN1−B金属被膜またはN1−B金属被
膜を形成する方法とし、ては、メッキ法。
蒸着法、スパッタ法、印刷法、エツチング法等のいずれ
の方法を用いてもよいが、形成方法の答易さ、形成され
た被膜の密着強度等の特性上無電解メッキ法が望ましい
Nc−p金属被膜および旧−B金属被膜の膜厚は、内部
応力による密着強度特性、半田喰れ、現象、抵抗値等を
考慮し、各膜厚y2500Xないし5000^に形成す
るのが望ましい。特に、N1−B金属被膜は透明導電膜
に対する密着強度が膜厚2゛500X近傍で最大となる
ため、N1=P金属被膜の膜厚を2500^とし、該N
1−P金属被膜の上面に形成するN1−B金属被膜の膜
厚を、耐半田付性全考慮し、500Xないし 5ooo
;、の範囲内で所望の膜厚に形成し、た場合良好な特性
が得られる。即ち、この様に形成し、た複層被膜はN1
−Pの単層被1関全同じ膜厚で形成したものに比べ、半
田濡れ性も良く、密着強度も30%ないし40%高い値
が得られる。
被膜の抵抗値を特に小さくシ、たい場合や、■a等l半
田付けする際に該IC等の保護のため半田付けの除用い
るフラックスにハロゲン物質が低量しか含まれない弱活
性ロジン系のものを使用する場合には、N1−B金属被
膜は半田の乗りが悪くなるため、弱活性ロジン系の7ラ
ツクスを用いても半田乗りが良く、また抵抗値の小さく
金属被膜をNi−B金属被膜上に形成するのが望ましい
。この様な金属被膜としては、Cu若しくはAllまた
はA1若しくはIn若しくは錫等の金属をメッキ法、蒸
着法等の被膜形成方法により形成したものを用いると好
ましい結果が得られる。Ou又はAu被膜をメッキ法で
形成する場合には、膜厚を1μm以下として、Nj、−
B金属被膜の半田付けを行う部分上に被膜を形成すれば
良い。
以下、本発明を実施例に基づき更に詳細に説明する。
実施例 第1図の断面図に示すように、ソーダガラス1上にイン
ジウムチンオキサイド(工TO)からなる透明導電膜2
を膜厚400Xに形成し、基板3を構成し5た。この基
板3を前処理としてヘモゾール、アルカリ洗浄をし、次
に触媒処理、活性化処理を施し、た後に次亜リン酸塩を
還元剤として含む硫酸ニッケルメッキ溶液を温度80℃
に温め、前記基板3を60秒間該メッキ溶液に浸漬しN
1−Pメッキ被膜4を該、基板3上の所定位置に250
0 Xの膜厚で形成した。その後肢基板3を室温乾燥し
、更に200℃で1時間大気中でのアニーリング処理を
行った。次に第2層目のメッキを施す前処理として該基
板3上のN1−Pメッキ被膜4を酸で洗浄し1、環元剤
としてホウ木酸ナトリウムを含む硫酸ニッケルメッキ溶
液を60℃に温め、該メッキ溶液に前記基板3を60秒
間浸漬し前記N1−Pメッキ被膜4上に2500Xの膜
厚のN1−Bメッキ被膜5を形成した。その後塩化第2
鉄溶液で透明導電膜及び各メッキ被膜を所定のパターン
にエツチングし導電体を形成し7た。
このようにして、N1−P、N1−B各メッキ[い燵飛
25 C’ OY、総厚5000 大の膜厚で透明導電
膜2上に形成した本実施例の導電体を、本実施例のN1
−P メッキ被膜を形成したのと同一の方法で透明導電
膜上に単層のN土−Pメッキ被膜を形成した導電体と比
較すると、半田濡れ性、密着強度ともに本実施例の導電
体のメッキ被膜の方が優れた特性を示し、た。特に密着
強度については、90°ビール法で本実施例のメッキ被
膜が平均で1. O)rq/2 X 2祁であったに比
べN1−P単層被膜は0.5卸/ 2 X 2 wmと
1/2の密着強度しか得られなかった。
以上述べたように、本発明の導電体は、透明導電膜上に
N1−P金属被膜とN1−B金属被膜とを複層に形成し
たので、半田喰れ現象に対して十分な耐性を有し、金属
被膜の透明導電膜に対する密着強度も強く、抵抗値も小
さく半田濡れ性も良く半田付作業の能率も良く、かつ、
経時的にも変化が少ないという効果を有する。
従って、同一基板上に例えば液晶表示素子とその駆動用
ICを塔載して透明導電膜を表示用電極と回路パターン
用リードとして共用する場合のように、透明導電膜上に
直接ICのリードやその他の素子を半田付けし、また透
明導電膜を他の機器との接続用リードとして用いる場合
など透明導電膜上に金属被膜を形成した導電体に耐半田
付性や機械的強度が要求される場合に、特にその使用価
値の高いものである。
【図面の簡単な説明】
第1図は不発明の一実施例の導電体の断面図である。 1・・・ソーダガラス、 2・・・透明導電被膜、4・
・・N1−Pメッキ被膜、 5・・・N1〜Bメツキ被膜 第1図

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1、酸化インジウムまたは酸化スズのいずれが一方ある
    いは双方を主成分とする透明導電膜と、該透明導電膜上
    の所微部分に形成されたニッケル元素にリン元素が融合
    し膜状となったニッケルリン金属被膜と、該ニッケルリ
    ン金属被膜上に形成されたニッケル元素にホウ素元素が
    融合し膜状となったニッケルホウ素金属被膜とを有する
    ことを特徴とする導電体。 2 ニッケルリン金属被膜はニッケルリンメッキ被膜で
    ある特許請求の範囲第1項記載の導電体。 3、ニッケル7ftつ素金属被膜はニッケルポウ素メッ
    キ被膜である特許請求の範囲第1項記載の導電体。 4 ニッケルリン金属被膜または二゛ツヶルホウ素金属
    被膜のいずれか一方あるいは双方の膜厚は500Xない
    し5000^である特許請求の範囲第1項ないし篤3項
    のいずれか1項記載の導電体。 5、ニッケルホウ累金属被膜上の所要部分に第3の金属
    被膜を形成した特許請求の範囲第1項記載の導電体。 6、 第3の金属被膜は、銅メッキ被膜または金メツキ
    被膜である特許請求の範囲第5項記載の導電体。 7、 第3の金属被膜は、アルミニュウム被膜若しくは
    インジュウム被膜又は錫被膜である特許請求の範囲第5
    項記載の導電体。 8、 第3の金属被膜は膜厚が1μm以下である特許請
    求の範囲第5項ないし第7項のいずれか1項記載の□導
    電体。
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