JPS60206061A - Image sensor - Google Patents

Image sensor

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Publication number
JPS60206061A
JPS60206061A JP59059440A JP5944084A JPS60206061A JP S60206061 A JPS60206061 A JP S60206061A JP 59059440 A JP59059440 A JP 59059440A JP 5944084 A JP5944084 A JP 5944084A JP S60206061 A JPS60206061 A JP S60206061A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
photoelectric conversion
density
image sensor
elements
electrical output
Prior art date
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Pending
Application number
JP59059440A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Hitoshi Chiyoma
仁 千代間
Zensaku Watanabe
渡辺 善作
Kuniaki Kida
木田 国明
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Toshiba Corp
Original Assignee
Toshiba Corp
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Filing date
Publication date
Application filed by Toshiba Corp filed Critical Toshiba Corp
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Publication of JPS60206061A publication Critical patent/JPS60206061A/en
Pending legal-status Critical Current

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    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L27/00Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
    • H01L27/14Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation
    • H01L27/144Devices controlled by radiation
    • H01L27/1446Devices controlled by radiation in a repetitive configuration

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Solid State Image Pick-Up Elements (AREA)

Abstract

PURPOSE:To enable the increase in density of picture elements as compared with the density of photoelectric conversion elements by a method wherein filaments are extended out of photoelectric conversion elements opposed to each other, and the part made of this filament and the photoelectric conversion element are made as the picture element. CONSTITUTION:A filament, e.g. a small piece 311 is formed in the part opposed to the photo receiving surface 31 made of a photoelectric convesion element. In other words, the part between adjacent photoelectric conversion elements is of form that one picture element G can be constructed by composition of small pieces 311. This small piece 311 has the area of 1/3 that of the photo receiving surface 31: the picture elements F and G are photo receiving surfaces of the same area. Therefore, with regard to electric outputs corresponding to the picture elements F and G, if the amounts of irradiation light to the picture elements F and G are equal, electric outputs nearly the same can be obtained. Such a construction enables the increase in density of picture elements by a factor of 1.5 times as compared with the density of photoelectric conversion elements, and simplifies the formation of conductor patterns of the drive circuit part, wire bonding, and the like, with the increase in density of picture elements.

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の技術分野〕 本発明は、例えばファクシミリ等に用いられ、原稿など
の画像情報を時系列の電気信号に変換するイメージセン
サに係り、特にその光電変換素子を改良したイメージセ
ンナに関する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Technical Field of the Invention] The present invention relates to an image sensor used in, for example, facsimiles, which converts image information such as a document into a time-series electrical signal, and particularly relates to an improved photoelectric conversion element thereof. Regarding the image Senna.

〔発明の技術的背景とその問題点〕[Technical background of the invention and its problems]

近年、ファクシミリなどに用いられる画像読み取り装置
を小型化するために、密着型イメージセンサの開発が盛
んである。密着型イメージセンサは、原稿と同一幅に所
望の解像度で光検出素子を一列に配し、原稿を近接させ
て画像情報を読み取るイメージセンサである。
In recent years, contact image sensors have been actively developed in order to miniaturize image reading devices used in facsimiles and the like. A contact type image sensor is an image sensor in which photodetecting elements are arranged in a row at a desired resolution in the same width as the original, and image information is read by bringing the original close to the original.

第1図は従来のイメージセンサを用いた装置であり、第
2図及び第8図は従来のイメージセンサである。
FIG. 1 shows an apparatus using a conventional image sensor, and FIGS. 2 and 8 show conventional image sensors.

第1図において、プラテンローラ(1)により原稿紙(
2)は紙ガイド(3)の上を副走査方向りへ送り出され
る。原稿紙(2)上に記入されている画像は、支持本体
(5)に固着された発光部(6)から発せられる光によ
り照射される。照射された原稿(2)上の画像は、支持
本体(5)に固定された筒ラドレンズアレイ(7)を介
して、イメージセンサ(9)の光電変換部上に結像され
る。このイメージセンサ(9)は支持本体(9)に裏蓄
(8)により固定されている。光電変換部上に結像され
た画像は電気信号に変換され、出力端子部より出力され
る。。
In Figure 1, the platen roller (1) moves the manuscript paper (
2) is sent out in the sub-scanning direction on the paper guide (3). The image written on the manuscript paper (2) is illuminated by light emitted from a light emitting section (6) fixed to the support body (5). The irradiated image on the original (2) is formed on the photoelectric conversion section of the image sensor (9) via the cylindrical Radlens array (7) fixed to the support body (5). This image sensor (9) is fixed to the support body (9) with a backing (8). The image formed on the photoelectric conversion section is converted into an electrical signal and output from the output terminal section. .

次に第2図を参照してイメージセンサ(9)について説
明する。第2図において、イメージセンサ(9)はガラ
ス等の絶縁基板(21)上に構成された光電変換部(4
)と駆動回路部の)とからなる。光電変換部(ト)は複
数の光電変換素子が走査方向へ1列に配列されている。
Next, the image sensor (9) will be explained with reference to FIG. In FIG. 2, an image sensor (9) is a photoelectric conversion unit (4) configured on an insulating substrate (21) such as glass.
) and the drive circuit section). In the photoelectric conversion section (g), a plurality of photoelectric conversion elements are arranged in a line in the scanning direction.

光電変換素子翰は透明な共通電極1と光電変換膜(nと
個別電極(2)とにより構成され必要に応じ絶娠膜(ハ
)が形成されている。一方、駆動回路部(B)は集積回
路素子(イ)と導電パターン(至)とにより構成される
。集積回路素子(イ)はエポキシ樹脂等により絶縁基板
(財)上に固着され必要に応じ、個別電極■及び導電パ
ターン(至)と金ワイヤ−(5)を介してボンディング
されている。
The photoelectric conversion element holder is composed of a transparent common electrode 1, a photoelectric conversion film (n), and an individual electrode (2), and an isolation film (c) is formed as necessary.On the other hand, the drive circuit section (B) is It is composed of an integrated circuit element (a) and a conductive pattern (to).The integrated circuit element (a) is fixed on an insulating substrate (goods) using epoxy resin or the like, and if necessary, individual electrodes and conductive patterns (to) ) and gold wire (5).

次に第8図を用いてイメージセンサ(9)の光電変換素
子を説明する。第8図において、従来の光電変換素子は
、正方形もしくは長方形の形状の受光面0υを有する。
Next, the photoelectric conversion element of the image sensor (9) will be explained using FIG. In FIG. 8, the conventional photoelectric conversion element has a square or rectangular light receiving surface 0υ.

受光面t31)は個別電極(至)に1対1に結合し、受
光面C3])に照射される光量に応じ個別電極(24)
へ電気信号が出力される。ところで第1図に示ス如り通
常のイメージセンサ(9)を用いた装置では、ロッドレ
ンズアレイ(7)により光量変換素子の上へ結像される
画像の画素は受光面C31)と一致する様に設計されて
いる。即ち、第8図上、Fは1画素を構成する領域を示
す。画素と受光面01)とが一致するように設゛計され
たイメージセンサでは、画素の出力信−号はそれぞれの
画素に1対1に対応し、個別電極(財)”から出力され
る。これにより、画素数と同数の個別電極(財)が必要
となり、画素密度の増加により個別電極−や導電パター
ン(至)およびボンディングされた金ワイヤ−(5)の
配線密度が、増加する傾向にある。したがって、従来の
イメージセンナにおいては画素の高密度化に伴ない駆動
回路部の導電パターンの形成やワイヤーボンディング等
が困難となり、製造歩留の低下さらには信頼性の低下等
の危険がある。
The light-receiving surface t31) is coupled one-to-one with the individual electrodes (to), and the individual electrodes (24) are connected in accordance with the amount of light irradiated to the light-receiving surface C3).
An electrical signal is output to. By the way, as shown in FIG. 1, in a device using a normal image sensor (9), the pixels of the image formed onto the light amount conversion element by the rod lens array (7) coincide with the light receiving surface C31). It is designed like this. That is, in FIG. 8, F indicates an area constituting one pixel. In an image sensor designed so that a pixel and a light-receiving surface 01) coincide with each other, the output signal of each pixel corresponds one-to-one to each pixel and is output from an individual electrode. As a result, the same number of individual electrodes as the number of pixels is required, and as the pixel density increases, the wiring density of the individual electrodes, conductive patterns (5), and bonded gold wires (5) tends to increase. Therefore, in conventional image sensors, as the pixel density increases, it becomes difficult to form conductive patterns and wire bonding in the drive circuit, and there is a risk of lower manufacturing yields and lower reliability. .

〔発明の目的〕[Purpose of the invention]

上述の問題点を鑑みて、本発明は光電変換素子の密度に
対し画素の密度を高密度にしたイメージセンサを提供す
ることを目的とする。
In view of the above problems, an object of the present invention is to provide an image sensor in which the density of pixels is higher than that of photoelectric conversion elements.

〔発明の概要〕[Summary of the invention]

上述の目的を達成するために、本発明は相向かいあう光
電変換素子から細条が延在し、との細条から形状される
部分と、光電変換素子とを画素とするイメージセンサで
あるので、光電変換素子の密度以上に画素の密度を高密
度化することができる。
In order to achieve the above-mentioned object, the present invention is an image sensor in which stripes extend from opposing photoelectric conversion elements, and a portion shaped from the stripes and the photoelectric conversion elements serve as pixels. The density of pixels can be increased higher than the density of photoelectric conversion elements.

〔発明の実施例〕[Embodiments of the invention]

以下、本発明の一実施例を説明する。なお、本発明のイ
メージセンサの基本的構造は従来技術と略同−なので詳
細な説明は省略する。
An embodiment of the present invention will be described below. Note that the basic structure of the image sensor of the present invention is substantially the same as that of the prior art, so detailed explanation will be omitted.

第4図は、イメージセンサの光電変換部における光電変
換素子を入射光側より見た模式平面図である。第4図に
おいて、光電変換素子からなる受光面OI)の相向かい
あう部分に細条例えば細片(811)が形成されている
。即ち、隣接する光電変換素子間において、細片(al
l)の複合により1画素Gを構成し得る形状である。こ
の細片(811)は受光面c31)の面積の1の面積で
ある。即ち、画素Fと画素Gとは同面積の受光面である
。一般に光電変換素子の電気出力は、この光電変換素子
の受光面の面積に比例する。したがって、画素F及び画
素Gに対応した電気出力は、画素Fと画素Gとに対する
照射光量が等しければ略同−の電気出力が得られること
になる。そこで、一実施例によれば、光電変換素子密度
に対し画素密度を1.5倍(二高密度化でき、画素の高
密度化に伴い、従来困難とされた駆動回路部の導電パタ
ーンの形成やワイヤーボンディング等が簡易となり、製
造歩留の向上さらには信頼性の向上が可能となる。
FIG. 4 is a schematic plan view of a photoelectric conversion element in a photoelectric conversion section of an image sensor, viewed from the incident light side. In FIG. 4, strips (811), for example, are formed on opposing portions of the light receiving surface OI) consisting of a photoelectric conversion element. That is, between adjacent photoelectric conversion elements, thin pieces (al
The shape is such that one pixel G can be constructed by combining 1). The area of this strip (811) is one of the area of the light receiving surface c31). That is, the pixel F and the pixel G have light receiving surfaces of the same area. Generally, the electrical output of a photoelectric conversion element is proportional to the area of the light receiving surface of the photoelectric conversion element. Therefore, approximately the same electrical output corresponding to the pixel F and the pixel G will be obtained if the amount of light irradiated to the pixel F and the pixel G is equal. Therefore, according to one embodiment, the pixel density can be increased by 1.5 times (2 times) the photoelectric conversion element density. This simplifies wire bonding, etc., and improves manufacturing yield and reliability.

ところで、第4図C二示すイメージセンサの場合、画素
Fに対応する電気出力は個別電極−と個別電極(ハ)と
に分割され出力される。この信号処理方式を第5図乃至
第6図(e)を参照して説明する。第5図は一実施例の
イメージセンナの信号処理を模式的に示した説明図であ
り、第6図(、)乃至第6図(、)は第5図に示した信
号処理の電気出力を模式的に示した説明図である。各光
電変換素子よりの電気出力■1は、従来の信号処理方式
と同様に所定の走査時間で、個別電極からの電気出力を
順次読み出し得られる電気出力である。一実施例では、
光電変換素子に対する画素密度な略1.5倍に高密度化
しているため、対となる2光゛蹴変換素子(第4図にお
いては、個別電極(2)と(ハ)とに対応する)の電気
出力の後、第6図(、)に図示したように1回黒レベル
の電気出力を出力する必要がある。即ち、光電変換素子
よりの電気出力を画素に対応した電気出力に変換するた
めに、電気出力の信号回数を1.5倍に増やす必要があ
る。
By the way, in the case of the image sensor shown in FIG. 4C-2, the electrical output corresponding to the pixel F is divided and outputted to the individual electrode (-) and the individual electrode (c). This signal processing method will be explained with reference to FIGS. 5 to 6(e). FIG. 5 is an explanatory diagram schematically showing the signal processing of the image sensor of one embodiment, and FIGS. It is an explanatory view shown typically. The electrical output (1) from each photoelectric conversion element is an electrical output obtained by sequentially reading electrical outputs from individual electrodes in a predetermined scanning time, similar to the conventional signal processing method. In one embodiment,
Since the pixel density is approximately 1.5 times higher than that of the photoelectric conversion element, the paired two-light conversion element (corresponding to individual electrodes (2) and (c) in Fig. 4) After the electrical output of , it is necessary to output a black level electrical output once as shown in FIG. That is, in order to convert the electrical output from the photoelectric conversion element into an electrical output corresponding to a pixel, it is necessary to increase the number of electrical output signals by 1.5 times.

次に、順次読み出された電気出力I、は、アナログデジ
タル変換器(51)によりディジタル信号に変換され、
電気出力1. 、 I、に変換される。敷居値は、第6
図(b)及び(d)に示すように、光電変換素子の白レ
ベルの電気出力の1/8.2/8および1を識別できる
ように取る。ディジタル信号に変換された電気出力は第
1位の桁に対応する電気出力■2と第2位の桁に対応す
る電気出力1.どなる。スイッチ変換器(62)により
、電気出力I、と工、とは所定のタイミングによりスイ
ッチ切替えされ、出力される。
Next, the sequentially read electrical outputs I are converted into digital signals by an analog-to-digital converter (51),
Electrical output 1. , I. The threshold value is the 6th
As shown in Figures (b) and (d), 1/8, 2/8, and 1 of the white level electrical output of the photoelectric conversion element are taken so as to be distinguishable. The electrical output converted into a digital signal is electrical output 1.2 corresponding to the first digit and electrical output 1.2 corresponding to the second digit. bawl. A switch converter (62) switches the electrical output I and the electrical output at a predetermined timing and outputs the electrical output.

■、の第一の′電気出力はそのまま出力され(画素に対
応した) I4が出力される。スイッチ変換された電気
出力は必要に応じ一時、記憶器(58)にだくわえられ
、電気出力のタイミングをずらす。■。
The first 'electrical output of (2) is outputted as is (corresponding to the pixel), and I4 is outputted. The electrical output converted by the switch is temporarily stored in a memory device (58) as needed, and the timing of the electrical output is shifted. ■.

の電気出力のうち記憶器(63)にだくわえられた第1
の電気出力と、x、の第2の電気出力とは、論理積回路
(54)により判別され(画素に対応した)電気出力I
、が出力される。さらに、工1の第2の電気出力(I、
の第2の電気出力と同時に出力される。)は、一時、記
憶器(58)でたくわえられ電気出力I。
Of the electrical output of
The electrical output of x and the second electrical output of x are determined by the AND circuit (54) and the electrical output I (corresponding to the pixel)
, is output. Furthermore, the second electrical output (I,
is output simultaneously with the second electrical output of. ) is temporarily stored in the memory device (58) and becomes the electrical output I.

が出力された後、画素に対応した電気出力I6として出
力される。
is outputted, and then outputted as an electrical output I6 corresponding to the pixel.

なお、第6因において、矢印は一時、記憶器(58)で
行われる電気出力の遅延及び論理積1回路(54)によ
る電気出力の複合判定を示す。またIは電気出力■4 
+ ”5 + 工IIを加算したものであり、各画素に
対応した電気出力である。この論理積回路(54)の特
性を第1表として以下に示す。
In the sixth factor, the arrow temporarily indicates the delay of the electrical output performed by the memory device (58) and the combined judgment of the electrical output by the AND circuit (54). Also, I is the electrical output ■4
+ "5 + engineering II, which is the electrical output corresponding to each pixel. The characteristics of this AND circuit (54) are shown in Table 1 below.

第1表;論理積回路 上述の信号処理方式により、対となる2つの光電変換素
子よりの電気出力を、光電変換素子により構成される8
つの画素に対応する電気出力に変換が可能となる。
Table 1; AND circuit By using the above-mentioned signal processing method, the electrical output from the two photoelectric conversion elements that form a pair is converted into the 8
This enables conversion into electrical output corresponding to one pixel.

(以下余白) 第2表;真理表 第2表には、対となる光電変換素子のディジタル変換さ
れた電気出力に対応する画素との間の真理表を示す。な
お、マトリックス表土に示される各数字は出力される画
素の番号を示し、また光電変換素子のXi、 X2の項
に示される数字は電気出力の大きさを示す。上述の信号
処理方式により第2表に示す画素出力が可能となる。
(The following is a margin) Table 2: Truth table Table 2 shows a truth table between pixels corresponding to digitally converted electrical outputs of paired photoelectric conversion elements. Note that each number shown on the matrix topsoil indicates the number of the pixel to be output, and the numbers shown in the terms Xi and X2 of the photoelectric conversion element indicate the magnitude of the electrical output. The signal processing method described above enables the pixel outputs shown in Table 2.

次に第7図(、)乃至第7図(c)を参照して、本発明
の他の実施例を説明する。
Next, another embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 7(a) to 7(c).

第7図(、)において、相向かいおう光電変換素子の受
光面01)から細条即ちすだれ状電極(812)が延在
している。このすだれ状電極(812)から構成される
画素Gと画素Fとの受光面積は略等しい。
In FIG. 7(,), a strip or interdigital electrode (812) extends from the light-receiving surface 01) of the opposing photoelectric conversion element. The light-receiving areas of the pixel G and the pixel F constituted by this interdigital electrode (812) are approximately equal.

第7図(b)において、第7図(b)は第7図(、)に
示す各すだれ状電極(812)を個々に組みあわせて、
画素Gを形成したものである。
In FIG. 7(b), each interdigital electrode (812) shown in FIG. 7(,) is individually combined,
A pixel G is formed therein.

第7図(c)においては、受光面01)の両端から細片
(818)を延在させて、両隣の細片(818)を組み
合せて、画素lit、 G、 Iを形成したものである
。第7図(、)に示すものは、第4図に示すものよりも
、個別電極(61) 、 (62) 、 (6111)
 、 (64)の数が少なくなり、より高密度化された
イメージセンナに適している。
In FIG. 7(c), strips (818) are extended from both ends of the light-receiving surface 01), and the strips (818) on both sides are combined to form pixels lit, G, and I. . The one shown in FIG.
, (64) is reduced, making it suitable for higher-density image sensors.

なお、細片(81B)を第7図(、)及び第7図(b)
のごとく、すだれ状電極で形成しても良いのは言うまで
もない。
In addition, the strip (81B) is shown in Figure 7 (,) and Figure 7 (b).
Needless to say, it may be formed using interdigital electrodes as shown in FIG.

〔発明の効果〕〔Effect of the invention〕

上述の構成をとることにより、本発明のイメージセンサ
は、光電変換素子の密度に対し画素の密度をより高密度
化できる。さらに、各光電変換素子には1対1に個別電
極が結合している為、駆動回路部の構成を変更すゐこと
なく、画素密度のみ容易に高密度化できる副次的効果も
ある。
By adopting the above-described configuration, the image sensor of the present invention can increase the density of pixels relative to the density of photoelectric conversion elements. Furthermore, since individual electrodes are coupled one-to-one to each photoelectric conversion element, there is a side effect that the pixel density can be easily increased without changing the configuration of the drive circuit section.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

第1図はイメージセンサを使用した画像読取装置の原理
を説明する模式断面図、第2図は従来のイメージセンナ
の構造を示す模式断面図、第8図は第2図の要部を示す
要部平面略図、第4図は本発明のイメージセンナの一実
施例を示す要部平面略図、第6図は本発明のイメージセ
ンナの一実施例の信理方式を説明するための模式図、第
6図(、)乃至第6図(e)は第6図の信号処理方式に
おける電気出力の特性を示す特性図、第7図(、)乃至
第7図(C)は本発明のイメージセンサの他の実施例を
示す要部平面略図である。 (9)・・・イメージセンサ Q・・・・出力端子 @・・・共通電極 (財)、(ハ)、(61) 、 (62) 、 (68
) 、 (64)・・・個別電極(至)・・・集積回路
素子 0〃・・・受光面 代理人 弁理士 則 近 憲 佑 (tlか1名)第 
1 図 0/ / 第 2 図 α 叉 θ β 第 3 図 第4図 第 5 図 (C) ♂3 第 6 図
Fig. 1 is a schematic sectional view explaining the principle of an image reading device using an image sensor, Fig. 2 is a schematic sectional view showing the structure of a conventional image sensor, and Fig. 8 is a schematic sectional view showing the main parts of Fig. 2. FIG. 4 is a schematic plan view of a main part showing an embodiment of the image sensor of the present invention. FIG. 6 is a schematic diagram for explaining the belief method of an embodiment of the image sensor of the present invention. 6(,) to 6(e) are characteristic diagrams showing the characteristics of the electrical output in the signal processing method of FIG. 6, and FIG. FIG. 7 is a schematic plan view of main parts showing another embodiment. (9)...Image sensor Q...Output terminal @...Common electrode (goods), (c), (61), (62), (68
), (64)...Individual electrode (to)...Integrated circuit element 0...Light-receiving surface Agent Patent attorney Kensuke Chika (TL or 1 person) No.
1 Figure 0/ / Figure 2 α Fork θ β Figure 3 Figure 4 Figure 5 (C) ♂3 Figure 6

Claims (3)

【特許請求の範囲】[Claims] (1) 絶縁基板と、この絶縁基板上に形成された共通
電極と光電変換膜とこの光電変換膜を介してこの共通電
極と電気的に接続する個別電極とからなる光電変換素子
を複数個配列してなる光電変換部と、この光電変換部に
電気的に接続しかつ前記絶縁基板上に形成された駆動回
路部とを具備するイメージセンサにおいて、相向かいあ
う光電変換素子から細条が延在することを特徴とするイ
メージセンナ。
(1) Arranging a plurality of photoelectric conversion elements each consisting of an insulating substrate, a common electrode and a photoelectric conversion film formed on the insulating substrate, and individual electrodes electrically connected to the common electrode via the photoelectric conversion film. In the image sensor, the image sensor includes a photoelectric conversion section formed by a photoelectric conversion section and a drive circuit section electrically connected to the photoelectric conversion section and formed on the insulating substrate, in which stripes extend from opposing photoelectric conversion elements. An image senna characterized by:
(2) 前記細条は、複数本のすだれ状形状からなるこ
とを特徴とする特許請求の範囲第1項記載のイメージセ
ンサ。
(2) The image sensor according to claim 1, wherein the strip has a plurality of blind-like shapes.
(3) 前記細条は、一本の細片からなることを特徴と
する特許請求の範囲第1項記載のイメージセンナ。
(3) The image sensor according to claim 1, wherein the strip is composed of a single strip.
JP59059440A 1984-03-29 1984-03-29 Image sensor Pending JPS60206061A (en)

Priority Applications (1)

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JP59059440A JPS60206061A (en) 1984-03-29 1984-03-29 Image sensor

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP59059440A JPS60206061A (en) 1984-03-29 1984-03-29 Image sensor

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JPS60206061A true JPS60206061A (en) 1985-10-17

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JP (1) JPS60206061A (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4743955A (en) * 1985-05-01 1988-05-10 Canon Kabushiki Kaisha Photoelectric converting device

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US4743955A (en) * 1985-05-01 1988-05-10 Canon Kabushiki Kaisha Photoelectric converting device

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