JPS5956391A - Elデイスプレイ装置 - Google Patents

Elデイスプレイ装置

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Publication number
JPS5956391A
JPS5956391A JP57166553A JP16655382A JPS5956391A JP S5956391 A JPS5956391 A JP S5956391A JP 57166553 A JP57166553 A JP 57166553A JP 16655382 A JP16655382 A JP 16655382A JP S5956391 A JPS5956391 A JP S5956391A
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JP
Japan
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light
emitting layer
film
display device
display
Prior art date
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Pending
Application number
JP57166553A
Other languages
English (en)
Inventor
樋口 豊喜
宏 伊東
川久 慶人
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Toshiba Corp
Original Assignee
Tokyo Shibaura Electric Co Ltd
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Publication date
Application filed by Tokyo Shibaura Electric Co Ltd filed Critical Tokyo Shibaura Electric Co Ltd
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Publication of JPS5956391A publication Critical patent/JPS5956391A/ja
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 [発明の属する技術分野コ 本発明は、発光ディスプレイ装置に関する。
[従来技術とその問題点] ディスプレイ装置は、最近特に需要が増加しておシ,用
途にあわせて各種のディスプレイ装置が開発されている
。現在、最も多く使われているのは、カラー・ブラウン
管(C−CRT)であり、その長所としては高輝度、高
分解能、低価格等があり短所としては表示面積に比し、
奥行きが大きいこと、内部を真空に保っているため、大
きさが限られることがある。
このC−CRTが、表示面積に比し、大きな容積を必要
とするという欠点を克服するため、エレクトロ・ルミネ
ッセンス(PL)素子、プラズマ・ディスプレイ・パネ
ル(FDP)などの平板状ディスプレイ装置が開発され
ている。しかし、これらのディスプレイ装置は、ほとん
どが単色しか表示できず、カラー化がなされていない。
わずかに、PDPの一部にカラー表示の可能なものもあ
るが、構造が複雑で、信頼性に乏しく、またCC1’L
Tと同様、内部が真空であるため面積に限シがある。
しかも、C−CRTを含め、これらのカラー表示方式は
、第1図に示すように、同一平面上に赤、緑、青の発光
層を重ならないように配置しているため、色ににじみが
出たり、近距離でみると色が分離して見えだりするとい
う欠点がある。
[発明の目的] 本発明は、上述した点に鑑み、構造が単純で、信頼性の
高い、多色表示の可能な薄膜ELディスプレイ装置を提
供するものである。
[発明の概要] 本発明においては、基板上に透明導電膜と、異った発光
波長特性を持つ発光層とを、交互に積層し、最上部に背
面電極を形成して、ディスプレイ装置を構成し、発光層
に、例えば交番電界を印加して、電界による発光素子、
いわゆるEL素子として駆動させる。
発光層として、バンド間遷移を示す物質を選べば、その
EL発光、ピーク波長は、エネルギーギャップEgよシ
、少し小さなエネルギーの所に生じる。従って、EIZ
の異なる物質は、異なる発光波長特性を示す。
そこで、例えばa−8IXCIXのように、組成比Xの
変化で、エネルギー・ギャップEgが変化するような物
質を用いれば、はとんど同じプロセスで、異った発光波
長特性の発光層を積層することができ、組成比Xを選べ
ば、3原色を発光させることができる。
また、そのエネルギー・ギャップEgより大きなエネル
ギー光は、その物質に吸収されるから、光の射出する面
に近い発光層はど、エネルギー・ギャップEgの大きな
ものを選べば、内部からの光が吸収されることなく、外
部に達することができ、発光効率がよくなる。
[発明の効果] 本発明により、従来困難であった薄膜発光ディスプレイ
装置のカラー化が容易に行なえるようになる。真空容器
内部へ構造部品を設けるなどの必要がなく、装置を一固
体として扱えるため、高信頼度であり、低価格化を図る
のも容易となる。また、発光層に非晶質薄膜、例えばa
−8IXC1z膜を用いると、製造面積に対する原理的
制約がなくなり、大面積表示素子を作るのも可能となる
また、本発明によるカラー表示においては、第2図に示
すように、3原色が同じ所から発光するため、従来(第
1図)あった視差がなくなり、さらに高分解能が可能と
なる。
[発明の実施例] 本発明の一実施例を第3図を用いて詳しく説明する。透
明絶縁基板31と1〜で、ガラス基板、または石英ガラ
ス基板を準備する。この基板の片面に透明導電膜32a
として例えば、I’rO膜を形成する。
この基板上に、透明絶縁物33aとして、例えば、Y2
O3膜を形成し、その上に、発光層34aとして、a−
8ixCI X膜(x = 0.1〜0.8 )を形成
した後、さらに、透明絶縁膜35aを積層する。この過
程をちと2回繰り返すことで、透明絶縁膜に覆われた3
層の発光層34a、b、cを形成し、最後に背面電極あ
として例えばhl膜を形成すると、ディスプレイ装置が
得られる。
代表的な膜厚としては、ガラス基板が0.811111
.透明導電膜32が0.1−0.3μm、  透明絶縁
膜33 、35が0.1〜1μm1発光層詞が0.1〜
1μm、背面電極間が0.5〜2μmである。
発光層34 a−sixc、 、 の形成方法としては
、容量結合型プラズマCVD装置を用い、基板温度20
0〜250℃の条件下で、s iH4+ CH4の混合
ガスを真空容器内に導入し、低圧下でグロー放電分解さ
せることによシ、形成する。組成比Xは、S iH4と
CH4の混合比を変えるととで制御する。CH4を多く
すれば青色に近くなる。本実施例においては第1の発光
層34aとして、X=0.3、第2の発光層34bとし
てX=0.5.第3の発光層34cとして、!=0.6
とした。それぞれの発光ピーク波長及びエネルギーギャ
ップEgを表1に示す。このようにすれば色補正フィル
ターも不要となる。
以下余白 表  1 なお、本実施例では、透明基板上に積層しだがこれをA
7 、ステンレスなどの金属基板、あるいは不透明基板
とし、背面電極をAIJでなく透明導電膜としても良い
。その場合、第1の発光層と第3の発光層を交換するこ
とが望ましい。
また、透明導電膜として、ITO膜でなく、5no2膜
、あるいはI’rO膜+SnO2膜などとしても良いし
、透明絶縁膜としてY2O3膜以外にAl2O3,5i
02などを用いても良く、背面電極もAlでな(MO,
ALIなどの他、ITOなどの透明導電膜としても良い
[発明の他の実施例] 上に述べた実施例においては、発光層別を透明絶縁膜3
3.35で覆う構造を示したが、この透明絶縁膜オ、3
5のうちどちらか一方、もしくは両方とも々シ去った構
造とすることも可能である。
このような構造に変えることによって、高電圧に対する
絶縁破壊強度は低下するが、発光開始電圧を1/2程度
にまで下げることができ、駆動回路の製作が容易になる
という利点がある。
また、上に述べた実施例においては、−個で1つの表示
素子であったが、エツチング加工によって、マトリック
ス表示を行うことも可能である。
すなわち、透明導電膜32a、32cをX軸方向にスト
ライプに形成1〜、透明導膜32bと背面電極36をそ
れに直交するy方向にストライブ状に形成して、マトリ
ックス表示を行う。発光層348 % Cはエツチング
加工せずに連続膜として残しておくことができる。
ここで、透明絶縁膜33としてシリコーン等の樹脂材料
を用いることによυ平坦に形成し、その下の透明導電体
32の段差を解消することができる。
さらに、a−8txC1zの形成方法として、テトラメ
チルシラン(8iCCH4)とシラン(S!H4)  
との混合ガスを用いることができる。又、基板温度室温
で分解する方法を用いることにより、透明絶縁膜33に
用いた樹脂の劣化を防ぐことができる。
また、このような方法で、マトリックス表示素子を作る
と、発光層別自身のエツチング加工が不要であるためエ
ツチング加工の難しいa−8ixC1−x膜を発光層ど
して用いても何の不便もない。
第4図(a)は、この様なマトリックス表示を行なう場
合の回路図を示す。発光層34Cによって赤の表示を行
なう場合には、透明電極層32cを例えば接地して、背
面電極側に200vの交番電圧をかける(第4図b)。
赤及び緑を発光させる場合には34bに同時に第4図C
の電圧をかける。白色、即ち全てを発光させる場合には
34aを接地させておくか、強度が異なる場合には第4
図clK示す様に電圧印加し、有効電圧Veffを得れ
ば良い。
【図面の簡単な説明】
第1図は発光層を同一平面に並べた発光素子の断面図、
第2図は発光層を積層した発光素子の断面図、第3図は
ディスプレイ装置の断面図、第4図(a)は回路図、(
b)〜(d)は電圧の波形図である。 図において。 11 、21・・・基板、12.22・・・発光層、1
3 、23・・・眼、31・・・透明絶縁基板、32・
・・透明導電膜、33 、35・・・透明絶縁膜、調・
・・発光層、36・・・背面電極。

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)基板上に発光波長特性の異なる複数の発光層を積
    層するさ共K、各発光層を挾む電極層を設けこの電極層
    の印加電圧を制御して3原色(赤、緑。 青)及び白を発光し得る様にしたことを特徴とするBL
    ディスプレイ装置。
  2. (2)発光層として、a −8iXC1−x (X=0
    .1〜0.8 )を用いることを特徴とする特許 記載のELディスプレイ装置。
  3. (3)発光層の発光波長特性の変化をa  SIXCI
     Xの組成比Xの制御によって生じさせることを特徴と
    する前記特許請求の範囲第2項記載のELディスプレイ
    装置。
  4. (4)光の射出する面に近い発光層ほど、エネルギー・
    ギャップEgの大きなものを積層することを特徴とする
    前記特許請求の範囲第1項、第2項及び第3項記載のK
    Lディスプレイ装置。
JP57166553A 1982-09-27 1982-09-27 Elデイスプレイ装置 Pending JPS5956391A (ja)

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