JPS5923723B2 - Photosensitive resin composition and photosensitive element - Google Patents

Photosensitive resin composition and photosensitive element

Info

Publication number
JPS5923723B2
JPS5923723B2 JP55131322A JP13132280A JPS5923723B2 JP S5923723 B2 JPS5923723 B2 JP S5923723B2 JP 55131322 A JP55131322 A JP 55131322A JP 13132280 A JP13132280 A JP 13132280A JP S5923723 B2 JPS5923723 B2 JP S5923723B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
resin composition
item
photosensitive resin
compound
dihydric alcohol
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired
Application number
JP55131322A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JPS5755914A (en
Inventor
敏明 石丸
勝重 塚田
信行 林
滋 鯉「淵」
麻郎 磯部
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Resonac Corp
Original Assignee
Hitachi Chemical Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Hitachi Chemical Co Ltd filed Critical Hitachi Chemical Co Ltd
Priority to JP55131322A priority Critical patent/JPS5923723B2/en
Priority to DE3136818A priority patent/DE3136818C2/en
Priority to GB8128147A priority patent/GB2085023B/en
Priority to FR8117672A priority patent/FR2490838B1/en
Priority to KR1019810003506A priority patent/KR850001379B1/en
Publication of JPS5755914A publication Critical patent/JPS5755914A/en
Priority to US06/512,660 priority patent/US4499163A/en
Publication of JPS5923723B2 publication Critical patent/JPS5923723B2/en
Priority to SG874/84A priority patent/SG87484G/en
Expired legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Polymerisation Methods In General (AREA)
  • Polyurethanes Or Polyureas (AREA)
  • Macromonomer-Based Addition Polymer (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は感光性樹脂組成物及び感光性エレメントに関す
る。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION The present invention relates to a photosensitive resin composition and a photosensitive element.

更に詳しくは印刷配線板製造、金属精密加工等に使用し
得る優れた特性を有する保護被膜形成用の感光性樹脂組
成物及び該組成物の層と該層を支持する支持体フイルム
とからなる感光性エレメントに関する。感光性エレメン
ト、すなわち支持体フイルム上の実質的に乾燥した感光
性樹脂組成物の層が印刷配線板を製造するためのフオト
レジストとして使用されることはよく知られている。
More specifically, a photosensitive resin composition for forming a protective film having excellent properties that can be used in printed wiring board production, metal precision processing, etc., and a photosensitive resin composition comprising a layer of the composition and a support film supporting the layer. Concerning the sexual element. It is well known that photosensitive elements, ie, layers of substantially dry photosensitive resin compositions on support films, are used as photoresists for producing printed wiring boards.

さらに、半田マスク、化学メツキ用レジスト等に使用可
能な優れた特性を有する感光性樹脂組成物が非常に有用
であることも周知である。半田マスクの主な目的は、半
田付け時の半田付け領域を限定し半田ブリツジ等を防ぐ
こと、裸の銅導体の腐食を防止すること、及び長期にわ
たつて導体間の電気絶縁性を保つことである。
Furthermore, it is well known that photosensitive resin compositions having excellent properties that can be used as solder masks, resists for chemical plating, etc. are very useful. The main purpose of a solder mask is to limit the soldering area during soldering to prevent solder bridging, etc., to prevent corrosion of bare copper conductors, and to maintain electrical insulation between conductors over a long period of time. It is.

これらの目的のため、従来はエポキシ樹脂等の熱硬化性
インク、あるいは光硬化性インクをスクリーン印刷して
いた。しかし、近年、印刷配線板の配線密度が高まり、
それに用いる半田マスクの形成がスクリーン印刷方式で
は精度上困難になつてきた。また、配線密度の向上にと
もない、導体間の電気絶縁性の要求が厳しくなり、導体
保護膜の厚さが最低でも約20μm以上あることが望ま
れ始めた。スクリーン印刷方式では、1回で形成可能な
レジストの平均厚みは高々30μmであり、導体凸部上
の形成されたレジストの最も薄い部分の厚みは10μm
以下にならざるを得ない。2度、3度と重ね印刷をすれ
ば厚膜化は可能であるが、印刷精度及び工程の煩雑化の
ため実質的には非常に困難である。
For these purposes, conventionally, thermosetting inks such as epoxy resins or photocuring inks have been screen printed. However, in recent years, the wiring density of printed wiring boards has increased,
It has become difficult to form the solder masks used for this purpose due to the accuracy of screen printing methods. In addition, with the increase in wiring density, the requirements for electrical insulation between conductors have become stricter, and it has begun to be desired that the thickness of the conductor protective film be at least about 20 μm or more. In the screen printing method, the average thickness of the resist that can be formed at one time is at most 30 μm, and the thickness of the thinnest part of the resist formed on the conductor convex portion is 10 μm.
It has to be the following. Although it is possible to thicken the film by repeating printing two or three times, it is actually very difficult due to the printing precision and the complexity of the process.

そこで、半田マスク形成用の感光性エレメントの出現が
望まれている。感光性樹脂組成物の層の厚みが20μm
以上の感光性エレメントは有用である。印刷配線の導体
厚みは18μm以上のものがほとんどであるので、感光
性樹脂層の厚みが40μm以上の感光性エレメントは特
に有用である。一般に感光性ドライフイルムと称して印
刷配線板の導体パターン形成用に用いられている、エツ
チング又は電解メツキ用の感光性エレメントは耐熱性が
十分でなく、半田マスク形成用には使用できない。
Therefore, the emergence of a photosensitive element for forming a solder mask is desired. The thickness of the layer of photosensitive resin composition is 20 μm
The above photosensitive elements are useful. Since the conductor thickness of most printed wirings is 18 μm or more, a photosensitive element having a photosensitive resin layer thickness of 40 μm or more is particularly useful. Photosensitive elements for etching or electrolytic plating, which are generally called photosensitive dry films and are used for forming conductor patterns on printed wiring boards, do not have sufficient heat resistance and cannot be used for forming solder masks.

そこで耐熱性の良好な、半田マスク形成用に用いうる感
光性エレメント用の酸光性樹脂組成の提案が行なわれて
いる(例えば、特開昭53−56018、特公昭52−
43092、特公昭53−44346)。
Therefore, proposals have been made for acid-photosensitive resin compositions for photosensitive elements that have good heat resistance and can be used for forming solder masks (for example, JP-A-53-56018, JP-B-Sho. 52-
43092, Special Publication No. 53-44346).

それらは、提案の一つの目的である耐熱性に優れている
が、40μm以上の厚い保護膜を形成した場合には、1
25℃と65℃の冷熱衝撃試験で5サイクル以内にクラ
ツクが生じる。クラツクの発生は膜厚が厚くなるほどひ
どくなる。これは印刷配線板の長期の信頼性を考慮しな
ければならないときに大きな問題となる。スクリーン印
刷方式で形成される半田マスクのなかには耐冷熱衝撃性
の良好なものもある。
They have excellent heat resistance, which is one of the purposes of the proposal, but when a thick protective film of 40 μm or more is formed,
Cracks occur within 5 cycles in thermal shock tests at 25°C and 65°C. The occurrence of cracks becomes more severe as the film thickness increases. This becomes a major problem when long-term reliability of printed wiring boards must be considered. Some solder masks formed by screen printing have good resistance to cold and thermal shock.

これはおもに、スクリーン印刷方式で形成される半田マ
スクの厚みが10〜30μmであるためである。他の理
由は、一般に印刷インクは多量のフイラ一を含有してい
るためである。フイラ一の含有が耐冷熱衝撃性の向上に
寄与することは公知である。しかしながら、感光性エレ
メントの場合、その感光性樹脂組成物の層は活性光を照
射する前の段階ですでに実質的に乾燥していなければな
らず、多少ともフイルム性がなければならない。このこ
とは、感光性樹脂組成物の層が、フイルム性を付与する
のを一つの目的として、線状高分子化合物を含有するこ
とを必須の条件としていることを意味する。このため、
線状高分子化合物、活性光感受性化合物及び増感剤の他
に多量のフイラ一を含有させることは困難である。さら
に、本発明者らが種々検討したところ、感光性エレメン
トの場合、その感光性樹脂組成物の層に約10重量%以
上のフイラ一を含有させると、確かにそれにより形成さ
れた半田マスクの耐冷熱衝撃性は向上するが、主要な特
性の一つである半田耐熱性が低下し、実用的でないこと
がわかつた。
This is mainly because the thickness of the solder mask formed by the screen printing method is 10 to 30 μm. Another reason is that printing inks generally contain large amounts of filler. It is known that the inclusion of a filler contributes to improving cold shock resistance. However, in the case of a photosensitive element, the layer of the photosensitive resin composition must already be substantially dry before irradiation with actinic light and must have some film properties. This means that the layer of the photosensitive resin composition must contain a linear polymer compound for the purpose of imparting film properties. For this reason,
It is difficult to contain a large amount of filler in addition to the linear polymer compound, active photosensitive compound, and sensitizer. Further, as a result of various studies conducted by the present inventors, in the case of a photosensitive element, if the layer of the photosensitive resin composition contains about 10% by weight or more of filler, it is true that the solder mask formed thereby It was found that although the thermal shock resistance was improved, the soldering heat resistance, which is one of the main properties, was reduced, making it impractical.

スクリーン印刷用光硬化性インクに用いる化合物として
、種々のウレタン(メタ)アクリレート化合物(ウレタ
ンアクリレート化合物又はウレタンメタアクリレート化
合物、以下同じ)が、耐熱性に優れているとして、提案
されている。しかし、それらを光硬化性インクと異なり
通常像的露光・現像を伴う本発明が目的とする感光性エ
レメントに応用しようとするときには大きな困難が生じ
る。その第1の困難は、提案されているウレタン(メタ
)アクリレート化合物の多くが線状高分子化合物、特に
種々の特性で好適なビニル系共重合線状高分子化合物と
相溶しないか、あるいは相溶性が著しく悪いことである
。第2の困難は感光性エレメントの現像に用いる不燃性
溶剤、特に一般に最も多用されている1・1・1−トリ
クロロエタン系溶剤に、提案されているウレタン(メタ
)アクリレート化合物の多くが不溶であることである。
特公昭51−15733にはかかる困難を解決したウレ
タン(メタ)アクリレート化合物が示されている。しか
しながらそこに示された組成物は半田マスク形成用とし
ては可撓性、耐熱性等の点で使用できない。本発明の目
的は半田マスク形成に用いうる耐熱性に優れ、且つ、耐
冷熱衝撃性に優れた感光性樹脂組成物及び該組成物の層
と該層を支持する支持体フイルムとからなる感光性エレ
メントを提供することである。
As compounds for use in photocurable inks for screen printing, various urethane (meth)acrylate compounds (urethane acrylate compounds or urethane methacrylate compounds, hereinafter the same) have been proposed as having excellent heat resistance. However, great difficulties arise when attempting to apply them to the photosensitive elements targeted by the present invention, which, unlike photocurable inks, usually involve imagewise exposure and development. The first difficulty is that many of the urethane (meth)acrylate compounds that have been proposed are either incompatible or incompatible with linear polymer compounds, especially vinyl copolymer linear polymer compounds that are suitable for various properties. The solubility is extremely poor. The second difficulty is that many of the proposed urethane (meth)acrylate compounds are insoluble in the nonflammable solvents used for developing photosensitive elements, especially the 1,1,1-trichloroethane solvent that is most commonly used. That's true.
Japanese Patent Publication No. 51-15733 discloses a urethane (meth)acrylate compound that overcomes these difficulties. However, the composition disclosed therein cannot be used for forming a solder mask due to its flexibility and heat resistance. The object of the present invention is to provide a photosensitive resin composition that can be used in the formation of a solder mask and has excellent heat resistance and cold shock resistance, and a photosensitive resin composition comprising a layer of the composition and a support film that supports the layer. It is to provide elements.

本発明は (a) (イ)トリメチルヘキサメチレンジイソシアナ
ート、((ニ)2価アルコール及び(ハ)2価アルコー
ルの(メタ)アクリル酸モノエステル(アクリル酸モノ
エステル又はメタアクリル酸モノエステルを指す、以下
同じ)を反応させて得られるウレタンジ(メタ)アクリ
レート化合物(ウレタンジアクリレート化合物又はウレ
タンジメタクリレート化合物を指す、以下同じ)20〜
75重量部(b)ガラス転移温度が約40〜150℃の
線状高分子化合物、20〜75重量部ならびに (c)活性光により遊離ラジカルを生成する増感剤また
は(および)増感剤系を含有する感光性樹脂組成物に関
する。
The present invention comprises (a) (b) trimethylhexamethylene diisocyanate, ((d) dihydric alcohol, and (c) (meth)acrylic acid monoester of dihydric alcohol (acrylic acid monoester or methacrylic acid monoester). 20~
75 parts by weight (b) 20 to 75 parts by weight of a linear polymer compound having a glass transition temperature of about 40 to 150° C. and (c) a sensitizer or (and) a sensitizer system that generates free radicals by actinic light. The present invention relates to a photosensitive resin composition containing the following.

さらに本発明は、 (a) (イ)トリメチルヘキサメチレンジイソシアナ
ート(口)2価アルコール及び(ノ→2価アルコールの
アクリル酸モノエステル又はメタアクリル酸モノエステ
ルを反応させて得られるウレタンジアクリレート化合物
又はウレタンジメタクリレート化合物、20〜75重量
部(b)ガラス転移温度が約40〜15『Cの線状高分
子化合物、20〜75重量部ならびに (c)活性光により遊離ラジカルを生成する増感剤又は
(及び)増感剤系を含有する感光性樹脂組成物の層と該
層を支持する支持体フイルムからなる感光性エレメント
に関する。
Furthermore, the present invention provides (a) (i) trimethylhexamethylene diisocyanate (i) urethane diacrylate obtained by reacting a dihydric alcohol and an acrylic acid monoester or methacrylic acid monoester of a dihydric alcohol. compound or urethane dimethacrylate compound, 20 to 75 parts by weight; (b) a linear polymeric compound having a glass transition temperature of approximately 40 to 15% by weight; The present invention relates to a photosensitive element comprising a layer of a photosensitive resin composition containing a sensitizer or/and a sensitizer system and a support film supporting the layer.

本発明の提案する感光性樹脂組成物について以≧※下に
詳細に説明する。
The photosensitive resin composition proposed by the present invention will be described in detail below.

本発明の提案する感光性樹脂組成物は、(イ)トリメチ
ルヘキサメチレンジイソシアナート、(口)2価アルコ
ール、及びヒう2価アルコールの(メタ)アクリル酸モ
ノエステルを反応させて得られる、ウレタンジ(メタ)
アクリレート化合物を必須成分として含有する。
The photosensitive resin composition proposed by the present invention is obtained by reacting (a) trimethylhexamethylene diisocyanate, a dihydric alcohol, and a (meth)acrylic acid monoester of dihydric alcohol. Urethane (meta)
Contains an acrylate compound as an essential component.

(イ)のトリメチルヘキサメチレンジイソシアナートと
しては例えば西独のヴエバ・ヘミ一(VebaChem
ie)社が製造し、国内ではTMDIの略称で堺商事(
株)が販売しているものが用いられる。
As trimethylhexamethylene diisocyanate (a), for example, Veba Chem of West Germany
It is manufactured by Sakai Shoji Co., Ltd., and is known as TMDI in Japan.
The one sold by Co., Ltd. is used.

これは、2・2・4−トリメチルヘキサメチレンジイソ
シアナートと2・4・4−トリメチルヘキサメチレンジ
イソシアナートの混合物である。(ロ)及び(ハ)の2
価アルコールとしてはメチレングリコール、エチレング
リコール、ジエチレングリコール、トリエチレングリコ
ール、テトラエチレングリコール、プロピレングリコー
ル、ジプロピレングリコール、1・4−プタンジオール
、1・) 3−ブタンジオール、2・3−ブタンジオー
ル、1・5−ペンタンジオール、1・6−ヘキサンジオ
ール、1・10−デカンジオール、ネオペンチルグリコ
ール、1・4−シクロヘキサンジメタノール、ビス(2
−ヒドロキシエチル)テレフタレ5 −ト、2・2−ビ
ス(4−ヒドロキシエトキシフエニル)プロパン、2・
2−ビス(4−ヒドロキシ・ジエトキシフエニル)プロ
パンなどがある。ヒ→の2価アルコールの(メタ)アク
リル酸モノエステルとしては2−ヒドロキシエチル(メ
タ)つ アクリレート、2−ヒドロキシプロピル(メタ
)アクリレート等が用いられる。(ロ)の2価アルコー
ルと(ハ)の2価アルコールとは同一の2価アルコール
を用いても異なる2価アルコールを用いてもよい。
This is a mixture of 2,2,4-trimethylhexamethylene diisocyanate and 2,4,4-trimethylhexamethylene diisocyanate. (b) and (c)-2
The alcohols include methylene glycol, ethylene glycol, diethylene glycol, triethylene glycol, tetraethylene glycol, propylene glycol, dipropylene glycol, 1,4-butanediol, 1.) 3-butanediol, 2,3-butanediol, 1・5-pentanediol, 1,6-hexanediol, 1,10-decanediol, neopentyl glycol, 1,4-cyclohexanedimethanol, bis(2
-hydroxyethyl) terephthalate, 2,2-bis(4-hydroxyethoxyphenyl)propane, 2.
Examples include 2-bis(4-hydroxy diethoxyphenyl)propane. As the (meth)acrylic acid monoester of a dihydric alcohol, 2-hydroxyethyl (meth)acrylate, 2-hydroxypropyl (meth)acrylate, etc. are used. The dihydric alcohol (b) and the dihydric alcohol (c) may be the same dihydric alcohol or different dihydric alcohols.

得られるウレタンジ(メ5夕)アクワレート化合物は式
1で表わされる。メチルヘキサメチレン基である。nは
O又は正の整数であり、実際に得られる反応生成物はn
の値の異なるウレタンジ(メタ)アクリレート化合物の
混合物である。本発明のウレタンジ(メタ)アクリレー
ト化合物を合成する場合、(イ)のトリメチルヘキサメ
チレンジイソシアナートのイソシアナート当量と、(口
)の2価アルコール及び(ハ)の2価アルコールの(メ
タ)アクリル酸モノエステルの合計のアルコール当量が
ほぼ等しくなるように反応させる(イ)のトリメチルヘ
キサメチレンジイソシアナート、(口)の2価アルコー
ル及び(ハ)の2価アルコールの(メタ)アクリル酸モ
ノエステルの量を決めることが好ましいが、イソシアナ
ート当量がアルコール当量に対して小過剰であつても小
し不足してもかまわない。
The resulting urethane di(metate) acquarate compound is represented by formula 1. It is a methylhexamethylene group. n is O or a positive integer, and the reaction product actually obtained is n
It is a mixture of urethane di(meth)acrylate compounds with different values of . When synthesizing the urethane di(meth)acrylate compound of the present invention, the isocyanate equivalent of (a) trimethylhexamethylene diisocyanate, the dihydric alcohol (g), and the (meth)acrylic acid of the dihydric alcohol (c) Trimethylhexamethylene diisocyanate (a), dihydric alcohol (g), and (meth)acrylic acid monoester of dihydric alcohol (c), which are reacted so that the total alcohol equivalents of the acid monoesters are approximately equal. It is preferable to determine the amount of isocyanate equivalent, but it does not matter if the isocyanate equivalent is in slight excess or in short supply with respect to the alcohol equivalent.

イソシアナート当量がアルコール当量に対して小過剰の
場合は最終的に過剰のイソシアナート基をメタノールな
どの1価のアルコールと反応させ、フリーのイソシアナ
ート基をなくすことができる。反応させる(口)の2価
のアルコールのアルコール当量と、(ハ)の2価アルコ
ールの(メタ)アクリル酸モノエステルのアルコール当
量の比を1にすれば(但し、反応させるトリメチルヘキ
サメチレンジイソシアナートのイレシアナート当量と全
アルコール当量はほぼ等しくする)nの数平均値は1に
なる。
When the isocyanate equivalent is in slight excess over the alcohol equivalent, the excess isocyanate groups can be finally reacted with a monohydric alcohol such as methanol to eliminate free isocyanate groups. If the ratio of the alcohol equivalent of the dihydric alcohol to be reacted (1) to the alcohol equivalent of the (meth)acrylic acid monoester of the dihydric alcohol (c) is 1 (however, the trimethylhexamethylene diisocyanate to be reacted is The number average value of n is 1.

構成炭素原子数の大きな2価アルコールを使用すると形
成される半田マスクの耐冷熱衝撃性は向上するが、耐熱
性が低下する。
When a dihydric alcohol having a large number of constituent carbon atoms is used, the cold shock resistance of the formed solder mask improves, but the heat resistance decreases.

逆に構成炭素原子数の小さな2価アルコールを使用する
と形成される半田マスクの耐熱性はより向上するが、耐
冷熱衝撃性は低下する。沖)及びヒラの2価アルコール
の構成炭素原子数は1〜23個が好ましい。構成炭素原
子数の大きい2価アルコールを使用する場合の耐熱性の
低下は改善可能である。すなわち、反応させる(口)の
2価アルコールのアルコール当量を、(ハ)の2価アル
コールの(メタ)アクリル酸モノエステルのアルコール
当量より少なくし(但し、反応させるトリメチルヘキサ
メチレンジイソシアナートのイソシアナート当量と全ア
ルコール当量はほぼ等しくする)nの数平均値を1以下
にすることにより耐熱性の低下を改善できる。構成炭素
原子数の小さい2価アルコールを使用する場合の耐冷熱
衝撃性の低下は同様に改善可能である。
On the other hand, if a dihydric alcohol having a small number of carbon atoms is used, the heat resistance of the formed solder mask will be further improved, but the cold shock resistance will be lowered. The number of carbon atoms constituting the dihydric alcohol (Oki) and Hira is preferably 1 to 23. It is possible to improve the decrease in heat resistance when using a dihydric alcohol having a large number of constituent carbon atoms. That is, the alcohol equivalent of the dihydric alcohol to be reacted (1) is lower than the alcohol equivalent of the (meth)acrylic acid monoester of the dihydric alcohol (3) (however, the isocyanate of trimethylhexamethylene diisocyanate to be reacted is The decrease in heat resistance can be improved by setting the number average value of n to 1 or less. The decrease in cold shock resistance when using a dihydric alcohol having a small number of constituent carbon atoms can be similarly improved.

すなわち、反応させる(口)の2価アルコールのアルコ
ール当量を、ヒ→の2価アルコールの(メタ)アクリル
酸モノエステルのアルコール当量より多くし(但し、反
応させるトリメチルヘキサメチレンジイソシアナートの
イソシアナート当量と全アルコール当量はほぼ等しくす
る)nの数平均値を1以上にすることにより耐冷熱衝撃
性の低下を改善できる。すなわち、耐熱性と耐冷熱衝撃
性のバランスを考慮すると(メタ)アクリロイル基(ア
クリロイル基又はメタアクリロイル基を指す、以下同じ
)の濃度の好ましい範囲がある。本発明者らが種々検討
した結果、1×10−3〜4.5×10−3当量/yの
(メタ)アクリロイル基を含んでいるウレタンジ(メタ
)アクリレート化合物(混合物)を用いた感光性樹脂組
成物を使用して形成した半田マスクは耐熱性と耐冷熱衝
撃性のバランスに優れていることがわかつた。半田マス
クにより導体が保護された印刷配線板の耐電食性を考慮
すると、反応させる(口)の2価アルコールとしては、
1・4−ブタンジオール、1・3−ブタンジオール、1
・5−ペンタンジオール、1・6−ヘキサンジオール、
1・4−シクロヘキサンジメタノールなど、残基中にエ
ーテル結合等の親水性基を含まない2価アルコールが好
ましい。ウレタンジ(メタ)アクリレート化合物の含有
量は耐熱性及び耐冷熱衝撃性から20〜75重量部の範
囲とされる。本発明になる感光性樹脂組成物は、ガラス
転移温度が約40〜150℃の線状高分子化合物を必須
成分として含有する。
That is, the alcohol equivalent of the dihydric alcohol to be reacted is greater than the alcohol equivalent of the (meth)acrylic acid monoester of the dihydric alcohol of H → (However, the isocyanate of trimethylhexamethylene diisocyanate to be reacted (The equivalent weight and the total alcohol equivalent weight should be approximately equal.) By setting the number average value of n to 1 or more, it is possible to improve the deterioration of the thermal shock resistance. That is, in consideration of the balance between heat resistance and cold shock resistance, there is a preferable range of the concentration of the (meth)acryloyl group (referring to an acryloyl group or a methacryloyl group, the same applies hereinafter). As a result of various studies by the present inventors, photosensitivity using a urethane di(meth)acrylate compound (mixture) containing a (meth)acryloyl group of 1 x 10-3 to 4.5 x 10-3 equivalent/y It was found that the solder mask formed using the resin composition has an excellent balance of heat resistance and cold shock resistance. Considering the electrolytic corrosion resistance of a printed wiring board whose conductors are protected by a solder mask, the dihydric alcohol to be reacted is as follows:
1,4-butanediol, 1,3-butanediol, 1
・5-pentanediol, 1,6-hexanediol,
Dihydric alcohols that do not contain hydrophilic groups such as ether bonds in their residues, such as 1,4-cyclohexanedimethanol, are preferred. The content of the urethane di(meth)acrylate compound is in the range of 20 to 75 parts by weight from the viewpoint of heat resistance and cold shock resistance. The photosensitive resin composition of the present invention contains as an essential component a linear polymer compound having a glass transition temperature of about 40 to 150°C.

ガラス転移温度が約40℃未満では形成される半田マス
クの耐熱性が低い。
When the glass transition temperature is less than about 40° C., the formed solder mask has low heat resistance.

ガラス転移温度が約150′Cを越えるとウレタンジ(
メタ)アクリレート化合物との相溶性が悪くなり、支持
体フイルムまたは基板上に感光性樹脂組成物の層を形成
できなくなる。ビニル共重合線状高分子化合物は、ウレ
タンジ(メタ)アクリレート化合物との相溶性、及び印
刷配線基板と感光性樹脂組成物の層との密着性の点で好
ましい。線状高分子化合物の共重合成分としては各種の
ビニル単量体を用いることができる。ビニル単量体の適
当な例としては、メタクリル酸メチル、メタクリル酸ブ
チル、アクリル酸エチル、スチレン、α−メチルスチレ
ン、ビニルトルエン、2−ヒドロキシエチルメタクリレ
ート、2−ヒドロキシプロピルメタクリレート、2−ヒ
ドロキシエチルアクリレート、アクリル酸、メタクリル
酸、グリシジルメタクリレート、tブチルアミノエチル
メタクリレート、2・3−ジブロモプロピルメタクリレ
ート、3−クロロ−2ヒドロキシプロピルメタクリレー
ト、アクリルアミドおよびアクリロニトリル等を挙げ得
る。形成される半田マスクに難燃性が必要な場合は、共
重合成分としてブロム原子を含有する単量体の使用が可
能である。線状高分子化合物中のブロム原子の含有量と
しては40重量%までが適当で、40重量%を越えると
耐冷熱衝撃性が低下する。
When the glass transition temperature exceeds about 150'C, urethane di(
The compatibility with the meth)acrylate compound deteriorates, making it impossible to form a layer of the photosensitive resin composition on the support film or substrate. The vinyl copolymerized linear polymer compound is preferable in terms of compatibility with the urethane di(meth)acrylate compound and adhesion between the printed wiring board and the layer of the photosensitive resin composition. Various vinyl monomers can be used as the copolymerization component of the linear polymer compound. Suitable examples of vinyl monomers include methyl methacrylate, butyl methacrylate, ethyl acrylate, styrene, alpha-methylstyrene, vinyltoluene, 2-hydroxyethyl methacrylate, 2-hydroxypropyl methacrylate, 2-hydroxyethyl acrylate. , acrylic acid, methacrylic acid, glycidyl methacrylate, t-butylaminoethyl methacrylate, 2,3-dibromopropyl methacrylate, 3-chloro-2hydroxypropyl methacrylate, acrylamide and acrylonitrile. If flame retardancy is required for the solder mask to be formed, a monomer containing a bromine atom can be used as a copolymerization component. The content of bromine atoms in the linear polymer compound is suitably up to 40% by weight, and if it exceeds 40% by weight, the thermal shock resistance will decrease.

ブロム原子を含有する単量体としてはトリプロモフエニ
ル(メタ)アクリレート(トリブロモフェニルアクリレ
ート又はトリブロモフェニルメタアクリレートを指す、
以下同じ)が好適である。トリプロモフエニル(メタ)
アクリレートの共重合量としては、5重量%未満では難
燃性への効果が共重合しないものと大差なく、65重量
%を越えると耐冷熱衝撃性が低下する。難燃性にとつて
三酸化アンチモンの併用は効果的である。しかし、感光
性樹脂組成物中の三酸化アンチモンの含有量が5重量%
を越えると形成される半田マスクの耐熱性等に悪い影響
が出る。感光性樹脂組成物中の線状高分子化合物の含有
量は耐熱性及び耐熱衝撃性の点から20〜75重量部の
範囲とされる。
Monomers containing bromine atoms include tripromophenyl (meth)acrylate (tribromophenyl acrylate or tribromophenyl methacrylate);
(same below) is preferred. Tripromophenyl (meth)
As for the amount of copolymerized acrylate, if it is less than 5% by weight, the effect on flame retardancy is not much different from that without copolymerization, and if it exceeds 65% by weight, the cold shock resistance will decrease. Combination use of antimony trioxide is effective for flame retardancy. However, the content of antimony trioxide in the photosensitive resin composition is 5% by weight.
Exceeding this will have a negative effect on the heat resistance of the formed solder mask. The content of the linear polymer compound in the photosensitive resin composition is in the range of 20 to 75 parts by weight from the viewpoint of heat resistance and thermal shock resistance.

本発明の提案する感光性樹脂組成物は、活性光により遊
離ラジカルを生成する増感剤または(および)増感剤系
を必須成分として含有する。
The photosensitive resin composition proposed by the present invention contains as an essential component a sensitizer or/and a sensitizer system that generates free radicals by actinic light.

使用できる増感剤としては、置換または非置換の多核キ
ノン類、例えば、2−エチルアントラキノン、2−t−
ブチルアントラキノン、オクタメチルアントラキノン、
1・2−ベンズアントラキノン、2・3−ジフエニルア
ントラキノン等、ジアセチルおよびベンジル等のケトン
アルドニル化合物、ベンゾイン、ピバロン等のα−ケタ
ルドニルアルコール類およびエーテル類、α一炭化水素
置換芳香族アシロイン類、例えばα−フエニルーベンゾ
イン、α・α−ジエトキシアセトフエノン等、ベンゾフ
エノン、4・4′−ビスジアルキルアミノベンゾフエノ
ン等の芳香族ケトン類を例示でき、これらは単独でも組
合せてもよい。使用できる増感剤系としては2・4・5
−トリアリールイミダゾールニ量体と2−メルカプトベ
ンゾキナゾ;−ル、ロイコクリスタルバイオレツト、ト
リス(4−ジエチルアミノ−2−メチルフエニル)メタ
ン等との組合せを例示できる。また、それ自体で光開始
性はないが、前述した物質と組合せて用いることにより
全体として光開始性能のより良好な増感剤系となるよう
な添加剤を用いることができる。例えばベンゾフエノン
に対するトリエタノールアミン等の三級アミンなどであ
る。これら増感剤または(および)増感剤系は上記の(
a)ウレタンジ(メタ)アクリレートおよび(b)線状
高分子化合物に対して0.5〜10重量%含有されるこ
とが好ましい。本発明の感光性樹脂組成物は、さらに他
の光重合性不飽和化合物を含有することも可能である。
他の光重合性不飽和化合物の例としてはトリメチロール
プロパントリアクリレート、ペンタエリスリトールトリ
アクリレート、テトラエチレングリコールジアクリレー
ト等を挙げ得る。また特開昭53−56018に示され
る重合性不飽和化合物をも用いることができる。
Sensitizers that can be used include substituted or unsubstituted polynuclear quinones, such as 2-ethylanthraquinone, 2-t-
Butylanthraquinone, octamethylanthraquinone,
1,2-benzanthraquinone, 2,3-diphenylanthraquinone, etc., ketone aldonyl compounds such as diacetyl and benzyl, α-ketaldonyl alcohols and ethers such as benzoin, pivalone, α-monohydrocarbon substituted aromatic acyloin Examples include aromatic ketones such as α-phenyl-benzoin, α・α-diethoxyacetophenone, benzophenone, and 4,4′-bisdialkylaminobenzophenone, which may be used alone or in combination. good. Sensitizer systems that can be used include 2, 4, and 5.
Examples include combinations of the -triarylimidazole dimer and 2-mercaptobenzoquinazole, leuco crystal violet, tris(4-diethylamino-2-methylphenyl)methane, and the like. Additionally, additives can be used which do not have photoinitiating properties by themselves, but which, when used in combination with the above-mentioned substances, result in a sensitizer system with better photoinitiating performance as a whole. Examples include tertiary amines such as triethanolamine for benzophenone. These sensitizers or (and) sensitizer systems are
It is preferably contained in an amount of 0.5 to 10% by weight based on a) urethane di(meth)acrylate and (b) linear polymer compound. The photosensitive resin composition of the present invention may further contain other photopolymerizable unsaturated compounds.
Examples of other photopolymerizable unsaturated compounds include trimethylolpropane triacrylate, pentaerythritol triacrylate, and tetraethylene glycol diacrylate. Furthermore, polymerizable unsaturated compounds disclosed in JP-A-53-56018 can also be used.

しかし、これら他の光重合性不飽和化合物の含有量は、
耐熱性と耐冷熱衝撃性のバランスから、上記の(a)ウ
レタンジ(メタ)アクリレートおよび(b)線状高分子
化合物に対して20重量%以下であることが好ましく、
10重量%以下であることが特に好ましい。他の光重合
性不飽和化合物は、耐溶剤性、密着性など他の特性をさ
らに向上するために添加しうるが、分子内にリン酸基を
含む(メタ)アクリル酸エステル(アクリル酸エステル
又はメタアクリル酸エステルを指す、以下同じ)は形成
される半田マスクと印刷配線基板との密着性をさらに向
上するために好ましい。分子内にリン酸基を含む(メタ
)アクリル酸エステルとしては日本化薬(株)製のKA
YAMER(B)シリーズのPM−1、PM−2、PA
−1またはPA−2、油脂製品(株)製のホスマ一M[
F](アシツドフオスフオキシエチルメタクリレート)
、ホスマ一CL8(3−クロロ−2−アシツドフオスフ
オキシプロピルメタクリレート)等がある。
However, the content of these other photopolymerizable unsaturated compounds is
In view of the balance between heat resistance and cold shock resistance, it is preferably 20% by weight or less based on the above (a) urethane di(meth)acrylate and (b) linear polymer compound,
Particularly preferred is 10% by weight or less. Other photopolymerizable unsaturated compounds may be added to further improve other properties such as solvent resistance and adhesion. Methacrylic acid ester (hereinafter the same) is preferable in order to further improve the adhesion between the formed solder mask and the printed wiring board. As a (meth)acrylic acid ester containing a phosphate group in the molecule, KA manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.
YAMER (B) series PM-1, PM-2, PA
-1 or PA-2, Hosma-1 M [manufactured by Yushi Products Co., Ltd.]
F] (acid phosphorus oxyethyl methacrylate)
, Phosma-CL8 (3-chloro-2-acidophoxypropyl methacrylate), and the like.

これらの分子内にリン酸基を含む(メタ)アクリル酸エ
ステルの含有量は上記の(a)ウレタンジ(メタ)アク
リレートおよび(b)線状高分子化合物に対して0.0
1〜5重量%が好ましい。更に、本発明の感光性樹脂組
成物はさらに他の副次的成分を含有することができる。
The content of (meth)acrylic acid ester containing a phosphoric acid group in these molecules is 0.0 with respect to the above (a) urethane di(meth)acrylate and (b) linear polymer compound.
1 to 5% by weight is preferred. Furthermore, the photosensitive resin composition of the present invention can further contain other subsidiary components.

副次的成分としては熱重合防止剤、染料、顔料、塗工性
向土剤等であり、これらの選択は通常の感光性樹脂組成
物と同様の考慮のもとに行なわれる。次に本発明の提案
する感光性エレメントについて以下に詳細に説明する。
Sub-components include thermal polymerization inhibitors, dyes, pigments, soil-promoting agents, etc., and the selection of these is made based on the same considerations as for ordinary photosensitive resin compositions. Next, the photosensitive element proposed by the present invention will be explained in detail below.

本発明の提案する感光性エレメントは支持体フイルム上
に上記で詳細に説明した感光性樹脂組成物の層を形成す
ることにより得られる。
The photosensitive element proposed by the present invention can be obtained by forming a layer of the photosensitive resin composition described in detail above on a support film.

支持体フイルム上への感光性樹月酷甘成物の層の形成は
常法により行なうことができる。たとえば感光性樹脂組
成物をメチルエチルケトン、トルエン、塩化メチレン等
の有機溶剤に均一に溶解させ(但し、三酸化アンチモン
、顔料等は均一に分散させ)、この溶液を該支持体フイ
ルム上にナイフコート法、ロールコート法等で塗布し、
乾燥して行なわれる。感光層中の残存溶剤量は特性保持
のために2重量%以下おさえることが好ましく、1重量
%以下におさえることが特に好ましい。本発明に用いら
れる支持体フイルムは感光性エレメントの製造時に必要
な耐熱性、耐溶剤性を有していることが必要で、活性光
に対し透明であつても不透明であつてもよい。
The layer of the photosensitive hardened sweetener can be formed on the support film by a conventional method. For example, a photosensitive resin composition is uniformly dissolved in an organic solvent such as methyl ethyl ketone, toluene, or methylene chloride (however, antimony trioxide, pigments, etc. are uniformly dispersed), and this solution is coated on the support film using a knife coating method. , applied by roll coating method etc.
It is done dry. The amount of residual solvent in the photosensitive layer is preferably kept to 2% by weight or less, particularly preferably 1% by weight or less, in order to maintain properties. The support film used in the present invention must have heat resistance and solvent resistance necessary for the production of photosensitive elements, and may be transparent or opaque to actinic light.

好ましい例として、ポリエステルフイルム、ポリイミド
フイルム等公知のフイルムを挙げることができる。長尺
の感光性エレメントを製造する場合は、製造の最終段階
で該エレメントをロール状に巻き取る。
Preferred examples include known films such as polyester film and polyimide film. When producing a long photosensitive element, the element is wound into a roll at the final stage of production.

この場合、感圧性粘着テープ等で公知の方法を用い、背
面処理した支持体フイルムを用いることにより、ロール
状に巻き取つたときの感光性樹脂組成物の層の支持体フ
イルム背面への転着を防ぐことが可能である。同じ目的
、塵の付着を防ぐ目的等で該エレメントの感光性樹脂組
成物の層上に剥離可能なカバーフイルムを積層すること
が好ましい。剥離可能なカバーフイルムの例としては、
ポリエチレンフイルム、ポリプロピレンフイルム、テフ
ロンフイルム、表面処理をした紙等があり、カバーフイ
ルムを剥離するときに感光性樹脂組成物の層と支持体フ
イルムとの接着力よりも、感光性樹脂組成物の層とカバ
ーフイルムとの接着力がより小さいものであればよい。
In this case, by using a backside-treated support film using a method known for pressure-sensitive adhesive tapes, etc., the transfer of the photosensitive resin composition layer to the backside of the support film when it is wound into a roll can be avoided. It is possible to prevent this. For the same purpose, such as preventing dust from adhering, it is preferable to laminate a removable cover film on the photosensitive resin composition layer of the element. Examples of removable cover films include:
Polyethylene film, polypropylene film, Teflon film, surface-treated paper, etc. are used. It is sufficient if the adhesive force between the cover film and the cover film is smaller.

本発明の感光性エレメントを構成する感光性樹脂組成物
の層の厚さは、適用する印刷配線板の導体間の高度の電
気絶縁性を保持するため、また、形成される半田マスク
パターンの解像度の点から20〜2001tmであるこ
とが好ましい。
The thickness of the layer of the photosensitive resin composition constituting the photosensitive element of the present invention is determined in order to maintain a high degree of electrical insulation between the conductors of the printed wiring board to which it is applied, and to maintain the resolution of the solder mask pattern to be formed. From this point of view, it is preferably 20 to 2001 tm.

次に、本発明の提案する感光性エレメントの使用方法の
例について説明する。本発明の提案する感光性エレメン
トの基板上への積層は容易である。
Next, an example of how to use the photosensitive element proposed by the present invention will be described. The photosensitive element proposed by the present invention can be easily laminated onto a substrate.

すなわち、カバーフイルムのない場合はそのまま、カバ
ーフイルムのある場合はカバーフイルムを剥離して又は
剥離しながら、加熱・加圧積層する。加熱・加圧積層は
印刷配線板製造業者では周知の常圧ラミネータを用いて
行なうことができる。基板が、導体配線ラインの形成さ
れた印刷配線板のように10μm以上の凹凸のあるもの
の場合は、減圧下又は真空下で積層することが好ましい
。このための装置としては特開昭52−52703号又
は特公昭55−13341号に記載される積層装置等が
ある。
That is, when there is no cover film, the layers are laminated as is, and when there is a cover film, the layers are laminated with heat and pressure while peeling or peeling off the cover film. Heat and pressure lamination can be carried out using an atmospheric pressure laminator well known to printed wiring board manufacturers. When the substrate has irregularities of 10 μm or more, such as a printed wiring board on which conductive wiring lines are formed, it is preferable to laminate under reduced pressure or vacuum. As an apparatus for this purpose, there is a laminating apparatus described in Japanese Patent Application Laid-Open No. 52-52703 or Japanese Patent Publication No. 55-13341.

積層後の露光および現像処理は常法により行ない得る。Exposure and development treatments after lamination can be carried out by conventional methods.

すなわち、支持体フイルムが活性光に不透明である場合
は支持体フイルムを剥離した後、高圧水銀灯、超高圧水
銀灯等の光源を用い、ネガマスクを通して像的に露光す
る。露光前後の50℃ないし100℃での加熱処理は基
板と感光性樹脂層との密着性を高めるために好ましい。
現像液には1・1・1−トリクロルエタン等の溶剤が用
いられる。
That is, when the support film is opaque to actinic light, after peeling off the support film, it is exposed imagewise through a negative mask using a light source such as a high-pressure mercury lamp or an ultra-high-pressure mercury lamp. Heat treatment at 50° C. to 100° C. before and after exposure is preferred in order to improve the adhesion between the substrate and the photosensitive resin layer.
A solvent such as 1,1,1-trichloroethane is used as the developer.

不燃性溶剤の使用は安全上好ましい。このような方法で
得られた像的な保護被膜は通常のエツチング、めつき等
のための耐食膜となるが、現像後の80℃ないし200
℃での加熱処理及び活性光の露光により更に優れた特性
を有する保護被膜となる。
The use of nonflammable solvents is preferred for safety reasons. The image-like protective film obtained by this method serves as a corrosion-resistant film for ordinary etching, plating, etc.
Heat treatment at ℃ and exposure to actinic light result in a protective film with even better properties.

現像後の加熱処理及び活性光の露光の順序はどちらが先
でもよく、またそれぞれを何度かに分けて行なつてもよ
い。現像後の加熱処理及び活性光の露光によつて得られ
る保護被膜はトリクレン、メチルエチルケトン、イソプ
ロピルアルコール、トルエン等の有機溶剤に十分耐え、
酸性水溶液又はアルカリ水溶液にも耐える。更に、耐熱
性に優れ、耐冷熱衝撃性にも優れているので長期の信頼
性を要求される半田マスク等の永久的な保護被膜として
好適である。また、本発明の提案する感光性樹脂組成物
の溶液をデツプコート法、フローコート法等で基板に直
接塗布し、溶剤乾燥後、直接あるいはポリエステルフイ
ルム等の活性光に透明なフイルムを積層後、前記の感光
性エレメントの場合と同様にして、ネガマスクを通して
像的に露光し、現像し、さらに加熱処理および活性光の
露光をすることによつても前記と同様に特性の優れた保
護被膜が得られる。
The heat treatment after development and the exposure to active light may be carried out in any order, and each may be carried out several times. The protective film obtained by heat treatment after development and exposure to active light has sufficient resistance to organic solvents such as tricrene, methyl ethyl ketone, isopropyl alcohol, and toluene.
Resistant to acidic or alkaline aqueous solutions. Furthermore, since it has excellent heat resistance and cold shock resistance, it is suitable as a permanent protective coating for solder masks and the like that require long-term reliability. Alternatively, a solution of the photosensitive resin composition proposed by the present invention may be applied directly to a substrate by a dip coating method, a flow coating method, etc., and after drying with a solvent, either directly or after laminating a film transparent to active light such as a polyester film, In the same manner as in the case of the photosensitive element, a protective film with excellent properties can be obtained by imagewise exposure through a negative mask, development, further heat treatment and exposure to actinic light. .

このように本発明になる感光性樹脂組成物または感光性
エレメントを用いて形成される被膜は優れた化学的、物
理的特性を有することから、印刷板材料、プラスチツク
レリーフ用等にも用いられる。
Since the coating formed using the photosensitive resin composition or photosensitive element of the present invention has excellent chemical and physical properties, it can also be used for printing plate materials, plastic reliefs, etc.

次に本発明の実施例を示す、ここに示す実施例は本発明
の実施態様を示すものであり、これによつて限定される
ものではない。
EXAMPLES Next, examples of the present invention will be shown. The examples shown here are illustrative of embodiments of the present invention, and the present invention is not limited thereto.

実施例中及び比較例中の「部」は重量部を示す。"Parts" in Examples and Comparative Examples indicate parts by weight.

実施例 1(a)ウレタンジアクリレート化合物の合成
上記Aを温度計、攪拌装置、冷却管、窒素ガス導入管及
び滴下器のついた、加熱及び冷却の可能な容積約5f!
の反応器に加え撹拌しながら60℃に昇温した。
Example 1 (a) Synthesis of urethane diacrylate compound The above A is equipped with a thermometer, a stirring device, a cooling tube, a nitrogen gas introduction tube, and a dropper, and has a capacity of about 5 f that can be heated and cooled!
was added to the reactor and the temperature was raised to 60°C while stirring.

反応温度を55〜65℃に保ちながら約3時間で均一に
Bを滴下した。B滴下後、55〜65℃の温度で約2時
間保ち、その後55〜65℃の温度でCを約3時間で均
一に滴下した。C滴下後、約5時間かけて徐々に反応温
度を80℃まで昇温した。その後温度を60℃に下げ、
Dを加え約1時間攪拌を続けた。このようにして不揮発
分70重量%のウレタンジアクリレート化合物の溶液(
1)を得た。,)感光性エレメントの製造上記の配合で
感光性樹脂組成物の溶液を調整し、厚さ約50μmのポ
リイミドフイルム上に塗布し、室温で20分、80℃で
10分、105℃で5分乾燥し、感光性樹脂組成物の層
の厚さが約60μmの感光性エレメントを得た。
B was uniformly added dropwise over about 3 hours while maintaining the reaction temperature at 55 to 65°C. After dropping B, the temperature was maintained at 55 to 65°C for about 2 hours, and then C was uniformly dropped at a temperature of 55 to 65°C over about 3 hours. After C was added dropwise, the reaction temperature was gradually raised to 80° C. over about 5 hours. Then lower the temperature to 60℃,
D was added and stirring was continued for about 1 hour. In this way, a solution of a urethane diacrylate compound with a nonvolatile content of 70% (
1) was obtained. ,) Manufacture of photosensitive element A solution of the photosensitive resin composition was prepared according to the above formulation, and applied onto a polyimide film with a thickness of approximately 50 μm. 20 minutes at room temperature, 10 minutes at 80°C, and 5 minutes at 105°C. After drying, a photosensitive element having a photosensitive resin composition layer thickness of about 60 μm was obtained.

−:)半田マスクの形成基材厚さ1.6mm、銅箔厚さ
18μmのガラスエポキシ銅張積層板を像的にエツチン
グすることにより第1図に示す銅パターンを有する試験
基板6枚を得た。
-:) Formation of solder mask Six test boards having the copper pattern shown in Fig. 1 were obtained by imagewise etching a glass epoxy copper clad laminate with a base material thickness of 1.6 mm and a copper foil thickness of 18 μm. Ta.

1は銅パターン部分、2は基材の露出部分を示し、数字
の単位はMuである。
1 indicates the copper pattern portion, 2 indicates the exposed portion of the base material, and the numerical unit is Mu.

この試験基板上に上記(b)で得た感光性エレメントを
曙産業(株)製A−500型常圧ラミネータを用い、積
層した。積層後、支持体フイルムのポリイミドフイルム
を剥離し、第2図に示す試験用ネガマスクを用い(株)
オーク製作所製フエニツクス3000型露光機を使用し
、900mJ//Cdで露光した。3はネガマスクの不
透明部分、4はネガマスクの透明部分、を示し数字の単
位はMmである。
The photosensitive element obtained in (b) above was laminated on this test substrate using an A-500 normal pressure laminator manufactured by Akebono Sangyo Co., Ltd. After lamination, the polyimide film of the support film was peeled off, and a test negative mask shown in Figure 2 was used to remove the polyimide film from the support film.
Exposure was carried out at 900 mJ//Cd using a Phoenix 3000 type exposure machine manufactured by Oak Seisakusho. 3 indicates an opaque portion of the negative mask, and 4 indicates a transparent portion of the negative mask, and the unit of the number is Mm.

露光後30分放置したのち、1・1・1=トリクロルエ
タンを用いて20℃で90秒間スプレー現像した。現像
後80℃で10分間加熱乾燥し、東芝電材(株)製紫外
線照射装置を使用し2.5J/Cdで照射した。その後
150゜Cで30分間加熱処理した。
After being left for 30 minutes after exposure, spray development was carried out at 20° C. for 90 seconds using 1.1.1=trichloroethane. After development, the film was dried by heating at 80° C. for 10 minutes, and irradiated with 2.5 J/Cd using an ultraviolet irradiation device manufactured by Toshiba Electric Materials Corporation. Thereafter, it was heat-treated at 150°C for 30 minutes.

このようにして保護被膜を形成した6枚の試験基板のう
ち4枚をそれぞれ25℃のイソプロパノール、トルエン
、トリクレン、又は10%塩酸水溶液にそれぞれ10分
間浸漬したが形成した保護被膜には何の変化も認められ
なかつた。他の1枚について255〜265℃の半田浴
に30秒間浸漬したが保護被膜は安定であり、クラック
の発生および基板からの剥離は認められず、半田マスク
として十分用い得ることがわかつた。更に残り1枚の試
験基板について、ロジン系フラツクスA−226(タム
ラ化研(株)製)を用いて、255〜265℃の半田浴
で3秒間半田付処理をしたのち、MIL−STD−20
2E107D条件B(−65℃、30分間=常温5分以
内:125℃、30分間)、50サイクルの冷熱衝撃試
1験を行なつたが、保護被膜にクラツクの発生はなく長
期間の信頼性が非常に優れていることがわかつた。
Four of the six test substrates on which protective films were formed in this way were each immersed in isopropanol, toluene, trichlene, or 10% hydrochloric acid aqueous solution at 25°C for 10 minutes, but there was no change in the formed protective films. was also not recognized. The other sheet was immersed in a solder bath at 255 to 265° C. for 30 seconds, but the protective film was stable and no cracking or peeling from the substrate was observed, indicating that it could be used satisfactorily as a solder mask. Furthermore, the remaining test board was soldered for 3 seconds in a solder bath at 255 to 265°C using rosin flux A-226 (manufactured by Tamura Kaken Co., Ltd.), and then soldered using MIL-STD-20.
2E107D Condition B (-65℃, 30 minutes = room temperature within 5 minutes: 125℃, 30 minutes), 50 cycles of thermal shock test were conducted, but there were no cracks in the protective film, indicating long-term reliability. was found to be very good.

実施例 2 実施例1−(a)と同様にして上記配合でウレタンジア
クリレート化合物の溶液を得た。
Example 2 A solution of a urethane diacrylate compound was obtained using the above formulation in the same manner as in Example 1-(a).

その後、減圧乾燥して粘稠なウレタンジアクリレート化
合物()を得た。〕)感光性エレメントの製造 第3図に示す装置を用いて上記配合の感光性樹脂組成物
の溶液10を25μm厚さのポリエチレンテレフタレー
トフイルム16上に均一に塗布し80〜100℃の熱風
対流式乾燥機11で約10分間乾燥した。
Thereafter, it was dried under reduced pressure to obtain a viscous urethane diacrylate compound (2). ]) Manufacture of photosensitive element Using the apparatus shown in FIG. 3, a solution 10 of the photosensitive resin composition having the above formulation was uniformly applied onto a polyethylene terephthalate film 16 having a thickness of 25 μm, and a hot air convection method at 80 to 100° C. was applied. It was dried in a dryer 11 for about 10 minutes.

感光性樹脂組成物の層の乾燥後の厚さは約100μmで
あつた。感光性樹脂組成物の層の上には、更に第3図の
ようにして厚さ約25μmのポリエチレンフイルム17
をカバーフイルムとして張り合わせた。第3図において
、5はポリエチレンテレフタレートフイルムくり出しロ
ール、6,7,8はロール、9はナイフ、12はポリエ
チレンフイルムくり出しロール、13,14はロール、
15は感光性エレメント巻き取りロールである。c)半
田マスクの形成上記で得られた感光性エレメントを、第
1図に示す銅パターン(銅厚さ約70μm)の形成され
た試1験用印刷配線板(ガラスエポキシ基板、厚さ1.
6mm)上に日立化成工業(株)製真空ラミネータ(真
空度30mTnHg、ラミネート温度100℃、ラミネ
ートスピード2m/分)を用い、加熱加圧積層した。
The thickness of the layer of the photosensitive resin composition after drying was about 100 μm. On the layer of the photosensitive resin composition, a polyethylene film 17 with a thickness of about 25 μm is further placed as shown in FIG.
was attached as a cover film. In FIG. 3, 5 is a polyethylene terephthalate film drawing roll, 6, 7, 8 are rolls, 9 is a knife, 12 is a polyethylene film drawing roll, 13, 14 are rolls,
15 is a photosensitive element winding roll. c) Formation of solder mask The photosensitive element obtained above was used as a printed wiring board for test 1 (glass epoxy substrate, thickness: 1.5 μm) on which a copper pattern (copper thickness: approximately 70 μm) as shown in FIG. 1 was formed.
6 mm) using a vacuum laminator manufactured by Hitachi Chemical Co., Ltd. (degree of vacuum: 30 mTnHg, lamination temperature: 100° C., lamination speed: 2 m/min) and laminated under heat and pressure.

積層後60℃で5分間加熱し、室温で3時間放置した後
、実施例1一(c)と同様に第2図に示した試1験用ネ
ガマスクを通して150mJ/Cdで露光した。露光後
80゜Cで5分間加熱し、室温で20分間放置したのち
、支持体フイルムを剥離し、1・1・1−トリクロルエ
タンを用い、20℃で150秒間スプレー現像した。
After lamination, it was heated at 60° C. for 5 minutes, left at room temperature for 3 hours, and then exposed to light at 150 mJ/Cd through the negative mask for Test 1 shown in FIG. 2 in the same manner as in Example 11(c). After exposure, the film was heated at 80 DEG C. for 5 minutes, left at room temperature for 20 minutes, the support film was peeled off, and spray development was carried out at 20 DEG C. for 150 seconds using 1.1.1-trichloroethane.

現像後80℃で10分間加熱乾燥し、3.0J/Crl
i紫外線照射し、130℃で2時間加熱処理した。
After development, heat-dry at 80°C for 10 minutes, 3.0J/Crl
i It was irradiated with ultraviolet rays and heat-treated at 130°C for 2 hours.

このようにして保護被膜を形成した試1験基板について
実施例1−(c)と同様にして25℃のイソプロパノー
ル、トルエン、トリクレン、又は10%塩酸水溶液で1
0分間浸漬試験したが、形成した保護被膜には何の変化
も認められなかつた。
Test 1 The test substrate on which the protective film was formed was treated with isopropanol, toluene, trichlene, or 10% hydrochloric acid aqueous solution at 25°C in the same manner as in Example 1-(c).
A immersion test was conducted for 0 minutes, but no change was observed in the formed protective film.

また255〜265℃の半田浴で30秒間浸漬試験した
が問題なく、耐熱性に優れていた。
Further, a 30-second immersion test was conducted in a solder bath at 255 to 265°C, and no problems were found, indicating that the product had excellent heat resistance.

さらに実施例1−(c)と同様の半田付処理後、MIL
−STD−202E107D条件Bl5Oサイクルの冷
熱衝撃試験でも形成された被膜にクラツクの発生は認め
られなかつた。実施例 3 上記配合の感光性樹脂組成物の溶液を用い、実施例2−
(b)と同様に第3図に示す装置を使用して感光性樹脂
組成物の層の厚さ約80μmの感光性エレメントを得た
Furthermore, after the same soldering process as in Example 1-(c), MIL
-STD-202E107D condition Bl5O cycle thermal shock test also showed no cracks in the formed film. Example 3 Using a solution of the photosensitive resin composition with the above formulation, Example 2-
A photosensitive element having a layer of photosensitive resin composition having a thickness of about 80 μm was obtained using the apparatus shown in FIG. 3 in the same manner as in (b).

この感光性エレメントを、第1図に示す銅パターン(銅
厚さ約50μm)の形成された試験用印刷配線板上に実
施例2−(c)と同様にして減圧下で積層した。さらに
実施例2−(c)と同様の処理を行なつて該試験基板土
に像的な保護被膜を形成した。形成された保護被膜は、
25゜Cのイソプロパノール、トルエン、トリクレン、
メチルエチルケトン、10%塩酸水溶液又は10%Na
OH水溶液に対する10分間の浸漬試験で何ら問題なく
、255〜265゜C半田浴に対する30秒間浸漬試験
でのクラツクの発生、基材からの剥離はなく耐熱性に優
れていた。さらに実施例1−(c)と同様の半田付処理
後、MIL−STD2O2ElO7D条件Bl5Oサイ
クルの冷熱衝撃試験でもクラツクの発生はなかつた。上
ピ車交例 1 実施例2−(b)のウレタンジアクリレート化合物()
にかえてトリメチロールプロパントリアクリレートを用
い、他は実施例2〜(b)及び実施例2−(c)と同様
の操作を行なつた。
This photosensitive element was laminated under reduced pressure in the same manner as in Example 2-(c) on a test printed wiring board on which a copper pattern (copper thickness: approximately 50 μm) as shown in FIG. 1 was formed. Furthermore, the same treatment as in Example 2-(c) was carried out to form an image-like protective film on the test substrate soil. The protective film formed is
Isopropanol, toluene, trichlene at 25°C
Methyl ethyl ketone, 10% aqueous hydrochloric acid solution or 10% Na
A 10-minute immersion test in an OH aqueous solution showed no problems, and a 30-second immersion test in a 255-265°C solder bath showed no cracks or peeling from the base material, indicating excellent heat resistance. Furthermore, after the same soldering process as in Example 1-(c), no cracks were generated in the thermal shock test of Bl5O cycle under MIL-STD2O2ElO7D conditions. Upper piston exchange example 1 Urethane diacrylate compound () of Example 2-(b)
The same operations as in Examples 2-(b) and 2-(c) were carried out except that trimethylolpropane triacrylate was used instead.

最終的に得られた保護被膜は、255〜265℃の半出
浴に対する30秒間の浸漬試1験で一部基板からの剥離
が認められた。さらに実施例1−(c)と同様の半田付
処理後MIL−STD−202E107D条件Bでの冷
熱衝撃試験で5サイクル以内にクラツクが発生した。比
較例 2 実施例3のウレタンジアクリレート化合物()60部に
かえて、ペンタエリスリトールトリアクリレート20部
及びビスフエノールAのジ一(3−アクリルオキシ−2
−ヒドロキシプロピル)エステル40部を用い、他は実
施例3と同様の操作を行なつた。
Part of the finally obtained protective film was observed to be peeled off from the substrate in one 30 second immersion test in a half bath at 255 to 265°C. Furthermore, cracks occurred within 5 cycles in the thermal shock test under MIL-STD-202E107D condition B after the same soldering process as in Example 1-(c). Comparative Example 2 In place of 60 parts of the urethane diacrylate compound () of Example 3, 20 parts of pentaerythritol triacrylate and bisphenol A di(3-acryloxy-2
The same operation as in Example 3 was carried out except that 40 parts of -hydroxypropyl) ester was used.

最終的に得られた保護被膜は実施例1−(c)と同様の
半田付処理後MIL−STD2O2ElO7D条件Bで
の冷熱衝撃試験で5サイクル以内にクラツクが発生した
。また、10%塩酸水溶液に対する10分間浸漬試験で
保護被膜の一部に基板からの浮きが認められた。比較例
3 上記配合の感光性樹脂組成物の溶液を用い、他は実施例
3と同様の操作を行なつた。
The finally obtained protective film cracked within 5 cycles in the thermal shock test under MIL-STD2O2ElO7D condition B after the same soldering process as in Example 1-(c). In addition, in a 10 minute immersion test in a 10% aqueous hydrochloric acid solution, part of the protective film was found to be lifted off the substrate. Comparative Example 3 The same operation as in Example 3 was carried out except that a solution of the photosensitive resin composition having the above formulation was used.

最終的に得られた保護被膜は、耐溶剤性及び耐熱性に優
れていたが、実施例1−(c)と同様の半田付処理後M
IL−STD−202E107D条件Bでの冷熱衝撃試
験で10サイクル以内にクラツクが発生した。実施例
4 実施例1−(a)と同様にして上記配合でウレタンジア
クリレート化合物の溶液を得た。
The finally obtained protective film had excellent solvent resistance and heat resistance, but after the same soldering treatment as in Example 1-(c), M
A crack occurred within 10 cycles in the thermal shock test under IL-STD-202E107D condition B. Example
4 A solution of a urethane diacrylate compound was obtained using the above formulation in the same manner as in Example 1-(a).

その後、減圧乾燥して粘稠なウレタンジアクリレート化
合物()を得た。(b)感光性エレメントの製造及び半
田マスクの形成上記配合の感光性樹脂組成物の溶液を用
い、他は実施例2−(b)、及び実施例2−(c)と同
様の操作を行なつた。
Thereafter, it was dried under reduced pressure to obtain a viscous urethane diacrylate compound (2). (b) Manufacture of photosensitive element and formation of solder mask The same operations as in Example 2-(b) and Example 2-(c) were carried out using the solution of the photosensitive resin composition with the above formulation. Summer.

最終的に得られた保護被膜はイソプロパノール、トルエ
ン、トリクレン、又は10%塩酸水溶液に対する10分
間浸漬試験で何ら問題なく、また255〜265℃の半
田浴に30秒間浸漬したが、剥離、クラツクなどの変化
は認められなかつた。さらに実施例1(c)と同様の半
田付処理後MIL−STD2O2ElO7D条件Bl5
Oサイクルの冷熱衝撃試験でもクラツクの発生はなかつ
た。また、日立化成(株)製印刷配線基板MCL−E一
68(UL難燃グレード94V−0)の0.8mm厚基
材上に上記と同様の操作で全面に保護被膜を形成した。
このものはULの94V−1規格を満足した。辷施例
5 実施例1−(a)と同様にして上記配合でウレタンジア
クリレート化合物の溶液を得た。
The finally obtained protective film showed no problems in a 10-minute immersion test in isopropanol, toluene, trichlene, or 10% hydrochloric acid aqueous solution, and was immersed in a solder bath at 255 to 265°C for 30 seconds, but did not show peeling, cracks, etc. No changes were observed. Furthermore, after soldering treatment similar to Example 1(c), MIL-STD2O2ElO7D conditions Bl5
No cracks occurred even in the O-cycle thermal shock test. Further, a protective film was formed on the entire surface of a 0.8 mm thick base material of a printed wiring board MCL-E-68 (UL flame retardant grade 94V-0) manufactured by Hitachi Chemical Co., Ltd. by the same operation as above.
This product satisfied UL's 94V-1 standard. Example of walking
5 A solution of a urethane diacrylate compound was obtained using the above formulation in the same manner as in Example 1-(a).

その後、減圧乾燥して粘稠なウレタンジアクリレート化
合物()を得た。(b)感光性エレメントの製造及び半
田マスクの形成上記配合の感光性樹脂組成物の溶液を用
(・、他は実施例2−(b)、及び実施例2−(c)と
同様の操作を行なつた。
Thereafter, it was dried under reduced pressure to obtain a viscous urethane diacrylate compound (2). (b) Manufacture of photosensitive element and formation of solder mask using a solution of the photosensitive resin composition with the above formulation (Other operations were the same as in Example 2-(b) and Example 2-(c)) I did this.

最終的に得られた保護被膜はイソプロパノール、トルエ
ン、トリクレン、又は10%塩酸水溶液に対する10分
間浸漬試1験で何ら問題なくまた255〜265゜Cの
半田浴に30秒間浸漬したが、剥離、クラツクなどの変
化は認められなかつた。さらに実施例1−(c)と同様
の半田付処理後MIL−STD−202E107D条件
B、50サイクルの冷熱衝撃試1験でもクラツクの発生
はなかつた。また、日立化成(株)製印刷配線板MCL
−E−68の1.6mm厚基材上に上記と同様の操作で
全面に保護被膜を形成した。このものはULの94V−
1規格を満足した。実施例 6 実施例5−(b)の感光性樹脂組成物の溶液にさらに三
酸化アンチモン1部を加えた他は実施例5(b)と同様
の操作を行なつた。
The final protective coating was immersed in isopropanol, toluene, trichloride, or 10% hydrochloric acid for 10 minutes without any problems, and was immersed in a solder bath at 255 to 265°C for 30 seconds, but no peeling or cracking occurred. No changes were observed. Further, after the same soldering process as in Example 1-(c), no cracks occurred in one thermal shock test under MIL-STD-202E107D condition B and 50 cycles. In addition, printed wiring board MCL manufactured by Hitachi Chemical Co., Ltd.
A protective film was formed on the entire surface of the 1.6 mm thick base material of -E-68 in the same manner as above. This one is UL 94V-
1 standard was satisfied. Example 6 The same operation as in Example 5(b) was carried out except that 1 part of antimony trioxide was further added to the solution of the photosensitive resin composition of Example 5-(b).

最終的に得られた保護被膜の耐溶剤性、耐熱性、及び耐
冷熱衝撃性は実施例5−(b)と同様の結果で良好であ
つた。また、日立化成(株)製印刷配線基板MCL−E
−68の1.6mT11厚基材上に上記と同様の操作で
全面に保護被膜を形成した。このものはULの94V−
0規格を満足した。実施例 7 実施例1−(a)と同様にして、上記ウレタンジメタク
リレート化合物の溶液を得た。
The solvent resistance, heat resistance, and cold shock resistance of the finally obtained protective film were similar to those of Example 5-(b) and were good. In addition, printed wiring board MCL-E manufactured by Hitachi Chemical Co., Ltd.
A protective film was formed on the entire surface of the -68 1.6mT11 thick base material in the same manner as above. This one is UL 94V-
0 standard was satisfied. Example 7 A solution of the urethane dimethacrylate compound was obtained in the same manner as in Example 1-(a).

その後、減圧乾燥して粘稠なウレタンジメタクリレート
化合物(V)を得た。(b)感光性エレメントの製造及
び半田マスクの形成上記配合の感光性樹脂組成物の溶液
を用い他は実施例2−(b)及び実施例2−(c)と同
様の操作を行なつた。
Thereafter, it was dried under reduced pressure to obtain a viscous urethane dimethacrylate compound (V). (b) Production of photosensitive element and formation of solder mask The same operations as in Example 2-(b) and Example 2-(c) were carried out using the solution of the photosensitive resin composition having the above formulation. .

最終的に得られた保護被膜はイソプロパノール、トルエ
ン、トリクレン又は10%塩酸水溶液に対する10分間
浸漬試1験で何ら問題なく、また255〜265℃の半
田浴に30秒間浸漬したが、剥離、クラツクなどの変化
は認められなかつた。さらに実施例1−(c)と同様の
半田付処理後MIL−STD−202E107D条件B
l5Oサイクルの冷熱衝撃試験でもクラツクの発生はな
かつた。また、日立化成(株)製印刷配線基板MCL−
E−68の1、6mTfL厚基材上に上記と同様の操作
で全面に保護被膜を形成した。このものはULの94V
−1規格を満足した。実施例 8 実施例1−(a)と同様にして上記配合でウレタンジア
クリレート化合物の溶液を得た。
The finally obtained protective film showed no problems in one 10-minute immersion test in isopropanol, toluene, trichloride, or 10% hydrochloric acid aqueous solution, and was immersed in a solder bath at 255 to 265°C for 30 seconds, but it did not peel off, crack, etc. No change was observed. Furthermore, after soldering treatment similar to Example 1-(c), MIL-STD-202E107D condition B
No cracks occurred even in the 150 cycle thermal shock test. In addition, printed wiring board MCL- manufactured by Hitachi Chemical Co., Ltd.
A protective film was formed on the entire surface of the E-68 1.6 mTfL thick base material in the same manner as above. This one is UL 94V
-1 standard was satisfied. Example 8 A solution of a urethane diacrylate compound was obtained using the above formulation in the same manner as in Example 1-(a).

その後、減圧乾燥して粘稠なウレタンジアクリレート化
合物()を得た。上記配合の感光性樹脂組成物の溶液を
用い、実施例2−(b)と同様に第3図に示す装置を使
用して感光性樹脂組成物の層の厚さ約50μmの感光性
エレメントを得た。
Thereafter, it was dried under reduced pressure to obtain a viscous urethane diacrylate compound (2). Using the solution of the photosensitive resin composition of the above formulation, a photosensitive element having a layer of the photosensitive resin composition having a thickness of about 50 μm was prepared using the apparatus shown in FIG. 3 in the same manner as in Example 2-(b). Obtained.

−!)半田マスクの形成 上記で得た感光性エレメントを、第1図に示す銅パター
ン(銅厚さ約18μm)の形成された試験用印刷配線板
上に実施例2−(c)と同様にして減圧下で積層した。
-! ) Formation of a solder mask The photosensitive element obtained above was placed on a test printed wiring board on which a copper pattern (copper thickness: approximately 18 μm) as shown in FIG. 1 was formed in the same manner as in Example 2-(c). Lamination was carried out under reduced pressure.

積層後室温で3時間放置し、実施例1−(c)と同様に
第2図に示す試験用ネガマスクを通して200mJ/C
dで露光した。露光後80′Cで5分間加熱し、室温で
20分間放冷したのち、支持体フイルムを剥離し、1・
1・1−トリクロルエタンを用い、20℃で70秒間ス
プレー現像した。現像後80℃で30分間加熱乾燥し、
さらに120℃で30分間、150℃で30分間加熱し
た。室温で10分間放冷後、10J/Cdで紫外線照射
し、さらに130℃で2時間加熱処理した。このように
して保護被膜を形成した試験基板について実施例1−(
c)と同様にして、25℃のイソプロパノール、トルエ
ン、トリクレン又は10%塩酸水溶液に対する10分間
浸漬試験をしたが、何ら問題なかつた。
After lamination, it was left at room temperature for 3 hours, and 200 mJ/C was applied through the test negative mask shown in Figure 2 in the same manner as in Example 1-(c).
d. After exposure, the film was heated at 80'C for 5 minutes and left to cool at room temperature for 20 minutes, and the support film was peeled off.
Spray development was performed at 20° C. for 70 seconds using 1,1-trichloroethane. After development, heat dry at 80°C for 30 minutes,
It was further heated at 120°C for 30 minutes and at 150°C for 30 minutes. After cooling for 10 minutes at room temperature, it was irradiated with ultraviolet light at 10 J/Cd and further heat-treated at 130° C. for 2 hours. Example 1-(
A 10-minute immersion test in isopropanol, toluene, trichlene, or 10% hydrochloric acid aqueous solution at 25° C. was conducted in the same manner as in c), but no problems were found.

また255〜265℃の半田浴に対する30秒間浸漬試
1験でも保護被膜の剥離はなく耐熱性は良好であつた。
Further, even in one 30 second immersion test in a solder bath at 255 to 265°C, the protective film did not peel off and the heat resistance was good.

さらに実施例1−(c)と同様の半田付処理後MIL−
STD−202E107D条件Bl5Oサイクルの冷熱
衝撃試験でもクラツクぱ発生しなかつた。クロスカツト
試験でも保護被膜の剥離はなく、密着性が優れていた。
また、日立化成(株)製印紬頂澹基板MCL−E−68
の0.8關厚基材上に上記と同様の操作で全面に保護被
膜を形成した。このものはULの94V一1規格を満足
した。比較例 4 実施例1−(a)のトリメチルヘキサメチレンジイソシ
アナート1680部(16当量)にかえて、ヘキサメチ
レンジイソシアナート1344部(16当量)を用いた
他は実施例1−(a)と同様にしてウレタンジアクリレ
ート化合物を合成した。
Furthermore, after soldering treatment similar to Example 1-(c), MIL-
No cracks occurred even in the thermal shock test of STD-202E107D condition Bl5O cycle. Even in the cross-cut test, there was no peeling of the protective film, and the adhesion was excellent.
In addition, Hitachi Chemical Co., Ltd.'s seal pongee top board MCL-E-68
A protective film was formed on the entire surface of the 0.8-thick base material by the same operation as above. This product satisfied UL's 94V-1 standard. Comparative Example 4 Example 1-(a) except that 1344 parts (16 equivalents) of hexamethylene diisocyanate was used instead of 1680 parts (16 equivalents) of trimethylhexamethylene diisocyanate in Example 1-(a). A urethane diacrylate compound was synthesized in the same manner.

生成したウレタンジアクリレート化合物()は反応溶剤
のトルエンには不溶で生成とともにワツクス状に分離し
た。得られたウレタンジアクリレート化合物()はメチ
ルエチルケトン、1・1・1−トリクロルエタンには難
溶で、アセトン、クロロホルムには溶解した。上記配合
の感光性樹脂組成物の溶液を、実施例2−(b)と同様
に第3図に示す装置を使用してポリエチレンテレフタレ
ートフイルム上に塗布し、熱風乾燥したが、溶剤乾燥と
同時にウレタンジアクリレート化合物()と共重合物が
相分離し、好ましい感光性エレメントは得られなかつた
The produced urethane diacrylate compound (2) was insoluble in toluene, the reaction solvent, and separated into a waxy form as it was produced. The obtained urethane diacrylate compound () was sparingly soluble in methyl ethyl ketone and 1,1,1-trichloroethane, but soluble in acetone and chloroform. A solution of the photosensitive resin composition with the above formulation was applied onto a polyethylene terephthalate film using the apparatus shown in FIG. 3 in the same manner as in Example 2-(b), and dried with hot air. The diacrylate compound () and the copolymer underwent phase separation, and a preferred photosensitive element could not be obtained.

さらに実施例2〜実施例8で用いた共重合物を使用して
みたが上記と同様に相溶性が悪く、好ましい感光性エレ
メントは得られなかつた。以上、実施例で詳細に説明し
た様に本発明になる感光性樹脂組成物を用いて得られる
感光性エレメントは、耐熱性、耐冷熱衝撃性及び耐溶剤
性の優れた保護被膜を形成し、形成された保護被膜は長
期の信頼性を要求される半田マスクに好適である。
Furthermore, although the copolymers used in Examples 2 to 8 were used, the compatibility was poor as in the above case, and a preferable photosensitive element could not be obtained. As described above in detail in the Examples, the photosensitive element obtained using the photosensitive resin composition of the present invention forms a protective film with excellent heat resistance, cold shock resistance, and solvent resistance, The formed protective film is suitable for solder masks that require long-term reliability.

尚、上記は本発明になる感光性樹脂組成物および感光性
エレメントの一実施例にすぎず、当然、本発明の精神を
逸脱しない範囲で種々の変形及び使用方法が可能である
The above is only one example of the photosensitive resin composition and photosensitive element of the present invention, and naturally, various modifications and usage methods are possible without departing from the spirit of the present invention.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図は実施例で用いた試験基板の銅パターンを示す図
、第2図は実施例で用いた試験用ネガマスクを示す図お
よび第3図は実施例で用いた感光性エレメントの製造装
置の略図である。 符号の説明、1・・・・・・銅パターン部分、2・・・
・・・基材の露出部分、3・・・・・・ネガマスクの不
透明部分、4・・・・・・ネガマスクの透明部分、5・
・・・・・ポリエチレンテレフタレートフイルムくり出
しロール、6,7,8・・・・・・ロール、9・・・・
・・ナイフ、10・・・・・感光性樹脂組成物の溶液、
11・・・・・・乾燥機、12・・・・・・ポリエチレ
ンフイルムくり出しロール、13,14・・・・・・ロ
ール、15・・・・・・感光性エレメント巻き取り口ー
ル、16・・・・・・ポリエチレンテレフタレートフイ
ルム、17・・・・・・ポリエチレンフイルム。
Figure 1 is a diagram showing the copper pattern of the test board used in the example, Figure 2 is a diagram showing the test negative mask used in the example, and Figure 3 is a diagram of the photosensitive element manufacturing apparatus used in the example. This is a schematic diagram. Explanation of symbols, 1... Copper pattern part, 2...
... Exposed part of the base material, 3... Opaque part of the negative mask, 4... Transparent part of the negative mask, 5.
...Polyethylene terephthalate film roll, 6, 7, 8...Roll, 9...
... Knife, 10... Solution of photosensitive resin composition,
11...Dryer, 12...Polyethylene film take-out roll, 13, 14...Roll, 15...Photosensitive element winding opening roll, 16. ...Polyethylene terephthalate film, 17...Polyethylene film.

Claims (1)

【特許請求の範囲】 1 (a)(イ)トリメチルヘキサメチレンジイソシア
ナート、(ロ)2価アルコール及び(ハ)2価アルコー
ルのアクリル酸モノエステル又はメタアクリル酸モノエ
ステル、を反応させて得られるウレタンジアクリレート
化合物又はウレタンジメタクリレート化合物20〜75
重量部(b)ガラス転移温度が約40〜150℃の線状
高分子化合物、20〜75重量部ならびに (c)活性光により遊離ラジカルを生成する増感剤又は
(及び)増感剤系を含有してなる感光性樹脂組成物。 2 線状高分子化合物がビニル系共重合線状高分子化合
物である特許請求の範囲第1項記載の感光性樹脂組成物
。 3 線状高分子化合物が40重量%までのブロム原子を
含有する線状高分子化合物である特許請求の範囲第1項
又は第2項記載の感光性樹脂組成物。 4 線状高分子化合物が共重合組成として5〜65重量
%のトリブロモフェニルアクリレート又はトリブロモフ
ェニルメタアクリレートを含有する線状高分子化合物で
ある特許請求の範囲第1項、第2項又は第3項記載の感
光性樹脂組成物。 5 (ロ)及び(ハ)の2価アルコールが1〜23個の
炭素原子を含む2価アルコールである特許請求の範囲第
1項、第2項、第3項又は第4項記載の感光性樹脂組成
物。 6 (ロ)の2価アルコールが、1・4−ブタンジオー
ル、1・3−ブタンジオール、1・5−ペンタンジオー
ル、1・6−ヘキサンジオールおよび1・4−シクロヘ
キサリンメタノールからなる群から選ばれた2価アルコ
ールである特許請求の範囲第1項、第2項、第3項、第
4項又は第5項記載の感光性樹脂組成物。 7 2価アルコールのアクリル酸モノエステル又はメタ
アクリル酸モノエステルがヒドロキシエチルアクリレー
ト、ヒドロキシエチルメタクリレート、ヒドロキシプロ
ピルアクリレートおよびヒドロキシプロピルメタクリレ
ートからなる群から選ばれた化合物である特許請求の範
囲第1項、第2項、第3項、第4項、第5項又は第6項
記載の感光性樹脂組成物。 8 ウレタンジアクリレート化合物又はウレタンジメタ
クリレート化合物が1×10^−^3〜4.5×10^
−^3当量/gのアクリロイル基又はメタアクリロイル
基を含むウレタンジアクリレート化合物又はウレタンジ
メタアクリレート化合物である特許請求の範囲第1項、
第2項、第3項、第4項、第5項、第6項又は第7項記
載の感光性樹脂組成物。 9 5重量%までの三酸化アンチモンを含有する、特許
請求の範囲第1項、第2項、第3項、第4項、第5項、
第6項、第7項又は第8項記載の感光性樹脂組成物。 10 (a)(イ)トリメチルヘキサメチレンジイソシ
アナート(ロ)2価アルコール及び(ハ)2価アルコー
ルのアクリル酸モノエステル又はメタアクリル酸モノエ
ステルを反応させて得られるウレタンジアクリレート化
合物又はウレタンジメタクリレート化合物、20〜75
重量部(b)ガラス転移温度が約40〜150℃の線状
高分子化合物、20〜75重量部ならびに (c)活性光により遊離ラジカルを生成する増感剤又は
(及び)増感剤系を含有する感光性樹脂組成物の層と該
層を支持する支持体フィルムからなる感光性エレメント
。 11 線状高分子化合物がビニル系共重合線状高分子化
合物である特許請求の範囲第10項記載の感光性エレメ
ント。 12 線状高分子化合物が40重量%までのブロム原子
を含有する線状高分子化合物である特許請求の範囲第1
0項又は第11項記載の感光性エレメント。 13 線状高分子化合物が共重合組成として5〜65重
量%のトリブロモフェニルアクリレート又はトリブロモ
フェニルメタアクリレートを含有する線状高分子化合物
である特許請求の範囲第10項、第11項又は第12項
記載の感光性エレメント。 14 (ロ)及び(ハ)の2価アルコールが1〜23個
の炭素原子を含む2価アルコールである特許請求の範囲
囲第10項、第11項、第12項又は第13項記載の感
光性エレメント。 15 (ロ)の2価アルコールが、1・4−ブタンジオ
ール、1・3−ブタンジオール、1・5−ペンタンジオ
ール、1・6−ヘキサンジオールおよび1・4−シクロ
ヘキサリンメタノールからなる群から選ばれた2価アル
コールである特許請求の範囲第10項、第11項、第1
2項、第13項又は第14項記載の感光性エレメント。 16 2価アルコールのアクリル酸モノエステル又はメ
タアクリル酸モノエステルがヒドロキシエチルアクリレ
ート、ヒドロキシエチルメタクリレート、ヒドロキシプ
ロピルアクリレート及びヒドロキシプロピルメタクリレ
ートからなる群から選ばれた化合物である特許請求の範
囲第10項、第11項、第12項、第13項、第14項
又は第15項記載の感光性エレメント。 17 ウレタンジアクリレート化合物又はウレタンジメ
タクリレート化合物が1×10^−^3〜4.5×10
^−^3当量/gのアクリロイル基又はメタアクリロイ
ル基を含む化合物である特許請求の範囲第10項、第1
1項、第12項、第13項、第14項、第15項又は第
16項記載の感光性エレメント。 18 感光性樹脂組成物が5重量%までの三酸化アンチ
モンを含有する特許請求の範囲第10項、第11項、第
12項、第13項、第14項、第15項、第16項又は
第17項記載の感光性エレメント。 19 剥離可能なカバーフィルムを感光性樹脂組成物の
層上に積層してなる特許請求の範囲第10項、第11項
、第12項、第13項、第14項、第15項、第16項
、第17項又は第18項記載の感光性エレメント。 20 感光性樹脂組成物の層が20〜200μmの厚さ
である特許請求の範囲第10項、第11項、第12項、
第13項、第14項、第15項、第16項、第17項、
第18項又は第19項記載の感光性エレメント。
[Scope of Claims] 1 (a) A product obtained by reacting (a) trimethylhexamethylene diisocyanate, (b) a dihydric alcohol, and (c) an acrylic acid monoester or a methacrylic acid monoester of a dihydric alcohol. Urethane diacrylate compound or urethane dimethacrylate compound 20-75
Parts by weight (b) 20 to 75 parts by weight of a linear polymer compound having a glass transition temperature of about 40 to 150°C; and (c) a sensitizer or (and) a sensitizer system that generates free radicals by actinic light. A photosensitive resin composition comprising: 2. The photosensitive resin composition according to claim 1, wherein the linear polymer compound is a vinyl copolymerized linear polymer compound. 3. The photosensitive resin composition according to claim 1 or 2, wherein the linear polymer compound is a linear polymer compound containing up to 40% by weight of bromine atoms. 4. Claims 1, 2, or 4, wherein the linear polymer compound is a linear polymer compound containing 5 to 65% by weight of tribromophenyl acrylate or tribromophenyl methacrylate as a copolymer composition. The photosensitive resin composition according to item 3. 5. Photosensitivity according to claim 1, 2, 3, or 4, wherein the dihydric alcohol in (b) and (c) is a dihydric alcohol containing 1 to 23 carbon atoms. Resin composition. 6 (b) The dihydric alcohol is selected from the group consisting of 1,4-butanediol, 1,3-butanediol, 1,5-pentanediol, 1,6-hexanediol and 1,4-cyclohexalinemethanol. The photosensitive resin composition according to claim 1, 2, 3, 4, or 5, which is a dihydric alcohol. 7. The acrylic acid monoester or methacrylic acid monoester of dihydric alcohol is a compound selected from the group consisting of hydroxyethyl acrylate, hydroxyethyl methacrylate, hydroxypropyl acrylate, and hydroxypropyl methacrylate, Claims 1 and 2 The photosensitive resin composition according to item 2, 3, 4, 5, or 6. 8 Urethane diacrylate compound or urethane dimethacrylate compound is 1 x 10^-^3 to 4.5 x 10^
Claim 1, which is a urethane diacrylate compound or urethane dimethacrylate compound containing -^3 equivalent/g of acryloyl group or methacryloyl group,
The photosensitive resin composition according to item 2, 3, 4, 5, 6, or 7. Claims 1, 2, 3, 4, 5 containing up to 95% by weight of antimony trioxide,
The photosensitive resin composition according to item 6, 7, or 8. 10 (a) (a) trimethylhexamethylene diisocyanate (b) dihydric alcohol and (c) urethane diacrylate compound or urethane diacrylate compound obtained by reacting acrylic acid monoester or methacrylic acid monoester of dihydric alcohol methacrylate compound, 20-75
Parts by weight (b) 20 to 75 parts by weight of a linear polymer compound having a glass transition temperature of about 40 to 150°C; and (c) a sensitizer or (and) a sensitizer system that generates free radicals by actinic light. A photosensitive element comprising a layer of a photosensitive resin composition and a support film supporting the layer. 11. The photosensitive element according to claim 10, wherein the linear polymer compound is a vinyl copolymerized linear polymer compound. 12 Claim 1, wherein the linear polymer compound is a linear polymer compound containing up to 40% by weight of bromine atoms.
The photosensitive element according to item 0 or item 11. 13. Claims 10, 11, or 13, wherein the linear polymer compound is a linear polymer compound containing 5 to 65% by weight of tribromophenyl acrylate or tribromophenyl methacrylate as a copolymer composition. The photosensitive element according to item 12. 14. The photosensitive material according to claim 10, 11, 12, or 13, wherein the dihydric alcohol in (b) and (c) is a dihydric alcohol containing 1 to 23 carbon atoms. sexual element. 15 (b) The dihydric alcohol is selected from the group consisting of 1,4-butanediol, 1,3-butanediol, 1,5-pentanediol, 1,6-hexanediol and 1,4-cyclohexalinemethanol. Claims 10, 11, and 1 which are dihydric alcohols
The photosensitive element according to item 2, item 13, or item 14. 16. Claim 10, wherein the acrylic acid monoester or methacrylic acid monoester of dihydric alcohol is a compound selected from the group consisting of hydroxyethyl acrylate, hydroxyethyl methacrylate, hydroxypropyl acrylate, and hydroxypropyl methacrylate. The photosensitive element according to item 11, 12, 13, 14 or 15. 17 Urethane diacrylate compound or urethane dimethacrylate compound is 1 x 10^-^3 to 4.5 x 10
Claims 10 and 1 are compounds containing ^-^3 equivalents/g of acryloyl or methacryloyl groups.
The photosensitive element according to item 1, 12, 13, 14, 15 or 16. 18 Claims 10, 11, 12, 13, 14, 15, 16, or 18, wherein the photosensitive resin composition contains up to 5% by weight of antimony trioxide; 18. Photosensitive element according to item 17. 19 Claims 10, 11, 12, 13, 14, 15, and 16 comprising a peelable cover film laminated on a layer of photosensitive resin composition 19. The photosensitive element according to item 1, item 17, or item 18. 20 Claims 10, 11, and 12, wherein the layer of the photosensitive resin composition has a thickness of 20 to 200 μm.
Section 13, Section 14, Section 15, Section 16, Section 17,
The photosensitive element according to item 18 or 19.
JP55131322A 1980-09-19 1980-09-19 Photosensitive resin composition and photosensitive element Expired JPS5923723B2 (en)

Priority Applications (7)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP55131322A JPS5923723B2 (en) 1980-09-19 1980-09-19 Photosensitive resin composition and photosensitive element
DE3136818A DE3136818C2 (en) 1980-09-19 1981-09-16 Use of a photosensitive mixture and a photosensitive recording material for forming a solder mask
GB8128147A GB2085023B (en) 1980-09-19 1981-09-17 Photosensitive resin composition and photosensitive element
FR8117672A FR2490838B1 (en) 1980-09-19 1981-09-18 PHOTOSENSITIVE RESIN COMPOSITION AND PHOTOSENSITIVE ELEMENT OBTAINED USING THE SAME
KR1019810003506A KR850001379B1 (en) 1980-09-19 1981-09-19 Photo sensitive resin composition and photo sensitive element
US06/512,660 US4499163A (en) 1980-09-19 1983-07-11 Soldering mask formed from a photosensitive resin composition and a photosensitive element
SG874/84A SG87484G (en) 1980-09-19 1984-12-05 Photosensitive composition and element useful for producing soldering masks

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP55131322A JPS5923723B2 (en) 1980-09-19 1980-09-19 Photosensitive resin composition and photosensitive element

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS5755914A JPS5755914A (en) 1982-04-03
JPS5923723B2 true JPS5923723B2 (en) 1984-06-04

Family

ID=15055236

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP55131322A Expired JPS5923723B2 (en) 1980-09-19 1980-09-19 Photosensitive resin composition and photosensitive element

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS5923723B2 (en)

Families Citing this family (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
AU1911383A (en) * 1982-09-20 1984-03-29 Thiokol Corp. Radiation curable coating for photographic laminate
JPS60114295U (en) * 1984-01-11 1985-08-02 株式会社荏原製作所 multistage centrifugal pump
ZA841613B (en) * 1984-03-02 1984-04-29 Thiokol Corporation Radiation curable coating for photographic laminate
JPS6177844A (en) * 1984-09-26 1986-04-21 Asahi Chem Ind Co Ltd Novel photopolymerizable laminate
JPS61130946A (en) * 1984-11-29 1986-06-18 Hitachi Chem Co Ltd Photosensitive resin composition
JPS61200536A (en) * 1985-03-01 1986-09-05 Hitachi Chem Co Ltd Photosensitive composition
JPS61208050A (en) * 1985-03-12 1986-09-16 Daicel Chem Ind Ltd Formation of conductive film pattern
JPS61264341A (en) * 1985-05-20 1986-11-22 Hitachi Chem Co Ltd Photosensitive resin composition
JPS61264340A (en) * 1985-05-20 1986-11-22 Hitachi Chem Co Ltd Photosensitive resin composition
JPS6290998A (en) * 1985-10-03 1987-04-25 日本曹達株式会社 Photosetting resist resin compound for nonelectrolytic plating
KR920009904B1 (en) * 1987-07-09 1992-11-06 미쓰비시 덴끼 가부시기가이샤 Photosensitive resin composition and photosensitive element
JPH0717737B2 (en) * 1987-11-30 1995-03-01 太陽インキ製造株式会社 Photosensitive thermosetting resin composition and method for forming solder resist pattern
JPH08234432A (en) * 1994-11-11 1996-09-13 Taiyo Ink Mfg Ltd Soldering resist ink composition
TW424172B (en) * 1995-04-19 2001-03-01 Hitachi Chemical Co Ltd Photosensitive resin composition and photosensitive element using the same

Also Published As

Publication number Publication date
JPS5755914A (en) 1982-04-03

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US4499163A (en) Soldering mask formed from a photosensitive resin composition and a photosensitive element
US4544625A (en) Photosensitive resin composition and photosensitive element
US4438190A (en) Photosensitive resin composition containing unsaturated monomers and unsaturated phosphates
JPS5923723B2 (en) Photosensitive resin composition and photosensitive element
JP4406798B2 (en) Photosensitive resin composition, photosensitive element using the same, photosensitive laminate, and method for producing flexible printed wiring board
JPS59100433A (en) Flame retardant photosensitive resin composition
KR920009904B1 (en) Photosensitive resin composition and photosensitive element
JPS59149917A (en) Flame-retarding photopolymer composition
JPS5824035B2 (en) photosensitive element
JPS61130946A (en) Photosensitive resin composition
GB2193730A (en) Production of printed circuit boards
JP2001174992A (en) Photosensitive resin composition, photosensitive element using same, method for producing resist pattern and method for producing printed wiring board
JPS601885B2 (en) Photosensitive resin composition and photosensitive element
JP3073094B2 (en) Photosensitive resin composition
JPS63169637A (en) Flame resistant photosensitive resin composition
JP2002156756A (en) Photosensitive resin composition, photosensitive element using the same, method for producing resist pattern and method for producing printed wiring board
JPH01309050A (en) Photosensitive resin composition and photosensitive film
JPH02302403A (en) Photosensitive polymer composition and photosensitive film using the same composition
JPH0411022B2 (en)
JPS58142337A (en) Flame retardant photosensitive resin composition
JPS5922047A (en) Photosensitive resin composition
JP3956441B2 (en) Flame-retardant photosensitive resin composition and photosensitive element
JPS59230014A (en) Photo-sensitive resin composition
JP2005266494A (en) Photosensitive resin composition, photosensitive film using the same, method for forming resist pattern, printed wiring board and its manufacturing method
JPS5875148A (en) Photosensitive resin composition and photosensitive element