JPH10158360A - Epoxy resin composition - Google Patents
Epoxy resin compositionInfo
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- JPH10158360A JPH10158360A JP31896396A JP31896396A JPH10158360A JP H10158360 A JPH10158360 A JP H10158360A JP 31896396 A JP31896396 A JP 31896396A JP 31896396 A JP31896396 A JP 31896396A JP H10158360 A JPH10158360 A JP H10158360A
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Abstract
Description
【0001】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は成形性、耐半田性、
高温時の電気特性に優れ、特に薄型半導体パッケージに
好適な半導体封止用エポキシ樹脂組成物に関するもので
ある。TECHNICAL FIELD The present invention relates to moldability, solder resistance,
The present invention relates to an epoxy resin composition for semiconductor encapsulation which has excellent electrical properties at high temperatures and is particularly suitable for thin semiconductor packages.
【0002】[0002]
【従来の技術】IC、LSI等の半導体素子の封止方法
としてエポキシ樹脂組成物のトランスファー成形による
方法が低コスト、大量生産に適した方法として採用され
て久しく、信頼性の点でもエポキシ樹脂や硬化剤である
フェノール樹脂の改良により向上が図られてきた。しか
し、近年の電子機器の小型化、軽量化、高性能化の市場
動向において、半導体の高集積化も年々進み、又、半導
体パッケージの表面実装化が促進されるなかで、半導体
封止用エポキシ樹脂組成物(以下、樹脂組成物という)
への要求は益々厳しいものとなってきている。このた
め、従来からの樹脂組成物では解決出来ない問題点も出
てきている。その最大の問題点は、半導体パッケージの
表面実装の採用によりパッケージが半田浸漬、或いはリ
フロー工程で急激に200℃以上の高温にさらされるた
めに、パッケージが割れたり、チップ、リードフレー
ム、インナーリード上の各種メッキされた接合部分、或
いはLOC構造のパッケージでは、ポリイミドテープ接
着剤等と樹脂組成物との各界面で、剥離が生じ信頼性が
著しく低下する現象である。2. Description of the Related Art Transfer molding of an epoxy resin composition has been employed as a method suitable for mass production at low cost as a method for encapsulating semiconductor devices such as ICs and LSIs. Improvements have been made by improving phenolic resins as curing agents. However, in recent years, with the market trend of miniaturization, weight reduction and high performance of electronic devices, the integration of semiconductors has been increasing year by year, and the surface mounting of semiconductor packages has been promoted. Resin composition (hereinafter referred to as resin composition)
Requirements are becoming increasingly demanding. For this reason, a problem which cannot be solved by the conventional resin composition has come out. The biggest problem is that the package is exposed to a high temperature of 200 ° C or more during the solder immersion or reflow process due to the adoption of the surface mounting of the semiconductor package. In various types of plated joints or LOC structure packages, peeling occurs at each interface between the polyimide tape adhesive or the like and the resin composition, and the reliability is significantly reduced.
【0003】更に、近年パッケージの薄型化に伴い、パ
ッケージ中に占める樹脂組成物の厚みが一段と薄くなっ
てきており、64M、256MDRAM用のパッケージ
は、1mm厚のTSOPが主流となりつつある。これら
薄型パッケージには、樹脂組成物の成形時のパッケージ
充填性が良好で、金線変形が少なく、チップやリードフ
レームの変形(チップシフトやダイパッドシフトと呼
ぶ)がないことが要求され、そのため樹脂組成物は、成
形時の流動性に優れることが必要である。半田処理によ
る信頼性低下の改善と、成形時の流動性向上を両立する
ために、樹脂組成物中の溶融シリカ粉末の充填量を増加
させることで低吸湿化、高強度化、低熱膨張化を達成し
耐半田性を向上させるとともに、低溶融粘度の樹脂を使
用して、成形時低粘度で高流動性を維持させる手法が一
般的となりつつある。この手法に使用するエポキシ樹脂
としては、特に常温では固体で、溶融時は粘度が極端に
低下する結晶性のエポキシ化合物があり、特にその代表
的な例として、ビフェニル型エポキシ化合物が広く使用
され始めている(特開平5−175364、特開平5−
343570、特開平6−80763各号公報等)。Further, in recent years, the thickness of the resin composition occupying in the package has been further reduced with the reduction in the thickness of the package, and a TSOP having a thickness of 1 mm is becoming the mainstream for packages for 64M and 256M DRAMs. These thin packages are required to have good package filling properties at the time of molding the resin composition, to have little gold wire deformation, and to have no chip or lead frame deformation (referred to as chip shift or die pad shift). The composition needs to have excellent fluidity during molding. In order to achieve both the improvement in reliability due to soldering and the improvement in fluidity during molding, the amount of fused silica powder in the resin composition is increased to reduce moisture absorption, increase strength, and reduce thermal expansion. It is becoming common practice to achieve high solderability by improving the solder resistance and using a resin having a low melt viscosity to maintain low viscosity and high fluidity during molding. As the epoxy resin used in this method, there is a crystalline epoxy compound which is solid at normal temperature and extremely lowers in viscosity when melted, and as a typical example, a biphenyl type epoxy compound has begun to be widely used. (Japanese Unexamined Patent Publication No. 5-175364,
343570, JP-A-6-80763, etc.).
【0004】しかしながら、従来の結晶性エポキシ化合
物、特にビフェニル型エポキシ化合物では、成形温度で
の溶融粘度が低いという特徴はあるが、その主骨格であ
るビフェニル構造では、2官能のみという官能基数の限
界もあり、熱時強度、ガラス転移温度等の硬化物特性が
低いという問題点も指摘されている。また、ビフェニル
型エポキシ化合物を用いたエポキシ樹脂組成物を用いて
封止された半導体パッケージを150℃以上の高温で長
時間処理すると電気特性が低下することが問題視されは
じめている。この原因としてはビフェニル型エポキシ化
合物の硬化物のガラス転移温度の低さが大きく影響して
いることが判明しており、改良が望まれている。However, conventional crystalline epoxy compounds, particularly biphenyl type epoxy compounds, are characterized by low melt viscosity at the molding temperature. However, in the biphenyl structure, which is the main skeleton, the limit of the number of functional groups is only two. In addition, it has been pointed out that there is a problem that the properties of the cured product such as the strength at heat and the glass transition temperature are low. In addition, it has been begun to be regarded as a problem that when a semiconductor package sealed with an epoxy resin composition using a biphenyl type epoxy compound is treated at a high temperature of 150 ° C. or higher for a long time, electric characteristics are deteriorated. It has been found that the cause is largely affected by the low glass transition temperature of the cured product of the biphenyl type epoxy compound, and improvement is desired.
【0005】[0005]
【発明が解決しようとする課題】本発明は、薄型パッケ
ージでの充填性が良好で、金線変形、チップシフトやダ
イパッドシフトの少ない、即ち、成形時に高流動性の特
徴を有し、更に耐半田性や高温雰囲気下での電気特性な
どの信頼性の良好な樹脂組成物の開発を目的としてなさ
れたものである。DISCLOSURE OF THE INVENTION The present invention has a good filling property in a thin package, and has a small flow of gold wire, chip shift and die pad shift. The object of the present invention is to develop a resin composition having good reliability such as solderability and electric characteristics under a high temperature atmosphere.
【0006】[0006]
【課題を解決するための手段】即ち、本発明は、(A)
一般式(1)で示されるエポキシ化合物を総エポキシ樹
脂中に30重量%以上含むエポキシ樹脂、(B)150
℃における溶融粘度が5ポイズ以下のフェノール樹脂硬
化剤、特に好ましくは一般式(2)で示されるフェノー
ル樹脂硬化剤、(C)臭素化エポキシ樹脂、(D)酸化
アンチモン、(E)酸化ビスマス水和物およびハイドロ
タルサイト類化合物から選択される少なくとも一つの無
機イオン交換体、(F)溶融シリカ粉末、及び(G)硬
化促進剤を必須成分とする半導体封止用エポキシ樹脂組
成物において、エポキシ樹脂、フェノール樹脂硬化剤、
臭素化エポキシ樹脂の配合重量の総和Rと臭素化エポキ
シ樹脂中の臭素原子の重量a、酸化アンチモン中のアン
チモン原子の重量b、及び無機イオン交換体の配合重量
cとの間に以下の関係を有する半導体封止用エポキシ樹
脂組成物であり、 0.2<a/b<3.0、0.03<(a+b)/R≦
0.2、且つ0.05<c/(a+b)≦3That is, the present invention provides (A)
An epoxy resin containing 30% by weight or more of the epoxy compound represented by the general formula (1) in the total epoxy resin, (B) 150
A phenol resin curing agent having a melt viscosity at 5 ° C. of 5 poise or less, particularly preferably a phenol resin curing agent represented by the general formula (2), (C) a brominated epoxy resin, (D) antimony oxide, and (E) bismuth oxide water The epoxy resin composition for semiconductor encapsulation comprising at least one inorganic ion exchanger selected from the group consisting of a hydrate and a hydrotalcite compound, (F) a fused silica powder, and (G) a curing accelerator as essential components. Resin, phenolic resin curing agent,
The following relationship is established between the total R of the blended weight of the brominated epoxy resin, the weight a of the bromine atom in the brominated epoxy resin, the weight b of the antimony atom in the antimony oxide, and the blended weight c of the inorganic ion exchanger. An epoxy resin composition for encapsulating a semiconductor having: 0.2 <a / b <3.0, 0.03 <(a + b) / R ≦
0.2 and 0.05 <c / (a + b) ≦ 3
【化3】 (式中、Rは水素、炭素数1から9までのアルキル基、
ハロゲン原子から選択される基であり、互いに同一であ
っても、異なっていても良い。)Embedded image (Wherein R is hydrogen, an alkyl group having 1 to 9 carbon atoms,
A group selected from halogen atoms, which may be the same or different. )
【0007】好ましくは、150℃における溶融粘度が
5ポイズ以下のフェノール樹脂硬化剤が、一般式(2)
であるものである。Preferably, a phenol resin curing agent having a melt viscosity at 150 ° C. of 5 poise or less is represented by the general formula (2):
It is something that is.
【化4】 (式中、m≧0、n≧0、且つ m+n≧1)Embedded image (Where m ≧ 0, n ≧ 0, and m + n ≧ 1)
【0008】[0008]
【発明の実施の形態】以下本発明を詳細に説明する。本
発明に用いられる(A)成分中のエポキシ化合物は、一
般式(1)で示される。この構造のエポキシ化合物は、
通常スチルベン構造型エポキシと呼ばれる。既に多くの
研究が以前よりなされ、報文も数多く発表されている。
又、半導体封止材料用途への適用もいくつか提案されて
いる(特開平6−345849、特開平8−73562
各号公報等)。このスチルベン骨格は剛直な平面ないし
棒状構造を有しているので、分子同士が配向し易いため
液晶や液晶性高分子の代表的構造である。この構造を有
するエポキシ化合物を用いた樹脂組成物は、硬化後、エ
ポキシ化合物の剛直な分子骨格及びその分子同士の配向
性によって、良好な耐熱性を示す。このため、従来の結
晶性エポキシ化合物の代表であるビフェニル型エポキシ
化合物に比べ、ガラス転移温度及び熱時強度が高く、
又、耐湿性に優れる等の特徴を有している。又、ガラス
転移温度がビフェニル型エポキシ化合物よりも高いこと
から、これを用いたエポキシ樹脂組成物で封止した半導
体の高温雰囲気での電気特性の劣化は、ビフェニル型エ
ポキシ化合物を用いた場合よりも少ない特徴がある。更
に、この構造のエポキシ化合物は、せん断応力によって
分子が配向し易いことから、低圧トランスファー成形に
おいて金型内(特に薄型パッケージの様にせん断応力の
かかり易い構造の金型で)の樹脂組成物の流動性が高
く、薄型パッケージへの充填性に優れている。従って、
本発明の目的である薄型パッケージ封止用樹脂組成物に
は好適なエポキシ化合物である。一般式(1)で示され
るエポキシ化合物としては、例えば、以下の式(3)〜
式(5)等が挙げられるが、これらに限定されるもので
はない。DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The present invention will be described below in detail. The epoxy compound in the component (A) used in the present invention is represented by the general formula (1). Epoxy compounds of this structure
It is usually called stilbene structure type epoxy. Many studies have already been made and many reports have been published.
Some applications to semiconductor sealing materials have also been proposed (JP-A-6-345849, JP-A-8-73562).
Each publication). Since this stilbene skeleton has a rigid planar or rod-like structure, the molecules are easily aligned with each other, and thus is a typical structure of liquid crystal or liquid crystalline polymer. After curing, the resin composition using the epoxy compound having this structure exhibits good heat resistance due to the rigid molecular skeleton of the epoxy compound and the orientation of the molecules. For this reason, compared with the biphenyl type epoxy compound which is a representative of the conventional crystalline epoxy compound, the glass transition temperature and the strength at the time of heat are high,
In addition, it has features such as excellent moisture resistance. Further, since the glass transition temperature is higher than that of the biphenyl type epoxy compound, the deterioration of the electrical characteristics of the semiconductor sealed with the epoxy resin composition using the same in a high temperature atmosphere is higher than in the case where the biphenyl type epoxy compound is used. There are few features. Furthermore, since the epoxy compound having this structure tends to orient the molecules due to shear stress, the resin composition in the mold in low-pressure transfer molding (especially in a structure in which shear stress is easily applied like a thin package) is used. It has high fluidity and is excellent in filling into thin packages. Therefore,
It is an epoxy compound suitable for the resin composition for thin package sealing which is the object of the present invention. Examples of the epoxy compound represented by the general formula (1) include the following formulas (3) to (3).
Formula (5) and the like are included, but not limited thereto.
【化5】 Embedded image
【0009】[0009]
【化6】 Embedded image
【0010】[0010]
【化7】 Embedded image
【0011】本発明で言うエポキシ樹脂中には、分子中
に2個以上のエポキシ基を有するモノマー、オリゴマ
ー、ポリマー全般を含む。本発明のエポキシ化合物と併
用可能なエポキシ樹脂としては、エポキシ基を有するモ
ノマー、オリゴマー、ポリマー全般を指し、例えば、ビ
スフェノールA型エポキシ樹脂、オルソクレゾールノボ
ラック型エポキシ樹脂、ナフタレン型エポキシ樹脂、ト
リフェノールメタン型エポキシ樹脂、ジシクロペンタジ
エン変性フェノール類のエポキシ化樹脂等が挙げられる
が、特に耐半田性に優れる樹脂組成物を得るためには、
ビフェノールジグリシジルエーテル、テトラメチルビフ
ェノールジグリシジルエーテル、ハイドロキノンジグリ
シジルエーテル、テトラメチルビスフェノールFジグリ
シジルエーテル等に代表される、室温で結晶性を示すエ
ポキシ化合物が好ましい。又、一般式(1)と併用する
エポキシ樹脂は、単独もしくは混合して用いても差し支
えない。本発明のエポキシ化合物の使用割合は、総エポ
キシ樹脂中に30重量%以上が望ましい。30重量%未
満だと、この結晶性エポキシ化合物の特徴である、成形
時の高流動性と耐熱性の高さが発現しない。The epoxy resin referred to in the present invention includes all monomers, oligomers and polymers having two or more epoxy groups in a molecule. The epoxy resin that can be used in combination with the epoxy compound of the present invention refers to all monomers, oligomers, and polymers having an epoxy group, such as bisphenol A epoxy resin, orthocresol novolac epoxy resin, naphthalene epoxy resin, and triphenolmethane. Type epoxy resin, epoxidized resin of dicyclopentadiene-modified phenols and the like, in particular, in order to obtain a resin composition having excellent solder resistance,
Epoxy compounds that exhibit crystallinity at room temperature, such as biphenol diglycidyl ether, tetramethyl biphenol diglycidyl ether, hydroquinone diglycidyl ether, and tetramethyl bisphenol F diglycidyl ether, are preferred. The epoxy resin used in combination with the general formula (1) may be used alone or as a mixture. The use ratio of the epoxy compound of the present invention is desirably 30% by weight or more in the total epoxy resin. If the content is less than 30% by weight, the high fluidity and high heat resistance at the time of molding, which are characteristics of this crystalline epoxy compound, are not exhibited.
【0012】本発明に用いられる(B)成分のフェノー
ル樹脂硬化剤は、150℃での溶融粘度が5ポイズ以下
であることを特徴とする。溶融粘度が150℃で5ポイ
ズを越えると、これを用いた樹脂組成物の溶融粘度が高
くなり成形時の流動性が低下し、金型内の成形品の未充
填や金線変形、素子の傾き(いわゆるチップシフト)が
発生し好ましくない。フェノール樹脂の150℃での溶
融粘度の測定方法としては、ICIコーンプレート粘度
計が簡便であり、且つ一般的である。フェノール樹脂と
しては、エポキシ樹脂と硬化反応し、架橋構造を形成で
きるフェノール性水酸基を有するモノマー、オリゴマ
ー、ポリマー全般を指し、例えば、フェノールノボラッ
ク樹脂、キシリレン変性フェノール樹脂、テルペン変性
フェノール樹脂、ジシクロペンタジエン変性フェノール
樹脂、ビスフェノールA、トリフェノールメタン等が挙
げられるが、これらに限定されるものではない。これら
のフェノール樹脂は、単独もしくは混合して用いること
ができる。又、各種フェノール樹脂を併用した場合の溶
融粘度は、それぞれ単独のフェノール樹脂の溶融粘度の
値を指すのではなく、使用した全フェノール樹脂の溶融
混合物の溶融粘度が,150℃で5ポイズ以下というこ
とである。The phenolic resin curing agent (B) used in the present invention is characterized by having a melt viscosity at 150 ° C. of 5 poise or less. When the melt viscosity exceeds 5 poise at 150 ° C., the melt viscosity of the resin composition using the same increases, the fluidity at the time of molding decreases, and the molded product in the mold is not filled, the wire is deformed, and the An inclination (so-called chip shift) occurs, which is not preferable. As a method for measuring the melt viscosity of a phenol resin at 150 ° C., an ICI cone and plate viscometer is simple and general. Phenol resin refers to any monomer, oligomer, or polymer having a phenolic hydroxyl group capable of curing and reacting with an epoxy resin to form a crosslinked structure. Examples include, but are not limited to, modified phenolic resins, bisphenol A, triphenolmethane, and the like. These phenolic resins can be used alone or in combination. Further, the melt viscosity when various phenol resins are used in combination does not indicate the value of the melt viscosity of each phenol resin alone, but the melt viscosity of the melt mixture of all phenol resins used is 5 poise or less at 150 ° C. That is.
【0013】樹脂組成物の耐半田性の点から、特に効果
のあるフェノール樹脂としては、一般式(2)で示され
るキシリレン変性フェノール樹脂が好適である。このフ
ェノール樹脂は、フェノールとp−キシリレングリコー
ルジメチルエーテル、或いはm−キシリレングリコール
ジメチルエーテルとの重縮合反応により合成される。こ
の構造は低吸湿性、熱時の低弾性率化、リードフレー
ム、チップ等の部材と高密着性等の特性を有するため、
吸湿した水分が半田処理により気化した際に発生する応
力を低減し、パッケージクラック発生の防止効果が大き
い。更に、一般式(2)の構造中の、p−キシリレン骨
格に対するm−キシリレン骨格の割合が増加するにつれ
て、これを用いた樹脂組成物の熱時強度が向上する特徴
があり、より耐半田性に優れる傾向にある。From the viewpoint of the solder resistance of the resin composition, a xylylene-modified phenol resin represented by the following general formula (2) is preferable as a particularly effective phenol resin. This phenol resin is synthesized by a polycondensation reaction between phenol and p-xylylene glycol dimethyl ether or m-xylylene glycol dimethyl ether. Since this structure has properties such as low moisture absorption, low elastic modulus during heat, high adhesion to members such as lead frames and chips,
The stress generated when the absorbed moisture is vaporized by the soldering process is reduced, and the effect of preventing the occurrence of package cracks is great. Further, as the ratio of the m-xylylene skeleton to the p-xylylene skeleton in the structure of the general formula (2) increases, the resin composition using the same has a feature that the strength at heat is improved, and the solder resistance is further improved. Tend to be excellent.
【0014】本発明に用いられる(C)成分の臭素化エ
ポキシ樹脂とは、この樹脂骨格中に臭素原子を有するエ
ポキシ樹脂全般を指し、これらは難燃剤として周知のも
のである。臭素化エポキシ樹脂中の臭素原子が、エポキ
シ樹脂組成物の硬化物の燃焼時に難燃作用を発現する。
具体的には、テトラブロムビスフェノールA型エポキシ
樹脂、ブロム化フェノールノボラック型エポキシ樹脂等
が特に好ましい。本発明に用いられる(D)成分の酸化
アンチモンも難燃剤として周知であり、広く用いられて
いる。具体的には、三酸化二アンチモン、四酸化二アン
チモン、五酸化二アンチモンなどが例示される。The brominated epoxy resin (C) used in the present invention refers to all epoxy resins having a bromine atom in the resin skeleton, and these are well-known flame retardants. Bromine atoms in the brominated epoxy resin exhibit a flame retardant action when the cured product of the epoxy resin composition burns.
Specifically, a tetrabromobisphenol A type epoxy resin, a brominated phenol novolak type epoxy resin and the like are particularly preferable. The component (D) antimony oxide used in the present invention is also well known as a flame retardant and is widely used. Specifically, diantimony trioxide, diantimony tetroxide, diantimony pentoxide and the like are exemplified.
【0015】本発明に用いられる(E)成分の無機イオ
ン交換体は、酸化ビスマス水和物及びハイドロタルサイ
ト類化合物の少なくとも一つから選択されるものであ
る。酸化ビスマス水和物の具体例としては、以下のもの
が例示されるがこれらに限定されるものではない。 BiOx(OH)y(NO3)z、SbBiw Ox(OH)y
(NO3)z ・nH2O、SbSivBiwOx(OH)y
(NO3)z・nH2O、 (w、x、y、zは、それぞれ正の数字を、nは正の整数を
表す) ハイドロタルサイト類化合物は、一般式MgxAly(O
H)zCO3・nH2O、(w、x、y、z、nは、それぞれ正
の数字を表す)で示される。上記無機イオン交換体は、
エポキシ樹脂組成物中に配合している臭素化エポキシ樹
脂から遊離して存在する臭素イオンや酸化アンチモンか
ら発生するアンチモンイオンをトラップすることにより
信頼性を向上させる効果がある。The inorganic ion exchanger of the component (E) used in the present invention is selected from at least one of bismuth oxide hydrate and hydrotalcite compounds. Specific examples of bismuth oxide hydrate include the following, but are not limited thereto. BiOx (OH) y (NO 3 ) z, SbBiw Ox (OH) y
(NO 3 ) z · nH 2 O, SbSivBiWOx (OH) y
(NO 3 ) z · nH 2 O, (w, x, y, and z each represent a positive number and n represents a positive integer) A hydrotalcite compound is represented by the general formula MgxAly (O
H) zCO 3 .nH 2 O, where (w, x, y, z, and n each represent a positive number). The inorganic ion exchanger,
By trapping bromine ions released from the brominated epoxy resin compounded in the epoxy resin composition and antimony ions generated from antimony oxide, there is an effect of improving reliability.
【0016】(A)成分のスチルベン型エポキシ化合物
は、その剛直な構造のため、ビフェニル型エポキシ化合
物に代表される他の結晶性エポキシ化合物に比較しガラ
ス転移温度が高いため、半導体の高温雰囲気下での電気
特性の信頼性が向上することは前述した通りである。し
かし、本エポキシ化合物も2官能性であるため、例えば
クレゾールノボラック型エポキシ樹脂に代表される多官
能エポキシ樹脂に比較すればガラス転移温度が低く、高
温雰囲気下での電気特性の信頼性は低下する。また、ス
チルベン型エポキシ化合物は、ビフェニル型エポキシ化
合物に比較しベンゼン環の間に、非芳香族炭素−水素原
子を有するため、燃焼し易いといった欠点も有する。こ
のため難燃剤成分をビフェニル型エポキシ化合物に比べ
多く配合しなければ耐燃性が発現しない。ところが、難
燃剤成分を増量すると、臭素化エポキシ樹脂に由来する
臭素原子や酸化アンチモン化合物に由来するアンチモン
イオンが増加する。これら両イオンは高温雰囲気下での
半導体素子の電気特性を低下させる相関があり、極力こ
れらのイオンを低減させることが必要である。The stilbene type epoxy compound of the component (A) has a higher glass transition temperature than other crystalline epoxy compounds typified by the biphenyl type epoxy compound due to its rigid structure. As described above, the reliability of the electrical characteristics is improved. However, since the present epoxy compound is also bifunctional, its glass transition temperature is lower than that of a polyfunctional epoxy resin represented by, for example, a cresol novolak type epoxy resin, and the reliability of electric characteristics under a high-temperature atmosphere is reduced. . Further, the stilbene type epoxy compound has a non-aromatic carbon-hydrogen atom between benzene rings as compared with the biphenyl type epoxy compound, and thus has a disadvantage that it is easily burned. For this reason, unless the flame retardant component is added in a larger amount than the biphenyl type epoxy compound, the flame resistance is not exhibited. However, when the amount of the flame retardant component is increased, bromine atoms derived from the brominated epoxy resin and antimony ions derived from the antimony oxide compound increase. These two ions have a correlation that lowers the electrical characteristics of the semiconductor device under a high-temperature atmosphere, and it is necessary to reduce these ions as much as possible.
【0017】(E)成分の無機イオン交換体は、これら
イオンを捕捉し、高温雰囲気下での電気特性の低下を防
止できる。従って、(A)成分のスチルベン型エポキシ
化合物の高温雰囲気下での電気特性に優れるという特長
を損なわなずに、更に向上させることができる。即ち、
結晶性エポキシ化合物を用いたエポキシ樹脂組成物の成
形時の高流動性と高温雰囲気下での電気特性向上との両
立が可能になる。しかし、これを実現するためには、エ
ポキシ樹脂組成物中に含まれる可燃成分である樹脂成分
の配合量と難燃剤成分の配合量、及び無機イオン交換体
の配合量の最適化が必要であることはいうまでもない。The component (E), an inorganic ion exchanger, captures these ions and can prevent a decrease in electric characteristics under a high-temperature atmosphere. Accordingly, the stilbene type epoxy compound (A) can be further improved without impairing its characteristic of being excellent in electric characteristics under a high temperature atmosphere. That is,
It is possible to achieve both high fluidity during molding of an epoxy resin composition using a crystalline epoxy compound and improvement in electrical properties under a high-temperature atmosphere. However, in order to realize this, it is necessary to optimize the compounding amount of the resin component, which is a combustible component, the compounding amount of the flame retardant component, and the compounding amount of the inorganic ion exchanger contained in the epoxy resin composition. Needless to say.
【0018】エポキシ樹脂組成物中の上記樹脂成分と
は、エポキシ樹脂、フェノール樹脂硬化剤、及び臭素化
エポキシ樹脂のいずれをも含む。これら樹脂成分の配合
量の総和をRとし、一方、難燃剤のうち難燃成分として
作用する臭素化エポキシ樹脂中の臭素原子の量及び酸化
アンチモン中のアンチモン原子の量を、それぞれa,b
とすると、それぞれの配合量は以下の関係にあることが
必要である。 0.2<a/b<3.0、0.03<(a+b)/R≦
0.2 臭素原子とアンチモン原子は両者の相互作用により難燃
性を発現するために、a/bが0.2以下または3.0
以上の配合比では十分な難燃性が得られず、添加量が多
くなるために、高温雰囲気下での電気特性の信頼性を低
下させてしまう。また、(a+b)/Rが、0.03以
下では難燃性が得られず、一方0.2を越えると難燃性
は、更に向上するものの、高温雰囲気下での電気特性の
低下の効果が大きくなってしまう。無機イオン交換体の
配合量cは、上記aとbとの総和に対し以下の関係にあ
ることが好ましい。 0.05<c/(a+b)≦3 c/(a+b)が、0.05以下では臭素イオンやアン
チモンイオンのトラップ能力が低下し、高温雰囲気下で
の電気特性、信頼性が低下する。一方、3を越えるとエ
ポキシ樹脂組成物の硬化性が低下して、成形性に劣る。The resin component in the epoxy resin composition includes any of an epoxy resin, a phenol resin curing agent, and a brominated epoxy resin. The sum of the amounts of these resin components is denoted by R, and the amount of bromine atoms in the brominated epoxy resin acting as the flame retardant component of the flame retardant and the amount of antimony atoms in antimony oxide are denoted by a and b, respectively.
Then, it is necessary that the respective compounding amounts have the following relationship. 0.2 <a / b <3.0, 0.03 <(a + b) / R ≦
0.2 Since a bromine atom and an antimony atom exhibit flame retardancy due to an interaction between them, a / b is 0.2 or less or 3.0 or less.
With the above compounding ratio, sufficient flame retardancy cannot be obtained, and the added amount increases, so that the reliability of the electrical characteristics under a high-temperature atmosphere is reduced. When (a + b) / R is 0.03 or less, flame retardancy cannot be obtained. On the other hand, when (a + b) / R exceeds 0.2, the flame retardancy is further improved, but the effect of lowering the electric characteristics under a high-temperature atmosphere is obtained. Becomes large. It is preferable that the compounding amount c of the inorganic ion exchanger has the following relationship with respect to the sum of the above a and b. When 0.05 <c / (a + b) ≦ 3 c / (a + b) is less than 0.05, the ability to trap bromine ions and antimony ions is reduced, and the electrical characteristics and reliability under a high-temperature atmosphere are reduced. On the other hand, when it exceeds 3, the curability of the epoxy resin composition is lowered and the moldability is poor.
【0019】本発明に用いられる(F)成分の溶融シリ
カ粉末は、例えば、火炎中で溶融された天然シリカ、及
び、テトラメトキシシラン、テトラエトキシシラン等を
加水分解して得られる合成シリカを指す。又、その形状
・製法により球状シリカと破砕シリカに分類されるが、
いずれを用いても差し支えないが、フィラーを高充填に
する場合には、球状シリカの使用比率を高くすることが
好ましい。本発明に用いられる(F)成分の溶融シリカ
粉末の配合量としては、全樹脂組成物中に75〜93重
量%が好ましい。75重量%未満だと、成形したパッケ
ージの吸湿量が増大し、半田処理温度での強度が低下す
るため、半田処理時にパッケージにクラックが発生し易
くなり好ましくない。一方、93重量%を越えると、樹
脂組成物の成形時の流動性が低下し、未充填やチップシ
フト、パッドシフトが発生し易くなり好ましくない。The fused silica powder of the component (F) used in the present invention refers to, for example, natural silica melted in a flame and synthetic silica obtained by hydrolyzing tetramethoxysilane, tetraethoxysilane and the like. . In addition, it is classified into spherical silica and crushed silica according to its shape and manufacturing method.
Either of them may be used, but when the filler is highly filled, it is preferable to increase the use ratio of the spherical silica. The compounding amount of the fused silica powder of the component (F) used in the present invention is preferably 75 to 93% by weight in the whole resin composition. If the amount is less than 75% by weight, the molded package will have an increased amount of moisture absorption, and the strength at the soldering temperature will be reduced. On the other hand, when the content exceeds 93% by weight, the fluidity during molding of the resin composition decreases, and unfilling, chip shift, and pad shift tend to occur, which is not preferable.
【0020】本発明に用いられる(G)成分の硬化促進
剤としては、前記エポキシ樹脂とフェノール樹脂硬化剤
との架橋反応を促進するものであればよく、例えば、
1,8−ジアザビシクロ(5,4,0)ウンデセン−7
等のアミジン系化合物、トリフェニルホスフィン、テト
ラフェニルホスフォニウム・テトラフェニルボレート塩
等の有機リン系化合物、2−メチルイミダゾール等のイ
ミダゾール化合物等が挙げられるが、これらに限定され
るものではない。これらの硬化促進剤は単独でも混合し
て用いても差し支えない。本発明の樹脂組成物は、
(A)〜(G)成分の他、必要に応じて、ポリシロキサ
ン化合物に代表される低応力剤、カップリング剤、カー
ボンブラックに代表される着色剤、天然ワックス及び合
成ワックス等の離型剤等が適宜配合可能である。成形材
料とするには、全成分を混合後、加熱ニーダや熱ロール
を用いて加熱混練し、続いて冷却、粉砕することで目的
とする樹脂組成物が得られる。The curing accelerator of the component (G) used in the present invention may be any as long as it promotes the crosslinking reaction between the epoxy resin and the phenol resin curing agent.
1,8-diazabicyclo (5,4,0) undecene-7
And the like, an organic phosphorus compound such as triphenylphosphine, tetraphenylphosphonium / tetraphenylborate salt, and an imidazole compound such as 2-methylimidazole, but are not limited thereto. These curing accelerators may be used alone or as a mixture. The resin composition of the present invention,
In addition to the components (A) to (G), if necessary, low stress agents represented by polysiloxane compounds, coupling agents, coloring agents represented by carbon black, release agents such as natural waxes and synthetic waxes Etc. can be appropriately compounded. In order to obtain a molding material, after mixing all components, the mixture is heated and kneaded using a heating kneader or a hot roll, and then cooled and pulverized to obtain a desired resin composition.
【0021】以下、本発明を実施例で具体的に説明す
る。 実施例1 式(4)で示されるエポキシ化合物(融点146℃) 3.8重量部Hereinafter, the present invention will be described specifically with reference to examples. Example 1 3.8 parts by weight of an epoxy compound represented by the formula (4) (melting point: 146 ° C.)
【化8】 Embedded image
【0022】 式(6)で示されるキシリレン変性フェノール樹脂 4.2重量部4.2 parts by weight of a xylylene-modified phenolic resin represented by the formula (6)
【化9】 (但し、mは1以上の混合品であり、m≧6である成分の重量割合は32重量 %であり、又、150℃の溶融粘度が2.8ポイズ、水酸基当量は170)(以 下、式(6−1)という)Embedded image (However, m is a mixture of at least one, the weight ratio of the components satisfying m ≧ 6 is 32% by weight, the melt viscosity at 150 ° C. is 2.8 poise, and the hydroxyl equivalent is 170.) , Formula (6-1))
【0023】 臭素化ビスフェノールA型エポキシ樹脂(臭素含有量50%) 0.5重量部 三酸化アンチモン(アンチモン原子含量84%) 1.0重量部 酸化ビスマス水和物(一般式BiOx(OH)y(NO3)z(但し、x=0.9〜 1.1、y=0.6〜 0.8、z=0.2〜0.4である.商品名IXE−50 0S(東亞合成(株)・製)) 1.0重量部 球状溶融シリカ粉末 88.0重量部 1,8−ジアザビシクロ(5,4,0)ウンデセン−7(以下、DBUという ) 0.2重量部 γ−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン 0.5重量部 カーボンブラック 0.3重量部 カルナバワックス 0.5重量部 各成分をミキサーを用いて混合した後、表面温度が90
℃と45℃の2本ロールを用いて30回混練し、得られ
た混練物シートを冷却後粉砕して、樹脂組成物とした。
得られた樹脂組成物の特性を以下の方法で評価した。結
果を表1に示す。A brominated bisphenol A type epoxy resin (bromine content: 50%) 0.5 parts by weight Antimony trioxide (antimony atom content: 84%) 1.0 parts by weight Bismuth oxide hydrate (general formula BiOx (OH) y (NO 3 ) z (where x = 0.9 to 1.1, y = 0.6 to 0.8, z = 0.2 to 0.4. Trade name IX-500S (Toagosei ( 1.0 part by weight Spherical fused silica powder 88.0 parts by weight 1,8-diazabicyclo (5,4,0) undecene-7 (hereinafter referred to as DBU) 0.2 part by weight γ-glycid 0.5 parts by weight of xypropyltrimethoxysilane 0.3 parts by weight of carbon black 0.5 parts by weight of carnauba wax After mixing each component using a mixer, the surface temperature was 90%.
The mixture was kneaded 30 times using two rolls at a temperature of 45 ° C. and a temperature of 45 ° C. The obtained kneaded material sheet was cooled and pulverized to obtain a resin composition.
The properties of the obtained resin composition were evaluated by the following methods. Table 1 shows the results.
【0024】評価方法 スパイラルフロー:EMMI−I−66に準じたスパイ
ラルフロー測定用の金型を用いて、金型温度175℃、
注入圧力70kg/cm2、硬化時間2分で測定した。 耐燃性:UL−94の試験法に準拠して、1.0mm厚
の試験片の燃焼試験を行った。結果をUL−94の耐燃
レベルで表す。 高温信頼性:模擬素子を搭載した16pSOPを用い、
185℃で処理した際に、電気抵抗値が初期値の2倍に
なるパッケージ数が50%を越える迄の処理時間を表し
た。 バコール硬度:高温信頼性の評価で用いた16pSOP
のパッケージを175℃の金型温度、75kg/cm2
の成形圧力で2分間トランスファー成形した。金型が開
いた後10秒後の成形品の表面硬度をバコール硬度計#
935で測定した。 熱時強度:240℃での曲げ強さをJIS−K6911
の試験条件で測定した。 耐半田性:100ピンTQFPパッケージ(パッケージ
サイズは14×14mm、厚み1.4mm、シリコンチ
ップサイズは8.0×8.0mm、リードフレームは4
2アロイ製)を175℃の金型温度、75kg/cm2
の射出圧力で2分間トランスファー成形を行い、175
℃で8時間の後硬化をした。成形品パッケージを85
℃、相対湿度85%の環境下で168時間放置し、その
後240℃の半田槽に10秒間浸漬した。顕微鏡でパッ
ケージを観察し、外部クラック((クラック発生パッケ
ージ数)/(全パッケージ数)×100)を%で表示し
た。又、チップと樹脂組成物との剥離面積の割合を超音
波探傷装置を用いて測定し、剥離率((剥離面積)/
(チップ面積)×100)を%で表示した。Evaluation method Spiral flow: Using a mold for spiral flow measurement in accordance with EMMI-I-66, using a mold temperature of 175 ° C.
The measurement was performed at an injection pressure of 70 kg / cm 2 and a curing time of 2 minutes. Flame resistance: A combustion test of a 1.0 mm thick test piece was performed according to the UL-94 test method. The results are expressed as the UL-94 flame resistance level. High temperature reliability: Using 16pSOP equipped with a simulation element,
The table shows the processing time until the number of packages at which the electric resistance value becomes twice the initial value after processing at 185 ° C. exceeds 50%. Bacoal hardness: 16 pSOP used in high-temperature reliability evaluation
175 ° C mold temperature, 75kg / cm 2
Transfer molding at a molding pressure of 2 minutes. Measure the surface hardness of the molded product 10 seconds after opening the mold with a Bacoal hardness tester #
Measured at 935. Heat strength: Flexural strength at 240 ° C. is determined according to JIS-K6911.
The test conditions were as follows. Solder resistance: 100-pin TQFP package (package size is 14 x 14 mm, thickness is 1.4 mm, silicon chip size is 8.0 x 8.0 mm, lead frame is 4
2 alloy) at a mold temperature of 175 ° C., 75 kg / cm 2
Transfer molding at an injection pressure of 2 minutes, and 175
Post-curing was carried out at 8 ° C. for 8 hours. 85 molded product packages
It was left for 168 hours in an environment of 85 ° C. and a relative humidity of 85%, and then immersed in a solder bath at 240 ° C. for 10 seconds. The package was observed with a microscope, and external cracks ((number of crack-occurring packages) / (total number of packages) × 100) were displayed in%. Further, the ratio of the peeling area between the chip and the resin composition was measured using an ultrasonic flaw detector, and the peeling rate ((peeling area) /
(Chip area) × 100) was expressed in%.
【0025】実施例2〜6、比較例1〜8 実施例1の配合に代えて、表1に示す割合で各成分を配
合し、実施例1と同様に混合・混練して樹脂組成物を得
た。実施例1と同様に評価した結果を表1及び表2に示
す。なお、実施例5のエポキシ化合物(5)は、前記式
(5)と同一のものであり、融点は110℃である。
又、実施例6、比較例8のビフェニル型エポキシ化合物
とは、商品名YX−4000H(油化シェルエポキシ
(株)・製)の3,3’,5,5’−テトラメチルビフ
ェノールジグリシジルエーテル型のものである。実施例
5、比較例4で用いたフェノール樹脂(2)、及び比較
例7で用いたフェノール樹脂(6)の構造及び樹脂特性
を下記に示す。Examples 2 to 6, Comparative Examples 1 to 8 In place of the composition of Example 1, each component was blended in the ratio shown in Table 1, and mixed and kneaded in the same manner as in Example 1 to obtain a resin composition. Obtained. Tables 1 and 2 show the results of the evaluation performed in the same manner as in Example 1. In addition, the epoxy compound (5) of Example 5 is the same as the formula (5), and has a melting point of 110 ° C.
The biphenyl epoxy compounds of Example 6 and Comparative Example 8 are 3,3 ′, 5,5′-tetramethylbiphenol diglycidyl ether of trade name YX-4000H (manufactured by Yuka Shell Epoxy Co., Ltd.). Type. The structures and resin properties of the phenolic resin (2) used in Example 5, Comparative Example 4 and the phenolic resin (6) used in Comparative Example 7 are shown below.
【化10】 (但し、重量比でm/n=3/1、m+nは1以上の混
合品であり、m+n≧6である成分の重量割合は40重
量%であり、又、150℃の溶融粘度が3.3ポイズ、
水酸基当量170)(以下、式(2−1)という)Embedded image (However, m / n = 3/1 by weight, m + n is a mixture of 1 or more, the weight ratio of the component satisfying m + n ≧ 6 is 40% by weight, and the melt viscosity at 150 ° C. is 3.%). 3 poise,
Hydroxyl equivalent 170) (hereinafter referred to as formula (2-1))
【0026】[0026]
【化11】 (但し、mは1以上の混合品であり、m≧6である成分
の重量割合は60重量%であり、又、150℃の溶融粘
度が7.8ポイズ、水酸基当量168)(以下、式(6
−2)という)Embedded image (However, m is a mixture of at least 1; the weight ratio of components satisfying m ≧ 6 is 60% by weight; the melt viscosity at 150 ° C. is 7.8 poise; the hydroxyl equivalent is 168) (6
-2))
【0027】また、実施例3〜5、比較例3で用いたハ
イドロタルサイト類化合物は、製品名DHT−4A(協
和化学工業(株)・製)であり、一般式は以下で示され
る。 Mg4.5Al2(OH)13CO3・3.5H2O また、実施例4で用いたフェノールノボラック樹脂は、
水酸基当量103、150℃の溶融粘度が2.5ポイズ
である。The hydrotalcite compound used in Examples 3 to 5 and Comparative Example 3 is a product name DHT-4A (manufactured by Kyowa Chemical Industry Co., Ltd.), and its general formula is shown below. Mg 4.5 Al 2 (OH) 13 CO 3 .3.5H 2 O The phenol novolak resin used in Example 4 was
The hydroxyl equivalent is 103 and the melt viscosity at 150 ° C. is 2.5 poise.
【0028】[0028]
【表1】 [Table 1]
【0029】[0029]
【表2】 [Table 2]
【0030】[0030]
【発明の効果】本発明の樹脂組成物を用いると、薄型パ
ッケージの充填性に優れ、しかも得られた半導体パッケ
ージは、高温雰囲気下での電気特性、信頼性及び吸湿後
の耐半田性に優れる。According to the present invention, the use of the resin composition of the present invention is excellent in the filling property of a thin package, and the obtained semiconductor package is excellent in electrical properties in a high-temperature atmosphere, reliability, and solder resistance after moisture absorption. .
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 FI C08K 3/36 C08K 3/36 C08L 63/00 C08L 63/00 C B H01L 23/29 H01L 23/30 R 23/31 ──────────────────────────────────────────────────の Continued on the front page (51) Int.Cl. 6 Identification code FI C08K 3/36 C08K 3/36 C08L 63/00 C08L 63/00 CB H01L 23/29 H01L 23/30 R 23/31
Claims (2)
化合物を総エポキシ樹脂中に30重量%以上含むエポキ
シ樹脂、(B)150℃における溶融粘度が5ポイズ以
下のフェノール樹脂硬化剤、(C)臭素化エポキシ樹
脂、(D)酸化アンチモン、(E)酸化ビスマス水和物
およびハイドロタルサイト類化合物から選択される少な
くとも一つの無機イオン交換体、(F)溶融シリカ粉
末、及び(G)硬化促進剤を必須成分とする半導体封止
用エポキシ樹脂組成物において、エポキシ樹脂、フェノ
ール樹脂硬化剤、臭素化エポキシ樹脂の配合重量の総和
Rと臭素化エポキシ樹脂中の臭素原子の重量a、酸化ア
ンチモン中のアンチモン原子の重量b、及び無機イオン
交換体の配合重量cとの間に以下の関係があることを特
徴とする半導体封止用エポキシ樹脂組成物。 0.2<a/b<3.0、0.03<(a+b)/R≦
0.2、 且つ0.05<c/(a+b)≦3 【化1】 (式中、Rは水素、炭素数1から9までのアルキル基、
ハロゲン原子から選択される基であり、互いに同一であ
っても、異なっていても良い。)(A) an epoxy resin containing the epoxy compound represented by the general formula (1) in an amount of 30% by weight or more in a total epoxy resin, (B) a phenol resin curing agent having a melt viscosity at 150 ° C. of 5 poise or less, (C) a brominated epoxy resin, (D) antimony oxide, (E) at least one inorganic ion exchanger selected from bismuth oxide hydrate and hydrotalcite compounds, (F) fused silica powder, and (G) ) In the epoxy resin composition for semiconductor encapsulation containing a curing accelerator as an essential component, the sum R of the compounding weights of the epoxy resin, the phenol resin curing agent, and the brominated epoxy resin, and the weight a of the bromine atoms in the brominated epoxy resin, The following relationship is established between the weight (b) of antimony atoms in antimony oxide and the weight (c) of the inorganic ion exchanger. Poxy resin composition. 0.2 <a / b <3.0, 0.03 <(a + b) / R ≦
0.2 and 0.05 <c / (a + b) ≦ 3 (Wherein R is hydrogen, an alkyl group having 1 to 9 carbon atoms,
A group selected from halogen atoms, which may be the same or different. )
が5ポイズ以下のフェノール樹脂硬化剤が、一般式
(2)である請求項1記載の半導体封止用エポキシ樹脂
組成物。 【化2】 (式中、m≧0、n≧0、且つ m+n≧1)2. The epoxy resin composition for semiconductor encapsulation according to claim 1, wherein the phenol resin curing agent having a melt viscosity of 5 poise or less at 150 ° C. of the component (B) is represented by the general formula (2). Embedded image (Where m ≧ 0, n ≧ 0, and m + n ≧ 1)
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP31896396A JPH10158360A (en) | 1996-11-29 | 1996-11-29 | Epoxy resin composition |
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- 1996-11-29 JP JP31896396A patent/JPH10158360A/en not_active Withdrawn
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