JPH095018A - 移動量測長装置 - Google Patents
移動量測長装置Info
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- JPH095018A JPH095018A JP7159306A JP15930695A JPH095018A JP H095018 A JPH095018 A JP H095018A JP 7159306 A JP7159306 A JP 7159306A JP 15930695 A JP15930695 A JP 15930695A JP H095018 A JPH095018 A JP H095018A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】本発明は、小型化され、レーザ光の干渉を利用
して顕微鏡の対物レンズ等の光軸方向の移動量を高精度
に測長する移動量測長装置を提供することを目的とす
る。 【構成】本発明は、レーザ光源１からのレーザ光を参照
光と測定光に分岐する偏光ビームスプリッタ２と、レン
ズマウント１１の観察路範囲外の周辺部分に取り付けら
れ入射した測定光を反射面の２箇所で反射する穴開き平
面ミラー５と、この平面ミラー５の反射面と所定間隔で
平行して配置され、入射した参照光を反射面の２箇所で
反射する穴開き平面ミラー９と、各平面ミラー５，９で
反射された参照光と測定光から光路長差の変化により光
軸上のレンズマウント１１の移動量を検出する検出器１
０と、参照光及び測定光を各平面ミラー５，９の反射箇
所に導き、それらの反射光を検出器１０に導く１／４波
長板４，８、コーナキューブ６及び１／２波長板７とで
構成される移動量測長装置を提供する。
して顕微鏡の対物レンズ等の光軸方向の移動量を高精度
に測長する移動量測長装置を提供することを目的とす
る。 【構成】本発明は、レーザ光源１からのレーザ光を参照
光と測定光に分岐する偏光ビームスプリッタ２と、レン
ズマウント１１の観察路範囲外の周辺部分に取り付けら
れ入射した測定光を反射面の２箇所で反射する穴開き平
面ミラー５と、この平面ミラー５の反射面と所定間隔で
平行して配置され、入射した参照光を反射面の２箇所で
反射する穴開き平面ミラー９と、各平面ミラー５，９で
反射された参照光と測定光から光路長差の変化により光
軸上のレンズマウント１１の移動量を検出する検出器１
０と、参照光及び測定光を各平面ミラー５，９の反射箇
所に導き、それらの反射光を検出器１０に導く１／４波
長板４，８、コーナキューブ６及び１／２波長板７とで
構成される移動量測長装置を提供する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、プレーンミラー干渉計
を応用した顕微鏡の対物レンズ等の光軸方向への変位を
レーザ光によって高精度に測長する移動量測長装置に関
する。
を応用した顕微鏡の対物レンズ等の光軸方向への変位を
レーザ光によって高精度に測長する移動量測長装置に関
する。
【０００２】
【従来の技術】従来、顕微鏡の対物レンズ等に取り付け
られ、光軸方向への変位を測長する移動量測長装置があ
る。一般的に用いられている構成としては、図２に示す
ように顕微鏡の鏡体２０にガラススケール２１を固定
し、またガラススケール２１に重ね合わせるように、対
物レンズ１２のマウント１１に読み取りヘッド２２を固
定して構成している。この構成においては、対物レンズ
１２の移動に伴い、読み取りヘッド２２が移動し、その
移動量をガラススケール２１で読取り測長している。
られ、光軸方向への変位を測長する移動量測長装置があ
る。一般的に用いられている構成としては、図２に示す
ように顕微鏡の鏡体２０にガラススケール２１を固定
し、またガラススケール２１に重ね合わせるように、対
物レンズ１２のマウント１１に読み取りヘッド２２を固
定して構成している。この構成においては、対物レンズ
１２の移動に伴い、読み取りヘッド２２が移動し、その
移動量をガラススケール２１で読取り測長している。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかし、前述した従来
の移動量測長装置は、それぞれの部位を鏡体２０とマウ
ント１１（対物レンズ１２）に取り付けているため、対
物レンズ１２の光軸とガラススケール２１が離れた位置
に設置せざるを得ない。すなわち、対物レンズ１２自体
の移動量を直接的に測定するのではなく、マウント１１
の移動では光軸のずれ等が発生しないことを前提とし
て、マウント１１の移動量を対物レンズ１２の移動量と
して測長している。しかし、実際にはマウント１１は、
機械的な構成により移動しており、精密な部材で構成し
ても、その移動時には僅かであってもぶれは必然的に発
生する。このぶれによって、対物レンズの光軸にぶれが
生じる。
の移動量測長装置は、それぞれの部位を鏡体２０とマウ
ント１１（対物レンズ１２）に取り付けているため、対
物レンズ１２の光軸とガラススケール２１が離れた位置
に設置せざるを得ない。すなわち、対物レンズ１２自体
の移動量を直接的に測定するのではなく、マウント１１
の移動では光軸のずれ等が発生しないことを前提とし
て、マウント１１の移動量を対物レンズ１２の移動量と
して測長している。しかし、実際にはマウント１１は、
機械的な構成により移動しており、精密な部材で構成し
ても、その移動時には僅かであってもぶれは必然的に発
生する。このぶれによって、対物レンズの光軸にぶれが
生じる。
【０００４】従って、対物レンズの移動時の真角度のぶ
れの影響によるアッベエラーを避けることは難しい。対
物レンズの真上にガラススケールを設置すれば、アッベ
エラーを無くすことはできるが対物レンズによる観察路
を確保する必要があるため、このような配置は難しい。
れの影響によるアッベエラーを避けることは難しい。対
物レンズの真上にガラススケールを設置すれば、アッベ
エラーを無くすことはできるが対物レンズによる観察路
を確保する必要があるため、このような配置は難しい。
【０００５】そこで本発明は、小型化され、レーザ光の
干渉を利用して、顕微鏡の対物レンズ等の光軸方向の移
動量を高精度に測長する移動量測長装置を提供すること
を目的とする。
干渉を利用して、顕微鏡の対物レンズ等の光軸方向の移
動量を高精度に測長する移動量測長装置を提供すること
を目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明は上記目的を達成
するために、レーザ光源と、前記レーザ光源からのレー
ザ光を参照光と測定光に分岐する偏光ビームスプリッタ
と、移動可能な対物レンズ鏡筒の観察路範囲外の周辺部
分に固定され、入射した前記測定光を反射面の少なくと
も２箇所で反射する移動ミラー手段と、前記移動ミラー
手段の反射面と所定間隔で平行して配置され、入射した
前記参照光を反射面の少なくとも２箇所で反射する固定
ミラー手段と、前記移動ミラー手段と前記固定ミラー手
段で反射された参照光と測定光を入射し、該参照光と測
定光の光路長差の変化により対物レンズ鏡筒の移動量を
検出する検出手段と、前記偏光ビームスプリッタにより
分岐された参照光及び測定光を前記移動ミラー手段及び
前記固定ミラー手段のそれぞれ所定の反射箇所に導き、
それぞれの反射箇所で反射された参照光と測定光を前記
検出手段に導く光路手段とで構成された移動量測長装置
を提供する。
するために、レーザ光源と、前記レーザ光源からのレー
ザ光を参照光と測定光に分岐する偏光ビームスプリッタ
と、移動可能な対物レンズ鏡筒の観察路範囲外の周辺部
分に固定され、入射した前記測定光を反射面の少なくと
も２箇所で反射する移動ミラー手段と、前記移動ミラー
手段の反射面と所定間隔で平行して配置され、入射した
前記参照光を反射面の少なくとも２箇所で反射する固定
ミラー手段と、前記移動ミラー手段と前記固定ミラー手
段で反射された参照光と測定光を入射し、該参照光と測
定光の光路長差の変化により対物レンズ鏡筒の移動量を
検出する検出手段と、前記偏光ビームスプリッタにより
分岐された参照光及び測定光を前記移動ミラー手段及び
前記固定ミラー手段のそれぞれ所定の反射箇所に導き、
それぞれの反射箇所で反射された参照光と測定光を前記
検出手段に導く光路手段とで構成された移動量測長装置
を提供する。
【０００７】
【作用】以上のような構成の移動量測長装置は、顕微鏡
における対物レンズ鏡筒（レンズマウント）の観察路範
囲外の周辺部分に取り付けられた移動ミラー手段と、顕
微鏡内でレンズマウントを囲んだ近傍に設けられた固定
ミラー手段と各反射面の少なくとも２箇所の反射箇所
に、それぞれ測定光と参照光とを光路手段により入射さ
れ、それらの反射光の光路長差の変化により対物レンズ
等の光軸上のレンズマウントの移動量が検出される。
における対物レンズ鏡筒（レンズマウント）の観察路範
囲外の周辺部分に取り付けられた移動ミラー手段と、顕
微鏡内でレンズマウントを囲んだ近傍に設けられた固定
ミラー手段と各反射面の少なくとも２箇所の反射箇所
に、それぞれ測定光と参照光とを光路手段により入射さ
れ、それらの反射光の光路長差の変化により対物レンズ
等の光軸上のレンズマウントの移動量が検出される。
【０００８】
【実施例】以下、図面を参照して本発明の実施例を詳細
に説明する。図１には、本発明による実施例として顕微
鏡に装着したプレーンミラー干渉計の原理を応用した移
動距離測長装置の概略的な構成を示し説明する。
に説明する。図１には、本発明による実施例として顕微
鏡に装着したプレーンミラー干渉計の原理を応用した移
動距離測長装置の概略的な構成を示し説明する。
【０００９】この移動距離測長装置は、レーザ光を発生
させるレーザ光源１と、発生したレーザ光を後述する参
照光と測定光に分岐する偏光ビームスプリッタ２と、図
示されない駆動部により上下に移動可能なレンズマウン
ト（対物レンズ鏡筒）１１の上部に取り付けられた穴開
き平面ミラー（移動ミラー）５と、偏光ビームスプリッ
タ２と穴開き平面ミラー５との間に固定され穴開き平面
ミラー５よりも大口径の穴開き平面ミラー９と、偏光ビ
ームスプリッタ２と穴開き平面ミラー（固定ミラー）９
との間に設けられた１／４波長板８と、その偏光ビーム
スプリッタ２の反対側に設けられたコーナキューブ６お
よび１／２波長板７と、参照光及び測定光を偏光ビーム
スプリッタ２と穴開き平面ミラー５，９との間で反射す
る反射鏡３と、反射鏡３と穴開き平面ミラー５，９との
間に設けられた１／４波長板４と、穴開き平面ミラー
５，９を反射した参照光及び測定光を検出する検出器１
０と、レンズマウント１１に取り付けられた顕微鏡の対
物レンズ１２と構成される。レンズマウント１１に取り
付けられるものは、顕微鏡の対物レンズに限定されるも
のではない。また前記穴開き平面ミラー９は、偏光ビー
ムスプリッタ２、反射鏡３に対して固定されているもの
とする。
させるレーザ光源１と、発生したレーザ光を後述する参
照光と測定光に分岐する偏光ビームスプリッタ２と、図
示されない駆動部により上下に移動可能なレンズマウン
ト（対物レンズ鏡筒）１１の上部に取り付けられた穴開
き平面ミラー（移動ミラー）５と、偏光ビームスプリッ
タ２と穴開き平面ミラー５との間に固定され穴開き平面
ミラー５よりも大口径の穴開き平面ミラー９と、偏光ビ
ームスプリッタ２と穴開き平面ミラー（固定ミラー）９
との間に設けられた１／４波長板８と、その偏光ビーム
スプリッタ２の反対側に設けられたコーナキューブ６お
よび１／２波長板７と、参照光及び測定光を偏光ビーム
スプリッタ２と穴開き平面ミラー５，９との間で反射す
る反射鏡３と、反射鏡３と穴開き平面ミラー５，９との
間に設けられた１／４波長板４と、穴開き平面ミラー
５，９を反射した参照光及び測定光を検出する検出器１
０と、レンズマウント１１に取り付けられた顕微鏡の対
物レンズ１２と構成される。レンズマウント１１に取り
付けられるものは、顕微鏡の対物レンズに限定されるも
のではない。また前記穴開き平面ミラー９は、偏光ビー
ムスプリッタ２、反射鏡３に対して固定されているもの
とする。
【００１０】このように構成された移動距離測長装置に
おける測長動作について説明する。まず、レーザ光源１
からのレーザ光が偏光ビームスプリッタ２に入射され、
参照光と測定光に分岐される。ここで、参照光と測定光
は互いに直角の直線偏光となる。
おける測長動作について説明する。まず、レーザ光源１
からのレーザ光が偏光ビームスプリッタ２に入射され、
参照光と測定光に分岐される。ここで、参照光と測定光
は互いに直角の直線偏光となる。
【００１１】前記偏光ビームスプリッタ２で反射した参
照光は、１／４波長板８を透過し、穴開き平面ミラー９
で反射され、再び、１／４波長板８を透過し、９０度回
転した直線偏光の参照光となり、偏光ビームスプリッタ
２を透過する。そして偏光ビームスプリッタ２を透過し
た参照光は、コーナキューブ６、１／２波長板７を経由
し、再び９０度回転した直線偏光の参照光となって、偏
光ビームスプリッタ２、反射鏡３で反射される。
照光は、１／４波長板８を透過し、穴開き平面ミラー９
で反射され、再び、１／４波長板８を透過し、９０度回
転した直線偏光の参照光となり、偏光ビームスプリッタ
２を透過する。そして偏光ビームスプリッタ２を透過し
た参照光は、コーナキューブ６、１／２波長板７を経由
し、再び９０度回転した直線偏光の参照光となって、偏
光ビームスプリッタ２、反射鏡３で反射される。
【００１２】さらに反射鏡３で反射された参照光は、１
／４波長板４を透過し、穴開き平面ミラー９で反射さ
れ、再び、１／４波長板４を透過し、９０度回転して、
検出器１０に入射する。
／４波長板４を透過し、穴開き平面ミラー９で反射さ
れ、再び、１／４波長板４を透過し、９０度回転して、
検出器１０に入射する。
【００１３】一方、偏光ビームスプリッタ２で透過した
測定光は、反射鏡３で反射され、１／４波長板４を透過
し、穴開き平面ミラー５で反射され、再び、１／４波長
板４を透過し、９０度回転した直線偏光の測定光とな
り、反射鏡３、偏光ビームスプリッタ２で反射される。
そして前記偏光ビームスプリッタ２で反射した測定光
は、コーナーキューブ６、１／２波長板７を経由し、再
び９０度回転した直線偏光の測定光となり、偏光ビーム
スプリッタ２、１／４波長板４を透過し、穴開き平面ミ
ラー５で反射され、再び、１／４波長板４を透過し、偏
光ビームスプリッタ２で反射され、検出器１０に入射す
る。
測定光は、反射鏡３で反射され、１／４波長板４を透過
し、穴開き平面ミラー５で反射され、再び、１／４波長
板４を透過し、９０度回転した直線偏光の測定光とな
り、反射鏡３、偏光ビームスプリッタ２で反射される。
そして前記偏光ビームスプリッタ２で反射した測定光
は、コーナーキューブ６、１／２波長板７を経由し、再
び９０度回転した直線偏光の測定光となり、偏光ビーム
スプリッタ２、１／４波長板４を透過し、穴開き平面ミ
ラー５で反射され、再び、１／４波長板４を透過し、偏
光ビームスプリッタ２で反射され、検出器１０に入射す
る。
【００１４】前記穴開き平面ミラー５は、レンズマウン
ト１１に固定される。前記穴開き平面ミラー９は、偏光
ビームスプリッタ２、反射鏡３に対して、固定されてい
る。前記穴開き平面ミラー５，９ともに対物レンズ１２
の観察光路を遮らない大きさの穴を確保している。ここ
で、レンズマウント１１が変位Ｌの移動をすると、検出
器１０には、レーザ光源１の波長を長さ基準とした周期
的な干渉信号が得られる。
ト１１に固定される。前記穴開き平面ミラー９は、偏光
ビームスプリッタ２、反射鏡３に対して、固定されてい
る。前記穴開き平面ミラー５，９ともに対物レンズ１２
の観察光路を遮らない大きさの穴を確保している。ここ
で、レンズマウント１１が変位Ｌの移動をすると、検出
器１０には、レーザ光源１の波長を長さ基準とした周期
的な干渉信号が得られる。
【００１５】この干渉信号をＩとすると、 Ｉ＝Ａ１2 ＋Ａ２2 ＋２・Ａ１・Ａ２・Ｃｏｓ（４ｎＬ／λ）… 式１ と表すことができる。ここで、Ａ１は測定光の振幅、Ａ
２は参照光の振幅、λはレーザ光源１のレーザ波長値、
ｎは光路の屈折率であり、空気中で使用する場合は空気
の屈折率となる。
２は参照光の振幅、λはレーザ光源１のレーザ波長値、
ｎは光路の屈折率であり、空気中で使用する場合は空気
の屈折率となる。
【００１６】通常、対物レンズの移動量は、非常に小さ
く、高分解能、高精度が要求される場合が多い。図１に
おいて、参照光と測定光は、ほぼ共通光路となってお
り、外乱に強く、安定した測長ができる。
く、高分解能、高精度が要求される場合が多い。図１に
おいて、参照光と測定光は、ほぼ共通光路となってお
り、外乱に強く、安定した測長ができる。
【００１７】また、前記穴開き平面ミラー５は測定光を
２回反射するが、対物レンズ１２の光軸に対して対象な
位置で、それぞれ一回づつ反射されるため、対物レンズ
１２の光軸上のレンズマウント１１の移動量を正確に測
長することができる。
２回反射するが、対物レンズ１２の光軸に対して対象な
位置で、それぞれ一回づつ反射されるため、対物レンズ
１２の光軸上のレンズマウント１１の移動量を正確に測
長することができる。
【００１８】すなわち、図２に示した従来の構成で発生
したアッベエラーを無くすことが可能となる。また、参
照光と測定光の光路長差ΔＺ（図１に示す）を数ｎｍ程
度に納めることができるため、レーザ光源１の波長安定
度は、高い安定度は必要としない。
したアッベエラーを無くすことが可能となる。また、参
照光と測定光の光路長差ΔＺ（図１に示す）を数ｎｍ程
度に納めることができるため、レーザ光源１の波長安定
度は、高い安定度は必要としない。
【００１９】従って、特に高い精度を要求されない測長
精度であれば、簡易的な波長安定化レーザの使用も可能
であり、低価格化や小型化に有利である。例えば、半導
体レーザのような小型のレーザ光源を使用することも可
能となり、全体を小型化、低価格化を実現することがで
きる。特に顕微鏡等の内部に図１に示すようなレーザ光
の干渉を利用した、例えばプレーンミラー干渉計の原理
を応用した干渉計を組み込む場合は、小型化という点で
大きなメリットが得られる。
精度であれば、簡易的な波長安定化レーザの使用も可能
であり、低価格化や小型化に有利である。例えば、半導
体レーザのような小型のレーザ光源を使用することも可
能となり、全体を小型化、低価格化を実現することがで
きる。特に顕微鏡等の内部に図１に示すようなレーザ光
の干渉を利用した、例えばプレーンミラー干渉計の原理
を応用した干渉計を組み込む場合は、小型化という点で
大きなメリットが得られる。
【００２０】以上の実施例に基づいて説明したが、本明
細書には、以下のような発明も含まれる。 （１）レーザ光源と、前記レーザ光源からのレーザ光を
参照光と測定光に分岐する偏光ビームスプリッタと、移
動可能な対物レンズ鏡筒の観察路に入り込まない上部端
に取り付けられ、入射した前記測定光を平面な反射面の
少なくとも２箇所で反射する移動ミラー手段と、前記移
動ミラー手段の反射面と所定間隔をあけて平行して固定
され、入射した前記参照光を平面な反射面の少なくとも
２箇所で反射する固定ミラー手段と、前記移動ミラー手
段と前記固定ミラー手段で反射された参照光と測定光を
入射し、該参照光と測定光の光路長差の変化により光軸
上の対物レンズ鏡筒の移動量を検出する検出手段と、前
記偏光ビームスプリッタにより分岐された参照光及び測
定光を前記移動ミラー手段及び前記固定ミラー手段のそ
れぞれ所定の反射箇所に導き、それぞれの反射箇所で反
射された参照光と測定光を前記検出手段に導く光路手段
と、を具備することを特徴とする移動量測長装置。
細書には、以下のような発明も含まれる。 （１）レーザ光源と、前記レーザ光源からのレーザ光を
参照光と測定光に分岐する偏光ビームスプリッタと、移
動可能な対物レンズ鏡筒の観察路に入り込まない上部端
に取り付けられ、入射した前記測定光を平面な反射面の
少なくとも２箇所で反射する移動ミラー手段と、前記移
動ミラー手段の反射面と所定間隔をあけて平行して固定
され、入射した前記参照光を平面な反射面の少なくとも
２箇所で反射する固定ミラー手段と、前記移動ミラー手
段と前記固定ミラー手段で反射された参照光と測定光を
入射し、該参照光と測定光の光路長差の変化により光軸
上の対物レンズ鏡筒の移動量を検出する検出手段と、前
記偏光ビームスプリッタにより分岐された参照光及び測
定光を前記移動ミラー手段及び前記固定ミラー手段のそ
れぞれ所定の反射箇所に導き、それぞれの反射箇所で反
射された参照光と測定光を前記検出手段に導く光路手段
と、を具備することを特徴とする移動量測長装置。
【００２１】（２）前記移動ミラー手段及び前記固定ミ
ラー手段の各平面ミラーは、対物レンズの光軸に対して
対象な位置で測定光を、それぞれ一回づつ、２回反射
し、前記対物レンズの光軸上の対物レンズ鏡筒（レンズ
マウント）の移動量を測長することを特徴とする前記
（１）記載の移動量測長装置。
ラー手段の各平面ミラーは、対物レンズの光軸に対して
対象な位置で測定光を、それぞれ一回づつ、２回反射
し、前記対物レンズの光軸上の対物レンズ鏡筒（レンズ
マウント）の移動量を測長することを特徴とする前記
（１）記載の移動量測長装置。
【００２２】（３）前記平面ミラーは、レンズマウント
の対物レンズの観察路に入り込まないように穴があけら
れた形状であることを特徴とする前記（２）記載の移動
量測長装置。
の対物レンズの観察路に入り込まないように穴があけら
れた形状であることを特徴とする前記（２）記載の移動
量測長装置。
【００２３】（４）前記レーザ光源からのレーザ光は、
前記偏光ビームスプリッタにより、互いに直角の直線偏
光となる参照光と測定光に分岐されることを特徴とする
前記（１）記載の移動量測長装置。
前記偏光ビームスプリッタにより、互いに直角の直線偏
光となる参照光と測定光に分岐されることを特徴とする
前記（１）記載の移動量測長装置。
【００２４】（５）前記移動ミラー手段の反射面と前記
固定ミラー手段の反射面との所定間隔（参照光と測定光
の光路長差ΔＺ）を接近させて配置し、所定の波長安定
度にすることを特徴とする前記（１）記載の移動量測長
装置。
固定ミラー手段の反射面との所定間隔（参照光と測定光
の光路長差ΔＺ）を接近させて配置し、所定の波長安定
度にすることを特徴とする前記（１）記載の移動量測長
装置。
【００２５】
【発明の効果】以上詳述したように本発明によれば、レ
ーザ光の干渉を利用して、顕微鏡における対物レンズ等
の光軸上におけるレンズマウントの移動量を測長するこ
とができる移動量測長装置を提供することができる。
ーザ光の干渉を利用して、顕微鏡における対物レンズ等
の光軸上におけるレンズマウントの移動量を測長するこ
とができる移動量測長装置を提供することができる。
【図１】本発明の顕微鏡の対物レンズ等に取り付けら
れ、光軸方向への変位に測長する移動量測長装置の概略
構成を示す図である。
れ、光軸方向への変位に測長する移動量測長装置の概略
構成を示す図である。
【図２】従来の顕微鏡の対物レンズ等に取り付けられ、
光軸方向への変位に測長する移動量測長装置の概略構成
を示す図である。
光軸方向への変位に測長する移動量測長装置の概略構成
を示す図である。
１…レーザ光源、２…偏光ビームスプリッタ、３…反射
鏡、４，８…１／４波長板、５，９…穴開き平面ミラ
ー、６…コーナキューブ、７…１／２波長板、１０…検
出器、１１…マウント、１２…対物レンズ。
鏡、４，８…１／４波長板、５，９…穴開き平面ミラ
ー、６…コーナキューブ、７…１／２波長板、１０…検
出器、１１…マウント、１２…対物レンズ。
Claims (3)
- 【請求項１】 レーザ光源と、 前記レーザ光源からのレーザ光を参照光と測定光に分岐
する偏光ビームスプリッタと、 移動可能な対物レンズ鏡筒の観察路範囲外の周辺部分に
取り付けられ、入射した前記測定光を反射面の少なくと
も２箇所で反射する移動ミラー手段と、 前記移動ミラー手段の反射面と所定間隔をあけて平行し
て固定され、入射した前記参照光を反射面の少なくとも
２箇所で反射する固定ミラー手段と、 前記移動ミラー手段と前記固定ミラー手段で反射された
参照光と測定光を入射し、該参照光と測定光の光路長差
の変化により光軸上の対物レンズ鏡筒の移動量を検出す
る検出手段と、 前記偏光ビームスプリッタにより分岐された参照光及び
測定光を前記移動ミラー手段及び前記固定ミラー手段の
それぞれ所定の反射箇所に導き、それぞれの反射箇所で
反射された参照光と測定光を前記検出手段に導く光路手
段と、を具備することを特徴とする移動量測長装置。 - 【請求項２】 前記移動量測長装置の光路手段は、所定
の偏光を行う複数の波長板、光路方向を変えるコーナキ
ューブ及び反射鏡を具備し、 前記偏光ビームスプリッタで分岐された参照光が、第１
の１／４波長板を透過し、固定ミラー手段の反射面の第
１の所定箇所で反射され、再び、前記第１の１／４波長
板を透過し、９０度回転した直線偏光の参照光に偏光さ
れ、前記偏光ビームスプリッタを透過し、コーナキュー
ブ、１／２波長板を経由し、再び、９０度回転した直線
偏光の参照光となって、該偏光ビームスプリッタ及び反
射鏡で反射され、 前記反射鏡で反射された参照光は、第２の１／４波長板
を透過し、固定ミラー手段の反射面の第２の所定箇所で
反射され、再び、第２の１／４波長板を透過し、９０度
回転して、検出手段に入射する第１の光路を形成し、 且つ、前記偏光ビームスプリッタで分岐された測定光
が、前記反射鏡で反射され、第２の１／４波長板を透過
し、前記移動ミラー手段の反射面の第１の所定箇所で反
射され、再び、前記第２の１／４波長板を透過し、９０
度回転した直線偏光の測定光に偏光され、前記反射鏡及
び前記偏光ビームスプリッタで反射され、 前記偏光ビームスプリッタで反射された測定光が前記コ
ーナーキューブ及び前記１／２波長板を経由し、再び９
０度回転した直線偏光の測定光に偏光された後、前記第
１の１／４波長板を透過し、移動ミラー手段の反射面の
第２の所定箇所で反射され、再び、前記第１の１／４波
長板を透過し、前記偏光ビームスプリッタで反射され、
検出手段に入射する第２の光路を形成し、 前記参照光と前記測定光は、反射面を除き共通光路に形
成されることを特徴とする請求項１記載の移動量測長装
置。 - 【請求項３】 前記移動量測長装置の検出手段が検出す
る参照光と測定光の光路長差の変化において、 測定光の振幅をＡ１、参照光の振幅をＡ２、レーザ光源
のレーザ波長値をλ、光路の屈折率をｎと、対物レンズ
鏡筒の移動変位長をＬとすると、検出手段は、 Ｉ＝Ａ１2 ＋Ａ２2 ＋２・Ａ１・Ａ２・Ｃｏｓ（４ｎＬ
／λ） に基づく、レーザ光源の波長を長さ基準とした周期的な
干渉信号Ｉを得ることを特徴とする請求項１記載の移動
量測長装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7159306A JPH095018A (ja) | 1995-06-26 | 1995-06-26 | 移動量測長装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7159306A JPH095018A (ja) | 1995-06-26 | 1995-06-26 | 移動量測長装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH095018A true JPH095018A (ja) | 1997-01-10 |
Family
ID=15690928
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7159306A Withdrawn JPH095018A (ja) | 1995-06-26 | 1995-06-26 | 移動量測長装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH095018A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008180560A (ja) * | 2007-01-24 | 2008-08-07 | Olympus Corp | 位置検出回路及びその応用装置 |
| JP2010237183A (ja) * | 2009-03-31 | 2010-10-21 | Sumitomo Osaka Cement Co Ltd | 低コヒーレンス干渉計及び光学顕微鏡 |
| CN104697442A (zh) * | 2015-03-30 | 2015-06-10 | 北方民族大学 | 一种移动补偿式平面反射镜激光干涉仪及使用方法 |
| CN107643055A (zh) * | 2017-09-29 | 2018-01-30 | 中国科学院西安光学精密机械研究所 | 基于偏振光束的自参考准直光路系统及计算被测角度方法 |
| CN110514139A (zh) * | 2019-08-13 | 2019-11-29 | 桂林电子科技大学 | 一种激光干涉测量系统的反射镜面形变化检测装置及方法 |
| CN115128800A (zh) * | 2022-06-27 | 2022-09-30 | 西北工业大学 | 基于f-p腔的光学位移敏感单元及逆设计方法 |
-
1995
- 1995-06-26 JP JP7159306A patent/JPH095018A/ja not_active Withdrawn
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| CN104697442B (zh) * | 2015-03-30 | 2018-07-20 | 北方民族大学 | 一种移动补偿式平面反射镜激光干涉仪及使用方法 |
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| CN110514139A (zh) * | 2019-08-13 | 2019-11-29 | 桂林电子科技大学 | 一种激光干涉测量系统的反射镜面形变化检测装置及方法 |
| CN115128800A (zh) * | 2022-06-27 | 2022-09-30 | 西北工业大学 | 基于f-p腔的光学位移敏感单元及逆设计方法 |
| CN115128800B (zh) * | 2022-06-27 | 2024-02-02 | 西北工业大学 | 基于f-p腔的光学位移敏感单元及逆设计方法 |
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| Date | Code | Title | Description |
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