JPH0773503A - 光学ヘッドおよび光学ヘッドに使用される光検出器 - Google Patents
光学ヘッドおよび光学ヘッドに使用される光検出器Info
- Publication number
- JPH0773503A JPH0773503A JP6142082A JP14208294A JPH0773503A JP H0773503 A JPH0773503 A JP H0773503A JP 6142082 A JP6142082 A JP 6142082A JP 14208294 A JP14208294 A JP 14208294A JP H0773503 A JPH0773503 A JP H0773503A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- stray light
- optical head
- semiconductor substrate
- impurity diffusion
- light
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Optical Head (AREA)
- Light Receiving Elements (AREA)
Abstract
域には影響を与えず、安定にフォーカス誤差信号、トラ
ッキング誤差信号および情報信号を検出する。 【構成】 光学ヘッドの光検出器6において、信号検出
領域6A,6B,6C,6D,6Eおよび6Fと同一の
特性を持つ迷光キャリア吸収領域6Gと6Hを、信号検
出領域6A,6B,6C,6D,6Eおよび6Fの間を
実質的に埋めるように配置されている。例えば、光学ヘ
ッド内に迷光が発生し、迷光キャリア吸収領域6Gと6
Hに迷光スポット10Aと10Bが形成されたとき、迷
光により半導体基板110内に発生したキャリアは、迷
光キャリア吸収領域6Gおよび6Hに吸収されるため、
迷光キャリアが各信号検出領域に流入して不要な信号を
発生することを防止する。
Description
ムを照射することにより情報の記録、再生、消去などを
行う光情報装置に用いられる光学ヘッド、およびそのよ
うな光学ヘッドに使用される光検出器に関する。
を照射する手段と、情報記録媒体から反射された光を検
出する手段とを含む素子であり、光情報装置の重要な要
素である。
に使用される光検出器について図面を参照しながら説明
する。図8は、従来の光学ヘッドに使用されていた光検
出器の上面(光検出面)を模式的に示している。図にお
いて、光検出器16は、基板上に複数の信号検出用受光
領域を備え、基板の周辺に複数の端子を備えている。こ
の基板としては、半導体基板が使用され、信号検出用受
光領域は、半導体基板中に形成されたPN型またはPI
N型フォトダイードである。このフォトダイオードに
は、所定の電圧が逆バイアスとなるように印加され、光
の照射を受けたときは、光の量に応じてPN接合に光電
流が流れる。この光電流の大きさを検出することによ
り、受けた光の量を知ることができる。光検出器16を
動作させるには、半導体基板の各部に所定の電位(電
圧)、例えば、電源電位、基準電位、および接地電位等
を供給する必要がある。図8に示した光検出器16は、
カソードコモン端子17P1および17P2に電源電圧
を供給することにより動作する。
は、光源から放射された1つの光ビームが回折素子によ
り回折される。回折素子により形成された回折光のう
ち、0次の光をメイン光ビームとして、−1次および1
次の回折光をトラッキングのためのサブ光ビームとして
使用する。光学ヘッド内において形成された3つの光ビ
ームのうち、メイン光ビームは、光ディスクにより反射
された後、光検出器16の信号検出領域16A,16
B,16C,16D(4分割受光領域)の中央に光スポ
ット18を形成し、信号検出領域16A,16B,16
Cおよび16Dの対角領域の差信号からフォーカス誤差
信号を得ることができる。具体的には、信号検出領域1
6A,16B,16Cおよび16Dに接続したアノード
端子17A,17B,17Cおよび17Dからの出力信
号を公知の方法で演算して求める。
光ビームは光ディスクにより反射された後、トラッキン
グ誤差信号検出用の2つのサブ光スポット19Aと19
Bをそれぞれ信号検出領域16Eと16Fに形成し、ト
ラッキング誤差信号を信号検出領域16Eと16Fとの
差信号により、得ることができる。具体的には、信号検
出領域16Eと16Fに接続したアノード端子17Eと
17Fからの出力信号を公知の方法で演算して求める。
域16A,16B,16Cおよび16Dの各信号の加算
信号により、光ディスク上に記録された情報信号を検出
することができる。具体的には信号検出領域16A,1
6B,16Cと16Dにそれぞれ接続したアノード端子
17A,17B,17Cと17Dからの出力信号を公知
の方法で演算して求める。
来の光学ヘッドの光検出器16では、光学ヘッド内に迷
光が発生した場合、光検出器の各信号検出領域に周辺に
迷光スポット20Aおよび20Bが形成されることが多
い。とくに、3ビーム法を採用する光学ヘッドの場合に
は迷光が顕著に発生する。これらの迷光が光検出器の各
信号検出領域の周辺に照射されると、以下に示す理由に
より、正しいフォーカス誤差信号、トラッキング誤差信
号および情報信号を安定に得ることができなくなる。
れると、半導体基板中に迷光によるキャリア(以下、迷
光キャリアと称す)が発生する。仮に、迷光キャリアが
信号検出領域以外の領域で発生したとしても、その迷光
キャリアは半導体基板中を拡散し、信号検出領域の近傍
にまで達し得る。迷光キャリアの一部が信号検出領域の
空乏層にまで達すると、空乏層中の電界により力を受
け、信号検出領域に流れ込み、信号検出領域のフォトダ
イオードに迷光による電流が流れてしまう。この迷光に
よる電流は、不要な信号を発生する原因となる。例え
ば、図8に示したような位置に迷光スポット20Aが形
成されている場合を考える。迷光スポット20Aにより
発生した迷光キャリアは四方に拡散するが、比較的近い
位置にある信号検出領域16Aに流入する割合は、比較
的遠い位置にある信号検出領域16Cに流入する割合よ
りも多くなる。その結果、例えば、正しいフォーカス誤
差信号が得られなくなる。このように、従来の光学ヘッ
ドにおいて迷光が発生した場合には、安定した信号検出
が困難になる問題がある。
光が発生した場合にも、光検出器の各信号検出領域に影
響を与えにくく、安定にフォーカス誤差信号、トラッキ
ング誤差信号および情報信号を検出できる光学ヘッドを
提供することを目的とする。
用される光検出器を提供することにある。
光を放射する光源と、前記光源から放射された光から少
なくとも3本の光ビームを形成する手段と、前記少なく
とも3本の光ビームを記録媒体上に収斂させる手段と、
前記記録媒体により反射された前記少なくとも3本の光
ビームを受光し、前記受光した光ビームの強度に応じ
て、電気的出力を発生する光検出器とを備えた光学ヘッ
ドであって、前記光検出器は、半導体基板と、前記半導
体基板の表面に形成され、前記記録媒体により反射され
た光ビームを受光する受光部と、所定の電位の供給を受
けるための複数の端子と、電気信号を出力するための複
数の端子とを備えており、前記受光部は、前記半導体基
板の表面に相互に離れて設けられた複数の信号検出用受
光素子と、前記複数の信号検出用受光素子の間を実質的
に埋めるように設けられた複数の迷光キャリア吸収領域
とを備えており、前記複数の迷光キャリア吸収領域のそ
れぞれは、前記半導体基板中に形成された第1の導電型
の第1の不純物拡散領域であって、前記半導体基板中に
PN接合と空乏層とを形成し、迷光により前記半導体基
板中に発生した迷光キャリアを前記空乏層を介して吸収
するようにしたものである。
使用される光検出器であって、半導体基板と、前記半導
体基板の表面に形成された受光部と、所定の電位の供給
を受け取るための複数の端子と、信号を出力するための
複数の端子とを備え、前記受光部は、前記半導体基板の
表面に相互に離れて設けられた複数の信号検出用受光素
子と、前記複数の信号検出用受光素子の間を実質的に埋
めるように設けられた複数の迷光キャリア吸収領域とを
備え、前記迷光キャリア吸収領域は、前記半導体基板中
に形成された第1の導電型の第1の不純物拡散領域であ
って、前記半導体基板中にPN接合と空乏層とを形成
し、迷光により前記半導体基板中に発生した迷光キャリ
アを前記空乏層を介して吸収するようにしたものであ
る。
純物拡散領域は、所定の電位の供給を受けるための複数
の端子の何れかに電気的に接続されており、それによっ
て、そのPN接合に逆バイアスが印加されているように
したものである。
拡散領域は、電気的に浮遊状態にしたものである。
基板中に形成された第1の導電型の第2の不純物拡散領
域と、第2の導電型の第3の不純物拡散領域とを含んだ
フォトダイオードであり、迷光キャリア吸収領域の第1
の不純物拡散領域は、前記第2の不純物拡散領域と実質
的に同一の特性としたものである。
N型フォトダイオードとしたものである。
辺に電気回路を内蔵した電気回路内蔵光検出器としたも
のである。
の上面に、反射防止処理が施されているものである。
の上面に、散乱反射処理が施されているものである。
流れる光電流を検出する回路を更に備え、複数の信号検
出用受光素子からの出力信号とともに、前記光電流を信
号形成に使用したものである。
供給を受けるための複数の端子のうちの接地電位を与え
る接地端子と、第1の不純物拡散領域との両方に、電気
的に接続させたものである。
位の供給を受けるための複数の端子のうちの接地電位と
は異なる電位を与える端子に、電気的に接続させたもの
である。
子に電気的に接続されており、前記専用の端子を介し
て、光検出器の外部で電源等の電圧印加ラインに接続さ
せたものである。
から少なくとも3本の光ビームが形成される。光ビーム
は、記録媒体上に収斂され、記録媒体から反射される。
記録媒体により反射された光ビームは、光検出器に照射
され、フォーカス誤差信号、トラッキング誤差信号およ
び情報信号が形成される。
が光検出器の受光部に照射した場合、光検出器の半導体
基板において、複数の信号検出用受光素子の間を実質的
に埋めるように設けられた迷光キャリア吸収領域が、迷
光キャリアを吸収する。その結果、迷光キャリアが信号
検出用受光素子に流入することが防止される。
収するメカニズムは、次の通りである。すなわち、迷光
キャリア吸収領域は、半導体基板中に形成された不純物
拡散領域であり、PN接合を半導体基板中に形成してい
る。そのPN接合には、特に順方向バイアスは印加され
ておらず、逆バイアスが印加されているか、または、バ
イアスが全く印加されていない状態にある。そのため、
PN接合部分に空乏層が形成されている。このことは、
迷光キャリア吸収領域が、ある種のフォトダイオードと
同様の性質を有していることを意味している。
受光素子の間を実質的に埋めるように設けられているた
め、複数の信号検出用受光素子の間の領域に迷光キャリ
アが発生しても、迷光キャリアの大部分は、隣接する領
域の信号検出用受光素子まで拡散することがなく、効率
的に吸収される。
バイアスが印加されていることが好ましい、そのために
は、迷光キャリア吸収領域の不純物拡散領域は、カソー
ド電位よりも低い所定の電位供給を受け取る部分(基板
内または基板外によらない)に接続されていることが好
ましい。
について、図面を参照しながら説明する。
示す模式図である。この光学ヘッドは、情報がピットに
より記録されている再生専用光ディスク、例えばコンパ
クトディスク等の情報記録媒体に対して使用させる。
る半導体レーザ1と、半導体レーザ1から出射された光
を少なくとも3つの光ビームに回折分離する回折格子2
と、回折格子2からの光ビームを光ディスク5のある側
に反射する平板ビームスプリッタ3と、光ビームを光デ
ィスク5に収斂する対物レンズ4と、光ディスク5によ
り反射された光を受光して電気信号に変換する光検出器
6とを備えている。
ドは、従来の光学ヘッドの構成と同様の構成を有してい
る。したがって、以下、光検出器6の構成について詳細
に説明し、他の構成要素については簡単に説明する。
は、光検出器6の平面レイアウトを概略的に示してい
る。図において、受光部が半導体基板の上面に設けられ
ている。受光部は、光ディスク5により反射された光ビ
ームを受け取るための、複数の信号検出領域6A,6
B,6C,6D,6Eおよび6Fを備えている。これら
の信号検出領域6A,6B,6C,6D,6Eおよび6
Fは、いずれも半導体基板中に形成された不純物拡散領
域である。半導体基板の周辺には、端子7A,7B,7
C,7D,7E,7F,7G,7H,7P1および7P
2が設けられ、これらの端子のうちの端子7A,7B,
7C,7D,7Eと7Fは、それぞれ信号検出領域6
A,6B,6C,6D,6Eと6Fに結線されており、
アノード端子として機能する。また、端子7P1および
7P2は、いずれも光検出器6に電源電圧を供給するた
めのカソードコモン端子として機能する。
検出領域6A,6B,6Cおよび6Dの外側を囲むよう
に、迷光キャリア吸収領域6Gと6Hが設けられてい
る。この迷光キャリア吸収領域6Gと6Hは、単に信号
検出領域6A,6B,6Cおよび6Dを取り囲んでいる
だけではなく、受光部内において迷光が照射され得る領
域の主要部分に広がっている。また、迷光キャリア吸収
領域6Gと6Hは、信号検出領域と同一の特性を持つ領
域、すなわち、半導体基板中に形成された不純物拡散領
域であって、本実施例では、それぞれアノード端子7G
と7Hに接続されている。
K′断面を模式的に示している。図3に示したように、
光検出器6は、N型不純物を比較的高濃度に含むN+半
導体層100と、N型不純物を比較的低濃度に含むN-
半導体層(I層)101とを有している。N-半導体層
101の不純物濃度は十分に低く設定され、実質的に高
抵抗の真性半導体として機能する。ここで、N+半導体
層100およびN-半導体層(I層)101を総称し
て、半導体基板110と呼ぶことにする。
物を比較的高濃度に含む複数のP+型不純物拡散領域1
02G,102A,102Cおよび102Hが設けられ
ている。これらのP+型不純物拡散領域102G,10
2A,102Cと102Hは、それぞれ、図2に示した
迷光キャリア吸収領域6G、信号検出領域6A,6Cと
迷光キャリア吸収領域6Hに対応している。上記構成
は、例えば、N-半導体層101をN+シリコン基板上に
エピタキシャル成長させた後、適当なP型不純物をN-
半導体層101に公知の方法でドープすることにより得
られる。P+型不純物拡散領域102G,102A,1
02Cおよび102Hは、何れも、同様の不純物濃度プ
ロファイルを有し、その結果、光学的および電気的特性
が実質的に同一である。P+型不純物拡散領域102A
および102Cは、そもそも、信号検出領域6A,6C
として形成され、その不純物の種類や拡散の条件は、光
電変換に関して、最適な状態となるように設計されてい
る。P+型不純物拡散領域102G,102A,102
Cおよび102Hが、何れも、同様の不純物濃度プロフ
ァイルを有するように形成されているということは、P
+型不純物拡散領域102Gおよび102Hの形成が、
P+型不純物拡散領域102Aおよび102Cの形成と
同時に行われ得ることを意味している。
ソード電極103が蒸着され、図2に示したカソード端
子7P1および7P2に接続されている。半導体基板1
10の上面は、絶縁膜104および保護膜105により
覆われている。また、複数のアノード電極106G,1
06A,106Cと106Hは、それぞれ、絶縁膜10
4および保護膜105中に形成されたコンタクトホール
を介して、P+型不純物拡散領域102G,102A,
102Cと102Hに接続されるとともに、対応するア
ノード端子7G,7A,7Cと7Hに接続されている。
6のカソード電極103とアノード電極106G,10
6A,106Cおよび106Hとの間には、縦型PIN
ダイオードが形成される。不図示の電気回路によって各
縦型PINダイオードに逆バイアスが印加されている
と、縦型PINダイオードは、受けた光の量に応じて光
電流を発生させる。各縦型PINダイオードを流れる光
電流を直接的または間接的に検出することにより、各信
号検出領域に照射された光の量を知ることができる。縦
型PINダイオードを流れる光電流は、不図示の電気回
路により電圧信号に変換された後、増幅され、種々の演
算に供される。このような縦型PINダイオードの構成
と動作、上記電気回路の構成と動作自体については、公
知であるので、詳細な説明は省略する。
増幅回路や定電圧などを、光検出器に一体化することが
できる。それらの回路を構成するトランジスタなどの回
路素子は、公知の集積回路技術、例えばバイポーラIC
プロセスを用いて半導体基板110中に形成される。こ
のような集積化光検出器は、「フォトIC」と呼ばれる
こともあるが、本明細書では「電気回路内蔵型光検出
器」と称することとする。
板110には、迷光が照射される可能性がある部分にP
+型不純物拡散領域102Gと102H、すなわち迷光
キャリア吸収領域6Gおよび6Hが設けられている。P
+型不純物拡散領域102Gおよび102Hは、図3に
示したように、全体として、P+型不純物拡散領域10
2Aおよび102Cの周囲を取り囲むように形成されて
いる。迷光キャリア吸収領域6Gおよび6HのP+型不
純物拡散領域102Gおよび102Hは、P+型不純物
拡散領域102Aおよび102Cと同様に、半導体基板
110中にPN接合を形成しており、PN接合の近傍に
は空乏層が形成されている。
2Hに照射される迷光の、例えば30パーセントは、半
導体基板110に入射する前に反射される。一方、反射
されなかった迷光の残り(透過光)は、半導体基板11
0中に侵入する。一般に、半導体に光が吸収されると、
電子−ホール対(キャリア)が発生する。P+型不純物
拡散領域102Gおよび102Hの近傍で迷光により生
じた電子は、PN接合の空乏層電界によりN-半導体層
101に移動する。一方、ホールは、同様にして、P+
型不純物拡散領域102Gまたは102Hに移動する。
すなわち、P+型不純物拡散領域102Gおよび102
Hは、迷光キャリアを吸収する。
2Hが浮遊状態にあれば、PN接合付近で生じた迷光に
より生じたホールは、P+型不純物拡散領域102Gま
たは102Hに一時的に蓄積され、その後、熱的発生し
ていた電子と再結合する。これに対して、もし、P+型
不純物拡散領域102Gに接続されたアノード電極10
6GとP+型不純物拡散領域102Hに接続されたアノ
ード電極106H(アノード端子7G,7H)が、光検
出器6の外部でGNDに接続されていると、P +型不純
物拡散領域102Gまたは102H中のホールは速やか
にGNDに流れ出す。
極106Hが、所定の電位(カソード電極103の電位
よりも低い電位)を持つ部分に接続され、それによっ
て、P +型不純物拡散領域102Gおよび102Hとカ
ソード電極103との間に逆バイアスが印加されている
場合、P+型不純物拡散領域102Gおよび102Hと
N-半導体層101との間のPN接合近傍の空乏層は、
広い範囲に延び、空乏層電界も大きくなる。その結果、
迷光により発生したキャリアは、高い確率で効率的にP
+型不純物拡散領域102Gまたは102Hとカソード
電極103に吸収される。また、このとき、P+型不純
物拡散領域102Gまたは102H中のホールは速やか
に前記所定の電位をもつ部分に流れ出す。
リアの捕獲を確実に行うためには、迷光キャリア吸収領
域6Gおよび6H(P+型不純物拡散領域102Gおよ
び102H)とカソード電極103との間に逆バイアス
を印加することが好ましい。また、迷光キャリア吸収領
域6G,6Hは、図2に示したように、信号検出領域の
間を実質的に埋めるように配置されることが好ましい。
なお、図2に示した例において、一つの迷光キャリア吸
収領域が、信号検出領域6A,6B,6Cおよび6Dの
回りを完全に覆っておらず、迷光キャリア吸収領域が2
つに分割されているのは、信号検出領域6A,6B,6
Cおよび6Dと、アノード端子7A,7B,7Cおよび
7Dとの結線を容易に行うためである。
光検出器6を備えた光学ヘッドの動作について説明す
る。光源である半導体レーザ1から出射された光は、回
折格子2で回折され、少なくとも3つの光ビームが形成
される。光ビームは、ビームスプリッタ3により反射さ
れ、光ディスク5に向って進行し、対物レンズ4によっ
て、光ディスク5に焦点を結ぶ。
ーム(0次回折光)は、光ディスク5で反射した後、光
線L1として図2に示した光検出器6の信号検出領域6
A,6B,6Cおよび6Dの中央に光スポット8を形成
する。光線L1は、光ディスク5の面振れに応じて非点
収差を発生し、4分割受光領域において領域(6A+6
D)と領域(6B+6C)の対角領域の差信号によりフ
ォーカス誤差信号を検出することができる。具体的には
信号検出領域6A,6B,6Cおよび6Dに対応するア
ノード端子7A,7B,7Cおよび7Dからの出力信号
を演算することで検出できる。
ーム(+1次と−1次の回折光)は、光ディスク5で反
射した後、光線L2とL3として図2に示す光検出器6
の信号検出領域6Eと6Fに光スポット9Aと9Bを形
成する。
用しているため、信号検出領域6Eと6Fとの差信号に
よりトラッキング誤差信号を検出することができる。具
体的には、信号検出領域6Eと6Fに対応したアノード
端子7Eと7Fからの出力信号を演算することで検出で
きる。
5に形成されたピットにより変調される。その結果、光
検出器6上の光スポット8の光量が変化する。信号検出
領域のうち4分割受光領域6A,6B,6Cおよび6D
からの出力信号を加算することにより、光ディスク5に
記録されている情報を再生することができる。具体的に
は、信号検出領域6A,6B,6Cおよび6Dに対応す
るアノード端子7A,7B,7Cおよび7Dからの出力
信号を演算することで、情報信号が得られる。
光学ヘッド内の平板ビームスプリッタ3の裏面による二
重反射などに起因して発生する。迷光が発生すると、こ
の迷光は、光検出器6の各信号検出領域の周辺に結像さ
れやすい。特に、本実施例のように3ビーム法を採用す
る場合、迷光が生じやすい。より具体的には、本実施例
の場合、図2に示したように、光検出器6の迷光キャリ
ア吸収領域6Gおよび6H上に迷光スポット10Aや1
0Bが形成されやすい。
Bが形成されやすい部分に迷光キャリア吸収領域6Gと
6Hが形成されており、迷光キャリア吸収領域6Gと6
Hの不純物拡散領域が迷光により発生したキャリアを効
率的に捕獲し、吸収する。このことにより、光検出器6
内において発した迷光キャリアが、信号検出領域に流れ
こむことが防止される。その結果、フォーカス誤差信
号、トラッキング誤差信号および情報信号に、不要な信
号がノイズとして混入することが防止され、安定した信
号検出を実現できる。
光検出器の他の実施例の平面レイアウトを概略的に示し
ている。本実施例の光検出器においては、縦554μm
×横866μmのサイズを持つ受光部130が、2つの
周辺電気回路部120aおよび120bにより囲まれて
いる。受光部130と周辺電気回路部120aおよび1
20bとは、縦5mm×横4mmのサイズを持つ半導体
基板210の上面に設けられている。周辺電気回路部1
20aおよび120bは、受光部130から得られる電
気信号を増幅する増幅回路などを含む回路である。半導
体基板210の周辺からは、複数の端子7A,7B,7
C,7D,7E,7F,7Iおよび7J等が外方に延び
ている。これらの端子は、外部の電源や制御装置などと
光検出器6とを電気的に接続する。端子としては、内部
電気回路に電源電圧を供給する電源電圧端子、基準電圧
を供給する基準電圧端子、およびグランド(GND)端
子も設けられている。
気回路部120aおよび120bと受光部130とが単
結晶シリコンから形成された半導体基板210上に一体
的に集積されている。図4に示した光検出器と図2に示
した光検出器6との相違点は、次の点にある。
型である。 (2)信号検出領域6Eおよび6Fのそれぞれが、3つ
の領域6E1,6E2および6E3と領域6F1,6F
2および6F3に分割されている。
の信号検出領域6Iおよび6Jが設けられている。
形状が直線的なストリップ状である。
いて簡単に説明する。信号検出領域6A,6B,6Cお
よび6Dは、何れも、約80μm×約80μmのサイズ
を有しており、それらの間には、約5μmの間隙が存在
している。信号検出領域6E1から6E3のそれぞれ
は、およそ、4つの信号検出領域6A,6B,6Cおよ
び6Dを合わせた程度のサイズを有している。信号検出
領域6Aと信号検出領域6E2との間は、約20μmで
ある。これに対して、信号検出領域6Aと迷光キャリア
吸収領域6Gとの間は、約150μmである。迷光キャ
リア吸収領域6Gおよび6Hは、幅約130μmで、長
さ約550μmである。このように、迷光キャリア吸収
領域6Gおよび6Hは、信号検出領域の間を実質的に埋
めるように配置されておればよく、信号検出領域6Aと
信号検出領域6E2との間を比較的狭い領域に形成する
必要はない。
および6Hは、光検出器を構成する半導体基板210内
に設けたグランド領域に結線され、その結果、グランド
端子(GND)に電気的に接続されている。本実施例に
よれば、迷光キャリア吸収領域6Gおよび6Hのための
特別なアノード端子を光検出器の外部で接地する必要が
ない。そもそも、迷光キャリア吸収領域6G,6Hのた
めの特別なアノード端子を設ける必要はなく、端子の総
数を増加させないようにできる。光検出器の内部に電流
電圧変換手段を設けたような電気回路内蔵光検出器の場
合、外形形状によっては、端子数が規制されることが多
い。そのような場合には、図4の光検出器のように、迷
光キャリア吸収領域6Gおよび6Hを基板内で所定の電
位を有する部分に結線し、それによって、端子の総数を
増加させないことが好ましい。
構成を示す平面図である。この例では、迷光キャリア吸
収領域6Gおよび6Hは、いかなる端子とも結線されて
おらず、浮遊状態にある。迷光キャリア吸収領域6Gお
よび6Hが浮遊状態にあっても、拡散電位によって比較
的薄い空乏層が形成される。そのため、迷光により発生
したキャリアをある程度吸収することができる。ただ、
空乏層を広げ、迷光キャリアを効率的に捕獲するために
は、迷光キャリア吸収領域6Gおよび6HのPN接合に
は高い逆バイアスが印加されることが好ましい。
第2の実施例について説明する。この光学ヘッドは、光
検出器を除いて、図1に示した構成と同様の構成を有し
ている。
域6Gおよび6Hは、信号検出領域と同一の特性を持つ
領域としたが、本実施例では、迷光キャリア吸収領域6
Gおよび6Hは信号検出領域とは異なる特性を有してい
る。より詳細には、迷光キャリア吸収領域6Gおよび6
Hに、多層反射防止膜140が設けられている。図6
は、本実施例における光検出器の構成を示す要部断面図
である。なお、図3に示した光検出器の構成要素と同じ
構成要素には同一の参照符号を付与している。
で反射される割合が更に減少し、迷光の基板表面による
反射がもたらす悪影響が低減される。反射防止膜140
により、迷光の大部分が基板内部に導かれ、迷光キャリ
ア吸収領域6Gおよび6Hの基板中において吸収(光電
変換)され、散乱によるノイズは十分に低減される。
第3の実施例について説明する。この光学ヘッドは、光
検出器を除いて、図1に示した構成と同様の構成を有し
ている。
域6Gおよび6Hは、信号検出領域と同一の特性を持つ
領域としたが、本実施例の光検出器では、迷光キャリア
吸収領域6Gおよび6Hは信号検出領域とは異なる特性
を有している。より詳細には、迷光キャリア吸収領域6
Gおよび6Hに、散乱反射膜150が設けられている。
図7は、本実施例における光検出器の構成を示す要部断
面図である。なお、図7において、図3に示した光検出
器の構成要素と同じ構成要素には同一の参照符号を付与
している。
面で乱反射される。その結果、反射された迷光は、ほぼ
均等に信号受光領域に入射される。その結果、それぞれ
の信号受光領域に入射する迷光の割合は著しく低減さ
れ、迷光によるノイズはほとんど生じなくなる。本実施
例によれば、迷光が半導体基板表面で反射し、特定の信
号受光領域に入射するという問題は解決される。半導体
基板内部に侵入した迷光の割合は迷光キャリア吸収領域
6Gおよび6Hの基板中において吸収(光電変換)さ
れ、基板内の散乱によるノイズは十分に低減される。
の量が基板表面の散乱反射により十分に低減される場
合、半導体基板内部での迷光キャリアによる問題はさほ
ど重要でなくなる。その場合、迷光キャリア吸収領域6
Gおよび6Hに不純物拡散領域を敢えて設ける必要がな
くなる可能性もある。散乱反射の割合を十分高くするこ
とができる場合は、迷光キャリア吸収領域6Gおよび6
Hに不純物を拡散する必要がなくなるので、製造工程が
簡単化され得る。また、迷光キャリア吸収領域6Gおよ
び6Hのための端子を特別に設けたり、迷光キャリア吸
収領域6Gおよび6Hと端子とを接続するための結線を
設けたりする必要もなくなる。
光キャリア吸収領域の数を6Gと6Hの2つとしたが、
この数に限定されるものではない。ただし、信号検出用
受光領域から周辺電気回路への効率的な結線を行うため
には、一つの迷光キャリア吸収領域が信号検出用受光領
域の周囲を完全に取り囲むように配置されることは好ま
しくない。
ある領域にできる限り広く、迷光キャリア吸収領域6
G,6Hを設けることが好ましい。また、信号検出領域
の間が近接している場合、そのような狭い領域に不純物
拡散領域を形成することは困難なため、そのような狭い
領域に迷光キャリア吸収領域6G,6Hを設ける必要は
ない。
スクに代表されるような再生専用の光ディスクを中心に
本発明を説明してきたが、本発明は光磁気ディスクや相
変化ディスク、ライトワンスディスクに対しても適用さ
れ得る。また、フォーカス誤差検出手段、トラッキング
誤差検出手段は、公知の技術により任意に選択され得
る。
は、光学ヘッド内に光学素子の内部反射などにより迷光
が発生した場合にも、光検出器の迷光スポットが形成さ
れ得る領域に、迷光キャリア吸収領域を形成しているた
め、迷光キャリアが各信号検出領域に入射して不要な信
号を発生することを防ぐことができる。その結果、各信
号検出用受光領域には影響を与えず、安定したフォーカ
ス誤差信号、トラッキング誤差信号および情報信号を検
出できる光学ヘッドを実現することができる。
検出器の構成を示す平面図
す平面図
す平面図
検出器の構成を示す断面図
検出器の構成を示す断面図
図
ノード端子 7P1,7P2 カソード端子 10A,10B 迷光スポット L1,L2,L3 光ビーム
Claims (22)
- 【請求項1】 光を放射する光源と、前記光源から放射
された光から少なくとも3本の光ビームを形成する手段
と、前記少なくとも3本の光ビームを記録媒体上に収斂
させる手段と、前記記録媒体により反射された前記少な
くとも3本の光ビームを受光し、前記受光した光ビーム
の強度に応じて、電気的出力を発生する光検出器とを備
えた光学ヘッドであって、前記光検出器は、半導体基板
と、前記半導体基板の表面に形成され、前記記録媒体に
より反射された光ビームを受光する受光部と、所定の電
位の供給を受けるための複数の端子と、電気信号を出力
するための複数の端子とを備えており、前記受光部は、
前記半導体基板の表面に相互に離れて設けられた複数の
信号検出用受光素子と、前記複数の信号検出用受光素子
の間を実質的に埋めるように設けられた複数の迷光キャ
リア吸収領域とを備えており、前記複数の迷光キャリア
吸収領域のそれぞれは、前記半導体基板中に形成された
第1の導電型の第1の不純物拡散領域であって、前記半
導体基板中にPN接合と空乏層とを形成し、迷光により
前記半導体基板中に発生した迷光キャリアを前記空乏層
を介して吸収するようにした光学ヘッド。 - 【請求項2】 迷光キャリア吸収領域の不純物拡散領域
は、所定の電位の供給を受けるための複数の端子の何れ
かに電気的に接続され、そのPN接合に逆バイアスが印
加されている請求項1記載の光学ヘッド。 - 【請求項3】 迷光キャリア吸収領域の不純物拡散領域
は、電気的に浮遊状態にある請求項1記載の光学ヘッ
ド。 - 【請求項4】 信号検出用受光素子は、半導体基板中に
形成された第1の導電型の第2の不純物拡散領域と第2
の導電型の第3の不純物拡散領域とを含んだフォトダイ
オードであり、迷光キャリア吸収領域の前記第1の不純
物拡散領域は、前記第2の不純物拡散領域と実質的に同
一の特性を有している請求項1記載の光学ヘッド。 - 【請求項5】 複数の信号検出用受光素子は、PIN型
フォトダイオードである請求項4記載の光学ヘッド。 - 【請求項6】 光検出器は、半導体基板の受光部周辺に
電気回路を内蔵した電気回路内蔵光検出器である請求項
1記載の光学ヘッド。 - 【請求項7】 半導体基板の迷光キャリア吸収領域の上
面に、反射防止処理が施されている請求項1記載の光学
ヘッド。 - 【請求項8】 半導体基板の迷光キャリア吸収領域の上
面に、散乱反射処理が施されている請求項1記載の光学
ヘッド。 - 【請求項9】 第1の不純物拡散領域のPN接合を流れ
る光電流を検出する回路を更に備え、複数の信号検出用
受光素子からの出力信号とともに、前記光電流を信号形
成に使用する請求項1記載の光学ヘッド。 - 【請求項10】 半導体基板の一部は、所定の電位の供
給を受けるための複数の端子のうちの接地電位を与える
接地端子と、第1の不純物拡散領域との両方に、電気的
に接続されている請求項1記載の光学ヘッド。 - 【請求項11】 第1の不純物拡散領域は、所定の電位
の供給を受けるための複数の端子のうちの接地電位とは
異なる電位を与える端子に、電気的に接続されている請
求項1記載の光学ヘッド。 - 【請求項12】 第1の不純物拡散領域は、専用の端子
に電気的に接続されており、前記専用の端子を介して、
光検出器の外部で電源等の電圧印加ラインに接続されて
いる請求項1記載の光学ヘッド。 - 【請求項13】 光学ヘッドに使用される光検出器であ
って、半導体基板と、前記半導体基板の表面に形成され
た受光部と、所定の電位の供給を受け取るための複数の
端子と、信号を出力するための複数の端子とを備えてい
る光検出器であって、前記受光部は、前記半導体基板の
表面に相互に離れて設けられた複数の信号検出用受光素
子と、前記複数の信号検出用受光素子の間を実質的に埋
めるように設けられた複数の迷光キャリア吸収領域とを
備え、前記迷光キャリア吸収領域は、前記半導体基板中
に形成された第1の導電型の第1の不純物拡散領域であ
って、前記第1の不純物拡散領域は、前記半導体基板中
にPN接合と空乏層とを形成し、迷光により前記半導体
基板中に発生した迷光キャリアを前記空乏層を介して吸
収するようにした光学ヘッドに使用される光検出器。 - 【請求項14】 迷光キャリア吸収領域の不純物拡散領
域は、所定の電位の供給を受けるための複数の端子の何
れかに電気的に接続され、それによって、そのPN接合
に逆バイアスが印加されている請求項13記載の光学ヘ
ッドに使用される光検出器。 - 【請求項15】 迷光キャリア吸収領域の不純物拡散領
域は、電気的に浮遊状態にある請求項13記載の光学ヘ
ッドに使用される光検出器。 - 【請求項16】 信号検出用受光素子は、半導体基板中
に形成された第1の導電型の第2の不純物拡散領域と第
2の導電型の第3の不純物拡散領域とを備えたフォトダ
イオードであり、迷光キャリア吸収領域の第1の不純物
拡散領域は、前記第2の不純物拡散領域と実質的に同一
の特性を有している請求項13記載の光学ヘッドに使用
される光検出器。 - 【請求項17】 複数の信号検出用受光素子は、PIN
型フォトダイオードである請求項16記載の光学ヘッド
に使用される光検出器。 - 【請求項18】 半導体基板の受光部周辺に電気回路を
内蔵した請求項13記載の光学ヘッドに使用される光検
出器。 - 【請求項19】 半導体基板の迷光キャリア吸収領域の
上面に、反射防止処理が施されている請求項13記載の
光学ヘッドに使用される光検出器。 - 【請求項20】 半導体基板の迷光キャリア吸収領域の
上面に、散乱反射処理が施されている請求項13記載の
光学ヘッドに使用される光検出器。 - 【請求項21】 半導体基板の一部は、所定の電位の供
給を受けるための複数の端子のうちの接地電位を与える
接地端子と、第1の不純物拡散領域との両方に、電気的
に接続されている請求項13記載の光学ヘッドに使用さ
れる光検出器。 - 【請求項22】 第1の不純物拡散領域は、所定の電位
の供給を受けるための複数の端子のうちの接地電位とは
異なる電位を与える端子に、電気的に接続されている請
求項13記載の光学ヘッドに使用される光検出器。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP6142082A JPH0773503A (ja) | 1993-06-25 | 1994-06-24 | 光学ヘッドおよび光学ヘッドに使用される光検出器 |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP15470393 | 1993-06-25 | ||
JP5-154703 | 1993-06-25 | ||
JP6142082A JPH0773503A (ja) | 1993-06-25 | 1994-06-24 | 光学ヘッドおよび光学ヘッドに使用される光検出器 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0773503A true JPH0773503A (ja) | 1995-03-17 |
Family
ID=26474201
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP6142082A Pending JPH0773503A (ja) | 1993-06-25 | 1994-06-24 | 光学ヘッドおよび光学ヘッドに使用される光検出器 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0773503A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6242760B1 (en) | 1998-07-13 | 2001-06-05 | Matsushita Electronics Corporation | Optical semiconductor device with enhanced light reception |
US6459711B1 (en) | 1999-01-13 | 2002-10-01 | Matsushita Electronics Corporation | Optical semiconductor device |
US8208359B2 (en) | 2006-12-04 | 2012-06-26 | Panasonic Corporation | Optical head, optical information recording and reproducing device, and optical information system device |
-
1994
- 1994-06-24 JP JP6142082A patent/JPH0773503A/ja active Pending
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6242760B1 (en) | 1998-07-13 | 2001-06-05 | Matsushita Electronics Corporation | Optical semiconductor device with enhanced light reception |
US6459711B1 (en) | 1999-01-13 | 2002-10-01 | Matsushita Electronics Corporation | Optical semiconductor device |
US8208359B2 (en) | 2006-12-04 | 2012-06-26 | Panasonic Corporation | Optical head, optical information recording and reproducing device, and optical information system device |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US6049118A (en) | Circuit built-in light-receiving element | |
JP2731115B2 (ja) | 分割型受光素子 | |
JP3974322B2 (ja) | 光半導体集積回路装置及び光記憶再生装置 | |
JPS622710B2 (ja) | ||
JP3976185B2 (ja) | 受光素子、回路内蔵受光素子および光ピックアップ | |
US5532999A (en) | Optical detector having stray carrier absorption regions between light receiving elements, and an optical head using the same | |
US7176547B2 (en) | Semiconductor device | |
JP2828244B2 (ja) | 受光素子 | |
KR100197772B1 (ko) | 트랜지스터 및 감광 영역을 포함하는 감광 소자가 반도체 몸체부에 제공된 반도체 장치 | |
JPH0773503A (ja) | 光学ヘッドおよび光学ヘッドに使用される光検出器 | |
KR100189910B1 (ko) | 광픽업장치 | |
KR100225186B1 (ko) | 광감지반도체장치 | |
JP3428828B2 (ja) | 回路内蔵受光素子 | |
JPH11312823A (ja) | 受光素子 | |
JPH0955532A (ja) | 半導体受光素子 | |
JP3112407B2 (ja) | 受光素子 | |
JP4014384B2 (ja) | 半導体受光素子 | |
JP2007329512A (ja) | 半導体装置 | |
JPS62246154A (ja) | 光ピツクアツプ装置 | |
US20080315337A1 (en) | Light receiving element | |
JPH01287832A (ja) | 光学式情報再生装置 | |
KR19980020723A (ko) | 파워 모니터링 기능을 구비한 레이저 다이오드 | |
JP4069525B2 (ja) | 半導体受光装置及び光ディスク装置 | |
JPH07244868A (ja) | 光ピックアップ装置 | |
JP2004047569A (ja) | 受光素子および回路内蔵型受光装置および光ディスク装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20040302 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821 Effective date: 20040414 |
|
RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 Effective date: 20040414 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20040420 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821 Effective date: 20040414 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20040622 |