JPH07319154A - Novel photopolymerizable resin composition - Google Patents

Novel photopolymerizable resin composition

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JPH07319154A
JPH07319154A JP11288294A JP11288294A JPH07319154A JP H07319154 A JPH07319154 A JP H07319154A JP 11288294 A JP11288294 A JP 11288294A JP 11288294 A JP11288294 A JP 11288294A JP H07319154 A JPH07319154 A JP H07319154A
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JP
Japan
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weight
photopolymerizable
film
resin composition
photopolymerizable resin
Prior art date
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Pending
Application number
JP11288294A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Hideki Matsuda
英樹 松田
Shinji Arihisa
慎司 有久
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Asahi Chemical Industry Co Ltd
Original Assignee
Asahi Chemical Industry Co Ltd
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Publication date
Application filed by Asahi Chemical Industry Co Ltd filed Critical Asahi Chemical Industry Co Ltd
Priority to JP11288294A priority Critical patent/JPH07319154A/en
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Abstract

PURPOSE:To obtain this photopolymerizable resin compsn. suitable for a dry film photoresist, having superior performance. CONSTITUTION:This photopolymerizable resin compsn. contains 20-90wt.% polymer having a carboxyl group content of 100-600 (expressed in terms of acid equiv.) and a wt. average mol.wt. of 20,000-500,000, 5-60wt.% photopolymerizable monomer having at least two terminal ethylene groups, 0.01-20wt.% photopolymn. initiator and 1-20wt.% compd. represented by the formula (where R1 its H or acetyl and R2 is 1-8C alkyl) as essential components.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、プリント配線板作成に
適したアルカリ現像可能な光重合性樹脂組成物に関す
る。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an alkali-developable photopolymerizable resin composition suitable for producing a printed wiring board.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来、プリント配線板作成用のレジスト
として支持層と光重合性層より成るいわゆるドライフィ
ルムフォトレジスト(以下DFRと略称)が用いられて
いる。DFRは、一般に支持層上に光重合性組成物から
成る光重合性層を積層し、多くの場合、さらに該組成物
上に保護用のフィルムを積層することにより調製され
る。光重合性層としては、現像液として弱アルカリ水溶
液を用いるアルカリ現像型が一般的である。
2. Description of the Related Art Conventionally, a so-called dry film photoresist (hereinafter abbreviated as DFR) comprising a support layer and a photopolymerizable layer has been used as a resist for producing a printed wiring board. The DFR is generally prepared by laminating a photopolymerizable layer composed of a photopolymerizable composition on a support layer, and in many cases further laminating a protective film on the composition. As the photopolymerizable layer, an alkali developing type using a weak alkaline aqueous solution as a developing solution is generally used.

【0003】DFRを用いてプリント配線板を作成する
には、まず保護フィルムを剥離した後、銅張り積層板等
の永久回路作成用基板上にラミネーター等を用いDFR
を積層する。次に必要により支持層を剥離し、配線パタ
ーンマスクフィルム等を通し露光を行う。露光後に支持
層がある場合は必要に応じて支持層を剥離し、アルカリ
水溶液により未露光部分の光重合性層を溶解、もしくは
分散除去し、基板上に硬化レジスト画像を形成する。形
成されたレジスト画像をマスクとして基板の金属表面を
エッチング、またはめっきによる処理を行い、次いでレ
ジスト画像を現像液よりも強いアルカリ水溶液を用いて
剥離して、プリント配線板等を形成する。特に最近は工
程の簡便さから貫通導通孔(スルーホール)を硬化膜で
覆い、その後エッチングするいわゆるテンティング法が
多用されている。
To make a printed wiring board using DFR, first peel off the protective film and then use a laminator or the like on a permanent circuit forming substrate such as a copper clad laminate.
Are stacked. Next, the support layer is peeled off if necessary, and exposure is performed through a wiring pattern mask film or the like. If there is a support layer after exposure, the support layer is peeled off if necessary, and the unexposed portion of the photopolymerizable layer is dissolved or dispersed and removed to form a cured resist image on the substrate. Using the formed resist image as a mask, the metal surface of the substrate is subjected to etching or plating, and then the resist image is peeled off using an alkaline aqueous solution stronger than the developing solution to form a printed wiring board or the like. In particular, recently, a so-called tenting method of covering a through-hole (through-hole) with a cured film and then etching is widely used because of the simplicity of the process.

【0004】エッチングは塩化第二銅、塩化第二鉄、銅
アンモニア錯体溶液などが用いられるが、現像やエッチ
ングの工程でスプレー等の圧力により、硬化膜が破れる
と、内部の導体が除去されて、断線になり不良につなが
る。そのため破れない強靭な膜強度、及び柔軟性が要求
される。一方、DFRは三層構造のロール状態で保存さ
れるため、保存時に端面から光重合性層がはみだす、い
わゆるコールドフローという現象が起こることがあり、
取扱い上好ましくない。さらに、未露光の光重合性層が
硬いと、基板にDFRをラミネートした後、カッター等
で切断するときに、光重合性層がちぎれて切り屑とな
る、いわゆるカットチップが発生し、それが基板表面に
付着すると露光時の欠点につながり、重大な支障を及ぼ
すことになる。また、未露光の光重合性層が硬いと、そ
れを基板上にラミネートした時に密着性が悪く、凹凸の
有る基板表面においては、光重合性層が凹凸をうめるこ
とができず空間を生じることが有る。エッチングレジス
トとして使用した場合にこのようなことが生じると、エ
ッチング液が浸透するため、断線、欠け等の不良につな
がる。
For etching, cupric chloride, ferric chloride, copper ammonia complex solution, etc. are used. When the cured film is broken by the pressure of spray or the like in the steps of development and etching, the conductor inside is removed. , Disconnection and lead to defects. Therefore, a strong film strength that does not break and flexibility are required. On the other hand, since the DFR is stored in a roll state having a three-layer structure, a phenomenon called so-called cold flow that the photopolymerizable layer protrudes from the end surface during storage may occur.
Not preferable for handling. Furthermore, if the unexposed photopolymerizable layer is hard, when the DFR is laminated on the substrate and then cut with a cutter or the like, a so-called cut chip occurs, which causes the photopolymerizable layer to be broken into chips, which is generated. If it adheres to the surface of the substrate, it will lead to defects during exposure and cause serious problems. In addition, if the unexposed photopolymerizable layer is hard, the adhesion is poor when it is laminated on the substrate, and on the uneven substrate surface, the photopolymerizable layer cannot fill the irregularities and creates spaces. There is. If this occurs when used as an etching resist, the etching solution penetrates, leading to defects such as disconnection and chipping.

【0005】現在広く用いられているDFRの光重合性
層は、(1)少なくとも一個のエチレン性基を有し、光
重合開始剤によって重合体を形成できる不飽和化合物、
(2)熱可塑性有機重合体結合剤、(3)光重合開始
剤、および(4)その他の添加剤からなる組成物から構
成されている。(特公昭50−9177号公報、特公昭
57−21697号公報)。前記不飽和化合物として
は、脂肪族系多価アルコールのアクリル酸及びメタクリ
ル酸エステルが最も一般的で、トリメチロールプロパン
トリアクリレートペンタエリスリトールトリアクリレー
ト、ポリエチレングリコールジアクリレート等の少なく
とも二個の不飽和基を持つものが知られている。
The photopolymerizable layer of DFR, which is widely used at present, has (1) an unsaturated compound having at least one ethylenic group and capable of forming a polymer by a photopolymerization initiator,
It is composed of a composition comprising (2) a thermoplastic organic polymer binder, (3) a photopolymerization initiator, and (4) other additives. (Japanese Patent Publication No. 50-9177 and Japanese Patent Publication No. 57-21697). As the unsaturated compound, acrylic acid and methacrylic acid esters of aliphatic polyhydric alcohols are the most common, and at least two unsaturated groups such as trimethylolpropane triacrylate pentaerythritol triacrylate and polyethylene glycol diacrylate are used. It is known to have.

【0006】[0006]

【発明が解決しようとする課題】コールドフローを改良
するためには、結合剤の配合割合を相対的に増加させれ
ば良いが、そうするとカットチップが発生するし、また
基板への追従性が低下する。また、テンティング膜の柔
軟性、および強度が低下する。カットチップを発生させ
なくするには、結合剤の配合割合を相対的に減少させれ
ば良いが、そうするとコールドフローや、現像性の悪
化、剥離時間が増加するという問題点が生じた。
In order to improve the cold flow, it is necessary to relatively increase the compounding ratio of the binder, but if this is done, cut chips will occur and the ability to follow the substrate will deteriorate. To do. Also, the flexibility and strength of the tenting film are reduced. In order to prevent the generation of cut chips, the blending ratio of the binder may be relatively decreased, but this causes problems such as cold flow, deterioration of developability, and increase of peeling time.

【0007】従来、これらの問題の改良には、トルエン
スルホンアミドなどの可塑剤を用いることがあったが、
従来知られていた可塑剤では、上記問題点の解決には至
らなかった。
Conventionally, in order to improve these problems, a plasticizer such as toluenesulfonamide has been used.
Conventionally known plasticizers have not been able to solve the above problems.

【0008】[0008]

【課題を解決するための手段】上記の課題を解決すべく
検討を重ねた結果、下記一般式(I)の化合物を添加し
た光重合性組成物が、DFRに用いた場合に、硬化レジ
ストの柔軟性が良好、テント膜強度が強靭、コールドフ
ロー性と基板への追従性が良好、常温での保存が6ケ月
以上可能、未露光時のDFRのカット時にチップが発生
しない、などの優れた特性を有することを見いだし、本
発明を完成するに至った。
Means for Solving the Problems As a result of repeated studies to solve the above problems, a photopolymerizable composition containing a compound of the following general formula (I) gives a cured resist when used in DFR. Good flexibility, strong tent film strength, good cold flow and substrate followability, can be stored at room temperature for 6 months or more, and chips do not occur when cutting DFR when not exposed. They have found that they have characteristics, and completed the present invention.

【0009】すなわち本発明は、カルボキシル基含有
量が酸当量で100〜600、重量平均分子量が2万〜
50万の重合体20〜90重量%、少なくとも二つの
末端エチレン基を持つ光重合性モノマー5〜60重量
%、光重合開始剤0.01〜20重量%、および下
記一般式(I)で示される化合物1〜20重量%を含有
してなることを特徴とする光重合性樹脂組成物に関す
る。
That is, in the present invention, the carboxyl group content is 100 to 600 in acid equivalent and the weight average molecular weight is 20,000 to.
500,000 to 20% by weight of polymer, 5 to 60% by weight of a photopolymerizable monomer having at least two terminal ethylene groups, 0.01 to 20% by weight of a photopolymerization initiator, and the following general formula (I). The present invention relates to a photopolymerizable resin composition containing 1 to 20% by weight of the compound.

【0010】[0010]

【化4】 [Chemical 4]

【0011】(ここでR1 は水素またはアセチル基、R
2 は炭素数1〜8のアルキル基を表す) 一般式(I)において、R1 は水素またはアセチル基、
2 は炭素数が1〜8のアルキル基であり、特に好まし
いのは、炭素数が2〜6のアルキル基である。具体的な
例としては、クエン酸トリブチル、クエン酸トリエチ
ル、アセチルクエン酸トリエチル、アセチルクエン酸ト
リ−n−プロピル、アセチルクエン酸トリ−n−ブチル
等が挙げられる。
(Where R 1 is hydrogen or an acetyl group, R 1
2 represents an alkyl group having 1 to 8 carbon atoms) In the general formula (I), R 1 is hydrogen or an acetyl group,
R 2 is an alkyl group having 1 to 8 carbon atoms, and particularly preferable is an alkyl group having 2 to 6 carbon atoms. Specific examples include tributyl citrate, triethyl citrate, triethyl acetyl citrate, tri-n-propyl acetyl citrate, tri-n-butyl acetyl citrate, and the like.

【0012】上記光重合性樹脂組成物を構成する少なく
とも二つの末端エチレン基を持つ光重合性モノマーの
例としては、1,6−ヘキサンジオールジ(メタ)アク
リレート、1,4−シクロヘキサンジオールジ(メタ)
アクリレート、またポリプロピレングリコールジ(メ
タ)アクリレート、ポリエチレングリコールジ(メタ)
アクリレート、ポリオキシエチレンポリオキシプロピレ
ングリコールジ(メタ)アクリレート等のポリオキシア
ルキレングリコールジ(メタ)アクリレート、2−ジ
(p−ヒドロキシフェニル)プロパンジ(メタ)アクリ
レート、グリセロールトリ(メタ)アクリレート、トリ
メチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、ポリオ
キシプロピルトリメチロールプロパントリ(メタ)アク
リレート、ポリオキシエチルトリメチロールプロパント
リアクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ(メ
タ)アクリレート、トリメチロールプロパントリグリシ
ジルエーテルトリ(メタ)アクリレート、ビスフェノー
ルAジグリシジルエーテルジ(メタ)アクリレート、
2,2−ビス(4−メタクリロキシペンタエトキシフェ
ニル)プロパン、およびウレタン基を含有する多官能
(メタ)アクリレート等がある。好ましい例としては、
一般式(II)および(III)で表されるものが挙げ
られる。これらは単独で用いてもよいし、その他の多官
能、または単官能モノマーと併用しても良い。また、一
般式(II)と(III)のモノマーを併用する系も望
ましく、これらのモノマーを使用することにより、追従
性が良好で柔軟、かつ強靭なテンティング膜が得られ
る。
Examples of the photopolymerizable monomer having at least two terminal ethylene groups constituting the above photopolymerizable resin composition include 1,6-hexanediol di (meth) acrylate and 1,4-cyclohexanediol di ( Meta)
Acrylate, polypropylene glycol di (meth) acrylate, polyethylene glycol di (meth)
Acrylate, polyoxyalkylene glycol di (meth) acrylate such as polyoxyethylene polyoxypropylene glycol di (meth) acrylate, 2-di (p-hydroxyphenyl) propane di (meth) acrylate, glycerol tri (meth) acrylate, trimethylol Propane tri (meth) acrylate, polyoxypropyl trimethylolpropane tri (meth) acrylate, polyoxyethyl trimethylolpropane triacrylate, dipentaerythritol penta (meth) acrylate, trimethylolpropane triglycidyl ether tri (meth) acrylate, bisphenol A diglycidyl ether di (meth) acrylate,
There are 2,2-bis (4-methacryloxypentaethoxyphenyl) propane, polyfunctional (meth) acrylates containing a urethane group, and the like. As a preferable example,
Examples include those represented by the general formulas (II) and (III). These may be used alone or in combination with other polyfunctional or monofunctional monomers. A system in which the monomers of the general formulas (II) and (III) are used in combination is also desirable, and by using these monomers, a tenting film having good followability, flexibility and toughness can be obtained.

【0013】[0013]

【化5】 [Chemical 5]

【0014】(ここでR3 は炭素数4〜12のジイソシ
アナ−ト残基、R4 、R5 は水素またはメチル基、
1 、n2 は1〜15の整数を表す)
(Wherein R 3 is a diisocyanate residue having 4 to 12 carbon atoms, R 4 and R 5 are hydrogen or a methyl group,
n 1 and n 2 represent an integer of 1 to 15)

【0015】[0015]

【化6】 [Chemical 6]

【0016】(ここでn3 、n4 、n5 は3〜20の整
数、R6 、R7 は水素またはメチル基を表す) (II)で表される化合物としては、例えばヘキサメチ
レンジイソシアネート、トリレンジイソシアネートまた
は2、2、4−トリメチルヘキサメチレンジイソシアネ
ート等のジイソシアネート化合物と、一分子中にヒドロ
キシル基と(メタ)アクリル基を有する化合物(例え
ば、2−ヒドロキシプロピルアクリレート、オリゴプロ
ピレングリコールモノメタクリレート等)とのウレタン
化合等がある。これらは公知の方法により合成できる。
(Wherein n 3 , n 4 and n 5 are integers of 3 to 20 and R 6 and R 7 are hydrogen or a methyl group) Examples of the compound represented by (II) include hexamethylene diisocyanate, A diisocyanate compound such as tolylene diisocyanate or 2,2,4-trimethylhexamethylene diisocyanate, and a compound having a hydroxyl group and a (meth) acryl group in one molecule (for example, 2-hydroxypropyl acrylate, oligopropylene glycol monomethacrylate, etc.) ) And urethane compound. These can be synthesized by a known method.

【0017】一般式(III)で表される化合物におい
て、n3 、n4 、n5 が3よりも小さいと当該化合物の
沸点が低下して、レジストの臭気が強くなり、使用が著
しく困難になる。また、n3 、n4 、n5 が20を越え
ると単位重量あたりの光活性部位の濃度が低くなるた
め、実用的感度が得られない。一般式(III)で表さ
れる化合物は市販されているし、プロピレンオキサイド
とエチレンオキサイドを反応させ得られた生成物を適当
な酸触媒の存在下でアクリル酸またメタクリル酸により
エステル化する方法により合成することもできる。
In the compound represented by the general formula (III), when n 3 , n 4 and n 5 are smaller than 3, the boiling point of the compound is lowered, the odor of the resist becomes strong, and the use becomes extremely difficult. Become. On the other hand, when n 3 , n 4 , and n 5 exceed 20, the concentration of photoactive sites per unit weight becomes low, and practical sensitivity cannot be obtained. The compound represented by the general formula (III) is commercially available, and the product obtained by reacting propylene oxide and ethylene oxide is esterified with acrylic acid or methacrylic acid in the presence of a suitable acid catalyst. It can also be synthesized.

【0018】これらのモノマーは、一種類でも二種類以
上を併用してもよい。使用量は5〜60重量%の範囲か
ら選ばれ、5重量%未満では、感度、膜強度の点で充分
ではなく、60重量%を越えるとDFRに用いた場合に
保存時の光重合性層のはみ出しが著しくなるため好まし
くない。本発明に用いる重合体中に含まれるカルボキ
シル基の量は酸当量で100〜600である必要があ
り、300〜400が好ましい。また分子量は2万〜5
0万である必要があり、より好ましくは4万〜20万で
ある。ここで酸当量とはその中に1当量のカルボキシル
基を有するポリマーの重量をいう。重合体中のカルボキ
シル基はDFRにアルカリ水溶液に対する現像性や剥離
性を与えるために必要である。酸当量が100未満で
は、塗工溶媒または他の組成物、例えばモノマーとの相
溶性が低下し、600を超えると現像性や剥離性が低下
する。また、分子量が50万を超えると現像性が低下
し、2万未満では光重合性積層体に用いたとき光重合層
の厚みを均一に維持することが困難になるし、現像液に
対する耐性が悪化する。なお酸当量の測定は、平沼レポ
ーティングタイトレーターCOMTITE−7を用い、
0.1N水酸化ナトリウムで電位差滴定法により行われ
る。また、分子量は日本分光製ゲルパーミエーションク
ロマトグラフィー(ポンプ;TRIROTAR−V、カ
ラム;Shodex A−80M 2本直列、移動相溶
媒;THF、ポリスチレン標準サンプルによる検量線使
用)により重量平均分子量として求められる。
These monomers may be used alone or in combination of two or more. The amount used is selected from the range of 5 to 60% by weight. When it is less than 5% by weight, the sensitivity and film strength are not sufficient, and when it exceeds 60% by weight, the photopolymerizable layer during storage when used for DFR. This is not preferable, because the protrusion of the notch becomes remarkable. The amount of the carboxyl group contained in the polymer used in the present invention needs to be 100 to 600 in terms of acid equivalent, and preferably 300 to 400. The molecular weight is 20,000-5.
It is necessary to be 0,000, and more preferably 40,000 to 200,000. Here, the acid equivalent means the weight of a polymer having 1 equivalent of a carboxyl group therein. The carboxyl group in the polymer is necessary for giving the DFR developability and releasability to an aqueous alkaline solution. When the acid equivalent is less than 100, the compatibility with the coating solvent or other composition such as a monomer is lowered, and when it exceeds 600, the developability and the peelability are lowered. Further, when the molecular weight exceeds 500,000, the developability decreases, and when it is less than 20,000, it becomes difficult to keep the thickness of the photopolymerizable layer uniform when used in the photopolymerizable laminate, and the resistance to the developing solution becomes low. Getting worse. The acid equivalent was measured using a Hiranuma reporting titrator COMTITE-7,
Performed by potentiometric titration with 0.1 N sodium hydroxide. Further, the molecular weight is determined as a weight average molecular weight by gel permeation chromatography manufactured by JASCO (pump: TRIROTAR-V, column: Shodex A-80M 2 series, mobile phase solvent: THF, using a calibration curve based on a polystyrene standard sample). .

【0019】該重合体は、下記の2種類の単量体の中
より各々一種またはそれ以上の単量体を共重合させるこ
とにより得られる。第一の単量体は分子中に重合性不飽
和基を一個有するカルボン酸または酸無水物である。例
えば(メタ)アクリル酸、フマル酸、ケイ皮酸、クロト
ン酸、イタコン酸、マレイン酸無水物、マレイン酸半エ
ステル等である。第二の単量体は非酸性で、分子中に重
合性不飽和基を一個有し、光重合性層の現像性、エッチ
ングおよびめっき工程での耐性、硬化膜の可とう性等の
種々の特性を保持するように選ばれる。例えば、メチル
(メタ)アクリレート、エチル(メタ)アクリレート、
ブチル(メタ)アクリレート、2−エチルヘキシル(メ
タ)アクリレート等のアルキル(メタ)アクリレート類
がある。また酢酸ビニル等のビニルアルコールのエステ
ル類や、スチレンまたは重合可能なスチレン誘導体等が
ある。また上記の重合性不飽和基を分子中に一個有する
カルボン酸または酸無水物のみの重合によっても得るこ
とができる。
The polymer can be obtained by copolymerizing one or more of the following two types of monomers. The first monomer is a carboxylic acid or acid anhydride having one polymerizable unsaturated group in the molecule. For example, (meth) acrylic acid, fumaric acid, cinnamic acid, crotonic acid, itaconic acid, maleic anhydride, maleic acid half ester and the like. The second monomer is non-acidic, has one polymerizable unsaturated group in the molecule, and has various properties such as developability of the photopolymerizable layer, resistance in etching and plating steps, and flexibility of the cured film. Selected to retain properties. For example, methyl (meth) acrylate, ethyl (meth) acrylate,
There are alkyl (meth) acrylates such as butyl (meth) acrylate and 2-ethylhexyl (meth) acrylate. In addition, there are vinyl alcohol esters such as vinyl acetate, styrene, or a polymerizable styrene derivative. It can also be obtained by polymerizing only the above-mentioned carboxylic acid or acid anhydride having one polymerizable unsaturated group in the molecule.

【0020】光重合性組成物に含有される重合体の量
は、20〜90重量%の範囲であり、好ましくは30〜
70重量%である。重合体の量が20重量%未満または
90重量%を超えると、露光によって形成される硬化画
像が十分にレジストとしての特性、例えばテンティン
グ、エッチング、各種めっき工程において十分な耐性を
有しない。
The amount of the polymer contained in the photopolymerizable composition is in the range of 20 to 90% by weight, preferably 30 to 90% by weight.
It is 70% by weight. When the amount of the polymer is less than 20% by weight or more than 90% by weight, the cured image formed by exposure does not have sufficient resist properties, for example, sufficient resistance in tenting, etching and various plating steps.

【0021】本発明に用いることのできる光重合開始剤
としては、各種の活性光線、例えば紫外線などにより
活性化され重合を開始する公知の開始剤があげられる。
たとえば、2−エチルアントラキノン、オクタエチルア
ントラキノン、1,2−ベンズアントラキノン、2,3
−ベンズアントラキノン、2−フェニルアントラキノ
ン、2,3−ジフェニルアントラキノン、1−クロロア
ントラキノン、2−クロロアントラキノン、2−メチル
アントラキノン、1,4−ナフトキノン、9,10−フ
ェナントラキノン、2−メチル−1,4−ナフトキノ
ン、9,10−フェナントラキノン、2−メチル−1,
4−ナフトキノン、2,3−ジメチルアントラキノン、
3−クロロ−2−メチルアントラキノンなどのキノン
類、ベンゾフェノン、ミヒラーズケトン[4,4’−ビ
ス(ジメチルアミノ)ベンゾフェノン]、4,4’−ビ
ス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノンなどの芳香族ケト
ン類、ベンゾイン、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾ
インフェニルエーテル、メチルベンゾイン、エチルベン
ゾインなどのベンゾインエーテル類、ベンジルジメチル
ケタール、ベンジルジエチルケタール、2−(o−クロ
ロフェニル−4,5−ジフェニルイミダゾリル二量体等
のビイミダゾール化合物、チオキサントン類とアルキル
アミノ安息香酸の組み合わせ、例えばエチルチオキサン
トンとジメチルアミノ安息香酸エチル、2−クロルチオ
キサントンとジメチルアミノ安息香酸エチル、イソプロ
ピルチオキサントンとジメチルアミノ安息香酸エチルと
の組み合わせ、また2−(o−クロロフェニル)−4,
5−ジフェニルイミダドリル二量体とミヒラーズケトン
との組み合わせ、さらに2−(o−クロロフェニル)−
4,5−ジフェニルイミダドリル二量体とベンジルジメ
チルケタールとミヒラーズケトンとの組み合わせ、9−
フェニルアクリジン等のアクリジン類、1−フェニル−
1,2−プロパンジオン−2−o−ベンゾイルオキシ
ム、1−フェニル−1,2−プロパンジオン−2−(o
−エトキシカルボニル)オキシム等のオキシムエステル
類等がある。これらの開始剤はそれぞれ単独で用いて
も、併用して用いても構わない。開始剤の好ましい例と
しては、ジエチルチオキサントン、クロルチオキサント
ン等のチオキサントン類、ジメチルアミノ安息香酸エチ
ル等のジアルキルアミノ安息香酸エステル類、ベンゾフ
ェノン、4,4’−ビス(ジメチルアミノ)ベンゾフェ
ノン、4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノ
ン、2−(o−クロロフェニル)−4,5−ジフェニル
イミダゾリル二量体、およびこれらの組み合わせをあげ
ることができる。
Examples of the photopolymerization initiator that can be used in the present invention include known initiators that are activated by various actinic rays such as ultraviolet rays to initiate polymerization.
For example, 2-ethylanthraquinone, octaethylanthraquinone, 1,2-benzanthraquinone, 2,3
-Benzanthraquinone, 2-phenylanthraquinone, 2,3-diphenylanthraquinone, 1-chloroanthraquinone, 2-chloroanthraquinone, 2-methylanthraquinone, 1,4-naphthoquinone, 9,10-phenanthraquinone, 2-methyl- 1,4-naphthoquinone, 9,10-phenanthraquinone, 2-methyl-1,
4-naphthoquinone, 2,3-dimethylanthraquinone,
Quinones such as 3-chloro-2-methylanthraquinone, benzophenone, Michler's ketone [4,4′-bis (dimethylamino) benzophenone], aromatic ketones such as 4,4′-bis (diethylamino) benzophenone, benzoin, benzoin Benzoin ethers such as ethyl ether, benzoin phenyl ether, methylbenzoin and ethylbenzoin, benzyldimethyl ketal, benzyl diethyl ketal, biimidazole compounds such as 2- (o-chlorophenyl-4,5-diphenylimidazolyl dimer), thioxanthones And a combination of alkylaminobenzoic acid, such as ethylthioxanthone and ethyl dimethylaminobenzoate, 2-chlorothioxanthone and ethyl dimethylaminobenzoate, and isopropylthioxanthone. The combination of methyl amino benzoate, also 2-(o-chlorophenyl) -4,
A combination of 5-diphenyl imidazolyl dimer and Michler's ketone, and further 2- (o-chlorophenyl)-
Combination of 4,5-diphenyl imidazolyl dimer, benzyl dimethyl ketal and Michler's ketone, 9-
Acridines such as phenylacridine, 1-phenyl-
1,2-propanedione-2-o-benzoyloxime, 1-phenyl-1,2-propanedione-2- (o
There are oxime esters such as -ethoxycarbonyl) oxime. These initiators may be used alone or in combination. Preferred examples of the initiator include thioxanthones such as diethylthioxanthone and chlorothioxanthone, dialkylaminobenzoic acid esters such as ethyl dimethylaminobenzoate, benzophenone, 4,4′-bis (dimethylamino) benzophenone and 4,4 ′. -Bis (diethylamino) benzophenone, 2- (o-chlorophenyl) -4,5-diphenylimidazolyl dimer, and combinations thereof.

【0022】本発明の光重合性組成物に含有される光重
合開始剤の量は、0.01重量%〜20重量%であり、
好ましくは、0.05重量%〜10重量%である。光重
合開始剤が20重量%を超えると光重合性組成物の活性
吸収率が高くなり、光重合積層体として用いた時光重合
層の底の部分の重合による硬化が不十分になる。また
0.01重量%未満では充分な感度が出なくなる。
The amount of the photopolymerization initiator contained in the photopolymerizable composition of the present invention is 0.01% by weight to 20% by weight,
It is preferably 0.05% by weight to 10% by weight. When the amount of the photopolymerization initiator exceeds 20% by weight, the active absorption rate of the photopolymerizable composition becomes high, and when used as a photopolymerization laminate, curing due to polymerization of the bottom portion of the photopolymerization layer becomes insufficient. If it is less than 0.01% by weight, sufficient sensitivity cannot be obtained.

【0023】本発明の光重合性組成物の熱安定性、保存
安定性を向上させるために、光重合性組成物に重合禁止
剤を含有させることは好ましいことである。例えば、p
−メトキシフェノール、ハイドロキノン、ピロガロー
ル、ナフチルアミン、tert−ブチルカテコール、塩
化第一銅、2,6−ジ−tert−ブチル−p−クレゾ
ール、2,2’−メチレンビス(4−エチル−6−te
rt−ブチルフェノール)、2,2’−メチレンビス
(4−メチル−6−tert−ブチルフェノール、ニト
ロソフェニルヒドロキシアミンアルミニウム塩、ジフェ
ニルニトロソアミン等が挙げられる。本発明の光重合性
組成物は、染料、顔料等の着色物質を含有してもよい。
例えばフクシン、フタロシアニングリーン、オーラミン
塩基、カルコキシドグリーンS、パラマジェンタ、クリ
スタルバイオレット、メチルオレンジ、ナイルブルー2
B、ビクトリアブルー、マラカイトグリーン、ベイシッ
クブルー20、ダイヤモンドグリーン等が挙げられる。
In order to improve the thermal stability and storage stability of the photopolymerizable composition of the present invention, it is preferable to add a polymerization inhibitor to the photopolymerizable composition. For example, p
-Methoxyphenol, hydroquinone, pyrogallol, naphthylamine, tert-butylcatechol, cuprous chloride, 2,6-di-tert-butyl-p-cresol, 2,2'-methylenebis (4-ethyl-6-te)
rt-butylphenol), 2,2′-methylenebis (4-methyl-6-tert-butylphenol), nitrosophenylhydroxyamine aluminum salt, diphenylnitrosamine, etc. The photopolymerizable composition of the present invention includes a dye, a pigment and the like. You may contain the coloring substance of.
For example, fuchsin, phthalocyanine green, auramine base, chalcoxide green S, paramagenta, crystal violet, methyl orange, Nile blue 2
B, Victoria blue, malachite green, basic blue 20, diamond green and the like.

【0024】また光照射により発色する発色系染料を含
有してもよい。発色系染料としては、ロイコ染料または
フルオラン染料と、ハロゲン化合物との組み合わせがあ
る。例えば、トリス(4−ジメチルアミノ−2−メチル
フェニル)メタン[ロイコクリスタルバイオレット]、
トリス(4−ジメチルアミノ−2−メチルフェニル)メ
タン[ロイコマラカイチグリーン]等が挙げられる。一
方、ハロゲン化合物としては、臭化アミル、臭化イソア
ミル、臭化イソブチレン、臭化エチレン、臭化ジフェニ
ルメチル、臭化ベンザル、臭化メチレン、トリブロモメ
チルフェニルスルフォン、四臭化炭素、トリス(2,3
−ジブロモプロピル)ホスフェート、トリクロロアセト
アミド、ヨウ化アミル、ヨウ化イソブチル、1,1,1
−トリクロロ−2,2−ビス(p−クロロフェニル)エ
タン、ヘキサクロロエタン、トリアジン化合物、等が挙
げられる。
Further, a color-forming dye that develops color upon irradiation with light may be contained. As the color forming dye, there is a combination of a leuco dye or a fluoran dye and a halogen compound. For example, tris (4-dimethylamino-2-methylphenyl) methane [leuco crystal violet],
Examples include tris (4-dimethylamino-2-methylphenyl) methane [leucoma rachaichi green] and the like. On the other hand, as the halogen compound, amyl bromide, isoamyl bromide, isobutylene bromide, ethylene bromide, diphenylmethyl bromide, benzal bromide, methylene bromide, tribromomethylphenyl sulfone, carbon tetrabromide, tris (2 , 3
-Dibromopropyl) phosphate, trichloroacetamide, amyl iodide, isobutyl iodide, 1,1,1
-Trichloro-2,2-bis (p-chlorophenyl) ethane, hexachloroethane, triazine compounds and the like.

【0025】トリアジン化合物としては、2、4、6−
トリス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−
(4−メトキシフェニル)−4、6−ビス(トリクロロ
メチル)−s−トリアジンが挙げられる。また、トリブ
ロモメチルフェニルスルフォンとロイコ染料との組み合
わせや、トリアジン化合物とロイコ染料との組み合わせ
が有用である。
As the triazine compound, 2,4,6-
Tris (trichloromethyl) -s-triazine, 2-
(4-Methoxyphenyl) -4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine may be mentioned. Further, a combination of tribromomethylphenyl sulfone and a leuco dye and a combination of a triazine compound and a leuco dye are useful.

【0026】さらに、本発明の光重合性樹脂組成物に熱
発色防止剤として、グリシジルエーテル化合物を小量添
加しても良い。具体例としては、ポリプロピレングリコ
ールジグリシジルエーテル、グリセリンジグリシジルエ
ーテル、水添ビスフェノールAジグリシジルエーテル、
ビスフェノールA−PO2モル付加ジグリシジルエーテ
ル等が挙げられる。
Further, a small amount of a glycidyl ether compound may be added to the photopolymerizable resin composition of the present invention as a thermal color-developing agent. Specific examples include polypropylene glycol diglycidyl ether, glycerin diglycidyl ether, hydrogenated bisphenol A diglycidyl ether,
Bisphenol A-PO2 mol addition diglycidyl ether etc. are mentioned.

【0027】DFR用の光重合性樹脂積層体とする場合
には、上記光重合性樹脂組成物を含有した光重合性層
に、該光重合性層を支持する支持層を積層する。支持層
としては、活性光を透過する透明なものが望ましい。活
性光を透過する支持層としては、ポリエチレンテレフタ
レートフィルム、ポリビニルアルコールフィルム、ポリ
塩化ビニルフィルム、塩化ビニル共重合体フィルム、ポ
リ塩化ビニリデンフィルム、塩化ビニリデン共重合フィ
ルム、ポリメタクリル酸メチル共重合体フィルム、ポリ
スチレンフィルム、ポリアクリロニトリルフィルム、ス
チレン共重合体フィルム、ポリアミドフィルム、セルロ
ース誘導体フィルムなどが挙げられる。これらのフィル
ムは必要に応じ延伸されたものも使用可能である。厚み
は薄い方が画像形成性、経済性の面で有利であるが、強
度を維持する必要等から10〜30μmのものが一般的
である。
In the case of a photopolymerizable resin laminate for DFR, a support layer supporting the photopolymerizable layer is laminated on the photopolymerizable layer containing the photopolymerizable resin composition. As the support layer, a transparent layer that transmits active light is desirable. As the support layer that transmits active light, a polyethylene terephthalate film, a polyvinyl alcohol film, a polyvinyl chloride film, a vinyl chloride copolymer film, a polyvinylidene chloride film, a vinylidene chloride copolymer film, a polymethyl methacrylate copolymer film, Examples thereof include polystyrene film, polyacrylonitrile film, styrene copolymer film, polyamide film, and cellulose derivative film. These films may be stretched if necessary. The thinner the thickness, the more advantageous in terms of the image forming property and the economical efficiency, but the thickness is generally 10 to 30 μm in order to maintain the strength.

【0028】支持層と積層した光重合性層の反対側の表
面に、必要に応じて保護層を積層する。この保護層の重
要な特性は、光重合性層との密着力について、支持層よ
りも保護層の方が充分小さく容易に剥離できることであ
る。例えばポリエチレンフィルム、ポリプロピレンフィ
ルム等がある。また、特開昭59−202457号公報
に示された剥離性の優れたフィルムを用いることができ
る。光重合性層の厚みは用途において異なるが、印刷回
路板作製用には5〜100μm、好ましくは5〜90μ
mであり、薄いほど解像度は向上する。また厚いほど膜
強度が向上する。
If necessary, a protective layer is laminated on the surface opposite to the photopolymerizable layer laminated with the support layer. An important characteristic of this protective layer is that the protective layer is sufficiently smaller than the support layer in terms of adhesion to the photopolymerizable layer and can be easily peeled off. For example, there are polyethylene film, polypropylene film and the like. Further, the film having excellent releasability disclosed in JP-A-59-202457 can be used. Although the thickness of the photopolymerizable layer varies depending on the use, it is 5 to 100 μm, preferably 5 to 90 μm for producing a printed circuit board.
m, and the thinner, the higher the resolution. Further, the thicker the film, the higher the film strength.

【0029】次に、この光重合性樹脂積層体を用いた印
刷回路板の作成工程は、従来技術に準ずるものであるが
簡単に述べる。まず、ラミネーターを用い、保護層があ
る場合は、保護層を剥離した後、光重合性層を印刷回路
板用基板の金属表面に加熱圧着し積層する。この時の加
熱温度は一般的に40〜160℃である。次に必要なら
ば支持層を剥離しマスクフィルムを通して活性光により
画像露光する。次に、露光後光重合性層上に支持層があ
る場合には必要に応じてこれを除き、続いてアルカリ水
溶液の現像液を用いて未露光部を現像除去する。アルカ
リ水溶液としては、炭酸ナトリウム、炭酸カリウム、水
酸化ナトリウム、水酸化カリウム等の水溶液を用いる。
Next, a process for producing a printed circuit board using this photopolymerizable resin laminate is in accordance with the prior art, but will be briefly described. First, using a laminator, if there is a protective layer, the protective layer is peeled off, and then the photopolymerizable layer is laminated on the metal surface of the printed circuit board substrate by thermocompression bonding. The heating temperature at this time is generally 40 to 160 ° C. Then, if necessary, the support layer is peeled off and imagewise exposed to actinic light through a mask film. Next, if there is a support layer on the post-exposure photopolymerizable layer, the support layer is removed if necessary, and subsequently, the unexposed portion is developed and removed using a developer of an alkaline aqueous solution. As the alkaline aqueous solution, an aqueous solution of sodium carbonate, potassium carbonate, sodium hydroxide, potassium hydroxide or the like is used.

【0030】これらは光重合性層の特性に合わせて選択
されるが、0.5%〜3%の炭酸ナリウム水溶液が一般
的である。次に現像により露出した金属面をエッチング
法または、めっき法のいずれか既知の方法をもちいて金
属の画像パターンを形成する。その後、硬化レジスト画
像は一般的に現像で用いたアルカリ水溶液よりも更に強
いアルカリ性水溶液により剥離される。剥離用のアルカ
リ水溶液についても特に制限はないが、1%〜5%の水
酸化ナトリウム、水酸化カリウムの水溶液が一般的に用
いられる。さらに現像液や剥離液に少量の水溶性溶媒を
加える事は可能である。
These are selected according to the characteristics of the photopolymerizable layer, but an aqueous 0.5% to 3% sodium carbonate solution is generally used. Next, a metal image pattern is formed on the metal surface exposed by the development using a known method such as an etching method or a plating method. The cured resist image is then stripped with an alkaline aqueous solution that is generally stronger than the alkaline aqueous solution used for development. The alkaline aqueous solution for stripping is also not particularly limited, but an aqueous solution of 1% to 5% sodium hydroxide or potassium hydroxide is generally used. Furthermore, it is possible to add a small amount of a water-soluble solvent to the developing solution or the stripping solution.

【0031】[0031]

【実施例】以下に実施例を示す。EXAMPLES Examples will be shown below.

【0032】[0032]

【実施例1】表1の実施例1の欄に記載の化合物を均一
に溶解した。次にこの混合溶液を厚さ25μmのポリエ
チレンテレフタレートフィルムにバーコーターを用いて
均一に塗布し、90℃の乾燥機中で5分乾燥して光重合
性層の厚さ50μmの光重合性樹脂積層体を得た。その
後光重合性層の、ポリエチレンテレフタレートフィルム
を積層していない表面上に35μmのポリエチレンフィ
ルムを張り合わせて積層フィルムを得た。一方、35μ
m圧延銅箔を積層した銅張積層板を湿式バフロール(ス
リーエム社製、商品名スコッチブライト#6002連)
研磨した表面にこの積層フィルムのポリエチレンフィル
ムを剥しながら光重合性層をホットロールラミネーター
により105℃でラミネートして積層体を得た。
Example 1 The compounds described in the column of Example 1 in Table 1 were uniformly dissolved. Next, this mixed solution was uniformly applied to a polyethylene terephthalate film having a thickness of 25 μm using a bar coater and dried in a dryer at 90 ° C. for 5 minutes to laminate a photopolymerizable resin layer having a thickness of 50 μm. Got the body Then, a 35 μm polyethylene film was laminated on the surface of the photopolymerizable layer on which the polyethylene terephthalate film was not laminated to obtain a laminated film. On the other hand, 35μ
Wet baffle made of copper-clad laminate with m rolled copper foil laminated (3M, Scotch Bright # 6002 series)
A photopolymerizable layer was laminated on a polished surface of the laminated film at 105 ° C. by a hot roll laminator while peeling off the polyethylene film of the laminated film to obtain a laminate.

【0033】この積層体にマスクフィルムを通して、超
高圧水銀ランプ(オーク製作所、HMW−201KB)
により80mJ/cm2で光重合性層を露光した。続い
てポリエチレンテレフタレートフィルムを剥離した後、
30℃の1%炭酸ナトリウム水溶液を約70秒スプレー
して、未露光部分を溶解除去したところ良好な硬化画像
を得た。以下の方法で評価した。 (1)コールドフロー性試験 上記積層体を2.5cm角に切断し、直径10cmの鉄
板にはさみ、40℃、5分間、100kgの荷重をかけ
た。サンプルを取り出し光重合性層のはみ出し幅を測定
した。以下のランク付けにより評価した。
An ultra-high pressure mercury lamp (HMW-201KB, manufactured by Oak Manufacturing Co., Ltd.) is passed through this laminate through a mask film.
Was used to expose the photopolymerizable layer at 80 mJ / cm 2 . Then, after peeling off the polyethylene terephthalate film,
A 1% aqueous sodium carbonate solution at 30 ° C. was sprayed for about 70 seconds to dissolve and remove the unexposed portion, and a good cured image was obtained. The following method evaluated. (1) Cold Flow Test The above laminate was cut into 2.5 cm square pieces, sandwiched between iron plates having a diameter of 10 cm, and a load of 100 kg was applied at 40 ° C. for 5 minutes. The sample was taken out, and the width of protrusion of the photopolymerizable layer was measured. The following rankings were used for evaluation.

【0034】○;300μm未満、ロール状態で、23
℃の条件で6ケ月以上コールドフロー無しで保存可能。 △;300μm以上600μm未満、同条件で1ケ月以
上6ケ月未満コールドフロー無しで保存可能。 ×;600μm以上、1ケ月未満コールドフロー無しで
保存可能。 (2)カットチップ評価 銅張り積層板に実施例記載の方法により積層体をラミネ
ートして、カッターナイフにより積層板に沿って積層体
を切断し、切断面を観察して以下の方法により評価し
た。
○: less than 300 μm, 23 in roll state
Can be stored at ℃ for 6 months or more without cold flow. Δ: 300 μm or more and less than 600 μm, can be stored under the same conditions for 1 month or more and less than 6 months without cold flow. ×: 600 μm or more and less than 1 month Can be stored without cold flow. (2) Evaluation of Cut Chips A laminate was laminated on a copper-clad laminate by the method described in the example, the laminate was cut along the laminate with a cutter knife, and the cut surface was observed and evaluated by the following method. .

【0035】○;チップが飛ぶことなく、切断可能。 ×;切断時チップ飛びが発生する。 (3)追従性評価試験 70μm圧延銅箔を積層した銅張り積層板に、あらかじ
め市販のドライフィルムレジストを使って、ラミネート
−露光−現像−エッチング−レジスト剥離を行い、ライ
ン幅が100、110、120、130、140、15
0μmの線状の溝を作った。溝の深さは約10μmであ
った。
○: Can be cut without the chip flying. X: Chip fly occurs during cutting. (3) Follow-up evaluation test Laminate-exposure-development-etching-resist stripping was performed on a copper-clad laminate in which 70 μm rolled copper foil was laminated using a commercially available dry film resist in advance to obtain a line width of 100, 110, 120, 130, 140, 15
A 0 μm linear groove was formed. The depth of the groove was about 10 μm.

【0036】こうして作製した溝付き基板を用い、先と
同様の方法で上記積層体をラミネートした。この積層体
にマスクフィルムを通して、基板の溝に垂直になるよう
なラインパターン(ライン幅;125μm)を使用し
て、露光、現像により画像パターンを得た。さらに、5
0℃の塩化第二銅溶液を120秒スプレーし、レジスト
の無い部分の銅をエッチングした。最後に50℃の3%
水酸化ナトリウム水溶液を約90秒スプレーして硬化レ
ジストを剥離した。
Using the grooved substrate thus prepared, the above laminate was laminated in the same manner as above. An image pattern was obtained by exposing and developing a line pattern (line width; 125 μm) that was perpendicular to the groove of the substrate through the laminate with a mask film. Furthermore, 5
A cupric chloride solution at 0 ° C. was sprayed for 120 seconds to etch the copper in the resist-free area. Finally 3% of 50 ℃
An aqueous solution of sodium hydroxide was sprayed for about 90 seconds to remove the cured resist.

【0037】こうして作られた銅ライン上で、あらかじ
め溝のあった部分が断線していない箇所を数えxとし
た。反対にエッチングされて断線している箇所を数えy
とし、次の計算式により断線率(%)を計算し、以下の
方法によりランク付けした。 断線率(%)=100x/(x+y) ○;断線率が10%未満 △;断線率が10%以上40%未満 ×;断線率が40%以上 (4)柔軟性及び膜強度評価 直径5mmのスルーホールを有する銅張り積層板に、実
施例1記載の方法により両面にラミネートし、パターン
マスクを使用せずに露光、および現像して、片面の硬化
膜を除去し、引っ張り試験機を使用して治具に突き刺し
棒をセットして、5kgの荷重でスルーホールの膜の中
心部を10mm/分の速度で押しつけた。その結果、膜
が破れるまでの硬化膜の伸びと、その時の強度を測定し
た。
On the copper line thus produced, the number of points where the grooved portions were not broken was counted as x. On the other hand, count the number of points that are broken due to etching.
The disconnection rate (%) was calculated by the following formula, and ranked by the following method. Breakage rate (%) = 100x / (x + y) ○; Breaking rate is less than 10% △; Breaking rate is 10% or more and less than 40% ×; Breaking rate is 40% or more (4) Flexibility and membrane strength evaluation of 5 mm diameter A copper clad laminate having through holes was laminated on both sides by the method described in Example 1, exposed and developed without using a pattern mask to remove the cured film on one side, and a tensile tester was used. The piercing bar was set in the jig and the center of the through-hole film was pressed at a speed of 10 mm / min with a load of 5 kg. As a result, the elongation of the cured film until the film was broken and the strength at that time were measured.

【0038】[0038]

【実施例2〜8、比較例1〜4】実施例1と同様の方法
により、表1および表2記載の組成の光重合性樹脂積層
体を得、フロー性試験、カットチップ試験、追従性試
験、柔軟性および膜強度試験を行った。結果を表1およ
び表2に示す。 <記号説明> P :メタクリル酸メチル57重量%、メタアクリル
酸23重量%、アクリル酸ブチル10重量%の三元共重
合体のメチルエチルケトン溶液(固形分濃度32%、重
量平均分子量8.5万) M−1:トリメチロールプロパントリアクリレート M−2:ヘキサメチレンジイソシアネートとオリゴプロ
ピレングリコールモノメタクリレート(日本油脂(株)
製ブレンマーPP−1000)との反応物 M−3:平均8モルのプロピレンオキシドを付加したポ
リプロピレングリコールにエチレンオキシドをさらに両
端にそれぞれ平均3モル付加したグリコールのジメタク
リレート M−4:テトラプロピレングリコールジメタクリレート A−1:ジエチルチオキサントン A−2:p−(N,N−ジメチルアミノ)安息香酸エチ
ル A−3:4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェ
ノン A−4:2−(o−クロロフェニル)−4,5−ジフェ
ニルイミダゾリル二量体 B−1:マラカイトグリーン B−2:ロイコクリスタルバイオレット B−3:トリブロモメチルフェニルスルフォン C−1:クエン酸トリブチル C−2:アセチルクエン酸トリブチル C−3:ポリエチレングリコ−ル C−4:リン酸トリブチル
Examples 2 to 8 and Comparative Examples 1 to 4 By the same method as in Example 1, photopolymerizable resin laminates having the compositions shown in Table 1 and Table 2 were obtained, and flowability test, cut chip test, followability Tests, flexibility and film strength tests were conducted. The results are shown in Tables 1 and 2. <Symbols> P: Methyl ethyl ketone solution of terpolymer of 57% by weight of methyl methacrylate, 23% by weight of methacrylic acid, and 10% by weight of butyl acrylate (solid content concentration 32%, weight average molecular weight 85,000) M-1: trimethylolpropane triacrylate M-2: hexamethylene diisocyanate and oligopropylene glycol monomethacrylate (NOF Corporation)
Reaction product with Blemmer PP-1000) M-3: Dimethacrylate of glycol obtained by adding 3 mol of ethylene oxide to both ends of polypropylene glycol on average of 8 mol of propylene oxide on average, M-4: tetrapropylene glycol dimethacrylate. A-1: Diethylthioxanthone A-2: Ethyl p- (N, N-dimethylamino) benzoate A-3: 4,4′-Bis (diethylamino) benzophenone A-4: 2- (o-chlorophenyl) -4 , 5-Diphenylimidazolyl dimer B-1: Malachite Green B-2: Leuco Crystal Violet B-3: Tribromomethylphenylsulfone C-1: Tributyl Citrate C-2: Acetyl Tributyl Citrate C-3: Polyethylene Glycol C-4: Li Acid tributyl

【0039】[0039]

【表1】 [Table 1]

【0040】[0040]

【表2】 [Table 2]

【0041】[0041]

【発明の効果】本発明の光重合性樹脂組成物を用いたド
ライフィルムフォトレジストは、特に保存時のコ−ルド
フロ−性が小さく、基板へのラミネ−ト時における未露
光膜のカットチップ性、および追従性が良好で、さらに
露光後の硬化膜の柔軟性、および膜強度に優れた性能を
示し、アルカリ現像型回路板作製用ドライフィルムレジ
ストとして非常に有用である。
EFFECT OF THE INVENTION The dry film photoresist using the photopolymerizable resin composition of the present invention has a low cold flow property particularly during storage, and has a cut chip property of an unexposed film during lamination on a substrate. , And excellent followability, and further shows excellent flexibility and film strength of a cured film after exposure, and is very useful as a dry film resist for producing an alkali development type circuit board.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 FI 技術表示箇所 H05K 3/00 F 3/06 H 3/18 D 7511−4E ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (51) Int.Cl. 6 Identification code Internal reference number FI Technical indication H05K 3/00 F 3/06 H 3/18 D 7511-4E

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 カルボキシル基含有量が酸当量で10
0〜600、重量平均分子量が2万〜50万の重合体2
0〜90重量%、少なくとも二つの末端エチレン基を
持つ光重合性モノマー5〜60重量%、光重合開始剤
0.01〜20重量%、および下記一般式(I)で示
される化合物1〜20重量%を含有してなることを特徴
とする光重合性樹脂組成物。 【化1】 (ここでR1 は水素またはアセチル基、R2 は炭素数1
〜8のアルキル基を表す)
1. The carboxyl group content is 10 in terms of acid equivalent.
Polymer 2 having a weight average molecular weight of 0 to 600 and 20,000 to 500,000
0 to 90% by weight, 5 to 60% by weight of a photopolymerizable monomer having at least two terminal ethylene groups, 0.01 to 20% by weight of a photopolymerization initiator, and compounds 1 to 20 represented by the following general formula (I). A photopolymerizable resin composition, characterized in that the photopolymerizable resin composition is contained in an amount of 1% by weight. [Chemical 1] (Here, R 1 is hydrogen or acetyl group, R 2 is carbon number 1
~ Represents an alkyl group of 8)
【請求項2】 少なくとも二つの末端エチレン基を持つ
光重合性モノマーが、下記一般式(II)または(II
I)を含む化合物であることを特徴とする請求項1記載
の光重合性樹脂組成物。 【化2】 (ここでR3 は炭素数4〜12のジイソシアナ−ト残
基、R4 、R5 は水素またはメチル基、n1 、n2 は1
〜15の整数を表す。) 【化3】 (ここでn3 、n4 、n5 は3〜20の整数、R6 、R
7 は水素またはメチル基を表す)
2. A photopolymerizable monomer having at least two terminal ethylene groups is represented by the following general formula (II) or (II
The photopolymerizable resin composition according to claim 1, which is a compound containing I). [Chemical 2] (Here, R 3 is a diisocyanate residue having 4 to 12 carbon atoms, R 4 and R 5 are hydrogen or a methyl group, and n 1 and n 2 are 1
Represents an integer of -15. ) [Chemical 3] (Here, n 3 , n 4 and n 5 are integers of 3 to 20, R 6 and R
7 represents hydrogen or a methyl group)
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