JPH06286043A - Laminate - Google Patents

Laminate

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JPH06286043A
JPH06286043A JP7672193A JP7672193A JPH06286043A JP H06286043 A JPH06286043 A JP H06286043A JP 7672193 A JP7672193 A JP 7672193A JP 7672193 A JP7672193 A JP 7672193A JP H06286043 A JPH06286043 A JP H06286043A
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metal oxide
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zinc oxide
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Abstract

PURPOSE:To provide a laminate having not only moisture impermeability, air impermeability and transparency but also excellent ultraviolet blocking properties and conductivity. CONSTITUTION:A first metal oxide layer 2 with a thickness of 50-150nm composed of magnesium oxide, silicon oxide or aluminum oxide, a zinc oxide layer 3 with a thickness of 50-200nm and a second metal oxide layer with a thickness of 50-200nm are successively laminated on at least the single surface of a base film 1 having transparency. The zinc oxide layer has the blocking properties of ultraviolet rays with a wavelength of 400nm or less but, since it is easily deteriorated by oxygen, the zinc oxide layer is provided between the first and second metal oxide layers.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、包装材料などの製造に
用いる積層体に関する。さらに言えば、耐透湿性、耐透
気性、可視光領域において高透明であり、かつ400n
m以下の紫外領域の波長を遮蔽し導電性を有する積層体
に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a laminate used for producing packaging materials and the like. Furthermore, it is moisture-permeable, air-permeable, highly transparent in the visible light range, and
The present invention relates to a laminate having a conductivity that shields wavelengths in the ultraviolet region of m or less.

【0002】[0002]

【従来の技術】近年、耐透湿ならびに耐透気性を兼ね備
えた包装材料として、透明性を有する基材フィルムの片
面に、酸化珪素、酸化アルミニウム、酸化マグネシウム
などの金属酸化物薄膜を有する積層体を製袋した包装材
料が開発され、実用化されている。
2. Description of the Related Art In recent years, as a packaging material having both moisture resistance and air resistance, a laminate having a transparent substrate film and a metal oxide thin film such as silicon oxide, aluminum oxide or magnesium oxide on one surface thereof. A packaging material for making bags has been developed and put into practical use.

【0003】これは、従来の耐透湿ならびに耐透気性を
兼ね備えた包装材料に用いる積層体が有していた、アル
ミニウム箔層、アルミニウム蒸着層等、不透明な金属薄
膜層に代えて、酸化珪素、酸化アルミニウム、酸化マグ
ネシウムなどの透明な金属酸化物薄膜を設けることによ
り、前記した特性の他に、内容物の確認ができる、透明
性を付与することができるからである。
This is because silicon oxide is used in place of an opaque metal thin film layer such as an aluminum foil layer or an aluminum vapor-deposited layer that a laminate used for a conventional packaging material having both moisture permeation resistance and air permeation resistance has. By providing a transparent metal oxide thin film of aluminum oxide, magnesium oxide, or the like, in addition to the above-mentioned characteristics, the contents can be confirmed and transparency can be imparted.

【0004】しかしながら、前記透明な金属酸化物薄膜
を設けていた積層体は、紫外線遮蔽機能が殆どないた
め、紫外線により内容物が変質することがある。そこ
で、金属あるいは金属酸化物からなる紫外線吸収剤を、
積層体中の基材フィルムに混入したり、積層体の表面に
コートを行い紫外線遮断性を付与することが考えられる
が、前記紫外線吸収剤は有色のものであり、大きな紫外
線遮断性を得ようと、混入量、あるいはコート量を増や
すと、積層体(包装材料)の可視領域での光線透過率は
低下する。
However, since the laminated body provided with the transparent metal oxide thin film has almost no ultraviolet ray shielding function, the contents may be deteriorated by the ultraviolet rays. Therefore, an ultraviolet absorber made of metal or metal oxide
It is conceivable that the ultraviolet absorber is mixed with the base material film in the laminate or coated on the surface of the laminate to impart the ultraviolet blocking property, but the ultraviolet absorber is a colored one, and a large ultraviolet blocking property should be obtained. When the mixing amount or the coating amount is increased, the light transmittance of the laminated body (packaging material) in the visible region decreases.

【0005】他方、金属酸化物薄膜は導電性を有してい
ないため、内容物が軽量な誘電体である場合、静電気の
発生により包装材料から内容物の取り出しが困難になる
おそれがある。そこで、金属あるいは金属酸化物からな
る導電性付与剤を、積層体中の基材フィルムに混入した
り、積層体の表面にコートを行い紫外線遮断性を付与す
ることが考えられるが、前記導電性付与剤も有色のもの
であり、大きな導電性を得ようと、混入量、あるいはコ
ート量を増やすと、積層体(包装材料)の可視領域での
光線透過率は低下する。
On the other hand, since the metal oxide thin film does not have conductivity, if the content is a lightweight dielectric material, it may be difficult to take out the content from the packaging material due to the generation of static electricity. Therefore, it is conceivable that a conductivity-imparting agent composed of a metal or a metal oxide is mixed into the base material film in the laminate, or the surface of the laminate is coated to impart an ultraviolet blocking property. The imparting agent is also colored, and the light transmittance in the visible region of the laminate (packaging material) decreases as the amount of mixture or the amount of coat increases in order to obtain high conductivity.

【0006】[0006]

【発明が解決しようとする課題】本発明は、上記従来の
積層体の欠点を解決するためになされたものであって、
その目的とするところは、耐透湿、耐透気性、透明性を
有することは無論のこと、紫外線遮断性に優れ、かつ導
電性を有する積層体を提供するものである。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above-mentioned drawbacks of the conventional laminated body,
It is an object of the invention to provide a laminate having moisture resistance, air resistance, and transparency, as well as excellent ultraviolet ray blocking property and conductivity.

【0007】[0007]

【課題を解決するための手段】請求項1記載の発明は、
透明性を有する基材フィルムの少なくとも片面に50n
m〜150nmの厚さを有する第1の金属酸化物層と、
50nm〜200nmの厚さを有する酸化亜鉛層と、5
0nm〜200nmの厚さを有する第2の金属酸化物層
を順次積層したことを特徴とする積層体である。
The invention according to claim 1 is
50n on at least one side of a transparent base film
a first metal oxide layer having a thickness of m to 150 nm;
A zinc oxide layer having a thickness of 50 nm to 200 nm and 5
It is a laminated body characterized by sequentially laminating a second metal oxide layer having a thickness of 0 nm to 200 nm.

【0008】請求項2記載の発明は、請求項1記載の発
明を前提とし、第2の金属酸化物層上に、さらにヒート
シール性を有する透明樹脂層を設けたことを特徴とする
積層体である。
The invention according to claim 2 is based on the invention according to claim 1, wherein a transparent resin layer having heat sealability is further provided on the second metal oxide layer. Is.

【0009】以下、本発明を詳細に説明する。本発明に
係わる透明性を有する基材フィルムとは、通常の包装材
料などに使用されているポリエチレンテレフタレート
(PET)、二軸延伸ポリプロピレン(OPP)、二軸
延伸ナイロン(ONy)などであって、平滑性、機械的
強度、寸法安定性があるものである。なお、基材フィル
ム上に形成する薄膜との密着性を維持するため、添加剤
を添加しても良い。厚さは、6μm〜300μm程度
で、包装材料とする場合には12μmから50μmが好
ましい。適時、コロナ処理、低温プラズマ処理、イオン
ボンバード処理、オゾン処理などの物理処理あるいは薬
品などによる化学処理を施してもよい。
The present invention will be described in detail below. The transparent substrate film according to the present invention includes polyethylene terephthalate (PET), biaxially oriented polypropylene (OPP), biaxially oriented nylon (ONy), etc., which are used for usual packaging materials and the like. It has smoothness, mechanical strength, and dimensional stability. An additive may be added in order to maintain the adhesiveness with the thin film formed on the substrate film. The thickness is about 6 μm to 300 μm, and 12 μm to 50 μm is preferable for a packaging material. When appropriate, physical treatment such as corona treatment, low-temperature plasma treatment, ion bombardment treatment, or ozone treatment, or chemical treatment such as chemicals may be performed.

【0010】本発明に係わる第1の金属酸化物層とは、
酸化マグネシウム、酸化珪素、酸化アルミニウム等の金
属酸化物を薄膜形成材料として用い、真空蒸着法、スパ
ッタリング法、イオンプレーテイング法などのPVD法
あるいはCVD法等の真空薄膜形成法で設けた層であ
る。前記金属酸化物の中では、生産性、透明性の点から
酸化マグネシウムが好ましい。
The first metal oxide layer according to the present invention is
This layer is formed by using a metal oxide such as magnesium oxide, silicon oxide, or aluminum oxide as a thin film forming material, and using a vacuum thin film forming method such as a PVD method such as a vacuum evaporation method, a sputtering method, an ion plating method or a CVD method. . Among the metal oxides, magnesium oxide is preferable from the viewpoint of productivity and transparency.

【0011】また、第1の金属酸化物層の厚さは、50
nm〜150nmであることが好ましい。つまり、50
nm以下であると、その基材フィルム側からの耐透湿・
耐透気性が不十分であり、逆に150nm以上となると
薄膜形成に時間がかかることや柔軟性を損ない薄膜中に
内部応力によるクラックが生じ、耐透湿・耐透気性が劣
化し易くなる。
The thickness of the first metal oxide layer is 50.
It is preferably from nm to 150 nm. That is, 50
If the thickness is less than or equal to nm, moisture resistance from the base film side
If the air resistance is insufficient, and if it is 150 nm or more, it takes time to form a thin film and the flexibility is impaired, and cracks due to internal stress occur in the thin film, and moisture resistance and air resistance are likely to deteriorate.

【0012】本発明に係わる酸化亜鉛層とは、前記した
透明性を有する基材フィルムの少なくとも片面に、酸化
亜鉛を薄膜形成材料として用い、真空蒸着法、スパッタ
リング法、イオンプレーテイング法などのPVD法ある
いはCVD法等の真空薄膜形成法で設けた層である。
The zinc oxide layer according to the present invention means PVD such as vacuum deposition method, sputtering method, ion plating method, etc., using zinc oxide as a thin film forming material on at least one surface of the above-mentioned transparent base material film. Method or a layer provided by a vacuum thin film forming method such as a CVD method.

【0013】なお、導電性を有する金属酸化物として
は、他に金属をドープした酸化スズやインジウム―スズ
酸化物等があるが、酸化スズは若干着色しており、イン
ジウム―スズ酸化物はその原材料であるインジウムが高
価であると言う欠点があり、積層体には相応しくない。
Other conductive metal oxides include metal-doped tin oxide and indium-tin oxide, but tin oxide is slightly colored, and indium-tin oxide is Indium, which is a raw material, has a drawback that it is expensive, and is not suitable for a laminated body.

【0014】以下、酸化亜鉛層の形成方法を詳述する。
酸化亜鉛は、通常の真空蒸着法でも薄膜形成することが
可能であるが、そのままでは、金属光沢を有する薄膜と
なり、可視領域における光線透過率が低下してしまう場
合があるので、所定の酸素分圧で発生したプラズマ空間
を通過させ、基材上に析出させる反応性蒸着法を用いる
方が好ましい。
The method for forming the zinc oxide layer will be described in detail below.
Zinc oxide can be formed into a thin film by a normal vacuum vapor deposition method, but if it is left as it is, it becomes a thin film having metallic luster, and the light transmittance in the visible region may decrease. It is preferable to use a reactive vapor deposition method in which a plasma space generated by pressure is passed to deposit on a substrate.

【0015】また、酸化亜鉛層の導電性を向上させるた
めには、酸化亜鉛にアルミニウム等の金属をドーパント
として用いることも有効である。つまり酸化亜鉛単独で
は、各種の雰囲気中で高温におかれた場合、真空中でさ
えも、酸化亜鉛中に捕らえられていた吸着酸素が温度の
上昇により、薄膜中で化学吸着状態となり、抵抗値が増
大してしまうが、金属をドーパントとして用いるとこれ
が防げるからである。しかし、ドーパントを含有する
と、光学的吸収端をより低波長側にシフトさせることに
なるため、多量の添加は好ましくない。
Further, in order to improve the conductivity of the zinc oxide layer, it is effective to use a metal such as aluminum as a dopant for zinc oxide. In other words, with zinc oxide alone, when exposed to high temperatures in various atmospheres, the adsorbed oxygen trapped in zinc oxide becomes chemisorbed in the thin film due to the increase in temperature even in vacuum, resulting in a resistance value. However, the use of a metal as a dopant can prevent this. However, if a dopant is contained, the optical absorption edge will be shifted to the lower wavelength side, so addition of a large amount is not preferable.

【0016】また、酸化亜鉛層の厚さは、50nm〜2
00nmである。酸化亜鉛層の膜厚さが50nm以下で
あると、紫外線の遮蔽能力が十分でなく、また、電気抵
抗値も大きい(数MΩ/□以上)。他方膜厚が200n
m以上であると、内部応力により膜中にクラックが生じ
易くなり、その結果、耐透湿、耐透気性が悪化する恐れ
がある。また、前記膜厚の酸化亜鉛層の導電性は、亜鉛
過剰の状態で良好である。
The thickness of the zinc oxide layer is 50 nm to 2
00 nm. When the film thickness of the zinc oxide layer is 50 nm or less, the ultraviolet ray shielding ability is insufficient and the electric resistance value is large (several MΩ / □ or more). On the other hand, the film thickness is 200n
When it is m or more, cracks are likely to occur in the film due to internal stress, and as a result, moisture permeation resistance and air permeation resistance may be deteriorated. Further, the conductivity of the zinc oxide layer having the above-mentioned film thickness is good in the state of excess zinc.

【0017】また、金属酸化物層形成に先立って、酸化
亜鉛層上に、保護層としてウレタン、ポリ塩化ビニリデ
ン、ポリエステル系などの透明レジューサーからなる透
明樹脂を1μm〜2μm設けても構わない。
Prior to the formation of the metal oxide layer, a transparent resin made of a transparent reducer such as urethane, polyvinylidene chloride or polyester may be provided as a protective layer on the zinc oxide layer in a thickness of 1 μm to 2 μm.

【0018】なお、酸化亜鉛層は、空気中の水分あるい
は酸素の吸着により、その性能が著しく劣化する物質で
あり、それを最外層として用いることは困難であるの
で、さらに金属酸化物層を設ける。
The zinc oxide layer is a substance whose performance is significantly deteriorated by the adsorption of moisture or oxygen in the air. Since it is difficult to use it as the outermost layer, a metal oxide layer is further provided. .

【0019】本発明に係わる第2の金属酸化物層とは、
前記第1の金属酸化物層と同様な薄膜形成材料、同様な
真空薄膜形成法で設けた層である。
The second metal oxide layer according to the present invention is
A thin film forming material similar to that of the first metal oxide layer, and a layer provided by a similar vacuum thin film forming method.

【0020】また、第2の金属酸化物層の厚さは、最外
表面となることから50nm〜200nmであることが
好ましい。つまり、50nm以下であると、その耐透湿
・耐透気性が不十分であり、逆に200nm以上となる
と柔軟性を損ない薄膜中に内部応力によるクラックが生
じ、耐透湿・耐透気性が劣化してしまう。
The thickness of the second metal oxide layer is preferably 50 nm to 200 nm because it forms the outermost surface. That is, when the thickness is 50 nm or less, the moisture and air resistance is insufficient, and conversely, when the thickness is 200 nm or more, the flexibility is impaired and cracks due to internal stress occur in the thin film, and the moisture and air resistance is reduced. It will deteriorate.

【0021】上記した方法で製造した積層体は、必要に
応じて、ヒートシール性を有する透明樹脂層を積層して
もよい。積層方法としては、ドライラミネート法、エク
ストルージョンラミネート法のいずれであっても構わな
い。この層の厚さは、20μm〜100μm程度あれば
十分である。
The laminate produced by the above method may be laminated with a transparent resin layer having a heat-sealing property, if necessary. The laminating method may be either a dry laminating method or an extrusion laminating method. It is sufficient that the thickness of this layer is approximately 20 μm to 100 μm.

【0022】[0022]

【作用】本発明に係わる積層体は、その層構成中に酸化
亜鉛層を有する。酸化亜鉛は真性格子欠損による半導体
であり、そのエネルギーギャップはおおよそ3.2eV
である。このことより、400nm以下の波長の紫外線
を遮蔽する特性を有する。しかし、酸化亜鉛を単独で薄
膜として透明性を有する基材フィルム上にコートした場
合には、酸化亜鉛自身が各種の雰囲気中で高温におかれ
た場合、真空中でさえも、酸化亜鉛中に捕らえられてい
た吸着酸素が温度の上昇により、薄膜中で化学吸着状態
となることにより、抵抗値が増大してしまう。
The laminated body according to the present invention has a zinc oxide layer in its layer structure. Zinc oxide is a semiconductor with an intrinsic lattice defect and its energy gap is about 3.2 eV.
Is. Therefore, it has a property of blocking ultraviolet rays having a wavelength of 400 nm or less. However, when zinc oxide alone is coated as a thin film on a substrate film having transparency, when zinc oxide itself is exposed to high temperatures in various atmospheres, even when it is vacuumed, The trapped adsorbed oxygen becomes chemisorbed in the thin film due to the rise in temperature, and the resistance value increases.

【0023】そこで、さらに酸化マグネシウム、酸化珪
素、酸化アルミニウムの少なくとも一種からなる第1の
金属酸化物層と第2の金属酸化物層間に酸化亜鉛層を設
ける。前述したように酸化亜鉛は単独では空気中の水分
や酸素に極めて敏感であり、その性質を保持するために
酸化マグネシウム、酸化珪素、酸化アルミニウムなどの
酸化物で大気と接する層を遮蔽することにより、性質を
保持できると推察できる。
Therefore, a zinc oxide layer is further provided between the first metal oxide layer and the second metal oxide layer made of at least one of magnesium oxide, silicon oxide and aluminum oxide. As mentioned above, zinc oxide is extremely sensitive to moisture and oxygen in the air by itself, and in order to maintain its properties, oxides such as magnesium oxide, silicon oxide, and aluminum oxide shield the layer in contact with the atmosphere. It can be inferred that the property can be retained.

【0024】さらに、金属酸化物層上に、さらにヒート
シール性を有する透明樹脂層を設ければ、これにより積
層体にヒートシール性を付与することができる。
Further, if a transparent resin layer having heat sealability is further provided on the metal oxide layer, heat sealability can be imparted to the laminate.

【0025】[0025]

【実施例】次に本発明を実験例により具体的に説明す
る。
EXAMPLES Next, the present invention will be specifically described with reference to experimental examples.

【0026】〔実験例1〜4〕図1に示すように透明性
を有する基材フィルムとして50μmの厚さのポリエチ
レンテレフタレート(帝人GS)基材上に、0,50,
100,200nm(それぞれ実験例1,2,3,4と
する)の厚さの酸化マグネシウム薄膜からなる第1の金
属酸化物層を反応性真空蒸着法により順次形成した。
[Experimental Examples 1 to 4] As shown in FIG. 1, as a transparent base material film, a polyethylene terephthalate (Teijin GS) base material having a thickness of 50 μm was used.
A first metal oxide layer made of a magnesium oxide thin film having a thickness of 100 and 200 nm (referred to as Experimental Examples 1, 2, 3, and 4) was sequentially formed by a reactive vacuum deposition method.

【0027】より具体的に説明すると、あらかじめ基材
フィルムと酸化マグネシウムの粉末を所定の位置にセッ
トした真空装置内を1×10-6Torr以下まで排気し
たあと、電子銃で酸化マグネシウムを加熱蒸発させ、1
00nm/minの成膜速度で酸化マグネシウム薄膜
(第1の金属酸化物層)を形成した。
More specifically, after evacuation to 1 × 10 −6 Torr or less in a vacuum apparatus in which a base material film and magnesium oxide powder are set at predetermined positions in advance, magnesium oxide is heated and evaporated by an electron gun. Let 1
A magnesium oxide thin film (first metal oxide layer) was formed at a film forming rate of 00 nm / min.

【0028】このようにして作成した積層体について各
種測定をおこなった。酸素透過率は、オクストラン10
/50A(モダンコントロール社製)を用いて20℃、
100%RHの条件で、水蒸気透過率は、パーマトラン
W6(モダンコントロール社製)を用いて、40℃、9
0%RHの条件で測定した。結果を表1に示す。
Various measurements were performed on the laminate thus prepared. Oxygen transmission rate is 10
/ 50A (manufactured by Modern Control) at 20 ° C,
Under 100% RH conditions, the water vapor transmission rate was 40 ° C, 9 ° C using Permatran W6 (made by Modern Control).
It was measured under the condition of 0% RH. The results are shown in Table 1.

【0029】[0029]

【表1】 [Table 1]

【0030】注)総合評価欄に*が着いているものは、
耐環境試験後、酸素透過率及び水蒸気透過率が、50%
以上上昇(悪化)したものである。
Note: Those marked with * in the comprehensive evaluation column are
After the environment resistance test, oxygen permeability and water vapor permeability are 50%
It has risen (deteriorated) above.

【0031】なお、総合評価は、作成直後の酸素透過率
が1.5g/m2 /24h以下、水蒸気透過率が3cc
/m2 /24h以下であって、40℃,90%RH保存
雰囲気中に10日間放置する耐環境試験の後、酸素透過
率、水蒸気透過率の悪化(上昇)が、50%以下の物を
○、それ以上のものを×とする。
[0031] In addition, the overall evaluation, the oxygen transmission rate of just created is 1.5g / m 2 / 24h or less, the water vapor transmission rate of 3cc
/ M 2 / 24h to or less, 40 ° C., after environmental testing left in 90% RH storage atmosphere for 10 days, the oxygen permeability, deterioration of the water vapor transmission rate (increase) of the following items 50% ○, and more than that.

【0032】また、光線透過率は、ダブルビーム分光光
度計UV−3100(島津製作所製)を用い空気をレフ
ァレンスとして測定した。実験例1〜5に於ける光線透
過率は、基材フィルムのみの場合と略同じであった。結
果を図5,aに示す。図5より実験例1〜5の積層体
は、400nm以下の紫外線を遮蔽する効果がないこと
がわかる。
The light transmittance was measured with a double beam spectrophotometer UV-3100 (manufactured by Shimadzu Corporation) using air as a reference. The light transmittances in Experimental Examples 1 to 5 were almost the same as those in the case of the base film alone. The results are shown in Figure 5a. It can be seen from FIG. 5 that the laminates of Experimental Examples 1 to 5 have no effect of blocking ultraviolet rays having a wavelength of 400 nm or less.

【0033】更に、抵抗値は、直流四端子法により測定
したが、いずれの実験例においても抵抗値が非常に大き
く(1010Ω/□以上)、帯電を除去することはできな
かった。
Further, the resistance value was measured by the DC four-terminal method, but in any experimental example, the resistance value was very large (10 10 Ω / □ or more), and the charge could not be removed.

【0034】〔実験例5〜9〕図3(実施例5について
は図2)に示すように実験例1〜4と同様な基材フィル
ム上に、100nmの第1の金属酸化物層と、50nm
の酸化亜鉛層と、0,50,100,200,300n
m(それぞれ実験例5,6,7,8,9とする)の厚さ
の酸化マグネシウム薄膜からなる第2の金属酸化物層を
反応性真空蒸着法により順次形成した。
Experimental Examples 5-9 As shown in FIG. 3 (FIG. 2 for Example 5), a 100 nm first metal oxide layer and a 100 nm first metal oxide layer were formed on the same substrate film as in Experimental Examples 1 to 4. 50 nm
Zinc oxide layer of 0, 50, 100, 200, 300n
A second metal oxide layer made of a magnesium oxide thin film having a thickness of m (Experimental Examples 5, 6, 7, 8, and 9) was sequentially formed by a reactive vacuum deposition method.

【0035】より具体的に説明すると、あらかじめ基材
フィルムと酸化マグネシウムと酸化亜鉛の粉末を所定の
位置にセットした真空装置内を1×10-6Torr以下
まで排気したあと、電子銃で酸化マグネシウムを加熱蒸
発させ、100nm/minの成膜速度で酸化マグネシ
ウム薄膜(第1の金属酸化物層)を形成した。次に電子
銃で酸化亜鉛粉末を加熱蒸発させ、第1の金属酸化物層
と同様な成膜条件で50nmの厚みを有する導電性の酸
化亜鉛層を形成した。その際には、酸素ガスを6×10
-4Torr導入し、高周波(13.56MHz)放電に
より酸素プラズマ(500W)を発生させた。さらに、
形成した酸化亜鉛層上に電子銃により、酸化マグネシウ
ムを加熱蒸発させ、100nm/minの成膜速度で酸
化マグネシウム薄膜(第2の金属酸化物層)を形成し
た。
More specifically, after evacuation to 1 × 10 −6 Torr or less in the vacuum device in which the base material film and the powders of magnesium oxide and zinc oxide are set at predetermined positions in advance, the magnesium oxide is irradiated with an electron gun. Was evaporated by heating to form a magnesium oxide thin film (first metal oxide layer) at a film forming rate of 100 nm / min. Next, the zinc oxide powder was heated and evaporated with an electron gun, and a conductive zinc oxide layer having a thickness of 50 nm was formed under the same film forming conditions as the first metal oxide layer. In that case, oxygen gas 6 × 10
-4 Torr was introduced, and oxygen plasma (500 W) was generated by high frequency (13.56 MHz) discharge. further,
Magnesium oxide was heated and evaporated by an electron gun on the formed zinc oxide layer to form a magnesium oxide thin film (second metal oxide layer) at a film forming rate of 100 nm / min.

【0036】このようにして作成した積層体について、
実験例1〜4と同様な方法で評価した。酸素透過率、水
蒸気透過率を表1に示す。また、光線透過率を図5,b
に示す。図5より実験例5〜9の積層体は、400nm
以下の紫外線を60%程度遮蔽(40%程度透過)する
効果があることがわかる。更に、抵抗値は、数KΩ/□
以下であり、帯電を除去することができた。なお、実験
例9においては、耐環境試験後、酸素透過率、水蒸気透
過率とも、80%上昇した。
With respect to the laminated body thus produced,
Evaluation was performed in the same manner as in Experimental Examples 1 to 4. Table 1 shows the oxygen transmission rate and the water vapor transmission rate. In addition, the light transmittance is shown in FIG.
Shown in. From FIG. 5, the laminated bodies of Experimental Examples 5 to 9 have 400 nm.
It can be seen that the following ultraviolet rays have an effect of blocking about 60% (transmitting about 40%). Furthermore, the resistance value is several KΩ / □
It was below, and the charge could be removed. In Experimental Example 9, both the oxygen permeability and the water vapor permeability increased by 80% after the environment resistance test.

【0037】〔実験例10〜14〕実験例1〜4と同様
な基材フィルム上に、酸化マグネシウム薄膜からなる1
00nmの第1の金属酸化物層と、100nmの酸化亜
鉛層と、0,50,100,200,300nm(それ
ぞれ実験例10,11,12,13,14とする)の厚
さの酸化マグネシウム薄膜からなる第2の金属酸化物層
を実験例5〜9と同様な反応性真空蒸着法により順次形
成した。
[Experimental Examples 10 to 14] A magnesium oxide thin film was formed on the same substrate film as in Experimental Examples 1 to 4.
A first metal oxide layer of 00 nm, a zinc oxide layer of 100 nm, and a magnesium oxide thin film having a thickness of 0, 50, 100, 200, 300 nm (Experimental Examples 10, 11, 12, 13, 14 respectively) The second metal oxide layer made of was sequentially formed by the same reactive vacuum deposition method as in Experimental Examples 5 to 9.

【0038】このようにして作成した積層体について、
実験例1〜4と同様な方法で評価した。酸素透過率、水
蒸気透過率を表1に示す。また、光線透過率を図5,c
に示す。図5より実験例10〜14の積層体は、400
nm以下の紫外線を85%程度遮蔽(15%程度透過)
する効果があることがわかる。更に、抵抗値は、数百Ω
/□以下であり、帯電を除去することができた。なお、
実験例14においては、耐環境試験後、酸素透過率、水
蒸気透過率とも、75%上昇した。
With respect to the laminated body thus prepared,
Evaluation was performed in the same manner as in Experimental Examples 1 to 4. Table 1 shows the oxygen transmission rate and the water vapor transmission rate. In addition, the light transmittance is shown in FIG.
Shown in. From FIG. 5, the laminates of Experimental Examples 10 to 14 are 400
Approximately 85% of ultraviolet rays of nm or less is blocked (about 15% is transmitted)
It turns out that there is an effect. Furthermore, the resistance value is several hundred Ω.
/ Square or less, and the charge could be removed. In addition,
In Experimental Example 14, both the oxygen permeability and the water vapor permeability increased by 75% after the environment resistance test.

【0039】〔実験例15〜19〕実験例1〜4と同様
な基材フィルム上に、酸化マグネシウム薄膜からなる1
00nmの第1の金属酸化物層と、200nmの酸化亜
鉛層と、0,50,100,200,300nm(それ
ぞれ実験例15,16,17,18,19とする)の厚
さの酸化マグネシウム薄膜からなる第2の金属酸化物層
を実験例5〜9と同様な反応性真空蒸着法により順次形
成した。
[Experimental Examples 15 to 19] A magnesium oxide thin film was formed on the same base film as in Experimental Examples 1 to 4.
A first metal oxide layer having a thickness of 00 nm, a zinc oxide layer having a thickness of 200 nm, and a magnesium oxide thin film having a thickness of 0, 50, 100, 200, and 300 nm (Experimental Examples 15, 16, 17, 18, and 19, respectively). The second metal oxide layer made of was sequentially formed by the same reactive vacuum deposition method as in Experimental Examples 5 to 9.

【0040】このようにして作成した積層体について、
実験例1〜4と同様な方法で評価した。酸素透過率、水
蒸気透過率を表1に示す。また、光線透過率を図5,c
に示す。図5より実験例15〜19の積層体は、400
nm以下の紫外線を85%程度遮蔽(15%程度透過)
する効果があることがわかる。更に、抵抗値は、数百Ω
/□以下であり、帯電を除去することができた。なお、
実験例19においては、耐環境試験後、酸素透過率、水
蒸気透過率とも、90%上昇した。
With respect to the laminated body thus prepared,
Evaluation was performed in the same manner as in Experimental Examples 1 to 4. Table 1 shows the oxygen transmission rate and the water vapor transmission rate. In addition, the light transmittance is shown in FIG.
Shown in. From FIG. 5, the laminates of Experimental Examples 15 to 19 are 400
Approximately 85% of ultraviolet rays of nm or less is blocked (about 15% is transmitted)
It turns out that there is an effect. Furthermore, the resistance value is several hundred Ω.
/ Square or less, and the charge could be removed. In addition,
In Experimental Example 19, both the oxygen permeability and the water vapor permeability increased by 90% after the environment resistance test.

【0041】〔実験例20〜24〕実験例1〜4と同様
な基材フィルム上に、酸化マグネシウム薄膜からなる1
00nmの第1の金属酸化物層と、300nmの酸化亜
鉛層と、0,50,100,200,300nm(それ
ぞれ実験例20,21,22,23,24とする)の厚
さの酸化マグネシウム薄膜からなる第2の金属酸化物層
を実験例6〜10と同様な反応性真空蒸着法により順次
形成した。
[Experimental Examples 20 to 24] 1 consisting of a magnesium oxide thin film on the same base film as in Experimental Examples 1 to 4
A first metal oxide layer having a thickness of 00 nm, a zinc oxide layer having a thickness of 300 nm, and a magnesium oxide thin film having a thickness of 0, 50, 100, 200, and 300 nm (Experimental Examples 20, 21, 22, 23, and 24, respectively). The second metal oxide layer made of was sequentially formed by the same reactive vacuum deposition method as in Experimental Examples 6 to 10.

【0042】このようにして作成した積層体について、
実験例1〜4と同様な方法で評価した。酸素透過率、水
蒸気透過率を表1に示す。また、光線透過率を図5,c
に示す。図5より実験例20〜24の積層体は、400
nm以下の紫外線を85%程度遮蔽(15%程度透過)
する効果があることがわかる。更に、抵抗値は、数百Ω
/□以下であり、帯電を除去することができた。なお、
実験例20〜24においては、耐環境試験後、酸素透過
率、水蒸気透過率とも、80〜100%上昇した。
With respect to the laminated body thus prepared,
Evaluation was performed in the same manner as in Experimental Examples 1 to 4. Table 1 shows the oxygen transmission rate and the water vapor transmission rate. In addition, the light transmittance is shown in FIG.
Shown in. From FIG. 5, the laminates of Experimental Examples 20 to 24 are 400
Approximately 85% of ultraviolet rays of nm or less is blocked (about 15% is transmitted)
It turns out that there is an effect. Furthermore, the resistance value is several hundred Ω.
/ Square or less, and the charge could be removed. In addition,
In Experimental Examples 20 to 24, both the oxygen permeability and the water vapor permeability increased by 80 to 100% after the environment resistance test.

【0043】〔実験例25〜27〕図4に示すように実
験例7,12,17で作成した積層体上に未延伸ポリプ
ロピレン(CPP)60μm(昭和電工製ショーレック
ス アロマーU)を二液硬化型ウレタン系接着剤を用い
てドライラミネートにより積層し、透明樹脂層を設け
た。
[Experimental Examples 25 to 27] As shown in FIG. 4, unstretched polypropylene (CPP) 60 μm (Showlex Aroma U made by Showa Denko) was two-component cured on the laminates prepared in Experimental Examples 7, 12, and 17. A transparent resin layer was provided by laminating by dry lamination using a type urethane adhesive.

【0044】このようにして作成した積層体について、
実験例1〜4と同様な方法で評価した。酸素透過率、水
蒸気透過率を表2に示す。また、光線透過率を図5,c
に示す。図5より実験例25〜27の積層体は、400
nm以下の紫外線を85%程度遮蔽(15%程度透過)
する効果があることがわかる。
With respect to the laminated body thus prepared,
Evaluation was performed in the same manner as in Experimental Examples 1 to 4. Table 2 shows the oxygen transmission rate and the water vapor transmission rate. In addition, the light transmittance is shown in FIG.
Shown in. From FIG. 5, the laminates of Experimental Examples 25 to 27 are 400
Approximately 85% of ultraviolet rays of nm or less is blocked (about 15% is transmitted)
It turns out that there is an effect.

【0045】[0045]

【表2】 [Table 2]

【0046】得られた積層体の水蒸気透過率および酸素
透過率は、実験例7,12,17の結果に比べて高い値
となった。
The water vapor transmission rate and the oxygen transmission rate of the obtained laminate were higher than the results of Experimental Examples 7, 12, and 17.

【0047】[0047]

【発明の効果】本発明に係わる積層体は、透明性を有す
る基材フィルムの少なくとも片面に酸化マグネシウム、
酸化珪素、酸化アルミニウムの少なくとも一種からなる
第1の金属酸化物層と酸化亜鉛層と、第2の金属酸化物
層を順次積層しているので、包装材料として利用する場
合には、内容物の確認が可能であり、防湿・防気性を得
ることができることは無論のこと、紫外線遮蔽能力があ
りながら紫外線吸収剤の内容物への移行や包装材表面へ
の浮き出しの危険が全くなく、さらにその導電性によ
り、包装材の帯電による内容物の内壁への付着を防ぐこ
とができる。
The laminate according to the present invention has magnesium oxide on at least one side of a transparent base film.
Since the first metal oxide layer made of at least one of silicon oxide and aluminum oxide, the zinc oxide layer, and the second metal oxide layer are sequentially laminated, when used as a packaging material, the contents of It is possible to confirm, and it is needless to say that it is possible to obtain moisture-proof and air-proof property.Although it has the ability to shield ultraviolet rays, there is no danger of migration of the ultraviolet absorber to the contents or protrusion to the surface of the packaging material. Due to the conductivity, it is possible to prevent the contents from being attached to the inner wall due to the charging of the packaging material.

【0048】さらに、本発明に係わる積層体は、その片
側に透明粘着性層を設け、建造物のガラスに貼着するこ
とにより、紫外線遮蔽フィルムとしても利用可能であ
る。
Further, the laminate according to the present invention can be used as an ultraviolet ray shielding film by providing a transparent adhesive layer on one side thereof and adhering it to the glass of a building.

【0049】[0049]

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の一実験例に係わる積層体の断面図であ
る。
FIG. 1 is a cross-sectional view of a laminated body according to an experimental example of the present invention.

【図2】本発明の一実験例に係わる積層体の断面図であ
る。
FIG. 2 is a cross-sectional view of a laminated body according to an experimental example of the present invention.

【図3】本発明の一実験例に係わる積層体の断面図であ
る。
FIG. 3 is a cross-sectional view of a laminated body according to an experimental example of the present invention.

【図4】本発明の一実験例に係わる積層体の断面図であ
る。
FIG. 4 is a cross-sectional view of a laminated body according to an experimental example of the present invention.

【図5】光線透過率を示すグラフ図である。FIG. 5 is a graph showing light transmittance.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 基材フィルム 2 第1の金属酸化物層 3 酸化亜鉛層 4 第2の金属酸化物層 5 透明樹脂層 1 Base Film 2 First Metal Oxide Layer 3 Zinc Oxide Layer 4 Second Metal Oxide Layer 5 Transparent Resin Layer

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】透明性を有する基材フィルムの少なくとも
片面に50nm〜150nmの厚さを有する第1の金属
酸化物層と、50nm〜200nmの厚さを有する酸化
亜鉛層と、50nm〜200nmの厚さを有する第2の
金属酸化物層を順次積層したことを特徴とする積層体。
1. A first metal oxide layer having a thickness of 50 nm to 150 nm on at least one side of a transparent substrate film, a zinc oxide layer having a thickness of 50 nm to 200 nm, and a layer of 50 nm to 200 nm. A laminated body, in which a second metal oxide layer having a thickness is sequentially laminated.
【請求項2】第2の金属酸化物層上に、さらにヒートシ
ール性を有する透明樹脂層を設けたことを特徴とする請
求項1記載の積層体。
2. The laminate according to claim 1, further comprising a transparent resin layer having heat sealability provided on the second metal oxide layer.
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