JPH06256918A - Production of molybdenum or molybdenum alloy sheet - Google Patents
Production of molybdenum or molybdenum alloy sheetInfo
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- JPH06256918A JPH06256918A JP14886292A JP14886292A JPH06256918A JP H06256918 A JPH06256918 A JP H06256918A JP 14886292 A JP14886292 A JP 14886292A JP 14886292 A JP14886292 A JP 14886292A JP H06256918 A JPH06256918 A JP H06256918A
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Abstract
Description
【0001】[0001]
【産業上の利用分野】この発明は、加工性(塑性加工
性,溶接性等)が良好な上に高温・高真空下で使用する
場合にも不純物ガスを殆ど発生することのないモリブデ
ン又はモリブデン合金板の製造方法に関するものであ
る。BACKGROUND OF THE INVENTION The present invention relates to molybdenum or molybdenum which has good workability (plastic workability, weldability, etc.) and produces almost no impurity gas even when used under high temperature and high vacuum. The present invention relates to a method for manufacturing an alloy plate.
【0002】[0002]
【従来技術とその課題】モリブデンは比較的古くから工
業的生産がなされてきた高融点金属の1つであり、これ
まで耐熱材料,真空管材料,電気抵抗体等としての貴重
な用途を担ってきた。特に、高温でのモリブデン及びモ
リブデン合金の強度は実用金属材料中でも群を抜いてお
り、1000℃前後で信頼できる唯一の耐熱材料として
航空宇宙機器関連部材等への適用を目指した研究は膨大
な数に上っている。2. Description of the Related Art Molybdenum is one of the refractory metals that has been industrially produced for a relatively long time and has been used as a heat-resistant material, vacuum tube material, electric resistor, etc. . In particular, the strength of molybdenum and molybdenum alloys at high temperatures is outstanding among practical metal materials, and a huge number of studies aiming at application to aerospace equipment-related members etc. as the only heat-resistant material reliable at around 1000 ° C. Is up.
【0003】ところが、モリブデンは融点が2600℃
を超える高い値であることに加えて酸化物の蒸気圧が著
しく低いという物性を有しているため、通常の金属に適
用される手段では所要の板材等を生産することが困難
で、モリブデン又はモリブデン合金から成る金属部材の
製造には格別な手立てを必要としていた。However, molybdenum has a melting point of 2600 ° C.
In addition to having a high value exceeding 0, the vapor pressure of the oxide is extremely low, so it is difficult to produce the required plate materials by means applied to ordinary metals, and molybdenum or The production of metal parts made of molybdenum alloy required special measures.
【0004】即ち、モリブデン又はモリブデン合金から
成る金属部材の工業的な生産手段としてこれまで採用さ
れてきたのは、「モリブデン又はモリブデン合金のパウ
ダ−を加圧成型した後、 これを焼結してインゴットと
し、 このインゴットに鍛造,圧延等の塑性加工を施して
所要形状に仕上げる」という粉末冶金の手法である。That is, what has been adopted so far as an industrial production means of a metal member made of molybdenum or a molybdenum alloy is that "a powder of molybdenum or a molybdenum alloy is pressure-molded and then sintered. It is an ingot, and the ingot is subjected to plastic working such as forging and rolling to finish it into the required shape.
【0005】しかしながら、このようにして製造された
モリブデン又はモリブデン合金材に対して、最近、「高
温・高真空下で使用すると、 使用中に該部材から不純物
ガスが放出されて設備性能に悪影響を及ぼす」との問題
が指摘されるようになってきた。これは、パウダ−原料
を焼結して作成した“焼結インゴット”の場合には不純
物(特にO,N,C,S,H等のガス成分)の混入が多
いという現象に起因したもので、前記不純物が加工後の
製品部材にまで持ち来たされて上記不都合を招くものと
考えられる。しかも、前記方法にて製造されたモリブデ
ン又はモリブデン合金材は溶融するとガスが発生しがち
であるため、部部的な溶融を伴う溶接の際にブロ−ホ−
ルが出やすく、溶接性が悪いという問題も有していた。However, recently, regarding the molybdenum or molybdenum alloy material produced in this way, "when used under high temperature and high vacuum, impurity gas is released from the member during use, which adversely affects facility performance. The problem of "affect" has come to be pointed out. This is due to the phenomenon that impurities (particularly gas components such as O, N, C, S and H) are often mixed in the case of "sintered ingot" prepared by sintering powder raw materials. It is considered that the above-mentioned inconvenience is brought about because the impurities are brought to the processed product member. In addition, since the molybdenum or molybdenum alloy material produced by the above method tends to generate gas when melted, a blower blower is used at the time of welding accompanied by partial melting.
It also had the problem that the weldability was poor and the weldability was poor.
【0006】一方、これらの問題とは別に、モリブデン
又はモリブデン合金材の製造には次のような不都合を余
儀無くされていた。つまり、モリブデン又はモリブデン
合金材(インゴット等)は大気中では非常に活性であ
り、特に高温に加熱すると大気中の酸素や窒素等のガス
成分と激しく反応して表面及び表面近傍が汚染されてし
まう。そして、このようにガス成分に汚染されたモリブ
デン又はモリブデン合金材は加工性に乏しく、鍛造や圧
延等の加工を行った場合には低い加工度でも割れ等の欠
陥を生じることが多かった。また、無事に加工を終えた
場合でも汚染された表面層を相当量除去しなければなら
ず、従ってこの点での加工歩留低下も大きかった。On the other hand, apart from these problems, production of molybdenum or a molybdenum alloy material has the following disadvantages. In other words, molybdenum or a molybdenum alloy material (such as an ingot) is very active in the atmosphere, and when heated to a high temperature, it reacts violently with gas components such as oxygen and nitrogen in the atmosphere to contaminate the surface and the vicinity of the surface. . The molybdenum or molybdenum alloy material thus contaminated with gas components has poor workability, and when processed such as forging and rolling, defects such as cracks often occur even at low workability. Further, even if the processing is completed safely, a considerable amount of the contaminated surface layer has to be removed, so that the processing yield in this respect is also greatly reduced.
【0007】もっとも、前記ガス成分の汚染がない雰囲
気中(例えば真空中やアルゴンガス中)において加工を
行うことは可能であるが、この場合には高価な装置・設
備を必要とし、またバッチ式の作業とせざるを得ないた
めに生産効率も非常に悪くなり、そのため特に低廉・多
量供給の要望が強くなってきた板材等の量産手段として
満足できるものとは言えなかった。Although it is possible to perform processing in an atmosphere (for example, in vacuum or in argon gas) free from contamination of the gas components, in this case, expensive equipment and facilities are required, and the batch method is also used. However, the production efficiency is very poor because of the above-mentioned work, and therefore it cannot be said that it is satisfactory as a mass production means for plate materials and the like for which demand for low cost and large quantity supply has been particularly strong.
【0008】このようなことから、本発明が目的とした
のは、溶接性や成形性等の加工性に優れると共に、高温
・高真空下で使用しても不純物ガスを発生することのな
いモリブデン又はモリブデン合金板を歩留良く工業的規
模で安定生産し得る手段を確立することであった。In view of the above, the object of the present invention is to provide molybdenum which is excellent in workability such as weldability and formability and does not generate an impurity gas even when used under high temperature and high vacuum. Alternatively, it was to establish a means capable of stably producing a molybdenum alloy plate with a good yield and on an industrial scale.
【0009】[0009]
【課題を解決するための手段】そこで、本発明者等は上
記目的を達成すべく様々な観点に立って鋭意研究を重ね
たところ、以下に示すような新しい知見を得ることがで
きた。Therefore, the inventors of the present invention have made extensive studies from various viewpoints in order to achieve the above object, and have been able to obtain the following new findings.
【0010】a) モリブデン又はモリブデン合金板を製
造するための素材として、モリブデン又はモリブデン合
金を電子ビ−ム溶解法,真空ア−ク溶解法或いは電子ビ
−ムコ−ルドハ−スリメルト法等により溶解・鋳造した
“鋳造インゴット”を用い、これを不純物ガス汚染の少
ない状態(環境)下で熱間加工した場合には、高温・高
真空下での発生ガス量が非常に少なく、溶接性にも優れ
た部材を得ることが可能となる。A) As a raw material for producing a molybdenum or molybdenum alloy plate, molybdenum or a molybdenum alloy is melted by an electron beam melting method, a vacuum arc melting method, an electron beam cold hearth remelt method, or the like. When a cast "casting ingot" is used and hot-worked in a state (environment) where there is little impurity gas contamination, the amount of gas generated at high temperature and high vacuum is very small, and it has excellent weldability. It is possible to obtain a member having
【0011】b) また、モリブデン又はモリブデン合金
製の鋳造インゴットに熱間鍛造を施す際、この鋳造イン
ゴットに対して、従来は粉末材等の成型加工に用いられ
ていた“キャニング”を特に適用し、別材で鋳造インゴ
ットの全面をシ−ルしてから鍛造を実施すると、大気中
においてもガス成分による汚染の懸念なく鍛練が行われ
るようになると同時に、欠陥(割れ等)発生が極力抑え
られて健全な鍛造を安定して実施できるようになる。B) When hot forging a cast ingot made of molybdenum or a molybdenum alloy, "casting", which has been conventionally used for forming powder materials, is applied to the cast ingot. By sealing the entire surface of the cast ingot with a separate material and then forging, it becomes possible to carry out the forging even in the atmosphere without fear of contamination by gas components, and at the same time, the occurrence of defects (cracks, etc.) is suppressed as much as possible. And sound forging can be performed stably.
【0012】c) 更に、加工素材たる“鋳造インゴッ
ト”として、「電子ビ−ムコ−ルドハ−スリメルト法に
て溶解された溶湯の鋳造時に、 (1) 振動を加える,(2)
結晶核となる物質を加える,(3) モ−ルドから引き抜か
れる凝固材を二次冷却する,或いはこれらの手段を組合
わせて結晶粒成長の抑制を図る方法」等により結晶粒径
(鋳造方向とは垂直の断面における平均結晶粒径)が
“10mm以下(特に好ましくは10mm以下)”に抑えら
れたモリブデン又はモリブデン合金鋳造インゴットを用
いた場合には、その鍛造や温間又は熱間圧延が一層容易
となる上、高温・高真空下使用時の発生ガス量,加工性
(成形加工性,溶接性)等の面でより優れた部材が得ら
れるようになる。C) Furthermore, as a "casting ingot" which is a processing material, "(1) Vibration is applied during casting of the molten metal melted by the electronic beam cold hearth remelt method, (2)
The crystal grain size (casting direction) can be controlled by adding a substance that becomes crystal nuclei, (3) secondarily cooling the solidified material that is extracted from the mold, or combining these means to suppress grain growth. When using a molybdenum or molybdenum alloy cast ingot whose average grain size in a vertical section is 10 mm or less (particularly preferably 10 mm or less), forging, warm or hot rolling is performed. In addition to making it even easier, it becomes possible to obtain a more excellent member in terms of the amount of gas generated when used under high temperature and high vacuum, workability (forming workability, weldability), and the like.
【0013】d) なお、キャニングしたモリブデン又は
モリブデン合金の鋳造インゴットを鍛造した場合には、
得られる鍛造材は健全な組織及び高変形能を有したもの
となり、この鍛造材に対しては温間又は熱間圧延及び冷
間圧延が可能となるため、これを素材とすれば所望寸法
のモリブデン又はモリブデン合金冷延板を工業的規模で
生産性良く量産することが可能となる。D) Incidentally, when a cast ingot of molybdenum or molybdenum alloy is forged,
The obtained forged material has a sound structure and high deformability, and since it is possible to perform hot or hot rolling and cold rolling on this forged material, if this is used as a material, it is possible to obtain desired dimensions. It becomes possible to mass-produce molybdenum or a molybdenum alloy cold-rolled sheet on an industrial scale with high productivity.
【0014】e) しかも、上述の工程で得られた冷延板
に特定条件の熱処理を施すと安定な焼鈍組織となって歪
等が除去され、材料の安定性が一層向上する。E) Moreover, when the cold-rolled sheet obtained in the above-mentioned step is subjected to heat treatment under specific conditions, a stable annealed structure is formed, strains and the like are removed, and the stability of the material is further improved.
【0015】本発明は、上記知見事項等に基づいて完成
されたものであり、「モリブデン又はモリブデン合金鋳
造インゴット(結晶粒径が30mm以下のものが好まし
い)を用い、 これをシ−ス材でキャニングして鍛造した
後、 加熱温度500〜1200℃で圧下率50%以上の
温間又は熱間圧延を施し、 更にこれを圧下率30%以上
の条件で冷間圧延(クロス圧延が好ましい)するか、 或
いは、この冷間圧延の後、 得られた冷延板に800〜1
200℃で 0.5〜4時間の真空熱処理を施すことによ
り、 高温・高真空下での発生ガス量が少なく、 加工性
(成形加工性,溶接性)等にも優れたモリブデン又はモ
リブデン合金板を安定かつ低コストにて量産できるよう
にした点」に大きな特徴を有している。The present invention has been completed based on the above findings and the like, and uses a "molybdenum or molybdenum alloy cast ingot (preferably having a crystal grain size of 30 mm or less), which is used as a sheath material. After canning and forging, it is subjected to warm or hot rolling at a heating temperature of 500 to 1200 ° C. with a reduction of 50% or more, and further cold rolling (preferably cross rolling) under conditions of a reduction of 30% or more. Alternatively, after this cold rolling, the obtained cold rolled sheet has 800-1
Stable molybdenum or molybdenum alloy plate with high workability (formability, weldability), etc. by generating vacuum heat treatment at 200 ° C for 0.5 to 4 hours at high temperature and high vacuum. Moreover, it has a major feature in that it enables mass production at low cost. "
【0016】なお、本発明において使用するモリブデン
又はモリブデン合金鋳造インゴットは、例えば次に示す
何れの手段にても得ることができる。 i) モリブデン又はモリブデン合金のバ−ジン材又はス
クラップ材を圧縮成形するか、或いはこれらの原料をこ
れと同じ材質からなる箱又は管に詰めて溶解電極を形成
し、該電極を電子ビ−ム溶解或いは真空ア−ク溶解して
インゴットとする“電子ビ−ム溶解法”又は“真空ア−
ク溶解法”。 ii) 電子ビ−ム溶解した原料溶湯を一旦水冷式のコ−ル
ドハ−ス内に保持して不純物を真空環境へ逸散させ、こ
れをモ−ルド内へオ−バ−フロ−させて連続的に凝固さ
せつつインゴットとして下方から引き抜く“電子ビ−ム
コ−ルドハ−スリメルト法”。The molybdenum or molybdenum alloy cast ingot used in the present invention can be obtained, for example, by any of the following means. i) A virgin material or scrap material of molybdenum or a molybdenum alloy is compression molded, or these raw materials are packed in a box or a tube made of the same material to form a melting electrode, and the electrode is an electron beam. "Electron beam melting method" or "vacuum arc" in which melting or vacuum arc melting is performed to form an ingot
Ii) Electron beam melted raw material melt is once held in a water-cooled cold heart to diffuse impurities into a vacuum environment, which is then overheated into the mold. The "electron beam cold hearth remelting method" in which the ingot is pulled out from below while continuously solidifying by flow.
【0017】このように、粉末冶金法によるのではなく
溶解・鋳造したモリブデン又はモリブデン合金を素材と
した場合には、ガス成分を主とした揮発し易い不純物の
含有量が少ないので、加工性が良好な上に、溶接のため
に部分溶解したときや最終製品を高温・真空下で使用し
たときでもガスの発生が殆どなく、溶接欠陥や環境の汚
染を生じる恐れが極めて少なくなる。As described above, when molybdenum or a molybdenum alloy that is melted and cast rather than by the powder metallurgy method is used as the material, the content of easily volatilized impurities, mainly gas components, is small, so that workability is improved. In addition to being good, there is almost no generation of gas even when partially melted for welding or when the final product is used under high temperature and vacuum, and the risk of welding defects and environmental pollution is extremely reduced.
【0018】しかし、望ましくは“電子ビ−ムコ−ルド
ハ−スリメルト法”で得られた不純物含有量がより少な
いインゴットを使用するのが良く、それによって本発明
の効果は一層顕著化する。なぜなら、“電子ビ−ム溶解
法”或いは“真空ア−ク溶解法”で得られたモリブデン
又はモリブデン合金インゴットは結晶粒界が多少脆弱で
ある上、1回の溶解操作では不純物の低減が“電子ビ−
ムコ−ルドハ−スリメルト法”の場合ほど十分でないか
らである。However, it is desirable to use an ingot obtained by the "electron beam cold hearth remelt method" having a smaller impurity content, whereby the effect of the present invention becomes more remarkable. This is because the grain boundaries of molybdenum or molybdenum alloy ingots obtained by the "electron beam melting method" or "vacuum arc melting method" are somewhat fragile, and the reduction of impurities is reduced by one melting operation. Electronic bee
This is because it is not sufficient as in the case of the "Mukold hearth remelt method".
【0019】そして、更に推奨されるのは、結晶粒径
(鋳造方向とは垂直の断面における平均結晶粒径)が3
0mm以下、特に好ましくは10mm以下に抑えられた高純
度インゴットの使用である。モリブデン又はモリブデン
合金鋳造インゴットの結晶粒径が30mm以下(特に好ま
しくは10mm以下)になると、結晶粒の微細化によって
粒界の総面積が著しく増大するので結晶粒界におけるガ
ス成分等の偏析が小さくなり、結晶粒界における粒界面
積当りの不純物偏析量は極めて少ない値となる。そし
て、これが著しい加工性の向上に結び付いて鍛造や圧延
等の加工が一段と容易化する。また、最終製品中に存在
する不純物ガス量も少なくなるため、それを高温・真空
中で使用した時にもガスを殆ど発生しない。It is further recommended that the crystal grain size (average grain size in a cross section perpendicular to the casting direction) be 3
The use of a high-purity ingot suppressed to 0 mm or less, particularly preferably 10 mm or less. When the crystal grain size of the molybdenum or molybdenum alloy cast ingot becomes 30 mm or less (particularly preferably 10 mm or less), the total area of the grain boundaries remarkably increases due to the refinement of the crystal grains, so that the segregation of gas components etc. at the crystal grain boundaries is small. Therefore, the amount of impurity segregation per grain boundary area at the crystal grain boundary becomes a very small value. Then, this leads to a remarkable improvement in workability, and the work such as forging and rolling is further facilitated. In addition, since the amount of impurity gas existing in the final product is small, almost no gas is generated even when it is used at high temperature and in vacuum.
【0020】ただ、このような微細結晶インゴットは、
既知の“電子ビ−ムコ−ルドハ−スリメルト法”をその
まま適用したとしても安定に得ることはできない。前記
インゴットは、モリブデン又はモリブデン合金材を電子
ビ−ムコ−ルドハ−スリメルト法にて溶製すると共に、
その際、(1) モ−ルド内の溶湯プ−ルに振動を加える,
(2) 溶湯プ−ルにモリブデン又はモリブデン合金の粒を
添加する,(3) モ−ルドから引き抜かれる凝固材を二次
冷却して冷却を促進する,(4) 上記手段を適宜組合わせ
る,等の手立てを講じて結晶粒の“微細化促進”及び
“成長・粗大化の防止”を図ることによって得ることが
できる。勿論、インゴットの結晶粒径は小さいほど好ま
しい。However, such a fine crystal ingot is
Even if the known "electron beam cold hearth remelt method" is applied as it is, it cannot be obtained stably. The ingot is produced by melting molybdenum or a molybdenum alloy material by an electronic beam cold hearth remelt method,
At that time, (1) vibration is applied to the molten pool in the mold,
(2) Adding molybdenum or molybdenum alloy particles to the molten pool, (3) secondary cooling of the solidified material extracted from the mold to promote cooling, (4) appropriate combination of the above means, It can be obtained by taking measures such as "to promote miniaturization" and "prevent growth and coarsening" of crystal grains. Of course, the smaller the crystal grain size of the ingot, the more preferable.
【0021】モリブデン又はモリブデン合金鋳造インゴ
ットのキャニングは、加熱・鍛造中の表面汚染による割
れ等の欠陥を防止し、かつ鍛造を通じ静水圧効果による
3軸圧縮加工を可能にして変形能が改善された組織を実
現するために行われる。そして、この加工に有利な組織
を有したモリブデン又はモリブデン合金では、比較的容
易に温間又は熱間圧延や冷間圧延を行うことができる。The canning of molybdenum or molybdenum alloy cast ingots prevents defects such as cracks due to surface contamination during heating and forging, and enables triaxial compression processing by the hydrostatic effect through forging to improve deformability. It is done to realize the organization. Then, with molybdenum or a molybdenum alloy having a structure advantageous for this processing, warm or hot rolling or cold rolling can be relatively easily performed.
【0022】なお、従来より粉末材等の成型加工に用い
られてきたキャニングを、特にモリブデン又はモリブデ
ン合金鋳造インゴットに適用して鍛造した場合の主な作
用効果をまとめると、次のようになる。The following is a summary of the main operational effects when the canning, which has been conventionally used for forming a powder material or the like, is applied to a molybdenum or molybdenum alloy cast ingot and forged.
【0023】(A) 大気中においてもガス成分による汚染
を懸念することなく鍛造を行えるようになる。 (B) 比較的強度が高くて厚肉のキャニング材を用いる
と、1軸方向の圧縮荷重のみではなく3軸方向の圧縮荷
重を被加工材(鋳造インゴット)に効果的に負荷できる
静水圧効果も加わって、鍛造時における欠陥(割れ等)
発生が効果的に抑えられる(モリブデン又はモリブデン
合金のような難加工性材料に対して前記の如き静水圧効
果は特に有効である)。(A) Forging can be performed even in the atmosphere without fear of contamination by gas components. (B) Hydrostatic effect that can effectively apply not only the compressive load in the uniaxial direction but also the compressive load in the triaxial direction to the work material (casting ingot) by using the canning material with relatively high strength and thick wall In addition, defects (cracks, etc.) during forging
The generation is effectively suppressed (the hydrostatic effect as described above is particularly effective for a difficult-to-process material such as molybdenum or a molybdenum alloy).
【0024】(C) 更に、高温に加熱した被加工材をハン
マ−又はプレス等の如き鍛造装置で加工する場合には、
冷えた金敷等の工具で支持して圧縮荷重を被加工材に負
荷するため被加工材の熱が工具に奪われ、被加工材の表
面温度が低下して欠陥発生の原因となるが、キャニング
を施しておくことでこのような温度低下も効果的に防止
され健全な加工を行うことが可能になる。なお、高温加
工中の温度低下を防止し、一定温度でしかも歪速度(加
工速度)を低く保ちつつ加工を行う方法として“恒温鍛
造法”が知られているが、この恒温鍛造法ではやはり高
価な装置を必要とする上、品質面からは好ましい加工法
ではあるが歪速度を低く保たなければならないことから
生産能率面で実際的な方法とは言えない。(C) Furthermore, in the case of processing a workpiece heated to a high temperature with a forging device such as a hammer or a press,
Since the work is supported by a tool such as a cold anvil and a compressive load is applied to the work, the heat of the work is taken by the tool, causing the surface temperature of the work to drop and causing defects, but canning By applying the above, it is possible to effectively prevent such a temperature decrease and perform sound processing. In addition, the "isothermal forging method" is known as a method for preventing temperature drop during high temperature processing and performing processing at a constant temperature and at a low strain rate (processing speed), but this isothermal forging method is also expensive. However, it is not a practical method in terms of production efficiency because it requires a large amount of equipment and is a preferable processing method from the viewpoint of quality, but the strain rate must be kept low.
【0025】(D) つまり、上述した 「ガス成分の汚染防
止」, 「静水圧効果による3軸圧縮」及び 「表面温度の低
下防止」 の3つの効果を醸し出す“キャニング法”の採
用により、モリブデン又はモリブデン合金鋳造インゴッ
トを工業的に極めて有利な手段で板材へ容易に成形加工
することが可能になる。(D) In other words, by adopting the "canning method" which brings about the above-mentioned three effects of "contamination of gas components", "triaxial compression due to hydrostatic pressure effect" and "prevention of decrease in surface temperature", molybdenum is adopted. Alternatively, it becomes possible to easily form a molybdenum alloy cast ingot into a plate material by industrially extremely advantageous means.
【0026】キャニングは、例えば図1で示すように、
円柱状の被加工材たるモリブデン又はモリブデン合金イ
ンゴット1を被覆するため、市販の耐熱鋼(SUS31
6,SUS310等)製のチュ−ブを適当な長さに切断
したシ−ス2とその両端面を被覆する2枚の円板3(シ
−スと同材質が好ましい)とを用いて行えば良い。な
お、円筒状のシ−ス2と円板3とはTIG等の適当な溶
接方法で接合・密封される。図1における符号4は、こ
の溶接部を示す。For canning, for example, as shown in FIG.
In order to coat molybdenum or molybdenum alloy ingot 1 which is a cylindrical work material, commercially available heat-resistant steel (SUS31
6, a SUS310 tube, etc., cut into a suitable length, and a disc 2 and two discs 3 (which are preferably made of the same material as the sheath) covering both end surfaces thereof. I'm fine. The cylindrical sheath 2 and the disc 3 are joined and sealed by an appropriate welding method such as TIG. Reference numeral 4 in FIG. 1 indicates this welded portion.
【0027】シ−ス2内径とモリブデン又はモリブデン
合金インゴット1との隙間(クリアランス)は小さいほ
ど良いが、このクリアランスが大きい場合でも残留する
ガス成分を除去するための脱気処理を行う必要はない。
ただ、クリアランスの容積が5%を超えると、モリブデ
ン又はモリブデン合金インゴット1の表面と接触するガ
ス成分量が多くなる結果となり、そのため加熱,鍛造が
終了した後に余分な皮剥きを必要とするので加工歩留が
低下することになる。The smaller the clearance (clearance) between the inner diameter of the sheath 2 and the molybdenum or molybdenum alloy ingot 1, the better, but even if this clearance is large, it is not necessary to perform degassing treatment for removing the residual gas component. .
However, if the volume of clearance exceeds 5%, the amount of gas components that come into contact with the surface of molybdenum or molybdenum alloy ingot 1 will increase, and as a result, extra peeling will be required after heating and forging are finished. The yield will be reduced.
【0028】キャニング後の被加工材においてシ−ス材
が占める断面積は全体の10〜40%が適切であり、材
質に応じてこの範囲でシ−スの肉厚を調整するのが良
い。即ち、シ−ス断面積が10%未満であると、前述し
たキャニングの3つの効果のうち「静水圧効果による3
軸圧縮」及び「表面温度の低下防止」が十分でなく、一
方、シ−ス断面積が40%を超えると溶接等による接合
が困難となる上、キャニング材質によっては材料代が嵩
むことになる。It is appropriate that the cross-sectional area occupied by the sheath material in the workpiece after canning is 10 to 40% of the whole, and the thickness of the sheath should be adjusted within this range depending on the material. That is, when the cross-sectional area of the sheath is less than 10%, among the three effects of the above-mentioned canning, "3 due to the hydrostatic pressure effect" is obtained.
"Axial compression" and "prevention of decrease in surface temperature" are not sufficient. On the other hand, when the cross-sectional area of the sheath exceeds 40%, joining by welding or the like becomes difficult, and material cost increases depending on the canning material. .
【0029】なお、シ−スの寸法及び材質は鍛造前の加
熱温度やインゴットの材質により決定されるが、静水圧
効果をより期待する場合には肉厚は厚い方が良く、材質
は被加工材であるモリブデン又はモリブデン合金インゴ
ットの変形抵抗に近い特性を持つものが望ましい。一般
的には、先に例示した市販の316ステンレス鋼や31
0ステンレス鋼といった耐熱鋼がキャニング材として望
ましいが、より安価な炭素鋼でも厚肉とすることでキャ
ニング材として用いることができる。The size and material of the sheath are determined by the heating temperature before forging and the material of the ingot. However, if the hydrostatic pressure effect is expected more, the wall thickness should be thicker and the material should be processed. A material having a characteristic close to that of the deformation resistance of the material molybdenum or molybdenum alloy ingot is desirable. Generally, the commercially available 316 stainless steel or 31 as exemplified above is used.
Heat resistant steel such as 0 stainless steel is desirable as the canning material, but cheaper carbon steel can be used as the canning material by making it thicker.
【0030】以上のキャニングを行ったモリブデン又は
モリブデン合金鋳造インゴットは、既に述べたように大
気中でも容易に熱間鍛造することが可能となり、これに
より健全な組織及び変形能を持った加工材を容易に得る
ことができる。鍛造に際し、インゴットの加熱温度は5
00〜1200℃、そして加熱保持時間は 0.5〜4時間
の範囲とするのが適当である。即ち、加熱温度が500
℃未満ではモリブデン又はモリブデン合金の変形能が不
足し、所定の寸法を得るための鍛造回数が増えるために
好ましくなく、一方、加熱温度が1200℃を超えると
キャニング材(例えば耐熱鋼)が軟化し過ぎたり表面酸
化を起こしたりし、キャニング材としての役割を維持で
きなくなる恐れがある。また、加熱保持時間は被加熱材
の寸法及び重量で決まるが、それが 0.5時間を下回ると
中心部まで均熱されることがなく、逆に4時間を超える
とキャニング材の表面酸化が著しくなるため好ましくな
い。実際には、初期加熱では1時間以上程度の加熱とす
ることが望ましく、鍛造途中の再加熱の場合には 0.5時
間程度でも構わない。The molybdenum or molybdenum alloy cast ingot subjected to the above-mentioned canning can be easily hot forged even in the atmosphere as described above, which makes it easy to form a processed material having a sound structure and deformability. Can be obtained. When forging, the heating temperature of the ingot is 5
It is suitable that the temperature is from 00 to 1200 ° C. and the heating and holding time is from 0.5 to 4 hours. That is, the heating temperature is 500
If the temperature is lower than ℃, the deformability of molybdenum or a molybdenum alloy is insufficient and the number of times of forging to obtain a predetermined dimension increases, which is not preferable. On the other hand, if the heating temperature exceeds 1200 ℃, the canning material (for example, heat-resistant steel) softens. There is a risk that it may pass through or cause surface oxidation, making it impossible to maintain its role as a canning material. Also, the heating and holding time is determined by the size and weight of the material to be heated, but if it is less than 0.5 hours, it will not be soaked to the center, and if it exceeds 4 hours, the surface oxidation of the canning material will be remarkable. Not preferable. In practice, it is desirable that the initial heating be performed for about 1 hour or more, and in the case of reheating during forging, it may be about 0.5 hour.
【0031】上述した如く、このような処理によって得
られた鍛造材は良好な変形能を有していて温間又は熱間
圧延及び冷間圧延を施すことが可能で、比較的容易に優
れた特性(成形性,溶接性,低ガス放出性)を持ったモ
リブデン又はモリブデン合金冷延板にまで加工すること
ができる。As described above, the forged material obtained by such treatment has a good deformability and can be hot-rolled or hot-rolled and cold-rolled. It can be processed into molybdenum or molybdenum alloy cold-rolled sheet with characteristics (formability, weldability, low gas emission).
【0032】ただ、鍛造後にキャニング材を除去してか
ら実施される温間又は熱間圧延は、加熱温度500〜1
200℃にて圧下率(加工率)50%以上の条件で行う
必要がある。なぜなら、温間又は熱間圧延に際しての加
熱温度が500℃未満であると被圧延材のエッジ部に割
れを発生することが多くなり、一方、1200℃を超え
る温度にまで加熱すると組織が粗大化したり、表面汚染
が激しくなるためである。また、温間又は熱間圧延の圧
下率が50%未満であると不均一な断面組織となること
が多く、均一な断面組織を得るためには50%以上、特
に好ましくは60%以上の圧下率が必要となる。なお、
温間又は熱間圧延に供する鍛造後の材料には、必要に応
じて歪取り熱処理(真空熱処理)を施しても良い。However, the warm or hot rolling performed after removing the canning material after forging is performed at a heating temperature of 500 to 1
It is necessary to perform it at 200 ° C. under the condition of a reduction rate (working rate) of 50% or more. This is because if the heating temperature during warm or hot rolling is less than 500 ° C, cracks often occur at the edge part of the material to be rolled, while if heated to a temperature over 1200 ° C, the structure becomes coarse. Or surface contamination becomes severe. Further, if the reduction ratio of warm or hot rolling is less than 50%, a non-uniform cross-section structure is often obtained, and in order to obtain a uniform cross-section structure, a reduction ratio of 50% or more, particularly preferably 60% or more. You need a rate. In addition,
The material after forging that is subjected to warm or hot rolling may be subjected to strain relief heat treatment (vacuum heat treatment), if necessary.
【0033】温間又は熱間圧延に続く冷間圧延は、適当
な処理によって表面のスケ−ル層を除去した後に実施さ
れる。冷間圧延での圧下率は30%以上とするのが良
い。なぜなら、圧下率が30%未満であると均一な断面
組織を得ることが困難な上に、美麗な冷間加工肌とする
ことができないからである。また、冷間圧延において、
圧延方向を途中で変更しクロスさせて圧延することによ
り、面内異方性の小さな組織及び機械的特性を持ったモ
リブデン又はモリブデン合金板を得ることができる。こ
のような面内異方性の小さい板は、張り出し加工や深絞
り加工等の塑性加工に有利である。The warm or hot rolling, followed by cold rolling, is carried out after removing the scale layer on the surface by a suitable treatment. The reduction ratio in cold rolling is preferably 30% or more. This is because if the rolling reduction is less than 30%, it is difficult to obtain a uniform cross-sectional structure, and a beautiful cold-worked skin cannot be obtained. In cold rolling,
By changing the rolling direction on the way and crossing and rolling, a molybdenum or molybdenum alloy plate having a structure with small in-plane anisotropy and mechanical properties can be obtained. Such a plate having a small in-plane anisotropy is advantageous for plastic working such as overhanging and deep drawing.
【0034】冷間圧延を施して得られたモリブデン又は
モリブデン合金板は、更に800〜1200℃で 0.5〜
4時間の真空熱処理を行うことでより安定な組織の焼鈍
材とすることができる。この場合、800℃未満の加熱
温度では加工歪の除去が不十分であり、溶接等の加熱で
変形することがある。また、1200℃を超える加熱温
度では、結晶粒が成長粗大化して脆化を引き起こすこと
がある。加熱時間については、 0.5時間よりも短いと歪
の除去が不十分となり易く、一方、4時間を超える長時
間加熱では結晶粒の粗大化を起こすことがあるため、加
熱温度と相関した加熱時間が選ばれる。なお、上記真空
熱処理は10-4torr以上の真空度で実施するのが良い。つ
まり、真空度が10-4torrよりも低いとガス汚染(O,N
との反応)により表面が着色するきらいがある。The molybdenum or molybdenum alloy plate obtained by cold rolling is further subjected to 0.5 to 0.5 at 800 to 1200 ° C.
By performing the vacuum heat treatment for 4 hours, an annealed material having a more stable structure can be obtained. In this case, if the heating temperature is less than 800 ° C., the removal of the working strain is insufficient, and it may be deformed by heating such as welding. Further, at a heating temperature higher than 1200 ° C., the crystal grains may grow and become coarse, causing embrittlement. Regarding the heating time, if the heating time is shorter than 0.5 hours, the strain may be insufficiently removed. On the other hand, if the heating time is longer than 4 hours, coarsening of crystal grains may occur. To be elected. The vacuum heat treatment is preferably performed at a vacuum degree of 10 −4 torr or more. That is, if the vacuum degree is lower than 10 -4 torr, gas contamination (O, N
The reaction tends to cause the surface to be colored.
【0035】続いて、本発明を実施例により更に具体的
に説明する。Next, the present invention will be described more specifically by way of examples.
【実施例】まず、電子ビ−ムコ−ルドハ−スリメルト法
を適用した溶解・鋳造により、何れも鋳造方向と垂直の
断面における平均結晶粒径が10mm以下で、直径が12
0mmの“純モリブデンインゴット”及び“TZM(Mo−
Zr−Ti合金)インゴット”を製造した。EXAMPLE First, by melting and casting using the electron beam cold hearth remelt method, the average crystal grain size in the cross section perpendicular to the casting direction was 10 mm or less and the diameter was 12 mm in both cases.
0mm "pure molybdenum ingot" and "TZM (Mo-
Zr-Ti alloy) ingot "was manufactured.
【0036】なお、“純モリブデンインゴット”及び
“TZMインゴット”の化学分析値は次の通りであっ
た。純モリブデンインゴット Al:0.0003wt%,Fe: 0.001wt%,Ti:0.01wt%以下,
W:0.02wt%,O:4ppm, N:1ppm以下,C:25ppm
,S:1ppm以下,H:1ppm以下,Mo: 99.95wt%以
上。TZMインゴット Al:0.0004wt%,Fe: 0.002wt%,Ti:0.48wt%,Zr:
0.08wt%,W:0.01wt%以下,O:5ppm, N:1ppm以
下,C:30ppm ,S:1ppm以下,H:1ppm以下,Mo:ba
l.。The chemical analysis values of "pure molybdenum ingot" and "TZM ingot" were as follows. Pure molybdenum ingot Al: 0.0003wt%, Fe: 0.001wt%, Ti: 0.01wt% or less,
W: 0.02wt%, O: 4ppm, N: 1ppm or less, C: 25ppm
, S: 1ppm or less, H: 1ppm or less, Mo: 99.95wt% or more. TZM ingot Al: 0.0004wt%, Fe: 0.002wt%, Ti: 0.48wt%, Zr:
0.08wt%, W: 0.01wt% or less, O: 5ppm, N: 1ppm or less, C: 30ppm, S: 1ppm or less, H: 1ppm or less, Mo: ba
l ...
【0037】次に、これら純モリブデン及びモリブデン
合金インゴットを、SUS316鋼製のチュ−ブ(肉厚
20mm)と厚さ30mmの円板とを使用して図1で示す如
くにキャニングした後(キャニング材は外径D:150
mm,長さL:450mm)、これらを1200℃に加熱し
加工率90%で熱間鍛造した。なお、この高い加工率の
熱間鍛造を施しても、両インゴットに割れが発生するこ
とはなかった。例えば、図2は純モリブデンインゴット
の鍛造後の断面組織写真図であるが、何らの欠陥も生じ
ていないことが分かる。Next, these pure molybdenum and molybdenum alloy ingots were canned as shown in FIG. 1 using a tube made of SUS316 steel (thickness 20 mm) and a disc 30 mm thick (canning). Material is outer diameter D: 150
mm, length L: 450 mm), these were heated to 1200 ° C. and hot forged at a working rate of 90%. Even if hot forging with a high working ratio was performed, neither ingot was cracked. For example, FIG. 2 is a photograph of the cross-sectional structure of a pure molybdenum ingot after forging, and it can be seen that no defect has occurred.
【0038】続いて、得られた上記鍛造材を皮剥き(切
削加工)してキャニング材を除いた後、1000℃に加
熱して圧下率90%の熱間圧延を施したところ、エッジ
等の割れもなく容易に板材とすることができた。Subsequently, the obtained forged material was peeled (cutting) to remove the canning material, heated to 1000 ° C. and hot-rolled at a reduction rate of 90%. It could be easily made into a plate without cracking.
【0039】次いで、上記熱延板からショットブラスト
によってスケ−ルを除去し、圧下率85%で冷間圧延し
たところ、やはりエッジ等の割れもなく 0.3mm厚の冷延
板を得ることができた。なお、図3には、代表例とし
て、得られた純モリブデン冷延板の断面組織写真図を示
したが、この図3からも明らかなように、板厚全体にわ
たって均一な冷間加工組織となっていることが分かる。Next, the scale was removed from the hot rolled sheet by shot blasting and cold rolling was performed at a reduction rate of 85%. As a result, a cold rolled sheet having a thickness of 0.3 mm could be obtained without cracks such as edges. It was In addition, FIG. 3 shows, as a representative example, a photograph of the cross-sectional structure of the obtained pure molybdenum cold-rolled sheet. As is clear from FIG. 3, a uniform cold-worked structure is obtained over the entire plate thickness. You can see that
【0040】そして、これらの各冷延板を真空中で高温
加熱してガス発生状況を調査したところ、何れも高真空
装置用耐熱内装材として十分に満足できるほどガス発生
量の少ないことが確認された。更に、成形試験によって
も、比較的良好な成形性を示すことが分かった。Then, when each of these cold-rolled sheets was heated to a high temperature in a vacuum and the gas generation state was investigated, it was confirmed that the amount of gas generation was small enough to be sufficiently satisfied as a heat-resistant interior material for high vacuum equipment. Was done. Further, it was found by a molding test that the moldability was relatively good.
【0041】また、図4は、上記 0.3mm厚の冷延板に1
200℃で1hrの真空熱処理を施した後の断面組織写真
図を示しているが、真空熱処理によって均一な再結晶組
織となっていることが確認できる。Further, FIG. 4 shows the cold rolled sheet having a thickness of 0.3 mm as shown in FIG.
A photograph of a cross-sectional structure after performing a vacuum heat treatment at 200 ° C. for 1 hour is shown, but it can be confirmed that a uniform recrystallization structure is obtained by the vacuum heat treatment.
【0042】ところで、図5及び図6は、それぞれ従来
の純モリブデン焼結材の圧延板と上記本発明法に従って
製造された純モリブデン冷延板について溶接性を比較し
たものであるが、焼結材圧延板の電子ビ−ム溶接部には
図5に示すようなガスホ−ル(ピンホ−ル)や割れが発
生したのに対して、図6に示されるように、本発明に従
って得られた圧延板では極めて健全な溶接部を得られる
ことが確認できる。By the way, FIGS. 5 and 6 compare the weldability of a conventional rolled sheet of pure molybdenum sintered material and the cold rolled sheet of pure molybdenum produced according to the method of the present invention. While gas holes (pinholes) and cracks as shown in FIG. 5 were generated in the electron beam welded portion of the rolled material plate, as shown in FIG. 6, it was obtained according to the present invention. It can be confirmed that an extremely sound weld can be obtained with the rolled plate.
【0043】[0043]
【効果の総括】以上に説明した如く、この発明によれ
ば、加工性(成形加工性や溶接性等)に優れ、しかも高
温・高真空下で使用した場合にも不純物ガスを殆ど発生
することのないモリブデン又はモリブデン合金板材をコ
スト安く量産することができ、航空宇宙機器部材,電子
管部材,電気抵抗体部材,原子炉部材,耐食性機器部材
等に適用してその性能を一段と向上させることが可能と
なるなど、産業上極めて有用な効果がもたらされる。[Summary of Effects] As described above, according to the present invention, workability (forming workability, weldability, etc.) is excellent, and almost no impurity gas is generated even when used under high temperature and high vacuum. It is possible to mass-produce molybdenum or molybdenum alloy sheet materials without cost, and improve its performance by applying it to aerospace equipment members, electron tube members, electric resistance member members, nuclear reactor members, corrosion resistant equipment members, etc. It has very useful effects in industry.
【図1】インゴットのキャニング手法例を説明した概念
図である。FIG. 1 is a conceptual diagram illustrating an example of an ingot canning method.
【図2】モリブデンインゴットの鍛造後の断面組織写真
図である。FIG. 2 is a photograph showing a cross-sectional structure of a molybdenum ingot after forging.
【図3】本発明法に従って得られたモリブデン冷延板の
断面組織写真図である。FIG. 3 is a cross-sectional structure photograph of a molybdenum cold-rolled sheet obtained according to the method of the present invention.
【図4】本発明法に従って冷間圧延され真空熱処理され
たモリブデン冷延板の断面組織写真図である。FIG. 4 is a cross-sectional structural photograph of a molybdenum cold-rolled sheet that has been cold rolled and vacuum heat treated according to the method of the present invention.
【図5】従来のモリブデン焼結材から得た圧延板の電子
ビ−ム溶接部に関する断面組織写真図である。FIG. 5 is a photograph showing a cross-sectional structure of an electron beam welded portion of a rolled plate obtained from a conventional molybdenum sintered material.
【図6】本発明法に従って製造されたモリブデン冷延板
の電子ビ−ム溶接部に関する断面組織写真図である。FIG. 6 is a photograph of a cross-sectional structure of an electron beam welded portion of a molybdenum cold-rolled sheet manufactured according to the method of the present invention.
1 モリブデン又はモリブデン合金インゴット 2 シ−ス(円筒状) 3 円板 4 溶接部 1 Molybdenum or molybdenum alloy ingot 2 Series (cylindrical) 3 Disc 4 Welded part
【手続補正書】[Procedure amendment]
【提出日】平成5年11月17日[Submission date] November 17, 1993
【手続補正1】[Procedure Amendment 1]
【補正対象書類名】明細書[Document name to be amended] Statement
【補正対象項目名】図2[Name of item to be corrected] Figure 2
【補正方法】変更[Correction method] Change
【補正内容】[Correction content]
【図2】モリブデンインゴットの鍛造後の断面の金属組
織写真図である。FIG. 2 is a metallographic photograph of a cross section of a molybdenum ingot after forging.
【手続補正2】[Procedure Amendment 2]
【補正対象書類名】明細書[Document name to be amended] Statement
【補正対象項目名】図3[Name of item to be corrected] Figure 3
【補正方法】変更[Correction method] Change
【補正内容】[Correction content]
【図3】本発明法に従って得られたモリブデン冷延板の
断面に係る金属組織写真図である。FIG. 3 is a metallographic photograph showing a cross section of a molybdenum cold-rolled sheet obtained according to the method of the present invention.
【手続補正3】[Procedure 3]
【補正対象書類名】明細書[Document name to be amended] Statement
【補正対象項目名】図4[Name of item to be corrected] Fig. 4
【補正方法】変更[Correction method] Change
【補正内容】[Correction content]
【図4】本発明法に従って冷間圧延され真空熱処理され
たモリブデン冷延板の断面に係る金属組織写真図であ
る。FIG. 4 is a metallographic photograph of a cross section of a cold-rolled molybdenum cold rolled sheet that has been cold rolled and vacuum heat treated according to the method of the present invention.
【手続補正4】[Procedure amendment 4]
【補正対象書類名】明細書[Document name to be amended] Statement
【補正対象項目名】図5[Name of item to be corrected] Figure 5
【補正方法】変更[Correction method] Change
【補正内容】[Correction content]
【図5】従来のモリブデン焼結材から得た圧延板の電子
ビ−ム溶接部に関する断面の金属組織写真図である。FIG. 5 is a metallographic photograph of a cross section of an electron beam welded portion of a rolled plate obtained from a conventional molybdenum sintered material.
【手続補正5】[Procedure Amendment 5]
【補正対象書類名】明細書[Document name to be amended] Statement
【補正対象項目名】図6[Name of item to be corrected] Figure 6
【補正方法】変更[Correction method] Change
【補正内容】[Correction content]
【図6】本発明法に従って製造されたモリブデン冷延板
の電子ビ−ム溶接部に関する断面の金属組織写真図であ
る。FIG. 6 is a metallographic photograph of a cross section of an electron beam welded portion of a cold rolled molybdenum sheet manufactured according to the method of the present invention.
Claims (4)
ンゴットを用い、これをシ−ス材でキャニングして鍛造
した後、加熱温度500〜1200℃にて圧下率50%以
上の温間又は熱間圧延を施し、更にこれを圧下率30%以
上の条件で冷間圧延することを特徴とする、モリブデン
又はモリブデン合金板の製造方法。1. A cast ingot of molybdenum or a molybdenum alloy is used, which is forged by canning with a sheath material and then hot or hot rolled at a heating temperature of 500 to 1200 ° C. with a reduction of 50% or more. A method for producing a molybdenum or molybdenum alloy sheet, which is characterized in that it is subjected to cold rolling under conditions of a rolling reduction of 30% or more.
モリブデン合金の鋳造インゴットを用い、これをシ−ス
材でキャニングして鍛造した後、加熱温度500〜12
00℃にて圧下率50%以上の熱間圧延を施し、更にこ
れを圧下率30%以上の条件で冷間圧延することを特徴
とする、モリブデン又はモリブデン合金板の製造方法。2. A casting ingot of molybdenum or a molybdenum alloy having a crystal grain size of 30 mm or less is used.
A method for producing a molybdenum or molybdenum alloy sheet, which comprises hot rolling at a rolling reduction of 50% or more at 00 ° C., and further cold rolling the rolling at a rolling reduction of 30% or more.
特徴とする、請求項1又は2に記載のモリブデン又はモ
リブデン合金板の製造方法。3. The method for producing a molybdenum or molybdenum alloy plate according to claim 1, wherein cross rolling is performed as cold rolling.
に800〜1200℃で 0.5〜4時間の真空熱処理を施
すことを特徴とする、請求項1乃至3の何れかに記載の
モリブデン又はモリブデン合金板の製造方法。4. The cold-rolled sheet obtained after completion of cold rolling is subjected to vacuum heat treatment at 800 to 1200 ° C. for 0.5 to 4 hours, according to any one of claims 1 to 3. Method for producing molybdenum or molybdenum alloy plate.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP14886292A JPH06256918A (en) | 1992-05-15 | 1992-05-15 | Production of molybdenum or molybdenum alloy sheet |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP14886292A JPH06256918A (en) | 1992-05-15 | 1992-05-15 | Production of molybdenum or molybdenum alloy sheet |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH06256918A true JPH06256918A (en) | 1994-09-13 |
Family
ID=15462403
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP14886292A Pending JPH06256918A (en) | 1992-05-15 | 1992-05-15 | Production of molybdenum or molybdenum alloy sheet |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH06256918A (en) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2006054803A1 (en) | 2004-11-22 | 2006-05-26 | Citizen Holdings Co., Ltd. | Liquid crystal optical element and manufacturing method thereof |
JP2010215933A (en) * | 2009-03-13 | 2010-09-30 | Allied Material Corp | Molybdenum plate and method for producing the same |
CN104607464A (en) * | 2015-01-12 | 2015-05-13 | 郑州通达重型机械制造有限公司 | Rolling method of large-width ultrathin molybdenum plate strip for high-temperature heat insulation screen |
CN104624642A (en) * | 2015-01-12 | 2015-05-20 | 郑州通达重型机械制造有限公司 | Method for rolling large unit-weight and wide molybdenum plates for sputtering target material |
CN114959596A (en) * | 2021-12-23 | 2022-08-30 | 常州苏晶电子材料有限公司 | Molybdenum alloy cladding thermal forming process |
-
1992
- 1992-05-15 JP JP14886292A patent/JPH06256918A/en active Pending
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2006054803A1 (en) | 2004-11-22 | 2006-05-26 | Citizen Holdings Co., Ltd. | Liquid crystal optical element and manufacturing method thereof |
JP2010215933A (en) * | 2009-03-13 | 2010-09-30 | Allied Material Corp | Molybdenum plate and method for producing the same |
CN104607464A (en) * | 2015-01-12 | 2015-05-13 | 郑州通达重型机械制造有限公司 | Rolling method of large-width ultrathin molybdenum plate strip for high-temperature heat insulation screen |
CN104624642A (en) * | 2015-01-12 | 2015-05-20 | 郑州通达重型机械制造有限公司 | Method for rolling large unit-weight and wide molybdenum plates for sputtering target material |
CN114959596A (en) * | 2021-12-23 | 2022-08-30 | 常州苏晶电子材料有限公司 | Molybdenum alloy cladding thermal forming process |
CN114959596B (en) * | 2021-12-23 | 2023-12-05 | 常州苏晶电子材料有限公司 | Molybdenum alloy cladding thermoforming process |
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