JPH0590661A - ガスレーザ装置用ブロアの軸受異常検出方式 - Google Patents
ガスレーザ装置用ブロアの軸受異常検出方式Info
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- JPH0590661A JPH0590661A JP3125151A JP12515191A JPH0590661A JP H0590661 A JPH0590661 A JP H0590661A JP 3125151 A JP3125151 A JP 3125151A JP 12515191 A JP12515191 A JP 12515191A JP H0590661 A JPH0590661 A JP H0590661A
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- gas laser
- laser device
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- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
- H01S3/036—Means for obtaining or maintaining the desired gas pressure within the tube, e.g. by gettering, replenishing; Means for circulating the gas, e.g. for equalising the pressure within the tube
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D27/00—Control, e.g. regulation, of pumps, pumping installations or pumping systems specially adapted for elastic fluids
- F04D27/001—Testing thereof; Determination or simulation of flow characteristics; Stall or surge detection, e.g. condition monitoring
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
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- F04D27/02—Surge control
- F04D27/0292—Stop safety or alarm devices, e.g. stop-and-go control; Disposition of check-valves
-
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- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
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- F04D29/05—Shafts or bearings, or assemblies thereof, specially adapted for elastic fluid pumps
- F04D29/056—Bearings
- F04D29/059—Roller bearings
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C19/00—Bearings with rolling contact, for exclusively rotary movement
- F16C19/52—Bearings with rolling contact, for exclusively rotary movement with devices affected by abnormal or undesired conditions
- F16C19/527—Bearings with rolling contact, for exclusively rotary movement with devices affected by abnormal or undesired conditions related to vibration and noise
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- Measurement Of Mechanical Vibrations Or Ultrasonic Waves (AREA)
- Control Of Positive-Displacement Air Blowers (AREA)
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 ガスレーザ装置用ブロアの軸受異常検出方式
において、潤滑不良等による軸受の異常を迅速に検知す
ることができるようにする。 【構成】 ブロア１には、図示されていない軸受の振動
を検出する振動センサ２が取り付けられている。振動セ
ンサ２は振動検出信号ＦＳをアンプ３に送る。アンプ３
で増幅された振動検出信号ＦＳはコンパレータ４に送ら
れる。コンパレータ４はこの振動検出信号ＦＳの値が所
定値以上であるか否かを判別し、所定値以上であれば所
定値判別信号ＰＳをアラーム指令手段５に送る。アラー
ム指令手段５はこの所定値判別信号ＰＳが所定時間内に
所定回数以上となった場合にアラーム指令信号ＡＳをア
ラーム表示手段６に送り、これにより、アラーム表示手
段６がアラーム表示を行う。これにより、潤滑不良によ
り軸受軌道面の面あれが生じて、軸受の温度が上昇した
り、振動の増大によりモータの負荷や騒音が増大する前
に、軸受の異常が迅速に検知される。
において、潤滑不良等による軸受の異常を迅速に検知す
ることができるようにする。 【構成】 ブロア１には、図示されていない軸受の振動
を検出する振動センサ２が取り付けられている。振動セ
ンサ２は振動検出信号ＦＳをアンプ３に送る。アンプ３
で増幅された振動検出信号ＦＳはコンパレータ４に送ら
れる。コンパレータ４はこの振動検出信号ＦＳの値が所
定値以上であるか否かを判別し、所定値以上であれば所
定値判別信号ＰＳをアラーム指令手段５に送る。アラー
ム指令手段５はこの所定値判別信号ＰＳが所定時間内に
所定回数以上となった場合にアラーム指令信号ＡＳをア
ラーム表示手段６に送り、これにより、アラーム表示手
段６がアラーム表示を行う。これにより、潤滑不良によ
り軸受軌道面の面あれが生じて、軸受の温度が上昇した
り、振動の増大によりモータの負荷や騒音が増大する前
に、軸受の異常が迅速に検知される。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はガスレーザ装置用ブロア
の軸受異常検出方式に関し、特に振動センサの出力値に
より軸受の異常を検出するガスレーザ装置用ブロアの軸
受異常検出方式に関する。
の軸受異常検出方式に関し、特に振動センサの出力値に
より軸受の異常を検出するガスレーザ装置用ブロアの軸
受異常検出方式に関する。
【０００２】
【従来の技術】ＣＯ２ガスレーザ等のガスレーザ発振器
は、高効率で高出力が得られ、ビーム特性も良いので、
数値制御装置と結合されたガスレーザ装置として金属加
工等に広く使用されるようになった。このようなガスレ
ーザ発振器では、発振効率を向上させるために、レーザ
発振を行って高温になったレーザガスを再度冷却する必
要がある。このため、レーザガスを絶えずターボブロア
等で冷却器を通して装置内を循環させている。
は、高効率で高出力が得られ、ビーム特性も良いので、
数値制御装置と結合されたガスレーザ装置として金属加
工等に広く使用されるようになった。このようなガスレ
ーザ発振器では、発振効率を向上させるために、レーザ
発振を行って高温になったレーザガスを再度冷却する必
要がある。このため、レーザガスを絶えずターボブロア
等で冷却器を通して装置内を循環させている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】このガスレーザ装置用
のブロアは、通常１０，０００ｒｐｍ以上の高速回転を
している。このため、軸受に供給する潤滑剤が潤滑不良
を起こすと、軸受の保持器のポケットやその外周が摩耗
し、軸受軌道面の面あれが生じる。この軸受軌道面の面
あれが生じると、軸受の温度が上昇したり、振動の増大
によりモータの負荷や騒音が増大するという問題が生じ
る。
のブロアは、通常１０，０００ｒｐｍ以上の高速回転を
している。このため、軸受に供給する潤滑剤が潤滑不良
を起こすと、軸受の保持器のポケットやその外周が摩耗
し、軸受軌道面の面あれが生じる。この軸受軌道面の面
あれが生じると、軸受の温度が上昇したり、振動の増大
によりモータの負荷や騒音が増大するという問題が生じ
る。
【０００４】したがって、これらの現象をオペレータが
気付かず潤滑オイルの供給が遅れると、焼き付きが生
じ、最悪の場合、軸受部分の破損を招くという恐れがあ
った。本発明はこのような点に鑑みてなされたものであ
り、潤滑不良等による軸受の異常を迅速に検知すること
のできるガスレーザ装置用ブロアの軸受異常検出方式を
提供することを目的とする。
気付かず潤滑オイルの供給が遅れると、焼き付きが生
じ、最悪の場合、軸受部分の破損を招くという恐れがあ
った。本発明はこのような点に鑑みてなされたものであ
り、潤滑不良等による軸受の異常を迅速に検知すること
のできるガスレーザ装置用ブロアの軸受異常検出方式を
提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明では上記課題を解
決するために、ガスレーザ装置用ブロアの軸受の異常を
検出するガスレーザ装置用ブロアの軸受異常検出方式に
おいて、前記ブロアに取り付けられ前記軸受の振動を検
出し振動検出信号を出力する振動センサと、前記振動セ
ンサからの振動検出信号を増幅するアンプと、前記アン
プによって増幅された前記振動検出信号の値が所定値以
上であるか否かを判断し、前記所定値以上であれば所定
値判別信号を出力するコンパレータと、前記コンパレー
タから出力された前記所定値判別信号が所定時間内に所
定回数以上となった場合にアラーム指令信号を出力する
アラーム指令手段と、前記アラーム指令手段からのアラ
ーム指令信号を受けるとアラーム表示を行うアラーム表
示手段と、を有することを特徴とするガスレーザ装置用
ブロアの軸受異常検出方式が提供される。
決するために、ガスレーザ装置用ブロアの軸受の異常を
検出するガスレーザ装置用ブロアの軸受異常検出方式に
おいて、前記ブロアに取り付けられ前記軸受の振動を検
出し振動検出信号を出力する振動センサと、前記振動セ
ンサからの振動検出信号を増幅するアンプと、前記アン
プによって増幅された前記振動検出信号の値が所定値以
上であるか否かを判断し、前記所定値以上であれば所定
値判別信号を出力するコンパレータと、前記コンパレー
タから出力された前記所定値判別信号が所定時間内に所
定回数以上となった場合にアラーム指令信号を出力する
アラーム指令手段と、前記アラーム指令手段からのアラ
ーム指令信号を受けるとアラーム表示を行うアラーム表
示手段と、を有することを特徴とするガスレーザ装置用
ブロアの軸受異常検出方式が提供される。
【０００６】
【作用】振動センサからの振動検出信号は、アンプで増
幅され、コンパレータによりその値が所定値以上である
か否かが判別される。そして、所定値以上であれば所定
値判別信号がアラーム指令手段に送られ、その回数が所
定時間内に所定回数以上となった場合に、アラーム指令
信号がアラーム表示手段に送られ、アラーム表示され
る。これにより、潤滑不良により軸受軌道面の面あれが
生じて、軸受の温度が上昇したり、振動の増大によりモ
ータの負荷や騒音が増大する前に、軸受の異常が迅速に
検知される。
幅され、コンパレータによりその値が所定値以上である
か否かが判別される。そして、所定値以上であれば所定
値判別信号がアラーム指令手段に送られ、その回数が所
定時間内に所定回数以上となった場合に、アラーム指令
信号がアラーム表示手段に送られ、アラーム表示され
る。これにより、潤滑不良により軸受軌道面の面あれが
生じて、軸受の温度が上昇したり、振動の増大によりモ
ータの負荷や騒音が増大する前に、軸受の異常が迅速に
検知される。
【０００７】
【実施例】以下、本発明の一実施例を図面に基づいて説
明する。図１は本発明のガスレーザ装置用ブロアの軸受
異常検出方式の概念図である。ブロア１には、図示され
ていない軸受の振動を検出する振動センサ２が取り付け
られている。振動センサ２は振動検出信号ＦＳをアンプ
３に送る。アンプ３で増幅された振動検出信号ＦＳはコ
ンパレータ４に送られる。コンパレータ４はこの振動検
出信号ＦＳの値が所定値以上であるか否かを判別し、所
定値以上であれば所定値判別信号ＰＳをアラーム指令手
段５に送る。アラーム指令手段５はこの所定値判別信号
ＰＳが所定時間内に所定回数以上となった場合にアラー
ム指令信号をアラーム表示手段６に送り、これにより、
アラーム表示手段６がアラーム表示を行う。
明する。図１は本発明のガスレーザ装置用ブロアの軸受
異常検出方式の概念図である。ブロア１には、図示され
ていない軸受の振動を検出する振動センサ２が取り付け
られている。振動センサ２は振動検出信号ＦＳをアンプ
３に送る。アンプ３で増幅された振動検出信号ＦＳはコ
ンパレータ４に送られる。コンパレータ４はこの振動検
出信号ＦＳの値が所定値以上であるか否かを判別し、所
定値以上であれば所定値判別信号ＰＳをアラーム指令手
段５に送る。アラーム指令手段５はこの所定値判別信号
ＰＳが所定時間内に所定回数以上となった場合にアラー
ム指令信号をアラーム表示手段６に送り、これにより、
アラーム表示手段６がアラーム表示を行う。
【０００８】図２は本発明の一実施例であるガスレーザ
装置の一部の構成を示す図である。本実施例では、ガス
レーザ装置用ブロアとしてターボブロア１０が用いられ
る。ターボブロア１０では、ターボ翼１１とシャフト１
２とが機械的に結合されている。シャフト１２にはロー
タ１３が取り付けられており、ロータ１３とステータ１
４とでモータを構成している。ターボ翼１１はこのモー
タによって、回転数１〜１０万ｒｐｍ（定常時は約７．
５万ｒｐｍ）の高速で回転される。そのため、低速回転
のルーツブロアと比較して回転数に逆比例して体積が小
さくなっている。
装置の一部の構成を示す図である。本実施例では、ガス
レーザ装置用ブロアとしてターボブロア１０が用いられ
る。ターボブロア１０では、ターボ翼１１とシャフト１
２とが機械的に結合されている。シャフト１２にはロー
タ１３が取り付けられており、ロータ１３とステータ１
４とでモータを構成している。ターボ翼１１はこのモー
タによって、回転数１〜１０万ｒｐｍ（定常時は約７．
５万ｒｐｍ）の高速で回転される。そのため、低速回転
のルーツブロアと比較して回転数に逆比例して体積が小
さくなっている。
【０００９】シャフト１２の支持には、転がり軸受１
５，１６が使用されている。これら転がり軸受１５，１
６の潤滑には、オイルを定期的に軸受に供給するオイル
ジェットやオイルエア潤滑あるいはグリースを封入する
グリース潤滑が使用されている。本実施例では、転がり
軸受１５，１６にグリースが封入されている。このよう
な構成によって、ターボブロア１０は、レーザガス１９
を吸入口２０から吸入し、吹き出し口２１から図示され
ていない冷却器および放電管に向かって吹き出す。
５，１６が使用されている。これら転がり軸受１５，１
６の潤滑には、オイルを定期的に軸受に供給するオイル
ジェットやオイルエア潤滑あるいはグリースを封入する
グリース潤滑が使用されている。本実施例では、転がり
軸受１５，１６にグリースが封入されている。このよう
な構成によって、ターボブロア１０は、レーザガス１９
を吸入口２０から吸入し、吹き出し口２１から図示され
ていない冷却器および放電管に向かって吹き出す。
【００１０】ターボブロア１０の本体外部には、ターボ
翼１１の回転時に転がり軸受１５，１６によって生じる
振動を検出するための振動センサ２２が取り付けられて
いる。本実施例では、振動センサ２２に振動の加速度成
分のピーク値を検出する圧電式加速度型振動センサを使
用する。この加速度型振動センサは、他の変位型や速度
型と比べて高い周波数（１０ｋＨｚ以上）の振動をも検
出できる。また、振動センサ２２には、特定の周波数の
振動のみを検出するセンサを用いている。ここでは、そ
の設定値が７．５ｋＨｚのものを使用している。これ
は、軸受に異常が発生しているときには、シャフト１２
の回転周波数の６倍の周波数の振動が、最も感度良く検
出できることが実験により明らかとなっているからであ
る。すなわち、ターボブロア１０のシャフト１２は定常
時は約７．５万ｒｐｍで回転しており、この場合の回転
周波数は１２５０Ｈｚとなる。したがって、その６倍で
ある７．５ｋＨｚが振動センサ２２の設定値となる。
翼１１の回転時に転がり軸受１５，１６によって生じる
振動を検出するための振動センサ２２が取り付けられて
いる。本実施例では、振動センサ２２に振動の加速度成
分のピーク値を検出する圧電式加速度型振動センサを使
用する。この加速度型振動センサは、他の変位型や速度
型と比べて高い周波数（１０ｋＨｚ以上）の振動をも検
出できる。また、振動センサ２２には、特定の周波数の
振動のみを検出するセンサを用いている。ここでは、そ
の設定値が７．５ｋＨｚのものを使用している。これ
は、軸受に異常が発生しているときには、シャフト１２
の回転周波数の６倍の周波数の振動が、最も感度良く検
出できることが実験により明らかとなっているからであ
る。すなわち、ターボブロア１０のシャフト１２は定常
時は約７．５万ｒｐｍで回転しており、この場合の回転
周波数は１２５０Ｈｚとなる。したがって、その６倍で
ある７．５ｋＨｚが振動センサ２２の設定値となる。
【００１１】図３および図４はこの実験結果を示した図
である。図３は転がり軸受１５，１６へのグリース供給
を行ってからさほど運転時間が経過していない正常時の
データを示す図である。正常時では、図中比較的高いレ
ベルを示している周波数（例えば１２５０Ｈｚ、２．５
ｋＨｚ、７．５ｋＨｚ等）どうしを比べた場合、特にそ
のピーク値の大きさに違いは見られない。一方図４は転
がり軸受１５，１６へのグリース供給を行ってからかな
り運転時間が経過した異常時のデータを示す図である。
図からも分かるように、１２５０Ｈｚの６倍の周波数で
ある７．５ｋＨｚ付近のレベルが特に高いものとなって
いる。したがって、振動センサ２２の設定値には、シャ
フト１２の回転周波数の６倍の周波数が適していること
が分かる。
である。図３は転がり軸受１５，１６へのグリース供給
を行ってからさほど運転時間が経過していない正常時の
データを示す図である。正常時では、図中比較的高いレ
ベルを示している周波数（例えば１２５０Ｈｚ、２．５
ｋＨｚ、７．５ｋＨｚ等）どうしを比べた場合、特にそ
のピーク値の大きさに違いは見られない。一方図４は転
がり軸受１５，１６へのグリース供給を行ってからかな
り運転時間が経過した異常時のデータを示す図である。
図からも分かるように、１２５０Ｈｚの６倍の周波数で
ある７．５ｋＨｚ付近のレベルが特に高いものとなって
いる。したがって、振動センサ２２の設定値には、シャ
フト１２の回転周波数の６倍の周波数が適していること
が分かる。
【００１２】図２に戻り、振動センサ２２は検出した振
動の加速度成分のピーク値を振動検出信号ＦＳとしてア
ンプ２３に送る。アンプ２３は、この振動検出信号ＦＳ
を増幅してコンパレータ２４に送る。また、アンプ２３
は、Ｄ／Ａコンバータを内蔵しており、振動検出信号Ｆ
Ｓは、ディジタル信号に変換されてコンパレータ２４に
送られる。コンパレータ２４は振動検出信号ＦＳのピー
ク値が所定値Ｐｘ（ここでは８Ｇ）以上であるか否かを
判別し、所定値Ｐｘ以上である場合には所定値判別信号
ＰＳを出力する。この所定値判別信号ＰＳは、バス２５
を介して数値制御装置内のプロセッサ２６に送られる。
動の加速度成分のピーク値を振動検出信号ＦＳとしてア
ンプ２３に送る。アンプ２３は、この振動検出信号ＦＳ
を増幅してコンパレータ２４に送る。また、アンプ２３
は、Ｄ／Ａコンバータを内蔵しており、振動検出信号Ｆ
Ｓは、ディジタル信号に変換されてコンパレータ２４に
送られる。コンパレータ２４は振動検出信号ＦＳのピー
ク値が所定値Ｐｘ（ここでは８Ｇ）以上であるか否かを
判別し、所定値Ｐｘ以上である場合には所定値判別信号
ＰＳを出力する。この所定値判別信号ＰＳは、バス２５
を介して数値制御装置内のプロセッサ２６に送られる。
【００１３】プロセッサ２６は、ＲＯＭ２７に格納され
たシステム・プログラムに従って、ＲＡＭ２８内の加工
プログラムを読み出し、ガスレーザ装置全体の動作を制
御する。ターボブロア１０の回転制御は、高周波インバ
ータ２９を介して行われる。また、オペレータから数値
制御装置への指示は、キーボード３０によって行われ
る。表示装置３１は、ガスレーザ装置の運転状態を表示
したり、ターボブロア１０の異常時には後述のアラーム
表示を行う。
たシステム・プログラムに従って、ＲＡＭ２８内の加工
プログラムを読み出し、ガスレーザ装置全体の動作を制
御する。ターボブロア１０の回転制御は、高周波インバ
ータ２９を介して行われる。また、オペレータから数値
制御装置への指示は、キーボード３０によって行われ
る。表示装置３１は、ガスレーザ装置の運転状態を表示
したり、ターボブロア１０の異常時には後述のアラーム
表示を行う。
【００１４】次に、本実施例におけるガスレーザ装置用
ブロアの軸受異常検出方式の手順を説明する。図５はガ
スレーザ装置用ブロアの軸受異常検出方式の手順を示す
フローチャートである。なお、このフローチャートは、
所定時間Ｔ（ここでは１０分）ごとに初期化され繰り返
される。また、図において、Ｓに続く数値はステップ番
号を示す。 〔Ｓ１〕コンパレータ２４からピーク値判別信号ＰＳの
入力があったか否かを判別し、あった場合にはステップ
Ｓ２に進み、なければ本フローチャートを終了する。 〔Ｓ２〕ピーク値判別信号ＰＳの入力回数のカウント値
Ｃｎに１を加算する。 〔Ｓ３〕カウント値Ｃｎが所定回数Ｃｒ（例えば３回）
を越えたか否かを判別し、越えた場合にはステップＳ４
に進み、そうでなければ本フローチャートを終了する。 〔Ｓ４〕表示装置３１にアラーム指令信号ＡＳを送りア
ラーム表示を行う。
ブロアの軸受異常検出方式の手順を説明する。図５はガ
スレーザ装置用ブロアの軸受異常検出方式の手順を示す
フローチャートである。なお、このフローチャートは、
所定時間Ｔ（ここでは１０分）ごとに初期化され繰り返
される。また、図において、Ｓに続く数値はステップ番
号を示す。 〔Ｓ１〕コンパレータ２４からピーク値判別信号ＰＳの
入力があったか否かを判別し、あった場合にはステップ
Ｓ２に進み、なければ本フローチャートを終了する。 〔Ｓ２〕ピーク値判別信号ＰＳの入力回数のカウント値
Ｃｎに１を加算する。 〔Ｓ３〕カウント値Ｃｎが所定回数Ｃｒ（例えば３回）
を越えたか否かを判別し、越えた場合にはステップＳ４
に進み、そうでなければ本フローチャートを終了する。 〔Ｓ４〕表示装置３１にアラーム指令信号ＡＳを送りア
ラーム表示を行う。
【００１５】このように、振動センサ２２が検知した振
動の加速度のピーク値とその頻度を検出することによ
り、潤滑不良を起こして転がり軸受１５，１６の温度が
上昇して破損したりする前に異常を検出することができ
る。異常が検出され、アラーム表示がなされたら、オペ
レータは直ちに潤滑剤の補給を行えばよい。これによっ
て、ターボブロア１０は再び正常な運転状態に戻る。
動の加速度のピーク値とその頻度を検出することによ
り、潤滑不良を起こして転がり軸受１５，１６の温度が
上昇して破損したりする前に異常を検出することができ
る。異常が検出され、アラーム表示がなされたら、オペ
レータは直ちに潤滑剤の補給を行えばよい。これによっ
て、ターボブロア１０は再び正常な運転状態に戻る。
【００１６】図６は、転がり軸受１５，１６に対する潤
滑オイルの供給状態による振動の加速度成分のピーク値
の特性を示す図であり、（ａ）はグリース供給を行って
から約６９０時間の運転時間が経過したときの特性を示
す図、（ｂ）はグリース供給を行ってから約１４２０時
間の運転時間が経過したときの特性を示す図、（ｃ）は
グリース補給直後の特性を示す図である。図６（ａ）で
は、多少の波が有りながらも加速度はほぼ７Ｇで定着し
ている。ところが、図６（ｂ）では、所々極端にピーク
値が跳ね上がる状態が見られ、明らかに異常振動が生じ
ている。これは軸受内のグリースが潤滑不良を起こした
ため、軸受の保持器のポケットやその外周が摩耗し、軸
受軌道面の面あれが生じるためである。とくに軸受内に
塵が侵入している場合には、この現象は顕著に現れる。
滑オイルの供給状態による振動の加速度成分のピーク値
の特性を示す図であり、（ａ）はグリース供給を行って
から約６９０時間の運転時間が経過したときの特性を示
す図、（ｂ）はグリース供給を行ってから約１４２０時
間の運転時間が経過したときの特性を示す図、（ｃ）は
グリース補給直後の特性を示す図である。図６（ａ）で
は、多少の波が有りながらも加速度はほぼ７Ｇで定着し
ている。ところが、図６（ｂ）では、所々極端にピーク
値が跳ね上がる状態が見られ、明らかに異常振動が生じ
ている。これは軸受内のグリースが潤滑不良を起こした
ため、軸受の保持器のポケットやその外周が摩耗し、軸
受軌道面の面あれが生じるためである。とくに軸受内に
塵が侵入している場合には、この現象は顕著に現れる。
【００１７】したがって、このような場合には直ちにグ
リース供給を行うと、図６（ｃ）に示すように低い加速
度６Ｇ付近で安定する。これらのことからも、軸受の振
動を検知することが、グリース潤滑不良によるターボブ
ロア１０の破損を防止することが理解できる。また、本
実施例では、振動の加速度成分を検出しているので、よ
り正確な異常検出が可能となっている。なお、本実施例
では、振動センサ２２として特定の周波数の振動を検出
するものを使用したが、振動センサ２２には、広域の周
波数の振動を検知するものを用いるとともに、アンプ２
３とコンパレータ２４との間にＦＦＴ（高速フーリエ変
換）装置を設けてこのＦＦＴ装置によって特定の周波数
の選別を行うようにしてもよい。また、本実施例では、
特定の周波数としてシャフト１２の回転周波数の６倍の
ものを選択したので、図４に示したようにより正確に振
動のピーク値を捕らえることができる。
リース供給を行うと、図６（ｃ）に示すように低い加速
度６Ｇ付近で安定する。これらのことからも、軸受の振
動を検知することが、グリース潤滑不良によるターボブ
ロア１０の破損を防止することが理解できる。また、本
実施例では、振動の加速度成分を検出しているので、よ
り正確な異常検出が可能となっている。なお、本実施例
では、振動センサ２２として特定の周波数の振動を検出
するものを使用したが、振動センサ２２には、広域の周
波数の振動を検知するものを用いるとともに、アンプ２
３とコンパレータ２４との間にＦＦＴ（高速フーリエ変
換）装置を設けてこのＦＦＴ装置によって特定の周波数
の選別を行うようにしてもよい。また、本実施例では、
特定の周波数としてシャフト１２の回転周波数の６倍の
ものを選択したので、図４に示したようにより正確に振
動のピーク値を捕らえることができる。
【００１８】
【発明の効果】以上説明したように本発明では、振動セ
ンサからの振動検出信号の値が所定値以上でかつその回
数が所定時間内に所定回数以上となった場合には、アラ
ーム表示するようにした。これにより、潤滑不良により
軸受軌道面の面あれが生じて、軸受の温度が上昇した
り、振動の増大によりモータの負荷や騒音が増大したり
する前に、軸受の異常を迅速に検知することができる。
ンサからの振動検出信号の値が所定値以上でかつその回
数が所定時間内に所定回数以上となった場合には、アラ
ーム表示するようにした。これにより、潤滑不良により
軸受軌道面の面あれが生じて、軸受の温度が上昇した
り、振動の増大によりモータの負荷や騒音が増大したり
する前に、軸受の異常を迅速に検知することができる。
【図１】本発明のガスレーザ装置用ブロアの軸受異常検
出方式の概念図である。
出方式の概念図である。
【図２】本発明の一実施例であるガスレーザ装置の一部
の構成を示す図である。
の構成を示す図である。
【図３】転がり軸受へのグリース供給を行ってからさほ
ど運転時間が経過していない正常時のデータを示す図で
ある。
ど運転時間が経過していない正常時のデータを示す図で
ある。
【図４】転がり軸受へのグリース供給を行ってからかな
り運転時間が経過した異常時のデータを示す図である。
り運転時間が経過した異常時のデータを示す図である。
【図５】ガスレーザ装置用ブロアの軸受異常検出方式の
手順を示すフローチャートである。
手順を示すフローチャートである。
【図６】転がり軸受に対する潤滑グリースの供給状態に
よる振動の加速度成分のピーク値の特性を示す図であ
り、（ａ）はグリース供給を行ってから約６９０時間の
運転時間が経過したときの特性を示す図、（ｂ）はグリ
ース供給を行ってから約１４２０時間の運転時間が経過
したときの特性を示す図、（ｃ）はグリース補給直後の
特性を示す図である。
よる振動の加速度成分のピーク値の特性を示す図であ
り、（ａ）はグリース供給を行ってから約６９０時間の
運転時間が経過したときの特性を示す図、（ｂ）はグリ
ース供給を行ってから約１４２０時間の運転時間が経過
したときの特性を示す図、（ｃ）はグリース補給直後の
特性を示す図である。
１ ブロア ２ 振動センサ ３ アンプ ４ コンパレータ ５ アラーム指令手段 ６ アラーム表示手段
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成３年７月２４日
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正内容】
【特許請求の範囲】
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正内容】
【００１７】したがって、このような場合には直ちにグ
リース供給を行うと、図６（ｃ）に示すように低い加速
度６Ｇ付近で安定する。これらのことからも、軸受の振
動を検知することが、グリース潤滑不良によるターボブ
ロア１０の破損を防止することが理解できる。また、本
実施例では、振動の加速度成分を検出しているので、よ
り正確な異常検出が可能となっている。なお、本実施例
では、振動センサ２２として特定の周波数の振動を検知
するものを使用したが、振動センサ２２には、広域の周
波数の振動を検知するものを用いるとともに、アンプ２
３とコンパレータ２４との間に特定の周波数の選別を行
うような装置を設けてやってもよい。例えば、アナログ
信号をローパスフィルタおよびハイパスフィルタ回路を
通して、ある限られた周波数帯域をもつアナログ信号に
変換するバンドパスフィルタや、アナログ信号をＦＦＴ
（高速フーリエ変換）によって特定周波数のみのデジタ
ル信号に変換するＦＦＴ装置などがある。また、本実施
例では、特定の周波数としてシャフト１２の回転周波数
の６倍のものを選択したので、図４に示したようにより
正確に振動のピーク値を捕らえることができる。
リース供給を行うと、図６（ｃ）に示すように低い加速
度６Ｇ付近で安定する。これらのことからも、軸受の振
動を検知することが、グリース潤滑不良によるターボブ
ロア１０の破損を防止することが理解できる。また、本
実施例では、振動の加速度成分を検出しているので、よ
り正確な異常検出が可能となっている。なお、本実施例
では、振動センサ２２として特定の周波数の振動を検知
するものを使用したが、振動センサ２２には、広域の周
波数の振動を検知するものを用いるとともに、アンプ２
３とコンパレータ２４との間に特定の周波数の選別を行
うような装置を設けてやってもよい。例えば、アナログ
信号をローパスフィルタおよびハイパスフィルタ回路を
通して、ある限られた周波数帯域をもつアナログ信号に
変換するバンドパスフィルタや、アナログ信号をＦＦＴ
（高速フーリエ変換）によって特定周波数のみのデジタ
ル信号に変換するＦＦＴ装置などがある。また、本実施
例では、特定の周波数としてシャフト１２の回転周波数
の６倍のものを選択したので、図４に示したようにより
正確に振動のピーク値を捕らえることができる。
Claims (6)
- 【請求項１】 ガスレーザ装置用ブロアの軸受の異常を
検出するガスレーザ装置用ブロアの軸受異常検出方式に
おいて、 前記ブロアに取り付けられ前記軸受の振動を検出し振動
検出信号を出力する振動センサと、 前記振動センサからの振動検出信号を増幅するアンプ
と、 前記アンプによって増幅された前記振動検出信号の値が
所定値以上であるか否かを判断し、前記所定値以上であ
れば所定値判別信号を出力するコンパレータと、 前記コンパレータから出力された前記所定値判別信号が
所定時間内に所定回数以上となった場合にアラーム指令
信号を出力するアラーム指令手段と、 前記アラーム指令手段からのアラーム指令信号を受ける
とアラーム表示を行うアラーム表示手段と、 を有することを特徴とするガスレーザ装置用ブロアの軸
受異常検出方式。 - 【請求項２】 前記振動センサは、振動の加速度成分を
検出する加速度型振動センサであることを特徴とする請
求項１記載のガスレーザ装置用ブロアの軸受異常検出方
式。 - 【請求項３】 前記振動検出信号は、前記軸受の振動の
ピーク値であることを特徴とする請求項１記載のガスレ
ーザ装置用ブロアの軸受異常検出方式。 - 【請求項４】 前記振動センサは、特定周波数の振動を
検出することを特徴とする請求項１記載のガスレーザ装
置用ブロアの軸受異常検出方式。 - 【請求項５】 前記アンプと前記コンパレータとの間に
は高速フーリエ変換装置が設けられており、前記高速フ
ーリエ変換装置は前記特定周波数の振動を出力すること
を特徴とする請求項１記載のガスレーザ装置用ブロアの
軸受異常検出方式。 - 【請求項６】 前記特定周波数は前記ブロアの回転周波
数の６倍の周波数であることを特徴とする請求項４また
は５記載のガスレーザ装置用ブロアの軸受異常検出方
式。
Priority Applications (6)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3125151A JPH0590661A (ja) | 1991-04-26 | 1991-04-26 | ガスレーザ装置用ブロアの軸受異常検出方式 |
| PCT/JP1992/000551 WO1992020126A1 (en) | 1991-04-26 | 1992-04-27 | Device for sensing abnormality in bearing of blower for gas laser |
| DE69207137T DE69207137T2 (de) | 1991-04-26 | 1992-04-27 | Vorrichtung zum feststellen einer abweichung im achslager eines gaslaser-gebläses |
| KR1019920703359A KR930701845A (ko) | 1991-04-26 | 1992-04-27 | 가스레이저 장치용 블로워의 베어링 이상검출장치 |
| EP92909333A EP0536415B1 (en) | 1991-04-26 | 1992-04-27 | Device for sensing abnormality in bearing of blower for gas laser |
| US07/965,402 US5285457A (en) | 1991-04-26 | 1992-04-27 | Apparatus for detecting an abnormal bearing condition of a blower utilized for gas laser equipment |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3125151A JPH0590661A (ja) | 1991-04-26 | 1991-04-26 | ガスレーザ装置用ブロアの軸受異常検出方式 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0590661A true JPH0590661A (ja) | 1993-04-09 |
Family
ID=14903136
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3125151A Pending JPH0590661A (ja) | 1991-04-26 | 1991-04-26 | ガスレーザ装置用ブロアの軸受異常検出方式 |
Country Status (6)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5285457A (ja) |
| EP (1) | EP0536415B1 (ja) |
| JP (1) | JPH0590661A (ja) |
| KR (1) | KR930701845A (ja) |
| DE (1) | DE69207137T2 (ja) |
| WO (1) | WO1992020126A1 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100456065B1 (ko) * | 2002-07-18 | 2004-11-10 | (주)대진정공 | 진동센서가 구비된 수중펌프 |
| JP2007010415A (ja) * | 2005-06-29 | 2007-01-18 | Toshiba Corp | 軸受異常診断システム、軸受異常診断装置及び軸受異常診断方法 |
| JP2011187526A (ja) * | 2010-03-05 | 2011-09-22 | Panasonic Corp | レーザ発振装置 |
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1991
- 1991-04-26 JP JP3125151A patent/JPH0590661A/ja active Pending
-
1992
- 1992-04-27 DE DE69207137T patent/DE69207137T2/de not_active Expired - Fee Related
- 1992-04-27 KR KR1019920703359A patent/KR930701845A/ko not_active Application Discontinuation
- 1992-04-27 EP EP92909333A patent/EP0536415B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1992-04-27 US US07/965,402 patent/US5285457A/en not_active Expired - Lifetime
- 1992-04-27 WO PCT/JP1992/000551 patent/WO1992020126A1/ja active IP Right Grant
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| EP0536415A1 (en) | 1993-04-14 |
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| EP0536415A4 (en) | 1993-04-28 |
| KR930701845A (ko) | 1993-06-12 |
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