JPH0582904A - Semiconductor laser device - Google Patents

Semiconductor laser device

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JPH0582904A
JPH0582904A JP3238295A JP23829591A JPH0582904A JP H0582904 A JPH0582904 A JP H0582904A JP 3238295 A JP3238295 A JP 3238295A JP 23829591 A JP23829591 A JP 23829591A JP H0582904 A JPH0582904 A JP H0582904A
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JP
Japan
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semiconductor laser
laser device
stem
wiring
package
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JP3238295A
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Japanese (ja)
Inventor
Ryuichi Kawachi
隆一 河内
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Sony Corp
Original Assignee
Sony Corp
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    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/48Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
    • H01L2224/4805Shape
    • H01L2224/4809Loop shape
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    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/73Means for bonding being of different types provided for in two or more of groups H01L2224/10, H01L2224/18, H01L2224/26, H01L2224/34, H01L2224/42, H01L2224/50, H01L2224/63, H01L2224/71
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    • H01L2224/73251Location after the connecting process on different surfaces
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Abstract

PURPOSE:To make it possible to freely change the combination of wiring in semiconductor laser device. CONSTITUTION:Laser chip bonding region of LOP is constituted while isolated electrically from a PD 4 and the LOP is bonded through an insulating means to a protrusion 21 on the stem 23 of package. Semiconductor laser devices of four types of wiring combination can be obtained by changing the combination of wiring of bonding wire 26 between the LD 10 and PD 4 of the LOP and first and second leads 24, 25.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】この発明は、光通信機器あるいは
光ディスクプレーヤやレーザビームプリンタなどの光情
報再生機器に使用される半導体レーザ装置に関するもの
である。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a semiconductor laser device used in optical communication equipment or optical information reproducing equipment such as optical disk players and laser beam printers.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来より、光通信機器あるいは光情報再
生機器に使用されるレーザダイオード装置にはレーザダ
イオード(以降、LDと略称する)をパッケージのステ
ムの凸部にマウントし、LDの自動出力制御(APC)
に用いられるフォトダイオード(以降、PDと略称す
る)をパッケージのステムにマウントして、LDとPD
を一体に組み込んだ半導体レーザ装置が使用されてい
る。また、LDをPDの上にマウントしてLDとPDを
一体にしたレーザダイオードオンフォトダイオード素子
(以降、LOPと略称する)をパッケージのステムの凸
部にマウントして構造を簡単にした半導体レーザ装置も
ある。
2. Description of the Related Art Conventionally, in a laser diode device used in an optical communication device or an optical information reproducing device, a laser diode (hereinafter abbreviated as LD) is mounted on a convex portion of a package stem to automatically output the LD. Control (APC)
The photodiode (hereinafter abbreviated as PD) used for
A semiconductor laser device in which the above is integrally incorporated is used. Further, a semiconductor laser having a simple structure in which a laser diode-on-photodiode element (hereinafter abbreviated as LOP) in which an LD is mounted on a PD and the LD and the PD are integrated is mounted on a convex portion of a stem of a package. There is also a device.

【0003】[0003]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来技
術の半導体レーザ装置はLDの片側の電極がパッケージ
のステムの凸部に直接マウントされ、かつ、PDの片側
の電極もパッケージのステムに直接マウントされている
ために、パッケージのステムがコモン端子とされ、LD
とPDの配線の組み合わせは1組に限定されてしまう。
また、LOPもLDのアノードとPDのカソードが接続
されており、かつ、PDのカソードはパッケージのステ
ムの凸部にマウントされるために、半導体レーザ装置の
LDのアノードとPDのカソードの交点はコモン端子と
して使用され、やはり、配線の組み合わせが1組に限定
されることになる。
However, in the conventional semiconductor laser device, the electrode on one side of the LD is directly mounted on the convex portion of the stem of the package, and the electrode on one side of the PD is also directly mounted on the stem of the package. Therefore, the stem of the package is used as the common terminal, and the LD
The combination of wirings of PD and PD is limited to one set.
Further, in the LOP as well, the anode of the LD and the cathode of the PD are connected, and the cathode of the PD is mounted on the convex portion of the stem of the package. Therefore, the intersection of the anode of the LD and the cathode of the PD of the semiconductor laser device is It is used as a common terminal, and the combination of wiring is limited to one set.

【0004】半導体レーザ装置を動作させるためには、
LDのカソードはアノードに対して負電位にバイアスさ
れる必要があり、PDのアノードはカソードに対して正
電位にバイアスされる必要があるが、従来技術の半導体
レーザ装置では、LDの片側の電極例えばアノードとP
Dの片側の電極例えばカソードが接続され、かつ、その
交点はコモン端子とされているために、従来技術の半導
体レーザ装置を動作させるためには正電位および負電位
の二種類の電源を動作のために必要としており、単一の
電源のみでは動作しない。そこで、この半導体レーザ装
置を単一電源で動作させるために各種の提案がなされて
いる。そのうちの一つはPDをパッケージのステムに絶
縁してマウントした半導体レーザ装置(実開昭62−1
66661号公報参照)であり、ほかにLDをパッケー
ジのステムの凸部に絶縁してマウントした半導体レーザ
装置(実開昭62−166662号公報参照)がある。
In order to operate the semiconductor laser device,
The cathode of the LD needs to be biased at a negative potential with respect to the anode, and the anode of the PD needs to be biased at a positive potential with respect to the cathode. In the conventional semiconductor laser device, the electrode on one side of the LD is used. For example, anode and P
Since the electrode on one side of D, for example, the cathode is connected and the intersection is a common terminal, in order to operate the semiconductor laser device of the prior art, two kinds of power supplies of positive potential and negative potential are operated. It is necessary to do so and does not work with a single power supply alone. Therefore, various proposals have been made to operate this semiconductor laser device with a single power source. One of them is a semiconductor laser device in which a PD is insulated and mounted on the package stem (Actually, Shokai 62-1).
In addition, there is a semiconductor laser device (see Japanese Utility Model Laid-Open No. 62-166662) in which an LD is mounted on a convex portion of a stem of a package while being insulated.

【0005】しかしながら、実開昭62−166661
号の半導体レーザ装置ではLDがステムの凸部に直接マ
ウントされているために、LDのカソードがコモン端子
に接続され、PDのみに配線の組み合わせの選択の自由
度が与えられ2組の配線の組み合わせの半導体レーザ装
置しか得られない。また、実開昭62−166662号
の半導体レーザ装置ではPDがステムに直接マウントさ
れているために、PDのカソードがコモン端子に接続さ
れ、LDのみに配線の組み合わせの選択の自由度が与え
られ2組の配線の組み合わせの半導体レーザ装置しか得
られない。
[0005] However, the actual exploitation Sho 62-166661
In the semiconductor laser device of No. 3, since the LD is directly mounted on the convex portion of the stem, the cathode of the LD is connected to the common terminal, and only PD has the degree of freedom in selecting the wiring combination, and thus the two wirings Only a combination of semiconductor laser devices can be obtained. Further, in the semiconductor laser device of Japanese Utility Model Laid-Open No. 62-166662, since the PD is directly mounted on the stem, the cathode of the PD is connected to the common terminal, and only the LD has a degree of freedom in selecting a wiring combination. Only a semiconductor laser device having a combination of two wirings can be obtained.

【0006】この発明の目的は、半導体レーザ装置の構
造を簡単にするために、LOPを使用した半導体レーザ
装置でありながら、配線の組み合わせの自由度を4組に
増やし、かつ、単一電源で動作する半導体レーザ装置を
提供することにある。
An object of the present invention is to increase the degree of freedom of wiring combination to four sets and to use a single power source in a semiconductor laser device using an LOP in order to simplify the structure of the semiconductor laser device. An object is to provide a semiconductor laser device that operates.

【0007】[0007]

【課題を解決するための手段】それ故、この発明では、
LDのアノードとPDのカソード間を絶縁したLOP
を、半導体レーザ装置のパッケージのステムの凸部に絶
縁手段を介してマウントすることにより、先に述べたよ
うな課題を解決した。
Therefore, in the present invention,
LOP with insulation between LD anode and PD cathode
The above-mentioned problem was solved by mounting the above-mentioned on the convex portion of the stem of the package of the semiconductor laser device via the insulating means.

【0008】[0008]

【作用】したがって、この発明の半導体レーザ装置はL
DのアノードとPDのカソードが絶縁されているばかり
でなく、LOP自体も半導体レーザ装置のパッケージの
ステムの凸部と絶縁されてマウントされているので、パ
ッケージの内部の配線をワイヤボンディングの際に変え
ることにより、4種類の配線の組み合わせの半導体レー
ザ装置を作ることができる。そこで、この半導体レーザ
装置をレーザダイオードドライバでドライブした際に、
レーザ発光出力を制御するAPC(オートパワーコント
ロール)の組み合わせの自由度を増やすことができる。
Therefore, the semiconductor laser device of the present invention is L
Not only the anode of D and the cathode of PD are insulated, but also the LOP itself is mounted insulated from the convex portion of the stem of the package of the semiconductor laser device, so that the wiring inside the package is wire-bonded. By changing it, a semiconductor laser device having a combination of four types of wiring can be manufactured. Therefore, when driving this semiconductor laser device with a laser diode driver,
It is possible to increase the degree of freedom of combination of APC (auto power control) that controls the laser emission output.

【0009】[0009]

【実施例】以下、この発明の実施例を図面を参照して説
明する。図1はこの発明の半導体レーザ装置に使用する
LOPの斜視図、図2は図1の構造を説明するための断
面図である。また、図3から図6はこの発明の半導体レ
ーザ装置の配線状態を示し、それぞれAは斜視図、Bは
回路図である。
Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 is a perspective view of an LOP used in the semiconductor laser device of the present invention, and FIG. 2 is a sectional view for explaining the structure of FIG. 3 to 6 show wiring states of the semiconductor laser device of the present invention, where A is a perspective view and B is a circuit diagram, respectively.

【0010】図1および図2に示すように、1はN+
の半導体基板、2はこの半導体基板1の表面に形成され
たN- 型の半導体層、3はこの半導体層2の表面の一部
に選択的にP型不純物をドープすることにより形成され
たP+ 型の半導体領域(受光領域)であり、N+ 型の半
導体基板1とN- 型の半導体層2とP+ 型の半導体領域
3によってPIN型のPD4が構成される。4aはこのP
D形成領域を示す。5はPD4のアノード電極、6はP
D4のカソード電極である。そして、7はN- 型の半導
体層2のPD形成領域4a以外の表面の一部に形成された
+ 型の半導体層、8はこのP+ 型の半導体層7表面部
に形成されたN- 型の半導体層であり、N- 型の半導体
層2とP+ 型の半導体層7とN-型の半導体層8によっ
て電気的に絶縁されることにより、PD4と絶縁された
レーザチップボンディング領域9が構成される。10はレ
ーザチップボンディング領域9の絶縁層の上にはんだ層
11を介してマウントされたLD、12はLD10の活性層、
13はLD10のアノード電極、14はLD10のカソード電極
である。このようにしてLD10とPD4が絶縁されたL
OP15が作成される。
As shown in FIGS. 1 and 2, 1 is an N + type semiconductor substrate, 2 is an N type semiconductor layer formed on the surface of the semiconductor substrate 1, and 3 is a surface of the semiconductor layer 2. It is a P + type semiconductor region (light receiving region) formed by selectively doping a P type impurity in a part, and includes an N + type semiconductor substrate 1, an N type semiconductor layer 2 and a P + type semiconductor region 2. The semiconductor region 3 constitutes a PIN type PD 4. 4a is this P
A D formation area is shown. 5 is the anode electrode of PD4, 6 is P
It is a cathode electrode of D4. N type semiconductor layer of a portion which is formed on the P + -type semiconductor layer 2 of the PD formation region 4a other than the surface of the, 8 formed on the semiconductor layer 7 surface portion of the P + -type - and 7 N - a type semiconductor layer, N - type semiconductor layer 2 and the P + -type semiconductor layer 7 and the N - by being electrically insulated by type semiconductor layer 8, a laser chip bonding region which is insulated from the PD4 9 are configured. 10 is a solder layer on the insulating layer of the laser chip bonding area 9.
LD mounted via 11, 12 is the active layer of LD10,
Reference numeral 13 is an anode electrode of LD10, and 14 is a cathode electrode of LD10. In this way, LD10 and PD4 are insulated L
OP15 is created.

【0011】つぎに、このLOP15を使用して4種類の
配線の組み合わせの半導体レーザ装置を作成する方法を
図3から図6を参照して説明する。まず、図3Aに示す
ように、LOP15をパッケージのステム23の凸部21に絶
縁手段として絶縁ペーストあるいは接着剤を塗布した絶
縁板より構成される絶縁層22を介して接着し、PD4の
カソード電極6とLD10のアノード電極13からステム23
に、PD4のアノード電極5から第一のリード24に、L
D10のカソード電極14から第二のリード25にそれぞれボ
ンディングワイヤ26を配線して図3Bの回路図に示す第
一の実施例の半導体レーザ装置が完成する。つぎに、図
4Aに示すように、PD4のアノード電極5とLD10の
アノード電極13からステム23に、PD4のカソード電極
6から第一のリード24に、LD10のカソード電極14から
第二のリード25にそれぞれボンディングワイヤ26を配線
して図4Bの回路図に示す第二の実施例の半導体レーザ
装置が完成する。そして、図5Aに示すように、PD4
のアノード電極5とLD10のカソード電極14からステム
23に、PD4のカソード電極6から第一のリード24に、
LD10のアノード電極13から第二のリード25にそれぞれ
ボンディングワイヤ26を配線して図5Bの回路図に示す
第三の実施例の半導体レーザ装置が完成する。最後に、
図6Aに示すように、PD4のカソード電極6とLD10
のカソード電極14からステム23に、PD4のアノード電
極5から第一のリード24に、LD10のアノード電極13か
ら第二のリード25にそれぞれボンディングワイヤ26を配
線して図6Bの回路図に示す第四の実施例の半導体レー
ザ装置が完成する。
Next, a method of using the LOP 15 to produce a semiconductor laser device having a combination of four types of wiring will be described with reference to FIGS. First, as shown in FIG. 3A, the LOP 15 is adhered to the convex portion 21 of the stem 23 of the package through an insulating layer 22 composed of an insulating plate coated with an insulating paste or an adhesive as an insulating means, and a cathode electrode of the PD 4 is attached. 6 and LD 10 anode electrode 13 to stem 23
From the anode electrode 5 of the PD 4 to the first lead 24,
Bonding wires 26 are respectively wired from the cathode electrode 14 of D10 to the second lead 25 to complete the semiconductor laser device of the first embodiment shown in the circuit diagram of FIG. 3B. Next, as shown in FIG. 4A, from the anode electrode 5 of the PD 4 and the anode electrode 13 of the LD 10 to the stem 23, from the cathode electrode 6 of the PD 4 to the first lead 24, and from the cathode electrode 14 of the LD 10 to the second lead 25. Bonding wires 26 are respectively wired to the semiconductor laser device of the second embodiment shown in the circuit diagram of FIG. 4B. Then, as shown in FIG. 5A, PD4
Stem from anode electrode 5 of LD 10 and cathode electrode 14 of LD 10
23, from the cathode electrode 6 of the PD 4 to the first lead 24,
Bonding wires 26 are respectively wired from the anode electrode 13 of the LD 10 to the second leads 25 to complete the semiconductor laser device of the third embodiment shown in the circuit diagram of FIG. 5B. Finally,
As shown in FIG. 6A, the cathode electrode 6 of the PD 4 and the LD 10
The bonding wire 26 is wired from the cathode electrode 14 to the stem 23 of the PD 4, the anode electrode 5 of the PD 4 to the first lead 24, and the anode electrode 13 of the LD 10 to the second lead 25, respectively, as shown in the circuit diagram of FIG. 6B. The semiconductor laser device of the fourth embodiment is completed.

【0012】このようにして、PD4とLD10が絶縁さ
れたLOP15を使用した、この発明の4種類の配線の組
み合わせの半導体レーザ装置が作成され、それぞれの用
途に応じて選択して使用することができる。
Thus, the semiconductor laser device of the combination of four kinds of wirings of the present invention using the LOP15 in which the PD4 and the LD10 are insulated is prepared, and can be selected and used according to each application. it can.

【0013】この発明の半導体レーザ装置を、ステム23
に接続されたコモン端子と第一のリード24および第二の
リード25の3端子のパッケージを使用した半導体レーザ
装置により説明してきたが、この発明の半導体レーザ装
置は3端子のパッケージに限定されることはなく、ステ
ム23に接続されたコモン端子と第一のリード24および第
二のリード25以外に第三のリードを追加した4端子のパ
ッケージを作成し、例えばLD10のアノード電極13から
ステム23に、PD4のアノード電極5から第一のリード
24に、LD10のカソード電極14から第二のリード25に、
PD4のカソード電極14から第三のリードにそれぞれボ
ンディングワイヤ26を配線して半導体レーザ装置とする
ことも可能である。このような4端子のパッケージの半
導体レーザ装置によれば、1種類の配線の半導体レーザ
装置により、外部配線を変えることにより4種類の配線
の組み合わせの半導体レーザ装置が作成され、それぞれ
の用途に応じて選択して使用することができる。
The semiconductor laser device according to the present invention has a stem 23
The semiconductor laser device using the three-terminal package of the common terminal connected to the first lead 24 and the second lead 25 has been described, but the semiconductor laser device of the present invention is limited to the three-terminal package. However, a common terminal connected to the stem 23 and a four-terminal package in which a third lead is added in addition to the first lead 24 and the second lead 25 are prepared. For example, from the anode electrode 13 of the LD 10 to the stem 23. From the anode electrode 5 of PD4 to the first lead
24, from the cathode electrode 14 of the LD10 to the second lead 25,
It is also possible to wire a bonding wire 26 from the cathode electrode 14 of the PD 4 to each of the third leads to form a semiconductor laser device. According to the semiconductor laser device of such a four-terminal package, a semiconductor laser device of one type of wiring produces a semiconductor laser device of a combination of four types of wiring by changing the external wiring. Can be selected and used.

【0014】[0014]

【発明の効果】以上に述べてきたことから明らかなよう
に、この発明によれば、半導体レーザ装置はLDのアノ
ードとPDのカソードが絶縁されているばかりでなく、
LOP自体も半導体レーザ装置のパッケージのステムと
絶縁されてマウントされているので、パッケージの内部
の配線をワイヤボンディングの際に変えることにより、
4種類の配線の組み合わせの半導体レーザ装置を作るこ
とができ、それぞれの配線の組み合わせを用途に応じて
選択使用することのより、半導体レーザ装置を使用する
に際して正電位および負電位の二種類の電源を動作のた
めに必要とせず、単一の電源のみで半導体レーザ装置を
動作させることができるようになる。また、レーザダイ
オードドライバでドライブした際のAPCの選択の自由
度が増え、最適なAPCが可能になると同時にレーザダ
イオードドライバのコストダウンが可能となる。
As is apparent from what has been described above, according to the present invention, in the semiconductor laser device, not only the anode of the LD and the cathode of the PD are insulated,
Since the LOP itself is also mounted so as to be insulated from the stem of the package of the semiconductor laser device, by changing the wiring inside the package at the time of wire bonding,
It is possible to make a semiconductor laser device with a combination of four types of wiring, and by selecting and using each combination of wirings according to the application, two types of power supplies, a positive potential and a negative potential, can be used when using the semiconductor laser device. Therefore, the semiconductor laser device can be operated with only a single power source. In addition, the degree of freedom in selecting the APC when driven by the laser diode driver is increased, which enables optimum APC and at the same time reduces the cost of the laser diode driver.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】この発明の半導体レーザ装置に使用するLOP
の斜視図。
FIG. 1 is an LOP used in a semiconductor laser device of the present invention.
FIG.

【図2】図1の構造を説明するための断面図。FIG. 2 is a sectional view for explaining the structure of FIG.

【図3】この発明の第一の実施例の半導体レーザ装置の
配線状態を示し、それぞれAは斜視図、Bは回路図。
FIG. 3 shows a wiring state of the semiconductor laser device of the first embodiment of the present invention, where A is a perspective view and B is a circuit diagram.

【図4】この発明の第二の実施例の半導体レーザ装置の
配線状態を示し、それぞれAは斜視図、Bは回路図。
FIG. 4 shows a wiring state of a semiconductor laser device of a second embodiment of the present invention, where A is a perspective view and B is a circuit diagram.

【図5】この発明の第三の実施例の半導体レーザ装置の
配線状態を示し、それぞれAは斜視図、Bは回路図。
FIG. 5 shows a wiring state of a semiconductor laser device according to a third embodiment of the present invention, in which A is a perspective view and B is a circuit diagram.

【図6】この発明の第四の実施例の半導体レーザ装置の
配線状態を示し、それぞれAは斜視図、Bは回路図であ
る。
FIG. 6 shows a wiring state of a semiconductor laser device of a fourth embodiment of the present invention, where A is a perspective view and B is a circuit diagram.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 半導体基板 2 半導体層 3 半導体領域(受光領域) 4 フォトダイオード(PD) 4a PD領域 5 アノード電極 6 カソード電極 7 半導体層 8 半導体層 9 レーザチップボンディング領域 10 レーザダイオード(LD) 11 はんだ層 12 活性層 13 アノード電極 14 カソード電極 15 レーザダイオードオンフォトダイオード素子(LO
P) 21 凸部 22 絶縁層 23 ステム 24 第一のリード 25 第二のリード 26 ボンディングワイヤ
1 semiconductor substrate 2 semiconductor layer 3 semiconductor region (light receiving region) 4 photodiode (PD) 4a PD region 5 anode electrode 6 cathode electrode 7 semiconductor layer 8 semiconductor layer 9 laser chip bonding region 10 laser diode (LD) 11 solder layer 12 active Layer 13 Anode electrode 14 Cathode electrode 15 Laser diode on photodiode device (LO
P) 21 convex portion 22 insulating layer 23 stem 24 first lead 25 second lead 26 bonding wire

Claims (3)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 レーザダイオードをフォトダイオード上
にマウントしたレーザダイオードオンフォトダイオード
素子をパッケージのステムの凸部にマウントした半導体
レーザ装置において、 レーザダイオードのアノードとフォトダイオードのカソ
ード間を電気的に絶縁したレーザダイオードオンフォト
ダイオード素子を、前記パッケージのステムの凸部に絶
縁手段を介してマウントしたことを特徴とする半導体レ
ーザ装置。
1. In a semiconductor laser device in which a laser diode on photodiode element in which a laser diode is mounted on a photodiode is mounted on a convex portion of a stem of a package, an anode of the laser diode and a cathode of the photodiode are electrically insulated from each other. A semiconductor laser device in which the laser diode-on-photodiode element described above is mounted on a convex portion of the stem of the package via an insulating means.
【請求項2】 前記絶縁手段が絶縁ペーストであること
を特徴とする請求項1記載の半導体レーザ装置。
2. The semiconductor laser device according to claim 1, wherein the insulating means is an insulating paste.
【請求項3】 前記絶縁手段が接着剤を塗布した絶縁板
であることを特徴とする請求項1記載の半導体レーザ装
置。
3. The semiconductor laser device according to claim 1, wherein the insulating means is an insulating plate coated with an adhesive.
JP3238295A 1991-09-18 1991-09-18 Semiconductor laser device Pending JPH0582904A (en)

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JP3238295A JPH0582904A (en) 1991-09-18 1991-09-18 Semiconductor laser device

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JP3238295A Pending JPH0582904A (en) 1991-09-18 1991-09-18 Semiconductor laser device

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JP (1) JPH0582904A (en)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7113528B2 (en) 2002-07-18 2006-09-26 Nec Electronics Corporation Semiconductor laser device
US7483460B2 (en) 2005-08-04 2009-01-27 Sumitomo Electric Industries, Ltd. Transmitter optical subassembly and a transmitter optical module installing the same

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