JPH04122414A - Production of low-temperature dry gas and equipment therefor - Google Patents
Production of low-temperature dry gas and equipment thereforInfo
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Landscapes
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Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は、除湿用のガス分離膜モジュールと超高速旋
回流方式の低温ガス発生装置とを連結して使用して、低
温ガス発生装置から発生する高温乾燥ガスを、該モジュ
ール内のガス分離膜の透過側のパージガスとして前記ガ
ス分離膜モジュールに再使用することによって、低温ガ
ス発生装置から低温乾燥ガス（例えば、低温乾燥空気な
ど）を、効率的に連続して製造する方法、ならびに、前
記低温乾燥ガスの製造装置に係わる。[Detailed Description of the Invention] [Industrial Application Field] This invention uses a gas separation membrane module for dehumidification connected to a low-temperature gas generator using an ultra-high-speed swirling flow method to generate a low-temperature gas generator. By reusing the generated high-temperature dry gas in the gas separation membrane module as a purge gas on the permeate side of the gas separation membrane in the module, low-temperature dry gas (for example, low-temperature dry air, etc.) from the low-temperature gas generator can be The present invention relates to an efficient continuous production method and an apparatus for producing the low-temperature dry gas.
前記の低温乾燥ガスは、種々の成形品、電子部品、機器
又は装置の高温部分に直接に吹き掛けて冷却したり、低
温に維持したりするため、あるいは、人体の故障箇所に
吹き掛けて冷温治療したりするために利用することがで
きる。The low-temperature drying gas mentioned above can be sprayed directly onto high-temperature parts of various molded products, electronic parts, equipment, or devices to cool them down or maintain them at low temperatures, or sprayed onto faulty parts of the human body to cool them down. It can be used for treatment.
従来 高速旋回流方式の低温ガス発生装置は、極めて簡
単に一５０〜Ｏ′Ｃの低温ガスを発生ずることができる
装置としてずでに周知である。2. Description of the Related Art High-speed swirling flow type low temperature gas generators are well known as devices that can extremely easily generate low temperature gas of -50 to O'C.
しかし、前記の低温ガス発生装置は、極めて超低温のガ
スが容易に発生するので、水分をかなり含有するガス（
空気など）を使用すると、低温ガスが発生ずる際に水分
が装置内で水滴化したり、その水滴が装置内に氷結して
閉塞させたりして、連続的に低温ガスを発生ずることが
できなくなったり、あるいは、生成した低温ガス中に水
分がかなり含有していると冷却対象物の電子部品なと表
面に水滴が付着してしまったり、その結果、電子部品な
どの腐食を促進させてしまうという問題などがあった。However, since the above-mentioned low-temperature gas generator easily generates extremely low-temperature gas, the gas containing a considerable amount of moisture (
If low-temperature gas is generated, moisture may turn into water droplets inside the device, or the water droplets may freeze inside the device and block it, making it impossible to continuously generate low-temperature gas. Or, if the generated low-temperature gas contains a considerable amount of moisture, water droplets may adhere to the surface of the electronic components being cooled, which may accelerate corrosion of the electronic components. There were some problems.
゛最近、前記の低温ガス発生装置へ、水分の吸着剤又は
吸収剤で乾燥された空気などの原料ガスを供給して低温
乾燥ガスを生成させることが提案された。Recently, it has been proposed to generate low-temperature dry gas by supplying a raw material gas such as air dried with a moisture adsorbent or absorbent to the low-temperature gas generator.
しかし、前記の吸着剤などを使用して乾燥ガスとする場
合には、長期間乾燥するすることができす、連続的に低
温乾燥ガスを発生させることができないという問題点が
あった。However, when drying gas is produced using the above-mentioned adsorbent, etc., there are problems in that long-term drying is not possible and low-temperature drying gas cannot be continuously generated.
従って、この発明は、公知の低温ガス発生装置を低温ガ
ス発生に使用して低温ガスを発生させるにあたって、供
給された原料の圧縮ガス中の水分による種々の問題を容
易に解消することができる低温乾燥ガスの製法、並びに
、その製造装置を提供するごとを目的とする。Therefore, the present invention provides a low-temperature gas generator that can easily solve various problems caused by moisture in the compressed gas of the supplied raw material when generating low-temperature gas using a known low-temperature gas generator. The purpose of the present invention is to provide a method for producing dry gas and an apparatus for producing the same.
この出願の第１の発明は、水分を含有する圧縮ガスを除
湿用ガス分離膜モジュールへ供給して水分を除去した後
、得られた乾燥未透過ガスを超高速旋回流による低温ガ
ス発生装置へ供給し、該低温ガス発生装置の一端から低
温乾燥ガスを抜き出すと共に、高温の乾燥ガスを他端か
ら取り出して前記除湿用ガス分離膜モジュールの透過側
のパージガスとして使用することを特徴とする低温乾燥
ガスの製法、並びに、
この出願の第２の発明は、水分含有圧縮ガスの供給口、
透過ガスの排出口、乾燥未透過ガスの取出し口、及び、
パージガスの供給口を有するケーシング内にガス分離膜
エレメントを内蔵している除湿用ガス分離膜モジュール
、並びに、圧縮ガスの旋回供給口、低温乾燥ガスの抜出
し口、及び、高温乾燥ガスの取出し口を有する超高速旋
回流方式の低温ガス発生装置からなり、
前記ガス分離膜モジュールの乾燥未透過ガスの取出し口
と前記低温ガス発生装置の圧縮ガスの旋回供給口とが連
結されており、そして、低温ガス発生装置の高温乾燥ガ
スの取出し口とガス分離膜モジュールのパージガスの供
給口とが連結されていることを特徴とする低温乾燥ガス
の製造装置に関する。The first invention of this application is to supply compressed gas containing moisture to a gas separation membrane module for dehumidification to remove moisture, and then send the obtained dry unpermeated gas to a low-temperature gas generator using an ultrahigh-speed swirling flow. Low-temperature drying characterized in that the low-temperature dry gas is extracted from one end of the low-temperature gas generator, and the high-temperature dry gas is extracted from the other end and used as a purge gas on the permeation side of the dehumidifying gas separation membrane module. The gas production method and the second invention of this application include a water-containing compressed gas supply port;
A permeated gas outlet, a dry unpermeated gas outlet, and
A dehumidifying gas separation membrane module that has a gas separation membrane element built into a casing that has a purge gas supply port, a compressed gas swirl supply port, a low-temperature dry gas outlet, and a high-temperature dry gas outlet. The dry unpermeated gas take-out port of the gas separation membrane module is connected to the compressed gas swirl supply port of the low-temperature gas generator, and The present invention relates to an apparatus for producing low-temperature dry gas, characterized in that a high-temperature dry gas take-out port of a gas generator and a purge gas supply port of a gas separation membrane module are connected.
以下、この発明について、図面も参照してさらに詳しく
説明する。Hereinafter, this invention will be explained in more detail with reference to the drawings.
第１図は、この発明の低温乾燥ガスの製法に使用する装
置の一例を概略示すフロー図である。FIG. 1 is a flow diagram schematically showing an example of an apparatus used in the method for producing low-temperature drying gas of the present invention.
この発明の低温乾燥ガスの製法は、第１図に示すように
、水分が飽和している空気などの原料ガスをコンプレッ
サー１等で圧縮して「水分を含有する圧縮ガス」となし
、必要であればクーラー２などで冷却し、フィルター５
等で除塵した後、除湿用ガス分離膜モジュール３へ供給
して水分を充分に除去した後、
該モジュール３から得られた「乾燥未透過ガス（加圧状
態のガスである）Ｊを超高速旋回流方式による低温ガス
発生装置４の圧縮ガスの旋回供給口４１へ供給し、圧縮
ガスを超高速で旋回させてその渦流を形成させ、該渦流
の中心部に冷却されたガスを発生させ、該ガス発生装置
４の一端（低温乾燥ガスの抜き出し口４２）から低温乾
燥ガスを抜き出すと共に、
該ガス発生装置４の他端（高温乾燥ガスの取り出し口４
３）から高温の乾燥ガスを取り出して、必要であれば何
らかのガス冷却手段で冷却して、前記除湿用ガス分離膜
モジュール３のパージガス供給口３３へ供給し、該モジ
ュール３のガス分離膜の透過側のパージガスとして循環
使用しながら、前記低温ガス発生装置４から低温乾燥ガ
スを連続的に製造する方法である。As shown in Figure 1, the method for producing low-temperature dry gas of this invention involves compressing a raw material gas such as air saturated with moisture using a compressor 1 or the like to produce a "compressed gas containing moisture". If available, cool it with cooler 2, etc., and then use filter 5.
After removing dust with a gas separation membrane module 3 for dehumidification and sufficiently removing water, the dry unpermeated gas (gas under pressure) obtained from the module 3 is passed through an ultra-high speed gas separation membrane module 3. Supplying the compressed gas to the swirling supply port 41 of the low temperature gas generator 4 using the swirling flow method, swirling the compressed gas at an ultra-high speed to form a vortex, and generating cooled gas in the center of the vortex, The low-temperature drying gas is extracted from one end of the gas generator 4 (low-temperature drying gas outlet 42), and the other end of the gas generator 4 (high-temperature drying gas outlet 42)
3) Take out the high-temperature dry gas, cool it with some gas cooling means if necessary, and supply it to the purge gas supply port 33 of the dehumidifying gas separation membrane module 3, so that the gas permeates through the gas separation membrane of the module 3. This is a method of continuously producing low-temperature dry gas from the low-temperature gas generator 4 while circulating it as a side purge gas.
この発明の製法において、ガス分離膜モジュール３−１
供給する圧縮ガスは、１〜２０ｋｇ／ｃボＧ、特に２〜
１０ｋｇ／ｃ＋ｆｌＧ程度の圧を有し、乾湿湿度計で測
定した湿度が５０〜１００％であって、さらに、その圧
縮ガスの温度が０〜６０°Ｃ１特に５〜５０’Ｃ程度で
あることが好ましい。In the manufacturing method of this invention, gas separation membrane module 3-1
The compressed gas to be supplied is 1 to 20 kg/c, especially 2 to 20 kg/c
It has a pressure of about 10 kg/c+flG, the humidity measured with a psychrometric hygrometer is 50 to 100%, and the temperature of the compressed gas is about 0 to 60°C, especially about 5 to 50'C. preferable.
この発明の製法においては、前記圧縮ガスの圧が高いほ
ど低温乾燥ガス（製品）の温度が低下する。In the manufacturing method of the present invention, the higher the pressure of the compressed gas, the lower the temperature of the low-temperature drying gas (product).
ガス分離膜モジュール３において、ガス分離膜（中空系
膜）の透過側は、前記のガス分離膜のイバ給側より低い
圧力であることが好ましく、概略、常圧（約Ｏｋｇ ／
ｃＭ Ｇ±０．２）付近であることが好適である。In the gas separation membrane module 3, the pressure on the permeation side of the gas separation membrane (hollow system membrane) is preferably lower than that on the evaporation side of the gas separation membrane, and is approximately normal pressure (approximately 0 kg/kg).
cM G±0.2) is preferable.
ガス分離膜モジュール３のガス分離膜の供給側から得ら
れた乾燥未透過ガスは、実質的に水分が除去されており
、その露点が、−５°Ｃ以下、特に６０〜−６°Ｃ程度
であるような乾燥状態であることが好ましい。The dry retentate gas obtained from the supply side of the gas separation membrane of the gas separation membrane module 3 has substantially no moisture removed, and has a dew point of -5°C or less, particularly about 60 to -6°C. It is preferable to be in a dry state such that .
この発明の製法において、低温ガス発生装置４の高温乾
燥ガスの取り出し口４３から排出されガス分離膜モジュ
ールのパージガス供給口３３へ供給される高温乾燥ガス
は、圧縮ガスの供給量（Ｎｌ７分）の約２０〜８０容量
％、特に２５〜７５容量％程度であることが好ましい。In the manufacturing method of this invention, the high temperature dry gas discharged from the high temperature dry gas outlet 43 of the low temperature gas generator 4 and supplied to the purge gas supply port 33 of the gas separation membrane module is equal to or less than the supply amount of the compressed gas (Nl7 minutes). It is preferably about 20 to 80% by volume, particularly about 25 to 75% by volume.
この発明の製法では、ガス分離膜モジュールへのパージ
ガスの使用割合が増大するに従って、低温乾燥ガス（製
品）の露点温度が低下する。In the production method of the present invention, as the proportion of purge gas used in the gas separation membrane module increases, the dew point temperature of the low-temperature drying gas (product) decreases.
この発明の装置は、第１図に示すように、例えば、水分
含有圧縮ガスの供給口３１、透過ガスの排出口３４、乾
燥未透過ガスの取出し口３２、及び、パージガスの供給
口３３を有するケーシング内にガス分離膜エレント３５
を内蔵している除湿用ガス分離膜モジュール３、並びに
、圧縮ガスの旋回供給口４１、低温乾燥ガスの抜出し口
４２、及び、高温乾燥ガスの取出し口４３を有する超高
速旋回流方弐の低温ガス発生装置からなり、前記ガス分
離膜モジュール３の乾燥未透過ガスの取出し口３２と前
記低温ガス発生装置４の圧縮ガスの旋回供給口４１とが
連結されており、そして、低温ガス発生装置４の高温乾
燥ガスの取出し口４３とガス分離膜モジュール３のパー
ジガスの供給口３３とが連結されており、前述のように
、低温ガス発生装置４から抜き出された高温乾燥ガスを
パージガスとしてガス分離膜モジュール３の−ジガス供
給口３３へ供給して、ガス分離膜（中空糸等）の透過側
をパージしながら、前記低温ガス発生装置４の抜出し口
４２から低温乾燥ガスを製品として取り出すことができ
るものである。As shown in FIG. 1, the apparatus of the present invention has, for example, a water-containing compressed gas supply port 31, a permeated gas discharge port 34, a dry unpermeated gas discharge port 32, and a purge gas supply port 33. Gas separation membrane Elent 35 inside the casing
A dehumidifying gas separation membrane module 3 incorporating a dehumidifying gas separation membrane module 3, a low temperature ultra-high speed swirling flow method 2 having a compressed gas swirling supply port 41, a low temperature dry gas outlet 42, and a high temperature dry gas outlet 43. The dry unpermeated gas take-out port 32 of the gas separation membrane module 3 and the compressed gas swirl supply port 41 of the low-temperature gas generator 4 are connected to each other, and the low-temperature gas generator 4 is composed of a gas generator. The high-temperature dry gas outlet 43 of the gas separation membrane module 3 is connected to the purge gas supply port 33 of the gas separation membrane module 3, and as described above, the high-temperature dry gas extracted from the low-temperature gas generator 4 is used as purge gas for gas separation. The low-temperature dry gas can be supplied to the -digas supply port 33 of the membrane module 3 and taken out as a product from the extraction port 42 of the low-temperature gas generator 4 while purging the permeate side of the gas separation membrane (hollow fiber etc.). It is possible.
前記のガス分離膜モジュールに内蔵されるガス分離膜エ
レメント（中空糸エレメントなど）は、水分を選択的に
透過させることができれば、いずれの材料からなるガス
分離膜であってもよいが、例えば、芳香族ポリイミド、
芳香族ポリアミド、ポリスルホンなどの耐熱性高分子材
料から形成された非対称性のガス分離膜（例えば、表面
に緻密層と多孔質層とを有するガス分離中空系膜）であ
ればよい。The gas separation membrane element (hollow fiber element, etc.) built into the gas separation membrane module may be a gas separation membrane made of any material as long as it can selectively permeate moisture, but for example, aromatic polyimide,
Any asymmetric gas separation membrane (for example, a gas separation hollow membrane having a dense layer and a porous layer on the surface) formed from a heat-resistant polymeric material such as aromatic polyamide or polysulfone may be used.
前記のガス分離膜は、水蒸気の透過速度ＰＨ２０（室温
）が、Ｉ Ｘ １０−’〜８ Ｘ １０−３Ｎｃｆ／ｃ
ｆ ・ｓｅｃ −ｃｍｌ１ｇ程度であって、水蒸気透
過速度ｐＨ□０と窒素透過速度ＰＮ２との比（ＰＨ２０
／ＰＮ２） （室温）が、５００〜５０００程度であ
ることが好ましい。The gas separation membrane has a water vapor permeation rate PH20 (room temperature) of I X 10-' to 8 X 10-3Ncf/c.
The ratio of the water vapor permeation rate pH□0 to the nitrogen permeation rate PN2 (PH20
/PN2) (room temperature) is preferably about 500 to 5000.
前記のガス分離膜モジュール３においては、パージガス
（高温乾燥ガス）は、必要な圧に減圧され、パージガス
の供給口３３から供給して、ガス分離膜モジュール内の
中空糸エレメント３５の各中空系の間隙（透過側）を通
過させてパージを行い、水分を高い割合で含有する透過
ガスと共に、透過ガスの排出口３４から系外へ排出され
るのである。In the gas separation membrane module 3, the purge gas (high temperature dry gas) is reduced to a required pressure and is supplied from the purge gas supply port 33 to each hollow system of the hollow fiber elements 35 in the gas separation membrane module. Purging is performed by passing through the gap (permeation side), and the permeation gas is discharged from the system through the permeation gas outlet 34 together with the permeation gas containing a high proportion of water.
前記の低温ガス発生装置は、圧縮ガスの旋回供給口４１
から供給された圧縮ガス（空気など）が、旋回ノズル（
図示せず）により管内部の接線方向に高速で吹き出され
毎分約１〜５０万回の回転をする超高速渦流となり、そ
のために、外側渦流に大きな遠心力が働いて圧力、密度
が急上昇し温度が上昇して高温乾燥ガスの取出し口４３
から取り出されると同時に、内側渦流は、外側渦流に対
して幻想制御作用を断熱的に行い、エネルギー移行が行
われ温度が下降して低温乾燥ガスの抜出し口４２から構
成される装置であればよい。The above-mentioned low-temperature gas generator has a compressed gas swirling supply port 41.
The compressed gas (such as air) supplied from the rotating nozzle (
(not shown) blows out at high speed in the tangential direction inside the tube, creating an ultra-high-speed vortex that rotates approximately 10,000 to 500,000 times per minute.As a result, a large centrifugal force acts on the outer vortex, causing a sudden increase in pressure and density. The temperature rises and the high temperature dry gas outlet 43
At the same time as the inner vortex is extracted from the outer vortex, the inner vortex performs an illusory control action adiabatically on the outer vortex, energy transfer is performed, the temperature is lowered, and the device is formed of an extraction port 42 for low-temperature dry gas. .
この発明の装置は、除湿用ガス分離膜モジュールの透過
側パージを特別に準備したパージガスを使用する必要が
なく、また、該モジュール自身か製造した乾燥未透過ガ
スを低温ガス発生装置に使用した後にパージガスとして
使用するものであるので、極めて効率的である。The device of this invention does not require the use of a specially prepared purge gas for purging the permeate side of the dehumidifying gas separation membrane module, and after using the dry unpermeated gas produced by the module itself in the low-temperature gas generator. Since it is used as a purge gas, it is extremely efficient.
以下、実施例を示し、この発明をさらに詳しく説明する
。EXAMPLES Hereinafter, the present invention will be explained in more detail with reference to Examples.
実施例１〜７
第１図に示す装置を使用して、低温乾燥ガスの製造を１
０時間連続して行った。Examples 1 to 7 Using the apparatus shown in Fig. 1, low-temperature drying gas was manufactured in one step.
It was conducted continuously for 0 hours.
第１図において、除湿用ガス分離膜モジュールは、芳香
族ポリイミド製のガス分離中空糸膜から形成された中空
糸膜エレメントを内蔵している除湿用ガス分離膜モジュ
ール（宇部興産（ｌ米製、商品名：メンブレンドライヤ
ー、型式：ＵＭ−Ｂ５タイプ）を使用した。In FIG. 1, the dehumidifying gas separation membrane module is a dehumidifying gas separation membrane module (manufactured by Ube Industries, Ltd. A product (trade name: membrane dryer, model: UM-B5 type) was used.
また、低温ガス発生装置としては、サンワ・エンタープ
ライズ■製の超低温空気発生器（商品名：コルダー、型
式： １４０−５５ Ｓ Ｖ ）を使用した。Furthermore, as the low-temperature gas generator, an ultra-low temperature air generator manufactured by Sanwa Enterprises (trade name: Kolder, model: 140-55 SV) was used.
各実施例における低温乾燥空気の製造の条件及び結果で
ある「ガス分離膜モジュールへ供給された圧縮空気の圧
力、供給量、供給温度、及び、露点、並びに、ガス分離
膜モジュールへのパージガスの供給量、更に、低温乾燥
ガス（製品）生産量、温度及び露点」を第１表に示す。The conditions and results for producing low-temperature dry air in each example are the pressure, supply amount, supply temperature, and dew point of compressed air supplied to the gas separation membrane module, and the supply of purge gas to the gas separation membrane module. Table 1 shows the amount of low-temperature dry gas (product) produced, temperature and dew point.
■
〔本発明の作用効果〕
この発明の製法及び装置は、低温ガス発生装置で生成し
大気中に放出されていた高温乾燥ガスを防湿用ガス分離
膜モジュールのパージガスとして有効に再利用しており
、特別なパージガスを使用することなく、低い温度（−
６０〜５°Ｃ）と高い乾燥状態（露点温度ニー５〜−６
０ ’Ｃ）とを有する低温乾燥ガスを容易に製造するこ
とができるものである。また、低温ガス発生装置にて発
生ずる低温ガスの温度を低下させる条件にすると自動的
に低温乾燥ガス（製品）の露点を低くすることができる
。■ [Operations and Effects of the Present Invention] The manufacturing method and device of the present invention effectively reuse the high-temperature dry gas generated by the low-temperature gas generator and released into the atmosphere as the purge gas for the moisture-proof gas separation membrane module. , without the use of special purge gases, at low temperatures (−
60~5°C) and high dry conditions (dew point temperature knee 5~-6)
0'C) can be easily produced. Furthermore, if conditions are set to lower the temperature of the low-temperature gas generated by the low-temperature gas generator, the dew point of the low-temperature drying gas (product) can be automatically lowered.
第１図は、この発明の低温乾燥ガスの製法に使用する装
置の一例を概略示すフロー図である。
１：コンプレッサー、２：クーラー、３：ガス分離膜モ
ジュール、４：低温ガス発生装置。
特許出願人 宇部興産株式会社FIG. 1 is a flow diagram schematically showing an example of an apparatus used in the method for producing low-temperature drying gas of the present invention. 1: Compressor, 2: Cooler, 3: Gas separation membrane module, 4: Low temperature gas generator. Patent applicant: Ube Industries, Ltd.
Claims (2)
ュールへ供給して水分を除去した後、得られた乾燥未透
過ガスを超高速旋回流による低温ガス発生装置へ供給し
、該低温ガス発生装置の一端から低温乾燥ガスを抜き出
すと共に、高温の乾燥ガスを他端から取り出して前記除
湿用ガス分離膜モジュールの透過側のパージガスとして
使用することを特徴とする低温乾燥ガスの製法。(1) After supplying the compressed gas containing moisture to a dehumidifying gas separation membrane module to remove moisture, the resulting dry unpermeated gas is supplied to a low-temperature gas generator using ultra-high-speed swirl flow, and the low-temperature gas is A method for producing low-temperature dry gas, characterized in that low-temperature dry gas is extracted from one end of a generator, and high-temperature dry gas is extracted from the other end and used as a purge gas on the permeation side of the dehumidifying gas separation membrane module.
乾燥未透過ガスの取出し口、及び、パージガスの供給口
を有するケーシング内にガス分離膜エレメントを内蔵し
ている除湿用ガス分離膜モジュール、並びに、圧縮ガス
の旋回供給口、低温乾燥ガスの抜き出し口、及び、高温
乾燥ガスの取出し口を有する超高速旋回流方式の低温ガ
ス発生装置からなり、 前記ガス分離膜モジュールの乾燥未透過ガスの取出し口
と前記低温ガス発生装置の圧縮ガスの旋回供給口とが連
結されており、そして、低温ガス発生装置の高温乾燥ガ
スの取出し口とガス分離膜モジュールのパージガスの供
給口とが連結されていることを特徴とする低温乾燥ガス
の製造装置。(2) Water-containing compressed gas supply port, permeated gas discharge port,
A dehumidifying gas separation membrane module in which a gas separation membrane element is built into a casing that has a dry unpermeated gas outlet and a purge gas supply port, as well as a compressed gas swirl supply port and a low-temperature dry gas outlet. , and an ultra-high-speed swirling flow type low-temperature gas generator having a high-temperature dry gas outlet, the dry unpermeated gas outlet of the gas separation membrane module and the compressed gas swirl supply port of the low-temperature gas generator. 1. A low-temperature dry gas production device, characterized in that the high-temperature dry gas take-out port of the low-temperature gas generator and the purge gas supply port of the gas separation membrane module are connected.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2239109A JPH088973B2 (en) | 1990-09-11 | 1990-09-11 | Low-temperature dry gas manufacturing method and apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2239109A JPH088973B2 (en) | 1990-09-11 | 1990-09-11 | Low-temperature dry gas manufacturing method and apparatus |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04122414A true JPH04122414A (en) | 1992-04-22 |
| JPH088973B2 JPH088973B2 (en) | 1996-01-31 |
Family
ID=17039937
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2239109A Expired - Fee Related JPH088973B2 (en) | 1990-09-11 | 1990-09-11 | Low-temperature dry gas manufacturing method and apparatus |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH088973B2 (en) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0595626U (en) * | 1992-05-27 | 1993-12-27 | エスエムシー株式会社 | Dehumidifier |
| WO1997007874A1 (en) * | 1995-08-22 | 1997-03-06 | Undersea Breathing Systems, Inc. | Oxygen enriched air generation system |
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| US9592171B2 (en) | 2011-08-25 | 2017-03-14 | Undersea Breathing Systems, Inc. | Hyperbaric chamber system and related methods |
-
1990
- 1990-09-11 JP JP2239109A patent/JPH088973B2/en not_active Expired - Fee Related
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| US9592171B2 (en) | 2011-08-25 | 2017-03-14 | Undersea Breathing Systems, Inc. | Hyperbaric chamber system and related methods |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH088973B2 (en) | 1996-01-31 |
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