JPH0238953A - Surface defect inspection device - Google Patents
Surface defect inspection deviceInfo
- Publication number
- JPH0238953A JPH0238953A JP18989988A JP18989988A JPH0238953A JP H0238953 A JPH0238953 A JP H0238953A JP 18989988 A JP18989988 A JP 18989988A JP 18989988 A JP18989988 A JP 18989988A JP H0238953 A JPH0238953 A JP H0238953A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- defect
- surface defect
- camera
- computer
- width direction
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 230000007547 defect Effects 0.000 title claims abstract description 129
- 238000007689 inspection Methods 0.000 title claims abstract description 26
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 19
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 14
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims description 2
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 abstract description 33
- 239000010959 steel Substances 0.000 abstract description 33
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 9
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 description 7
- 238000000034 method Methods 0.000 description 6
- 238000005096 rolling process Methods 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 238000011179 visual inspection Methods 0.000 description 3
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 230000000284 resting effect Effects 0.000 description 1
- 230000000007 visual effect Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Abstract
Description
【産業上の利用分野1
この発明は圧延鋼板等の移動する被検材の表面欠陥を効
率良く、且つ、高精度で検査することができるようにし
た表面欠陥検査装置の改良に関する。
【従来の技術】
圧延ラインの鋼板等の、移送中の被検材の表面欠陥の検
査は、従来、オペレータによる目視検査、レーザー光等
を被検材表匍に照射して、その反射を利用して欠陥を検
査する方法、例えば、特開昭53−12383、特開昭
54−118289、特公昭58−14984等の各号
報に開示されているように、カメラとストロボにより被
検材の表面の静止画像を捕らえ、これから欠陥検査を行
う方法等がある。INDUSTRIAL APPLICATION FIELD 1 This invention relates to an improvement in a surface defect inspection device that can efficiently and accurately inspect surface defects on a moving test material such as a rolled steel plate. [Prior Art] Inspection of surface defects on materials to be inspected during transportation, such as steel plates on a rolling line, has conventionally been carried out by visual inspection by an operator, by irradiating the surface of the material to be inspected with laser light, etc., and using the reflection. For example, as disclosed in Japanese Patent Application Laid-open Nos. 53-12383, 118289-1980, and 14984-1984, a method of inspecting the material to be inspected for defects using a camera and strobe is disclosed. There are methods such as capturing a still image of the surface and performing defect inspection based on it.
【発明が解決しようとする課題]
上記目視検査は、被検材のラインスピードが一定値以上
となると見逃しが増加し、未検査の状態に近くなるとい
う問題点がある。
又、レーザー光等の反射を利用した欠陥検査装置は、被
検材の表面欠陥の種類によっては、必ずしも目視検査と
比較して優れた合致率を示すものではなく、ある程度の
誤判定を許容しながら使用しなければならないという問
題点がある。
又、前記カメラとストロボを利用した表面欠陥検査方法
は、これのみでは被検材の表面における欠陥の有無が不
明であるため、被検材の全長又は全幅に渡って検査した
り、表面欠陥がある部分のみを抽出して表面欠陥検′査
を行うことができないという問題点がある。
〔発明の目的]
この発明は上記従来の問題点に鑑みてなされたものであ
って、移動する鋼板等の被検材の表面欠陥を高速で、且
つ高精度に検査することができるようにした表面欠陥検
査装置を提供することを目的とする。
(課題を解決するための手段]
この発明は、移動する被検材の表面に光線を照射し、そ
の反射状態に基づき該被検材の表面欠陥を検出する検出
器と、この検出器により得られた表面欠陥検出信号に基
づき、該表面欠陥の種類、グレード及び被検材幅方向の
位置を計算するための計算機と、この計11i機から出
力される表面欠陥の種類及びグレード信号に基づいて、
撮影が必要な欠陥に光を照射する投光器及びその照射タ
イミングで該欠陥を撮影するカメラと、前記計算機から
の、前記表面欠陥の被検材幅方向の位置信号に基づき、
前記投光器及びカメラを該位置に移動させる移動装置と
、により表面欠陥検査装置を構成することによって上記
目的を達成するものである。
【作用】
この発明においては、先ず、被検材の表面欠陥を検出器
によって検出し、その検出信号に基づいて計算機により
表面欠陥の種類及びグレードを1次判定し、然る後、撮
影が必要な表面欠陥のみ投光器及びカメラを対応する表
面欠陥の被検材幅方向位置にまで移動させて該欠陥を撮
影し静止画像を得て、この静止画像に基づき、検査員が
2次判定を行う。[Problems to be Solved by the Invention] The above-mentioned visual inspection has a problem in that when the line speed of the material to be inspected exceeds a certain value, the number of missed inspections increases and the inspection becomes close to an uninspected state. Additionally, defect inspection equipment that uses reflection of laser light, etc. does not necessarily show a superior match rate compared to visual inspection, depending on the type of surface defect on the material being inspected, and may allow a certain degree of misjudgment. There is a problem in that it has to be used while In addition, with the surface defect inspection method using a camera and a strobe, it is unclear whether there are defects on the surface of the material to be inspected. There is a problem in that it is not possible to extract only a certain part and perform a surface defect inspection. [Purpose of the Invention] This invention has been made in view of the above-mentioned conventional problems, and has made it possible to inspect surface defects of moving steel plates and other materials to be inspected at high speed and with high precision. The purpose of the present invention is to provide a surface defect inspection device. (Means for Solving the Problems) The present invention provides a detector that irradiates the surface of a moving test material with a light beam and detects surface defects of the test material based on the state of reflection, and a detector that detects surface defects of the test material based on the state of reflection of the light beam. A calculator for calculating the type, grade, and position of the surface defect in the width direction of the specimen based on the detected surface defect detection signal, and a computer for calculating the type and grade of the surface defect output from the 11i machine ,
Based on a floodlight that irradiates light onto a defect that needs to be photographed, a camera that photographs the defect at the timing of the irradiation, and a position signal of the surface defect in the width direction of the material to be inspected from the computer,
The above object is achieved by configuring a surface defect inspection apparatus by the projector and a moving device for moving the camera to the position. [Operation] In this invention, first, the surface defect of the material to be inspected is detected by a detector, and the type and grade of the surface defect is first determined by a computer based on the detection signal, and then photography is required. For surface defects only, the projector and camera are moved to the position of the corresponding surface defect in the width direction of the material to be inspected, and the defect is photographed to obtain a still image, and based on this still image, the inspector makes a secondary judgment.
以下本発明の実施例を図面を参照して説明する。
この実施例は、第1図に示されるように、圧延ラインに
おける鋼板1oの表面にレーザー又は光を照射し、その
反射光を受光する投受光器を含み、前記反射光に基づい
て鋼板10の表面欠陥を検出する検出器12と、この検
出器12により得られた表面欠陥検出信号をハード的に
処理するための欠陥検出回路14と、この欠陥検出回路
14からの信号を取込み、ソフト的に処理し、表面欠陥
の種類及びグレードの判定を行うと共に表面欠陥の鋼板
10幅方向位置を計算する計算閤16と、この計![1
6から出力される表面欠陥の種類及び、グレード信号に
基づいて、撮影が必要な欠陥に光を照射するストロボ1
8及びその照射タイミングで該欠陥を撮影するカメラ2
0、前記計算機16から、該欠陥の鋼板10の幅方向位
置信号に基づき、前記ストロボ18及びカメラ20を幅
方向に移動させる移動装置21、及び、これらをi!1
lJtl]する糾弾回路22を含む欠陥検査装置24と
を含んで構成されている。
この欠陥検査装W124には、他に、画像処理回路26
、画像入出力回路28、タイミング!11御回路18A
及び2OAと、モニタ30とキーボード32が含まれて
いる。
前記移動装置21は、第2図に示されるように、前記ス
トロボ18及びカメラ20を載置する台車37と、この
台車37に取付けられたモータ38と、このモータ38
の出力軸に取付けられたごニオン40と、このビニオ′
ン40に噛み合うように、鋼板10の幅方向且つ水平方
向に配置固定されたラック42と、前記ビニオン40の
回転数に対応してパルス信号を出力するパルスジェネレ
ータ44とから構成されている。
即ち、移動装置21は、モータ38によりごニオン40
が回転することによって、ラック42に沿って、鋼板1
0の幅方向に、台車37が移動し、ストロボ18及びカ
メラ20を、鋼板10の幅方向に駆動するもの−である
。
前記計算機16には該計算8116で判定された表面欠
陥の情報を表示するためのCRT16A及びこのCRT
l 6Aに表示された表面欠陥の情報に対して欠陥検査
装置24で検査するか否かを検査員が入力するためのキ
ーボード16Bとが接続されている。
更に、計算1116には、パルス発生器34から出力さ
れるパルス信号が入力されるようになつ、ている。
このパルス発生器34は、鋼板10に対してスリップが
発生しないように転接するロール36に連結され、該ロ
ール36の回転数に対応してパルス信号を出力するもの
である。
館記欠陥検査装!24にみける#JI11回路22は、
計算1116から入力される表面欠陥情報及び、計$1
8116が、パルス発生器34からのパルス信号に基づ
いて、検出器12へ検出された表面欠陥のトラッキング
により、該表面欠陥がストロボ18及びカメラ20の位
置に到達したというタイミング信号に基づいて、タイミ
ング制御回路18A、2OAを介してストロボ18及び
カメラ20を作動させるものである。又、ill ’f
a回路22は、計算機16から入力される表面欠陥の鋼
板10幅方向の位置信号に基づいて、前記移動装置21
を、カメラ20による鋼板10幅方向の撮影ポイントま
で移動させるものである。
前記画像入出力回路28は、カメラ20によって得られ
た鋼板10表面欠陥の画像情報を取込むものである。
又画像処理回路26は、画像入出力回路2已に取込まれ
た画像信号に基づき、欠陥判定等の画像処理を行うと共
に、モニタ30に欠陥画像を静止画像として表示させる
ものである。
前記キーボード32は、モニタ30に表示された欠陥画
像により、表面欠陥のpIMグレード等の2次判定がな
された後、その判定結果を、検査貴により画像処理回路
26、制御回路22を経て計算機16に入力させるもの
である。
次に上記実施例に係る表面欠陥検査装置により鋼板10
の表面欠陥を検査する過程につき説明する。
鋼板10が、圧延ラインにおいて第1図の左方に移動し
ている間、検、吊器12はその表面にレーザー又は光を
投光し、且つ、その反射光を受光器により受光して、反
射状態から、鋼板10の表面にある欠陥を検出し、欠陥
検出回路14を経て計1i1116に表面欠陥情報を出
力する。
計算機16は、欠陥検出回路14からの信号を処理し、
検出した表面欠陥の種類及びグレードの判定(1次判定
)を行うと共に、該表面欠陥の鋼板10幅方向位置を計
算する。
ここで、計算機16からの表面欠陥の鋼板幅方向位置は
、第2図に示されるように、鋼板10の幅方向一端、例
えばオペレータ11I端縁10Pから1001m単位で
該欠陥の幅方向位置を算出する。
即ち、オペレータ側の端縁から100(i−1>n〜1
00(i)nの範囲に表面欠陥が発生している場合は、
該表面欠陥の幅方向位置をi番目として、その位置信号
を出力する。
一方、計算様16は、パルス発生器34で入力されるパ
ルス信号に基づき、検出器12が検出した表面欠陥が、
検出点Xoから、カメラ20の撮影ポイント)(aに到
達するまでの距離Xの間トラッキングし、カメラ20、
ストロボ18のタイミング合わせ時間を考慮して該表面
欠陥が前記撮影ポイントxaの少し前に到達した時点で
、欠陥検査装置24における制御回路22にタイミング
信号を出力する。
ここで、計算機16で1次判定された表面欠陥の情報は
、CRT16Aに表示され、CRT16Aに表示された
表面欠陥情報に対して検査員が予めキーボード16Bに
より設定しである条件に基づき計算機16から制御回路
22に送られる。
制御回路22は、計算機16から入力される、表面欠陥
の鋼板10幅方向の位置信号に基づき、移動装置21を
駆動して、ストロボ18及びカメラ20を、表面欠陥の
幅゛方向位1に対応して撮影ポイントを設定する。
計算機16から制御回路22に出力される表面欠陥の幅
方向位置信号は、前述の如く、i番目の信号である。従
って、制御回路22は、該i番目の位置信号に基づいて
、台車37を移動させるものであるが、この台車37の
移動層は、ビニオン40の回転数を検出するパルスジェ
ネレータ44からのパルス信号をフィードバックさせる
ことによりストロボ18及びカメラ20は所定の幅方向
位置にセットされることになる。
更に、1lilJl[回路22は、計算機16から入力
されるタイミング信号に基づき、当該表面欠陥がカメラ
20の撮影ポイントXaに到達した時点で、タイミング
制御回路18A、2OAを介して、ストロボ18を発光
させ、同時に、カメラ20により、鋼板10の表面欠陥
を撮影させる。
ここで、前記検出器12による検出点Xaから撮影ポイ
ントxaまでの距mxがあまりに短いと、台車37が制
御回路2゛2からの指令により、所定の幅方向位置に移
動する前に、対応する表面欠陥が撮影ポイントXaを通
過してしまうこともあるので、鋼板10のラインスピー
ド、台車37の移動速度及び移動距離、前記距llI×
を調整することにより、表面欠陥が撮影ポイント)(a
に到達する前に、台1[37が所定の幅方向位置に移動
するように、予め設定しておく。
カメラ20で1I21影された鋼板10の表面欠陥情報
は、画像として画像入出力回路28に取込まれ、この画
像入出力回路28に取込まれた画像は画像処理回路26
で欠陥判定等の画像処理が行われ、更にモニタ30に表
面欠陥が静止画像として表示される。
このようにして、モニタ30に静止画像として表示され
た表面欠陥画像′は、検査員により表面欠陥の種類、グ
レード等の2次判定を受ける。
検査員はその2次判定の結果を、キーボード32から正
確な表面欠陥情報として、再度計算機16に入力する。
この入力された表面欠陥情報は、事前に計算機16で1
次判定された表面欠陥情報とを突合わせがなされる。
前記計算機16の1次判定結果は、例えば第3図に示さ
れるように、CRTl 6Aに表示される。
即ち、第3図のマトリックスは、縦軸に欠陥グレード、
横軸に欠陥種層を表示するもので、マトリックス中のY
ES、Noは、計算1fi16からカメラ20及びスト
ロボ18を利用した欠陥検査装置24に対して検出した
欠陥を出力する(YES)か否(No)かを表示するも
のである。
第3図の表示例では、計算1116による判定が、点状
欠陥イ、欠陥グレードが01とされ、マトリックスに従
い欠陥情報は出力される(YES)こととなる。
ここで、前記マトリックス内のYES又はNOの判定は
、検査員による目視の判定結果と一致するように設定す
る。
例えばマトリックス内を全てYESと設定すると、検出
器12によって検出された全ての表面欠陥の情報が制御
回路22に送られて、カメラ20によって撮影され、モ
ニタ30に表示される。逆にマトリックス内を全てNo
と設定すれば、全ての欠陥情報が送られないので、カメ
ラ20によって撮影されることはない。
ここで、上記実施例において、第3図に示されるマトリ
ックスにおける欠陥グレードの例として、軽欠陥から重
大欠陥を、A−、−Eの順序で表示するようにしたが、
一般的に、重大欠陥は検出器12、欠陥検出回路14の
検出に基づき、計算機16の1次判定でほぼ検出するこ
とができ、該計算機16の判定も比較的正確である。
従って外観基準が比較的緩い場合このような重大欠陥の
場合は、通常検査員による2次判定の頻度を少なくする
ことができる。
しかしながら、外観基準が厳しい場合微少欠陥等の、第
3図のマトリックスにおいてはグレードA、8の軽欠陥
の場合、製品の品質保証上必ず判定を要するものであり
、計算機16による1次判定結果は参考として、最終的
に検査員の2次判定が必要となる。
従って、このような場合は、第3図のマトリックスのよ
うに、CRT16Aを設定しておけば、計算機16によ
る1次判定に曖昧さを多く含んだ欠陥について欠陥画像
を撮影し、検査員による2次判定結果を最終判定とした
検査を行うことができる。
又この実施例においては、モニタ30に表示された欠陥
画像に基づ(、検査員の2次判定結果が、キーボード3
2から制御回路22を経て計算機16に送られるので、
これと1次判定結果を突合わせることにより、オンライ
ンで学習することにより1次判定結果の向上を図ること
ができる。
なお、上記実施例において、移動装置21における台車
37は鋼板10のオペレータ側端縁10Pを基準として
幅方向に移動するようにされているが、これは、反対側
の下ライブa端m1ooを基準にするようにしてもよく
、更に、鋼板10の幅方向のセンタラインを基準とすれ
ば、台車37の移動距離は最大で、板幅の半分で済むこ
とになる。
又、上記実施例において、台車37の鋼板幅方向位置を
検出するために、パルスジェネレータ44を利用してい
るが、これは、例えば、フォトセンサを台車37に取付
け、該フォトセンサにより鋼板10の一方の側端縁を検
出した後にカウントを開始し、検出器12によって検出
された欠陥の幅方向発生位置に移動するようにしてもよ
い。
又、上記実施例において、台車37はラック42のみを
ガイドとしているが、これは、ラック42の上下にリニ
ヤガイドを設け、このリニヤガイドに泊って台車37を
移動させるようにすると、台1r37の幅方向移動の確
実性を増大させることができる。
更に、上記実施例において、ストロボ18及びカメラ2
0は、ラックアンドごニオン機構で駆動される台*37
に載置されることによって鋼板10の幅方向に移動可能
とされているが、本発明はこれに限定されるものでなく
、移動機構21は、ストロボ18及びカメラ20を鋼板
10の幅方向に移動できるものであればよい。
従って、例えば、チェーン及びスブaケットホイール機
構、直線移動リンク機構、スイングアーム機構、エアシ
リンダ機構等の他の移動手段であってもよい。
又、上記実施例は圧延ラインにおける鋼f10の表面欠
陥を検査する場合についてのものであるが、本発明はこ
れに限定されるものでなく、鋼板以外の移動する被検材
の表面における表面欠陥を検査する場合につき一般的に
適用されるものである。Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. As shown in FIG. 1, this embodiment includes a light emitter/receiver that irradiates the surface of a steel plate 1o in a rolling line with a laser or light and receives the reflected light. A detector 12 for detecting surface defects, a defect detection circuit 14 for processing the surface defect detection signal obtained by this detector 12 in a hardware manner, and a signal from the defect detection circuit 14 is taken in and processed in a software manner. A calculation tool 16 that processes the surface defects, determines the type and grade of the surface defects, and calculates the position of the surface defects in the width direction of the steel plate 10, and this total! [1
A strobe 1 that irradiates light to defects that need to be photographed based on the type of surface defect and grade signal output from 6.
8 and a camera 2 that photographs the defect at the irradiation timing.
0, a moving device 21 that moves the strobe 18 and camera 20 in the width direction based on a width direction position signal of the defective steel plate 10 from the computer 16, and an i! 1
1Jtl] and a defect inspection device 24 including a denunciation circuit 22 that performs the following. The defect inspection device W124 also includes an image processing circuit 26.
, image input/output circuit 28, timing! 11 control circuit 18A
and 2OA, a monitor 30 and a keyboard 32. As shown in FIG. 2, the moving device 21 includes a truck 37 on which the strobe 18 and camera 20 are placed, a motor 38 attached to the truck 37, and a motor 38.
The pinion 40 attached to the output shaft of
It is comprised of a rack 42 arranged and fixed in the width direction and horizontal direction of the steel plate 10 so as to mesh with the pinion 40, and a pulse generator 44 that outputs a pulse signal in accordance with the rotation speed of the binion 40. That is, the moving device 21 moves the moving unit 40 by the motor 38.
The steel plate 1 is rotated along the rack 42.
The trolley 37 moves in the width direction of the steel plate 10, and drives the strobe 18 and camera 20 in the width direction of the steel plate 10. The computer 16 includes a CRT 16A for displaying information on surface defects determined in the calculation 8116, and this CRT.
A keyboard 16B is connected to the keyboard 16B for the inspector to input whether or not the surface defect information displayed on the screen 16A should be inspected by the defect inspection device 24. Further, the calculation 1116 is configured to receive a pulse signal output from the pulse generator 34 as an input. This pulse generator 34 is connected to a roll 36 that rolls into contact with the steel plate 10 so as not to cause slip, and outputs a pulse signal in accordance with the rotational speed of the roll 36. Museum defect inspection system! The #JI11 circuit 22 seen in 24 is
Surface defect information input from calculation 1116 and total amount of $1
8116 determines the timing based on the timing signal that the detected surface defect has reached the strobe 18 and camera 20 position by tracking the detected surface defect to the detector 12 based on the pulse signal from the pulse generator 34. The strobe 18 and camera 20 are operated via the control circuits 18A and 2OA. Also, ill'f
The a circuit 22 moves the moving device 21 based on the position signal of the surface defect in the width direction of the steel plate 10 inputted from the computer 16.
is moved to a photographing point in the width direction of the steel plate 10 by the camera 20. The image input/output circuit 28 takes in image information of surface defects on the steel plate 10 obtained by the camera 20. Further, the image processing circuit 26 performs image processing such as defect determination based on the image signal taken in by the image input/output circuit 2, and displays the defective image on the monitor 30 as a still image. The keyboard 32 performs a secondary judgment such as the pIM grade of the surface defect based on the defect image displayed on the monitor 30, and then transmits the judgment result to the computer 16 by the inspector via the image processing circuit 26 and the control circuit 22. This is what you have to input. Next, the steel plate 10 is inspected by the surface defect inspection apparatus according to the above embodiment.
The process of inspecting for surface defects will be explained. While the steel plate 10 is moving to the left in FIG. 1 on the rolling line, the inspection hanger 12 projects a laser or light onto its surface, and receives the reflected light with a light receiver. Defects on the surface of the steel plate 10 are detected from the reflected state, and surface defect information is outputted to the total 1i 1116 via the defect detection circuit 14. The computer 16 processes the signal from the defect detection circuit 14,
The type and grade of the detected surface defect is determined (first determination), and the position of the surface defect in the width direction of the steel plate 10 is calculated. Here, as shown in FIG. 2, the position of the surface defect in the steel plate width direction from the calculator 16 is calculated in units of 1001 m from one end of the steel plate 10 in the width direction, for example, the edge 10P of the operator 11I. do. That is, 100 (i-1>n~1
If surface defects occur in the range of 00(i)n,
The widthwise position of the surface defect is set as the i-th position, and a position signal thereof is output. On the other hand, in the calculation method 16, the surface defect detected by the detector 12 is calculated based on the pulse signal inputted by the pulse generator 34.
From the detection point Xo to the shooting point of the camera 20) (tracking for a distance
Taking into consideration the timing adjustment time of the strobe 18, a timing signal is output to the control circuit 22 in the defect inspection device 24 when the surface defect arrives a little before the photographing point xa. Here, the surface defect information that has been primarily determined by the computer 16 is displayed on the CRT 16A, and is sent from the computer 16 based on the conditions set in advance by the inspector using the keyboard 16B for the surface defect information displayed on the CRT 16A. The signal is sent to the control circuit 22. The control circuit 22 drives the moving device 21 based on the position signal of the surface defect in the width direction of the steel plate 10 inputted from the computer 16, and moves the strobe 18 and the camera 20 to correspond to the width direction 1 of the surface defect. to set the shooting point. As described above, the width direction position signal of the surface defect outputted from the computer 16 to the control circuit 22 is the i-th signal. Therefore, the control circuit 22 moves the truck 37 based on the i-th position signal, and the moving layer of the truck 37 receives a pulse signal from the pulse generator 44 that detects the rotation speed of the binion 40. By feeding back the strobe 18 and camera 20, the strobe 18 and camera 20 are set at predetermined positions in the width direction. Furthermore, based on the timing signal input from the computer 16, the circuit 22 causes the strobe 18 to emit light via the timing control circuits 18A and 2OA when the surface defect reaches the photographing point Xa of the camera 20. At the same time, the surface defects of the steel plate 10 are photographed by the camera 20. Here, if the distance mx from the detection point Xa by the detector 12 to the photographing point xa is too short, the corresponding Since surface defects may pass through the photographing point Xa, the line speed of the steel plate 10, the moving speed and moving distance of the trolley 37, and the distance llI×
By adjusting the surface defects, the photographing point) (a
The table 1 [37 is set in advance so that it moves to a predetermined position in the width direction before reaching the position. The surface defect information of the steel plate 10 that is shadowed by the camera 20 is taken in as an image into the image input/output circuit 28, and the image taken into this image input/output circuit 28 is transferred to the image processing circuit 26.
Image processing such as defect determination is performed at , and the surface defect is further displayed as a still image on the monitor 30 . In this way, the surface defect image 'displayed as a still image on the monitor 30 is subjected to secondary determination of the type, grade, etc. of the surface defect by the inspector. The inspector inputs the result of the secondary determination into the computer 16 again from the keyboard 32 as accurate surface defect information. This input surface defect information is processed in advance by the computer 16.
Next, a comparison is made with the determined surface defect information. The primary determination result of the computer 16 is displayed on the CRTl 6A, as shown in FIG. 3, for example. In other words, the matrix in Figure 3 has the defect grade on the vertical axis,
The defect seed layer is displayed on the horizontal axis, and Y in the matrix
ES and No indicate whether the detected defect is outputted from the calculation 1fi16 to the defect inspection device 24 using the camera 20 and the strobe 18 (YES) or not (No). In the display example of FIG. 3, the determination made by the calculation 1116 is that the point defect is I, the defect grade is 01, and the defect information is output according to the matrix (YES). Here, the YES or NO determination in the matrix is set to match the visual determination result by the inspector. For example, if everything in the matrix is set to YES, information on all surface defects detected by the detector 12 is sent to the control circuit 22, photographed by the camera 20, and displayed on the monitor 30. Conversely, all numbers in the matrix are No.
If this is set, all defect information will not be sent and will not be photographed by the camera 20. Here, in the above embodiment, as an example of defect grades in the matrix shown in FIG. 3, minor defects to major defects are displayed in the order of A- and -E.
In general, major defects can be almost detected by the primary judgment of the computer 16 based on the detection of the detector 12 and the defect detection circuit 14, and the judgment of the computer 16 is also relatively accurate. Therefore, in the case of such a serious defect where appearance standards are relatively lenient, it is possible to reduce the frequency of secondary judgment by ordinary inspectors. However, in the case of strict appearance standards, such as minute defects, grade A and 8 minor defects in the matrix of FIG. As a reference, a secondary judgment by the inspector is ultimately required. Therefore, in such a case, if the CRT 16A is set up as shown in the matrix in FIG. 3, defect images will be taken for defects that have a lot of ambiguity in the primary judgment made by the computer 16, and the second judgment will be made by the inspector. An inspection can be performed with the next determination result as the final determination. Furthermore, in this embodiment, the inspector's secondary judgment result is displayed on the keyboard 3 based on the defect image displayed on the monitor 30.
2 to the computer 16 via the control circuit 22,
By comparing this with the primary determination result, it is possible to improve the primary determination result through online learning. In the above embodiment, the cart 37 in the moving device 21 is moved in the width direction with the operator side edge 10P of the steel plate 10 as a reference, but this is based on the lower live end a end m1oo on the opposite side. Furthermore, if the center line in the width direction of the steel plate 10 is used as a reference, the moving distance of the cart 37 is at most half the width of the plate. Further, in the embodiment described above, the pulse generator 44 is used to detect the position of the steel plate 10 in the width direction of the cart 37. For example, a photo sensor is attached to the cart 37, and the photo sensor detects the position of the steel plate 10. It is also possible to start counting after detecting one side edge and move to the position where the defect detected by the detector 12 occurs in the width direction. Further, in the above embodiment, the cart 37 uses only the rack 42 as a guide, but if linear guides are provided above and below the rack 42 and the cart 37 is moved by resting on these linear guides, the movement of the cart 1r37 will be improved. The reliability of movement in the width direction can be increased. Furthermore, in the above embodiment, the strobe 18 and the camera 2
0 is a stand driven by a rack and unit mechanism *37
However, the present invention is not limited to this, and the moving mechanism 21 moves the strobe 18 and camera 20 in the width direction of the steel plate 10. Anything that can be moved is fine. Therefore, other moving means may be used, such as, for example, a chain and bracket wheel mechanism, a linear moving link mechanism, a swing arm mechanism, an air cylinder mechanism, etc. Further, although the above embodiment is for inspecting the surface defects of steel f10 in a rolling line, the present invention is not limited to this, and the present invention is not limited to this, and the present invention is not limited to this. It is generally applied when inspecting.
本発明は上記のように構成したので、計算機からの欠陥
情報出力時のみ投光器及びカメラにより表面欠陥の画像
を撮影し、検査員がこの画像を検査するだけで足りるの
で、能率の良い検査を行うことができ、又検査員は表面
欠陥を現す静止画像のみをチエツクするので、検査可能
なラインスピードの制限を解除することができ、更に、
2次判定で検査員による静止画像に基づ(正確な表面欠
陥検査を得られるのみならず、計算機による1次判定の
精度向上を図ることができると共に、被検材の全幅方向
に投光器及びカメラを配置する場合に比較して設備費の
低減を図ることができ、且つ、被検材の全幅方向を1台
のカメラで検査する場合よりも狭い視野で欠陥画像を得
ることができるので、分解能が向上し、欠陥判定をより
精密にすることができるという優れた効果を有する。Since the present invention is configured as described above, it is sufficient to take an image of a surface defect using a projector and a camera only when defect information is output from a computer, and the inspector inspects this image, thereby achieving efficient inspection. In addition, since inspectors only check still images showing surface defects, restrictions on the line speed that can be inspected can be lifted;
The secondary judgment is based on still images by the inspector (not only can accurate surface defect inspection be obtained, but also the accuracy of the primary judgment by computer can be improved, and a projector and camera are It is possible to reduce equipment costs compared to the case where a This has the excellent effect of improving the accuracy and making defect determination more precise.
第1図は本発明に係る表面欠陥検査装置の実施例を示す
ブロック図、第2図は同実施例における移動機構及び鋼
板との関係を示す斜視図、第3図は同実施例における計
算機の判定結果を示す線図である。
1o・・・鋼板、
14・・・欠陥検出回路、
16・・・計1i1機、
16B・・・キーボード、
2o・・・カメラ、
22・・・副部回路、
24・・・欠陥検出装置、
26・・・画像処理回路、
28・・・画像入出力回路、
30・・・モニタテレビ、
32・・・キーボード、
34・・・パルス発生器。Fig. 1 is a block diagram showing an embodiment of the surface defect inspection device according to the present invention, Fig. 2 is a perspective view showing the relationship between the moving mechanism and the steel plate in the embodiment, and Fig. 3 is a diagram of the computer in the embodiment. It is a line diagram showing a determination result. 1o... Steel plate, 14... Defect detection circuit, 16... Total 1i 1 machine, 16B... Keyboard, 2o... Camera, 22... Sub circuit, 24... Defect detection device, 26... Image processing circuit, 28... Image input/output circuit, 30... Monitor television, 32... Keyboard, 34... Pulse generator.
Claims (1)
状態に基づき該被検材の表面欠陥を検出する検出器と、
この検出器により得られた表面欠陥検出信号に基づき、
該表面欠陥の種類、グレード及び被検材幅方向の位置を
計算するための計算機と、この計算機から出力される表
面欠陥の種類及びグレード信号に基づいて、撮影が必要
な欠陥に光を照射する投光器及びその照射タイミングで
該欠陥を撮影するカメラと、前記計算機からの、前記表
面欠陥の被検材幅方向の位置信号に基づき、前記投光器
及びカメラを該位置に移動させる移動装置と、を有して
なる表面欠陥検査装置。(1) A detector that irradiates the surface of a moving test material with a light beam and detects surface defects of the test material based on the state of reflection;
Based on the surface defect detection signal obtained by this detector,
A calculator for calculating the type, grade, and position of the surface defect in the width direction of the material to be inspected, and irradiating light onto the defect that needs to be photographed based on the type and grade signal of the surface defect output from this computer. It has a projector and a camera that photographs the defect at the irradiation timing thereof, and a moving device that moves the projector and camera to the position based on a position signal of the surface defect in the width direction of the inspected material from the computer. Surface defect inspection equipment.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP63189899A JPH0690148B2 (en) | 1988-07-29 | 1988-07-29 | Surface defect inspection device |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP63189899A JPH0690148B2 (en) | 1988-07-29 | 1988-07-29 | Surface defect inspection device |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0238953A true JPH0238953A (en) | 1990-02-08 |
JPH0690148B2 JPH0690148B2 (en) | 1994-11-14 |
Family
ID=16249056
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP63189899A Expired - Fee Related JPH0690148B2 (en) | 1988-07-29 | 1988-07-29 | Surface defect inspection device |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0690148B2 (en) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100431445B1 (en) * | 1999-10-26 | 2004-05-14 | 주식회사 포스코 | Device for removing particle on deflect roll of rolling line |
JP2010256087A (en) * | 2009-04-22 | 2010-11-11 | Ccs Inc | Inspection system |
JP2011106815A (en) * | 2009-11-12 | 2011-06-02 | Arc Harima Kk | Surface inspection method and surface inspection system |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5384793A (en) * | 1976-12-29 | 1978-07-26 | Ishikawajima Harima Heavy Ind | Crack detecting method by television camera and apparatus for carrying out the method |
JPS5990035A (en) * | 1982-11-15 | 1984-05-24 | Kawasaki Steel Corp | Inspecting method of surface defect of running metallic strip |
JPS61245045A (en) * | 1985-04-23 | 1986-10-31 | Nisshin Steel Co Ltd | Automatic surface defect inspecting method for metallic band |
-
1988
- 1988-07-29 JP JP63189899A patent/JPH0690148B2/en not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5384793A (en) * | 1976-12-29 | 1978-07-26 | Ishikawajima Harima Heavy Ind | Crack detecting method by television camera and apparatus for carrying out the method |
JPS5990035A (en) * | 1982-11-15 | 1984-05-24 | Kawasaki Steel Corp | Inspecting method of surface defect of running metallic strip |
JPS61245045A (en) * | 1985-04-23 | 1986-10-31 | Nisshin Steel Co Ltd | Automatic surface defect inspecting method for metallic band |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100431445B1 (en) * | 1999-10-26 | 2004-05-14 | 주식회사 포스코 | Device for removing particle on deflect roll of rolling line |
JP2010256087A (en) * | 2009-04-22 | 2010-11-11 | Ccs Inc | Inspection system |
JP2011106815A (en) * | 2009-11-12 | 2011-06-02 | Arc Harima Kk | Surface inspection method and surface inspection system |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0690148B2 (en) | 1994-11-14 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2018017639A (en) | Surface defect inspection method and surface defect inspection device | |
US5369431A (en) | Verification and repair station of PCBS | |
JP4632564B2 (en) | Surface defect inspection equipment | |
KR20100003693A (en) | Defect inspection method and defect inspection apparatus | |
JP4618502B2 (en) | Fluorescence flaw detector and fluorescent flaw detection method | |
TWI391650B (en) | Substrate quality tester | |
JPH0238953A (en) | Surface defect inspection device | |
KR101657982B1 (en) | Apparatus for Investigating LED Package with X-ray | |
JP3211681B2 (en) | Painting defect inspection equipment | |
US5606410A (en) | Method for controlling the surface state of one face of a solid and the associated device | |
JP2001124538A (en) | Method and device for detecting defect in surface of object | |
JP3136678B2 (en) | Method and apparatus for inspecting size and shape of glass tube | |
JPH08292008A (en) | Flat display panel inspection/correction device | |
KR100833904B1 (en) | A method of detecting defection on the wafer and The device | |
KR20100026619A (en) | Glass inspection apparatus and inspection method thereof | |
JP7395950B2 (en) | Visual inspection equipment and visual inspection method | |
JPH0238957A (en) | Surface defect inspection device | |
JPH0238952A (en) | Surface defect inspection device | |
JPS618610A (en) | Apparatus for inspecting steel sheet surface | |
JPH0792106A (en) | Surface defect inspection system | |
JPH0821605B2 (en) | X-ray inspection device | |
KR100748108B1 (en) | apparatus and method for inspecting CRT panel | |
JPH01206203A (en) | Checking method of imperfection of film thickness | |
JP2002090306A (en) | Self-diagnostic method for surface inspection device | |
KR100228365B1 (en) | Painting defect detecting device |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |