JPH02311237A - 搬送装置 - Google Patents
搬送装置Info
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- JPH02311237A JPH02311237A JP13188189A JP13188189A JPH02311237A JP H02311237 A JPH02311237 A JP H02311237A JP 13188189 A JP13188189 A JP 13188189A JP 13188189 A JP13188189 A JP 13188189A JP H02311237 A JPH02311237 A JP H02311237A
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- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 9
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 5
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
この発明は、リンク機構を主要部とし物品用搬送台を移
動させる搬送装置であって、とくに簡単な構成によって
リンク機構の思案点を除去するようにした搬送装置に関
する。
動させる搬送装置であって、とくに簡単な構成によって
リンク機構の思案点を除去するようにした搬送装置に関
する。
従来例について以下に図面を参照しながら説明する。第
６図は従来例の平面図、第７図は同じくその側面図であ
る。 第６図で、同し有効長の各リンク３１Ａ、３２＾が一方
の端部同士で回転軸３３Ａによって回動可能に連結され
、一つのリンクの組を構成する。また、先程と同じ有効
長の各リンク３１Ｂ、３２Ｂが一方の端部同士で回動軸
３３Ｂにより回動可能に連結され、別のリンクの組を構
成する。各リンク３１八、３１Ｂ、３２八。 ３２Ｂの他方の端部には、それぞれ同じ径の各歯車３６
Ａ 、 ３６Ｂ、 ３８Ａ、 ３８Ｂが固着され、各歯
車３６八、３６Ｂ同士と各歯車３８Ａ、３８Ｂ同士が互
いに噛み合うように対称的に配置される。すなわち、各
歯車３６Ａ、３６Ｂはそれぞれ位置固定された駆動軸３
５１回転軸３４に固着され、各歯車３８Ａ、３８Ｂはそ
れぞれ各回動軸３７Ａ、３７Ｂに固着され、これらは移
動可能な搬送台４４によって回動可能に支承される。 第７図において、駆動軸３５２回動軸３４は、それぞれ
支持台４３に回動可能に支承され、とくに駆動軸３５は
モータ４５と直結している。したがって、モータ４５の
回動駆動によって、搬送台４４は、台６図に図示したの
より若干上方の位置、つまり各リンク３１Ａ、３１Ｂ、
３２Ａ、３２Ｂが伸びきった位置から、駆動軸３５１回
動軸３４のなす平面を越えて下方の対称な位置まで平行
移動する。二点鎖線は搬送台４４が駆動軸３５１回動軸
３４のなす平面を下方に若干越えたときを示している。 ここで、一方の各リンク３１Ａ、３２Ａ同士と他方の各
リンク３１Ｂ、３２Ｂ同士とが重なり合ったとき、言い
かえれば、搬送台４４が駆動軸３５１回動軸３４の真上
にきたときは、いわゆる思案点に位置し、駆動軸３５の
回動駆動によって搬送台４４は、図の上、下いずれの方
向にも移動しうる不確定な状態になる。 この思案点を除去して搬送台４４の移動を明確に限定な
いし特定させるために、次のような工夫がなされている
。 支持台４３にプーリ３９が、またリンク３２Ａ側に固着
される回動軸３３八にプーリ４０が、それぞれ固着され
、各プーリ３９．４０の間にベルト４１が巻掛けされる
。なお、プーリ４０はその直径がプーリ３９の直径の半
分である。したがって、リンク３１Ａの回動によって、
これと対称的に回動するようにリンク３２Ａは駆動モー
メントを受け、これが思案点を除去する作用を生じる。
６図は従来例の平面図、第７図は同じくその側面図であ
る。 第６図で、同し有効長の各リンク３１Ａ、３２＾が一方
の端部同士で回転軸３３Ａによって回動可能に連結され
、一つのリンクの組を構成する。また、先程と同じ有効
長の各リンク３１Ｂ、３２Ｂが一方の端部同士で回動軸
３３Ｂにより回動可能に連結され、別のリンクの組を構
成する。各リンク３１八、３１Ｂ、３２八。 ３２Ｂの他方の端部には、それぞれ同じ径の各歯車３６
Ａ 、 ３６Ｂ、 ３８Ａ、 ３８Ｂが固着され、各歯
車３６八、３６Ｂ同士と各歯車３８Ａ、３８Ｂ同士が互
いに噛み合うように対称的に配置される。すなわち、各
歯車３６Ａ、３６Ｂはそれぞれ位置固定された駆動軸３
５１回転軸３４に固着され、各歯車３８Ａ、３８Ｂはそ
れぞれ各回動軸３７Ａ、３７Ｂに固着され、これらは移
動可能な搬送台４４によって回動可能に支承される。 第７図において、駆動軸３５２回動軸３４は、それぞれ
支持台４３に回動可能に支承され、とくに駆動軸３５は
モータ４５と直結している。したがって、モータ４５の
回動駆動によって、搬送台４４は、台６図に図示したの
より若干上方の位置、つまり各リンク３１Ａ、３１Ｂ、
３２Ａ、３２Ｂが伸びきった位置から、駆動軸３５１回
動軸３４のなす平面を越えて下方の対称な位置まで平行
移動する。二点鎖線は搬送台４４が駆動軸３５１回動軸
３４のなす平面を下方に若干越えたときを示している。 ここで、一方の各リンク３１Ａ、３２Ａ同士と他方の各
リンク３１Ｂ、３２Ｂ同士とが重なり合ったとき、言い
かえれば、搬送台４４が駆動軸３５１回動軸３４の真上
にきたときは、いわゆる思案点に位置し、駆動軸３５の
回動駆動によって搬送台４４は、図の上、下いずれの方
向にも移動しうる不確定な状態になる。 この思案点を除去して搬送台４４の移動を明確に限定な
いし特定させるために、次のような工夫がなされている
。 支持台４３にプーリ３９が、またリンク３２Ａ側に固着
される回動軸３３八にプーリ４０が、それぞれ固着され
、各プーリ３９．４０の間にベルト４１が巻掛けされる
。なお、プーリ４０はその直径がプーリ３９の直径の半
分である。したがって、リンク３１Ａの回動によって、
これと対称的に回動するようにリンク３２Ａは駆動モー
メントを受け、これが思案点を除去する作用を生じる。
以上説明したように、従来の技術では、思案点を除去す
るために、各プーリ３９，４０とベルト４１を必要とし
、しかも狭いスペースに収容するために構造的に困難を
伴うとともに、スペースの増大が避けられない。ここで
、各プーリ３９，４０とベルト４１を用いる以外の動力
伝達方式も考え得るが、いずれにしても構造が複雑にな
るか、スペースが大きくなるかの問題点がある。 この発明の課題は、従来の技術がもつ以上の問題点を解
消し、簡単な構成によってリンク機構の思案点を除去す
るようにした搬送装置を提供することにある。
るために、各プーリ３９，４０とベルト４１を必要とし
、しかも狭いスペースに収容するために構造的に困難を
伴うとともに、スペースの増大が避けられない。ここで
、各プーリ３９，４０とベルト４１を用いる以外の動力
伝達方式も考え得るが、いずれにしても構造が複雑にな
るか、スペースが大きくなるかの問題点がある。 この発明の課題は、従来の技術がもつ以上の問題点を解
消し、簡単な構成によってリンク機構の思案点を除去す
るようにした搬送装置を提供することにある。
この課題を解決するために、第１の発明に係る搬送装置
は、 一方の端部同士で所定軸線のまわりに回動可能に連結さ
れる同一有効長の第１．第２の各リンクからなるリンク
の組の２組と； 前記所定軸線に平行な一対の各固定軸線のまわりに各々
回動可能で前記各第１リンクの他方の端部に固着されか
つ互いに噛み合う同径の歯車と；この各歯車と同径の別
の歯車が互いに噛み合うように固着される前記各第２リ
ンクの他方の端部を前記所定軸線に平行な別の一対の各
軸線のまわりに各々回転可能に支承する搬送台と； 前記各第２リンクの一方の端部の少なくともいずれかに
固着される、ばね部材かこれに対応する当接部材かのい
ずれか一方の部材と； これに対応して定置される他方の部材と；を備え、前記
各第１リンクのいずれか一方をその固定軸線のまわりに
回転駆動させて前記搬送台を前記各固定軸線のなす平面
の両側にわたり平行移動させるとともに、 前記所定軸線が前記第１．第２の各リンクの重なり合う
ときの位置を含む所定領域に位置するときにだけ、前記
のばね部材と当接部材との当接によって前記第２リンク
を前記所定軸線のまわりに前記所定領域に入る直前にお
けるのと同方向に補助的に回転駆動させる。 第２の発明に係る搬送装置は、 一方の端部同士で所定軸線のまわりに回動可能に連結さ
れる同一有効長の第１．第２の各リンクからなるリンク
の組の２組と； 前記所定軸線に平行な一対の各固定軸線のまわりに各々
回動可能で前記各第１リンクの他方の端部に固着されか
つ互いに噛み合う同径の歯車と；この各歯車と同径の別
の歯車が互いに噛み合うように固着される前記各第２リ
ンクの他方の端部を前記所定軸線に平行な別の一対の各
軸線のまわりに各々回転可能に支承する搬送台と； 前記各第２リンクの一方の端部の少なくともいずれかに
固着される、ばね部材かこれに対応する当接部材かのい
ずれか一方の部材と； これに対応して定置される他方の部材と；前記所定軸線
の、前記搬送台の移動方向に係る位置を検知する位置セ
ンサと； この位置センサによる、前記所定軸線が前記所定領域の
両側の各限界箇所に位置した旨の検知に基づいて前記固
定軸線のまわりの回転駆動の方向を前記所定軸線の前記
所定領域に入る直前と入った後とで逆転させないように
する制御部と；を備え、前記各第１リンクのいずれか一
方をその固定軸線のまわりに回転駆動させて前記搬送台
を前記各固定軸線のなす平面の両側にわたり平行移動さ
せるとともに、 前記所定軸線が前記第１．第２の各リンクの重なり合う
ときの位置を含む所定領域に位置するときにだけ、前記
のばね部材と当接部材との当接により って前記第２リンクを前記所定軸線のまわりに前記所定
領域に入る直前におけるのと同方向に補助的に回転駆動
させる。 第３の発明に係る搬送装置は、 第１．第２の各発明に係る搬送装置において、一対の固
定軸線が、これに平行な別の所定軸線のまわりに旋回可
能である。
は、 一方の端部同士で所定軸線のまわりに回動可能に連結さ
れる同一有効長の第１．第２の各リンクからなるリンク
の組の２組と； 前記所定軸線に平行な一対の各固定軸線のまわりに各々
回動可能で前記各第１リンクの他方の端部に固着されか
つ互いに噛み合う同径の歯車と；この各歯車と同径の別
の歯車が互いに噛み合うように固着される前記各第２リ
ンクの他方の端部を前記所定軸線に平行な別の一対の各
軸線のまわりに各々回転可能に支承する搬送台と； 前記各第２リンクの一方の端部の少なくともいずれかに
固着される、ばね部材かこれに対応する当接部材かのい
ずれか一方の部材と； これに対応して定置される他方の部材と；を備え、前記
各第１リンクのいずれか一方をその固定軸線のまわりに
回転駆動させて前記搬送台を前記各固定軸線のなす平面
の両側にわたり平行移動させるとともに、 前記所定軸線が前記第１．第２の各リンクの重なり合う
ときの位置を含む所定領域に位置するときにだけ、前記
のばね部材と当接部材との当接によって前記第２リンク
を前記所定軸線のまわりに前記所定領域に入る直前にお
けるのと同方向に補助的に回転駆動させる。 第２の発明に係る搬送装置は、 一方の端部同士で所定軸線のまわりに回動可能に連結さ
れる同一有効長の第１．第２の各リンクからなるリンク
の組の２組と； 前記所定軸線に平行な一対の各固定軸線のまわりに各々
回動可能で前記各第１リンクの他方の端部に固着されか
つ互いに噛み合う同径の歯車と；この各歯車と同径の別
の歯車が互いに噛み合うように固着される前記各第２リ
ンクの他方の端部を前記所定軸線に平行な別の一対の各
軸線のまわりに各々回転可能に支承する搬送台と； 前記各第２リンクの一方の端部の少なくともいずれかに
固着される、ばね部材かこれに対応する当接部材かのい
ずれか一方の部材と； これに対応して定置される他方の部材と；前記所定軸線
の、前記搬送台の移動方向に係る位置を検知する位置セ
ンサと； この位置センサによる、前記所定軸線が前記所定領域の
両側の各限界箇所に位置した旨の検知に基づいて前記固
定軸線のまわりの回転駆動の方向を前記所定軸線の前記
所定領域に入る直前と入った後とで逆転させないように
する制御部と；を備え、前記各第１リンクのいずれか一
方をその固定軸線のまわりに回転駆動させて前記搬送台
を前記各固定軸線のなす平面の両側にわたり平行移動さ
せるとともに、 前記所定軸線が前記第１．第２の各リンクの重なり合う
ときの位置を含む所定領域に位置するときにだけ、前記
のばね部材と当接部材との当接により って前記第２リンクを前記所定軸線のまわりに前記所定
領域に入る直前におけるのと同方向に補助的に回転駆動
させる。 第３の発明に係る搬送装置は、 第１．第２の各発明に係る搬送装置において、一対の固
定軸線が、これに平行な別の所定軸線のまわりに旋回可
能である。
第１発明に係る搬送装置では、各第１リンクのいずれか
一方がその固定軸線の屓わりに回転駆動され、搬送台が
各固定軸線のなす平面の両側にわたり平行移動する。所
定軸線が第１．第２の各リンクの重なり合うときの位置
を含む所定領域に位置するときにだけ、ばね部材と当接
部材との当接によって第２リンクが、所定軸線のまわり
に所定領域に入る直前におけるのと同方向に補助的に回
転駆動される。その結果、搬送台の移動動作上の思案点
が除去される。 第２発明に係る搬送装置では、第１発明に係る搬送装置
と同じ作用を生しるとともに、所定軸線が所定領域の両
側の各限界箇所に位置した旨の位置センサによる検知に
基づいて、固定軸線のまわりの回転駆動の方向が、所定
軸線の所定領域に入る直前と入った後とで逆転しないよ
うにされる。 その結果、搬送台の移動動作上の思案点が除去されると
ともに、この思案点の除去が確実に保証される。 第３発明に係る搬送装置では、第１．第２の各発明に係
る搬送装置での作用の外に、搬送台の移動範囲が３６０
度にわたり旋回的に拡大される。
一方がその固定軸線の屓わりに回転駆動され、搬送台が
各固定軸線のなす平面の両側にわたり平行移動する。所
定軸線が第１．第２の各リンクの重なり合うときの位置
を含む所定領域に位置するときにだけ、ばね部材と当接
部材との当接によって第２リンクが、所定軸線のまわり
に所定領域に入る直前におけるのと同方向に補助的に回
転駆動される。その結果、搬送台の移動動作上の思案点
が除去される。 第２発明に係る搬送装置では、第１発明に係る搬送装置
と同じ作用を生しるとともに、所定軸線が所定領域の両
側の各限界箇所に位置した旨の位置センサによる検知に
基づいて、固定軸線のまわりの回転駆動の方向が、所定
軸線の所定領域に入る直前と入った後とで逆転しないよ
うにされる。 その結果、搬送台の移動動作上の思案点が除去されると
ともに、この思案点の除去が確実に保証される。 第３発明に係る搬送装置では、第１．第２の各発明に係
る搬送装置での作用の外に、搬送台の移動範囲が３６０
度にわたり旋回的に拡大される。
第１の発明に係る一実施例について以下に図面を参照し
ながら説明する。第１図は一実施例の平面図、第２図は
一部を除いて同じくその側面図である。なお、第１図は
第２の発明に係る一実施例の平面図と共通であり、第２
図は第２発明に係る一実施例の側面図である。 第１図で、発明における第１．第２の各リンクとしての
同じ有効長の各リンクＩＡ、２Ａが一方の端部同士で回
動軸３Ａによって回動可能に連結され、一つのリンクの
組を構成する。また、先程と同じ有効長の各リンクＩＢ
、２Ｂが一方の端部同士で回動輪３Ｂにより回動可能に
連結され、別のリンクの組を構成する。各リンクＩ Ａ
、 Ｉ Ｂ、 ２Ａ、 ２Ｂの他方の端部には、それぞ
れ同じ径の各歯車６Ａ。 ６Ｂ、８＾、８Ｂが固着され、各歯車６＾、６Ｂ同士と
各歯車８Ａ、８Ｂ同士が互いに噛み合うように対称的に
配置される。すなわち、各歯車６Ａ、６Ｂはそれぞれ位
置固定された駆動軸５２回動軸４に固着され、各歯車８
Ａ、８Ｂはそれぞれ各回動軸７Ａ。 ７Ｂに固着され、これらは移動可能な搬送台１２によっ
て回動可能に支承される。 第２図において、駆動軸５２回動軸４は、それぞれ支持
台１１に回動可能に支承され、とくに駆動軸５はモータ
１４と直結している。なお、第１発明に係る一実施例で
は、第２図における各検知片１５゜１６、各位置センサ
１７．１８は除くものとする。したがって、モータ１４
の回動駆動によって、搬送台１２は、第１図に図示した
のより若干上方の位置、つまり各リンクＩＡ、 Ｉ Ｂ
、 ２Ａ、 ２Ｂが伸びきった位置から、駆動軸５１回
動軸４のなす平面を越えて下方の対称な位置まで平行移
動する。二点鎖線は搬送台１２が駆動軸５１回動軸４の
なす平面を下方に若干越えたときを示している。 ここで、一方の各リンクＬＡ、２Ａ同士と他方の各リン
クＩＢ、２Ｂ同士とが重なり合ったとき、言いかえれば
、搬送台１２が駆動軸５１回動軸４の真上にきたときは
、いわゆる思案点に位置し、駆動軸５の回動駆動によっ
て搬送台１２は、図の上、下いずれの方向にも移動しう
る不安定な状態になる。 この思案点を除去して搬送台１２の移動を明確に限定な
いし特定させるために、次のような工夫がなされないる
。 第１図において、各板バネ９Ａ、９Ｂが、それぞれ各リ
ンク２Ａ、２Ｂの各回動輪３Ａ、３Ｂ側の端部に固着さ
れる。各板バネ９Ａ、９Ｂに対応して発明における当接
部としての各ピンｌｏＡ： ＩＯＢが、詳しくは後述す
るように、それぞれ各回動軸３Ａ、３Ｂが思案点に位置
する箇所の左、右の各外方に定置される。なお、以下で
は一方の板バネ９Ａとピン１０Ａだけを用い、他方の板
バネ９ＢとピンＩＯＢは省略して説明するが、構成と作
用とは全く同様である。 この一実施例の作用は次のとおりである。第１図におい
て、リンクＩＡがモータ１４によって駆動軸５の軸線の
まわりに回転駆動され、搬送台１２が駆動軸５と回動軸
４との各軸線のなす平面の両側にわたり平行移動する。 回動軸３＾の軸線が各リンクＩＡ、２Ａの重なり合うと
きの位置を含む所定領域に位置するときにだけ、板バネ
９ＡとピンＩＯＡとの当接によってリンク２Ａが、回動
軸３Ａの軸線のまわりに所定領域に入る直前におけるの
と同方向に補助的に回転駆動される。その結果、搬送台
１２の移動動作上の思案点が除去される。 以上の思案点除去の作用について、第３図によってさら
に詳しく説明する。第３図は各動作段階における各リン
クの平面図で、同図（ａ）は、搬送台１２が図で下方に
移動するときの思案点に達する直前位置を示す。この位
置では、板バネ９Ａはピン１〇八に接する直前で、この
ときには、リンク２Ａには板バネ９八、ピンＩＯＡによ
る、回動軸３Ａのまわりの補助的な駆動モーメントがま
だ作用してない。 同図（ｂ）は、搬送台１２が思案点に達したときを示し
、この位置では、リンク２Ａには板バネ９へのピンＩＯ
Ａ との当接で生じる付勢力による、回動軸３へのまわ
りの時計方向の補助的な駆動モーメントが作用している
。 同図（Ｃ）は、搬送台１２が思案点を通過し、板バネ９
八がピンＩＯＡから外れた瞬間を示し、この位置では、
リンク２Ａには板バネ９八、ピンＩＯＡによる補助的な
駆動モーメントはもはや作用していない。 同図（ａ）から同図（Ｃ）までの回動軸３への軸線の移
動範囲が、発明における所定領域に相当する。所定領域
にあるときにリンク２Ａが受ける補助的な駆動モーメン
トの方向は、時計方向で、所定領域に入る直前における
のと同方向である。この補助゛ 的な駆動モーメント
によって、リンク２八は思案点近傍における、とり得る
位置に係る不確定状態が解消され、いわゆる思案点が除
去される。 ところが、思案点除去のためには、板バネ９ＡとピンＩ
ＯＡの組か、板バネ９ＢとぴンＩＯＢの組かの少なくと
もいずれかがあればよい。しかし、搬送台１２の移動の
円滑さのためには、片方の組だけによるより、両方の組
による力の平衡のとれた方が型車しい。 第４図は第１発明に係る別の実施例の平面図である。こ
の別の実施例では、各リンク２Ａ、２Ｂの側に各ピン２
０Ａ、２０Ｂがそれぞれ固着され、これに対応する各板
バネ１９Ａ、 １９Ｂが、第１発明に係る一実施例にお
ける各ピンＩＯＡ、 ＩＯＢに応じた位置・に定置され
る。この場合の作用は、先程の一実施例におけるのと同
様である。いずれの構成にするかは、設計上の問題に属
する。 第２発明に係る一実施例について第１図、第２図は参照
しながら説明する。第１図はこの実施例の平面図、第２
図は同じくその側面図である。 この一実施例が、構成面で第１発明に係る一実施例と異
なるのは、第２図に示すように、駆動軸５に各検知片１
５．１６が固着され、これらに対応して支持台１１側に
各位置センサ１７，１Ｂが設けられる点である。検知片
１５５位置センサ１７の組と、検知片１６１位置センサ
１８の組とが、回動軸３Ａの軸線が所定領域の両側の各
限界箇所に位置するのをそれぞれ検知する。 この一実施例の作用は、第１発明に係る一実施例におけ
るのと同様であること以外に、次のことがある。回動軸
３Ａの軸線は、所定領域の両側の各限界箇所に位置した
旨の、各検知片１５．１６と各位置センサ１７．１８と
による検知に基づいて、図示してない制御部により、駆
動軸５の軸線のまわりの回転駆動の方向、つまりモータ
１４の回転方向が、回動軸３Ａの軸線が所定領域に入る
直前と入った後とで逆転しないように制御される。言い
かえれば、各位置センサ１７．１８の検知信号は、モー
タ１４に対する逆転禁止信号になる。その結果、搬送第
１２の移動動作上の思案点が除去されるとともに、この
思案点の除去が確実に保証される。 第２発明に係る別の実施例が、第４図に示される。この
別の実施例では、既に説明した第１発明に係る別の実施
例におけると同様に、板バネ、ピンの設置箇所が逆にな
るだけであるから、説明を省略する。 第３の発明に係る実施例について第５図を参照しながら
説明する。第５図はこの実施例の側面図である。この実
施例は、既に説明した第２発明に係る一実施例（第２図
参照）を、所定軸線のまわりに回動可能な構成にしであ
る。第２図における支持台１１の代わりに支持台２１を
用い、この支持台２１をモータ２４の出力軸に直結して
、その軸線のまわりに回動可能にする。この回動軸線は
、駆動軸５と回動軸４との各軸線に平行で、かつその中
央に位置する。したがって、搬送台１２は所定方向だけ
の往復直進から、これが３６０度に旋回される広い範囲
にわたる移動に拡大される。
ながら説明する。第１図は一実施例の平面図、第２図は
一部を除いて同じくその側面図である。なお、第１図は
第２の発明に係る一実施例の平面図と共通であり、第２
図は第２発明に係る一実施例の側面図である。 第１図で、発明における第１．第２の各リンクとしての
同じ有効長の各リンクＩＡ、２Ａが一方の端部同士で回
動軸３Ａによって回動可能に連結され、一つのリンクの
組を構成する。また、先程と同じ有効長の各リンクＩＢ
、２Ｂが一方の端部同士で回動輪３Ｂにより回動可能に
連結され、別のリンクの組を構成する。各リンクＩ Ａ
、 Ｉ Ｂ、 ２Ａ、 ２Ｂの他方の端部には、それぞ
れ同じ径の各歯車６Ａ。 ６Ｂ、８＾、８Ｂが固着され、各歯車６＾、６Ｂ同士と
各歯車８Ａ、８Ｂ同士が互いに噛み合うように対称的に
配置される。すなわち、各歯車６Ａ、６Ｂはそれぞれ位
置固定された駆動軸５２回動軸４に固着され、各歯車８
Ａ、８Ｂはそれぞれ各回動軸７Ａ。 ７Ｂに固着され、これらは移動可能な搬送台１２によっ
て回動可能に支承される。 第２図において、駆動軸５２回動軸４は、それぞれ支持
台１１に回動可能に支承され、とくに駆動軸５はモータ
１４と直結している。なお、第１発明に係る一実施例で
は、第２図における各検知片１５゜１６、各位置センサ
１７．１８は除くものとする。したがって、モータ１４
の回動駆動によって、搬送台１２は、第１図に図示した
のより若干上方の位置、つまり各リンクＩＡ、 Ｉ Ｂ
、 ２Ａ、 ２Ｂが伸びきった位置から、駆動軸５１回
動軸４のなす平面を越えて下方の対称な位置まで平行移
動する。二点鎖線は搬送台１２が駆動軸５１回動軸４の
なす平面を下方に若干越えたときを示している。 ここで、一方の各リンクＬＡ、２Ａ同士と他方の各リン
クＩＢ、２Ｂ同士とが重なり合ったとき、言いかえれば
、搬送台１２が駆動軸５１回動軸４の真上にきたときは
、いわゆる思案点に位置し、駆動軸５の回動駆動によっ
て搬送台１２は、図の上、下いずれの方向にも移動しう
る不安定な状態になる。 この思案点を除去して搬送台１２の移動を明確に限定な
いし特定させるために、次のような工夫がなされないる
。 第１図において、各板バネ９Ａ、９Ｂが、それぞれ各リ
ンク２Ａ、２Ｂの各回動輪３Ａ、３Ｂ側の端部に固着さ
れる。各板バネ９Ａ、９Ｂに対応して発明における当接
部としての各ピンｌｏＡ： ＩＯＢが、詳しくは後述す
るように、それぞれ各回動軸３Ａ、３Ｂが思案点に位置
する箇所の左、右の各外方に定置される。なお、以下で
は一方の板バネ９Ａとピン１０Ａだけを用い、他方の板
バネ９ＢとピンＩＯＢは省略して説明するが、構成と作
用とは全く同様である。 この一実施例の作用は次のとおりである。第１図におい
て、リンクＩＡがモータ１４によって駆動軸５の軸線の
まわりに回転駆動され、搬送台１２が駆動軸５と回動軸
４との各軸線のなす平面の両側にわたり平行移動する。 回動軸３＾の軸線が各リンクＩＡ、２Ａの重なり合うと
きの位置を含む所定領域に位置するときにだけ、板バネ
９ＡとピンＩＯＡとの当接によってリンク２Ａが、回動
軸３Ａの軸線のまわりに所定領域に入る直前におけるの
と同方向に補助的に回転駆動される。その結果、搬送台
１２の移動動作上の思案点が除去される。 以上の思案点除去の作用について、第３図によってさら
に詳しく説明する。第３図は各動作段階における各リン
クの平面図で、同図（ａ）は、搬送台１２が図で下方に
移動するときの思案点に達する直前位置を示す。この位
置では、板バネ９Ａはピン１〇八に接する直前で、この
ときには、リンク２Ａには板バネ９八、ピンＩＯＡによ
る、回動軸３Ａのまわりの補助的な駆動モーメントがま
だ作用してない。 同図（ｂ）は、搬送台１２が思案点に達したときを示し
、この位置では、リンク２Ａには板バネ９へのピンＩＯ
Ａ との当接で生じる付勢力による、回動軸３へのまわ
りの時計方向の補助的な駆動モーメントが作用している
。 同図（Ｃ）は、搬送台１２が思案点を通過し、板バネ９
八がピンＩＯＡから外れた瞬間を示し、この位置では、
リンク２Ａには板バネ９八、ピンＩＯＡによる補助的な
駆動モーメントはもはや作用していない。 同図（ａ）から同図（Ｃ）までの回動軸３への軸線の移
動範囲が、発明における所定領域に相当する。所定領域
にあるときにリンク２Ａが受ける補助的な駆動モーメン
トの方向は、時計方向で、所定領域に入る直前における
のと同方向である。この補助゛ 的な駆動モーメント
によって、リンク２八は思案点近傍における、とり得る
位置に係る不確定状態が解消され、いわゆる思案点が除
去される。 ところが、思案点除去のためには、板バネ９ＡとピンＩ
ＯＡの組か、板バネ９ＢとぴンＩＯＢの組かの少なくと
もいずれかがあればよい。しかし、搬送台１２の移動の
円滑さのためには、片方の組だけによるより、両方の組
による力の平衡のとれた方が型車しい。 第４図は第１発明に係る別の実施例の平面図である。こ
の別の実施例では、各リンク２Ａ、２Ｂの側に各ピン２
０Ａ、２０Ｂがそれぞれ固着され、これに対応する各板
バネ１９Ａ、 １９Ｂが、第１発明に係る一実施例にお
ける各ピンＩＯＡ、 ＩＯＢに応じた位置・に定置され
る。この場合の作用は、先程の一実施例におけるのと同
様である。いずれの構成にするかは、設計上の問題に属
する。 第２発明に係る一実施例について第１図、第２図は参照
しながら説明する。第１図はこの実施例の平面図、第２
図は同じくその側面図である。 この一実施例が、構成面で第１発明に係る一実施例と異
なるのは、第２図に示すように、駆動軸５に各検知片１
５．１６が固着され、これらに対応して支持台１１側に
各位置センサ１７，１Ｂが設けられる点である。検知片
１５５位置センサ１７の組と、検知片１６１位置センサ
１８の組とが、回動軸３Ａの軸線が所定領域の両側の各
限界箇所に位置するのをそれぞれ検知する。 この一実施例の作用は、第１発明に係る一実施例におけ
るのと同様であること以外に、次のことがある。回動軸
３Ａの軸線は、所定領域の両側の各限界箇所に位置した
旨の、各検知片１５．１６と各位置センサ１７．１８と
による検知に基づいて、図示してない制御部により、駆
動軸５の軸線のまわりの回転駆動の方向、つまりモータ
１４の回転方向が、回動軸３Ａの軸線が所定領域に入る
直前と入った後とで逆転しないように制御される。言い
かえれば、各位置センサ１７．１８の検知信号は、モー
タ１４に対する逆転禁止信号になる。その結果、搬送第
１２の移動動作上の思案点が除去されるとともに、この
思案点の除去が確実に保証される。 第２発明に係る別の実施例が、第４図に示される。この
別の実施例では、既に説明した第１発明に係る別の実施
例におけると同様に、板バネ、ピンの設置箇所が逆にな
るだけであるから、説明を省略する。 第３の発明に係る実施例について第５図を参照しながら
説明する。第５図はこの実施例の側面図である。この実
施例は、既に説明した第２発明に係る一実施例（第２図
参照）を、所定軸線のまわりに回動可能な構成にしであ
る。第２図における支持台１１の代わりに支持台２１を
用い、この支持台２１をモータ２４の出力軸に直結して
、その軸線のまわりに回動可能にする。この回動軸線は
、駆動軸５と回動軸４との各軸線に平行で、かつその中
央に位置する。したがって、搬送台１２は所定方向だけ
の往復直進から、これが３６０度に旋回される広い範囲
にわたる移動に拡大される。
したがって、この発明によれば、従来の技術に比べ次の
ようなすぐれた効果がある。 （１）全ての発明に共通に、構造が簡単であるから、実
施のしやすさ、動作の信転性向上、およびコスト低減が
図れる。 （２）同様に、各連結部が一部を除き全て回転対偶であ
るから、その部分での塵埃の発生が極めて低い水準に抑
えられる。 （３）第２発明によれば、思案点除去が確実に保証され
、搬送台の移動動作の信頼性をさらに向上させることが
できる。 （４）第３発明によれば、簡単な構造の変更で搬送台の
移動範囲が３６０度にわたり旋回的に拡大するから、比
較的少ないコスト増分で物品搬送領域が拡大し搬送の柔
軟性が増大する。
ようなすぐれた効果がある。 （１）全ての発明に共通に、構造が簡単であるから、実
施のしやすさ、動作の信転性向上、およびコスト低減が
図れる。 （２）同様に、各連結部が一部を除き全て回転対偶であ
るから、その部分での塵埃の発生が極めて低い水準に抑
えられる。 （３）第２発明によれば、思案点除去が確実に保証され
、搬送台の移動動作の信頼性をさらに向上させることが
できる。 （４）第３発明によれば、簡単な構造の変更で搬送台の
移動範囲が３６０度にわたり旋回的に拡大するから、比
較的少ないコスト増分で物品搬送領域が拡大し搬送の柔
軟性が増大する。
第１図は第１．第２の各発明に係る一実施例に共通な平
面図、 第２図は第２発明に係る一実施例の側面図、第３図は第
１．第２の各発明に係る一実施例に共通な動作説明図で
、同図（ａ）、 （ｂ）、 （Ｃ）は各動作段階におけ
る平面図、 第４図は第１．第２の各発明に係る別の実施例に共通な
平面図、 第５図は第３の発明に係る実施例の側面図、第６図は従
来例の平面図、 第７図は同じくその側面図である。 符号説明 ＩＡ、ＩＢ、２Ｂ、２Ｂ ：アーム、３Ａ、３Ｂ、４
．ＩＡ、ＩＢ ：回動軸、５：駆動軸、６八、６Ｂ、
７Ａ、７Ｂ ：歯車、９Ａ、９Ｂ、１９Ａ、１９Ｂ
：板ハネ、１０Ａ、 ＩＯＢ、 ２０＾、２０Ｂ
：ピン、１１．１２ ：支持台、１２：搬送台、１４
．２４ ：モータ、＝２【
面図、 第２図は第２発明に係る一実施例の側面図、第３図は第
１．第２の各発明に係る一実施例に共通な動作説明図で
、同図（ａ）、 （ｂ）、 （Ｃ）は各動作段階におけ
る平面図、 第４図は第１．第２の各発明に係る別の実施例に共通な
平面図、 第５図は第３の発明に係る実施例の側面図、第６図は従
来例の平面図、 第７図は同じくその側面図である。 符号説明 ＩＡ、ＩＢ、２Ｂ、２Ｂ ：アーム、３Ａ、３Ｂ、４
．ＩＡ、ＩＢ ：回動軸、５：駆動軸、６八、６Ｂ、
７Ａ、７Ｂ ：歯車、９Ａ、９Ｂ、１９Ａ、１９Ｂ
：板ハネ、１０Ａ、 ＩＯＢ、 ２０＾、２０Ｂ
：ピン、１１．１２ ：支持台、１２：搬送台、１４
．２４ ：モータ、＝２【
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １）一方の端部同士で所定軸線のまわりに回動可能に連
結される同一有効長の第１、第２の各リンクからなるリ
ンクの組の２組と；前記所定軸線に平行な一対の各固定
軸線のまわりにそれぞれ回動可能で前記各第１リンクの
他方の端部に固着されかつ互いに噛み合う同径の歯車と
；この各歯車と同径の別の歯車が互いに噛み合うように
固着される前記各第２リンクの他方の端部を前記所定軸
線に平行な別の一対の各軸線のまわりにそれぞれ回転可
能に支承する搬送台と；前記各第２リンクの一方の端部
の少なくともいずれかに固着される、ばね部材かこれに
対応する当接部材かのいずれか一方の部材と；これに対
応して定置される他方の部材と；を備え、前記各第１リ
ンクのいずれか一方をその固定軸線のまわりに回転駆動
させて前記搬送台を前記各固定軸線のなす平面の両側に
わたり平行移動させるとともに、前記所定軸線が前記第
１、第２の各リンクの重なり合うときの位置を含む所定
領域に位置するときにだけ、前記のばね部材と当接部材
との当接によって前記第２リンクを前記所定軸線のまわ
りに前記所定領域に入る直前におけるのと同方向に補助
的に回転駆動させるようにしたことを特徴とする搬送装
置。 ２）一方の端部同士で所定軸線のまわりに回動可能に連
結される同一有効長の第１、第２の各リンクからなるリ
ンクの組の２組と；前記所定軸線に平行な一対の各固定
軸線のまわりにそれぞれ回動可能で前記各第１リンクの
他方の端部に固着されかつ互いに噛み合う同径の歯車と
；この各歯車と同径の別の歯車が互いに噛み合うように
固着される前記各第２リンクの他方の端部を前記所定軸
線に平行な別の一対の各軸線のまわりにそれぞれ回転可
能に支承する搬送台と；前記各第２リンクの一方の端部
の少なくともいずれかに固着される、ばね部材かこれに
対応する当接部材かのいずれか一方の部材と；これに対
応して定置される他方の部材と；前記所定軸線の、前記
搬送台の移動方向に係る位置を検知する位置センサと；
この位置センサによる、前記所定軸線が前記所定領域の
両側の各限界箇所に位置した旨の検知に基づいて前記固
定軸線のまわりの回転駆動の方向を前記所定軸線の前記
所定領域に入る直前と入った後とで逆転させないように
する制御部と；を備え、前記各第１リンクのいずれか一
方をその固定軸線のまわりに回転駆動させて前記搬送台
を前記各固定軸線のなす平面の両側にわたり平行移動さ
せるとともに、前記所定軸線が前記第１、第２の各リン
クの重なり合うときの位置を含む所定領域に位置すると
きにだけ、前記のばね部材と当接部材との当接によって
前記第２リンクを前記所定軸線のまわりに前記所定領域
に入る直前におけるのと同方向に補助的に回転駆動させ
るようにしたことを特徴とする搬送装置。 ３）特許請求の範囲第１項または第２項記載の装置にお
いて、一対の固定軸線は、これに平行な別の所定軸線の
まわりに旋回可能であることを特徴とする搬送装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13188189A JPH02311237A (ja) | 1989-05-25 | 1989-05-25 | 搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13188189A JPH02311237A (ja) | 1989-05-25 | 1989-05-25 | 搬送装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02311237A true JPH02311237A (ja) | 1990-12-26 |
Family
ID=15068329
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13188189A Pending JPH02311237A (ja) | 1989-05-25 | 1989-05-25 | 搬送装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02311237A (ja) |
Cited By (15)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5195866A (en) * | 1990-11-29 | 1993-03-23 | Tokyo Electron Limited | Conveying apparatus |
| US6464448B1 (en) * | 1998-09-01 | 2002-10-15 | Brooks Automation, Inc. | Substrate transport apparatus |
| JP2008119772A (ja) * | 2006-11-09 | 2008-05-29 | Ihi Corp | フロッグレッグアームロボット及びその制御方法 |
| WO2010073668A1 (ja) | 2008-12-26 | 2010-07-01 | 株式会社ニコン | モータ装置、装置及び回転子の駆動方法 |
| WO2012111812A1 (ja) * | 2011-02-18 | 2012-08-23 | 株式会社ニコン | 軸受、モータ装置及びロボット装置 |
| US8441171B2 (en) | 2010-03-31 | 2013-05-14 | Nikon Corporation | Motor device, method of manufacturing motor device, and robot device |
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| US8796905B2 (en) | 2010-03-31 | 2014-08-05 | Nikon Corporation | Motor device, method of manufacturing motor device, and robot device |
| US9341954B2 (en) | 2007-10-24 | 2016-05-17 | Nikon Corporation | Optical unit, illumination optical apparatus, exposure apparatus, and device manufacturing method |
| US9423698B2 (en) | 2003-10-28 | 2016-08-23 | Nikon Corporation | Illumination optical apparatus and projection exposure apparatus |
| US9678332B2 (en) | 2007-11-06 | 2017-06-13 | Nikon Corporation | Illumination apparatus, illumination method, exposure apparatus, and device manufacturing method |
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| US9885872B2 (en) | 2003-11-20 | 2018-02-06 | Nikon Corporation | Illumination optical apparatus, exposure apparatus, and exposure method with optical integrator and polarization member that changes polarization state of light |
| US9891539B2 (en) | 2005-05-12 | 2018-02-13 | Nikon Corporation | Projection optical system, exposure apparatus, and exposure method |
| US10101666B2 (en) | 2007-10-12 | 2018-10-16 | Nikon Corporation | Illumination optical apparatus, exposure apparatus, and device manufacturing method |
-
1989
- 1989-05-25 JP JP13188189A patent/JPH02311237A/ja active Pending
Cited By (25)
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| US9885872B2 (en) | 2003-11-20 | 2018-02-06 | Nikon Corporation | Illumination optical apparatus, exposure apparatus, and exposure method with optical integrator and polarization member that changes polarization state of light |
| US10281632B2 (en) | 2003-11-20 | 2019-05-07 | Nikon Corporation | Illumination optical apparatus, exposure apparatus, and exposure method with optical member with optical rotatory power to rotate linear polarization direction |
| US20130271945A1 (en) | 2004-02-06 | 2013-10-17 | Nikon Corporation | Polarization-modulating element, illumination optical apparatus, exposure apparatus, and exposure method |
| US10241417B2 (en) | 2004-02-06 | 2019-03-26 | Nikon Corporation | Polarization-modulating element, illumination optical apparatus, exposure apparatus, and exposure method |
| US10234770B2 (en) | 2004-02-06 | 2019-03-19 | Nikon Corporation | Polarization-modulating element, illumination optical apparatus, exposure apparatus, and exposure method |
| US10007194B2 (en) | 2004-02-06 | 2018-06-26 | Nikon Corporation | Polarization-modulating element, illumination optical apparatus, exposure apparatus, and exposure method |
| US9891539B2 (en) | 2005-05-12 | 2018-02-13 | Nikon Corporation | Projection optical system, exposure apparatus, and exposure method |
| JP4760675B2 (ja) * | 2006-11-09 | 2011-08-31 | 株式会社Ｉｈｉ | フロッグレッグアームロボット及びその制御方法 |
| JP2008119772A (ja) * | 2006-11-09 | 2008-05-29 | Ihi Corp | フロッグレッグアームロボット及びその制御方法 |
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| WO2010073668A1 (ja) | 2008-12-26 | 2010-07-01 | 株式会社ニコン | モータ装置、装置及び回転子の駆動方法 |
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