JPH02239651A - 半導体装置およびその実装方法 - Google Patents
半導体装置およびその実装方法Info
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- JPH02239651A JPH02239651A JP1060436A JP6043689A JPH02239651A JP H02239651 A JPH02239651 A JP H02239651A JP 1060436 A JP1060436 A JP 1060436A JP 6043689 A JP6043689 A JP 6043689A JP H02239651 A JPH02239651 A JP H02239651A
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- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims abstract description 101
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 12
- 238000004904 shortening Methods 0.000 abstract description 2
- 230000006870 function Effects 0.000 description 7
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 6
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 6
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 6
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 5
- 238000004806 packaging method and process Methods 0.000 description 5
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 description 4
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 3
- 239000006071 cream Substances 0.000 description 3
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 3
- 238000003780 insertion Methods 0.000 description 3
- 230000037431 insertion Effects 0.000 description 3
- 239000007767 bonding agent Substances 0.000 description 2
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 description 2
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 2
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 description 2
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 2
- 230000008054 signal transmission Effects 0.000 description 2
- 238000005476 soldering Methods 0.000 description 2
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 1
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 1
- 238000011982 device technology Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 238000007639 printing Methods 0.000 description 1
- 230000002250 progressing effect Effects 0.000 description 1
- 210000002784 stomach Anatomy 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/42—Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/47—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
- H01L2224/48—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
- H01L2224/481—Disposition
- H01L2224/48151—Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
- H01L2224/48221—Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
- H01L2224/48245—Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being metallic
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/42—Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/47—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
- H01L2224/48—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
- H01L2224/481—Disposition
- H01L2224/48151—Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
- H01L2224/48221—Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
- H01L2224/48245—Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being metallic
- H01L2224/48247—Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being metallic connecting the wire to a bond pad of the item
-
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- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
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- H01L2924/181—Encapsulation
- H01L2924/1815—Shape
Landscapes
- Lead Frames For Integrated Circuits (AREA)
- Structures Or Materials For Encapsulating Or Coating Semiconductor Devices Or Solid State Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、半導体装置技術に関し、特に、半導体チップ
を収容するパッケージ構造技術に関するものである。
を収容するパッケージ構造技術に関するものである。
近年、電子装置の小形化、高機能化の観点から、配線基
板上に実装されるLSIパッケージの高密度実装化が進
められている。そして、LSIパッケージの高密度実装
化に伴い、LSIパッケージには、LSIチップを外部
環境から保謹したり、LSIチップのハンドリングを可
能にしたりするという基本的な機能の他に高密度実装化
のための様々な機能が要求されている。
板上に実装されるLSIパッケージの高密度実装化が進
められている。そして、LSIパッケージの高密度実装
化に伴い、LSIパッケージには、LSIチップを外部
環境から保謹したり、LSIチップのハンドリングを可
能にしたりするという基本的な機能の他に高密度実装化
のための様々な機能が要求されている。
LSIパッケージ構造については、日経マグロウヒル社
発行、「日経エレクトロニクス別冊Nα2.マイクロデ
バイセズ、1984年6月l1日」P129〜168に
記載があり、DIPに代表されるビン挿入形のパッケー
ジやQFPやSOJに代表される面実装形のパッケージ
について、それらの構造やそれらを構成するパフケージ
材料等、様々な角度から多様化するパッケージ構造につ
いて説明されている。
発行、「日経エレクトロニクス別冊Nα2.マイクロデ
バイセズ、1984年6月l1日」P129〜168に
記載があり、DIPに代表されるビン挿入形のパッケー
ジやQFPやSOJに代表される面実装形のパッケージ
について、それらの構造やそれらを構成するパフケージ
材料等、様々な角度から多様化するパッケージ構造につ
いて説明されている。
ところで、従来、このようなLSIパッケージを配線基
板上に実装するには、片面、両面いずれの実装方式でも
、複数のLSIパッケージを配線基板の平面上、水平方
向に実装していた。
板上に実装するには、片面、両面いずれの実装方式でも
、複数のLSIパッケージを配線基板の平面上、水平方
向に実装していた。
ところが、複数のLSIパッケージを配線基板の平面上
、水平方向に実装する従来の技術においては、実装が水
平方向に展開されるため、LSIパッケージの大面積化
、配線基板に構成される回路機能の拡張、あるいは記憶
容量の増加に伴って、配線基板の面積も大面積化しなけ
ればならなかった。
、水平方向に実装する従来の技術においては、実装が水
平方向に展開されるため、LSIパッケージの大面積化
、配線基板に構成される回路機能の拡張、あるいは記憶
容量の増加に伴って、配線基板の面積も大面積化しなけ
ればならなかった。
また、配線基板上に回路が構成された後、その配線基板
の回路機能を拡張したり、あるいはメモリ製品であれば
記憶容量を増加させたりすることはできなかった。した
がって、例えばメモリ製品の場合、記憶容量を増加させ
るには、複数の配線基板を用意しなければならず、配線
基板を組み込む電子装置も大形化していた。
の回路機能を拡張したり、あるいはメモリ製品であれば
記憶容量を増加させたりすることはできなかった。した
がって、例えばメモリ製品の場合、記憶容量を増加させ
るには、複数の配線基板を用意しなければならず、配線
基板を組み込む電子装置も大形化していた。
本発明は上記課題に着目してなされたものであり、その
目的は、LSIパッケージの実装密度を向上させること
のできる技術を提供することにある。
目的は、LSIパッケージの実装密度を向上させること
のできる技術を提供することにある。
本発明の前記ならびにその他の目的と新規な特徴は、明
細書の記述および添付図面から明らかになるであろう。
細書の記述および添付図面から明らかになるであろう。
本願において開示される発明のうち、代表的なものの概
要を簡単に説明すれば、以下のとおりである。
要を簡単に説明すれば、以下のとおりである。
すなわち、半導体チップを収容するパッケージの一面に
凸部を形成し、かつ他面に凹部を形成するとともに、前
記凸部、および凹部の形成されたパッケージ面に前記半
導体チップと導通ずる外部端子を配匿することによって
、一のパッケージの前記凸部と、他のパッケージの前記
凹部とを嵌め合わせ、これらパッケージの同一信号、お
よび同一電源電圧用の外部端子同士を導通させるパッケ
ージ構造を備える半導体装匿である。
凸部を形成し、かつ他面に凹部を形成するとともに、前
記凸部、および凹部の形成されたパッケージ面に前記半
導体チップと導通ずる外部端子を配匿することによって
、一のパッケージの前記凸部と、他のパッケージの前記
凹部とを嵌め合わせ、これらパッケージの同一信号、お
よび同一電源電圧用の外部端子同士を導通させるパッケ
ージ構造を備える半導体装匿である。
また、半導体装置を配線基板上に複数実装する際、前記
一のパッケージの凸部と他のパッケージの凹部とを嵌合
することによって、これらパッケージを備える半導体装
置同士を着脱自在に接合する半導体装置の実装方法であ
る。
一のパッケージの凸部と他のパッケージの凹部とを嵌合
することによって、これらパッケージを備える半導体装
置同士を着脱自在に接合する半導体装置の実装方法であ
る。
さらに、半導体装置を配線基板上に複数実装する際、前
記パッケージ同士を嵌合することによって、これらパッ
ケージを備える半導体装置を配線基板の実装面に対して
垂直な方向に積み重ねる半導体装置の実装方法である。
記パッケージ同士を嵌合することによって、これらパッ
ケージを備える半導体装置を配線基板の実装面に対して
垂直な方向に積み重ねる半導体装置の実装方法である。
上記した第1の手段によれば、複数の半導体装置を、各
半導体装置を構成するパッケージ同士が密着した状態で
導通させることができるため、半導体装置間の間隔が短
くなり、実装密度を向上させることが可能となる。
半導体装置を構成するパッケージ同士が密着した状態で
導通させることができるため、半導体装置間の間隔が短
くなり、実装密度を向上させることが可能となる。
第2の手段によれば、半導体装置の着脱が可能になるた
め、故障した半導体装置のみを取り替えたり、半導体装
置の着脱により回路機能や記憶容量等を適宜変えたりす
ることが可能となる。
め、故障した半導体装置のみを取り替えたり、半導体装
置の着脱により回路機能や記憶容量等を適宜変えたりす
ることが可能となる。
第3の手段によれば、半導体装置の実装が、配線基板の
実装面に対して水平方向に展開されるのみならず、実装
面に対して垂直な方向にも展開されるため、従来と同じ
実装面積であっても従来よりも実装数を増加させること
が可能である。
実装面に対して水平方向に展開されるのみならず、実装
面に対して垂直な方向にも展開されるため、従来と同じ
実装面積であっても従来よりも実装数を増加させること
が可能である。
〔実施例1〕
第1図は本発明の一実施例である半導体装置のパフケー
ジ外観を示す斜視図、第2図は第1図の■一■線断面図
、第3図はこの半導体装置を複数積み重ねた状態を示す
断面図、第4図はこの半導体装置を配線基板上に実装し
た状態を示す斜視図、第5図は配線基板上における半導
体装置の積み重ね状態を示す斜視図である。
ジ外観を示す斜視図、第2図は第1図の■一■線断面図
、第3図はこの半導体装置を複数積み重ねた状態を示す
断面図、第4図はこの半導体装置を配線基板上に実装し
た状態を示す斜視図、第5図は配線基板上における半導
体装置の積み重ね状態を示す斜視図である。
まず、本実施例lの半導体装置の構造を第1図〜第3図
により説明する。
により説明する。
本実施例1の半導体装置1aは、第1図に示すように、
パッケージ2aの上面の中央部に、例えば四角柱状の凸
部3aが形成され、かつ第2r!!Jに示すように、パ
ッケージ2aの裏面に凹部4aが形成された樹脂モール
ド型のパッケージ構造となっている。
パッケージ2aの上面の中央部に、例えば四角柱状の凸
部3aが形成され、かつ第2r!!Jに示すように、パ
ッケージ2aの裏面に凹部4aが形成された樹脂モール
ド型のパッケージ構造となっている。
凸13aの形成されたパッケージ2aの上面には、42
アロイ等からなる複数の外部リード(外郎端子>53が
パッケージ2aの周辺方向に沿って並設されている。そ
して、これら外部リード5aは、パッケージ2aの側面
に沿って垂直に折曲し、さらに凹部4aの形成されたパ
ッケージ2aの裏面にJ字状に回り込み、その先端がパ
ッケージ2aの裏面に形成された溝部6aに保持されて
いる。
アロイ等からなる複数の外部リード(外郎端子>53が
パッケージ2aの周辺方向に沿って並設されている。そ
して、これら外部リード5aは、パッケージ2aの側面
に沿って垂直に折曲し、さらに凹部4aの形成されたパ
ッケージ2aの裏面にJ字状に回り込み、その先端がパ
ッケージ2aの裏面に形成された溝部6aに保持されて
いる。
一方、第2図に示すように、外部リード5aと一体成型
されてなる内部リード7は、パッケージ2aの内部に埋
設されており、その一端は、金、あるいは銅等からなる
ボンディングワイヤ8を介して所定の集積回路が構成さ
れた半導体チップ9の図示しないボンディングパッドと
電気的に接続されている。この半導体チップ9は、例え
ばエポヰシ樹脂からなる接合剤10により、421ロイ
等からなるグイパッドll上に接合されている。
されてなる内部リード7は、パッケージ2aの内部に埋
設されており、その一端は、金、あるいは銅等からなる
ボンディングワイヤ8を介して所定の集積回路が構成さ
れた半導体チップ9の図示しないボンディングパッドと
電気的に接続されている。この半導体チップ9は、例え
ばエポヰシ樹脂からなる接合剤10により、421ロイ
等からなるグイパッドll上に接合されている。
パノケージ2aの上記した凹部4aは、このパッケージ
2aと同一形状の他のパッケージ2aのの凸部3aを嵌
め合わせた際、その凸部3aを保持できる形状、および
寸法となっているため、第3図に示すように、各パッケ
ージ2aの凸fl’ts3aと凹部4aとを嵌合して固
定し、複数の半導体装置1a,la同士を積み重ねるこ
とが可能な構造となっている。
2aと同一形状の他のパッケージ2aのの凸部3aを嵌
め合わせた際、その凸部3aを保持できる形状、および
寸法となっているため、第3図に示すように、各パッケ
ージ2aの凸fl’ts3aと凹部4aとを嵌合して固
定し、複数の半導体装置1a,la同士を積み重ねるこ
とが可能な構造となっている。
そして、本実施例1の半導体装置1aは、同一信号、お
よび同一電源電圧用の外部リード5aの一部がパッケー
ジ2aの上面と、パッケージ2aの裏面とに配置されて
いるため、複数の半導体装lfla.laをパッケージ
2aの高さ方向に積み重ねた際、各半導体装!11aの
同一の外部リード5a,5a同士が電気的に接続される
構造となっている。
よび同一電源電圧用の外部リード5aの一部がパッケー
ジ2aの上面と、パッケージ2aの裏面とに配置されて
いるため、複数の半導体装lfla.laをパッケージ
2aの高さ方向に積み重ねた際、各半導体装!11aの
同一の外部リード5a,5a同士が電気的に接続される
構造となっている。
なお、パッケージ2aの上面の一隅には、複数のパッケ
ージ2a,2a同士を積み重ねる際、極性や接続する外
部リード5a,5a同士を間違えないように、目印Mが
刻設されている。
ージ2a,2a同士を積み重ねる際、極性や接続する外
部リード5a,5a同士を間違えないように、目印Mが
刻設されている。
このようなパッケージ構造の半導体装置を製造するには
、例えば次のようにする。
、例えば次のようにする。
すなわち、まず、リードフレームにおけるグイバッド1
1上に半導体チップ9を接合し、半導体チップ9のボン
ディングパッドとリードフレームの内部リード7とをワ
イヤボンディング8によって接合した後、このリードフ
レームを所定の金型に収めて半導体チップ9を樹脂によ
ってモールドしパッケージ2aを形成する。
1上に半導体チップ9を接合し、半導体チップ9のボン
ディングパッドとリードフレームの内部リード7とをワ
イヤボンディング8によって接合した後、このリードフ
レームを所定の金型に収めて半導体チップ9を樹脂によ
ってモールドしパッケージ2aを形成する。
次いで、樹脂が硬化した後、樹脂から露出する外部リー
ド5aを所定長で切断し、パッケージ2aを上記リード
フレームの外枠から分離した後、外部リード5aをパッ
ケージ2aの側面に沿って垂直に折曲し、さらにパッケ
ージ2aの裏面に形成された溝N6aで保持させる。
ド5aを所定長で切断し、パッケージ2aを上記リード
フレームの外枠から分離した後、外部リード5aをパッ
ケージ2aの側面に沿って垂直に折曲し、さらにパッケ
ージ2aの裏面に形成された溝N6aで保持させる。
次に、本実施例lの半導体装It1の実装方法を第4図
、および第5図により説明する。なお、配線基板のラン
ド上に半導体装置1aを実装する方法(第4図により説
明)は従来技術と同じである。
、および第5図により説明する。なお、配線基板のラン
ド上に半導体装置1aを実装する方法(第4図により説
明)は従来技術と同じである。
まず、配線基板12上にメタルマスクを用いた印刷方式
等によりクリームはんだ(図示せず)を塗布し、その後
、半導体装置1aをバキューム・ピックアップ(図示せ
ず)等により吸着し、この半導体装置1aの外部リード
5aと配線基板12のランドl3とを位置合わせした状
態で、この半導体装置1aを上記したクリームはんだに
軽く押し込む。なお、半導体装置1aの吸着、およびク
リームはんだへの押し込み等は、例えば全てプログラム
・コントロールにより自動的に行われる。
等によりクリームはんだ(図示せず)を塗布し、その後
、半導体装置1aをバキューム・ピックアップ(図示せ
ず)等により吸着し、この半導体装置1aの外部リード
5aと配線基板12のランドl3とを位置合わせした状
態で、この半導体装置1aを上記したクリームはんだに
軽く押し込む。なお、半導体装置1aの吸着、およびク
リームはんだへの押し込み等は、例えば全てプログラム
・コントロールにより自動的に行われる。
その後、リフローはんだ付け法、あるいはVPS (V
apor Phase reflow Solderi
ng) 法等により、はんだを溶かしはんだ付けを行
い、配線基板12上に半導体装置laを実装する(第4
図)。
apor Phase reflow Solderi
ng) 法等により、はんだを溶かしはんだ付けを行
い、配線基板12上に半導体装置laを実装する(第4
図)。
次に、配線基板l2に実装された半導体装置laのパッ
ケージ2aの目印M《第4図参照》と、その上に積み重
ねて実装する半導体装置1aのパッケージ2aの目印M
とを合わせた状態で、下方のパッケージ2aの凸部3a
と、その上に積み重ねて実装するパッケージ2aの凹部
4a(第2図参照》とを嵌め合わせる。
ケージ2aの目印M《第4図参照》と、その上に積み重
ねて実装する半導体装置1aのパッケージ2aの目印M
とを合わせた状態で、下方のパッケージ2aの凸部3a
と、その上に積み重ねて実装するパッケージ2aの凹部
4a(第2図参照》とを嵌め合わせる。
そして、下方のパッケージ2aの上面に位置する外部リ
ード5aとその上方に積み重ねるパッケージ2aの裏面
に位置する外部リード5aとが確実に導通状態となるよ
うに上方のパッケージ2aを押し込み、半導体装置1a
を配線基板l2の実装面Aに対して垂直な方向に積み重
ねる(第5図)。
ード5aとその上方に積み重ねるパッケージ2aの裏面
に位置する外部リード5aとが確実に導通状態となるよ
うに上方のパッケージ2aを押し込み、半導体装置1a
を配線基板l2の実装面Aに対して垂直な方向に積み重
ねる(第5図)。
この際、本実施例lでは、半導体装置1a.1a同士を
着脱自在の状態にしておくが、パッケージ2aの凸部3
asまたは凸部3aを嵌め込む凹部4aにエポキシ樹脂
等の接着剤を塗布し、これらパッケージ2a,2a同士
を接着し、半導体装置1a,la同士を確実に固定して
も良い。
着脱自在の状態にしておくが、パッケージ2aの凸部3
asまたは凸部3aを嵌め込む凹部4aにエポキシ樹脂
等の接着剤を塗布し、これらパッケージ2a,2a同士
を接着し、半導体装置1a,la同士を確実に固定して
も良い。
このように本実施例1によれば、以下の効果を得ること
ができる。
ができる。
(1).パッケージ2a,2aを密着した状態で半導体
装置1a,la同士を導通することができるため、半導
体装置1a,la間の間隔が短《なり、実装密度を高密
度化することができる。
装置1a,la同士を導通することができるため、半導
体装置1a,la間の間隔が短《なり、実装密度を高密
度化することができる。
(2).半導体装置1aを配線基板l2の実装面Aに対
して水平な方向に実装するのみならず、実装面Aに対し
て垂直な方向に積み重ね実装することができるため、従
来と同じ実装面積であっても、従来よりも多くの半導体
装置1aを実装することが可能となる。
して水平な方向に実装するのみならず、実装面Aに対し
て垂直な方向に積み重ね実装することができるため、従
来と同じ実装面積であっても、従来よりも多くの半導体
装置1aを実装することが可能となる。
(3).積み重ねた複数の半導体装置1a同士を着脱自
在の状態に固定しておけば、故障した半導体装置1aの
みを取り替えたり、半導体装置1aの着脱により回路機
能や記憶容量等を適宜変えたりすることが可能となる。
在の状態に固定しておけば、故障した半導体装置1aの
みを取り替えたり、半導体装置1aの着脱により回路機
能や記憶容量等を適宜変えたりすることが可能となる。
(4).上記(1)により、各パッケージ2a,2a間
の配線長が従来技術に比べて短くなるため、信号の伝達
速度を高速にすることが可能となる。
の配線長が従来技術に比べて短くなるため、信号の伝達
速度を高速にすることが可能となる。
(5).上記(1). (4)により、配線長が短くな
るため、外来ノイズの影響を受けにくくなり、信頼性の
高い信号の授受が可能となる。
るため、外来ノイズの影響を受けにくくなり、信頼性の
高い信号の授受が可能となる。
〔実施例2〕
第6図は本発明の他の実施例を示す半導体装置のパッケ
ージ外観を示す斜視図、第7図は第6図で示した半導体
装置の積み重ね状態を示す斜視図、第8図は第6図で示
した半導体装置を配線基板上に実装した状態を示す斜視
図である。
ージ外観を示す斜視図、第7図は第6図で示した半導体
装置の積み重ね状態を示す斜視図、第8図は第6図で示
した半導体装置を配線基板上に実装した状態を示す斜視
図である。
第6図に示すように、本実施例2の半導体装置1bは、
パフケージ2bの上面の一部に四角柱状の凸部3bが形
成され、かつパッケージ2bの裏面に凹部4bが形成さ
れた樹脂モールド形のパッケージ構造となっている。
パフケージ2bの上面の一部に四角柱状の凸部3bが形
成され、かつパッケージ2bの裏面に凹部4bが形成さ
れた樹脂モールド形のパッケージ構造となっている。
凸部3bには、コ字状に折曲した複数の外部リード5b
が、パッケージ2bの長手力向に並設されている。そし
て、外部リード5bの一端は、パッケージ2bの上面に
形成された溝ats6bにより保持されている。
が、パッケージ2bの長手力向に並設されている。そし
て、外部リード5bの一端は、パッケージ2bの上面に
形成された溝ats6bにより保持されている。
パッケージ2bの上面の四隅には、小凸部3Cが形成さ
れており、これと同一形状のパッケージ構造の他の半導
体装置1bを積み重ねた際、その固定度を高め、かつ接
続される外部リード5bの位置がずれてしまうことを防
止する構造となっている。
れており、これと同一形状のパッケージ構造の他の半導
体装置1bを積み重ねた際、その固定度を高め、かつ接
続される外部リード5bの位置がずれてしまうことを防
止する構造となっている。
一方、凹部4bにおける一側面には、複数の外部リード
5bが、パッケージ2bの長手力向に沿って並設されて
いる。
5bが、パッケージ2bの長手力向に沿って並設されて
いる。
また、パフケージ2bの裏面の四隅には、パッケージ2
b,2bを嵌め合わせた際、上記した小凸部3Cを嵌め
込むための小凹部4C(第10図)が形成されている。
b,2bを嵌め合わせた際、上記した小凸部3Cを嵌め
込むための小凹部4C(第10図)が形成されている。
なお、凸11’ls3bの一端には、複数の半導体装置
1b,1b同士を積み重ねる際、極性等を間違えないよ
うにするために目印Mが刻設されている。
1b,1b同士を積み重ねる際、極性等を間違えないよ
うにするために目印Mが刻設されている。
本実施例2においても第7図に示すようにパッケージ2
b,2bの凸部3bと凹部4bとを嵌合し、これらパフ
ケージ2b,2bを固定して半導体装置1b,lb同士
を積み重ねることが可能な構造となっている。そして、
凸部3bと凹部4bに形成された外部リード5b,5b
が電気的に接続される構造となっている。
b,2bの凸部3bと凹部4bとを嵌合し、これらパフ
ケージ2b,2bを固定して半導体装置1b,lb同士
を積み重ねることが可能な構造となっている。そして、
凸部3bと凹部4bに形成された外部リード5b,5b
が電気的に接続される構造となっている。
ところで、このようなパッケージ構造の半導体装置1b
を配線基板上に実装するには、第8図に示すように、例
えば予め配線基板l2上にソケット14aを接続してお
き、このソケット14aに半導体装置1bを実装する。
を配線基板上に実装するには、第8図に示すように、例
えば予め配線基板l2上にソケット14aを接続してお
き、このソケット14aに半導体装置1bを実装する。
ソケッ}14aは、断面凸状となっており、その凸状部
15の形状や寸法は、上記したパフケージ2bの凹部4
bと嵌合した際、パッケージ2bを固定できるように設
計されている。ソケット■4aの凸状部15の一側面に
は、パッケージ2bを嵌合した際、パッケージ2bの凹
部4bに形成された外部リード5bと電気的な導通を取
るための複数の接触子16が並設されている。接触子1
6は、パッケージ2bを嵌合した際、窪みIlfS17
の方向に押されるため、凹部4bに形成された外部リー
ド5b(第6図参照)を押さえる方向に付勢される。な
お、接触子l6は、427ロイ等からなりその表面に金
等のメッキが施されている。
15の形状や寸法は、上記したパフケージ2bの凹部4
bと嵌合した際、パッケージ2bを固定できるように設
計されている。ソケット■4aの凸状部15の一側面に
は、パッケージ2bを嵌合した際、パッケージ2bの凹
部4bに形成された外部リード5bと電気的な導通を取
るための複数の接触子16が並設されている。接触子1
6は、パッケージ2bを嵌合した際、窪みIlfS17
の方向に押されるため、凹部4bに形成された外部リー
ド5b(第6図参照)を押さえる方向に付勢される。な
お、接触子l6は、427ロイ等からなりその表面に金
等のメッキが施されている。
また、ソケッ}14aの肩邪に形成された小凸状部18
は、パッケージ2bの裏面の四隅に形成された小凹部4
c(第10図》に嵌め合わせるための突起部である。
は、パッケージ2bの裏面の四隅に形成された小凹部4
c(第10図》に嵌め合わせるための突起部である。
なお、半導体装置1bの積み重ね方法は、実施例1と同
じである。
じである。
本実施例2によれば、実施例lの(1)〜(5)の効果
の他に、複数の半導体装置1bを配線基板12の実装面
に対して垂直な方向に実装した際、最下方の半導体装置
1bも自由に取り替えることができる効果がある。
の他に、複数の半導体装置1bを配線基板12の実装面
に対して垂直な方向に実装した際、最下方の半導体装置
1bも自由に取り替えることができる効果がある。
以上、本発明者によってなされた発明を実施例に基づき
具体的に説明したが、本発明は前記実施例1,2に限定
されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々
変更可能であることはいうまでもない。
具体的に説明したが、本発明は前記実施例1,2に限定
されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々
変更可能であることはいうまでもない。
例えば、前記実施例lにおいては、一つのパッケージの
面に一つの凸部を形成した場合について説明したが、こ
れに限定されるものではなく、例えば一つのパッケージ
面に複数の凸部を形成するとともに、これと嵌合するパ
ッケージ面に凸部に対応する複数の凹部を形成しても良
い。
面に一つの凸部を形成した場合について説明したが、こ
れに限定されるものではなく、例えば一つのパッケージ
面に複数の凸部を形成するとともに、これと嵌合するパ
ッケージ面に凸部に対応する複数の凹部を形成しても良
い。
また、前記実施例1,2においては、凸部を四角柱状と
した場合について説明したが、これに限定されるもので
はなく、例えば第9図に示すように半導体装置1cを構
成するパッケージ2Cの上面の一部にテーバ状の凸部3
dを形成しても良い。
した場合について説明したが、これに限定されるもので
はなく、例えば第9図に示すように半導体装置1cを構
成するパッケージ2Cの上面の一部にテーバ状の凸部3
dを形成しても良い。
また、前記実施例2においては、半導体装置を配線基板
に実装する際、予め配線基板にパッケージの凹部用のソ
ケットを実装した場合について説明したが、これに限定
されるものではな《、例えば第lO図に示すように、ソ
ケッl−14bに凹状の挿入部19を設け、この挿入部
19にパッケージ2bの凸1m3bを嵌合し、半導体装
置1bを配線基板12上に実装しても良い。
に実装する際、予め配線基板にパッケージの凹部用のソ
ケットを実装した場合について説明したが、これに限定
されるものではな《、例えば第lO図に示すように、ソ
ケッl−14bに凹状の挿入部19を設け、この挿入部
19にパッケージ2bの凸1m3bを嵌合し、半導体装
置1bを配線基板12上に実装しても良い。
以上の説明では主として本発明者によってなされた発明
をその背景となった利用分野である樹脂モールド形のパ
ッケージを備える半導体装置に適用した場合について説
明したが、これに限定されず種々適用可能であり、例え
ばセラミック形のパッケージを備える半導体装置に適用
しても良い。
をその背景となった利用分野である樹脂モールド形のパ
ッケージを備える半導体装置に適用した場合について説
明したが、これに限定されず種々適用可能であり、例え
ばセラミック形のパッケージを備える半導体装置に適用
しても良い。
本願において開示される発明のうち、代表的なものによ
って得られる効果を簡単に説明すれば、下記のとおりで
ある。
って得られる効果を簡単に説明すれば、下記のとおりで
ある。
すなわち、第1に、複数の半導体装置を、各半導体装置
を構成するパッケージ同士を密着した状態で導通するこ
とができるため、半導体装置間の間隔が短くなり、実装
密度を向上させることが可能となる。
を構成するパッケージ同士を密着した状態で導通するこ
とができるため、半導体装置間の間隔が短くなり、実装
密度を向上させることが可能となる。
第2に、半導体i置の着脱が可能になるため、故障した
半導体装置のみを取り替えたり、半導体装置の着脱によ
り回路機能や記憶容量等を適宜変えたりすることが可能
となる。
半導体装置のみを取り替えたり、半導体装置の着脱によ
り回路機能や記憶容量等を適宜変えたりすることが可能
となる。
第3に、半導体装置の実装が配線基板の実装面に対して
水平な方向のみならず、実装面に対して垂直な方向に展
開されるため、従来と同じ実装面積であっても従来より
多くの半導体装置を実装することが可能となる。
水平な方向のみならず、実装面に対して垂直な方向に展
開されるため、従来と同じ実装面積であっても従来より
多くの半導体装置を実装することが可能となる。
第1図は゛本発明の一実施例である半導体装筐のパフケ
ージ外観を示す斜視図、 第2図は第,1図の■−■線断面図、 第3図はこの半導体装置を複数積み重ねた状態を示す断
面図、 第4図はこの半導体装置を配線基板上に実装した状態を
示す斜視図、 第5図は配線基板上における半導体装置の積み重ね状態
を示す斜視図、 第6図は本発明の他の実施例を示す半導体装置のパッケ
ージ外観を示す斜視図、 第7図は第6図に示した半導体装置の積み重ね状態を示
す斜視図、 第8図は第6図に示した半導体装置を配線基板上に実装
した状態を示す斜視図、 第9図は実施例のさらに他の実施例である半導体装置の
パッケージ外観を示す斜視図、第10図は実施例2で示
したコネクタの変形例を示す斜視図である。 la,lb,lc−・・半導体装胃、2a.2b,2c
−− ・パッケージ、3a,3b,3d・・・凸部、3
C・・・小凸部、4a,4b・・・凹部、4C・・・小
凹部、5a,5b・・・外部リード(外部端子)、6a
.6b・・・溝部、7・・・内部リード、8・・・ボン
ディングワイヤ、9・・・半導体チップ、10・・・接
合剤、11・・・グイパッド、l2・・・配線基板、l
3・・・ランド、14a.14b・・・ソケット、l5
・・・凸状部、l6・・・接触子、l7・・・窪み部、
18・・・小凸状部、19・・・挿入部、A・・・実装
面、M・・・目印。 代理人 弁理士 筒 井 大 和 第 1 図 第2図 # 3 図 第 図 第 図
ージ外観を示す斜視図、 第2図は第,1図の■−■線断面図、 第3図はこの半導体装置を複数積み重ねた状態を示す断
面図、 第4図はこの半導体装置を配線基板上に実装した状態を
示す斜視図、 第5図は配線基板上における半導体装置の積み重ね状態
を示す斜視図、 第6図は本発明の他の実施例を示す半導体装置のパッケ
ージ外観を示す斜視図、 第7図は第6図に示した半導体装置の積み重ね状態を示
す斜視図、 第8図は第6図に示した半導体装置を配線基板上に実装
した状態を示す斜視図、 第9図は実施例のさらに他の実施例である半導体装置の
パッケージ外観を示す斜視図、第10図は実施例2で示
したコネクタの変形例を示す斜視図である。 la,lb,lc−・・半導体装胃、2a.2b,2c
−− ・パッケージ、3a,3b,3d・・・凸部、3
C・・・小凸部、4a,4b・・・凹部、4C・・・小
凹部、5a,5b・・・外部リード(外部端子)、6a
.6b・・・溝部、7・・・内部リード、8・・・ボン
ディングワイヤ、9・・・半導体チップ、10・・・接
合剤、11・・・グイパッド、l2・・・配線基板、l
3・・・ランド、14a.14b・・・ソケット、l5
・・・凸状部、l6・・・接触子、l7・・・窪み部、
18・・・小凸状部、19・・・挿入部、A・・・実装
面、M・・・目印。 代理人 弁理士 筒 井 大 和 第 1 図 第2図 # 3 図 第 図 第 図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1、半導体チップを収容するパッケージの一面に凸部を
形成し、かつ他面に凹部を形成するとともに、前記凸部
、および凹部の形成されたパッケージ面に前記半導体チ
ップと導通する外部端子を配置することによって、一の
パッケージの前記凸部と、他のパッケージの前記凹部と
を嵌め合わせ、これらパッケージの同一信号、および同
一電源電圧用の外部端子同士を導通させるパッケージ構
造を備えることを特徴とする半導体装置。 2、請求項1記載の半導体装置を配線基板上に複数実装
する際、前記一のパッケージの凸部と他のパッケージの
凹部とを嵌合することによって、これらパッケージを備
える半導体装置同士を着脱自在に接合することを特徴と
する半導体装置の実装方法。 3、請求項1記載の半導体装置を配線基板上に複数実装
する際、前記パッケージ同士を嵌合することによって、
これらパッケージを備える半導体装置を配線基板の実装
面に対して垂直な方向に積み重ねることを特徴と半導体
装置の実装方法。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP6043689A JP2885414B2 (ja) | 1989-03-13 | 1989-03-13 | 半導体装置、その実装方法および電子装置 |
KR1019900003253A KR0145696B1 (ko) | 1989-03-13 | 1990-03-12 | 반도체장치 및 그들을 적층한 모듈과 그것을 실장한 전자장치 |
US07/915,761 US5266834A (en) | 1989-03-13 | 1992-07-21 | Semiconductor device and an electronic device with the semiconductor devices mounted thereon |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP6043689A JP2885414B2 (ja) | 1989-03-13 | 1989-03-13 | 半導体装置、その実装方法および電子装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH02239651A true JPH02239651A (ja) | 1990-09-21 |
JP2885414B2 JP2885414B2 (ja) | 1999-04-26 |
Family
ID=13142212
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP6043689A Expired - Fee Related JP2885414B2 (ja) | 1989-03-13 | 1989-03-13 | 半導体装置、その実装方法および電子装置 |
Country Status (1)
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---|---|
JP (1) | JP2885414B2 (ja) |
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JPS5712754U (ja) * | 1980-06-26 | 1982-01-22 |
-
1989
- 1989-03-13 JP JP6043689A patent/JP2885414B2/ja not_active Expired - Fee Related
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