JPH02145384A - 光学的記録媒体の作成方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、光を利用して少なくとも記録もしくは再生を
行う光学的記録媒体の作成方法に関する。

［従来の技術］ 従来、光学的記録媒体の作成方法において、ターゲット
と呼ばれる母材を基に、スパッタリング等により薄膜作
成を行う方法が知られている。

このように作成された薄膜の特性についてよく調べてみ
ると、微量の酸素、水分で非常に大きな特性の影響が発
生することがあることが判ってきた。

例えば、光るｎ気記録媒体として、各所で確実されてい
る希土類−遷移金属合金膜は、１％以下の酸素が膜中に
存在しても、耐久特性に悪影響が出る。又、このような
光磁気記録の保ｉ膜として知られる、スパッタリングで
作成される話電体膜も、その光学特性や接している記録
膜である希土類−遷移金属合金への酸素の拡散等の影響
があり、やはり酸素や水分の存在が耐久性を低下させる
。

これらは、極めて少量の酸素や水分の影響であるが、更
に、その含有量が数％以上となると、基体特性として記
録・再生にも影響が出る。

次に、このような問題の対策として、通常行われている
方法を説明する。

まず、ターゲットメーカーにおいて、アルゴン若しくは
窒素雰囲気中でポリビニール等から成る容器に真空封入
されたターゲットを、でき゛るだけ短時間にバッキング
プレートと呼ばれる銅基板に、ろう剤等で付加させる。

次に、これを成膜室の真空をやぶり直接セットするか或
いは成膜予備室からセットする。

これらは、できるだけ手短かに行うようにしているが、
それでもターゲットが多結晶であれば結晶粒界が、ター
、ゲットが焼結体であれば空孔部に接したところが、表
面からおよそ数十ミクロン程度まで深く、酸化される。

そして、このような酸化層を除去するため、いわゆるプ
レスパツタといわれる、ターゲット表面のスパッタリン
グが行われる。

［発明が解決しようとしている問題点］しかしながら、
上記の方法においては、プレスパツタに数時間を要する
こともあり、作成時間が長いといった問題点があった。

また、ターゲットのプレスパツタで除去した分は、無駄
に捨てることになり、作成コストを上げる原因にもなっ
た。

実際に、厚さ２ｍｍのターゲット０．１ｍｍの表面の除
去は、５％の利用効率の減少があり、けっして無視でき
ない。

本発明の目的は、上記従来技術の問題点を解決し、作成
時間やコストを増大させることなく、良好な特性の光学
的記録媒体を作成し得る方法を提供することにある。

［問題点を解決する為の手段］ 本発明の上記目的は、ターゲット材料を、密封された容
器から取り出して真空成膜室内に用意し、このターゲッ
ト材料を母材として基板上に薄膜を形成する光学的記録
媒体の作成方法において、 前記容器の開封を、前記真空成膜室につながる室の不活
性ガス雰囲気中で行ない、前記ターゲット材料を、酸素
及び水分に晒すことなく真空酸］摸室に搬送することに
よって達成される。

［実施例・］ 以下、本発明に基づく光学的記録媒体の作成過程を、第
１図を参照しながら、順を追って説明する。

■　アルゴン置換雰囲気中で、容器内に真空封入された
ターゲツト材を、アルゴン雰囲気のグローブボックス１
内で開封する。

■　そのまま、アルゴン雰囲気のガス中で搬送し、雰囲
気調整洗浄槽２内で、 イワプロビル アルコール　超音波洗浄　　３分 フロン　　　　　　〃　　　　３分 フロン　　　　洗　浄 を行い、アルゴン雰囲気のグローブボックス１内に戻す
。

■　グローブボックス１内で、アルゴン雰囲気中で、バ
ッキングプレート、ボンディング剤、ターゲットを積み
重ねる。

■　アルゴン雰囲気の雰囲気調整ボンディング炉３に搬
送し、ボンディングを行う。

■　グローブボックスｌ内に戻し、グローブボックス中
で、連続成膜機４まで搬送する。

■　成膜準備室をアルゴン雰囲気にした後、グローブボ
ックスと連結し、ターゲット固定の作業をアルゴン雰囲
気中で行う。

ここで、第１図に概略図で示す作成装置において、各々
の機器の接合部は、同形の断面を有し、ゴム製バッキン
グ等により密封状態で接続出来るように構成されている
。

次に、本発明の効果を調べる為の媒体の評価方法と結果
を述べる。

ターゲット設置後、３０分単位でスパッタリングを行い
、３０分毎に以下の構成の膜をもつ積層膜をガラス基板
上に作成した。

膜　　　　　　　　　　　　　　　　膜厚アモルファス
窒化シリコン　　　７００人ＴｂＦｅＣｏ　　　　　　
　　　　８００人アモルファス窒化シリコン　　　７０
０人ターゲット表面の酸化層の影響が無くなったかどう
かという評価は、この積層膜が面内方向に成分を持って
いるかどうか、角型がきれいかどうかをもって判断した
。

従来の方法で実験を行ったところ、６時間スパッタした
後のサンプルから変化がみられず、特性が飽和した。

一方本発明で述べた方法で実験を行ったところ、約１時
間後には特性は飽和し、従来法と同じ角型をもつサンプ
ルが得られた。

これらのサンプルの内部に含有される酸素量を調べたと
ころ、特性が飽和するには、内部酸素量が０．７％まで
減少すれば良いことがわかった。

尚、膜中に存在するカーボン量の減少も本発明によりみ
られ、このことが膜の耐久性能の向上をもたらしている
ことも推定された。

本発明は、以上説明した実施例の他にも、種々の応用が
可能である。例えば、実施例ではグローブボックスが用
いられる手作業による方法を述べたが、ロボットによる
作業でも同じ効果が得られる。

［発明の効果］ 以上説明したように、本発明の方法により、酸化層の薄
い清浄なターゲットを準備することができた。

又、カーボン化合物の汚染も減少するという２次的効果
も生じることが判った。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の方法を実施する為の作成装置の一例を
示す概略斜視図である。 ｌ・・・搬送用グローブボックス、 ２・・・雰囲気調整洗浄槽、 ３・・・雰囲気調整ボンディング炉、 ４・・・連続成膜機。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）ターゲット材料を、密封された容器から取り出し
   て真空成膜室内に用意し、このターゲット材料を母材と
   して基板上に薄膜を形成する光学的記録媒体の作成方法
   において、前記容器の開封を、前記真空成膜室につなが
   る室の不活性ガス雰囲気中で行ない、前記ターゲット材
   料を、酸素及び水分に晒すことなく真空成膜室に搬送す
   ることを特徴とする光学的記録媒体の作成方法。